KR920004498Y1 - Low vacuum measuring equipment - Google Patents
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Abstract
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Description
제 1 도는 본 고안의 저진공도 측정장치의 구성도.1 is a block diagram of a low vacuum measuring apparatus of the present invention.
제 2 도는 제 1 도의 회로도.2 is a circuit diagram of FIG.
제 3 도는 종래의 이온 진공계의 구성도이다.3 is a block diagram of a conventional ion vacuum system.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
1 : 배기구 2 : 진공구1: exhaust port 2: vacuum port
10 : 이온진공계 12 : 외부전원10: ion vacuum system 12: external power
14 : X-Y기록계절연튜브14: X-Y recorder insulation tube
본 고안은 저진공도 측정장치에 관한 것으로, 더 상세히는 이온진공계를 사용하는 저진공도 측정장치에 관한 것이다.The present invention relates to a low vacuum measuring apparatus, and more particularly to a low vacuum measuring apparatus using an ion vacuum system.
진공시스템의 기체의 절대 압력을 측정하기위해서는 진공계가 사용되는데, 이 진공계에는 측정원리에 따라, 열전도 진공계, 수은진공계, 이온진공계 등 여러가지가 있다.A vacuum gauge is used to measure the absolute pressure of gas in the vacuum system, and there are various vacuum gauges, such as a thermal conductivity vacuum gauge, a mercury vacuum system, and an ion vacuum system, depending on the measuring principle.
이 가운데 이온진공계는 저압기체충을 전자가 통과할 때 기체 분자의 전리에 의해 생기는 이온전류가 기체의 압력에 비례하는 것을 이용한 것으로, 측정범위가 아주 넓어 10-1-10-18Torr이나 통상은 압력범위가 10-3Torr이하의 영역에서 사용되며, 초진공의 측정에 주로 사용된다.Among them, the ion vacuum system uses the ion current generated by ionization of gas molecules when electrons pass through the low-pressure gas worm, and is proportional to the pressure of the gas.The measurement range is very wide, so it is 10 -1 -10 -18 Torr. The pressure range is used in the range of 10 -3 Torr or less, and is mainly used for the measurement of ultra vacuum.
이온 진공계의 간략한 구조 및 측정하고자 하는 진공구가 연결된 상태가 제 3 도에 도시되어 있다.A simplified structure of the ion vacuum gauge and the state in which the vacuum port to be measured are connected are shown in FIG.
도면에서 처럼 이온진공계(10)는 이온전류기록기(6), 전원공급기(7), 방출전류제어기(8)로 이루어지며, 측정하고자 하는 진공구(2)의 콜렉터(3)는 이온전류기록기(6)에, 그리드(4)는 전원공급기(7)에, 필라멘트(5)단자는 방출전류제어기(8)에 각각 연결하여 진공도를 측정한다.As shown in the drawing, the ion vacuum system 10 is composed of an ion current recorder 6, a power supply 7, and an emission current controller 8, and the collector 3 of the vacuum port 2 to be measured is an ion current recorder ( 6), the grid 4 is connected to the power supply 7 and the filament 5 terminal to the emission current controller 8, respectively, to measure the degree of vacuum.
그런데 이온진공계의 경우 역시 측정범위의 제한이 설정된다.However, in the case of the ion vacuum system, the limit of the measurement range is set.
이유는 이온 진공계의 시스템 내부사정에 의한 것으로 압력범위가 10-3Torr이상의 저진공의 진공도 측정시 필라멘트의 손상과 콜렉터의 과전류로 인한 계기의 손상이 수반되기 때문이다. 즉, 종래의 이온 진공계에서는 저진공으로의 미소시간의 변화에 대하여 이를 측정키 위해 10-3Torr이상에서 장시간 사용할 경우 이온 진공계의 필라멘트 수명에 큰 영향을 미치게 된다. 이러한 연유로 계기내의 보호회로가 내장되어 있고 특히 실험실에서의 실험 또는 연구중 상기와 같이 저진공으로 진공도가 감소되면 상기 보호회로에 의해 진공계의 동작이 중지되므로 10-3Torr이상의 진공도 측정이 불가하다. 10-3Torr이상의 저진공도를 측정할 필요가 발생하므로 이를 위해 종래에는 저진공에서 고진공까지 진공도를 측정하기 위해서는 두 종류의 진공계가 별도로 사용되야 했었다.This is due to the internal system of the ion vacuum system, which is accompanied by damage to the filament and damage to the instrument due to collector overcurrent when measuring the vacuum degree of low vacuum with pressure range over 10 -3 Torr. That is, in the conventional ion vacuum system, when used for more than 10 -3 Torr for a long time in order to measure the change in the micro time to low vacuum, it has a great influence on the filament life of the ion vacuum system. For this reason, it is impossible to measure the vacuum level of more than 10 -3 Torr because the protection circuit in the instrument is built-in, and in particular, if the vacuum degree is reduced due to low vacuum during the experiment or research in the laboratory, the vacuum system is stopped by the protection circuit. . Since it is necessary to measure the low vacuum degree of 10 -3 Torr or more, two types of vacuum meters had to be used separately to measure the vacuum degree from the low vacuum to the high vacuum.
즉, 특수한 실험연구 등에서 가스 방출이 일시적으로 심하게 일어나는 경우 시스템 내부의 일부분의 진공도가 고진공에서 저진공으로 갑자기 변환하는 경우가 발생하므로 진공도의 변화 측정을 위해서는 고, 저진공계 모두를 사용했던 것이다. 따라서 실험이 번거러웁게 되고 특히 저진공계부착이 어려운 부분의 진공도 측정에는 더욱 불편하였다.In other words, in the case of special experimental research, if the gas emission is temporarily severe, the vacuum degree of a part of the system suddenly changes from high vacuum to low vacuum. Therefore, both high and low vacuum systems were used to measure the change in vacuum degree. Therefore, the experiment was cumbersome, and in particular, it was more inconvenient to measure the vacuum degree of the difficult part of attaching the low vacuum system.
따라서, 종래의 이온 진공계로서 미소시간동안 저진공이 측정 가능한 시스템이 요망된다. 이를 위해서 상기 지적된 진공계 사용 특성이 고려된다 하더라도, 미소시간 동안 저진공에서 진공계의 일시적 사용으로 필라멘트 손상에 큰 영향을 미치지 않으므로 이를 이용하여 종래의 이온 진공계를 수단으로 하여 일시적으로 가스방출이 심한 부분에서의 고진공에서 저진공의 진공도 변화를 측정할 수 있다.Therefore, a system capable of measuring low vacuum for a small time as a conventional ion vacuum gauge is desired. Although the above-mentioned vacuum system use characteristics are considered for this purpose, the temporary use of the vacuum system at low vacuum during the micro time does not significantly affect the filament damage. It is possible to measure the change in vacuum degree of high vacuum at low vacuum.
즉, 본 고안의 목적은 상기 서술된 내용과 같이 종래의 이온 진공계를 사용하여 저진공도를 측정할 수 있는 장치를 제공하는 것이다.That is, an object of the present invention is to provide a device capable of measuring low vacuum degree using a conventional ion vacuum gauge as described above.
본 고안의 장치를 제 1 도와 제 2 도를 참조하여 기술한다.The device of the present invention is described with reference to FIGS.
본 고안의 구성은 제 1 도와 같이 종래의 이온전류기록기(6)와 전원공급기(7), 및 방출전류제어기(8)로 구성되는 이온진공계(10)에 있어서, 측정하고자하는 진공구(2)에 연결할 때는 진공구(2)의 필라멘트(5)는 진공계(10)의 방출전류제어기(8)에 연결되고, 그리드(4)는 외부전원(12) 및 진공계의 전원공급기(7)에 동시에 연결되며, 외부전원에 연결됨과 동시에 X-Y기록계(14)에 병렬 연결된 저항(R)과 진공계의 이온전류 기록기(6)는 이들을 선택하기 위한 스위치(SW)단자 (a), (b)에 연결되고, 이 스위치(SW)의 선택단자(C)는 진공구의 콜렉터(3)에 연결된다.The structure of the present invention is the vacuum port 2 to be measured in the ion vacuum system 10 composed of the conventional ion current recorder 6, the power supply 7, and the emission current controller 8 as in the first diagram. The filament 5 of the vacuum port 2 is connected to the emission current controller 8 of the vacuum gauge 10, and the grid 4 is simultaneously connected to the external power supply 12 and the power supply 7 of the vacuum gauge. At the same time, the resistor R connected in parallel with the XY recorder 14 and the ion current recorder 6 of the vacuum system are connected to the switch SW terminals (a) and (b) for selecting them. The select terminal C of this switch SW is connected to the collector 3 of the vacuum port.
미설명부호(1)은 진공구(王求)(2)의 배기구(口)이다.Reference numeral 1 is an exhaust port of the vacuum port 2.
상기 구성에 있어서 진공구(2)의 그리드(4)에 선택스위치(SW)를 연결할 경우 필라멘트(5)의 방출전류를 일정하게 유지할 수 없으므로 이온진공계(10)의 방출전류를 일정하게, 예를들면 1mA로 유지하기 위해 진공계의 외부단자중 그리드(4)와 콜렉터(3)단자만을 본 고안에서 이용한다.In the above configuration, when the selection switch SW is connected to the grid 4 of the vacuum port 2, the emission current of the filament 5 cannot be kept constant, so that the emission current of the ion vacuum system 10 is kept constant. For example, in order to maintain 1mA, only the grid 4 and collector 3 terminals of the external terminals of the vacuum system are used in the present invention.
그리고 진공구의 콜렉터(3)에 흐르는 이온 전류로서 진공계(10)에서는 진공도를 측정하므로 본 고안에 따라 스위치단자(C)와 (a)를 거쳐 연결된 X-Y기록계(14)에 동일한 전류를 흘러 그때의 값을 진공계(10)에서의 진공도와 서로 상응하도록 한다.Since the vacuum gauge 10 measures the vacuum degree as an ion current flowing through the collector 3 of the vacuum port, the same current flows through the XY recorder 14 connected via the switch terminal C and (a) according to the present invention. The values correspond to each other with the degree of vacuum in the vacuum gauge 10.
이온 전류에 있어서, 전원관계를 도시한 제 2 도의 회로에서와 같이, 외부전압의 전압치 즉 -155V를 콜렉터(3)와 그리드(4)간에 인가할 때 저항(R)에 흐르는 이온전류와, 이온진공계 연결시 필라멘트(5)와 콜렉터(3)가 전압치 즉 -25V에 따른 이온 전류가 서로 상응하도록 구성되어 이온 전류가 측정되므로써 진공계에서의 이온전류에 상당하는 진공도와 기록계상의 전류를 비교함으로써 그 진공도를 알 수 있다.In the ion current, as in the circuit of FIG. 2 showing the power supply relationship, an ion current flowing through the resistor R when a voltage value of an external voltage, that is, -155 V is applied between the collector 3 and the grid 4, When the ion vacuum system is connected, the filament 5 and the collector 3 are configured so that the ion current according to the voltage value, that is, -25V, is measured so that the ion current is measured, so that the vacuum and the current on the recorder are compared The degree of vacuum can be known by doing this.
본 고안의 목적에 따라 일시적인 저진공도에서의 진공도를 알기 위해서 상기 수단이 이용된다. 즉 저진공을 측정하는 통상의 파라니 게이지를 이용하여 저진공도에서의 이온전류와 상기 파라니 게이지의 진공도를 비교하여 측정하여 기록계상에서의 각 이온전류에 상응하는 진공도의 표준을 설정하여 둔다. 따라서, 특히 피라니 게이지 같은 저진공계 부착이 어려운 부분의 진공도 측정시 이 게이지를 이용치 않고, 또한, 그러한 경우가 아니더라도 저진공계 사용없이 제 2 도와 같은 통상의 이온진공계 사용만으로 일시적인 저진공 측정이 가능한 것이다.According to the object of the present invention the means are used to know the degree of vacuum at a temporary low vacuum degree. In other words, by using a conventional Parani gauge measuring low vacuum, the ion current at low vacuum degree is compared with the vacuum degree of the Parani gauge, and the standard of vacuum degree corresponding to each ion current on the recorder is set. Therefore, it is possible not to use this gauge for measuring the degree of vacuum of a part which is difficult to attach to a low vacuum system, such as a Pirani gauge. will be.
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| KR2019890019760U KR920004498Y1 (en) | 1989-12-23 | 1989-12-23 | Low vacuum measuring equipment |
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Family Applications (1)
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1989
- 1989-12-23 KR KR2019890019760U patent/KR920004498Y1/en not_active IP Right Cessation
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| KR910012267U (en) | 1991-07-30 |
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