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KR940012495A - 쇼트 아크형 카드뮴 희가스 방전 램프 및 이것을 장착한 투영 노광 장치 - Google Patents

쇼트 아크형 카드뮴 희가스 방전 램프 및 이것을 장착한 투영 노광 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR940012495A
KR940012495A KR1019930024707A KR930024707A KR940012495A KR 940012495 A KR940012495 A KR 940012495A KR 1019930024707 A KR1019930024707 A KR 1019930024707A KR 930024707 A KR930024707 A KR 930024707A KR 940012495 A KR940012495 A KR 940012495A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cadmium
normal lighting
kpa
discharge lamp
exposure apparatus
Prior art date
Application number
KR1019930024707A
Other languages
English (en)
Inventor
유끼오 야스다
아끼야스 야마구찌
다쯔시 이가라시
야스오 오니시
겐조 가이
마사노리 스기하라
다까시 모리
아끼라 미야찌
Original Assignee
유모토 다이조
우시오 덴끼 가부시끼가이샤
오노 시게오
가부시끼가이샤 니콘
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 유모토 다이조, 우시오 덴끼 가부시끼가이샤, 오노 시게오, 가부시끼가이샤 니콘 filed Critical 유모토 다이조
Publication of KR940012495A publication Critical patent/KR940012495A/ko

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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70008—Production of exposure light, i.e. light sources
    • G03F7/70016—Production of exposure light, i.e. light sources by discharge lamps
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H01J61/02—Details
    • H01J61/12—Selection of substances for gas fillings; Specified operating pressure or temperature
    • H01J61/18—Selection of substances for gas fillings; Specified operating pressure or temperature having a metallic vapour as the principal constituent
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H01J61/84—Lamps with discharge constricted by high pressure
    • H01J61/86—Lamps with discharge constricted by high pressure with discharge additionally constricted by close spacing of electrodes, e.g. for optical projection

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Discharge Lamp (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)

Abstract

210내지 230㎜의 발광 스펙트럼의 전후의 불필요한 발광을 억제하고, 210내지 230㎜의 발광 스펙트럼의 고출력화를 달성할 수가 있는 쇼트 아크형 카드뮴 희가스 방전램프 및 광학 재료가 예화하는 일이 없이 소형화가 가능하며 미세한 패턴을 큰 초점심도의 기초 아래 투영 전사할 수 있는 고성능의 투영노광 장치를 제공하며, 발광관내에 크세논, 크리프톤, 아르곤, 네온에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 희가스와 정상 점등시에 있어서 압력이 14내지 200kPa로 되는 금속 카드뮴을 봉입하고 정상 점등시의 방전 전류를 J(A), 정상 점등시의 카드뮴의 압력을 P(kPa)로 할 때에 J/P가 0.13내지 15의 범위에서 점등하고, 또한, 이 방전 램프를 투영 노광 장치에 장착한다.

Description

쇼트 아크형 카드뮴 희가스 방전 램프 및 이것을 장착한 투영 노광 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 쇼트 아크형 카드뮴 희가스 방전 램프의 설명을 위한 외관도.
제2도는 쇼트 아크형 카드뮴 희가스 방전램프의 점등에 적합하게 사용되는 점등 회로의 블록도.

Claims (2)

  1. 온도 제어되는 발광관내에 근접해서 자주 설치되는 한쌍의 전극을 구비하고, 상기 발광관내에는 크세논, 크리프톤, 아르곤, 네온에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 희가스와 정상 점등시에 있어서 입력이 14내지 200kPa로 되는 금속 카드뮴이 봉입되어 형성되고, 정상 점등시의 방전 전류를 J(A), 정상 점등시의 카드뮴의 압력을 P(kPa)로 할 때, J/P가 0.13내지 15의 범위에서 점등되는 것을 특징으로 하는 쇼트 아크형 카드뮴 희가스 방전램프.
  2. 노광 광원에서 방사되는 빛을 집광해서 레티클을 균일하게 조명하는 조명 광학계와 이 레티클의 패턴을 웨이퍼상에 투영하는 투영 광학계를 갖춘 투영 노광 장치에 있어서, 온도 제어되는 발광관내에 근접해서 마주 설치되는 한쌍의 전극을 갖추고, 이 발광관내에서 크세논, 크리프톤, 아르곤, 네온으로부터 선택된 1종 또는 2종 이상의 희가스와 정상 점등시에 있어서 압력이 14내지 200kPa로 되는 금속 카드뮴이 봉입되어 형성되고, 정상 점등시의 방전 전류를 J(A), 정상 점등시의 카드뮴의 압력을 P(kPa)로 할 때, J/P가 0.13내지 15로 되는 범위에서 점등하는 쇼트 아크형 카드뮴 희가스 방전 램프를 노광 광원으로 하여 장착한 것을 특징으로 하는 투영 노광 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930024707A 1992-11-20 1993-11-19 쇼트 아크형 카드뮴 희가스 방전 램프 및 이것을 장착한 투영 노광 장치 KR940012495A (ko)

Applications Claiming Priority (4)

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JP33376592 1992-11-20
JP92-333765 1992-11-20
JP93-286219 1993-10-22
JP5286219A JP3020397B2 (ja) 1992-11-20 1993-10-22 ショートアーク型カドミウム希ガス放電ランプおよびこれを搭載した投影露光装置

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KR940012495A true KR940012495A (ko) 1994-06-23

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KR1019930024707A KR940012495A (ko) 1992-11-20 1993-11-19 쇼트 아크형 카드뮴 희가스 방전 램프 및 이것을 장착한 투영 노광 장치

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EP (1) EP0599229B1 (ko)
JP (1) JP3020397B2 (ko)
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