TW575587B - Method for carrying out photoinitiated reaction - Google Patents
Method for carrying out photoinitiated reaction Download PDFInfo
- Publication number
- TW575587B TW575587B TW090118993A TW90118993A TW575587B TW 575587 B TW575587 B TW 575587B TW 090118993 A TW090118993 A TW 090118993A TW 90118993 A TW90118993 A TW 90118993A TW 575587 B TW575587 B TW 575587B
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- photoinitiator
- patent application
- item
- phenyl
- bis
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 60
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 title claims abstract description 36
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 21
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 21
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 11
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims abstract description 5
- -1 vinyl-substituted dioxane ring Chemical group 0.000 claims description 23
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 18
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 11
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 10
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 9
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 claims description 8
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 claims description 7
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 5
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 claims description 5
- UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N Sulphide Chemical compound [S-2] UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N toluene-4-sulfonic acid Chemical compound CC1=CC=C(S(O)(=O)=O)C=C1 JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000003377 acid catalyst Substances 0.000 claims description 3
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 claims description 3
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical group C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000012965 benzophenone Substances 0.000 claims description 2
- 150000002902 organometallic compounds Chemical class 0.000 claims description 2
- 239000012952 cationic photoinitiator Substances 0.000 claims 3
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 claims 2
- VNQXSTWCDUXYEZ-UHFFFAOYSA-N 1,7,7-trimethylbicyclo[2.2.1]heptane-2,3-dione Chemical compound C1CC2(C)C(=O)C(=O)C1C2(C)C VNQXSTWCDUXYEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- SJEBAWHUJDUKQK-UHFFFAOYSA-N 2-ethylanthraquinone Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(CC)=CC=C3C(=O)C2=C1 SJEBAWHUJDUKQK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- XMLYCEVDHLAQEL-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one Chemical compound CC(C)(O)C(=O)C1=CC=CC=C1 XMLYCEVDHLAQEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- SUAYFRHPQLERMW-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1,2-diphenylpropan-1-one Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(C)(C)C(=O)C1=CC=CC=C1 SUAYFRHPQLERMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- LWRBVKNFOYUCNP-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1-(4-methylsulfanylphenyl)-2-morpholin-4-ylpropan-1-one Chemical compound C1=CC(SC)=CC=C1C(=O)C(C)(C)N1CCOCC1 LWRBVKNFOYUCNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N Dihydrogen sulfide Chemical class S RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- BDAHDQGVJHDLHQ-UHFFFAOYSA-N [2-(1-hydroxycyclohexyl)phenyl]-phenylmethanone Chemical compound C=1C=CC=C(C(=O)C=2C=CC=CC=2)C=1C1(O)CCCCC1 BDAHDQGVJHDLHQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- KETHGCAFPAQWSK-UHFFFAOYSA-N [2-[4-(4-methylphenyl)sulfanylphenyl]phenyl]-phenylmethanone Chemical compound CC1=CC=C(C=C1)SC1=CC=C(C=C1)C1=C(C(=O)C2=CC=CC=C2)C=CC=C1 KETHGCAFPAQWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229930006711 bornane-2,3-dione Natural products 0.000 claims 1
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 claims 1
- LYXOWKPVTCPORE-UHFFFAOYSA-N phenyl-(4-phenylphenyl)methanone Chemical compound C=1C=C(C=2C=CC=CC=2)C=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 LYXOWKPVTCPORE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 claims 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 12
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 abstract 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 abstract 1
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 20
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 12
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 11
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 10
- 238000011161 development Methods 0.000 description 8
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- CSNNHWWHGAXBCP-UHFFFAOYSA-L Magnesium sulfate Chemical compound [Mg+2].[O-][S+2]([O-])([O-])[O-] CSNNHWWHGAXBCP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 6
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 6
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 6
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- WJCCNRRUTSLHLJ-UHFFFAOYSA-N 2-ethenyl-1,4-dioxane Chemical group C=CC1COCCO1 WJCCNRRUTSLHLJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 5
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 description 5
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 5
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 5
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- UIIMBOGNXHQVGW-UHFFFAOYSA-M Sodium bicarbonate Chemical compound [Na+].OC([O-])=O UIIMBOGNXHQVGW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N Vinyl ether Chemical compound C=COC=C QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 4
- 125000000532 dioxanyl group Chemical group 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 238000006552 photochemical reaction Methods 0.000 description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 239000000543 intermediate Substances 0.000 description 3
- 229910052943 magnesium sulfate Inorganic materials 0.000 description 3
- 235000019341 magnesium sulphate Nutrition 0.000 description 3
- 150000004714 phosphonium salts Chemical class 0.000 description 3
- YIKSHDNOAYSSPX-UHFFFAOYSA-N 1-propan-2-ylthioxanthen-9-one Chemical group S1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=CC=C2C(C)C YIKSHDNOAYSSPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SSZWWUDQMAHNAQ-UHFFFAOYSA-N 3-chloropropane-1,2-diol Chemical compound OCC(O)CCl SSZWWUDQMAHNAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 125000002915 carbonyl group Chemical group [*:2]C([*:1])=O 0.000 description 2
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 2
- 238000010538 cationic polymerization reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 2
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 2
- KJIFKLIQANRMOU-UHFFFAOYSA-N oxidanium;4-methylbenzenesulfonate Chemical compound O.CC1=CC=C(S(O)(=O)=O)C=C1 KJIFKLIQANRMOU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001470 polyketone Polymers 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 235000017557 sodium bicarbonate Nutrition 0.000 description 2
- 229910000030 sodium bicarbonate Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 2
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OVFOQDGJPJVPNL-UHFFFAOYSA-N tetrapotassium;butan-1-olate Chemical compound [K+].[K+].[K+].[K+].CCCC[O-].CCCC[O-].CCCC[O-].CCCC[O-] OVFOQDGJPJVPNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 2
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 2
- DSSYKIVIOFKYAU-XCBNKYQSSA-N (R)-camphor Chemical compound C1C[C@@]2(C)C(=O)C[C@@H]1C2(C)C DSSYKIVIOFKYAU-XCBNKYQSSA-N 0.000 description 1
- VSRMDJXITMVPNC-UHFFFAOYSA-N 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethanol Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OC)(OC)C(O)C1=CC=CC=C1 VSRMDJXITMVPNC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LBLYYCQCTBFVLH-UHFFFAOYSA-N 2-Methylbenzenesulfonic acid Chemical compound CC1=CC=CC=C1S(O)(=O)=O LBLYYCQCTBFVLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GJCOSYZMQJWQCA-UHFFFAOYSA-N 9H-xanthene Chemical compound C1=CC=C2CC3=CC=CC=C3OC2=C1 GJCOSYZMQJWQCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 241000723346 Cinnamomum camphora Species 0.000 description 1
- OAZWDJGLIYNYMU-UHFFFAOYSA-N Leucocrystal Violet Chemical compound C1=CC(N(C)C)=CC=C1C(C=1C=CC(=CC=1)N(C)C)C1=CC=C(N(C)C)C=C1 OAZWDJGLIYNYMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- 206010070834 Sensitisation Diseases 0.000 description 1
- 238000003848 UV Light-Curing Methods 0.000 description 1
- DBHQYYNDKZDVTN-UHFFFAOYSA-N [4-(4-methylphenyl)sulfanylphenyl]-phenylmethanone Chemical compound C1=CC(C)=CC=C1SC1=CC=C(C(=O)C=2C=CC=CC=2)C=C1 DBHQYYNDKZDVTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 238000005844 autocatalytic reaction Methods 0.000 description 1
- MVIOINXPSFUJEN-UHFFFAOYSA-N benzenesulfonic acid;hydrate Chemical compound O.OS(=O)(=O)C1=CC=CC=C1 MVIOINXPSFUJEN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 description 1
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 description 1
- 229960000846 camphor Drugs 0.000 description 1
- 229930008380 camphor Natural products 0.000 description 1
- 150000001728 carbonyl compounds Chemical class 0.000 description 1
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 1
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 description 1
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 1
- 239000011353 cycloaliphatic epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000010511 deprotection reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 150000002012 dioxanes Chemical class 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 1
- 238000004299 exfoliation Methods 0.000 description 1
- FWQHNLCNFPYBCA-UHFFFAOYSA-N fluoran Chemical compound C12=CC=CC=C2OC2=CC=CC=C2C11OC(=O)C2=CC=CC=C21 FWQHNLCNFPYBCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DWYMPOCYEZONEA-UHFFFAOYSA-L fluoridophosphate Chemical compound [O-]P([O-])(F)=O DWYMPOCYEZONEA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 150000007857 hydrazones Chemical class 0.000 description 1
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 1
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- QDLAGTHXVHQKRE-UHFFFAOYSA-N lichenxanthone Natural products COC1=CC(O)=C2C(=O)C3=C(C)C=C(OC)C=C3OC2=C1 QDLAGTHXVHQKRE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012669 liquid formulation Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- AHHWIHXENZJRFG-UHFFFAOYSA-N oxetane Chemical compound C1COC1 AHHWIHXENZJRFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002921 oxetanes Chemical class 0.000 description 1
- MPQXHAGKBWFSNV-UHFFFAOYSA-N oxidophosphanium Chemical compound [PH3]=O MPQXHAGKBWFSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 150000004965 peroxy acids Chemical class 0.000 description 1
- ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N phenylbenzene Natural products C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000886 photobiology Effects 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 1
- 239000002685 polymerization catalyst Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000002062 proliferating effect Effects 0.000 description 1
- 238000005510 radiation hardening Methods 0.000 description 1
- 238000010526 radical polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007348 radical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007152 ring opening metathesis polymerisation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000002390 rotary evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008313 sensitization Effects 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 238000010189 synthetic method Methods 0.000 description 1
- 230000008685 targeting Effects 0.000 description 1
- YRHRIQCWCFGUEQ-UHFFFAOYSA-N thioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC=CC=C3SC2=C1 YRHRIQCWCFGUEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F2/00—Processes of polymerisation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F2/00—Processes of polymerisation
- C08F2/46—Polymerisation initiated by wave energy or particle radiation
- C08F2/48—Polymerisation initiated by wave energy or particle radiation by ultraviolet or visible light
- C08F2/50—Polymerisation initiated by wave energy or particle radiation by ultraviolet or visible light with sensitising agents
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/0045—Photosensitive materials with organic non-macromolecular light-sensitive compounds not otherwise provided for, e.g. dissolution inhibitors
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
- G03F7/028—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with photosensitivity-increasing substances, e.g. photoinitiators
- G03F7/031—Organic compounds not covered by group G03F7/029
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
- G03F7/2022—Multi-step exposure, e.g. hybrid; backside exposure; blanket exposure, e.g. for image reversal; edge exposure, e.g. for edge bead removal; corrective exposure
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/038—Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Polymerisation Methods In General (AREA)
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
Description
五、發明説明(1 ) 本發明係關於光引發反應,例如硬化和聚合反應,特別 是光聚合物技術中所使用的UV硬化;以及關於光引發之 成色反應。 在UV硬化技術的成長領域中,最重要的應用之一是在 光成像方面。即使是照相技術的產生,藉由曝光方式來獲 得影像的嶄新和創新方法仍不停地被探索。即使是鹵化銀 方法本身,此種仍然爲照相主流的方法也不斷的在進行改 變,例如當引入T-顆粒乳濁液時。 雖然光聚合物技術在過去二十年已做了許多改進,但這 些方法的感光度與鹵化銀方法的感光度相比仍然非常有限 。光聚合物科學中的一項主要目標就是希望能趨近鹵化銀 的感光度。 使光聚合物之總量產率提高到一以上的基本方法有兩種 。第一種爲在最商業化的自由基UV硬化系統中慣於使用 的丙烯酸酯化學。這裡所提的方法即爲鏈反應。任何被吸 收且被引發劑原子團轉換成自由基的光子能夠非常快速地 轉換許多可聚合的分子。因此,這種方法的總量產率相當 高,但仍無法與鹵化銀的產率相比。 第二種改善光聚合物總量產率的基本方法之實例爲陽離 子硬化系統。在這種案例中,被吸收的光子將產生一種催 化單體,其能夠催化聚合反應、交聯作用,或甚至於分子 分裂。這種技術又被稱爲可生成π活的聚合物π,只要基質 單體分子仍有效,它就可以持續成長。然而,這些反應與 自由基方法的鏈反應相比,其速率仍相當慢。此外,雖然 五、發明説明(2 ) 已反應分子之總量產率的理論値趨近於無窮大,但由於成 影區域外之活性物種擴散的緣故,這些緩慢的反應將會限 制空間的解析度。 光聚合物成像的限制多是來自將足夠數目的光子傳送至 成像區域所要花費的總時間。要傳送大量不規則的光子相 當容易。結合使用高功率燈具、簡單的反射器和輸送帶就 可以達到這個目的。對於成像而言,光線必須以被控制的 方式來瞄準及傳送,爲了對準來自任何燈具的光線,會實 質上失去光線的強度。光學元件和甚至光器具的後續使用 是用來使來自非常強效燈具的有效光子的產率降低至相當 低的程度。 在此領域中已開始發展使用雷射。雖然,可見光或UV 雷射所傳送的能量相當低,但內在瞄準及在既定波長下所 傳送的光子強度皆可使得雷射成爲一種有用的光源。利用 電腦引導的光束操控以及配合鏡子的使用,使其得以排除 使用光器具,並且進一步的增進光化學可用之光子數量。 然而,這些改善只是逐步增加,而雷射成像光聚合物方 法的發展仍很緩慢。鹵化銀方法藉由顯影步驟而可達到最 高的總量產率。光化學的真實效率與鏈反應方法相比是相 當低的。只有在鹵化銀乳濁液被開發出來時’才使得卓越 的自催化顯影化學得以改善總量產率。無論銀在何處生成 ,銀有效的加速了顯影反應,而這又使其生成更多的銀。 因此,單一的一個光子可以生成許多個銀原子,並且,由 於顯影程序中所發生的增生反應,而可達到非常高的總量 -4- 五、發明説明(3 ) 產率。 本發明的目之一是大幅提高用於光聚合物成像之光化學 反應的效率。本發明的某一方面是要提供一種進行光引發 聚合作用和/或基質交聯作用的方法,其包括提供一種含 有可聚合和/或可交聯組成物的反應基質和一種潛在光引 發劑’將此光引發劑予以活化,並且將反應基質組成物與 其中的光引發劑曝露在光反應的條件下,其中光化輻射將 使得組成物進行聚合和/或交聯作用。 在另一方面,本發明係提供一種進行光引發反應的方法 ’包括將選自可聚合和/或可交聯之組成物以及一種變色 物質施用於擔體上,將隨著反應物質施用之潛在光引發劑 予以活化’並且接著使其中帶有光引發劑的反應物質曝露 於光反應的條件下,其中,光化輻射將使該物質分別進行 聚合和/或交聯或者是變色反應,由於反應物質在此方法 的至少一個階段中被曝光於光化輻射的環境中,因此它的 組成將局部改質,使得所得之聚合和/或交聯組成物或變 色物質將與其在擔體上物質改質部分的分佈位置相對應。 對於上述以鹵化銀乳濁進行自催化顯影化學之觀念了解 後,就可建立一種在光聚合物成像領域的類似可行方法。 雖然還沒有類似性質之自催化反應被商業開發,但已發現 有類似的擴大步驟可引入光聚合物領域。 雖然本發明原理也可應用於彩色化合物或是發色團本身 ,但在交聯和/或聚合物程序中可想像到會發生變色現象 ,而使得發生反應的區域得以辨識出來。在這方面,白晶 五、發明説明(4 ) 紫(leuco crystal violet)爲相當重要的發色團(潛在成色劑 通常被稱爲”無色染料Ί。本發明原理可應用之其它無色染 料還包括無色氧雜蒽和無色螢烷。 潛在光引發劑最常爲一種被保護的光引發劑,其保護效 果將在初步狀況下所發生的反應中被去除。此類的初步狀 況較好能包括在曝露於光化輻射的狀況下使用一種光引發 劑,而此種光引發劑能夠與潛在光引發劑互相影響,而使 得潛在光引發劑轉變成它的基本光引發劑。除了特別提及 ’·本發明中之敘述係以活化潛在光引發劑的此類形式爲基 準。因此,在兩種不同波長的光化輻射之應用中,總共須 包括兩種光反應。特別是在第一個或初步的光反應中,可 能使用一種低能量來源的光化$g射,其係用來達成基質的 成像曝光;.至於第二光反應則是施用高劑量的光化輻射, 其中基質被聚合和/或交聯。在施用低能量來源之光化輻 射時,以使用雷射直接成像爲佳。 因此,本發明之方法使用了 一種擴大步驟,係在初步反 應(以光化學反應爲佳)之後,接著進行第二光化學反應。 在這方面,Bradley等人近年來在光化學及光生物學期刊 A:化學1 00( 1 996)第109-118頁中所發表的硏究係針對乙 烯基-二噁茂烷基單體的開發,其可用來做爲替代傳統上 陽離子UV硬化單體所用之乙烯醚。此類材料爲(2,2’_二苯 基-4-甲撐基-1,3-二噁茂烷): $75587 五、發明説明(5 )
乙烯基二噁茂烷結構可由一種酮光引發劑起始原料來生 成,雖然還有其它的方法也可用來製造此種結構。 在上述文獻所報導的實驗中說明了 :使用陽離子物種及 此類乙烯基-二噁茂烷的酸催化光聚合反應並不是經由一 種簡單的陽離子聚合反應來進行,而是經由一種類似 ROMP(開環交換聚合反應)的方法來進行,其中生成一種 酮,它在第二光反應中係用來做光引發劑。
乙烯基-二噁茂烷表現的像是一種酮縮醇保護的羰基化 合物,並且當二噁茂烷的環被打開時,此方法將生成一種 聚酮,二噁茂烷的環會生成理論母酮(theoretical Parent ketone)。在被報導的實驗中,所使用的酮爲苯甲酮,它是 用於丙烯酸酯聚合反應的一種知名光引發劑。 類似的硏究結果發現,相同化合物的自由基聚合反應會 -7- 575587 五、發明説明(6 ) 造成理論母酮的光生成。
+
FK 單體 0
聚酮 之引 劑及介於如苯偶醯二甲基縮醇的簡單已知材料到如二碘丁 氧基螢光酮(一種用於立體平版印刷法的可見光活性光引 發劑)的特異材料之間的共引發劑(co-initiator)。當製成所 需乙烯基-二噁茂烷之形式時,所得之化合物係扮演”潛在 光引發劑’’的角色,能夠在催化量之酸形成的時候或者是 藉著進行中的自由基反應,被低劑量的UV光激發。# _ 化合物的實例爲: 575587
五、發明説明(8 ) 基本乙醒和1-經基-環己基苯基醒’和2 -經基-2-甲基-1-苯 基-丙-1 -酮及其醚類。 一般而言,在達成潛在光引發劑的轉化時,雖然也可用 ^ -磺醯氧酮來做爲陽離子製酸光引發劑,較好是使用陽 離子製酸光引發劑,如毓鹽和鏺鹽以及鹽類型態的有機金 屬化合物。這些化合物的示範性實例如下: 雙[4-(二苯基磺基)-苯基]硫化物、雙-六氟磷酸鹽或雙_ 六氟銻酸鹽選擇性的與一種單-或多[4-(苯基硫二苯基)毓 六氟磷酸鹽或六氟銻酸鹽化合 雙[4-(二(4-(2-羥乙基)苯基)磺苯基)硫化物雙-六氟磷酸 鹽 雙[4-(二(4-(2-羥乙基)苯基)磺苯基)硫化物雙-六氟銻酸 鹽 (7? 5-254-(茂基)[(1,2,3,4,5,6- )-(甲基乙基)-苯]-六氟磷 酸鐵(Π ) 4-異丙基-4-甲基二苯基鐵或二苯基鐺六氟磷酸鹽或是 四-(五氟苯基)硼酸鹽,以及 2-羥基-2-苯基-3-甲苯磺氧基丙醯苯酮。 相當多種的配方亦爲可能的選擇。 通常對陽離子製酸光引發劑而言,其用量爲所施用材料 之重量的〇·25到3%之間。對於潛在引發劑而言’實際的 操作範圍則是所施用材料之重量的3到1 0%之間。 儘管這種方法並不能完全符合鹵化銀方法所得之感光度 ,但是它可使所獲得之產品大幅提高光化輻射硬化成像方 -10- 五、發明説明(9) 法中的生產率。實務的經驗顯示,它特別方便在UV範圍 內操作。以乙烯基-二噁茂烷潛在光引發劑和上述的製酸 光引發劑,可在第一光化學反應中使用相當短波長的UV 輻射,並且在第二光化學反應中使用較長波長的UV-輻射 體,或者反之亦然。 實現本發明的第二種程序是用於連續建立技術(S B U)之 可光成像墨水領域,其中以陽離子系統爲較佳,因爲它們 具有較好的物理性質。這種程序說明了本發明方法的多樣 性。可以二噁茂烷環保護形式被製造的材料之一爲異丙基 硫代氧雜蒽酮(ITX)。硫代氧雜蒽酮特別適合用來做爲鏺 鹽的敏化劑。鏺鹽本身爲陽離子聚合反應用之酸觸媒的生 成劑,它們被用於自敏化系統中的可能性是顯而易見的, 並且提供了一種提高總量產率的方式。鏺鹽在成像方式中 直接進行的初始輻射作用將導致少量酸聚合觸媒的生成。 當以近可見光輻射來大量照射時,所得之薄膜對於自加速 反應相當敏感。這樣的結果提高了感光度,故打開了以雷 射直接成像於可光成像之SBU介電元件上的途徑。這種 技術的一個實例將列舉於附圖2中所示之流程圖中。 相同觀念的第三個實例可見於二噁茂烷的自由基分裂反 應。如果將一種只對短波光線敏感的自由基引發劑與丙烯 酸單體、丙烯酸預聚合物和潛在引發劑配方在一起,潛在 引發劑對較長的波長才敏感,則所得之混合物可以被曝光 ,而產生一種自加速反應。 使用潛在光引發劑的另一個實例是在印刷電路板工業。 -11, 575587 五、發明説明(1G )
當所生產電路板的體積不斷的快速增加,就開始要考量電 路板製造程序對於環境的衝擊,特別是蒸氣的排放,因爲 它們很難控制、收集和再處理。液體光可成像焊料光罩 (LPISM)方法之施用(以各種塗佈方法)對於產生有機蒸氣 的排放要負很大的責任。在這種方法中,印刷電路板被一 種液體配方完全塗佈,其可在烤箱中進行乾燥,而製成一 種光敏性的塗層。藉由水性的碳酸鹽或者是有機溶劑使塗 層成像曝光及後續進行的顯影,將允許光罩中形成開孔, 以便於元件和連接器的配置。這種技術的一個實例將列舉 於附圖3中所示之流程圖中。 面對著日益嚴格之管理要求,對於減少或消除蒸氣排放 之控制技術也變的相當重要。有少數製造商嚐試將水可還 原之LPISMs引入市場,但是相對於傳統以溶劑爲基質之 產品,其技術上仍屬弱勢。
結合使用光酸生成引發劑(陽離子引發齊彳)和一種二噁茂 烷保護之丙烯酸酯引發劑,可形成一種1〇〇°/。固體的 LPISM配方。此種系統的優點在於不會造成蒸氣的排放。 此種在酸催化時不會產生曝光剝落的現象同時仍可顯影的 100%固體配方,可依照本發明的教導來製造。所製成的 LPISM可以UV乾燥,予以加熱以使得固化方法得以完全 ,並且確使完全的去保護。它可以再次曝光以使得配方成 像,並且被顯影,並且以此工業熟習的方式予以硬化。二 噁茂烷保護之潛在光引發劑係用來在成像步驟期間保護自 由基引發劑,而此時塗層正被UV乾燥。 -12- 575587 五'發明説明(π ) 有許多種方法可用來進行uv乾燥。乙烯醚、環脂族環 氧樹脂和oxetane化合物可用來做爲可聚合之溶劑。或者 是,以此種材料做爲官能化樹脂的交聯劑。也可利用使用 反應性樹脂,和以陽離子反應來增進樹脂分子量的方式來 進行。最後,可以使用一種乙烯醚官能樹脂,並且在陽離 子的狀態下使它與一種羥官能基溶劑反應,或者反之亦然 。此種技術可以下列方式來表示: -13- 575587 五、發明説明(12 ) 以乙烯醚 做爲溶劑 Η
OR OR 〇R
固態乙烯醚聚合物
以 oxetane Η·
固態聚醚
化合物做爲溶劑 ΪΓ
Or*
酸催化控制分子量之 增進反應的一個實例
R-^OH
iC
藉由與聚合物反應來進行 酸催化吸收溶劑的一個實例 -14- 五、發明説明(13 ) 此種LPISM技術的整個使用方式將藉由附圖4所示之 流程實例將加以總結。 同樣的,其亦可應用於可撓性印刷板和其它的成像印刷 系統。 做爲另一個實例,此技術可應用於可見光活性光引發劑 領域。這些引發劑使用的增加係意味著有許多區域多配屬 於紅光區,這些情況形成了非常困難的工作環境。可見光活 性配方可以依此種技術來製造,因此它們在經過UV照射 之後,變得只對可見光敏感。隨著這個結果而產生了實質 的生產和處理之好處。 還有另一種應用是結合高強度準分子雷射燈技術。準分 子雷射燈的近單色輸出之特性能夠輕易的光解在非常厚之 透明膜中的低濃度之對短波敏感的陽離子引發劑。 任何引發劑的低濃度不足以正常的進行聚合反應,雖然 這對於控制厚塗層中的光密度是必須的。因此,厚膜的硬 化只限於某些進行光漂白作用的引發劑,例如氧化醯膦。 以正確的配方,使用低濃度之陽離子引發劑以及二噁茂烷 保護之自由基引發劑將可造成不斷地原地形成自由基引發 劑。因此,由於二噁茂烷相對於它們的母引發劑爲藍光偏 移,光學密度可被控制,在任何時間只有少部分的自由基 引發劑被生成。這個結果再加上這些燈的冷運轉’可使得 這種潛在引發劑技術應用在許多不同的領域。 本文中所述的潛在引發劑並不侷限於藉由光化學方法使 其不被保護的酸性原子團。任何具足夠強度的保護酸’例 -15- 575587 五、發明説明(14 ) 如保護的甲苯磺酸,特別是對甲苯磺酸,將會催化潛在光 引發劑上之二噁茂烷環的崩解。此種可使用之化合物的實 例爲King工業所生產的熱打開保護之保護過酸。在此種 技術上的熱打開保護變種可用於本文中的數個實例,特別 是100%固體LPISM和可見光引發方法的改良處理方式。 總而言之,本文中所槪述的化學提供了以一種指定的合 成方法來進行去活化光引發劑的合成方式,例如藉由羰基 的反應來形成乙烯基官能化的二噁茂烷環,例如,使用一 種以乙烯基官能化二噁茂烷環形態存在之無色羰基做爲潛 在光引發劑。 此技術對於以下的應用方面相當有用。 1. 一次和二次成像(PCB工業)。 2. 可見光引發劑的UV引發的敏化作用。 3 .使得可見光活性配方易於處理。 4.控制厚膜之硬化。 5·改進UV硬化配方的使用期。 以下的實例將說明可用於本發明之方法中的二噁茂烷的 製備方法。 實例1 2-苯基[4-(4-甲基苯基硫)苯基]-4-甲撐基-1,3-二噁茂烷 的合成 在裝有一個Dean and Stark裝置/冷凝器的500毫升圓 底燒瓶中,加入以下材料:25.3 7克的[4-(4-甲基苯基硫) 苯基]苯基酮、9.21克( + / + 3-氯-1,2-丙二醇、0.25克對甲 -16- 575587 五、發明説明(15 ) 苯磺酸單水合物和200毫升的苯。將所得之反應混合物在 大氣壓下進行加熱及迴流,直到反應完全爲止(收集水)。 將所得之反應混合物予以冷卻,並且以200毫升的碳酸 氫鈉溶液加以沖洗,然後再以水沖洗。然後在硫酸鎂之上 乾燥有機層,予以旋轉蒸發並且在減壓狀態下進行蒸餾。
取出經純化的中間體,並且滴入由特丁氧化鉀(22克)溶 於四氫呋喃(5 0克)所製得之迴流溶液中,該溶液係置於一 個體積爲250毫升且裝有分液漏斗及冷凝器的二頸圓底燒 瓶中。在經過1. 5小時添加中間體的步驟之後,將此混合 物再進行迴流一小時。用醚來萃取所得之反應混合物,並 用水沖洗兩次,在硫酸鎂之上進行乾燥並且予以旋轉蒸發 ,而生成了上述標題之目標產物的透明油。 實例2 樟腦之二-乙烯基二噁茂烷衍生物的合成 ’
在裝有一個Dean and Stark裝置/冷凝器的500毫升圓 底燒瓶中,加入以下材料:37.4克的樟腦、50克( + /-)-3-氯-1,2-丙二醇、0.2克對甲苯磺酸單水合物和3 00毫升的 苯。將所得之反應混合物在大氣壓下進行加熱及迴流,直 到反應完全爲止(收集水)。 將所得之反應混合物予以冷卻,並且以200毫升的碳酸 氫鈉溶液加以沖洗,然後再以水沖洗。然後在硫酸鎂之上 乾燥有機層’予以旋轉蒸發並且在減壓狀態下進行蒸餾。 取出經純化的中間體,並且滴入由特丁氧化鉀(5 0克)溶 於四氫呋喃(2 00克)所製得之迴流溶液中,該溶液係置於 -17-
Claims (1)
- 575587 六、申請專利範圍 第90 1 1 8993號「實行光引發反應之方法」專利案 (9 2年2月修正) 六申請專利範圍: 1· 一種實行光引發反應之方法,其包括將選自可聚合 和/或可交聯組成物之反應性基質和一變色物質施用 於擔體上,將隨著反應物質施用之含有乙烯基取代 的二噚烷環並且當被活化時會產生酮之潛在光引發 劑予以活化,並且接著使其中帶有所得到的酮之光 引發劑的反應基質曝露於光反應的條件下,其中, 光化輻射將使該基質分別進行聚合和/或交聯或者是 變色反應,該基質在此方法的至少一階段中被曝光 於光化輻射的環境中,因此它的組成將被就地改質 ,使得所得之聚合和/或交聯組成物或變色物質將與 其在擔體上物質改質部分的分佈位置相對應。 2.如申請專利範圍第 1項之方法,其中潛在光引發劑 係爲二噁茂烷合成二苯酮、2,2 -二甲基-2-苯基苯乙 酮、二乙氧基苯乙酮、1_羥基-環己基-苯酮、2 -羥 基-2-甲基-1-苯基-丙-1-酮、2 -甲基-1-[4-(甲基硫 代)苯基]-2-嗎啉代丙-1-酮、2 -苄基- 2- N,N -二甲胺 基_丨_ ( 4 -嗎啉代苯基)_丨_ 丁酮、異丙基硫雜蒽酮、 樟腦醌、[4 - ( 4 -甲基苯基硫代)苯基]苯酮、4 -苯基 二苯甲酮、2 -乙基蒽醌或二碘丁氧基螢光酮之被保 護二噁茂烷先質。 575587 六、申請專利範圍 3. 如申請專利範圍第1或2項之方法,其中潛在光引 發劑的使用量爲基質重量的3到1 0%之間。 4. 如申請專利範圍第 1或2項之方法,其中聚合和/ 或交聯之組成物係在光引發劑於組成物未進行聚合 反應和/或交聯反應的狀況下進行活化之後,使用光 罩來進行基質組成物的成像曝光,而達成其分佈。5. 如申請專利範圍第1項之方法,其中潛在光引發劑 爲一被保護的光引發劑,並且其保護作用在初步光 反應狀況下所發生的光反應所去除。 6. 如申請專利範圍第 5項之方法,其中初步光反應條 件包括存在一陽離子光引發劑,其可產生一用於打 開潛在光引發劑之保護的酸觸媒。 7. 如申請專利範圍第 6項之方法,其中基本條件組包 括鏺鹽或毓鹽或以及鹽類型態的有機金屬化合物或 是α -磺醯氧酮的存在。8·如申請專利範圍第 7項之方法,其中陽離子光引發 劑係選自: 雙[4 -(二苯基磺基)-苯基]硫化物、雙-六氟磷酸 鹽或雙-六氟銻酸鹽選擇性的與一種單-或多[4 -(苯 基硫二苯基)毓六氟磷酸鹽或六氟銻酸鹽之組合 雙[4 -(二(4 - ( 2 -羥乙基)苯基)磺)苯基]硫化物雙_ 六氟磷酸鹽 雙[4 -(二(4 - ( 2 -羥乙基)苯基)磺)苯基]硫化物雙- 575587 六、申請專利範圍 六氟銻酸鹽 (7? 5-2,4-(茂基)[(1,2,3,4,5,6 - 7/ )-(甲基乙基 )-苯卜六氟磷酸鐵(Π ) 4 -異丙基-4-甲基二苯基鏺或二苯基鏺六氟磷酸鹽 或是 四-(五氟苯基)硼酸鹽,以及 2 -羥基-2-苯基-3-甲苯磺氧基丙醯苯酮。 9·如申請專利範圍第 6到8項中任一項之方法,其中 陽離子光引發劑的使用量爲基質重量的0.25至3% 之間。 10·如申請專利範圍第6到8項中任一項之方法,其中 個別的光反應狀況包括施用兩種明顯不同波長的光 化輻射。 11·如申請專利範圍第1 0項之方法,其中低能量來源 的光化輻射係用來做爲達成成像曝光之初步光反應 條件的一部分,並且大量施用的高劑量光化輻射係 包括於後續的光反應狀況中。 12·如申請專利範圍第1 1項之方法,其中雷射直接成 像被用來施用低能量來源的光化輻射,以使得反應 基質的既定分佈能在後續的光反應狀況中被聚合和/ 或交聯。 13·如申請專利範圍第1 0項之方法,其中光化輻射爲 UV輻射。 575587 六、申請專利範圍 14·如申請專利範圍第1或2項之方法,其中潛在光引 發劑爲一被保護的光引發劑,其保護作用在初步狀 況下被熱去除。 15. 如申請專利範圍第 1 4項之方法,其中初步狀況包 括一化合物的出現,其爲熱可分解而產生一用於打 開潛在光引發劑之保護的酸觸媒。 16. 如申請專利範圍第1 5項之方法,其中該化合物爲 一種被保護的對甲苯磺酸。 17. 如申請專利範圍第1項之方法,其中基質爲丙烯酸 基質。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GBGB0019251.8A GB0019251D0 (en) | 2000-08-04 | 2000-08-04 | Photoinitiated reactions |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW575587B true TW575587B (en) | 2004-02-11 |
Family
ID=9897051
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW090118993A TW575587B (en) | 2000-08-04 | 2001-08-03 | Method for carrying out photoinitiated reaction |
Country Status (15)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7183333B2 (zh) |
EP (2) | EP1772774B1 (zh) |
JP (1) | JP5486141B2 (zh) |
KR (1) | KR100789218B1 (zh) |
CN (1) | CN1468390A (zh) |
AT (1) | ATE343158T1 (zh) |
AU (1) | AU2001276496A1 (zh) |
CA (1) | CA2455220C (zh) |
DE (1) | DE60123965T2 (zh) |
ES (1) | ES2272510T3 (zh) |
GB (1) | GB0019251D0 (zh) |
HK (1) | HK1055800A1 (zh) |
MY (1) | MY136915A (zh) |
TW (1) | TW575587B (zh) |
WO (1) | WO2002012350A2 (zh) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20100030183A1 (en) | 2004-03-19 | 2010-02-04 | Toner John L | Method of treating vascular disease at a bifurcated vessel using a coated balloon |
JP2007536272A (ja) * | 2004-05-07 | 2007-12-13 | ザ・レジェンツ・オブ・ザ・ユニバーシティ・オブ・カリフォルニア | 近視の処置法 |
MX2007014152A (es) * | 2005-05-12 | 2008-03-07 | Waboba Ab | Pelota adecuada para juegos acuaticos. |
JP4993700B2 (ja) * | 2007-03-09 | 2012-08-08 | 国立大学法人 香川大学 | 保護膜およびその製造方法 |
US7931091B2 (en) * | 2007-10-03 | 2011-04-26 | Schlumberger Technology Corporation | Open-hole wellbore lining |
KR100984910B1 (ko) * | 2007-12-26 | 2010-10-01 | 채차식 | 확개형 불꽃장식 조명구 |
JP4632101B2 (ja) * | 2008-07-02 | 2011-02-16 | ソニー株式会社 | 光情報記録媒体 |
US20100003617A1 (en) * | 2008-07-02 | 2010-01-07 | Sony Corporation | Optical information recording medium |
US8394464B2 (en) * | 2009-03-31 | 2013-03-12 | Schlumberger Technology Corporation | Lining of wellbore tubing |
GB2476976A (en) | 2010-01-18 | 2011-07-20 | Lintfield Ltd | Protected aryl ketones and their use as photoinitiators |
GB2477139A (en) | 2010-01-25 | 2011-07-27 | Datalase Ltd | Inkless printing apparatus |
KR200458166Y1 (ko) * | 2010-03-24 | 2012-01-25 | 김송수 | 회전식 절첩 파라솔 |
US8475975B2 (en) * | 2011-06-21 | 2013-07-02 | General Electric Company | Method of recording data in an optical data storage medium and an optical data storage medium |
JP6425479B2 (ja) * | 2014-09-18 | 2018-11-21 | キヤノン株式会社 | 印刷制御装置、印刷制御方法、及びプログラム |
DE102015114094A1 (de) * | 2015-08-25 | 2017-03-02 | Alanod Gmbh & Co. Kg | Reflektierendes Verbundmaterial mit lackiertem Aluminium-Träger und mit einer Silber-Reflexionsschicht und Verfahren zu dessen Herstellung |
WO2018075275A1 (en) * | 2016-10-20 | 2018-04-26 | 3M Innovative Properties Company | Photoinitiators with protected carbonyl group |
EP3824349A1 (en) | 2018-07-19 | 2021-05-26 | Lintfield Limited | Thioxanthone derivatives, composition comprising the same and pattern forming method comprising said composition |
GB202000736D0 (en) | 2020-01-17 | 2020-03-04 | Lintfield Ltd | Modified thioxanthone photoinitators |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4026705A (en) * | 1975-05-02 | 1977-05-31 | General Electric Company | Photocurable compositions and methods |
US4072694A (en) * | 1975-09-15 | 1978-02-07 | Lee Pharmaceuticals | Dioxolane derivatives and use as photoinitiators |
EP0108037B1 (de) * | 1982-10-01 | 1989-06-07 | Ciba-Geigy Ag | Propiophenonderivate als Photoinitiatoren für die Photopolymerisation |
JPS6225179A (ja) * | 1985-07-25 | 1987-02-03 | Sanyo Kokusaku Pulp Co Ltd | 紫外線硬化樹脂組成物 |
KR910000199B1 (ko) * | 1986-04-15 | 1991-01-23 | 시바-가이기 코오포레이숀 | 액체 광개시제 혼합물 |
US4923941A (en) * | 1987-10-28 | 1990-05-08 | American Cyanamid Company | Carboxy-functional polymers and their use as detergent additives |
US5998495A (en) | 1997-04-11 | 1999-12-07 | 3M Innovative Properties Company | Ternary photoinitiator system for curing of epoxy/polyol resin compositions |
JP3798504B2 (ja) * | 1997-04-21 | 2006-07-19 | 富士写真フイルム株式会社 | ネガ型画像記録材料 |
EP0887706A1 (en) * | 1997-06-25 | 1998-12-30 | Wako Pure Chemical Industries Ltd | Resist composition containing specific cross-linking agent |
JPH11269235A (ja) * | 1998-03-20 | 1999-10-05 | Nippon Shokubai Co Ltd | アセタール基含有重合体およびその製法 |
JP2000105945A (ja) * | 1998-09-28 | 2000-04-11 | Taiyo Yuden Co Ltd | 光情報記録媒体 |
TWI234567B (en) * | 1998-11-27 | 2005-06-21 | Hyundai Electronics Ind | Cross-linker for photoresist, and photoresist composition comprising the same |
US6479039B1 (en) * | 1999-07-13 | 2002-11-12 | Woodward Laboratories, Inc. | Antimicrobial artificial nail composition and methods for preparing and using same |
EP1090916B1 (en) * | 1999-10-06 | 2003-09-03 | Dainippon Ink And Chemicals, Inc. | 4-methylene-1,3-dioxolanes having functional groups |
ES2233255T3 (es) * | 2000-08-25 | 2005-06-16 | Dainippon Ink And Chemicals, Inc. | 4-metilen-1,3-dioxolano como agentes reticulantes. |
-
2000
- 2000-08-04 GB GBGB0019251.8A patent/GB0019251D0/en not_active Ceased
-
2001
- 2001-08-03 EP EP06021725A patent/EP1772774B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-08-03 DE DE60123965T patent/DE60123965T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-08-03 US US10/343,782 patent/US7183333B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-08-03 ES ES01954148T patent/ES2272510T3/es not_active Expired - Lifetime
- 2001-08-03 JP JP2002518321A patent/JP5486141B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2001-08-03 EP EP01954148A patent/EP1307783B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-08-03 WO PCT/GB2001/003497 patent/WO2002012350A2/en active IP Right Grant
- 2001-08-03 CA CA2455220A patent/CA2455220C/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-08-03 CN CNA018169201A patent/CN1468390A/zh active Pending
- 2001-08-03 AU AU2001276496A patent/AU2001276496A1/en not_active Abandoned
- 2001-08-03 AT AT01954148T patent/ATE343158T1/de not_active IP Right Cessation
- 2001-08-03 TW TW090118993A patent/TW575587B/zh not_active IP Right Cessation
- 2001-08-03 KR KR1020037001625A patent/KR100789218B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2001-08-03 MY MYPI20013667A patent/MY136915A/en unknown
-
2003
- 2003-11-01 HK HK03107891A patent/HK1055800A1/xx not_active IP Right Cessation
-
2006
- 2006-12-22 US US11/644,529 patent/US8030368B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
HK1055800A1 (en) | 2004-01-21 |
EP1307783B1 (en) | 2006-10-18 |
JP5486141B2 (ja) | 2014-05-07 |
JP2004506070A (ja) | 2004-02-26 |
US8030368B2 (en) | 2011-10-04 |
EP1772774A2 (en) | 2007-04-11 |
ES2272510T3 (es) | 2007-05-01 |
MY136915A (en) | 2008-11-28 |
KR20030040383A (ko) | 2003-05-22 |
DE60123965D1 (de) | 2006-11-30 |
ATE343158T1 (de) | 2006-11-15 |
AU2001276496A1 (en) | 2002-02-18 |
EP1772774A3 (en) | 2009-08-19 |
CA2455220C (en) | 2011-01-11 |
WO2002012350A3 (en) | 2002-08-22 |
KR100789218B1 (ko) | 2007-12-31 |
EP1307783A2 (en) | 2003-05-07 |
GB0019251D0 (en) | 2000-09-27 |
EP1772774B1 (en) | 2012-06-13 |
CN1468390A (zh) | 2004-01-14 |
CA2455220A1 (en) | 2002-02-14 |
US20070185225A1 (en) | 2007-08-09 |
US20040014833A1 (en) | 2004-01-22 |
US7183333B2 (en) | 2007-02-27 |
DE60123965T2 (de) | 2007-06-14 |
WO2002012350A2 (en) | 2002-02-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW575587B (en) | Method for carrying out photoinitiated reaction | |
GB2476976A (en) | Protected aryl ketones and their use as photoinitiators | |
JPH04239505A (ja) | 光重合性組成物 | |
JP4529641B2 (ja) | 感エネルギー線酸発生剤、酸の発生方法、および感エネルギー線硬化性組成物 | |
JP3838234B2 (ja) | 感エネルギー線酸発生剤、酸の発生方法、および感エネルギー線硬化性組成物 | |
JP2002293816A (ja) | 重合性組成物 | |
JP2004149759A (ja) | 光ラジカル重合開始剤及び感光性樹脂組成物 | |
JP4400219B2 (ja) | 感エネルギー線酸発生剤、酸の発生方法、および感エネルギー線硬化性組成物 | |
JP2004176035A (ja) | ラジカル発生剤及び感光性樹脂組成物 | |
JPH04107559A (ja) | 感光性組成物及びそれを用いた硬化像の形成方法 | |
JP2004176034A (ja) | 感光性化合物及び感光性樹脂組成物 | |
JP2006011005A (ja) | 感エネルギー線酸発生剤、酸の発生方法、および感エネルギー線硬化性組成物 | |
JPS6076735A (ja) | 光硬化樹脂組成物 | |
JP4543640B2 (ja) | 感エネルギー線酸発生剤、酸の発生方法、および感エネルギー線硬化性組成物 | |
JP3921010B2 (ja) | ポジ型可視光感光性樹脂組成物及びそれを用いたレジストパターン形成方法 | |
JP2006008587A (ja) | 感エネルギー線酸発生剤、酸の発生方法、および感エネルギー線硬化性組成物 | |
JP2000109509A (ja) | 可視光重合性組成物 | |
JPH04181944A (ja) | 可視光感光性組成物 | |
JP2007246801A (ja) | 感エネルギー線酸発生剤、酸の発生方法、および感エネルギー線硬化性組成物 | |
JP2006008586A (ja) | 感エネルギー線酸発生剤、酸の発生方法、および感エネルギー線硬化性組成物 | |
CN105906613A (zh) | 丙烯酸酯二醇环缩苯乙烯基吡啶鎓盐、其合成及应用 | |
JPS6026126B2 (ja) | 光重合性組成物 | |
JP2000109510A (ja) | 可視光重合性組成物 | |
JPH0370704A (ja) | 光重合開始剤組成物およびそれを用いた光重合性樹脂組成物 | |
JPH0478857A (ja) | 感光性樹脂組成物及び感光性平版印刷版 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MK4A | Expiration of patent term of an invention patent |