TWI247681B - Droplet jetting apparatus, method of operating droplet jetting apparatus, and device manufacturing method - Google Patents

Description

(1) 1247681 Λ 九、發明說明 ~ 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於液滴吐出裝置、液滴吐出裝置之處理方 法、及裝置製造方法，而該液滴吐出裝置具備：液滴吐出 頭’其將預定液體呈液滴狀從噴嘴開口吐出；和加蓋裝置 ，其用以密封（capping :加蓋）該液滴吐出頭的噴嘴開 口，以防止液體乾燥或噴嘴開口的堵塞。 【先前技術】 液滴吐出頭包括：收容預定液體的壓力產生室；和加 . 壓壓力產生室的壓電（piezo)元件；和與壓力產生室連 - 通的噴嘴開口而構成，並且用壓電元件加壓壓力產生室的 液體，將微量的液體呈液滴狀從噴嘴開口吐出。此種構成 的液滴吐出頭，一旦噴嘴開口附近的液體蒸發、或氣泡停 滯於液滴吐出頭內時，就會產生液滴吐出不良的情形。所 Φ 以，此種液滴吐出頭必須具有密封（capping :加蓋）噴 嘴開口，以防止液體乾燥或噴嘴開口之堵塞的加蓋裝置。 加蓋裝置具備：用以密封噴嘴開口的密封部；和將負 壓供給至密封部內的抽吸泵而構成。該加蓋裝置不僅藉密 封部來密封液滴吐出頭的噴嘴開口，而且利用抽吸泵使負 ，壓作用於密封部內，而強制地使液體從開口排出，藉此構 成，也可使增黏於噴嘴開口附近的液體或停滯於壓力產生 室的氣泡排出。 關於具備此等液滴吐出頭及加蓋裝置之習知之液滴吐 -4 - (2) 1247681 $ 出裝置的詳細構成，係揭示於下列的專利文獻1。 - 〔專利文獻1〕日本特開2 0 0 1 — 0 1 84 0 8號公報 【發明內容】 〔發明所欲解決之課題〕 該專利文獻1所記載的液滴吐出裝置，係於加蓋裝置 的密封部內設有吸收材，而在沒有印刷時或電源截斷狀態 φ 下’爲了使密封後從噴嘴開口蒸發的液體變少，所以在噴 嘴開口密封前，預先將預定量的保濕液從保濕液槽供給至 吸收材，藉以使密封部內保持濕潤狀態。 • 然而’由於是令保濕液從搭載於托架（carriage )的 - 保濕液槽滴下，故會有托架的重量很重，同時亦導致大型 化，而且托架馬達之高成本化等無法避免的課題。 又，即使是使用加蓋（capping )裝置，來密封液滴 吐出頭的噴嘴開口，一旦密封期間很長時，有時也會因液 φ 體的流路、及噴嘴開口之液體的蒸發或加蓋裝置內的乾燥 而導致保濕性降低等的原因，而產生液體的增黏，噴嘴開 口堵塞的情形。 因此，要求可在噴嘴開口密封後的每個一定期間，於 • 維持噴嘴開口的密封下，將保濕液供給至密封部內。 - 此外，就解決噴嘴開口賭塞的方法而言，除了使用加 蓋裝置的方法外，也有：使負壓作用於液滴吐出頭的噴嘴 形成面（形成有噴嘴開口部的面），從噴嘴開口抽吸液體 後，用擦拭器（wiper )擦拭噴嘴形成面的淸潔方法；及 - 5- (3) I247681 利用壓電（piezo )元件將施加於壓力產生室的壓力增大 ' ，強制地吐出比一般液滴吐出量更多液滴之沖洗（ flushing )方法，但這些方法中，會產生液體被浪費，同 時減短液體吐出頭或擦拭器（wiper )壽命的問題。 本發明係有鑑於上述問題而開發者，其目的在於提供 〜種液滴吐出裝置、該液滴吐出裝置之處理方法、及裝置 製造方法，即使在利用加蓋（capping )裝置密封液滴吐 % 出頭之噴嘴開口的狀態下，也可將保濕液供給到密封部內 ，以此構成，可有效地防止噴嘴開口等的堵塞等，且防止 液體的浪費、或液滴吐出頭及擦拭器的壽命減短。 〔解決課題之手段〕 爲了解決上述課題，本發明之液滴吐出裝置包括：液 滴吐出頭’其在噴嘴形成面具有將預定液體呈液滴狀吐出 的噴嘴開口；和加蓋裝置，其具有用以密封該液滴吐出頭 φ 之至少上述噴嘴開口的密封部，其特徵爲：具備保濕液供 給機構’用以將對於上述液體的保濕液供給至由上述噴嘴 形成面和上述密封部所形成的空間內部，同時該保濕液供 給機構係連接於上述密封部側。 • 根據本發明，由於將保濕液供給至由噴嘴形成面和密 . 封部所形成的空間內部，係藉由與密封部連接的保濕液供 給機構來進行者，所以不會導致作爲移動體之液滴吐出頭 周邊的重量增加或大型化。因此，可避免液滴吐出頭驅動 馬途的局成本化’同時可有效地防止液滴吐出頭之噴嘴開 -6- (4) 1247681 口的堵塞。再者’進行保濕液之供給時，亦可不需移動液 ~ 滴吐出頭。 再者’本發明之液滴吐出裝置的特徵是，上述保濕液 可從設置於上述密封部內之吸收材的下方供給。 根據本發明，供給保濕液時，不需令加蓋裝置一次一 次地從液滴吐出頭分離，而可在密封噴嘴開口的狀態下直 接進行’故即使噴嘴開口密封期間很長，也可在密封狀態 p 下定期地供給保濕液。結果，可減少淸潔次數，且也可延 長具備貫施該淸潔之淸潔單兀的擦拭器（wiper)的壽命 〇 本發明之液滴吐出裝置具備：計時機構，用以計時藉 由上述加蓋裝置之噴嘴開口密封期間；和控制機構，其依 據述保濕液的種類，控制該保濕液供給至上述空間內部 的時點。 根據本發明，由於將保濕液的種類加到印刷完成後的 φ 判定要素，故可依據因所使用之保濕液的不同而產生差異 的乾燥程度，適當地控制保濕液的供給量或供給時點（供 給間隙（interval ))。因此，可極力抑制保濕液的浪費 外’而且可有效地防止噴嘴開口的堵塞等。 爲了解決上述課題，本發明之液滴吐出裝置的處理方 . 法、具備：液滴吐出頭，其在噴嘴形成面具有將預定液體呈 液滴狀吐出的噴嘴開口；和加蓋裝置，其具有用以密封該 液滴吐出頭之至少上述噴嘴開口的密封部；和保濕液供給 機構’其將對於上述液體的保濕液供給至由上述噴嘴形成 -7- (5) (5)1247681 面和上述密封部所形成的空間內部，其特徵爲：包括藉由 上述加蓋裝置密封上述噴嘴開口後，將上述保濕液供給至 上述空間內部的步驟。 根據本發明，供給保濕液時，不需令加蓋裝置一次一 次地從液滴吐出頭分離，而可在密封噴嘴開口的狀態下進 行’故進行保濕液供給時，可不需移動液滴吐出頭。而且 ’即使噴嘴開口密封期間很長，也可在密封狀態下定期地 供給保濕液。結果，可減少淸潔次數，且也可延長具備實 Μ該淸潔之淸潔單兀的擦拭器（w i P e r )的壽命。 爲了解決上述課題，本發明之裝置製造方法具備在預 定部位形成具有功能性圖案的工件，其特徵爲包括下列步 驟：使用申請專利範圍第1至3項中任一項之液滴吐出裝 置所具備的液滴吐出頭、或申請專利範圍第4項之液滴吐 出裝置之處理方法中所使用的液滴吐出頭，在上述工件上 ’將上述預定液體呈液滴狀吐出，而形成上述圖案的步驟 ;和藉由上述加蓋裝置密封上述噴嘴開口後，將上述保濕 液供給至上述空間內部的步驟。 根據本發明，由於是在工件上將預定液體呈液滴狀吐 出，而形成圖案，並且在繼後實施之利用加蓋裝置密封噴 嘴開口後，不需使加蓋裝置一次一次地從液滴吐出頭分離 ，而可供給保濕液，故進行保濕液供給時，不需移動液滴 吐出頭。結果，可有效率地製造裝置而不會導致良率降低 ，且可降低裝置的製造成本。 (6) 1247681 【實施方式】 ~ 以下，參照圖面，詳細說明關於本發明之一實施型態 之液滴吐出裝置、該液滴吐出裝置之處理方法、及裝置製 造方法。 〔液滴吐出裝置〕 第1圖是表示根據本發明之一實施型態之液滴吐出裝 φ 置的構略構成之斜視圖。此外，以下說明中，必要時，可 在圖中設定XYZ直交座標系，一邊參照該XYZ直交座標 系’一邊說明各構件的位置關係。ΧΥΖ直交座標系中， χγ平面設定在與水平面平行的面，Ζ軸係設定在鉛直上 方。此外，本實施型態中，吐出頭（液滴吐出頭）2 0的 移動方向（主掃描方向）係設定在X方向，平台ST的移 動方向（副掃描方向）係設定在γ方向。 如第1圖所示，本實施型態之液滴吐出裝置IJ包括 Φ :基底10;和平台ST，其在基底10上用以支持玻璃基板 等的基板P ;和吐出頭2 0，其支持於平台S T的上方（+ Z方向），可對基板P吐出預定的液滴。基底1 〇和平台 S T之間’ g受有可將平台s T移動於Y方向而支持的第1 .移動裝置12。又，在平台ST的上方，設有可將吐出頭20 . 移動於X方向而支持的第2移動裝置1 4。 吐出頭2 0連接有槽1 6，而該槽1 6儲藏有經由流路 1 8從吐出頭20吐出的液體（預定液體）。此外，基底；[〇 上配置有：加蓋單元（加蓋裝置）2 2和淸潔單元2 4。控 -9- (7) 1247681 制裝置2 6控制液滴吐出裝置I ：[的各部位（例如，第丨移 ~ 動裝置12及第2移動裝置14等），而控制液滴吐出裝置 IJ整體的動作。 上述弟1移動裝置1 2設置於基底1 〇上，且沿著γ 軸定位。該第1移動裝置12係由例如線型馬達（linear motor)構成，具有導軌12a、12a;和可沿著該導軌12a 移動而設置的滑塊（slider ) 12b。該線型馬達式第1移動 φ 裝置1 2的滑塊1 2 b，係可沿著導軌1 2 a移動於Y軸方向 而定位。 再者，滑塊12b具有繞著Z軸（0 z)用之馬達12c 。該馬達12c是例如直接驅動馬達（direct-drive motor) ，馬達12c的轉子（rotor )固定於平台ST。因此，藉由 馬達12c通電’馬達和平台ST可沿著0z方向旋轉，而 將平台S T分度旋轉。亦即，第1移動裝置12可將平台 S T移動於Y軸方向及0 z方向。平台S T係保持基板P， φ 使之定位預定位置。又’平台s T具有未圖示之吸附保持 裝置，藉由該吸附保持裝置動作，得以經由設置於平台 s T之未圖示的吸附孔’將基板P吸附保持於平台S T上。 上述第2移動裝置14是以用支柱28a、28a站立於基 • 底ίο而安裝’而且是安裝在基底1〇的後邰i〇a。該第2 _ 移動裝置1 4係由線型馬達所構成’其支持於固定在支柱 28a、28a的柱子（c〇lumn) 28b。第2移動裝置14具有 :支持於柱子2 8 b的導軌1 4 a ;和可沿著導軌1 4 a移動於 X軸方向而支持的滑塊1 4b。滑塊1 4b可沿著導軌1 4a移 -10- (8) 1247681 * 動於X軸方向而定位。上述吐出頭2 0係安裝於滑塊丨4 b - ο 吐出頭20具有：作爲Ζ方向之定位裝置的馬達3〇、 及作爲擺動定位裝置的馬達3 2、3 4、3 6。驅動馬達3 0時 ，可使吐出頭2 0沿著Ζ方向上下移動，而可在任意的ζ 方向位置定位吐出頭20。驅動馬達32時，可使吐出頭2〇 順沿繞著Υ軸的β方向擺動’而可調整吐出頭2 〇的角度 0 。驅動馬達3 4時，可使吐出頭2 0順沿繞著X軸的γ方 向擺動，而可調整吐出頭2 0的角度。驅動馬達3 6時，可 使吐出頭2 0順沿繞著Ζ軸的α方向移動，而可調整吐出 頭2 0的角度。 如上所述，第1圖的吐出頭2 0係以可直線移動於ζ 方向，且可沿著α方向、yS方向、及τ方向擺動而調整角 度的方式支持於滑塊1 4b。吐出頭2 0·的位置及姿勢可藉 由控制裝置26精確地控制，使液滴吐出面2 1相對於平台 φ ST側之基板P的位置或姿勢形成預定位置或預定姿勢。 此外，在吐出頭20的液滴吐出面（噴嘴形成面）2 1，設 有用以吐出液滴的複數噴嘴開口 1 1 1。 以上述吐出頭2 0所吐出的液滴而言，可採用：含有 著色材料的油墨；或含有金屬微粒子等材料的分散液；或 含有PEDOT : PSS等電洞植入材料或發光材料等有機電激 發光物質的溶液、液晶材料等高黏度的功能性液體；或含 有微透鏡（m i c r ο 1 e n s )之材料的功能性液體；或含有蛋 白質或核酸等的生體高分子溶液等各種材料。 -11 - (9) 1247681 在此，說明關於吐出頭2 0的構成。第2圖是吐出頭 2 0主要部位的一部分之透視圖。如第2圖所示，吐出頭 2 0包括：噴嘴板1 1 〇、壓力室基板1 2 0及振動板1 3 0而構 成。壓力室基板1 2 0具有：作爲壓力產生室的槽1 2 1、側 壁122、儲存區（reservoir ) 123及供給口 124。槽121是 壓力室，藉由蝕刻矽等基板而形成。側壁1 2 2係將槽1 2 1 之間隔開而構成，儲存區（reservoir) 123係當預定流體 充塡於各槽1 2 1時，作爲可供給液體的共同流路而構成。 供給口 1 24係可將液體導入各槽1 2 1而構成。 振動板1 3 0係可貼合於壓力室基板1 2 0 —邊的面而構 成。在振動板130上，設有作爲上述壓電體裝置之一部分 的壓電體元件150。壓電體元件15〇係具有鈦酸鈣礦（ perovskite )構造的強介電體結晶，其以預定圖案形成於 振動板1 3 0上。該壓電體元件丨5 〇係構成可對應於控制裝 置26所供給的驅動信號，而產生體積變化。 噴嘴板1 10係以在與複數設置於壓力室基板12〇之各 槽（壓力室）1 21對應的位置，配置噴嘴開口 n丨之方式 ，貼合於壓力室基板1 2 0。與噴嘴板1 1 0貼合的壓力室基 板1 20係嵌設於未圖示之框體。如上所述構成吐出頭2〇 〇 欲使預定液體呈液滴狀從吐出頭2 0吐出時，首先， 控制裝置1 6將使液滴吐出的驅動信號供給至吐出頭2〇。 液體流入吐出頭2 〇的槽1 2丨，當驅動信號流供給至吐出 頭2 0時，設置於吐出頭2 〇的壓電體元件丨5 〇會依據該驅 -12- (10) 1247681 動信號而產生體積變化。該體積變化使振動板1 3 0變形， ' 而使槽1 2 1的體積改變。結果，液體呈液滴狀從槽1 2 1的 噴嘴開口 1 1 1吐出。吐出液滴的槽i 2 1，可從槽1 6重新 供給因吐出而減少的液體。 此外’參照第2圖而說明的吐出頭2 0係使壓電體元 件產生體積變化，而使液滴吐出的構成，然而，吐出頭也 可爲利用發熱體將液體加熱，透過膨脹藉以使液滴吐出的 φ 構成。再者，吐出頭亦可以爲利用靜電使振動板變形，藉 以使生體積產生變化，而使液滴吐出。 回到第1圖，第2移動裝置14可藉由使吐出頭20移 動於X軸方向，而使吐出頭2 0選擇性地定位於淸潔單元 2 4或加蓋單元2 2的上部。亦即，即使在裝置製造作業的 途中，將例如吐出頭20移動到淸潔單元24上時，也可實 施吐出頭2 0的淸潔。又，將吐出頭2 0移動到加蓋單元 2 2上時，可在吐出頭2 0的液滴吐出面2 1實施加蓋（ φ caPPing )，或將液滴充塡於槽1 2 1，或使因噴嘴開口 1 1 1 之堵塞等所造成的吐出不良恢復。 即，淸潔單元24及加蓋單元22係在基底1〇上的後 部1 〇 a側，位於吐出頭2 0之移動路徑正下方，與平台s τ 分離而配置。基板P對於平台S T的搬入作業及搬出作業 .，係在基台1 0的前部1 0 b側進行，所以此等淸潔單元2 4 及加蓋單元22不會對作業造成妨礙。 淸潔單元2 4具有可擦拭形成噴嘴開口 1 1〗之面的擦 拭器（w i p e r )，可在裝置製造步驟中或待機時，定期或 -13- (11) 1247681 ^ 隨時實施吐出頭2 0之噴嘴開口 1 1 1等的淸潔。而加蓋單 ' 元22是以使吐出頭20的液滴吐出面2 1不會乾燥之方式 ，於沒有製造裝置之待機時，對該液滴吐出面2 1實施加 蓋，或使用於將液滴充塡於槽1 2 1時，此外，也可使發生 吐出不良的吐出頭20恢復。 〔加蓋單元〕 (I 繼之，詳細說明關於加蓋單元22。第3圖是表示加 蓋單元22的構成圖。如第3圖所示，加蓋單元22係包括 :形成箱狀的蓋子本體（密封部）40、抵接於吐出頭20 之噴嘴形成面（液滴吐出面2 1 )的密封構件42、第1連 通管44、第1泵46、吸收材50、第2連通管54、第2泵 56、第3連通管64、及大氣開放泵66而構成。 在蓋子本體40之密封側端面40Α的整周，形成有凹 溝40a。由例如橡膠等可撓性素材形成方形的密封構件42 φ 係以從密封側端面40A突出一部分之方式嵌入該凹溝40a 〇 在蓋子本體40的內周面40B，設有朝內側突出的一 對扣止部5 2。吸收材5 0藉由其周緣部把持於扣止部5 2， 而固定於與蓋子本體40之內底面分離預定距離的位置。 u 此外，吸收材5 0對於吐出頭20所吐出之液滴的吸收 性優良，且吸收液滴時保持濕潤狀態，是由例如具有微細 連續氣孔構造的海綿等材料所構成。 在蓋子本體40的底面部40b，連接有貫通該底面部 -14 - (12) 1247681 ' 40b而在內底面40C形成開口的第1至第3連通管44、54 - 、6 4 〇 第1連通管44連接有第1泵46，而該第1泵46經 由該第1連通管44，將蓋子本體40內，即吐出噴嘴20 的噴嘴形成面和蓋子本體4 0所形成的空間內部抽吸、減 壓（供給負壓）。在第1泵4 6的排出側設有排液槽4 8， 可供儲存伴著淸潔操作等而產生的排放液體。 _ 第1泵4 6係與控制裝置2 6電性連接（參照第4圖） ，而在控制裝置2 6的控制下，控制該其驅動。 第2連通管54連接有，經由第2泵56具有大氣導入 口 6 0的保濕液槽5 8，而藉由將保濕液從保濕液槽5 8供 給至盡子本體4 0內，可長期維持吸收材5 〇的濕潤狀態。 保濕液槽5 0係設置於基底1 〇上，連接有用以檢測保濕液 之剩餘量的剩餘量檢測機構62。 此外，剩餘量檢測機構62亦可僅在保濕液的剩餘量 φ 爲預定量以下時，輸出其資訊而構成，例如以在保濕液槽 59內配置浮筒（float )構件，由該浮筒構件的位置，檢 測出保濕液的殘餘量爲預定量以下，而輸出其旨意的信號 之方式構成。 第2泵5 6及殘餘量檢測機構6 2係與控制裝置2 6電 性連接（參照第4圖），依據藉殘餘量檢測機構6 2所測 得的保濕液殘餘量，而控制裝置2 6的控制下，控制其驅 動。 第3連通管64連接有經由該第3連通管64使蓋子本 -15- (13) 1247681 ^ 體40內外連通的大氣開放泵66。該大氣開放泵66係與 - 控制裝置26電性連接（參照第4圖），而在控制裝置26 的控制下，控制其驅動。 如上述之說明，本實施型態中，具備第2連通管54 、第2泵5 6、保濕液槽5 8、殘餘量檢測機構62、及控制 裝置26，而構成本發明之保濕液供給機構。 繼之，說明關於本實施型態之液滴吐出裝置Π的電 ϋ 性功能構成。此外，第4圖的方塊圖中，與第1圖至第3 圖所示之構件相當的方塊係附註相同的符號。如第4圖所 示，控制液滴吐出裝置U的電性構成是包括控制電腦90 、控制裝置26、及驅動用積體電路1〇〇而構成。 控制電腦90是包括例如CPU (中央處理裝置）、 RAM ( Random Access Memory )及 ROM ( Read Only M e m o r y )等內部記憶裝置、硬碟、c D - R Ο M等外部記憶 裝置、與液晶顯示裝置或CRT ( Cathod Ray Tube )等的 φ 顯示裝置而構成，並依據ROΜ或記憶於硬碟的程式，輸 出用以控制液滴吐出裝置U之動作的控制信號。該控制 電腦90是使用例如電纜（cable)等與控制裝置26連接 〇 控制裝置2 6係包括演算控制部92、驅動信號生成部 94、及計時部（計時機構）96而構成。演算控制部92係 依擄從控制電腦9 0輸入的控制信號及預先記憶於內部的 控制程式，驅動第1移動裝置1 2、第2移動裝置1 4、及 馬達3 0至3 6，同時亦控制設置於加蓋單元22的泵46、 -16- (14) 1247681 ' 56、殘餘量檢測機構62、及大氣開放泵66的動作。 '又，演算控制部92將用以生成各種驅動信號的各種 資料（驅動信號生成用資料）輸出至驅動信號生成部94 ’而該各種驅動信號是用以驅動設置於吐出頭2 0的複數 壓電體元件1 5 0。再者，演算控制部92依據上述控制程 式，生成選擇資料，而輸出至設置於驅動用積體電路100 的切換信號生成部1 02。該選擇資料是由：用以指定成爲 p 驅動信號之施加對象的壓電體元件1 5 0之噴嘴選擇資料； 和用以指定施加於壓電體元件1 5 0之驅動信號的波形選擇 資料所構成。 再者，演算控制部92使用計時部96，來計時利用加 蓋單元22之噴嘴開口密封期間，即吐出頭20加蓋（密封 )於加蓋單元22之蓋子本體40的時間，並依據該計時結 果、保濕液的種類、及蓋子打開後吐出頭20是否有淸潔 等，來控制保濕液槽5 8對於上述空間內部的保濕液供給 Φ 量、或保濕液供給時點。 此外，當保濕液槽5 8內之保濕液的殘餘量爲預定量 以下時，表示其旨意的信號從殘餘量檢測機構6 2輸出至 控制裝置2 6，例如在控制電腦9 0的顯示裝置上出現錯誤 顯示。 -驅動信號生成部94依據上述驅動信號生成用資料， 而生成預定形狀的各種驅動信號，例如生成使液滴吐出的 一般驅動信號、在噴嘴開口 1 1 1中用以使管內液體的彎月 面（meniscus )些微振動的微振動信號等驅動信號，然後 -17- (15) 1247681 ’輸出至開關電路104。 ' 計時部9 6係輸入例如從演算控制部9 2輸出的計時開 始信號及計時時間，開始計時後至計時時間經過時，再輸 出計時完成信號。 驅動用積體電路1 0 0係設置於吐出頭2 0的內部，其 由切換信號生成部1 02及開關電路1 04所構成。切換信號 生成部1 02依據從演算控制部92輸出的選擇資料，而生 φ 成對各壓電體元件1 5 0指示導通/非導通的切換信號，然 後’輸出至開關電路1 04。開關電路1 04係設置於各壓電 體元件1 5 0 ’而將藉由切換信號所指定的驅動信號輸出到 壓電體元件1 5 0。 接著’詳細說明使用上述構成之液滴吐出裝置IJ，在 基板P上形成微陣列 (micro array )後所進行的液滴吐出 裝置IJ的處理方法。 第6圖所示之流程圖的最終步驟，即「印刷機電源 φ 0FF」之處理次序（sequence )，係當操作者切掉電源開 關時、或拔掉插頭（c ο n s e n t )、或停電等電力供應停止 時執行者，以下說明之液滴吐出裝置IJ的處理方法，是 在該「印刷機電源〇 F F」之處理順序中所執行的沖洗（ • flushing )動作處理內實施。 - 第7圖所示之流程圖的步驟S 1中，由計時部96計時 的漬嘴開口密封期間τ重設（reset )爲零，開始進行噴 嘴開口密封期間T的計時。噴嘴開口密封期間τ的重設 及計時開始是在印刷完成後，且噴嘴開口 11被蓋子本體 -18- (16) 1247681 4 0密封（以下，將該密封動作稱爲「加蓋」）之前實施 - 〇 在繼之的步驟S2中，上回的蓋子打開後，即，解除 藉由蓋子本體40之噴嘴開口 1 1 1的密封後，判斷是否已 實施淸潔。這是因爲殘留於吸收材5 0之液體的量會因蓋 子打開後之淸潔的有無而不同，所以應供給至蓋子本體 4 0之保濕液的量也必須改變之故。 g 在步驟S2中，蓋子打開後，已實施淸潔時（判斷結 果爲「Y E S」時），則處理會前進到步驟S 3，判斷保濕液 是否含有一元乙醇。這是因爲保濕液含有一元乙醇時，與 含有多元乙醇時，必須改變保濕液應供給至蓋子本體4 〇 的日寸間間隔、或是否要進行後述之蓋子內抽吸（步驟S 1 4 )之故。 在步驟s 3中’當保濕液含有一元乙醇時（判斷結果 爲「Y E S」時），則處理會前進到步驟S 4，從吸收材50 • 的下方5 0供給1 g的保濕液到蓋子本體40，然後，進行 力口蓋。 在繼之的步驟S 5中，判斷操作者是否有下印刷執行 指令。沒有下印刷執行指令時，處理會前進至步驟s 6， 有下印刷執行指令時，處理會返回呼叫該處理次序之原處 .理次序。 在步驟S 6中，判斷步驟s 1中已開始計時的噴嘴開口 密封期間T是否爲1個月以上。已經經過丨個月以上時（ 判斷結果爲「YES」時），處理會返回步驟S4，再供給 -19 - (17) 1247681 1 g的保濕液到蓋子本體4 0內。相對於此，尙未經 用時（判斷結果爲「Ν Ο」時），則反覆進行該步願 判斷。 在步驟S 3中，當保濕液含有多元乙醇時（判 爲「Ν Ο」）時，處理會前進到步驟s 1 1，從吸收材 50供給1 g ( gram )的保濕液到蓋子本體4〇，然後 加蓋。 在繼之的步驟S 1 2中，判斷操作者是否有下印 指令。沒有下印刷執行指令時，處理會前進到步驟 有下印刷執行指令時，處理會返回呼叫該處理次序 理次序。 在步驟S 1 3中，判斷步驟s 1中已開始計時的 口密封期間T是否爲0 · 5個月以上。已經經過〇. 5 上時（判斷結果爲「Y E S」時），處理會前進到S 動第1泵46，經由第1連通管44，將蓋子本體40 、減壓（供給負壓），而進行防止噴嘴開口 1 1 1之 蓋子內抽吸。然後，解除藉由蓋子本體 4 0之噴 1 1 1的密封（步驟S 1 5 )’接著，處理會再返回步 ，再供給1 g的保濕液到蓋子本體40內。 相對於此，在步驟S 1 3中，未經過0 · 5個月時 結果爲「N 0」），則反覆進行步驟1 3的判斷。 此等步驟1 1至步驟1 5之處理，與步驟S4至 理不同是因爲當保濕液含多元乙醇時’將保濕液供 子本體4 0後，經過預定時間時’保濕液會從噴 過1個 委S6的 斷結果 的下方 ，進行 刷執行 S 1 3， 之原處 噴嘴開 個月以 丨14，驅 內抽吸 堵塞的 嘴開口 驟 S 1 1 (判斷 S 6之處 給至蓋 嘴開口 -20- (18) 1247681 1 1 1吸收吐出頭2 〇側的水分，所以將保濕液的補充間隔 ' 相對地設得較短（步驟S 6、S 1 3 )，然後先實施蓋子內抽 吸處理（步驟S 1 4 )的話較爲理想之故。 在步驟S2中，蓋子打開後，沒有實施淸潔時（判斷 結果爲「Ν Ο」時），處理會前進至步驟S 2 1，判斷保濕液 是否有含1元乙醇。這是因爲保濕液含有一元乙醇時，與 含有多元乙醇時，必須改變保濕液應供給至蓋子本體4〇 φ 的時間間隔、或是否要進行後述之蓋子內抽吸（步驟s 1 4 )之故。 在步驟S 2 1中，當保濕液含有i元乙醇時（判斷結果 爲「YES」時），處理會前進到步驟S22，從吸收材的下 方5 0供給0 · 5 g的保濕液到蓋子本體4 〇，接著，進行加 蓋。該處理中’保濕液的供給量設得比步驟S4、S7之1 g少的原因是由於相較於蓋子打開後已實施淸潔的情形， 會有更多的保濕液殘留於加蓋內之故。 φ 在繼之的步驟S 2 3中，判斷操作者是否有下印刷執行 指令。沒有下印刷執行指令時，處理會前進至步驟s 24， 有下印刷執行指令時’處理會返回呼叫該處理次序之原處 理次序。 _ 在步驟S 2 4中，判斷步驟s 1中已開始計時的噴嘴開 _ 口密封期間T是否爲1個月以上。已經經過1個月以上時 (判斷結果爲「YES」時），則處理會前進到S4，再供給 1 g的保濕液到蓋子本體4 0內。相對於此，未經過丨個月 時（判斷結果爲「NO」），則反覆進行步驟24的判斷。 -21 - (19) 1247681 在步驟S 2 1中，當保濕液含有多元乙醇時（判斷結果 - 爲「N 0」）時，處理會前進到步驟S 3 1，從吸收材的下方 5 〇供給0.5 g的保濕液到蓋子本體4 0，接著，進行加蓋。 然後，處理會前進到上述步驟S 1 3。 蓋子打開後，沒有實施淸潔時（在步驟S2的判斷結 果爲「N 0」），最初供給至蓋子本體4 0之保濕液的量爲 〇 · 5 g已足夠，之後，未經過0 · 5個月或1個月以上是則 B 不再供給，所以其供給量與已實施淸潔時（步驟S 2的判 斷結果爲「YES」）同樣，係設定爲1 g。 如上所述，本實施型態中，保濕液供給至噴嘴形成面 和蓋子本體4 0所形成之空間內部的作業，可從設置於基 底1 〇上的保濕液槽5 8，經由第2連通管54，從蓋子本體 4 〇的底面部4 0 b來進行，所以不會導致作爲移動體之吐 出頭2 0周邊的重量增加或大型化。因此，可避免作爲驅 動源之馬達3 0、3 2、3 4、3 6的高成本化，同時可有效地 φ 防止吐出頭2 0之噴嘴開口 Π 1的堵塞。 又，由於保濕液是從吸收材5 0的下方供給，而不是 從吐出頭2 0側供給，故進行保濕液供給時，不需將加蓋 單元2 2 —次一次地從吐出頭2 0分離，而可在密封噴嘴開 口 1 1 1的狀態下直接進行。因此，供給保濕液時，可不需 _ 移動吐出頭2 0。又，即使噴嘴開口密封期間很長，可在 密封狀態下定期地供給保濕液，因此，亦可降低淸潔的次 數，亦可延長淸潔單元24所具備之擦拭器（wiper )的壽 命。 -22 - (20) (20)1247681 由於在印刷完成後的沖洗（flushing )動作中，將蓋 子打開後之淸潔的有無、或保濕液是否含1元乙醇，加到 控制時的判定要素，所以可依據吸收材5 〇乾燥的程度， 適當地控制保濕液的供給量或供給間隔（interval )，故 可極力抑制保濕液的浪費，而且可有效地防止噴嘴開口 1 1 1的堵塞等。 〔裝置製造方法、及電子機器〕 以上’說明關於本發明實施型態之液滴吐出裝置的處 理方法’而該液滴吐出裝置可使用在形成膜的成膜裝置、 形成金屬配線等配線的配線裝置、或製造微透鏡陣列（ micro lens array)、液晶顯示裝置、有機電激發光裝置、 電漿型顯示裝置、電場發射顯示器（FED: Field Emission Display)等裝置之裝置（device)製造裝置。 使用上述液滴吐出裝置，在作爲工件的基板P上，吐 出液滴而形成圖案後，沒有進行圖案形成而且經過預定期 間時，可在維持噴嘴開口之密封的狀態下直接將保濕液供 給到密封部內，故供給保濕液時可不需移動液低吐出頭， 因此，不會導致良率降低，可以良好效率製造裝置，且可 降低裝置的製造成本。 上述液晶裝置、有機電激發光裝置、電漿型顯示裝置 、FED等裝置，係設置於筆記型電腦及攜帶電話等電子機 器。然而，電子機器並不侷限於上述筆記型電腦及攜帶電 話，亦可適用於各種電t機器。例如’液晶投影機、應用 -23- (21) (21)1247681 多媒體的個人電腦（PC )及工程型工作站（Engineering Work Station; EWS)、傳呼機（pager)、文字處理器（ word processor)、電視、取景器（viewfinder)型或監視 器直視型錄放影機（v i d e 〇 t a p e r e c 〇 r d e r )、電子記事簿 、電子桌上型計算機、汽車導航（Car Navigator )裝置、 P〇S終端、具備觸控式面板的裝置等電子機器。 又，加蓋裝置的構成並不侷限於上述第3圖所示之加 蓋單元22，亦可爲如第5圖所示之構成。 第5圖所示之加蓋單元80，將與大氣開放泵66連接 的第3連通管72、與第2泵連接的第2連通管73、及與 第1泵46連接的第1連通管74，延長至貫通吸收材50， 同時，將第1及第3連通管74、72的開口端74a、72a配 置在高於吸收材50上面的位置，且高於第2連通管73之 開口端7 3 a的位置。在該形態中，開口端7 3 a的高度位置 係與吸收材5 0的上面齊平而設置。 藉此構成，由於驅動第1泵46以將蓋子本體40內抽 吸、減壓時，可有效地防止吸收至吸收材5 0的保濕液從 第1連通管74的開口端74a受到抽吸，故可良好地保持 吸收材5 0的濕潤狀態。又，供給保濕液時，可防止經由 第2連通管7 3，供給至蓋子本體4 0內的保濕液從第3連 通管7 2的開口端7 2 a向大氣開放，故可抑制保濕液的浪 費。再者，附.著於吸收材5 〇的液體，因來自第1連通管 74的空氣或液體的逆流、及來自第3連通管72向大氣開 放時的空氣供給，可有效地防止氣泡化，故氣泡不會附著 -24- (22) (22)1247681 於噴嘴形成面，而不需多餘的淸潔動作。 【圖式簡單說明】 第1圖是表示本發明之一實施型態之液滴吐出裝置的 槪略構成之斜視圖。 第2圖是表示吐出頭之主要部位的透視圖。 第3圖是表示加蓋單元的構成圖。 第4圖是表示本發明之一實施型態之液滴吐出裝置的 電性功能構成之方塊圖。 第5圖是表示加蓋單元之其他實施型態的主要部位圖 〇 第6圖是表示電源開關爲ON之後至OFF爲止的整體 步驟的流程圖。 第7圖是表示加蓋處理的詳細內容之流程圖。 【主要元件符號說明】 2 0 :吐出頭（液滴吐出頭） 22、80 :加蓋單元（加蓋裝置） 26 :控制機構 40 :蓋子本體（密封部） 5 0 :吸收材 5 8 :保濕液槽 96 :計時部（計時機構） 1 1 1 :噴嘴開口 -25- (23)1247681 IJ :液滴吐出裝置 P :基板（工件）

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Claims (1)

1. (1) Ϊ247681 十、申請專利範圍 1 · 一種液滴吐出裝置，具備：液滴吐出頭，其在噴 嘴形成面具有將預定液體呈液滴狀吐出的噴嘴開口；和加 鸯裝置，其具有用以密封該液滴吐出頭之至少上述噴嘴開 口的密封部， 其特徵爲： 具備保濕液供給機構，用以將對於上述液體的保濕液 % 供給至由上述噴嘴形成面和上述密封部所形成的空間內部 ’同時該保濕液供給機構係連接於上述密封部側。 2 ·如申請專利範圍第1項之液滴吐出裝置，其中， 上述保濕液對於設置於上述密封部內的吸收材，是從設置 上述液滴吐出頭之側的相反側供給。 3 .如申請專利範圍第1項之液滴吐出裝置，其中， 具備：計時機構，用以計時藉由上述加蓋裝置之噴嘴開口 密封期間；和控制機構，其依據上述保濕液的種類，控制 φ 該保濕液供給至上述空間內部的時點。 4.如申請專利範圍第2項之液滴吐出裝置，其中， 具備··計時機構，用以計時藉由上述加蓋裝置之噴嘴開口 密封期間；和控制機構，其依據上述保濕液的種類，控制 該保濕液供給至上述空間內部的時點。 . 5 · 一種液滴吐出裝置之處理方法，具備：液滴吐出 頭’其在噴嘴形成面具有將預定液體呈液滴狀吐出的噴嘴 開口，和加蓋裝置，其具有用以密封該液滴吐出頭之至少 上述噴嘴開口的密封部；和保濕液供給機構，其將對於上 -27- (2) 1247681 述液體的保濕液供給至由上述噴嘴形成面和上述密封部所 ' 形成的空間內部， 其特徵爲： 包括藉由上述加蓋裝置密封上述噴嘴開口後，將上述 保濕液供給至上述空間內部的步驟。 6 · —種裝置製造方法，具備在預定部位形成具有功 能性圖案的工件，其特徵爲包括下列步驟： # 使用申請專利範圍第1至4項中任一項之液滴吐出裝置 所具備的液滴吐出頭、或申請專利範圍第5項之液滴吐出 裝置之處理方法中所使用的液滴吐出頭，在上述工件上， 將上述預定液體呈液滴狀吐出，而形成上述圖案的步驟； 和藉由上述加蓋裝置密封上述噴嘴開口後，將上述保濕液 供給至上述空間內部的步驟。

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