KR20210052213A - 전기 스파크 증착 다이아몬드 와이어쏘 와이어 생산 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 전기 스파크 증착 다이아몬드 와이어쏘(wire-saw) 와이어 생산 장치를 제공하며, 여기에는 액체 공급 장치, 와이어쏘 와이어 기판에 분사 및 증착하기 위한 전기 스파크 증착 장치, 전기 스파크 증착 장치에 전력을 공급하기 위한 펄스 전원를 포함하고, 상기 전기 스파크 증착 장치는 액체 공급 장치에 연결되고, 상기 펄스 전원은 전기 스파크 증착 장치에 연결되고, 상기 전기 스파크 증착 장치는 회전 장치 상에 설치되고, 회전 장치 상에는 전기 스파크 증착 장치를 밀어 이동시키는 평행 이동 장치가 설치되고, 회전 장치 상에는 전기 스파크 증착 장치가 스윙하도록 구동하기 위한 스윙 장치가 더 설치된다. 본 장치는 와이어쏘 와이어 기판의 설정 위치 상에서 다이아몬드 연마 입자의 전기 스파크 증착 및 고형화를 진행하고, 연마 입자가 질서 있게 배열된 다이아몬드 와이어쏘 와이어를 제작할 수 있다.
Description
본 발명은 고형화된 연마 입자 와이어쏘(wire-saw) 와이어의 생산 분야에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 전기 스파크 증착 공정을 채택해 다이아몬드 등 연마 입자를 와이어쏘 와이어 기판 상에 고형화시키는 생산 장치에 관한 것이다.
고형화된 연마 입자 와이어쏘(wire-saw) 와이어는 다이아몬드 등을 연마 입자로 사용하여, 연마 입자를 와이어쏘 와이어 기판 상에 고형화시켜 제조된 일종의 와이어쏘 와이어이며, 높은 절단 품질, 높은 절단 효율, 좁은 슬릿 및 적은 환경오염 등의 장점으로 인해 크리스탈 커팅 분야에서의 활용 전망이 상당히 밝다.
현재 고형화된 연마 입자 와이어쏘 와이어의 연마 입자 고정 방법으로는 주로 수지 결합제 본딩과 전기 도금의 두 가지 방식이 채택된다. 수지 결합제 본딩 방식을 채택하면 연마 입자 유지력이 낮고 커팅 성능이 좋지 않아 와이어쏘 와이어 사용 범위에 영향을 미친다. 전기 도금 방식을 채택하는 경우에는 현재 대부분이 샌드 세스펜션(sand-suspension) 공법을 사용한다. 즉, 와이어쏘 와이어 기판을 매질 액체에 넣고 전기도금을 수행하며, 연마 입자는 전기도금 방식을 통해 와이어쏘 와이어 기판 상에 고형화시키는데, 그 연마 입자의 유지력은 수지 본딩보다 우수하나 생산 공정이 복잡하고 설비가 비싸며 전기도금 용액의 휘발 및 배출이 환경에 영향을 미친다.
상기와 같은 단점을 감안하여 본 발명은 전기 스파크 증착 다이아몬드 와이어쏘(wire-saw) 와이어 생산 장치를 제공한다. 생산된 와이어쏘 와이어는 크리스탈 절삭 가공의 효율과 절삭 품질을 향상시킬 수 있으며, 생산 공정에서 와이어쏘 와이어 기판 설정 위치에 대하여 다이아몬드 연마 입자 고형화 및 증착을 수행하여 연마 입자가 질서 있게 배열된 와이어쏘 와이어를 제작할 수 있다.
본 발명은 다음과 같은 기술에 의해 구현된다. 즉, 전기 스파크 증착 다이아몬드 와이어쏘 와이어 생산 장치는 혼합액 매질을 제공하기 위한 액체 공급 장치, 와이어쏘 와이어 기판에 혼합액 매질을 분사하고 스파크 방전을 일으켜 증착을 구현하기 위한 전기 스파크 증착 장치, 와이어쏘 와이어를 운동시키기 위한 와이어 권취/권출 장치, 전기 스파크 증착 장치에 전력을 공급하기 위한 펄스 전원을 포함하고, 상기 전기 스파크 증착 장치는 액체 공급 장치에 연결되고, 상기 펄스 전원은 전기 스파크 증착 장치에 연결되고, 펄스 전원은 컨트롤러에 연결되고, 상기 전기 스파크 증착 장치는 회전 장치 상에 설치되고, 회전 장치 상에는 전기 스파크 증착 장치를 밀어 이동시키는 평행 이동 장치가 설치되고, 회전 장치 상에는 전기 스파크 증착 장치가 스윙하도록 구동하기 위한 스윙 장치가 더 설치된다. 액체 공급 장치는 액체 분사 전극에 혼합액 매질을 제공할 수 있으며, 혼합액 매질에는 일정 비율로 첨가된 다이아몬드 미세 분말, 텅스텐 카바이드 미세 분말, 코발트 분말 등 입자가 함유되고, 펄스 전원은 액체 분사 전극에 전력을 공급하는 데 사용되고, 회전 장치는 액체 분사 전극이 와이어쏘 와이어 기판을 감싸 회전하도록 구동시켜 다각도의 연마 입자 고형화를 수행할 수 있고, 평행 이동 장치는 액체 분사 전극을 이동시켜 액체 분사 전극과 와이어쏘 와이어 기판 사이의 거리를 조정하는 데 사용되고, 상기 전기 스파크 증착 장치는 액체 분사 전극을 포함하고, 액체 분사 전극은 관형이며, 액체 분사 전극의 와이어쏘 와이어 기판을 향하는 일단은 원호형이다. 작업 시 액체 분사 전극은 혼합액 매질을 분사하고, 액체 분사 전극과 와이어쏘 와이어 기판 사이의 갭에는 액체 매질로 채워지고, 액체 분사 전극은 펄스 전원에 연결되어 액체 분사 전극과 와이어쏘 와이어 기판 사이에 스파크 방전을 일으키고, 가공 시 스파크 방전을 통해 국부적인 고온 공작물과 전극 사이에 스파크 방전이 발생하여, 텅스텐 카바이드 및 코발트가 와이어쏘 와이어 기판과 야금적으로 결합되고, 다이아몬드 연마 입자가 와이어쏘 와이어 기판 상에 고형화된다. 스윙 장치는 액체 분사 전극이 스윙하도록 구동하여, 액체 분사 전극이 와이어쏘 와이어 기판 둘레의 다른 부분에 다이아몬드 연마 입자를 고형화시킬 수 있고, 와이어 권취/권출 장치의 구동 하에서 와이어쏘 와이어 기판이 그 축방향을 따라 이동하고, 최종적으로 액체 분사 전극의 와이어쏘 와이어 기판 각 위치 상에서의 다이아몬드 연마 입자 전기 스파크 증착을 구현하여 다이아몬드 와이어쏘 와이어를 제작한다.
상기 액체 공급 장치는 액체 공급 펌프, 물받이판, 밀봉된 매질 박스를 포함하고, 액체 공급 펌프는 매질 박스와 연통하고, 매질 박스는 물받이판과 연통하고, 액체 공급 펌프는 액체 분사 전극과 연통하고, 액체 분사 전극에 혼합액 매질을 제공하는 데 사용되고, 물받이판은 액체 분사 전극으로부터 유출되는 액체를 수집하는 데 사용되고, 물받이판과 매질 박스 사이에 필터가 설치된다. 액체 공급 펌프는 컨트롤러에 연결되고, 액체 공급 펌프는 호스를 통해 액체 분사 전극과 연통되고, 혼합액 매질의 매질 박스는 혼합액이 증발되어 환경에 영향을 미치지 않도록 밀봉된다. 물받이판은 액체 매질의 재활용을 위해 전기 스파크 작용 후 남아있는 혼합액을 받기 위해 사용된다. 매질 박스에는 교반 블레이드가 장착된 교반 펌프가 설치되어 있고, 교반 펌프는 컨트롤러에 연결되고, 교반 펌프는 다이아몬드 연마 입자 등의 침전을 방지하기 위해 혼합액을 교반하는 데 사용된다.
상기 스윙 기구는 스윙 모터, 스윙축을 포함하고, 상기 액체 분사 전극은 스윙축 상에 설치되며, 스윙 모터는 전동 기어를 통해 스윙축을 스윙시켜 액체 분사 전극을 스윙시키며, 이는 와이어쏘 와이어 기판의 가공 및 증착에 도움이 된다.
회전 장치는 회전 모터, 회전축, 회전 블록을 포함하고, 회전 모터는 커플러를 통해 회전축을 회전하도록 구동시키고, 회전 블록은 회전축 상에 설치되어 회전축과 함께 회전한다. 평행 이동 장치는 이동 모터, 이동 안내봉, 나사봉을 포함하고, 이동 모터는 이동 안내봉을 통해 스윙축을 밀어 이동시키고, 이동 안내봉은 상기 회전 블록을 관통하고, 이동 모터축은 나사봉과 커플링되고, 나사봉은 나사쌍을 통해 회전축에 연결된다. 평행 이동 장치에는 나사봉과 이동 블록이 설치되고, 이동 모터를 가동하면 나사봉의 작용 하에서 이동 모터와 이동 안내봉이 평행 이동할 수 있고, 나아가 스윙축과 액체 분사 전극을 이동시켜 액체 분사 전극과 와이어쏘 와이어 기판의 거리를 조정할 수 있다. 회전 모터는 회전축을 구동하여 회전시키고, 회전축은 회전 블록을 구동하여 회전시키고, 나아가 이동 안내봉, 액체 분사 전극 등을 회전시켜 장치가 회전축을 감싸며 회전하도록 만든다. 상기 와이어 권취/권출 장치는 안내휠, 와이어 권취 모터, 와이어 권취휠, 와이어 권출휠을 포함하고, 와이어쏘 와이어 기판은 안내휠 상에 설치되고, 안내휠은 제1 안내휠과 제2 안내휠을 포함하고, 2개의 안내휠은 와이어쏘 와이어 기판을 지탱하고, 와이어쏘 와이어 기판은 와이어 권출휠 상을 감싸고, 상하 안내휠을 거친 후 와이어 권취휠 상을 감싸며, 와이어 권취 모터는 와이어 권취휠을 회전시키고, 와이어 권출휠(32)은 마그네틱 파우더 브레이크(33)에 연결되고, 제1 안내휠과 제2 안내휠이 지탱하는 와이어쏘 와이어 기판은 회전축과 동축으로 설치하며, 이러한 방식으로 액체 분사 전극이 와이어쏘 와이어 기판을 감싸 회전하도록 만들어 쏘 와이어 표면 각각의 각도에서 연마 입자의 전기 스파크 증착이 수행되도록 한다.
이동 모터, 회전 모터, 스윙 모터는 각각 컨트롤러에 연결되고, 이러한 방식으로 컨트롤러를 사용하여 3개 전극을 제어하고 전기 스파크 증착 작업을 수행할 수 있다.
상기 펄스 전원의 두 전극은 각각 액체 분사 전극 및 와이어쏘 와이어 기판에 연결되고, 펄스 전원과 안내휠은 슬립 링을 통해 연결되고, 안내휠은 와이어쏘 와이어 기판에 연결되고, 이러한 방식으로 펄스 전원은 액체 분사 전극과 와이어쏘 와이어 기판에 전력을 공급할 수 있고, 액체 분사 전극이 액체를 분사하는 동시에 액체 분사 전극과 와이어쏘 와이어 기판 사이에 스파크 방전이 일어나 다이아몬드 연마 입자의 고형화 및 증착을 구현한다.
본 발명은 전기 스파크를 통해 와이어쏘 와이어의 다이아몬드 증착을 구현하며, 전기 스파크 증착은 공작물과 전극 사이에 고전류 스파크 방전을 일으키고, 고온을 생성하여 재료를 녹이고 와이어쏘 와이어 기판 표면에서 빠르게 고형화시키며, 증착층과 기판 표면 재료가 높은 결합 강도로 야금 결합한다. 전기 스파크 증착 방식을 이용하여 연마 입자를 와이어쏘 기판 표면에 고형화시키면 와이어쏘 와이어의 연마 유지력을 효과적으로 개선하고 쏘 와이어의 성능을 향상시키며 생산 효율이 높고, 생산 과정에서 액체 분사 전극의 위치를 조정할 수 있으며, 설계 요구에 따라 연마 입자 분포가 다른 다이아몬드 와이어쏘 와이어를 생산할 수 있다.
본 발명의 기술적 해결책을 보다 명확하게 설명하기 위해 이하에서는 첨부 도면을 사용하여 소개한다.
도 1은 본 발명에 따른 구체적인 실시예의 모식도이다.
도 2는 액체 분사 전극의 구조조이다.
도 3은 본 발명에 따른 구체적인 실시예의 전기 블록도이다.
도 1은 본 발명에 따른 구체적인 실시예의 모식도이다.
도 2는 액체 분사 전극의 구조조이다.
도 3은 본 발명에 따른 구체적인 실시예의 전기 블록도이다.
이하에서는 구체적인 실시예 및 첨부 도면을 사용하여 본 발명에 의해 보호되는 기술적 해결책을 설명한다.
도면에서 알 수 있듯이, 본 기술적 해결책의 전기 스파크 증착 다이아몬드 와이어쏘 와이어 생산 장치는 혼합액 매질을 제공하기 위한 액체 공급 장치, 와이어쏘 와이어 기판(18)에 액체를 분사하고 증착시키기 위한 액체 분사 전극(5)을 포함하고, 액체 분사 전극(5)은 펄스 전원(4)에 연결되고, 액체 분사 전극(5)은 액체 공급 장치에 연결되고, 상기 전기 스파크 증착 장치는 회전 장치 상에 설치되고, 회전 장치 상에는 액체 분사 전극(5)을 밀어 이동시키기 위한 평행 이동 장치가 설치되고, 회전 장치 상에는 액체 분사 전극(5)이 스윙하도록 구동하기 위한 스윙 장치가 더 설치되고 액체 분사 전극 중간부에는 액체가 유동하는 채널이 설치되고, 펄스 전원(4)은 컨트롤러와 연결된다.
액체 공급 장치는 액체 공급 펌프(1), 물받이판(19) 및 밀봉된 매질 박스(23)를 포함하고, 매질 박스(23)에 혼합액 매질(22)을 넣고, 액체 공급 펌프(1)는 매질 박스(23)와 연통하고, 매질 박스(23)는 물받이판(19)과 연통하고, 액체 공급 펌프(1)는 호스(3)를 통해 액체 분사 전극(5)과 연통하고, 액체 분사 전극(5)에 혼합액 매질(22)을 제공하는 데 사용되고, 물받이판(19)은 액체 분사 전극(5)으로부터 유출되는 액체를 수집하는 데 사용되고, 물받이판(19)과 매질 박스(23) 사이에 필터(21)가 설치되어 혼합액을 여과하고, 매질 박스(23)에는 교반 펌프(2)와 교반 블레이드(24)가 설치되고, 교반 펌프와 액체 공급 펌프는 각각 상기 컨트롤러에 연결되고, 교반 펌프(2)는 교반 블레이드(23)를 구동시켜 혼합액 매질을 교반하고, 이를 통해 다이아몬드 등 연마 입자를 액체와 균일하게 혼합한다.
스윙 기구는 스윙 모터(8)와 스윙축(26)을 포함하고 상기 액체 분사 전극(5)은 스윙축(26) 상에 설치되고, 스윙 모터(8)는 전동 기어를 통해 스윙축(26)을 스윙시키고, 스윙 모터는 상기 컨트롤러에 연결되고, 전동 기어는 스윙축(26) 상에 설치된 대형 기어(7) 및 스윙 모터(8) 출력단에 설치된 소형 기어(6)를 포함하고, 대형 기어(7)는 소형 기어(6)와 맞물리고, 스윙 모터(8)는 소형 기어(6)를 통해 대형 기어(7)를 구동하여 회전시키고, 나아가 스윙축(26)을 구동하여 스윙시키고, 스윙축(26)은 액체 분사 전극(5)을 스윙하도록 구동하고, 이를 통해 액체 분사 전극(5)의 사용 수명을 향상시키고 가공 효율을 향상시킨다.
와이어쏘 와이어 기판(18)은 안내휠 상에 설치하고, 안내휠은 제1 안내휠(16)과 제2 안내휠(17)을 포함하고, 2개의 안내휠은 와이어쏘 와이어 기판(18)을 지탱하고, 와이어쏘 와이어 기판(18)은 와이어 권출휠(32) 상에 감기고, 상하 안내휠을 지난 후 와이어 권취휠(30) 상에 감긴다. 안내휠은 모두 금속 재질이고, 제2 안내휠(17)의 축심은 슬립 링(20)과 연결된다. 와이어 권취휠(30)은 와이어 권취 모터(31)에 연결되고, 와이어 권취 모터(31)는 컨트롤러에 연결되며, 와이어 권취 모터(31)는 컨트롤러의 제어 하에서 운동하여 와이어 권취휠(30)을 회전하도록 구동시킨다. 와이어 권출휠(32)은 마그네틱 파우더 브레이크(33)에 연결되고, 마그네틱 파우더 브레이크(33)는 와이어 권출휠(32)에 설정된 토크를 인가하여 와이어쏘 와이어 기판에 일정한 장력을 가한다.
회전 장치는 회전 모터(14), 회전축(27) 및 회전 블록(10)을 포함하고, 회전 모터(14)는 커플러(13)를 통해 회전축(27)을 회전하도록 구동시키고, 회전 블록(10)은 회전축(27) 상에 설치된다. 회전 모터는 컨트롤러에 연결되고, 회전 모터는 공지된 컨트롤러를 채택할 수 있다. 사용 시, 회전축(27)은 회전쌍(B 12)을 통해 일부 고정물 상에 고정시킬 수 있고, 와이어쏘 와이어 기판(18)은 회전축(27)과 동축이고, 상기 평행 이동 장치는 이동 모터(15), 이동 안내봉(29) 및 나사봉(28)을 포함하고, 이동 모터(15)는 이동 안내봉(29)을 통해 스윙축(26)을 밀어 이동시키고, 이동 안내봉(29)은 상기 회전 블록(10)을 관통하고, 이동 안내봉(29)과 스윙축(26)은 이동쌍(A)에 의해 연결되고, 이동 모터(15)는 나사봉(28)과 고정되고, 나사봉(28)은 나사쌍(11)을 통해 회전축(27)에 연결되고, 상기 평행 이동, 스윙, 회전 장치를 통해 액체 분사 전극(5)의 위치를 조절할 수 있고, 와이어쏘 와이어 기판(18)의 각 위치에 전기 스파크 증착 및 고형화를 수행하여, 다이아몬드 등 연마 입자가 와이어쏘 와이어 기판 표면에 증착되어 완전히 덮도록 구현할 수 있고, 와이어쏘 와이어 기판 상에서 다이아몬드 등 연마 입자의 분포 형상의 변화, 예를 들어 나사상, 환상도 구현할 수 있다.
펄스 전원(4)의 두 전극은 각각 액체 분사 전극(5) 및 와이어쏘 와이어 기판(18)과 연결되고, 펄스 전원(4)과 와이어쏘 와이어 기판(18) 사이는 슬립 링(20)을 통해 연결된다. 펄스 전원(4)은 액체 분사 전극(5)과 와이어쏘 와이어 기판(18)에 전력을 공급하여 스파크 방전을 일으킬 수 있으며, 이는 다이아몬드 등 연마 입자의 증착에 사용된다.
작업 시, 와이어 권출휠 상의 와이어쏘 와이어 기판을 와이어 권취휠(30) 상에 감고 와이어쏘 와이어 기판(18)의 단부는 고정한다. 매질 박스(23)에 등유, WC 분말, Co 분말, 다이아몬드 미세 분말 등을 비율에 따라 첨가하고, 교반 펌프(2)를 켜고, 매질 박스(23)의 액체 매질 중의 각종 분말이 균일하게 교반될 때까지 기다리며, 이동 모터(15)를 켜고 액체 분사 전극(5)을 와이어쏘 와이어 기판(18)으로부터 일정 거리 이격시킨 후, 액체 공급 펌프(1)를 켜고, 액체 분사 전극(5)의 액체 출력이 안정될 때까지 기다린 후 스윙 모터(8)를 켜서 액체 분사 전극(5)을 왕복 스윙시키고, 이동 모터(15)를 켜서 전기 스파크가 일어나 정지될 때까지 액체 분사 전극(5)을 천천히 와이어쏘 와이어 기판(18)에 접근시킨다. 회전 모터(14)를 켜서 액체 분사 전극(5)이 공정에 필요한 속도로 와이어쏘 와이어 기판을 감싸며 왕복 회전하도록 만든다. 와이어 권취 모터(31)는 일정한 속도 또는 운동 법칙에 따라 운동하며, 와이어쏘 와이어 기판(18)이 전극 지점을 지날 때, 전기 스파크의 작용 하에서 혼합액 매질 중의 텅스텐 카바이드, 코발트 분말 및 와이어쏘 기판 표면이 순간적으로 융화되고 빠르게 냉각되며, 와이어쏘 와이어 기판(18) 표면에 증착층이 형성되고 다이아몬드 입자가 와이어쏘 와이어 기판(18) 상에 고형화된다. 이러한 방식으로 와이어쏘 와이어의 제조를 구현한다.
상기 실시예는 본 발명의 전부가 아닌 일부 실시예일뿐이다. 본 특허의 실시예에 기초하여, 본 특허가 속한 기술 분야의 당업자에 의해 창조적인 작업 없이 획득된 다른 모든 실시예는 본 특허의 보호 범위 내에 속한다.
1: 액체 공급 펌프
2: 교반 펌프
3: 호스
4: 펄스 전원
5: 액체 분사 전극
6: 소형 기어
7: 대형 기어
8: 스윙 모터
9: 회전쌍 A
10: 회전 블록
11: 나사쌍
12: 회전쌍 B
13: 커플러
14: 회전 모터
15: 이동 모터
16: 제1 안내휠
17: 제2 안내휠
18: 와이어쏘 와이어 기판
19: 물받이판
20: 슬립 링
21: 필터
22: 혼합액 매질
23: 매질 박스
24: 교반 블레이드
25: 리드 와이어
26: 스윙축
27: 회전축
28: 나사봉
29: 이동 안내봉
30: 와이어 권취휠
31: 와이어 권취 모터
32: 와이어 권출휠
33: 마그네틱 파우더 브레이크
2: 교반 펌프
3: 호스
4: 펄스 전원
5: 액체 분사 전극
6: 소형 기어
7: 대형 기어
8: 스윙 모터
9: 회전쌍 A
10: 회전 블록
11: 나사쌍
12: 회전쌍 B
13: 커플러
14: 회전 모터
15: 이동 모터
16: 제1 안내휠
17: 제2 안내휠
18: 와이어쏘 와이어 기판
19: 물받이판
20: 슬립 링
21: 필터
22: 혼합액 매질
23: 매질 박스
24: 교반 블레이드
25: 리드 와이어
26: 스윙축
27: 회전축
28: 나사봉
29: 이동 안내봉
30: 와이어 권취휠
31: 와이어 권취 모터
32: 와이어 권출휠
33: 마그네틱 파우더 브레이크
Claims (10)
- 전기 스파크 증착 다이아몬드 와이어쏘 와이어 생산 장치에 있어서,
와이어쏘 와이어 기판 운동을 위한 와이어 권취/권출 장치를 포함하고,
혼합액 매질을 제공하기 위한 액체 공급 장치;
와이어쏘 와이어 기판(18)에 액체 매질을 분사하고 전기 스파크 증착을 수행하기 위한 전기 스파크 증착 장치;
전기 스파크 증착 장치에 전력을 공급하기 위한 펄스 전원(4)을 포함하고,
상기 전기 스파크 증착 장치는 액체 공급 장치에 연결되고, 상기 펄스 전원(4)은 전기 스파크 증착 장치에 전기적으로 연결되고, 상기 전기 스파크 증착 장치는 회전 장치 상에 설치되고, 회전 장치 상에는 전기 스파크 증착 장치를 밀어 이동시키기 위한 평행 이동 장치가 설치되고, 회전 장치 상에는 전기 스파크 증착 장치가 스윙하도록 구동시키기 위한 스윙 장치가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 전기 스파크 증착 다이아몬드 와이어쏘 와이어 생산 장치. - 제1항에 있어서,
상기 전기 스파크 증착 장치는 액체 분사 전극(5)을 포함하고, 액체 분사 전극(5)은 펄스 전원(4)에 연결되는 것을 특징으로 하는 전기 스파크 증착 다이아몬드 와이어쏘 와이어 생산 장치. - 제2항에 있어서,
상기 액체 공급 장치는 액체 공급 펌프(1), 물받이판(19) 및 밀봉된 매질 박스(23)를 포함하고, 액체 공급 펌프(1)는 매질 박스(23)와 연통하고, 매질 박스(23)는 물받이판(19)과 연통하고; 액체 공급 펌프(1)는 액체 분사 전극(5)과 연통하고, 액체 분사 전극(5)에 혼합액 매질을 제공하는 데 사용되고, 물받이판(19)은 액체 분사 전극(5)으로부터 유출되는 액체를 수집하는 데 사용되고; 물받이판(19)과 매질 박스(23) 사이에 필터(21)가 설치되고, 액체 공급 펌프(1), 펄스 전원(4)은 각각 컨트롤러에 연결되는 것을 특징으로 하는 전기 스파크 증착 다이아몬드 와이어쏘 와이어 생산 장치. - 제2항에 있어서,
상기 스윙 기구는 스윙 모터(8), 스윙축(26)을 포함하고, 상기 액체 분사 전극(5)은 스윙축(26) 상에 설치되고, 스윙 모터(8)는 전동 기어를 통해 스윙축(26)이 스윙하도록 구동시키는 것을 특징으로 하는 전기 스파크 증착 다이아몬드 와이어쏘 와이어 생산 장치. - 제4항에 있어서,
상기 회전 장치는 회전 모터(14), 회전축(27), 회전 블록(10)을 포함하고, 회전 모터(14)는 커플러(13)를 통해 회전축(27)이 회전하도록 구동시키고, 회전 블록(10)은 회전축(27) 상에 설치되는 것을 특징으로 하는 전기 스파크 증착 다이아몬드 와이어쏘 와이어 생산 장치. - 제5항에 있어서,
상기 평행 이동 장치는 이동 모터(15), 이동 안내봉(29), 나사봉(28)을 포함하고; 이동 모터(15)는 이동 안내봉(29)을 통해 스윙축(26)을 밀어 이동시키고, 이동 안내봉(29)은 상기 회전 블록(10)을 관통하고; 이동 모터(15)는 나사봉(28)과 고정되고, 나사봉(28)은 나사쌍(11)을 통해 회전축(27)과 연결되는 것을 특징으로 하는 전기 스파크 증착 다이아몬드 와이어쏘 와이어 생산 장치. - 제6항에 있어서,
상기 이동 모터(15), 회전 모터(14) 및 스윙 모터(8)는 각각 상기 컨트롤러에 연결되는 것을 특징으로 하는 전기 스파크 증착 다이아몬드 와이어쏘 와이어 생산 장치. - 제4항에 있어서,
상기 와이어 권취/권출 장치는 안내휠, 와이어 권취 모터(31), 와이어 권취휠(31), 와이어 권출휠(32)을 포함하고, 와이어쏘 와이어 기판(18)은 안내휠 상에 설치되고, 안내휠은 제1 안내휠(16)과 제2 안내휠(17)을 포함하고, 2개의 안내휠은 와이어쏘 와이어 기판(18)을 지탱하고, 와이어쏘 와이어 기판(18)은 와이어 권출휠(32) 상에 감기고, 상하 안내휠을 지난 후 와이어 권취힐(30) 상에 감기고, 와이어 권취 모터(31)는 와이어 권취휠(30)이 회전하도록 구동시키고, 와이어 권출휠(32)은 마그네틱 파우더 브레이크(33)에 연결되고, 제1 안내휠(16)과 제2 안내휠(17)이 지탱하는 와이어쏘 와이어 기판(18)은 회전축(27)과 동축으로 설치되는 것을 특징으로 하는 전기 스파크 증착 다이아몬드 와이어쏘 와이어 생산 장치. - 제8항에 있어서,
상기 펄스 전원(4)의 두 전극은 각각 액체 분사 전극(5)과 와이어쏘 와이어 기판(18)에 연결되고, 펄스 전원(4)은 슬립 링(20)을 통해 안내휠과 연결되는 것을 특징으로 하는 전기 스파크 증착 다이아몬드 와이어쏘 와이어 생산 장치. - 제9항에 있어서,
상기 액체 분사 전극(5)은 관형이고, 액체 분사 전극(5)의 와이어쏘 와이어 기판(18)을 향하는 일단은 원호형인 것을 특징으로 하는 전기 스파크 증착 다이아몬드 와이어쏘 와이어 생산 장치.
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