RU2370570C1 - Method of ion-plasma treatment of steel and hard alloy parts - Google Patents
Method of ion-plasma treatment of steel and hard alloy parts Download PDFInfo
- Publication number
- RU2370570C1 RU2370570C1 RU2008101310/02A RU2008101310A RU2370570C1 RU 2370570 C1 RU2370570 C1 RU 2370570C1 RU 2008101310/02 A RU2008101310/02 A RU 2008101310/02A RU 2008101310 A RU2008101310 A RU 2008101310A RU 2370570 C1 RU2370570 C1 RU 2370570C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- gas
- coating
- plasma
- ions
- discharge plasma
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к области машиностроения, в частности к технологическим способам упрочнения и повышения износостойкости изделий из сталей и твердых сплавов.The invention relates to the field of engineering, in particular to technological methods of hardening and increasing the wear resistance of products from steel and hard alloys.
Известен способ вакуумного ионно-плазменного нанесения покрытий на подложку (заявка 2000109697/02, C23C 14/02, 14/46, публ. 2002.11.10) в среде инертного газа, включающий создание разности электрических потенциалов между подложкой и катодом и очистку поверхности подложки потоком ионов, снижение разности потенциалов и нанесение покрытия с дальнейшим проведением отжига покрытия путем повышения разности потенциалов до 1250-1500 В. В известном способе при очистке поверхности подложки ионный поток и поток испаряющегося материала, идущий от катода к подложке, экранируют, очистку проводят ионами инертного газа, после очистки экраны отводят и наносят покрытие с последующим отжигом неоднократно до требуемой толщины. При этом подложка выполнена из высоколегированного сплава на никелевой основе, а в качестве материала катода используют никель, что, наряду с предварительной очисткой и активацией поверхности подложки ионами инертного газа, повышает прочность сцепления покрытия с подложкой.A known method of vacuum ion-plasma coating on a substrate (application 2000109697/02, C23C 14/02, 14/46, publ. 2002.11.10) in an inert gas medium, comprising creating a potential difference between the substrate and the cathode and cleaning the surface of the substrate with a stream ions, reducing the potential difference and coating with further annealing of the coating by increasing the potential difference to 1250-1500 V. In the known method, when cleaning the surface of the substrate, the ion flow and the flow of evaporating material coming from the cathode to the substrate, screen They are cleaned, the cleaning is carried out with inert gas ions, after cleaning, the screens are removed and coated, followed by annealing repeatedly to the required thickness. In this case, the substrate is made of a highly alloyed nickel-base alloy, and nickel is used as the cathode material, which, along with preliminary cleaning and activation of the substrate surface by inert gas ions, increases the adhesion strength of the coating to the substrate.
Недостатками известного способа являются сложность конструктивной реализации процесса экранирования, а также недостаточная эффективность и длительность процесса ионной очистки поверхности подложки, связанные с малой интенсивностью потока ионов инертного газа и неизбежным прибытием на подложку части ионов материала распыляемого катода, т.к. не все они осаждаются на поверхности ограждающих экранов. Кроме того, способ ограничен по своему применению изделиями из сплавов на никелевой основе, а применение для отжига слоев покрытия разности потенциалов между подложкой и катодом свыше 1000 В приводит к разрыхлению покрытия, вследствие большого коэффициента распыления при значениях энергии ионов более 1000 эВ, и, следовательно, к снижению его качества.The disadvantages of this method are the complexity of the constructive implementation of the shielding process, as well as the insufficient efficiency and duration of the process of ionic cleaning of the surface of the substrate, associated with the low intensity of the ion stream of inert gas and the inevitable arrival of some ions of the material of the sprayed cathode on the substrate, because not all of them are deposited on the surface of the enclosing screens. In addition, the method is limited in its use to products from nickel-based alloys, and the use of potential difference between the substrate and the cathode over 1000 V for annealing of the coating layers leads to loosening of the coating, due to the high sputtering coefficient at ion energies of more than 1000 eV, and therefore , to a decrease in its quality.
Известен способ формирования износостойкого покрытия на поверхности изделий из конструкционной стали (патент РФ 2131480, C23C 14/06, 14/48, публ. 1999.10.06), включающий ионно-плазменное азотирование в среде реактивного газа-азота, очистку поверхности детали и нанесение нитрида титана из плазменной фазы. В известном способе азотирование, очистку поверхности и нанесение нитрида титана осуществляют в одной вакуумной камере в плазме дугового и газового разряда с накаленным катодом в едином цикле, образуя на поверхности деталей трехслойную структуру. При этом азотирование проводят с использованием генератора газоразрядной плазмы с накаленным катодом при давлении реактивного газа 5·10-3 - 2·10-2 мм рт.ст., отрицательном напряжении смещения на деталях 300-1000 В и плотности ионного тока 2-8 мА/см2 в течение 30-90 мин, очистку проводят в плазме инертного газа - аргона при давлении 3·10-4 - 7·10-4 мм рт.ст. и плотности тока 3-5 мА/см2, также создаваемой генератором газоразрядной плазмы, а нанесение нитрида титана осуществляют со скоростью 2 мкм/ч в течение 60-90 мин при отрицательном напряжении смещения на детали 300-600 В и одновременной работе генератора газоразрядной плазмы и дугового испарителя, что способствует более полному протеканию реакций синтеза нитрида титана на поверхности изделия. Формирование трехслойной структуры, включающей первый дисперсно-упрочненный азотированный подслой стальной основы, второй подслой из сплошного нитрида железа и третий слой (покрытие) из нитрида титана, обеспечивает более плавный переход твердости от основы к покрытию, кристаллографическое подобие второго подслоя и наносимого нитрида титана и, в конечном счете, большую прочность сцепления покрытия с изделием и работоспособность всей композиции изделие-покрытие.A known method of forming a wear-resistant coating on the surface of products from structural steel (RF patent 2131480, C23C 14/06, 14/48, publ. 1999.10.06), including ion-plasma nitriding in a reactive gas-nitrogen environment, cleaning the surface of the part and applying nitride titanium from the plasma phase. In the known method, nitriding, cleaning the surface and applying titanium nitride is carried out in a single vacuum chamber in a plasma arc and gas discharge with a heated cathode in a single cycle, forming a three-layer structure on the surface of the parts. In this case, nitriding is carried out using a gas-discharge plasma generator with a heated cathode at a reactive gas pressure of 5 · 10 -3 - 2 · 10 · 2 -2 mm Hg, a negative bias voltage on the parts of 300-1000 V and an ion current density of 2-8 mA / cm 2 for 30-90 min, purification is carried out in an inert gas - argon plasma at a pressure of 3 · 10 -4 - 7 · 10 -4 mm Hg and a current density of 3-5 mA / cm 2 , also created by a gas-discharge plasma generator, and the deposition of titanium nitride is carried out at a speed of 2 μm / h for 60-90 min with a negative bias voltage on the part of 300-600 V and simultaneous operation of the gas-discharge plasma generator and an arc evaporator, which contributes to a more complete reaction of the synthesis of titanium nitride on the surface of the product. The formation of a three-layer structure, including the first dispersion-strengthened nitrided sublayer of the steel base, the second sublayer of solid iron nitride and the third layer (coating) of titanium nitride, provides a more smooth transition of hardness from the base to the coating, a crystallographic similarity of the second sublayer and the applied titanium nitride and, ultimately, greater adhesion of the coating to the product and the performance of the entire composition of the product-coating.
Недостатком известного способа является узкая область его применения, т.к. он ограничен только азотируемыми сплавами (преимущественно конструкционными сталями с низкой степенью легирования, где наблюдается формирование на поверхности сплошного слоя из нитридов железа), и покрытие из нитрида титана также характеризуется узкой областью защитно-упрочняющего действия в ограниченных условиях эксплуатации изделий. Кроме того, при электродуговом нанесении покрытия в рабочем потоке испаряемого материала неизбежно присутствует микрокапельная фаза, и осаждение капель титана на поверхности снижает прочность сцепления покрытия с подложкой и эффективность его защитно-упрочняющего действия в целом.The disadvantage of this method is the narrow scope of its application, because it is limited only by nitrided alloys (mainly structural steels with a low degree of alloying, where a continuous layer of iron nitrides is formed on the surface), and the titanium nitride coating is also characterized by a narrow area of protective and hardening action under limited operating conditions of the products. In addition, during electric arc coating, a microdroplet phase is inevitably present in the working flow of the evaporated material, and the deposition of titanium droplets on the surface reduces the adhesion of the coating to the substrate and the effectiveness of its protective and hardening effect as a whole.
Известен способ комбинированной вакуумной ионно-плазменной обработки инструмента (патент РФ №2210621, C23C 14/48, публ. 2003.08.20), выбранный в качестве прототипа. Известный способ включает обработку изделия в газоразрядной плазме, содержащей ионы аргона и водорода, проведение его диффузионного насыщения и нанесение износостойкого покрытия, причем обработку изделия и диффузионное насыщение проводят одновременно в газоразрядной плазме, дополнительно содержащей ионы углерода или углерода и азота.A known method of combined vacuum ion-plasma processing of a tool (RF patent No. 2210621, C23C 14/48, publ. 2003.08.20), selected as a prototype. The known method includes processing the product in a gas discharge plasma containing argon and hydrogen ions, conducting its diffusion saturation and applying a wear-resistant coating, and processing the product and diffusion saturation is carried out simultaneously in a gas discharge plasma additionally containing carbon or carbon and nitrogen ions.
Использование в способе-прототипе газоразрядной плазмы, дополнительно содержащей ионы углерода или углерода и азота, позволяет при диффузионном насыщении сформировать в поверхностном слое изделия дисперсно распределенные карбиды или карбонитриды и, таким образом, повысить его твердость. Дополнительная бомбардировка ионами инертного газа (аргона), содержащимися в газоразрядной плазме, создаваемой плазмогенератором с накаливаемым эмиттером, способствует повышению скорости диффузии, а значит и увеличению толщины упрочненного поверхностного слоя.The use of a gas-discharge plasma in the prototype method, additionally containing carbon or carbon and nitrogen ions, allows diffusion saturation to form dispersively distributed carbides or carbonitrides in the surface layer of the product and, thus, increase its hardness. An additional bombardment with inert gas (argon) ions contained in a gas-discharge plasma created by a plasma generator with a glow emitter helps to increase the diffusion rate and, therefore, increase the thickness of the hardened surface layer.
Недостатком способа-прототипа является относительно узкая область его применения, так как не все виды наносимых покрытий обладают химическим сродством с науглероженным или карбонитрированным слоем подложки, и в этом случае диффузионное насыщение может привести даже к уменьшению прочности сцепления покрытия с подложкой. А что касается инструмента, изготовленного из твердого сплава на основе карбидов тугоплавких металлов, то насыщение его углеродом малоэффективно и для повышения твердости поверхностного слоя. К недостаткам способа-прототипа относится и то, что в нем не предусмотрены технологические операции, влияющие на свойства самого наносимого износостойкого покрытия и улучшающие его характеристики.The disadvantage of the prototype method is the relatively narrow scope of its application, since not all types of applied coatings have chemical affinity for a carburized or carbonitrided substrate layer, and in this case, diffusion saturation can even lead to a decrease in the adhesion strength of the coating to the substrate. As for the tool made of a hard alloy based on carbides of refractory metals, saturation with carbon is ineffective for increasing the hardness of the surface layer. The disadvantages of the prototype method include the fact that it does not provide for technological operations that affect the properties of the applied wear-resistant coating and improve its characteristics.
Задачей настоящего изобретения является разработка способа комбинированной ионно-плазменной обработки изделий из сталей и твердых сплавов, обеспечивающего химическое сродство диффузионно-насыщенного поверхностного слоя изделия с наносимым покрытием, повышение твердости этого поверхностного слоя, улучшение свойств самого покрытия и, в конечном счете, повышение износостойкости всей композиции изделие-покрытие.The objective of the present invention is to develop a method of combined ion-plasma treatment of steel and hard alloy products, providing chemical affinity of the diffusion-saturated surface layer of the coated product, increasing the hardness of this surface layer, improving the properties of the coating itself and, ultimately, increasing the wear resistance of the whole composition-coating compositions.
Поставленная задача решается тем, способ комбинированной ионно-плазменной обработки изделий из сталей и твердых сплавов включает обработку изделия в газоразрядной плазме, содержащей ионы аргона, проведение диффузионного насыщения изделия и нанесение на него покрытия, но, в отличие от прототипа, диффузионное насыщение проводят в газоразрядной плазме, в которую дополнительно вводят магнетронным распылением мишени-катода ионы компонентов твердого тела, входящих в состав наносимого покрытия, а само покрытие наносят магнетронным распылением мишени-катода с одновременным ассистирующим воздействием газоразрядной плазмы, при этом переход от диффузионного насыщения к нанесению покрытия осуществляют понижением отрицательного потенциала смещения на обрабатываемом изделии.The problem is solved by the fact that the method of combined ion-plasma processing of steel and hard alloy products includes processing the product in a gas-discharge plasma containing argon ions, conducting diffusion saturation of the product and coating it, but, unlike the prototype, diffusion saturation is carried out in gas discharge plasma, which is additionally injected by magnetron sputtering of the cathode target, the ions of the solid components that make up the coating, and the coating is applied by magnetron sputtering iem cathode target while an assistant exposure to plasma discharge, wherein the transition from diffusive saturation plateability carried decreasing the negative bias potential on a workpiece.
Другими отличиями от прототипа является то, что:Other differences from the prototype is that:
- газоразрядная плазма, в которой проводят диффузионное насыщение, содержит ионы аргона и азота и формируется газовым плазмогенератором;- gas-discharge plasma, in which diffusion saturation is carried out, contains argon and nitrogen ions and is formed by a gas plasma generator;
- газоразрядная плазма, в которой проводят нанесение покрытия, содержит ионы аргона и азота и формируется газовым плазмогенератором.- gas-discharge plasma, in which the coating is carried out, contains argon and nitrogen ions and is formed by a gas plasma generator.
Предложенный способ осуществляют следующим образом. В камере установки, содержащей источник газоразрядной плазмы (газовый плазмогенератор с накаленным катодом) и магнетронный источник плазмы, создают предварительный вакуум порядка 5×10-5 мм рт.ст. (6,65×10-3 Па). Затем через газовый плазмогенератор в камеру вводят аргон до давления 1×10-3 - 2×10-3 мм рт.ст. (1,33×10-1 - 2,66×10-1 Па); изменением тока накала катода от 0 до 200 А регулируют ток разряда плазмогенератора и плотность газоразрядной плазмы. Обрабатываемому изделию придают вращение, подают на него отрицательный потенциал смещения, плавно изменяя его значение от 50 до 500-600 В, и проводят ионную очистку поверхности. При этом интенсивность ионной очистки и температуру нагрева изделия регулируют током разряда газового плазмогенератора, т.е. плотностью тока ионов аргона - от 0 до 5 мА/см2.The proposed method is as follows. A preliminary vacuum of the order of 5 × 10 -5 mm Hg is created in the chamber of the installation containing a source of a gas discharge plasma (gas plasma generator with a hot cathode) and a magnetron plasma source. (6.65 × 10 -3 Pa). Then, argon is introduced into the chamber through a gas plasma generator to a pressure of 1 × 10 -3 - 2 × 10 -3 mm Hg. (1.33 × 10 -1 - 2.66 × 10 -1 Pa); by changing the cathode glow current from 0 to 200 A, the discharge current of the plasma generator and the density of the gas-discharge plasma are controlled. The workpiece is rotated, a negative bias potential is applied to it, smoothly changing its value from 50 to 500-600 V, and the surface is ionically cleaned. In this case, the intensity of ion cleaning and the heating temperature of the product are controlled by the discharge current of the gas plasma generator, i.e. the current density of argon ions is from 0 to 5 mA / cm 2 .
По окончании процесса очистки с активацией поверхности и достижении требуемой температуры изделия, не выключая газового плазмогенератора и при том же значении отрицательного потенциала смещения на изделии (500-600 В), поджигают магнетронный разряд, с помощью которого формируют плазменный поток, содержащий ионы распыляемого материала магнетронной мишени-катода. Такая совмещенная технология с дополнительной бомбардировкой прибывающих на подложку атомов распыляемого материала магнетронной мишени ионами инертного газа, генерируемыми газовым плазмогенератором и характеризуемыми высокой плотностью тока, способствует интенсификации процессов диффузии за счет механизмов радиационного стимулирования. Если в состав наносимого впоследствии покрытия входит азот, т.е. синтезируются нитриды, то на данном этапе комбинированного способа в аргон добавляется азот в требуемом по технологии нанесения покрытия соотношении компонентов газовой смеси. Формируемый таким образом диффузионный поверхностный слой изделия обладает химическим сродством по своему элементному составу с наносимым покрытием, повышенной твердостью по сравнению с основой, а значит, способствует более плавному переходу физико-механических свойств от основы к покрытию. Такая квазимонолитность композиции основа-поверхностный слой-покрытие обеспечивает лучшую работоспособность изделия в жестких условиях эксплуатации - при термоциклических воздействиях, ударных нагрузках и т.п.At the end of the cleaning process with activation of the surface and reaching the desired temperature of the product, without turning off the gas plasma generator and at the same value of the negative bias potential on the product (500-600 V), a magnetron discharge is ignited, with the help of which a plasma stream is formed containing ions of the magnetron material being sprayed cathode targets. This combined technology with additional bombardment of the atoms of the sputtered material of the magnetron target arriving on the substrate with inert gas ions generated by a gas plasma generator and characterized by a high current density, contributes to the intensification of diffusion processes due to radiation stimulation mechanisms. If the coating applied subsequently contains nitrogen, i.e. If nitrides are synthesized, then at this stage of the combined method, nitrogen is added to argon in the ratio of the components of the gas mixture required by the coating technology. The diffusion surface layer of the product thus formed has a chemical affinity in its elemental composition with the applied coating, increased hardness in comparison with the base, which means that it facilitates a smoother transition of physical and mechanical properties from the base to the coating. Such quasimonolithic composition of the base-surface layer-coating composition provides the best performance of the product in harsh operating conditions - under thermal cyclic impacts, shock loads, etc.
И наконец, на заключительном этапе комбинированного способа, без разрыва процесса, а только путем снижения отрицательного потенциала на изделии от 500-600 В до 100-50 В, т.е. когда процессы осаждения превалируют над процессами распыления, переходят непосредственно к нанесению покрытия магнетронным распылением. При этом газовый плазмогенератор продолжает функционировать, за счет чего обеспечивается более высокая степень диссоциации и ионизации реакционного газа в газовой смеси аргон-азот, а значит более полное протекание реакций ионно-плазменного синтеза на подложке и улучшение свойств наносимого покрытия. В частности, проведенные исследования на покрытиях разного состава (Ti-N, Ti-B-Si-N, Ti-B-C-N) показали, что в случае магнетронного нанесения с ассистирующим воздействием газового плазмогенератора их твердость на 10-30% выше, чем покрытий, осажденных по обычной технологии магнетронного напыления без плазмогенератора. Реализация способа может быть иллюстрирована следующими примерами.And finally, at the final stage of the combined method, without interrupting the process, but only by reducing the negative potential on the product from 500-600 V to 100-50 V, i.e. when the deposition processes prevail over the sputtering processes, go directly to the coating by magnetron sputtering. At the same time, the gas plasma generator continues to function, due to which a higher degree of dissociation and ionization of the reaction gas in the argon-nitrogen gas mixture is ensured, which means a more complete course of ion-plasma synthesis reactions on the substrate and an improvement in the properties of the applied coating. In particular, studies on coatings of different compositions (Ti-N, Ti-B-Si-N, Ti-BCN) showed that in the case of magnetron deposition with the assistance of a gas plasma generator, their hardness is 10-30% higher than coatings, deposited by conventional magnetron sputtering technology without a plasma generator. The implementation of the method can be illustrated by the following examples.
Пример 1.Example 1
В качестве подложки использовали образцы стали 40Х и твердого сплава ВК6-ОМ. Образцы предварительно пришлифовывали и полировали алмазной пастой зернистостью 1/0. После предварительной химической очистки в бензине и ректификационном спирте образцы загружали в вакуумную камеру от установки ННВ-6.6-И1, в которой были смонтированы дуомагнетрон с двумя дискообразными распыляемыми мишенями диаметром 120 мм и газовый плазмогенератор с накаливаемым катодом. Дуомагнетрон и газовый плазмогенератор расположены в одной плоскости с углом между центральными осями 120°. Образцы закрепляли в центре поворотного стола установки и им задавалось вращение с угловой скоростью 2 об/мин. В качестве материалов двух распыляемых магнетронных мишеней использовали титановый сплав ВТ-1-0 и СВС-композит состава Ti2B2Si. Камеру вакуумировали до давления 5×10-3 мм рт.ст. (6,65×10-3 Па), затем через газовый плазмогенератор напускали аргон до давления 1,5×10-5 мм рт.ст. (2×10-1 Па), поджигали газовый разряд и, регулируя ток накала вольфрамового катода, устанавливали ток газового разряда 20 А. На поворотный стол с закрепленными образцами подавали первоначальное отрицательное напряжение (потенциал смещения) 50 В, которое в течение 10 минут повышали до 600 В и далее поддерживали 20 минут при этом значении, обеспечивая очистку и активацию поверхности образцов. После этого зажигали магнетронный разряд на мишени Ti-B-Si с током разряда 2А; ток разряда газового плазмогенератора повышали до 50 А при том же значении давления аргона в вакуумной камере 1,5×10-3 мм рт.ст. (2×10-l Па), и при напряжении смещения 600 В в течение 10 минут проводили обработку образцов по совмещенной технологии. Далее аргон заменяли на газовую смесь Ar+25% N2, подаваемую в газовый плазмогенератор при давлении 1,5×10-3 мм рт.ст. (2×10-l Па), поджигали разряд на второй магнетронной мишени, выполненной из титанового сплава ВТ-1-0 и устанавливали его значение 6А. При указанных значениях токов разрядов распыляемых одновременно титановой и композитной мишеней (6 и 2 А соответственно), токе газового разряда 50 А и напряжении смещении 600 В, в течение 10 минут проводили финишную стадию диффузионного насыщения поверхности образцов, предшествующую предполагаемому нанесению покрытия состава Ti-B-Si-N магнетронным ассистированным напылением. После диффузионного насыщения специально не проводили нанесения покрытия, а образцы исследовали с целью изучения свойств модифицированного поверхностного слоя. Проведенный оже-спектральный анализ на приборе «Шхуна-2» подтвердил факт диффузии составляющих элементов в поверхностный слой образцов. Глубина диффузии титана - самого тяжелого элемента с наибольшим атомным радиусом из использованной комбинации атомов - составила 0,6 мкм. Диффузия более легкого элемента - азота - зафиксирована на большей глубине - до 1 мкм. Измерения микротвердости образцов, проведенные на приборе «Neophot-2», показали следующие результаты. Твердость поверхностного слоя стали 40Х после диффузионного комбинированного насыщения повысилась с 1,7 ГПа до 2,8 ГПа, а твердость поверхностного слоя сплава ВК6-ОМ - с 18 ГПа до 28 ГПа. Таким образом, экспериментально подтверждено достижение цели этапа диффузионного насыщения в предлагаемом варианте магнетронного распыления материала мишени-катода с одновременным воздействием на атомы, прибывающие к поверхности подложки, ионов газовой смеси аргона и азота, создаваемых газовым плазмогенератором.Samples of steel 40X and carbide VK6-OM were used as the substrate. Samples were pre-ground and polished with 1/0 grit diamond paste. After preliminary chemical cleaning in gasoline and distillation alcohol, the samples were loaded into a vacuum chamber from the NNV-6.6-I1 installation, in which a duomagnetron with two disk-shaped sprayed targets with a diameter of 120 mm and a gas plasma generator with a heated cathode were mounted. The duomagnetron and the gas plasma generator are located in the same plane with an angle between the central axes of 120 °. The samples were fixed in the center of the turntable and they were set to rotate at an angular speed of 2 rpm. The materials of two sputtered magnetron targets were VT-1-0 titanium alloy and a SHS composite of the composition Ti 2 B 2 Si. The chamber was evacuated to a pressure of 5 × 10 -3 mm Hg. (6.65 × 10 -3 Pa), then argon was injected through a gas plasma generator to a pressure of 1.5 × 10 -5 mm Hg. (2 × 10 -1 Pa), ignited a gas discharge and, adjusting the incandescent current of the tungsten cathode, set the gas discharge current to 20 A. An initial negative voltage (bias potential) of 50 V was applied to the turntable with fixed samples, which was increased for 10 minutes up to 600 V and further maintained for 20 minutes at this value, providing cleaning and activation of the surface of the samples. After that, a magnetron discharge was ignited on a Ti-B-Si target with a discharge current of 2A; the discharge current of the gas plasma generator was increased to 50 A at the same argon pressure in the vacuum chamber of 1.5 × 10 -3 mm Hg. (2 × 10 -l Pa), and at a bias voltage of 600 V for 10 minutes, the samples were processed using the combined technology. Next, argon was replaced with a gas mixture Ar + 25% N 2 supplied to a gas plasma generator at a pressure of 1.5 × 10 -3 mm Hg. (2 × 10 −1 Pa), a discharge was ignited on a second magnetron target made of VT-1-0 titanium alloy, and its value was set to 6A. At the indicated values of the discharge currents of simultaneously sprayed titanium and composite targets (6 and 2 A, respectively), a gas discharge current of 50 A, and a bias voltage of 600 V, the diffusion saturation of the sample surface was completed for 10 minutes, preceding the expected Ti-B coating -Si-N magnetron assisted sputtering. After diffusion saturation, no coating was specially performed, and the samples were examined in order to study the properties of the modified surface layer. The Auger spectral analysis performed on a Schooner-2 instrument confirmed the fact of the diffusion of constituent elements into the surface layer of the samples. The diffusion depth of titanium - the heaviest element with the largest atomic radius of the used combination of atoms - was 0.6 μm. Diffusion of the lighter element - nitrogen - is fixed at a greater depth - up to 1 μm. The microhardness measurements of the samples carried out on a Neophot-2 device showed the following results. The hardness of the surface layer of steel 40X after diffusion combined saturation increased from 1.7 GPa to 2.8 GPa, and the hardness of the surface layer of VK6-OM alloy from 18 GPa to 28 GPa. Thus, the achievement of the goal of the diffusion saturation stage in the proposed embodiment of magnetron sputtering of the cathode target material with simultaneous action on the atoms arriving to the substrate surface and the ions of a gas mixture of argon and nitrogen created by a gas plasma generator is experimentally confirmed.
Пример 2.Example 2
Согласно заявленному способу на установке, описанной в примере 1, комбинированной ионно-плазменной обработке были подвергнуты фрезы ФКЦ 4134 диаметром 8 мм, изготовленные на ОАО «Томский инструментальный завод» из импортного твердого сплава группы К30 (отечественные аналоги - сплавы ВК-8, ВК-4). Одновременно в качестве контрольного образца для измерения твердости покрытия после комбинированной обработки в вакуумную камеру вместе с фрезами был помещен пришлифованный и полированный образец твердого сплава ВК6-ОМ. Перед размещением в вакуумной камере фрезы и контрольный образец промывали в бензине и протирали спиртом. Фрезы и контрольный образец твердого сплава устанавливали в гнезда поворотного стола установки ННВ-6.6-И1, расположенные по окружности. В процессе комбинированной обработки они совершали вращательные перемещения относительно дуомагнетрона, газового плазмогенератора (2 об/мин) и собственной оси. Так же, как и в примере 1, в качестве материалов распыляемых мишеней дуомагнетрона использовали титановый сплав ВТ-1-0 и СВС-композит состава Ti2B2Si. Также камеру вакуумировали до давления 5×10-5 мм рт.ст. (6,65×10-3 Па), затем через газовый плазмогенератор напускали аргон до давления 1,5×10-3 мм рт.ст. (2×10-l Па), поджигали газовый разряд и устанавливали ток газового разряда 20 А. На фрезы и контрольный образец подавали отрицательное напряжение (потенциал) смещения 50 В, которое в течение 10 минут повышали до 600 В. Общее время ионной очистки составляло 30 минут. После очистки зажигали магнетронный разряд на мишени Ti-B-Si. Ток магнетронного разряда составлял 2А; ток разряда газового плазмогенератора повышали до 50 А. Давления аргона в вакуумной камере, так же как и напряжение смещения, оставались прежними и составляли соответственно 1,5×10-3 мм рт.ст. (2×10-1 Па), и 600 В. При этих параметрах процесса обработка инструмента и контрольного образца осуществлялась в течение 10 минут. По истечении этого времени аргон заменяли на газовую смесь Ar+25% N2 при том же рабочем давлении в камере 1,5×10-3 мм рт.ст. (2×10-l Па) и поджигали разряд на второй магнетронной мишени, выполненной из титанового сплава ВТ-1-0. При значениях токов разрядов распыляемых одновременно титановой и композитной мишеней 6А и 2А соответственно, токе газового разряда 50 А и напряжении смещении 600 В, проводили финишную стадию диффузионного насыщения фрез и контрольного образца в течении 10 минут. По прошествии этого времени, напряжение смещения снижали с 600 до 50 В и в течение 120 минут проводили нанесение покрытия состава Ti-B-Si-N при ранее использовавшихся значениях токов магнетронного разряда титановой и композитной мишеней (6А и 2А). При этом ток ассистирующего газового разряда повышали с 50 до 100 А и поддерживали это значение в течение всех 120 минут процесса нанесения покрытия. После окончания комбинированной обработки газовый плазмогенератор и магнетроны выключались, подача газовой смеси прекращалась, а фрезы и контрольный образец остывали в вакуумированной камере в течение 3-х часов.According to the claimed method, the FKTs 4134 mills with a diameter of 8 mm manufactured at Tomsk Instrument Plant OJSC from an imported hard alloy of the K30 group (domestic analogues - VK-8, VK- alloys) were subjected to combined ion-plasma treatment at the installation described in Example 1 four). At the same time, as a control sample for measuring the hardness of the coating after combined treatment, a ground and polished VK6-OM hard alloy sample was placed in a vacuum chamber together with cutters. Before placing in a vacuum chamber, the cutters and the control sample were washed in gasoline and wiped with alcohol. Milling cutters and a control sample of hard alloy were installed in the nests of the rotary table of the NNV-6.6-I1 installation, located around the circle. During the combined treatment, they made rotational movements relative to the duomagnetron, gas plasma generator (2 rpm) and its own axis. As in example 1, the materials of the sputtered duomagnetron targets were VT-1-0 titanium alloy and a SHS composite of the composition Ti 2 B 2 Si. Also, the chamber was evacuated to a pressure of 5 × 10 -5 mm Hg. (6.65 × 10 -3 Pa), then argon was injected through a gas plasma generator to a pressure of 1.5 × 10 -3 mm Hg. (2 × 10 −1 Pa), a gas discharge was ignited, and a gas discharge current of 20 A was set. A negative bias voltage (potential) of 50 V was applied to the mills and the control sample, which was increased to 600 V over 10 minutes. The total ion cleaning time was 30 minutes. After purification, a magnetron discharge was ignited on a Ti-B-Si target. The magnetron discharge current was 2A; the discharge current of the gas plasma generator was increased to 50 A. The argon pressure in the vacuum chamber, as well as the bias voltage, remained the same and amounted to 1.5 × 10 -3 mm Hg, respectively. (2 × 10 -1 Pa), and 600 V. With these process parameters, the processing of the tool and the control sample was carried out for 10 minutes. After this time, argon was replaced with a gas mixture Ar + 25% N 2 at the same working pressure in the chamber of 1.5 × 10 -3 mm Hg. (2 × 10 −1 Pa) and ignited a discharge on a second magnetron target made of VT-1-0 titanium alloy. For discharge currents of simultaneously sprayed titanium and composite targets 6A and 2A, respectively, a gas discharge current of 50 A and a bias voltage of 600 V, the final stage of diffusion saturation of the cutters and the control sample was carried out for 10 minutes. After this time, the bias voltage was reduced from 600 to 50 V, and Ti-B-Si-N was coated for 120 minutes at the previously used values of the magnetron discharge currents of titanium and composite targets (6A and 2A). In this case, the assist gas discharge current was increased from 50 to 100 A and this value was maintained during the entire 120 minutes of the coating process. After the end of the combined treatment, the gas plasma generator and magnetrons were turned off, the gas mixture was stopped, and the cutters and the control sample were cooled in a vacuum chamber for 3 hours.
Измерения микротвердости, проведенные на контрольном образце после комбинированной ионно-плазменной обработки при нагрузке на алмазную пирамиду 0,2 Н, показали увеличение его твердости с 18 ГПа до 44 ГПа. Испытания фрез, обработанных по комбинированному способу, проводили в сравнении с исходными (необработанными) в специализированной лаборатории ОАО «Томский инструментальный завод» на универсальном горизонтально-фрезерном станке модели 6Т83Г. Фрезы испытывались в жестких условиях резания методом фрезерования уступа в образцах закаленной стали 45 (52-56 HRC) по ГОСТ 1050-88 в соответствии с методикой №2-2006 г. КТО ООО «ТИЗ». При испытаниях применялись СОЖ ПОА-1 и следующие режимы резания: число оборотов - 1600 об/мин, подача - 125 мм/мин, глубина фрезерования - 1 мм. Результаты испытаний показали, что при использовании фрез, упрочненных по комбинированному способу, фактическая длина фрезерования составила от 4890 до 7141 мм, в то время как при использовании исходных, не упрочненных фрез, этот показатель равнялся 2500-3000 мм. Средняя стойкость фрез, упрочненных по предлагаемому способу, повысилась в 2,27 раза.Microhardness measurements carried out on a control sample after combined ion-plasma treatment with a 0.2 N diamond load on the pyramid showed an increase in its hardness from 18 GPa to 44 GPa. Tests of mills processed by the combined method were carried out in comparison with the original (untreated) in the specialized laboratory of OJSC Tomsk Instrument Plant on the universal model 6T83G horizontal milling machine. Milling cutters were tested under severe cutting conditions by the method of milling a step in samples of hardened steel 45 (52-56 HRC) according to GOST 1050-88 in accordance with the procedure No. 2-2006 of KTO LLC TIZ. During the tests, POA-1 coolant and the following cutting modes were used: speed - 1600 rpm, feed - 125 mm / min, milling depth - 1 mm. The test results showed that when using mills hardened by the combined method, the actual milling length was from 4890 to 7141 mm, while when using the original, not hardened mills, this figure was 2500-3000 mm. The average resistance of mills, hardened by the proposed method, increased 2.27 times.
Пример 3.Example 3
На установке, использованной в примерах 1 и 2, по предлагаемому способу комбинированной ионно-плазменной обработки, были упрочнены фрезы концевые диаметром 8 мм, изготовленные на ОАО «Томский инструментальный завод» из быстрорежущей стали Р6М5. Одновременно в качестве контрольного образца для измерения твердости после комбинированной обработки в вакуумную камеру вместе с фрезами был помещен пришлифованный и полированный образец этой же закаленной стали. Предварительную химическую очистку и установку фрез с образцом в вакуумную камеру осуществляли так же, как и в примере 2. Но, в отличие от примера 2, в комбинированном процессе использовали одну мишень дуомагнетрона, изготовленную из СВС-композита состава Ti2B2C. Ввиду угрозы отпуска остролезвийных кромок пера закаленной стали Р6М5, режимы и время процесса так же отличались от использованных в примере 2. Камеру вакуумировали до давления 5×10-5 мм рт.ст. (6,65×10-3 Па), затем через газовый плазмогенератор напускали аргон до давления 1,0×10-3 мм рт.ст. (1,33×10-1 Па), поджигали газовый разряд и устанавливали ток газового разряда 10 А. На фрезы и контрольный образец подавали отрицательное напряжение (потенциал) смещения 50 В, которое в течение 60 минут повышали до 500 В. После очистки зажигали магнетронный разряд на мишени Ti-B-C и аргон заменяли на газовую смесь Ar+25% N2. Ток магнетронного разряда составлял 2А; ток разряда газового плазмогенератора оставался прежним - 10 А. Прежними оставались давление в вакуумной камере - 1,0×10-3 мм рт.ст. (1,33×10-1 Па) - и напряжение смещения - 500 В. При этих параметрах процесса диффузионное насыщение фрез и контрольного образца осуществляли в течение 20 минут. По истечении этого времени, напряжение смещения снижали с 500 до 50 В, а ток ассистирующего газового разряда повышали с 10 до 50 А. Нанесение покрытия состава Ti-B-C-N проводили в течение 10 минут при ранее использовавшемся значении тока магнетронного разряда - 2А. Во время всех стадий комбинированного процесса по прибору «Смотрич-7» контролировалась температура нагрева фрез, и ее значение не превышало 400-450°С (для исключения отпуска инструментальной основы). После окончания комбинированной обработки газовый плазмогенератор и магнетрон выключались, подача газовой смеси прекращалась, а фрезы и контрольный образец остывали в вакуумированной камере в течение 2-х часов.At the installation used in examples 1 and 2, according to the proposed method of combined ion-plasma treatment, end mills with a diameter of 8 mm made at OAO Tomsk Instrumental Plant from P6M5 high-speed steel were hardened. At the same time, as a control sample for measuring hardness after a combined treatment, a ground and polished sample of the same hardened steel was placed in a vacuum chamber together with cutters. Chemical preliminary cleaning and installation of milling cutters with a sample in a vacuum chamber was carried out in the same way as in Example 2. But, in contrast to Example 2, in the combined process, a single duomagnetron target made of a SHS composite of the composition Ti 2 B 2 C was used. threats of tempering the sharp-edged edges of the pen of hardened steel P6M5, the modes and time of the process also differed from those used in example 2. The chamber was evacuated to a pressure of 5 × 10 -5 mm Hg. (6.65 × 10 -3 Pa), then argon was injected through a gas plasma generator to a pressure of 1.0 × 10 -3 mm Hg. (1.33 × 10 -1 Pa), a gas discharge was ignited, and a gas discharge current of 10 A was set. A negative bias voltage (potential) of 50 V was applied to the cutters and a control sample, which was increased to 500 V within 60 minutes. the magnetron discharge on the Ti-BC target and argon were replaced by a gas mixture Ar + 25% N 2 . The magnetron discharge current was 2A; the discharge current of the gas plasma generator remained the same - 10 A. The pressure in the vacuum chamber remained unchanged - 1.0 × 10 -3 mm Hg. (1.33 × 10 -1 Pa) - and a bias voltage of 500 V. With these process parameters, the diffusion saturation of the cutters and the control sample was carried out for 20 minutes. After this time, the bias voltage was reduced from 500 to 50 V, and the current of the assisting gas discharge was increased from 10 to 50 A. Coating of the Ti-BCN composition was carried out for 10 minutes at the previously used magnetron discharge current of 2A. During all stages of the combined process of the Smotrych-7 device, the temperature of the milling cutters was controlled, and its value did not exceed 400-450 ° C (to exclude the release of the tool base). After the end of the combined treatment, the gas plasma generator and magnetron were turned off, the gas mixture was stopped, and the cutters and control sample were cooled in a vacuum chamber for 2 hours.
Измерения микротвердости, проведенные на контрольном образце стали Р6М5 после комбинированной ионно-плазменной обработки при нагрузке на алмазную пирамиду 0,2 Н, показали увеличение его твердости с 8,5 ГПа до 11,6 ГПа. Испытания фрез, обработанных по комбинированному способу, так же, как и в примере 2, проводили в сравнении с исходными (необработанными) в специализированной лаборатории ОАО «Томский инструментальный завод» на универсальном горизонтально-фрезерном станке модели 6Т83Г. Фрезы испытывались методом фрезерования уступа в образцах стали 45 по ГОСТ 1050-80 в соответствии с методикой №3-2006 г. КТО ООО «ТИЗ». При испытаниях применялись СОЖ 5%-ный раствор эмульсола в воде и следующие режимы резания: число оборотов - 1600 об/мин, подача - 200 мм/мин, припуск обработки - 2 мм. Сравнительные испытания показали, что при использовании фрез, упрочненных по комбинированному способу, фактическая длина фрезерования составила в 6440 мм, в то время как при использовании исходных, не упрочненных фрез, этот показатель равнялся в среднем 4480 мм. Стойкость фрез, упрочненных по комбинированному ионно-плазменному способу, повысилась в 1,44 раза.Microhardness measurements carried out on a control sample of P6M5 steel after combined ion-plasma treatment under a 0.2 N load on the diamond pyramid showed an increase in its hardness from 8.5 GPa to 11.6 GPa. The tests of mills processed by the combined method, as in example 2, were carried out in comparison with the original (untreated) in the specialized laboratory of OJSC Tomsk Instrument Plant on the universal model 6T83G horizontal milling machine. The milling cutters were tested by the step milling method in steel samples 45 according to GOST 1050-80 in accordance with the methodology No. 3-2006 of KTO LLC TIZ. In the tests, a coolant of 5% solution of emulsol in water and the following cutting modes were used: speed - 1600 rpm, feed - 200 mm / min, machining allowance - 2 mm. Comparative tests showed that when using mills hardened by the combined method, the actual milling length was 6440 mm, while when using original, not hardened mills, this figure averaged 4480 mm. The resistance of mills hardened by the combined ion-plasma method increased by 1.44 times.
Таким образом, предлагаемый способ позволяет обеспечить плавный переход состава от основы изделия к наносимому покрытию, повысить твердость и износостойкость изделий, изготовленных из разных материалов. Причем, изменяя режимы и время комбинированной ионно-плазменной обработки, включая вид наносимых покрытий, можно расширить область его применения для различных инструментальных и конструкционных сплавов, видов термообработки изделий (закалки и отпуска) и условий их эксплуатации.Thus, the proposed method allows for a smooth transition of the composition from the base of the product to the applied coating, to increase the hardness and wear resistance of products made from different materials. Moreover, changing the modes and time of the combined ion-plasma treatment, including the type of applied coatings, it is possible to expand the scope of its application for various tool and structural alloys, types of heat treatment of products (hardening and tempering) and their operating conditions.
Claims (3)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2008101310/02A RU2370570C1 (en) | 2008-01-09 | 2008-01-09 | Method of ion-plasma treatment of steel and hard alloy parts |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2008101310/02A RU2370570C1 (en) | 2008-01-09 | 2008-01-09 | Method of ion-plasma treatment of steel and hard alloy parts |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2008101310A RU2008101310A (en) | 2009-07-20 |
| RU2370570C1 true RU2370570C1 (en) | 2009-10-20 |
Family
ID=41046810
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2008101310/02A RU2370570C1 (en) | 2008-01-09 | 2008-01-09 | Method of ion-plasma treatment of steel and hard alloy parts |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2370570C1 (en) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2496913C2 (en) * | 2011-12-28 | 2013-10-27 | Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственное предприятие "Уралавиаспецтехнология" | Unit for ion-ray and plasma processing |
| RU2528537C1 (en) * | 2013-07-18 | 2014-09-20 | Открытое акционерное общество "Ижевский завод нефтяного машиностроения" (ОАО "Ижнефтемаш") | Ion-plasma nitration of long-sized steel part |
| RU2555692C2 (en) * | 2013-06-17 | 2015-07-10 | Владислав Викторович Сагалович | Ion-plasma precision nitriding of metal part surface |
| RU2566232C1 (en) * | 2014-09-15 | 2015-10-20 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ" (НИЯУ МИФИ) | Method of combined ion-plasma treatment of products out of aluminium alloys |
| RU2611003C1 (en) * | 2015-11-02 | 2017-02-17 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Method of ion nitration of titanium alloys |
| RU2637453C1 (en) * | 2016-11-02 | 2017-12-04 | Владимир Николаевич Назаров | Method of hardening steel products |
| RU2659537C1 (en) * | 2017-09-26 | 2018-07-02 | Татьяна Сергеевна Картапова | Method of application of mixed carbon-nitrogen protective coating to increase corrosive stability of iron |
| RU2708024C1 (en) * | 2018-12-24 | 2019-12-03 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ФГБОУ ВО "МГТУ "СТАНКИН") | Method of combined hardening of cutting tools |
| RU2792833C1 (en) * | 2022-08-11 | 2023-03-24 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ФГБОУ ВО "МГТУ "СТАНКИН") | METHOD FOR OBTAINING A WEAR-RESISTANT COATING FOR A CUTTING TOOL FROM A MULTICOMPONENT COMPOSITION Al-Nb-Ti-V-Zr |
-
2008
- 2008-01-09 RU RU2008101310/02A patent/RU2370570C1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2496913C2 (en) * | 2011-12-28 | 2013-10-27 | Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственное предприятие "Уралавиаспецтехнология" | Unit for ion-ray and plasma processing |
| RU2555692C2 (en) * | 2013-06-17 | 2015-07-10 | Владислав Викторович Сагалович | Ion-plasma precision nitriding of metal part surface |
| RU2528537C1 (en) * | 2013-07-18 | 2014-09-20 | Открытое акционерное общество "Ижевский завод нефтяного машиностроения" (ОАО "Ижнефтемаш") | Ion-plasma nitration of long-sized steel part |
| RU2566232C1 (en) * | 2014-09-15 | 2015-10-20 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ" (НИЯУ МИФИ) | Method of combined ion-plasma treatment of products out of aluminium alloys |
| RU2611003C1 (en) * | 2015-11-02 | 2017-02-17 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Method of ion nitration of titanium alloys |
| RU2637453C1 (en) * | 2016-11-02 | 2017-12-04 | Владимир Николаевич Назаров | Method of hardening steel products |
| RU2659537C1 (en) * | 2017-09-26 | 2018-07-02 | Татьяна Сергеевна Картапова | Method of application of mixed carbon-nitrogen protective coating to increase corrosive stability of iron |
| RU2708024C1 (en) * | 2018-12-24 | 2019-12-03 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ФГБОУ ВО "МГТУ "СТАНКИН") | Method of combined hardening of cutting tools |
| RU2792833C1 (en) * | 2022-08-11 | 2023-03-24 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ФГБОУ ВО "МГТУ "СТАНКИН") | METHOD FOR OBTAINING A WEAR-RESISTANT COATING FOR A CUTTING TOOL FROM A MULTICOMPONENT COMPOSITION Al-Nb-Ti-V-Zr |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2008101310A (en) | 2009-07-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2370570C1 (en) | Method of ion-plasma treatment of steel and hard alloy parts | |
| Vasylyev et al. | Ultrasonic impact treatment induced oxidation of Ti6Al4V alloy | |
| US4402994A (en) | Highly hard material coated articles | |
| JP3039381B2 (en) | Method of forming composite hard coating with excellent high temperature oxidation resistance | |
| JP5856148B2 (en) | PVD hybrid method for depositing mixed crystal layers | |
| RU2409703C1 (en) | Procedure for vacuum application of coating on items out of electric conducting materials and dielectrics | |
| WO2022172954A1 (en) | Coated tool | |
| Libório et al. | Enhanced surface properties of M2 steel by plasma nitriding pre-treatment and magnetron sputtered TiN coating | |
| JP2023179643A (en) | Coated tool | |
| JP4500061B2 (en) | Hard film formation method | |
| RU2415966C1 (en) | Procedure for coating items out of hard alloys | |
| US6200649B1 (en) | Method of making titanium boronitride coatings using ion beam assisted deposition | |
| RU2413793C2 (en) | Procedure for ion-plasma treatment of surface of metal cutting tool made out of high speed powder steel | |
| Denisova et al. | Influence of nitrogen content in the working gas mixture on the structure and properties of the nitrided surface of die steel | |
| Werner et al. | New types of multi-component hard coatings deposited by ARC PVD on steel pre-treated by pulsed plasma beams | |
| JP2909248B2 (en) | Boron nitride coated member | |
| Zhang et al. | High-temperature oxidation resistant (Cr, Al) N films synthesized using pulsed bias arc ion plating | |
| JPS61195971A (en) | Formation of wear resisting film | |
| EP3670043A1 (en) | Coated cutting tool | |
| JPS63166957A (en) | Surface coated steel product | |
| JP2012076156A (en) | Cemented carbide, and method of manufacturing the same | |
| Bandura et al. | Alloying and modification of structural materials under pulsed plasma treatment | |
| JPH07300665A (en) | Method for forming boron cementation layer and boron film on metallic base material | |
| RU2791571C1 (en) | Method for vacuum-arc deposition of nanostructured coatings on dental structures | |
| JP2904357B2 (en) | Method for producing surface-coated aluminum alloy |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20180110 |