[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

RU2331900C1 - Магнитный датчик и способ компенсации зависящей от температуры характеристики магнитного датчика - Google Patents

Магнитный датчик и способ компенсации зависящей от температуры характеристики магнитного датчика Download PDF

Info

Publication number
RU2331900C1
RU2331900C1 RU2006143439/28A RU2006143439A RU2331900C1 RU 2331900 C1 RU2331900 C1 RU 2331900C1 RU 2006143439/28 A RU2006143439/28 A RU 2006143439/28A RU 2006143439 A RU2006143439 A RU 2006143439A RU 2331900 C1 RU2331900 C1 RU 2331900C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
magnetic sensor
elements
magnetoresistive elements
substrate
heating
Prior art date
Application number
RU2006143439/28A
Other languages
English (en)
Inventor
Хидеки САТО (JP)
Хидеки САТО
Original Assignee
Ямаха Корпорейшн
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ямаха Корпорейшн filed Critical Ямаха Корпорейшн
Application granted granted Critical
Publication of RU2331900C1 publication Critical patent/RU2331900C1/ru

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82—NANOTECHNOLOGY
    • B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y25/00—Nanomagnetism, e.g. magnetoimpedance, anisotropic magnetoresistance, giant magnetoresistance or tunneling magnetoresistance
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C17/00—Compasses; Devices for ascertaining true or magnetic north for navigation or surveying purposes
    • G01C17/38—Testing, calibrating, or compensating of compasses
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/0005—Geometrical arrangement of magnetic sensor elements; Apparatus combining different magnetic sensor types
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/0064—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables comprising means for performing simulations, e.g. of the magnetic variable to be measured
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G01R33/0206—Three-component magnetometers
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
    • G01R33/09—Magnetoresistive devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
    • G01R33/09—Magnetoresistive devices
    • G01R33/091—Constructional adaptation of the sensor to specific applications
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
    • G01R33/09—Magnetoresistive devices
    • G01R33/093—Magnetoresistive devices using multilayer structures, e.g. giant magnetoresistance sensors
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/02—Bonding areas ; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
    • H01L24/05—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
    • H01L2224/04042—Bonding areas specifically adapted for wire connectors, e.g. wirebond pads
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001—Core members of the connector
    • H01L2224/45099—Material
    • H01L2224/451—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
    • H01L2224/45138—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/45144—Gold (Au) as principal constituent
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/484—Connecting portions
    • H01L2224/48463—Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11—Device type
    • H01L2924/14—Integrated circuits

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Measuring Magnetic Variables (AREA)
  • Hall/Mr Elements (AREA)
  • Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)

Abstract

Изобретение относится к магнитному датчику, использующему магниторезистивный элемент. Магнитный датчик 10 включает в себя СМР-элементы 11-18 и нагревательные катушки 21-24, служащие в качестве тепловыделяющих элементов. Элементы 11-14 и 15-18 соединяются между собой в виде моста, составляя датчики оси Х и оси Y соответственно. Нагревательные катушки 21, 22, 23 и 24 располагаются рядом с элементами 11 и 12, элементами 13 и 14, элементами 15 и 16 и элементами 17 и 18 соответственно. Нагревательные катушки 21-24 при электрическом возбуждении нагревают главным образом соседние элементы. Поэтому элементы могут нагреваться и охлаждаться в течение короткого периода времени, во время которого может обеспечиваться постоянный геомагнетизм. Данные для компенсации зависящей от температуры характеристики (отношение изменения выходного значения датчика к изменению температуры элемента) получают на основе температур элементов до и после нагревания и выходных значений магнитного датчика до и после нагревания. Затем компенсируются температурные характеристики элементов на основе этих данных. 2 н.п. ф-лы, 18 ил.

Description

Текст описания приведен в факсимильном виде.
Figure 00000001
Figure 00000002
Figure 00000003
Figure 00000004
Figure 00000005
Figure 00000006
Figure 00000007
Figure 00000008
Figure 00000009
Figure 00000010
Figure 00000011
Figure 00000012
Figure 00000013
Figure 00000014
Figure 00000015
Figure 00000016
Figure 00000017
Figure 00000018
Figure 00000019
Figure 00000020
Figure 00000021
Figure 00000022
Figure 00000023
Figure 00000024
Figure 00000025
Figure 00000026
Figure 00000027
Figure 00000028
Figure 00000029
Figure 00000030
Figure 00000031
Figure 00000032
Figure 00000033
Figure 00000034
Figure 00000035
Figure 00000036
Figure 00000037
Figure 00000038
Figure 00000039
Figure 00000040
Figure 00000041
Figure 00000042
Figure 00000043
Figure 00000044
Figure 00000045
Figure 00000046
Figure 00000047
Figure 00000048
Figure 00000049
Figure 00000050
Figure 00000051
Figure 00000052
Figure 00000053
Figure 00000054
Figure 00000055
Figure 00000056
Figure 00000057
Figure 00000058
Figure 00000059
Figure 00000060
Figure 00000061

Claims (2)

1. Магнитный датчик, содержащий единственную подложку, множество магниторезистивных элементов, секцию разводки, соединяющую между собой в виде моста упомянутое множество магниторезистивных элементов, и секцию схемы управления для получения при помощи упомянутой секции разводки физической величины, определяемой на основе значений сопротивления упомянутого множества магниторезистивных элементов, и обработки физической величины так, чтобы генерировать выходной сигнал, подлежащий выводу наружу, в котором упомянутый магнитный датчик дополнительно включает в себя множество слоев, наложенных на упомянутую подложку; упомянутые магниторезистивные элементы формируются на верхней поверхности одного из упомянутого множества слоев; упомянутая секция разводки и упомянутая секция схемы управления формируются в упомянутой подложке и упомянутом множестве слоев; и упомянутые магниторезистивные элементы, упомянутая секция разводки и упомянутая секция схемы управления соединяются между собой в упомянутом множестве слоев при помощи секции соединений, сформированной из проводящего материала и проходящей по направлению, пересекающему поверхности слоев упомянутых слоев.
2. Магнитный датчик, содержащий подложку, множество магниторезистивных элементов, расположенных на верхней части упомянутой подложки, секцию разводки, расположенную на верхней части упомянутой подложки и соединяющую между собой упомянутое множество магниторезистивных элементов, и секцию схемы управления для получения при помощи упомянутой секции разводки физической величины, определяемой на основе значений сопротивления упомянутого множества магниторезистивных элементов, и обработки физической величины так, чтобы генерировать выходной сигнал, подлежащий выводу наружу, в котором упомянутое множество магниторезистивных элементов располагается на периферийной части упомянутой подложки, если смотреть сверху; упомянутая секция разводки располагается так, чтобы образовывать, по существу, замкнутую кривую, если смотреть сверху; и упомянутая секция схемы управления располагается, по существу, внутри упомянутой замкнутой кривой, если смотреть сверху.
RU2006143439/28A 2002-11-29 2002-11-29 Магнитный датчик и способ компенсации зависящей от температуры характеристики магнитного датчика RU2331900C1 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPPCT/JP02/12476 2002-11-29
PCT/JP2002/012476 WO2004051298A1 (ja) 2002-11-29 2002-11-29 磁気センサ、及び磁気センサの温度依存特性補償方法

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2005120389/28A Division RU2303791C2 (ru) 2002-11-29 2002-11-29 Магнитный датчик и способ компенсации зависящей от температуры характеристики магнитного датчика

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2331900C1 true RU2331900C1 (ru) 2008-08-20

Family

ID=32375632

Family Applications (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2006143439/28A RU2331900C1 (ru) 2002-11-29 2002-11-29 Магнитный датчик и способ компенсации зависящей от температуры характеристики магнитного датчика
RU2005120389/28A RU2303791C2 (ru) 2002-11-29 2002-11-29 Магнитный датчик и способ компенсации зависящей от температуры характеристики магнитного датчика
RU2006143438/28A RU2334241C1 (ru) 2002-11-29 2006-12-07 Магнитный датчик и способ компенсации зависящей от температуры характеристики магнитного датчика

Family Applications After (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2005120389/28A RU2303791C2 (ru) 2002-11-29 2002-11-29 Магнитный датчик и способ компенсации зависящей от температуры характеристики магнитного датчика
RU2006143438/28A RU2334241C1 (ru) 2002-11-29 2006-12-07 Магнитный датчик и способ компенсации зависящей от температуры характеристики магнитного датчика

Country Status (14)

Country Link
US (5) US7053607B2 (ru)
EP (2) EP2226644A1 (ru)
JP (1) JP4333582B2 (ru)
CN (3) CN1695066A (ru)
AT (1) ATE495458T1 (ru)
AU (1) AU2002349615B2 (ru)
BR (1) BR0215939A (ru)
CA (1) CA2507819C (ru)
DE (1) DE60238951D1 (ru)
HK (1) HK1080148A1 (ru)
MX (1) MXPA05005676A (ru)
RU (3) RU2331900C1 (ru)
TW (1) TWI251083B (ru)
WO (1) WO2004051298A1 (ru)

Families Citing this family (65)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100370580C (zh) 2004-03-29 2008-02-20 雅马哈株式会社 半导体晶片及其制造方法
JP5055704B2 (ja) * 2004-03-29 2012-10-24 ヤマハ株式会社 半導体装置の製造方法
KR100601956B1 (ko) * 2004-06-28 2006-07-14 삼성전자주식회사 자기장의 변화를 이용한 온도측정장치
JP4023476B2 (ja) * 2004-07-14 2007-12-19 日立金属株式会社 スピンバルブ型巨大磁気抵抗効果素子を持った方位計
DE102004043737A1 (de) * 2004-09-09 2006-03-30 Siemens Ag Vorrichtung zum Erfassen des Gradienten eines Magnetfeldes und Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung
KR20080100293A (ko) * 2004-10-07 2008-11-14 야마하 가부시키가이샤 지자기 센서 및 지자기 센서의 보정 방법
US7437257B2 (en) * 2004-10-07 2008-10-14 Yamaha Corporation Geomagnetic sensor and geomagnetic sensor correction method, temperature sensor and temperature sensor correction method, geomagnetism detection device
JP4945995B2 (ja) * 2004-10-12 2012-06-06 ヤマハ株式会社 地磁気検出装置
KR100768919B1 (ko) * 2004-12-23 2007-10-19 삼성전자주식회사 전원 생성 장치
EP1860451B1 (en) * 2005-03-17 2012-06-27 Yamaha Corporation 3-axis magnetic sensor and manufacturing method thereof
TWI313078B (en) * 2005-03-17 2009-08-01 Yamaha Corporatio Magnetic sensor and manufacturing method therefor
KR100771861B1 (ko) * 2005-05-26 2007-11-01 삼성전자주식회사 하드디스크 드라이브에 구비된 ｍｒ센서의 도메인 특성개선 방법 및 이에 적합한 프로그램을 기록한 기록 매체
JP4857628B2 (ja) * 2005-07-12 2012-01-18 ヤマハ株式会社 磁気センサモジュールの検査方法
JP4624227B2 (ja) * 2005-09-29 2011-02-02 京セラ株式会社 通信端末、移動体通信システム及び通信制御方法
US7511990B2 (en) * 2005-09-30 2009-03-31 Everspin Technologies, Inc. Magnetic tunnel junction temperature sensors
ATE434189T1 (de) * 2006-03-09 2009-07-15 Teradyne Inc V/i-quelle und testsystem damit
US20080013298A1 (en) * 2006-07-14 2008-01-17 Nirmal Sharma Methods and apparatus for passive attachment of components for integrated circuits
EP2060926B1 (en) * 2006-07-26 2013-01-02 Alps Electric Co., Ltd. Magnetic sensor
US7633039B2 (en) 2006-08-31 2009-12-15 Infineon Technologies Ag Sensor device and a method for manufacturing the same
US8192080B2 (en) * 2007-01-23 2012-06-05 Tsi Technologies Llc Microwire-controlled autoclave and method
JP4768066B2 (ja) * 2007-03-20 2011-09-07 アルプス電気株式会社 磁気抵抗効果素子を用いた位置検知装置
US8538318B2 (en) * 2007-04-23 2013-09-17 Pure Imagination, LLC Apparatus and methods for an interactive electronic book system
US7825656B2 (en) 2007-05-30 2010-11-02 Infineon Technologies Ag Temperature compensation for spaced apart sensors
US8989779B1 (en) * 2007-10-26 2015-03-24 Cellco Partnership Venue-based device control and determination
JP4308318B2 (ja) * 2007-11-08 2009-08-05 株式会社三協電機 車両検知方法、車両検知装置及び車両検知ユニット
JP4626728B2 (ja) * 2009-03-26 2011-02-09 愛知製鋼株式会社 磁気検出装置
US20110267048A1 (en) * 2010-04-29 2011-11-03 Alexandre Bratkovski Magnetically sensitive devices
IT1402178B1 (it) 2010-09-09 2013-08-28 St Microelectronics Srl Circuito di lettura a compensazione automatica dell'offset per un sensore di campo magnetico e relativo metodo di lettura a compensazione automatica dell'offset
US9013175B2 (en) 2010-11-26 2015-04-21 Stmicroelectronics S.R.L. Reading circuit for a magnetic field sensor with sensitivity calibration, and related reading method
CN202119391U (zh) * 2011-03-03 2012-01-18 江苏多维科技有限公司 一种独立封装的磁电阻角度传感器
CN202230192U (zh) * 2011-03-03 2012-05-23 江苏多维科技有限公司 推挽桥式磁电阻传感器
US9024632B2 (en) 2011-05-30 2015-05-05 Denso Corporation Magnetic sensor with a plurality of heater portions to fix the direction of magnetization of a pinned magnetic layer
JP5397496B2 (ja) * 2011-05-30 2014-01-22 株式会社デンソー 磁気センサ装置およびその製造方法
RU2478219C1 (ru) * 2011-10-11 2013-03-27 федеральное государственное бюджетное учреждение "Научно-производственный комплекс "Технологический центр "МИЭТ" Профилированный магниторезистивный микрочип биосенсорного устройства
US9395391B2 (en) * 2013-03-15 2016-07-19 Allegro Microsystems, Llc Magnetic field sensor and associated method that can store a measured threshold value in a memory device during a time when the magnetic field sensor is powered off
US9046556B2 (en) * 2012-06-14 2015-06-02 Freescale Semiconductor Inc. Sensing device and related operating methods
US9651981B2 (en) * 2012-08-09 2017-05-16 Infineon Technologies Austria Ag Integrated chip with heating element and reference circuit
JP6089572B2 (ja) * 2012-10-18 2017-03-08 ヤマハ株式会社 磁気抵抗効果素子のリセット回路
CN103997341B (zh) * 2013-02-16 2017-12-19 苏州市灵矽微系统有限公司 一种应用于地磁测量的高精度adc及其模拟前端电路
CN103267520B (zh) * 2013-05-21 2016-09-14 江苏多维科技有限公司 一种三轴数字指南针
US9671486B2 (en) * 2013-06-18 2017-06-06 Infineon Technologies Ag Sensors, systems and methods for compensating for thermal EMF
JP6344908B2 (ja) * 2013-12-03 2018-06-20 日本電産サンキョー株式会社 センサ装置およびセンサ装置での温度制御方法
RU2563600C1 (ru) * 2014-07-29 2015-09-20 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС" Сверхчувствительный интеллектуальный магнитоимпедансный датчик с расширенным диапазоном рабочих температур
EP3023803B1 (en) * 2014-11-19 2020-03-18 Crocus Technology S.A. MLU cell for sensing an external magnetic field and a magnetic sensor device comprising the MLU cell
DE102015206840B4 (de) * 2015-04-16 2024-08-08 Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft Thermisch überwachte Ladevorrichtung
JP6619974B2 (ja) * 2015-08-28 2019-12-11 日本電産サンキョー株式会社 エンコーダ
JP6634277B2 (ja) * 2015-12-04 2020-01-22 日本電産サンキョー株式会社 位置検出装置
RU2610932C1 (ru) * 2015-12-10 2017-02-17 Акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро" Способ определения температурных характеристик трёхкомпонентного магнитометра и устройство для его осуществления
CN106885588B (zh) * 2015-12-14 2019-08-20 英飞凌科技股份有限公司 具有热电动势补偿的传感器布置
CN205581283U (zh) * 2016-04-11 2016-09-14 江苏多维科技有限公司 一种具有初始化线圈封装的磁电阻传感器
JP6808565B2 (ja) * 2017-04-07 2021-01-06 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置、それを備えた電子回路、及び、半導体装置の形成方法
CN110582705A (zh) * 2017-05-01 2019-12-17 小利兰·斯坦福大学托管委员会 用于在gmr生物传感器阵列上进行准确的温度测量的方法
JP6620796B2 (ja) * 2017-07-28 2019-12-18 Tdk株式会社 オフセット推定装置および方法、磁気センサの補正装置ならびに電流センサ
DE102017220684A1 (de) * 2017-11-20 2019-05-23 Robert Bosch Gmbh Detektion der Funktionsfähigkeit eines Aktuators mittels einem Mobilgerät
CN111433620B (zh) * 2017-12-04 2022-06-28 株式会社村田制作所 磁传感器
CN109368587A (zh) * 2018-10-30 2019-02-22 杭州士兰集成电路有限公司 地磁传感器件及其制造方法
DE102019101931B4 (de) 2019-01-25 2024-08-01 Tdk-Micronas Gmbh Sensorvorrichtung
CN109941956B (zh) * 2019-02-25 2021-11-12 潍坊歌尔微电子有限公司 Mems传感器及电子设备
CN110345938B (zh) * 2019-06-25 2021-08-31 潍坊歌尔微电子有限公司 一种晶圆级的磁传感器及电子设备
RU193375U1 (ru) * 2019-07-16 2019-10-28 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ивановский государственный энергетический университет имени В.И. Ленина" (ИГЭУ) Датчик внешнего магнитного поля
US11367830B2 (en) * 2020-09-08 2022-06-21 Allegro Microsystems, Llc Multi-layer integrated circuit with enhanced thermal dissipation using back-end metal layers
US11965939B2 (en) 2021-04-12 2024-04-23 Samsung Electronics Co., Ltd. Electronic device compensating for geomagnetic sensing data and method for controlling the same
US11598830B1 (en) 2022-03-04 2023-03-07 Allegro Microsystems, Llc TMR assembly having a heat sink
CN117615635A (zh) * 2022-08-22 2024-02-27 迈来芯电子科技有限公司 磁传感器器件以及生产磁传感器器件的方法
CN115628322B (zh) * 2022-10-26 2023-05-16 南京市锅炉压力容器检验研究院 一种易熔合金塞的智能控制方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1663588A1 (ru) * 1989-01-02 1991-07-15 Ю.М.П тин Устройство дл регистрации термомагнитных характеристик
EP0707218A2 (de) * 1994-10-15 1996-04-17 LUST ANTRIEBSTECHNIK GmbH Sensorchip
US6252395B1 (en) * 1998-02-04 2001-06-26 Denso Corporation Temperature-compensating amplification circuit and a position detecting apparatus using such amplification circuit
JP2001183433A (ja) * 1999-12-24 2001-07-06 Teikoku Tsushin Kogyo Co Ltd 磁気抵抗効果素子

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59159565A (ja) * 1983-03-02 1984-09-10 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd 磁気検出装置
JPS63193866A (ja) 1987-02-05 1988-08-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd 印字装置
JPS63193866U (ru) * 1987-05-29 1988-12-14
JPH03221810A (ja) 1990-01-26 1991-09-30 Sumitomo Electric Ind Ltd オフセット補正機能を有する方位検出装置
JP2869910B2 (ja) 1992-08-28 1999-03-10 株式会社村田製作所 磁気センサ装置
JPH06232478A (ja) * 1993-02-05 1994-08-19 Toyota Autom Loom Works Ltd 半導体装置
JPH06275887A (ja) * 1993-03-19 1994-09-30 Fujitsu Ltd 磁気抵抗素子
US5351003A (en) * 1993-04-02 1994-09-27 General Motors Corporation Temperature compensated magnetoresistive position sensor
US5561368A (en) 1994-11-04 1996-10-01 International Business Machines Corporation Bridge circuit magnetic field sensor having spin valve magnetoresistive elements formed on common substrate
JPH08139230A (ja) * 1994-11-11 1996-05-31 Sumitomo Kinzoku Ceramics:Kk セラミック回路基板とその製造方法
DE19649265C2 (de) * 1996-11-28 2001-03-15 Inst Physikalische Hochtech Ev GMR-Sensor mit einer Wheatstonebrücke
DE19742366C1 (de) 1997-09-25 1999-05-27 Siemens Ag Einrichtung mit magnetoresistivem Sensorelement und zugeordneter Magnetisierungsvorrichtung
DE10118650A1 (de) * 2001-04-14 2002-10-17 Philips Corp Intellectual Pty Winkelsensor sowie Verfahren zum Erhöhen der Anisotropiefeldstärke einer Sensoreinheit eines Winkelsensors
JP3835354B2 (ja) 2001-10-29 2006-10-18 ヤマハ株式会社 磁気センサ
JP2004070543A (ja) * 2002-08-05 2004-03-04 Rohm Co Ltd ポインティング制御回路付き磁気センサ

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1663588A1 (ru) * 1989-01-02 1991-07-15 Ю.М.П тин Устройство дл регистрации термомагнитных характеристик
EP0707218A2 (de) * 1994-10-15 1996-04-17 LUST ANTRIEBSTECHNIK GmbH Sensorchip
US6252395B1 (en) * 1998-02-04 2001-06-26 Denso Corporation Temperature-compensating amplification circuit and a position detecting apparatus using such amplification circuit
JP2001183433A (ja) * 1999-12-24 2001-07-06 Teikoku Tsushin Kogyo Co Ltd 磁気抵抗効果素子

Also Published As

Publication number Publication date
WO2004051298A1 (ja) 2004-06-17
EP1566649A4 (en) 2009-08-05
CA2507819A1 (en) 2004-06-17
CN2800289Y (zh) 2006-07-26
US20060103379A1 (en) 2006-05-18
US7262598B2 (en) 2007-08-28
AU2002349615A1 (en) 2004-06-23
MXPA05005676A (es) 2005-10-18
HK1080148A1 (zh) 2006-04-21
US20060290348A1 (en) 2006-12-28
JP4333582B2 (ja) 2009-09-16
US7268545B2 (en) 2007-09-11
RU2334241C1 (ru) 2008-09-20
EP2226644A1 (en) 2010-09-08
TW200424546A (en) 2004-11-16
RU2005120389A (ru) 2006-01-20
CA2507819C (en) 2010-09-14
US7573262B2 (en) 2009-08-11
US20060097721A1 (en) 2006-05-11
US7372260B2 (en) 2008-05-13
DE60238951D1 (de) 2011-02-24
CN101308198A (zh) 2008-11-19
TWI251083B (en) 2006-03-11
CN1695066A (zh) 2005-11-09
JPWO2004051298A1 (ja) 2006-04-06
BR0215939A (pt) 2005-09-06
EP1566649A1 (en) 2005-08-24
US20040104724A1 (en) 2004-06-03
US20060164079A1 (en) 2006-07-27
ATE495458T1 (de) 2011-01-15
RU2303791C2 (ru) 2007-07-27
EP1566649B1 (en) 2011-01-12
AU2002349615B2 (en) 2008-04-03
US7053607B2 (en) 2006-05-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2331900C1 (ru) Магнитный датчик и способ компенсации зависящей от температуры характеристики магнитного датчика
EP2696209B1 (en) Single-chip push-pull bridge-type magnetic field sensor
CN103954920B (zh) 一种单芯片三轴线性磁传感器及其制备方法
JP6275830B2 (ja) 熱流束を測定するための方法及びシステム
CN202421483U (zh) 单一芯片推挽桥式磁场传感器
US8984951B2 (en) Self-heated pressure sensor assemblies
CN103777154B (zh) 磁场方向检测器
KR20080049799A (ko) 자기 터널 접합 온도 센서
KR20140111714A (ko) 열 이미징 센서들
CN108269769A (zh) 具有隔热和温度调节的集成电路
CN1826672A (zh) 具有磁性层结构的器件的制造方法
ATE145989T1 (de) Gassensoren zur bestimmung von gasförmigen kohlenwasserstoffen unter verwendung von dünnen zinnoxidschichten
CN106482752A (zh) 传感器装置和用于校准传感器装置的方法
CN110345938A (zh) 一种晶圆级的磁传感器及电子设备
Krzysteczko et al. Domain wall magneto-Seebeck effect
US4166390A (en) Scanning radiometer apparatus
Lacy Using nanometer platinum films as temperature sensors (constraints from experimental, mathematical, and finite-element analysis)
KR101662713B1 (ko) 열전박막의 수직방향 열전특성 측정센서유닛
CN203811787U (zh) 一种单芯片三轴线性磁传感器
CA2617385A1 (en) Magnetic sensor, and method of compensating temperature-dependent characteristic of magnetic sensor
EP3023804B1 (en) Magnetic induction measuring device and method
JPH01204383A (ja) 複合熱素子
JP2008203155A (ja) センサ回路
de Almeida et al. On the modeling of new tunnel junction magnetoresistive biosensors
CN103575302A (zh) 磁传感器芯片、磁传感器及其制作方法

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20101130