[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

RU2615941C1 - Способ нанесения покрытий на твердые сплавы - Google Patents

Способ нанесения покрытий на твердые сплавы Download PDF

Info

Publication number
RU2615941C1
RU2615941C1 RU2015154796A RU2015154796A RU2615941C1 RU 2615941 C1 RU2615941 C1 RU 2615941C1 RU 2015154796 A RU2015154796 A RU 2015154796A RU 2015154796 A RU2015154796 A RU 2015154796A RU 2615941 C1 RU2615941 C1 RU 2615941C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
coating
aluminum
protective layer
plate
layer
Prior art date
Application number
RU2015154796A
Other languages
English (en)
Inventor
Вячеслав Николаевич Аникин
Григорий Вячеславович Аникин
Игорь Викторович Блинков
Алексей Олегович Волхонский
Наталья Николаевна Золотарёва
Денис Валерьевич Кузнецов
Александр Владимирович Попов
Андрей Александрович Пьянов
Александр Иванович Пьянов
Александр Григорьевич Ракоч
Валентин Сергеевич Челноков
Original Assignee
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС" filed Critical Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС"
Priority to RU2015154796A priority Critical patent/RU2615941C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2615941C1 publication Critical patent/RU2615941C1/ru

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области металлообработки и может быть использовано для нанесения износостойких покрытий на режущий инструмент. Способ включает нанесение покрытия на поверхность пластины из твердого сплава в камере установки PVD, при этом на поверхность пластины наносят защитный слой из нитридов тугоплавких соединений, после чего без перерыва процесса в камере установки PVD осуществляют нанесение на защитный слой покрытия из алюминия, которое затем обрабатывают на установке микродугового оксидирования с образованием слоев оксида алюминия α и γ-модификаций толщиной 4-21 мкм. Изобретение повышает стойкость инструмента и качество обработки при действии высоких температур в зоне резания. 3 табл.

Description

Изобретение относится к области металлообработки, а именно к способам нанесения износостойких покрытий на режущий инструмент.
Известен способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента, описанный в патенте RU №2423547, С23С 14/24, 2011. Способ включает вакуумное ионно-плазменное нанесение износостойкого покрытия на основе сложного нитрида титана-хрома-циркония, при нанесении покрытия в качестве дополнительных компонентов используют алюминий и ниобий в количестве 1÷5 ат. % и содержание циркония более 5 ат. %. Нанесение покрытия осуществляют с помощью расположенных горизонтально в одной плоскости трех дуговых испарителей, подключенных к сепаратору капельной фазы, следующих составов: титан-алюминиевый катод из сплава ВТ-5, комбинированный цирконий-ниобиевый катод и хромовый катод. Недостатком нанесения известного способа является то, что покрытие не достигает максимальной твердости, определенной структурой кристаллов нитрида. В результате этого покрытие в большей мере подвергается износу, в нем быстро зарождаются и распространяются трещины, приводящие к разрушению покрытия. Кроме того, покрытие работает при температуре, не превышающей 1000°С.
В качестве прототипа выбран способ получения износостойкого покрытия, патент РФ №2494172, С23С 14/24, С23С 14/06, 2013, включающий вакуумное ионно-плазменное нанесение покрытия на основе сложного нитрида металлов с помощью нескольких дуговых испарителей, нанесение покрытия осуществляют в среде азотокислородной смеси с содержанием кислорода 1÷3 масс. % при давлении 0,07÷0,45 Па с использованием по меньшей мере двух дуговых испарителей, один из которых содержит гафниевый или циркониевый катод, остальные титановые. На поверхности обрабатываемого инструмента образуется покрытие из нитридов титана и гафния (Ti,Hf)N или циркония (Ti,Zr)N, в объеме которого случайно расположены наноразмерные частицы оксидов гафния или циркония. В процессе осаждения покрытия в среде азотокислородной смеси в первую очередь образуются кристаллы HfO2 или ZrO2. Оптимальный диапазон содержания кислорода в реакционной газовой смеси - 1÷3 масс. %. Покрытие обладает высокой твердостью, превышающей почти в 2 раза твердость покрытия из нитридов титана и циркония или гафния.
Недостатком данного покрытия является его низкая работоспособность при высоких температурах резания (1000°С-1200°С). Это связано с тем, что наноразмерные частицы оксидов гафния или циркония в покрытии расположены случайно и не образуют сплошного слоя, кроме того, покрытие не защищает поверхность материала основы от действия высоких температур. В результате теплоотдачи в инструмент основа перегревается и пластически деформируется, что ведет к потере его стойкости и снижению качества поверхности.
Увеличение стоимости в последнее время металлорежущего инструмента и ужесточение требований к точности обрабатываемых деталей сделало еще более актуальной проблему повышения стойкости РИ при высоких температурах эксплуатации. Основной причиной износа РИ является возникновение трещин в его режущей части, являющихся причиной появления сколов и выкрашиваний, связанных с усталостным разрушением и явлением ползучести режущего клина РИ. Ползучесть, в свою очередь, вызвана проникновением тепла, образующегося при резании и трении стружки о поверхности инструмента, вглубь инструмента. Одним из путей повышения стойкости и работоспособности РИ с покрытием является нанесение покрытий многослойного типа. Наличие в покрытии слоев с определенными теплофизическими и механическими свойствами способно тормозить процессы образования и распространения трещин без снижения микротвердости, улучшить термонапряженное состояние РИ с покрытием, снизить температуру основы и повысить стойкость РИ.
Технический результат разработанного покрытия - повышение стойкости режущего инструмента и качества обработки при высоких температурах. Пластина режущего инструмента содержит подложку из твердого сплава с, по меньшей мере, двумя износостойкими покрытиями, в том числе наружным керамическим покрытием, при этом на поверхность пластины под керамическое покрытие наносят защитный слой из нитридов тугоплавких соединений.
Технический результат достигается следующим образом.
Способ нанесения покрытий на твердые сплавы включает нанесение покрытия на поверхность пластины из твердого сплава на установке PVD. На установке PVD на поверхность пластины наносят защитный слой из нитридов тугоплавких соединений, после чего, не прерывая процесс, осуществляют нанесение на защитный слой покрытия из алюминия, которое затем обрабатывают на установке микродугового оксидирования (МДО) для образования слоев оксида алюминия α и γ-модификаций толщиной 4-21 мкм.
Способ заключается в нанесении нижнего, прилегающего к основе защитного слоя, состоящего из нитридов тугоплавких соединений и верхнего слоя алюминия при остаточном давлении в камере установки 1,2⋅10-3 Па в среде аргона алюминиевым испарителем на установке PVD. А также микродуговом оксидировании алюминиевого покрытия на всю глубину до защитного слоя с образованием слоев α, γ-Al2O3 толщиной 4-21 мкм на другой установке (МДО).
На основании анализа закономерностей процесса получения оксидных покрытий была выдвинута гипотеза о необходимости нанесения защитного слоя на поверхность твердого сплава - основу.
Защитный слой необходим в связи с тем, что наносимый жидкий алюминий проникает в основу, образуя нежелательные химические соединения с компонентами твердого сплава.
Кроме того, получение керамикоподобных покрытий связано с высокой температурой 1200°С фазового перехода γ-Al2O3 в α-Al2O3 модификацию (корунд с ромбоэдрической решеткой). При этой температуре происходит нежелательное окисление компонентов твердого сплава, что значительно снижает функциональные свойства износостойкого покрытия.
Поэтому при нанесении жидкого алюминия и проведении процесса МДО защитный слой должен выполнять три функции:
- защищать поверхность твердого сплава от образования химических соединений кобальта и вольфрама с жидким сверхактивным алюминием;
- увеличить температуру оксидирования и получить стабильную модификацию α-Al2O3, а также пористые метастабильные модификации Al2O3;
- поднять производительность процесса за счет применения высокой мощности оксидирования.
В качестве защитного слоя под нанесение алюминиевого покрытия был выбран слой из (Ti,Nb,Zr)N. Данный слой является плотным, тепло- и химически стойким, следовательно, обладает хорошими защитными свойствами.
На первом этапе для повышения прочности сцепления покрытий с основой рекомендуется проводить стандартную предварительную очистку изделий. Очистка от загрязнений, травление, шлифование или ударная обработка поверхности, кратковременная выдержка в восстановительной атмосфере, газовое или ионное травление, ультразвуковая, вакуумная и электрохимическая очистка - методы очистки подложки.
После очистки защитный слой и алюминий наносятся на установке PVD модели ННВ6.6-И1 по стандартной методике, которая описана в ТИ 48-4201-3-44-03 «Нанесение износостойких покрытий методом КИБ на установках ННВ6.6-И1 типа «Булат». Установка содержит систему создания вакуума и рабочую камеру, где осуществляется непосредственно генерация плазмы, создание ионно-плазменного потока и непосредственно проводится обработка пластин.
Очищенные пластины загружают в камеру на оснастку. Пластины располагаются передней плоскостью перпендикулярно направлению потока ионов распыляемого металла. После этого производится вакуумирование рабочей камеры: вначале форвакуумными насосами создается вакуум около 1,3 Па, а затем производится откачка на высокий вакуум диффузионным насосом до 1,3×10-3 Па. Подается азот при рабочем давления в камере 1,2×10-3 Па, опорное напряжение, подаваемое на подложку, составляет от 50 до 1200 В. Для формирования ионного потока использовался катод из Ti марки ВТ 1-0, который распылялся дугой 100-120 А. Для нанесения слоя алюминия использовался алюминиевый катод.
Режим нанесения защитного слоя выбирался на основании анализа экспериментальных данных (таблица 1).
Figure 00000001
Для выполнения необходимых функций наиболее приемлемым является второй вариант режима нанесения барьерного слоя.
Вторым этапом является получение слоя алюминия на защитном слое. Режим нанесения алюминиевого покрытия выбирался на основании анализа экспериментальных исследований (таблица 2).
Figure 00000002
Как следует из таблицы, при нанесении покрытия по первому варианту оно получается неравномерным в связи с оплавлением и сползанием с поверхности пластины алюминия.
При нанесении покрытия по третьему варианту заметно снижается производительность за счет увеличения времени процесса.
Наиболее приемлем второй вариант режимов нанесения покрытия несмотря на наличие некоторого количества капельной фазы, которая переплавляется при высоких температурах микродугового разряда характерных для МДО алюминия. Толщина алюминиевого слоя не должна превышать 20 мкм. Таким образом, твердосплавная пластина покрывалась защитным слоем и слоем алюминия.
Далее слой алюминия на твердосплавной пластине, покрытой защитным слоем и слоем алюминия, окислялся до получения оксида алюминия (α, γ-Al2O3 модификаций).
Для окисления алюминия был выбран метод микродугового оксидирования (МДО) - это процесс получения покрытий на поверхности электропроводящего материала, находящегося в электролите, в высоковольтном режиме, обеспечивающем наличие локальных микроразрядов, перемещающихся по поверхности при его анодной поляризации.
Выбранный метод обладает следующими преимуществами:
а) возможностью получения покрытий с более высокими показателями их функциональных свойств (твердость, износостойкость, адгезия к металлической основе, сопротивление усталости, противокоррозионная защитная способность);
б) минимизацией производственных площадей и сокращением времени технологического процесса, поскольку перед МДО не требуется предварительная подготовка поверхности деталей и конструкций;
в) высокой экологической чистотой процесса.
Известно, что метод микродугового оксидирования (МДО) применяется, в основном, для создания износостойкого защитного покрытия на поверхности алюминиевого сплава. Нанесение покрытия методом МДО на режущие пластины из твердого сплава не производилось.
Одним из важных этапов процесса МДО является получение оксида алюминия на поверхности барьерного слоя. От качества оксидного слоя зависят эксплуатационные характеристики покрытия, такие как износостойкость, прочность сцепления с основой и другие.
Основные требования к покрытию из оксида алюминия:
- одинаковая толщина покрытия по всей поверхности пластины;
- отсутствие сколов покрытия;
- отсутствие отслоений от основы.
Пример осуществления предлагаемого способа
На первом этапе создания покрытия твердосплавные пластины ТТ10К8Б формы SNUN120408 промывают в ультразвуковой ванне, протирают спиртом и устанавливают на поворотном устройстве в вакуумной камере установки «Ионно-плазменной камерной вакуумной ННВ-6.6-И1» типа «Булат», снабженной тремя испарителями, расположенными горизонтально в одной плоскости. Камеру откачивают до давления 1,5-2×10-5 мм рт.ст., подают аргон до давления 1,5-2×10-3 мм рт.ст., включают поворотное устройство, подают на него отрицательное напряжение 1000-1100 В, включают один испаритель (катод) из титана марки ВТ1 при токе дуги 130 А, производят ионную очистку и нагрев пластин до температуры 750-800°С в течение 10-15 мин. Затем снижают отрицательное напряжение до 120 В, включают два противоположных испарителя (катода) из ниобия и циркония, подают в камеру реакционный газ - азот и осаждают покрытие толщиной 4 мкм (партия пластин №2,), 5 мкм (партия пластин №3, 4, 7) и 7 мкм (партия пластин №1, 5, 6) в течение 90-110 мин при давлении газа 3×10-3 мм рт.ст. Температура конденсации при этом 450-500°С. Затем выключают испарители, подачу реакционного газа и вращение поворотного приспособления, осуществляют остывание пластин в течение 45-50 мин. После открытия камеры, не вынимая пластины, меняют титановый, ниобиевый и циркониевый катоды на алюминиевый марки А1. Откачивают камеру на высокий вакуум и подают аргон до давления 1,5-2×10-3 мм рт.ст., устанавливают ток дугового разряда 100 А, поднимают напряжение на подложке до величины 1000-1100 В, производят ионную очистку и нагрев до температуры 550-600°С, затем снижают напряжение на подложке до 80 В. Проводят процесс нанесения покрытия толщиной 4 мкм (партия пластин №2); 15 и 17 мкм (партия пластин №4, 5); 27 и 25 мкм (партия пластин №6, 7); и 30 мкм (партия пластин №1) в течение 40-150 мин при температуре изделий 500-550°С. Затем выключают алюминиевый испаритель, подачу реакционного газа и вращение поворотного устройства. Через 45-50 мин открывают камеру и извлекают инструмент с покрытием и дают ему остыть окончательно на воздухе.
Следующий этап получение на пластинах слоя α,γ-Al2O3 на установке микродугового оксидирования.
1) Образцы с защитным слоем и нанесенным на него алюминиевым покрытием устанавливают на токопроводящую оснастку, которую подключают к источнику тока.
2) В ванну заливают щелочной электролит «3-2-7» следующего состава: 3 г/л NaOH, 2 г/л Na6P6O18, 7 г/л технического жидкого стекла (ТЖС). Включают мешалку, которая его перемешивает. Для охлаждения электролита по контуру ванны пускают холодную воду. Ванну, являющуюся катодом, подключают к источнику тока.
3) Образцы на оснастке опускают в электролит, плотность тока которого составила 7,5 мА/мм2. Время оксидирования 5-25 мин.
4) По окончании процесса оксидирования образцы достают из ванны, промывают и сушат в сушильном шкафу.
Анализ результатов показал, что оксидированный слой покрытия состоит из трех слоев:
- из верхнего пористого хрупкого слоя оксида алюминия, судя по рентгенографическим данным, скорее всего состоящего из Al2O3-каппа с добавками дельта, зета, бета и эта;
- из серого плотного слоя оксида алюминия, состоящего из α-Al2O3 (с твердостью 2000-2100 кг/мм2;
- слоя, прилегающего к защитному слою, представляющего из себя, судя по микротвердости, γ-Al2O3 (с твердостью 1000-1200 кг/мм2).
При этом толщина защитного слоя должна быть 4-7 мкм, это связано с тем, что при меньших толщинах кобальт начинает взаимодействовать с алюминием, охрупчивая всю композицию, выше 7 мкм значительно увеличивается трудоемкость и, следовательно, цена покрытия. Суммарная толщина слоев α-, и γ-Al2O3 должна составлять 4-21 мкм, т.к. ниже 4 мкм невозможно получить α, γ-Al2O3 модификацию, а толщина оксидных слоев выше 21 мкм ограничена общей толщиной покрытия 25 мкм (4+21), так как выше этого значения происходит разрушение покрытия за счет высоких остаточных напряжений в покрытии.
Стойкостные испытания проводили на токарно-винторезном станке 16К20. В качестве обрабатываемого материала использовалась конструкционная Сталь 50. Режимы резания: V=240 м/мин, S=0,2 мм/об, t=1,0 мм. Проводили испытания твердосплавных пластин марки ТТ10К8Б, обработанных по предлагаемому способу. За критерий затупления принимался износ по задней грани шириной до 0,5 мм.
Figure 00000003
Как видно из приведенных в табл. 3 данных, стойкость пластин с общей толщиной покрытия 8-25 мкм, обработанных по предлагаемому способу, выше стойкости пластин с покрытием (Ti, Nb, Zr)N толщиной 5 мкм, применяемыми в промышленности.

Claims (1)

  1. Способ нанесения покрытия на пластину из твердого сплава, включающий нанесение покрытия на поверхность пластины из твердого сплава в камере установки PVD, отличающийся тем, что на поверхность пластины наносят защитный слой из нитридов тугоплавких соединений, после чего без перерыва процесса в камере установки PVD осуществляют нанесение на защитный слой покрытия из алюминия, которое затем обрабатывают на установке микродугового оксидирования (МДО) с образованием слоев оксида алюминия α и γ-модификаций толщиной 4-21 мкм.
RU2015154796A 2015-12-21 2015-12-21 Способ нанесения покрытий на твердые сплавы RU2615941C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015154796A RU2615941C1 (ru) 2015-12-21 2015-12-21 Способ нанесения покрытий на твердые сплавы

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015154796A RU2615941C1 (ru) 2015-12-21 2015-12-21 Способ нанесения покрытий на твердые сплавы

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2615941C1 true RU2615941C1 (ru) 2017-04-11

Family

ID=58642838

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2015154796A RU2615941C1 (ru) 2015-12-21 2015-12-21 Способ нанесения покрытий на твердые сплавы

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2615941C1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2679857C1 (ru) * 2018-01-19 2019-02-13 Общество с ограниченной ответственностью "ВПТ-НН" Способ нанесения высокотемпературного покрытия на режущий инструмент

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3741292A1 (de) * 1987-12-05 1989-06-15 Repenning Detlev Verfahren zur herstellung harter mehrlagiger schichten
JPH02282496A (ja) * 1989-04-21 1990-11-20 Fukushin Mekki Kogyosho:Kk 装飾用着色をするための処理方法
RU2468124C1 (ru) * 2011-08-16 2012-11-27 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС" Способ нанесения комбинированных pvd/cvd/pvd покрытий на режущий твердосплавный инструмент
RU2494172C1 (ru) * 2012-08-07 2013-09-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Казанский национальный исследовательский технологический университет" (ФГБОУ ВПО "КНИТУ") Способ получения износостойкого покрытия

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3741292A1 (de) * 1987-12-05 1989-06-15 Repenning Detlev Verfahren zur herstellung harter mehrlagiger schichten
JPH02282496A (ja) * 1989-04-21 1990-11-20 Fukushin Mekki Kogyosho:Kk 装飾用着色をするための処理方法
RU2468124C1 (ru) * 2011-08-16 2012-11-27 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС" Способ нанесения комбинированных pvd/cvd/pvd покрытий на режущий твердосплавный инструмент
RU2494172C1 (ru) * 2012-08-07 2013-09-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Казанский национальный исследовательский технологический университет" (ФГБОУ ВПО "КНИТУ") Способ получения износостойкого покрытия

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2679857C1 (ru) * 2018-01-19 2019-02-13 Общество с ограниченной ответственностью "ВПТ-НН" Способ нанесения высокотемпературного покрытия на режущий инструмент

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7648782B2 (en) Ceramic coating member for semiconductor processing apparatus
RU2360032C1 (ru) Способ получения износостойких сверхтвердых покрытий
US20090208667A1 (en) Method for manufacturing ceramic covering member for semiconductor processing apparatus
JP5257750B2 (ja) 表面被覆切削工具
WO2010101051A1 (ja) スパッタリングターゲット及びその製造方法
JP2009078351A (ja) 被膜付き切削工具の製造方法
JP2007247042A (ja) 半導体加工装置用セラミック被覆部材
KR20120000087A (ko) Pvd 피복 공구
Liu et al. Cutting performance and wear behavior of AlTiN-and TiAlSiN-coated carbide tools during dry milling of Ti–6Al–4V
JP2010131741A (ja) 表面被覆切削工具
RU2413786C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2615941C1 (ru) Способ нанесения покрытий на твердые сплавы
RU2430988C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
JP2008284642A (ja) 被覆切削工具
RU2410466C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2414533C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2414532C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
EP2860285A1 (en) Method for increasing heat resistance of metallic articles
JP3971337B2 (ja) α型結晶構造主体のアルミナ皮膜の製造方法、α型結晶構造主体のアルミナ皮膜で被覆された部材およびその製造方法
RU2414528C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2414542C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2424366C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2414544C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2801705C1 (ru) Способ формирования микротекстур на поверхности режущих пластин из диэлектрических керамик электроэрозионной обработкой
Cheong et al. Thermal stablility and oxidation resistance of CrAlSiN nano-structured coatings deposited by lateral rotating cathode arc

Legal Events

Date Code Title Description
QB4A Licence on use of patent

Free format text: LICENCE FORMERLY AGREED ON 20201217

Effective date: 20201217