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KR920004498Y1 - 저 진공도 측정장치 - Google Patents

저 진공도 측정장치 Download PDF

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KR920004498Y1
KR920004498Y1 KR2019890019760U KR890019760U KR920004498Y1 KR 920004498 Y1 KR920004498 Y1 KR 920004498Y1 KR 2019890019760 U KR2019890019760 U KR 2019890019760U KR 890019760 U KR890019760 U KR 890019760U KR 920004498 Y1 KR920004498 Y1 KR 920004498Y1
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KR
South Korea
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KR2019890019760U
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Inventor
노진국
Original Assignee
삼성전관 주식회사
김정배
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Publication date
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L21/00—Vacuum gauges
    • G01L21/30—Vacuum gauges by making use of ionisation effects
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
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    • G01L19/08—Means for indicating or recording, e.g. for remote indication
    • G01L19/083—Means for indicating or recording, e.g. for remote indication electrical

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Abstract

내용 없음.

Description

저 진공도 측정장치
제 1 도는 본 고안의 저진공도 측정장치의 구성도.
제 2 도는 제 1 도의 회로도.
제 3 도는 종래의 이온 진공계의 구성도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 배기구 2 : 진공구
10 : 이온진공계 12 : 외부전원
14 : X-Y기록계절연튜브
본 고안은 저진공도 측정장치에 관한 것으로, 더 상세히는 이온진공계를 사용하는 저진공도 측정장치에 관한 것이다.
진공시스템의 기체의 절대 압력을 측정하기위해서는 진공계가 사용되는데, 이 진공계에는 측정원리에 따라, 열전도 진공계, 수은진공계, 이온진공계 등 여러가지가 있다.
이 가운데 이온진공계는 저압기체충을 전자가 통과할 때 기체 분자의 전리에 의해 생기는 이온전류가 기체의 압력에 비례하는 것을 이용한 것으로, 측정범위가 아주 넓어 10-1-10-18Torr이나 통상은 압력범위가 10-3Torr이하의 영역에서 사용되며, 초진공의 측정에 주로 사용된다.
이온 진공계의 간략한 구조 및 측정하고자 하는 진공구가 연결된 상태가 제 3 도에 도시되어 있다.
도면에서 처럼 이온진공계(10)는 이온전류기록기(6), 전원공급기(7), 방출전류제어기(8)로 이루어지며, 측정하고자 하는 진공구(2)의 콜렉터(3)는 이온전류기록기(6)에, 그리드(4)는 전원공급기(7)에, 필라멘트(5)단자는 방출전류제어기(8)에 각각 연결하여 진공도를 측정한다.
그런데 이온진공계의 경우 역시 측정범위의 제한이 설정된다.
이유는 이온 진공계의 시스템 내부사정에 의한 것으로 압력범위가 10-3Torr이상의 저진공의 진공도 측정시 필라멘트의 손상과 콜렉터의 과전류로 인한 계기의 손상이 수반되기 때문이다. 즉, 종래의 이온 진공계에서는 저진공으로의 미소시간의 변화에 대하여 이를 측정키 위해 10-3Torr이상에서 장시간 사용할 경우 이온 진공계의 필라멘트 수명에 큰 영향을 미치게 된다. 이러한 연유로 계기내의 보호회로가 내장되어 있고 특히 실험실에서의 실험 또는 연구중 상기와 같이 저진공으로 진공도가 감소되면 상기 보호회로에 의해 진공계의 동작이 중지되므로 10-3Torr이상의 진공도 측정이 불가하다. 10-3Torr이상의 저진공도를 측정할 필요가 발생하므로 이를 위해 종래에는 저진공에서 고진공까지 진공도를 측정하기 위해서는 두 종류의 진공계가 별도로 사용되야 했었다.
즉, 특수한 실험연구 등에서 가스 방출이 일시적으로 심하게 일어나는 경우 시스템 내부의 일부분의 진공도가 고진공에서 저진공으로 갑자기 변환하는 경우가 발생하므로 진공도의 변화 측정을 위해서는 고, 저진공계 모두를 사용했던 것이다. 따라서 실험이 번거러웁게 되고 특히 저진공계부착이 어려운 부분의 진공도 측정에는 더욱 불편하였다.
따라서, 종래의 이온 진공계로서 미소시간동안 저진공이 측정 가능한 시스템이 요망된다. 이를 위해서 상기 지적된 진공계 사용 특성이 고려된다 하더라도, 미소시간 동안 저진공에서 진공계의 일시적 사용으로 필라멘트 손상에 큰 영향을 미치지 않으므로 이를 이용하여 종래의 이온 진공계를 수단으로 하여 일시적으로 가스방출이 심한 부분에서의 고진공에서 저진공의 진공도 변화를 측정할 수 있다.
즉, 본 고안의 목적은 상기 서술된 내용과 같이 종래의 이온 진공계를 사용하여 저진공도를 측정할 수 있는 장치를 제공하는 것이다.
본 고안의 장치를 제 1 도와 제 2 도를 참조하여 기술한다.
본 고안의 구성은 제 1 도와 같이 종래의 이온전류기록기(6)와 전원공급기(7), 및 방출전류제어기(8)로 구성되는 이온진공계(10)에 있어서, 측정하고자하는 진공구(2)에 연결할 때는 진공구(2)의 필라멘트(5)는 진공계(10)의 방출전류제어기(8)에 연결되고, 그리드(4)는 외부전원(12) 및 진공계의 전원공급기(7)에 동시에 연결되며, 외부전원에 연결됨과 동시에 X-Y기록계(14)에 병렬 연결된 저항(R)과 진공계의 이온전류 기록기(6)는 이들을 선택하기 위한 스위치(SW)단자 (a), (b)에 연결되고, 이 스위치(SW)의 선택단자(C)는 진공구의 콜렉터(3)에 연결된다.
미설명부호(1)은 진공구(王求)(2)의 배기구(口)이다.
상기 구성에 있어서 진공구(2)의 그리드(4)에 선택스위치(SW)를 연결할 경우 필라멘트(5)의 방출전류를 일정하게 유지할 수 없으므로 이온진공계(10)의 방출전류를 일정하게, 예를들면 1mA로 유지하기 위해 진공계의 외부단자중 그리드(4)와 콜렉터(3)단자만을 본 고안에서 이용한다.
그리고 진공구의 콜렉터(3)에 흐르는 이온 전류로서 진공계(10)에서는 진공도를 측정하므로 본 고안에 따라 스위치단자(C)와 (a)를 거쳐 연결된 X-Y기록계(14)에 동일한 전류를 흘러 그때의 값을 진공계(10)에서의 진공도와 서로 상응하도록 한다.
이온 전류에 있어서, 전원관계를 도시한 제 2 도의 회로에서와 같이, 외부전압의 전압치 즉 -155V를 콜렉터(3)와 그리드(4)간에 인가할 때 저항(R)에 흐르는 이온전류와, 이온진공계 연결시 필라멘트(5)와 콜렉터(3)가 전압치 즉 -25V에 따른 이온 전류가 서로 상응하도록 구성되어 이온 전류가 측정되므로써 진공계에서의 이온전류에 상당하는 진공도와 기록계상의 전류를 비교함으로써 그 진공도를 알 수 있다.
본 고안의 목적에 따라 일시적인 저진공도에서의 진공도를 알기 위해서 상기 수단이 이용된다. 즉 저진공을 측정하는 통상의 파라니 게이지를 이용하여 저진공도에서의 이온전류와 상기 파라니 게이지의 진공도를 비교하여 측정하여 기록계상에서의 각 이온전류에 상응하는 진공도의 표준을 설정하여 둔다. 따라서, 특히 피라니 게이지 같은 저진공계 부착이 어려운 부분의 진공도 측정시 이 게이지를 이용치 않고, 또한, 그러한 경우가 아니더라도 저진공계 사용없이 제 2 도와 같은 통상의 이온진공계 사용만으로 일시적인 저진공 측정이 가능한 것이다.

Claims (1)

  1. 이온전류기록기(6)와 전원공급기(7) 및 방출전류제어기(8)로 구성되는 이온 진공계(10)에 진공구(2)를 결합하여 진공도를 측정하는 진공도 측정장치에 있어서, 진공구(2)의 필라멘트(5)는 진공계의 방출전류제어기(8)에 연결되고, 그리드(4)는 외부전원(12) 및 진공계의 전원공급기(7)에 동시에 연결되며, 외부전원에 연결됨과 동시에 X-Y기록계(14)에 병렬 연결된 저항(R)과 진공계의 이온전류 기록기(6)는 이들을 선택하기 위한 스위치단자 (a), (b)에 연결되고, 이 스위치(SW)의 선택단자 (c)는 진공구의 콜렉터(3)에 연결하여 저진공도를 측정하는 것을 특징으로 하는 저진공도 측정 장치.
KR2019890019760U 1989-12-23 1989-12-23 저 진공도 측정장치 Expired KR920004498Y1 (ko)

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