KR20150021688A

KR20150021688A - Semiconductor device inspection apparatus

Info

Publication number: KR20150021688A
Application number: KR20130098958A
Authority: KR
Inventors: 유홍준; 서용진
Original assignee: (주)제이티
Priority date: 2013-08-21
Filing date: 2013-08-21
Publication date: 2015-03-03

Abstract

Provided is a device inspecting apparatus capable of reducing a time for a device to wait for to be heated, comprising a loading unit to which one or more trays loaded with a plurality of devices are loaded, a test unit performing testing on a device transferred from the loading unit, an unloading unit classifying the device completely tested by the test unit, according to test results, and a device heating unit disposed between the loading unit and the test unit and heating the device. The device heating unit comprises a heating chamber having an accommodation space maintained at an atmosphere having a temperature equal to or higher than room temperature and a circulation device circulating a plurality of trays loaded with devices within the heating chamber.

Description

SEMICONDUCTOR DEVICE INSPECTION APPARATUS

본 발명은 소자검사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 소자에 대한 전기적 특성을 검사하는 소자검사장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an element inspection apparatus, and more particularly, to an element inspection apparatus for checking electrical characteristics of a element.

반도체소자(이하, '소자'라 한다)는 패키지공정을 마친 후 반도체소자 검사장치에 의하여 전기특성, 열이나 압력에 대한 신뢰성 검사 등 다양한 검사를 거친다.A semiconductor device (hereinafter referred to as an "element") is subjected to various tests such as electrical characteristics, reliability test for heat and pressure by a semiconductor device inspection apparatus after completion of a packaging process.

소자에 대한 검사는 메모리소자 또는 CPU (Central Processing Unit), GPU (Graphic Processing Unit) 등과 같은 비메모리소자, LED 소자, 태양광소자 등 소자의 종류에 따라서 실온환경에서 수행하는 실온검사, 고온환경에서 수행되는 가열검사 등 다양한 검사들이 있다.Inspection of devices can be carried out at room temperature tests conducted at room temperature depending on kinds of devices such as memory devices, non-memory devices such as CPU (Central Processing Unit), GPU (Graphic Processing Unit), LED devices and solar devices, There are various tests such as the heating test performed.

한편, 스마트폰, 스마트패드, 스마트TV 등 IT 기기의 종류가 다양해지며 대중화됨에 따라 CPU 등과 같은 비메모리소자, 즉, LSI (Large Scale Integration)의 수요가 급증하고 있다.Meanwhile, as the types of IT devices such as smart phones, smart pads, smart TVs, and the like are becoming popular, demand for non-memory devices such as CPUs, that is, LSIs (Large Scale Integration) is rapidly increasing.

이러한 LSI 와 같은 소자를 검사하기 위하여 소자검사장치가 사용된다. 소자검사장치는 소자들이 로딩되는 로딩부와, 로딩부로부터 소자를 전달받아 소자에 대한 테스트를 수행하는 테스트부와, 테스트부의 테스트결과에 따라 소자를 분류하여 적재하는 언로딩부로 구성된다.An element inspection apparatus is used to inspect devices such as LSIs. The device testing apparatus includes a loading unit for loading the devices, a test unit for receiving the devices from the loading unit and performing a test on the devices, and an unloading unit for categorizing and loading the devices according to the test results of the test unit.

또한, 소자를 일정한 온도로 가열한 후 소자에 대한 검사를 수행하는 고온테스트가 수행될 수 있도록, 로딩부와 테스트 사이에는 소자들을 일정한 온도로 예열하는 예열부가 구비된다.In addition, a preheating unit is provided between the loading unit and the test unit to preheat the devices to a predetermined temperature so that a high temperature test can be performed to test the device after the device is heated to a predetermined temperature.

이러한 예열부에는 복수의 소자가 적재되며 히터가 설치되는 예열플레이트가 구비된다. 따라서, 로딩부로 로딩된 소자는 테스트부로 이송되기 전에 예열부의 예열플레이트에 임시로 적재된 후 히터의 작동에 의하여 소정의 온도로 예열되며, 예열플레이트에서 소정의 온도로 예열된 소자는 테스트부로 이송된다.The preheating unit is provided with a preheating plate on which a plurality of elements are stacked and a heater is installed. Therefore, the element loaded into the loading section is temporarily loaded on the preheating plate of the preheating section before being transferred to the test section, and then preheated to a predetermined temperature by the operation of the heater, and the element preheated to a predetermined temperature in the preheating plate is transferred to the test section .

그러나, 예열플레이트로 이송된 소자가 소정의 온도로 예열되기 위해서는 소정의 시간이 요구되는데, 종래의 소자검사장치에서는 예열플레이트가 소자검사장치 내에서 고정된 상태로 위치되기 때문에, 로딩부로부터 예열플레이트로 소자를 적재하고, 예열플레이트상의 소자를 소정의 온도로 예열한 후, 예열플레이트상의 소자를 테스트부로 이송하고, 소자가 이탈된 빈 예열플레이트상에 소자를 적재하는 과정이 진행되었으며, 이에 따라, 소자가 가열을 위해 대기하는 시간이 비교적 크다는 문제점이 있다.However, in order to preheat the element transferred to the preheating plate to a predetermined temperature, a predetermined time is required. In the conventional element inspection apparatus, since the preheating plate is placed in a fixed state in the element inspection apparatus, The device on the preheating plate was preheated to a predetermined temperature, the device on the preheating plate was transferred to the test section, and the device was loaded on the empty preheating plate on which the device was removed, There is a problem that the time for the device to wait for heating is relatively large.

본 발명은 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 소자가 가열되기 위하여 대기하는 시간을 줄임으로써, 소자를 검사하는 데에 요구되는 시간을 줄일 수 있는 소자검사장치를 제공하는 데에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an element inspection apparatus capable of reducing the time required for inspecting an element by reducing the time required for the element to be heated There is.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제1실시예에 따른 소자검사장치는, 복수의 소자가 적재된 하나 이상의 트레이가 로딩되는 로딩부와, 상기 로딩부로부터 전달된 소자에 대한 테스트를 수행하는 테스트부와, 상기 테스트부에서 테스트가 완료된 소자를 테스트결과에 따라 분류하는 언로딩부와, 상기 로딩부와 상기 테스트부 사이에 배치되어 소자를 가열하는 소자가열부를 포함하고, 상기 소자가열부는, 실온 이상의 온도의 분위기로 유지되는 수용공간이 구비되는 가열챔버와, 상기 가열챔버의 내부에서 소자가 탑재된 복수의 트레이를 순환시키는 순환장치를 포함할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided an apparatus for inspecting an element, comprising: a loading unit for loading one or more trays on which a plurality of elements are stacked; And an element heating unit disposed between the loading unit and the test unit for heating the element, wherein the element heating unit comprises: a heating unit for heating the element, And a circulation device for circulating a plurality of trays on which the devices are mounted in the heating chamber.

상기 가열챔버는, 복수의 트레이의 순환경로를 포함하도록 구성되고, 이송툴이 상기 트레이상에 적재된 소자를 픽업할 수 있도록 개구를 가질 수 있다.The heating chamber may be configured to include a circulation path of the plurality of trays and the transport tool may have an opening to pick up the elements loaded on the tray.

상기 순환장치는, 상기 복수의 트레이를 수평축을 중심으로 선회시키는 회전기구를 포함할 수 있다.The circulation device may include a rotation mechanism that pivots the plurality of trays about a horizontal axis.

또한, 상기 순환장치는, 상기 로딩부로부터 전달된 상기 복수의 트레이를 직선형으로 이송하는 직선이송기구와, 상기 직선이송기구에 의한 상기 복수의 트레이의 이송경로상에 설치되며, 상기 복수의 트레이를 수평축을 중심으로 선회시키는 회전기구를 포함할 수 있다.The circulation apparatus may further include a linear transport mechanism for linearly transporting the plurality of trays transferred from the loading section and a plurality of trays provided on a transport path of the plurality of trays by the linear transport mechanism, And may include a rotating mechanism that pivots about a horizontal axis.

상기 회전기구는, 수평축을 중심으로 회전되는 회전축과, 상기 회전축을 중심으로 방사상으로 배치되고, 상기 복수의 트레이를 파지하여 상기 회전축을 중심으로 선회하는 복수의 픽업모듈을 포함하고, 상기 복수의 트레이는 수평자세를 유지하면서 상기 복수의 픽업모듈의 선회에 의하여 상기 회전축을 중심으로 선회할 수 있다.Wherein the rotation mechanism includes a rotation shaft rotated about a horizontal axis and a plurality of pickup modules arranged radially about the rotation shaft and holding the plurality of trays and pivoting about the rotation axis, Can be pivoted about the rotation axis by turning of the plurality of pickup modules while maintaining a horizontal posture.

상기 픽업모듈은, 상기 회전축과 연결되는 지지부와, 상기 지지부에 설치되는 힌지축과, 상기 힌지축을 중심으로 회동이 가능하게 연결되며 상기 트레이를 파지하는 파지부를 포함할 수 있다.The pick-up module may include a support portion connected to the rotation shaft, a hinge shaft installed on the support portion, and a grip portion connected to the hinge shaft so as to be rotatable to grip the tray.

상기 힌지축에는 상기 힌지축을 회전시키는 회전모터가 연결될 수 있다.The hinge shaft may be connected to a rotary motor for rotating the hinge shaft.

여기에서, 상기 픽업모듈에는 히터가 설치되는 것이 바람직하다.Here, it is preferable that a heater is installed in the pickup module.

다른 예로서, 상기 회전기구는, 수평축을 중심으로 회전되는 회전축과, 상기 회전축을 중심으로 방사상으로 배치되고, 상기 복수의 트레이의 소자가 적재된 일면을 커버하여 상기 회전축을 중심으로 선회하는 복수의 커버부재를 포함할 수 있다.As another example, the rotating mechanism may include a rotating shaft that is rotated about a horizontal axis, and a plurality of rotating members that are disposed radially with respect to the rotating shaft and cover one surface on which the elements of the plurality of trays are stacked, And a cover member.

여기에서, 상기 커버부재에는 히터가 설치되는 것이 바람직하다.Here, it is preferable that the cover member is provided with a heater.

한편, 상기 순환장치는, 상기 로딩부로부터 전달된 상기 복수의 트레이를 직선형으로 이송하는 직선이송기구와, 상기 직선이송기구에 의한 상기 복수의 트레이의 이송경로상에 설치되어, 상기 복수의 트레이를 상하로 직선으로 순환시키는 직선순환기구를 포함하며, 상기 직선순환기구는, 상기 복수의 트레이를 수평으로 직선으로 이송시키도록 상하로 배치되는 복수의 수평이송기구와, 상기 복수의 수평이송기구의 사이에 배치되어, 상기 복수의 트레이를 수직으로 직선으로 이송시키는 복수의 수직이송기구를 포함할 수 있다.Meanwhile, the circulation device includes a linear transport mechanism for linearly transporting the plurality of trays transferred from the loading section, and a plurality of trays provided on the transport path of the plurality of trays by the linear transport mechanism, Wherein the linear recirculating mechanism includes a plurality of horizontal conveying mechanisms arranged vertically so as to horizontally linearly convey the plurality of trays and a plurality of horizontal conveying mechanisms arranged between the plurality of horizontal conveying mechanisms And may include a plurality of vertical transport mechanisms for vertically and linearly transporting the plurality of trays.

본 발명의 실시예에 따른 소자검사장치는, 소자를 가열하기 위한 소자가열부가 소자가 적재된 트레이를 순환시키도록 구성됨으로써, 소자를 미리 설정된 온도로 가열하기 위하여 요구되는 시간 동안에 복수의 소자를 연속적으로 가열할 수 있다. 따라서, 소자가 가열되기 위하여 대기하는 시간을 줄일 수 있으며, 이에 따라, 소자를 검사하는 데에 요구되는 시간을 줄일 수 있는 이점이 있다.The device testing apparatus according to an embodiment of the present invention is configured to circulate a tray on which an element is mounted to heat an element for heating the element so that a plurality of elements are continuously Lt; / RTI > Therefore, it is possible to reduce the waiting time for the device to be heated, thereby reducing the time required to inspect the device.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 소자검사장치는, 소자를 가열하는 소자가열부가 소자가 적재된 트레이를 상하로 순환시키도록 구성됨으로써, 소자를 가열하기 위한 소자가열부의 수평방향으로의 길이 및 폭을 축소시킬 수 있는 이점이 있다.The device inspection apparatus according to an embodiment of the present invention is configured to circulate the tray on which the device is mounted up and down by heating the device so that the length and width in the horizontal direction of the device heating unit for heating the device Can be reduced.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 소자검사장치가 개략적으로 도시된 평면도이다.
도 2는 도 1의 소자검사장치에서 소자가열부가 도시된 개략도이다.
도 3은 도 2의 소자가열부에서 회전기구가 도시된 개략도이다.
도 4는 도 2의 소자가열부에서 회전기구의 다른 예가 도시된 개략도이다.
도 5는 도 1의 소자검사장치에서 소자가열부의 다른 예가 도시된 개략도이다.
도 6은 도 1의 소자검사장치에서 소자가열부의 또 다른 예가 도시된 개략도이다.
도 7은 도 1의 소자검사장치에서 소자가열부의 또 다른 예가 도시된 개략도이다.1 is a plan view schematically showing an element inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention.
2 is a schematic view showing an element heating section in the element inspection apparatus of FIG.
Fig. 3 is a schematic view showing the rotation mechanism of the element of Fig. 2 in the heating portion. Fig.
Fig. 4 is a schematic view showing another example of the rotation mechanism in the heating portion of the element of Fig. 2;
5 is a schematic view showing another example of the element heating section in the element inspection apparatus of FIG.
Fig. 6 is a schematic view showing another example of the element heating section in the element inspection apparatus of Fig. 1;
7 is a schematic view showing another example of the element heating unit in the element inspection apparatus of FIG.

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 소자검사장치에 대하여 설명한다.Hereinafter, a device testing apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1에 도시된 바와 같이, 실시예에 따른 소자검사장치는, 복수의 소자(E)가 적재된 하나 이상의 트레이(T)가 로딩되는 로딩부(10)와, 로딩부(10)로부터 전달된 소자(E)를 테스트하기 위하여 테스트소켓(21)이 설치되는 테스트부(20)와, 테스트부(20)에서 테스트가 완료된 소자(E)를 테스트결과에 따라 분류하는 언로딩부(30)와, 로딩부(10)와 테스트부(20) 사이에 배치되어 소자(E)를 가열하는 소자가열부(40)를 포함할 수 있다.1, an apparatus for inspecting an element according to an embodiment of the present invention includes a loading unit 10 in which one or more trays T loaded with a plurality of elements E are loaded, A test section 20 in which a test socket 21 is installed to test the element E and an unloading section 30 that classifies the tested element E in the test section 20 according to a test result, And the heating element disposed between the loading section 10 and the test section 20 and heating the element E may include the heating section 40. [

테스트의 대상이 되는 소자(E)는 메모리반도체나, CPU (Central Processing Unit), GPU (Graphics Processing Unit), 시스템 LSI (Large Scale Integration)와 같은 비메모리소자가 될 수 있다. 소자(E)는 비메모리소자, 특히, 저면에 볼형상의 접속단자들이 형성되는 소자가 될 수 있다.The device E to be tested can be a memory semiconductor, a non-memory device such as a CPU (Central Processing Unit), a GPU (Graphics Processing Unit), and a system LSI (Large Scale Integration). The element E may be a non-memory element, in particular, an element in which ball-shaped connecting terminals are formed on the bottom surface.

로딩부(10) 및 언로딩부(30)는 복수의 소자(E)가 적재된 하나 이상의 트레이(T)가 적재되는 구성으로서, 설계에 따라 다양한 구성이 가능하다. 로딩부(10) 및 언로딩부(30)에는 복수의 트레이(T)가 적재될 수 있는 트레이적재부(미도시)가 설치될 수 있다.The loading section 10 and the unloading section 30 are configured such that one or more trays T loaded with a plurality of elements E are stacked, and various configurations are possible according to the design. The loading section 10 and the unloading section 30 may be provided with a tray loading section (not shown) on which a plurality of trays T can be loaded.

예를 들면, 로딩부(10)에는 복수의 소자(E)가 연속적으로 픽업되어 이송될 수 있도록 복수의 트레이(T)가 적절하게 배치된다. 그리고, 소자(E)가 인출된 후의 빈 트레이(T)는 소자(E)가 적재된 채워진 트레이(T)와 교체될 수 있다. 예를 들면, 일정 묶음의 트레이들(T)이 자동 또는 수동으로 트레이적재부에 적재될 수 있다.For example, in the loading section 10, a plurality of trays T are appropriately arranged so that a plurality of elements E can be successively picked up and transported. The empty tray T after the element E is drawn out can be replaced with the filled tray T on which the element E is loaded. For example, a certain set of trays T can be automatically or manually loaded in the tray loading portion.

로딩부(10) 내에서 소자(E)가 인출된 후의 빈 트레이(T)는 트레이전달부(미도시)에 의하여 언로딩부(30)로 이송될 수 있다. 또한, 빈 트레이(T)가 언로딩부(30)로 이송되기 전에 트레이(T)로부터 미처 인출되지 않은 소자(E)가 제거될 수 있도록, 트레이(T)가 트레이반전부(미도시)에서 회전(반전)될 수 있다.The empty tray T after the element E is taken out from the loading section 10 can be transferred to the unloading section 30 by a tray transfer section (not shown). The tray T is moved in the tray reversing portion (not shown) so that the untreated element E can be removed from the tray T before the empty tray T is conveyed to the unloading portion 30. [ (Inverted).

한편, 언로딩부(30)는 로딩부(10)와 유사하게 구성될 수 있다. 예를 들면, 언로딩부(30)에는, 복수의 소자(E)가 테스트결과에 따라 연속적으로 분류되어 적재될 수 있도록, 복수의 빈 트레이들(T)이 분류등급에 따라 적절하게 배치될 수 있다. 언로딩부(30)에서, 테스트가 완료된 복수의 소자(E)가 채워진 트레이(T)는 빈 트레이(T)와 교체될 수 있다.On the other hand, the unloading unit 30 may be configured similar to the loading unit 10. [ For example, in the unloading portion 30, a plurality of empty trays T can be appropriately disposed according to the sorting class so that a plurality of elements E can be successively sorted and stacked according to a test result have. In the unloading section 30, the tray T filled with the plurality of tested elements E can be replaced with the empty tray T.

또한, 로딩부(10)와 언로딩부(30) 사이에는, 빈 트레이(T)가 임시로 적재될 수 있도록, 빈 트레이(T)가 임시로 적재되는 트레이버퍼부(미도시)가 추가로 설치될 수 있다.A tray buffer unit (not shown) in which the empty tray T is temporarily loaded is additionally provided between the loading unit 10 and the unloading unit 30 so that the empty tray T can be temporarily loaded Can be installed.

트레이(T)에는 복수의 소자(E)가 적재될 수 있도록 복수의 수용홈(T1)이 형성될 수 있다. 예를 들면, 복수의 수용홈(T1)은 트레이(T)에 8ㅧ16 등의 행렬로 형성될 수 있다.A plurality of receiving grooves T1 may be formed in the tray T so that a plurality of elements E can be stacked. For example, a plurality of receiving grooves T1 may be formed on the tray T by a matrix of 8, 16, or the like.

테스트부(20)와 언로딩부(30) 사이에서의 소자(E)의 이송속도가 증가될 수 있도록, 테스트부(20)와 언로딩부(30) 사이에는 테스트부(20)에서 테스트가 완료된 소자(E)가 임시로 적재되는 언로딩버퍼부(50)가 설치될 수 있다. 따라서, 테스트가 완료된 소자(E)는 언로딩버퍼부(50)에 임시로 적재된 후 언로딩부(30)로 이송될 수 있다. 언로딩버퍼부(50)에는 트레이(T)에 비하여 상대적으로 많은 수의 소자(E)가 적재될 수 있다. 언로딩버퍼부(50)는 복수의 소자(E)가 적재될 수 있도록 상면에 다수의 적재홈(51)이 형성된 판형상의 플레이트부재(52)를 포함할 수 있다. 언로딩버퍼부(50)의 플레이트부재(52)의 적재홈(51)은 테스트부(20)의 테스트소켓(21)들 사이의 간격에 맞게 배열될 수 있거나, 트레이(T)의 수용홈(T1)들 사이의 간격에 맞게 배열될 수 있다. 플레이트부재(52)는 소자(E)를 임시로 적재하여 테스트부(20)와의 소자교환을 위한 구성으로서, 소자검사장치의 내부에서 고정된 상태로 설치되거나, 이동이 가능하게 설치되는 등 다양한 구성이 가능하다.The test section 20 performs a test between the test section 20 and the unloading section 30 so that the transfer speed of the element E between the test section 20 and the unloading section 30 can be increased. The unloading buffer unit 50 in which the completed element E is temporarily loaded can be installed. Thus, the tested element E can be temporarily loaded into the unloading buffer unit 50 and then transferred to the unloading unit 30. [ A relatively large number of elements E can be loaded in the unloading buffer unit 50 as compared with the tray T. [ The unloading buffer unit 50 may include a plate-shaped plate member 52 having a plurality of loading grooves 51 formed on its upper surface so that a plurality of elements E can be loaded. The loading grooves 51 of the plate member 52 of the unloading buffer section 50 may be arranged in accordance with the interval between the test sockets 21 of the test section 20, T1. &Lt; / RTI > The plate member 52 is a member for temporarily exchanging elements with the test unit 20 by temporarily loading the element E, and may be installed in a fixed state inside the element testing apparatus, This is possible.

테스트부(20)는 소자가열부(40)로부터 전달된 소자(E)를 테스트하기 위한 것으로, 테스트의 종류에 따라 다양한 구성이 가능하다. 테스트부(20)에는 소자(E)가 가압되는 복수의 테스트소켓들(21)이 설치된다. 예를 들면, 복수의 테스트소켓(21)에는 전원과 연결되는 단자가 구비되어 소자(E)에 대한 통전테스트가 수행될 수 있다. 테스트소켓(21)은, 소자(E)의 테스트를 위하여 소자(E)를 단자와 연결을 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다. 이러한 테스트소켓(21)은 소자의 종류, 테스트 종류 등에 따라서 교체가 가능하게 설치될 수 있다.The test section 20 is for testing an element E delivered from the heating section 40, and various configurations are possible depending on the type of the test. The test section 20 is provided with a plurality of test sockets 21 to which the element E is pressed. For example, a plurality of test sockets 21 are provided with terminals to be connected to a power source, so that the energization test for the device E can be performed. The test socket 21 may have various configurations as a configuration for connecting the element E to the terminal for the test of the element E. The test socket 21 can be installed so as to be replaceable depending on the type of device, test type, and the like.

한편, 테스트부(20)와 소자가열부(40)의 사이 또는 테스트부(20)와 언로딩버퍼부(50) 사이의 소자교환은 직접 이루어지기보다는 소자가열부(40)로부터 전달된 소자(E)를 테스트부(20) 쪽으로 이송하고 테스트부(20)로부터 전달된 소자(E)를 언로딩버퍼부(50) 쪽으로 이송하는 셔틀부(61, 62)에 의하여 이루어질 수 있다. 셔틀부(61, 62)는, 테스트부(20)와 소자가열부(40) 사이의 소자교환 또는 테스트부(20)와 언로딩버퍼부(50) 사이의 소자교환을 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.The device exchange between the test unit 20 and the heating unit 40 or between the testing unit 20 and the unloading buffer unit 50 is not directly performed but rather is performed by a device E to the test section 20 and to transfer the element E transferred from the test section 20 to the unloading buffer section 50. The shuttle sections 61, The shuttle units 61 and 62 have various configurations as elements for exchanging devices between the test unit 20 and the heating unit 40 or devices between the testing unit 20 and the unloading buffer unit 50 It is possible.

예를 들면, 셔틀부(61, 62)는 소자가열부(40)로부터 소자(E)를 전달받기 위한 제1소자전달위치, 테스트부(20)와 소자(E)를 교환하기 위한 소자교환위치 및 언로딩버퍼부(50)로 소자(E)를 전달하기 위한 제2소자전달위치 사이에서 이동되는 제1셔틀부(61)와, 소자가열부(40)로부터 소자(E)를 전달받기 위한 제1소자전달위치, 테스트부(20)와 소자(E)를 교환하기 위한 소자교환위치 및 언로딩버퍼부(50)로 소자(E)를 전달하기 위한 제2소자전달위치의 사이에서 이동되는 제2셔틀부(62)를 포함할 수 있다. 여기에서, 제1소자전달위치, 소자교환위치 및 제2소자전달위치는 장치의 구성에 따라서 다양하게 배치될 수 있으며, 직선으로 순차적으로 배치될 수 있다.For example, the shuttle units 61 and 62 may be configured to have a first element transfer position for transferring the element E from the thermal section 40, a second element transfer position for transferring the element E to the test section 20, And a second element transfer position for transferring the element E to the unloading buffer unit 50 and a second shuttle unit 61 for transferring the element E from the thermal unit 40 to the unloading buffer unit 50. [ A device exchange position for exchanging the test section 20 with the element E and a second element transfer position for transferring the element E to the unloading buffer section 50 And may include a second shuttle portion 62. Here, the first element transfer position, the element exchange position, and the second element transfer position may be variously arranged according to the configuration of the apparatus, and may be arranged in a straight line sequentially.

제1셔틀부(61) 및 제2셔틀부(62)는 테스트부(20)의 테스트소켓(21)을 사이에 두고 테스트소켓(21)의 양측에 배치될 수 있다. 제1셔틀부(61) 및 제2셔틀부(62)는, 테스트부(20)를 중심으로 서로 대향되게 설치되는 가이드레일(611, 621)과, 가이드레일(611, 621)을 따라 수평으로 이동되면서, 소자가열부(40)로부터 소자를 전달받기 위한 제1소자전달위치, 테스트부(20)와의 소자교환위치, 언로딩버퍼부(50)로 소자를 전달하기 위한 제2소자전달위치를 번갈아 가면서 이동되며 복수의 소자(E)가 적재되는 하나 이상의 셔틀플레이트(612, 622)와, 셔틀플레이트(612, 622)가 탈착이 가능하게 결합되며 가이드레일(611, 621)을 따라 이동되도록 설치된 플레이트고정부(613, 623)를 포함할 수 있다.The first shuttle portion 61 and the second shuttle portion 62 may be disposed on both sides of the test socket 21 with the test socket 21 of the test portion 20 interposed therebetween. The first shuttle part 61 and the second shuttle part 62 are provided with guide rails 611 and 621 installed opposite to each other with the test part 20 as a center, The first element transfer position for transferring the element from the thermal section 40, the element exchange position for the test section 20, and the second element transfer position for transferring the element to the unloading buffer section 50 One or more shuttle plates 612 and 622 which are alternately moved and on which a plurality of elements E are loaded and shuttle plates 612 and 622 are detachably coupled and moved along the guide rails 611 and 621 And may include plate fixing portions 613 and 623.

가이드레일(611, 621)은 셔틀플레이트(612, 622)의 이동을 안내하기 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.The guide rails 611 and 621 can be variously configured to guide the movement of the shuttle plates 612 and 622.

셔틀플레이트(612, 622)에는, 테스트부(20)와 소자가열부(40) 사이의 소자교환 또는 테스트부(20)와 언로딩버퍼부(50) 사이의 소자교환을 위하여, 소자(E)가 안착되는 하나 이상의 소자안착홈이 형성된다.The shuttle plates 612 and 622 are connected to the shuttle plates 612 and 622 through the connection between the test unit 20 and the element E for device exchange between the device 40 and the test unit 20 or between the test unit 20 and the unloading buffer unit 50. [ At least one element seating groove is formed.

플레이트고정부(613, 623)는 셔틀플레이트(612, 622)의 교체 편의를 위하여 설치된 구성으로서 다양한 구성이 가능하며, 소자(E)를 가열하기 위한 히터 등이 구비될 수 있다. 셔틀플레이트(612, 622)가 플레이트고정부(613, 623)에 탈착이 가능하게 설치되므로, 검사대상인 소자(E)의 종류, 특히, 소자(E)의 크기가 달라지는 경우 소자(E)가 안착되는 셔틀플레이트(612, 622)가 교체될 수 있다.The plate fixing portions 613 and 623 are provided for the purpose of replacing the shuttle plates 612 and 622. The plate fixing portions 613 and 623 may be provided with a heater for heating the element E and the like. The shuttle plates 612 and 622 are detachably attached to the plate fixing portions 613 and 623 so that when the type of the element E to be inspected and particularly the size of the element E is changed, The shuttle plates 612 and 622 can be replaced.

한편, 소자가열부(40)와 셔틀부(61, 62)의 사이에서 이동되면서 소자가열부(40)에서 소자(E)를 픽업하여 셔틀부(61, 62)로 전달하는 하나 이상의 로딩이송툴(70)이 설치될 수 있다.On the other hand, as the element is moved between the heating part 40 and the shuttle parts 61 and 62, the element picks up the element E from the heating part 40 and transfers it to the shuttle parts 61 and 62, (70) can be installed.

또한, 셔틀부(61, 62)와 언로딩부(30) 사이에서 이동되면서 셔틀부(61, 62)에서 소자(E)를 픽업하여 언로딩부(30)로 전달하는 하나 이상의 언로딩이송툴(80)이 설치될 수 있다. 이와 같은 경우, 하나의 언로딩이송툴(80)이 셔틀부(61, 62)와 언로딩부(30) 사이에서 이동하면서 셔틀부(61, 62)에서 소자(E)를 픽업하여 언로딩부(30)로 전달하도록 구성될 수 있다. 그리고, 전술한 바와 같이, 언로딩버퍼부(50)가 설치되는 경우, 언로딩이송툴(80)은 언로딩버퍼부(50)에서 소자(E)를 픽업하여 언로딩부(30)으로 전달하는 제1언로딩이송툴(81)과, 셔틀부(61, 62)에서 소자(E)를 픽업하여 언로딩버퍼부(50)로 전달하는 제2언로딩이송툴(82)을 포함할 수 있다.One or more unloading conveying tools (not shown) for picking up the elements E from the shuttle portions 61 and 62 and transferring them to the unloading portion 30 while being moved between the shuttle portions 61 and 62 and the unloading portion 30, (80) can be installed. In this case, one unloading / conveying tool 80 moves between the shuttle portions 61 and 62 and the unloading portion 30 to pick up the element E from the shuttle portions 61 and 62, (30). When the unloading buffer unit 50 is installed as described above, the unloading / conveying tool 80 picks up the element E from the unloading buffer unit 50 and transmits it to the unloading unit 30 And a second unloading transfer tool 82 for picking up the element E from the shuttle sections 61 and 62 and transferring it to the unloading buffer section 50. The first unloading / have.

로딩이송툴(70) 및 언로딩이송툴(80)은 서로 동일하거나 유사하게 구성될 수 있다. 로딩이송툴(70) 및 언로딩이송툴(80)에는 각각 소자(E)를 이송하기 위한 구성으로서, 소자(E)를 픽업하는 복수의 픽커들 및 수직방향(Z방향) 및 수평방향(X-Y방향) 등으로 복수의 픽커들의 이동을 구동하기 위한 구동장치가 구비될 수 있다.The loading transfer tool 70 and the unloading transfer tool 80 may be configured to be identical or similar to each other. The loading and unloading tool 70 and the unloading and conveying tool 80 are respectively provided with a plurality of pickers for picking up the element E and a plurality of pickers for picking up the element E and a plurality of pickers for picking up the elements E in the vertical direction And a driving device for driving the movement of the plurality of pickers in the direction of the arrow.

픽커는 소자(E)를 픽업하여 소정의 위치로 이송하기 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하며 소자(E)의 상면에 진공압을 형성하는 흡착패드 및 흡착패드에 공압을 전달하는 공압실린더로 구성될 수 있다.The picker is configured to pick up the element E and transfer it to a predetermined position. The picker is composed of a suction pad for forming a vacuum pressure on the upper surface of the element E and a pneumatic cylinder for transmitting air pressure to the suction pad, .

구동장치는 픽커들의 구동태양에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 픽커들을 상하로 이동시키기 위한 상하이동장치 및 좌우방향으로 이동하기 위한 좌우이동장치를 포함하여 구성될 수 있다. 상하이동장치는 픽커들 전체를 한꺼번에 상하로 이동시키도록 구성되거나, 각 픽커들이 독립적으로 상하로 이동되도록 각 픽커들과 개별적으로 연결될 수 있다. 좌우이동장치는 픽커들의 이동태양에 따라서 다양한 구성이 가능하며, X방향 또는 Y방향으로의 단일방향의 이동, 또는 X-Y방향 이동이 가능하도록 구성될 수 있다.The driving device may be configured in various manners according to the driving mode of the pickers, and may include a vertical moving device for moving the pickers up and down, and a left and right moving device for moving in the horizontal direction. The up-and-down moving device may be configured to move the entire pickers up and down at a time, or may be separately connected to each of the pickers so that each of the pickers is independently moved up and down. The left-right moving apparatus can be configured in various ways according to the moving mode of the pickers, and can be configured to be capable of moving in a single direction in the X direction or in the Y direction, or in the X-Y direction.

한편, 테스트부(20)와 셔틀부(61, 62) 사이에서 이동되면서 셔틀부(61, 62)에서 소자(E)를 픽업하여 테스트소켓(21)으로 가압하고, 테스트소켓(21)에 가압되어 테스트가 완료된 소자를 셔틀부(61, 62)으로 전달하는 소자가압툴(90)이 설치될 수 있다. 소자가압툴(90)은 테스트부(20)와 제1셔틀부(61) 사이 및 테스트부(20)와 제2셔틀부(62) 사이에서 소자(E)를 이송하기 위한 구성으로서, 소자(E)의 이송태양에 따라서 다양한 구성이 가능하다. 소자가압툴(90)은, 제1셔틀부(61)와 테스트부(20) 사이에서 이동하면서 제1셔틀부(61)에서 소자(E)를 픽업하여 테스트소켓(21)으로 가압하고 테스트소켓(21)에 가압되어 테스트가 완료된 소자를 제1셔틀부(61)로 전달하는 제1소자가압툴(91)과, 제2셔틀부(62)와 테스트부(20) 사이에서 이동하면서 제2셔틀부(62)에서 소자(E)를 픽업하여 테스트소켓(21)으로 가압하고 테스트소켓(21)에 가압되어 테스트가 완료된 소자를 제2셔틀부(62)로 전달하는 제2소자가압툴(92)을 포함할 수 있다. 이와 같이, 소자가압툴(90)이 한 쌍으로 구성되는 경우에는, 소자교환의 편의를 위하여, 한 쌍의 소자가압툴(90)이 서로 연동하여 이동될 수 있다.On the other hand, while moving between the test section 20 and the shuttle sections 61 and 62, the element E is picked up by the shuttle sections 61 and 62 and pressurized by the test socket 21, And a device pressing tool 90 for transferring the tested devices to the shuttle units 61 and 62 may be installed. The element pressing tool 90 has a configuration for transferring the element E between the test section 20 and the first shuttle section 61 and between the test section 20 and the second shuttle section 62, E). The element pressing tool 90 picks up the element E from the first shuttle portion 61 and presses it to the test socket 21 while moving between the first shuttle portion 61 and the test portion 20, A first element pushing tool 91 for pushing the tested element 20 to the first shuttle part 61 and pressing the second shuttle part 62 and the test part 20 to transmit the tested element to the first shuttle part 61, A second element pressing tool (not shown) for picking up the element E from the shuttle 62 and pressing the test element 21 to the test socket 21 and pushing the tested element to the second shuttle part 62 92). In this way, when the element pressing tools 90 are constituted as a pair, a pair of element pressing tools 90 can be moved in conjunction with each other for convenience of element replacement.

소자가압툴(90)에는, 소자(E)를 픽업하는 복수의 픽커들 및 수직방향(Z방향) 및 수평방향(X-Y방향) 등으로 복수의 픽커들의 이동을 구동하기 위한 구동장치가 구비될 수 있다.The element pressing tool 90 may be provided with a plurality of pickers for picking up the element E and a driving device for driving movement of the plurality of pickers in the vertical direction (Z direction) and the horizontal direction (XY direction) have.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 소자가열부(40)는, 내부가 실온 이상의 온도의 분위기로 유지되는 수용공간(411)이 구비되는 가열챔버(41)와, 가열챔버(41)의 내부에서 소자(E)가 탑재된 복수의 트레이(T)를 상하로 순환시키는 순환장치(42)를 포함할 수 있다.2 and 3, the element heating portion 40 includes a heating chamber 41 having an accommodation space 411 in which an interior of the element is maintained at an ambient temperature of room temperature or more, And a circulation device 42 for circulating a plurality of trays T on which the element E is mounted, up and down.

가열챔버(41)는 로딩부(10)와 테스트부(20) 사이에 배치되며 복수의 트레이(T)의 순환경로를 포함하도록 구성된다. 가열챔버(41)의 내부에서 순환하는 트레이(T)상에 적재된 소자(E)를 로딩이송툴(70)이 픽업할 수 있도록, 가열챔버(41)에는 로딩이송툴(70)이 출입하는 개구(412)가 형성될 수 있다. 따라서, 가열챔버(41)의 내부에서 상하로 순환하는 트레이(T)상에 적재된 소자(E)는 가열챔버(41)의 개구(412)를 통하여 출입하는 로딩이송툴(70)에 의하여 가열챔버(41)의 외부로 이송될 수 있다.The heating chamber 41 is disposed between the loading section 10 and the test section 20 and is configured to include a circulation path of the plurality of trays T. [ The heating chamber 41 is provided with a loading and conveying tool 70 so that the loading and conveying tool 70 can pick up the element E loaded on the tray T circulating inside the heating chamber 41 An opening 412 may be formed. The element E stacked on the tray T circulating in the heating chamber 41 is heated by the loading and transporting tool 70 which goes through the opening 412 of the heating chamber 41 Can be transferred to the outside of the chamber (41).

순환장치(42)는, 로딩부(10)로부터 전달된 트레이(T)를 직선형으로 이송하는 직선이송기구(43)와, 직선이송기구(43)에 의한 트레이(T)의 이송경로상에 설치되며, 트레이(T)를 픽업하여 수평축을 중심으로 선회시키는 회전기구(44)를 포함할 수 있다.The circulation device 42 includes a linear transport mechanism 43 for linearly transporting the tray T transferred from the loading section 10 and a linear transport mechanism 43 for transporting the tray T on the transport path of the tray T by the linear transport mechanism 43. [ And a rotation mechanism 44 for picking up the tray T and pivoting the tray T about the horizontal axis.

예를 들면, 직선이송기구(43)로는, 트레이(T)를 수평으로 이동시키는 수평이송기구와, 트레이(T)를 수직으로 이동시키는 수직이송기구를 포함할 수 있다. 수평이송기구로는, 예를 들면, 수평으로 연장되는 가이드레일(431)과, 트레이(T)의 양단이나 트레이(T)의 하면을 지지하여 가이드레일(431)을 따라 이동하는 지지블럭(미도시)을 포함하는 구성이 사용될 수 있다. 수직이송기구로는, 트레이(T)의 양단이나 트레이(T)의 하면을 지지하는 지지블럭(미도시)과, 지지블럭을 수직방향으로 이동시키는 액추에이터(미도시)를 포함하는 구성이 사용될 수 있다. 이러한 구성 외에도, 수평이송기구로는 벨트컨베이어 등의 다양한 기구가 사용될 수 있으며, 수직이송기구로는 로봇 등의 다양한 기구가 사용될 수 있다.For example, the linear conveying mechanism 43 may include a horizontal conveying mechanism for horizontally moving the tray T and a vertical conveying mechanism for vertically moving the tray T. The horizontal conveying mechanism includes a guide rail 431 extending horizontally and a support block 431 supporting both ends of the tray T and the lower surface of the tray T and moving along the guide rail 431 Time) may be used. As the vertical transfer mechanism, there can be used a structure including a support block (not shown) for supporting both ends of the tray T and a lower surface of the tray T and an actuator (not shown) for moving the support block in the vertical direction have. In addition to this configuration, various mechanisms such as a belt conveyor may be used as the horizontal transfer mechanism, and various mechanisms such as a robot may be used as the vertical transfer mechanism.

여기에서, 수평이송기구는 상하로 2층으로 배치되는 제1수평이송기구 및 제2수평이송기구를 포함할 수 있다. 수직이송기구는 로딩부(10)에 인접된 위치에 배치되는 제1수직이송기구와, 테스트부(20)에 인접된 위치에 배치되는 제2수직이송기구를 포함할 수 있다. 제1수직이송기구는 로딩부(10)에 로딩된 트레이(T)를 제1수평이송기구로 전달하는 역할을 함께 수행할 수 있다.Here, the horizontal conveying mechanism may include a first horizontal conveying mechanism and a second horizontal conveying mechanism arranged in two layers in the vertical direction. The vertical conveying mechanism may include a first vertical conveying mechanism disposed at a position adjacent to the loading portion 10 and a second vertical conveying mechanism disposed at a position adjacent to the testing portion 20. [ The first vertical conveying mechanism may also serve to transfer the tray T loaded in the loading section 10 to the first horizontal conveying mechanism.

이러한 구성에 따르면, 로딩부(10)로 로딩된 트레이(T)는 제1수직이송기구에 의하여 제1수평이송기구로 전달되어 제1수평이송기구에 의하여 수평으로 이송될 수 있다. 그리고, 제1수평이송기구에 의하여 수평으로 이송된 트레이(T)는 제2수직이송기구에 의하여 제2수평이송기구로 전달되어 제2수평이송기구에 의하여 수평으로 이송될 수 있다. 그리고, 제2수평이송기구에 의하여 수평으로 이송된 트레이(T)는 트레이전달부(미도시)에 의하여 언로딩부(30)로 이송될 수 있다. 따라서, 이러한 직선이송기구(43)에 의한 트레이(T)의 이송경로는 도 2에서의 시계방향이 될 수 있다.According to this configuration, the tray T loaded into the loading section 10 can be transferred to the first horizontal transport mechanism by the first vertical transport mechanism and horizontally transported by the first horizontal transport mechanism. The tray T horizontally conveyed by the first horizontal conveying mechanism may be conveyed to the second horizontal conveying mechanism by the second vertical conveying mechanism and horizontally conveyed by the second horizontal conveying mechanism. The tray T horizontally conveyed by the second horizontal conveying mechanism can be conveyed to the unloading portion 30 by a tray conveying portion (not shown). Therefore, the conveyance path of the tray T by the linear conveying mechanism 43 can be the clockwise direction in Fig.

로딩부(10)로부터 전달된 트레이(T)는 제1수평이송기구에 의하여 수평방향으로 이동한 후, 회전기구(44)로 이송되어 순환하며, 회전기구(44)에서 순환된 후의 트레이(T)는 다시 제1수평이송기구로 이송되어 수평방향으로 이동한다. 그리고, 트레이(T)상에 적재된 소자가 가열챔버(41)의 개구(412)를 통하여 로딩이송툴(70)에 의하여 픽업된 후의 빈 트레이(T)는 수직이송기구에 의하여 제2수평이송기구로 이송되고, 제2수평이송기구에 의하여 로딩부(10)쪽으로 수평으로 이송된 후 언로딩부(30)로 이동된다.The tray T delivered from the loading section 10 is moved horizontally by the first horizontal feed mechanism and then conveyed to the rotating mechanism 44 for circulation and is fed to the tray T Is again conveyed to the first horizontal conveying mechanism and moved in the horizontal direction. The empty tray T after the elements stacked on the tray T are picked up by the loading and conveying tool 70 through the opening 412 of the heating chamber 41 is conveyed by the vertical conveying mechanism to the second horizontal conveying And is horizontally transported toward the loading section 10 by the second horizontal transport mechanism and then moved to the unloading section 30. [

상기한 바와 같이, 트레이(T)는 제1수평이송기구 및 제2수평이송기구가 상하로 배치된 직선이송기구(43)에 의하여 수평방향 및 수직방향으로 이동되면서, 회전기구(44)에 의하여 가열챔버(41)의 내부에서 순환되고, 소자가 픽업된 후에 빈 트레이(T)가 다시 로딩부(10)쪽으로 이동한 후 언로딩부(30)로 이동할 수 있다. 다만, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 않으며, 직선이송기구(43)가 트레이(T)를 수평방향으로만 이동시키도록 구성될 수 있으며, 이러한 경우에는, 트레이(T)가 수평방향으로 이동되면서 회전기구(44)에 의하여 가열챔버(41)의 내부에서 순환되고, 소자가 픽업된 후의 빈 트레이(T)는 수평방향으로 이동되면서 로딩부(10)쪽으로 이동한 후 언로딩부(30)로 이동할 수 있다.As described above, the tray T is moved by the rotating mechanism 44 while being moved in the horizontal direction and the vertical direction by the linear feed mechanism 43 in which the first horizontal feed mechanism and the second horizontal feed mechanism are vertically arranged The empty tray T can be moved back to the loading section 10 and then moved to the unloading section 30 after the element is picked up. However, the present invention is not limited to this configuration, and the linear feed mechanism 43 may be configured to move the tray T only in the horizontal direction. In this case, the tray T is moved in the horizontal direction The empty tray T after the element is picked up is moved in the horizontal direction and moved toward the loading section 10 and then transferred to the unloading section 30 Can be moved.

도 3에 도시된 바와 같이, 회전기구(44)는, 수평축(H)을 중심으로 회전되는 회전축(441)과, 회전축(441)을 중심으로 방사상으로 배치되고, 트레이(T)를 파지하여 회전축(441)을 중심으로 선회하는 복수의 픽업모듈(442)을 포함할 수 있다.3, the rotating mechanism 44 includes a rotating shaft 441 rotated about the horizontal axis H and a rotating shaft 441 disposed radially about the rotating shaft 441 to hold the tray T, And a plurality of pick-up modules 442 pivoting around the center 441.

예를 들면, 회전축(441)은 회전모터(미도시)와 연결되어 연속적 또는 단속적으로 회전될 수 있다.For example, the rotary shaft 441 may be connected to a rotary motor (not shown) and rotated continuously or intermittently.

복수의 픽업모듈(442)은 회전축(441)에 방사상으로 연결된 복수의 지지로드(443)에 지지될 수 있다.The plurality of pickup modules 442 may be supported by a plurality of support rods 443 radially connected to the rotation shaft 441.

한편, 트레이(T)가 회전축(441)을 중심으로 선회하는 과정에서 트레이(T)상에 적재된 소자(E)가 트레이(T)로부터 이탈되는 것을 방지하기 위하여 트레이(T)는 수평자세를 유지하는 것이 바람직하다. 이를 위하여, 픽업모듈(442)은 회전축(441)과 지지로드(442)를 통하여 연결되는 지지부(444)와, 지지부(444)에 설치되는 힌지축(445)과, 힌지축(445)을 중심으로 회동이 가능하게 연결되며 트레이(T)를 파지하는 파지부(446)를 포함할 수 있다. 파지부(446)로는 트레이(T)의 양단을 파지하거나 트레이(T)의 상면을 흡착하는 구성이 사용될 수 있다. 이와 같이, 트레이(T)가 픽업모듈(442)에 회동이 가능하게 연결되므로, 트레이(T)가 회전축(441)을 중심으로 선회하는 과정에서 트레이(T)가 힌지축(445)을 중심으로 회전될 수 있으며, 이에 따라, 트레이(T)의 수평자세가 유지될 수 있다. 트레이(T)가 힌지축(445)을 중심으로 회전되는 과정은 트레이(T)의 자중에 의하여 수행될 수 있다. 또한, 힌지축(445)에는 힌지축(445)을 회전시키는 별도의 회전모터(미도시)가 연결될 수 있으며, 이와 같은 경우에는, 트레이(T)가 회전축(441)을 중심으로 선회할 때, 트레이(T)의 상하위치에 따라 힌지축(445)이 회전될 수 있으며, 이에 따라, 트레이(T)의 수평자세가 유지될 수 있다.In order to prevent the element E loaded on the tray T from being detached from the tray T in the process of turning the tray T about the rotation axis 441, . The pickup module 442 includes a support portion 444 connected to the rotation shaft 441 through the support rod 442, a hinge shaft 445 provided on the support portion 444, And a grip portion 446 which is rotatably connected to the tray T and grips the tray T. [ The grip portion 446 may be configured to grip both ends of the tray T or to adsorb the upper surface of the tray T. [ Since the tray T is rotatably connected to the pickup module 442 as described above, when the tray T is pivoted about the rotation axis 441, the tray T is rotated about the hinge axis 445 So that the horizontal posture of the tray T can be maintained. The process of rotating the tray T about the hinge shaft 445 can be performed by the own weight of the tray T. [ A separate rotary motor (not shown) for rotating the hinge shaft 445 may be connected to the hinge shaft 445. In this case, when the tray T turns around the rotary shaft 441, The hinge shaft 445 can be rotated according to the vertical position of the tray T so that the horizontal posture of the tray T can be maintained.

픽업모듈(442)에는 히터(미도시)가 설치될 수 있다. 이러한 히터는 지지부(444) 또는 파지부(446)에 설치될 수 있다. 이러한 경우에는, 픽업모듈(442)에 파지되어 선회하는 트레이(T)상에 적재된 소자(E)는 가열챔버(41) 내의 고온의 분위기에 의하여 가열될 수 있고, 픽업모듈(442)에 설치된 히터에 의하여 추가적으로 가열될 수 있다. 따라서, 소자(E)를 미리 설정된 온도로 가열하는 데까지 소요되는 시간을 줄일 수 있다.The pick-up module 442 may be provided with a heater (not shown). Such a heater may be installed in the support portion 444 or the grip portion 446. [ In this case, the element E mounted on the pivoting tray T held by the pick-up module 442 can be heated by the high-temperature atmosphere in the heating chamber 41 and can be mounted on the pickup module 442 Can be additionally heated by a heater. Therefore, it is possible to reduce the time required for heating the element E to a preset temperature.

또한, 회전기구(44)의 다른 예로서, 도 4에 도시된 바와 같이, 회전기구(44)는 수평축을 중심으로 회전되는 회전축(441)과, 회전축(441)을 중심으로 방사상으로 배치되어 트레이(T)를 파지하는 것과 함께 소자(E)가 적재된 트레이(T)의 일면을 커버하여 회전축(441)을 중심으로 선회하는 복수의 커버부재(447)를 포함할 수 있다.4, the rotating mechanism 44 includes a rotating shaft 441 that is rotated about a horizontal axis, and a rotating shaft 441 that is radially disposed around the rotating shaft 441, And a plurality of cover members 447 holding the tray T and covering one surface of the tray T on which the device E is mounted and pivoting about the rotation axis 441. [

이러한 구성에 따르면, 트레이(T)가 커버부재(447)에 의하여 커버된 상태에서 회전축(441)을 중심으로 선회하므로, 트레이(T)상에 적재된 소자(E)가 트레이(T)로부터 이탈되는 것이 방지될 수 있다. 커버부재(447)가 트레이(T)를 파지할 수 있도록, 커버부재(447)에는 파지부(미도시)가 설치될 수 있다. 파지부로는 트레이(T)의 양단을 파지하거나 트레이(T)의 상면을 흡착하는 구성이 사용될 수 있다.With this configuration, since the tray T is pivoted about the rotation axis 441 with the cover T covered by the cover member 447, the element E loaded on the tray T is separated from the tray T Can be prevented. A grip portion (not shown) may be provided on the cover member 447 so that the cover member 447 can grip the tray T. [ The gripping portion may be configured to grip both ends of the tray T or to adsorb the upper surface of the tray T. [

커버부재(447)에는 히터(미도시)가 설치될 수 있다. 이러한 경우에는, 커버부재(447)에 파지되어 선회하는 트레이(T)상에 적재된 소자(E)는 가열챔버(41) 내의 고온의 분위기에 의하여 가열될 수 있고 커버부재(447)에 설치된 히터에 의하여 추가적으로 가열될 수 있다. 따라서, 소자(E)를 미리 설정된 온도로 가열하는 데까지 소요되는 시간을 줄일 수 있다. 여기에서, 히터는 커버부재(447)의 전체의 영역에 대하여 균일하게 배치되는 것이, 트레이(T)상에 적재된 복수의 소자(E)를 균일하게 가열하는 데에 있어 바람직하다.The cover member 447 may be provided with a heater (not shown). In this case, the element E mounted on the tray T which is grasped by the cover member 447 and is pivoting can be heated by the high-temperature atmosphere in the heating chamber 41, As shown in FIG. Therefore, it is possible to reduce the time required for heating the element E to a preset temperature. Here, it is preferable for the heater to be uniformly arranged with respect to the entire area of the cover member 447 to uniformly heat the plurality of elements E stacked on the tray T.

한편, 도 5에 도시된 바와 같이, 소자가열부(40)는, 내부가 실온 이상의 온도의 분위기로 유지되는 수용공간(411)이 구비되는 가열챔버(41)와, 가열챔버(41)의 내부에서 소자(E)가 탑재된 복수의 트레이(T)를 상하로 순환시키는 순환장치(42)로 구성된다.5, the element heating portion 40 includes a heating chamber 41 having an accommodation space 411 in which an interior of the element is maintained at an ambient temperature of room temperature or more, And a circulating device 42 for circulating a plurality of trays T on which the devices E are mounted up and down.

여기에서, 순환장치(42)는 로딩부(10)로부터 전달된 트레이(T)을 직선형으로 이송하는 직선이송기구(43)와, 직선이송기구(43)에 의한 트레이(T)의 이송경로상에 설치되어, 트레이를 상하로 직선으로 순환시키는 직선순환기구(45)를 포함할 수 있다.The circulation device 42 includes a linear transport mechanism 43 for linearly transporting the tray T transferred from the loading section 10 and a transporting path 43 for transporting the tray T by the linear transport mechanism 43. [ And a linear circulation mechanism 45 for circulating the tray up and down in a straight line.

직선이송기구(43)는 복수의 트레이(T)를 상하로 2층으로 이송시키는 것과 함께 복수의 트레이(T)를 수평방향으로 직선으로 이동시키면서 복수의 트레이(T)를 상하로 순환시키는 작동을 한다. 예를 들면, 직선이송기구(43)로는, 수평으로 연장되는 가이드레일(431)과, 트레이(T)의 양단이나 트레이(T)의 하면을 지지하며 가이드레일(431)을 따라 이동하는 지지블럭(미도시)을 포함하는 구성이 사용될 수 있다.The linear conveying mechanism 43 is an operation for conveying a plurality of trays T upward and downward while moving a plurality of trays T linearly in a horizontal direction do. For example, the linear feed mechanism 43 includes a guide rail 431 extending horizontally, a support block 431 supporting the lower ends of the tray T and the lower surface of the tray T and moving along the guide rail 431, (Not shown) may be used.

직선순환기구(45)는, 직선이송기구(43)에 의하여 이송되는 트레이(T)를 상측으로 이송하고, 수평방향으로의 직선이동 및 수직방향으로의 직선이동을 수행하면서 트레이(T)를 상하로 순환시킨 후, 다시 직선이송기구(43)로 이송하는 역할을 수행한다.The linear recirculating mechanism 45 transfers the tray T conveyed by the linear conveying mechanism 43 upward while linearly moving the tray T horizontally and linearly in the vertical direction, And then feeds it to the linear feed mechanism 43 again.

이러한 직선순환기구(45)는, 복수의 트레이(T)를 수평으로 직선으로 이송시키도록 상하로 배치되는 복수의 수평이송기구와, 복수의 수평이송기구의 사이에 배치되어, 복수의 트레이(T)를 수직으로 직선으로 이송시키는 복수의 수직이송기구를 포함할 수 있다. 수평이송기구로는, 예를 들면, 수평으로 연장되는 가이드레일(451)과, 트레이(T)의 양단이나 트레이(T)의 하면을 지지하여 가이드레일(451)을 따라 이동하는 지지블럭(미도시)을 포함하는 구성이 사용될 수 있다. 수직이송기구로는, 트레이(T)의 양단이나 트레이(T)의 하면을 지지하는 지지블럭(미도시)과, 지지블럭을 수직방향으로 이동시키는 액추에이터(미도시)를 포함하는 구성이 사용될 수 있다.The linear recirculating mechanism 45 includes a plurality of horizontal conveying mechanisms arranged vertically so as to horizontally and linearly convey the plurality of trays T and a plurality of horizontal traversing mechanisms arranged between the plurality of trays T ) Perpendicular to each other in a straight line. The horizontal transfer mechanism includes a guide rail 451 that extends horizontally and a support block 451 that supports the lower ends of the tray T and the lower surface of the tray T and moves along the guide rail 451 Time) may be used. As the vertical transfer mechanism, there can be used a structure including a support block (not shown) for supporting both ends of the tray T and a lower surface of the tray T and an actuator (not shown) for moving the support block in the vertical direction have.

한편, 도 6에 도시된 바와 같이, 직선이송기구(43)는 복수의 트레이(T)를 단일층상에서 이송시킬 수 있도록 구성될 수 있다. 이와 같은 경우에는, 복수의 트레이(T)가 수평방향으로 이동되면서 직선순환기구(45)에 의하여 가열챔버(41)의 내부에서 순환되고, 소자가 픽업된 후의 빈 트레이(T)는 수평방향으로 이동되면서 로딩부(10)쪽으로 이동한 후 언로딩부(30)로 이동할 수 있다.On the other hand, as shown in Fig. 6, the linear transport mechanism 43 can be configured to transport a plurality of trays T on a single layer. In such a case, the plurality of trays T are circulated in the heating chamber 41 by the linear circulation mechanism 45 while being moved in the horizontal direction, and the empty tray T after the elements are picked up is conveyed in the horizontal direction And moves to the unloading portion 30 after moving to the loading portion 10 while being moved.

또한, 도 7에 도시된 바와 같이, 직선이송기구(43)는 복수의 트레이(T)를 단일층상에서 이송시킬 수 있도록 구성되고, 직선순환기구(45)는 직선이송기구(43)에 의하여 이송된 트레이(T)를 곧바로 수직방향으로 이동시키고, 수평방향 및 수직방향으로 이송하면서 상하로 순환시킨 후, 다시 직선이송기구(43)으로 이송하도록 구성될 수 있다. 이와 같은 경우에는, 복수의 트레이(T)가 수평방향으로 이동되면서 직선순환기구(45)에 의하여 가열챔버(41)의 내부에서 순환되고, 소자가 픽업된 후의 빈 트레이(T)는 수평방향으로 이동되면서 로딩부(10)쪽으로 이동한 후 언로딩부(30)로 이동할 수 있다.7, the linear conveying mechanism 43 is configured to convey a plurality of trays T on a single layer, and the linear recirculating mechanism 45 is configured to be conveyed by the linear conveying mechanism 43 And then conveyed to the straight feed mechanism 43 after circulating the fed tray T in the vertical direction and conveying it in the horizontal direction and the vertical direction. In such a case, the plurality of trays T are circulated in the heating chamber 41 by the linear circulation mechanism 45 while being moved in the horizontal direction, and the empty tray T after the elements are picked up is conveyed in the horizontal direction And moves to the unloading portion 30 after moving to the loading portion 10 while being moved.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경 가능한 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the invention.

10: 로딩부 20: 테스트부
30: 언로딩부 40: 소자가열부
41: 가열챔버 42: 순환장치
43: 직선이송기구 44: 회전기구 10: Loading section 20: Test section
30: unloading portion 40:
41: heating chamber 42: circulation device
43: linear feed mechanism 44: rotating mechanism

Claims

A loading part loading one or more trays on which a plurality of elements are loaded;
A test unit for performing a test on the device transferred from the loading unit;
An unloading unit for classifying devices tested by the test unit according to a test result; And
And an element heating unit disposed between the loading unit and the test unit for heating the element,
The device-
A heating chamber having an accommodation space which is maintained in an atmosphere at a temperature of room temperature or higher; And
And a circulation device for circulating a plurality of trays on which devices are mounted in the heating chamber.

The method according to claim 1,
Wherein the heating chamber is configured to include a circulation path of the plurality of trays and the transporting tool has an opening to pick up the elements loaded on the tray.

The method according to claim 1,
The circulation device includes:
And a rotating mechanism for rotating the plurality of trays about a horizontal axis.

The method according to claim 1,
The circulation device includes:
A straight feed mechanism for linearly feeding the plurality of trays delivered from the loading section; And
And a rotating mechanism provided on a conveying path of the plurality of trays by the linear conveying mechanism and rotating the plurality of trays about a horizontal axis.

The method according to claim 3 or 4,
The rotation mechanism includes:
A rotary shaft rotated about a horizontal axis; And
And a plurality of pick-up modules arranged radially with respect to the rotary shaft and holding the plurality of trays and pivoting about the rotary shaft,
Wherein the plurality of trays pivot about the rotation axis by turning of the plurality of pickup modules while maintaining a horizontal posture.

The method of claim 5,
The pick-
A support portion connected to the rotation shaft;
A hinge shaft provided on the support portion; And
And a grip portion coupled to the hinge shaft so as to be rotatable about the hinge axis and gripping the tray.

The method of claim 6,
And a rotation motor for rotating the hinge shaft is connected to the hinge shaft.

The method of claim 6,
And a heater is installed in the pick-up module.

The method according to claim 3 or 4,
The rotation mechanism includes:
A rotary shaft rotated about a horizontal axis; And
And a plurality of cover members which are disposed radially with respect to the rotation axis, and cover one surface on which the elements of the plurality of trays are stacked and pivot about the rotation axis.

The method of claim 9,
Wherein the cover member is provided with a heater.

The method according to claim 1,
The circulation device includes:
A straight feed mechanism for linearly feeding the plurality of trays delivered from the loading section; And
And a linear recirculating mechanism provided on the conveyance path of the plurality of trays by the linear conveying mechanism for circulating the plurality of trays up and down in a straight line,
The linear recirculating mechanism includes:
A plurality of horizontal transport mechanisms vertically arranged to transport the plurality of trays horizontally and linearly; And
And a plurality of vertical conveying mechanisms arranged between the plurality of horizontal conveying mechanisms for vertically and linearly conveying the plurality of trays.