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KR20170040744A - Processing apparatus - Google Patents

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KR20170040744A
KR20170040744A KR1020160125344A KR20160125344A KR20170040744A KR 20170040744 A KR20170040744 A KR 20170040744A KR 1020160125344 A KR1020160125344 A KR 1020160125344A KR 20160125344 A KR20160125344 A KR 20160125344A KR 20170040744 A KR20170040744 A KR 20170040744A
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primary
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Inventor
다카히사 요시오카
Original Assignee
린텍 가부시키가이샤
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Abstract

처리 장치(10)는, 피착체(WF)에 제1 접착 시트(AS1)가 점착된 1차 가공품(WK1)을 시트 점착대(47) 위에 적재하는 제1 반송 수단(20)과, 프레임 부재(RF)를 시트 점착대(47) 위에 적재하는 프레임 반송 수단(30)과, 1차 가공품(WK1) 및 프레임 부재(RF)에 제2 접착 시트(AS2)를 점착하여 2차 가공품(WK2)을 형성하는 시트 점착 수단(40)과, 2차 가공품(WK2)을 시트 박리대(68) 위에 적재하는 제2 반송 수단(50)과, 적재된 2차 가공품(WK2)으로부터 제1 접착 시트(AS1)를 박리하여 3차 가공품(WK3)을 형성하는 시트 박리 수단(60)과, 3차 가공품(WK3)을 시트 박리 수단(60)으로부터 반출하는 제3 반송 수단(70)을 구비하고, 제3 반송 수단(70)은 3차 가공품(WK3)을 반송 가능하며 처리 장치(10)의 외부에 설치된 3차 가공품 반송 장치(90)에, 소정의 수수 위치(DP)에서 당해 3차 가공품(WK3)을 1개씩 수수한다.The processing apparatus 10 includes a first conveying means 20 for firstly placing a first workpiece WK1 on which the first adhesive sheet AS1 is adhered on the adherend WF on a sheet sticking stand 47, A frame conveying means 30 for placing a second workpiece WK2 on the sheet adhesion base 47 by adhering a second adhesive sheet AS2 to the first workpiece WK1 and the frame member RF, A second transfer means 50 for transferring the second processed product WK2 onto the sheet peeling table 68 and a second transfer means 50 for transferring the second processed product WK2 to the first adhesive sheet A sheet peeling means 60 for peeling the peeled sheet W1 and peeling the peeled sheet W1 from the peeled sheet W1 and peeling off the peeled sheet W1 from the sheet peeling means 60, The third conveying means 70 conveys the third processed work WK3 to the third processed work conveying apparatus 90 provided on the outside of the processing apparatus 10 so as to be able to carry the third processed work WK3, ) Are received one by one.

Figure P1020160125344
Figure P1020160125344

Description

처리 장치{PROCESSING APPARATUS}PROCESSING APPARATUS

본 발명은, 처리 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a processing apparatus.

종래, 피착체의 한쪽 면에 제1 접착 시트가 점착된 1차 가공품에 제2 접착 시트를 점착하고, 소정의 가공품을 형성하는 처리 장치가 알려져 있다(예를 들어, 문헌 1: 일본 특허공개 제2000-68293호 공보 참조).2. Description of the Related Art Conventionally, there has been known a processing apparatus for adhering a second adhesive sheet to a primary processed product to which a first adhesive sheet is adhered on one side of an adherend to form a predetermined finished product (see, for example, 2000-68293).

그러나, 문헌 1에 기재된 바와 같은 종래의 처리 장치는, 처리 후의 가공품을 수납 카세트와 같은 스톡 수단에 일단 스톡하고 나서 반출되기 때문에, 장치의 대형화를 초래한다는 문제가 있다.However, in the conventional processing apparatus as described in Document 1, there is a problem that since the processed product after the processing is stocked with stock means such as a storage cassette and then taken out, the size of the apparatus is increased.

본 발명의 목적은, 장치의 대형화를 방지할 수 있는 처리 장치를 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a processing device capable of preventing the device from becoming large.

본 발명의 처리 장치는, 피착체의 한쪽 면에 제1 접착 시트가 점착된 1차 가공품에 제2 접착 시트를 점착하는 처리 장치이며, 상기 1차 가공품을 시트 점착대 위에 적재하는 제1 반송 수단과, 개구부를 갖는 프레임 부재의 당해 개구부 내에 상기 1차 가공품을 위치시켜서 당해 프레임 부재를 상기 시트 점착대 위에 적재하는 프레임 반송 수단과, 상기 시트 점착대 위에 적재된 상기 1차 가공품 및 프레임 부재에 상기 제2 접착 시트를 점착하여 2차 가공품을 형성하는 시트 점착 수단과, 상기 2차 가공품을 상기 시트 점착 수단으로부터 반출하는 제2 반송 수단을 구비하고, 상기 제2 반송 수단은, 당해 처리 장치의 외부에 설치된 2차 가공품 반송 장치에, 소정의 수수 위치에서 당해 2차 가공품을 1개씩 수수하는 것을 특징으로 한다.The processing apparatus of the present invention is a processing apparatus for adhering a second adhesive sheet to a primary processed product to which a first adhesive sheet is adhered on one side of an adherend, Frame conveying means for placing the primary workpiece in the opening of the frame member having the opening and for stacking the frame member on the sheet adherend; A sheet adhering unit for adhering a second adhesive sheet to form a secondary processed product and a second conveying unit for taking out the secondary processed product from the sheet adhering unit, And the secondary workpieces are delivered to the secondary workpiece conveyance device provided at the predetermined position.

또한, 본 발명의 처리 장치는, 피착체의 한쪽 면에 제1 접착 시트가 점착된 1차 가공품에 제2 접착 시트를 점착하는 처리 장치이며, 상기 1차 가공품을 시트 점착대 위에 적재하는 제1 반송 수단과, 개구부를 갖는 프레임 부재의 당해 개구부 내에 상기 1차 가공품을 위치시켜서 당해 프레임 부재를 상기 시트 점착대 위에 적재하는 프레임 반송 수단과, 상기 시트 점착대 위에 적재된 상기 1차 가공품 및 프레임 부재에 상기 제2 접착 시트를 점착하여 2차 가공품을 형성하는 시트 점착 수단과, 상기 2차 가공품을 시트 박리대 위에 적재하는 제2 반송 수단과, 상기 시트 박리대 위에 적재된 2차 가공품에 있어서의 상기 제1 접착 시트에 박리용 테이프를 점착하고, 당해 박리용 테이프를 개재해서 상기 피착체로부터 당해 제1 접착 시트를 박리해서 3차 가공품을 형성하는 시트 박리 수단과, 상기 3차 가공품을 상기 시트 박리 수단으로부터 반출하는 제3 반송 수단을 구비하고, 상기 제3 반송 수단은, 당해 처리 장치의 외부에 설치된 3차 가공품 반송 장치에, 소정의 수수 위치에서 당해 3차 가공품을 1개씩 수수하는 것을 특징으로 한다.The processing apparatus of the present invention is a processing apparatus for adhering a second adhesive sheet to a primary processed product to which a first adhesive sheet is adhered on one side of an adherend, A frame conveying means for placing the primary workpiece in the opening portion of the frame member having the opening portion and for stacking the frame member on the sheet sticking portion; A second conveying means for stacking the secondary workpiece on the sheet peeling base, and a second conveying means for placing the secondary workpiece on the sheet peeling base, A peeling tape is adhered to the first adhesive sheet and the first adhesive sheet is peeled from the adherend via the peeling tape to form a third processed product And a third conveying means for conveying the third processed product out of the sheet peeling means, wherein the third conveying means is a conveying means for conveying a predetermined processed And the third processed product is received one by one at the receiving position.

본 발명의 처리 장치에 있어서, 상기 제1 반송 수단은, 당해 처리 장치의 외부에 설치된 1차 가공품 반송 장치로부터, 소정의 수취 위치에서 당해 1차 가공품을 1개씩 수취하는 것이 바람직하다.In the processing apparatus of the present invention, it is preferable that the first transfer means receives one primary processed article from the primary processed article transfer apparatus provided outside the processing apparatus at a predetermined receiving position.

본 발명에 의하면, 제2 반송 수단이 2차 가공품을 1개씩 2차 가공품 반송 장치에 수수하기 때문에, 당해 2차 가공품을 스톡하는 스톡 수단을 설치할 필요가 없어지게 되어, 장치의 대형화를 방지할 수 있다.According to the present invention, since the second conveying means conveys one secondary workpiece to the secondary workpiece conveyance apparatus one by one, it becomes unnecessary to provide the stock means for stocking the secondary workpiece, have.

본 발명에 의하면, 제3 반송 수단이 3차 가공품을 1개씩 3차 가공품 반송 장치에 수수하기 때문에, 당해 3차 가공품을 스톡하는 스톡 수단을 설치할 필요가 없어지게 되어, 장치의 대형화를 방지할 수 있다.According to the present invention, since the third conveying means feeds the third processed products one by one to the third processed product transfer apparatus, there is no need to provide the stock means for stocking the third processed products, have.

또한, 제1 반송 수단이 1차 가공품을 1개씩 1차 가공품 반송 장치로부터 수취하는 구성으로 하면, 다른 장치에 대하여 1차 가공품을 취하러 가는 구성[예를 들어, 문헌 1에 기재된 반송 아암(12)]을 설치할 필요가 없어지게 되어, 장치의 대형화를 더 방지할 수 있다.In addition, if the first conveying means is configured to receive the first processed products one by one from the first processed product transfer apparatus, the configuration for going to take the first processed products for the other apparatus [for example, the transfer arm 12 ), And it is possible to further prevent the size of the apparatus from becoming larger.

도 1은, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 처리 장치의 측면도이다.
도 2는, 처리 장치의 동작 설명도이다.
도 3은, 처리 장치의 동작 설명도이다.1 is a side view of a processing apparatus according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is an explanatory diagram of the operation of the processing apparatus. Fig.
Fig. 3 is an explanatory diagram of the operation of the processing apparatus. Fig.

이하, 본 발명의 일 실시 형태를 도면에 기초하여 설명한다.Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

또한, 본 실시 형태에 있어서의 X축, Y축, Z축은, 각각이 직교하는 관계에 있으며, X축 및 Y축은, 소정 평면 내의 축이라 하고, Z축은, 상기 소정 평면에 직교하는 축이라 한다. 또한, 본 실시 형태에서는, Y축과 평행한 화살표 AR 방향으로부터 본 경우를 기준으로 하여 방향을 나타낸 경우, 「상」이 Z축과 평행한 도 1 중 바로 앞 방향이고 「하」가 그 역방향, 「좌」가 X축의 화살표 방향이고 「우」가 그 역방향, 「전」이 Y축의 화살표 방향이고 「후」를 그 역방향이라 한다.The X axis, the Y axis, and the Z axis in the present embodiment are orthogonal to each other, the X axis and the Y axis are referred to as axes within a predetermined plane, and the Z axis is referred to as an axis orthogonal to the predetermined plane . In the present embodiment, when the direction is viewed from the direction of the arrow AR, which is parallel to the Y-axis and is viewed from the direction of the arrow AR, the direction "immediately ahead" of FIG. 1 in which the " "Left" is the arrow direction of the X axis, "right" is the reverse direction, "front" is the arrow direction of the Y axis, and "backward" is the reverse direction.

도 1 내지 3에 있어서, 처리 장치(10)는, 피착체로서의 반도체 웨이퍼(이하, 단순히 「웨이퍼」라고 하는 경우가 있음) WF의 한쪽의 면에 제1 접착 시트 AS1이 점착된 1차 가공품 WK1에 제2 접착 시트 AS2를 점착하는 장치이며, 1차 가공품 WK1을 시트 점착대(47) 위에 적재하는 제1 반송 수단(20)과, 개구부 RF1을 갖는 프레임 부재로서의 링 프레임 RF의 당해 개구부 RF1 내에 1차 가공품 WK1을 위치시켜서 당해 링 프레임 RF를 시트 점착대(47) 위에 적재하는 프레임 반송 수단(30)과, 시트 점착대(47) 위에 적재된 1차 가공품 WK1 및 링 프레임 RF에 제2 접착 시트 AS2를 점착하여 2차 가공품 WK2를 형성하는 시트 점착 수단(40)과, 2차 가공품 WK2를 시트 박리대(68) 위에 적재하는 제2 반송 수단(50)과, 시트 박리대(68) 위에 적재된 2차 가공품 WK2에 있어서의 제1 접착 시트 AS1에 박리용 테이프 PT(도 3)를 점착하고, 당해 박리용 테이프 PT를 개재해서 웨이퍼 WF로부터 당해 제1 접착 시트 AS1을 박리해서 3차 가공품 WK3을 형성하는 시트 박리 수단(60)과, 3차 가공품 WK3을 시트 박리 수단(60)으로부터 반출하는 제3 반송 수단(70)을 구비하고, 당해 처리 장치(10)의 외부에 설치된 1차 가공품 반송 장치(80)와, 당해 처리 장치(10)의 외부에 설치된 3차 가공품 반송 장치(90)의 근방에 배치되어 있다.1 to 3, the processing apparatus 10 includes a first processed product WK1 (hereinafter simply referred to as " wafer ") in which a first adhesive sheet AS1 is adhered to one surface of a semiconductor wafer WF (20) for mounting the primary processed product (WK1) on the sheet sticking table (47), and a second conveying means (20) for attaching the second adhesive sheet (AS2) A frame conveying means 30 for placing the primary processed product WK1 and placing the ring frame RF on the sheet sticking table 47, and a second adhesive 42 for bonding the primary processed product WK1 and the ring frame RF, which are stacked on the sheet adhesive table 47, Sheet attaching means 40 for attaching the sheet AS2 to form a second processed article WK2, second conveying means 50 for stacking the second processed article WK2 on the sheet peeling table 68, The first adhesive sheet AS1 in the loaded secondary work WK2 is peeled off A sheet peeling means 60 for adhering the first adhesive sheet AS1 to the wafer WF via the peeling tape PT to form a third processed article WK3, And a third conveying means 70 for taking out the sheet from the sheet peeling means 60. The primary processed product conveying apparatus 80 is provided outside the processing apparatus 10 and is disposed outside the processing apparatus 10 And is disposed in the vicinity of the tertiary processed product transfer device 90.

제1 반송 수단(20)은, 선단 아암(작업 아암)(21A)에 지지되고, 감압 펌프나 진공 이젝터 등의 도시하지 않은 감압 수단에 의해 흡착 유지 가능한 유지 부재(21B)를 갖는 구동 기기로서의 다관절 로봇(21)과, 상면(22A)이 소정의 수취 위치 PA로 된 수취대(22)와, 1차 가공품 WK1의 위치 결정을 행하는 얼라인먼트 장치(23)를 구비하고 있다.The first conveying means 20 is a drive device which is supported by a tip arm (work arm) 21A and has a holding member 21B capable of being attracted and held by a depressurization means such as a depressurizing pump or a vacuum ejector A joint robot 21, a receiving table 22 having an upper surface 22A at a predetermined receiving position PA, and an alignment device 23 for positioning the primary workpiece WK1.

프레임 반송 수단(30)은 선단 아암(작업 아암)(31A)에 지지되고, 감압 펌프나 진공 이젝터 등이 도시하지 않은 감압 수단에 연통된 흡착 패드(31B)에 의해 흡착 유지 가능한 유지 부재(31C)를 갖는 구동 기기로서의 다관절 로봇(31)과, 링 프레임 RF를 수용 가능한 프레임 수용 수단(32)을 구비하고 있다. 본 실시 형태의 경우, 프레임 반송 수단(30)은, 제2 반송 수단(50)으로서도 기능한다. 또한, 다관절 로봇(21, 31)은, 그 작업 범위 내에 있어서 유지 부재(21B, 31C)에 의해 유지한 것을 어떠한 위치, 어떠한 각도에서라도 변위 가능한 소위 6축 로봇이다.The frame conveying means 30 is supported by a leading arm (working arm) 31A and is provided with a holding member 31C capable of being attracted and held by a suction pad 31B communicated with a depressurizing means not shown, such as a vacuum pump or vacuum ejector, And a frame receiving means 32 capable of receiving the ring frame RF. In the case of the present embodiment, the frame conveying means 30 also functions as the second conveying means 50. [ The articulated robots 21 and 31 are so-called six-axis robots capable of being displaced by any position or angle from those held by the holding members 21B and 31C within the working range.

시트 점착 수단(40)은, 박리 시트 RL의 한쪽의 면에 제2 접착 시트 AS2가 가착된 원단 RS를 지지하는 지지 롤러(41)와, 원단 RS를 안내하는 가이드 롤러(42)와, 박리 시트 RL을 절곡해서 당해 박리 시트 RL로부터 제2 접착 시트 AS2를 박리하는 박리 부재로서의 박리판(43)과, 구동 기기로서의 회동 모터(44A)에 의해 구동되고, 핀치 롤러(44B)로 박리 시트 RL을 끼워 넣는 구동 롤러(44)와, 박리 시트 RL을 회수하는 회수 롤러(45)와, 박리판(43)에서 박리된 제2 접착 시트 AS2를 링 프레임 RF 및 웨이퍼 WF에 가압해서 점착하는 가압 수단으로서의 가압 롤러(46)와, 구동 기기로서의 리니어 모터(47A)의 슬라이더(47B)에 지지되고, 감압 펌프나 진공 이젝터 등이 도시하지 않은 감압 수단에 의해 흡착 유지 가능한 지지면(47C)을 구비한 시트 점착대(47)를 구비하고 있다.The sheet sticking means 40 includes a support roller 41 for supporting the fabric RS on which the second adhesive sheet AS2 is adhered to one surface of the release sheet RL, a guide roller 42 for guiding the fabric RS, A peeling plate 43 as a peeling member for peeling the second adhesive sheet AS2 from the peeling sheet RL by bending the peeling sheet RL and driving the peeling sheet RL by the pinch roller 44B A recovery roller 45 for recovering the release sheet RL and a second adhesive sheet AS2 peeled off from the release plate 43 to the ring frame RF and the wafer WF, And a supporting surface 47C supported by a slider 47B of a linear motor 47A as a driving device and capable of being attracted and held by a depressurizing means such as a depressurizing pump or a vacuum ejector, And an adhesive tape 47 are provided.

시트 박리 수단(60)은, 박리용 테이프 PT를 지지하는 지지 롤러(61)와, 구동 기기로서의 회동 모터(62A)에 의해 구동되고, 핀치 롤러(62B)로 박리용 테이프 PT를 끼워 넣는 구동 롤러(62)와, 구동 기기로서의 직동 모터(63A)의 출력축(63B)에 지지된 수용 수단(63)과, 수용 수단(63) 내에 수용되고, 수용 수단(63)의 저면인 흡착면(63C)에 형성된 흡인 구멍(63D)을 통해 박리용 테이프 PT를 흡착 유지하는 감압 펌프나 진공 이젝터 등의 흡인 수단(64)과, 수용 수단(63) 내에 수용된 구동 기기로서의 리니어 모터(65A)의 슬라이더(65B)에 지지되고, 수용 수단(63)의 저면으로부터 돌출 함몰 가능하게 설치된 가압 부재(65)와, 수용 수단(63) 내에 수용된 구동 기기로서의 리니어 모터(66A)의 슬라이더(66B)에 지지되고, 수용 수단(63)의 저면으로부터 돌출 함몰 가능하게 설치된 절단날(66)과, 구동 기기로서의 직동 모터(67A)의 출력축(67B)에 지지되고, 박리용 테이프 PT를 흡착면(63C)에 접촉시키는 보조 롤러(67)와, 구동 기기로서의 리니어 모터(68A)의 슬라이더(68B)에 지지되고, 감압 펌프나 진공 이젝터 등이 도시하지 않은 감압 수단에 의해 흡착 유지 가능한 지지면(68C)을 구비한 시트 박리대(68)를 구비하고 있다. 본 실시 형태의 경우, 리니어 모터(68A) 및 시트 박리대(68)가 제3 반송 수단(70)으로서도 기능한다.The sheet peeling means 60 includes a support roller 61 for supporting the peeling tape PT and a drive roller 62B driven by a rotation motor 62A as a driving device and sandwiching the peeling tape PT by a pinch roller 62B, A receiving means 63 supported by the output shaft 63B of the linear motor 63A as a driving device and a suction surface 63C which is accommodated in the receiving means 63 and which is the bottom surface of the receiving means 63, Suction means 64 such as a vacuum pump or a vacuum ejector for sucking and holding the peeling tape PT through a suction hole 63D formed in the receiving means 63 and a slider 65B of the linear motor 65A as a driving device accommodated in the receiving means 63 And is supported by a slider 66B of a linear motor 66A as a drive device accommodated in the receiving means 63 and supported by a receiving member 63. The pressing member 65 is supported by the receiving means 63, A cutting blade 66 provided so as to protrude and retract from the bottom surface of the means 63, An auxiliary roller 67 supported on the output shaft 67B of the linear motor 67A as a driving device and contacting the peeling tape PT with the attracting surface 63C and a slider 68B of the linear motor 68A as a driving device, And a sheet peeling table 68 having a support surface 68C capable of being attracted and held by a depressurizing means such as a vacuum pump or vacuum ejector. In the case of the present embodiment, the linear motor 68A and the sheet peeling table 68 also function as the third conveying means 70. [

1차 가공품 반송 장치(80)는 다관절 로봇(21)과 마찬가지의 구성이며, 3차 가공품 반송 장치(90)는 다관절 로봇(31)과 마찬가지의 구성이므로, 상세한 설명은 생략한다. 또한, 1차, 3차 가공품 반송 장치(80, 90)는 각각 구동 기기로서의 리니어 모터(82)의 제1 슬라이더(82A) 및 제2 슬라이더(82B)에 지지되어 있다.The primary processed product transport apparatus 80 has the same configuration as that of the articulated robot 21 and the tertiary finished product transport apparatus 90 has the same configuration as that of the articulated robot 31, and therefore detailed description thereof will be omitted. The primary and tertiary finished product transport apparatuses 80 and 90 are respectively supported by the first slider 82A and the second slider 82B of the linear motor 82 as a driving device.

이상의 처리 장치(10)에 있어서, 1차 가공품 WK1로부터 3차 가공품 WK3을 형성하는 수순을 설명한다.In the above-described processing apparatus 10, the procedure for forming the third processed article WK3 from the first processed article WK1 will be described.

우선, 각 부재가 초기 위치에 배치된 도 1 중 실선으로 나타내는 처리 장치(10)에 대하여 작업자가 원단 RS 및 박리용 테이프 PT를 도 2, 3에 도시한 바와 같이 세트한다. 계속해서, 처리 장치(10)에 대하여 도시하지 않은 조작 패널이나 퍼스널 컴퓨터 등의 입력 수단을 개재해서 자동 운전 개시의 신호를 입력하면, 시트 박리 수단(60)이 흡인 수단(64)을 구동하고, 흡착면(63C)에서 박리용 테이프 PT를 흡착 유지한 후, 처리 장치(10)가 스탠바이 상태로 된다.First, the worker sets the fabric RS and the peeling tape PT to the processing apparatus 10 shown by the solid line in Fig. 1 in which the respective members are arranged at the initial positions as shown in Figs. Subsequently, when an automatic operation start signal is input to the processing apparatus 10 via an input means such as an operation panel or a personal computer (not shown), the sheet peeling means 60 drives the suction means 64, After the peeling tape PT is sucked and held on the adsorption surface 63C, the processing apparatus 10 enters the standby state.

그리고, 1차 가공품 반송 장치(80)가 다관절 로봇(81) 및 도시하지 않은 감압 수단을 구동하고, 도 1 중 이점쇄선으로 나타낸 바와 같이, 유지 부재(81B)로 1차 가공품 WK1을 수취대(22)의 상면(22A) 위에 적재한다. 계속해서, 제1 반송 수단(20)이 다관절 로봇(21) 및 도시하지 않은 감압 수단을 구동하고, 유지 부재(21B)에서 1차 가공품 WK1을 흡착 유지하고, 당해 1차 가공품 WK1을 수취대(22) 위에서 얼라인먼트 장치(23) 위에 적재한다. 이에 의해, 제1 반송 수단(20)은 1차 가공품 반송 장치(80)로부터, 소정의 수취 위치 PA에서 1차 가공품 WK1을 1개씩 수취하게 된다. 그리고, 1차 가공품 WK1이 얼라인먼트 장치(23)에서 위치 결정되면, 제1 반송 수단(20)이 다관절 로봇(21) 및 도시하지 않은 감압 수단을 구동하고, 도 2 중 실선으로 나타낸 바와 같이, 1차 가공품 WK1을 웨이퍼 WF가 상방이 되는 상태에서 시트 점착대(47) 위에 적재한다. 그 후, 시트 점착 수단(40)이 도시하지 않은 감압 수단을 구동하고, 지지면(47C)에서 1차 가공품 WK1을 흡착 유지한다. 이어서, 프레임 반송 수단(30)이 다관절 로봇(31) 및 도시하지 않은 감압 수단을 구동하고, 유지 부재(31C)에서 프레임 수용 수단(32) 내의 링 프레임 RF를 흡착 유지하고, 도 2 중 실선으로 나타낸 바와 같이, 링 프레임 RF의 개구부 RF1 내에 1차 가공품 WK1을 위치시켜서 당해 링 프레임 RF를 시트 점착대(47) 위에 적재한다. 그 후, 시트 점착 수단(40)이 도시하지 않은 감압 수단을 구동하고, 지지면(47C)에서 링 프레임 RF를 흡착 유지한다.Then, the primary workpiece conveyance device 80 drives the articulated robot 81 and the depressurizing means (not shown), and the primary workpiece WK1 is held by the holding member 81B as indicated by the chain double- (22A). Subsequently, the first conveying means 20 drives the articulated robot 21 and the depressurizing means (not shown), and the primary processed product WK1 is held by suction by the holding member 21B, (22) above the alignment device (23). Thereby, the first transfer means 20 receives one primary workpiece WK1 from the primary workpiece transfer apparatus 80 at a predetermined receiving position PA. Then, when the primary processed product WK1 is positioned by the alignment device 23, the first transfer means 20 drives the articulated robot 21 and the depressurizing means (not shown), and as shown by the solid line in Fig. 2, The primary processed product WK1 is stacked on the sheet adhesive stand 47 in a state in which the wafer WF is directed upward. Thereafter, the sheet sticking means 40 drives the depressurizing means (not shown) to adsorb and hold the primary workpiece WK1 on the support surface 47C. Next, the frame conveying means 30 drives the articulated robot 31 and the depressurizing means (not shown) to adsorb and hold the ring frame RF in the frame receiving means 32 in the holding member 31C, , The primary workpiece WK1 is placed in the opening RF1 of the ring frame RF and the ring frame RF is loaded on the sheet sticking table 47 as shown in Fig. Thereafter, the sheet sticking means 40 drives the depressurizing means (not shown) to adsorb and hold the ring frame RF on the support surface 47C.

계속해서, 시트 점착 수단(40)이 리니어 모터(47A)를 구동하고, 시트 점착대(47)를 좌 방향으로 이동시키고, 링 프레임 RF가 소정 위치에 도달한 것이 광학 센서나 촬상 수단 등이 도시하지 않은 검지 수단에 검지되면, 회동 모터(44A)를 구동하고, 시트 점착대(47)의 이동 속도에 맞춰서 원단 RS를 풀어낸다. 이에 의해, 제2 접착 시트 AS2가 박리판(43)로 박리 시트 RL로부터 박리되고, 가압 롤러(46)에 의해 링 프레임 RF 및 웨이퍼 WF에 점착되어 2차 가공품 WK2가 형성된다. 2차 가공품 WK2가 도 1 중 이점쇄선으로 나타내는 소정의 위치에 도달하면, 시트 점착 수단(40)이 리니어 모터(47A)의 구동을 정지함과 함께, 도시하지 않은 감압 수단의 구동을 정지한다. 계속해서, 제2 반송 수단(50)[프레임 반송 수단(30)]이 다관절 로봇(31) 및 도시하지 않은 감압 수단을 구동하고, 유지 부재(31C)에서 2차 가공품 WK2를 흡착 유지하고, 도 3 중 실선으로 나타낸 바와 같이, 제1 접착 시트 AS1이 상방이 되는 상태에서 당해 2차 가공품 WK2를 시트 박리대(68) 위에 적재한다. 그 후, 시트 박리 수단(60)이 도시하지 않은 감압 수단을 구동하고, 지지면(68C)에서 2차 가공품 WK2를 흡착 유지하는 한편, 시트 점착 수단(40)이 리니어 모터(47A)를 구동하고, 시트 점착대(47)를 초기 위치로 복귀시킨다.Subsequently, when the sheet sticking means 40 drives the linear motor 47A to move the sheet sticking stand 47 to the left and the ring frame RF reaches a predetermined position, The rotating motor 44A is driven, and the fabric RS is released in accordance with the moving speed of the sheet sticking table 47. In this case, As a result, the second adhesive sheet AS2 is peeled off from the release sheet RL by the peeling plate 43, and adhered to the ring frame RF and the wafer WF by the pressure roller 46 to form a secondary workpiece WK2. When the secondary processed article WK2 reaches a predetermined position indicated by a chain double-dashed line in Fig. 1, the sheet sticking means 40 stops the driving of the linear motor 47A and stops the driving of the pressure reducing means (not shown). Subsequently, the second conveying means 50 (the frame conveying means 30) drives the articulated robot 31 and the depressurizing means (not shown) to hold the second processed article WK2 by the holding member 31C, As shown by a solid line in Fig. 3, the secondary work WK2 is placed on the sheet peeling table 68 in a state in which the first adhesive sheet AS1 is directed upward. Thereafter, the sheet peeling means 60 drives the depressurization means (not shown) to adsorb and hold the secondary work WK2 on the support surface 68C, while the sheet sticking means 40 drives the linear motor 47A , And returns the sheet sticking band 47 to the initial position.

그리고, 시트 박리 수단(60)이 리니어 모터(68A)를 구동하고, 시트 박리대(68)를 좌 방향으로 이동시키고, 도 3중 이점쇄선으로 나타낸 바와 같이, 제1 접착 시트 AS1의 좌측 단부를 가압 부재(65)의 바로 아래에 위치시킨다. 계속해서, 시트 박리 수단(60)이 직동 모터(67A)를 구동하고, 도 3중 이점쇄선으로 나타낸 바와 같이 보조 롤러(67)를 수용 수단(63)의 하방으로부터 퇴피시킨 후, 회동 모터(62A) 및 직동 모터(63A)를 구동하고, 상기 도면 중 이점쇄선으로 나타낸 바와 같이, 박리용 테이프 PT를 풀어내면서 수용 수단(63)을 제1 접착 시트 AS1의 바로 위 소정 위치까지 하강시킨다. 그 후, 시트 박리 수단(60)이 리니어 모터(65A)를 구동하고, 가압 부재(65)를 하강시켜서, 박리용 테이프 PT를 제1 접착 시트 AS1의 좌측 단부에 가압하여 점착한다. 이때, 시트 박리 수단(60)이 코일 히터나 히트 파이프의 가열측 등의 가열 수단(65C)을 구동하고, 박리용 테이프 PT를 가열해도 된다. 이어서, 시트 박리 수단(60)이 흡인 수단(64)의 구동을 정지함과 함께, 리니어 모터(65A) 및 직동 모터(63A)를 구동하고, 가압 부재(65) 및 수용 수단(63)을 초기 위치로 복귀시킨다.The sheet peeling means 60 drives the linear motor 68A to move the sheet peeling table 68 in the left direction so that the left end of the first adhesive sheet AS1 And is located just below the pressing member 65. [ Subsequently, the sheet peeling means 60 drives the linear motor 67A to retract the auxiliary roller 67 from the lower side of the receiving means 63 as shown by the chain double-dashed line in Fig. 3, And the direct-drive motor 63A are driven, and the receiving means 63 is lowered to a predetermined position just above the first adhesive sheet AS1 while releasing the peeling tape PT as shown by the two-dot chain line in the figure. Thereafter, the sheet peeling means 60 drives the linear motor 65A to lower the pressing member 65 to press the peeling tape PT against the left end of the first adhesive sheet AS1. At this time, the sheet peeling means 60 may drive the heating means 65C such as the coil heater or the heating side of the heat pipe to heat the peeling tape PT. Subsequently, the sheet peeling means 60 stops the driving of the suction means 64 and drives the linear motor 65A and the linear motor 63A to rotate the pressing member 65 and the receiving means 63 Return to the position.

그 후, 시트 박리 수단(60)이 회동 모터(62A)의 구동을 로크시킨 상태에서, 리니어 모터(68A)를 구동하고, 시트 박리대(68)를 좌 방향으로 이동시켜서 웨이퍼 WF로부터 제1 접착 시트 AS1을 박리하고, 3차 가공품 WK3을 형성한다. 3차 가공품 WK3이 형성된 후에도, 제3 반송 수단(70)[시트 박리 수단(60)]이 리니어 모터(68A)를 계속해서 구동하고, 당해 3차 가공품 WK3을 시트 박리 수단(60)으로부터 반출한다. 그리고, 3차 가공품 WK3을 지지한 시트 박리대(68)가 도 1 중 이점쇄선으로 나타내는 소정의 수수 위치 DP에 도달하면, 제3 반송 수단(70)[시트 박리 수단(60)]이 리니어 모터(68A)의 구동을 정지함과 함께, 도시하지 않은 감압 수단의 구동을 정지한다. 그 후, 3차 가공품 반송 장치(90)가 다관절 로봇(91) 및 도시하지 않은 감압 수단을 구동하고, 유지 부재(91C)에서 3차 가공품 WK3을 흡착 유지한 후, 당해 3차 가공품 WK3을 다음 공정으로 반송한다. 이에 의해, 제3 반송 수단(70)은 3차 가공품 반송 장치(90)에, 소정의 수수 위치 DP에서 당해 3차 가공품 WK3을 1개씩 수수하게 된다.Thereafter, in a state in which the sheet peeling means 60 locks the driving of the pivotal motor 62A, the linear motor 68A is driven to move the sheet peeling table 68 in the leftward direction, The sheet AS1 is peeled off, and a third processed product WK3 is formed. After the third processed article WK3 is formed, the third conveying means 70 (the sheet peeling means 60) continues to drive the linear motor 68A and the third processed article WK3 is taken out of the sheet peeling means 60 . Then, when the sheet peeling table 68 supporting the third processed article WK3 reaches the predetermined receiving position DP indicated by the chain double-dashed line in Fig. 1, the third conveying means 70 (sheet peeling means 60) And stops the driving of the decompression means (not shown). Thereafter, the tertiary finished workpiece transferring device 90 drives the articulated robot 91 and the depressurizing means (not shown) to hold the tertiary processed workpiece WK3 by the holding member 91C, Return to the next process. Thus, the third transfer means 70 transfers the third processed work WK3 to the third processed work transfer apparatus 90 at a predetermined transfer position DP, one by one.

한편, 3차 가공품 WK3이 형성되면, 시트 박리 수단(60)이 직동 모터(67A) 및 흡인 수단(64)을 구동하고, 보조 롤러(67)를 초기 위치로 복귀시켜서, 흡착면(63C)에서 박리용 테이프 PT를 흡착 유지한 후, 리니어 모터(66A)를 구동하고, 절단날(66)을 하강시켜서 박리용 테이프 PT를 절단하고, 사람 손 또는 도시하지 않은 이송 수단이 제1 접착 시트 AS1을 회수한다. 그리고, 시트 박리 수단(60)이 리니어 모터(68A)를 구동하고, 시트 박리대(68)를 초기 위치로 복귀시켜서, 이후 상기 마찬가지의 동작이 반복된다.On the other hand, when the third processed product WK3 is formed, the sheet peeling means 60 drives the linear motor 67A and the suction means 64 to return the auxiliary roller 67 to the initial position, After the peeling tape PT is sucked and held, the linear motor 66A is driven, the cutting edge 66 is lowered to cut the peeling tape PT, and a human hand or a conveyance means (not shown) conveys the first adhesive sheet AS1 Recall. Then, the sheet peeling means 60 drives the linear motor 68A to return the sheet peeling table 68 to the initial position, and then the same operation is repeated.

이상과 같은 실시 형태에 의하면, 제3 반송 수단(70)이 3차 가공품 WK3을 1개씩 3차 가공품 반송 장치(90)에 수수하기 때문에, 당해 3차 가공품 WK3을 저장하는 스톡 수단을 설치할 필요가 없어지게 되어, 장치의 대형화를 방지할 수 있다.According to the embodiment described above, since the third workpiece WK3 is transferred to the third workpiece transfer apparatus 90 by the third transfer means 70, it is necessary to install the stock means for storing the third workpiece WK3 It is possible to prevent the size of the apparatus from becoming large.

이상과 같이, 본 발명을 실시하기 위한 최량의 구성, 방법 등은, 상기 기재에서 개시되어 있지만, 본 발명은 이것으로 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명은 주로 특정한 실시 형태에 관하여 특히 도시되고, 또한 설명되어 있지만, 본 발명의 기술적 사상 및 원하는 범위로부터 일탈하지 않고, 이상 설명한 실시 형태에 대하여 형상, 재질, 수량, 그 밖의 상세한 구성에 있어서, 당업자가 다양한 변형을 가할 수 있는 것이다. 또한, 상기에 개시한 형상, 재질 등을 한정한 기재는, 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위해서 예시적으로 기재한 것으로, 본 발명을 한정하는 것은 아니기 때문에, 그것들의 형상, 재질 등의 한정된 일부 혹은 전부의 한정을 제외한 부재의 명칭에서의 기재는, 본 발명에 포함된다. As described above, the best configuration, method, and the like for carrying out the present invention have been described above, but the present invention is not limited thereto. While the present invention has been particularly shown and described with reference to specific embodiments thereof, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form, material, So that a person skilled in the art can make various modifications. In addition, the description defining the shape, material and the like described above is merely illustrative for the purpose of facilitating understanding of the present invention, and the present invention is not limited thereto. Therefore, a limited part The description in the name of the member other than the limitation of the whole is included in the present invention.

예를 들어, 처리 장치(10)는 시트 박리 수단(60)과, 제3 반송 수단(70)이 없어도 된다. 이 경우, 제2 반송 수단(50)이 2차 가공품 WK2를 시트 점착 수단(40)으로부터 반출하고, 도 1 중 이점쇄선으로 나타낸 바와 같이, 당해 처리 장치(10)의 외부에 설치된 2차 가공품 반송 장치(100)에, 소정의 수수 위치에서 당해 2차 가공품 WK2를 1개씩 수수하는 구성으로 하면 된다. 또한, 이러한 2차 가공품 반송 장치(100)는 리니어 모터(82)의 제3 슬라이더(82C)에 지지되어 있고, 다관절 로봇(31)과 마찬가지의 구성으로 할 수 있으므로, 상세한 설명은 생략한다.For example, the processing apparatus 10 may not have the sheet peeling means 60 and the third conveying means 70. In this case, the second conveying means 50 takes out the secondary processed product WK2 from the sheet sticking means 40, and as shown by the chain double-dashed line in Fig. 1, The apparatus 100 may be configured to receive the secondary workpieces WK2 one by one at a predetermined number of positions. The secondary workpiece conveyance apparatus 100 is supported by the third slider 82C of the linear motor 82 and has the same structure as that of the articulated robot 31, and a detailed description thereof will be omitted.

제1 반송 수단(20)은 1차 가공품 WK1을 제1 접착 시트 AS1이 상방이 되는 상태에서 시트 점착대(47) 위에 적재해도 된다.The first transfer means 20 may mount the primary processed product WK1 on the sheet adhesive stand 47 in a state in which the first adhesive sheet AS1 is located above.

제1 반송 수단(20)은 수취대(22) 및 얼라인먼트 장치(23) 중 적어도 한쪽이 없어도 되며, 수취대(22)가 없는 경우, 1차 가공품 반송 장치(80)로부터 소정의 수취 위치에서 1차 가공품 WK1을 직접 수취해도 되며, 얼라인먼트 장치(23)가 없는 경우, 소정의 수취 위치 PA에서 수취한 1차 가공품 WK1을 직접 시트 점착대(47) 위에 적재해도 된다.The first conveying means 20 may be free of at least one of the receiving table 22 and the aligning device 23. When there is no receiving table 22, The primary processed product WK1 received at the predetermined receiving position PA may be directly stacked on the sheet adhering table 47 when the aligning device 23 is not provided.

수취대(22)는, 대 이외에 다른 장치 등이어도 된다.The receiving table 22 may be a device other than a band.

제1 반송 수단(20)은, 다관절 로봇(21) 외에, 당해 다관절 로봇(21)과 동등한 구동 기기로서의 다른 다관절 로봇을 채용해도 된다. 이 경우, 예를 들어 상기 실시 형태와 마찬가지로 하여 얼라인먼트 장치(23)에서 1차 가공품 WK1의 위치 결정을 행한 후, 제1 반송 수단(20)이 다른 다관절 로봇 및 도시하지 않은 감압 수단을 구동하고, 1차 가공품 WK1을 시트 점착대(47) 위에 적재하도록 해도 된다.The first conveying means 20 may adopt other articulated robots as drive devices equivalent to the articulated robots 21 in addition to the articulated robots 21. [ In this case, for example, after positioning of the primary work WK1 is performed by the alignment device 23 in the same manner as in the above embodiment, the first transfer means 20 drives another articulated robot and a depressurizing means , And the primary processed product WK1 may be stacked on the sheet sticking table 47.

제1 반송 수단(20)은, 1차 가공품 WK1에 점착되어 있는 제1 점착 시트 AS1의 접착력을 저하되게 하는 자외선 조사 장치나 적외선 조사 장치 등의 접착력 저하 수단을 포함하고 있어도 된다. 이 경우, 제1 반송 수단(20)은, 1차 가공품 WK1의 위치 결정과, 제1 접착 시트 AS1의 접착력의 저하 중 어느 쪽을 먼저 행해도 된다. 또한, 얼라인먼트 장치(23), 접착력 저하 수단 및 시트 점착대(47) 사이의 1차 가공품 WK1의 이동은, 다관절 로봇(21)과 전술한 다른 다관절 로봇 중 어느 쪽이 행해도 된다.The first transfer means 20 may include an adhesion reducing means such as an ultraviolet irradiation device or an infrared irradiation device for lowering the adhesive force of the first adhesive sheet AS1 adhered to the primary processed product WK1. In this case, either of the positioning of the primary processed product WK1 and the lowering of the adhesive force of the first adhesive sheet AS1 may be performed first. The movement of the primary workpiece WK1 between the alignment device 23, the adhesion lowering means and the sheet adhesive table 47 may be performed by either the articulated robot 21 or the other articulated robot described above.

제1 반송 수단(20)은, 메카니즘 척이나 척 실린더 등의 척 수단, 쿨롬력, 접착제, 점착제, 자력, 베르누이 흡착, 구동 기기 등에 의해 1차 가공품 WK1(피반송물)을 유지하는 구성으로 해도 되고, 프레임 반송 수단(30), 제2 반송 수단(50), 1차, 2차, 3차 가공품 반송 장치(80, 100, 90) 등도 마찬가지의 구성에 의해, 피반송물을 유지하는 구성으로 해도 된다.The first conveying means 20 may be configured to hold the primary processed product WK1 (conveyed matter) by a chuck means such as a mechanism chuck or a chuck cylinder, a Coulomb force, an adhesive, an adhesive, a magnetic force, a Bernoulli adsorption, The frame conveying means 30, the second conveying means 50 and the primary, secondary, and tertiary finished product conveying devices 80, 100, and 90 may also be configured to hold the conveyed material by the same configuration .

프레임 반송 수단(30)은, 1차 가공품 WK1이 시트 점착대(47) 위에 적재되기 전에, 당해 시트 점착대(47) 위의 소정 위치에 링 프레임 RF를 적재해도 된다.The frame conveying means 30 may load the ring frame RF at a predetermined position on the sheet sticking table 47 before the primary processed product WK1 is stacked on the sheet sticking table 47. [

프레임 반송 수단(30)은, 당해 처리 장치(10)의 외부에 설치된 도시하지 않은 프레임 부재 반송 장치로부터, 소정의 프레임 수취 위치에서 링 프레임 RF를 복수 또는 1개씩 수취해도 된다. 이와 같은 프레임 부재 반송 장치는, 3차 가공품 반송 장치(90)와 마찬가지의 구성으로 할 수 있다.The frame conveying means 30 may receive a plurality or one ring frame RF at a predetermined frame receiving position from a frame member conveying device (not shown) provided outside the processing apparatus 10. [ Such a frame member transfer device can have the same configuration as that of the tertiary-product transfer device 90.

시트 점착 수단(40)은, 시트 점착대(47)의 위치를 고정해 두고 그 밖의 부재를 이동시키거나, 시트 점착대(47) 및 그 밖의 부재의 양쪽을 이동시키거나 해서 제2 접착 시트 AS2를 점착하여도 된다.The sheet sticking means 40 is a means for fixing the position of the sheet sticking band 47 and moving the other members or moving both of the sheet sticking band 47 and the other members, .

시트 점착대(47)는, 메카니즘 척이나 척 실린더 등의 척 수단, 쿨롬력, 접착제, 점착제, 자력, 베르누이 흡착, 구동 기기 등에 의해 프레임 부재나 피착체(피반송물)를 지지하는 구성이어도 되며, 시트 박리대(68)도 마찬가지의 구성으로 피반송물을 지지하는 구성으로 해도 된다.The sheet adherend 47 may be configured to support a frame member or an adherend (conveyed article) by chuck means such as a mechanism chuck or a chuck cylinder, a Coulomb force, an adhesive, an adhesive, a magnetic force, a Bernoulli adsorption, The sheet peeling base 68 may be configured to support the conveyed object with the same configuration.

시트 점착 수단(40)은, 띠 형상의 박리 시트 RL에 가착된 띠 형상의 접착 시트 기재에 폐 루프 형상의 절입이 형성됨으로써, 당해 절입의 내측이 제2 접착 시트 AS2, 외측이 불필요 시트로 된 원단을 풀어내도 된다.The sheet sticking means 40 is formed by forming a closed loop shape in the strip-shaped adhesive sheet base adhered to the strip-shaped release sheet RL so that the inside of the sheet is adhered to the second adhesive sheet AS2, You can untie the fabric.

시트 점착 수단(40)은, 띠 형상의 접착 시트 기재가 띠 형상의 박리 시트 RL에 가착된 원단이 채용된 경우, 절단날, 레이저 커터, 열 커터, 에어 커터, 압축수 커터 등의 절단 수단에 의해, 접착 시트 기재에 폐 루프 형상의 절입을 형성하고, 당해 절입의 내측이 제2 접착 시트 AS2가 되도록 당해 원단을 가공해도 된다.When the tape-like adhesive sheet base material is adhered to the strip-shaped release sheet RL, the sheet-adhering means 40 is provided with cutting means such as a cutting blade, a laser cutter, a heat cutter, an air cutter, It is also possible to form the closed loop-like infiltration into the adhesive sheet base material and to process the inside of the infeed into the second adhesive sheet AS2.

시트 점착 수단(40)은, 띠 형상의 접착 시트 기재를 링 프레임 RF 및 웨이퍼 WF에 점착한 후, 당해 접착 시트 기재를 상기와 마찬가지의 절단 수단에 의해 소정 형상으로 절단해도 된다.The sheet sticking means 40 may cut the adhesive sheet base material into a predetermined shape by a cutting means similar to that described above after sticking the strip-shaped adhesive sheet base material to the ring frame RF and the wafer WF.

박리 부재는, 환봉이나 롤러 등으로 구성해도 된다.The peeling member may be formed of a round bar, a roller, or the like.

가압 수단은, 환봉, 블레이드재, 고무, 수지, 스펀지 등에 의한 가압 부재를 채용해도 되고, 에어 분사에 의해 제2 접착 시트 AS2를 가압하는 구성으로 해도 된다.The pressing means may be a pressing member made of a round bar, a blade material, a rubber, a resin, a sponge or the like, or may be configured to press the second adhesive sheet AS2 by air jetting.

제2 반송 수단(50)은, 프레임 반송 수단(30)과 별체의 것으로 구성해도 된다.The second conveying means (50) may be formed separately from the frame conveying means (30).

시트 박리 수단(60)은, 시트 점착 수단(40)에 의해 제1 접착 시트 AS1측에 제2 접착 시트 AS2를 점착하여 2차 가공품을 형성한 경우, 동작을 캔슬해도 된다. 이 경우, 제2 반송 수단(50)[프레임 반송 수단(30)]이 2차 가공품을 시트 박리대(68) 위에 적재하면, 제3 반송 수단(70)[시트 박리 수단(60)]이 시트 박리대(68)를 소정의 수수 위치 DP에 위치시켜도 되고, 제2 반송 수단(50)[프레임 반송 수단(30)]이 흡착 유지한 2차 가공품을 직접 소정의 수수 위치 DP에 반송해도 된다.The sheet peeling means 60 may cancel the operation when the second adhesive sheet AS2 is adhered to the first adhesive sheet AS1 side by the sheet sticking means 40 to form a secondary processed article. In this case, when the second conveying means 50 (the frame conveying means 30) is mounted on the sheet separating stand 68, the third conveying means 70 (the sheet separating means 60) The peeling stand 68 may be positioned at a predetermined delivery position DP and the secondary workpiece held by the second conveyance means 50 (frame conveying means 30) may be directly conveyed to the predetermined delivery position DP.

시트 박리 수단(60)은, 흡인 수단(64)을 대신하여 또는 병용하여, 메카니즘 척이나 척 실린더 등의 척 수단, 쿨롬력, 접착제, 점착제, 자력, 베르누이 흡착, 구동 기기 등으로 박리용 테이프 PT를 유지하는 구성을 채용할 수 있다.The sheet peeling means 60 may be provided in place of or in combination with the suction means 64. The peeling tape PT may be peeled off by chuck means such as a mechanism chuck or a chuck cylinder, a Coulomb force, an adhesive, an adhesive, a magnetic force, Can be adopted.

시트 박리 수단(60)은, 가압 부재(65)를 대신하여 또는 병용하여, 블레이드 재, 고무, 수지, 스펀지, 에어의 분사 등에 의한 가압 부재를 채용할 수 있고, 박리용 테이프 PT가 감압 접착성의 것인 경우, 가열 수단(65C)은 있어도 되고, 없어도 된다.The sheet peeling means 60 can employ a pressing member by spraying a blade material, rubber, resin, sponge, air or the like in place of or in combination with the pressing member 65, The heating means 65C may or may not be provided.

시트 박리 수단(60)은, 시트 박리대(68)를 고정해 두고 그 밖의 부재를 이동시키거나, 시트 박리대(68)와 그 밖의 부재의 양쪽을 이동시키거나 해서 제1 접착 시트 AS1을 박리해도 된다.The sheet peeling means 60 may be configured such that the sheet peeling table 68 is fixed and the other members are moved or both the sheet peeling table 68 and the other members are moved to peel off the first adhesive sheet AS1 You can.

시트 박리 수단(60)은, 절단날(66)을 대신하여 또는 병용하여, 레이저 커터, 열 커터, 에어 커터, 압축수 커터 등의 다른 구성의 것을 채용해도 된다.The sheet peeling means 60 may adopt other configurations such as a laser cutter, a heat cutter, an air cutter, and a compressible cutter, instead of or in combination with the cutting edge 66.

시트 박리 수단(60)은, 박리용 테이프 PT로서 감압 접착성, 감열 접착성 등의 접착 형태의 것을 채용해도 되며, 감압 접착성의 것이 채용된 경우에는, 가열 수단(65C)은 있어도 되고, 없어도 된다.The sheet peeling means 60 may be an adhesive type such as a pressure-sensitive adhesive tape or a heat-sensitive adhesive tape as the peeling tape PT, and when the pressure-sensitive adhesive tape is used, the heating means 65C may or may not be provided .

제3 반송 수단은, 도 1 중 이점쇄선으로 나타낸 바와 같이, 다관절 로봇(31)과 동등한 구성의 제3 반송 수단(70A)으로 하여도 된다. 이 경우, 리니어 모터(68A) 및 시트 박리대(68)는, 제3 반송 수단(70)으로서 기능할 일은 없고, 제3 반송 수단(70A)가 시트 박리 수단(60)에 의해 형성된 3차 가공품 WK3을 소정의 위치에서 시트 박리대(68)로부터 수취하고, 수취한 당해 3차 가공품 WK3을 수수 위치 DP에 위치시킬 수 있다.The third conveying means may be a third conveying means 70A having a configuration equivalent to that of the articulated robot 31 as indicated by chain double-dashed lines in Fig. In this case, the linear motor 68A and the sheet peeling table 68 do not function as the third conveying means 70 and the third conveying means 70A does not function as the third workpiece WK3 can be received from the sheet peeling table 68 at a predetermined position and the received third processed product WK3 can be positioned at the delivery position DP.

제1, 제2, 제3 반송 수단 및 프레임 반송 수단(20, 50, 70, 70A, 30)은, 동일한 구성의 복수의 장치로 구성해도 되고, 서로 다른 구성의 복수의 장치로 구성해도 되고, 1개의 장치로 구성해도 되며, 동일한 구성 또는 서로 다른 구성의 복수의 장치로 구성하는 경우, 그것들 장치는, 어떤 것이든 복수를 1개의 장치로 구성해도 된다.The first, second and third conveying means and the frame conveying means (20, 50, 70, 70A, 30) may be constituted by a plurality of devices having the same constitution, In the case of a plurality of apparatuses of the same configuration or different configurations, a plurality of apparatuses may be constituted by a single apparatus.

1차, 2차, 3차 가공품 반송 장치(80, 100, 90) 및 도시하지 않은 프레임 부재 반송 장치는, 동일한 구성의 복수의 장치로 구성해도 되고, 서로 다른 구성의 복수의 장치로 구성해도 되고, 1개의 장치로 구성해도 되며, 동일한 구성 또는 서로 다른 구성의 복수의 장치로 구성하는 경우, 그것들 장치는, 어떤 것이든 2개를 1개의 장치로 구성해도 된다.The primary, secondary, and tertiary finished product transport apparatuses 80, 100, and 90 and the frame member transport apparatus (not shown) may be constituted by a plurality of apparatuses having the same configuration or a plurality of apparatuses having different configurations , Or a single device. In the case of a plurality of devices having the same configuration or different configurations, any of these devices may be configured by one device.

1차, 2차, 3차 가공품 반송 장치(80, 100, 90)는, 리니어 모터(82)의 제1 슬라이더(82A), 제3 슬라이더(82C) 및 제2 슬라이더(82B)에 지지되지 않아도 되고, 각각이 독립된 리니어 모터의 각 슬라이더에 지지되어 있어도 된다.The first, second and third workpiece conveyance devices 80, 100 and 90 are not supported by the first slider 82A, the third slider 82C and the second slider 82B of the linear motor 82 And each of them may be supported by each slider of the independent linear motor.

1차, 2차, 3차 가공품 반송 장치(80, 100, 90)는, 예를 들어 벨트 컨베이어, 롤러 컨베이어, 구동 기기 외에, 웨이퍼 WF를 가공하는 그라인더, 다이서, 연마 장치이어도 되고, 도장 장치, 인쇄 장치, 검사 장치, 표면 처리 장치, 노광 장치, 촬상 장치, 화학 처리 장치 등이어도 되고, 그것들 장치를 구성하는 부재 등이어도 되며, 어떠한 한정도 되지 않는다.The primary, secondary, and tertiary finished product transfer devices 80, 100, and 90 may be, for example, a belt conveyor, a roller conveyor, a driving device, a grinder, a dicer, , A printing apparatus, an inspection apparatus, a surface treatment apparatus, an exposure apparatus, an image pickup apparatus, a chemical treatment apparatus, or the like, or a member constituting the apparatus, and the like.

프레임 부재는, 링 프레임 RF 이외에, 원형, 타원형, 삼각형 이상의 다각형의 것이나, 환상이 아닌 것 등, 그 밖의 형상이어도 된다.Other than the ring frame RF, the frame member may be a circle, an ellipse, a polygonal shape having a triangle or more, or other shapes such as a ring shape.

또한, 제1, 제2 접착 시트 AS1, AS2 및 피착체의 재질, 종별, 형상 등은, 특별히 한정되지는 않는다. 예를 들어, 제1, 제2 접착 시트 AS1, AS2는, 원형, 타원형, 삼각형이나 사각형 등의 다각형, 그 밖의 형상이어도 되고, 감압 접착성, 감열 접착성 등의 접착 형태의 것이어도 되며, 감열 접착성의 제1, 제2 접착 시트 AS1, AS2가 채용된 경우에는, 당해 제1, 제2 접착 시트 AS1, AS2를 가열하는 적절한 코일 히터나 히트 파이프 등의 가열측 등의 가열 수단을 설치하는 등의 적절한 방법에 의해 접착되면 된다. 또한, 이와 같은 제1, 제2 접착 시트 AS1, AS2는, 예를 들어 접착제층만의 단층의 것, 기재 시트와 접착제층의 사이에 중간층을 갖는 것, 기재 시트의 상면에 커버층을 갖는 등 3층 이상의 것, 나아가서는, 기재 시트를 접착제층으로부터 박리할 수 있는 소위 양면 접착 시트와 같은 것이어도 되며, 양면 접착 시트는, 단층 또는 복층의 중간층을 갖는 것이나, 중간층이 없는 단층 또는 복층의 것이어도 된다. 또한, 피착체로서는, 예를 들어 식품, 수지 용기, 실리콘 반도체 웨이퍼나 화합물 반도체 웨이퍼 등의 반도체 웨이퍼, 회로 기판, 광디스크 등의 정보 기록 기판, 유리판, 강판, 도자기, 목판 또는 수지판 등, 임의의 형태의 부재나 물품 등도 대상으로 할 수 있다. 또한, 제1, 제2 접착 시트 AS1, AS2를 기능적, 용도적인 읽는 방법으로 바꾸어, 예를 들어 정보 기재용 라벨, 장식용 라벨, 보호 시트, 다이싱 테이프, 다이 어태치 필름, 다이 본딩 테이프, 기록층 형성 수지 시트 등의 임의의 형상의 임의의 시트, 필름, 테이프 등을 전술한 바와 같은 임의의 피착체에 점착할 수 있다.The material, type, shape and the like of the first and second adhesive sheets AS1 and AS2 and the adherend are not particularly limited. For example, the first and second adhesive sheets AS1 and AS2 may be circular, elliptical, polygonal such as a triangle or a quadrangle, or other shapes, or may be of a bonding type such as a pressure sensitive adhesive property or a thermal adhesive property, When the first and second adhesive sheets AS1 and AS2 having adhesiveness are employed, a heating means such as a heating side such as a suitable coil heater or a heat pipe for heating the first and second adhesive sheets AS1 and AS2 is provided By a suitable method of bonding. The first and second adhesive sheets AS1 and AS2 may be, for example, a single layer of only an adhesive layer, an intermediate layer between the base sheet and the adhesive layer, a cover layer on the upper surface of the base sheet 3 Side adhesive sheet capable of separating the base sheet from the adhesive layer, and the double-sided adhesive sheet may be a single-layered or multi-layered intermediate sheet, or a single-layered or multi-layered sheet having no intermediate layer do. Examples of the adherend include an information recording substrate such as a food, a resin container, a semiconductor wafer such as a silicon semiconductor wafer or a compound semiconductor wafer, an information recording substrate such as a circuit substrate and an optical disk, a glass plate, a steel plate, The absence of forms and articles can also be targeted. It is also possible to replace the first and second adhesive sheets AS1 and AS2 with functional and usable methods for reading and labeling information such as information label, decorative label, protective sheet, dicing tape, die attach film, die bonding tape, An arbitrary sheet, film, tape or the like having an arbitrary shape such as a layer-forming resin sheet can be adhered to any adherend as described above.

본 발명에 있어서의 수단 및 공정은, 그것들 수단 및 공정에 대하여 설명한 동작, 기능 또는 공정을 완수할 수 있는 한 어떠한 한정도 되지 않으며, 하물며, 상기 실시 형태에서 나타낸 단순한 일 실시 형태의 구성물이나 공정으로 전혀 한정되지 않는다. 예를 들어, 시트 점착 수단은, 시트 점착대 위에 적재된 1차 가공품 및 프레임 부재에 제2 접착 시트를 점착하여 2차 가공품을 형성 가능한 것이면, 출원 당초의 기술 상식에 비추어, 그 기술 범위 내의 것이면 어떠한 한정도 되지 않는다(다른 수단 및 공정에 대한 설명은 생략함).The means and process in the present invention are not limited in any way as long as they can accomplish the operations, functions or processes described in the means and process, and more particularly, But it is not limited at all. For example, in the case where the secondary adhesive can be formed by adhering the second adhesive sheet to the primary processed article and the frame member stacked on the sheet adherend, There is no limitation (descriptions of other means and processes are omitted).

또한, 상기 실시 형태에 있어서의 구동 기기는, 회동 모터, 직동 모터, 리니어 모터, 단축 로봇, 다관절 로봇 등의 전동기기, 에어 실린더, 유압 실린더, 로드리스 실린더 및 로터리 실린더 등의 액추에이터 등을 채용할 수 있는 동시에, 그것들을 직접적 또는 간접적으로 조합한 것을 채용할 수도 있다(실시 형태에서 예시한 것과 중복되는 것도 있음).The drive device in the above embodiment employs an electric motor such as a rotary motor, a linear motor, a linear motor, a uniaxial robot or a multi-joint robot, an actuator such as an air cylinder, a hydraulic cylinder, a rodless cylinder and a rotary cylinder , Or a combination of them directly or indirectly may be employed (some of which may overlap with those exemplified in the embodiment).

Claims (3)

피착체의 한쪽 면에 제1 접착 시트가 점착된 1차 가공품에 제2 접착 시트를 점착하는 처리 장치이며,
상기 1차 가공품을 시트 점착대 위에 적재하는 제1 반송 수단과,
개구부를 갖는 프레임 부재의 당해 개구부 내에 상기 1차 가공품을 위치시켜서 당해 프레임 부재를 상기 시트 점착대 위에 적재하는 프레임 반송 수단과,
상기 시트 점착대 위에 적재된 상기 1차 가공품 및 프레임 부재에 상기 제2 접착 시트를 점착하여 2차 가공품을 형성하는 시트 점착 수단과,
상기 2차 가공품을 상기 시트 점착 수단으로부터 반출하는 제2 반송 수단을 구비하고,
상기 제2 반송 수단은, 당해 처리 장치의 외부에 설치된 2차 가공품 반송 장치에, 소정의 수수 위치에서 당해 2차 가공품을 1개씩 수수하는 것을 특징으로 하는, 처리 장치.A processing device for adhering a second adhesive sheet to a primary processed product to which a first adhesive sheet is adhered on one side of an adherend,
A first conveying means for placing the primary processed product on a sheet adherend,
Frame carrying means for placing the primary workpiece in the opening of the frame member having the opening and for stacking the frame member on the sheet adherend;
Sheet adhering means for adhering the second adhesive sheet to the primary processed product and the frame member stacked on the sheet adherend to form a secondary processed product,
And second conveying means for conveying the secondary workpiece from the sheet adhesion means,
And said second conveying means is adapted to deliver said secondary workpiece to said secondary workpiece conveying apparatus provided outside said processing apparatus at a predetermined number of positions. 피착체의 한쪽 면에 제1 접착 시트가 점착된 1차 가공품에 제2 접착 시트를 점착하는 처리 장치이며,
상기 1차 가공품을 시트 점착대 위에 적재하는 제1 반송 수단과,
개구부를 갖는 프레임 부재의 당해 개구부 내에 상기 1차 가공품을 위치시켜서 당해 프레임 부재를 상기 시트 점착대 위에 적재하는 프레임 반송 수단과,
상기 시트 점착대 위에 적재된 상기 1차 가공품 및 프레임 부재에 상기 제2 접착 시트를 점착하여 2차 가공품을 형성하는 시트 점착 수단과,
상기 2차 가공품을 시트 박리대 위에 적재하는 제2 반송 수단과,
상기 시트 박리대 위에 적재된 2차 가공품에 있어서의 상기 제1 접착 시트에 박리용 테이프를 점착하고, 당해 박리용 테이프를 개재해서 상기 피착체로부터 당해 제1 접착 시트를 박리해서 3차 가공품을 형성하는 시트 박리 수단과,
상기 3차 가공품을 상기 시트 박리 수단으로부터 반출하는 제3 반송 수단을 구비하고,
상기 제3 반송 수단은, 당해 처리 장치의 외부에 설치된 3차 가공품 반송 장치에, 소정의 수수 위치에서 당해 3차 가공품을 1개씩 수수하는 것을 특징으로 하는, 처리 장치.A processing device for adhering a second adhesive sheet to a primary processed product to which a first adhesive sheet is adhered on one side of an adherend,
A first conveying means for placing the primary processed product on a sheet adherend,
Frame carrying means for placing the primary workpiece in the opening of the frame member having the opening and for stacking the frame member on the sheet adherend;
Sheet adhering means for adhering the second adhesive sheet to the primary processed product and the frame member stacked on the sheet adherend to form a secondary processed product,
Second conveying means for placing the secondary workpiece on the sheet peeling table,
The peeling tape is adhered to the first adhesive sheet in the secondary processed product stacked on the sheet peeling base and the first adhesive sheet is peeled from the adherend via the peeling tape to form a third processed product A sheet separating means,
And third conveying means for carrying the third processed product out of the sheet peeling means,
Wherein the third conveying means transfers the third processed product to the third processed product transfer apparatus provided outside the processing apparatus at a predetermined transfer position. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1 반송 수단은, 당해 처리 장치의 외부에 설치된 1차 가공품 반송 장치로부터, 소정의 수취 위치에서 당해 1차 가공품을 1개씩 수취하는 것을 특징으로 하는, 처리 장치.3. The method according to claim 1 or 2,
Characterized in that the first transfer means receives one primary processed product from a primary processed product transfer apparatus provided outside the processing apparatus at a predetermined receiving position.
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