TR201807606T4 - Detektör. - Google Patents

Abstract

Bir elektron çoğaltıcısı için bir detektör, aşağıdakileri içermektedir: bir yalıtkan malzeme içeren substrat (102), substratın birinci yüze (110) ve karşılıklı ikinci yüze (108) sahip olduğu; substratın (102) birinci yüzüne (110) bitişik sağlanan bir yük toplayıcısı (122); substratın (102) içinde bir anot (104a-d), yük toplayıcısına (122) indüklenen yükün anot (104a-d) üzerinde bir görüntü yükü oluşturması için, anodun (104a-d) kapasitif halde yük toplayıcısı (122) ile eşlendirildiği, birinci yüzden (110) mesafelendirilen anot; ve anot (104a-a) ile eşlendirilmiş ve substratın (102) içinden substratın (108) ikinci yüzüne (108) geçen bir kanal kontağı (106a-d).

Description

TARIFNAME DETEKTÖR Bu bulus bir detektör ile ilgilenmektedir. Özellikle, ama münhalelolmamak üzere, bulus bir elektron çogaltlîlîilçin bir detektör ve elektron detektörünü içeren bir elektron çogaltlElîile ilgilenmektedir.

Elektron çogaltlîllârlîtek elektronlar. veya kuanta veya taneciklerin varllgillîlalg llâmak için kullanllâbilmektedir. Sekil 2 önceki teknige göre bir elektron çogaIt-IJZOO) çapraz kesimli bir sekilde göstermektedir.

Genellikle, bir elektron çogaltlEElJZOO) yan duvarlar (204), bir ön kapak (206) ve bir arka kapak (208) taraflEUan tanIiIanan bir oda (202) içermektedir. Ön kapak (206) çogaIt-I (200) algllâmaslîilçin tasarlandlgllîlluanta veya tanecige geçirgen olmaktadlîl Oda ( içermektedir. Çlgl mekanizmasII (210) ön güzüne gelen tek bir elektron (212) emilir ve arka yüzden bir elektron çlgJII (214) yayllÜiasIßaglamaktadlEl Elektron çogaltEllârElQOO) gelen elektronlarlÇI kuanta veya diger tanecikleri dogrudan algllâmak için kullanllâbilmektedir. Çig] mekanizmasE(210) bir elektron, kuanta veya diger tanecigin emilmesine cevap olarak bir elektron ç[gil:lbaslatabilmektedir. Örnegin, elektron çlglü elektronlarlEl, pozitif yüklü veya negatif yüklü iyonlarI veya fotonlarlEl emilmesine cevap olarak baslatllâbilmektedir.

Alternatif bir sekilde, Sekil 2'de gösterildigi gibi, elektron çogaltlElgEQOO) bir dönüstürücü (216) içerebilmektedir. Dönüstürücü (216) ön yüzünden bir gelen kuanta veya tanecik (218) (mesela bir foton veya iyon) emmektedir, ve arka yüzünden tek bir elektron (212) yaymaktadlEl Bu durumda, elektron çogaltElîüZOO) gelen kuanta veya tanecigi temsil eden bir elektron alglEmaktadE Sekil 2'de gösterilen örnekte, tek bir foton (218) dönüstürücü (216) taraflîitian emilir, bu tek bir elektron (212) yaymaktadlü Tek elektron (212) sonra ç[gl mekanizmasüZlO) tarafIan emilir, bu bir elektron ç[g]l:ýaymaktadlîl(214).

Elektron ç[g]|:l(214), çig] mekanizmaslîitlan (210) sonra saglanan bir sensor (Sekil 2'de gösterilmeyen) tarafIan algllânmaktadlB Bilinmektedir ki, örnegin, sensor elektrikli baglantllârüyan duvarlar (204) veya arka kapaktan (208) saglanan odanI (202) içinde saglanabilmektedir. Bu kuanta ve taneciklerin varliglllllgllâmak için ve, örnegin, kuanta ve taneciklerin miktarlßaymak için kullan llâbilmektedir.

Elektron çogaltlEEEQOO) tek bas. saglanabilir, bu durumda yan duvarlarI (204) dlgüön kapak (206) ve arka kapak (208) ortam sartlar_ açllâolmaktadE Elektron çogaltlEIQXZOO) aynEkamanda daha büyük bir vakum sistemi ile eslendirilebilinir.

Elektron çogaIt-I daha büyük bir vakum sistemi ile eslendirildigi örneklerde, elektron çogaltlElgîbüyük vakum içerisinde, veya büyük vakumu olusturan bir gövdeye bitisik bir sekilde tutulabilmektedir (büyük vakumu tanllayan gövde elektron çogalt_I ön kapagEI (206) ile hizalanmlgbir sekilde gelen kuanta veya tanecigi algllâmak için bir cam içermelidir).

Elektron çogaltlElglElI (200) daha büyük bir vakum sistemi ile eslendirildigi baska bir örnekte, oda (202) büyük vakumun bir parçaslîblarak, ön kapak (206) dahil edilmeden, ve yan duvarlarI (204) vakumu tanIilayan gövdeye dogrudan birlestigi bir sekilde olusturulmaktadlü Elektron çogaIt-Elbüyük vakum ile eslendirmek Için herhangi bir uygun vaslß kullanllâbilmektedir.

Bu tür çig] mekanizmalarlîq genellikle teknikte iyi bilinmektedir. Ancak, yan duvarlardan (204) geçen elektrik baglantllârlîisensörün uygulanmasIIZI zorlastIElnaktadlEl Dahaslýla, bazEl uygulamalarda, algüânan kuanta ve taneciklerin konumunu bilmek önemli olabilmektedir.

Kuanta veya tanecigin ( çogaltlîlîl (200) süresince konumunu korumalIlEl Böylece, çig] mekanizmaleUa (210) elektron çlglEl (214) gelen elektronun (212) emildigi aynlIQIki boyutla) konumdan yayllîhaktadlü Benzer bir sekilde, dönüstürücüde (216), tek elektron (212) gelen kuanta veya tanecigin (218) emildigi aynlIQiki-boyutlu) konumdan yayUBwaIIlEl Çig] mekanizmasII (210) (ve dönüstürücünün) gelen kuanta veya tanecigin (218) konumunu korudugu için, elektron çlglll (214) konumunu belirleyerek elektron çogalt-I (200) yüzünden kuanta veya tanecigin (218) hangi konumdan geldigini belirlemek mümkün olmaktadm Elektron çlglE(214) önce klgia bir süre için yüksek-dirençli bir toplaylEZi/asltâsMa vakumun içinde toplanmaktadlEl SonrasIa elektron çlgJleapasitif halde bir görüntü yükü olarak, arka kapaktan (208) dlgiarülerilmektedir. Bu odanI (202) dEIEUa, bir düsük-dirençli anot katmanEl yoluyla yapilüiaktadE Anot katmanEbirden çok kontak bölgesi içermektedir. Görüntü yükü kapasitif halde kontra- substrat. içinden eslendirildikçe yayUBiaktadlEl bu sekilde görüntü yükü birden çok kontak bölgesine gelmektedir. Gelen elektronun konumu farklEkontak bölgelerine indüklenen yükleri isleyerek belirlenebilmektedir (aynüamanda "kütle merkezleme" olarak bilinmektedir).

US 5 686 721 bir gelen elektronun konumunu belirlemek için kullanllâbilen bir sensorun bir örnegidir.

Iki olay (kuantanI (218) algilânmasD] eger kontak bölgelerinin birine veya daha fazlasi görüntü yükü gelmesiyle sonuçlanlîsa, eszamanIÇl veya neredeyse-eszamanlü olarak görülmektedir. Eszamanlülieya neredeyse-eszamanllImlaylar bir veya birden fazla aynElkontak bölgesinde görüntü yüküne sebep olursa, kütle-merkezleme iki ayrü olaylIl belirleyememektedir. Bunun yerine, iki indüklenen yükler tek bir olay olarak algHânlEl bunun konumu iki indüklenen görüntü yükünü tek bir görüntü yükü olarak görülmesinden türemektedir. Böylece, kütle-merkezleme birbirine yakI olan seri olaylara (örn. ard arda) sIlEllIlElve eszamanllîl'eya neredeyse-eszamanl@laylarülgllâmak için kullanllâmamaktadlîl Bulusun birinci bir yönüne göre, bir elektron çogaltlîlîljçin bir detektör saglanmaktadlB detektör asaglîllakileri içermektedir; yaliflkan malzeme içeren bir substrat, bu substrat. birinci yüzü ve karsiIJIZlEikinci yüzü olup; substrat. birinci yüzüne bitisik saglanan bir yük toplaylîlgîl substratI içerisinde bir anot, bu anot yük toplay- gelen yükün anot üzerinde bir görüntü yükü üretmesi için, anodun yük toplay- kapasitif halde eslendirildigi sekilde, anodun birinci yüzden mesefelendirildigi; ve anotla eslendirilmis ve substrat. içinden substrat katmanII ikinci yüzüne geçen bir kanal kontak.

Anodu substratI içine gömmek demektir ki, bütün arka duvarI üzerinden elektrik baglantlîlîl gerektirmeden görüntü yükü algllânmadan önce daha az yayllhiaktadiü Bu demektir ki anodun ortak kontaglEh görüntü yükü indüklemeden iki eszamanlü'eya neredeyse-eszamanlEl olayI birbirine yakI meydana gelme ihtimali daha az olmaktadEi bu detektörün çözünürlügünü gelistirmektedir.

Substrat bir yallfkan katman içerip birinci yüzü olusturabilmektedir. Anot yaliükan katman. içerisinde veya yalEkan katman. ucunda saglanmaktadlEl Substrat Ikinci yüzü olusturmak için bir seramik katman içerebilmektedir. Anot seramik katman ve yallflkan katman aras-aki ara yüzde saglanabilmektedir.

Substrat ve anodun birinci yüzü arasIdaki arallElen fazla 1 mm olabilmektedir.

Kanal kontak substratI içinden geçen bir yol kEinlÃl'e, substratI ikinci yüzünde bir düzlemsel k-i içerebilmektedir.

Detektör dahaslýla kanal kontak ile eslendirilmis devre sistemi içerebilmektedir. Devre sistemi anotta indüklenen görüntü yükünü dlgartýla vermek için düzenlenebilir ve, algllânan yüke göre, yük toplay- indüklenen bir elektron çigiII konumunu belirlemek için düzenlenen bir islemci içerebilmektedir.

Anot birden çok elektrige karsljialifllhganot plagüçerebilmektedir. Her anot plakasEilarklEibir kanal kontag- eslendirilebilir ve devre sistemi her anot plakaleUan görüntü yükünü ayrlEh dEarÜermek için düzenlenebilmektedir.

Devre sistemi indüklenen yükü en az iki anot plakasIa eszamanlEbir sekilde dlgiarÜ/ermek için düzenlenebilmektedir.

Islemci komsu anot plakalarIa eszamanlljlndüklenen görüntü yükünü karsllâstülnak Için ve karsllâstlElnaya göre yük toplay- indüklenen elektron çigill konumunu belirlemek için düzenlenebilmektedir.

Yük toplaylîlglîbir rezistif katman olabilmektedir. Rezistif katman en az 250 kohm / kare degerinde serit direncine sahip olabilmektedir. Rezistif katman 500 kohm / kare; 750 kohm / kare veya 1 Mohm / kare degerinde serit direncine sahip olabilmektedir.

Bulusun ikinci bir yönüne göre, tek bir elektronun algllânmaleb cevap olarak bir elektron çigiII baslatilüiasüiçin vasß içeren bir elektron çogaltlEEßaglanmaktadlÜ elektron çiglîitek elektronun algllândigilîlkonumda yayllöiaktadlEi ve, birinci yöne göre, elektron çigilülgllâmak için ve algllânan elektron çig.. konumundan tek elektronun konumunu alglßmam için bir detektör.

Elektron çogaltlEEEl/akumda bir elektron çlglübaslatma vasltâsiEla sahip bir ölçme odasiZl içerebilmektedir. Oda bir gövde tarafIan tanIilanabilir, substrat gövdeyi en az klîinen olusturmakta, ve yük toplaylagîivakum içinde ve substrat. ikinci yüzün vakum dlSlEUa tutulmaktadE Elektron çogaltlEEDdahaslîLla birinci yüz ve karsiliKlElikinci yüze sahip olan bir elektron dönüstürücüsü içerebilmekte, elektron dönüstürücüsü, birinci yüzde birinci bir konumda bir foton veya diger kuanta almak için düzenlenmis olup, ve, gelen foton veya kuantaya cevap olarak, vasltâiya dogru yayllân elektronun bir elektron çlglEliJaslatmak için oldugu, ikinci yüzde birinci bir konumdan bir elektron yayabilmektedir.

SonrasIa, sadece örnek yoluyla, bulusun yapiiândlîrlnalarII açllîlamalarÇi eslik eden sekillere referans ile açiklanmaktadiî] burada: Sekil 1 bulusun yapilândlünalar- göre bir elektron çogaltlîlgjlçin bir detektörü sematik olarak göstermektedir; ve Sekil 2 önceki teknige göre bir elektron çogaIt-I sematik temsilini göstermektedir.

Sekil 1 bulusun bir yapllândlEinas. göre bir elektron çogalt-da (200) kullanIi için bir detektör (100) göstermektedir. Detektörün (100) hususlarEiodanI (202) arka kapagII (208) gövdesinin içinde saglanmaktadlEl Simdiki yapllândIEmada, detektör (100) bir substrat katmanE(102) içermektedir. Substrat katmanII (102) birinci bir yani:[110) odanI (202) içinde ve böylece vakumun içerisinde saglanmak için düzenlenmektedir. KarslÃlan (108) odanI (202) dlSlEtla düzenlenmektedir.

Substrat katmanI (102) vakum yanII (110) üstünden bir rezistif katman (122) saglanmaktadlü Rezistif katman (122) bir yük toplaylîlgjolarak çaliglnaktadlü Rezistif katmana ( yük birikimine yol açmaktadlEi Anot plakalarEü104a-d), detektör (100) için bir anot (104) olusturmak için substrat katmanlElai toplanan yükün kapasitif halde anot piakalarIa (104) bir görüntü yükü indükledigi bir sekilde mesafelendirilmelidir. (102) vakum-olmayan yanIda (108) saglanan arka kontaklara (112a-d) elektrik ile baglamaktadlü Her anot plakasE(104a-d) ve iliskin kanal kontagE(106a-d) ve arka kontak yalifilîhiglolmaktadiîi Böylece, her anot plakasIa (104) indüklenen görüntü yükü ilgili arka yüz kontaktan (112) dlgiarüierilebilmektedir.

Substrat katmanE(102) ve rezistif katman (122) (tek baslEia veya beraber) vakum odasi. ( saglamak için kullaniiBiaktadlEi Bu sekilde, kapasitif baglasli, odanI (202) duvarlarIan karmasiiZi kontaklarI saglanmasü gerekmeden, optimize edilebilmektedir.

Digiarü/erme devre sistemi (114) arka yüz kontaklariEb (112) elektrik ile eslendirilmektedir.

Dlgarlîl verme devre sistemi (114) dlgiarlîl verme kontaklarEl (116a-d) ve bir islemci (gösterilmeyen) içermektedir. Her dgrü/erme kontagüllö) bir tek arka yüz kontagiîidan (112) yükü algiiâmak için ve yükü islemciye iletmek için düzenlenmektedir. Islemci elektron çig]IE(214) baslatan kuanta (218) veya tanecigin konumunu belirlemek için ölçülen yükleri analize etmektedir.

Islemci farklElanot plakalarE(104) tarafIan saglanan yükleri aylîli edebilmektedir. Islemci her anot plakasIE(104) konumu ile bagdastün bilgi içermektedir. Bir kuanta veya tanecik (218) bir anot plakasII (104) merkezinden dogrudan gelince, görüntü yükü sadece bir anot plakasIa (104) indüklendigi sekilde elektron çigilüdan (214) yük yayiIBiaktadB Kuanta veya tanecik bir anot plakasII (104) periferisinden gelince, veya anot plakalar. (104) arasIan, görüntü yükü komsu anot plakalarIa (104) indüklenmektedir. Islemci kuanta veya tanecigin (218) konumunu belirlemek için komsu anot plakalarlEUa (104) indüklenen yükü karsllâstlBibilmektedir.

Bu Sekilde, detektör (100), kuanta veya tanecikler (218) bir veya birden fazla anot plakasIa (104) görüntü yükü indüklemedikleri sürece, birbirine yakI olup, eszamanlElIeya neredeyse-eszamanllîkuanta veya tanecik (218) çarpma olaylarlßlgllâylp] konumlarIEllespit edebilmektedir.

Su anki yapüândlîilnada, substrat katmanEl (102) bir katman yaplîlîl tarafIdan olusturulmaktadlE SubstratI (102) vakum-olmayan yanIa (108) bir seramik katman (118) saglanmaktadlEl Anot plakalarlI(104) seramik katmanda (118) klginen gömülü olacak sekilde ve seramik katmandan (118) dgrüizanmalarüçin saglanmaktadlEl Anot plaklarI (104) üstünden bir yalEkan malzeme katmanEKIZO) saglanmaktadlü Sonra yallfkanIEl üstünden yallfkan katman (122) saglanmaktadE Tercih edilen yük toplama performans. ulasmak için, rezistif katman (122) en az 250 kohm / kare degerinde bir serit direncine sahip olmalIlEl Bir örnekte, rezistif katman 500 kohm / kare degerinde bir serit direncine sahip olmaktadlE Diger bir örnekte, rezistif katman 750 kohm / kare veya lMohm / kare degerinde bir serit direncine sahip olmaktadlEl Takdir edilir ki Sekil 1'in sadece bir dizi anot plakasEgöstermesine ragmen, anot plakalarEl veya birden fazla) olabilir, ve anot plakalarEI(104) aynElzamanda, anot plakalar. (104) aralar-a uygun mesafe olmak üzere, herhangi bir sekilde olup ve herhangi bir uygun sekilde düzenlenebilmektedir. Örnegin, anot plaklarIZkare veya dairesel olabilir ve bir kare sebeke veya esmerkezli daireler seklinde düzenlenebilmektedir. Genel olarak, anot plaklarü (104) ne kadar küçük olursa ve aralilZlar birbirine ne kadar yakI olursa, detektörün (100) mekansal çözünürlügü 0 kadar iyi olmaktadlE Bazü/apllândünalarda, anot plakalarI (104) boyutlarÇlelektron çlglII (214) rezistif katman (122) tarafian nerede emildigini göze almadan, bir görüntü yükünün birden çok plakaya (104) indüklenecegi biçimde olabilmektedir. Bu tür yapllândlEinalarda, komsu plaklarI (104) sinyalleri geregince islenmektedir.

Seramik katman (118), yallflkan katman (120) ve rezistif katman (122) herhangi uygun malzemelerden üretilebilmektedir.

Anot plakalarlE] (104) rezistif katman (122) ile aralariaki mesafe rezistif malzemeye (122), yaliflkan malzemeye (120) ve anot plakalar. (104) boyutlar. baglEblmaktadE Baska bir mm kalIiglIa bir yalifkan katman tarafIan saglanabilmektedir.

Anot plaklarü104) substrat. (102) katmanlEyap-I içinde herhangi bir uygun konumda gömülebilmektedir. Örnegin, yallflkan katman. (120) içerisinde kaplüilabilmektedirler.

Baska bir yapllândlünada, substrat (102) istenen kapasitif performansa ulasabilen ve odanI (202) arka kapagIlIG208) olusturabilen bir tek malzeme içerebilmektedir.

Takdir edilir ki substrat katman. (102) yaplîlîhe olursa olsun, substrat katmanI (102) toplam kalIigilZbdadaki (202) istenen vakumu elde etmek için herhangi bir uygun degerde olabilmektedir. Bir örnekte, substrat (102) 2 mm kalI[g]Ia olabilmektedir.

Takdir edilir ki, sekil 1'de gösterilen yapllândlElnanI substrat katman. vakum-olmayan yüzünde (108) arka kontaklar (112) saglanmasi ragmen, kontaklar (112) herhangi bir uygun yönde saglanabilmektedir. Örnegin, bunlar substrat. (102) vakum-olmayan yüzüne (108) tamamen veya kliinen gömülebilmektedir. BazlZyapllândlEilnalarda, arka yüz kontaklarü tamamen dahil edilmeyebilir ve dlglarEl/erme kontaklarE(116) dogrudan kanal kontaklarlEla (106) eslendirilebilmektedir.

Aynüamanda takdir edilir ki anot plakalarlEtlaki (104) yükleri algilâyLöl islemek için herhangi bir uygun dlgarlîlerme devre sistemi (114) kullanllâbilmektedir.

Yukari açllZlanan detektör (100) herhangi bir uygun türden elektron çogaIt-ia (200) kullanilâbilmektedir. Aynüamanda takdir edilir ki aynlîprensip diger herhangi bir türde yük algilâmak için uygulanabilmektedir.

Daha da takdir edilir ki farklEyapilândlElnalarda açllZlanan özellikler tek bir yapllândlülnada birlestirilebilmektedir. Benzer bir sekilde, tek bir yapliândlünamada birkaç özelligin birlesik halde açlKIandiglIa, bu tür özellikler aynlâamanda ayrßlarak veya uygun alt-bilesmelerde saglanabilmektedir.

Claims (15)

ISTEMLER

1. Bir elektron çogaltlîlgîçin bir detektör (100) olup, asagldhkileri içermektedir: bir yalilîlkan malzeme içeren substrat (102), substrat birinci yüze ve zlîlbir ikinci yüze sahiptir; substrat. birinci yüzüne bitisik olarak bulunan bir yük toplayiElîGlZZ); bir anot (104a-d); anot, yük toplay- kapasitif halde eslenecek sekilde birin yüzden araliElandBiimaktadIB böylece yük toplay- gelen yük, anot üzerinde bir görüntü yükü üretmektedir ve anot ile eslendirilmis ve substrat. içinden substrat. ikinci yüzüne geçen bir kanal kontag [EiI (106a-d), söz konusu anodun substrat. içerisinde olmasEile karakterize edilmektedir. .

SubstratI birinci yüzü ve/veya ikinci yüzü olusturan seramik katmanüblusturdugu bir yaliflkan katman içerdigi, Istem 1'e göre detektör. .

Anodun, yallHkan katmanI içerisinde veya yallflkan katmanlEl kenarIda saglandEgiÇl Istem Z'ye göre detektör. .

Anodun, seramik katmanlEI ve yaliElkan katman. arasIaki ara yüzde saglandigilÇl Istem 3'e göre detektör. .

SubstratI birinci yüzü ve anodun araslîidaki mesafenin en fazla 1 mm oldugu, önceki istemlerden herhangi birine göre detektör. .

Kanal kontagIITJl, substrat. içinden geçen bir yol klîlnü/e, substrat. ikinci yüzünde bir düzlemsel ku içerdigi, önceki istemlerden herhangi birine göre detektör. .

Devre sistemini içeren, kanal kontagEliIe eslendirilen, devre sisteminin anotta Indüklenen görüntü yükünü dgrlýla vermek için düzenlendigi ve algllânan yüke göre, yük toplay- indüklenen bir elektron çlglll konumunu belirlemek için düzenlenen bir islemci içerdigi, önceki istemlerden herhangi birine göre detektör. .

Anodun birden çok elektrige karslJallEllüilglanot plakasükserdigi ve genellikle her anot plakasII farkIEbir kanal kontag. eslendirildigi ve burada devre sisteminin ayrlîla her anot plakasIan görüntü yükünü ayrlîia dlgiarEl/ermek için düzenlendigi, önceki istemlerden herhangi birine göre detektör.

9. Devre sisteminin, indüklenen yükü en az iki anot plakaleda eszamanllîbir sekilde dlghrüermek için düzenlendigi, Istem 8'e göre detektör.

10. Istem 8 veya Istem 9'a göre detektör olup, burada islemci asag-kileri gerçeklestirmek için düzenlenmektedir: komsu anot plakalarIa eszamanIEl indüklenen görüntü yükünün karsilâstlîllüiaslîle karsilâstlElnaya göre yük toplay- indüklenen elektron çiglII konumunun belirlenmesi.

11. Yük toplay-IEl, tercihen en az 250 kohm / kare degerinde levha direncine sahip olan bir rezistif katman oldugu, önceki istemlerden herhangi birine göre detektör.

12. Bir elektron çogaltlîlîlîcblup, asaglöhkileri içermektedir: algilânan tek bir elektrona cevap olarak bir elektron çigJII baslatilûiasüçin vasiß; elektron çiglÇltek elektronun algilând lgllâynlîkonumda yayilIhaktadlÜ ve elektron çlgllEbIglEmak için ve algllânan elektron çlglll konumundan tek elektronun konumunu alglIâmak için, istemler 1 ila 14'ten herhangi birine göre detektör.

13. Vakumda bir elektron çlgiEbaslatma vasltâsIEb sahip bir ölçme odasEIçeren, istem 15'e göre elektron çogaltlîlgîl

14. OdanI bir gövde tarafian belirlendigi, substratI gövdeyi en az klâtnen olusturdugu ve yük toplay-I vakum içinde ve substratI ikinci yüzünün vakum dlgüda tutuldugu, Istem 16'ya göre elektron çogaltlîlgj

15. Istemler 12 ila 14'ten herhangi birine göre detektör, ayrlEla asagldhkileri içermektedir: birinci yüz ve karsiÜKIElikinci yüze sahip olan elektron dönüstürücüsü; elektron dönüstürücüsü, birinci yüzde birinci bir konumda bir foton veya diger kuanta almak Için ve gelen foton veya kuantaya cevap olarak, ikinci yüzde bir birinci konumdan bir elektronun yayiIIhasEiçin düzenlenmektedir, elektron, bir elektron çlglII baslatllüiasEl için araçlara dogru yayilüiaktadlEl