KR20230073352A

KR20230073352A - 증착 마스크 장치의 제조 방법 및 증착 마스크 장치의 제조 장치

Info

Publication number: KR20230073352A
Application number: KR1020237016303A
Authority: KR
Inventors: 히데유키 오카모토
Original assignee: 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤
Priority date: 2017-09-05
Filing date: 2018-08-08
Publication date: 2023-05-25
Also published as: TW201912819A; US12128500B2; TWI690609B; JPWO2019049600A1; CN109423604A; KR20200051702A; WO2019049600A1; KR102700053B1; EP3680362B1; EP3680362A1; CN208815101U; JP2022141899A; CN109423604B; JP7112680B2; US20210060700A1; EP3680362A4; CN113981367A

Abstract

증착 마스크 장치의 제조 방법은, 제1 면으로부터 제2 면에 이르는 복수의 관통 구멍을 포함하는 증착 마스크를 준비하는 준비 공정과, 표면과 표면에 대향하는 이면을 포함하는 프레임의 표면에, 증착 마스크를 용접하는 용접 공정을 구비한다.

Description

증착 마스크 장치의 제조 방법 및 증착 마스크 장치의 제조 장치{PRODUCTION METHOD FOR VAPOR DEPOSITION MASK DEVICE AND PRODUCTION DEVICE FOR VAPOR DEPOSITION MASK DEVICE}

본 개시의 일 실시 형태는, 복수의 관통 구멍이 형성된 증착 마스크와, 증착 마스크를 지지하는 프레임을 구비하는 증착 마스크 장치의 제조 방법 및 증착 마스크 장치의 제조 장치에 관한 것이다.

근년, 스마트폰이나 태블릿 PC 등의 운반 가능한 디바이스에서 사용되는 표시 장치에 대하여, 고정밀일 것, 예를 들어 화소 밀도가 500ppi 이상일 것이 요구되고 있다. 또한, 운반 가능한 디바이스에 있어서도, 울트라 풀 하이비전에 대응하는 것에 대한 수요가 높아지고 있고, 이 경우, 표시 장치의 화소 밀도가 예를 들어 800ppi 이상일 것이 요구된다.

표시 장치 중에서도, 양호한 응답성, 낮은 소비 전력과 높은 콘트라스트 때문에, 유기 EL 표시 장치가 주목받고 있다. 유기 EL 표시 장치의 화소를 형성하는 방법으로서, 원하는 패턴으로 배열된 관통 구멍이 형성된 증착 마스크를 사용하여, 원하는 패턴으로 화소를 형성하는 방법이 알려져 있다. 구체적으로는, 처음에, 유기 EL 표시 장치용의 기판에 대하여 증착 마스크를 밀착시키고, 이어서 밀착시킨 증착 마스크 및 기판을 모두 증착 장치에 투입하고, 유기 재료를 기판에 증착시키는 증착 공정을 행한다. 이 경우, 높은 화소 밀도를 갖는 유기 EL 표시 장치를 정밀하게 제작하기 위해서는, 증착 마스크의 관통 구멍 위치나 형상을 설계를 따라 정밀하게 재현할 것이 요구된다.

유기 재료 등의 증착 재료를 기판에 증착시키는 증착 공정을 행하는 증착 장치는, 증착 마스크와, 증착 마스크를 지지하는 프레임을 포함하는 증착 마스크 장치를 구비한다. 프레임은, 증착 마스크가 휘지 않도록, 증착 마스크를 당긴 상태에서 지지한다. 증착 마스크는, 용접에 의해 프레임에 고정된다.

일본 특허 제5382259호 공보 일본 특허 공개 제2001-234385호 공보

증착 재료를 원하는 패턴으로 고정밀도로 기판에 증착시키기 위해서는, 증착 마스크의 두께가 얇은 것이 바람직하다. 그런데, 증착 마스크의 두께를 얇게 한 경우, 증착 마스크를 당긴 상태에서 프레임에 지지시켰을 때에, 증착 마스크에 휨이나 물결 형상이 발생하는 경우가 있다. 이 때문에, 증착 마스크와 프레임의 밀착성이 저하되고, 증착 마스크와 프레임의 비밀착부에 있어서 용접 불량이 발생함으로써, 증착 마스크의 용접부의 강도가 충분히 확보되지 못할 것이 생각된다. 특히, 증착 마스크의 두께가 얇은 경우에는, 이 용접부의 강도가 문제가 될 수 있다.

본 개시는, 이와 같은 과제를 효과적으로 해결할 수 있는 증착 마스크 장치의 제조 방법 및 증착 마스크 장치의 제조 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 개시의 일 실시 형태는, 증착 마스크 장치의 제조 방법이며, 제1 면으로부터 제2 면에 이르는 복수의 관통 구멍을 포함하는 증착 마스크를 준비하는 준비 공정과, 표면과 상기 표면에 대향하는 이면을 포함하는 프레임의 상기 표면에, 상기 증착 마스크를 용접하는 용접 공정을 구비하고, 상기 증착 마스크는, 한 쌍의 단부를 구성하는 한 쌍의 귀부를 갖고, 상기 한 쌍의 귀부가 각각, 상기 프레임의 상기 표면에 용접되는 용접부와, 상기 용접부와 상기 증착 마스크의 상기 단부 사이에 위치하는 연장부를 포함하고, 상기 용접 공정은, 상기 용접부의 상기 제2 면이 상기 프레임의 상기 표면에 접촉하고, 또한, 상기 연장부의 상기 제2 면이 적어도 부분적으로 상기 프레임의 상기 표면보다도 상기 프레임의 상기 이면측에 위치하도록 상기 증착 마스크에 장력을 가하는 공정과, 상기 증착 마스크에 상기 장력이 가해진 상태에서, 상기 증착 마스크의 용접부를 상기 프레임에 접합하는 공정을 갖는 증착 마스크 장치의 제조 방법이다.

본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 용접부를 상기 프레임에 접합하는 공정에 있어서, 상기 제1 면측에서 레이저광을 조사해도 된다.

본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 증착 마스크에 장력을 가하는 공정에 있어서, 상기 프레임을 상기 제1 면의 법선 방향으로 이동시켜도 된다.

본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 증착 마스크에 장력을 가하는 공정에 있어서, 지그에 의해 상기 증착 마스크를 지지해도 된다.

본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 지그는, 클램프여도 된다.

본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 증착 마스크에 장력을 가하는 공정에 있어서, 상기 클램프에 의해 상기 증착 마스크의 상기 연장부를 협지해도 된다.

본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 클램프는, 상기 한 쌍의 귀부 중 한쪽 귀부의 상기 연장부를 협지하는 제1 클램프와, 상기 한 쌍의 귀부 중 다른 쪽 귀부의 상기 연장부를 협지하는 제2 클램프를 갖고 있어도 된다.

본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 증착 마스크에 장력을 가하는 공정에 있어서, 상기 제1 클램프 및 상기 제2 클램프 중 적어도 한쪽을, 상기 제1 면의 법선 방향으로 이동시켜도 된다.

본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 증착 마스크에 장력을 가하는 공정에 있어서, 상기 제1 클램프 및 상기 제2 클램프 중 적어도 한쪽을, 상기 제1 면의 면 방향을 따라서 이동시켜도 된다.

본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 프레임은, 상기 표면과 상기 이면 사이에 연장되는 외측면을 포함하고, 상기 표면과, 상기 외측면 사이에, 상기 표면과 상기 외측면을 연결하는 연결면이 마련되어 있어도 된다.

본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 연결면의 윤곽은, 상기 제1 면의 법선 방향을 따른 단면으로 보았을 때에, 적어도 부분적으로 상기 증착 마스크를 향하여 볼록해지는 원호 형상을 갖고, 상기 원호 형상의 곡률 반경은, 0.1mm 이상이어도 된다.

본 개시의 일 실시 형태는, 제1 면으로부터 제2 면에 이르는 복수의 관통 구멍을 포함하는 증착 마스크와, 상기 증착 마스크의 상기 제2 면에 면하는 표면과 상기 표면에 대향하는 이면을 포함하는 프레임을 구비하는 증착 마스크 장치를 제조하기 위한 증착 마스크 장치의 제조 장치이며, 상기 증착 마스크를 지지하는 지그와, 상기 프레임과 접촉하는 스테이지를 구비하고, 상기 증착 마스크는, 한 쌍의 단부를 구성하는 한 쌍의 귀부를 갖고, 상기 한 쌍의 귀부가 각각, 상기 프레임의 상기 표면에 용접되는 용접부와, 상기 용접부와 상기 증착 마스크의 상기 단부 사이에 위치하는 연장부를 포함하고, 상기 지그는, 상기 증착 마스크의 상기 연장부를 지지하고, 상기 지그가 상기 증착 마스크를 지지한 상태에 있어서, 상기 용접부의 상기 제2 면이 상기 프레임의 상기 표면에 접촉하고, 또한, 상기 연장부의 상기 제2 면이 적어도 부분적으로 상기 프레임의 상기 표면보다도 상기 프레임의 상기 이면측에 위치하는, 증착 마스크 장치의 제조 장치이다.

본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치의 제조 장치에 있어서, 상기 스테이지는, 상기 제1 면의 법선 방향으로 이동 가능해도 된다.

본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치의 제조 장치에 있어서, 상기 지그는, 상기 증착 마스크의 상기 연장부를 협지하는 클램프여도 된다.

본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치의 제조 장치에 있어서, 상기 클램프는, 상기 증착 마스크의 상기 한 쌍의 귀부 중 한쪽 귀부의 상기 연장부를 협지하는 제1 클램프와, 상기 한 쌍의 귀부 중 다른 쪽 귀부의 상기 연장부를 협지하는 제2 클램프를 갖고 있어도 된다.

본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치의 제조 장치에 있어서, 상기 제1 클램프 및 상기 제2 클램프 중 적어도 한쪽은, 상기 제1 면의 법선 방향으로 이동 가능해도 된다.

본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치의 제조 장치에 있어서, 상기 제1 클램프 및 상기 제2 클램프 중 적어도 한쪽은, 상기 제1 면의 면 방향을 따라서 이동 가능해도 된다.

본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치의 제조 장치에 있어서, 상기 프레임은, 상기 표면과 상기 이면 사이에 연장되는 외측면을 포함하고, 상기 표면과, 상기 외측면 사이에, 상기 표면과 상기 외측면을 연결하는 연결면이 마련되어 있어도 된다.

본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치의 제조 장치에 있어서, 상기 연결면의 윤곽은, 상기 제1 면의 법선 방향을 따른 단면으로 보았을 때에, 적어도 부분적으로 상기 증착 마스크를 향하여 볼록해지는 원호 형상을 갖고, 상기 원호 형상의 곡률 반경은, 0.1mm 이상이어도 된다.

본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치의 제조 장치는, 상기 증착 마스크와 상기 프레임을 서로 접합하는 용접 장치를 추가로 구비하고 있어도 된다.

본 개시의 일 실시 형태는, 증착 마스크 장치의 제조 방법이며, 상기 증착 마스크 장치는, 제1 면과, 상기 제1 면에 대향하는 제2 면과, 상기 제1 면으로부터 상기 제2 면에 이르는 복수의 관통 구멍을 갖는 증착 마스크와, 제3 면과, 상기 제3 면에 대향하는 제4 면을 갖는 프레임을 포함하고, 상기 증착 마스크 장치의 제조 방법은, 상기 증착 마스크를 준비하는 공정과, 상기 제2 면의 적어도 일부가 상기 제3 면에 접촉하고, 또한, 상기 제1 면의 법선 방향으로부터 본 경우에, 상기 증착 마스크 중, 상기 프레임과 겹치지 않는 부분의 상기 제2 면의 적어도 일부를, 상기 제3 면보다도 상기 제4 면측에 위치시켜서, 상기 증착 마스크에 장력을 가하는 공정과, 상기 증착 마스크를 상기 프레임에 용접하는 공정을 갖는 증착 마스크 장치의 제조 방법이다.

본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 증착 마스크를 상기 프레임에 용접하는 공정에 있어서, 상기 제1 면측에서 레이저광을 조사해도 된다.

본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 클램프는, 제1 클램프와, 상기 증착 마스크를 사이에 두고 상기 제1 클램프의 반대측에 위치하는 제2 클램프를 갖고 있어도 된다.

본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 증착 마스크에 장력을 가하는 공정에 있어서, 상기 제1 클램프 및 상기 제2 클램프 중 적어도 한쪽을, 상기 증착 마스크의 상기 제1 면의 면 방향을 따라서 이동시켜도 된다.

본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 프레임은, 상기 제3 면과 상기 제4 면 사이에 연장되는 제5 면을 포함하고, 상기 제3 면과, 상기 제5 면 사이에, 상기 제3 면과 상기 제5 면을 연결하는 제6 면이 마련되어 있어도 된다.

본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 제6 면의 윤곽은, 상기 제1 면의 법선 방향을 따른 단면으로 보았을 때에, 적어도 부분적으로 상기 증착 마스크를 향하여 볼록해지는 원호 형상을 갖고, 상기 원호 형상의 곡률 반경은, 0.1mm 이상이어도 된다.

본 개시의 일 실시 형태는, 증착 마스크 장치의 제조 장치이며, 상기 증착 마스크 장치는, 제1 면과, 상기 제1 면에 대향하는 제2 면과, 상기 제1 면으로부터 상기 제2 면에 이르는 복수의 관통 구멍을 갖는 증착 마스크와, 제3 면과, 상기 제3 면에 대향하는 제4 면을 갖는 프레임을 포함하고, 상기 증착 마스크 장치의 제조 장치는, 상기 증착 마스크를 지지하는 지그와, 상기 프레임과 접촉하는 스테이지를 구비하고, 상기 증착 마스크는, 상기 제2 면의 적어도 일부가 상기 제3 면에 접촉하고, 또한, 상기 제1 면의 법선 방향으로부터 본 경우에, 상기 증착 마스크 중, 상기 프레임과 중첩되지 않는 부분의 상기 제2 면의 적어도 일부가, 상기 제3 면보다도 상기 제4 면측에 위치하고 있는, 증착 마스크 장치의 제조 장치이다.

본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치의 제조 장치에 있어서, 상기 지그는, 클램프여도 된다.

본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치의 제조 장치에 있어서, 상기 클램프는, 제1 클램프와, 상기 증착 마스크를 사이에 두고 상기 제1 클램프의 반대측에 위치하는 제2 클램프를 갖고 있어도 된다.

본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치의 제조 장치에 있어서, 상기 프레임은, 상기 제3 면과 상기 제4 면 사이에 연장되는 제5 면을 포함하고, 상기 제3 면과, 상기 제4 면 사이에, 상기 제3 면과 상기 제4 면을 연결하는 제6 면이 마련되어 있어도 된다.

본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치의 제조 장치에 있어서, 상기 제6 면의 윤곽은, 상기 제1 면의 법선 방향을 따른 단면으로 보았을 때에, 적어도 부분적으로 상기 증착 마스크를 향하여 볼록해지는 원호 형상을 갖고, 상기 원호 형상의 곡률 반경은, 0.1mm 이상이어도 된다.

본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치의 제조 장치에 있어서, 상기 증착 마스크와 상기 프레임을 서로 접합하는 용접 장치를 추가로 구비하고 있어도 된다.

본 개시의 일 실시 형태에 의하면, 증착 마스크에 휨이나 물결 형상이 발생하는 것을 억제할 수 있다.

도 1a는, 본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치를 구비한 증착 장치를 도시하는 도면이다.
도 1b는, 도 1a에 도시하는 증착 마스크 장치를 사용하여 제조한 유기 EL 표시 장치를 도시하는 단면도이다.
도 2는, 본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치를 도시하는 평면도이다.
도 3은, 도 2에 도시하는 증착 마스크 장치의 귀부를 확대하여 도시하는 평면도(도 2의 III부에 대응하는 평면도)이다.
도 4a는, 증착 마스크 장치의 귀부에 형성되는 접합부의 일 변형예를 도시하는 평면도이다.
도 4b는, 증착 마스크 장치의 귀부에 형성되는 접합부의 일 변형예를 도시하는 평면도이다.
도 4c는, 증착 마스크 장치의 귀부에 형성되는 접합부의 일 변형예를 도시하는 평면도이다.
도 4d는, 증착 마스크 장치의 귀부에 형성되는 접합부의 일 변형예를 도시하는 평면도이다.
도 4e는, 증착 마스크 장치의 귀부에 형성되는 접합부의 일 변형예를 도시하는 평면도이다.
도 5a는, 도 3의 증착 마스크 장치를 VA-VA 방향으로부터 본 단면도이다.
도 5b는, 도 5a에 도시하는 용접 자국을 확대하여 도시하는 단면도(도 5a의 VB부에 대응하는 단면도)이다.
도 5c는, 용접 자국의 일 변형예를 도시하는 단면도이다.
도 5d는, 용접 자국의 일 변형예를 도시하는 단면도이다.
도 6은, 증착 마스크의 중간부를 확대하여 도시하는 평면도이다.
도 7은, 도 6의 중간부를 VII-VII 방향으로부터 본 단면도이다.
도 8은, 본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치의 제조 장치를 도시하는 평면도이다.
도 9a는, 도 8의 증착 마스크 장치의 제조 장치를 IX-IX 방향으로부터 본 단면도이다.
도 9b는, 도 9a의 클램프를 확대하여 도시하는 단면도이다.
도 9c는, 도 9a의 클램프의 고정부와 가동부를 설명하기 위한 단면도이다.
도 9d는, 클램프의 고정부와 가동부의 일 변형예를 도시하는 평면도이다.
도 10은, 모재를 압연하여 원하는 두께를 갖는 금속판을 얻는 공정을 도시하는 도면이다.
도 11은, 압연에 의해 얻어진 금속판을 어닐하는 공정을 도시하는 도면이다.
도 12는, 증착 마스크의 제조 방법의 일례를 전체적으로 설명하기 위한 모식도이다.
도 13은, 금속판 상에 레지스트 패턴을 형성하는 공정을 도시하는 도면이다.
도 14는, 제1 면 에칭 공정을 도시하는 도면이다.
도 15는, 제2 면 에칭 공정을 도시하는 도면이다.
도 16은, 금속판으로부터 수지 및 레지스트 패턴을 제거하는 공정을 도시하는 도면이다.
도 17a는, 용접 공정을 설명하는 도면이다.
도 17b는, 용접 공정을 설명하는 도면이다.
도 17c는, 접합부의 용접 강도를 측정하는 방법의 일례를 도시하는 도면이다.
도 18a는, 본 개시의 일 실시 형태에 의한 용접 공정을 설명하는 도면이다.
도 18b는, 본 개시의 일 실시 형태에 의한 용접 공정을 설명하는 도면이다.
도 19a는, 본 개시의 일 실시 형태에 의한 용접 공정을 설명하는 도면이다.
도 19b는, 본 개시의 일 실시 형태에 의한 용접 공정을 설명하는 도면이다.
도 20a는, 유기 EL 기판에 증착 재료를 증착시키는 공정을 도시하는 도면이다.
도 20b는, 유기 EL 기판에 증착 재료를 증착시키는 공정을 도시하는 도면이다.
도 21은, 유기 EL 기판에 증착 재료를 증착시키는 공정을 도시하는 도면이다.
도 22a는, 프레임의 일 변형예를 도시하는 단면도이다.
도 22b는, 프레임의 일 변형예를 도시하는 단면도이다.
도 22c는, 프레임의 일 변형예를 도시하는 단면도이다.
도 22d는, 프레임의 일 변형예를 도시하는 단면도이다.
도 23은, 증착 마스크 장치의 제조 장치의 일 변형예를 도시하는 단면도이다.
도 24는, 증착 마스크 장치의 제조 장치의 일 변형예를 도시하는 단면도이다.
도 25는, 증착 마스크 장치의 제조 장치의 일 변형예를 도시하는 단면도이다.
도 26a는, 증착 마스크 장치의 제조 장치의 일 변형예를 도시하는 단면도이다.
도 26b는, 증착 마스크 장치의 제조 장치의 일 변형예를 도시하는 단면도이다.
도 27은, 증착 마스크 장치의 제조 장치의 일 변형예를 도시하는 단면도이다.
도 28은, 증착 마스크 장치의 제조 장치의 일 변형예를 도시하는 단면도이다.
도 29는, 증착 마스크 장치의 제조 장치의 일 변형예를 도시하는 단면도이다.
도 30은, 증착 마스크 장치의 제조 장치의 일 변형예를 도시하는 단면도이다.
도 31은, 증착 마스크 장치의 제조 장치의 일 변형예를 도시하는 단면도이다.
도 32는, 증착 마스크 장치의 제조 장치의 일 변형예를 도시하는 단면도이다.
도 33은, 증착 마스크 장치의 제조 장치의 일 변형예를 도시하는 단면도이다.
도 34는, 증착 마스크 장치의 제조 장치의 일 변형예를 도시하는 단면도이다.

이하, 도면을 참조하여 본 개시의 일 실시 형태에 대하여 설명한다. 또한, 본건 명세서에 첨부하는 도면에 있어서는, 도시와 이해의 용이함의 편의상, 적절히 축척 및 종횡의 치수비 등을, 실물의 그것들로부터 변경하여 과장하고 있다.

또한, 이하에 나타내는 실시 형태는, 본 개시의 실시 형태 일례이며, 본 개시는 이들 실시 형태에 한정하여 해석되는 것은 아니다. 또한, 이하에 나타내는 실시 형태 및 변형예를 적절히 조합하여 적용하는 것도 가능하다. 또한, 복수의 실시 형태끼리를 조합하거나, 복수의 변형예끼리를 조합하거나, 복수의 실시 형태와 복수의 변형예를 조합하는 것도 가능하다.

도 1a 내지 도 21은, 본 개시의 일 실시 형태를 설명하기 위한 도면이다. 이하의 실시 형태 및 그 변형예에서는, 유기 EL 표시 장치를 제조할 때에 유기 재료를 원하는 패턴으로 기판 상에 패터닝하기 위하여 사용되는 증착 마스크의 제조 방법을 예로 들어 설명한다. 단, 이러한 적용에 한정되지 않고, 다양한 용도에 사용되는 증착 마스크의 제조 방법에 대하여 본 개시를 적용할 수 있다.

또한, 본 명세서에 있어서, 「판」, 「시트」, 「필름」이라는 용어는, 호칭의 차이만을 기초로 하여, 서로로부터 구별되는 것은 아니다. 예를 들어, 「판」은 시트나 필름이라고 불릴 수 있는 부재도 포함하는 개념이다.

또한, 「판면(시트면, 필름면)」이란, 대상으로 되는 판상(시트상, 필름상)의 부재를 전체적 또한 대국적으로 본 경우에 있어서 대상으로 되는 판상 부재(시트상 부재, 필름상 부재)의 평면 방향과 일치하는 면을 가리킨다. 또한, 판상(시트상, 필름상)의 부재에 대하여 사용하는 법선 방향이란, 당해 부재의 판면(시트면, 필름면)에 대한 법선 방향을 가리킨다.

또한, 본 명세서에 있어서 사용하는, 형상이나 기하학적 조건 및 물리적 특성 그리고 그것들의 정도를 특정하는, 예를 들어 「평행」, 「직교」, 「동일」, 「동등」 등의 용어나 길이나 각도 그리고 물리적 특성의 값 등에 대해서는, 엄밀한 의미에 얽매이는 일 없이, 동일한 기능을 기대할 수 있을 정도의 범위를 포함하여 해석하기로 한다.

(증착 장치)

먼저, 대상물에 증착 재료를 증착시키는 증착 처리를 실시하는 증착 장치(90)에 대해서, 도 1a를 참조하여 설명한다. 도 1a에 도시하는 바와 같이, 증착 장치(90)는, 증착원(예를 들어 도가니(94)), 히터(96) 및 증착 마스크 장치(10)를 구비한다. 도가니(94)는, 유기 발광 재료 등의 증착 재료(98)를 수용한다. 히터(96)는, 도가니(94)를 가열하여 증착 재료(98)를 증발시킨다. 증착 마스크 장치(10)는, 도가니(94)와 대향하도록 배치되어 있다.

(증착 마스크 장치)

이하, 증착 마스크 장치(10)에 대하여 설명한다. 도 1a에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크 장치(10)는, 증착 마스크(20)와, 증착 마스크(20)를 지지하는 프레임(15)을 구비한다. 프레임(15)은, 증착 마스크(20)가 휘어버리는 일이 없도록, 증착 마스크(20)를 그 면 방향으로 당긴 상태에서 지지한다. 증착 마스크 장치(10)는, 도 1a에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(20)가, 증착 재료(98)를 부착시키는 대상물인 기판, 예를 들어 유기 EL 기판(92)에 대면하도록, 증착 장치(90) 내에 배치된다. 이하의 설명에 있어서, 증착 마스크(20)의 면 중, 유기 EL 기판(92)측의 면을 제1 면(20a)이라고 칭하고, 제1 면(20a)의 반대측에 위치하는 면을 제2 면(20b)이라고 칭한다. 이 중 증착 마스크(20)의 제2 면(20b)에 프레임(15)의 표면(15a)이 면하고 있다.

증착 마스크 장치(10)는, 도 1a에 도시하는 바와 같이, 유기 EL 기판(92)의, 증착 마스크(20)와 반대측 면에 배치된 자석(93)을 구비하고 있어도 된다. 자석(93)을 마련함으로써, 자력에 의해 증착 마스크(20)를 자석(93)측으로 가까이 끌어당겨, 증착 마스크(20)를 유기 EL 기판(92)에 밀착시킬 수 있다.

도 2는, 증착 마스크 장치(10)를 증착 마스크(20)의 제1 면(20a)측으로부터 본 경우를 도시하는 평면도이다. 도 2에 도시한 바와 같이, 증착 마스크 장치(10)는, 평면으로 보아 대략 직사각형의 형상을 갖는 복수의 증착 마스크(20)를 구비하고, 각 증착 마스크(20)는, 증착 마스크(20)의 긴 변 방향에 있어서의 한 쌍의 단부(20e)의 근방에 위치하는 후술하는 용접부(17a)에 있어서, 용접에 의해 프레임(15)에 고정되어 있다.

도 1a에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(20)는, 증착 마스크(20)를 관통하는 복수의 관통 구멍(25)을 포함한다. 도가니(94)로부터 증발하여 증착 마스크 장치(10)에 도달한 증착 재료(98)는, 증착 마스크(20)의 관통 구멍(25)을 지나 유기 EL 기판(92)에 부착된다. 이에 의해, 증착 마스크(20)의 관통 구멍(25)의 위치에 대응한 원하는 패턴으로, 증착 재료(98)를 유기 EL 기판(92)의 표면에 성막할 수 있다.

도 1b는, 도 1a의 증착 장치(90)를 사용하여 제조한 유기 EL 표시 장치(100)를 도시하는 단면도이다. 유기 EL 표시 장치(100)는, 유기 EL 기판(92)과, 패턴형으로 마련된 증착 재료(98)를 포함하는 화소를 구비한다. 또한, 도 1b의 유기 EL 표시 장치(100)에 있어서는, 증착 재료(98)를 포함하는 화소에 전압을 인가하는 전극 등이 생략되어 있다. 또한, 유기 EL 기판(92) 상에 증착 재료(98)를 패턴형으로 마련하는 증착 공정 후, 도 1b의 유기 EL 표시 장치(100)에는, 유기 EL 표시 장치의 그 밖의 구성 요소가 추가로 마련될 수 있다. 따라서, 도 1b의 유기 EL 표시 장치(100)는, 유기 EL 표시 장치의 중간체라고 칭할 수도 있다.

또한, 복수의 색에 의한 컬러 표시를 행하고 싶은 경우에는, 각 색에 대응하는 증착 마스크(20)가 탑재된 증착 장치(90)를 각각 준비하고, 유기 EL 기판(92)을 각 증착 장치(90)에 차례로 투입한다. 이에 의해, 예를 들어 적색용 유기 발광 재료, 녹색용 유기 발광 재료 및 청색용 유기 발광 재료를 차례로 유기 EL 기판(92)에 증착시킬 수 있다.

그런데, 증착 처리는, 고온 분위기로 되는 증착 장치(90)의 내부에서 실시되는 경우가 있다. 이 경우, 증착 처리의 사이, 증착 장치(90)의 내부에 보유 지지되는 증착 마스크(20), 프레임(15) 및 유기 EL 기판(92)도 가열된다. 이때, 증착 마스크(20), 프레임(15) 및 유기 EL 기판(92)은, 각각의 열팽창 계수에 기초한 치수 변화의 거동을 나타내게 된다. 이 경우, 증착 마스크(20)나 프레임(15)과 유기 EL 기판(92)의 열팽창 계수가 크게 다르면, 그것들의 치수 변화의 차이에 기인한 위치 어긋남이 발생하고, 이 결과, 유기 EL 기판(92) 상에 부착되는 증착 재료의 치수 정밀도나 위치 정밀도가 저하되어 버린다.

이와 같은 과제를 해결하기 위해서, 증착 마스크(20) 및 프레임(15)의 열팽창 계수가, 유기 EL 기판(92)의 열팽창 계수와 동등한 값인 것이 바람직하다. 예를 들어, 유기 EL 기판(92)으로서 유리 기판이 사용되는 경우, 증착 마스크(20) 및 프레임(15)의 주요한 재료로서, 니켈을 포함하는 철 합금을 사용할 수 있다. 철 합금은, 니켈에 추가로 코발트를 더 포함하고 있어도 된다. 예를 들어, 증착 마스크(20)를 구성하는 금속판의 재료로서, 니켈 및 코발트의 함유량이 합계로 30질량％ 이상이면서 50질량％ 이하이고, 또한 코발트의 함유량이 0질량％ 이상이면서 6질량％ 이하인 철 합금을 사용할 수 있다. 니켈 또는 니켈 및 코발트를 포함하는 철 합금의 구체예로서는, 34질량％ 이상이면서 38질량％ 이하의 니켈을 포함하는 인바재, 30질량％ 이상이면서 34질량％ 이하의 니켈에 추가로 코발트를 포함하는 슈퍼 인바재, 48질량％ 이상이면서 54질량％ 이하의 니켈을 포함하는 저열팽창 Fe-Ni계 도금 합금 등을 들 수 있다.

또한 증착 처리 시에, 증착 마스크(20), 프레임(15) 및 유기 EL 기판(92)의 온도가 고온에 달하지는 않는 경우에는, 증착 마스크(20) 및 프레임(15)의 열팽창 계수를, 유기 EL 기판(92)의 열팽창 계수와 동등한 값으로 할 필요는 특별히 없다. 이 경우, 증착 마스크(20)를 구성하는 재료로서, 상술한 철 합금 이외의 재료를 사용해도 된다. 예를 들어, 크롬을 포함하는 철 합금 등, 상술한 니켈을 포함하는 철 합금 이외의 철 합금을 사용해도 된다. 크롬을 포함하는 철 합금으로서는, 예를 들어 소위 스테인리스라고 칭해지는 철 합금을 사용할 수 있다. 또한, 니켈이나 니켈-코발트 합금 등, 철 합금 이외의 합금을 사용해도 된다.

(증착 마스크)

이어서, 증착 마스크(20)에 대하여 상세하게 설명한다. 도 2에 도시한 바와 같이, 증착 마스크(20)는, 증착 마스크(20)의 긴 변 방향에 있어서의 한 쌍의 단부(20e)를 구성하는 한 쌍의 귀부(17)와, 한 쌍의 귀부(17) 사이에 위치하는 중간부(18)를 구비하고 있다.

(귀부)

먼저, 귀부(17)에 대하여 상세하게 설명한다. 귀부(17)는, 증착 마스크(20) 중 프레임(15)에 고정되는 부분이다. 본 실시 형태에 있어서, 귀부(17)는, 제2 면(20b)측에 있어서 용접에 의해 프레임(15)에 고정된다. 이하의 설명에 있어서, 귀부(17) 및 프레임(15) 중 용접에 의해 서로 접합되고 있는 부분을, 접합부(19)라고 칭한다.

도 3은, 증착 마스크 장치(10)의 귀부(17) 및 그 주변 부분을 확대하여 도시하는 평면도이다. 이 귀부(17)는, 프레임(15)의 표면(15a)에 용접되는 용접부(17a)와, 용접부(17a)와 증착 마스크(20)의 단부(20e) 사이에 위치하는 연장부(17b)를 포함한다. 본 실시 형태에 있어서, 용접부(17a)는, 증착 마스크(20)의 긴 변 방향에 있어서, 도 3의 가상선(이점 쇄선)으로 둘러싸인 영역에 대응하고, 연장부(17b)는, 도 3의 가상선(이점 쇄선) 중 단부(20e)측의 가상선과, 단부(20e) 사이의 영역에 대응하고 있다. 이 중 용접부(17a)는, 접합부(19)가 형성되는 부분이다. 귀부(17)의 용접부(17a)에 형성되는 접합부(19)는, 용접 자국(19a)을 포함한다. 용접 자국(19a)은, 증착 마스크(20)의 제2 면(20b)을 프레임(15)에 용접한 것에 기인하여, 증착 마스크(20) 및 프레임(15)의 일부에 형성된 흔적이다. 예를 들어, 도 3에 도시한 바와 같이, 접합부(19)는, 증착 마스크(20)의 폭 방향을 따라서 배열하는 복수의 점 형상의 용접 자국(19a)을 포함한다. 이러한 복수의 점 형상의 용접 자국(19a)은, 예를 들어 증착 마스크(20)의 폭 방향을 따르는 각 위치에 있어서, 후술하는 용접 장치(76)에 의해 귀부(17)에 레이저광을 간헐적으로 점 형상으로 조사함으로써 형성된다.

또한, 평면으로 본 용접 자국(19a)의 배치나 형상이 특별히 한정되는 일은 없다. 예를 들어, 도 4a에 도시하는 바와 같이, 용접 자국(19a)은, 증착 마스크(20)의 폭 방향을 따라서 선형으로 연장되어 있어도 된다. 이러한 용접 자국(19a)은, 예를 들어 증착 마스크(20)의 폭 방향을 따르는 각 위치에 있어서 귀부(17)에 레이저광을 연속적으로 선형으로 조사함으로써 형성된다. 이 경우, 용접 자국(19a)이, 증착 마스크(20)의 폭 방향을 따라서 선형으로 연장되어 있음으로써, 용접 강도를 높일 수 있다.

또한, 예를 들어 도 4b에 도시하는 바와 같이, 용접 자국(19a)이, 점 형상으로 형성된 제1 용접 자국(191a)과, 선형으로 형성된 제2 용접 자국(192a)을 포함하고 있어도 된다. 도시된 예에 있어서는, 용접 자국(19a)이, 복수의 제1 용접 자국(191a)과, 복수의 제2 용접 자국(192a)을 포함하고 있고, 제1 용접 자국(191a) 및 제2 용접 자국(192a)은, 증착 마스크(20)의 폭 방향을 따라서 규칙적으로, 즉 교대로 배치되어 있다. 이 경우, 예를 들어 각각의 제2 용접 자국(192a)의 형상이 서로 달라도 된다. 또한, 제1 용접 자국(191a)이 하나뿐이어도 되고, 제2 용접 자국(192a)이 하나뿐이어도 된다. 이 경우에 있어서도, 용접 자국(19a)이, 선형으로 형성된 제2 용접 자국(192a)을 포함함으로써, 용접 강도를 높일 수 있다.

또한, 예를 들어 도 4c에 도시하는 바와 같이, 제1 용접 자국(191a) 및 제2 용접 자국(192a)이, 증착 마스크(20)의 폭 방향을 따라서 불규칙적으로 배치되어 있어도 된다. 도시된 예에 있어서는, 증착 마스크(20)의 폭 방향에 있어서 서로 인접하는 제2 용접 자국(192a) 사이에 배치되는 제1 용접 자국(191a)의 개수가, 서로 다르다. 또한, 이 경우에 있어서도, 예를 들어 각각의 제2 용접 자국(192a)의 형상이 서로 달라도 된다. 또한, 증착 마스크(20)의 폭 방향에 있어서 서로 인접하는 제2 용접 자국(192a) 사이에 배치되는 제1 용접 자국(191a)의 개수는 임의이다. 이 경우, 예를 들어 증착 마스크(20)의 용접 강도를 높이고 싶은 부분에 있어서, 용접 자국(19a)의 밀도를 선택적으로 높게 할 수도 있다.

또한, 예를 들어 도 4d에 도시하는 바와 같이, 복수의 점 형상의 용접 자국(19a)이, 증착 마스크(20)의 폭 방향을 따라서 다열로 형성되어 있어도 된다. 도시된 예에 있어서, 용접 자국(19a)은, 증착 마스크(20)의 폭 방향을 따라서 2열로 형성되어 있다. 또한, 용접 자국(19a)은, 증착 마스크(20)의 폭 방향을 따라서 3열로 형성되어 있어도 되고, 4열로 형성되어 있어도 된다. 이 경우, 복수의 점 형상의 용접 자국(19a)이, 증착 마스크(20)의 폭 방향을 따라서 다열로 형성되어 있음으로써, 용접 강도를 높일 수 있다.

또한, 예를 들어 도 4e에 도시하는 바와 같이, 용접 자국(19a)이, 증착 마스크(20)의 폭 방향을 따라서 프레임형으로 형성되어 있어도 된다. 이 경우에 있어서도, 용접 자국(19a)이, 증착 마스크(20)의 폭 방향을 따라서 형성되기 때문에, 용접 강도를 높일 수 있다.

도 5a는, 도 3의 증착 마스크 장치를 VA-VA 방향으로부터 본 단면도이다. 도 5a에 도시하는 바와 같이, 용접 자국(19a)은, 귀부(17)의 제1 면(20a)으로부터 제2 면(20b)을 통해 프레임(15)에 이르고 있다. 용접 자국(19a)은, 증착 마스크(20)의 귀부(17) 및 프레임(15) 중, 용접 시에 용융한 부분(즉 용융 영역(19f))이 고화한 부분이고, 귀부(17)의 제1 면(20a)으로부터 제2 면(20b)에 이르는 부분 및 프레임(15)의 일부를 포함하고 있다. 이 용접 자국(19a)은, 증착 마스크(20)의 귀부(17)와 프레임(15)을 서로 접합하고 있다. 용접 자국(19a)에 있어서는, 용접 후에 용융 영역(19f)의 온도가 저하되어서 용융 영역(19f)이 고화할 때에, 재료의 결정화가 발생하고 있다. 예를 들어, 용접 자국(19a)은, 귀부(17) 및 프레임(15)에 걸치는 결정립을 포함한다. 이 용접 자국(19a)은, 예를 들어 도 5b에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(20)의 제1 면(20a)으로부터 돌출되도록 형성되어 있어도 된다.

또한, 용접 자국(19a)은, 도 5c에 도시하는 바와 같이, 용접 자국(19a)의 상면(19b)이 증착 마스크(20)의 제1 면(20a)과 동일 평면 상에 위치하도록 형성되어 있어도 된다. 또한, 용접 자국(19a)은, 도 5d에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(20)의 제1 면(20a)에 대하여 제2 면(20b)측으로 오목해지도록 형성되어 있어도 된다. 이들의 경우, 유기 EL 기판(92)에 대하여 증착 재료(98)를 증착시킬 때, 증착 마스크(20)와 유기 EL 기판(92) 사이의 밀착성을 향상시킬 수 있다.

또한, 도 2 내지 도 5a에 도시하는 바와 같이, 연장부(17b)는, 프레임(15)의 후술하는 외측면(15c)보다도 외측에까지 연장되어 있다. 「외측」이란, 도 2에 있어서 화살표 A로 나타내는 바와 같이, 증착 마스크(20)의 긴 변 방향에 있어서, 증착 마스크(20)의 중심선 CL로부터 멀어지는 측이다. 여기서, 증착 마스크(20)의 중심선 CL이란, 증착 마스크(20)의 긴 변 방향에 직교하는 방향으로 연장되는 직선 중, 증착 마스크(20)의 긴 변 방향에 있어서의 한 쌍의 단부(20e) 사이를 이등분하는 중간점 C(도 2 참조)를 지나는 직선이다. 이 연장부(17b)는, 후술하는 지그(700)에 지지되는 부분이고, 본 실시 형태에 있어서는, 클램프(72)에 협지되는 부분이다.

또한, 도 5a에 있어서, 증착 처리 시에 증착 마스크(20)에 밀착하는 유기 EL 기판(92)을, 점선으로 나타낸다. 도 5a에 도시하는 바와 같이, 유기 EL 기판(92)은, 증착 마스크(20) 중 접합부(19)가 형성되는 부분에까지 연장되어 있어도 된다.

(중간부)

이어서, 중간부(18)에 대하여 설명한다. 도 2, 도 3 및 도 5a에 도시하는 바와 같이, 중간부(18)는, 제1 면(20a)으로부터 제2 면(20b)에 이르는 관통 구멍(25)이 형성된 유효 영역(22)과, 유효 영역(22)을 둘러싸는 주위 영역(23)을 포함한다. 주위 영역(23)은, 유효 영역(22)을 지지하기 위한 영역이고, 유기 EL 기판(92)에 증착되는 것이 의도된 증착 재료가 통과하는 영역은 아니다. 예를 들어, 유효 영역(22)은, 증착 마스크(20) 중, 유기 EL 기판(92)의 표시 영역에 대면하는 영역이다.

도 2에 도시한 바와 같이, 유효 영역(22)은, 예를 들어 평면으로 보아 대략 사각형 형상, 또한 정확하게는 평면으로 보아 대략 직사각형 형상의 윤곽을 갖는다. 또한 도시는 하지 않지만, 각 유효 영역(22)은, 유기 EL 기판(92)의 표시 영역의 형상에 따라, 여러가지 형상의 윤곽을 가질 수 있다. 예를 들어 각 유효 영역(22)은, 원 형상의 윤곽을 갖고 있어도 된다.

도 2에 도시한 바와 같이, 중간부(18)는, 증착 마스크(20)의 긴 변 방향을 따라서 소정의 간격을 두고 배열된 복수의 유효 영역(22)을 포함한다. 하나의 유효 영역(22)은, 하나의 유기 EL 표시 장치(100)의 표시 영역에 대응한다. 이 때문에, 도 1a에 도시하는 증착 마스크 장치(10)에 의하면, 유기 EL 표시 장치(100)의 다면 증착이 가능하다.

이하, 중간부(18)에 대하여 상세하게 설명한다. 도 6은, 중간부(18)를 확대하여 도시하는 평면도이고, 도 7은, 도 6의 중간부(18)를 VII-VII 방향으로부터 본 단면도이다. 도 6에 도시하는 바와 같이, 복수의 관통 구멍(25)은, 유효 영역(22)에 있어서, 서로 직교하는 두 방향을 따라서 각각 소정의 피치로 규칙적으로 배열된다.

이하, 유효 영역(22)에 대하여 상세하게 설명한다. 도 6은, 증착 마스크(20)의 제2 면(20b)측에서 유효 영역(22)을 확대하여 도시하는 평면도이다. 도 6에 도시하는 바와 같이, 도시된 예에 있어서, 각 유효 영역(22)에 형성된 복수의 관통 구멍(25)은, 당해 유효 영역(22)에 있어서, 서로 직교하는 두 방향을 따라서 각각 소정의 피치로 배열되어 있다.

도 7은, 도 6의 유효 영역(22)의 VII-VII 방향을 따른 단면도이다. 도 7에 도시하는 바와 같이, 복수의 관통 구멍(25)은, 증착 마스크(20)의 제1 면(20a)으로부터, 제2 면(20b)으로 관통하고 있다. 도시된 예에서는, 후에 상세하게 설명한 바와 같이, 증착 마스크(20)의 제1 면(20a)의 법선 방향 N에 있어서의 한쪽 측으로 되는 금속판(64)의 제1 면(64a)에 제1 오목부(30)가 에칭에 의해 형성되고, 당해 법선 방향 N에 있어서의 다른 쪽 측으로 되는 금속판(64)의 제2 면(64b)에 제2 오목부(35)가 형성된다. 제1 오목부(30)는, 제2 오목부(35)에 접속되고, 이것에 의해 제2 오목부(35)와 제1 오목부(30)가 서로 통하게 형성된다. 관통 구멍(25)은, 제2 오목부(35)와, 제2 오목부(35)에 접속된 제1 오목부(30)에 의해 구성되어 있다. 도 6 및 도 7에 도시하는 바와 같이, 제1 오목부(30)의 벽면(31)과, 제2 오목부(35)의 벽면(36)은, 주상의 접속부(41)를 통해 접속되어 있다. 접속부(41)는, 증착 마스크(20)의 평면으로 보아 관통 구멍(25)의 개구 면적이 최소가 되는 관통부(42)를 구획 형성한다.

도 7에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(20)의 제1 면(20a)측에 있어서, 인접하는 두 관통 구멍(25)은, 금속판(64)의 제1 면(64a)을 따라 서로로부터 이격되어 있다. 증착 마스크(20)의 제2 면(20b)측에 있어서도, 인접하는 두 제2 오목부(35)가, 금속판(64)의 제2 면(64b)을 따라 서로로부터 이격되어 있어도 된다. 즉, 인접하는 두 제2 오목부(35) 사이에 금속판(64)의 제2 면(64b)이 잔존하고 있어도 된다. 이하의 설명에 있어서, 금속판(64)의 제2 면(64b)의 유효 영역(22) 중 에칭되지 않고 남아있는 부분을, 톱부(43)라고도 칭한다. 이러한 톱부(43)가 남도록 증착 마스크(20)를 제작함으로써, 증착 마스크(20)에 충분한 강도를 갖게 할 수 있다. 이것에 의해, 예를 들어 반송 중 등에 증착 마스크(20)가 파손되어 버리는 것을 억제할 수 있다. 또한 톱부(43)의 폭 β가 너무 크면, 증착 공정에 있어서 섀도가 발생하고, 이에 의해 증착 재료(98)의 이용 효율이 저하되는 경우가 있다. 따라서, 톱부(43)의 폭 β가 과잉으로 커지지 않도록 증착 마스크(20)가 제작되는 것이 바람직하다.

도 1a에 도시하는 바와 같이 증착 마스크 장치(10)가 증착 장치(90)에 수용된 경우, 도 7에 이점 쇄선으로 나타낸 바와 같이, 증착 마스크(20)의 제1 면(20a)이, 유기 EL 기판(92)에 대면하고, 증착 마스크(20)의 제2 면(20b)이, 증착 재료(98)를 보유 지지한 도가니(94)측에 위치한다. 따라서, 증착 재료(98)는, 점차 개구 면적이 작아져 가는 제2 오목부(35)를 통과하여 유기 EL 기판(92)에 부착된다. 도 7에 있어서 제2 면(20b)측에서 제1 면(20a)을 향하는 화살표로 나타낸 바와 같이, 증착 재료(98)는, 도가니(94)로부터 유기 EL 기판(92)을 향하여 증착 마스크(20)의 제1 면(20a)의 법선 방향 N을 따라 이동할 뿐만 아니라, 당해 법선 방향 N에 대하여 크게 경사진 방향으로 이동하는 경우도 있다. 이때, 증착 마스크(20)의 두께가 두꺼우면, 비스듬히 이동하는 증착 재료(98)가, 톱부(43), 제2 오목부(35)의 벽면(36)이나 제1 오목부(30)의 벽면(31)에 걸리기 쉬워지고, 이 결과, 관통 구멍(25)을 통과할 수 없는 증착 재료(98)의 비율이 많아진다. 따라서, 증착 재료(98)의 이용 효율을 높이기 위해서는, 증착 마스크(20)의 두께 t를 작게 하고, 이에 의해, 제2 오목부(35)의 벽면(36)이나 제1 오목부(30)의 벽면(31)의 높이를 작게 하는 것이 바람직하다고 생각된다. 즉, 증착 마스크(20)를 구성하기 위한 금속판(64)으로서, 증착 마스크(20)의 강도를 확보할 수 있는 범위 내에서 가능한 한 두께 t가 얇은 금속판(64)을 사용하는 것이 바람직하다고 할 수 있다. 이 점을 고려하여, 본 실시 형태에 있어서, 증착 마스크(20)의 두께 t는, 예를 들어 30㎛ 이하, 바람직하게는 25㎛ 이하, 더욱 바람직하게는 20㎛ 이하로 되어 있다. 한편, 증착 마스크(20)의 두께가 너무 얇아지면, 증착 마스크(20)의 강도가 저하되고, 증착 마스크(20)에 손상이나 변형이 발생하기 쉬워진다. 이 점을 고려하여, 증착 마스크(20)의 두께 t는, 바람직하게는 5㎛ 이상인 것이 바람직하다. 증착 마스크(20)의 두께 t는, 8㎛ 이상이어도 되고, 10㎛ 이상이어도 되고, 12㎛ 이상이어도 되고, 13㎛ 이상이어도 되고, 15㎛ 이상이어도 된다. 증착 마스크(20)의 두께 t의 범위는, 상술한 복수의 상한의 후보 값 중 임의의 하나와, 상술한 복수의 하한의 후보 값 중 임의의 하나의 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, 증착 마스크(20)의 두께 t의 범위는, 5㎛ 이상 30㎛ 이하여도 되고, 8㎛ 이상 25㎛ 이하여도 되고, 10㎛ 이상 20㎛ 이하여도 되고, 13㎛ 이상 20㎛ 이하여도 되고, 15㎛ 이상 20㎛ 이하여도 된다. 또한, 증착 마스크(20)의 두께 t의 범위는, 상술한 복수의 상한의 후보 값 중 임의의 둘의 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, 증착 마스크(20)의 두께 t의 범위는, 20㎛ 이상 25㎛ 이하여도 된다. 또한, 증착 마스크(20)의 두께 t의 범위는, 상술한 복수의 하한의 후보 값 중 임의의 둘의 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, 증착 마스크(20)의 두께 t의 범위는, 13㎛ 이상 15㎛ 이하여도 된다. 또한 두께 t는, 주위 영역(23)의 두께, 즉 증착 마스크(20) 중 제1 오목부(30) 및 제2 오목부(35)가 형성되지 않은 부분의 두께이다. 따라서 두께 t는, 금속판(64)의 두께라고 할 수도 있다.

도 7에 있어서, 관통 구멍(25)의 최소 개구 면적을 갖는 부분으로 되는 접속부(41)와, 제2 오목부(35)의 벽면(36)의 다른 임의의 위치를 지나는 직선 L1이, 증착 마스크(20)의 제1 면(20a)의 법선 방향 N에 대하여 이루는 최소 각도가, 부호 θ1로 표시되어 있다. 비스듬히 이동하는 증착 재료(98)를, 벽면(36)에 도달시키지 않고 가능한 한 유기 EL 기판(92)에 도달시키기 위해서는, 각도 θ1을 크게 하는 것이 유리해진다. 각도 θ1을 크게 하는 데에는, 증착 마스크(20)의 두께 t를 얇게 하는 것 이외에도, 상술한 톱부(43)의 폭 β를 좁게 하는 것도 유효하다.

도 7에 있어서, 부호 α는, 금속판(64)의 제1 면(64a)의 유효 영역(22) 중 에칭되지 않고 남아있는 부분(이하, 리브부라고도 칭함)의 폭을 나타내고 있다. 리브부의 폭 α 및 관통부(42)의 치수 r은, 유기 EL 표시 장치의 치수 및 표시 화소수에 따라서 적절히 정해진다. 예를 들어, 리브부의 폭 α는 5㎛ 이상이면서 40㎛ 이하이고, 관통부(42)의 치수 r은 10㎛ 이상이면서 60㎛ 이하이다.

또한, 도 6 및 도 7에 있어서는, 인접하는 두 제2 오목부(35) 사이에 금속판(64)의 제2 면(64b)이 잔존하고 있는 예를 나타냈지만, 이것에 한정되는 일은 없다. 도시는 하지 않지만, 인접하는 두 제2 오목부(35)가 접속되도록 에칭이 실시되어도 된다. 즉, 인접하는 두 제2 오목부(35) 사이에, 금속판(64)의 제2 면(64b)이 잔존하고 있지 않은 장소가 존재하고 있어도 된다.

(프레임)

이어서, 프레임(15)에 대하여 상세하게 설명한다. 도 1a 및 도 2 내지 도 5a에 도시하는 바와 같이, 프레임(15)은, 표면(즉 제3 면)(15a)과, 표면(15a)에 대향하는 이면(즉 제4 면)(15b)과, 표면(15a)과 이면(15b) 사이에 연장되는 외측면(즉 제5 면)(15c)을 포함한다. 도 5a에 도시하는 바와 같이, 표면(15a) 및 이면(15b)은, 증착 마스크(20)의 제1 면(20a) 법선 방향 N을 따른 단면으로 보았을 때, 법선 방향 N에 직교하는 방향으로 서로 평행하게 연장되어 있다. 외측면(15c)은, 증착 마스크(20)의 제1 면(20a)의 법선 방향 N을 따른 단면으로 보았을 때, 법선 방향 N으로 연장되어 있고, 표면(15a) 및 이면(15b)에 직교하도록 접속하고 있다. 이러한 프레임(15)에는, 표면(15a)으로부터 이면(15b)에 이르는 관통 구멍(15d)이 형성되어 있다. 증착 시에는, 도가니(94)로부터 증발한 증착 재료(98)는, 프레임(15)의 관통 구멍(15d)을 통하여 유기 EL 기판(92)에 부착된다. 또한, 외측면(즉 제5 면)(15c)은, 증착 마스크(20)의 제1 면(20a)의 법선 방향 N을 따른 단면으로 보았을 때, 법선 방향 N에 대하여 경사지도록 연장되어 있어도 된다.

(증착 마스크 장치의 제조 장치)

이하, 증착 마스크 장치(10)의 제조 장치(이하, 제조 장치라고 기재함)(70)에 대하여 설명한다. 도 8 내지 도 9b에 도시하는 바와 같이, 제조 장치(70)는, 프레임(15)과 접촉하는 스테이지(71)와, 증착 마스크(20)를 지지하는 지그(700)를 구비하고 있다.

이 중 스테이지(71)는, 3차원 방향으로 이동 가능하게 구성됨과 함께, 증착 마스크(20)의 제1 면(20a)의 법선 방향 N에 직교하는 소정의 회동 축을 중심으로 회동 가능한 구동부(73)를 통해 베이스(74)에 지지되어 있고, 적어도 법선 방향 N으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 이때, 스테이지(71)의 이동 범위는, 예를 들어 30㎛ 이상 90㎛ 이하의 범위 내로 설정되어 있어도 된다. 또한, 이 스테이지(71)는, 구동부(73)를 구동함으로써, 법선 방향 N에 직교하는 수평 방향(증착 마스크(20)의 제1 면(20a)의 면 방향)으로 이동 가능하게 구성됨과 함께, 예를 들어 바닥면에 대한 각도를 변경 가능하게 구성되어 있고, 후술하는 바와 같이, 프레임(15) 상에 배치된 증착 마스크(20)의 수평 방향에 있어서의 위치 등을 조정할 수 있게 되어 있다. 이 경우, 구동부(73)는, 예를 들어 에어 실린더나 유압 실린더, 서보 모터 등을 사용하여, 스테이지(71)를 이동시켜도 된다.

지그(700)는, 증착 마스크(20)의 연장부(17b)를 지지하고 있다. 본 실시 형태에 의한 지그(700)는, 클램프(72)이다. 이 클램프(72)는, 증착 마스크(20)의 연장부(17b)를 협지하게 구성되어 있다. 클램프(72)는, 증착 마스크(20)의 제1 면(20a)의 법선 방향 N을 따라 연장되는 지주(75)를 통해 베이스(74)에 지지되어 있다. 본 실시 형태에 있어서는, 복수의 클램프(72)가 마련되어 있다. 예를 들어, 제조 장치(70)는, 하나의 연장부(17b)를 두 클램프(72)에 의해 협지하도록 구성되어 있다. 이 경우, 두 클램프(72)는, 서로 평행하게 배치되어 있다. 이와 같이, 하나의 연장부(17b)를 복수의 클램프(72)에 의해 협지함으로써, 증착 마스크(20)의 면 방향으로 대략 균일하게 장력을 가할 수 있다. 또한, 하나의 연장부(17b)에 대하여 연장부(17b)를 파지하는 클램프(72)의 개수는 임의이고, 하나여도 되고, 셋 이상이어도 된다.

이러한 클램프(72)는, 제1 클램프(72A)와, 증착 마스크(20)를 사이에 두고 제1 클램프(72A)의 반대측에 위치하는 제2 클램프(72B)를 갖고 있다. 바꿔 말하면, 증착 마스크(20)의 한 쌍의 귀부(17) 중 한쪽 귀부(17)의 연장부(17b)를 협지하는 제1 클램프(72A)와, 한 쌍의 귀부(17) 중 다른 쪽 귀부(17)의 연장부(17b)를 협지하는 제2 클램프(72B)를 갖고 있다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 제1 클램프(72A) 및 제2 클램프(72B)에 공통되는 구성, 기능, 동작 등을 설명하는 경우에는, 제1 클램프(72A) 및 제2 클램프(72)를 총칭하여 클램프(72)라고도 칭한다.

각각의 클램프(72)는, 도 9b에 도시하는 바와 같이, 지주(75)에 설치된 고정부(72a)와, 고정부(72a)에 설치된 지지부(72b)를 통해 회동 가능하게 설치된 가동부(72c)를 갖고 있다. 이 중 고정부(72a)는, 예를 들어 에어 실린더나 유압 실린더, 서보 모터 등의 구동 수단(77)을 통해 지주(75)에 설치되어 있다. 이 때문에, 구동 수단(77)을 구동함으로써, 클램프(72)는, 증착 마스크(20)의 제1 면(20a)의 법선 방향 N 및 증착 마스크(20)의 제1 면(20a)의 면 방향을 따라서 이동할 수 있도록 구성되어 있다. 이 경우, 클램프(72)의 고정부(72a) 및 가동부(72c)는, 도 9c에 도시하는 바와 같이, 서로 대향하는 면(721a, 721c)이 평면형으로 형성되어 있다.

또한, 클램프(72)의 고정부(72a)의 면(721a) 및 가동부(72c)의 면(721c)의 형상이 특별히 한정되는 일은 없다. 예를 들어, 도 9d에 도시하는 바와 같이, 면(721a) 및 면(721c)이 요철 형상을 갖고 있어도 된다. 면(721a) 및 면(721c)이 요철 형상을 갖고 있음으로써, 증착 마스크(20)에 대하여, 효과적으로 장력을 가할 수 있다. 이때, 요철 형상의 높이 H1 및 높이 H2(가장 돌출된 부분과 가장 오목해진 부분의 차)는, 예를 들어 0.01mm 이상이어도 되고, 0.05mm 이상이어도 되고, 0.10mm 이상이어도 되고, 0.50mm 이상이어도 되고, 1.00mm 이상이어도 된다. 또한, 요철 형상의 높이 H1 및 높이 H2는, 3.00mm 이하여도 되고, 2.50mm 이하여도 되고, 2.00mm 이하여도 된다. 요철 형상의 높이 H1 및 높이 H2는, 상술한 복수의 상한의 후보 값 중 임의의 하나와, 상술한 복수의 하한의 후보 값 중 임의의 하나의 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, 요철 형상의 높이 H1 및 높이 H2는, 0.01mm 이상 3.00mm 이하여도 되고, 0.05mm 이상 2.50mm 이하여도 되고, 1.00mm 이상 2.00mm 이하여도 된다. 또한, 요철 형상의 높이 H1 및 높이 H2는, 상술한 복수의 상한의 후보 값 중 임의의 둘의 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, 요철 형상의 높이 H1 및 높이 H2는, 2.00mm 이상 2.50mm 이하여도 된다. 또한, 요철 형상의 높이 H1 및 높이 H2는, 상술한 복수의 하한의 후보 값 중 임의의 둘의 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, 요철 형상의 높이 H1 및 높이 H2는, 0.01mm 이상 0.50mm 이하여도 된다. 또한, 면(721a) 및 면(721c)이 서로 다른 요철 형상을 갖고 있어도 된다. 요철 형상의 높이 H1 및 높이 H2가, 각각 0.01mm 이상임으로써, 증착 마스크(20)에 대하여, 효과적으로 장력을 가할 수 있다. 또한, 요철 형상의 높이 H1 및 높이 H2가, 각각 3.00mm 이하임으로써, 클램프(72)가 증착 마스크(20)를 협지했을 때에, 증착 마스크(20) 중 클램프(72)에 의해 협지된 부분에 대하여 국소적인 힘이 가해지는 것을 억제할 수 있다.

이러한 클램프(72)는, 가동부(72c)가 회동함으로써, 고정부(72a)와 가동부(72c) 사이에서 증착 마스크(20)의 연장부(17b)를 협지하고, 또는 고정부(72a)와 가동부(72c) 사이에서 연장부(17b)를 해방하게 되어 있다.

또한, 지그(700)는, 증착 마스크(20)를 지지한 상태에 있어서, 용접부(17a)의 제2 면(20b)이 프레임(15)의 표면(15a)에 접촉하고, 또한, 연장부(17b)의 제2 면(20b)이 적어도 부분적으로 프레임(15)의 표면(15a)보다도 프레임(15)의 이면(15b)측에 위치하도록 구성되어 있다. 바꿔 말하면, 증착 마스크(20)는, 제2 면(20b)의 적어도 일부가 프레임(15)의 표면(즉 제3 면)(15a)에 접촉하고, 또한, 증착 마스크(20)의 제1 면(20a)의 법선 방향 N으로부터 본 경우에, 증착 마스크(20) 중, 프레임(15)과 겹치지 않는 부분의 제2 면(20b)의 적어도 일부를, 표면(즉 제3 면)(15a)보다도 이면(즉 제4 면)(15b)측에 위치하고 있다. 본 실시 형태에서는, 클램프(72)는, 증착 마스크(20)의 연장부(17b)를 협지하고, 클램프(72)가 증착 마스크(20)를 협지한 상태에 있어서, 용접부(17a)의 제2 면(20b)이 프레임(15)의 표면(15a)에 접촉하고, 또한, 연장부(17b)의 제2 면(20b)이 적어도 부분적으로 프레임(15)의 표면(15a)보다도 프레임(15)의 이면(15b)측에 위치하도록 구성되어 있다. 이와 같이 하여, 지그(700)(본 실시 형태에서는 클램프(72))는, 프레임(15)의 표면(15a)에 배치된 증착 마스크(20)에 휨이나 물결 형상이 발생해 버리는 일이 없도록, 증착 마스크(20)를 그 면 방향으로 가장(架張)한다. 여기서, 본 명세서 중, 「가장」이란, 장력을 가하는 것을 의미한다. 예를 들어, 증착 마스크(20)를 그 면 방향으로 가장한다란, 증착 마스크(20)에 대하여, 그 면 방향을 따른 장력을 가하는 것을 의미한다.

또한, 도 9a에 도시하는 바와 같이, 제조 장치(70)는, 증착 마스크(20)의 용접부(17a)를 프레임(15)에 접합하는 용접 장치(76)를 추가로 구비하고 있다. 이 용접 장치(76)는, 예를 들어 레이저광 L을 조사하는 레이저 장치여도 된다. 이 경우, 레이저광 L로서는, 예를 들어 YAG 레이저 장치에 의해 생성되는 YAG 레이저광(파장 355nm, 532nm, 1064nm)을 사용할 수 있다. YAG 레이저 장치로서는, 예를 들어 YAG(이트륨·알루미늄·가닛)에 Nd(네오디뮴)를 첨가한 결정을 발진용 매질로서 구비한 것을 사용할 수 있다.

이어서, 증착 마스크 장치(10)를 제조하는 방법에 대하여 설명한다. 먼저, 증착 마스크 장치(10)의 증착 마스크(20)를 제조하는 방법에 대하여 설명한다.

(증착 마스크의 제조 방법)

금속판의 제조 방법

처음에, 증착 마스크를 제조하기 위하여 사용되는 금속판의 제조 방법에 대하여 설명한다.

(용해 공정)

먼저, 철 및 니켈 그리고 그 밖의 원재료를 준비한다. 예를 들어, 원재료 전체에 대한 철의 비율 및 니켈의 비율이 각각 약 64중량％ 및 약 36중량％로 되도록, 각 원재료를 준비한다. 계속해서, 각 원재료를 필요에 따라서 분쇄한 후, 각 원재료를 용해로에서 용해하는 용해 공정을 실시한다. 예를 들어, 아크 방전 등의 기체 방전을 이용하여 각 원재료를 용해하여 혼합한다. 이에 의해, 금속판을 위한 모재를 얻을 수 있다.

용해 시의 온도는, 원재료에 따라서 설정하지만, 예를 들어 1500℃ 이상이다. 용해 공정은 탈산, 탈수, 탈질소 등을 위하여 알루미늄, 망간, 실리콘 등을 용해로에 투입하는 공정을 포함하고 있어도 된다. 또한, 용해 공정은, 대기압보다도 낮은 저압 상태에서, 아르곤 가스 등의 불활성 가스의 분위기 하에서 실시해도 된다.

(연삭 공정)

모재를 용해로로부터 취출한 후, 모재의 표면을 깍아내는 연삭 공정을 실시해도 된다. 이에 의해, 스케일 등의 산화물의 피막을 제거할 수 있다. 이때, 구체적인 연삭 방법은 특별히 한정되지는 않지만, 숫돌을 회전시켜서 모재의 표면을 깎는, 소위 그라인딩법이나, 모재를 절삭구에 압입하여 모재의 표면을 깎는, 소위 압입법 등을 채용할 수 있다. 연삭 공정은, 모재의 두께가 균일해지게 실시되어도 된다.

(압연 공정)

계속해서, 도 10에 도시하는 바와 같이, 니켈을 포함하는 철 합금으로 구성된 모재(60)를 압연하는 압연 공정을 실시한다. 예를 들어, 한 쌍의 압연 롤(워크 롤)(66a, 66b)을 포함하는 압연 장치(66)를 향하여, 화살표 D1로 나타내는 방향을 따라서 반송한다. 한 쌍의 압연 롤(66a, 66b) 사이에 도달한 모재(60)는, 한 쌍의 압연 롤(66a, 66b)에 의해 압연되고, 이 결과, 모재(60)는, 그 두께가 저감됨과 함께, 반송 방향을 따라서 늘려진다. 이에 의해, 소정의 두께를 갖는 금속판(64)을 얻을 수 있다. 도 10에 도시하는 바와 같이, 금속판(64)을 코어(61)에 권취함으로써 권취체(62)를 형성해도 된다.

또한 도 10은, 압연 공정의 개략을 나타내는 것에 지나지 않고, 압연 공정을 실시하기 위한 구체적인 구성이나 수순이 특별히 한정되는 일은 없다. 예를 들어 압연 공정은, 모재(60)를 구성하는 철 합금의 결정 배열을 변화시키는 온도 이상의 온도에서 모재를 가공하는 열간 압연 공정이나, 철 합금의 결정 배열을 변화시키는 온도 이하의 온도에서 모재를 가공하는 냉간 압연 공정을 포함하고 있어도 된다. 또한, 한 쌍의 압연 롤(66a, 66b) 사이에 모재(60)나 금속판(64)을 통과시킬 때의 방향이 일방향에 한정되는 일은 없다. 예를 들어, 도 10에 있어서, 지면 좌측으로부터 우측 방향, 및 지면 우측으로부터 좌측 방향으로 반복하여 모재(60)나 금속판(64)을 한 쌍의 압연 롤(66a, 66b) 사이에 통과시킴으로써, 모재(60)나 금속판(64)을 점차 압연해도 된다.

또한, 냉간 압연 공정에 있어서는, 모재(60)와 압연 롤(66a, 66b) 사이에 등유 등의 냉각제를 공급해도 된다. 이에 의해, 모재의 온도를 제어할 수 있다.

(어닐 공정)

그 후, 압연에 의해 금속판(64) 내에 축적된 잔류 응력을 제거하기 위해서, 도 11에 도시한 바와 같이, 어닐 장치(67)을 사용하여 금속판(64)을 어닐해도 된다. 어닐 공정은, 도 11에 도시한 바와 같이, 금속판(64)을 반송 방향(긴 변 방향)으로 당기면서 실시되어도 된다. 즉, 어닐 공정은, 소위 뱃치식의 어닐링이 아닌, 반송하면서 행하는 연속 어닐링으로서 실시되어도 된다. 이 경우, 금속판(64)에 좌굴 꺾임 등의 변형이 발생하는 것을 억제하도록 온도나 반송 속도를 설정하는 것이 바람직하다. 어닐 공정을 실시함으로써, 잔류 변형이 어느 정도 제거된 금속판(64)을 얻을 수 있다.

(슬릿 공정)

그 후, 금속판(64)의 폭이 소정의 범위 내가 되도록, 압연 공정에 의해 얻어진 금속판(64)의 폭 방향에 있어서의 양단을 각각 소정의 범위에 걸쳐 잘라내는 슬릿 공정을 실시해도 된다. 이 슬릿 공정은, 압연에 기인하여 금속판(64)의 양단에 발생할 수 있는 크랙을 제거하기 위하여 실시된다. 이러한 슬릿 공정을 실시함으로써, 금속판(64)이 파단되어 버리는 현상, 소위 판 끊김이, 크랙을 기점으로 하여 생겨 버리는 것을 방지할 수 있다. 또한, 이 슬릿 공정을, 상술한 어닐 공정 전에 실시해도 된다.

또한, 상술한 압연 공정, 어닐 공정 및 슬릿 공정 중 적어도 두 공정을 복수회 반복함으로써, 소정의 두께의 긴 형상의 금속판(64)을 제작해도 된다. 또한 도 11에 있어서는, 어닐 공정이, 금속판(64)을 긴 변 방향으로 당기면서 실시되는 예를 나타냈지만, 이것에 한정되는 일은 없고, 어닐 공정을, 금속판(64)이 코어(61)에 권취된 상태에서 실시해도 된다. 즉 뱃치식의 어닐링이 실시되어도 된다. 또한, 금속판(64)이 코어(61)에 권취된 상태에서 어닐 공정을 실시하는 경우, 금속판(64)에, 권취체(62)의 권취 직경에 따른 휘는 성질이 생겨 버리는 경우가 있다. 따라서, 권취체(62)의 감기 직경이나 모재(60)를 구성하는 재료에 따라서는, 금속판(64)을 긴 변 방향으로 당기면서 어닐 공정을 실시하는 것이 유리하다.

(외관 검사 공정)

또한, 압연 공정 후, 혹은 어닐 공정 후, 금속판(64)의 외관을 검사하는 외관 검사 공정을 실시해도 된다. 외관 검사 공정은, 자동 검사기를 사용하여 금속판(64)의 외관을 검사하는 공정을 포함하고 있어도 된다. 또한, 외관 검사 공정은, 눈으로 보아 금속판(64)의 외관을 검사하는 공정을 포함하고 있어도 된다.

(형상 검사 공정)

또한, 압연 공정의 후, 혹은 어닐 공정의 후, 금속판(64)의 형상을 검사하는 형상 검사 공정을 실시해도 된다. 예를 들어, 3차원 측정기를 사용하여, 두께 방향에 있어서의 금속판(64)의 표면 위치를 금속판(64)의 소정의 영역 내에서 측정해도 된다.

증착 마스크의 제조 방법

이어서, 상술한 공정에 의해 얻어진 금속판(64)을 사용하여 증착 마스크(20)를 제조하는 방법에 대해서, 주로 도 12 내지 도 16을 참조하여 설명한다. 도 12는, 금속판(64)을 사용하여 증착 마스크(20)를 제조하는 처리 장치(80)를 도시하는 도면이다. 먼저, 금속판(64)을 코어(61)에 권취한 권취체(62)를 준비한다. 그리고, 이 코어(61)를 회전시켜서 권취체(62)를 권출함으로써, 도 12에 도시하는 바와 같이, 띠 형상으로 연장되는 금속판(64)을 공급한다.

공급된 금속판(64)은, 반송 롤러(85)에 의해, 가공 장치(82), 분리 장치(83)로 차례로 반송된다. 가공 장치(82)는, 금속판(64)을 가공하여 금속판(64)에 관통 구멍(25)을 형성하는 가공 공정을 실시한다. 또한 본 실시 형태에 있어서는, 복수매의 증착 마스크(20)에 대응하는 다수의 관통 구멍(25)을 금속판(64)에 형성한다. 바꾸어 말하면, 금속판(64)에 복수매의 증착 마스크(20)를 할당한다. 분리 장치(83)는, 금속판(64) 중 1매분의 증착 마스크(20)에 대응하는 복수의 관통 구멍(25)이 형성된 부분을 금속판(64)으로부터 분리하는 분리 공정을 실시한다. 이와 같이 하여, 매엽형 증착 마스크(20)를 얻을 수 있다.

(가공 공정)

도 13 내지 도 16을 참조하여, 가공 공정에 대하여 설명한다. 먼저, 금속판(64)의 제1 면(64a) 상 및 제2 면(64b) 상에 감광성 레지스트 재료를 포함하는 레지스트막을 형성한다. 예를 들어, 카제인 등의 감광성 레지스트 재료를 포함하는 도포액을 금속판(64)에 도포하고, 그 후, 도포액을 건조시킴으로써, 레지스트막을 형성한다. 또는, 금속판(64)에 드라이 필름을 첩부함으로써, 레지스트막을 형성해도 된다. 계속해서, 레지스트막을 노광 및 현상한다. 이에 의해, 도 13에 도시하는 바와 같이, 금속판(64)의 제1 면(64a) 상에 제1 레지스트 패턴(65a)을 형성하고, 금속판(64)의 제2 면(64b) 상에 제2 레지스트 패턴(65b)을 형성할 수 있다.

이어서, 도 14에 도시하는 바와 같이, 금속판(64)의 제1 면(64a) 중 제1 레지스트 패턴(65a)에 의해 덮여 있지 않은 영역을, 제1 에칭액을 사용해서 에칭하는 제1 면 에칭 공정을 실시한다. 예를 들어, 제1 에칭액을, 반송되는 금속판(64)의 제1 면(64a)에 대면하는 측에 배치된 노즐로부터, 제1 레지스트 패턴(65a)너머로 금속판(64)의 제1 면(64a)을 향하여 분사한다. 이 결과, 도 14에 도시하는 바와 같이, 금속판(64) 중 제1 레지스트 패턴(65a)에 의해 덮여 있지 않은 영역에서, 제1 에칭액에 의한 침식이 진행된다. 이에 의해, 금속판(64)의 제1 면(64a)에 다수의 제1 오목부(30)가 형성된다. 제1 에칭액으로서는, 예를 들어 염화제2철 용액 및 염산을 포함하는 것을 사용한다.

이어서, 도 15에 도시하는 바와 같이, 금속판(64)의 제2 면(64b) 중 제2 레지스트 패턴(65b)에 의해 덮여 있지 않은 영역을 에칭하고, 제2 면(64b)에 제2 오목부(35)를 형성하는 제2 면 에칭 공정을 실시한다. 제2 면 에칭 공정은, 제1 오목부(30)와 제2 오목부(35)가 서로 통하고, 이에 의해 관통 구멍(25)이 형성되게 될 때까지 실시된다. 제2 에칭액으로서는, 상술한 제1 에칭액과 마찬가지로, 예를 들어 염화제2철 용액 및 염산을 포함하는 것을 사용한다. 또한, 제2 면 에칭 공정 시, 도 15에 도시하는 바와 같이, 제2 에칭액에 대한 내성을 가진 수지(69)에 의해 제1 오목부(30)가 피복되어 있어도 된다.

그 후, 도 16에 도시하는 바와 같이, 금속판(64)으로부터 수지(69)를 제거한다. 수지(69)는, 예를 들어 알칼리계 박리액을 사용함으로써, 제거할 수 있다. 알칼리계 박리액이 사용되는 경우, 도 16에 도시하는 바와 같이, 수지(69)와 동시에 레지스트 패턴(65a, 65b)도 제거된다. 또한, 수지(69)를 제거한 후, 수지(69)를 박리시키기 위한 박리액과는 다른 박리액을 사용하여, 수지(69)와는 별도로 레지스트 패턴(65a, 65b)을 제거해도 된다.

(분리 공정)

그 후, 금속판(64) 중 1매분의 증착 마스크(20)에 대응하는 복수의 관통 구멍(25)이 형성된 부분을 금속판(64)으로부터 분리함으로써, 증착 마스크(20)를 얻을 수 있다.

(증착 마스크 검사 공정)

또한, 상술한 분리 공정 후에, 증착 마스크(20)를 검사하는 증착 마스크 검사 공정을 실시해도 된다. 증착 마스크 검사 공정에 있어서는, 예를 들어 증착 마스크(20)를 구성하는 금속판(64)의 표면에 국소적인 돌기나 오목부 등의 변형부가 존재하는지 여부를 검사해도 된다.

(증착 마스크의 용접 공정)

이어서, 상술한 바와 같이 하여 얻어진 증착 마스크(20)를 프레임(15)에 용접하는 용접 공정을 실시한다. 이에 의해, 증착 마스크(20) 및 프레임(15)을 구비하는 증착 마스크 장치(10)를 얻을 수 있다.

그런데, 본건 발명자들이 예의 연구를 거듭한바, 두께가 얇은 증착 마스크(20)는, 두께가 두꺼운 증착 마스크(20)에 비하여, 강성이 낮아지기 때문에, 프레임(15) 상에 증착 마스크(20)를 가장한 상태에서 배치했을 때에, 휨이나 물결 형상이 발생하는 경향이 있음을 알아내었다. 또한, 이 경우, 증착 마스크(20)와 프레임(15) 사이에 간극이 발생하고, 접합부(19)의 용접 강도가 낮아진다는 것을 알아내었다. 이하, 두께가 얇은 증착 마스크(20)를 프레임(15)에 용접했을 경우에 보이는 현상에 대해서, 도 17a 및 도 17b를 참조하여 설명한다.

먼저, 두께가 얇은 증착 마스크(20)의 경우, 증착 마스크(20)의 두께 t와, 레이저광 L의 스폿 직경 S에 따라서, 대체로 획정되는 용융 재료(19g)의 체적이 작아진다. 이 때문에, 용융 재료(19g) 중, 프레임(15)의 재료와 혼합되는 용융 재료(19g)의 체적이 작아진다. 또한, 도 17a 및 도 17b에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(20)와 프레임(15) 사이에 간극 G1, G2가 있는 상태에 있어서는, 증착 마스크(20)에 레이저광 L이 조사되었을 경우, 용융 재료(19g)가 중력에 의해 프레임(15)을 향하여 늘어뜨려지는 상태가 된다. 여기서, 도 17b에 있어서의 증착 마스크(20)와 프레임(15) 사이의 간극 G2는, 도 17a에 있어서의 증착 마스크(20)와 프레임(15) 사이의 간극 G1보다도 넓게 되어 있고, 도 17b에 있어서의 용융 재료(19g)가 프레임(15)에 접촉하는 부분의 직경 S2는, 도 17b에 있어서의 용융 재료(19g)가 프레임(15)에 접촉하는 부분의 직경 S1보다도 작게 되어 있다. 이와 같이, 증착 마스크(20)와 프레임(15) 사이의 간극이 넓어질수록, 용융 재료(19g)가 프레임(15)에 접촉하는 면적이 작아진다. 용융 재료(19g)가 프레임(15)에 접촉하는 면적이 작아졌을 경우, 레이저광 L에 의해 가열되어서 얻어진 열을 프레임(15)에 전하기가 어려워진다. 이 때문에, 프레임(15)의 재료가 용융하는 체적이 작아져, 접합부(19)에 있어서 용접 강도가 낮아진다고 생각된다. 또한, 접합부(19)의 용접 강도가 낮아지는 이유가, 상술한 이유에 한정되는 것은 아니다.

또한, 용접 강도란, 접합부(19)에 의해 프레임(15)에 용접된 증착 마스크(20)의 귀부(17)를 프레임(15)으로부터 박리하기 위하여 요하는 힘의 크기이다. 도 17c에, 접합부(19)의 용접 강도를 측정하는 방법의 일례를 나타낸다. 용접 강도의 측정 공정에 있어서는, 먼저, 증착 마스크(20)의 귀부(17)의 일부를 잘라냄으로써 얻어진 샘플(17S)을, 프레임(15)에 용접한다. 이어서, 도 17c에 도시하는 바와 같이, 샘플(17S)의 긴 변 방향에 있어서의 단부에, 프레임(15)의 표면(15a)의 법선 방향을 따르는 방향(도 17c에 있어서의 상측 방향)에 있어서의 인장력 E를 가한다. 이 경우, 샘플(17S)이 파단하거나, 또는 샘플(17S)이 프레임(15)으로부터 박리될 때의 인장력 E가, 접합부(19)의 용접 강도이다.

(본 실시 형태에 의한 용접 공정)

종래의 용접 공정에 있어서의 상술한 과제를 해결하기 위해서, 본 실시 형태에 있어서는, 증착 마스크(20)의 연장부(17b)를 협지하는 증착 마스크 장치(10)의 제조 장치(70)를 이용하여 용접 공정을 실시하는 것을 제안한다. 이하, 본 실시 형태에 의한 용접 공정에 대해서, 도 18a 내지 도 19b를 참조하여 설명한다.

먼저, 도 18a에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(20)의 귀부(17)를, 제2 면(20b)이 프레임(15)에 면하도록 프레임(15) 상에 배치한다. 이어서, 도 18b에 도시하는 바와 같이, 지그(700)에 의해 증착 마스크(20)를 지지한다. 본 실시 형태에서는, 클램프(72)에 의해 증착 마스크(20)의 연장부(17b)를 협지한다. 이 경우, 클램프(72) 중 제1 클램프(72A)가, 한 쌍의 귀부(17) 중 한쪽 귀부의 연장부(17b)를 협지하고, 제2 클램프(72B)가, 한 쌍의 귀부(17) 중 다른 쪽 귀부의 연장부(17b)를 협지한다. 이때, 예를 들어 제1 클램프(72A) 및 제2 클램프(72B)가 동시에 귀부(17)의 연장부(17b)를 협지하게 해도 된다. 또한, 제1 클램프(72A)가, 한쪽 귀부의 연장부(17b)를 협지한 후에, 제2 클램프(72B)가, 다른 쪽 귀부의 연장부(17b)를 협지하게 해도 되고, 혹은, 제2 클램프(72B)가, 다른 쪽 귀부의 연장부(17b)를 협지한 후에, 제1 클램프(72A)가, 한쪽 귀부의 연장부(17b)를 협지하게 해도 된다. 또한, 이때, 미리 클램프(72)의 위치를, 클램프(72)가 연장부(17b)를 협지한 상태에 있어서, 연장부(17b)의 제2 면(20b)이 프레임(15)의 표면(15a)보다도 프레임(15)의 이면(15b)측에 위치하도록 조정해 두어도 된다. 또한, 클램프(72)에 의해 증착 마스크(20)의 연장부(17b)를 협지한 후, 귀부(17)를 프레임(15) 상에 배치해도 된다.

이어서, 제조 장치(70)에 의한 증착 마스크(20)의 위치 결정을 행한다. 이 경우, 얼라인먼트 마크가 형성된 유리 스케일(도시하지 않음)을 준비하고, 얼라인먼트 마크에 기초하여 증착 마스크(20)가 소정의 위치에 위치 부여할 수 있도록, 클램프(72)를 증착 마스크(20)의 제1 면(20a)의 법선 방향 N에 직교하는 수평 방향(제1 면(20a)의 면 방향)으로 이동시킨다. 이와 같이 하여, 증착 마스크(20)의 가상의 위치 결정을 행함과 함께, 증착 마스크(20)를 붙인 상태로 보유 지지한다. 이어서, 구동부(73)를 구동하고, 스테이지(71)의 위치 및 예를 들어 바닥면에 대한 각도를 조정함으로써, 유리 스케일의 얼라인먼트 마크에 기초하여 증착 마스크(20)의 위치 결정을 행한다. 이때, 각각의 클램프(72)를 독립적으로 구동함으로써, 증착 마스크(20)의 위치를 조정해도 되고, 각각의 클램프(72)를 동시에 구동하여 증착 마스크(20)의 위치를 조정해도 된다. 또한, 유리 스케일을 사용하지 않고, 제조 장치(70)에 의한 증착 마스크(20)의 위치 결정을 행해도 된다. 이 경우, 증착 마스크(20)의 위치 결정은, 임의의 위치 결정 수단을 사용함으로써 행해져도 되고, 예를 들어 제조 장치(70)에 설계 좌표를 읽어들여, 설계 좌표에 도달하도록 증착 마스크(20)의 위치를 조정해도 된다. 또한, 제조 장치(70)에 의한 증착 마스크(20)의 위치 결정을 행하는 경우, 지그(700)와 함께, 제조 장치(70)의 스테이지(71)를 제1 면(20a)의 법선 방향 N 및 면 방향으로 이동시켜도 된다.

이어서, 도 19a에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(20)의 제2 면(20b)의 적어도 일부가 프레임(15)의 표면(즉 제3 면)(15a)에 접촉하고, 또한, 제1 면(20a)의 법선 방향 N으로부터 본 경우에, 증착 마스크(20) 중, 프레임(15)과 겹치지 않는 부분의 제2 면(20b)의 적어도 일부를, 프레임(15)의 표면(15a)보다도 프레임(15)의 이면(즉 제4 면)(15b)측에 위치시켜서, 증착 마스크(20)에 장력을 가한다. 즉, 용접부(17a)의 제2 면(20b)이 프레임(15)의 표면(15a)에 접촉하고, 또한, 연장부(17b)의 제2 면(20b)이 적어도 부분적으로 프레임(15)의 표면(15a)보다도 프레임(15)의 이면(15b)측(도 19a에 있어서의 하방)에 위치하도록 증착 마스크(20)에 장력을 가한다. 이때, 예를 들어 프레임(15)을 증착 마스크(20)의 제1 면(20a)의 법선 방향 N 중, 제2 면(20b)으로부터 제1 면(20a)을 향하는 방향으로 이동시킨다. 이 경우, 구동부(73)를 구동함으로써, 제조 장치(70)의 스테이지(71)를 상승시키고, 프레임(15)을 이동시킨다. 이때, 스테이지(71)의 상방으로의 이동 거리는, 예를 들어 0.001mm 이상이어도 되고, 0.01mm 이상이어도 되고, 0.03mm 이상이어도 된다. 또한, 스테이지(71)의 상방으로의 이동 거리는, 2.00mm 이하여도 되고, 1.50mm 이하여도 되고, 1.20mm 이하여도 된다. 스테이지(71)의 상방으로의 이동 거리는, 상술한 복수의 상한의 후보 값 중 임의의 하나와, 상술한 복수의 하한의 후보 값 중 임의의 하나의 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, 스테이지(71)의 상방으로의 이동 거리는, 0.001mm 이상 2.00mm 이하여도 되고, 0.01mm 이상 1.50mm 이하여도 되고, 0.03mm 이상 1.20mm 이하여도 된다. 또한, 스테이지(71)의 상방으로의 이동 거리는, 상술한 복수의 상한의 후보 값 중 임의의 둘의 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, 스테이지(71)의 상방으로의 이동 거리는, 1.20mm 이상 1.50mm 이하여도 된다. 또한, 스테이지(71)의 상방으로의 이동 거리는, 상술한 복수의 하한의 후보 값 중 임의의 둘의 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, 스테이지(71)의 상방으로의 이동 거리는, 0.01mm 이상 0.03mm 이하여도 된다.

그런데, 본 실시 형태에서는, 지그(700)(여기에서는 클램프(72))가 증착 마스크(20)를 협지한 상태에 있어서, 용접부(17a)의 제2 면(20b)이 프레임(15)의 표면(15a)에 접촉하고, 또한, 연장부(17b)의 제2 면(20b)이 적어도 부분적으로 프레임(15)의 표면(15a)보다도 프레임(15)의 이면(15b)측에 위치한다. 이에 의해, 증착 마스크(20)를 프레임(15)의 표면(15a)보다도 프레임(15)의 이면(15b)측(도 19a에 있어서의 하방)으로 당길 수 있다. 또한, 이때, 연장부(17b) 중, 프레임(15)의 외측면(15c)보다도 외측으로 연장되어 있는 부분에 장력이 가해지고, 당해 부분이 프레임(15)의 이면(15b)측으로 당겨지는 상태가 된다. 이 때문에, 증착 마스크(20)가 전체로서 프레임(15)의 이면(15b)측에 압박되는 상태가 되어, 증착 마스크(20)의 중간부(18)의 용접부(17a)와, 프레임(15)의 밀착성을 향상시킬 수 있다. 이 때문에, 증착 마스크(20)를 그 면 방향으로 효과적으로 가장할 수 있음과 함께, 증착 마스크(20)와 프레임(15)의 밀착성을 향상시킬 수 있다. 이 결과, 증착 마스크(20)에 휨이나 물결 형상이 발생하는 것을 억제할 수 있다.

이어서, 도 19b에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(20)의 용접부(17a)를 프레임(15)에 접합하는 접합 공정을 실시한다. 이 경우, 증착 마스크(20)에 장력이 가해진 상태에서, 증착 마스크(20)의 용접부(17a)를 프레임(15)에 접합한다. 이때, 예를 들어 용접 장치(76)에 의해, 증착 마스크(20)의 제1 면(20a)측으로부터 레이저광 L을 조사한다. 이에 의해, 도 5a에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(20)의 귀부(17)의 일부 및 프레임(15)의 일부가 용융되어, 귀부(17)의 제1 면(20a)으로부터 제2 면(20b)을 거쳐 프레임(15)에 이르는 용융 영역(19f)이 형성된다. 이 용융 영역(19f)은, 귀부(17) 및 프레임(15)에 걸쳐 있다.

레이저광 L로서는, 예를 들어 YAG 레이저 장치에 의해 생성되는 YAG 레이저광을 사용할 수 있다. YAG 레이저 장치로서는, 예를 들어 YAG(이트륨·알루미늄·가닛)에 Nd(네오디뮴)를 첨가한 결정을 발진용 매질로서 구비한 것을 사용할 수 있다. 이 경우, 기본파로서, 파장이 약 1064nm인 레이저광이 생성된다. 또한, 기본파를 비선형 광학 결정에 통과시킴으로써, 파장이 약 532nm인 제2 고조파가 생성된다. 또한, 기본파 및 제2 고조파를 비선형 광학 결정에 통과시킴으로써, 파장이 약 355nm인 제3 고조파가 생성된다.

YAG 레이저광의 제3 고조파는, 니켈을 포함하는 철 합금에 흡수되기 쉽다. 따라서, 증착 마스크(20)의 귀부(17) 및 프레임(15)이, 니켈을 포함하는 철 합금을 포함하는 경우, 증착 마스크(20)의 귀부(17) 및 프레임(15)의 일부를 효율적으로 용융시키기 위해서는 레이저광 L이 YAG 레이저광의 제3 고조파를 포함하는 것이 바람직하다.

레이저광 L의 조사가 종료되면, 용융 영역(19f)의 온도가 저하되고, 용융 영역(19f)이 고화하여 용접 자국(19a)으로 된다. 이것에 의해, 증착 마스크(20)의 귀부(17)와 프레임(15)이 용접 자국(19a)에 의해 서로 접합된다. 이와 같이 하여, 프레임(15)과, 접합부(19)에 의해 프레임(15)에 접합된 증착 마스크(20)를 구비하는 증착 마스크 장치(10)를 얻을 수 있다.

〔증착 재료의 증착 방법〕

이어서, 상술한 공정에 의해 얻어진 증착 마스크 장치(10)를 사용하여 유기 EL 기판(92)에 증착 재료(98)를 증착하는 증착 재료의 증착 방법에 대해서, 주로 도 20a 내지 도 21을 참조하여 설명한다.

먼저, 도 20a에 도시하는 바와 같이, 상술한 공정에 의해 얻어진 증착 마스크 장치(10)를 준비한다. 이때, 증착 재료(98)가 수용된 도가니(94) 및 히터(96)를 준비하고, 증착 장치(90)를 준비한다.

또한, 유기 EL 기판(92)을 준비한다.

이어서, 도 20b에 도시하는 바와 같이, 유기 EL 기판(92)을 증착 마스크 장치(10)의 증착 마스크(20) 상에 설치한다. 이때, 예를 들어 유기 EL 기판(92)의 도시하지 않은 얼라인먼트 마크와, 증착 마스크(20)의 도시하지 않은 얼라인먼트 마크를 직접 관찰하고, 당해 얼라인먼트 마크끼리가 겹치도록 유기 EL 기판(92)의 위치 결정을 행하면서, 유기 EL 기판(92)을 증착 마스크 장치(10)에 설치한다.

이어서, 증착 마스크 장치(10)의 증착 마스크(20) 상에 설치된 유기 EL 기판(92)에 증착 재료(98)를 증착시킨다. 이때, 예를 들어 도 21에 도시하는 바와 같이, 유기 EL 기판(92)의, 증착 마스크 장치(10)와 반대측 면에 자석(93)이 배치된다. 이렇게 자석(93)을 마련함으로써, 자력에 의해 증착 마스크 장치(10)를 자석(93)측으로 가까이 끌어당겨, 증착 마스크(20)를 유기 EL 기판(92)에 밀착시킬 수 있다. 이어서, 증착 장치(90)의 내부가 고진공 상태로 되도록, 증착 장치(90)의 내부를 도시하지 않은 배기 수단에 의해 배기한다. 이어서, 히터(96)가, 도가니(94)를 가열하여 증착 재료(98)를 증발시킨다. 그리고, 도가니(94)로부터 증발하여 증착 마스크 장치(10)에 도달한 증착 재료(98)는, 증착 마스크(20)의 관통 구멍(25)을 통하여 유기 EL 기판(92)에 부착된다(도 1 참조).

이와 같이 하여, 증착 마스크(20)의 관통 구멍(25)의 위치에 대응한 원하는 패턴으로, 증착 재료(98)가 유기 EL 기판(92)에 증착된다.

본 실시 형태에 의하면, 제조 장치(70)가, 연장부(17b)를 협지하는 클램프(72)를 구비하고 있다. 또한, 클램프(72)는, 클램프(72)가 증착 마스크(20)를 협지한 상태에 있어서, 용접부(17a)의 제2 면(20b)이 프레임(15)의 표면(15a)에 접촉하고, 또한, 연장부(17b)의 제2 면(20b)이 적어도 부분적으로 프레임(15)의 표면(15a)보다도 프레임(15)의 이면(15b)측에 위치한다. 바꿔 말하면, 증착 마스크(20)가, 제2 면(20b)의 적어도 일부가 프레임(15)의 표면(즉 제3 면)(15a)에 접촉하고, 또한, 증착 마스크(20)의 제1 면(20a)의 법선 방향 N으로부터 본 경우에, 증착 마스크(20) 중, 프레임(15)과 겹치지 않는 부분의 제2 면(20b)의 적어도 일부가, 프레임(15)의 표면(즉 제3 면)(15a)보다도 이면(즉 제4 면)(15b)측에 위치하고 있다. 이에 의해, 증착 마스크(20)를 프레임(15)의 표면(15a)보다도 프레임(15)의 이면(15b)측으로 당길 수 있다. 이 때문에, 증착 마스크(20)를 가장할 때에 증착 마스크(20)와 프레임(15)의 밀착성을 향상시킬 수 있다. 이 결과, 증착 마스크(20)에 휨이나 물결 형상이 발생하는 것을 억제할 수 있다. 또한, 증착 마스크(20)를 프레임(15)에 밀착시킬 수 있기 때문에, 증착 마스크(20)의 용접부의 용접 강도를 높일 수 있다.

또한, 본 실시 형태에 의하면, 스테이지(71)가, 법선 방향 N으로 이동 가능하다. 이에 의해, 프레임(15)과 클램프(72)의 위치 관계를 조절할 수 있다. 이에 의해, 증착 마스크(20)에 발생하는 인장 장력을 조절할 수 있고, 증착 마스크(20)에 휨이나 물결 형상이 발생하는 것을 보다 효과적으로 억제할 수 있다.

또한, 상술한 실시 형태에 대하여 다양한 변경을 가하는 것이 가능하다. 이하, 필요에 따라 도면을 참조하면서, 변형예에 대하여 설명한다. 이하의 설명 및 이하의 설명에서 사용하는 도면에서는, 상술한 실시 형태와 마찬가지로 구성될 수 있는 부분에 대해서, 상술한 실시 형태에 있어서의 대응하는 부분에 대하여 사용한 부호와 동일한 부호를 사용하는 것으로 하고, 중복되는 설명을 생략한다. 또한, 상술한 실시 형태에 있어서 얻어지는 작용 효과가 변형예에 있어서도 얻어지는 것이 명확한 경우, 그 설명을 생략하는 경우도 있다.

(증착 마스크의 제조 방법의 변형예)

상술한 본 실시 형태 및 변형예에 있어서는, 에칭에 의해 증착 마스크(20)를 제작하는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 증착 마스크(20)를 제작하기 위하여 채용되는 방법이, 에칭에 한정되는 일은 없다. 예를 들어, 상술한 특허문헌 2에 개시되어 있는 바와 같이, 도금 처리에 의해 금속판에 관통 구멍(25)을 형성함으로써 증착 마스크(20)를 제작해도 된다.

(귀부의 변형예)

상술한 본 실시 형태 및 변형예에 있어서는, 증착 마스크(20)의 귀부(17)의 두께와 중간부(18)의 두께가 동일한 예를 나타내었다. 그러나, 이것에 한정되는 일은 없고, 귀부(17)의 두께와 중간부(18)의 두께가 달라도 된다.

(프레임의 변형예)

상술한 본 실시의 형태 및 변형예에 있어서는, 프레임(15)의 외측면(15c)이, 증착 마스크(20)의 제1 면(20a)의 법선 방향 N을 따른 단면으로 보았을 때, 표면(15a)에 직교하도록 접속하고 있는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 이것에 한정되는 일은 없고, 도 22a에 도시하는 바와 같이, 표면(즉 제3 면)(15a)과 외측면(즉 제5 면)(15c) 사이에, 표면(즉 제3 면)(15a)과 외측면(즉 제5 면)(15c)을 연결하는 연결면(즉 제6 면)(15e)이 마련되어 있어도 된다. 또한, 도 22a에 나타내는 예에 있어서는, 표면(15a)은, 증착 마스크(20)의 제1 면(20a) 법선 방향 N을 따른 단면으로 보았을 때, 법선 방향 N에 직교하는 방향에 평행하게 연장되고, 외측면(15c)은, 법선 방향 N으로 연장되고 있다. 그리고, 연결면(15e)은, 표면(15a)과 외측면(15c) 사이에 마련되어 있다. 이 경우, 연결면(15e)은, 소위 모따기된 부분이어도 된다.

그런데, 증착 마스크(20)를 프레임(15)에 접합시키는 접합 공정을 실시하기 전에, 프레임(15)의 면 방향에 있어서의 증착 마스크(20)의 위치를 조정하는 위치 조정 공정을 실시하는 경우가 있다. 이때, 증착 마스크(20)가, 표면(15a)과 외측면(15c)이 접속하고 있는 부분에 접촉하는 것도 생각된다. 또한, 증착 마스크(20)에 장력을 가하는 가장 공정 시에, 증착 마스크(20) 중 표면(15a)과 외측면(15c)이 접속하고 있는 부분에 접촉하는 부분에, 국소적인 힘이 가해지는 것도 생각된다.

이에 비해 본 변형예에 의하면, 연결면(15e)을 형성함으로써, 표면(15a)과 외측면(15c)을 원활하게 접속할 수 있고, 위치 조정 공정 시에, 증착 마스크(20)가 프레임(15)에 접촉했을 때나, 증착 마스크(20)가 클램프(72)에 의해 가장되었을 때에, 증착 마스크(20)에 국소적인 힘이 가해지는 것을 억제할 수 있다. 이 때문에, 증착 마스크(20)와 프레임(15) 사이의 마찰을 저감할 수 있고, 증착 마스크(20)가 손상을 받는 것을 억제할 수 있다.

또한, 이 경우, 연결면(즉 제6 면)(15e)의 윤곽은, 제1 면(20a)의 법선 방향 N을 따라 본 경우에, 적어도 부분적으로 증착 마스크(20)를 향하여 볼록해지는 원호 형상을 갖고, 원호 형상의 곡률 반경 R은, 0.01mm 이상인 것이 바람직하고, 0.1mm 이상인 것이 보다 바람직하다. 곡률 반경 R을 0.01mm 이상으로 함으로써, 증착 마스크(20)를 클램프(72)에 의해 가장했을 때에, 증착 마스크(20)에 국소적인 힘이 가해지는 것을 억제할 수 있고, 증착 마스크(20)에 작용하는 마찰력을 효과적으로 저감할 수 있다. 또한, 곡률 반경 R을 0.1mm 이상으로 함으로써, 증착 마스크(20)를 클램프(72)에 의해 가장했을 때에, 증착 마스크(20)에 국소적인 힘이 가해지는 것을 더욱 억제할 수 있고, 증착 마스크(20)에 작용하는 마찰력을 더욱 효과적으로 저감할 수 있다. 또한, 원호 형상의 곡률 반경 R은, 2.00m 이하인 것이 바람직하고, 1.50mm 이하인 것이 보다 바람직하다. 곡률 반경 R을 2.00mm 이하로 함으로써, 표면(15a)과 외측면(15c)을 원활하게 접속할 수 있고, 위치 조정 공정 시에, 증착 마스크(20)가 프레임(15)에 접촉했을 때나, 증착 마스크(20)가 클램프(72)에 의해 가장되었을 때에, 증착 마스크(20)에 국소적인 힘이 가해지는 것을 억제할 수 있다. 또한, 곡률 반경 R을 1.50mm 이하로 함으로써, 표면(15a)과 외측면(15c)을 더욱 원활하게 접속할 수 있고, 위치 조정 공정 시에, 증착 마스크(20)가 프레임(15)에 접촉했을 때나, 증착 마스크(20)가 클램프(72)에 의해 가장되었을 때에, 증착 마스크(20)에 국소적인 힘이 가해지는 것을 더욱 억제할 수 있다.

이러한, 곡률 반경 R은, 예를 들어 0.01mm 이상이어도 되고, 0.05mm 이상이어도 되고, 0.15mm 이상이어도 되고, 0.20mm 이상이어도 된다. 또한, 곡률 반경 R은, 2.00mm 이하여도 되고, 1.50mm 이하여도 되고, 1.00mm 이하여도 되고, 0.50mm 이하여도 된다. 곡률 반경 R은, 상술한 복수의 상한의 후보 값 중 임의의 하나와, 상술한 복수의 하한의 후보 값 중 임의의 하나의 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, 곡률 반경 R은, 0.01mm 이상 2.00mm 이하여도 되고, 0.05mm 이상 1.50mm 이하여도 되고, 0.15mm 이상 1.00mm 이하여도 되고, 0.20mm 이상 0.50mm 이하여도 된다. 또한, 곡률 반경 R은, 상술한 복수의 상한의 후보 값 중 임의의 둘의 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, 곡률 반경 R은, 0.50mm 이상 1.50mm 이하여도 된다. 또한, 곡률 반경 R은, 상술한 복수의 하한의 후보 값 중 임의의 둘의 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, 곡률 반경 R은, 0.01mm 이상 0.20mm 이하여도 된다.

또한, 이 연결면(즉 제6 면)(15e)의 윤곽은, 제1 면(20a)의 법선 방향 N을 따라 본 경우에, 다양한 형상을 갖고 있어도 된다. 예를 들어, 도 22b에 도시하는 바와 같이, 연결면(즉 제6 면)(15e)의 윤곽이, 제1 면(20a)의 법선 방향 N을 따라 본 경우에, 직선형으로 형성되어 있어도 된다.

또한, 연결면(즉 제6 면)(15e)의 윤곽이, 제1 면(20a)의 법선 방향 N을 따라 본 경우에, 요철 형상을 갖고 있어도 된다. 예를 들어, 도 22c에 도시하는 바와 같이, 연결면(즉 제6 면)(15e)의 윤곽이, 제1 면(20a)의 법선 방향 N을 따라 본 경우에, 단차를 형성하고 있어도 된다. 이 경우, 위치 조정 공정 시에, 증착 마스크(20)가 프레임(15)에 접촉했을 때나, 증착 마스크(20)가 클램프(72)에 의해 가장되었을 때에, 증착 마스크(20)에 국소적인 힘이 가해지는 것을 더욱 억제할 수 있다. 이 때문에, 증착 마스크(20)와 프레임(15) 사이의 마찰을 저감할 수 있고, 증착 마스크(20)가 손상을 받는 것을 더욱 억제할 수 있다. 또한, 예를 들어 도 22d에 도시하는 바와 같이, 연결면(즉 제6 면)(15e)의 윤곽이, 제1 면(20a)의 법선 방향 N을 따라 본 경우에, 물결 형상을 갖고 있어도 된다. 이 경우, 위치 조정 공정 시에, 증착 마스크(20)가 프레임(15)에 접촉했을 때나, 증착 마스크(20)가 클램프(72)에 의해 가장되었을 때에, 증착 마스크(20)에 국소적인 힘이 가해지는 것을 더욱 효과적으로 억제할 수 있다. 이 때문에, 증착 마스크(20)와 프레임(15) 사이의 마찰을 저감할 수 있고, 증착 마스크(20)가 손상을 받는 것을 더욱 효과적으로 억제할 수 있다. 이들의 경우, 이때, 요철 형상의 높이 H3(가장 돌출된 부분과 가장 오목해진 부분의 차)은, 예를 들어 0.01mm 이상이어도 되고, 0.05mm 이상이어도 되고, 0.10mm 이상이어도 되고, 0.50mm 이상이어도 되고, 1.00mm 이상이어도 된다. 또한, 요철 형상의 높이 H3은, 3.00mm 이하여도 되고, 2.50mm 이하여도 되고, 2.00mm 이하여도 된다. 요철 형상의 높이 H3은, 상술한 복수의 상한의 후보 값 중 임의의 하나와, 상술한 복수의 하한의 후보 값 중 임의의 하나의 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, 요철 형상의 높이 H3은, 0.01mm 이상 3.00mm 이하여도 되고, 0.05mm 이상 2.50mm 이하여도 되고, 1.00mm 이상 2.00mm 이하여도 된다. 또한, 요철 형상의 높이 H3은, 상술한 복수의 상한의 후보 값 중 임의의 둘의 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, 요철 형상의 높이 H3은, 2.00mm 이상 2.50mm 이하여도 된다. 또한, 요철 형상의 높이 H3은, 상술한 복수의 하한의 후보 값 중 임의의 둘의 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, 요철 형상의 높이 H3은, 0.01mm 이상 0.50mm 이하여도 된다. 또한, 요철 형상의 높이 H3이, 0.01mm 이상임으로써, 요철 형상의 성형성을 향상시킬 수 있고, 연결면(15e)을 용이하게 형성할 수 있다. 또한, 요철 형상의 높이 H3이, 3.00mm 이하임으로써, 위치 조정 공정 시에, 증착 마스크(20)가 프레임(15)에 접촉했을 때나, 증착 마스크(20)가 클램프(72)에 의해 가장되었을 때에, 증착 마스크(20)에 국소적인 힘이 가해지는 것을 더욱 억제할 수 있다. 이 때문에, 증착 마스크(20)와 프레임(15) 사이의 마찰을 저감할 수 있고, 증착 마스크(20)가 손상을 받는 것을 더욱 억제할 수 있다.

(증착 마스크 장치의 제조 장치의 제1 변형예)

상술한 본 실시 형태에 있어서는, 제조 장치(70)의 스테이지(71)를 제1 면(20a)의 법선 방향 N으로 이동시키는 예를 나타내었다. 그러나, 이것에 한정되는 일은 없고, 예를 들어 지그(700)를 제1 면(20a)의 법선 방향 N으로 이동시키게 해도 된다. 이 경우, 예를 들어 제1 클램프(72A) 및 제2 클램프(72B) 중 적어도 한쪽을, 제1 면(20a)의 법선 방향 N으로 이동시키게 해도 된다.

이 경우, 도 23에 도시하는 바와 같이, 구동 수단(77)을 구동시킴으로써 클램프(72)를 제1 면(20a)의 법선 방향 N으로 이동시킨다. 이에 의해, 제1 클램프(72A) 및 제2 클램프(72B) 중 적어도 한쪽을, 제1 면(20a)의 법선 방향 N으로 이동 가능하게 할 수 있다. 이 경우에 있어서도, 프레임(15)와 클램프(72)의 위치 관계를 조절할 수 있고, 용접부(17a)의 제2 면(20b)이 프레임(15)의 표면(15a)에 접촉하고, 또한, 연장부(17b)의 제2 면(20b)이 적어도 부분적으로 프레임(15)의 표면(15a)보다도 프레임(15)의 이면(15b)측에 위치하도록, 증착 마스크에 장력을 가할 수 있다. 이들의 제1 클램프(72A) 및 제2 클램프(72B)는, 각각이 제1 면(20a)의 법선 방향 N으로 이동 가능하게 되어 있는 경우, 각각이 협동하여 이동하도록 구성되어 있어도 되고, 독립적으로 이동하도록 구성되어 있어도 된다. 또한, 이 경우, 지그(700)와 함께, 제조 장치(70)의 스테이지(71)를 제1 면(20a)의 법선 방향 N으로 이동시켜도 된다.

(증착 마스크 장치의 제조 장치의 제2 변형예)

상술한 변형예에 있어서는, 증착 마스크(20)에 장력을 가하는 가장 공정에 있어서, 제1 클램프(72A) 및 제2 클램프(72B) 중 적어도 한쪽을, 제1 면(20a)의 법선 방향 N으로 이동시키는 예를 나타내었다. 그러나, 이것에 한정되는 일은 없고, 예를 들어 지그(700)를 제1 면(20a)의 면 방향을 따라서 이동시키게 해도 된다. 이 경우, 예를 들어 제1 클램프(72A) 및 제2 클램프(72B) 중 적어도 한쪽을, 제1 면(20a)의 면 방향을 따라서 이동시켜도 된다. 이때, 예를 들어 제1 클램프(72A) 및 제2 클램프(72B) 중 적어도 한쪽을, 제1 클램프(72A)와 제2 클램프(72B)가 서로 이격하는 방향으로 이동시켜도 된다.

이 경우, 도 24에 도시하는 바와 같이, 구동 수단(77)을 구동시킴으로써 제1 클램프(72A) 및 제2 클램프(72B) 중 적어도 한쪽을, 증착 마스크(20)의 제1 면(20a)의 면 방향으로 이동시킨다. 이 경우에 있어서도, 프레임(15)과 클램프(72)의 위치 관계를 조절할 수 있고, 용접부(17a)의 제2 면(20b)이 프레임(15)의 표면(15a)에 접촉하고, 또한, 연장부(17b)의 제2 면(20b)이 적어도 부분적으로 프레임(15)의 표면(15a)보다도 프레임(15)의 이면(15b)측에 위치하도록, 증착 마스크에 장력을 가할 수 있다. 또한, 이 경우에 있어서도 지그(700)를, 증착 마스크(20)의 제1 면(20a)의 면 방향으로 이동시킴과 함께 제1 면(20a)의 법선 방향 N으로 이동시켜도 된다. 또한, 지그(700)와 함께, 제조 장치(70)의 스테이지(71)를 제1 면(20a)의 법선 방향 N으로 이동시켜도 된다.

(증착 마스크 장치의 제조 장치의 제3 변형예)

또한 상술한 본 실시 형태에 있어서는, 제조 장치(70)가 제조하는 증착 마스크 장치(10)가, 프레임(15)에 복수의 증착 마스크(20)가 할당된 증착 마스크 장치(10)를 사용하고 있는 예를 나타내었다. 그러나, 이것에 한정되는 일은 없고, 도 25에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크 장치(10)가, 격자상으로 배치된 복수의 유효 영역(22)을 갖는 단일의 증착 마스크(20)를 사용해도 된다. 이 경우, 제조 장치(70)가, 증착 마스크(20)의 4변에 있어서, 귀부(17)의 연장부(17b)를 협지하도록, 증착 마스크(20)의 4변에 대응하는 클램프(72)를 구비하게 해도 된다.

(증착 마스크 장치의 제조 장치의 제4 변형예)

또한 상술한 본 실시 형태에 있어서는, 예를 들어 제조 장치(70)가, 하나의 연장부(17b)를 두 클램프(72)에 의해 협지하도록 구성되어 있는 예를 나타내었다. 그러나, 이것에 한정되는 일은 없고, 도 26a에 도시하는 바와 같이, 하나의 연장부(17b)에 대하여, 연장부(17b)를 파지하는 클램프(72)의 개수가 하나여도 된다. 이 경우에 있어서도, 용접부(17a)의 제2 면(20b)이 프레임(15)의 표면(15a)에 접촉하고, 또한, 연장부(17b)의 제2 면(20b)이 적어도 부분적으로 프레임(15)의 표면(15a)보다도 프레임(15)의 이면(15b)측에 위치하도록, 증착 마스크에 장력을 가할 수 있다.

(증착 마스크 장치의 제조 장치의 제5 변형예)

또한 도 26b에 도시하는 바와 같이, 하나의 연장부(17b)에 대하여, 연장부(17b)를 파지하는 클램프(72)의 개수가 셋이어도 된다. 이 경우, 증착 마스크(20)에 대하여 더욱 효과적으로 장력을 가할 수 있다.

(증착 마스크 장치의 제조 장치의 제6 변형예)

또한 상술한 본 실시 형태에 있어서는, 제조 장치(70)가, 하나의 연장부(17b)를 두 클램프(72)에 의해 협지하고, 두 클램프(72)가, 서로 평행하게 배치되어 있는 예를 나타내었다. 그러나, 이것에 한정되는 일은 없고, 도 27에 도시하는 바와 같이, 두 클램프(72)가 증착 마스크(20)의 외측을 향함에 따라서 서로로부터 이격되게 배치되어 있어도 된다. 이 경우, 증착 마스크(20)에 대하여 제1 면(20a)의 면 방향을 따라서 더욱 효과적으로 장력을 가할 수 있다. 이 때문에, 증착 마스크(20)와 프레임(15)의 밀착성을 더욱 향상시킬 수 있다. 이 결과, 증착 마스크(20)에 휨이나 물결 형상이 발생하는 것을 더욱 효과적으로 억제할 수 있다.

(증착 마스크 장치의 제조 장치의 제7 변형예)

또한 도 28에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(20)의 한 쌍의 귀부(17) 중 한쪽 귀부(17)의 연장부(17b)를, 두 제1 클램프(72A)에 의해 협지하고, 증착 마스크(20)의 한 쌍의 귀부(17) 중 다른 쪽 귀부(17)의 연장부(17b)를, 하나의 제2 클램프(72B)에 의해 협지해도 된다. 이 경우, 두 제1 클램프(72A)는, 두 클램프(72A)가 증착 마스크(20)의 외측을 향함에 따라서 서로로부터 이격되게 배치되어 있어도 된다. 또한, 도시는 하지 않지만, 증착 마스크(20)의 한 쌍의 귀부(17) 중 한쪽 귀부(17)의 연장부(17b)를, 하나의 제1 클램프(72A)에 의해 협지하고, 증착 마스크(20)의 한 쌍의 귀부(17) 중 다른 쪽 귀부(17)의 연장부(17b)를, 두 제2 클램프(72B)에 의해 협지해도 된다. 또한, 이 경우, 두 제2 클램프(72B)는, 두 클램프(72B)가 증착 마스크(20)의 외측을 향함에 따라서 서로로부터 이격되게 배치되어 있어도 된다. 이 경우에 있어서도, 증착 마스크(20)에 대하여 제1 면(20a)의 면 방향을 따라서 효과적으로 장력을 가할 수 있다. 이 때문에, 증착 마스크(20)와 프레임(15)의 밀착성을 더욱 향상시킬 수 있다. 이 결과, 증착 마스크(20)에 휨이나 물결 형상이 발생하는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.

(증착 마스크 장치의 제조 장치의 제8 변형예)

또한 상술한 본 실시 형태에 있어서는, 지그(700)가 클램프(72)이고, 클램프(72)가 증착 마스크(20)를 협지하는 예를 나타내었다. 그러나, 이것에 한정되는 일은 없고, 도 29에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(20)의 제1 면(20a)에 오목부(20c)가 형성되고, 클램프(72)의 가동부(72c)가 오목부(20c)와 끼워 맞추도록 구성되어 있어도 된다. 이 경우에 있어서도, 클램프(72)가 증착 마스크(20)를 지지할 수 있기 때문에, 증착 마스크(20)에 대하여 장력을 가할 수 있다.

(증착 마스크 장치의 제조 장치의 제9 변형예)

또한 상술한 본 실시 형태에 있어서는, 지그(700)가 클램프(72)인 예를 나타내었다. 그러나, 이것에 한정되는 일은 없고, 도 30에 도시하는 바와 같이, 지그(700)가, 지지판(721)에 의해 구성되어 있어도 된다. 이 경우, 증착 마스크(20)를 지지판(721)에 용접함으로써, 증착 마스크(20)를 지지판(721)에 대하여 고정할 수 있다. 또한, 부호(722)는, 증착 마스크(20)를 지지판(721)에 용접한 것에 기인하여, 증착 마스크(20) 및 지지판(721)의 일부에 형성된 흔적을 나타내고 있다. 이 경우, 지그(700)가 증착 마스크(20)를 견고하게 지지할 수 있기 때문에, 증착 마스크(20)와 프레임(15)의 밀착성을 더욱 향상시킬 수 있다.

(증착 마스크 장치의 제조 장치의 제10 변형예)

또한 도 31에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(20)가 접착제(723)에 의해, 지지판(721)에 대하여 고정되어 있어도 된다. 이 경우에 있어서도, 지그(700)가 증착 마스크(20)를 견고하게 지지할 수 있기 때문에, 증착 마스크(20)와 프레임(15)의 밀착성을 더욱 향상시킬 수 있다.

(증착 마스크 장치의 제조 장치의 제11 변형예)

또한 도 31에 도시하는 바와 같이, 지그(700)가, 지지판(721)과, 지지판(721)으로부터 돌출되는 돌기(724)여도 된다. 이 경우, 증착 마스크(20)의 제2 면(20b)에 오목부(20c)가 형성되고, 돌기(724)가 오목부(20c)와 끼워 맞춰져 있다. 이에 의해 지그(700)가 증착 마스크(20)를 지지할 수 있다. 이 경우, 간편한 구조에 의해, 지그(700)가 증착 마스크(20)를 지지할 수 있음과 함께, 지그(700)로부터 증착 마스크(20)를 제거할 때에는, 증착 마스크(20)를 용이하게 분리할 수 있다.

(증착 마스크 장치의 제조 장치의 제12 변형예)

또한 도 32에 도시하는 바와 같이, 지그(700)가, 지지판(721) 및 볼트(725)에 의해 구성되어 있어도 된다. 이 경우, 증착 마스크(20)를 지지판(721)에 볼트 조임함으로써, 증착 마스크(20)를 지지판(721)에 대하여 고정할 수 있다. 이 경우에 있어서도, 지그(700)가 증착 마스크(20)를 견고하게 지지할 수 있기 때문에, 증착 마스크(20)와 프레임(15)의 밀착성을 더욱 향상시킬 수 있다.

(증착 마스크 장치의 제조 장치의 제13 변형예)

또한 상술한 본 실시 형태에 있어서는, 지그(700)가, 지지판(721) 및 자석(726)에 의해 구성되어 있어도 된다. 이 경우, 자력에 의해, 증착 마스크(20)를 지지판(721)에 밀착시킴으로써, 지그(700)가 증착 마스크(20)를 지지할 수 있다. 이 경우에 있어서도, 간편한 구조에 의해, 지그(700)가 증착 마스크(20)를 지지할 수 있음과 함께, 지그(700)로부터 증착 마스크(20)를 제거할 때에는, 증착 마스크(20)를 용이하게 분리할 수 있다.

Claims

증착 마스크 장치의 제조 방법이며,
제1 면으로부터 제2 면에 이르는 복수의 관통 구멍을 포함하는 증착 마스크를 준비하는 준비 공정과,
표면과 상기 표면에 대향하는 이면을 포함하는 프레임의 상기 표면에, 상기 증착 마스크를 용접하는 용접 공정을 구비하고,
상기 증착 마스크는, 한 쌍의 단부를 구성하는 한 쌍의 귀부와, 상기 한 쌍의 귀부 사이에 위치하는 중간부를 갖고,
상기 한 쌍의 귀부가 각각, 상기 프레임의 상기 표면에 용접되는 용접부와, 상기 용접부와 상기 증착 마스크의 상기 단부 사이에 위치하는 연장부를 포함하고,
상기 용접 공정은,
상기 용접부의 상기 제2 면이 상기 프레임의 상기 표면에 접촉하고, 또한, 상기 연장부의 상기 제2 면이 적어도 부분적으로 상기 프레임의 상기 표면보다도 상기 프레임의 상기 이면측에 위치하도록 상기 증착 마스크에 장력을 가하는 공정과,
상기 증착 마스크에 상기 장력이 가해진 상태에서, 상기 증착 마스크의 상기 용접부를 상기 프레임에 접합하는 공정을 갖고,
상기 용접부의 상기 제2 면이 접촉하는 상기 표면은 상기 중간부의 상기 제1 면의 법선 방향을 따른 단면으로 보았을 때, 상기 법선 방향에 직교하는 방향으로 평행하게 연장되어 있고,
상기 용접부에 상기 귀부 및 상기 프레임이 서로 접합된 부분인 접합부가 형성되고,
상기 접합부는 용접 자국을 포함하고,
상기 용접 자국은 상기 제1 면에 대하여 상기 제2 면측으로 오목해지도록 형성되어 있는, 증착 마스크 장치의 제조 방법.
제1항에 있어서, 상기 용접부를 상기 프레임에 접합하는 공정에 있어서, 상기 제1 면측에서 레이저광을 조사하는, 증착 마스크 장치의 제조 방법.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 증착 마스크에 장력을 가하는 공정에 있어서, 상기 프레임을 상기 제1 면의 법선 방향으로 이동시키는, 증착 마스크 장치의 제조 방법.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 증착 마스크에 장력을 가하는 공정에 있어서, 지그에 의해 상기 증착 마스크를 지지하는, 증착 마스크 장치의 제조 방법.
제4항에 있어서, 상기 지그는, 클램프인, 증착 마스크 장치의 제조 방법.
제5항에 있어서, 상기 증착 마스크에 장력을 가하는 공정에 있어서, 상기 클램프에 의해 상기 증착 마스크의 상기 연장부를 협지하는, 증착 마스크 장치의 제조 방법.
제6항에 있어서, 상기 클램프는, 상기 한 쌍의 귀부 중 한쪽 귀부의 상기 연장부를 협지하는 제1 클램프와, 상기 한 쌍의 귀부 중 다른 쪽 귀부의 상기 연장부를 협지하는 제2 클램프를 갖는, 증착 마스크 장치의 제조 방법.
제7항에 있어서, 상기 증착 마스크에 장력을 가하는 공정에 있어서, 상기 제1 클램프 및 상기 제2 클램프 중 적어도 한쪽을, 상기 제1 면의 법선 방향으로 이동시키는, 증착 마스크 장치의 제조 방법.
제7항에 있어서, 상기 증착 마스크에 장력을 가하는 공정에 있어서, 상기 제1 클램프 및 상기 제2 클램프 중 적어도 한쪽을, 상기 제1 면의 면 방향을 따라서 이동시키는, 증착 마스크 장치의 제조 방법.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 프레임은, 상기 표면과 상기 이면 사이에 연장되는 외측면을 포함하고, 상기 표면과, 상기 외측면 사이에, 상기 표면과 상기 외측면을 연결하는 연결면이 마련되어 있는, 증착 마스크 장치의 제조 방법.
제10항에 있어서, 상기 연결면의 윤곽은, 상기 제1 면의 법선 방향을 따른 단면으로 보았을 때에, 적어도 부분적으로 상기 증착 마스크를 향하여 볼록해지는 원호 형상을 갖고, 상기 원호 형상의 곡률 반경은, 0.1mm 이상인, 증착 마스크 장치의 제조 방법.
제1 면으로부터 제2 면에 이르는 복수의 관통 구멍을 포함하는 증착 마스크와, 상기 증착 마스크의 상기 제2 면에 면하는 표면과 상기 표면에 대향하는 이면을 포함하는 프레임을 구비하는 증착 마스크 장치를 제조하기 위한 증착 마스크 장치의 제조 장치이며,
상기 증착 마스크를 지지하는 지그와,
상기 프레임과 접촉하는 스테이지를 구비하고,
상기 증착 마스크는, 한 쌍의 단부를 구성하는 한 쌍의 귀부와, 상기 한 쌍의 귀부 사이에 위치하는 중간부를 갖고,
상기 한 쌍의 귀부가 각각, 상기 프레임의 상기 표면에 용접되는 용접부와, 상기 용접부와 상기 증착 마스크의 상기 단부 사이에 위치하는 연장부를 포함하고,
상기 지그는, 상기 증착 마스크의 상기 연장부를 지지하고,
상기 지그가 상기 증착 마스크를 지지한 상태에 있어서, 상기 용접부의 상기 제2 면이 상기 프레임의 상기 표면에 접촉하고, 또한, 상기 연장부의 상기 제2 면이 적어도 부분적으로 상기 프레임의 상기 표면보다도 상기 프레임의 상기 이면측에 위치하고,
상기 용접부의 상기 제2 면이 접촉하는 상기 표면은 상기 중간부의 상기 제1 면의 법선 방향을 따른 단면으로 보았을 때, 상기 법선 방향에 직교하는 방향으로 평행하게 연장되어 있고,
상기 용접부에 상기 귀부 및 상기 프레임이 서로 접합된 부분인 접합부가 형성되고,
상기 접합부는 용접 자국을 포함하고,
상기 용접 자국은 상기 제1 면에 대하여 상기 제2 면측으로 오목해지도록 형성되어 있는, 증착 마스크 장치의 제조 장치.
제12항에 있어서, 상기 스테이지는, 상기 제1 면의 법선 방향으로 이동 가능한, 증착 마스크 장치의 제조 장치.
제12항 또는 제13항에 있어서, 상기 지그는, 상기 증착 마스크의 상기 연장부를 협지하는 클램프인, 증착 마스크 장치의 제조 장치.
제14항에 있어서, 상기 클램프는, 상기 증착 마스크의 상기 한 쌍의 귀부 중 한쪽 귀부의 상기 연장부를 협지하는 제1 클램프와, 상기 한 쌍의 귀부 중 다른 쪽 귀부의 상기 연장부를 협지하는 제2 클램프를 갖고 있는, 증착 마스크 장치의 제조 장치.
제15항에 있어서, 상기 제1 클램프 및 상기 제2 클램프 중 적어도 한쪽은, 상기 제1 면의 법선 방향으로 이동 가능한, 증착 마스크 장치의 제조 장치.
제15항에 있어서, 상기 제1 클램프 및 상기 제2 클램프 중 적어도 한쪽은, 상기 제1 면의 면 방향을 따라서 이동 가능한, 증착 마스크 장치의 제조 장치.
제12항 또는 제13항에 있어서, 상기 프레임은, 상기 표면과 상기 이면 사이에 연장되는 외측면을 포함하고, 상기 표면과, 상기 외측면 사이에, 상기 표면과 상기 외측면을 연결하는 연결면이 마련되어 있는, 증착 마스크 장치의 제조 장치.
제18항에 있어서, 상기 연결면의 윤곽은, 상기 제1 면의 법선 방향을 따른 단면으로 보았을 때에, 적어도 부분적으로 상기 증착 마스크를 향하여 볼록해지는 원호 형상을 갖고, 상기 원호 형상의 곡률 반경은, 0.1mm 이상인, 증착 마스크 장치의 제조 장치.
제12항 또는 제13항에 있어서, 상기 증착 마스크와 상기 프레임을 서로 접합하는 용접 장치를 추가로 구비하는, 증착 마스크 장치의 제조 장치.
증착 마스크 장치의 제조 방법이며,
상기 증착 마스크 장치는,
제1 면과, 상기 제1 면에 대향하는 제2 면과, 상기 제1 면으로부터 상기 제2 면에 이르는 복수의 관통 구멍을 갖는 증착 마스크와,
제3 면과, 상기 제3 면에 대향하는 제4 면을 갖는 프레임을 포함하고,
상기 증착 마스크는 상기 프레임의 상기 제3 면에 용접되는 용접부를 포함하고,
상기 증착 마스크 장치의 제조 방법은,
상기 증착 마스크를 준비하는 공정과,
상기 제2 면의 적어도 일부가 상기 제3 면에 접촉하고, 또한, 상기 제1 면의 법선 방향으로부터 본 경우에, 상기 증착 마스크 중, 상기 프레임과 겹치지 않는 부분의 상기 제2 면의 적어도 일부를, 상기 제3 면보다도 상기 제4 면측에 위치시켜서, 상기 증착 마스크에 장력을 가하는 공정과,
상기 증착 마스크를 상기 프레임에 용접하는 공정을 갖고,
상기 용접부의 상기 제2 면이 접촉하는 상기 제3 면은 상기 복수의 관통 구멍 사이의 상기 제1 면의 법선 방향을 따른 단면으로 보았을 때, 상기 법선 방향에 직교하는 방향으로 평행하게 연장되어 있고,
상기 용접부에 상기 증착 마스크 및 상기 프레임이 서로 접합된 부분인 접합부가 형성되고,
상기 접합부는 용접 자국을 포함하고,
상기 용접 자국은 상기 제1 면에 대하여 상기 제2 면측으로 오목해지도록 형성되어 있는, 증착 마스크 장치의 제조 방법.
제21항에 있어서, 상기 증착 마스크를 상기 프레임에 용접하는 공정에 있어서, 상기 제1 면측에서 레이저광을 조사하는, 증착 마스크 장치의 제조 방법.
제21항 또는 제22항에 있어서, 상기 증착 마스크에 장력을 가하는 공정에 있어서, 상기 프레임을 상기 제1 면의 법선 방향으로 이동시키는, 증착 마스크 장치의 제조 방법.
제21항 또는 제22항에 있어서, 상기 증착 마스크에 장력을 가하는 공정에 있어서, 지그에 의해 상기 증착 마스크를 지지하는, 증착 마스크 장치의 제조 방법.
제24항에 있어서, 상기 지그는, 클램프인, 증착 마스크 장치의 제조 방법.
제25항에 있어서, 상기 클램프는, 제1 클램프와, 상기 증착 마스크를 사이에 두고 상기 제1 클램프의 반대측에 위치하는 제2 클램프를 갖는, 증착 마스크 장치의 제조 방법.
제26항에 있어서, 상기 증착 마스크에 장력을 가하는 공정에 있어서, 상기 제1 클램프 및 상기 제2 클램프 중 적어도 한쪽을, 상기 제1 면의 법선 방향으로 이동시키는, 증착 마스크 장치의 제조 방법.
제26항에 있어서, 상기 증착 마스크에 장력을 가하는 공정에 있어서, 상기 제1 클램프 및 상기 제2 클램프 중 적어도 한쪽을, 상기 증착 마스크의 상기 제1 면의 면 방향을 따라서 이동시키는, 증착 마스크 장치의 제조 방법.
제21항 또는 제22항에 있어서, 상기 프레임은, 상기 제3 면과 상기 제4 면 사이에 연장되는 제5 면을 포함하고, 상기 제3 면과, 상기 제5 면 사이에, 상기 제3 면과 상기 제5 면을 연결하는 제6 면이 마련되어 있는, 증착 마스크 장치의 제조 방법.
제29항에 있어서, 상기 제6 면의 윤곽은, 상기 제1 면의 법선 방향을 따른 단면으로 보았을 때에, 적어도 부분적으로 상기 증착 마스크를 향하여 볼록해지는 원호 형상을 갖고, 상기 원호 형상의 곡률 반경은, 0.1mm 이상인, 증착 마스크 장치의 제조 방법.
증착 마스크 장치의 제조 장치이며,
상기 증착 마스크 장치는,
제1 면과, 상기 제1 면에 대향하는 제2 면과, 상기 제1 면으로부터 상기 제2 면에 이르는 복수의 관통 구멍을 갖는 증착 마스크와,
제3 면과, 상기 제3 면에 대향하는 제4 면을 갖는 프레임을 포함하고,
상기 증착 마스크는 상기 프레임의 상기 제3 면에 용접되는 용접부를 포함하고,
상기 증착 마스크 장치의 제조 장치는,
상기 증착 마스크를 지지하는 지그와,
상기 프레임과 접촉하는 스테이지를 구비하고,
상기 증착 마스크는, 상기 제2 면의 적어도 일부가 상기 제3 면에 접촉하고, 또한, 상기 제1 면의 법선 방향으로부터 본 경우에, 상기 증착 마스크 중, 상기 프레임과 겹치지 않는 부분의 상기 제2 면의 적어도 일부가, 상기 제3 면보다도 상기 제4 면측에 위치하고 있고,
상기 용접부의 상기 제2 면이 접촉하는 상기 제3 면은 상기 복수의 관통 구멍 사이의 상기 제1 면의 법선 방향을 따른 단면으로 보았을 때, 상기 법선 방향에 직교하는 방향으로 평행하게 연장되어 있고,
상기 용접부에 상기 증착 마스크 및 상기 프레임이 서로 접합된 부분인 접합부가 형성되고,
상기 접합부는 용접 자국을 포함하고,
상기 용접 자국은 상기 제1 면에 대하여 상기 제2 면측으로 오목해지도록 형성되어 있는, 증착 마스크 장치의 제조 장치.
제31항에 있어서, 상기 스테이지는, 상기 제1 면의 법선 방향으로 이동 가능한, 증착 마스크 장치의 제조 장치.
제31항 또는 제32항에 있어서, 상기 지그는, 클램프인, 증착 마스크 장치의 제조 장치.
제33항에 있어서, 상기 클램프는, 제1 클램프와, 상기 증착 마스크를 사이에 두고 상기 제1 클램프의 반대측에 위치하는 제2 클램프를 갖는, 증착 마스크 장치의 제조 장치.
제34항에 있어서, 상기 제1 클램프 및 상기 제2 클램프 중 적어도 한쪽은, 상기 제1 면의 법선 방향으로 이동 가능한, 증착 마스크 장치의 제조 장치.
제34항에 있어서, 상기 제1 클램프 및 상기 제2 클램프 중 적어도 한쪽은, 상기 제1 면의 면 방향을 따라서 이동 가능한, 증착 마스크 장치의 제조 장치.
제31항 또는 제32항에 있어서, 상기 프레임은, 상기 제3 면과 상기 제4 면 사이에 연장되는 제5 면을 포함하고, 상기 제3 면과, 상기 제5 면 사이에, 상기 제3 면과 상기 제5 면을 연결하는 제6 면이 마련되어 있는, 증착 마스크 장치의 제조 장치.
제37항에 있어서, 상기 제6 면의 윤곽은, 상기 제1 면의 법선 방향을 따른 단면으로 보았을 때에, 적어도 부분적으로 상기 증착 마스크를 향하여 볼록해지는 원호 형상을 갖고, 상기 원호 형상의 곡률 반경은, 0.1mm 이상인, 증착 마스크 장치의 제조 장치.
제31항 또는 제32항에 있어서, 상기 증착 마스크와 상기 프레임을 서로 접합하는 용접 장치를 추가로 구비하는, 증착 마스크 장치의 제조 장치.