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KR102655946B1 - 물품 반송 장치 - Google Patents

물품 반송 장치 Download PDF

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KR102655946B1
KR102655946B1 KR1020210192716A KR20210192716A KR102655946B1 KR 102655946 B1 KR102655946 B1 KR 102655946B1 KR 1020210192716 A KR1020210192716 A KR 1020210192716A KR 20210192716 A KR20210192716 A KR 20210192716A KR 102655946 B1 KR102655946 B1 KR 102655946B1
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article
goods
transport device
vehicle body
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KR1020210192716A
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박노재
Original Assignee
세메스 주식회사
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Publication date
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Abstract

물품 반송 장치가 개시된다. 물품 반송 장치는 처리 장치들이 연속적으로 배치된 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일; 및 상기 주행 레일을 주행하며, 상기 처리 장치의 탑재 장소와 물품을 주고받을 수 있는 반송 유닛을 포함하고, 상기 반송 유닛은, 상기 주행 레일을 따라 주행하는 비히클; 상기 비히클과 연결되고, 물품이 적재되는 적재부들을 제공하는 차량 본체; 상기 차량 본체에 설치되고, 상기 탑재 장소 및 상기 적재부 각각과 물품을 주고 받을 수 있는 호이스트 모듈; 및 상기 호이스트 모듈이 상기 적재부들 중 어느 하나의 적재부 상에 위치하도록 상기 차량 본체에서 상기 호이스트 모듈을 수평 방향으로 이동시키는 수평 이동부재를 포함하며, 상기 적재부는 상기 비히클의 주행 방향을 따라 물품들이 일렬로 적재되는 직선형 배치 또는 물품이 출입할 수 있는 중앙 개구를 중심으로 물품들이 사방에 적재되는 사방형 배치를 갖는다.

Description

물품 반송 장치{Transferring apparatus}
본 발명은 물품 반송 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위해서는 증착, 사진, 그리고 식각 공정과 같은 다양한 종류의 공정들이 수행되며, 이들 각각의 공정을 수행하는 장치들은 반도체 제조 라인 내에 배치된다. 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 웨이퍼 등의 대상물들은 풉(FOUP) 등의 용기에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치에 제공될 수 있다. 또한, 공정이 수행된 대상물들은 각 반도체 공정 장치로부터 용기로 회수되고, 회수된 용기는 외부로 반송될 수 있다.
용기는 오버 헤드 호이스트 트랜스퍼(Overhead Hoist Transport, 이하 OHT)에 의해 이송된다. OHT는 대상물이 수납된 용기를 반도체 공정 장치들 중 어느 하나의 로드 포트로 이송한다. 또한, OHT는 공정 처리된 대상물이 수납된 용기를 로드 포트로부터 픽업하여 외부로 반송하거나, 반도체 공정 장치들 중 다른 하나로 반송할 수 있다.
그러나, 현재의 OHT는 1대의 OHT에 1개의 재하(용기)만 가지고 이동할 수 있다. 목적지가 동일한 재하(용기)들을 반송하는 경우, 재하 개수와 동일한 OHT가 필요하여 OHT 병목 현상과 같은 비효율적인 비정상 반송 상황이 발생한다.
본 발명은 재하 반송시 병목 현상을 방지할 수 있는 물품 반송 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자가 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 천장에 설치된 주행 레일을 따라 주행하는 비히클; 상기 비히클과 연결되고, 물품이 적재되는 적재공간들을 제공하는 차량 본체; 및 물품을 그립하는 그립 유닛을 갖고, 상기 적재 공간들에/로부터 물품을 이적재(load and unload)하는 호이스트 모듈을 포함하는 물품 반송 장치가 제공될 수 있다
또한, 상기 차량 본체에 설치되고, 상기 그립 유닛이 상기 적재 공간들 중 어느 하나의 적재 공간으로 이동하도록 상기 호이스트 모듈을 수평 방향으로 이동시키는 수평 이동부재를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 차량 본체는 물품이 상기 비히클의 주행 방향을 따라 일렬로 적재되도록 상기 적재공간들이 상기 비히클의 주행 방향과 나란히 제공되고, 상기 수평 이동 부재는 상기 차량 본체에 상기 주행 방향을 따라 일직선으로 설치되는 수평 레일부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 차량 본체는 바닥 중앙에 물품이 출입할 수 있는 물품 출입구와, 상기 물품 출입구를 중심으로 상기 적재 공간이 사방에 배치될 수 있다.
또한, 상기 수평 이동 부재는 상기 차량 본체의 중앙에서 사방으로 상기 호이스트 모듈이 이동되도록 제공되는 수평 레일부들을 포함할 수 있다.
또한, 상기 호이스트 모듈은, 상기 그립 유닛을 승강시키기 위한 승강 유닛을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 차량 본체는 상기 적재공간에 위치한 물품을 고정하는 물품 고정부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 물품 고정부는 물품이 상기 적재공간으로부터 이탈되지 않도록 물품을 고정하는 고정부재; 및 상기 고정부재가 물품을 고정하는 고정 위치와, 상기 호이스트 모듈에 의해 상기 적재 공간에 위치한 물품이 상기 호이스트 모듈에 의해 승강되도록 상기 고정 위치로부터 해제 위치 사이에서 상기 고정 부재를 이동시키는 작동부재를 포함할 수 있다.
또한, 상기 고정부재는 상기 작동부재에 의해 선회하면서 상기 고정 위치와 해제 위치 사이를 왕복 이동할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 처리 장치들이 연속적으로 배치된 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일; 및 상기 주행 레일을 주행하며, 상기 처리 장치의 탑재 장소와 물품을 주고받을 수 있는 반송 유닛을 포함하고, 상기 반송 유닛은, 상기 주행 레일을 따라 주행하는 비히클; 상기 비히클과 연결되고, 물품이 적재되는 적재부들을 제공하는 차량 본체; 상기 차량 본체에 설치되고, 상기 탑재 장소 및 상기 적재부 각각과 물품을 주고 받을 수 있는 호이스트 모듈; 및 상기 호이스트 모듈이 상기 적재부들 중 어느 하나의 적재부 상에 위치하도록 상기 차량 본체에서 상기 호이스트 모듈을 수평 방향으로 이동시키는 수평 이동부재를 포함하는 물품 반송 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 호이스트 모듈은 물품을 그립하는 그립 유닛; 및 상기 그립 유닛을 승하강 시키는 승강 유닛을 포함할 수 있다.
또한, 상기 적재부들은 물품이 상기 비히클의 주행 방향을 따라 일렬로 적재되도록 제공되고, 상기 수평 이동 부재는 상기 차량 본체에 상기 주행 방향을 따라 일직선으로 설치되는 수평 레일부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 차량 본체는 바닥 중앙에 물품이 출입할 수 있는 물품 출입구와, 상기 물품 출입구를 중심으로 상기 적재부들이 사방에 배치될 수 있다.
또한, 상기 수평 이동 부재는 상기 차량 본체의 중앙에서 사방으로 상기 호이스트 모듈이 이동되도록 제공되는 수평 레일부들을 포함할 수 있다.
또한, 상기 적재부는 물품을 고정하는 물품 고정부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 물품 고정부는 물품이 상기 적재부로부터 이탈되지 않도록 물품을 고정하는 고정부재; 및 상기 고정부재가 물품을 고정하는 고정 위치와, 상기 호이스트 모듈이 물품을 상기 탑재 장소로부터 상기 적재부로 물품을 운반하거나 또는 상기 적재부로부터 상기 탑재 장소로 물품을 운반할 수 있는 해제 위치로 상기 고정부재를 이동시키는 작동부재를 포함할 수 있다.
또한, 상기 고정부재는 상기 작동부재에 의해 선회하면서 상기 고정 위치와 상기 해제 위치 사이를 왕복 이동할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 처리 장치들이 연속적으로 배치된 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일; 및 상기 주행 레일을 주행하며, 상기 처리 장치의 탑재 장소와 물품을 주고받을 수 있는 반송 유닛을 포함하고, 상기 반송 유닛은, 상기 주행 레일을 따라 주행하는 비히클; 상기 비히클과 연결되고, 물품이 적재되는 적재부들을 제공하는 차량 본체; 상기 차량 본체에 설치되고, 상기 탑재 장소 및 상기 적재부 각각과 물품을 주고 받을 수 있는 호이스트 모듈; 및 상기 호이스트 모듈이 상기 적재부들 중 어느 하나의 적재부 상에 위치하도록 상기 차량 본체에서 상기 호이스트 모듈을 수평 방향으로 이동시키는 수평 이동부재를 포함하며, 상기 적재부는 상기 비히클의 주행 방향을 따라 물품들이 일렬로 적재되는 직선형 배치 또는 물품이 출입할 수 있는 중앙 개구를 중심으로 물품들이 사방에 적재되는 사방형 배치를 갖는 물품 반송 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 적재부는 물품을 고정하는 물품 고정부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 호이스트 모듈은 상기 적재부들에 적재된 물품들 중에서 선택된 하나의 물품을 그립하여 이적재 할 수 있는 그립 유닛; 및 상기 그립 유닛을 승하강 시키는 승강 유닛을 포함하고, 상기 물품 고정부는 물품이 상기 적재부로부터 이탈되지 않도록 물품을 고정하는 고정부재; 및 상기 고정부재가 물품을 고정하는 고정 위치와, 상기 호이스트 모듈이 물품을 상기 탑재 장소로부터 상기 적재부로 물품을 운반하거나 또는 상기 적재부로부터 상기 탑재 장소로 물품을 운반할 수 있는 해제 위치로 상기 고정부재를 이동시키는 작동부재를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 목적지나 방향이 동일한 기판 수납 용기들을 적재한 상태로 반송함으로써 반송 효율을 높이고 병목 현상과 같은 비정상적인 상황을 미연에 방지할 수 있다.
본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 않은 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 물품 반송 장치를 구비한 반송 설비의 평면도이다.
도 2는 반송 대상물을 탑재 장소로 받아건네는 상황을 나타낸 물품 반송 장치의 측면도이다.
도 3 및 도 4는 물품 반송 장치를 설명하기 위한 도면들이다.
도 5는 도 3에 표시된 A-A선을 따라 절취한 평단면도이다.
도 6은 고정부재를 설명하기 위한 도면이다.
도 7a 내지 도 7d는 적재부에 적재된 기판 수납 용기를 탑재 장소에 내려놓기 위한 동작을 단계적으로 보여주는 도면들이다.
도 8은 물품 반송 장치의 변형예를 보여주는 도면이다.
도 9는 물품 반송 장치에서 적재부의 다른 예를 보여주는 차량 본체의 적재부 배치도이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 또한, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다.
어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다. 구체적으로, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로 사용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 이탈되지 않은 채 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성 요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성 요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성 요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성 요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미이다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미인 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
도 1은 물품 반송 장치를 구비한 반송 설비의 평면도이고, 도 2는 반송 대상물을 탑재 장소로 받아건네는 상황을 나타낸 물품 반송 장치의 측면도이다.
도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 장치(100)는 반송 대상물(20)을 반송 대상 장소(10)로 반송하는 반송대차를 포함할 수 있다.
본 실시형태에서는, 물품 반송 장치(100)는 복수의 반송 대상 장소(10)를 구비하는 반송 설비 내에 있어서, 상기 반송 대상 장소(10)의 각각으로 반송 대상물(20)을 반송한다. 반송 대상물(20)은, 반송의 대상이 되는 것이며, 예를 들면, 단일의 물품일 수 있고 또는 수용물과 상기 수용물을 수용하는 용기 등의 복수의 물품이 조합된 것일 수 있다. 본 실시형태에서는, 반송 대상물(20)은 복수의 기판들이 수납되는 FOUP(Front Opening Unified Pod)와 같은 기판 수납 용기일 수 있다.
본 실시형태에서는, 반송 대상 장소(10)는, 반도체 기판의 처리를 행하기 위한 처리 장치(12)와, 반송 대상물(20)인 기판 수납 용기가 탑재되기 위한 탑재 장소(14)를 포함하여 구성되어 있다. 예를 들면, 처리 장치(12)는, 탑재 장소(14)에 탑재된 기판 수납 용기(20) 중에서 반도체 기판을 인출하여, 상기 반도체 기판을 처리한다. 또한, 처리 장치(12)는, 처리를 끝낸 반도체 기판을, 탑재 장소(14)에 탑재된 기판 수납 용기(20)에 수용한다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 반송 대상 장소(10)는, 반송 설비 내에 복수 구비되어 있다. 예를 들면, 반송 설비에는, 복수의 반송 대상 장소(10)를 경유하도록 반송 경로(30)가 설치되어 있다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 반송 경로(30)는, 천정에 연결된 주행 레일(32)에 의해 정해져 있다. 그리고, 탑재 장소(14)는, 주행 레일(32)의 아래쪽에 설치되어 있는 동시에 주행 레일(32)과 평면에서 볼 때 중복되도록 설치될 수 있다(도 1 참조).
본 실시형태에서는, 물품 반송 장치(100)는 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치일 수 있다. 물품 반송 장치는 주행 레일(32)을 주행하여 복수개의 반송 대상물(20)을 반송 대상 장소(10)로 반송할 수 있다. 본 실시형태에서는, 이와 같은 물품 반송 장치(100)가, 반송 설비 내에 복수 구비되어 있다. 그리고, 도 2에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 장치(100)는, 3개의 반송 대상물을 이송할 수 있으며, 탑재 장소(14)로 반송 대상물(20)을 반송한다. 바꾸어 말하면, 물품 반송 장치(100)는, 물품 반송 장치(100)가 배치되는 높이[주행 레일(32)의 높이]로부터, 그보다도 아래쪽에 설치된 탑재 장소(14)를 향해 반송 대상물(20)을 하강시켜, 상기 반송 대상물(20)을 탑재 장소(14)에 탑재한다.
이하에서는, 물품 반송 장치(100)가 웨이퍼 등의 기판이 수납된 용기를 반도체 제조 라인에 배치된 반도체 공정 장치들에 반송하는 것을 예로 들어 설명한다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니고 본 실시 예의 물품 반송 장치는 물품 및/또는 물품이 수납된 용기의 반송이 요구되는 다양한 제조 라인에도 동일 또는 유사하게 적용될 수 있다.
도 3 내지 도 5는 물품 반송 장치를 설명하기 위한 도면들이다.
도 3 내지 도 5에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 장치(100)는, 3개의 반송 대상물(20; 이하 기판 수납 용기로 칭함)을 반송한다. 본 실시예에서, 물품 반송 장치는 3개의 반송 대상물을 적재한 상태로 반송할 수 있는 것으로 도시하고 있으나 이에 한정되는 것은 아니며, 도 8에서와 같이 4개 또는 그 이상의 반송 대상물을 동시에 반송할 수 있다.
본 실시예에서, 물품 반송 장치(100)는 비히클(200), 차량 본체(800) 그리고 호이스트 모듈(300)을 포함하는 반송 대차일 수 있다.
비히클(200)은 별도의 구동부에 의해 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비된 주행 레일(32)을 따라 주행하는 주행 모듈이다. 비히클(200)은 양측면에 주행 휠(212)을 갖는 몸체(210)를 포함할 수 있다. 도시되지는 않았지만, 몸체(210)의 내부에는 주행 휠(212)을 회전시키기 위한 액추에이터(예를 들면, 구동모터)가 구비될 수 있다. 몸체(210)는 주행 레일(32)을 따라 주행한다. 구체적으로, 주행 휠(212)이 주행 레일(32)과 접촉한 상태에서 회전하면서 몸체(210)가 주행할 수 있다. 한편, 도시하지 않았지만, 몸체(210)의 상면에는 조향 휠이 제공될 수 있다. 조향 휠은 몸체(210)의 주행 방향과 수직하는 수평 방향을 따라 이동 가능하도록 구비된다. 예를 들면, 조향 휠은 몸체(210)의 좌우 방향으로 이동할 수 있다. 조향 휠은 직진 주행을 안내하는 직진 조향 레일(미도시) 및 분기 주행을 안내하는 분기 조향 레일(미도시)과 선택적으로 접촉할 수 있다.
차량 본체(800)는 주행 레일(32)의 하방에서 비히클(200)과 연결된다. 차량 본체(800)는 상측이 비히클(200)의 하측에 적어도 하나 이상의 연결부에 의하여 연결될 수 있다. 차량 본체(800)는 기판 수납 용기(20)들이 적재될 수 있는 적재부(810)들을 갖는 내부 공간(802)을 제공한다. 차량 본체(800)는 기판 수납 용기(20)를 내부 공간(802)에서 좌우 방향으로 이동시키고 하측 방향으로 이동시킬 수 있게 양측 및 하측이 개방된 구조를 가지도록 형성될 수 있다. 여기서, 양측은 물품 반송 장치(100)의 주행 방향과 수직하는 방향일 수 있다.
차량 본체(800)에는 수평 이동 부재(900)가 설치된다. 수평 이동 부재(900)는 호이스트 모듈(300)을 수평 방향으로 이동시킨다. 호이스트 모듈(300)은 수평 이동 부재(900)에 의해 차량 본체(800)의 적재부(810)들 중 어느 하나의 적재부로 이동될 수 있다.
적재부(810)들은 비히클(200)의 주행 방향(X1)과 나란한 방향으로 일렬 배치될 수 있다. 즉, 기판 수납 용기(20)는 차량 본체(800)의 적재부(810)들에 일렬로 적재될 수 있다. 수평 이동 부재(900)는 적재부(810)들의 배치에 대응되도록 차량 본체(800)에 주행 방향을 따라 일직선으로 설치되는 제1수평 레일부(910)를 포함할 수 있다.
적재부 각각에는 기판 수납 용기가 하나씩 보관될 수 있다. 적재부의 저면은 개방된 형태이며, 호이스트 모듈에 의해 그립된 기판 수납 용기는 적재부의 개방된 저면을 통해 반입 및 반출될 수 있다.
도 6은 물품 고정부를 설명하기 위한 도면이다. 도 3 내지 도 6을 참조하면, 차량 본체(800)는 물품 고정부(820)를 포함할 수 있다. 물품 고정부(820)는 적재부(810)에 적재된 기판 수납 용기(20)를 고정한다. 기판 수납 용기(20)는 다수의 물품 고정부(820)에 의해 고정될 수 있다. 본 실시예에서는 4개의 물품 고정부(820)가 적용되어 있는 차량 본체(800)를 도시하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
각각의 물품 고정부(820)는 고정 부재(822)와 작동 부재(824)를 포함할 수 있다. 고정 부재(822)는 기판 수납 용기(20)가 적재부(810)로부터 이탈되지 않도록 고정한다. 고정 부재(822)는 기판 수납 용기(20)의 저면을 고정하도록 제공될 수 있다. 도시하지 않았지만, 고정 부재(822)는 기판 수납 용기(20)의 측면을 고정하는 클램핑 수단을 더 포함할 수 있다.
고정 부재(822)는 작동 부재(824)에 의해 고정 위치(P1)와 해제 위치(P2)로 이동될 수 있다. 고정 부재(822)는 작동 부재(824)에 의해 선회하면서 고정 위치(P1)와 해제 위치(P2) 사이를 왕복 이동할 수 있다.
도 6에 도시된 바와 같이, 고정 위치(P1)는 적재부(810)에 위치한 기판 수납 용기(20)를 고정할 수 있는 위치이다.해제 위치(P2)는 기판 수납 용기(20)가 적재부(810)의 개방된 저면(812)을 통해 출입할 때 기판 수납 용기(20)와 간섭되지 않는 위치일 수 있다.
예컨대, 호이스트 모듈(300)은 기판 수납 용기(20)를 탑재 장소로부터 적재부(810)로 운반하거나 또는 적재부(810)로부터 탑재 장소로 기판 수납 용기(20)를 운반하고자 할때 적재부(810)의 개방된 저면(812)을 통해 기판 수납 용기(20)가 이송된다. 이때 고정 부재(822)는 해제 위치(P2)에서 대기하게 된다.
호이스트 모듈(300)은 차량 본체(800)에 제공된다. 호이스트 모듈(300)은 탑재 장소 및 적재부 간의 기판 수납 용기를 이적재(load and unload)할 수 있다. 일 예로, 호이스트 모듈(300)은 기판 수납 용기(20)를 픽업하기 위한 그리퍼 유닛(320)과, 그리퍼 유닛(320)을 승강시키기 위한 승강 유닛(330)을 포함할 수 있다.
그리퍼 유닛(320)은 기판 수납 용기(20)를 그립하거나 언그립한다. 그리퍼 유닛(320)은 승강 유닛(330)과 복수의 승강 벨트들(336)을 통해 연결될 수 있으며 기판 수납 용기(20)를 파지하기 위한 그리퍼들(322)을 구비할 수 있다. 아울러, 기판 수납 용기(20)의 상부에는 그리퍼들(322)에 의해 파지 가능하도록 구성된 플랜지가 구비될 수 있다.
그리퍼 유닛(320)은 그리퍼들(322)을 구동하기 위한 그리퍼 구동부(미도시됨)를 포함할 수 있다. 예를 들면, 그리퍼 구동부는 캠 플레이트와 캠 팔로워를 이용하여 그리퍼들(322)을 동작시킬 수 있으며, 아울러 캠 플레이트를 이동시키기 위한 모터와 볼 스크루 등을 포함할 수 있다. 그러나, 그리퍼 유닛(320) 자체의 구성은 다양하게 변경 가능하므로 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다. 그리퍼 유닛(320)은 승강 유닛(330)에 의하여 상하 방향으로 이동될 수 있다.
승강 유닛(330)은 그리퍼 유닛(320)을 상하 방향으로 이동시킨다. 승강 유닛(330)는 구동기, 그리고 승강 벨트(336)를 포함할 수 있다. 승강 유닛(330)의 스강 벨트는 그리퍼 유닛(320)와 연결될 수 있다. 승강 벨트(336)는 구동기가 발생시키는 구동력에 의해 그리퍼 유닛(320)를 상하 방향으로 이동시킬 수 있다. 예컨대, 구동기는 구동력을 발생시켜 승강 벨트(336)를 감거나 풀어 그리퍼 유닛(320)를 상하 방향으로 이동시킬 수 있다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니고 승강 유닛은 그리퍼 유닛(320)을 승하강 시킬 수 있는 다양한 공지의 장치로 변형될 수 있다.
도 7a 내지 도 7d는 적재부에 적재된 기판 수납 용기를 탑재 장소에 내려놓기 위한 동작을 단계적으로 보여주는 도면들이다.
물품 반송 장치(100)는 처리 장치의 탑재 장소(14)와 대응되는 상부에 반송 대상인 기판 수납 용기(20)가 위치하도록 이동된다.
도 7a 내지 도 7d를 참조하면, 호이스트 모듈(300)은 수평 이동 부재(900)에 의해 차량 본체(800)의 좌측에 위치한 적재부(810) 상부로 이동된다. 그리퍼 유닛(320)의 그리퍼(322)들이 기판 수납 용기(20)를 파지하기 위해 이동된다. 그리퍼(322)들이 기판 수납 용기(20)를 파지하면, 고정 부재(822)는 작동 부재(824)에 의해 선회하면서 고정 위치(P1)에서 해제 위치(P2)로 이동된다(도 6 참고). 그리퍼 유닛(320)은 승강 유닛(330)에 의해 하강되고, 그리퍼 유닛(320)에 그립된 기판 수납 용기(20)는 적재부(810)의 개방된 저면을 통해 이동되어 처리 장치의 탑재 장소(14)에 탑재된다.
상기와 같이, 본 발명의 물품 반송 장치는 목적지나 방향이 동일한 기판 수납 용기들을 적재한 상태로 반송하여 반송 효율을 높이고 병목 현상과 같은 비정상적인 상황을 미연에 방지할 수 있다.
도 9는 물품 반송 장치에서 적재부의 다른 예를 보여주는 차량 본체의 적재부 배치도이다.
도 9를 참조하면, 물품 반송 장치(100a)의 차량 본체(800a)는 바닥 중앙에 기판 수납 용기가 출입할 수 있는 물품 출입구(808)를 갖는다. 그리고 적재부(810a)들은 물품 출입구(808)를 중심으로 사방에 배치된다. 호이스트 모듈(300a)은 차량 본체(800a)의 물품 출입구(808) 상부에서 적재부(810a)들 각각에 적재된 기판 수납 용기(20)를 그리퍼 유닛(320;도 9에서도 표현되어 있지 않으나, 도 3을 참고)이 그립할 수 있도록 수평 방향으로 이동될 수 있다. 일 예로, 수평 이동 부재(900a)는 차량 본체(800a)의 중앙에서 사방으로 호이스트 모듈(300)이 이동되도록 제공되는 수평 레일부(920)들을 포함할 수 있다.
상술한 구성을 갖는 물품 반송 장치(100a)는 호이스트 모듈이 적재부(810a)에 적재된 기판 수납 용기(20)를 가져와서 물품 출입구(808)를 통해 반출하거나 또는 호이스트 모듈(300)이 탑재 장소에서 기판 수납 용기(20)를 그립하여 물품 출입구(808)를 통해 반입하여 선택된 적재부(810a)에 기판 수납 용기(20)를 적재할 수 있다.
이상의 실시 예들은 본 발명의 이해를 돕기 위하여 제시된 것으로, 본 발명의 범위를 제한하지 않으며, 이로부터 다양한 변형 가능한 실시 예들도 본 발명의 범위에 속하는 것임을 이해하여야 한다. 본 발명의 기술적 보호범위는 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이며, 본 발명의 기술적 보호범위는 특허청구범위의 문언적 기재 그 자체로 한정되는 것이 아니라 실질적으로는 기술적 가치가 균등한 범주의 발명에 대하여까지 미치는 것임을 이해하여야 한다.
100 : 물품 반송 장치 200 : 비히클
300 : 호이스트 모듈 800 : 차량 본체
320 : 그리퍼 유닛 330 : 승강 유닛

Claims (20)

  1. 천장에 설치된 주행 레일을 따라 주행하는 비히클;
    상기 비히클과 연결되고, 물품이 적재되는 적재공간들을 제공하는 차량 본체; 및
    물품을 그립하는 그립 유닛을 갖고, 상기 적재 공간들에, 및/또는 적재 공간들로부터 물품을 이적재(load and unload)하는 호이스트 모듈;
    상기 차량 본체에 설치되고, 상기 그립 유닛이 상기 적재 공간들 중 어느 하나의 적재 공간으로 이동하도록 상기 호이스트 모듈을 수평 방향으로 이동시키는 수평 이동부재를 포함하는 물품 반송 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 차량 본체는
    물품이 상기 비히클의 주행 방향을 따라 일렬로 적재되도록 상기 적재공간들이 상기 비히클의 주행 방향과 나란히 제공되고,
    상기 수평 이동 부재는
    상기 차량 본체에 상기 주행 방향을 따라 일직선으로 설치되는 수평 레일부를 포함하는 물품 반송 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 차량 본체는
    바닥 중앙에 물품이 출입할 수 있는 물품 출입구와, 상기 물품 출입구를 중심으로 상기 적재 공간이 사방에 배치되는 물품 반송 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 수평 이동 부재는
    상기 차량 본체의 중앙에서 사방으로 상기 호이스트 모듈이 이동되도록 제공되는 수평 레일부들을 포함하는 물품 반송 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 호이스트 모듈은,
    상기 그립 유닛을 승강시키기 위한 승강 유닛을 더 포함하는 물품 반송 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 차량 본체는
    상기 적재공간에 위치한 물품을 고정하는 물품 고정부를 더 포함하는 물품 반송 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 물품 고정부는
    물품이 상기 적재공간으로부터 이탈되지 않도록 물품을 고정하는 고정부재; 및
    상기 고정부재가 물품을 고정하는 고정 위치와, 상기 호이스트 모듈에 의해 상기 적재 공간에 위치한 물품이 상기 호이스트 모듈에 의해 승강되도록 상기 고정 위치로부터 해제 위치 사이에서 상기 고정 부재를 이동시키는 작동부재를 포함하는 물품 반송 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 고정부재는 상기 작동부재에 의해 선회하면서 상기 고정 위치와 해제 위치 사이를 왕복 이동하는 물품 반송 장치.
  10. 처리 장치들이 연속적으로 배치된 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일; 및
    상기 주행 레일을 주행하며, 상기 처리 장치의 탑재 장소와 물품을 주고받을 수 있는 반송 유닛을 포함하고,
    상기 반송 유닛은,
    상기 주행 레일을 따라 주행하는 비히클;
    상기 비히클과 연결되고, 물품이 적재되는 적재부들을 제공하는 차량 본체;
    상기 차량 본체에 설치되고, 상기 탑재 장소 및 상기 적재부 각각과 물품을 주고 받을 수 있는 호이스트 모듈; 및
    상기 호이스트 모듈이 상기 적재부들 중 어느 하나의 적재부 상에 위치하도록 상기 차량 본체에서 상기 호이스트 모듈을 수평 방향으로 이동시키는 수평 이동부재를 포함하는 물품 반송 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 호이스트 모듈은
    물품을 그립하는 그립 유닛; 및
    상기 그립 유닛을 승하강 시키는 승강 유닛을 포함하는 물품 반송 장치.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 적재부들은
    물품이 상기 비히클의 주행 방향을 따라 일렬로 적재되도록 제공되고,
    상기 수평 이동 부재는
    상기 차량 본체에 상기 주행 방향을 따라 일직선으로 설치되는 수평 레일부를 포함하는 물품 반송 장치.
  13. 제10항에 있어서,
    상기 차량 본체는
    바닥 중앙에 물품이 출입할 수 있는 물품 출입구와, 상기 물품 출입구를 중심으로 상기 적재부들이 사방에 배치되는 물품 반송 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 수평 이동 부재는
    상기 차량 본체의 중앙에서 사방으로 상기 호이스트 모듈이 이동되도록 제공되는 수평 레일부들을 포함하는 물품 반송 장치.
  15. 제10항에 있어서,
    상기 적재부는 물품을 고정하는 물품 고정부를 포함하는 물품 반송 장치.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 물품 고정부는
    물품이 상기 적재부로부터 이탈되지 않도록 물품을 고정하는 고정부재; 및
    상기 고정부재가 물품을 고정하는 고정 위치와, 상기 호이스트 모듈이 물품을 상기 탑재 장소로부터 상기 적재부로 물품을 운반하거나 또는 상기 적재부로부터 상기 탑재 장소로 물품을 운반할 수 있는 해제 위치로 상기 고정부재를 이동시키는 작동부재를 포함하는 물품 반송 장치.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 고정부재는 상기 작동부재에 의해 선회하면서 상기 고정 위치와 상기 해제 위치 사이를 왕복 이동하는 물품 반송 장치.
  18. 처리 장치들이 연속적으로 배치된 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일; 및
    상기 주행 레일을 주행하며, 상기 처리 장치의 탑재 장소와 물품을 주고받을 수 있는 반송 유닛을 포함하고,
    상기 반송 유닛은,
    상기 주행 레일을 따라 주행하는 비히클;
    상기 비히클과 연결되고, 물품이 적재되는 적재부들을 제공하는 차량 본체;
    상기 차량 본체에 설치되고, 상기 탑재 장소 및 상기 적재부 각각과 물품을 주고 받을 수 있는 호이스트 모듈; 및
    상기 호이스트 모듈이 상기 적재부들 중 어느 하나의 적재부 상에 위치하도록 상기 차량 본체에서 상기 호이스트 모듈을 수평 방향으로 이동시키는 수평 이동부재를 포함하며,
    상기 적재부는
    상기 비히클의 주행 방향을 따라 물품들이 일렬로 적재되는 직선형 배치 또는 물품이 출입할 수 있는 중앙 개구를 중심으로 물품들이 사방에 적재되는 사방형 배치를 갖는 물품 반송 장치.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 적재부는 물품을 고정하는 물품 고정부를 포함하는 물품 반송 장치.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 호이스트 모듈은
    상기 적재부들에 적재된 물품들 중에서 선택된 하나의 물품을 그립하여 이적재 할 수 있는 그립 유닛; 및
    상기 그립 유닛을 승하강 시키는 승강 유닛을 포함하고,
    상기 물품 고정부는
    물품이 상기 적재부로부터 이탈되지 않도록 물품을 고정하는 고정부재; 및
    상기 고정부재가 물품을 고정하는 고정 위치와, 상기 호이스트 모듈이 물품을 상기 탑재 장소로부터 상기 적재부로 물품을 운반하거나 또는 상기 적재부로부터 상기 탑재 장소로 물품을 운반할 수 있는 해제 위치로 상기 고정부재를 이동시키는 작동부재를 포함하는 물품 반송 장치.

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