KR20160110157A

KR20160110157A - 자기 센서 및 모터

Info

Publication number: KR20160110157A
Application number: KR1020160027550A
Authority: KR
Inventors: 유스케 츠타가와; 유타카 사이토; 히데유키 오다기리; 히토시 조코
Original assignee: 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
Priority date: 2015-03-11
Filing date: 2016-03-08
Publication date: 2016-09-21
Also published as: JP2016169966A; CN105978234A; TWI679401B; TW201632836A; CN105978234B

Abstract

자기 저항 효과 소자를 구비하는 자기 센서에 있어서, 회전축의 축단부에 센서 자석이 고정되어 있는 모터로 사용되는 경우에, 회전축의 축 방향에서 보았을 때의 센서 자석의 중심과 자기 저항 효과 소자의 감자 영역의 중심과의 어긋남량을 저감하는 것이 가능한 자기 센서를 제공한다. 자기 센서(11)는 자기 저항 효과 소자와, 자기 저항 효과 소자가 형성되는 소자 기판(24)과, 소자 기판(24)이 수용되는 상자 형상의 패키지 본체(25)와, 패키지 본체(25)에 형성되는 개구부를 막아서 소자 기판(24)을 밀봉하는 투명한 밀봉 부재(26)를 구비하고 있고, 소자 기판(24)에는, 자기 센서(11)가 설치되는 설치 부재(14)에 대한 자기 저항 효과 소자의 위치 정렬을 행하기 위한 위치 정렬용 마크 M1이 형성되어 있다.

Description

자기 센서 및 모터{MAGNETIC SENSOR AND MOTOR}

본 발명은, 자기 저항 효과 소자를 구비하는 자기 센서에 관한 것이다. 또한, 본 발명은, 이러한 자기 센서를 구비하는 모터에 관한 것이다.

종래, 인코더를 구비한 모터가 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 모터에서는, 인코더는, 회전축의 축단부에 고정되는 센서 자석과, 센서 자석에 대향 배치되는 자기 센서와, 자기 센서가 실장되는 센서 기판과, 센서 기판이 고정되는 기판 홀더를 구비하고 있다. 기판 홀더는, 모터 케이스에 고정되어 있다. 자기 센서는, 자기 저항 효과 소자를 구비하고 있다. 또한, 종래, 자기 센서로서, 자기 저항 효과 소자와, 자기 저항 효과 소자가 형성되는 소자 기판을 구비하는 자기 센서가 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 2 참조).

일본 특허 공개 제2012-168016호 공보 국제 공개 제2014/155886호

특허문헌 1에 기재된 모터에 있어서, 회전축의 축 방향에서 보았을 때의 센서 자석의 중심과 자기 저항 효과 소자의 감자 영역의 중심과의 어긋남량이 크면, 인코더의 검출 정밀도가 저하된다. 그로 인해, 이 모터에서는, 회전축의 축 방향에서 보았을 때의 센서 자석의 중심과 자기 저항 효과 소자의 감자 영역의 중심과의 어긋남량은 작은 것이 바람직하다.

따라서, 본 발명의 과제는, 자기 저항 효과 소자를 구비하는 자기 센서에 있어서, 회전축의 축단부에 센서 자석이 고정되어 있는 모터로 사용되는 경우에, 회전축의 축 방향에서 보았을 때의 센서 자석의 중심과 자기 저항 효과 소자의 감자 영역의 중심과의 어긋남량을 저감하는 것이 가능한 자기 센서를 제공하는 데 있다. 또한, 본 발명의 과제는, 이러한 자기 센서를 구비하는 모터를 제공하는 데 있다.

상기의 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 자기 센서는, 자기 저항 효과 소자를 구비하는 자기 센서에 있어서, 자기 저항 효과 소자가 형성되는 소자 기판과, 소자 기판이 수용되는 상자 형상의 패키지 본체와, 패키지 본체에 형성되는 개구부를 막아서 소자 기판을 밀봉하는 투명한 밀봉 부재를 구비하고, 소자 기판에는, 자기 센서가 설치되는 설치 부재에 대한 자기 저항 효과 소자의 위치 정렬을 행하기 위한 위치 정렬용 마크가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 자기 센서에서는, 자기 저항 효과 소자가 형성되는 소자 기판에, 자기 센서가 설치되는 설치 부재에 대한 자기 저항 효과 소자의 위치 정렬을 행하기 위한 위치 정렬용 마크가 형성되어 있다. 또한, 본 발명에서는, 소자 기판을 밀봉하는 밀봉 부재가 투명하다. 그로 인해, 본 발명에서는, 자기 센서를 설치 부재에 설치할 때에, 위치 정렬용 마크를 확인하면서, 설치 부재에 대한 자기 저항 효과 소자의 위치 정렬을 행하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 발명에서는, 자기 저항 효과 소자를 설치 부재에 대해 고정밀도로 설치하는 것이 가능해진다. 그 결과, 본 발명에서는, 회전축의 축단부에 센서 자석이 고정되어 있는 모터로 자기 센서가 사용되는 경우에, 회전축에 대해 설치 부재를 고정밀도로 설치하면, 회전축의 축 방향에서 보았을 때의 센서 자석의 중심과 자기 저항 효과 소자의 감자 영역의 중심과의 어긋남량을 저감하는 것이 가능해진다.

본 발명에 있어서, 밀봉 부재는, 패키지 본체의 개구부를 막도록 패키지 본체에 고정되는 투명한 유리로 만든 덮개인 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 밀봉 부재가, 개구부를 막도록 패키지 본체에 충전되는 수지인 경우와 비교하여, 자기 저항 효과 소자의 검출 정밀도의 저하를 억제하는 것이 가능해진다. 즉, 자기 저항 효과 소자의 검출 정밀도는, 자기 저항 효과 소자에 작용하는 응력의 영향이나 습도의 영향으로 저하되지만, 밀봉 부재가, 패키지 본체에 충전되는 수지인 경우에는, 이 수지에 기인하여 자기 저항 효과 소자에 작용하는 응력의 영향이나, 수지가 흡수하는 습기의 영향으로, 자기 저항 효과 소자의 검출 정밀도가 저하될 우려가 있다. 이에 반해, 밀봉 부재가, 개구부를 막도록 패키지 본체에 고정되는 투명한 유리로 만든 덮개이면, 이러한 문제는 생기지 않는다. 따라서, 자기 저항 효과 소자의 검출 정밀도의 저하를 억제하는 것이 가능해진다. 또한, 밀봉 부재가, 개구부를 막도록 패키지 본체에 고정되는 투명한 유리로 만든 덮개이면, 예를 들어, 패키지 본체에 덮개를 접착으로 고정할 때에, 패키지 본체에 덮개가 확실하게 접착 고정되어 있는지 여부를 확인하는 것이 가능해진다. 따라서, 덮개에 의해 소자 기판을 확실하게 밀봉하는 것이 가능해진다.

본 발명에 있어서, 마크는, 소자 기판의 두께 방향에서 보았을 때에, 자기 저항 효과 소자의 감자 영역의 중심을 통과하는 제1 가상선 상의 2개소와, 감자 영역의 중심을 통과함과 함께 제1 가상선과는 다른 제2 가상선 상의 2개소의 합계 4개소에 형성되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 4개소에 형성된 마크로부터 감자 영역의 중심을 검출하는 것이 가능해진다. 또한, 이와 같이 구성하면, 감자 영역의 중심의 1개소에 마크가 형성되어 있는 경우와 비교하여, 소자 기판 상의 마크를 형성하기 쉬운 개소에 마크를 형성하는 것이 가능해진다. 따라서, 소자 기판에 마크를 용이하게 형성하는 것이 가능해진다. 또한, 이와 같이 구성하면, 설치 부재에 자기 센서를 설치할 때에, 소자 기판의 두께 방향에서 보았을 때의 감자 영역의 중심을 중심으로 하는 자기 센서의 회전 방향의 조정을 행하는 것도 가능해진다.

본 발명에 있어서, 마크는, 소자 기판의 두께 방향에서 보았을 때에, 자기 저항 효과 소자의 감자 영역의 중심에 형성되어 있어도 된다. 이 경우에는, 마크의 형성 개소를 최소한으로 할 수 있다.

본 발명의 자기 센서는, 회전축을 갖는 로터와, 스테이터와, 스테이터가 수용되는 모터 케이스와, 회전축의 축단부에 고정되는 센서 자석과, 자기 센서가 실장되는 센서 기판과, 센서 기판이 고정됨과 함께 모터 케이스에 고정되는 설치 부재로서의 기판 홀더를 구비하는 모터에 사용할 수 있다. 이 경우에는, 자기 센서는, 회전축의 축 방향과 소자 기판의 두께 방향이 일치하도록 센서 자석에 대향 배치된다. 이 모터에서는, 자기 센서가 실장된 센서 기판을 기판 홀더에 설치할 때에, 위치 정렬용 마크를 확인하면서, 기판 홀더에 대한 자기 저항 효과 소자의 위치 정렬을 행하는 것이 가능해진다. 따라서, 자기 저항 효과 소자를 기판 홀더에 대해 고정밀도로 설치하는 것이 가능해진다. 그 결과, 모터 케이스에 기판 홀더를 고정밀도로 설치함으로써, 회전축의 축 방향에서 보았을 때의 센서 자석의 중심과 자기 저항 효과 소자의 감자막의 중심과의 어긋남량을 저감하는 것이 가능해진다.

본 발명에 있어서, 축 방향에서 보았을 때에, 회전축의 직경 방향에 있어서 기판 홀더의 외주측에는, 모터 케이스에 대한 기판 홀더의 직경 방향에 있어서 위치 결정 기준이 되는 원 형상의 기준면 또는 복수의 원호 형상의 기준면이 형성되고, 축 방향에서 보았을 때에, 기준면의 곡률 중심과 감자 영역의 중심이 일치하고 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 회전축의 직경 방향에 있어서, 모터 케이스에 대해 자기 저항 효과 소자를 고정밀도로 설치하는 것이 가능해진다. 따라서, 회전축의 축 방향에서 보았을 때의 센서 자석의 중심과 자기 저항 효과 소자의 감자 영역의 중심과의 어긋남량을 효과적으로 저감하는 것이 가능해진다.

본 발명에 있어서, 기판 홀더에는, 센서 기판을 향하여 축 방향으로 돌출된 복수의 핀이 형성되고, 센서 기판에는, 핀이 삽입 관통되는 관통 구멍이 형성되고, 핀의 외주면과 관통 구멍의 내주면 사이에는, 기판 홀더에 대한 자기 저항 효과 소자의 위치를 조정하기 위한 간극이 형성되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 자기 센서가 실장된 상태의 센서 기판을 기판 홀더에 설치할 때에, 핀을 관통 구멍에 삽입 관통한 상태에서, 기판 홀더에 대한 센서 기판의 설치 위치를 조정할 수 있다. 따라서, 기판 홀더에 대한 센서 기판의 설치 위치를 조정하면서 센서 기판을 기판 홀더에 설치할 때에, 기판 홀더에 대해 센서 기판이 크게 어긋나는 일은 없어진다. 그 결과, 기판 홀더에의 센서 기판의 설치 작업을 용이하게 행하는 것이 가능해진다.

본 발명에 있어서, 핀은, 핀의 선단측이 센서 기판의 한쪽 면으로부터 돌출되도록 관통 구멍에 삽입 관통되고, 센서 기판으로부터 돌출된 핀의 선단측과 센서 기판의 한쪽 면에 걸치도록 접착제가 도포되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 도포되는 접착제를 확인하면서 접착 작업을 행하는 것이 가능하게 되므로, 예를 들어, 센서 기판의 다른 쪽 면과 기판 홀더 사이에 접착제를 유입하는 경우와 비교하여, 접착 작업을 용이하게 행하는 것이 가능해진다. 또한, 이와 같이 구성하면, 위치 정렬용 마크를 확인하면서 기판 홀더에 대한 자기 저항 효과 소자의 위치 정렬을 행한 후에, 접착제에 의해, 센서 기판과 기판 홀더를 임시 고정하는 것이 가능해진다.

이상과 같이, 본 발명의 자기 센서에서는, 회전축의 축단부에 센서 자석이 고정되어 있는 모터로 사용되는 경우에, 회전축의 축 방향에서 보았을 때의 센서 자석의 중심과 자기 저항 효과 소자의 감자막의 중심과의 어긋남량을 저감하는 것이 가능해진다. 또한, 본 발명의 모터에서는, 회전축의 축 방향에서 보았을 때의 센서 자석의 중심과 자기 저항 효과 소자의 감자막의 중심과의 어긋남량을 저감하는 것이 가능해진다.

도 1의 (A)는 본 발명의 실시 형태에 관한 모터의 사시도이며, 도 1의 (B)는 도 1의 (A)에 도시하는 모터로부터 케이스체를 제거한 상태의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시하는 커버 부재의 사시도이다.
도 3은 도 1의 (B)에 도시하는 회전축의 반출력 측단부에 고정되는 센서 자석 및 자기 센서의 사시도이다.
도 4는 도 1에 도시하는 검출 기구의 사시도이다.
도 5는 도 4에 도시하는 검출 기구의 분해 사시도이다.
도 6은 도 1에 도시하는 자기 센서 및 센서 기판을 출력측으로부터 도시하는 평면도이다.
도 7은 도 1에 도시하는 기판 홀더를 출력측으로부터 도시하는 평면도이다.
도 8은 도 4에 도시하는 센서 기판과 핀과의 접착 개소의 단면도이다.
도 9는 도 3에 도시하는 자기 센서를 출력측으로부터 도시하는 사시도이다.
도 10은 도 9에 도시하는 패키지 본체에 수용되는 소자 기판의 평면도이다.
도 11은 도 5에 도시하는 센서 기판을 기판 홀더에 설치할 때의 설치 방법을 설명하기 위한 도면이다.

이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태를 설명한다.

(모터의 전체 구성)

도 1의 (A)는 본 발명의 실시 형태에 관한 모터(1)의 사시도이며, 도 1의 (B)는 도 1의 (A)에 도시하는 모터(1)로부터 케이스체(12)를 제거한 상태의 사시도이다. 도 2는 도 1에 도시하는 커버 부재(8)의 사시도이다. 도 3은 도 1의 (B)에 도시하는 회전축(2)의 반출력 측단부에 고정되는 센서 자석(10) 및 자기 센서(11)의 사시도이다.

본 형태의 모터(1)는 이너 로터형의 모터이다. 이 모터(1)는, 대략 원통 형상으로 형성되는 스테이터(도시 생략)와, 회전축(2)을 갖고 스테이터의 내주측에 배치되는 로터와, 스테이터가 수용되는 모터 케이스(3)를 구비하고 있다. 스테이터 또는 로터의 한쪽은, 구동용 자석(도시 생략)을 구비하고, 스테이터 또는 로터의 다른 쪽은, 구동용 코일(도시 생략)을 구비하고 있다. 본 형태에서는, 로터가 구동용 자석을 구비하고, 스테이터가 구동용 코일을 구비하고 있다. 또한, 모터(1)는 로터의 회전 위치를 검출하기 위한 검출 기구(4)를 구비하고 있다.

이하의 설명에서는, 회전축(2)의 직경 방향(즉, 로터의 직경 방향)을 「직경 방향」, 회전축(2)의 둘레 방향(즉, 로터의 둘레 방향)을 「둘레 방향」, 회전축(2)의 축 방향(즉, 로터의 축 방향)을 「축 방향」이라 한다. 또한, 축 방향 중 회전축(2)의 출력측(도 1 등의 Z1 방향측)을 「전방」측이라 하고, 축 방향 중 회전축(2)의 반출력측(도 1 등의 Z2 방향측)을 「후방(뒤)」측이라 한다.

도 1에 도시하는 바와 같이, 모터 케이스(3)는 모터 케이스(3)의 측면을 구성하는 통 형상의 케이스 본체(6)와, 케이스 본체(6)의 전단부에 고정되는 커버 부재(7)와, 케이스 본체(6)의 후단부에 고정되는 커버 부재(8)를 구비하고 있다. 도 2에 도시하는 바와 같이, 직경 방향에 있어서의 커버 부재(8)의 중심에는, 축 방향에 관통하는 관통 구멍(8a)이 형성되어 있다. 관통 구멍(8a)은 단차의 둥근 구멍 형상으로 형성되어 있다. 관통 구멍(8a)의 후단부측 부분의 내주면은, 검출 기구(4)를 구성하는 후술하는 기판 홀더(14)를 직경 방향에 있어서 위치 결정하기 위한 기준면(8b)으로 되어 있다. 기준면(8b)은 원통 면 형상으로 형성되어 있다. 즉, 축 방향에서 보았을 때의 기준면(8b)의 형상은 원 형상으로 되어 있다. 관통 구멍(8a)의 전단부측 부분에는, 회전축(2)을 회전 가능하게 지지하는 베어링(도시 생략)이 설치되어 있고, 축 방향에서 보았을 때에, 기준면(8b)의 중심과 회전축(2)의 중심은 일치하고 있다. 또한, 도 1에서는, 관통 구멍(8a)의 도시는 생략하였다.

검출 기구(4)는, 자기식의 로터리 인코더이며, 도 3에 도시하는 바와 같이, 센서 자석(10)과, 센서 자석(10)에 대향 배치되는 자기 센서(11)를 구비하고 있다. 이 검출 기구(4)는, 로터 및 스테이터보다도 후방측에 배치되어 있다. 검출 기구(4)는, 도 1의 (A)에 도시하는 바와 같이, 커버 부재(8)에 고정된 케이스체(12)로 덮여 있다. 자기 센서(11)는, 센서 기판(13)에 실장되어 있다. 센서 기판(13)은, 기판 홀더(14)에 고정되어 있다. 기판 홀더(14)는, 커버 부재(8)에 고정되어 있다. 본 형태의 기판 홀더(14)는, 자기 센서(11)가 설치되는 설치 부재이며, 자기 센서(11)는, 센서 기판(13)을 통하여 기판 홀더(14)에 설치되어 있다. 자기 센서(11), 센서 기판(13) 및 기판 홀더(14)의 구체적인 구성에 대해서는 후술한다.

센서 자석(10)은, 원판 형상으로 형성된 영구 자석이다. 센서 자석(10)은, 회전축(2)의 축단부[구체적으로는, 회전축(2)의 후단부]에 직접 또는 소정의 자석 홀더(도시 생략)를 통하여 고정되어 있고, 센서 자석(10)의 후방면이 소정의 간극을 두고 자기 센서(11)에 대향하고 있다. 또한, 센서 자석(10)은, 축 방향에서 보았을 때에, 센서 자석(10)의 중심과 회전축(2)의 중심이 일치하도록 회전축(2)에 고정되어 있다.

센서 자석(10)의, 자기 센서(11)와의 대향면[즉, 센서 자석(10)의 후방면]에서는, 둘레 방향에 있어서, N극과 S극이 1극씩 착자되어 있다. 즉, 센서 자석(10)의, 자기 센서(11)와의 대향면은, 둘레 방향에 있어서 2극으로 착자되어 있다. 본 형태의 센서 자석(10)은, 반원판 형상으로 형성되는 2개의 자석편(10a)에 의해 구성되어 있고, 2개의 자석편(10a) 중 한쪽의 자석편(10a)의 후방면은 N극으로 착자되고, 다른 쪽의 자석편(10a)의 후방면은 S극으로 착자되어 있다. 또한, 센서 자석(10)은, 원판 형상으로 형성되는 1개의 자석편에 의해 구성되어도 된다.

(센서 기판, 기판 홀더의 구성)

도 4는 도 1에 도시하는 검출 기구(4)의 사시도이다. 도 5는 도 4에 도시하는 검출 기구(4)의 분해 사시도이다. 도 6은 도 1에 도시하는 자기 센서(11) 및 센서 기판(13)을 출력측으로부터 도시하는 평면도이다. 도 7은 도 1에 도시하는 기판 홀더(14)를 출력측으로부터 도시하는 평면도이다. 도 8은 도 4에 도시하는 센서 기판(13)과 핀(14e)과의 접착 개소의 단면도이다.

센서 기판(13)은 평판 형상으로 형성된 프린트 배선 기판이다. 이 센서 기판(13)은, 센서 기판(13)의 두께 방향과 축 방향이 일치하도록 배치되어 있다. 자기 센서(11)는, 센서 기판(13)의 전방면의 중심에 실장되어 있다. 센서 기판(13)에는 자기 센서(11)를 둘러싸도록, 2개의 슬릿(13a)이 형성되어 있다. 또한, 센서 기판(13)에는, 축 방향[즉, 센서 기판(13)의 두께 방향]으로 관통하는 관통 구멍(13b)과, 센서 기판(13)의 외주 단부로부터 중심측을 향하여 절결된 절결부(13c)가 형성되어 있다.

슬릿(13a)은, 센서 기판(13)을 축 방향에서 관통하도록 형성됨과 함께, 대략 L 형상으로 되도록 형성되어 있다. 관통 구멍(13b)은, 둥근 구멍 형상으로 형성됨과 함께 센서 기판(13)의 외주 단부의 근방에 형성되어 있다. 또한, 관통 구멍(13b)은, 3개소에 형성되어 있다. 3개의 관통 구멍(13b)은, 축 방향에서 보았을 때에 3개의 관통 구멍(13b)을 연결하는 가상선이 대략 직각 삼각형을 이루도록 서로 떨어진 위치에 형성되어 있다. 절결부(13c)는, U 형상으로 형성되어 있다. 이 절결부(13c)는, 자기 센서(13)를 물듯이 2개소에 형성되어 있다. 또한, 센서 기판(13)의 후방면에는, 커넥터(15)가 실장되어 있다.

기판 홀더(14)는, 수지 재료로 형성되어 있다. 이 기판 홀더(14)는, 통 형상으로 형성되는 통부(14a)와, 통부(14a)의 외주면의 전단부측으로부터 직경 방향의 외측으로 돌출된 3개의 돌출부(14b)를 구비하고 있다. 통부(14a)의 내주면은, 원통면으로 되어 있다. 즉, 축 방향에서 보았을 때의 통부(14a)의 내주면은, 원 형상으로 되어 있다. 통부(14a)의 후단부면은, 축 방향에 직교하는 평면 형상으로 형성되어 있다. 센서 기판(13)은, 통부(14a)의 후단부측에 고정되어 있다.

통부(14a)의 후단부면에는, 후방측으로 돌출된 원통 형상의 2개의 볼록부(14c)와, 후방측으로 돌출된 원기둥 형상의 1개의 볼록부(14d)가 형성되어 있다. 볼록부(14c, 14d)의 선단면은, 축 방향에 직교하는 평면 형상으로 형성되어 있다. 센서 기판(13)의 전방면은, 볼록부(14c, 14d)의 선단면에 접촉하고 있다. 볼록부(14c)의 내주면에는, 나사 구멍이 형성되어 있다. 이 나사 구멍에는, 센서 기판(13)을 기판 홀더(14)에 고정하기 위한 나사(18)가 걸림 결합되어 있다. 나사(18)는, 센서 기판(13)의 절결부(13c)를 통과하도록 배치되어 있다.

또한, 통부(14a)의 후단부면에는, 센서 기판(13)을 향하여 축 방향으로 돌출된(즉, 후방측으로 돌출된) 3개의 핀(14e)이 형성되어 있다. 핀(14e)은, 단차의 원기둥 형상으로 형성되어 있고, 핀(14e)에는, 축 방향에 직교하는 원환 형상의 단차면(14f)이 형성되어 있다. 3개의 핀(14e)은, 센서 기판(13)의 3개의 관통 구멍(13b)의 각각에 삽입 관통되어 있다. 구체적으로는, 센서 기판(13)의 전방면은, 단차면(14f)에 접촉하고 있고, 핀(14e)의 선단측이 관통 구멍(13b)에 삽입 관통되어 있다. 또한, 핀(14e)의 선단측은, 센서 기판(13)의 후방면보다도 후방측으로 돌출되어 있다.

도 8에 도시하는 바와 같이, 관통 구멍(13b)에 삽입 관통되는 핀(14e)의 선단측의 외주면과 관통 구멍(13b)의 내주면 사이에는 간극이 형성되어 있다. 구체적으로는, 축 방향에 직교하는 방향에 있어서 기판 홀더(14)에 대한 센서 기판(13)의 고정 위치를 조정하기 위한 간극이, 핀(14e)의 선단측의 외주면과 관통 구멍(13b)의 내주면 사이에 형성되어 있다. 보다 구체적으로는, 축 방향에 직교하는 방향에 있어서 센서 기판(13)에 실장되는 자기 센서(11)의 후술하는 자기 저항 효과 소자(23)의 위치를 조정하기 위한 간극이, 핀(14e)의 선단측의 외주면과 관통 구멍(13b)의 내주면 사이에 형성되어 있다.

본 형태에서는, 센서 기판(13)은, 나사(18)에 의해 기판 홀더(14)에 고정되기 전에, 접착제(19)에 의해 기판 홀더(14)에 임시 고정되어 있다. 접착제(19)는, 도 8에 도시하는 바와 같이, 센서 기판(13)의 후방면보다도 후방측으로 돌출된 핀(14e)의 선단측과 센서 기판(13)의 후방면에 걸치도록 도포되어 있다. 이 접착제(19)는, 예를 들어, 자외선(UV) 경화형의 접착제이다.

3개의 돌출부(14b)는, 축 방향에서 보았을 때에, 통부(14a)의 내주면의 중심에 대해 대략 120° 피치로 배치되어 있다. 돌출부(14b)에는, 기판 홀더(14)를 커버 부재(8)에 고정하기 위한 나사(20)(도 4 참조)가 삽입 관통되는 관통 구멍(14g)이 형성되어 있다. 또한, 커버 부재(8)에는, 나사(20)가 걸림 결합되는 나사 구멍이 형성되어 있으나, 도 2에서는 나사 구멍의 도시를 생략하였다.

돌출부(14b)의 외주면(14h)은, 축 방향에서 보았을 때의 형상이 원호 형상이 되는 곡면 형상으로 형성되어 있다. 도 7에 도시하는 바와 같이, 축 방향에서 보았을 때에, 3개의 돌출부(14b)의 외주면(14h)의 곡률 중심 C1은 일치하고 있다. 본 형태에서는, 돌출부(14b)의 외주면(14h)은, 커버 부재(8)에 대한 기판 홀더(14)의, 직경 방향에 있어서의 위치 결정 기준인 기준면으로 되어 있고, 커버 부재(8)에 기판 홀더(14)를 고정할 때에는, 커버 부재(8)의 기준면(8b)과 돌출부(14b)의 외주면(14h)에 의해, 커버 부재(8)에 대한 기판 홀더(14)의 직경 방향에 있어서의 위치가 결정된다. 즉, 본 형태에서는, 축 방향에서 보았을 때에, 직경 방향에 있어서 기판 홀더(14)의 외주측에, 모터 케이스(3)에 대한 기판 홀더(14)의 직경 방향에 있어서 위치 결정 기준이 되는 복수의 원호 형상의 기준면이 형성되어 있다.

커버 부재(8)에 기판 홀더(14)가 고정된 상태에서는, 축 방향에서 보았을 때에, 3개의 돌출부(14b)의 외주면(14h)의 곡률 중심 C1과 기준면(8b)의 중심이 일치하고 있다. 상술한 바와 같이, 축 방향에서 보았을 때에, 기준면(8b)의 중심과 회전축(2)의 중심이 일치하고 있으므로, 축 방향에서 보았을 때에, 3개의 돌출부(14b)의 외주면(14h)의 곡률 중심 C1과 회전축(2)의 중심은 일치하고 있다. 또한, 축 방향에서 보았을 때에, 3개의 돌출부(14b)의 외주면(14h)의 곡률 중심 C1과 통부(14a)의 내주면의 중심이 일치하고 있다.

(자기 센서의 구성)

도 9는 도 3에 도시하는 자기 센서(11)를 출력측으로부터 도시하는 사시도이다. 도 10은 도 9에 도시하는 패키지 본체(25)에 수용되는 소자 기판(24)의 평면도이다.

자기 센서(11)는 자기 저항 효과 소자(23)[이하, 「MR 소자(23)」로 함]와, MR 소자(23)가 형성되는 소자 기판(24)과, 소자 기판(24)이 수용되는 상자 형상의 패키지 본체(25)와, 패키지 본체(25)의 개구부를 막아서 소자 기판(24)을 밀봉하는[즉, MR 소자(23)를 밀봉하는] 밀봉 부재(26)를 구비하고 있다. 패키지 본체(25)는, 전단부측이 개구되는 직육면체의 상자 형상으로 형성되어 있다. 본 형태의 밀봉 부재(26)는, 투명한 유리로 만든 덮개(유리 리드)이다. 따라서, 이하에서는, 밀봉 부재(26)를 「유리 리드(26)」라 한다.

유리 리드(26)는, 대략 직사각형의 평판 형상으로 형성되어 있다. 이 유리 리드(26)는, 패키지 본체(25)의 개구부를 막도록 패키지 본체(25)의 전단부에 고정되어 있다. 또한, 유리 리드(26)는, 접착에 의해 패키지 본체(25)의 전단부에 고정되어 있고, 패키지 본체(25)와 유리 리드(26)에 의해, 소자 기판(24)이 수용되는 밀폐 공간이 형성되어 있다. 패키지 본체(25)에 수용되는 소자 기판(24)과 유리 리드(26) 사이에는 간극이 형성되어 있고, 소자 기판(24)과 유리 리드(26)는 접촉되어 있지 않다. 유리 리드(26)는 투명하므로, 전방면측으로부터 자기 센서(11)를 보면, 패키지 본체(25)에 수용된 소자 기판(24)의 전방면이 보인다.

소자 기판(24)은, 직사각형의 평판 형상으로 형성된 프린트 배선 기판이다. 이 소자 기판(24)은, 소자 기판(24)의 두께 방향과 축 방향이 일치하도록 배치되어 있다. 소자 기판(24)에는, MR 소자(23)에 추가하여, 온도 감시용 저항막(29)과, 가열용 저항막(30)이 형성되어 있다. MR 소자(23), 온도 감시용 저항막(29) 및 가열용 저항막(30)은, 소자 기판(24)의 전방면에 형성되어 있다. MR 소자(23), 온도 감시용 저항막(29) 및 가열용 저항막(30)은 절연막으로 덮여 있다.

MR 소자(23)는, A상(SIN)의 감자막(31, 32)과 B상(COS)의 감자막(33, 34)을 구비하고 있다. 감자막(31 내지 34)은, 소자 기판(24)의 중심에 형성되어 있다. 본 형태에서는, 도 10에 도시하는 바와 같이, 감자막(31 내지 34)에 의해, 원형의 감자 영역(36)이 형성되어 있다. A상의 감자막(31, 32)의 위상과 B상의 감자막(33, 34)의 위상은 90° 어긋나 있다. 즉, A상의 감자막(31, 32)과 B상의 감자막(33, 34)은, 90°의 위상차를 갖고 있다. 또한, A상에서는, 감자막(31)의 위상과 감자막(32)의 위상이 180° 어긋나 있고, B상에서는, 감자막(33)의 위상과 감자막(34)의 위상이 180° 어긋나 있다.

감자막(31, 32)은, 브리지 회로를 구성하고 있고, 이 브리지 회로의 한쪽 단부는, 전원 단자 VccA에 접속되고, 다른 쪽 단부는, 접지 단자 GNDA에 접속되어 있다. 또한, 감자막(31)의 중점 위치는, 출력 단자 +A에 접속되고, 감자막(32)의 중점 위치는, 출력 단자 -A에 접속되어 있다. 마찬가지로, 감자막(33, 34)은, 브리지 회로를 구성하고 있고, 이 브리지 회로의 한쪽 단부는, 전원 단자 VccB에 접속되고, 다른 쪽 단부는, 접지 단자 GNDB에 접속되어 있다. 또한, 감자막(33)의 중점 위치는, 출력 단자 +B에 접속되고, 감자막(34)의 중점 위치는, 출력 단자 -B에 접속되어 있다.

가열용 저항막(30)은, 직사각형의 프레임 형상으로 형성되어 있다. 또한, 가열용 저항막(30)은, 소자 기판(24)의 단부면을 따르도록 형성되어 있고, 감자 영역(36)을 둘러싸도록 배치되어 있다. 가열용 저항막(30)은, 전원 단자 VccH에 접속됨과 함께 접지 단자 GNDA에 접속되어 있다. 온도 감시용 저항막(29)은, 감자 영역(36)과 가열용 저항막(30) 사이에 배치되어 있다. 온도 감시용 저항막(29)은, 전원 단자 VccS에 접속됨과 함께 접지 단자 GNDB에 접속되어 있다. 본 형태에서는, 온도 감시용 저항막(29)의 저항 변화에 기초하여 가열용 저항막(30)에의 급전을 제어하는 온도 제어가 행해지고 있다.

또한, 소자 기판(24)에는, 기판 홀더(14)에 대한 MR 소자(23)의 위치 정렬을 행하기 위한 마크 M1이 형성되어 있다. 구체적으로는, 축 방향에 직교하는 방향(직경 방향)에 있어서 기판 홀더(14)에 대한 MR 소자(23)의 위치 정렬을 행하기 위한 마크 M1이 소자 기판(24)에 형성되어 있다. 마크 M1은, 소자 기판(24)의 전방면에 형성되어 있다. 도 10에 도시하는 바와 같이, 소자 기판(24)의 두께 방향에서 보았을 때에 감자 영역(36)의 중심 C2를 통과하는 가상선을 가상선 L1이라 하고, 감자 영역(36)의 중심 C2를 통과함과 함께 가상선 L1과 다른 가상선을 가상선 L2라 하면, 마크 M1은, 소자 기판(24)의 두께 방향에서 보았을 때에, 가상선 L1 상의 2개소와 가상선 L2 상의 2개소의 합계 4개소에 형성되어 있다. 본 형태에서는, 가상선 L1, L2는, 서로 직교함과 함께, 소자 기판(24)의 단부면과 평행하게 되어 있다. 또한, 가상선 L1 상의 2개소에 형성되는 마크 M1은, 감자 영역(36)을 물듯이 형성되고, 가상선 L2 상의 2개소에 형성되는 마크 M1은, 감자 영역(36)을 물듯이 형성되어 있다. 본 형태의 가상선 L1은, 제1 가상선이며, 가상선 L2는, 제2 가상선이다.

(기판 홀더에의 센서 기판의 설치 방법)

도 11은 도 5에 도시하는 센서 기판(13)을 기판 홀더(14)에 설치할 때의 설치 방법을 설명하기 위한 도면이다.

자기 센서(11)가 실장된 상태의 센서 기판(13)을 기판 홀더(14)에 설치할 때에는, 먼저, 자기 센서(11)가 실장된 상태의 센서 기판(13)의 관통 구멍(13b)에 기판 홀더(14)의 핀(14e)을 삽입 관통한다. 구체적으로는, 센서 기판(13)의 전방면이 핀(14e)의 단차면(14f)에 접촉할 때까지, 관통 구멍(13b)에 핀(14e)을 삽입 관통한다. 그 후, 축 방향에서 보았을 때의 3개의 돌출부(14b)의 외주면(14h)의 곡률 중심 C1을 화상 처리에 의해 산출함과 함께, 축 방향에서 보았을 때의 감자 영역(36)의 중심 C2를 4개의 마크 M1을 사용해서 화상 처리에 의해 산출한다.

그 후, 도 11에 도시하는 바와 같이, 축 방향에서 보았을 때에, 외주면(14h)의 곡률 중심 C1과 감자 영역(36)의 중심 C2가 일치하도록, 축 방향에 직교하는 평면 내에서 기판 홀더(14)에 대해 센서 기판(13)을 움직이게 한다. 축 방향에서 보았을 때에, 외주면(14h)의 곡률 중심 C1과 감자 영역(36)의 중심 C2가 일치하면, 센서 기판(13)의 후방면보다도 후방측으로 돌출된 핀(14e)의 선단측과 센서 기판(13)의 후방면에 걸치도록 접착제(19)를 도포하여, 센서 기판(13)을 기판 홀더(14)에 임시 고정한다. 그 후, 나사(18)에 의해, 센서 기판(13)을 기판 홀더(14)에 고정한다.

이와 같이 하여, 자기 센서(11)가 실장된 상태의 센서 기판(13)이 기판 홀더(14)에 설치되므로, 자기 센서(11)가 실장된 상태의 센서 기판(13)이 기판 홀더(14)에 설치되면, 축 방향에서 보았을 때에, 외주면(14h)의 곡률 중심 C1과 감자 영역(36)의 중심 C2가 일치하고 있다.

(본 형태의 주된 효과)

이상 설명한 바와 같이, 본 형태에서는, MR 소자(23)가 형성되는 소자 기판(24)의 전방면에, 기판 홀더(14)에 대한 MR 소자(23)의 위치 정렬을 행하기 위한 위치 정렬용 마크 M1이 형성되어 있다. 또한, 본 형태에서는, 소자 기판(24)이 수용되는 패키지 본체(25)에 고정되는 유리 리드(26)가 투명하고, 전방면측으로부터 자기 센서(11)를 보면, 패키지 본체(25)에 수용된 소자 기판(24)의 전방면이 보인다. 그로 인해, 본 형태에서는, 상술한 바와 같이, 자기 센서(11)가 실장된 센서 기판(13)을 기판 홀더(14)에 설치할 때에, 마크 M1을 사용해서, 축 방향에서 보았을 때에 외주면(14h)의 곡률 중심 C1과 감자 영역(36)의 중심 C2가 일치하도록, 기판 홀더(14)에 대한 MR 소자(23)의 위치 정렬을 행하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 형태에서는, 기판 홀더(14)에 대해 MR 소자(23)를 고정밀도로 설치하는 것이 가능해진다.

또한, 본 형태에서는, 축 방향에서 보았을 때에, 돌출부(14b)의 외주면(14h)의 곡률 중심 C1과 회전축(2)의 중심은 일치하고 있고, 또한, 센서 자석(10)의 중심과 회전축(2)의 중심이 일치하도록 센서 자석(10)가 회전축(2)에 고정되어 있다. 이상으로, 본 형태에서는, 축 방향에서 보았을 때의 센서 자석(10)의 중심과 감자 영역(36)의 중심 C2의 어긋남량을 저감하는 것이 가능해진다.

본 형태에서는, 유리 리드(26)에 의해 패키지 본체(25)의 전단부측의 개구가 막혀 있고, 패키지 본체(25)에 수용되는 소자 기판(24)과 유리 리드(26) 사이에 간극이 형성되어 있다. 그로 인해, 본 형태에서는, 소자 기판(24)을 밀봉하는 밀봉 부재가 패키지 본체(25)에 충전되는 수지인 경우와 비교하여, MR 소자(23)의 검출 정밀도의 저하를 억제하는 것이 가능해진다. 즉, MR 소자(23)의 검출 정밀도는, MR 소자(23)에 작용하는 응력의 영향이나 습도의 영향으로 저하되지만, 밀봉 부재가, 패키지 본체(25)에 충전되는 수지인 경우에는, 이 수지에 기인하여 MR 소자(23)에 작용하는 응력의 영향이나, 수지가 흡수하는 습기의 영향으로, MR 소자(23)의 검출 정밀도가 저하될 우려가 있다. 이에 반해, 본 형태에서는, 패키지 본체(25)에 수용되는 소자 기판(24)과 유리 리드(26) 사이에 간극이 형성되어 있으므로, 이러한 문제는 생기지 않는다. 따라서, 본 형태에서는, MR 소자(23)의 검출 정밀도의 저하를 억제하는 것이 가능해진다.

또한, 본 형태에서는, 투명한 유리 리드(26)에 의해 패키지 본체(25)의 전단부측의 개구가 막혀 있으므로, 패키지 본체(25)에 유리 리드(26)를 접착으로 고정할 때에, 패키지 본체(25)에 유리 리드(26)가 확실하게 접착 고정되어 있는지 여부를 확인하는 것이 가능해진다. 따라서, 유리 리드(26)에 의해 소자 기판(24)을 확실하게 밀봉하는 것이 가능해진다.

본 형태에서는, 기판 홀더(14)의 핀(14e)의 선단측의 외주면과 센서 기판(13)의 관통 구멍(13b)의 내주면 사이에, 축 방향에 직교하는 방향에 있어서 MR 소자(23)의 위치를 조정하기 위한 간극이 형성되어 있다. 그로 인해, 본 형태에서는, 자기 센서(11)가 실장된 상태의 센서 기판(13)을 기판 홀더(14)에 설치할 때에, 상술한 바와 같이, 핀(14e)을 관통 구멍(13b)에 삽입 관통한 상태에서, 기판 홀더(14)에 대한 센서 기판(13)의 설치 위치를 조정할 수 있다. 따라서, 본 형태에서는, 기판 홀더(14)에 대한 센서 기판(13)의 설치 위치를 조정하면서 센서 기판(13)을 기판 홀더(14)에 설치할 때에, 기판 홀더(14)에 대해 센서 기판(13)이 크게 어긋나는 일은 없다. 그 결과, 본 형태에서는, 기판 홀더(14)에의 센서 기판(13)의 설치 작업을 용이하게 행하는 것이 가능해진다.

본 형태에서는, 센서 기판(13)의 후방면보다도 후방측으로 돌출된 핀(14e)의 선단측과 센서 기판(13)의 후방면에 걸치도록 접착제(19)가 도포되어 있다. 그로 인해, 본 형태에서는, 도포되는 접착제(19)를 확인하면서 접착 작업을 행하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 형태에서는, 예를 들어, 기판 홀더(14)의 통부(14a)의 후단부면과 센서 기판(13)의 전방면 사이에 접착제를 유입하는 경우나, 기판 홀더(14)의 단차면(14f)의 후단부면과 센서 기판(13)의 전방면 사이에 접착제를 유입하는 경우와 비교하여, 접착 작업을 용이하게 행하는 것이 가능해진다.

(다른 실시 형태)

상술한 형태는, 본 발명의 바람직한 형태의 일례이기는 하나, 이에 한정되는 것은 아니며 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에서 다양한 변형 실시가 가능하다.

상술한 형태에서는, 감자 영역(36)의 중심 C2를 통과하는 가상선 L1, L2는, 서로 직교함과 함께, 소자 기판(24)의 단부면과 평행하게 되어 있다. 이 밖에도 예를 들어, 도 10에 도시하는 바와 같이, 감자 영역(36)의 중심 C2를 통과하는 가상선 L11, L12는, 직사각형의 프레임 형상으로 형성되는 가열용 저항막(30)의 대각선과 대략 일치하고 있어도 된다. 이 경우에는, 가상선 L11 상의 2개소와 가상선 L12 상의 2개소의 합계 4개소에, 기판 홀더(14)에 대한 MR 소자(23)의 위치 정렬을 행하기 위한 마크 M11이 형성된다. 또한, 이 경우에는, 가상선 L11은 제1 가상선이며, 가상선 L12는 제2 가상선이다. 또한, 기판 홀더(14)에 대한 MR 소자(23)의 위치 정렬을 행하기 위한 마크는, 1개소, 2개소 또는 3개소에 형성되어도 되고, 5개소 이상에 형성되어도 된다. 예를 들어, 소자 기판(24)의 두께 방향에서 보았을 때에, 감자 영역(36)의 중심 C2의 1개소에 마크가 형성되어 있어도 된다. 이 경우에는, 마크의 형성 개소를 최소한으로 할 수 있다.

또한, 가상선 L1 상의 2개소와 가상선 L2 상의 2개소의 합계 4개소에 마크 M1이 형성되어 있는 경우나, 가상선 L11 상의 2개소와 가상선 L12 상의 2개소의 합계 4개소에 마크 M11이 형성되어 있는 경우에는, 감자 영역(36)의 중심 C2의 1개소에 마크가 형성되어 있는 경우와 비교하여, 소자 기판(24) 상의 마크 M1, M11을 형성하기 쉬운 개소에 마크 M1, M11을 형성하는 것이 가능해진다. 따라서, 소자 기판(24)에 마크 M1, M11을 용이하게 형성하는 것이 가능해진다.

상술한 형태에서는, 축 방향에서 보았을 때에, 직경 방향에 있어서 기판 홀더(14)의 외주측에, 모터 케이스(3)에 대한 기판 홀더(14)의 직경 방향에 있어서 위치 결정 기준이 되는 복수의 원호 형상의 기준면[외주면(14h)]이 형성되어 있다. 이 밖에도 예를 들어, 축 방향에서 보았을 때에, 직경 방향에 있어서 기판 홀더(14)의 외주측에, 모터 케이스(3)에 대한 기판 홀더(14)의 직경 방향에 있어서 위치 결정 기준이 되는 원 형상의 기준면이 형성되어도 되고, 기판 홀더(14)의 외주측에, 모터 케이스(3)에 대한 기판 홀더(14)의 직경 방향에 있어서 위치 결정 기준이 되는 복수의 볼록부가 형성되어도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 밀봉 부재(26)는 투명한 유리로 만든 덮개(유리 리드)이지만, 밀봉 부재(26)는, 패키지 본체(25)에 충전되는 투명한 수지여도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 기판 홀더(14)에 핀(14e)이 형성되고, 핀(14e)이 삽입 관통되는 관통 구멍(13b)이 센서 기판(13)에 형성되어 있으나, 핀(14e) 및 관통 구멍(13b)은 형성되어 있지 않아도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 접착제(19)는 자외선 경화형의 접착제이지만, 접착제(19)는, 기판 홀더(14)의 단차면(14f)의 후단부면과 센서 기판(13)의 전방면 사이나, 기판 홀더(14)의 볼록부(14c, 14d)의 후단부면과 센서 기판(13)의 전방면 사이에 유입되는 순간 접착제여도 된다.

1 : 모터
2 : 회전축
3 : 모터 케이스
10 : 센서 자석
11 : 자기 센서
13 : 센서 기판
13b : 관통 구멍
14 : 기판 홀더(설치 부재)
14e : 핀
14h : 외주면(기준면)
19 : 접착제
23 : MR 소자(자기 저항 효과 소자)
24 : 소자 기판
25 : 패키지 본체
26 : 유리 리드(밀봉 부재, 덮개)
36 : 감자 영역
C1 : 외주면의 곡률 중심(기준면의 곡률 중심)
C2 : 감자 영역의 중심
L1, L11 : 제1 가상선
L2, L12 : 제2 가상선
M1, M11 : 마크

Claims

자기 저항 효과 소자를 구비하는 자기 센서에 있어서,
상기 자기 저항 효과 소자가 형성되는 소자 기판과, 상기 소자 기판이 수용되는 상자 형상의 패키지 본체와, 상기 패키지 본체에 형성되는 개구부를 막아서 상기 소자 기판을 밀봉하는 투명한 밀봉 부재를 구비하고,
상기 소자 기판에는, 상기 자기 센서가 설치되는 설치 부재에 대한 상기 자기 저항 효과 소자의 위치 정렬을 행하기 위한 위치 정렬용 마크가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 자기 센서.
제1항에 있어서,
상기 밀봉 부재는, 상기 개구부를 막도록 상기 패키지 본체에 고정되는 투명한 유리로 만든 덮개인 것을 특징으로 하는, 자기 센서.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 마크는, 상기 소자 기판의 두께 방향에서 보았을 때에, 상기 자기 저항 효과 소자의 감자 영역의 중심을 통과하는 제1 가상선 상의 2개소와, 상기 감자 영역의 중심을 통과함과 함께 상기 제1 가상선과는 다른 제2 가상선 상의 2개소의 합계 4개소에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 자기 센서.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 마크는, 상기 소자 기판의 두께 방향에서 보았을 때에, 상기 자기 저항 효과 소자의 감자 영역의 중심에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 자기 센서.
회전축을 갖는 로터와; 스테이터와; 상기 스테이터가 수용되는 모터 케이스와; 상기 회전축의 축단부에 고정되는 센서 자석과; 제2항에 기재된 자기 센서로서, 상기 회전축의 축 방향과 상기 소자 기판의 두께 방향이 일치하도록 상기 센서 자석에 대향 배치되는, 자기 센서와; 상기 자기 센서가 실장되는 센서 기판과; 상기 센서 기판이 고정됨과 함께 상기 모터 케이스에 고정되는 상기 설치 부재로서의 기판 홀더를 구비하는 것을 특징으로 하는, 모터.
제5항에 있어서,
상기 축 방향에서 보았을 때에, 상기 회전축의 직경 방향에 있어서 상기 기판 홀더의 외주측에는, 상기 모터 케이스에 대한 상기 기판 홀더의 상기 직경 방향에 있어서 위치 결정 기준이 되는 원 형상의 기준면 또는 복수의 원호 형상의 기준면이 형성되고,
상기 축 방향에서 보았을 때에, 상기 기준면의 곡률 중심과 상기 자기 저항 효과 소자의 감자 영역의 중심이 일치하고 있는 것을 특징으로 하는, 모터.
제5항 또는 제6항에 있어서,
상기 기판 홀더에는, 상기 센서 기판을 향하여 상기 축 방향으로 돌출된 복수의 핀이 형성되고,
상기 센서 기판에는, 상기 핀이 삽입 관통되는 관통 구멍이 형성되고,
상기 핀의 외주면과 상기 관통 구멍의 내주면 사이에는, 상기 기판 홀더에 대한 상기 자기 저항 효과 소자의 위치를 조정하기 위한 간극이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 모터.
제7항에 있어서,
상기 핀은, 상기 핀의 선단측이 상기 센서 기판의 한쪽 면으로부터 돌출되도록 상기 관통 구멍에 삽입 관통되고,
상기 센서 기판으로부터 돌출된 상기 핀의 선단측과 상기 센서 기판의 한쪽 면에 걸치도록 접착제가 도포되어 있는 것을 특징으로 하는, 모터.