KR20210081673A - Touch sensor, window stack structure including the same and image display device including the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 터치 센서, 이를 포함하는 윈도우 적층체 및 이를 포함하는 화상 표시 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 패턴화된 센싱 전극을 포함하는 터치 센서, 이를 포함하는 윈도우 적층체 및 이를 포함하는 화상 표시 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a touch sensor, a window laminate including the same, and an image display device including the same. More particularly, it relates to a touch sensor including a patterned sensing electrode, a window laminate including the same, and an image display device including the same.
최근 정보화 사회가 발전함에 따라 디스플레이 분야에 대한 요구도 다양한 형태로 제시되고 있다. 예를 들면, 박형화, 경량화, 저소비 전력화 등의 특징을 지닌 여러 평판 표시 장치(Flat Panel Display device), 예를 들어, 액정표시장치(Liquid Crystal Display device), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device), 전계발광표시장치(Electro Luminescent Display device), 유기발광다이오드표시장치(Organic Light-Emitting Diode Display device) 등이 연구되고 있다.With the recent development of the information society, demands for the display field are also presented in various forms. For example, various flat panel display devices with features such as thinness, light weight, and low power consumption, for example, a liquid crystal display device, a plasma display panel device, Electroluminescent display devices, organic light-emitting diode display devices, and the like are being studied.
한편, 상기 표시 장치 상에 부착되어 화면에 나타난 지시 내용을 사람의 손 또는 물체로 선택하여 사용자의 명령을 입력할 수 있도록 한 입력장치인 터치 패널 또는 터치 센서가 디스플레이 장치와 결합되어 화상 표시 기능 및 정보 입력 기능이 함께 구현된 전자 기기들이 개발되고 있다. On the other hand, a touch panel or a touch sensor, which is an input device attached to the display device to input a user command by selecting instructions displayed on the screen with a human hand or an object, is combined with the display device to provide an image display function and Electronic devices in which an information input function is implemented are being developed.
상기 터치 센서는 디스플레이 패널 상에 적층될 수 있으며, 상기 터치 센서의 전극 패턴들이 사용자에게 시인되는 경우, 상기 디스플레이 장치의 이미지 품질이 저하될 수 있다. 또한, 터치 센서의 제조 공정 중, 또는 디스플레이 장치의 외부에서 공기 또는 수분이 침투하는 경우, 전극의 부식, 산화 등의 손상이 발생할 수 있다.The touch sensor may be stacked on a display panel, and when electrode patterns of the touch sensor are recognized by a user, image quality of the display device may be deteriorated. In addition, when air or moisture penetrates during the manufacturing process of the touch sensor or from the outside of the display device, damage such as corrosion or oxidation of the electrode may occur.
예를 들면, 한국공개특허 제2014-0092366호에서와 같이 최근 다양한 화상 표시 장치에 터치 센서가 결합된 터치 스크린 패널이 개발되고 있으나, 상술한 바와 같이, 전극의 광학적, 화학적 안정성이 함께 향상된 터치 센서 개발이 필요하다.For example, as in Korean Patent Application Laid-Open No. 2014-0092366, a touch screen panel in which a touch sensor is combined with various image display devices has recently been developed, but, as described above, a touch sensor with improved optical and chemical stability of the electrode. development is needed
본 발명의 일 과제는 향상된 광학적, 화학적, 전기적 특성을 갖는 터치 센서를 제공하는 것이다.One object of the present invention is to provide a touch sensor having improved optical, chemical, and electrical properties.
본 발명의 일 과제는 향상된 광학적, 화학적, 전기적 특성을 갖는 터치 센서를 포함하는 윈도우 적층체 및 화상 표시 장치를 제공하는 것이다.One object of the present invention is to provide a window laminate and an image display device including a touch sensor having improved optical, chemical, and electrical properties.
1. 기재층; 상기 기재층 상에 배열된 센싱 전극들; 및 상기 센싱 전극들 중 인접한 일부 센싱 전극들을 서로 전기적으로 연결시키며, 금속 패턴 및 상기 금속 패턴보다 낮은 밝기를 갖는 반사 방지 패턴을 포함하는 브릿지 전극을 포함하는, 터치 센서.1. base layer; sensing electrodes arranged on the base layer; and a bridge electrode electrically connecting some adjacent sensing electrodes among the sensing electrodes to each other and including a metal pattern and an anti-reflection pattern having a lower brightness than the metal pattern.
2. 위 1에 있어서, 상기 반사 방지 패턴은 구리-산소 함유 도전성 화합물을 포함하는, 터치 센서.2. The touch sensor of 1 above, wherein the anti-reflection pattern includes a copper-oxygen-containing conductive compound.
3. 위 2에 있어서, 상기 반사 방지 패턴은 구리 외에 추가 금속을 더 함유하는, 터치 센서.3. The touch sensor according to the above 2, wherein the anti-reflection pattern further contains an additional metal in addition to copper.
4. 위 1에 있어서, 상기 추가 금속은 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 마그네슘(Mg), 칼슘(Ca), 란타늄(La), 세슘(Ce) 및 인듐(In)으로 구성된 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함하는, 터치 센서.4. The above 1, wherein the additional metal is chromium (Cr), molybdenum (Mo), tungsten (W), magnesium (Mg), calcium (Ca), lanthanum (La), cesium (Ce) and indium (In) At least one selected from the group consisting of, a touch sensor.
5. 위 1에 있어서, 상기 금속 패턴은 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 니오븀(Nb), 탄탈륨(Ta), 바나듐(V), 철(Fe), 망간(Mn), 코발트(Co), 니켈(Ni), 아연(Zn), 몰리브덴(Mo), 칼슘(Ca), 주석(Sn) 및 이들의 합금으로 구성된 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함하는, 터치 센서.5. The above 1, wherein the metal pattern is silver (Ag), gold (Au), copper (Cu), aluminum (Al), platinum (Pt), palladium (Pd), chromium (Cr), titanium (Ti) , tungsten (W), niobium (Nb), tantalum (Ta), vanadium (V), iron (Fe), manganese (Mn), cobalt (Co), nickel (Ni), zinc (Zn), molybdenum (Mo) , Calcium (Ca), including at least one selected from the group consisting of tin (Sn) and alloys thereof, a touch sensor.
6. 위 1에 있어서, 상기 센싱 전극들은 투명 도전성 산화물을 포함하는, 터치 센서.6. The touch sensor of 1 above, wherein the sensing electrodes include a transparent conductive oxide.
7. 위 1에 있어서, 상기 센싱 전극들은 투명 도전성 산화물층 및 금속층의 복층 구조를 포함하는, 터치 센서.7. The touch sensor of 1 above, wherein the sensing electrodes include a multilayer structure of a transparent conductive oxide layer and a metal layer.
8. 위 7에 있어서, 상기 센싱 전극들은 상기 기재층으로부터 순차적으로 적층된 제1 투명 도전성 산화물층, 상기 금속층 및 제2 투명 도전성 산화물층을 포함하는, 터치 센서.8. The touch sensor of 7 above, wherein the sensing electrodes include a first transparent conductive oxide layer, the metal layer, and a second transparent conductive oxide layer sequentially stacked from the base layer.
9. 위 1에 있어서, 상기 센싱 전극들은 센싱 채널 행을 형성하는 제1 센싱 전극들; 및 센싱 채널 열을 형성하는 제2 센싱 전극들을 포함하고,9. The method of 1 above, wherein the sensing electrodes include: first sensing electrodes forming a sensing channel row; and second sensing electrodes forming a sensing channel column,
상기 브릿지 전극은 열 방향으로 이웃하는 상기 제2 센싱 전극들을 전기적으로 연결시키는, 터치 센서.The bridge electrode electrically connects the second sensing electrodes adjacent to each other in a column direction, a touch sensor.
10. 위 9에 있어서, 상기 기재층 상에서 상기 센싱 전극들을 덮으며 상기 제2 센싱 전극들의 표면을 부분적으로 노출시키는 콘택 홀들을 포함하는 절연층을 더 포함하고,10. The method of 9 above, further comprising an insulating layer covering the sensing electrodes on the base layer and including contact holes for partially exposing surfaces of the second sensing electrodes,
상기 브릿지 전극의 상기 금속 패턴은 상기 절연층 상에서 상기 콘택 홀들을 완전히 채우며, 상기 반사 방지 패턴은 상기 금속 패턴 상에 형성된, 터치 센서.The metal pattern of the bridge electrode completely fills the contact holes on the insulating layer, and the anti-reflection pattern is formed on the metal pattern.
11. 위 9에 있어서, 상기 센싱 채널 행은 이웃하는 상기 제1 센싱 전극들을 일체로 연결하는 연결부를 포함하는, 터치 센서.11. The touch sensor according to 9 above, wherein the sensing channel row includes a connection unit for integrally connecting the neighboring first sensing electrodes.
12. 위 1에 있어서, 상기 반사 방지 패턴은 흑화층을 포함하는, 터치 센서.12. The touch sensor of 1 above, wherein the anti-reflection pattern includes a blackening layer.
13. 위 1에 있어서, CIELAB 색 공간에서 상기 반사 방지 패턴의 L* 값은 12 내지 20, 상기 금속 패턴의 L* 값은 55 내지 65인, 터치 센서.13. The touch sensor according to the above 1, wherein the L* value of the anti-reflection pattern is 12 to 20, and the L* value of the metal pattern is 55 to 65 in the CIELAB color space.
14. 윈도우 기판; 및 상기 윈도우 기판 상에 적층되며 위 1 내지 13 중 어느 한 항에 따른 터치 센서를 포함하는, 윈도우 적층체.14. Window substrate; and a touch sensor laminated on the window substrate according to any one of 1 to 13 above.
15. 표시 패널; 및 상기 표시 패널 상에 적층되며 위 1 내지 13 중 어느 한 항에 따른 터치 센서를 포함하는, 화상 표시 장치.15. Display panel; and a touch sensor stacked on the display panel according to any one of 1 to 13 above.
본 발명의 실시예들에 따르는 터치 센서는 예를 들면, 투명 센싱 전극을 포함하며, 투명 센싱 전극을 연결시키는 브릿지 전극은 금속 패턴 및 반사 방지 패턴의 적층 구조를 포함할 수 있다. 따라서, 금속 패턴을 통해 콘택 저항 또는 채널 저항을 감소시키면서 상기 반사 방지 패턴을 통해 브릿지 전극의 반사율을 감소시켜 브릿지 전극의 시인성을 감소시킬 수 있다.A touch sensor according to embodiments of the present invention may include, for example, a transparent sensing electrode, and a bridge electrode connecting the transparent sensing electrode may include a stacked structure of a metal pattern and an anti-reflection pattern. Accordingly, it is possible to reduce the visibility of the bridge electrode by reducing the reflectance of the bridge electrode through the anti-reflection pattern while reducing the contact resistance or the channel resistance through the metal pattern.
상기 반사 방지 패턴은 예를 들면, 금속-산소 복합체를 포함하며, 상기 금속 패턴의 산화 방지층으로 제공될 수도 있다. 따라서, 상기 브릿지 전극의 화학적 안정성을 향상시켜 터치 센서의 전체적 신뢰성이 향상될 수 있다.The anti-reflection pattern includes, for example, a metal-oxygen complex, and may be provided as an anti-oxidation layer of the metal pattern. Accordingly, the overall reliability of the touch sensor may be improved by improving the chemical stability of the bridge electrode.
도 1 및 도 2는 예시적인 실시예들에 따른 터치 센서를 나타내는 개략적인 평면도 및 단면도이다.
도 3은 일부 예시적인 실시예들에 따른 터치 센서를 나타내는 개략적인 단면도이다.
도 4는 예시적인 실시예들에 따른 윈도우 적층체 및 화상 표시 장치를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.1 and 2 are schematic plan and cross-sectional views illustrating a touch sensor according to example embodiments.
3 is a schematic cross-sectional view illustrating a touch sensor according to some exemplary embodiments.
4 is a schematic cross-sectional view illustrating a window laminate and an image display device according to example embodiments.
본 발명의 실시예들은 금속 패턴 및 반사 방지 패턴의 적층 구조를 갖는 브릿지 전극을 포함하며, 광학적, 전기적, 화학적 안정이 향상된 터치 센서를 제공한다. 또한, 상기 터치 센서를 포함하며 이미지 품질이 향상된 화상 표시 장치를 제공한다.Embodiments of the present invention include a bridge electrode having a laminated structure of a metal pattern and an anti-reflection pattern, and provide a touch sensor with improved optical, electrical, and chemical stability. In addition, there is provided an image display device including the touch sensor and improved image quality.
이하 도면을 참고하여, 본 발명의 실시예들을 보다 구체적으로 설명하도록 한다. 다만, 본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 전술한 발명의 내용과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니된다.Hereinafter, with reference to the drawings, embodiments of the present invention will be described in more detail. However, the following drawings attached to the present specification illustrate preferred embodiments of the present invention, and serve to further understand the technical spirit of the present invention together with the above-described content of the present invention, so the present invention is described in such drawings It should not be construed as being limited only to the matters.
본 출원에서 사용된 "행 방향", "열 방향", "X 방향", "Y 방향" 등의 용어는 절대적인 방향을 지정하는 것이 아니라, 서로 다른 방향을 상대적으로 표현하기 위해 사용된다.Terms such as "row direction", "column direction", "X direction", and "Y direction" used in this application do not designate an absolute direction, but are used to relatively express different directions.
도 1 및 도 2는 예시적인 실시예들에 따른 터치 센서를 나타내는 개략적인 평면도 및 단면도이다. 구체적으로, 도 2는 도 1의 I-I' 라인을 따라 두께 방향으로 절단한 단면도이다. 도 2는 탑-브릿지(Top-Bridge) 구조의 터치 센서를 예시적으로 도시하고 있다.1 and 2 are schematic plan and cross-sectional views illustrating a touch sensor according to example embodiments. Specifically, FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line I-I' of FIG. 1 in the thickness direction. 2 exemplarily illustrates a touch sensor having a top-bridge structure.
도 1 및 도 2를 참조하면, 터치 센서(100)는 기재층(105) 및 기재층(105) 상에 배열된 센싱 전극들(110, 120)을 포함할 수 있다.1 and 2 , the
기재층(105)은 센싱 전극(110, 120) 형성을 위해 지지층으로 사용되는 필름 타입 기재, 또는 센싱 전극(110, 120)이 형성되는 대상체를 포괄하는 의미로 사용된다. 일부 실시예들에 있어서, 기재층(105)은 센싱 전극(110, 120)이 직접 형성되는 표시 패널을 지칭할 수도 있다.The
예를 들면, 기재층(105)은 터치 센서에 통상적으로 사용되는 기판, 또는 필름 소재를 특별한 제한 없이 포함할 수 있으며, 예를 들면, 유리, 고분자 및/또는 무기 절연 물질을 포함할 수 있다. 상기 고분자의 예로서, 환형올레핀중합체(COP), 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리아크릴레이트(PAR), 폴리에테르이미드(PEI), 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN), 폴리페닐렌설파이드(PPS), 폴리알릴레이트(polyallylate), 폴리이미드(PI), 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(CAP), 폴리에테르술폰(PES), 셀룰로오스 트리아세테이트(TAC), 폴리카보네이트(PC), 환형올레핀공중합체(COC), 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA) 등을 들 수 있다. 상기 무기 절연 물질의 예로서, 실리콘 산화물, 실리콘 질화물, 실리콘 산질화물, 금속 산화물 등을 들 수 있다.For example, the
일 실시예에 있어서, 기재층(105)은 복층 구조를 가질 수도 있다. 예를 들면, 유기 절연층 및 무기 절연층의 복층 구조를 포함할 수 있다.In one embodiment, the
상기 터치 센서가 삽입되는 화상 표시 장치의 층 또는 필름 부재가 기재층(105)으로 제공될 수도 있다. 예를 들면, 디스플레이 패널에 포함되는 인캡슐레이션 층 또는 패시베이션 층 등이 기재층(105)으로 제공될 수도 있다.A layer or a film member of the image display device into which the touch sensor is inserted may be provided as the
센싱 전극들(110, 120)은 제1 센싱 전극들(110) 및 제2 센싱 전극들(120)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 센싱 전극들(110, 120)은 상호 정전 용량(Mutual Capacitance) 방식으로 구동될 수 있도록 배열될 수 있다.The
제1 센싱 전극들(110)은 예를 들면, 행 방향(또는 X 방향)을 따라 배열될 수 있다. 상기 행 방향으로 이웃하는 제1 센싱 전극들(110)은 연결부(115)에 의해 서로 연결될 수 있다. 제1 센싱 전극들(110) 및 연결부(115)는 서로 일체로 연결되어 실질적으로 단일 부재로 제공될 수 있다. 이 경우, 제1 센싱 전극들(110) 및 연결부(115)는 동일한 도전막으로부터 함께 패터닝되어 형성되며, 동일 층 혹은 동일 레벨 상에 위치할 수 있다.The
이에 따라, 상기 행 방향으로 연장하는 제1 센싱 채널 행이 정의되며, 복수의 상기 제1 센싱 채널 행들이 열 방향(예를 들면, Y 방향)을 따라 배열될 수 있다.Accordingly, a first sensing channel row extending in the row direction may be defined, and a plurality of first sensing channel rows may be arranged along a column direction (eg, a Y direction).
제2 센싱 전극들(120)은 예를 들면, 상기 열 방향을 따라 배열되며 각각 독립된 섬(island) 패턴 형태를 가질 수 있다. 상기 열 방향으로 이웃하는 제2 센싱 전극들(120)은 브릿지 전극(140)에 의해 서로 전기적으로 연결될 수 있다. The
이에 따라, 상기 열 방향으로 연장하는 제2 센싱 채널 열이 정의되며, 복수의 상기 제2 센싱 채널 열들이 상기 행 방향을 따라 배열될 수 있다. Accordingly, a second sensing channel column extending in the column direction may be defined, and a plurality of second sensing channel columns may be arranged along the row direction.
예시적인 실시예들에 따르면, 센싱 전극들(110, 120)은 투명 도전성 산화물을 포함할 수 있다. 예를 들면, 센싱 전극들(110, 120)은 인듐주석산화물(ITO), 인듐아연산화물(IZO), 아연산화물(ZnO), 인듐아연주석산화물(IZTO), 카드뮴주석산화물(CTO) 등을 포함할 수 있다.In example embodiments, the
센싱 전극들(110, 120)을 상기 투명 도전성 산화물을 포함하도록 형성함으로써, 터치 센서(100)의 전체적인 투과율을 향상시킬 수 있다.By forming the
일부 실시예들에 있어서, 센싱 전극들(110, 120)은 상기 투명 도전성 산화물을 포함하는 메쉬(mesh) 구조로 형성될 수도 있다.In some embodiments, the
브릿지 전극(140)에 의해 상기 제1 센싱 채널 행에 포함된 연결부(115)를 사이에 두고 이웃하는 제2 센싱 전극들(120)이 서로 전기적으로 연결될 수 있다.The
예를 들면, 센싱 전극들(110, 120)을 덮는 절연층(130)이 기재층(105) 상에 형성될 수 있다. 절연층(130)은 제2 센싱 전극(120)의 상면을 부분적으로 노출시키는 콘택 홀(135)을 포함할 수 있다. 브릿지 전극(140)은 이웃하는 콘택 홀들(135)을 채우며 절연층(130) 상에 형성될 수 있다.For example, the insulating
예시적인 실시예들에 따르면, 브릿지 전극(140)은 금속 패턴(142) 및 반사 방지 패턴(144)의 적층 구조를 포함할 수 있다.According to example embodiments, the
금속 패턴(142)은 콘택 홀(135)을 실질적으로 완전히 채우며 제2 센싱 전극(120)의 상기 상면과 접촉할 수 있다. 금속 패턴(142)은 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 니오븀(Nb), 탄탈륨(Ta), 바나듐(V), 철(Fe), 망간(Mn), 코발트(Co), 니켈(Ni), 아연(Zn), 몰리브덴(Mo), 칼슘(Ca), 주석(Sn) 또는 이들의 합금(예를 들면, 은-팔라듐-구리(APC))을 포함할 수 있다.The
금속 패턴(142)에 의해 제2 센싱 전극(120)과의 콘택 저항이 감소하며, 상기 제2 센싱 채널 열의 채널 저항이 감소할 수 있다. 따라서, 제2 센싱 채널 열을 통한 스캔 속도 또는 센싱 속도가 향상될 수 있다.A contact resistance with the
바람직하게는, 저저항 구현을 위해 금속 패턴(142)은 구리 합금을 포함할 수 있다.Preferably, the
반사 방지 패턴(144)은 금속 패턴(142) 상에 형성되어, 예를 들면 터치 센서 또는 화상 표시 장치의 시인면을 향할 수 있다. 반사 방지 패턴(144)은 금속 패턴(142)보다 낮은 반사율 또는 높은 광 흡수 특성을 가질 수 있다.The
예시적인 실시예들에 있어서, 반사 방지 패턴(144)은 금속 패턴(142)보다 낮은 밝기 값을 가질 수 있으며, 실질적으로 흑화 패턴으로 제공될 수 있다.In example embodiments, the
일부 실시예들에 있어서, CIELAB 색 공간에서 반사 방지 패턴(144)의 L* 값은 약 12 내지 20, 금속 패턴(142)의 L* 값은 약 55 내지 65일 수 있다(0:Black < L* < 100:White; L*의 값이 낮을수록 Black의 색과 가깝다).In some embodiments, the L* value of the
예시적인 실시예들에 따르면, 반사 방지 패턴(144)은 구리-산소(Cu-O) 함유 도전성 화합물을 포함할 수 있다. 일부 실시예들에 있어서, 반사 방지 패턴(144)은 구리-추가금속-산소(Cu-M-O) 함유 도전성 화합물을 포함할 수 있다.In example embodiments, the
예를 들면, 추가금속(M)은 6족 원소 금속, 알칼리 금속, 알칼리 토금속 및/또는 희토류 금속을 포함할 수 있다. 예를 들면, 추가 금속(M)은 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 마그네슘(Mg), 칼슘(Ca), 란타늄(La), 세슘(Ce), 인듐(In) 등을 포함할 수 있다. 이들은 단독으로 혹은 2 이상이 조합되어 사용될 수 있다.For example, the additional metal (M) may include a Group 6 element metal, an alkali metal, an alkaline earth metal and/or a rare earth metal. For example, additional metals (M) include chromium (Cr), molybdenum (Mo), tungsten (W), magnesium (Mg), calcium (Ca), lanthanum (La), cesium (Ce), indium (In), etc. may include. These may be used alone or in combination of two or more.
일부 실시예들에 있어서, 반사 방지 패턴(144)에 포함된 총 원소들 중 상기 구리, 추가금속(M) 및 산소 원소의 비율은 약 50 내지 80원자%(at%)일 수 있으며, 바람직하게는 약 60 내지 70원자%(at%)일 수 있다. In some embodiments, the ratio of the copper, the additional metal (M), and the oxygen element among the total elements included in the
반사 방지 패턴(144)에 있어서, 산소 원소는 구리 및/또는 추가 금속(M)의 도전성을 상실시키지 않으면서, 반사 방지 패턴(144) 내에 도핑 또는 혼입될 수 있다. 산소 원소에 의해 반사 방지 패턴(144)이 흑화 또는 부분 산화되어 금속 패턴(142) 에 대한 반사 방지층 또는 광 흡수층으로 제공될 수 있다.In the
예를 들면, 절연층(130)에 콘택 홀들(135)을 채우는 금속층을 형성한 후, 상기 금속층 상에 반사 방지층을 형성할 수 있다. 상기 반사 방지층은 구리 타겟(또는 구리-산소 타겟) 및 추가 금속 타겟(또는 추가 금속-산소 타겟), 또는 구리-추가 금속-산소 타겟을 사용하는 스퍼터링 공정을 통해 형성될 수 있다. For example, after a metal layer filling the contact holes 135 is formed in the insulating
이후, 상기 반사 방지층 및 상기 금속층을 식각하여 절연층(130)으로부터 순차적으로 적층된 금속 패턴(142) 및 반사 방지 패턴(144)을 포함하는 브릿지 전극(140)을 형성할 수 있다.Thereafter, the anti-reflection layer and the metal layer may be etched to form the
절연층(130) 상에는 브릿지 전극(140)을 덮는 패시베이션 층(150)이 더 형성될 수도 있다. 절연층(130) 및 패시베이션 층(150)은 실리콘 산화물, 실리콘 질화물 등과 같은 무기 절연 물질, 또는 아크릴계 수지, 실록산계 수지와 같은 유기 절연 물질을 포함할 수 있다.A
상술한 예시적인 실시예들에 따르면, 센싱 전극들(110, 120)을 투명 도전성 산화물로 형성하여 터치 센서(100)의 투과성을 향상시킬 수 있다. 채널 저항 감소를 위해 브릿지 전극(140)은 금속 패턴(142)을 포함할 수 있다. According to the above-described exemplary embodiments, the transmittance of the
이 경우, 금속 패턴(142)에서의 광 반사에 의해 브릿지 전극(140)이 사용자에게 시인될 수 있다. 그러나, 본 발명의 실시예들에 있어서, 반사 방지 패턴(144)이 브릿지 전극(140)을 덮으므로 광 반사를 차단하거나, 반사된 광이 흡수되어 브릿지 전극(140)의 시인을 억제할 수 있다.In this case, the
또한, 반사 방지 패턴(144)에 의해 금속 패턴(142)의 표면이 보호되어 터치 센서 제조 공정 또는 외부로부터 침투하는 수분, 공기에 의한 금속 패턴(142)의 산화, 부식이 방지될 수 있다. 따라서, 브릿지 전극(140)의 화학적 안정성 및 전기적 신뢰성이 장기간 유지될 수 있다.In addition, the surface of the
도 3은 일부 예시적인 실시예들에 따른 터치 센서를 나타내는 개략적인 단면도이다. 도 1 및 도 2를 참조로 설명한 바와 실질적으로 동일하거나 유사한 구성 및 구조에 대한 상세한 설명은 생략된다.3 is a schematic cross-sectional view illustrating a touch sensor according to some exemplary embodiments. Detailed descriptions of configurations and structures substantially the same as or similar to those described with reference to FIGS. 1 and 2 will be omitted.
도 3을 참조하면, 센싱 전극(110, 120)은 금속층 및 투명 도전성 산화물층의 복층 구조를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 3 , the
일부 실시예들에 있어서, 각 센싱 전극(110, 120)은 제1 투명 도전성 산화물 층(92), 금속층(94) 및 제2 투명 도전성 산화물 층(96)을 포함하는 복층 구조를 가질 수 있다.In some embodiments, each of the
금속층(94)은 제1 및 제2 투명 도전성 산화물 층들(92, 96) 사이에 형성되어 센싱 전극(110, 120)의 저항을 낮추고 정전 용량 형성을 촉진할 수 있다. 또한, 금속층(94)에 의해 터치 센서(100)의 전체적인 플렉시블 특성이 증가될 수 있다. The
금속층(94)은 제1 및 제2 투명 도전성 산화물 층들(92, 96)에 의해 샌드위치되므로, 외부 공기, 수분에 의한 부식이 방지될 수 있다. 또한, 제1 및 제2 투명 도전성 산화물 층들(92, 96)에 의해 센싱 전극(110, 120)은 실질적으로 투명성을 가질 수 있다.Since the
도 4는 예시적인 실시예들에 따른 윈도우 적층체 및 화상 표시 장치를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.4 is a schematic cross-sectional view illustrating a window laminate and an image display device according to example embodiments.
도 4를 참조하면, 윈도우 적층체(200)는 윈도우 기판(230), 편광층(220) 및 상술한 예시적인 실시예들에 따른 터치 센서(100)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 4 , the
윈도우 기판(230)은 예를 들면 하드 코팅 필름을 포함하며, 일 실시예에 있어서, 윈도우 기판(230)의 일면의 주변부 상에 차광 패턴(235)이 형성될 수 있다. 차광 패턴(235)은 예를 들면 컬러 인쇄 패턴을 포함할 수 있으며, 단층 또는 복층 구조를 가질 수 있다. 차광 패턴(235)에 의해 화상 표시 장치의 베젤부 혹은 비표시 영역이 정의될 수 있다.The
편광층(220)은 코팅형 편광자 또는 편광판을 포함할 수 있다. 상기 코팅형 편광자는 중합성 액정 화합물 및 이색성 염료를 포함하는 액정 코팅층을 포함할 수 있다. 이 경우, 편광층(220)은 상기 액정 코팅층에 배향성을 부여하기 위한 배향막을 더 포함할 수 있다The
예를 들면, 상기 편광판은 폴리비닐알코올계 편광자 및 상기 폴리비닐알코올계 편광자의 적어도 일면에 부착된 보호필름을 포함할 수 있다.For example, the polarizing plate may include a polyvinyl alcohol-based polarizer and a protective film attached to at least one surface of the polyvinyl alcohol-based polarizer.
편광층(220)은 윈도우 기판(230)의 상기 일면과 직접 접합되거나, 제1 점접착층(240)을 통해 부착될 수도 있다.The
터치 센서(100)는 필름 또는 패널 형태로 윈도우 적층체(200)에 포함될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 터치 센서(100)는 제2 점접착층(250)를 통해 편광층(220)과 결합될 수 있다.The
도 4에 도시된 바와 같이, 사용자의 시인측으로부터 윈도우 기판(230), 편광층(220) 및 터치 센서(100) 순으로 배치될 수 있다. 이 경우, 터치 센서(100)의 센싱 전극들이 편광층(220) 아래에 배치되므로 전극 시인 현상을 보다 효과적으로 방지할 수 있다. As shown in FIG. 4 , the
터치 센서(100)가 기판(예를 들면, 기재층(105))을 포함하는 경우, 상기 기판은 예를 들면 트리아세틸셀룰로오스, 시클로올레핀, 시클로올레핀 공중합체, 폴리노르보르넨 공중합체 등을 포함할 수 있으며, 바람직하게는 정면 위상차가 ±2.5nm 이하일 수 있다.When the
일 실시예에 있어서, 터치 센서(100)는 윈도우 기판(230) 또는 편광층(220) 상에 직접 전사될 수도 있다. 일 실시예에 있어서, 사용자의 시인측으로부터 윈도우 기판(230), 터치 센서(100) 및 편광층(220) 순으로 배치될 수도 있다.In an embodiment, the
상기 화상 표시 장치는 표시 패널(300) 및 표시 패널(300) 상에 결합된 상술한 윈도우 적층체(200)를 포함할 수 있다.The image display device may include a
표시 패널(300)은 패널 기판(305) 상에 배치된 화소 전극(310), 화소 정의막(320), 표시층(330), 대향 전극(340) 및 인캡슐레이션 층(350)을 포함할 수 있다.The
패널 기판(305) 상에는 박막 트랜지스터(TFT)를 포함하는 화소 회로가 형성되며, 상기 화소 회로를 덮는 절연막이 형성될 수 있다. 화소 전극(310)은 상기 절연막 상에서 예를 들면 TFT의 드레인 전극과 전기적으로 연결될 수 있다.A pixel circuit including a thin film transistor (TFT) may be formed on the
화소 정의막(320)은 상기 절연막 상에 형성되어 화소 전극(310)을 노출시켜 화소 영역을 정의할 수 있다. 화소 전극(310) 상에는 표시층(330)이 형성되며, 표시층(330)은 예를 들면, 액정층 또는 유기 발광층을 포함할 수 있다.The
화소 정의막(320) 및 표시층(330) 상에는 대향 전극(340)이 배치될 수 있다. 대향 전극(340)은 예를 들면, 화상 표시 장치의 공통 전극 또는 캐소드로 제공될 수 있다. 대향 전극(340) 상에 표시 패널(300) 보호를 위한 인캡슐레이션 층(350)이 적층될 수 있다.A
일부 실시예들에 있어서, 표시 패널(300) 및 윈도우 적층체(200)는 점접착층(260)을 통해 결합될 수도 있다. 예를 들면, 점접착층(260)의 두께는 제1 및 제2 점접착층(240, 250) 각각의 두께보다 클 수 있으며, -20 내지 80℃에서의 점탄성이 약 0.2MPa 이하일 수 있다. 이 경우, 표시 패널(300)로부터의 노이즈를 차폐할 수 있고, 굴곡 시에 계면 응력을 완화하여 윈도우 적층체(200)의 손상을 억제할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 상기 점탄성은 약 0.01 내지 0.15MPa일 수 있다.In some embodiments, the
이하, 본 발명의 이해를 돕기 위하여 바람직한 실시예들을 포함하는 실험예를 제시하나, 이들 실시예는 본 발명을 예시하는 것일 뿐 첨부된 특허청구범위를 제한하는 것이 아니며, 본 발명의 범주 및 기술사상 범위 내에서 실시예에 대한 다양한 변경 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속하는 것도 당연한 것이다.Hereinafter, experimental examples including preferred embodiments are presented to help the understanding of the present invention, but these examples are merely illustrative of the present invention and do not limit the appended claims, the scope and spirit of the present invention It is obvious to those skilled in the art that various changes and modifications to the embodiments are possible within the scope, and it is natural that such variations and modifications fall within the scope of the appended claims.
실험예Experimental example
실시예 1Example 1
COP 기판(두께: 1000 Å) 상에 Cu층을 1000 Å 두께로 형성하고, Cu층 상에 구리-산소 함유 반사 방지층을 스퍼터링 공정을 통해 400 Å의 두께로 형성하여 전극 구조체를 제조하였다.An electrode structure was prepared by forming a Cu layer to a thickness of 1000 Å on a COP substrate (thickness: 1000 Å), and forming a copper-oxygen-containing antireflection layer on the Cu layer to a thickness of 400 Å through a sputtering process.
비교예 1Comparative Example 1
반사 방지층을 생략한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 전극 구조체를 제조하였다.An electrode structure was prepared in the same manner as in Example 1, except that the anti-reflection layer was omitted.
비교예 2Comparative Example 2
반사 방지층 대신에 인듐아연산화물(IZO) 층을 300 Å의 두께로 Cu 층 상에 형성한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 전극 구조체를 제조하였다.An electrode structure was prepared in the same manner as in Example 1, except that an indium zinc oxide (IZO) layer was formed on the Cu layer to a thickness of 300 Å instead of the anti-reflection layer.
실시예 및 비교예들의 전극 구조체의 전극면 상에서의 가시광 반사율을 측정(측정기기: 미놀타 적분구측정기)하였다. The visible light reflectance on the electrode surface of the electrode structures of Examples and Comparative Examples was measured (measuring device: Minolta integrating sphere meter).
실시예 및 비교예들의 전극 구조체의 대해 상온에서 초기 저항을 측정하였다. 이후, 24시간 동안 85℃ 온도에서 85% 상대 습도 조건에 방치 한후 전극 구조체의 저항을 측정하고, 초기 저항 대비 저항 변화율을 측정하였다.The initial resistance was measured at room temperature for the electrode structures of Examples and Comparative Examples. Thereafter, the resistance of the electrode structure was measured after leaving it in the 85% relative humidity condition at 85°C for 24 hours, and the resistance change rate compared to the initial resistance was measured.
평가 결과는 하기 표 1에 나타낸다. The evaluation results are shown in Table 1 below.
(%)reflectivity
(%)
표 1을 참조하면, 반사 방지층이 Cu층 상에 형성된 실시예의 경우 전극 구조체의 반사율을 현저히 낮추면서 고온, 고습 조건에서의 화학적, 전기적 안정성이 유지됨을 확인할 수 있다.Referring to Table 1, in the case of the embodiment in which the anti-reflection layer is formed on the Cu layer, it can be confirmed that the reflectance of the electrode structure is significantly lowered and chemical and electrical stability in high temperature and high humidity conditions is maintained.
105: 기재층
110: 제1 센싱 전극
115: 연결부
120: 제2 센싱 전극
130: 절연층
140: 브릿지 전극
142: 금속 패턴
144: 반사 방지 패턴
150: 패시베이션 층105: base layer 110: first sensing electrode
115: connection unit 120: second sensing electrode
130: insulating layer 140: bridge electrode
142: metal pattern 144: anti-reflection pattern
150: passivation layer
Claims (15)
상기 기재층 상에 배열된 센싱 전극들; 및
상기 센싱 전극들 중 인접한 일부 센싱 전극들을 서로 전기적으로 연결시키며, 금속 패턴 및 상기 금속 패턴보다 낮은 밝기를 갖는 반사 방지 패턴을 포함하는 브릿지 전극을 포함하는, 터치 센서.base layer;
sensing electrodes arranged on the base layer; and
A touch sensor that electrically connects some adjacent sensing electrodes among the sensing electrodes to each other and includes a bridge electrode including a metal pattern and an anti-reflection pattern having a lower brightness than the metal pattern.
상기 브릿지 전극은 열 방향으로 이웃하는 상기 제2 센싱 전극들을 전기적으로 연결시키는, 터치 센서.The method according to claim 1, wherein the sensing electrodes are first sensing electrodes forming a sensing channel row; and second sensing electrodes forming a sensing channel column,
The bridge electrode electrically connects the second sensing electrodes adjacent to each other in a column direction, a touch sensor.
상기 브릿지 전극의 상기 금속 패턴은 상기 절연층 상에서 상기 콘택홀들을 완전히 채우며, 상기 반사 방지 패턴은 상기 금속 패턴 상에 형성된, 터치 센서.The method according to claim 9, further comprising an insulating layer covering the sensing electrodes on the base layer and including contact holes partially exposing surfaces of the second sensing electrodes,
The metal pattern of the bridge electrode completely fills the contact holes on the insulating layer, and the anti-reflection pattern is formed on the metal pattern.
상기 윈도우 기판 상에 적층되며 청구항 1에 따른 터치 센서를 포함하는, 윈도우 적층체.window substrate; and
A window laminate stacked on the window substrate and comprising the touch sensor according to claim 1 .
상기 표시 패널 상에 적층되며 청구항 1에 따른 터치 센서를 포함하는, 화상 표시 장치.display panel; and
An image display device stacked on the display panel and including the touch sensor according to claim 1 .
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WO2023163531A1 (en) * | 2022-02-25 | 2023-08-31 | 동우 화인켐 주식회사 | Digitizer and image display device comprising same |
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KR20140092366A (en) | 2011-10-25 | 2014-07-23 | 유니-픽셀 디스플레이스, 인코포레이티드 | Polarizer resistive touch screen |
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