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KR20230143494A - 웨이퍼 수납용기 및 그에 사용되는 캡 조립체 - Google Patents

웨이퍼 수납용기 및 그에 사용되는 캡 조립체 Download PDF

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KR20230143494A
KR20230143494A KR1020220042467A KR20220042467A KR20230143494A KR 20230143494 A KR20230143494 A KR 20230143494A KR 1020220042467 A KR1020220042467 A KR 1020220042467A KR 20220042467 A KR20220042467 A KR 20220042467A KR 20230143494 A KR20230143494 A KR 20230143494A
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KR
South Korea
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cap
fastening
wall
storage container
assembly used
Prior art date
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KR1020220042467A
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Inventor
김상진
Original Assignee
주식회사 삼에스코리아
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Abstract

본 발명은 웨이퍼 수납용기 및 그에 사용되는 캡 조립체에 관한 것이다. 본 발명의 일실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기 및 그에 사용되는 캡 조립체는 내부에 하나 이상의 웨이퍼를 수용할 수 있는 공간이 마련되는 수납용기와, 상기 수납용기의 하부 외측에 형성되며, 캡을 체결할 수 있는 체결공간이 마련되는 체결부 및 일 측에 일자로 형성하되, 단부에 제1 돌출부를 포함하는 걸림부가 형성되며, 상기 걸림부가 상기 체결부에 체결되는 구조로 이루어지는 캡을 포함하고, 상기 체결부는, 상기 캡의 외주면과 밀착되는 내벽 및 상기 체결부의 일 측에 형성되며, 상기 걸림부가 체결되도록 홀 형상으로 이루어진 체결홀을 포함하며, 상기 캡은, 상기 걸림부와 마주보는 면에 형성되며, 상기 내벽에 밀착되어 상기 캡이 상기 체결부에 고정되는 고정벽을 포함한다.

Description

웨이퍼 수납용기 및 그에 사용되는 캡 조립체{Wafer container and cap assembly used therefor}
본 발명은 웨이퍼 수납용기 및 그에 사용되는 캡 조립체에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 웨이퍼 수납용기의 하부에 캡을 설치하기 위한 웨이퍼 수납용기 및 그에 사용되는 캡 조립체에 관한 것이다.
반도체 제조용 웨이퍼나 각종 디스플레이 기기 제조를 위한 패널 및 태양전지 제조를 위한 패널 등과 같은 기판을 취급하는데 있어서, 주변의 습기나 산소 및 공기 중 부유 물질 등과 같은 오염물질로부터 기판을 보호하는 것은 매우 중요한 사항으로 이미 알려져 있다. 이에 기판의 보관 및 이동 과정에서 사용되는 기판 컨테이너의 경우, 그 내부의 기판 수용 공간을 N2 가스 등과 같은 불활성 가스를 이용하여 퍼징(purging)한다.
한편, 최근에는 기판의 대면적화에 따라서 기판 컨테이너의 크기 역시 대형화되고 있다. 디스플레이 기기 제조 분야에서 LCD(Liquid crystal display)나 PDP(Plasma display panel) 및 OLED(Organic light emitting display) 등과 같은 다양한 평면 디스플레이(Flat panel display) 기기가 대면적화 되면서 대면적 기판의 보관 및 이동 등의 취급을 위한 기판 컨테이너에 대한 기술 역시 발전하고 있으며, 일례로 (특허문헌 1)을 참조하여 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
(특허문헌 1)은 웨이퍼 캐리어에 관한 것으로, 이에 따르면, 용기 부분은 개방전면을 가지고, 세정 쇠고리들을 위한 오목부들을 제공하는 비틀림 잠금 연결자들에 의해 고정되는 베이스 판을 바닥 표면 상에 삽입되며, 운동역학적 결합 구성요소들은 상기 베이스 판 상에 결합되는 기능을 특징으로 한다.
그러나, 전술한 (특허문헌 1)에 따르면, 기판 수납용기의 하부에 캡(비틀림 잠금 연결자)이 설치되는데, 상기한 캡이 양 측에 후크형상으로 구비되어 있어 탈착하는데 어려움이 있으며, 캡에 일정이상의 힘을 가하여 캡을 탈착시키는 구조로 이루어져 있어 캡에 일정 이상의 힘이 가해져 캡의 일부가 파손되는 문제점이 있다.
대한민국 공개특허공보 제10-2014-0054205호 (2014.05.08)
본 발명의 목적은 수납용기의 하부에 설치되는 캡의 일면에만 후크를 형성하여 캡이 용이하게 탈부착을 하기 위한 웨이퍼 수납용기 및 그에 사용되는 캡 조립체를 제공하는 데 있다.
상기 과제를 해결하기 위하여,
본 발명의 일실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기 및 그에 사용되는 캡 조립체는 내부에 하나 이상의 웨이퍼를 수용할 수 있는 공간이 마련되는 수납용기;
상기 수납용기의 하부 외측에 형성되며, 캡을 체결할 수 있는 체결공간이 마련되는 체결부; 및
일 측에 일자로 형성하되, 단부에 제1 돌출부를 포함하는 걸림부가 형성되며, 상기 걸림부가 상기 체결부에 체결되는 구조로 이루어지는 캡; 을 포함하고,
상기 체결부는,
상기 캡의 외주면과 밀착되는 내벽; 및
상기 체결부의 일 측에 형성되며, 상기 걸림부가 체결되도록 홀 형상으로 이루어진 체결홀; 을 포함하며,
상기 캡은,
상기 걸림부와 마주보는 면에 형성되며, 상기 내벽에 밀착되어 상기 캡이 상기 체결부에 고정되는 고정벽; 을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 일실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기 및 그에 사용되는 캡 조립체에 있어서, 상기 고정벽은, 내측 방향으로 돌출되게 형성하되, 상기 고정벽과 수직으로 형성되며 상기 내벽에 설치되는 제2 돌출부; 를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 일실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기 및 그에 사용되는 캡 조립체에 있어서, 상기 내벽의 내부에 일자로 형성하되, 내측을 향하도록 돌출되고, 상기 고정벽의 외면과 밀착되도록 구성되며, 상기 캡이 상기 체결부에 고정되는 고정부재; 를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 일실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기 및 그에 사용되는 캡 조립체에 있어서, 상기 캡은, 상기 걸림부 및 고정벽의 상부에 형성되는 머리부; 를 포함하며,
상기 머리부는, 하부에 형성하되, 상기 걸림부 및 고정벽의 사이의 외주면에 형성되며, 일정높이로 형성되는 가이드부; 를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 일실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기 및 그에 사용되는 캡 조립체에 있어서, 상기 체결부는, 내벽의 내부에 형성하되, 상기 가이드부와 밀착되는 지점에 형성되며, 상기 가이드부가 안착할 수 있도록 홈 형상으로 형성되는 밀착부; 를 포함할 수 있다.
이러한 해결 수단은 첨부된 도면에 의거한 다음의 발명의 상세한 설명으로부터 더욱 명백해질 것이다.
이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
즉, 본 발명의 일실시 예에 따르면, 캡의 일 측에만 걸림부가 형성됨으로써, 캡이 체결부의 한쪽에만 고정시키고(걸림부 부분), 나머지 한쪽에는 지지하는(고정벽 부분) 구조로 이루어짐으로써, 손쉽게 탈부착할 수 있는 구조로 개선될 수 있다.
또한, 본 발명의 일실시 예에 따르면, 체결부 및 캡의 구조가 단순하고, 간단하여 금형비를 절약할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기 및 그에 사용되는 캡 조립체의 조립상태를 나타내 보인 사시도.
도 2는 본 발명의 일실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기 및 그에 사용되는 캡 조립체의 캡을 나타내 보인 사시도.
도 3은 본 발명의 일실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기 및 그에 사용되는 캡 조립체의 설치상태를 나타내 보인 부분사시도.
도 4 및 도 5는 본 발명의 일실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기 및 그에 사용되는 캡 조립체의 설치상태를 나타내 보인 단면도.
본 발명의 특이한 관점, 특정한 기술적 특징들은 첨부된 도면들과 연관되는 이하의 구체적인 내용과 일실시 예로부터 더욱 명백해 질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조 부호를 부가함에 있어, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명의 일실시 예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 본 발명의 구성요소를 설명하는 데 있어서, 제1, 제2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성요소 사이에 또 다른 구성요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
이하, 본 발명의 일실시 예를 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시 예에 따른 웨이퍼 수납용기 및 그에 사용되는 캡 조립체는 내부에 하나 이상의 웨이퍼를 수용할 수 있는 공간이 마련되며, 일 면이 개방되는 수납용기(1)와, 수납용기(1)의 하부 외측에 형성되며, 캡(20)을 체결할 수 있는 체결공간이 마련되는 체결부(10)와, 체결부(10)에 삽입되어 설치되는 캡(20)을 포함하여 구성될 수 있다.
수납용기(1)는 내부에 하나 이상의 웨이퍼를 적층하여 수용할 수 있도록 내부에 공간이 형성되고, 일 면에 개방되도록 형성되며, 개방된 면에 별도의 도어장치(미도시)를 설치하여 개폐가 가능하도록 구성될 수 있다.
이러한 수납용기(1)의 하부 외측에 캡을 체결할 수 있는 체결공간(11)이 마련되는 체결부(10)가 구비될 수 있다.
체결부(10)는 내벽(12)이 형성되고, 내벽(12)의 내부에는 체결공간(11)이 마련되는 구조로 이루어지며, 체결공간(11)에 캡(20)이 설치되는 구조로 이루어질 수 있다.
이러한 체결부(10)는 일 측에 체결홀(15)이 형성되어 캡(20)에 형성되는 걸림부(21)가 체결홀(15)에 고정되어 캡(20)이 체결부(10)에 체결되도록 구성될 수 있다.
또한, 체결부(10)는 내벽의 내부에 일자로 형성하되, 내측을 향하도록 돌출되고, 고정벽(23)의 외면과 밀착되도록 구성함으로써, 캡(20)이 체결부(10)의 내부에 고정하는 기능을 수행하는 고정부재(13)를 더 포함하여 구성될 수 있다.
고정부재(13)는 내벽(12)의 내부에 형성되고, 캡(20)의 고정벽(23)이 고정부재(13)에 안착되어 캡(20)이 체결부(10)에서 외부로 이탈하는 것을 방지하는 효과를 기대할 수 있다.
아울러, 체결부(10)는 내벽(12)의 내부의 단부에 내 측방향으로 홈 형상으로 형성되며, 후술할 캡(20)의 가이드부(26)가 안착하는 기능을 수행하는 밀착부(14)를 더 포함하여 구성될 수 있다.
캡(20)은 일 측에 형성되어 체결홀(15)에 체결되는 걸림부(21)와, 걸림부(21)와 마주보는 면에 형성되어 내벽(12)에 밀착되도록 형성되는 고정벽(23)과, 걸림부(21) 및 고정벽(23)의 상부에 위치하는 머리부(25)를 포함하여 구성될 수 있다.
걸림부(21)는 일 측에 일자 형상으로 형성하되, 단부에 외측 방향으로 돌출되게 형성되는 후크 형상의 제1 돌출부(22)가 형성되며, 제1 돌출부(22)가 체결홀(15)에 체결되는 구조로 이루어질 수 있다.
고정벽(23)은 걸림부(21)와 마주보는 면에 일자 형상으로 형성되고, 고정벽(23)의 외면이 고정부재(13)와 밀착되어 고정되는 구조로 이루어지며, 고정벽(23)의 내 측방향에 수직으로 형성되는 돌출형상의 제2 돌출부(24)가 더 포함될 수 있다.
제2 돌출부(24)는 고정벽(23)이 내벽(12)에 내측방향으로 돌출되어 있는 고정부재(13)에 장시간동안 밀착되어도 구조의 변형 또는 손상되는 것을 방지하는 기능을 수행할 수 있다. 이외에도, 고정벽(23)이 고정부재(13)에 밀착되어도 소정의 고정력을 더 부여하여 보다 더 견고하게 고정시킬 수 있다.
머리부(25)는 캡(20)의 상부에 위치하며, 더욱 구체적으로는 걸림부(21) 및 고정벽(23)의 사이에 형성하되, 걸림부(21) 및 고정벽(23)의 상부에 위치하며, 체결부(10)의 형상과 동일한 형상으로 이루어진다. 예컨대, 머리부(25)의 형상이 원형이면, 체결부(10)의 체결공간(11)이 동일한 원형형상으로 이루어져 견고하게 고정이 될 수 있도록 구성될 수 있다.
이러한 머리부(25)는 하부에 형성하되, 걸림부(21) 및 고정벽(23)의 사이의 외주면에 형성되며, 일정높이로 형성되는 가이드부(26)를 더 포함할 수 있다.
가이드부(26)는 캡(20)이 체결부(10)에 삽입되어 체결될 때, 밀착부(14)에 안착되어 외부로 이탈하는 것을 방지하는 효과를 기대할 수 있다.
즉, 본 발명의 일실시 예에 따르면, 캡(20)의 일 측에만 걸림부(21)가 형성됨으로써, 캡(20)이 체결부(10)의 한쪽에만 고정시키고(걸림부 부분), 나머지 한쪽에는 지지하는(고정벽 부분) 구조로 이루어짐으로써, 손쉽게 탈부착할 수 있는 구조로 개선될 수 있다.
또한, 본 발명의 일실시 예에 따르면, 체결부(10) 및 캡(20)의 구조가 단순하고, 간단하여 금형비를 절약할 수 있다.
이상 본 발명을 일실시 예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 웨이퍼 수납용기 및 그에 사용되는 캡 조립체는 이에 한정되지 않는다. 그리고 이상에서 기재된 "포함하다", "구성하다", 또는 "가지다", 등의 용어는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 해당 구성요소가 내재될 수 있음을 의미하는 것이므로, 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 하며, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함한 모든 용어들은, 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다.
또한, 이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형 가능하다. 따라서, 본 발명에 개시된 일실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 일실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
1 - 수납용기 10 - 체결부
11 - 체결공간 12 - 내벽
13 - 고정부재 14 - 밀착부
15 - 체결홀 20 - 캡
21 - 걸림부 22 - 제1 돌출부
23 - 고정벽 24 - 제2 돌출부
25 - 머리부 26 - 가이드부

Claims (5)

  1. 내부에 하나 이상의 웨이퍼를 수용할 수 있는 공간이 마련되는 수납용기;
    상기 수납용기의 하부 외측에 형성되며, 캡을 체결할 수 있는 체결공간이 마련되는 체결부; 및
    일 측에 일자로 형성하되, 단부에 제1 돌출부를 포함하는 걸림부가 형성되며, 상기 걸림부가 상기 체결부에 체결되는 구조로 이루어지는 캡; 을 포함하고,
    상기 체결부는,
    상기 캡의 외주면과 밀착되는 내벽; 및
    상기 체결부의 일 측에 형성되며, 상기 걸림부가 체결되도록 홀 형상으로 이루어진 체결홀; 을 포함하며,
    상기 캡은,
    상기 걸림부와 마주보는 면에 형성되며, 상기 내벽에 밀착되어 상기 캡이 상기 체결부에 고정되는 고정벽; 을 포함하는, 웨이퍼 수납용기 및 그에 사용되는 캡 조립체.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 고정벽은, 내측 방향으로 돌출되게 형성하되, 상기 고정벽과 수직으로 형성되며 상기 내벽에 설치되는 제2 돌출부; 를 포함하는, 웨이퍼 수납용기 및 그에 사용되는 캡 조립체.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 내벽의 내부에 일자로 형성하되, 내측을 향하도록 돌출되고, 상기 고정벽의 외면과 밀착되도록 구성되며, 상기 캡이 상기 체결부에 고정되는 고정부재; 를 포함하는, 웨이퍼 수납용기 및 그에 사용되는 캡 조립체.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 캡은, 상기 걸림부 및 고정벽의 상부에 형성되는 머리부; 를 포함하며,
    상기 머리부는, 하부에 형성하되, 상기 걸림부 및 고정벽의 사이의 외주면에 형성되며, 일정높이로 형성되는 가이드부; 를 포함하는, 웨이퍼 수납용기 및 그에 사용되는 캡 조립체.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 체결부는, 내벽의 내부에 형성하되, 상기 가이드부와 밀착되는 지점에 형성되며, 상기 가이드부가 안착할 수 있도록 홈 형상으로 형성되는 밀착부; 를 포함하는, 웨이퍼 수납용기 및 그에 사용되는 캡 조립체.

KR1020220042467A 2022-04-05 2022-04-05 웨이퍼 수납용기 및 그에 사용되는 캡 조립체 KR20230143494A (ko)

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