KR20160145176A - 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치 - Google Patents
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- 238000007639 printing Methods 0.000 title claims abstract description 193
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 187
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 75
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims abstract description 46
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 31
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 13
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 12
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 230000004044 response Effects 0.000 description 3
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 239000003562 lightweight material Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41F—PRINTING MACHINES OR PRESSES
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- B41F15/44—Squeegees or doctors
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
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- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41F—PRINTING MACHINES OR PRESSES
- B41F15/00—Screen printers
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- B41F15/40—Inking units
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- B41F15/423—Driving means for reciprocating squeegees
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- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
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- B41P2200/00—Printing processes
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- Computer Hardware Design (AREA)
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Abstract
기판 상의 프린팅을 위한 장치가 개시된다. 장치는 재료 회수(recovery) 디바이스, 및 기판 지지부에 대한 재료 회수 디바이스의 거리를 조정하도록 구성되는 제1 리니어 모터(linear motor)를 포함한다. 뿐만 아니라, 제1 리니어 모터를 사용하여 기판 지지부에 대하여 재료 회수 디바이스를 위치설정하는 단계를 포함하는, 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 방법이 제공된다.
Description
본 개시물의 실시예들은 특히 태양 전지 생산에서의 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치, 태양 전지 생산 장치, 및 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 방법에 관한 것이다. 본 개시물의 실시예들은 특히, 스크린 프린팅을 위한 장치, 태양 전지 생산 장치, 및 광전지(photovoltaic(PV) cell)들을 형성하는데 사용되는 기판 상의 스크린 프린팅을 위한 방법에 관한 것이다.
태양 전지들은 태양광을 직접 전력으로 변환하는 광발전(photovoltaic) 소자들이다. 이 분야에서, 태양 전지들의 전면(front surface) 상에 선택적 이미터들의 구조를 달성하는 프린팅 기법들, 특히, 스크린 프린팅 기법들에 의해 결정질 실리콘 베이스 상에 태양 전지들을 생산하는 것이 알려져 있다. 각각의 프린팅 사이클은 프린팅 디바이스에 의해 기판 상에 스크린 프린팅 재료가 증착되고 프린팅되는 적어도 하나의 프린팅 동작, 및 프린팅되지 않는 초과 스크린 프린팅 재료가 회수(recovery) 디바이스를 사용하여 회수되는 회수 동작을 포함한다. 일반적으로, 회수를 위해, 회수 디바이스는 기판 표면에 근접하게 위치설정된다(position). 회수 동작은 특히 예를 들어, 미세 라인(fine line)들의 프린팅된 구조들의 품질에 영향을 미친다. 따라서, 향상된 회수 동작을 제공하는 프린팅 장치에 대한 요구가 계속되고 있다.
상기의 관점에서, 본 개시물의 목적은, 당업계의 문제점들 중 적어도 일부를 극복하는, 기판 상의 프린팅을 위한 장치, 특히 광전지(PV cell)를 형성하는데 사용되는 기판 상의 스크린 프린팅을 위한 장치를 제공하는 것이다.
상기의 견지에서, 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치, 태양 전지 생산 장치, 및 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 방법이 제공된다. 본 개시물의 추가적 양상들, 장점들, 및 피쳐들은 종속 청구항들, 설명, 및 첨부된 도면들로부터 명백해진다.
일 실시예에 따라, 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치가 제공된다. 장치는 재료 회수(recovery) 디바이스, 및 기판 지지부 또는 기판의 표면에 대한 재료 회수 디바이스의 거리를 조정하도록 구성되는 제1 리니어 모터(linear motor)를 포함한다.
다른 실시예에 따라, 태양 전지 생산 장치가 제공된다. 태양 전지 생산 장치는 하나 이상의 프린팅 스테이션들을 포함하며, 프린팅 스테이션들 중 적어도 하나는 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치를 갖는다. 장치는 재료 회수(recovery) 디바이스, 및 기판 지지부 또는 기판의 표면에 대한 재료 회수 디바이스의 거리를 조정하도록 구성되는 제1 리니어 모터(linear motor)를 포함한다.
일 실시예에 따라, 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 방법이 제공된다. 방법은 제1 리니어 모터를 사용하여 기판 지지부 또는 기판의 표면에 대해 재료 회수 디바이스를 위치설정하는 단계를 포함한다.
몇몇 실시예들에 따라, 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치는 본 명세서에 설명된 실시예들에 따른 방법을 수행하도록 구성된다.
본 개시물의 상기 언급된 피쳐들이 상세히 이해될 수 있는 방식으로, 위에서 간략히 요약된 개시물에 대한 더욱 구체적일 설명은 실시예들을 참조하여 이루어질 수 있다. 첨부 도면들은 개시물의 실시예들에 관련되며, 하기에서 설명된다:
도 1은 본 명세서에 개시된 실시예들에 따른 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치의 평면도를 예시한다.
도 2는 본 명세서에 개시된 실시예들에 따른 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치의 사시도를 예시한다.
도 3은 본 명세서에 개시된 실시예들에 따른 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치의 사시도를 예시한다.
도 4는 본 명세서에 개시된 실시예들에 따른 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치의 제1 프린팅 디바이스의 사시도를 예시한다.
도 5는 본 명세서에 개시된 실시예들에 따른 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치의 회수 디바이스의 사시도를 예시한다.
도 6은 본 명세서에 개시된 실시예들에 따른 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치의 단면도를 예시한다.
도 7은 본 명세서에 개시된 실시예들에 따른 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 방법의 흐름도를 보여준다.
도 1은 본 명세서에 개시된 실시예들에 따른 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치의 평면도를 예시한다.
도 2는 본 명세서에 개시된 실시예들에 따른 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치의 사시도를 예시한다.
도 3은 본 명세서에 개시된 실시예들에 따른 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치의 사시도를 예시한다.
도 4는 본 명세서에 개시된 실시예들에 따른 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치의 제1 프린팅 디바이스의 사시도를 예시한다.
도 5는 본 명세서에 개시된 실시예들에 따른 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치의 회수 디바이스의 사시도를 예시한다.
도 6은 본 명세서에 개시된 실시예들에 따른 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치의 단면도를 예시한다.
도 7은 본 명세서에 개시된 실시예들에 따른 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 방법의 흐름도를 보여준다.
이제 개시물의 다양한 실시예들에 대한 상세한 참조가 이루어질 것이며, 개시물의 하나 이상의 예들은 도면들에 예시된다. 도면들에 대한 하기의 설명 내에서, 동일한 참조 번호들은 동일한 컴포넌트들을 지칭한다. 일반적으로, 단지 개별적인 실시예들에 대한 차이들만이 설명된다. 각각의 예는 개시물에 대한 설명에 의해 제공되고, 개시내용에 대한 제한으로서 의도된 것이 아니다. 또한, 일 실시예의 일부로서 예시된 또는 설명된 피쳐들은 또 다른 실시예를 산출해내기 위해 다른 실시예들에서 또는 다른 실시예들과 함께 사용될 수 있다. 설명은 그러한 수정들 및 변형들을 포함하는 것으로 의도된다.
본 실시예들은 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치를 제공한다. 장치는 재료 회수 디바이스(또는 여기서는 단지 “회수 디바이스”로 지칭됨), 및 기판 지지부(예를 들어, 기판 지지부의 표면) 또는 기판의 표면에 대한 재료 회수 디바이스의 거리를 조정하도록 구성되는 제1 리니어 모터를 포함한다. 몇몇 실시예들에 따라, 기판 지지부는 기판을 지지하도록 구성되고, 특히 상기 언급된 기판 지지부의 표면은 기판을 지지하도록 구성될 수 있다. 예로서, 회수 디바이스는 기판 표면에 가깝게 위치설정될 수 있고, 회수 디바이스와 기판 표면 사이의 거리는 미세 라인들의 프린팅을 허용하도록 그리고 회수 동작을 최적화시키도록 적절히 조정될 수 있다.
도 1은 본 명세서에 개시된 실시예들에 따른 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치의 평면도를 예시한다.
본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따라, 장치는 초과 프린팅 재료(43)의 회수를 위한 재료 회수 디바이스(20), 및 기판 지지부(40) 또는 기판의 표면(미도시)에 대한 재료 회수 디바이스(20)의 거리를 조정하도록 구성되는 제1 리니어 모터를 포함한다.
본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따라, 기판은 기판 지지부(40) 상에 위치설정된다. 몇몇 실시예들에서, 기판 지지부(40)는 프린팅, 특히, 스크린 프린팅 또는 스텐실 프린팅을 위해 기판이 배치될 수 있는 네스트(nest) 또는 다른 지지부를 포함할 수 있다. 도 1에 표시된 바와 같이, 프린팅 및/또는 회수를 위해, 장치는 기판 지지부(40) 또는 기판에 대해 이동 방향(42)을 따라 이동할 수 있다.
이동 방향(42)을 따라 이동할 때, 회수 디바이스(20)는 초과 프린팅 재료(43)를 수집 또는 회수한다. 몇몇 실시예들에서, 회수 디바이스(20)는 "플러드 바(flood bar)"또는 "블레이드(blade)"로도 또한 지칭될 수 있다. 몇몇 구현예들에서, 재료 회수 디바이스(20)는 메인(main) 엘리먼트(21) 및 윙(wing) 엘리먼트(22)를 포함할 수 있다. 특히, 회수 디바이스(20)는 2개의 윙 엘리먼트들(22)을 포함할 수 있는데, 이러한 윙 엘리먼트들은 예를 들어 메인 엘리먼트(21)의 측방 단부 부분(lateral end portion)들에 제공될 수 있다.
몇몇 실시예들에서, 메인 엘리먼트(21)는 이동 방향(42)에 대해 실질적으로 직각인 연장부, 예를 들어, 길이방향(longitudinal) 연장부를 가질 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 메인 엘리먼트(21)는 바 형상을 갖거나 또는 바일 수 있다. 예로서, 윙 엘리먼트들(22)은 바 형상의 메인 엘리먼트(21)의 단부 부분들에 제공될 수 있다. 이에 의해, 메인 엘리먼트(21) 및 윙 엘리먼트들(22)은 예를 들어, 도 1에 도시된 바와 같이, U자 형상을 형성할 수 있다. 윙 엘리먼트들(22)은 회수 디바이스(20)로부터의 초과 프린팅 재료(43)의 측방 누출을 방지한다. 다시 말해, 윙 엘리먼트들(22)은 수집된 초과 프린팅 재료(43)의 측방 구속(lateral confinement)을 제공한다.
장치는 기판 표면 또는 기판 지지부의 표면에 대한 재료 회수 디바이스(20)의 거리를 조정하도록 구성되는 제1 리니어 모터를 포함한다. 리니어 모터를 사용하는 것은 거리의 정확하고 빠른 조정을 허용한다. 이에 의해, 예를 들어, 광전지들의 핑거(finger)들 및/또는 버스바(busbar)들과 같은 미세 라인들의 프린팅 품질은 향상될 수 있다.
본 명세서에 설명된 실시예들은 리니어 모터에 의해 제어될 수 있는, 회수 디바이스(20), 예를 들어, 플러드 바 또는 블레이드를 제공하고, 따라서 빠르고 정확한 응답을 제공한다. 리니어 모터를 사용하는 것은 향상된 프로세스 반복력(repeatability)을 초래할 수 있으며, 이는 결국 증가된 생산 수율을 초래한다. 더 유익한 효과들은 회수/프린팅 동작의 감소된 중단들, (생산 수율에 있어서의 증가를 또한 초래할 수 있는) 공기 모터(pneumatic motor)를 사용하는 종래의 시스템들에 비해 더 쉬운 셋업, 향상된 툴 대 툴 매칭(tool to tool matching), 페이스트 소비 감소, 및 회수 디바이스의 실시간 압력 및/또는 위치 제어 가능성과 관련된다. 후자는 예를 들어, 버스바 두께 제어 및/또는 필-오프(peel-off) 문제 제어를 허용한다.
몇몇 구현예들에서, 장치는 스크린 프린팅을 위해 사용된다. 그러한 경우에, 스크린 디바이스는 장치와 기판 지지부(40) 또는 기판 사이에 제공될 수 있다. 회수 디바이스(20)는 아래에 기판 지지부(40) 또는 기판까지의 거리를 유지하면서, 스크린 디바이스 또는 스크린 디바이스의 스크린(41)에 접촉할 수 있고, 즉, 회수 디바이스(20)는 스크린(41) 상에 압력을 가할 수 있지만, 기판 지지부(40) 또는 기판 상에는 압력을 가하지 않을 수 있다. 제1 리니어 모터를 갖는, 본 명세서에 설명된 실시예에 따른 장치는 고정밀 압력 제어를 가능하게 한다. 이것은 미세 라인들의 프린팅을 허용하고, 스크린 대 툴(예를 들어, 회수 디바이스) 매칭을 향상시킨다. 따라서, 본 명세서에 설명된 실시예들에 따른 장치를 갖는 향상된 프린팅 헤드가 제공될 수 있으며, 이는 고정확도 힘 제어를 허용한다. 본 실시예들은 스크린 프린팅으로 제한되지 않는다. 특히, 본 명세서에 설명된 장치들 및 방법들은 스텐실 프린팅을 위해 또한 사용될 수 있다.
본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따라, 제1 리니어 모터는 스테퍼 모터이고, 특히, 리니어 스테퍼 모터이다. 몇몇 구현예들에서, 제1 리니어 모터는 그 고정자 및 회전자가 “언롤드(unrolled)” 상태가 되어 선형적 힘을 발생시키는 전기 모터이다. 제1 리니어 모터는 힘이 전류 및 자계에 선형적으로 비례하는 로렌츠(Lorentz) 타입 모터일 수 있으며, 여기서 자계는 영구 자석들에 의해 발생된다.
본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따라, 기판 지지부(40), 기판 또는 스크린(41)에 대한 회수 디바이스(20)의 기울기 또는 각도는 기판, 기판 지지부(40) 또는 스크린(41)의 표면과 회수 디바이스(20)의 연장부, 예를 들어, 메인 엘리먼트(21), 특히, 바 형상의 메인 엘리먼트(21)의 길이방향 연장부 사이의 기울기 또는 각도로서 정의된다. 몇몇 실시예들에서, 회수 디바이스(20)의 연장부는 이동 방향(42)에 실질적으로 직각이거나 또는 평행할 수 있다. 예로서, 회수 디바이스(20)의 연장부가 기판의 표면, 기판 지지부(40) 또는 스크린(41)에 대해 실질적으로 평행할 때, 기울기 또는 각도는 대략 0도이다.
본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따라, 장치는 기판 지지부의 표면, 기판 또는 스크린(41)에 대한, 특히, 메인 엘리먼트(21)의 재료 회수 디바이스(20)의 기울기 또는 각도를 조정하도록 구성되는 제1 조정 디바이스(예를 들어, 도 2에 도시된)를 포함한다. 몇몇 구현예들에서, 회수 동작 이전에 또는 회수 동작 동안에, 기울기 또는 각도가 0도를 벗어나는 경우, 상기 기울기 또는 각도는 회수 동작을 최적화시키도록, 그리고 특히 기판 지지부(40), 스크린(41) 또는 기판 표면에 대한 균일한(homogenous) 회수를 제공하도록, 제1 조정 디바이스를 사용하여 대략 0도로 조정될 수 있다.
본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따라, 장치는 제1 프린팅 디바이스(30)를 더 포함한다. 예로서, 제1 프린팅 디바이스(30)는 프린팅을 위해 구성된 스퀴지(squeegee)를 포함할 수 있다. 몇몇 구현예들에서, 제1 프린팅 디바이스(30)는 프린팅을 위해 구성된 프린팅 엘리먼트(31) 및 프레임 엘리먼트(32)를 포함할 수 있다. 제1 프린팅 디바이스(30) 또는 프린팅 엘리먼트(31)는 “스퀴지”로 지칭될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 프린팅 엘리먼트(31)는 이동 방향(42)을 따라 기판 지지부(40), 스크린(41) 또는 기판 표면에 대하여 기울어진다(예를 들어, 도 3 및 4 참고).
본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따라, 기판 지지부(40), 기판 또는 스크린(41)에 대한 제1 프린팅 디바이스(30)의 기울기 또는 각도는 기판, 기판 지지부(40) 또는 스크린(41)의 표면과 제1 프린팅 디바이스(30)의 연장부, 예를 들어, 프린팅 엘리먼트(31)의 길이방향 연장부 사이의 기울기 또는 각도로서 정의된다. 몇몇 실시예들에서, 제1 프린팅 디바이스(30)의 연장부는 이동 방향(42)에 실질적으로 직각이거나 또는 평행할 수 있다. 예로서, 특히, 프린팅 엘리먼트(31)의 제1 프린팅 디바이스(31)의 연장부가 기판, 기판 지지부(40) 또는 스크린(41)의 표면에 대해 실질적으로 평행할 때, 기울기 또는 각도는 대략 0도이다.
본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따라, 장치는 기판의 표면, 기판 지지부(40) 또는 스크린(41)에 대한, 특히, 프린팅 엘리먼트(31)의 제1 프린팅 디바이스의 기울기 또는 각도를 조정하도록 구성되는 제2 조정 디바이스(예를 들어, 도 2에 도시된)를 포함한다. 몇몇 구현예들에서, 프린팅 동작 이전에 또는 프린팅 동작 동안에, 기울기 또는 각도가 0도를 벗어나는 경우, 상기 기울기 또는 각도는 프린팅 동작을 최적화시키도록, 그리고 특히 기판 표면 상의 균일한 프린팅을 제공하도록, 제2 조정 디바이스를 사용하여 대략 0도로 조정될 수 있다.
본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따라, 장치는 기판 지지부(40)(기판 지지부의 표면) 또는 기판 표면에 대한 제1 프린팅 디바이스(30)의 거리를 조정하도록 구성되는 제2 리니어 모터를 포함한다. 몇몇 실시예들에서, 제2 리니어 모터는 제1 프린팅 디바이스(30)에 연결되고, 기판 지지부(40) 또는 기판에 대한 제1 프린팅 디바이스(30)의 위치를 조정하도록 및/또는 기판 지지부(40) 또는 기판 상에 작용하는 제1 프린팅 디바이스(30)의 힘을 조정하도록 구성된다. 몇몇 구현예들에서, 제2 리니어 모터는 그 고정자 및 회전자가 “언롤드(unrolled)” 상태가 되어 선형적 힘을 발생시키는 전기 모터이다. 제2 리니어 모터는 힘이 전류 및 자계에 선형적으로 비례하는 로렌츠(Lorentz) 타입 모터일 수 있으며, 여기서 자계는 영구 자석들에 의해 발생될 수 있다.
리니어 모터를 사용하는 것은 제1 프린팅 디바이스(30)와 기판 지지부(40) 또는 기판 표면 사이의 거리 및/또는 기판 지지부(40) 및/또는 기판 상에 작용하는 제1 프린팅 디바이스(30)의 압력의 정확하고 빠른 조정을 허용한다. 이에 의해, 예를 들어, 광전지들의 핑거들 및/또는 버스바들과 같은 미세 라인들의 프린팅 품질은 향상될 수 있다. 본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따라, 제2 리니어 모터는 스테퍼 모터이고, 특히, 리니어 스테퍼 모터이다.
본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따라, 제1 리니어 모터 및 제2 리니아 모터는 리니어 더블 모터로서 구성된다. 예로서, 리니어 더블 모터는 회수 디바이스(20)를 위한 제1 리니어 모터 및 제1 프린팅 디바이스(30)를 위한 제2 리니어 모터를 포함한다.
몇몇 실시예들에 따라, 리니어 더블 모터의 제1 리니어 모터 및 제2 리니어 모터는 적어도 하나의 공통 엘리먼트를 갖거나 공유한다. 이것은 장치의, 그리고 예를 들어, 상기 장치를 포함할 수 있는 프린팅 헤드의 전체 중량을 감소시키는 것을 허용한다. 몇몇 구현예들에서, 제1 리니어 모터 및 제2 리니어 모터는 각각 (로렌츠 타입 모터에서와 같은) 전류 및 전계에 의해 선형적 힘이 발생되는 모터일 수 있다. 예로서, 제1 리니어 모터 및 제2 리니어 모터는 자계를 발생시키거나 자계에 기여하는 적어도 하나의 공통 영구 자석을 가질 수 있다. 이에 의해, 장치의 중량은 감소될 수 있다.
몇몇 구현예들에서, 회수 디바이스를 위한 제1 리니어 모터는 제1 프린팅 디바이스(30)를 위한 제2 리니어 모터보다 더 적은 전력을 갖는다. 특히, 제2 리니어 모터는 기판에 약 100 N에 달하는 힘을 인가하거나 가하도록 구성될 수 있다.
본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따라, 장치는 제1 프린팅 디바이스에 연결된 제2 프린팅 디바이스를 포함한다. 예로서, 회수 디바이스(20)는 제1 프린팅 디바이스(30)와 제2 프린팅 디바이스 사이에 위치설정될 수 있다. 이것은 더블 프린팅, 즉, 양방향의 프린팅을 허용한다. 도 1을 참고하여, 제2 프린팅 디바이스는 제1 프린팅 디바이스(30)에 대향되게 또는 평행하게 위치설정될 수 있으며, 회수 디바이스(20)는 그들 사이에 배치 또는 샌드위칭된다. 따라서, 프린팅은 제1 프린팅 디바이스(30)를 사용하여 이동 방향(42)으로, 그리고 제2 프린팅 디바이스를 사용하여 이동 방향(42)과 반대 방향으로 수행될 수 있다. 2개 프린팅 동작들 모두에 대해, 동일한 회수 디바이스(20)가 초과 프린팅 재료(43)의 회수를 위해 사용될 수 있다.
예로서, 제2 프린팅 디바이스는 상기 설명된 제1 프린팅 디바이스(30)와 유사하게, 프린팅을 위해 구성된 스퀴지를 포함하거나 스퀴지일 수 있다. 몇몇 구현예들에서, 제2 프린팅 디바이스는 프린팅을 위해 구성된 프린팅 엘리먼트 및 프레임 엘리먼트를 포함할 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 프린팅 엘리먼트는 이동 방향을 따라서 기판 지지부(예를 들어, 기판 지지부의 표면), 스크린 또는 기판 표면에 대하여 기울어진다.
본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따라, 기판 지지부(40), 기판 또는 스크린(41)에 대한 제2 프린팅 디바이스의 기울기 또는 각도는 기판, 기판 지지부(40) 또는 스크린(41)의 표면과 제2 프린팅 디바이스의 연장부, 예를 들어, 프린팅 엘리먼트의 길이방향 연장부 사이의 기울기 또는 각도로서 정의된다. 몇몇 실시예들에서, 제1 프린팅 디바이스(30)의 연장부는 이동 방향(42)에 실질적으로 직각이거나 또는 평행할 수 있다. 예로서, 특히, 프린팅 엘리먼트 또는 스퀴지의 제2 프린팅 디바이스의 연장부가 기판의 표면, 기판 지지부(40) 또는 스크린(41)에 대해 실질적으로 평행할 때, 기울기 또는 각도는 대략 0도이다.
본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따라, 장치는 기판의 표면, 기판 지지부(40) 또는 스크린(41)에 대한, 특히, 프린팅 엘리먼트의 제2 프린팅 디바이스의 기울기 또는 각도를 조정하도록 구성되는 제3 조정 디바이스(미도시)를 포함한다. 몇몇 구현예들에서, 프린팅 동작 이전에 또는 프린팅 동작 동안에, 기울기 또는 각도가 0도를 벗어나는 경우, 상기 기울기 또는 각도는 프린팅 동작을 최적화시키도록, 그리고 특히 기판 표면 상의 균일한 프린팅을 제공하도록, 제3 조정 디바이스를 사용하여 대략 0도로 조정될 수 있다.
몇몇 구현예들에서, 제3 조정 디바이스는 제1 조정 디바이스에 대응하거나 제1 조정 디바이스이며, 여기서 회수 디바이스(20) 및 제2 프린팅 디바이스의 기울기는 동시에 및/또는 동일량만큼 조정될 수 있다.
몇몇 구현예들에서, 제1 리니어 모터는 또한, 기판 지지부(40) 또는 기판에 대한 제2 프린팅 디바이스의 위치를 조정하도록 및/또는 기판 지지부(40) 및/또는 기판 상에 작용하는 제2 프린팅 디바이스의 힘을 조정하도록 구성된다. 이것은 제2 프린팅 디바이스와 기판 지지부(40) 또는 기판 표면 사이의 거리 및/또는 기판 지지부(40) 및/또는 기판 상에 작용하는 제2 프린팅 디바이스의 압력의 정확하고 빠른 조정을 허용한다. 이에 의해, 예를 들어, 광전지들의 핑거들 및/또는 버스바들과 같은 미세 라인들의 프린팅 품질은 향상될 수 있다.
본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따라, 장치는 제1 리니어 모터를 통해 흐르는 전류를 검출하도록 구성되는 및/또는 제2 리니어 모터를 통해 흐르는 전류를 검출하도록 구성되는 전류 검출 디바이스를 더 포함한다. 몇몇 구현예들에서, 스크린(41), 기판 지지부(40) 또는 기판 상에 작용하는 제1 및/또는 제2 프린팅 디바이스의 힘은 각각의 리니어 모터를 통해 흐르는 검출된 전류에 기반하여 결정될 수 있다.
본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따라, 장치는 기판, 기판 지지부(40) 또는 스크린(41)에 대한 회수 디바이스(20)의 거리를 제어함으로써(스냅 오프(snap off)) 스크린(41) 상에 작용하는 회수 디바이스(20)의 압력을 조정하도록 구성된다. 예로서, 회수 디바이스(20)는 기판의 표면, 기판 지지부(40) 또는 스크린(41)에 대해 실질적으로 직각인 방향으로 이동가능할 수 있다.
몇몇 실시예들에서, 기판 지지부(40), 기판 및/또는 스크린(41) 상에 작용하는 회수 디바이스(20)의 힘은 제1 리니어 모터를 통해 흐르는 검출된 전류에 기반하여 결정될 수 있다. 이것은 제1 리니어 모터 또는 제1 리니어 모터의 제어부에 결합될 수 있는 전류 검출 디바이스(미도시)에 의해 수행될 수 있다. 정보를 프로세싱하기 위하여, 전류 검출 디바이스에 결합될 수 있는 프로세싱 디바이스(미도시)가 제공될 수 있다. 예로서, 결정된 힘은 예를 들어, 상기 결정된 힘에 기반하여 회수 파라미터들을 제어 또는 조정하기 위하여, 피드백 제어를 위해 사용될 수 있다. 이것은 회수 파라미터들의 실시간 조정을 허용하여, 향상된 회수 프로세스를 초래한다. 회수 파라미터들은 기판과 회수 디바이스 사이의 거리, 스크린(41) 상에 작용하는 회수 디바이스(20)의 힘, 및 기판, 기판 지지부(40) 또는 스크린(41)에 대한 회수 디바이스(20)의 예를 들어, 이동 방향(42)에 따른 이동 속도 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따라, 장치는 기판 상의 재료의 스크린 프린팅을 위한 장치이다. 몇몇 구현예들에서, 스크린 프린팅을 허용하기 위하여 장치와 기판 지지부(40) 또는 기판 사이에 스크린 디바이스가 제공된다. 스크린 디바이스는 스크린 프레임 및 상기 스크린 프레임에 의해 홀딩되는 스크린(41)을 포함할 수 있다. 본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따라, 스크린 디바이스는 스크린(41)을 포함하나, 스크린 프레임은 포함하지 않는다. 몇몇 실시예들에서, 기판 및/또는 기판 지지부(40) 및 스크린(41)은 서로에 대해 이동가능할 수 있다.
본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따라, 스크린(41)은 네트(net), 프린팅 마스크, 시트, 금속 시트, 플라스틱 시트, 플레이트, 금속 플레이트, 및 플라스틱 플레이트 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 몇몇 구현예들에서, 스크린(41)은 기판 상에 프린팅될 구조에 대응하는 패턴 또는 피쳐들을 정의하며, 여기서 패턴 또는 피쳐는 홀들, 슬롯들, 절개부(incision)들 또는 다른 애퍼처들 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 제1 프린팅 디바이스(30)는 스크린(41)에 접촉하며, 여기서 제1 프린팅 디바이스(30) 및/또는 제2 프린팅 디바이스는 스크린(41)을 통해 기판 지지부(40) 상에 프린팅되도록 재료를 가압한다(urge).
본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따라, 장치는 프린트 헤드, 특히, 스크린 프린트 헤드에 포함되거나, 또는 프린트 헤드, 특히, 스크린 프린트 헤드이다.
본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따라, 하나 이상의 프린트 파라미터들은 예를 들어, 프린팅 이전에, 프린팅 동안에 및/또는 프린팅 이후에 조정된다. 하나 이상의 프린트 파라미터들은 기판 지지부(40), 기판 또는 스크린(410)에 대한 제1 및/또는 제2 프린팅 디바이스의 각도 또는 기울기, 기판 지지부(40), 기판 또는 스크린(41)에 대한 장치의 이동 속도, 기판 지지부(40), 기판 또는 스크린(41)에 대한 제1 및/또는 제2 프린팅 디바이스의 거리, 및 기판 지지부(40), 기판 또는 스크린(41) 상에 작용하는 제1 및/또는 제2 프린팅 디바이스의 압력 또는 힘 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 프린팅 동안에 상기 파라미터들 중 적어도 하나를 제어 또는 조정함으로써, 예를 들어, 상이한 스크린 영역들에서의 상이한 프린팅 조건들이 참작/고려될 수 있고, 따라서 프린팅된 구조의 균질성은 향상될 수 있다. 기판 지지부(40), 기판 또는 스크린(41)에 대한 제1 및/또는 제2 프린팅 디바이스의 거리를 조정하기 위하여, 리니어 모터들이 사용될 수 있다.
본 명세서에 설명된 실시예들에 따른 기판은 특히, 광전지들을 형성하는데 사용될 수 있는, 특히, 실리콘 또는 알루미늄을 갖는 도전성 재료, 플레이트, 웨이퍼, 호일, 반도체 웨이퍼, 태양 전제 웨이퍼, 실리콘 태양 전지 웨이퍼, 그린-테잎 회로 보드 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따라, 하나 이상의 프린팅 스테이션들을 포함하는 태양 전지 생산 장치가 제공되며, 프린팅 스테이션들 중 적어도 하나는 상기 설명된 스크린 프린팅을 위한 장치를 갖는다.
도 2는 본 명세서에 개시된 실시예들에 따른 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치의 사시도를 예시한다. 본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따라, 장치는 회수 디바이스(20), 제1 프린팅 디바이스(30) 및 리니어 더블 모터(50)를 포함한다.
본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따라, 장치는 기판 지지부의 표면, 기판 또는 스크린(41)에 대한, 특히, 메인 엘리먼트(21)의 재료 회수 디바이스(20)의 기울기 또는 각도를 조정하도록 구성되는 제1 조정 디바이스를 포함한다. 몇몇 구현예들에서, 회수 동작 이전에 또는 회수 동작 동안에, 기울기 또는 각도가 0도를 벗어나는 경우, 상기 기울기 또는 각도는 회수 동작을 최적화시키도록, 그리고 특히 스크린, 기판 지지부 또는 기판 표면에 대한 균일한 회수를 제공하도록, 제1 조정 디바이스(23)를 사용하여 대략 0도로 조정될 수 있다.
본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따라, 장치는 기판 지지부(40)의 표면, 기판 또는 스크린(41)에 대한, 특히, 프린팅 엘리먼트(31)의 제1 프린팅 디바이스(30)의 기울기 또는 각도를 조정하도록 구성되는 제2 조정 디바이스(33)를 포함한다. 몇몇 구현예들에서, 프린팅 동작 이전에 또는 프린팅 동작 동안에, 기울기 또는 각도가 0도를 벗어나는 경우, 상기 기울기 또는 각도는 프린팅 동작을 최적화시키도록, 그리고 특히 기판 표면 상의 균일한 프린팅을 제공하도록, 제2 조정 디바이스(33)를 사용하여 대략 0도로 조정될 수 있다.
본 명세서에 설명된 실시예들에 따른 장치 및 특히, 리니어 더블 모터는 정확한 모터 힘 제어(예를 들어, ±3N)를 허용하며, 이는 결국 미세한 프린트 압력 조절을 허용한다. 뿐만 아니라, 모터 질량의 감소가 달성될 수 있다(예를 들어, 전체 650 g). 리니어 더블 모터는 또한 높은 동적 응답이 프린트 요건들을 따르도록 허용한다. 장치의 구성은 손쉬운 셋업 및 유지보수를 제공한다. 특히, 페이스트-보호될(paste-protected) 수 있는, 프린팅 디바이스 및 회수 디바이스 각각의 기울기 조정을 위해 하나의 조정 디바이스가 제공된다. 회수 디바이스 및/또는 프린팅 디바이스의 설치 위치는 정확하게 반복가능하고, 프린팅 디바이스, 예를 들어, 스퀴지, 및 회수 디바이스, 예를 들어, 플러드 바 또는 블레이드는 손쉽게 교환가능할 수 있다. 다시 말해, 리니어 모터를 이용한 자동적 플러드 바는 더 우수한 제어, 자동적인 셋-업 및 페이스트 회수를 허용한다. 뿐만 아니라, 장치는 더 가벼워지고, 페이스트를 함유하기 위해 측방 윙들을 더 포함할 수 있는 스퀴지를 쉽게 장착할 수 있다.
도 3은 본 명세서에 개시된 실시예들에 따른 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치의 사시도를 예시한다.
도 3에 도시된 예에서, 회수 디바이스(20)는 메인 엘리먼트(21) 및 윙 엘리먼트들(22)을 포함한다. 특히, 회수 디바이스(20)는 2개의 윙 엘리먼트들(22)을 포함할 수 있는데, 도 3에 도시된 바와 같이, 이러한 윙 엘리먼트들은 예를 들어 메인 엘리먼트(21)의 측방 단부 부분(lateral end portion)들에 제공될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 메인 엘리먼트(21)는 바 형상을 갖거나 또는 바일수 있으며, 이동 방향(42)에 대해 실질적으로 직각인 연장부를 가질 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 윙 엘리먼트들(22)은 바 형상의 메인 엘리먼트(21)의 단부 부분들에 제공된다. 이에 의해, 메인 엘리먼트(21) 및 윙 엘리먼트들(22)은 도 3에 도시된 바와 같이, U자 형상을 형성할 수 있다. 윙 엘리먼트들(22)은 회수 디바이스(20)로부터의 초과 프린팅 재료(43)의 측방 누출을 방지한다. 다시 말해, 윙 엘리먼트들(22)은 수집된 초과 프린팅 재료(43)의 측방 구속(lateral confinement)을 제공한다.
도 3에 도시된 바와 같이, 몇몇 구현예들에 따라, 회수 디바이스(20)는 에지 부분(24)을 포함할 수 있다. 상기 설명된 바와 같이, 장치는 기판 지지부, 기판 표면 또는 스크린에 대한 재료 회수 디바이스(20)의 거리를, 그리고 특히 기판 지지부, 기판 표면 또는 스크린에 대한 에지 부분(24)의 거리를 조정하도록 구성되는 제1 리니어 모터를 포함한다.
본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따라, 장치는 제1 프린팅 디바이스(30)를 더 포함한다. 예로서, 제1 프린팅 디바이스(30)는 프린팅을 위해 구성된 스퀴지(squeegee)를 포함하거나 또는 스퀴지일 수 있다. 몇몇 구현예들에서, 제1 프린팅 디바이스(30)는 프린팅을 위해 구성된 프린팅 엘리먼트(31) 및 프레임 엘리먼트(32)를 포함할 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 프린팅 엘리먼트(31)는 이동 방향(42)을 따라서 스크린, 기판 지지부 또는 기판 표면에 대하여 기울어진다.
도 4는 본 명세서에 개시된 실시예들에 따른 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치의 제1 프린팅 디바이스(30)의 사시도를 예시한다.
도 4에 도시된 바와 같이, 제1 프린팅 디바이스(30)는 프린팅을 위해 구성된 프린팅 엘리먼트(31) 및 프린팅 엘리먼트(31)를 홀딩하는 프레임 엘리먼트(32)를 포함할 수 있다. 프린팅 엘리먼트(31)는 기울어질 수 있다. 제1 프린팅 디바이스(30) 또는 스퀴지는 가볍고, 정확하며, 변경하기 쉽다. 특히, 기판 지지부, 기판 또는 스크린에 대한 제1 프린팅 디바이스(30)의 각도 또는 기울기를 조정하기 위하여 제2 조정 디바이스(33)가 제공된다. 특히, 제2 조정 디바이스(33)는 쉽고 어린이가 안전한(child-safe) 기울기 세팅을 제공한다.
몇몇 실시예들에 따라, 제1 프린팅 디바이스(30)는 홀딩 어셈블리(34)에 장착된다. 예로서, 제1 프린팅 디바이스(30)는 제1 힌지(35)에 의해 홀딩 어셈블리(34)에 부착될 수 있다. 몇몇 구현예들에서, 제1 힌지(35)는 홀딩 어셈블리(34)에 대한 제1 프린팅 디바이스(30)의 회전축을 한정(define)할 수 있다. 예를 들어, 제2 조정 디바이스(33)에 의해 회전 축을 중심으로 제1 프린팅 디바이스(30)를 회전시킴으로서, 기판 지지부, 기판 또는 스크린에 대한 제1 프린팅 디바이스(30)의 상기 설명된 기울기 또는 각도는 조정될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 홀딩 어셈블리(34)는 마찰 없고 반복가능한 중량 보상을 제공할 수 있다.
본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따라, 홀딩 어셈블리(34)는 홀딩 어셈블리(34)의 질량을 감소시키기 위한 경량의 재료를 포함할 수 있는 부분(36)을 포함한다. 부분(36)은 열 보상과 함께 저마찰 가이드들을 제공할 수 있다. 특히, 부분(36)은 마찰 없고 반복가능한 중량 보상을 제공할 수 있으며, 원활한(smooth) 작동 및 강제 냉각(forced cooling)(공기 분산 없음)을 위한 보이스 코일(voice coil) 제어를 또한 제공할 수 있다.
도 5는 본 명세서에 개시된 실시예들에 따른 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치의 회수 디바이스(20)의 사시도를 예시한다.
도 5에 도시된 바와 같은 회수 디바이스(20)는 바 형상일 수 있는 메인 엘리먼트(21) 및 윙 엘리먼트들(22)을 포함한다. 회수 디바이스(20)는 가볍고, 정확하며, 변경하기 쉽다. 특히, 기판 지지부, 기판 또는 스크린에 대한 회수 디바이스(20)의 각도 또는 기울기를 조정하기 위하여 제1 조정 디바이스(23)가 제공된다. 특히, 제1 조정 디바이스(23)는 쉽고 어린이가 안전한 기울기 세팅을 제공한다.
몇몇 실시예들에 따라, 회수 디바이스(20)는 홀딩 어셈블리(34)에 장착된다. 예로서, 회수 디바이스(20)는 제2 힌지(25)에 의해 홀딩 어셈블리(34)에 부착될 수 있다. 몇몇 구현예들에서, 제2 힌지(25)는 홀딩 어셈블리(34)에 대한 회수 디바이스(20)의 회전축을 한정할 수 있다. 예를 들어, 제1 조정 디바이스(23)에 의해 회전 축을 중심으로 회수 디바이스(20)를 회전시킴으로서, 기판 지지부, 기판 또는 스크린에 대한 회수 디바이스(20)의 상기 설명된 기울기 또는 각도는 조정될 수 있다. 회수 디바이스(20)는 고성능 및 반복력을 허용하는 리니어 모터에 의해 제어된다.
본 명세서에 설명된 다른 실시예들과 결합될 수 있는 몇몇 실시예들에 따라, 홀딩 어셈블리(34)는 홀딩 어셈블리(34)의 질량을 감소시키기 위한 경량의 재료를 포함할 수 있는 부분(26)을 포함한다. 부분(26)은 원활한 작동을 위한 보이스 코일 제어를 제공할 수 있다.
도 6은 본 명세서에 개시된 실시예들에 따른 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치의 측면 사시도를 예시한다.
도 6에 도시된 바와 같이, 본 명세서에 설명된 실시예들에 따른 장치는 제1 리니어 모터(51) 및 제2 리니어 모터(52)를 갖는 리니어 더블 모터(50)를 포함할 수 있다.
몇몇 실시예들에 따라, 리니어 더블 모터의 제1 리니어 모터(51) 및 제2 리니어 모터(52)는 적어도 하나의 공통 엘리먼트를 갖는다. 이것은 장치의, 그리고 이에 따라 예를 들어, 상기 장치를 포함할 수 있는 프린팅 헤드의 전체 중량을 감소시키는 것을 허용한다. 몇몇 구현예들에서, 제1 리니어 모터(51) 및 제2 리니어 모터(52)는 각각 (로렌츠 타입 모터에서와 같은) 전류 및 전계에 의해 선형적 힘이 발생되는 모터일 수 있다. 예로서, 제1 리니어 모터(51) 및 제2 리니어 모터(52)는 자계를 발생시키거나 자계에 기여하는 적어도 하나의 공통 영구 자석을 가질 수 있다. 이에 의해, 장치의 중량은 감소될 수 있다.
도 7은 본 명세서에 개시된 실시예들에 따른 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 방법(70)의 흐름도를 보여준다. 방법(70)은 상기 설명된 장치를 이용할 수 있다. 몇몇 실시예들에 따라, 방법은 제1 리니어 모터를 사용하여 기판의 표면 또는 기판 지지부(예를 들어, 기판을 지지하도록 구성되는 기판 지지부의 표면)에 대하여 재료 회수 디바이스를 위치설정하는 단계(블록 71)를 포함한다. 몇몇 구현예들에서, 방법은 프린팅을 위해 기판 지지부, 기판의 표면 또는 스크린에 대해 제1 프린팅 디바이스 및 재료 회수 디바이스를 이동시키는 단계(블록 72)를 더 포함할 수 있다.
본 명세서에 설명된 실시예들에 따른 장치는 재료 회수 디바이스, 및 기판 지지부 또는 기판 표면에 대한 재료 회수 디바이스의 거리를 조정하도록 구성되는 제1 리니어 모터를 포함한다. 따라서, 회수 디바이스는 기판 지지부 또는 기판 표면에 가깝게 위치설정될 수 있고, 회수 디바이스와 기판 지지부 또는 기판 표면 사이의 거리는 미세 라인들의 프린팅을 허용하도록 그리고 회수 동작을 최적화시키도록 적절히 조정될 수 있다. 특히, 리니어 모터는 빠르고 정확한 응답을 제공한다. 리니어 모터를 사용하는 것은 향상된 프로세스 반복력을 초래할 수 있으며, 이는 결국 증가된 생산 수율을 초래한다. 더 유익한 효과들은 회수/프린팅 동작의 감소된 중단들, (생산 수율에 있어서의 증가를 또한 초래할 수 있는) 공기 모터를 사용하는 종래의 시스템들에 비해 더 쉬운 셋업, 향상된 툴 대 툴 매칭, 페이스트 소비 감소, 회수 디바이스의 실시간 압력 및/또는 위치 제어 가능성과 관련된다. 후자는 예를 들어, 버스바 두께 제어 및/또는 필-오프 문제 제어를 허용한다.
전술한 내용은 본 개시물의 실시예들에 관한 것이지만, 개시물의 다른 실시예 및 추가 실시예가 본 발명의 기본 범위를 벗어나지 않고 고안될 수 있으며, 그 범위는 다음의 청구 범위에 의해 결정된다.
Claims (15)
- 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치로서,
재료 회수(material recovery) 디바이스(20); 및
기판 지지부(40)에 대한 상기 재료 회수 디바이스(20)의 거리를 조정하도록 구성되는 제1 리니어 모터(linear motor)(51)
를 포함하는, 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치. - 제1항에 있어서,
상기 기판 상에 상기 재료를 프린팅하도록 구성되는 제1 프린팅 디바이스(30), 특히, 스퀴지(squeegee)를 더 포함하는, 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치. - 제2항에 있어서,
상기 제1 프린팅 디바이스(30)에 연결되고, 상기 기판 지지부(40)에 대한 상기 제1 프린팅 디바이스(30)의 위치를 조정하도록 및/또는 상기 기판 지지부(40) 상에 작용하는 상기 제1 프린팅 디바이스(30)의 힘을 조정하도록 구성되는 제2 리니어 모터(52)를 더 포함하는, 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치. - 제3항에 있어서,
상기 제1 리니어 모터(51) 및 상기 제2 리니어 모터(52)는 리니어 더블 모터(50)로서 구성되는, 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치. - 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 기판 지지부(40)에 대한 상기 재료 회수 디바이스(20)의 기울기를 조정하도록 구성되는 제1 조정 디바이스(23)를 더 포함하는, 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치. - 제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 기판 지지부(40)에 대해 상기 제1 프린팅 디바이스(30)의 기울기를 조정하도록 구성되는 제2 조정 디바이스(33)를 더 포함하는, 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치. - 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 리니어 모터(51)는 스테퍼 모터(stepper motor)이고/이거나 상기 제2 리니어 모터(52)는 스테퍼 모터인, 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치. - 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 리니어 모터(51)에 연결되는 제2 프린팅 디바이스를 더 포함하고,
선택적으로 상기 제1 리니어 모터(51)는 또한, 상기 기판 지지부(40)에 대한 상기 제2 프린팅 디바이스의 위치를 조정하도록 및/또는 상기 기판 지지부(40) 상에 작용하는 상기 제2 프린팅 디바이스의 힘을 조정하도록 구성되는, 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치. - 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 리니어 모터(51)를 통해 흐르는 전류를 검출하도록 구성되는 및/또는 상기 제2 리니어 모터(52)를 통해 흐르는 전류를 검출하도록 구성되는 전류 검출 디바이스를 더 포함하는, 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치. - 제9항에 있어서,
상기 제2 리니어 모터(52)를 통해 흐르는 검출된 전류에 기반하여 상기 기판 지지부(40) 상에 작용하는 상기 제1 프린팅 디바이스(30)의 힘을 결정하도록 구성되는 및/또는 상기 제1 리니어 모터(51)를 통해 흐르는 검출된 전류에 기반하여 상기 기판 지지부(40) 상에 작용하는 상기 제2 프린팅 디바이스의 힘을 결정하도록 구성되는 프로세싱 디바이스를 더 포함하는, 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치. - 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치에 있어서,
재료 회수 디바이스(20); 및
기판 지지부(40)에 대한 상기 재료 회수 디바이스(20)의 거리를 조정하도록 구성되는 제1 리니어 모터(51) ― 상기 제1 리니어 모터(51)는 또한, 상기 기판 지지부(40)에 대한 제2 프린팅 디바이스의 위치를 조정하도록 및/또는 상기 기판 지지부(40) 상에 작용하는 상기 제2 프린팅 디바이스의 힘을 조정하도록 구성됨 ―
를 포함하며,
상기 장치는,
상기 기판 상에 상기 재료를 프린팅하도록 구성되는 제1 프린팅 디바이스(30) ― 상기 제1 프린팅 디바이스(30)는 스퀴지임 ― 를 더 포함하고,
상기 제1 프린팅 디바이스(30)에 연결되고, 상기 기판 지지부(40)에 대한 상기 제1 프린팅 디바이스(30)의 위치를 조정하도록 및/또는 상기 기판 지지부(40) 상에 작용하는 상기 제1 프린팅 디바이스(30)의 힘을 조정하도록 구성되는 제2 리니어 모터(52) ― 상기 제1 리니어 모터(51) 및 상기 제2 리니어 모터(52)는 리니어 더블 모터(50)로서 구성됨 ― 를 더 포함하고,
상기 기판 지지부(40)에 대한 상기 재료 회수 디바이스(20)의 기울기를 조정하도록 구성되는 제1 조정 디바이스(23)를 더 포함하고, 그리고
상기 제1 리니어 모터(51)를 통해 흐르는 전류를 검출하도록 구성되는 및/또는 상기 제2 리니어 모터(52)를 통해 흐르는 전류를 검출하도록 구성되는 전류 검출 디바이스를 더 포함하는, 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치. - 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 장치는 스크린(41) 프린트 헤드인, 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치. - 태양 전지 생산 장치에 있어서,
하나 이상의 프린팅 스테이션들을 포함하며,
상기 프린팅 스테이션들 중 적어도 하나는 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 따른 장치를 갖는, 태양 전지 생산 장치. - 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 방법(70)에 있어서,
제1 리니어 모터(51)를 사용하여 기판 지지부(40)에 대해 재료 회수 디바이스(20)를 위치설정하는 단계를 포함하는, 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 방법(70). - 제14항에 있어서,
초과 재료의 프린팅 및 회수를 위하여 상기 기판 지지부(40)에 대해 상기 제1 프린팅 디바이스(30) 및 상기 재료 회수 디바이스(20)를 이동시키는 단계를 더 포함하는, 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 방법(70).
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/EP2014/057935 WO2015158392A1 (en) | 2014-04-17 | 2014-04-17 | Apparatus for printing of a material on a substrate |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20160145176A true KR20160145176A (ko) | 2016-12-19 |
Family
ID=50513935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020167032178A KR20160145176A (ko) | 2014-04-17 | 2014-04-17 | 기판 상의 재료의 프린팅을 위한 장치 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20170036436A1 (ko) |
| EP (1) | EP3131757A1 (ko) |
| KR (1) | KR20160145176A (ko) |
| CN (1) | CN106132708A (ko) |
| TW (1) | TW201604026A (ko) |
| WO (1) | WO2015158392A1 (ko) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106335272B (zh) * | 2016-11-01 | 2018-01-12 | 西安电子科技大学 | 一种太阳能电池丝网印刷网版装置及其安装方法 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61270159A (ja) * | 1985-05-24 | 1986-11-29 | Tokai Shoji Kk | スクリ−ン印刷機におけるスキ−ジスイング装置 |
| JPH10109401A (ja) * | 1996-10-07 | 1998-04-28 | Sakurai Graphic Syst:Kk | スクリーン式印刷装置 |
| JP2000263752A (ja) * | 1999-01-11 | 2000-09-26 | Micro Tekku Kk | スクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法 |
| JP2005324515A (ja) * | 2004-05-17 | 2005-11-24 | Murata Mfg Co Ltd | スクリーン印刷機及び該印刷機を用いたスクリーン印刷方法 |
| US7337717B2 (en) * | 2006-05-26 | 2008-03-04 | Atma Champ Enterprise Corporation | Ink residue lifting and transfer mechanism for screen printing machine |
| US20080163770A1 (en) * | 2006-12-28 | 2008-07-10 | Bien Trong Bui | Image printing apparatus for small areas |
| US20120216691A1 (en) * | 2009-09-03 | 2012-08-30 | Applied Materials, Inc. | Blade for silk-screen printing on a print support |
| TW201129479A (en) * | 2009-09-03 | 2011-09-01 | Applied Materials Inc | Blade device for silk-screen printing on a substrate or a print support and relative printing method |
| CN101823360B (zh) * | 2010-02-26 | 2012-07-25 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 电池片印刷机印刷压力控制装置 |
| JP6114922B2 (ja) * | 2013-12-27 | 2017-04-19 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | スクリーン印刷機 |
-
2014
- 2014-04-17 KR KR1020167032178A patent/KR20160145176A/ko not_active Application Discontinuation
- 2014-04-17 EP EP14718419.6A patent/EP3131757A1/en not_active Withdrawn
- 2014-04-17 WO PCT/EP2014/057935 patent/WO2015158392A1/en active Application Filing
- 2014-04-17 US US15/304,797 patent/US20170036436A1/en not_active Abandoned
- 2014-04-17 CN CN201480077737.1A patent/CN106132708A/zh active Pending
-
2015
- 2015-04-16 TW TW104112254A patent/TW201604026A/zh unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW201604026A (zh) | 2016-02-01 |
| US20170036436A1 (en) | 2017-02-09 |
| CN106132708A (zh) | 2016-11-16 |
| EP3131757A1 (en) | 2017-02-22 |
| WO2015158392A1 (en) | 2015-10-22 |
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