KR970002526A - 압력식 유량제어장치 - Google Patents

Abstract

유량제어장치의 제어정도를 높임과 아울러, 장치의 소형화, 저코스트화를 달성하는 것을 목적으로 한다. 오리피스 상류측 압력을 하류측 압력의 약 2배이상으로 유지하여 유체의 유량제어를 행하는 압력식 유량제어장치에 있어서, 오리피스와, 그 상류측에 설치한 제어밸브와, 제어밸브와 오리피스 사이에 설치한 압력검출기와, 압력검출기의 검출압력(P₁)으로부터 유량을 Qc=KP₁(단지, k는 정수)으로 하여 연산함과 아울러, 유량지령신호(Qs)와 연산유량(Qc)의 차를 제어신호(Qy)로 하여 제어밸브(2)의 구동부(14)에 출력하는 연산제어장치(6)으로부터 장치를 구성하고, 제어밸브(2)를 개폐하여 압력(P₁)을 조정하고, 오리피스 하류측 유량을 제어하는 것을 구성으로 한다.

Description

압력식 유량제어장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명에 관한 압력시 유량제어장치의 구성을 표시하는 블록도, 제2도는 압력식 유량제어장치의 종단면도, 제3도는 압력식 유량제어장치의 횡단면도, 제4도는 압전소자형 구동부를 구비한 제어밸브의 종단면도, 제5도는 제4도의 A-A선 단면도.

Claims (7)

1. 오리피스의 상류측 압력(P₁)을 하류측 압력(P₂)의 약 2배이상으로 유지한 상태에서 유체의 유량제어를 행하는 압력식 유량제어장치에 있어서, 오리피스(5)와 오리피스(5)의 상류측에 설치한 제어밸브(2)와, 제어밸브(2)의 오리피스(5) 사이에 설치한 압력검출기(3)와, 압력검출기(3)의 검출압력(P₁)으로부터 유량(Qc)을 Qc=KP₁(단지 k는 정수)으로 하여 연산함과 아울러, 유량지령신호(Qs)와 상기 연산한 유량신호(Qc)의 차를 제어신호(Qy)로 하여 상기한 제어밸브(2)의 구동부(14)에 출력하는 연산제어장치(6)로 구성되고, 제어밸브(2)의 개폐에 의하여 오리피스 상류측 압력(P₁)을 조정하여, 오리피스 하류측 유량을 제어하는 것을 특징으로 하는 압력식 유량제어장치.
2. 제1항에 있어서, 오리피스(5)를 교환자재하게 부착하는 구성으로 한 압력식 유량제어장치.
3. 제1항에 있어서, 제어밸브(2)의 밸브본체(12)에 압력검출기(3)의 부착구멍(12d) 및 오리피스(5)의 부착구멍(12f)을 각각 설치하여, 제어밸브(2)의 밸브본체(12)를 블록화하여 이루어진 압력식 유량제어장치.
4. 제1항에 있어서, 오리피스(5)의 하류측에 오리피스대응밸브(9)를 설치함과 아울러, 그 오리피스대응밸브(9)의 밸브본체(9a)의 유체입구(9b)내에 상기한 오리피스(5)를 부착하도록 한 압력식 유량제어장치.
5. 제1항에 있어서, 연산제어장치(6)를, 연산한 유량(Qc)의 값을 오리피스(5)의 상류측의 기체온도(T₁)에 따라서 보정하기 위한 온도보정회로(6a)를 구비한 연산제어장치(6)로 한 압력식 유량제어장치.
6. 제1항에 있어서, 제어밸브(2)를, 오리피스(5)의 상류측 압력(P₁)과 하류측 압력(P₂)의 검출치가 입력되는 반전증폭기(10)으로부터의 출력신호에 의하여, 상류측 압력(P₁)과 하류측 압력(P₂)의 관계가 P₂/P₁〉0.5로 된 때에 폐쇄하는 제어밸브(2)로 한 압력식 유량제어장치.
7. 제3항에 있어서, 오리피스(5)를 제어밸브(2)의 밸브본체(12)의 오리피스 부착구멍(12f)내에 교환자재하게 삽입하여 이루어진 압력식 유량제어장치.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.