[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

TW306936B - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
TW306936B
TW306936B TW084112365A TW84112365A TW306936B TW 306936 B TW306936 B TW 306936B TW 084112365 A TW084112365 A TW 084112365A TW 84112365 A TW84112365 A TW 84112365A TW 306936 B TW306936 B TW 306936B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
layer
double
film
coating
coating film
Prior art date
Application number
TW084112365A
Other languages
English (en)
Original Assignee
Kobe Steel Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kobe Steel Ltd filed Critical Kobe Steel Ltd
Application granted granted Critical
Publication of TW306936B publication Critical patent/TW306936B/zh

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/044—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641—Nitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0664—Carbonitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • C23C30/005—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
    • Y10T428/2495—Thickness [relative or absolute]
    • Y10T428/24967—Absolute thicknesses specified
    • Y10T428/24975—No layer or component greater than 5 mils thick
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
    • Y10T428/264—Up to 3 mils
    • Y10T428/265—1 mil or less

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Description

經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 _______ _B7 五'發明説明（1) 〔產業上之利用領域〕 本發明係關於作爲銑刀加工，切削加工，穿孔加工等 加工所使用切削工具之表面被覆材料；或模具，軸承，鑄 模，輥子等要求高硬度之耐摩損構件之表面被覆材料；或 者成形機用螺絲或汽缸等之耐熱/耐蝕構件之表面被覆材 料爲有用，並提供藉該硬質被膜之被覆而發揮優異耐摩損 性的硬質被膜被覆構件。 〔習知技術〕 高速度工具或超硬合金工具等要求高耐摩損性的切削 工具，係在工具之基材表面形成T i N或T i C等硬質被 膜，以謀求耐摩損性之提高。 比較上述T i N及T i C之耐摩損性，T i N在高溫 區域就耐氧化性方面比T i C爲優，相對於由切削時加工 熱或摩擦熱所產生工具切削面之焊疤（crater )摩損，可 發揮良好的耐摩損性。而圖T i N與基材之黏附性亦優異 。一方面T i C比T i N硬度高，相對於與被切削材料接 觸之刃具側面（f 1 ank )之側面摩損，則具有高耐久性。 然而，即使爲耐氧化性優異之T i N，氧化開始溫度 充其量爲6 0 0 °C左右，又，即使爲具有高硬度之T i C ，其維克斯硬度（Vickers hardness)亦僅2 0 0 0左右 ，總之，耐摩損性之進一步改善爲所期望。 因此，例如日本特開平2 — 1 941 59，其揭示有 以提高T i N或T i C之耐氧化性或硬度爲目的’以A 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） . (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
-4 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 306336 A7 _____B7 五、發明説明（2 ) 置換Ti —部分之A1 ，及Ti之複合氮化物或複合碳氮 化物〔以下以（A 1 ’ T i ) ( C ，N )表示〕，氧化開 始溫度可改善至約8 0 〇。<：，維克斯溫度可改善至 2 5 0 〇左右。 又’本發明人等，以A 1及T i與N之化合物爲主， 將一部份元素與其他元素置換，開發出具有高硬度及良好 耐氧化性之可發揮優異耐摩損性的硬質被膜，已先行提出 專利申請。例如’日本特開平4 — 2 6 7 5 6號公報所記 載之（Ai ’Ti) ( B - N )，氧化開始溫度約800 °C，維克斯硬度爲3400左右。又（A1 ，Ti ，Si )(C’N)膜（曰本特願平6 — 100154)，氧化 開始溫度約1 000 °C，維克斯硬度約3 1 00左右。 但是在要求更高能率化之切削加工等領域，具有更優 異耐摩損性硬質被膜的開開爲所期待。 〔發明欲解決課題〕 本發明爲著服於此等需要而完成者，其目的爲提供一 種可利用至目前爲止所開發硬質被膜之優異特性，並進一 步發揮優異耐摩損性之硬質被膜，再者，亦提供一種被覆 上述硬質被膜於要求高耐摩損性構件的硬質被膜被覆構件 者。 〔解決課題之手段〕 爲達成上述目的之本發明硬質被膜，係形成於基材表 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 一 5 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（3) 面之硬質被膜，具有第一層及第二層’上述第一層形成於 基材側，爲選自A1 ，Ti ，Si所成群之含有A1：^ T i之至少一種以上金屬元素；及選自B ’ C ’ N所成群 之一種以上非金屬元素，之化合物所構成’前述第一層係 疊層於表面側之A 1 BN者。 上述第一層，尤其是使用以下之化學組成式①〜③之 任一所示化合物爲所推薦。 ① （AlaTii_e)(Cb N i-b) 0.25^3^0-75 0 ^ b ^ 0 · 4 ② （AlcTiH) (BaU 〇 . 05^c^0 7 5 〇.02^d^〇-12 ③ （A 1 x T i 卜…S i y ) ( C z N ) 〇.〇5^x^°·75 〇 . 〇 1 ^ y ^ 0 · 1 〇 ^ z ^ 〇 · 4 上述變數a ，b，c ，d，x，y，z均爲原子量化 ο 又，在以下之說明，構成第一層之被膜（選自A1 ， Ti ，Si所成群之含有人1或丁丨之至少一種以上金屬 元素：及選自B，C，N所成群之一種以上非金屬元素之 化合物）總稱爲（A 1，T i，S 1 ) ( B，C ’ N )七 被膜。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) • e*f - — -^1 · 裝. 訂--: 線--- 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) A4規格（210X297公釐）一 6 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 306936 A7 B7 五、發明説明（4 ) 上述硬質被膜之厚度，第一層及第二層一起最好爲 0 . 1〜2 0 vm ’若使上述硬質被膜形成於基材表面， 則可得到耐摩損性優異之硬質被膜被覆構件。 〔作用〕 本發明人等，以使上述（A1 ，Ti ，Si) (B, C ’ N )系被膜之耐摩損性更爲提高爲目的，經銳意檢討 ，結果得知，在上述（A1 ，Ti ，Si) (B，C，N )系被膜表面，以A 1 BN膜作爲保護層形成黏附性良好 ，藉以提高硬質被膜全體之硬度及耐氧化性，可大幅提高 硬質被膜之耐摩損性。 本發明之硬質被膜與習知硬質被膜比較能發揮優異耐 摩損性之理由雖未能充分解明，但可考慮以下之理由。亦 即，將硬度高且耐氧化性優異，摩擦係數小之A 1 B N膜 ，作爲表面層形成在（A1 ，Ti ，Si) (B，C，N )系被膜上爲黏附性良好者，藉以使被膜全體之維克斯硬 度成爲在3 5 0 0以上之高硬度，同時，在要求耐氧化性 之高溫區域，A 1 BN膜中之A 1在被膜表面形成A 1氧 化物所形成之保護被膜，再者，可由形成於其下層之（ A 1 > T i -Si) (B’C，N)系被膜表面之A1氧 化物所成之保護被膜顯著地緻密化》 又，本發明之A1BN被膜具有（A1 ，Ti ，Si )，（B，C，N)系被膜之優異親和性及反應性，故對 基質之（Al，Ti，Si) (B，C，N)系被膜可形 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 一 7 - I----------裝-----* j 訂 ί.----- I. 肩 , (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) S〇^9S6 A7 __ B7 五、發明説明（5 ) 成爲黏附性良好，而且由於不會損及（A 1 ，T i ，S i )(b’c’n)系被膜及基材之黏附性，即使使用於切 削工具或其他耐摩損構件之表面，亦不會在各界面產生剝 離之問題，可獲得充分發揮硬質被膜優異耐摩損性之硬質 被膜被覆構件。 本發明中，A1BN被膜可對基質（A1 ，Ti ，s 1 ) (B，c，N)系被膜形成爲黏附性良好之理由，雖 存有未解明部份，例如依J0URNAL OF HARD MATERIALS (
Vol. 2，No· 3-4，1991，P233 〜243 )，在。81^ — T i A 1 N複合材料之界面，可形成A 1 N，T i N， T i B 2等反應層，在本發明之情況，則考慮到在（A 1 ，Ti，Si)(B，C，N)及A1BN之界面形成 A 1 N，Ti N，S i3N4，Ti B2等所形成之反應層 ，藉此，可使黏附性提高。 本發明並無限定A 1 B N膜之組成，而以 A lp BQ 表示時，p，q 各滿足 〇 0 ISp 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) SO . 3 ，0 . 2SqS〇 . 6之條件較佳。此係因爲p 值未滿0 . 0 1時，由於A 1 BN膜中含有A 1 ，使得硬 度提高效果及黏附性提高效果無法充分得到之緣故，一方 面P值超過0 · 3時，結晶構造從立方晶變成與A 1 N相 同之六方晶，造成被膜硬度降低而無法獲得充分的耐摩損 性。又，q值若不滿0 . 2或超過〇 6時，被膜硬度降 低無法得到充分的耐摩損性。又，P值在0 _ 〇 3以上更 佳，上限值爲0 · 1時爲所期望。q值在0 · 4以上更佳 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） --8 — 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 λ7 ____ _Β7 五、發明説明（6 ) ’上限值爲Ο . 5 5時爲所期望。 本發明之硬質被膜中，若形成於基材上之第一層至少 爲（A1 ’Ti ，Si)(B，C，N)系被膜，則由於 與A 1 B N層之相乘效果可發揮優異之耐摩損性，尤其是 採用下述①〜③所示化學組成之含有A 1或T i之至少一 種以上之被膜爲佳，又，本發明中，第一層含有A 1或 T i之至少一種以上之理由，係如前述，來自在與第二層 之A 1 B N膜之界面形成反應層，而提高黏附性之觀點。 ① （A 1 a T i 1—a) ( C b N …） 0 . 25^a^0 . 75 0 ^ b ^ 0 . 4 ② （A 1 c T i i_c) ( B d N …） 〇.〇5^c^〇.75 〇.〇2^d^〇.12 ③ （A 1 x T i 卜…S i y ) ( C z N …） 0 . 05^x^0 · 75 0 . 0 1 ^ y ^ 0 . 1 0 ^ z ^ 0 . 4 在上述①〜③之化學組成中，分別設定各成分範圍之 理由，以下說明之。 ①爲發揮（AlaTii—a)(Cb Ni_b)優異耐摩損 性’金屬元素之成份組成Ala 中，a值有必要 滿足〇 · 25<a<0 . 75之條件。a值未滿0 · 25 本紙張尺度適用中國國家標芈（CNS ) A4規格（210X297公釐） n *—^1 nn 1 ^^^1 了 0¾ * 、vs - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) • —4ϋ It -9 - Μ ^06936 Β7______ 五、發明説明（7 ) 時無法獲得耐氧化性充分的提高效果。又’ a值超過 0 · 7 5時被膜之結晶構造從立方晶變成六方晶’使得被 膜硬度降低無法獲得充分的耐摩損性。又’ a的下限值以 0 . 45爲佳，〇 . 56以上爲所期望。a的上限值以 0 . 7爲佳，〇 . 65以下爲所期望。 又，本發明硬質被膜之第一層，即使爲上述金屬元素 之氮化物或碳氮化物均可發揮優異的耐摩損性。 C b N^b中，b值若超過0.4時，會造成被膜耐氧 化性降低，故滿足OSbSO . 4較佳。又，b值在 0 . 2以下時，耐氧化性會更良好。 ②爲發揮（A lc T i (Bd Ni_d)之優異耐摩損 性，金屬元素之成份組成A 1 c T i i c中，c值有必要 滿足0 . 05Sc<0 · 75之條件》c值未滿〇 · 〇5 時無法獲得耐氧化性充分的提高效果。又，c值超過 0 . 7 5時被膜之結晶構造從立方晶變成六方晶，使得被 膜硬度降低無法獲得充分的耐摩損性。又，c的下限值以 0 · 25爲佳，0 . 5以上爲所期望。c的上限值以 0 . 7爲佳，0 . 65以下爲所期望。 又，本發明硬質被膜之第一層，即使爲上述金屬元素 之硼/氮化物亦能發揮優異耐摩損性。尤其是Bd N ii — d 中，滿足0 . 02SbS〇 . 12爲佳。d值未滿 0 . 0 2時，添加硼則硬度提高效果無法充分發揮，一方 面d值超過〇 1 2時N a C 1構造所形成結晶構造之一 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公嫠） -----------裝-----'-^βτΓ.-----^旅 ί ί (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 10 - A7 B7___ 五、發明説明（8 ) 部份成爲非晶質，反而造成硬度降低’故非所望。又’ d 較佳之下限值爲0 . 0 3 ’較佳之上限值爲0 · 0 8。 ③爲發揮（A lx T i m S iy) (Cz Nhz)之優異 耐摩損性，金屬元素之成份組成A 1 x T i m S ί y 中，x，y值有必要各滿足0 _ 〇51xS〇 · 75 ’ Ο . OlSySO · 1之條件。x值未滿〇 · 05或y值 未滿0 . 01 ，則無法獲得充分耐氧化性之提高效果。又 ，X值超過0 . 7 5或y值超過0 . 1時則被膜之結晶構 造從立方晶變成六方晶，造成被膜硬度降低而無法獲得充 分的耐摩損性。又，X的下限值以〇 · 25爲佳’ 0 · 56以上更爲所望。X的上限值以〇 . 7爲佳。y之 較佳下限值爲0 . 02 ，一方面y的上限值以〇 . 〇8爲 佳，0 . 05以下更爲所望。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，本發明之硬質被膜之第一層，即使爲上述金屬元 素氮化物或碳/氮化物均可發揮優良的耐摩損性。但是， 在Cz N；^中，z值若超過0 . 4會造成被膜耐氧化性 降低，故滿足OSzSO . 4爲所期望。又，z值在 0 . 2以下時，耐氧化性更爲良好。 其次，關於本發明硬質被膜之厚度，第一層及第二層 一起在0 . 1 以上2 0 以下爲所期望。未滿 0.l#m時則耐摩損性無法充分發揮，一方面若超過 2 0 時，會因衝擊力在硬質被膜產生裂痕（crack) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21 OX 297公釐） -11 A7 306936 _ B7 五、發明説明（9 ) 又，本發明之使硬質被膜被覆於切削工具之場合，可 期望工具基材原來切刃特性之活用，同時可發揮硬質被膜 優異之耐摩損性。由此等觀點，本發明之硬質被膜厚度， 第一層及第二層一起’爲1 vrn以上較佳，2 以上更 佳。又，上限以12//m以下爲佳，8em以下更爲所望 〇 又，本發明並無限定被覆硬質被膜之基材材質，而爲 在基材表面發揮黏附性良好的被覆之優異耐摩損性，可適 用於超硬合金，高速度工具鋼，模用鋼，燒結瓷金（ cermet)或陶瓷等硬質物質。 又，在被覆本發明硬質被膜於基材表面之際，首先第 一層之形成方法，有例如離子電鍍法或濺潑法等所代表的 P VD法，例如在採用電弧放電式離子電鍍法之情況，可 使用以下例示的方法。亦即，藉電弧放電從作爲蒸發源之 陰極使金屬成份（A1 ，Ti ，Si)離子化，在N2氛 圍及/或CH4氛圍中，藉離子電鍍可使氮化物及/或碳 化物形成於基材上。在形成硼化物之情形，可使用添加B 於上述金屬成份之靶。再者，若使用作爲目的之被膜組成 及同一金屬組成（必要時可含B )之靶，則組成偏差之產 生減少，而可容易得到安定組成之皮膜。又，若在基材上 施加偏壓電位同時進行離子電鍍時，則可進一步提高被膜 之黏附性。 再者，本發明離子電鍍時氣體壓力並無特別限定，在 1 X 1 Ο-3〜5 X 1 0_2托耳左右較佳，若將氣體壓力設 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐) .I n I I f I —l n - I I n ϋ L n Γ J-------- f • (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 -12 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 _____B7 五、發明説明（10) 定於此範圍內，則可容易獲得耐摩損性更優異的高結晶性 緻密的硬質被膜。 又，本發明並未限定形成A 1 BN膜之方法，使用前 述離子電鍍法或離子助沈積法等亦可。在採用離子電鍍法 時’使用A 1及B之混合靶，藉使離子化之A 1及B在 N2氛圍中反應，可在基材上形成a 1 BN被膜。又，採 用離子助沈積法時，在放入各個坩堝之A 1及B，同時照 射電子束’使A 1及B蒸發，並與氮離子反應，可在基材 上被覆A 1 BN。此時在基材上施加偏壓電位，可更爲提 高被膜之黏附性。 以下係根據實施例說明，然而本發明並非限定於下述 實施例者，依前/後述宗旨的適宜變更，亦含於本發明之 技術範圍內》 〔實施例〕 實施例1 首先，將尺寸1 Ommx 2 5國白金箔所形成之基材安 裝於離子電鍍裝置，由以下方法形成第一層。於4 0 0°C 加熱上述基材後，在構成第一層之元素中，以N以外之元 素作爲組成成份之陰極被蒸發，同時導入作爲反應氣體之 N2氣體’氛圍爲7 X 1 〇-3托耳，且在上述基材上施加 —1 5 0之電位，來製作以5 被覆表1所示各種組成 第一層皮膜之試驗片。又，皮膜組成可由誘導結合型氬電 漿發光分析法及歐皆電子（Auger electron)分光法來確 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） ~ I n I m n n n n n I I I n —L n T hi i I n I n f f (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製
3_36 A7 B7 五、發明説明（11) 認。 本發明之硬質被膜’係在形成第—層之被膜後’啓動 上述離子電鍍裝置內之電子束鎗’對放入各個坩堝之A 1 及B，照射電子束，使A 1及B蒸發，使裝置內真空度成 爲5x1 Ο-4托耳，在A 1及B之蒸氣以500 eV之輸 出照射氮離子束使之反應，同時’在基材上施加- 1 5 0 V電位來形成3^m厚度之A 1 BN被膜。又，被膜之組 成可由電子探針X射線微量分析器及歐皆電子分光法來確 認。 使用上述方式所得之試驗片，進行下述條件之氧化試 驗時，可得到表1所示之結果。 (氧化試驗之條件） 溫度範圍：室溫〜1 3 00 °C .燥. 度乾量 速：流 溫圍氣 昇氛空 m η 壓 氣 大 氣 空 m η ----------裝-----·~^9ΤΓ·-----^旅 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 準 ί標 家 國 國 中 用 適 度 尺 張 紙 本 格 |釐 公 A7 7 Β 五、發明説明（12 ) 〔表1〕 經濟部中央標準局員工消費合作社印製
No. 第1層 第2層 氧化開始溫度 (°C) 硬度 (Hv) 備考 1 (A 1 T i ) N /frrr m 820 2 7 2 0 習知例 2 T i N A 1 BN 9 10 3 5 5 0 實施例 3 (A 1 ，T i ) N A 1 BN 9 5 0 3 7 8 0 實施例 4 (A 1 ，T i ) ( C，N) A 1 BN 920 4 12 0 實施例 5 (A 1 T i ) ( B，N) •fm* m 8 4 0 2 9 5 0 習知例 6 (A 1 ，T i ) ( B，N) A 1 BN 10 2 0 4 3 80 實施例 7 (A 1 -T i >Si) (C，N) •fnr m 9 5 0 3 0 6 0 習知例 8 (A 1 > T i -Si) (C，N) A 1 BN 12 5 0 4 4 6 0 實施例 9 inx. m A 1 BN 5 70 2 5 2 0 比較例 10 (A 1 T i ) N BN 8 2 0 2 9 5 0 習知例 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） J T . IL· J— ^ ~~Γ 線、 . - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 15 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 3〇693β Α7 _______Β7 五、發明説明（I3) 各別比較第二層並未形成A 1 ΒΝ膜之習知例（ N〇 . 1 ’ 5 ’ 7) ’及在該習知例之被膜形成A 1 BN 膜爲第二層之實施例（No 3 ，6 ，8)，可知由於本 發明硬質被膜之氧化開始溫度可更爲提高，因此可提高耐 氧化性。 1^〇.9並非第一層形成爲（六1，丁丨，8丨）( B ’ C ’ N)系被膜’而是形成A 1 BN被膜之比較例。 由於缺乏與基材之黏附性，故無法發揮A 1 B N被膜原來 的特性，氧化開始溫度較低。
No.10爲在第一層之（A1 ，Ti)N，形成 B N爲第二層之習知例，其第二層之黏附性並不充分，與 本發明之硬質被膜比較則耐氧化性較差。 實施例2 基材係使用超硬薄片，除了被膜厚度各爲1 〇 ym以 外，其他則與實施例1同樣之方法製作試驗片。該等被膜 之微維克斯硬度以負載1 0 0 g測定，獲得併記於上述表 1之結果。 由表1可知，分別比較習知例（No · 1 ，5 ，7) 及在該習知例之被膜上形成A 1 BN膜爲第二層之實施例 (No · 3 ，6 ，8)，由於本發明之硬質被膜之微維克 斯硬度高出1 0 0 0以上，顯然硬度顯著地提高。
No .9並非形成第一層爲（A1 ，丁 i ，Si)( B，C，N)系被膜，而是形成A 1 BN被膜之比較例。 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) A4規格（210X 297公釐） -------------裝-----1彳訂—-----Λ ί f (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -16 - 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 A7 B7_._ 五、發明説明（14) 由於缺乏與基材之黏附性，故無法發揮A 1 B N被膜原來 的特性，故微維克斯硬度較低。 1^〇.10係在第一層（人1，1'丨），形成BN爲 第二層之習知例，由於第二層之黏附性並不充分’與本發 明硬質被膜比較，硬度較低。 實施例3 使用超硬合金爲基材，製作外徑1 〇 nun之2枚刃端銑 刀，除了各別端銑刀刃部表面之基材及被膜厚度以外，其 他則與實施例1同樣方法，形成表2所示硬質被膜。此時 ，被膜厚度在形成第一層時爲4 ，形成第二層時爲2 。僅形成爲第一層或第二層時，則爲6 。 使用所得到之表面被覆端銑刀，進行下述條件之切削 試驗，測定端銑刀切刃側面之摩損量，得到併記於表2之 結果。 (切削條件） 切削方法：側面切削下切（down cut ) 被切削材料：SKD11 (硬度HB219) 切削深度：Rd 1晒xAd 1 0 nun 切削速度：6 0 m / m i η 饋送：0.〇7_/齒（27〇11«11/111111) 切削油：鼓風（air blow) 切削長度：5 0 m 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I-----------裝-----Γ1 ,^-J-----Φ-----f (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 17 - ^〇9S6 A7 B7 五、發明説明（l5) 〔表2〕 經濟部中央標準局員工消費合作社印製
No. 第1層 第2層 刃具側面摩損量 (mm) 備考 1 (A 1，T i ) N /nr. m 0.135 習知例 2 T i N A 1 BN 0.059 實施例 3 (A 1，T i ) N A 1 BN 0.048 實施例 4 (A 1 - T i ) ( C > N) A 1 BN 0.057 實施例 5 (A 1，T i ) (B，N) •fm*· 眺 0.123 習知例 6 (Al，Ti) (B，N) A 1 BN 0-052 實施例 7 (A1，Ti，Si) (C，N) •frrr m 0.118 習知例 8 (A1，Ti，Si) (C，N) A 1 BN 0.052 實施例 9 >frrr. A 1 BN 0.620 比較例 10 (A 1，T i ) N BN 0.149 習知例 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ------------裝------^訂一7-----:-線--- i f (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 18 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（！6) 由表2可知，本發明之硬質被膜被覆端銑刀（N 〇 . 2，3，4，6，8)與習知例（1\1〇.1，5，7， 1 0 )或比較例（N 0 . 9 )比較，刃具側面摩損量小， 耐摩損性優異。 實施例4 使用J I S規格SKH5 1相當之高速度鋼作爲基材 ’製作外徑1 Oram之J I S規格鑽頭，除了作爲基材使用 以外，與實施例3同樣方法，在各鑽頭刃部表面，如表3 所示，形成硬質被膜。 使用所得到之表面被覆鑽頭，根據下述條件，進行切 削試驗，研究切削壽命，而獲得併記於表3之結果。 (切削條件） 切削方法：鑿孔加工，切削各5枚 被切削材：S55C (硬度HB220) 切削速度：3 0 m / m i η 饋送：0 . 2rain/rev 切削長度：2 5 mm (貫通孔） 切削油：水溶性乳膠型切削油 本紙張尺度適用中國國家標举（CNS ) A4規格（2丨0 X 297公釐） ----------裝-----訂彳----線 一 爲 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 一 19 - 306936 A7 B7 五、發明説明（17 ) 〔表3〕 經濟部中央標準局員工消費合作社印製
No. 第1層 第2層 平均鑿孔個數 備考 1 (A 1 - T i ) N •frrp m 473 習知例 2 T i N A 1 BN 8 2 2 實施例 3 (A 1，T i ) N A 1 BN 948 實施例 4 (A 1 > T i ) (C，N) A 1 BN 8 5 6 實施例 5 (A 1，T i ) (B，N) Art m 585 習知例 6 (A 1 - T i ) ( B > N) A 1 BN 1025 實施例 7 (Al，Ti，Si) (C，N) -fnrf m 765 習知例 8 (A 1，T i，S i ) ( C，N) A 1 BN 12 34 實施例 9 -fnT- m A 1 BN 1 0 8 比較例 10 (A 1，T i ) N BN 4 5 6 習知例 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21 OX 297公釐） ------Ί------裝-------- 訂丨·----- . (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -20 - A7 B7 五、發明説明（l8 ) 由表3可知，本發明之硬質被膜被覆鑽頭（No . 2 ，3，4，6，8)與習知例（No.l，5，7，l〇 )或比較例（N 〇 · 9 )比較，平均鑿孔個數多且切削壽 命長。 實施例5 使用J I S規格SKD6 1相當之模具材料，製作尺 寸4 0 X 2 0 X 5 mra之基材，除了第一層及第二層合計被 膜厚度爲1 0 Mm以外，其他則與實施例4同樣方法，形 成表4所示之硬質被膜，而作成試驗片。 使用所得到之試驗片，在下述條件下進行熱驗 並調查耐久性，得到併記於表4之結果。 (熱循環試驗條件） 高溫槽溫度，保持時間：800°C，15〇秒。 低溫槽溫度，保持時間：水冷，1 0秒。 --------------裝-----―訂J-----;-涑 * (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（19) 〔表4〕
No. 第1層 第2層 裂痕產生之 之循環數 備考 1 T i N 1 0 輝 m 16 5 習知例 2 (A 1，T i ) N 1〇 An： m 6 12 習知例 3 (A 1，T i ) Ν Ί βχη A 1 BN 3 9 7 8 實施例 4 (Al，Ti) (B，N) 1 0 /zm /fm* m 3 6 8 習知例 5 (Al-Ti) (B>N) 7 βτη A 1 BN 3 //m 112 0 實施例 6 (Al，Ti，Si)N 1 〇 //m •frn· 6 8 6 習知例 7 (A 1 - T i - S i ) N 7 um A 1 B N 3 // m 12 15 實施例 ----^ 裝------Ji J.-----^ 旅 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29?公釐） 22 - Α7 Β7 如 6936 五、發明説明（2〇 ) • (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 由表4可知，本發明被覆硬質被膜之試驗片（ Νο·3’5，7)與習知例（No.l ，2，4，6) it較’可大幅改善裂痕產生爲止之循環數，顯示優異的耐 熱循環性。 實施例ft 使用超硬薄片作爲基材，除了基材不同外，其他與實 施例3同樣方法，在各薄片刃部表面，形成表5所示之硬 質被膜。 使用所得到之表面被覆薄片，根據下述條件進行切削 試驗’測定薄片切刃側面之摩損量，得到併記於表5之結 果。 (切削條件） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 初切削材料：S45C 切削速度：2 0 0 m / m i η 饋送速度：〇 . 3mm/r ev 切削深度：2 mm 切削油：乾式 切削時間：4 0 m i η 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2丨0 X 297公釐） 306936 A7 B7 五、發明説明（21 ) 〔表5〕 經濟部中央標準局s貝工消費合作杜印製
No. 第1層 第2層 側面摩損量 (mm) 備考 1 (A 1 -TON Art m 0 16 3 習知例 2 T i N A 1 BN 0 0 6 1 實施例 3 (A 1，T i ) N A 1 BN 0 0 5 9 實施例 4 (Al，Ti) (C，N) A 1 BN 0 0 7 2 實施例 5 (A 1 - T i ) (B，N) 4nc m 0 15 5 習知例 6 (A1 ，Ti)(B，N) A 1 BN 0 0 4 8 實施例 7 (A 1 - T i > S i ) (C N) 無 0 10 6 習知例 8 (A 1 - T l -Si) (C N) A 1 BN 0 04 8 實施例 9 Art A 1 BN 因異常摩損在15分內無法切削 比較例 10 (A 1 > T i ) N BN 0 112 習知例 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21 OX 297公釐） -------------裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 旅 -24 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（22 ) 由表5可知，本發明之硬質被膜被覆薄片（No . 2 ，3’4，6’8)與習知例（1^〇.1，5，7，10 )或比較例（N 〇· 9 )比較，刃具側面摩損量小且耐摩 損性優異。 實施例7 被切削工具等所被覆之硬質被膜，由於各種因素而摩 損’亦會與初切削材料反應產生摩損，尤其是在薄片等之 切削面’因與被切削材料反應，會有焊疤摩損加速之情形 〇 因此’除以超硬合金作爲基材以外，其他則與實施例 1同樣方法’製作如表6所示以硬質被膜被覆之試驗片， 將常用作被切削材料之鋼材以高溫/高壓壓造於上述試驗 片上，藉以研究硬質被膜之耐反應性。又，耐反應性之評 價，可由確認在前述硬質被膜及上述鋼材間所形成反應層 之有無來進行。壓造條件如以下所示，結果併記於表6。 (壓造條件） 壓造材料：S55C(硬度HB220)
壓造面積：0 . 25crri 壓造負載：500kgf 溫度：8 0 0 °C 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（2IOX 297公釐） -------------裝-----i J------森 : {, (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ~ 25 - ^06336 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（23) 〔表6〕
No. 第1層 第2層 反應層之有無 備考 1 (A 1 > T i ) N {γγτ m 有 習知例 2 T i N A 1 B N 4πϊ. m 實施例 3 •frn*- m A 1 B N 產生裂痕 比較例 4 (A 1 > T i ) (C，N) A 1 B N •friT- m 實施例 5 (A 1 - T i ) N A 1 B N /fm·- m 實施例 I _i -I - - Λ --1 …- II » - J-—-- ......- :--------- ί ί . (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 26 - ^^6936 A7 B7 五、發明説明（24) 由表6可知，在高溫/高壓時，習知例（No . 1) 或比較例（No.3)會產生反應層，並造成裂痕，相對 於此，本發明之硬質被膜（No · 2 ，4，5)非常安定 ’並不形成反應層。因此，本發明之硬質被膜對被切削材 料耐反應性優異，即使在切削高速切削材或難削材時，亦 可發揮安定的耐摩損性。 〔發明效果〕 本發明係由上述所構成，可提供至目前爲止所開發硬 質被膜之優良特性，且發揮更具優良耐摩損性之硬質被膜 ，並提供一種在要求高耐摩損性之構件上，被覆上述硬質 被膜之硬質被膜被覆構件》 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）

Claims (1)

  1. 306936 ^_I Μ 年乃 » 夂、申請專利範圍 」 第84 1 1 2365號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國86年3月修正 1 .—種耐摩耗性雙層被覆膜，其爲形成於基材表面 之硬質被膜，具有第一層及第二層， 上述第一層形成於基材側，係選自A1 ，Ti ，Si 所成群之含有A 1或T i之至少一種以上金靥元素：及選 自B，C，N所成群之一種以上非金屬元素，之化合物所 形成， 前述第二層爲叠層於表面側之A 1 BN者。 2 ·如申請專利範圍第1項之雙層被覆膜，其中前述 第一層爲 (A 1 a T i 1 -a) ( C b N i - b) 0 . 25^a^0 . 75 0 ^ b ^ 0 . 4 所示之化學組成。 3 ·如申請專利範圍第l項之雙層被膜膜，其中前述 第一層爲 (Ale T i 1 - c ) ( B a N i - d ) 0 . 05 客 c 客 0 . 75 0 . 02SdS0 . 12 所示之化學組成。 4 ·如申請專利範園第1項之雙層被膜膜，其中，前 本紙張尺度逋用中B國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---------餐------、訂------.it - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央揉準局負工消费合作社印製 JW936六、申請專利範圍 述第一層爲 A8 B8 C8 D8 修土 ί南充 ψ- A T Sly) ( C N 所示之化學組成。 5 .如申請專利範園第 膜，其中前述第一厝厚度爲 或4項之雙層被缓 m 6 .如申請專利範圍第1、2、3或4項之雙層被覆 膜，其中前述第二層厚度爲0 . 1〜2 7 ·如申請專利範圍第1、2、3或4項之雙層被覆 膜，其爲形成於耐摩耗構件之基材表面，作爲被覆構件使 用者。 — — — — — — II II I I 訂— I -¾¾ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局負工消费合作社印製. :紙張) A4胁（210X297公釐）
TW084112365A 1994-12-14 1995-11-21 TW306936B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP31100494A JP3488526B2 (ja) 1994-12-14 1994-12-14 耐摩耗性に優れた硬質皮膜および硬質皮膜被覆部材

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TW306936B true TW306936B (zh) 1997-06-01

Family

ID=18011971

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW084112365A TW306936B (zh) 1994-12-14 1995-11-21

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5882778A (zh)
JP (1) JP3488526B2 (zh)
KR (1) KR100186910B1 (zh)
DE (1) DE19546357C2 (zh)
TW (1) TW306936B (zh)

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6613410B1 (en) * 1999-09-23 2003-09-02 National Label Company Extended wrap label
EP0972091A1 (en) * 1998-02-04 2000-01-19 OSG Corporation Multilayer coated tool
US6492011B1 (en) * 1998-09-02 2002-12-10 Unaxis Trading Ag Wear-resistant workpiece and method for producing same
US6593015B1 (en) 1999-11-18 2003-07-15 Kennametal Pc Inc. Tool with a hard coating containing an aluminum-nitrogen compound and a boron-nitrogen compound and method of making the same
US6607782B1 (en) * 2000-06-29 2003-08-19 Board Of Trustees Of The University Of Arkansas Methods of making and using cubic boron nitride composition, coating and articles made therefrom
JP3417907B2 (ja) * 2000-07-13 2003-06-16 日立ツール株式会社 多層皮膜被覆工具
EP1992717B1 (en) * 2000-12-28 2012-02-15 Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho Use of a target for arc ion plating to form a hard film
US6988858B2 (en) * 2001-02-28 2006-01-24 Kennametal Inc. Oxidation-resistant cutting assembly
US20040008950A1 (en) * 2001-03-20 2004-01-15 Daiichi Kasei Co., Ltd. Resin ferrule for use in optical fiber connector and molding die therefor
DE10120046B4 (de) * 2001-04-24 2009-10-29 Widia Gmbh Schneideinsatz zur Bearbeitung von schwer zerspanbaren Metalllegierungswerkstücken und Verfahren zu dessen Herstellung
US6660133B2 (en) 2002-03-14 2003-12-09 Kennametal Inc. Nanolayered coated cutting tool and method for making the same
JP3996809B2 (ja) * 2002-07-11 2007-10-24 住友電工ハードメタル株式会社 被覆切削工具
US6858333B2 (en) * 2002-10-09 2005-02-22 Kennametal Inc. Tool with wear resistant low friction coating and method of making the same
JP3853757B2 (ja) * 2003-05-30 2006-12-06 ユニオンツール株式会社 切削工具用硬質皮膜
US6871613B2 (en) * 2003-06-06 2005-03-29 Schulmerich Carillons, Inc. Tarnish-resistant handbell and its method of manufacture
US7131365B2 (en) * 2003-09-16 2006-11-07 Irwin Industrial Tool Company Multi-chip facet cutting saw blade and related method
KR100600573B1 (ko) * 2004-06-30 2006-07-13 한국야금 주식회사 절삭공구/내마모성 공구용 표면 피복 경질부재
AT7941U1 (de) 2004-12-02 2005-11-15 Ceratizit Austria Gmbh Werkzeug zur spanabhebenden bearbeitung
SE529223C2 (sv) * 2005-05-06 2007-06-05 Seco Tools Ab Belagt skärverktyg innefattande hexagonal h-(Mel,Me2)Xfas
EP2256229A1 (de) * 2005-11-04 2010-12-01 Sulzer Metaplas GmbH Schichtsystem zur Bildung einer Oberflächenschicht auf einer Oberfläche eines Substrats, Beschichtungsverfahren und Substrat mit einem Schichtsystem
JP4985919B2 (ja) 2005-12-22 2012-07-25 三菱マテリアル株式会社 高硬度鋼の高速切削加工で優れた仕上げ面精度を長期にわたって発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具
US20070172659A1 (en) * 2006-01-26 2007-07-26 Shao Richard L Anti-oxidation coating for carbon composites
JP5005262B2 (ja) * 2006-05-26 2012-08-22 三菱マテリアル株式会社 高硬度鋼の高速切削加工できわめて優れた仕上げ面精度を長期にわたって発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具
JP4699978B2 (ja) * 2006-08-09 2011-06-15 株式会社神戸製鋼所 硬質皮膜被覆材
JP5173670B2 (ja) * 2008-08-20 2013-04-03 株式会社アマダ 鋸刃及びその製造方法
US20120003425A1 (en) * 2010-06-30 2012-01-05 Kennametal Inc. TiAIN COATINGS FOR GLASS MOLDING DIES AND TOOLING
US8440328B2 (en) 2011-03-18 2013-05-14 Kennametal Inc. Coating for improved wear resistance
WO2015041802A1 (en) 2013-09-18 2015-03-26 United Technologies Corporation Article having coating including compound of aluminum, boron and nitrogen
CN107636193A (zh) 2015-04-20 2018-01-26 山高刀具公司 涂层切削刀具和对所述切削刀具进行涂覆的方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE306077C (zh) *
US4714660A (en) * 1985-12-23 1987-12-22 Fansteel Inc. Hard coatings with multiphase microstructures
US4970092A (en) * 1986-05-28 1990-11-13 Gavrilov Alexei G Wear resistant coating of cutting tool and methods of applying same
AT387988B (de) * 1987-08-31 1989-04-10 Plansee Tizit Gmbh Verfahren zur herstellung mehrlagig beschichteter hartmetallteile
JP2793696B2 (ja) * 1990-05-17 1998-09-03 神鋼コベルコツール株式会社 耐摩耗性皮膜
EP0496053B1 (de) * 1991-01-21 1995-07-26 Balzers Aktiengesellschaft Beschichtetes hochverschleissfestes Werkzeug und physikalisches Beschichtungsverfahren zur Beschichtung von hochverschleissfesten Werkzeugen
US5330853A (en) * 1991-03-16 1994-07-19 Leybold Ag Multilayer Ti-Al-N coating for tools
JP2793773B2 (ja) * 1994-05-13 1998-09-03 神鋼コベルコツール株式会社 耐摩耗性に優れた硬質皮膜、硬質皮膜被覆工具及び硬質皮膜被覆部材

Also Published As

Publication number Publication date
DE19546357A1 (de) 1996-06-20
DE19546357C2 (de) 2002-05-08
JPH08170164A (ja) 1996-07-02
JP3488526B2 (ja) 2004-01-19
KR960023207A (ko) 1996-07-18
KR100186910B1 (ko) 1999-04-01
US5882778A (en) 1999-03-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW306936B (zh)
CN102304692B (zh) 硬质保护膜及其形成方法
EP1382709B1 (en) Coated tool
JPH07310174A (ja) 耐摩耗性に優れた硬質皮膜、硬質皮膜被覆工具及び硬質皮膜被覆部材
JP5730535B2 (ja) 硬質皮膜形成部材および硬質皮膜の形成方法
JP2009034781A (ja) 表面被覆切削工具
JP4714186B2 (ja) 被覆切削工具
JP3963354B2 (ja) 被覆切削工具
JP2000129445A (ja) 耐摩耗性被膜およびその製造方法ならびに耐摩耗部材
CN103506640B (zh) 一种具有涂层的切削工具及其制作方法
WO2012057000A1 (ja) 硬質皮膜形成部材および硬質皮膜の形成方法
JPH07310171A (ja) 耐摩耗性に優れた硬質皮膜、硬質皮膜被覆工具及び硬質皮膜被覆部材
JP2004188500A (ja) 硬質被覆層がすぐれた耐熱衝撃性を有する表面被覆サーメット製切削工具
JP5070621B2 (ja) 表面被覆切削工具
JP2019084671A (ja) 硬質被覆層が優れた耐チッピング性、耐摩耗性を発揮する表面切削工具
JP6273161B2 (ja) 耐摩耗性に優れた積層皮膜
JP3822655B2 (ja) 耐摩耗性に優れた硬質皮膜および硬質皮膜被覆部材
JP4048364B2 (ja) 高速重切削条件で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具
JP2002239807A (ja) 硬質被覆層がすぐれた耐熱衝撃性を有する表面被覆サーメット製切削工具
JP4235904B2 (ja) 高速切削で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具
JP2004188502A (ja) 硬質被覆層がすぐれた耐熱衝撃性を有する表面被覆サーメット製切削工具
JP4193053B2 (ja) 重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具
JPH08170165A (ja) 耐摩耗性に優れた硬質皮膜および硬質皮膜被覆部材
JP3902249B2 (ja) 耐摩耗性に優れた硬質皮膜および硬質皮膜被覆部材
JP2004106107A (ja) 高速重切削条件で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性および耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具

Legal Events

Date Code Title Description
MK4A Expiration of patent term of an invention patent