[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

RU95107699A - Способ и устройство для нанесения покрытия на стеклянную подложку - Google Patents

Способ и устройство для нанесения покрытия на стеклянную подложку

Info

Publication number
RU95107699A
RU95107699A RU95107699/02A RU95107699A RU95107699A RU 95107699 A RU95107699 A RU 95107699A RU 95107699/02 A RU95107699/02 A RU 95107699/02A RU 95107699 A RU95107699 A RU 95107699A RU 95107699 A RU95107699 A RU 95107699A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
distributor
coating
reaction mixture
gaseous reaction
vertical pipes
Prior art date
Application number
RU95107699/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2125620C1 (ru
Inventor
Д.Гудмэн Рональд
Us]
Original Assignee
Либби-Оуэнс-Форд Ко. (US)
Либби-Оуэнс-Форд Ко.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Либби-Оуэнс-Форд Ко. (US), Либби-Оуэнс-Форд Ко. filed Critical Либби-Оуэнс-Форд Ко. (US)
Publication of RU95107699A publication Critical patent/RU95107699A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2125620C1 publication Critical patent/RU2125620C1/ru

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
    • C23C16/45595—Atmospheric CVD gas inlets with no enclosed reaction chamber
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/001—General methods for coating; Devices therefor
    • C03C17/002—General methods for coating; Devices therefor for flat glass, e.g. float glass
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/22—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
    • C03C17/23—Oxides
    • C03C17/245—Oxides by deposition from the vapour phase
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/453—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating passing the reaction gases through burners or torches, e.g. atmospheric pressure CVD

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Abstract

Устройство 10 для нанесения покрытия на стеклянную подложку, которое состоит из газового распределителя 14 с выпускным отверстием 30, близко расположенным к подложке для направления газообразной реакционной смеси к поверхности подложки. Имеется множество вертикальных трубок 24, которые сообщаются с распределителем и расположены на некотором расстоянии друг от друга по всей длине распределителя для подвода газообразной реакционной смеси к распределителю. Устройство включает в себя устройство для определения равномерности толщины покрытия, которое наносится на подложку по всей ее ширине. И, наконец, имеется устройство для подачи одного или нескольких реагентов или же инертного газа 36 в одну или более вертикальных трубок для того, чтобы изменить концентрацию одного или более реагентов в газообразной реакционной смеси, которая подается по одной или более вертикальным трубкам. В результате изменяется скорость нанесения покрытия вблизи таких вертикальных трубок для достижения равномерности нанесения покрытия.

Claims (1)

  1. Устройство 10 для нанесения покрытия на стеклянную подложку, которое состоит из газового распределителя 14 с выпускным отверстием 30, близко расположенным к подложке для направления газообразной реакционной смеси к поверхности подложки. Имеется множество вертикальных трубок 24, которые сообщаются с распределителем и расположены на некотором расстоянии друг от друга по всей длине распределителя для подвода газообразной реакционной смеси к распределителю. Устройство включает в себя устройство для определения равномерности толщины покрытия, которое наносится на подложку по всей ее ширине. И, наконец, имеется устройство для подачи одного или нескольких реагентов или же инертного газа 36 в одну или более вертикальных трубок для того, чтобы изменить концентрацию одного или более реагентов в газообразной реакционной смеси, которая подается по одной или более вертикальным трубкам. В результате изменяется скорость нанесения покрытия вблизи таких вертикальных трубок для достижения равномерности нанесения покрытия.
    Figure 00000001
RU95107699A 1993-04-16 1994-04-14 Способ нанесения покрытия на поверхность основы (варианты) и устройство для их осуществления RU2125620C1 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US4879793A 1993-04-16 1993-04-16
US08/048.797 1993-04-16
PCT/US1994/004134 WO1994024331A1 (en) 1993-04-16 1994-04-14 Method and apparatus for coating a glass substrate

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU95107699A true RU95107699A (ru) 1996-12-27
RU2125620C1 RU2125620C1 (ru) 1999-01-27

Family

ID=21956495

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU95107699A RU2125620C1 (ru) 1993-04-16 1994-04-14 Способ нанесения покрытия на поверхность основы (варианты) и устройство для их осуществления

Country Status (12)

Country Link
US (1) US5607725A (ru)
EP (1) EP0649479B1 (ru)
JP (1) JPH07508257A (ru)
CN (1) CN1037702C (ru)
AU (1) AU6705094A (ru)
CA (1) CA2136639A1 (ru)
CZ (1) CZ317694A3 (ru)
DE (1) DE69422770T2 (ru)
PL (1) PL178112B1 (ru)
PT (1) PT649479E (ru)
RU (1) RU2125620C1 (ru)
WO (1) WO1994024331A1 (ru)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2724923B1 (fr) * 1994-09-27 1996-12-20 Saint Gobain Vitrage Technique de depot de revetements par pyrolyse de composition de gaz precurseur(s)
US6126744A (en) * 1996-11-18 2000-10-03 Asm America, Inc. Method and system for adjusting semiconductor processing equipment
US6198537B1 (en) * 1997-07-11 2001-03-06 Philip Morris Incorporated Optical inspection system for the manufacture of banded cigarette paper
US6194038B1 (en) * 1998-03-20 2001-02-27 Applied Materials, Inc. Method for deposition of a conformal layer on a substrate
WO2009120862A2 (en) * 2008-03-26 2009-10-01 Gt Solar, Inc. Systems and methods for distributing gas in a chemical vapor deposition reactor
DE102008050936A1 (de) 2008-10-10 2010-04-15 Flabeg Gmbh & Co. Kg Solarspiegel, insbesondere zur Verwendung in einem thermischen Solarkraftwerk, thermisches Solarkraftwerk mit einem derartigen Solarspiegel sowie Verfahren zur Herstellung des Solarspiegels
CN103121798B (zh) * 2011-11-19 2015-12-16 蚌埠玻璃工业设计研究院 一种离线大面积镀膜方法
US9018108B2 (en) 2013-01-25 2015-04-28 Applied Materials, Inc. Low shrinkage dielectric films
US11015244B2 (en) 2013-12-30 2021-05-25 Advanced Material Solutions, Llc Radiation shielding for a CVD reactor
US10450649B2 (en) 2014-01-29 2019-10-22 Gtat Corporation Reactor filament assembly with enhanced misalignment tolerance

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2570392B1 (fr) * 1984-09-19 1987-01-02 Dme Procede de depot sur substrats optiques de couches antireflechissantes susceptibles d'etre gravees
US4732776A (en) * 1987-02-24 1988-03-22 Measurex Corporation Apparatus and method for controlling the thickness of coatings on paper or other materials
US5087525A (en) * 1989-02-21 1992-02-11 Libbey-Owens-Ford Co. Coated glass articles
US5217753A (en) * 1989-02-21 1993-06-08 Libbey-Owens-Ford Co. Coated glass articles
US5009485A (en) * 1989-08-17 1991-04-23 Hughes Aircraft Company Multiple-notch rugate filters and a controlled method of manufacture thereof

Also Published As

Publication number Publication date
DE69422770T2 (de) 2000-09-21
DE69422770D1 (de) 2000-03-02
EP0649479B1 (en) 2000-01-26
AU6705094A (en) 1994-11-08
EP0649479A1 (en) 1995-04-26
EP0649479A4 (en) 1997-10-01
CN1037702C (zh) 1998-03-11
CA2136639A1 (en) 1994-10-27
PL306776A1 (en) 1995-04-18
US5607725A (en) 1997-03-04
CN1105180A (zh) 1995-07-12
CZ317694A3 (en) 1995-08-16
PL178112B1 (pl) 2000-02-29
PT649479E (pt) 2000-05-31
RU2125620C1 (ru) 1999-01-27
JPH07508257A (ja) 1995-09-14
WO1994024331A1 (en) 1994-10-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU95107699A (ru) Способ и устройство для нанесения покрытия на стеклянную подложку
MX9700416A (es) Metodo y aparato para la aplicacion de materiales liquidos sobre substratos.
ES2060921T3 (es) Pigmento de cristal liquido, metodo de producirlo y uso en revestimientos.
KR900006248A (ko) 글래스를 코팅하는 방법 및 코팅된 글래스
TR200001336T2 (tr) Bir alt tabaka üzerindeki kesintili bir kaplamanın işlemden geçirilmesi için bir yöntem ve tertibat
EP0964083A3 (en) Method and apparatus for growing a compound semiconductor layer
ATE510935T1 (de) Vorrichtung und verfahren zur beschichtung von halbleitermaterial
NO175425C (no) Fremgangsmåte og apparat for påföring av belegg på varm glassoverflate
BR9002972A (pt) Dispositivo de vazamento
US20020197643A1 (en) Method and apparatus for producing biochips
GB1454379A (en) Apparatus for and method of applying a coating to a substrate
FI900082A (fi) Laitteisto ja menetelmä substraatin pinnoittamiseksi
ATE73176T1 (de) Verfahren und vorrichtung zum abstreifen von mit schmelzfluessigem material beschichtetem blech.
RU2005141292A (ru) Способ прямого нанесения слоя покрытия
JPS6422374A (en) Coating equipment
RU2114931C1 (ru) Устройство нанесения тонких пленок
ATE233607T1 (de) Verfahren und vorrichtung zum beschichten von hülsen und solche hülsen enthaltende produkte
ES2039873T3 (es) Aparato para revestir vidrio.
JPS60181283A (ja) 物質の化学的処理の為のプラズマ方法
SU1561548A1 (ru) Устройство для нанесения покрытий в вакууме
KR970021001A (ko) 증착튜브의 증착층 균일화 방법
JPS6429756A (en) Production of gradient gel membrane for electrophoresis
MY106108A (en) Process and apparatus for coating glass.
RU94024087A (ru) Устройство для плазмохимического осаждения пленки на подложку
KR870010224A (ko) 알루미늄 피복강선의 제조공정에 있어서 강선의 표면 전처리 장치