KR20150005110A

KR20150005110A - Magnetic levitation device, transportation system using the magnetic levitation device, and guide device using the magnetic levitation device

Info

Publication number: KR20150005110A
Application number: KR20130078439A
Authority: KR
Inventors: 진형일; 이성준
Original assignee: 진형일
Priority date: 2013-07-04
Filing date: 2013-07-04
Publication date: 2015-01-14
Also published as: WO2015002484A1

Abstract

Disclosed are a magnetic levitation device, a transportation system using the magnetic levitation device, and a guide device using the magnetic levitation device. The disclosed magnetic levitation device comprises: a first permanent magnet; and a second permanent magnet spaced in a first direction of the first permanent magnet apart from the first permanent magnet. The first and second permanent magnets have mutually facing surfaces which are magnetized to have the same polarity. A distribution area, on which lines of a magnetic force are converged, is formed on one area between the first and second permanent magnets, wherein the lines of a magnetic force are formed by the second permanent magnet. The magnetic levitation device, the transportation system using the magnetic levitation device, and the guide device using the magnetic levitation device are provided to solve conventional problems of controlling the magnetic levitation device in right and left directions.

Description

Technical Field [0001] The present invention relates to a magnetic levitation device, a transfer device using a magnetic levitation device, and a guide device using a magnetic levitation device,

본 개시는 자기부상장치, 자기부상장치를 이용한 이송장치, 및 자기부상장치를 이용한 가이드장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 영구자석을 이용한 자기부상장치, 자기부상장치를 이용한 이송장치, 및 자기부상장치를 이용한 가이드장치에 관한 것이다.The present invention relates to a magnetic levitation apparatus, a transfer apparatus using a magnetic levitation apparatus, and a guide apparatus using a magnetic levitation apparatus, and more particularly to a magnetic levitation apparatus using a permanent magnet, To a guide apparatus using the apparatus.

자기부상장치는 기계적인 접촉 및 마찰 없이 자기력을 이용하여 대상물체를 부상시키는 장치로서, 이를 이송장치에 적용함으로써 대상물체를 무소음, 초청정 이송시스템을 구현할 수 있다.A magnetic levitation device is a device that lifts a target object by using magnetic force without mechanical contact and friction. By applying this to a transfer device, a silent and ultra clean transfer system can be realized.

대상물체를 자기 부상시키는 방법으로서, 영구자석에 의한 반발 또는 흡인부상, 초전도 반발 부상, 유도 와전류에 의한 반발 부상, 자계와 전류의 작용력에 의한 부상 및 전자석에 의한 흡인 부상 등이 있다.As a method for levitating a target object, there are a repulsive or sucking levitated by a permanent magnet, a superconducting rebound levitated, a rebound levitated by an induced eddy current, a levitated by a magnetic field and an electric current, and a suction levitated by an electromagnet.

영구자석에 의한 반발 부상력을 이용한 자기부상장치는, 최근에 부상력이 큰 희토류자석 등이 개발되면서 많은 연구가 이루어지고 있다. 현재 실용화되어 있는 영구자석을 이용한 자기부상장치는 자세유지를 위하여 보조구속기구를 사용하고 있으며, 이러한 보조구속기구로서 주로 안내용 전자석의 능동제어나 롤러 베어링이 이용되고 있다.BACKGROUND ART A magnetic levitation apparatus using a rebound levitation force by a permanent magnet has recently been developed with the development of a rare earth magnet having a large levitation force. A magnetic levitation system using a permanent magnet which is currently in practical use uses an auxiliary restraining mechanism for maintaining the posture, and active control of the electromagnetic electromagnet or a roller bearing is mainly used as the auxiliary restraining mechanism.

영구자석을 이용한 자기부상장치는 많은 장점이 있음에도 불구하고 실용화가 미흡한 편으로, 영구자석에 의한 반발 부상력만을 이용하여 안정적인 자기부상의 실현가능성을 증명한 연구는 있으나, 실제 산업에는 적용되지 못하고 있는 실정이며, 실제산업에서는 부상체에 작용하는 측면력(lateral force)으로 인한 레일이탈을 방지하기 위해 별도의 전자기 방식의 제어기를 설치하거나, 롤러 등으로 기구적인 보완을 하고 있는 실정이다. 이는 종래의 영구자석의 단순배열 또는 이의 결합만을 통해서는 자기부상과 좌우제어를 동시에 할 수 없거나, 동시에 이를 하더라도 그 조건이 매우 민감하기 때문이다. Although a magnetic levitation system using permanent magnets has many advantages, there are studies that demonstrate the feasibility of stable magnetic levitation using only the repulsive levitation force caused by permanent magnets, but they are not applicable to actual industries In the actual industry, a separate electromagnetic type controller is installed in order to prevent a rail deviation due to a lateral force acting on a floating body, or a roller is used to supplement the mechanism. This is because the magnetic levitation and the right and left control can not be simultaneously performed through the simple arrangement of the conventional permanent magnet or the coupling thereof, or even if the magnetic levitation and the left and right control are simultaneously performed, the conditions are very sensitive.

예를 들어, 한국공개특허 제10-2006-0005724호에는 영구자석을 이용한 자기부상장치가 개시되어 있다. 도 1를 참조하면, 종래기술에 따른 자기부상장치는 길이 방향으로 길고 단면이 삼각형인 레일(10)과, 길이 방향으로 길고 단면이 오목한 삼각형인 홈 형상의 이송체(20)를 포함한다. 레일(10)의 외측면(10a, 10b)에는 단면이 직사각형인 영구자석들(11)이 배열되며, 이송체(20)의 내측면(20a, 20b)에도 영구자석들(21)이 배열된 구조를 갖는다. 2개의 영구자석(11, 21)은 동일 극성(예를 들어, N극)으로 착자된 면이 서로 대향되도록 배치된다. 이송체(20)의 오목한 홈은 레일(10)의 돌출 구조에 맞물리고, 이송체(20)는 이들 사이에 배치된 영구자석들(11, 21) 사이에 작용하는 자기적 척력에 의해 부상된다.For example, Korean Patent Laid-Open No. 10-2006-0005724 discloses a magnetic levitation apparatus using permanent magnets. Referring to FIG. 1, a conventional magnetic levitation apparatus includes a rail 10 having a long side and a triangle in cross section, and a groove-shaped transfer member 20 having a long side and a triangular cross-section. Permanent magnets 11 having rectangular cross sections are arranged on the outer surfaces 10a and 10b of the rail 10 and permanent magnets 21 are arranged on the inner surfaces 20a and 20b of the conveying body 20 Structure. The two permanent magnets 11 and 21 are arranged so that the magnetized faces of the same polarity (for example, N pole) are opposed to each other. The concave grooves of the conveying member 20 engage with the projecting structure of the rail 10 and the conveying member 20 is floated by the magnetic repulsive force acting between the permanent magnets 11 and 21 disposed therebetween .

도 2a 내지 도 2c는 단면이 직사각형인 단위 자석이 부양될 때의 움직임을 도시한다. 도 2a를 참조하면, 2개의 영구자석(11, 21)은 서로 대향되는 면이 N극으로 착자된 자극면이 된다. 또한, 영구자석(11, 21)의 측면 역시 모서리 근방은 N극 및 S극으로 착자되어 있다. 자기력선은 영구자석(11, 21)의 자극면에서 수직하며, 폐루프로 형성된다. 따라서, 자기력선은 자극면에서 멀어질수록 발산하는 분포를 갖는다. 또한, 자기력선은 영구자석(11, 21)의 대향되는 자극면의 모서리로 갈수록 급격하게 발산되는 분포를 갖는다. 이러한 자기력선은 자기장 내에서 자기력이 작용하는 방향을 나타내는 선이다. 동일 극성의 자극면들이 대향되는 영구자석들(11, 21) 사이에는 자기적 척력(30)이 작용한다.2A to 2C show the movement when the unit magnet having a rectangular cross section is lifted. Referring to FIG. 2A, the two permanent magnets 11 and 21 are magnetic pole surfaces magnetized to N poles on surfaces facing each other. In addition, the side faces of the permanent magnets 11 and 21 are also magnetized to the N pole and the S pole in the vicinity of the corner. The lines of magnetic force are perpendicular to the pole faces of the permanent magnets 11 and 21 and are formed as closed loops. Therefore, the magnetic force lines have a distribution that diverges as they are farther from the magnetic pole surface. Further, the magnetic line of force has a distribution such that the magnetic flux lines diverge sharply toward the edges of the opposite magnetic pole faces of the permanent magnets 11, 21. These lines of magnetic force are lines representing the direction in which the magnetic force acts in the magnetic field. A magnetic repulsive force 30 acts between the permanent magnets 11 and 21 with the pole faces of the same polarity facing each other.

만일 도 2b에 도시된 바와 같이 이송체(도 1의 20)측의 영구자석(21)이 측면 방향(23)으로 이동하거나 혹은 요동하면서 한쪽 모서리(21a)쪽으로 약간 기울어지게 되면, 자극면의 중심부에 작용하는 자기적 척력(30)과 모서리(21a)에 작용하는 자기적 척력(31)의 크기가 달라지게 되면서 복원력이 작용하는데, 이때 이송체(20)측의 영구자석(21)은 원위치로 복귀하기 보다는 모서리(21a) 근방에서 급격하게 발산되는 자기력선의 분포에 의해 자기력의 방향이 발산되는 방향을 따라 도 2c에 도시된 바와 같이 옆으로 미끄러지면서 회전(24)을 하게 된다. 이 결과, 도 3에 도시되듯이, 종래 기술에 의한 자기부상장치에서 이송체(20)는 측면 방향으로 회전(25)을 하게 되어, 좌우측 방향으로의 제어가 불안정해지게 된다. 2B, if the permanent magnet 21 on the side of the conveying member 20 (see FIG. 1) is slightly inclined toward one corner 21a while moving in the lateral direction 23 or swinging, The permanent magnet 21 on the side of the conveying member 20 returns to its original position when the magnetic repulsive force 30 acting on the conveying member 20 and the magnitude of the magnetic repulsive force 31 acting on the corner 21a are changed. As shown in FIG. 2 (c), the magnetic force is rotated by the distribution of the magnetic force lines abruptly diverging near the corner 21a rather than returning to the side as shown in FIG. 2c. As a result, as shown in FIG. 3, in the magnetic levitation apparatus according to the related art, the conveying member 20 rotates in the lateral direction (25), so that the control in the left and right directions becomes unstable.

이에 본 발명은 종래 기술에 의한 자기부상장치에서 좌우측 ?향의 제어가 불안정하게 이루어지는 문제점을 해결한 자기부상장치, 자기부상장치를 이용한 이송장치, 및 자기부상장치를 이용한 가이드장치를 제공하고자 한다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention is directed to a magnetic levitation device, a transfer device using a magnetic levitation device, and a guide device using a magnetic levitation device, which solve the problem that control of left and right direction is unstably performed in a conventional magnetic levitation device.

본 발명의 한 측면에 따르는 자기부상장치는, 제1 영구자석; 및 상기 제1 영구자석의 제1 방향으로 이격되게 배치되는 제2 영구자석;을 포함하며, 상기 제1 영구자석과 상기 제2 영구자석은 서로 대향되는 면들이 동일 자극으로 착자되며, 상기 제2 영구자석과 상기 제1 영구자석 사이의 일 영역에 상기 제2 영구자석에 의해 형성되는 자기력선이 수렴되는 분포를 가진다.A magnetic levitation apparatus according to an aspect of the present invention includes: a first permanent magnet; And a second permanent magnet spaced apart in a first direction of the first permanent magnet, wherein faces of the first permanent magnet and the second permanent magnet facing each other are magnetized with the same magnetic pole, And a magnetic force line formed by the second permanent magnet is converged in one region between the permanent magnet and the first permanent magnet.

본 발명의 다른 측면에 따르는 자기부상장치에 있어서, 상기 제1 영구자석은 상기 제1 방향으로 돌출되며 상기 제1 방향에 직교하는 길이방향으로 연장되는 첨두면을 가지며, 상기 제2 영구자석은 상기 제1 영구자석에 대향되는 면에 길이방향으로 연장되며 상기 제1 방향으로 오목하게 형성된 오목홈을 가지며, 상기 제1 영구자석의 첨두면과 상기 제2 영구자석의 오목홈을 이루는 내면들은 동일 자극으로 착자될 수 있다. 상기 제1 영구자석과 상기 제2 영구자석 각각은 일체로 형성되어 있을 수 있다. 경우에 따라서는, 상기 제1 영구자석과 상기 제2 영구자석 각각은 복수의 영구자석들을 빈틈없이 결합하여 제조될 수도 있다.In the magnetic levitation apparatus according to another aspect of the present invention, the first permanent magnet has a sloped surface protruding in the first direction and extending in the longitudinal direction orthogonal to the first direction, and the second permanent magnet Wherein the inner surface of the first permanent magnet and the inner surfaces of the second permanent magnet constituting the concave groove of the second permanent magnet have the same magnetic pole . &Lt; / RTI > The first permanent magnet and the second permanent magnet may be integrally formed. In some cases, each of the first permanent magnet and the second permanent magnet may be manufactured by tightly coupling a plurality of permanent magnets.

상기 길이방향에 수직한 횡단면에서 보았을 때, 상기 제2 영구자석의 오목홈을 이루는 내면들의 착자에 의해 발생되는 자기력선은 상기 오목홈의 내부 혹은 입구 근방에서 수렴되는 분포를 가질 수 있다.The magnetic force lines generated by the magnetization of the inner surfaces constituting the concave grooves of the second permanent magnets may have a distribution converging inside or near the entrance of the concave grooves when viewed from a cross section perpendicular to the longitudinal direction.

상기 제1 영구자석의 첨두면은 상기 제2 영구자석의 오목홈을 이루는 내면들의 착자에 의해 발생되는 자기력선이 수렴되는 분포를 갖는 자기력선 수렴영역 내 혹은 자기력선 수렴영역에 인접하게 배치될 수 있다.The apical surface of the first permanent magnet may be disposed in the magnetic flux line converging region or the magnetic flux line converging region having a distribution in which the magnetic flux lines generated by the magnetization of the inner surfaces constituting the concave grooves of the second permanent magnet are converged.

상기 제2 영구자석의 오목홈을 이루는 내면들은 상기 길이방향으로 연장되는 바닥면 및 상기 길이방향으로 연장되는 제1 및 제2 내측면들을 포함하며, 상기 제1 및 제2 내측면들은 상기 제1 영구자석에 대향되는 면에 대해 둔각이거나 직각의 내각으로 경사지게 형성될 수 있다. 이때, 상기 오목홈에 있어서 상기 제1 내측면과 상기 제1 영구자석에 대향되는 면 사이의 내각과 상기 제2 내측면과 상기 제1 내측면과 상기 제1 영구자석에 대향되는 면 사이의 사이의 내각은 서로 같거나 혹은 다를 수 있다.Wherein the inner surfaces constituting the concave grooves of the second permanent magnet include a bottom surface extending in the longitudinal direction and first and second inner surfaces extending in the longitudinal direction, And may be inclined at an obtuse angle with respect to the face facing the permanent magnet or at an internal angle of a right angle. At this time, in the concave groove, an inner angle between the first inner side surface and the surface facing the first permanent magnet, and a gap between the second inner side surface, the first inner side surface and the surface facing the first permanent magnet May be the same or different.

상기 제1 영구자석은 길이방향으로 연장되는 상기 첨두면과 상기 길이방향으로 연장되는 제1 및 제2 외측면들을 포함하며, 상기 제1 및 제2 외측면들은 상기 첨두면에 대해 둔각이거나 직각의 내각으로 경사지게 형성될 수 있다. 이때, 상기 돌출부에 있어서, 상기 첨두면과 상기 제1 외측면 사이의 내각과 상기 첨두면과 상기 제2 외측면 사이의 내각은 서로 같거나 혹은 다를 수 있다.Wherein the first permanent magnet comprises first and second outer surfaces extending in the longitudinal direction and the apical surface extending in the longitudinal direction and the first and second outer surfaces are obtuse or angled with respect to the apex surface, It can be formed obliquely in the cabinet. At this time, in the protruding portion, the inner angle between the apical surface and the first outer surface, and the inner angle between the apical surface and the second outer surface may be equal to or different from each other.

상기 길이방향에 수직한 횡단면에서 보았을 때, 상기 제1 영구자석은 끝단으로 갈수록 폭이 좁아지는 사다리꼴 형상일 수 있다.The first permanent magnet may have a trapezoidal shape in which the width becomes narrower toward the end when viewed from a cross section perpendicular to the longitudinal direction.

상기 길이방향에 수직한 횡단면에서 보았을 때, 상기 제2 영구자석의 오목홈은 깊이 방향으로 갈수록 폭이 좁아지는 오목한 사다리꼴 형상일 수 있다.The concave groove of the second permanent magnet may have a concave trapezoidal shape that becomes narrower in the depth direction when viewed from a cross section perpendicular to the longitudinal direction.

본 발명의 또 다른 측면에 따르는 자기부상장치에 있어서, 상기 제1 영구자석은 상기 제1 방향에 직교하는 제1 평판면을 가지며, 상기 제2 영구자석은 상기 제1 영구자석의 제1 평판면에 이격되어 대향되며 상기 제1 방향에 직교하는 제2 평판면을 가지며, 상기 제1 영구자석의 제1 평판면과 상기 제2 영구자석의 제2 평판면은 동일 극성으로 착자되며, 상기 제1 영구자석의 제1 평판면은 폭 방향으로 중앙에 위치하며 길이 방향으로 길게 연장되는 제1 부분면과 상기 제1 부분면의 양측의 제2 및 제3 부분면들을 포함하며, 상기 제1 부분면에서의 자석 세기가 상기 제2 및 제3 부분면들에서의 자석 세기보다 강하며, 상기 제2 영구자석의 제2 평판면은 폭 방향으로 중앙에 위치하며 길이 방향으로 길게 연장되는 제4 부분면과 상기 제4 부분면의 양측의 제5 및 제6 부분면들을 포함하며, 상기 제4 부분면에서의 자석 세기가 상기 제5 및 제6 부분면들에서의 자석 세기보다 약할 수 있다.In the magnetic levitation apparatus according to another aspect of the present invention, the first permanent magnet has a first flat plate surface orthogonal to the first direction, and the second permanent magnet is disposed on the first flat plate surface of the first permanent magnet Wherein the first flat plate surface of the first permanent magnet and the second flat plate surface of the second permanent magnet are magnetized to have the same polarity, The first flat plate surface of the permanent magnet includes a first partial surface located at the center in the width direction and extending in the longitudinal direction and second and third partial surfaces on both sides of the first partial surface, And the second flat surface of the second permanent magnet is located at the center in the width direction and is elongated in the longitudinal direction, And the fifth and sixth portions on both sides of the fourth partial surface Include quadrants, and may be a magnetic intensity in the fourth surface portion is low than the magnetic intensity at the above-mentioned fifth and sixth surface portion.

상기 길이방향에 수직한 횡단면에서 보았을 때, 상기 제2 영구자석의 제2 평판면의 착자에 의해 발생되는 자기력선은 상기 제2 평판면의 제4 부분면에서 상기 제1 영구자석 방향으로 이격된 위치에서 수렴되는 분포를 가질 수 있다.A line of magnetic force generated by the magnetization of the second flat plate surface of the second permanent magnet as viewed in a transverse section perpendicular to the longitudinal direction is located at a position spaced apart from the fourth partial surface of the second flat plate surface in the direction of the first permanent magnet Lt; / RTI >

상기 제1 영구자석의 제1 평판면의 제1 부분면은 상기 제2 영구자석의 제2 평판면의 착자에 의해 발생되는 자기력선이 수렴되는 분포를 갖는 자기력선 수렴영역 내 혹은 자기력선수렴영역에 인접하게 배치될 수 있다.The first partial surface of the first flat plate surface of the first permanent magnet is located within the magnetic flux line convergence area having the distribution in which the magnetic flux lines generated by the magnetization of the second flat plate surface of the second permanent magnet are converged or adjacent to the magnetic flux line convergence area .

상기 제1 영구자석은 상기 제1 부분면을 포함하는 제1 부분자석과, 상기 제2 부분면을 포함하는 제2 부분자석과, 상기 제3 부분면을 포함하는 제3 부분자석을 포함하며, 상기 제2 영구자석은 상기 제4 부분면을 포함하는 제4 부분자석과, 상기 제5 부분면을 포함하는 제5 부분자석과, 상기 제6 부분면을 포함하는 제6 부분자석을 포함할 수 있다.The first permanent magnet includes a first partial magnet including the first partial surface, a second partial magnet including the second partial surface, and a third partial magnet including the third partial surface, The second permanent magnet may include a fourth partial magnet including the fourth partial surface, a fifth partial magnet including the fifth partial surface, and a sixth partial magnet including the sixth partial surface have.

상기 제1 부분자석과 상기 제2 부분자석의 제1 경계면은 상기 제1 부분자석의 제1 부분면에 대해 둔각이거나 직각의 내각으로 경사지며, 상기 제1 부분자석과 상기 제3 부분자석의 제2 경계면은 상기 제1 부분자석의 제1 부분면에 대해 둔각이거나 직각의 내각으로 경사지게 형성될 수 있다.Wherein the first partial magnet and the second partial magnet are inclined at an obtuse angle or at a right angle to the first partial surface of the first partial magnet, 2 interface may be formed at an obtuse angle with respect to the first partial surface of the first partial magnet or at an oblique internal angle.

상기 제4 부분자석과 상기 제5 부분자석의 제3 경계면은 상기 제4 부분자석의 제4 부분면에 대해 둔각이거나 직각의 내각으로 경사지며, 상기 제4 부분자석과 상기 제6 부분자석의 제4 경계면은 상기 제4 부분자석의 제4 부분면에 대해 둔각이거나 직각의 내각으로 경사지게 형성될 수 있다.Wherein a third boundary surface between the fourth partial magnet and the fifth partial magnet is inclined at an obtuse angle or a right angle to the fourth partial surface of the fourth partial magnet and the third boundary surface between the fourth partial magnet and the sixth partial magnet 4 interface may be formed at an obtuse angle with respect to the fourth partial surface of the fourth partial magnet or at an oblique internal angle.

상기 길이방향에 수직한 횡단면에서 보았을 때, 상기 제1 부분자석은 상기 제1 부분면으로 갈수록 폭이 좁아지는 사다리꼴 형상일 수 있다.The first partial magnet may have a trapezoidal shape that becomes narrower toward the first partial surface when viewed from a cross section perpendicular to the longitudinal direction.

상기 길이방향에 수직한 횡단면에서 보았을 때, 상기 제4 부분자석은 상기 제4 부분면으로 갈수록 폭이 넓어지는 사다리꼴 형상일 수 있다.The fourth partial magnet may have a trapezoidal shape with a wider width toward the fourth partial surface when viewed from a transverse section perpendicular to the longitudinal direction.

상기 길이방향에 수직한 횡단면에서 보았을 때, 상기 제1 및 제4 부분자석은 각각 좌우 대칭적인 형상을 가질 수 있다.The first and fourth partial magnets may have a symmetrical shape when viewed from a cross section perpendicular to the longitudinal direction.

상기 제1 부분자석의 자성체 조성은 상기 제2 및 제3 부분자석들의 자성체 조성과 다를 수 있다. 이 경우, 상기 제1 내지 제3 부분자석은 일체로 성형된 후에 착자되거나 개별적으로 착자된 후 결합될 수 있다. 또는, 상기 제1 내지 제3 부분자석의 자성체 조성은 모두 같으며, 상기 제1 내지 제3 부분자석 각각은 개별적으로 착자된 상태로 결합될 수도 있다.The magnetic composition of the first partial magnet may be different from the magnetic composition of the second and third partial magnets. In this case, the first to third partial magnets may be integrally molded, then magnetized, or individually magnetized and then combined. Alternatively, the magnetic compositions of the first to third partial magnets are all the same, and each of the first to third partial magnets may be individually magnetized.

상기 제2 부분면에서의 자석 세기는 상기 제3 부분면에서의 자석 세기와 같을 수 있으며, 상기 제5 부분면에서의 자석 세기는 상기 제6 부분면에서의 자석 세기와 같을 수 있다.The magnet intensity at the second partial surface may be equal to the magnet intensity at the third partial surface and the magnet intensity at the fifth partial surface may be equal to the magnet intensity at the sixth partial surface.

본 발명의 또 다른 측면에 따르는 자기부상장치에 있어서, 상기 제1 영구자석은 상기 제1 방향에 직교하는 제1 평판면을 가지는 평판형상이며, 상기 제2 영구자석은 상기 제1 영구자석에 대향되는 면에 길이방향으로 연장되며 상기 제1 방향으로 오목하게 형성된 오목홈을 가지며, 상기 제1 영구자석의 제1 평판면과 상기 제2 영구자석의 오목홈을 이루는 내면들은 동일 극성으로 착자되며, 상기 제1 영구자석의 제1 평판면은 폭 방향으로 중앙에 위치하며 길이 방향으로 길게 연장되는 제1 부분면과 상기 제1 부분면의 양측의 제2 및 제3 부분면들을 포함하며, 상기 제1 부분면에서의 자석 세기가 상기 제2 및 제3 부분면들에서의 자석 세기보다 강할 수 있다.In the magnetic levitation apparatus according to another aspect of the present invention, the first permanent magnet is in the form of a flat plate having a first flat plate surface orthogonal to the first direction, and the second permanent magnet is opposed to the first permanent magnet Wherein the first flat surface of the first permanent magnet and the inner surfaces of the second permanent magnet forming the concave groove of the first permanent magnet are magnetized in the same polarity, Wherein the first flat plate surface of the first permanent magnet includes a first partial surface that is located at the center in the width direction and extends in the longitudinal direction and second and third partial surfaces on both sides of the first partial surface, The magnitude of the magnet in one partial plane may be stronger than the magnitude in the second and third partial planes.

상기 제1 영구자석의 제1 평판면은 상기 제2 영구자석의 오목홈을 이루는 내면들의 착자에 의해 발생되는 자기력선이 수렴되는 분포를 갖는 자기력선 수렴영역 내에 배치되거나 혹은 상기 자기력선 수렴영역에 인접하게 배치될 수 있다.Wherein the first flat plate surface of the first permanent magnet is disposed in a magnetic flux line converging region having a distribution in which magnetic flux lines generated by magnetization of inner surfaces constituting concave grooves of the second permanent magnet are converged or disposed adjacent to the magnetic flux line converging region .

상기 제2 영구자석의 오목홈을 이루는 내면들은 상기 길이방향으로 연장되는 바닥면 및 상기 길이방향으로 연장되는 제1 및 제2 내측면들을 포함하며, 상기 제1 및 제2 내측면들은 상기 제1 영구자석에 대향되는 면에 대해 둔각이거나 직각의 내각으로 경사지게 형성될 수 있다.Wherein the inner surfaces constituting the concave grooves of the second permanent magnet include a bottom surface extending in the longitudinal direction and first and second inner surfaces extending in the longitudinal direction, And may be inclined at an obtuse angle with respect to the face facing the permanent magnet or at an internal angle of a right angle.

상기 제1 영구자석은 상기 제1 부분면을 포함하는 제1 부분자석과, 상기 제2 부분면을 포함하는 제2 부분자석과, 상기 제3 부분면을 포함하는 제3 부분자석을 포함할 수 있다.The first permanent magnet may include a first partial magnet including the first partial surface, a second partial magnet including the second partial surface, and a third partial magnet including the third partial surface. have.

상기 길이방향에 수직한 횡단면에서 보았을 때, 상기 제1 부분자석과 상기 제2 영구자석의 오목홈은 각각 좌우 대칭적인 형상을 가질 수 있다.The first partial magnet and the second permanent magnet may have a symmetrical shape when viewed from a cross section perpendicular to the longitudinal direction.

상기 제2 부분면에서의 자석 세기는 상기 제3 부분면에서의 자석 세기와 같을 수 있다.The magnet intensity at the second partial surface may be equal to the magnet intensity at the third partial surface.

본 발명의 또 다른 측면에 따르는 자기부상장치에 있어서, 상기 제1 영구자석은 상기 제1 방향으로 돌출되며 상기 제1 방향에 직교하는 길이방향으로 연장되는 첨두면을 가지며, 상기 제2 영구자석은 상기 제1 방향에 직교하고 상기 제1 영구자석의 첨두면에 대향되는 제2 평판면을 가지는 평판형상이며, 상기 제1 영구자석의 첨두면과 상기 제2 영구자석의 제2 평판면은 동일 극성으로 착자되며, 상기 제2 영구자석의 제2 평판면은 폭 방향으로 중앙에 위치하며 길이 방향으로 길게 연장되는 제4 부분면과 상기 제4 부분면의 양측의 제5 및 제6 부분면들을 포함하며, 상기 제4 부분면에서의 자석 세기가 상기 제5 및 제6 부분면들에서의 자석 세기보다 약할 수 있다.In the magnetic levitation apparatus according to another aspect of the present invention, the first permanent magnet has a sloped surface protruding in the first direction and extending in the longitudinal direction orthogonal to the first direction, and the second permanent magnet And a second flat plate surface orthogonal to the first direction and opposed to a tip surface of the first permanent magnet, wherein the apical surface of the first permanent magnet and the second flat surface of the second permanent magnet have the same polarity And the second flat surface of the second permanent magnet is disposed at the center in the width direction and includes a fourth partial surface extending in the longitudinal direction and fifth and sixth partial surfaces on both sides of the fourth partial surface And the magnet intensity at the fourth partial surface may be weaker than the magnet intensities at the fifth and sixth partial surfaces.

상기 제1 영구자석의 첨두면은 상기 제2 영구자석의 제2 평판면의 착자에 의해 발생되는 자기력선이 수렴되는 분포를 갖는 자기력선 수렴영역 내에 배치되거나 혹은 상기 자기력선 수렴영역에 인접하게 배치될 수 있다.The apical surface of the first permanent magnet may be disposed in the magnetic flux line converging region having a distribution in which the magnetic flux lines generated by the magnetization of the second flat surface of the second permanent magnet are converged or may be disposed adjacent to the magnetic flux line converging region .

상기 제1 영구자석은 길이방향으로 연장되는 상기 첨두면과 상기 길이방향으로 연장되는 제1 및 제2 외측면들을 포함하며, 상기 제1 및 제2 외측면들은 상기 첨두면에 대해 둔각이거나 직각의 내각으로 경사지게 형성될 수 있다.Wherein the first permanent magnet comprises first and second outer surfaces extending in the longitudinal direction and the apical surface extending in the longitudinal direction and the first and second outer surfaces are obtuse or angled with respect to the apex surface, It can be formed obliquely in the cabinet.

상기 제2 영구자석은 상기 제4 부분면을 포함하는 제4 부분자석과, 상기 제5 부분면을 포함하는 제5 부분자석과, 상기 제6 부분면을 포함하는 제6 부분자석을 포함할 수 있다.The second permanent magnet may include a fourth partial magnet including the fourth partial surface, a fifth partial magnet including the fifth partial surface, and a sixth partial magnet including the sixth partial surface have.

상기 제4 부분자석과 상기 제5 부분자석의 제3 경계면은 상기 제4 부분자석의 제4 부분면에 대해 둔각이거나 직각의 내각으로 경사지며, 상기 제4 부분자석과 상기 제6 부분자석의 제4 경계면은 상기 제4 부분자석의 제4 부분면에 대해 둔각이거나 직각의 내각으로 경사질 수 있다.Wherein a third boundary surface between the fourth partial magnet and the fifth partial magnet is inclined at an obtuse angle or a right angle to the fourth partial surface of the fourth partial magnet and the third boundary surface between the fourth partial magnet and the sixth partial magnet 4 interface may be inclined at an obtuse angle or at a right angle to the fourth partial surface of the fourth partial magnet.

상기 길이방향에 수직한 횡단면에서 보았을 때, 상기 제1 영구자석 및 제2 영구자석의 제4 부분자석은 각각 좌우 대칭적인 형상을 가질 수 있다.The fourth permanent magnets of the first permanent magnet and the fourth partial magnet of the second permanent magnet may have a symmetrical shape when viewed from a cross section perpendicular to the longitudinal direction.

상기 제5 부분면에서의 자석 세기는 상기 제6 부분면에서의 자석 세기와 같을 수 있다.The magnet intensity at the fifth partial surface may be equal to the magnet intensity at the sixth partial surface.

상기 길이방향에 수직한 횡단면에서 보았을 때, 상기 제1 및 제2 영구자석은 각각 좌우 대칭적인 자기력선 분포를 가질 수 있다.The first and second permanent magnets may have symmetrical magnetic force line distributions when viewed from a cross section perpendicular to the longitudinal direction.

본 발명의 또 다른 측면에 따르는 자기부상장치에 있어서, 상기 제1 방향은 연직 상방이며, 상기 제2 영구자석은 상기 제1 영구자석의 상방에 위치하여 상기 제1 방향으로의 자기적 척력에 의한 부상력과, 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로의 측면력에 의한 자기적 복원력을 동시에 받는 자기부상체일 수 있다.In the magnetic levitation apparatus according to another aspect of the present invention, the first direction is vertically upward, and the second permanent magnets are positioned above the first permanent magnets and are magnetically repulsive in the first direction A levitation force and a magnetic levitation force that simultaneously receives a magnetic restoring force by a side force in a second direction perpendicular to the first direction.

본 발명의 또 다른 측면에 따르는 자기부상장치에 있어서, 상기 제1 방향은 연직 하방이며, 상기 제1 영구자석은 상기 제2 영구자석의 상방에 위치하여 상기 제1 방향으로의 자기적 척력에 의한 부상력과, 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로의 측면력에 의한 자기적 복원력을 동시에 받는 자기부상체일 수 있다.In the magnetic levitation apparatus according to another aspect of the present invention, the first direction is a vertically downward direction, and the first permanent magnet is located above the second permanent magnet and is magnetically repulsive in the first direction A levitation force and a magnetic levitation force that simultaneously receives a magnetic restoring force by a side force in a second direction perpendicular to the first direction.

본 발명의 또 다른 측면에 따르는 자기부상장치에 있어서, 상기 제1 방향은 수평방향이며, 상기 제1 영구자석과 상기 제2 영구자석은 상기 제1 방향으로 나란히 배치되어 상기 제1 방향으로의 자기적 척력에 의한 측면력을 받을 수 있다.In the magnetic levitation apparatus according to another aspect of the present invention, the first direction is a horizontal direction, and the first permanent magnet and the second permanent magnet are arranged side by side in the first direction, It is possible to receive lateral force by enemy force.

본 발명의 또 다른 측면에 따르는 이송장치는 제1 영구자석 및 상기 제1 영구자석의 제1 방향으로 이격되게 배치되는 제2 영구자석을 포함하며, 상기 제1 영구자석과 상기 제2 영구자석은 서로 대향되는 면들이 동일 자극으로 착자되며, 상기 제2 영구자석과 상기 제1 영구자석 사이의 일 영역에 상기 제2 영구자석에 의해 형성되는 자기력선이 수렴되는 분포를 가지는 자기부상장치를 이용한 이송장치로서, 지지체; 및 상기 지지체의 상부로 자기부상되는 자기부상 이송체;를 포함하며, 상기 자기부상장치의 제1 영구자석 및 제2 영구자석 중 어느 하나는 상기 지지체의 상부에 길이방향으로 길게 연장되어 마련되며, 상기 제1 영구자석 및 상기 제2 영구자석 중 다른 하나는 상기 자기부상 이송체의 하부면에 마련되어, 상기 자기부상 이송체는 상기 지지체에 이격된 상태로 상기 제1 영구자석과 상기 제2 영구자석 사이의 자기적 척력에 의해 수직 방향의 부상력과 수평 방향의 측면 복원력을 동시에 받는다.According to another aspect of the present invention, there is provided a transfer device comprising a first permanent magnet and a second permanent magnet spaced apart in a first direction of the first permanent magnet, wherein the first permanent magnet and the second permanent magnet And a magnetic field generating device for generating a magnetic field by applying a magnetic field generated by the magnetic field generated by the second permanent magnets to a region between the second permanent magnet and the first permanent magnet, A support; And at least one of a first permanent magnet and a second permanent magnet of the magnetic levitation device is provided on an upper portion of the support body so as to be elongated in the longitudinal direction, The other one of the first permanent magnet and the second permanent magnet is provided on the lower surface of the magnetic levitated transfer member, and the magnetic levitated transfer member is separated from the support by the first permanent magnet and the second permanent magnet The vertical lifting force and the lateral lateral restoring force are simultaneously received by the magnetic repulsive force between the two plates.

상기 지지체는 길이방향으로 제1 영구자석이 놓이지 않은 단선부를 더 포함하며, 상기 자기부상 이송체가 상기 단선부를 지날 때 상기 자기부상 이송체의 자기부상을 보조하는 보조자석 모듈이 마련될 수 있다.The support may further include a disconnected portion in which the first permanent magnet is not disposed in the longitudinal direction, and an auxiliary magnet module may be provided to assist the magnetic levitation of the magnetic levitated transfer member when the magnetic levitated transfer member passes the disconnected portion.

상기 보조자석 모듈은, 상기 자기부상 이송체의 상부면에 마련되는 제1 보조자석; 및 상기 자기부상 이송체의 상부면의 상방으로 연장된 지지 프레임과, 상기 자기부상 이송체가 상기 단선부를 지날 때 상기 제1 보조자석과 상방으로 대향되도록 상기 지지 프레임에 마련되는 제2 보조자석을 포함할 수 있다. 상기 제1 보조자석과 제2 보조자석은 상호 대향되는 면이 서로 반대되는 극성으로 착자되어 자기적 인력을 가질 수 있다. 또는 상기 제1 보조자석과 제2 보조자석은 상호 대향되는 면이 서로 같은 극성으로 착자되어 자기적 척력을 가질 수도 있다.The auxiliary magnet module includes: a first auxiliary magnet provided on an upper surface of the magnetic levitated transfer body; And a second auxiliary magnet provided on the support frame so as to face upwardly with respect to the first auxiliary magnet when the magnetic levitation conveyor passes the broken line, can do. The first auxiliary magnet and the second auxiliary magnet may be magnetized in mutually opposite polarities so as to have a magnetic attracting force. Alternatively, the first auxiliary magnet and the second auxiliary magnet may be magnetized in mutually opposite polarities so as to have magnetic repulsive force.

상기 제1 보조자석은 상기 자기부상 이송체의 상부면의 길이방향을 기준으로 한 전단 및 후단에 각각 마련되며, 상기 제2 보조자석은 상기 지지 프레임의 상기 단선부의 시작 직전 및 직후의 위치에 각각 마련될 수 있다.Wherein the first auxiliary magnet is provided at a front end and a rear end with respect to a longitudinal direction of an upper surface of the magnetic levitated conveyance body respectively and the second auxiliary magnet is provided at a position immediately before and immediately after the start of the broken- .

상기 자기부상 이송장치는 반도체 처리장치일 수 있다.The magnetic levitation conveying device may be a semiconductor processing device.

본 발명의 또 다른 측면에 따르는 가이드장치는 제1 영구자석 및 상기 제1 영구자석의 제1 방향으로 이격되게 배치되는 제2 영구자석을 포함하며, 상기 제1 영구자석과 상기 제2 영구자석은 서로 대향되는 면들이 동일 자극으로 착자되며, 상기 제2 영구자석과 상기 제1 영구자석 사이의 일 영역에 상기 제2 영구자석에 의해 형성되는 자기력선이 수렴되는 분포를 가지는 자기부상장치를 이용한 가이드장치로서, 자기 부상되어 길이방향으로 이동가능한 자기부상 이송체; 및 상기 자기부상 이송체의 측면 편향을 방지하는 가이드모듈;을 포함하며, 상기 가이드모듈은 상기 자기부상 이송체의 양 측면에 마련되는 제1 가이드부재들과, 상기 제1 가이드부재들에 대향되어 이격되게 배치되며 길이방향으로 길게 연장되어 형성되는 제2 가이드부재들과, 상기 제2 가이드부재들을 지지하는 지지 프레임을 포함하며, 상기 제1 가이드부재들 및 상기 제2 가이드부재들 중 어느 한 쪽은 상기 자기부상장치의 제1 영구자석이며, 상기 제1 가이드부재들 및 상기 제2 가이드부재들 중 다른 한 쪽은 상기 자기부상장치의 제2 영구자석이며, 상기 자기부상 이송체는 상기 제1 영구자석과 상기 제2 영구자석 사이의 자기적 척력에 의해 상기 자기부상 이송체의 양 측면에 작용하는 수평 방향의 측면력들에 의해 가이드된다. 상기 제1 가이드부재들은 상기 제2 가이드부재들에 대해 하방으로 편심 배치되어 연직 방향의 부상력을 받을 수도 있다. 상기 자기부상 이송체는 별도로 마련되는 영구자석 혹은 전자석에 의해 부상될 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a guide device comprising a first permanent magnet and a second permanent magnet spaced apart in a first direction of the first permanent magnet, wherein the first permanent magnet and the second permanent magnet A guide device using a magnetic levitation device having a distribution in which magnetic force lines formed by the second permanent magnets are converged in one area between the second permanent magnets and the first permanent magnets, A magnetic levitation conveying body magnetically levitated and movable in the longitudinal direction; And a guide module for preventing lateral deflection of the magnetic levitation conveying body, wherein the guide module comprises first guide members provided on both sides of the magnetic levitated conveying member, and first guide members facing the first guide members And a support frame for supporting the second guide members, wherein at least one of the first guide members and the second guide members And the other of the first guide members and the second guide members is a second permanent magnet of the magnetic levitation device, and the magnetic levitated transfer object is the first permanent magnet of the magnetic levitation device, And is guided by horizontal lateral forces acting on both sides of the magnetic levitating transfer body by the magnetic repulsive force between the permanent magnet and the second permanent magnet. The first guide members may be disposed eccentrically downward with respect to the second guide members to receive a lifting force in the vertical direction. The magnetic levitation conveying member may be lifted by a permanent magnet or an electromagnet separately provided.

개시된 실시예들에 의한 자기부상장치는 측방 방향의 제어를 위한 기구적 또는 전자적인 가이드 없이 영구자석만으로 안정된 자기부상을 이루게 할 수 있다. 또한, 개시된 실시예들에 의한 자기부상장치는 자기 부상체의 높낮이 및 중앙으로부터의 이격 등의 조건에 민감하지 않으면서 측면의 제어가 안정적으로 이루어질 수 있다. 나아가, 개시된 실시예들에 의한 자기부상장치는 부상력과 측면 복원력을 모두 영구자석을 이용하여 구현하므로, 그 유지비용이 매우 저렴하다. 또한, 개시된 실시예들에 의한 자기부상장치를 이용하는 자기부상 이송장치는 비접촉추진이 가능한 리니어모터와 결합하여 에너지효율을 향상시킬 뿐 아니라 기존접촉방식에 따른 분진, 마찰열 및 정전기 등의 발생을 억제함으로써 리니어모터의 성능을 크게 향상시킬 수 있다. 또한, 개시된 실시예들에 의한 자기부상장치를 이용하는 자기부상 가이드장치는 요동에 대해 안정적인 가이드를 할 수 있으며, 나아가 자기 부상체쪽의 영구자석을 편심배치함으로서 추가적인 부상력까지 얻을 수 있다.The magnetic levitation apparatus according to the disclosed embodiments can achieve stable magnetic levitation only by permanent magnets without mechanical or electronic guidance for lateral control. Further, the magnetic levitation apparatus according to the disclosed embodiments can be stably controlled without being sensitive to conditions such as the height of the magnetic levitating body and the distance from the center. Furthermore, the magnetic levitation apparatus according to the disclosed embodiments realizes both the levitation force and the lateral restoring force by using permanent magnets, and the maintenance cost is very low. In addition, the magnetic levitation conveying apparatus using the magnetic levitation apparatus according to the disclosed embodiments combines with a linear motor capable of non-contact propulsion, thereby improving energy efficiency and suppressing generation of dust, frictional heat, static electricity, The performance of the linear motor can be greatly improved. Further, the magnetic levitation guide apparatus using the magnetic levitation apparatus according to the disclosed embodiments can provide a stable guide against the rocking motion, and further, the levitation force can be obtained even by eccentrically arranging the permanent magnets on the magnetic levitation body.

도 1은 종래기술에 따른 자기부상장치의 일 예를 도시한다.
도 2a 내지 도 2c는 단위 자석이 부양될 때의 움직임을 도시한다.
도 3은 도 1의 자기부상장치에서 측면 방향으로의 움직임을 도시한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 자기부상장치의 개략적인 사시도이다.
도 5는 도 4의 자기부상장치의 제1 영구자석의 자기력선 분포를 도시한다.
도 6은 도 4의 자기부상장치의 제2 영구자석의 자기력선 분포를 도시한다.
도 7은 도 4의 자기부상장치의 제1 배치에서 자기력의 관계를 도시한다.
도 8은 도 4의 자기부상장치의 제1 배치에서 측면 방향 움직임에 대한 자기력의 관계를 도시한다.
도 9는 도 4의 자기부상장치의 제2 배치에서 자기력의 관계를 도시한다.
도 10은 도 4의 자기부상장치의 제2 배치에서 측면 방향 움직임에 대한 자기력의 관계를 도시한다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 자기부상장치의 개략적인 사시도이다.
도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 자기부상장치의 개략적인 사시도이다.
도 13은 도 12의 자기부상장치의 자기력선 분포를 도시한다.
도 14는 도 12의 자기부상장치의 자기력의 관계를 도시한다.
도 15은 도 12의 자기부상장치의 측면 방향 움직임에 대한 자기력의 관계를 도시한다.
도 16은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 자기부상장치의 개략적인 사시도이다.
도 17은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 자기부상장치의 개략적인 정면도이다.
도 18은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 자기부상장치의 개략적인 정면도이다.
도 19는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 자기부상장치의 개략적인 정면도이다.
도 20은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 자기부상장치의 개략적인 정면도이다.
도 21은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 자기부상장치의 개략적인 정면도이다.
도 22는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 자기부상장치의 개략적인 정면도이다.
도 23은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 자기부상장치의 개략적인 정면도이다.
도 24는 본 발명의 일 실시예에 따른 자기부상장치에서 제2 영구자석의 부상 높이에 따른 부상력 및 측면력을 나타내는 도표이다.
도 25는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 자기부상 이송장치의 개략적인 평면도이다.
도 26은 도 25의 자기부상 이송장치를 I-II선을 따라 본 개략적인 측단면도이다.
도 27은 도 25의 자기부상 이송장치의 개략적인 정면도이다.
도 28은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 자기부상 이송장치의 개략적인 평면도이다.
도 29는 도 29의 자기부상 이송장치를 I-II선을 따라 본 개략적인 측단면도이다.
도 30은 도 29의 자기부상 이송장치의 개략적인 정면도이다.
도 31a 내지 도 31f는 도 29의 자기부상 이송장치의 동작을 설명한다.
도 32는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 자기부상 가이드장치가 적용된 자기부상 이송장치의 개략적인 정면도이다.
도 33은 도 32의 자기부상 이송장치에서 자기부상 가이드장치를 확대한 도면이다.1 shows an example of a magnetic levitation apparatus according to the prior art.
2A to 2C show the movement when the unit magnets are lifted.
Fig. 3 shows lateral movement in the magnetic levitation apparatus of Fig.
4 is a schematic perspective view of a magnetic levitation apparatus according to an embodiment of the present invention.
Fig. 5 shows the distribution of magnetic force lines of the first permanent magnet of the magnetic levitation apparatus of Fig.
Fig. 6 shows the distribution of magnetic force lines of the second permanent magnets of the magnetic levitation apparatus of Fig.
Fig. 7 shows the relationship of the magnetic force in the first arrangement of the magnetic levitation apparatus of Fig.
Fig. 8 shows the relationship of the magnetic force to the lateral movement in the first arrangement of the magnetic levitation apparatus of Fig.
Fig. 9 shows the relationship of magnetic force in the second arrangement of the magnetic levitation apparatus of Fig.
Figure 10 shows the relationship of the magnetic forces to lateral movements in the second arrangement of the magnetic levitation apparatus of Figure 4;
11 is a schematic perspective view of a magnetic levitation apparatus according to another embodiment of the present invention.
12 is a schematic perspective view of a magnetic levitation apparatus according to another embodiment of the present invention.
13 shows the distribution of magnetic force lines of the magnetic levitation apparatus of Fig.
Fig. 14 shows the relationship of the magnetic force of the magnetic levitation apparatus of Fig.
Fig. 15 shows the relationship of the magnetic force to the lateral movement of the magnetic levitation apparatus of Fig.
16 is a schematic perspective view of a magnetic levitation apparatus according to another embodiment of the present invention.
17 is a schematic front view of a magnetic levitation apparatus according to another embodiment of the present invention.
18 is a schematic front view of a magnetic levitation apparatus according to another embodiment of the present invention.
19 is a schematic front view of a magnetic levitation apparatus according to another embodiment of the present invention.
20 is a schematic front view of a magnetic levitation apparatus according to another embodiment of the present invention.
21 is a schematic front view of a magnetic levitation apparatus according to another embodiment of the present invention.
22 is a schematic front view of a magnetic levitation apparatus according to another embodiment of the present invention.
23 is a schematic front view of a magnetic levitation apparatus according to another embodiment of the present invention.
24 is a graph showing the levitation force and the side force according to the flying height of the second permanent magnet in the magnetic levitation apparatus according to the embodiment of the present invention.
25 is a schematic plan view of a magnetic levitation transfer apparatus according to another embodiment of the present invention.
Fig. 26 is a schematic side sectional view of the magnetic levitation conveying apparatus of Fig. 25 taken along line I-II. Fig.
27 is a schematic front view of the magnetic levitation conveying apparatus of Fig.
28 is a schematic plan view of a magnetic levitation conveying apparatus according to another embodiment of the present invention.
29 is a schematic side sectional view of the magnetic levitation conveying apparatus of Fig. 29 taken along line I-II.
30 is a schematic front view of the magnetic levitation conveying apparatus of Fig. 29;
Figs. 31A to 31F explain the operation of the magnetic levitation conveying apparatus of Fig. 29. Fig.
32 is a schematic front view of a magnetic levitation transfer apparatus to which a magnetic levitation guide apparatus according to another embodiment of the present invention is applied.
33 is an enlarged view of the magnetic levitation guide device in the magnetic levitation conveyance device of Fig. 32. Fig.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명한다. 도면에서 동일한 참조부호는 동일한 구성요소를 지칭하며, 각 구성요소의 크기나 두께는 설명의 명료성을 위하여 과장되어 있을 수 있다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, like reference numerals refer to like elements, and the size and thickness of each element may be exaggerated for clarity of explanation.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 자기부상장치(100)의 개략적인 사시도이다. 4 is a schematic perspective view of a magnetic levitation apparatus 100 according to an embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 본 실시예의 자기부상장치(100)는 제1 영구자석(110)과, 제1 영구자석(110)의 상부에 위치하며 자기부상력에 의해 부상되는 제2 영구자석(120)을 포함한다.4, the magnetic levitation apparatus 100 of the present embodiment includes a first permanent magnet 110, a second permanent magnet 120 positioned above the first permanent magnet 110 and floated by magnetic levitation force, ).

제1 영구자석(110)은 제2 영구자석(120)을 자기부상시키는 지지체의 역할을 수행한다. 제1 영구자석(110)은 길이 방향(X축 방향)으로 길게 연장되어 형성된다.The first permanent magnet 110 serves as a support for magnetically floating the second permanent magnet 120. The first permanent magnets 110 are elongated in the longitudinal direction (X-axis direction).

도 5는 제1 영구자석(110)을 길이 방향(X축 방향)에 수직한 횡단면에서 도시한다. 도 5를 참조하면, 길이 방향(X축 방향)에 수직한 횡단면에서 보았을 때, 제1 영구자석(110)은 끝단으로 갈수록 폭이 좁아지는 사다리꼴 형상일 수 있다. 즉, 제1 영구자석(110)은 상방(Z축 방향)으로 돌출된 첨두면(111)과 좌우의 제1 및 제2 외측면(112, 113)을 갖는다. 제1 영구자석(110)의 첨두면(111)의 폭(W1)은 제2 영구자석(120)의 오목홈(124)의 입구의 폭(도 6의 W2)보다 좁게 형성될 수 있다.5 shows the first permanent magnet 110 in a transverse section perpendicular to the longitudinal direction (X-axis direction). Referring to FIG. 5, the first permanent magnet 110 may have a trapezoidal shape, which is narrower toward the end, when viewed in a transverse section perpendicular to the longitudinal direction (X-axis direction). That is, the first permanent magnet 110 has a slope 111 protruding upward (Z-axis direction) and first and second outer sides 112 and 113 on the left and right sides. The width W1 of the apical surface 111 of the first permanent magnet 110 may be smaller than the width W2 of the entrance of the concave groove 124 of the second permanent magnet 120 (W2 in Fig. 6).

좌우의 제1 및 제2 외측면(112, 113)은 첨두면(111)에 대해 둔각으로 경사지게 형성될 수 있다. 즉, 제1 영구자석(110)의 첨두면(111)과 제1 외측면(112) 사이의 내각(θ1)과 첨두면(111)과 제2 외측면(113) 사이의 내각(θ2)은 각각 90도보다 크고 180도 보다 작을 수 있다. The left and right first and second outer sides 112 and 113 may be inclined at an obtuse angle with respect to the apex 111. That is, the internal angle [theta] 1 between the apical surface 111 and the first outer surface 112 of the first permanent magnet 110 and the inner angle [theta] 2 between the apical surface 111 and the second outer surface 113 are Each greater than 90 degrees and less than 180 degrees.

제1 영구자석(110)은 측면 방향(Y축 방향)으로 좌우 대칭일 수 있다. 즉, 제1 영구자석(110)의 첨두면(111)과 제1 외측면(112) 사이의 내각(θ1)과 첨두면(111)과 제2 외측면(113) 사이의 내각(θ2)이 서로 같을 수 있다. The first permanent magnets 110 may be laterally symmetrical in the lateral direction (Y-axis direction). That is, the internal angle [theta] 1 between the extreme surface 111 of the first permanent magnet 110 and the first external surface 112 and the internal angle [theta] 2 between the extreme surface 111 and the second external surface 113 They can be the same.

제1 영구자석(110)은 첨두면(111)이 N극 혹은 S극의 자극면이 되도록 착자된다. 제1 영구자석(110)의 첨두면(111)의 배면(115)은 첨두면(111)의 극성과 반대되는 극성이 된다. 이러한 제1 영구자석(110)은 전술한 형상으로 성형된 후 착자되어 형성될 수 있다. 이하의 설명에서는 예시적으로, 제1 영구자석(110)은, 도면에 도시된 바와 같이, 첨두면(111)이 N극이 되고, 첨두면(111)의 배면(115)이 S극이 되도록 착자된 경우를 기준으로 설명하기로 한다.The first permanent magnet 110 is magnetized so that the apical surface 111 becomes the magnetic pole surface of N pole or S pole. The back surface 115 of the apical surface 111 of the first permanent magnet 110 has a polarity opposite to the polarity of the apical surface 111. [ The first permanent magnet 110 may be formed into a shape described above and then magnetized. In the following description, the first permanent magnet 110 is formed such that the apical face 111 becomes an N pole and the back face 115 of the apex face 111 becomes an S pole, as shown in the drawing The following description will be made on the basis of the case where magnetization is performed.

도 6은 제2 영구자석(120)을 길이 방향(X축 방향)에 수직한 횡단면에서 도시한다. 도 6을 참조하면, 제2 영구자석(120)은 제1 영구자석(도 4의 110)의 연직 상방(+Z축 방향)에 위치하여 연직 상방(+Z축 방향)으로의 자기적 척력에 의한 부상력과, 좌우측 방향(±Y축 방향)으로의 자기적 척력에 의한 측면 복원력을 동시에 받는 자기부상체이다. 제2 영구자석(120)은 제1 및 제2 하면(128, 129)의 사이에 길이 방향(X축 방향)으로 연장되어 형성된 오목홈(124)을 가질 수 있다. 제2 영구자석(120)의 제1 및 제2 하면(128, 129)은 제1 영구자석(110)에 대향되는 면이다. 길이 방향(X축 방향)에 수직한 횡단면에서 보았을 때, 제2 영구자석(120)의 오목홈(124)은 깊이 방향(Z축 방향)으로 갈수록 폭이 좁아지는 오목한 사다리꼴 형상일 수 있다. 즉, 제2 영구자석(120)의 오목홈(124)은, 길이 방향(X축 방향)에 수직한 횡단면에서 보았을 때, 바닥면(121)에서의 폭이 입구 근방의 폭보다 좁게 형성될 수 있다. 6 shows the second permanent magnet 120 in a transverse section perpendicular to the longitudinal direction (X-axis direction). Referring to FIG. 6, the second permanent magnet 120 is positioned vertically (+ Z-axis direction) of the first permanent magnet (110 of FIG. 4) and magnetically repulsive And a side restoring force due to the magnetic repulsive force in the left and right direction (± Y axis direction). The second permanent magnet 120 may have a concave groove 124 extending in the longitudinal direction (X axis direction) between the first and second lower surfaces 128 and 129. The first and second lower surfaces 128 and 129 of the second permanent magnet 120 are surfaces opposed to the first permanent magnet 110. The concave groove 124 of the second permanent magnet 120 may have a concave trapezoidal shape that becomes narrower in the depth direction (Z-axis direction) when viewed from a cross section perpendicular to the longitudinal direction (X-axis direction). That is, the concave groove 124 of the second permanent magnet 120 can be formed so that the width of the concave groove 124 of the second permanent magnet 120 is narrower than the width of the bottom surface 121 in the vicinity of the inlet when viewed from a cross section perpendicular to the longitudinal direction have.

제2 영구자석(120)은 오목하게 들어간 바닥면(121)과 좌우의 제1 및 제2 내측면(122, 123)을 갖는다. 좌우의 제1 및 제2 내측면(122, 123)은 오목홈(124)이 형성된 제1 및 제2 하면(128, 129)에 대해 둔각으로 경사지게 형성될 수 있다. 즉, 제2 영구자석(120)의 제1 하면(128)과 제1 내측면(122) 사이의 내각(θ3)과 제2 영구자석(120)의 제2 하면(129)과 제2 외측면(123) 사이의 내각(θ4)은 각각 90도보다 크고 180도 보다 작을 수 있다. 제2 영구자석(120)의 오목홈(124)은 측면 방향(Y축 방향)으로 좌우 대칭일 수 있다. 즉, 제1 하면(128)과 제1 내측면(122) 사이의 내각(θ3)과 제2 하면(129)과 제2 외측면(123) 사이의 내각(θ4)이 서로 같을 수 있다. 물론, 본 발명은 제1 하면(128)과 제1 내측면(122) 사이의 내각(θ3)과 제2 하면(129)과 제2 내측면(123) 사이의 내각(θ4)이 다른 경우를 배제하지는 않는다.The second permanent magnet 120 has a concave bottom surface 121 and left and right first and second inner surfaces 122, 123. The left and right first and second inner sides 122 and 123 may be formed obliquely at an obtuse angle with respect to the first and second lower surfaces 128 and 129 where the concave groove 124 is formed. 3 between the first lower surface 128 of the second permanent magnet 120 and the first inner surface 122 and the second lower surface 129 of the second permanent magnet 120 and the second outer surface 122 of the second permanent magnet 120, The inner angle [theta] 4 between the inner circumferential surface 123 and the inner circumferential surface 123 may be greater than 90 degrees and smaller than 180 degrees, respectively. The concave groove 124 of the second permanent magnet 120 may be laterally symmetrical in the lateral direction (Y-axis direction). That is, the internal angle? 3 between the first bottom surface 128 and the first inside surface 122 and the internal angle? 4 between the second bottom surface 129 and the second outside surface 123 may be equal to each other. Of course, the present invention is applicable to a case where the internal angle? 3 between the first bottom surface 128 and the first inside surface 122 and the internal angle? 4 between the second bottom surface 129 and the second inside surface 123 are different from each other It is not excluded.

제2 영구자석(120)의 오목홈(124)의 내면들, 즉 바닥면(121)과 제1 및 제2 내측면(122, 123)은 제1 영구자석(110)의 첨두면(111)의 극성과 동일형으로 착자된다. 나아가, 제2 영구자석(120)의 제1 및 제2 면(128, 129) 역시 제1 영구자석(110)의 첨두면(111)의 극성과 동일형으로 착자될 수 있다. 제2 영구자석(120)의 오목홈(124)이 형성된 제1 및 제2 면(128, 129)의 배면(125)은 오목홈(124)의 내면들(121, 122, 123)의 극성과 반대의 극성이 된다. 이러한 제2 영구자석(120)은 전술한 형상으로 성형된 후 착자되어 일체로 형성될 수 있다. 경우에 따라서, 제2 영구자석(120)은 복수의 조각들이 먼저 자성성형된 후 빈틈없이 접착함으로써 형성될 수도 있다. 전술한 바와 같이, 제1 영구자석(110)의 첨두면(111)이 N극이 된 경우, 제2 영구자석(120)은 오목홈(124)의 내면들(121, 122, 123)은 N극이 되고, 배면(125)이 S극이 되도록 착자될 수 있다. 물론, 제1 영구자석(110)의 첨두면(111)이 S극이 되고, 제2 영구자석(120)의 오목홈(124)의 내면들(121, 122, 123)이 S극이 될 수도 있다.The inner surface of the concave groove 124 of the second permanent magnet 120, that is, the bottom surface 121 and the first and second inner surfaces 122 and 123, And is magnetized in the same shape as the polarity of Further, the first and second surfaces 128 and 129 of the second permanent magnet 120 may be magnetized in the same manner as the polarity of the apical surface 111 of the first permanent magnet 110. The back surface 125 of the first and second surfaces 128 and 129 on which the concave grooves 124 of the second permanent magnet 120 are formed has the polarities of the inner surfaces 121, 122, and 123 of the concave grooves 124 The opposite polarity. The second permanent magnets 120 may be formed into a shape described above and then magnetized to be integrally formed. Optionally, the second permanent magnet 120 may be formed by bonding the plurality of pieces magnetically first and then gluing them. The inner faces 121, 122 and 123 of the concave groove 124 of the second permanent magnet 120 are arranged in the N faces of the first permanent magnet 110 as N poles, Pole, and the back surface 125 becomes the S pole. Of course, the apical face 111 of the first permanent magnet 110 becomes the S pole, and the inner faces 121, 122, 123 of the concave groove 124 of the second permanent magnet 120 may become the S pole have.

다음으로, 본 실시예의 자기부상장치의 동작에 대해 설명한다.Next, the operation of the magnetic levitation apparatus of this embodiment will be described.

도 5는 제1 영구자석(110)의 자기력선(B)의 분포를 길이 방향(X축 방향)에 수직한 횡단면에서 도시한다. 도 5를 참조하면, 제1 영구자석(110)의 첨두면(111)이 N극으로 착자되어 있는 바, 첨두면(111)에서 발생되는 자기력선(B)은 연직 상방(+Z축 방향)으로 향하며 좌우측 방향(±Y축 방향)으로 발산되는 분포를 갖는다. 도시되지는 않았으나, 제1 영구자석(110)의 첨두면(111)에서 발생되는 자기력선(B)은 제1 영구자석(110)의 배면(115)으로 돌아가 폐루프를 이룬다.5 shows the distribution of the magnetic force lines B of the first permanent magnets 110 in a transverse section perpendicular to the longitudinal direction (X-axis direction). 5, the apical surface 111 of the first permanent magnet 110 is magnetized to the N pole, and the magnetic force line B generated from the apex surface 111 is vertically upward (+ Z-axis direction) (In the + -Y-axis direction). Although not shown in the drawing, the magnetic line of force B generated from the apical surface 111 of the first permanent magnet 110 returns to the back surface 115 of the first permanent magnet 110 to form a closed loop.

도 6은 본 실시예의 제2 영구자석(120)의 자기력선(B)의 분포를 길이 방향(X축 방향)에 수직한 횡단면에서 도시한다. 도 6을 참조하면, 제2 영구자석(120)의 오목홈(124)을 이루는 내면들(121, 122, 123)이 N극으로 착자되어 있는 바, 내면들(121, 122, 123)에서 발생되는 자기력선(B)은 오목홈(124)의 내부 혹은 입구 근방에서 수렴되는 분포를 갖는다. 즉, 오목홈(124)을 이루는 내면들(121, 122, 123)이 동일 극성(N극)의 자극면이 됨에 따라, 오목홈(124)을 이루는 내면들(121, 122, 123)에서 수직하게 방출되는 자기력선(B)은 오목홈(124)의 입구 근방에서 수렴된 후 오목홈(124)의 외부로 나가게 된다. 오목홈(124)의 표면적(즉, 바닥면(121)과 제1 및 제2 내측면들(122, 123)의 면적)은 오목홈(124)의 입구의 단면적보다 크므로, 오목홈(124)의 입구 근방에서 단위면적당 자기력선(B)의 수, 즉 자속밀도가 조밀해진다. 이에 따라, 자기력선이 수렴되는 영역(이하, 자기력선 수렴영역)(126)은 오목홈(124)의 내부 혹은 입구 근방에 위치할 수 있게 된다. 이와 같은 자기력선 수렴영역(126)은, 오목홈(124)의 바닥면(121)에서의 자기력선(B)이 비록 발산되는 분포를 갖더라도 좌우측 제1 및 제2 내측면(122, 123)에서 방출되는 자기력선(B)이 오목홈(124)의 중앙 부분을 향하므로, 이들의 벡터합에 의해 형성되는 것으로 이해될 수도 있다. 제2 영구자석(120)의 자기력선 수렴영역(126)은 후술하는 바와 같이 측면 제어의 안정성을 확보할 수 있게 한다.6 shows the distribution of the magnetic force lines B of the second permanent magnets 120 of the present embodiment in a transverse section perpendicular to the longitudinal direction (X-axis direction). 6, inner surfaces 121, 122, and 123 forming the concave grooves 124 of the second permanent magnet 120 are magnetized in N poles, and are generated in the inner surfaces 121, 122, and 123 The magnetic line of force B has a distribution converging inside the concave groove 124 or near the entrance. That is, since the inner surfaces 121, 122 and 123 of the concave groove 124 become the same polarity (N pole) magnetic pole surfaces, the inner surfaces 121, 122 and 123 forming the concave grooves 124 are perpendicular The magnetic force lines B emitted to the outside of the concave groove 124 are converged in the vicinity of the entrance of the concave groove 124 and then out of the concave groove 124. Since the surface area of the concave groove 124 (i.e., the area of the bottom surface 121 and the first and second inner sides 122 and 123) is larger than the sectional area of the inlet of the concave groove 124, The magnetic flux lines B per unit area, that is, the magnetic flux density becomes dense. Thus, the region where the magnetic field lines converge (hereinafter, the magnetic field lines converging region) 126 can be located inside the concave groove 124 or in the vicinity of the entrance. The magnetic line of force converging region 126 is formed in such a manner that the magnetic lines of force B on the bottom surface 121 of the concave groove 124 are emitted from the left and right first and second inner sides 122 and 123 The magnetic force lines B are directed toward the center portion of the concave groove 124 and may be understood to be formed by their vector sum. The magnetic flux line convergence region 126 of the second permanent magnet 120 makes it possible to secure the stability of the side control as described later.

오목홈(124)을 이루는 내면들(121, 122, 123) 중에 일부 영역에 S극(즉, 자기력선(B)이 들어가는 자극)이 형성되더라도, 오목홈(124)을 이루는 내면들(121, 122, 123)에서 방출되는 자기력선(B)의 대부분이 오목홈(124)의 입구를 통해 외부로 나가게 된다면, 자기력선은 여전히 수렴되는 영역이 오목홈(124)의 입구 근방에 있게 된다. 따라서, 본 실시예에서, 오목홈(124)을 이루는 내면들(121, 122, 123) 중에 일부 영역이 국소적으로 다른 극성을 띄는 것을 배제하지는 않다. Even if the S pole (that is, a magnetic pole in which the magnetic line of force B enters) is formed in a part of the inner surfaces 121, 122 and 123 of the concave groove 124, the inner surfaces 121 and 122 The magnetic field lines are still converged in the vicinity of the entrance of the concave groove 124 if most of the magnetic field lines B emitted from the concave grooves 124 and 123 pass out through the entrance of the concave groove 124. Therefore, in this embodiment, it is not excluded that some of the inner surfaces 121, 122, and 123 forming the concave groove 124 have locally different polarities.

이러한 자기력선 수렴영역(126)의 형성 위치는 오목홈(124)을 이루는 내면들(121, 122, 123)에 착자된 자극의 세기나, 제1 및 제2 내측면들(122, 123)의 경사각도(θ3, θ4) 등에 따라 달라질 수 있다. 또한, 제1 및 제2 내측면들(122, 123)의 경사각도(θ3, θ4)는 서로 다르게 설계되어, 수렴영역(126)이 오목홈(124)의 중앙에서 일측으로 편심되게 형성되도록 할 수도 있다.The position of the magnetic line of force convergence region 126 is formed by the intensity of the magnetic poles magnetized on the inner surfaces 121, 122 and 123 of the concave groove 124 and the intensity of the magnetic field generated by the inclination angle of the first and second inner surfaces 122 and 123 (? 3,? 4), and the like. The inclination angles? 3 and? 4 of the first and second inner faces 122 and 123 are designed to be different from each other so that the convergence region 126 is eccentrically formed to one side from the center of the concave groove 124 It is possible.

본 실시예에서 '수렴한다'는 용어는 제2 영구자석(120)의 오목홈(124)을 이루는 내면들(121, 122, 123) 및 제1 영구자석(110)의 첨두면(111)이 모두 N극으로 착자된 경우(즉, 자기력선(B)이 오목홈(124)에서 외부로 나가는 경우)를 기준으로 사용된 것이다. 만일, 제2 영구자석(120)의 오목홈(124)의 내면들(121, 122, 123) 및 제1 영구자석(110)의 첨두면(111)이 모두 S극으로 착자된 경우(즉, 자기력선(B)이 오목홈(124)의 외부에서 내부로 들어오는 경우), S극의 정의상 자기력선의 방향은 전술한 설명의 방향과 반대가 되나, 제1 영구자석(110)과 제2 영구자석(120) 사이의 자기력은 어느 경우에나 척력으로 작용한다는 점에서, 동일한 힘의 방향(역선)(力線)을 가지므로, 제2 영구자석(120)의 오목홈(124)을 이루는 내면들(121, 122, 123) 및 제1 영구자석(110)의 첨두면(111)이 모두 N극으로 착자된 경우와 실질적으로 동일한 자기력선 분포로 이해될 수 있다. 따라서, 본 명세서는, 당해 분야의 기술자에게 의미상 혼동이 없는 범위 내에서, 제2 영구자석(120)의 오목홈(124)의 내면들(121, 122, 123)이 S극으로 착자된 경우에도 N극으로 착자된 경우의 자기력선 수렴영역(126)의 위치와 동일한 위치에서 자기력선 수렴영역을 갖는 것으로 기술하기로 한다.The term 'converge' in this embodiment means that the inner surfaces 121, 122 and 123 of the concave groove 124 of the second permanent magnet 120 and the apex surfaces 111 of the first permanent magnet 110 (That is, when the magnetic force line B goes out from the concave groove 124). If the inner surfaces 121, 122 and 123 of the concave groove 124 of the second permanent magnet 120 and the apical surface 111 of the first permanent magnet 110 are both magnetized to the S pole (that is, The direction of the magnetic line of force is opposite to the direction of the above description but the first permanent magnet 110 and the second permanent magnet (the magnetic field line B) Since the magnetic force between the first permanent magnet 120 and the second permanent magnet 120 acts as a repulsive force in any case and has the same direction of force , 122 and 123 and the apical surface 111 of the first permanent magnet 110 are all magnetized to N poles. Therefore, in the present specification, when the inner surfaces 121, 122, and 123 of the concave groove 124 of the second permanent magnet 120 are magnetized to the S pole within the range of no sense confusion to the skilled artisan And has a magnetic field line convergence region at the same position as the position of the magnetic field line convergence region 126 in the case of being magnetized to the N pole.

도 7은 본 실시예의 자기부상장치(100)의 제1 배치에서 자기력의 관계를 도시한다. 제1 배치는 제1 영구자석(110)의 첨두면(111)이 제2 영구자석(120)의 오목홈(124) 내부에 위치하는 경우이다. 7 shows the relationship of the magnetic force in the first arrangement of the magnetic levitation apparatus 100 of this embodiment. The first arrangement is a case in which the apical face 111 of the first permanent magnet 110 is located inside the recessed groove 124 of the second permanent magnet 120.

도 7을 참조하면, 제2 영구자석(120)은 제1 영구자석(110)과의 자기적 척력에 의한 부상력(131)에 의하여 부상된다. 제2 영구자석(120)의 부상 평형위치는 제1 영구자석(110)의 첨두면(111)이 제2 영구자석(120)의 오목홈(124)의 내부에 위치하도록 설계될 수 있다. 이러한 제2 영구자석(120)의 부상 평형위치는 부상력(131)과 제2 영구자석(120)의 무게의 힘의 평형이 이루어지는 위치에서 결정될 수 있다. Referring to FIG. 7, the second permanent magnet 120 is lifted by the levitation force 131 due to the magnetic repulsive force with the first permanent magnet 110. The floating position of the second permanent magnet 120 may be designed such that the apex 111 of the first permanent magnet 110 is located inside the concave groove 124 of the second permanent magnet 120. The floating position of the second permanent magnet 120 may be determined at a position where the balance of the forces of the levitation force 131 and the weight of the second permanent magnet 120 is balanced.

한편, 제2 영구자석(120)의 자기력선 수렴영역(126) 역시 오목홈(124)의 내부에 위치하도록 설계될 수 있다. 나아가, 제1 영구자석(110)의 첨두면(111)이 자기력선 수렴영역(126) 내에 위치하도록 제2 영구자석(120)의 부상 평형위치가 설계될 수 있다.The magnetic flux line converging region 126 of the second permanent magnet 120 may also be designed to be located inside the concave groove 124. Further, the floating-balance position of the second permanent magnet 120 can be designed so that the apical surface 111 of the first permanent magnet 110 is located in the magnetic-flux-converging region 126. [

제2 영구자석(120)의 제1 및 제2 내측면(122, 123) 역시 제1 영구자석(110)의 첨두면(111)의 극성과 동일한 극성으로 착자되어 있으므로, 제1 영구자석(110)에 대하여 제2 영구자석(120)은 부상된 상태에서 측면 반발력(132, 133)을 받게 된다. 이러한 측면 반발력(132, 133)은 제2 영구자석(120)의 좌우측 방향으로의 움직임을 억제하는 측면 복원력으로 작용한다.Since the first and second inner surfaces 122 and 123 of the second permanent magnet 120 are also magnetized in the same polarity as the polarity of the apical surface 111 of the first permanent magnet 110, The second permanent magnets 120 are subjected to the lateral repulsive forces 132 and 133 in a floating state. These lateral repulsive forces 132 and 133 act as lateral restoring forces to suppress the movement of the second permanent magnets 120 in the left and right directions.

가령, 도 8에 도시된 것처럼, 제2 영구자석(120)이 수평 방향의 평형위치(좌우 대칭적인 구조에서, 제1 영구자석(110)의 중심선(116))를 기준으로 좌측 방향(-Y축 방향)으로 편향되게 되면, 제1 영구자석(110)의 제1 외측면(112)과 제2 영구자석(120)의 제1 내측면(122) 사이의 거리가 제1 영구자석(110)의 제2 외측면(113)과 제2 영구자석(120)의 제2 내측면(123) 사이의 거리보다 가깝게 되며, 이에 따라 제2 영구자석(120)을 우측 방향(+Y축 방향)으로 밀치는 우측 측면 반발력(132')이 제2 영구자석(120)을 좌측 방향(-Y축 방향)으로 밀치는 좌측 측면 반발력(133')보다 크게 되어, 우측 방향(+Y축 방향)으로의 측면 복원력(127)이 발생된다. 이와 같이 제2 영구자석(120)이 좌우 평형위치를 기준으로 좌우측 방향(±Y축 방향)으로 움직이게 되면, 제1 영구자석(110)과 제2 영구자석(120) 사이에 작용하는 좌우 측면 반발력(132', 133')이 변동되면서, 제2 영구자석(120)이 좌우 평형위치로 복귀하는 측면 복원력(127)을 받게 된다. 마찬가지로, 제2 영구자석(120)이 연직 방향(±Z축 방향)으로 움직이게 되면 부상력(131')이 변동되며, 이에 따라 제2 영구자석(120)이 부상 평형위치로 복귀하는 힘을 받게 된다.8, the second permanent magnet 120 is moved in the leftward direction (-Y) with respect to the horizontal balanced position (in the left-right symmetrical structure, the center line 116 of the first permanent magnet 110) The distance between the first outer side surface 112 of the first permanent magnet 110 and the first inner side surface 122 of the second permanent magnet 120 is larger than the distance between the first permanent magnet 110 and the second permanent magnet 120, The second permanent magnet 120 is brought close to the second outer surface 113 of the first permanent magnet 120 and the second inner surface 123 of the second permanent magnet 120 so that the second permanent magnet 120 is moved in the right direction The right side lateral repulsion force 132 'is greater than the left lateral repulsion force 133' pushing the second permanent magnet 120 in the left direction (-Y axis direction), and the right side lateral repulsion force 132 ' A lateral restoring force 127 is generated. When the second permanent magnet 120 moves in the left and right directions (± Y axis direction) with respect to the left and right balanced positions, the left and right side repulsive forces acting between the first permanent magnet 110 and the second permanent magnet 120 The second permanent magnets 120 receive the side restoring force 127 that returns to the left and right equilibrium positions while the first and second permanent magnets 132 'and 133' are changed. Similarly, when the second permanent magnet 120 moves in the vertical direction (± Z-axis direction), the levitation force 131 'varies, and accordingly, the second permanent magnet 120 is subjected to the force of returning to the floating- do.

제1 영구자석(110)과 제2 영구자석(120) 사이의 자기적 척력은 제2 영구자석(120)에 의한 자기장에 놓인 제1 영구자석(110)이 받는 자기력으로 이해될 수 있으며, 이는 제2 영구자석(120)에 의한 자기력선의 제1 영구자석(110)(특히, 첨두면(111))이 놓인 경계영역에서의 적분합으로 구해질 수 있다. 도 2a 내지 도 2b를 참조하여 설명한 종래기술에서 언급되었던 모서리쪽에서의 급격한 발산에 의해 측면 제어의 불안정한 것과 비교하여, 본 실시예의 경우 제2 영구자석(120)에 의한 자기력선은 오목홈(124) 근방에서 수렴되는 방향을 가지므로, 제2 영구자석(120)은 좌우 편향에 대해 수렴되는 방향으로 측면 복원력(127)을 받게 되므로, 후술하는 바와 같이 본 실시예의 자기부상장치(100)를 이송장치로 이용할 경우 안정적으로 측면 제어될 수 있을 것이다.The magnetic repulsive force between the first permanent magnet 110 and the second permanent magnet 120 can be understood as the magnetic force received by the first permanent magnet 110 placed on the magnetic field by the second permanent magnet 120, Can be obtained by integrating the magnetic field lines of the first permanent magnets 110 by the second permanent magnets 120 (in particular, the apical surfaces 111). In contrast to the unstable side control caused by the sudden divergence at the corner side described in the prior art described with reference to Figs. 2A and 2B, in the present embodiment, the magnetic force lines by the second permanent magnet 120 are located near the concave groove 124 The second permanent magnet 120 receives the lateral restoring force 127 in the direction converging to the right and left deflection. Therefore, the magnetic levitation apparatus 100 of the present embodiment can be applied to the transfer device If used, it can be stably lateralized.

제1 배치는 제1 영구자석(110)의 첨두면(111)이 제2 영구자석(120)의 오목홈(124)의 내부에 위치하는 경우이다. 따라서, 제1 영구자석(110)의 돌출 구조가 제2 영구자석(120)의 좌우측 방향(±Y축 방향)의 움직임을 구속하는 물리적인 구조물로서 작용할 수 있다.The first arrangement is a case where the apical surface 111 of the first permanent magnet 110 is located inside the concave groove 124 of the second permanent magnet 120. [ Therefore, the protruding structure of the first permanent magnet 110 can act as a physical structure for restricting the movement in the left-right direction (占 axis direction) of the second permanent magnet 120. [

도 9는 본 실시예의 자기부상장치(100)의 제2 배치에서 자기력의 관계를 도시한다. 제2 배치에서 제1 영구자석(110)의 첨두면(111)이 제2 영구자석(120)의 오목홈(124) 입구 외측에 위치한다. 이러한 제2 배치는 제2 영구자석(120)의 수렴영역(126)이 오목홈(124)의 입구 근방, 특히 오목홈(124)의 입구 외측에 형성된 경우이다. 전술한 바와 같이 수렴영역(126)의 형성 위치는 오목홈(124)을 이루는 내면들(121, 122, 123)에 착자된 자극의 세기나, 오목홈(124)의 형상에 따라 결정될 수 있다. 9 shows the relationship of the magnetic force in the second arrangement of the magnetic levitation apparatus 100 of this embodiment. In the second arrangement, the apical surface 111 of the first permanent magnet 110 is located outside the entrance of the concave groove 124 of the second permanent magnet 120. This second arrangement is the case where the converging region 126 of the second permanent magnet 120 is formed near the entrance of the concave groove 124, in particular, outside the entrance of the concave groove 124. The formation position of the converging region 126 may be determined according to the strength of the magnetic poles magnetized on the inner surfaces 121, 122 and 123 forming the concave grooves 124 and the shape of the concave grooves 124 as described above.

도 9을 참조하면, 수렴영역(126)이 오목홈(124)의 입구 외측에 형성됨에 따라, 제2 영구자석(120)의 부상 평형위치는 제1 영구자석(110)의 첨두면(111)이 제2 영구자석(120)의 오목홈(124)의 입구 외측에 위치하도록 설계될 수 있다. 이러한 제2 영구자석(120)의 부상 평형위치는 부상력(134)과 제2 영구자석(120)의 무게의 힘의 평형이 이루어지는 위치에서 결정될 수 있다.9, the convergence region 126 is formed outside the entrance of the concave groove 124, so that the floating equilibrium position of the second permanent magnet 120 is the same as that of the apex 111 of the first permanent magnet 110, Can be designed to be located outside the entrance of the concave groove 124 of the second permanent magnet 120. [ The floating position of the second permanent magnet 120 may be determined at a position where a balance of the force of the levitation force 134 and the force of the weight of the second permanent magnet 120 is achieved.

한편, 제2 영구자석(120)의 오목홈(124)에 인접한 면(128)과 오목홈(124)의 제1 및 제2 내측면(122, 123) 역시 제1 영구자석(110)의 첨두면(111)의 극성과 동일한 극성으로 착자되어 있으므로, 제1 영구자석(110)에 대하여 제2 영구자석(120)은 부상된 상태에서 측면 반발력(135, 136)을 받게 된다. 이러한 측면 반발력(135, 136)은 제2 영구자석(120)이 좌우측 방향(±Y축 방향)으로의 움직임을 억제하는 측면 복원력(도 10의 127)으로 작용한다.The surfaces 128 adjacent to the concave grooves 124 of the second permanent magnets 120 and the first and second inner surfaces 122 and 123 of the concave grooves 124 are also connected to the first permanent magnets 110 The second permanent magnets 120 are subjected to the lateral repulsive forces 135 and 136 in a floating state with respect to the first permanent magnets 110 because they are magnetized in the same polarity as that of the two faces 111. [ These lateral repulsive forces 135 and 136 act as lateral restoring force (127 in Fig. 10) which suppresses the movement of the second permanent magnet 120 in the left and right directions (占 axis directions).

가령, 도 10에 도시된 것처럼, 제2 영구자석(120)이 제1 영구자석(110)의 중심선(116)을 기준으로 좌측 방향(-Y축 방향)으로 편향되게 되면, 제2 영구자석(120)을 우측 방향(+Y축 방향)으로 밀치는 우측 측면 반발력(135')이 제2 영구자석(120)을 좌측 방향(-Y축 방향)으로 밀치는 좌측 측면 반발력(136')보다 크게 되어, 우측 방향(+Y축 방향)으로의 측면 복원력(127)이 발생된다. 이와 같이 제2 영구자석(120)이 제1 영구자석(110)의 중심선(116)을 기준으로 좌우측 방향(±Y축 방향)으로 움직이게 되면, 제1 영구자석(110)과 제2 영구자석(120) 사이에 작용하는 좌우 측면 반발력(135', 136')이 변동되면서, 제2 영구자석(120)이 좌우 평형위치로 복귀하는 측면 복귀력(127)을 받게 된다. 마찬가지로, 제2 영구자석(120)이 연직 방향(±Z축 방향)으로 움직이게 되면 부상력(134')이 변동되며, 이에 따라 제2 영구자석(120)이 부상 평형위치로 복귀하는 힘을 받게 된다.10, when the second permanent magnet 120 is deflected in the left direction (-Y axis direction) with respect to the center line 116 of the first permanent magnet 110, the second permanent magnet 120 The right side reaction force 135 'that pushes the second permanent magnet 120 in the right direction (+ Y axis direction) is larger than the left side reaction force 136' that pushes the second permanent magnet 120 in the left direction (-Y axis direction) And the side restitution force 127 in the rightward direction (+ Y-axis direction) is generated. When the second permanent magnet 120 moves in the left-right direction (± Y-axis direction) with respect to the center line 116 of the first permanent magnet 110, the first permanent magnet 110 and the second permanent magnet The second permanent magnets 120 receive the lateral return force 127 returning to the left and right equilibrium position while the left and right side repulsive forces 135 'and 136' acting between the first and second permanent magnets 120 and 120 are changed. Similarly, when the second permanent magnet 120 moves in the vertical direction (± Z-axis direction), the levitation force 134 'varies, and accordingly, the second permanent magnet 120 is subjected to the force of returning to the floating- do.

제2 배치에서 제1 영구자석(110)의 첨두면(111)은 제2 영구자석(120)의 오목홈(124)의 입구 외측에 위치하므로, 제2 영구자석(120)의 좌우측 방향(±Y축 방향)의 움직임을 구속하는 물리적인 구조물이 없다. 따라서, 제2 영구자석(120)이 좌우 측면 반발력(135', 136')에 의한 측면 복원력 이상의 측면 방향(±Y축 방향)의 외력을 받게 되면, 제2 영구자석(120)은 제1 영구자석(110) 혹은 제2 영구자석(120)의 파손 없이 좌측 혹은 우측 방향(±Y축 방향)으로 이동될 수 있다.Since the apical face 111 of the first permanent magnet 110 in the second arrangement is located outside the entrance of the recessed groove 124 of the second permanent magnet 120, Y axis direction). Therefore, when the second permanent magnet 120 receives an external force in the lateral direction (± Y axis direction) greater than the side restoring force by the left and right side repulsive forces 135 'and 136' Can be moved in the left or right direction (± Y axis direction) without damaging the magnet 110 or the second permanent magnet 120.

본 실시예의 제1 영구자석(110)은 횡단면이 끝단으로 갈수록 폭이 좁아지는 사다리꼴 형상인 경우를 예로 들어 설명하고 있는데, 이에 한정되는 것은 아니다. 가령, 제1 영구자석(110)의 단면 형상은 직사각형 형상인 경우를 배제하지 않는다. 다른 예로서, 제1 영구자석(110)의 좌우의 제1 및 제2 외측면(112, 113) 각각은 곡면이거나, 복수의 평면들이거나, 혹은 곡면 및 평면의 조합 형상을 가질 수 있다. 또는, 제1 영구자석(110)의 단면 형상은 다면체 형상이거나, 혹은 반원형 형상일 수도 있다. The first permanent magnet 110 of the present embodiment has a trapezoidal shape in which the width of the first permanent magnet 110 becomes narrower toward the end, but the present invention is not limited thereto. For example, it is not excluded that the cross-sectional shape of the first permanent magnet 110 is a rectangular shape. As another example, each of the left and right first and second outer sides 112 and 113 of the first permanent magnet 110 may be a curved surface, a plurality of planes, or a combination of a curved surface and a flat surface. Alternatively, the cross-sectional shape of the first permanent magnet 110 may be a polyhedral shape or a semicircular shape.

본 실시예의 제2 영구자석(120)은 오목홈(124)의 횡단면이 바닥면(121)으로 갈수록 폭이 좁아지는 사다리꼴 형상인 경우를 예로 들어 설명하고 있는데, 이에 한정되는 것은 아니다. 가령, 제2 영구자석(120)의 오목홈(124)의 횡단면 형상은 직사각형 형상인 경우를 배제하지 않는다. 나아가, 오목홈(124)에서 바닥면(121)와 제1 내측면(122)이 만나는 모서리와 바닥면(121)와 제2 내측면(123)이 만나는 모서리는 곡면으로 처리될 수도 있다. 다른 예로서, 오목홈(124)의 제1 및 제2 내측면(122, 123) 각각은 곡면이거나, 복수의 평면들이거나, 혹은 곡면 및 평면의 조합 형상을 가질 수 있다.The second permanent magnet 120 of the present embodiment has a trapezoidal shape in which the cross section of the concave groove 124 becomes narrower toward the bottom surface 121. However, the present invention is not limited thereto. For example, the cross-sectional shape of the concave groove 124 of the second permanent magnet 120 does not exclude the case of a rectangular shape. Further, the corner where the bottom surface 121 and the first inner side surface 122 meet and the corner where the bottom surface 121 and the second inner side surface 123 meet in the concave groove 124 may be treated as a curved surface. As another example, each of the first and second inner sides 122, 123 of the concave groove 124 may be a curved surface, a plurality of planes, or a combination of a curved surface and a flat surface.

또한, 본 실시예의 제1 영구자석(110)의 첨두면(111)과 제1 외측면(112) 사이의 각도(θ1)와 첨두면(111)과 제2 외측면(113) 사이의 각도(θ2)가 서로 같은 경우를 예로 들어 설명하고 있는데, 이에 한정되는 것은 아니다. 가령, 제1 및 제2 외측면(112, 113)의 각도(θ1, θ2)는 서로 다를 수도 있다. 또한, 본 실시예의 제2 영구자석(120)의 바닥면(121)과 제1 내측면(122) 사이의 각도(θ3)와 바닥면(121)과 제2 내측면(123) 사이의 각도(θ4)가 서로 같은 경우를 예로 들어 설명하고 있는데, 이에 한정되는 것은 아니다. 가령, 제1 및 제2 내측면(122, 123)의 각도(θ3, θ4)는 서로 다를 수도 있다. 이러한 각도들(θ1, θ2, θ3, θ4)은 요구되는 부상력의 크기 및 좌우 측면 반발력의 크기에 따라 적절히 결정될 수 있다.The angle between the apical surface 111 of the first permanent magnet 110 and the first outer surface 112 and the angle between the apex surface 111 and the second outer surface 113 2) are equal to each other, but the present invention is not limited thereto. For example, the angles? 1 and? 2 of the first and second outer surfaces 112 and 113 may be different from each other. 3 between the bottom surface 121 and the first inner surface 122 of the second permanent magnet 120 and the angle between the bottom surface 121 and the second inner surface 123 and? 4 are mutually the same, but the present invention is not limited thereto. For example, the angles? 3 and? 4 of the first and second inner surfaces 122 and 123 may be different from each other. These angles? 1,? 2,? 3,? 4 can be appropriately determined according to the magnitude of the required levitation force and the magnitude of the left and right side repulsive force.

제1 및 제2 영구자석(110, 120) 각각의 단면 형상은 측면 방향(±Y축 방향)으로 대칭되어 중심 위치에서 좌 측면 반발력과 우 측면 반발력이 서로 평형이 되게 설계된 경우를 예로 들어 설명하고 있는데, 이에 한정되는 것은 아니다. 경우에 따라서, 좌 측면 반발력과 우 측면 반발력이 서로 다르게 되도록 설계될 수 있다. 가령, 제1 및 제2 영구자석(110, 120)의 단면 형상은 측면 방향으로 좌우 비대칭일 수도 있다.The cross sectional shapes of the first and second permanent magnets 110 and 120 are symmetrical in the lateral direction (± Y axis direction) and the left and right side repulsive forces are balanced with each other at the center position However, the present invention is not limited thereto. In some cases, the left side reaction force and the right side reaction force can be designed to be different from each other. For example, the sectional shapes of the first and second permanent magnets 110 and 120 may be asymmetric in the lateral direction.

도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 자기부상장치(200)의 개략적인 사시도이다. 11 is a schematic perspective view of a magnetic levitation apparatus 200 according to another embodiment of the present invention.

도 11을 참조하면, 본 실시예의 자기부상장치(200)는 제1 영구자석(210)과, 제2 영구자석(220)을 포함한다. 제1 영구자석(210)은 제2 영구자석(220)의 상부에 위치하며 자기부상력에 의해 부상된다. 즉, 본 실시예는 제1 영구자석(210)이 자기 부상체에 해당되며, 제2 영구자석(220)이 제1 영구자석(210)의 자기 부상을 지지하는 지지체의 역할을 수행한다. 이러한 제1 및 제2 영구자석(210, 220)은 전술한 실시예의 자기부상장치(100)의 제1 및 제2 영구자석(110, 120)의 상하 위치가 바뀐 경우이다. 전술한 실시예에서 제1 및 제2 영구자석(110, 120)의 상하 위치가 뒤바뀌더라도 자기적 척력에 의한 힘의 관계는 실질적으로 동일하다. 즉, 제1 영구자석(210)의 첨두면(211)과 제2 영구자석(220)의 오목홈(224)을 이루는 내면들(221, 222, 223)은 모두 동일 극성으로 착자되어, 제1 영구자석(210)은 제2 영구자석(220)에 이격된 상태로 자기적 척력에 의해 수직 방향의 부상력과 수평 방향의 측면 복원력을 동시에 받는다.Referring to FIG. 11, the magnetic levitation apparatus 200 of this embodiment includes a first permanent magnet 210 and a second permanent magnet 220. The first permanent magnet 210 is located on the upper side of the second permanent magnet 220 and floats by the levitation force. That is, in this embodiment, the first permanent magnet 210 corresponds to a magnetic levitation body, and the second permanent magnet 220 functions as a support for supporting the magnetic levitation of the first permanent magnet 210. The first and second permanent magnets 210 and 220 are the case where the first and second permanent magnets 110 and 120 of the magnetic levitation apparatus 100 of the above-described embodiment are vertically shifted. In the above-described embodiment, even when the first and second permanent magnets 110 and 120 are reversed vertically, the force relationship due to the magnetic repulsive force is substantially the same. That is, the inner surfaces 221, 222, and 223 of the first permanent magnet 210 and the inner surfaces 221, 222, and 223 forming the concave groove 224 of the second permanent magnet 220 are magnetized in the same polarity, The permanent magnets 210 are spaced apart from the second permanent magnets 220 and simultaneously receive a levitation force in a vertical direction and a lateral direction restoring force in a horizontal direction by a magnetic repulsive force.

도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 자기부상장치(300)의 개략적인 사시도이며, 도 13은 본 실시예의 자기부상장치(300)를 길이 방향(X축 방향)에 수직한 횡단면에서 도시한다. FIG. 12 is a schematic perspective view of a magnetic levitation apparatus 300 according to another embodiment of the present invention, and FIG. 13 is a cross-sectional view of a magnetic levitation apparatus 300 according to another embodiment of the present invention in a transverse section perpendicular to the longitudinal direction do.

도 12 및 도 13을 참조하면, 본 실시예의 자기부상장치(300)는 제1 영구자석(310)과, 제1 영구자석(310)의 상부에 위치하며 자기부상력에 의해 부상되는 제2 영구자석(320)을 포함한다.12 and 13, the magnetic levitation apparatus 300 of the present embodiment includes a first permanent magnet 310, a second permanent magnet 310 positioned above the first permanent magnet 310 and floated by the magnetic levitation force, And a magnet 320.

제1 영구자석(310)은 제2 영구자석(320)을 자기부상시키는 지지체의 역할을 수행한다. 제1 영구자석(310)은 평판 형상을 가질 수 있다. 이러한 제1 영구자석(310)은 길이 방향(X축 방향)으로 길게 연장되는 제1 부분자석(311)과, 제1 부분자석(311)의 좌우측에 위치하는 제2 부분자석(312) 및 제3 부분자석(313)을 포함할 수 있다. 제1 부분자석(311)의 제1 부분면(311a)과, 제2 부분자석(312)의 제2 부분면(312a)과, 제3 부분자석(313)의 제3 부분면(313a)은 도면에 도시되는 것과 같이 하나의 평판면을 3개로 구획한 영역들로 이해될 수 있다. 제1 부분자석(311)의 제1 부분면(311a)과, 제2 부분자석(312)의 제2 부분면(312a)과, 제3 부분자석(313)의 제3 부분면(313a)은 동일 극성으로 착자된다. 가령, 도면에 도시되듯이, 제1 내지 제3 부분자석(311, 312, 313)의 제1 내지 제3 부분면(311a, 312a, 313a)은 N극으로 착자되고, 제1 내지 제3 부분자석(311, 312, 313)의 배면들(311b, 312b, 313b)은 S극으로 착자될 수 있다. The first permanent magnet 310 serves as a support for magnetically floating the second permanent magnet 320. The first permanent magnet 310 may have a flat plate shape. The first permanent magnet 310 includes a first partial magnet 311 extending in the longitudinal direction (X-axis direction), a second partial magnet 312 positioned on the right and left sides of the first partial magnet 311, And a three-piece magnet 313. The first partial surface 311a of the first partial magnet 311 and the second partial surface 312a of the second partial magnet 312 and the third partial surface 313a of the third partial magnet 313 It can be understood as regions where one flat surface is divided into three as shown in the figure. The first partial surface 311a of the first partial magnet 311 and the second partial surface 312a of the second partial magnet 312 and the third partial surface 313a of the third partial magnet 313 And is magnetized in the same polarity. For example, as shown in the drawing, the first to third partial surfaces 311a, 312a, and 313a of the first to third partial magnets 311, 312, and 313 are magnetized to N poles, The back surfaces 311b, 312b, and 313b of the magnets 311, 312, and 313 may be magnetized to the S-pole.

제1 내지 제3 부분자석(311, 312, 313)은 제1 부분자석(311)의 제1 부분면(311a)의 자석 세기가 제2 부분자석(312)의 제2 부분면(312a) 및 제3 부분자석(313)의 제3 부분면(313a)의 자석 세기보다 큰 값을 가지도록 착자된다. 제2 부분자석(312)의 제2 부분면(312a)의 자석 세기와 제3 부분자석(313)의 제3 부분면(313a)의 자석 세기는 서로 같을 수 있다. 자성물질의 자성체 조성을 달리하거나 착자시 인가하는 자기장의 세기를 달리함으로써, 자성체의 자석 세기가 달라질 수 있음은 당해 분야에 잘 알려져 있다. 따라서, 상기와 같은 착자는 제1 부분자석(311)의 자성체 조성과 제2 및 제3 부분자석(312, 313)의 자성체 조성을 달리함으로써, 달성될 수 있다. 즉, 자성체 조성을 달리하는 제1 부분자석(311)과, 제2 및 제3 부분자석(312, 313)을 평판 형상으로 결합한 후, 외부 자기장을 가함으로써 착자하게 되면, 제1 부분자석(311)의 자석 세기가 제2 부분자석(312) 및 제3 부분자석(313)의 자석 세기보다 큰 값을 가지도록 착자될 수 있다. 물론, 제1 부분자석(311)과, 제2 및 제3 부분자석(312, 313)을 개별적으로 착자한 후 평판 형상으로 결합할 수도 있다. 제1 부분자석(311)과, 제2 및 제3 부분자석(312, 313)을 개별적으로 자석 세기를 다르게 착자한 후 평판 형상으로 결합하는 경우, 제1 부분자석(311)과, 제2 및 제3 부분자석(312, 313)은 자성체 조성은 서로 같을 수도 있다.The first to third partial magnets 311, 312 and 313 are arranged such that the magnet intensity of the first partial surface 311a of the first partial magnet 311 is smaller than the second partial surface 312a of the second partial magnet 312, Is magnetized so as to have a value larger than the magnet intensity of the third partial surface 313a of the third partial magnet 313. The magnet strength of the second partial surface 312a of the second partial magnet 312 and the magnet strength of the third partial surface 313a of the third partial magnet 313 may be equal to each other. It is well known in the art that the magnetic strength of a magnetic material can be varied by varying the magnetic material composition of the magnetic material or by varying the intensity of the magnetic field applied at the time of magnetization. Accordingly, such a magnetization can be achieved by differentiating the magnetic composition of the first partial magnet 311 and the magnetic compositions of the second and third partial magnets 312, 313. That is, when the first partial magnet 311 and the second and third partial magnets 312 and 313 having different magnetic material compositions are combined in a plate shape and then magnetized by applying an external magnetic field, the first partial magnet 311, May be magnetized so that the magnet intensity of the second partial magnet 312 and the third partial magnet 313 are larger than the magnet strength of the second partial magnet 312 and the third partial magnet 313. Of course, the first partial magnet 311 and the second and third partial magnets 312 and 313 may be individually magnetized and then combined in a plate shape. When the first partial magnet 311 and the second and third partial magnets 312 and 313 are magnetically magnetized differently and then combined in a plate shape, the first partial magnet 311, The third sub-magnets 312 and 313 may have the same magnetic composition.

제1 부분자석(311)과 제2 부분자석(312)의 제1 경계면(310A)은 제1 부분자석(311)의 제1 부분면(311a)에 대해 둔각이거나 직각의 내각(θ1)으로 경사지며, 제1 부분자석(311)과 제3 부분자석(313)의 제2 경계면(310B) 역시 제1 부분자석(311)의 제1 부분면(311a)에 대해 둔각이거나 직각의 내각(θ2)으로 경사지게 형성될 수 있다. 즉, 길이 방향(X축 방향)에 수직한 횡단면에서 보았을 때, 제1 영구자석(310)의 제1 부분자석(311)은 연직 상방(+Z축 방향)으로 갈수록 폭이 좁아지는 사다리꼴 형상일 수 있다. 제1 부분자석(311)의 제1 부분면(311a)의 폭(W3)은 제4 부분자석(321)의 제4 부분면(321a)의 폭(W4)보다 작게 형성될 수 있다. 한편, 도 12 내지 도 15에서 제1 영구자석(310)의 전체 폭이 제2 영구자석(320)의 전체 폭보다 길게 도시되어 있으나, 이에 한정될 필요는 없다. 다만, 제1 및 제2 영구자석(310, 320)의 끝단에서의 급격한 자기력선 발산에 의한 악영향을 경감시키기 위하여, 제1 및 제2 영구자석(310, 320) 중 어느 하나의 폭이 다른 하나의 폭보다 긴 것이 바람직하며, 제2 영구자석(320)의 무게를 가볍게 함으로써 요구되는 부상력의 크기를 줄일 수 있다.The first partial magnet 311 and the first partial magnet 312 of the first partial magnet 311 are inclined at an obtuse angle or at a right angle to the first partial surface 311a of the first partial magnet 311 And the second interface 310B of the first and third partial magnets 311 and 313 is also obtuse or perpendicular to the first partial surface 311a of the first partial magnet 311, As shown in Fig. That is, the first partial magnet 311 of the first permanent magnet 310 has a trapezoidal shape in which the width becomes narrower in the vertical direction (+ Z-axis direction) when viewed from a cross section perpendicular to the longitudinal direction . The width W3 of the first partial surface 311a of the first partial magnet 311 may be smaller than the width W4 of the fourth partial surface 321a of the fourth partial magnet 321. [ 12 to 15, the overall width of the first permanent magnet 310 is longer than the overall width of the second permanent magnet 320, but the present invention is not limited thereto. However, in order to reduce the adverse effects caused by the abrupt magnetic field line divergence at the ends of the first and second permanent magnets 310 and 320, the width of one of the first and second permanent magnets 310 and 320 And by reducing the weight of the second permanent magnet 320, the magnitude of the required levitation force can be reduced.

제1 부분자석(311)의 자석 세기가 제2 부분자석(312) 및 제3 부분자석(313)의 자석 세기보다 큰 값을 가지도록 착자됨에 따라, 제1 영구자석(310)의 자기력선 분포는, 도 5를 참조하여 설명한 실시예의 제1 영구자석(110)의 자기력선 분포와 유사한 분포를 지니게 된다.The magnetic force line distribution of the first permanent magnets 310 is adjusted such that the magnetic field strength of the first partial magnets 311 is larger than the magnitude of the second partial magnets 312 and the third partial magnets 313 , And has a distribution similar to the distribution of the magnetic force lines of the first permanent magnets 110 of the embodiment described with reference to Fig.

제2 영구자석(320)은 제1 영구자석(310)의 연직 상방(+Z축 방향)에 위치하는 자기부상체이다. 제2 영구자석(320) 역시 평판 형상을 가질 수 있다. 이러한 제2 영구자석(320)은 길이 방향(X축 방향)으로 길게 연장되는 제4 부분자석(321)과, 제4 부분자석(321)의 좌우측에 위치하는 제5 부분자석(322) 및 제6 부분자석(323)을 포함할 수 있다. 제4 부분자석(321)의 제4 부분면(321a)과, 제5 부분자석(322)의 제5 부분면(322a)과, 제6 부분자석(323)의 제6 부분면(323a)은 도면에 도시되는 것과 같이 하나의 평판면을 3개로 구획한 영역들로 이해될 수 있다. 제4 부분자석(321)의 제4 부분면(321a)과, 제5 부분자석(322)의 제5 부분면(322a)과, 제6 부분자석(323)의 제6 부분면(323a)은 동일 극성으로 착자된다. 가령, 도면에 도시되듯이, 제4 내지 제6 부분자석(321, 322, 323)의 제4 내지 제6 부분면(321a, 322a, 323a)는 N극으로 착자되고, 제4 내지 제6 부분자석(321, 322, 323)의 배면들(321b, 322b, 323b)은 S극으로 착자될 수 있다. The second permanent magnet 320 is a magnetically levitated object positioned vertically (+ Z-axis direction) of the first permanent magnet 310. The second permanent magnets 320 may also have a flat plate shape. The second permanent magnet 320 includes a fourth partial magnet 321 extending in the longitudinal direction (X-axis direction), a fifth partial magnet 322 located on the right and left sides of the fourth partial magnet 321, 6 partial magnet 323. The fourth partial surface 321a of the fourth partial magnet 321 and the fifth partial surface 322a of the fifth partial magnet 322 and the sixth partial surface 323a of the sixth partial magnet 323 It can be understood as regions where one flat surface is divided into three as shown in the figure. The fourth partial surface 321a of the fourth partial magnet 321 and the fifth partial surface 322a of the fifth partial magnet 322 and the sixth partial surface 323a of the sixth partial magnet 323 And is magnetized in the same polarity. For example, as shown in the drawing, the fourth to sixth partial surfaces 321a, 322a and 323a of the fourth to sixth partial magnets 321, 322 and 323 are magnetized to the N pole, The back surfaces 321b, 322b, and 323b of the magnets 321, 322, and 323 may be magnetized to the S-pole.

제4 내지 제6 부분자석(321, 322, 323)은 제4 부분자석(321)의 제4 부분면(321a)의 자석 세기가 제5 부분자석(322)의 제5 부분면(322a) 및 제6 부분자석(323)의 제6 부분면(323a)의 자석 세기보다 작은 값을 가지도록 착자된다. 제5 부분자석(322)의 제5 부분면(322a)의 자석 세기와 제6 부분자석(323)의 제6 부분면(323a)의 자석 세기는 서로 같을 수 있다. 상기와 같은 착자는 전술한 바와 유사하게 제4 부분자석(321)의 자성체 조성과 제5 및 제6 부분자석(322, 323)의 자성체 조성을 달리함으로써 달성하거나, 제4 내지 제6 부분자석들(321, 322, 323)을 개별적으로 착자한 후 평판 형상으로 결합함으로써 달성될 수 있다. The fourth to sixth partial magnets 321, 322 and 323 are arranged such that the magnet intensity of the fourth partial surface 321a of the fourth partial magnet 321 is smaller than the magnet intensity of the fifth partial surface 322a of the fifth partial magnet 322 and Is magnetized so as to have a value smaller than the magnet intensity of the sixth partial surface 323a of the sixth partial magnet 323. The magnet intensity of the fifth partial surface 322a of the fifth partial magnet 322 and the magnet intensity of the sixth partial surface 323a of the sixth partial magnet 323 may be equal to each other. Such a magnetization can be achieved by differentiating the magnetic composition of the fourth sub-magnet 321 and the magnetic composition of the fifth and sixth sub-magnets 322 and 323 similarly to the above, 321, 322, and 323 are individually magnetized and then combined into a plate shape.

제4 부분자석(321)과 제5 부분자석(322)의 제3 경계면(320A)은 제5 부분자석(322)의 제5 부분면(322a)에 대해 둔각이거나 직각의 내각(θ3)으로 경사지며, 제4 부분자석(321)과 제6 부분자석(323)의 제4 경계면(320B) 역시 제6 부분자석(323)의 제6 부분면(323a)에 대해 둔각이거나 직각의 내각(θ4)으로 경사지게 형성될 수 있다. 즉, 길이 방향(X축 방향)에 수직한 횡단면에서 보았을 때, 제2 영구자석(320)의 제4 부분자석(321)은 연직 상방(+Z축 방향)으로 갈수록 폭이 좁아지는 사다리꼴 형상일 수 있다. 제4 부분자석(321)의 자석 세기가 제5 부분자석(322) 및 제6 부분자석(323)의 자석 세기보다 약한 값을 가지도록 착자됨에 따라, 제2 영구자석(320)의 자기력선 분포는, 도 6을 참조하여 설명한 실시예의 제2 영구자석(120)의 자기력선 분포와 유사한 분포를 지니게 된다. 도 13를 참조하여 좀 더 상세히 살펴보면, 제2 영구자석(120)의 자기력선 분포는 제4 내지 제6 부분자석들(321, 322, 323)의 각각의 자기력선의 벡터합으로 이해될 수 있다. 제5 부분자석(322)의 제5 부분면(322a) 및 제6 부분자석(323)의 제6 부분면(323a)에서 방출되는 자기력선(B)은 모서리쪽으로 갈수록 발산되는 정도가 강해진다. 제4 부분자석(321)의 제4 부분면(321a)에서 방출되는 자기력선(B) 역시 모서리쪽으로 갈수록 발산되는 정도가 강해진다. 제5 부분자석(322)의 제5 부분면(322a) 및 제6 부분자석(323)의 제6 부분면(323a)의 자석 세기가 제4 부분자석(321)의 제4 부분면(321a)의 자석 세기보다 상대적으로 크므로, 제4 부분자석(321)의 제4 부분면(321a)과 제5 부분자석(322)의 제5 부분면(322a)의 경계 근방에서의 자기력선(B)은 제2 영구자석(320)의 중앙쪽으로 향하는 경향을 지니게 된다. 마찬가지로, 제4 부분자석(321)의 제4 부분면(321a)과 제6 부분자석(323)의 제6 부분면(323a)의 경계 근방에서의 자기력선(B)은 제2 영구자석(320)의 하방 중앙쪽으로 향하는 경향을 지니게 된다. 즉, 제2 영구자석(320)의 하방에서 자기력선(B)은 중앙쪽으로 수렴되는 영역(즉, 자기력선 수렴영역(326)이 존재하게 된다. 물론, 자기력선 수렴영역(326)을 통과한 자기력선(B)은 발산되어, 제2 영구자석(320)의 배면(321b, 322b, 323b) 쪽으로 돌아가 폐루프를 이루게 될 것이다.The third interface 320A of the fourth partial magnet 321 and the fifth partial magnet 322 is inclined at an obtuse angle or a right angle internal angle? 3 with respect to the fifth partial surface 322a of the fifth partial magnet 322 And the fourth boundary 320B of the fourth and fifth partial magnets 321 and 323 is also inclined at an obtuse angle or a right angle to the sixth partial surface 323a of the sixth partial magnet 323, As shown in Fig. In other words, the fourth partial magnet 321 of the second permanent magnet 320 has a trapezoidal shape in which the width becomes narrower in the vertical direction (+ Z-axis direction) when viewed from a cross section perpendicular to the longitudinal direction . The magnetic force line distribution of the second permanent magnets 320 is adjusted such that the magnetic intensity of the fourth partial magnets 321 becomes smaller than the magnet intensities of the fifth partial magnets 322 and the sixth partial magnets 323 , And has a distribution similar to the distribution of the magnetic force lines of the second permanent magnets 120 of the embodiment described with reference to Fig. 13, the distribution of the magnetic force lines of the second permanent magnets 120 can be understood as the vector sum of the magnetic field lines of each of the fourth to sixth partial magnets 321, 322 and 323. The magnetic force line B emitted from the fifth partial surface 322a of the fifth partial magnet 322 and the sixth partial surface 323a of the sixth partial magnet 323 becomes stronger toward the edge. The magnetic force line B emitted from the fourth partial surface 321a of the fourth partial magnet 321 also becomes stronger toward the edge. The magnet intensity of the fifth partial face 322a of the fifth partial magnet 322 and the sixth partial face 323a of the sixth partial magnet 323 is lower than the fourth partial face 321a of the fourth partial magnet 321, The magnetic line of force B in the vicinity of the boundary between the fourth partial surface 321a of the fourth partial magnet 321 and the fifth partial surface 322a of the fifth partial magnet 322 is relatively large The second permanent magnet 320 has a tendency toward the center of the second permanent magnet 320. Similarly, the line of magnetic force B in the vicinity of the boundary between the fourth partial surface 321a of the fourth partial magnet 321 and the sixth partial surface 323a of the sixth partial magnet 323 is parallel to the second permanent magnet 320, As shown in FIG. That is, the magnetic field lines B converge toward the center of the second permanent magnets 320 (that is, the magnetic field lines converging region 326 exists below the second permanent magnets 320. Of course, the magnetic field lines B Will diverge and return to the back surface 321b, 322b, 323b of the second permanent magnet 320 to form a closed loop.

자기력선 수렴영역(326)의 형성 위치는 제4 부분자석(321)의 자석 세기와 제5 부분자석(322) 및 제6 부분자석(323)의 자석 세기의 관계, 제1 및 제2 경계면(320A, 320B)의 경사각도(θ3, θ4) 등에 따라 달라질 수 있다. 또한, 제5 부분자석(322)의 자석 세기와 제6 부분자석(323)의 자석 세기가 서로 다르거나, 제1 및 제2 경계면(320A, 320B)의 경사각도(θ3, θ4)가 서로 다르게 설계되어, 자기력선 수렴영역(326)이 제2 영구자석(320)의 하방 중앙에서 일측으로 편심되게 형성되도록 할 수도 있다. 전술한 바와 마찬가지로, 본 실시예에서 '수렴한다'는 용어는 제2 영구자석(320)의 제4 내지 제6 부분면(321a, 322a, 323a)이 N극으로 착자된 경우(즉, 자기력선(B)이 제4 내지 제6 부분면(321a, 322a, 323a)에서 나가는 경우)를 기준으로 사용된 것이다. 만일, 제2 영구자석(320)의 제4 내지 제6 부분면(321a, 322a, 323a)이 S극으로 착자된 경우, S극의 정의상 자기력선의 방향은 전술한 설명의 방향과 반대가 되나, 제1 및 제2 영구자석(310, 320)의 대면하는 면들이 동일 극성으로 착자된 경우 자기력은 척력으로 작용한다는 점에서, 실질적으로 동일한 자기력선 분포로 이해될 수 있다. 따라서, 당해 분야의 기술자에게 의미상 혼동이 없는 범위 내에서, 제2 영구자석(320)의 제4 내지 제6 부분면(321a, 322a, 323a)이 S극으로 착자된 경우의 자기력선 수렴영역의 위치는 N극으로 착자된 경우의 자기력선 수렴영역(326)의 위치와 동일한 것으로 이해될 수 있을 것이다.The position where the line of magnetic force convergence area 326 is formed is determined by the relationship between the magnet intensity of the fourth partial magnet 321 and the magnet intensity of the fifth partial magnet 322 and the sixth partial magnet 323, , And the inclination angles? 3 and? 4 of the light emitting diodes 320A and 320B. The magnetism of the fifth partial magnet 322 and the magnetism of the sixth partial magnet 323 are different from each other or the inclination angles? So that the magnetic flux line convergence region 326 may be eccentrically formed to one side from the lower center of the second permanent magnet 320. As described above, the term 'converge' in this embodiment means that when the fourth to sixth partial surfaces 321a, 322a and 323a of the second permanent magnet 320 are magnetized to the N pole (that is, B) is out of the fourth to sixth partial surfaces 321a, 322a, 323a). If the fourth to sixth partial surfaces 321a, 322a, and 323a of the second permanent magnet 320 are magnetized to the S pole, the direction of the magnetic field lines in the definition of the S pole is opposite to the direction of the above description, It can be understood that substantially the same magnetic force line distribution in that the magnetic force acts as a repulsive force when the facing surfaces of the first and second permanent magnets 310 and 320 are magnetized with the same polarity. Therefore, it is preferable that the magnetic force line convergence regions 321a, 322a, and 323a of the second permanent magnets 320 in the case where the fourth to sixth partial surfaces 321a, 322a, and 323a of the second permanent magnet 320 are magnetized to the S- Position may be understood to be the same as the position of the magnetic-field-line convergence region 326 when magnetized to the N pole.

도 14 및 도 15은 본 실시예의 자기부상장치(300)의 자기력의 관계를 도시한다. 도 14를 참조하면, 제2 영구자석(320)은 제1 영구자석(310)과의 자기적 척력에 의한 부상력(331)에 의하여 부상된다. 제2 영구자석(320)이 받는 부상력은, 제1 영구자석(310)의 제1 부분면(311a)과 제2 영구자석(320)의 제4 부분면(321a) 사이의 자기적 척력과 함께, 제1 영구자석(310)의 제2 및 제3 부분면(312a, 313a))과 제2 영구자석(320)의 제5 및 제6 부분면(322a, 323a)) 사이의 자기적 척력에 의해 얻어질 수 있다.14 and 15 show the relationship of the magnetic force of the magnetic levitation apparatus 300 of this embodiment. Referring to FIG. 14, the second permanent magnet 320 is lifted by the levitation force 331 due to the magnetic repulsive force with the first permanent magnet 310. The levitation force received by the second permanent magnet 320 is equal to the magnetic repulsive force between the first partial surface 311a of the first permanent magnet 310 and the fourth partial surface 321a of the second permanent magnet 320 (Between the second and third partial surfaces 312a and 313a of the first permanent magnet 310 and the fifth and sixth partial surfaces 322a and 323a of the second permanent magnet 320) Lt; / RTI >

제2 영구자석(320)의 부상 평형위치는 부상력(331)과 제2 영구자석(320)의 무게의 힘의 평형이 이루어지는 위치에서 결정될 수 있는바, 제2 영구자석(320)의 하방 중앙에 위치한 자기력선 수렴영역(326) 내에 혹은 자기력선 수렴영역(326)으로부터 하방으로 소정 간격 이격되게 제1 영구자석(310)의 제1 부분면(311a)이 위치하도록 결정된다. 제1 영구자석(310)의 제1 부분면(311a)은 제2 및 제3 부분면(312a, 313a)보다 강한 자성을 지니므로, 제1 부분면(311a) 쪽 자극이 제2 영구자석(310)과의 자기적 상호작용에서 가장 주된 기여를 하게 될 것이다. 따라서, 제1 영구자석(310)의 제1 부분면(311a)이 자기력선 수렴영역(326) 내에 위치하거나 혹은 자기력선 수렴영역(326)으로부터 하방으로 소정 간격 이격되게 위치하는 경우에, 제2 영구자석(320)은 제1 부분면(312a)과의 자기적 척력에 의한 좌측 방향(+Y축 방향)으로의 좌측 측면 반발력(332) 및 우측 방향(-Y축 방향)으로의 우측 측면 반발력(333)을 받게 된다. The floating position of the second permanent magnet 320 can be determined at a position where the balance of the forces of the levitation force 331 and the weight of the second permanent magnet 320 is balanced. The first partial surface 311a of the first permanent magnet 310 is positioned so as to be spaced apart from the magnetic flux line convergence region 326 located in the magnetic flux line convergence region 326 or downward from the magnetic flux line convergence region 326. The first partial surface 311a of the first permanent magnet 310 has stronger magnetism than the second and third partial surfaces 312a and 313a so that the magnetic pole of the first partial surface 311a is in contact with the second permanent magnet 310), which will be the most important contribution. Therefore, when the first partial surface 311a of the first permanent magnet 310 is located in the magnetic flux line converging region 326 or downwardly spaced from the magnetic flux line converging region 326, The right side lateral repulsion force 332 in the left direction (+ Y axis direction) and the right side direction repelling force 333 in the right direction (-Y axis direction) due to the magnetic repulsive force with the first partial surface 312a ).

가령, 도 15에 도시된 것처럼, 제2 영구자석(320)이 제1 영구자석(310)의 중심선(316)을 기준으로 좌측 방향(-Y축 방향)으로 편향되게 되면, 제2 영구자석(320)을 우측 방향으로 밀치는 우측 측면 반발력(332')이 제2 영구자석(320)을 좌측 방향으로 밀치는 좌측 측면 반발력(333')보다 크게 되어, 우측 방향(+Y축 방향)으로의 측면 복원력(327)이 발생된다. 즉, 제2 영구자석(320)이 제1 영구자석(310)의 중심선(316)을 기준으로 좌우측 방향(±Y축 방향)으로 움직이게 되면, 제1 영구자석(310)과 제2 영구자석(320) 사이에 작용하는 좌우 측면 반발력(332', 333')이 변동되면서, 제2 영구자석(320)이 좌우 평형위치로 복귀하는 측면 복원력(327)을 받게 된다. 이와 같이, 제2 영구자석(320)에 의한 자기력선은 제4 부분면(321a) 근방에서 수렴되는 방향을 가지므로, 후술하는 바와 같이 본 실시예의 자기부상장치(300)를 이송장치로 이용할 경우 안정적으로 측면 제어될 수 있을 것이다.15, when the second permanent magnet 320 is deflected in the left direction (-Y axis direction) with respect to the center line 316 of the first permanent magnet 310, the second permanent magnet 320 The right side side repulsive force 332 'that pushes the second permanent magnet 320 in the right direction is larger than the left side side repulsive force 333' that pushes the second permanent magnet 320 in the left direction, A lateral restoring force 327 is generated. That is, when the second permanent magnet 320 moves in the left-right direction (± Y-axis direction) with respect to the center line 316 of the first permanent magnet 310, the first permanent magnet 310 and the second permanent magnet Side restoring force 327 acting between the first permanent magnets 320 and the second permanent magnets 320 is changed while the left and right lateral repulsive forces 332 'and 333' acting between the first permanent magnets 320 and the second permanent magnets 320 are changed. Since the magnetic force lines of the second permanent magnets 320 converge in the vicinity of the fourth partial surface 321a as described above, when the magnetic levitation apparatus 300 of this embodiment is used as a transfer apparatus, Lt; / RTI >

본 실시예의 자기부상장치(300)는 제1 영구자석(310)과 제2 영구자석(320) 사이에 제2 영구자석(320)의 좌우 측 방향의 움직임을 구속하는 물리적인 구조물이 없다. 따라서, 제2 영구자석(320)이 좌우 측면 반발력(335', 336')에 의한 측면 복원력 이상의 측면 방향의 외력을 받게 되면, 제2 영구자석(320)은 제1 영구자석(310) 혹은 제2 영구자석(320)의 파손 없이 좌측 혹은 우측 방향으로 이동될 수 있다.The magnetic levitation apparatus 300 of this embodiment does not have a physical structure for restricting the movement of the second permanent magnets 320 between the first permanent magnets 310 and the second permanent magnets 320 in the left and right directions. Accordingly, when the second permanent magnet 320 receives an external force in the lateral direction which is greater than the lateral restoring force by the left and right side repulsive forces 335 'and 336', the second permanent magnets 320 are separated from the first permanent magnets 310, 2 < / RTI > permanent magnet 320 without damaging it.

본 실시예의 제1 영구자석(310)의 제1 및 제2 경계면(310A, 310B)이나 제2 영구자석(320)의 제3 및 제4 경계면(320A, 320B)이 평면인 경우를 예로 들어 설명하고 있는데, 곡면인 경우를 배제하지 않는다. 또한, 제1 영구자석(310)의 배면들(311b, 312b, 313b)쪽 및/또는 제2 영구자석(320)의 배면들(321b, 322b, 323b)쪽에 추가적인 자석이 부착될 수도 있다.The first and second interface surfaces 310A and 310B of the first permanent magnet 310 and the third and fourth interface surfaces 320A and 320B of the second permanent magnet 320 are planar However, it does not exclude the case of a curved surface. Additional magnets may also be attached to the back surfaces 311b, 312b, and 313b of the first permanent magnet 310 and / or the back surfaces 321b, 322b, and 323b of the second permanent magnet 320.

또한, 본 실시예의 제1 영구자석(310)의 제1 및 제2 경계면(310A, 310B)의 경사각도(θ1, θ2)가 서로 같은 경우를 예로 들어 설명하고 있는데, 이에 한정되는 것은 아니다. 가령, 제1 및 제2 외측면(312, 313)의 각도(θ1, θ2)는 서로 다를 수도 있다. 또한, 제1 및 제2 영구자석(310, 320) 각각의 단면 형상은 측면 방향(Y축 방향)으로 대칭되어 중심 위치에서 좌 측면 반발력과 우 측면 반발력이 서로 같게 설계된 경우를 예로 들어 설명하고 있는데, 이에 한정되는 것은 아니다. 경우에 따라서, 좌 측면 반발력과 우 측면 반발력이 서로 다르게 되도록 설계될 수 있다. 가령, 제1 및 제2 영구자석(310, 320)의 단면 형상은 측 방향으로 좌우 비대칭일 수도 있다.The first and second interface surfaces 310A and 310B of the first permanent magnet 310 of the present embodiment have the same inclination angles? 1 and? 2. However, the present invention is not limited thereto. For example, the angles? 1 and? 2 of the first and second outer surfaces 312 and 313 may be different from each other. The sectional shapes of the first and second permanent magnets 310 and 320 are symmetrical in the lateral direction (Y-axis direction), and the left and right side repulsive forces are designed to be equal to each other at the center position , But is not limited thereto. In some cases, the left side reaction force and the right side reaction force can be designed to be different from each other. For example, the sectional shapes of the first and second permanent magnets 310 and 320 may be laterally asymmetric.

또한, 본 실시예에서 제1 및 제2 영구자석(310, 320)은 평판 형상을 가지고 있는 경우를 예로 들어 설명하고 있는데, 이때의 평판 형상은 그 표면이 매끄러운 평면인 경우만을 한정하는 것은 아니다. 가령, 제1 영구자석(310)의 제1 내지 제3 부분자석(311, 312, 313) 중 일부는 다소 들어가나 돌출되어 있을 수 있다. 가령, 제1 부분자석(311)의 제1 부분면(311a)이 이웃하는 제2 및 제3 부분자석(312, 313)의 제2 및 제3 부분면(312a, 313a)에 대해 약간 돌출되거나 혹은 약간 인입되어 있을 수 있다. 마찬가지로, 제2 영구자석(320)의 제4 내지 제6 부분자석(321, 322, 323) 중 일부는 다소 들어가나 돌출되어 있을 수 있다. 가령, 제4 부분자석(321)의 제4 부분면(321a)이 이웃하는 제5 및 제6 부분자석(322, 323)의 제5 및 제6 부분면(322a, 323a)에 대해 약간 돌출되거나 혹은 약간 인입되어 있을 수 있다. 이때, 제1 영구자석(310)의 제1 부분자석(311)의 돌출 또는 인입과 제2 영구자석(320)의 제4 부분자석(321)의 돌출 또는 인입은 서로 상응할 필요는 없다.In this embodiment, the first and second permanent magnets 310 and 320 have a flat plate shape. The flat plate shape at this time is not limited to the case where the surface is smooth and flat. For example, some of the first to third partial magnets 311, 312, and 313 of the first permanent magnet 310 may be somewhat protruded. For example, if the first partial surface 311a of the first partial magnet 311 protrudes slightly to the second and third partial surfaces 312a and 313a of the neighboring second and third partial magnets 312 and 313 Or it may be a little intruded. Similarly, some of the fourth to sixth partial magnets 321, 322, and 323 of the second permanent magnet 320 may be somewhat inwardly protruded. For example, the fourth partial surface 321a of the fourth partial magnet 321 slightly protrudes from the fifth and sixth partial surfaces 322a and 323a of the neighboring fifth and sixth partial magnets 322 and 323 Or it may be a little intruded. At this time, the projecting or drawing of the first partial magnet 311 of the first permanent magnet 310 and the protruding or pulling of the fourth partial magnet 321 of the second permanent magnet 320 need not correspond to each other.

또한, 제2 및 제3 부분면(312a, 313a)은 제1 부분면(311a)에 대해 약간 경사져 있을 수도 있다. 가령, 제2 및 제3 부분면(312a, 313a)은 제1 부분면(311a)쪽으로 대칭되게 경사져 형성될 수도 있다. 마찬가지로, 제5 및 제6 부분면(322a, 323a)은 제4 부분면(321a)에 대해 약간 경사져 있을 수도 있다. 가령, 제5 및 제6 부분면(322a, 323a)은 제4 부분면(321a)쪽으로 대칭되게 경사져 형성될 수도 있다. 한편, 제1 영구자석(310)의 제2 및 제3 부분면(312a, 313a)의 경사 방향과 제2 영구자석(320)의 제5 및 제6 부분면(322a, 323a)의 경사 방향은 서로 상응할 필요가 없다.In addition, the second and third partial surfaces 312a and 313a may be slightly inclined with respect to the first partial surface 311a. For example, the second and third partial surfaces 312a and 313a may be inclined symmetrically toward the first partial surface 311a. Likewise, the fifth and sixth partial surfaces 322a and 323a may be slightly inclined relative to the fourth partial surface 321a. For example, the fifth and sixth partial surfaces 322a and 323a may be inclined symmetrically toward the fourth partial surface 321a. The inclined directions of the second and third partial surfaces 312a and 313a of the first permanent magnet 310 and the inclined directions of the fifth and sixth partial surfaces 322a and 323a of the second permanent magnet 320 are There is no need to correspond to each other.

도 16은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 자기부상장치(400)의 개략적인 사시도이다. 16 is a schematic perspective view of a magnetic levitation apparatus 400 according to another embodiment of the present invention.

도 16을 참조하면, 본 실시예의 자기부상장치(400)는 제1 영구자석(410)과, 제2 영구자석(420)을 포함한다. 제1 영구자석(410)은 제2 영구자석(420)의 연직 상방(+Z축 방향)에 위치하며 자기부상력에 의해 부상된다. 즉, 본 실시예는 제1 영구자석(410)이 자기 부상체에 해당되며, 제2 영구자석(420)이 제1 영구자석(410)의 자기 부상을 지지하는 지지체의 역할을 수행한다. 이러한 제1 및 제2 영구자석(410, 420)은 전술한 실시예의 자기부상장치(300)의 제1 및 제2 영구자석(310, 320)의 상하 위치가 바뀐 경우이다. 전술한 실시예에서 설명된 바와 같이, 제2 영구자석(420)은 제4 부분자석(421)의 자성 세기가 제5 및 제6 부분자석들(422, 423)의 자석 세기보다 작게 착자됨에 따라, 제2 영구자석(420)의 제4 부분자석(421)의 제4 부분면(421a)의 상방에는 자기력선 수렴영역이 형성된다. 전술한 실시예에서 제1 및 제2 영구자석(310, 320)의 상하 위치가 뒤바뀌더라도 자기적 척력에 의한 힘의 관계는 실질적으로 동일하므로, 본 실시예에서 제1 영구자석(410)의 제1 부분자석(411)의 제1 부분면(411a)이 자기력선 수렴영역 내에 혹은 자기력선 수렴영역으로부터 상방으로 소정 간격 이격되게 위치하게 되면, 제1 영구자석(410)은 제2 영구자석(420)에 이격된 상태로 자기적 척력에 의해 수직 방향의 부상력과 수평 방향의 측면 복원력을 동시에 받는다.Referring to FIG. 16, the magnetic levitation apparatus 400 of this embodiment includes a first permanent magnet 410 and a second permanent magnet 420. The first permanent magnet 410 is positioned vertically (+ Z-axis direction) of the second permanent magnet 420 and is floated by the magnetic levitation force. That is, in this embodiment, the first permanent magnet 410 corresponds to a magnetic levitation body, and the second permanent magnet 420 serves as a support for supporting the magnetic levitation of the first permanent magnet 410. The first and second permanent magnets 410 and 420 are the case where the first and second permanent magnets 310 and 320 of the magnetic levitation device 300 of the above-described embodiment are vertically shifted. As described in the above embodiment, the second permanent magnet 420 is arranged such that the magnetic intensity of the fourth partial magnet 421 is magnetized to be smaller than the magnet intensities of the fifth and sixth partial magnets 422 and 423 And a magnetic field line converging region is formed above the fourth partial surface 421a of the fourth partial magnet 421 of the second permanent magnet 420. [ Even if the first and second permanent magnets 310 and 320 are reversed in the above-described embodiment, the relationship of forces due to the magnetic repulsive force is substantially the same. Therefore, in this embodiment, When the first partial surface 411a of the first partial magnet 411 is located at a predetermined distance upward in the magnetic flux line converging region or upward from the magnetic flux line converging region, The vertical lift force and the horizontal lift force are simultaneously received by the magnetic repulsive force.

도 17은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 자기부상장치(500)의 개략적인 사시도이다. 17 is a schematic perspective view of a magnetic levitation apparatus 500 according to another embodiment of the present invention.

도 17을 참조하면, 본 실시예의 자기부상장치(500)는 제1 영구자석(510)과, 제2 영구자석(520)을 포함한다. 제2 영구자석(520)은 제1 영구자석(510)의 연직 상방(+Z축 방향)에 위치하며 자기부상력에 의해 부상된다. 즉, 본 실시예는 제1 영구자석(510)이 지지체에 해당되며, 제2 영구자석(520)이 자기 부상체의 역할을 수행한다. 제1 영구자석(510)은 도 12 내지 도 15를 참조하여 설명한 실시예에서의 제1 영구자석(310)일 수 있다. 제2 영구자석(520)은 도 6을 참조하여 설명한 실시예에서의 제2 영구자석(120)일 수 있다. 제1 영구자석(51)의 제1 부분자석(511)의 제1 부분면(511)의 폭은 제2 영구자석(520)의 오목홈(524)의 입구의 폭보다 작게 형성될 수 있다.Referring to FIG. 17, the magnetic levitation apparatus 500 of this embodiment includes a first permanent magnet 510 and a second permanent magnet 520. The second permanent magnet 520 is positioned vertically (in the + Z-axis direction) of the first permanent magnet 510 and floats by the levitation force. That is, in this embodiment, the first permanent magnet 510 corresponds to a support and the second permanent magnet 520 plays a role of a magnetic levitation body. The first permanent magnet 510 may be the first permanent magnet 310 in the embodiment described with reference to FIGS. The second permanent magnet 520 may be the second permanent magnet 120 in the embodiment described with reference to FIG. The width of the first partial surface 511 of the first partial magnet 511 of the first permanent magnet 51 may be smaller than the width of the entrance of the concave groove 524 of the second permanent magnet 520. [

도 6을 참조하여 설명한 바와 같이, 제2 영구자석(520)의 오목홈(524)을 이루는 바닥면(521)과 제1 및 제2 내측면들(522, 523)은 N극으로 착자될 수 있다. 오목홈(524)을 이루는 내면들(521, 522, 523)이 동일 극성(N극)의 자극면이 됨에 따라, 오목홈(524)을 이루는 내면들(521, 522, 523)에서 수직하게 형성되는 자기력선(B)은 오목홈(524)의 입구 근방에서 수렴된 후 오목홈(524)의 외부로 나가게 되므로, 오목홈(524)의 입구 근방에서 단위면적당 자기력선(B)의 수, 즉 자속밀도가 조밀해지며, 자기력선 수렴영역(526)은 오목홈(524)의 내부 혹은 입구 근방에 위치할 수 있게 된다. 따라서, 제1 영구자석(510)의 제1 부분자석(511)의 제1 부분면(511a)이 자기력선 수렴영역에 위치하게 되면, 제2 영구자석(520)은 제1 영구자석(510)에 이격된 상태로 자기적 척력에 의해 수직 방향의 부상력(531)과 수평 방향의 측면 반발력(532, 533)을 받는다. 제2 영구자석(520)이 제1 영구자석(510)의 중심(516)에서 일측 방향으로 편향되면, 수평 방향의 측면 반발력(532, 533)의 차는 측면 복원력으로 작용하게 된다.6, the bottom surface 521 and the first and second inner surfaces 522 and 523 forming the concave groove 524 of the second permanent magnet 520 can be magnetized to the N pole have. The inner surfaces 521, 522 and 523 forming the concave groove 524 become the pole faces of the same polarity (N pole) so that they are formed vertically on the inner surfaces 521, 522 and 523 constituting the concave groove 524 The magnetic force lines B converge near the entrance of the concave groove 524 and then go out of the concave groove 524 so that the number of lines of magnetic force B per unit area in the vicinity of the entrance of the concave groove 524, And the magnetic field line convergence region 526 can be located inside the concave groove 524 or in the vicinity of the entrance. Accordingly, when the first partial surface 511a of the first partial magnet 511 of the first permanent magnet 510 is positioned in the line of the magnetic-field-convergence line, the second permanent magnet 520 is brought into contact with the first permanent magnet 510 And the vertical lifting force 531 and the horizontal lateral repulsion forces 532 and 533 are received by the magnetic repulsive force in a spaced apart state. When the second permanent magnet 520 is deflected in one direction from the center 516 of the first permanent magnet 510, the difference in the lateral side repulsive force 532, 533 acts as a side restoring force.

도 18은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 자기부상장치(600)의 개략적인 사시도이다. 18 is a schematic perspective view of a magnetic levitation apparatus 600 according to another embodiment of the present invention.

도 18을 참조하면, 본 실시예의 자기부상장치(600)는 제1 영구자석(610)과, 제2 영구자석(620)을 포함한다. 제1 영구자석(610)은 제2 영구자석(620)의 연직 상방(+Z축 방향)에 위치하며 자기부상력에 의해 부상된다. 이러한 제1 및 제2 영구자석(610, 620)은 도 17을 참조하여 설명한 실시예의 자기부상장치(500)의 제1 및 제2 영구자석(510, 520)의 상하 위치가 바뀐 경우이다. 즉, 본 실시예는 제1 영구자석(610)이 자기 부상체에 해당되며, 제2 영구자석(620)이 제1 영구자석(610)의 자기 부상을 지지하는 지지체의 역할을 수행한다. 전술한 실시예에서 제1 및 제2 영구자석(510, 520)의 상하 위치가 뒤바뀌더라도 본 실시예에서의 자기적 척력에 의한 힘의 관계는 전술한 실시예와 실질적으로 동일하므로, 제1 영구자석(610)은 제2 영구자석(620)에 이격된 상태로 자기적 척력에 의해 수직 방향의 부상력과 수평 방향의 측면 복원력을 동시에 받는다.Referring to FIG. 18, the magnetic levitation apparatus 600 of this embodiment includes a first permanent magnet 610 and a second permanent magnet 620. The first permanent magnet 610 is positioned vertically (+ Z-axis direction) of the second permanent magnet 620 and is floated by the magnetic levitation force. The first and second permanent magnets 610 and 620 correspond to the case where the first and second permanent magnets 510 and 520 of the magnetic levitation apparatus 500 of the embodiment described with reference to FIG. That is, in this embodiment, the first permanent magnet 610 corresponds to a magnetic levitation body, and the second permanent magnet 620 serves as a support for supporting the magnetic levitation of the first permanent magnet 610. Even if the vertical positions of the first and second permanent magnets 510 and 520 are reversed in the above-described embodiment, the relationship of the force due to the magnetic repulsive force in this embodiment is substantially the same as in the above embodiment, The permanent magnets 610 are spaced apart from the second permanent magnets 620 and simultaneously receive the levitation force in the vertical direction and the lateral direction restoring force in the horizontal direction by the magnetic repulsive force.

도 19는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 자기부상장치(700)의 개략적인 사시도이다. 19 is a schematic perspective view of a magnetic levitation apparatus 700 according to another embodiment of the present invention.

도 19를 참조하면, 본 실시예의 자기부상장치(700)는 제1 영구자석(710)과, 제2 영구자석(720)을 포함한다. 제2 영구자석(720)은 제1 영구자석(710)의 연직 상방(+Z축 방향)에 위치하며 자기부상력에 의해 부상된다. 즉, 본 실시예는 제1 영구자석(710)이 지지체에 해당되며, 제2 영구자석(720)이 자기 부상체의 역할을 수행한다. 제1 영구자석(710)은 도 5를 참조하여 설명한 실시예에서의 제1 영구자석(110)일 수 있다. 제2 영구자석(720)은 도 12 내지 도 15를 참조하여 설명한 실시예에서의 제2 영구자석(320)일 수 있다. 제1 영구자석(710)의 첨두면(711)의 폭은 제2 영구자석(720)의 제4 부분면(721a)의 폭보다 작게 형성될 수 있다.Referring to FIG. 19, the magnetic levitation apparatus 700 of this embodiment includes a first permanent magnet 710 and a second permanent magnet 720. The second permanent magnet 720 is positioned vertically (+ Z-axis direction) of the first permanent magnet 710 and floats by the levitation force. That is, in this embodiment, the first permanent magnet 710 corresponds to a support, and the second permanent magnet 720 plays a role of a magnetic levitation body. The first permanent magnet 710 may be the first permanent magnet 110 in the embodiment described with reference to FIG. The second permanent magnets 720 may be the second permanent magnets 320 in the embodiment described with reference to Figs. The width of the apical surface 711 of the first permanent magnet 710 may be smaller than the width of the fourth partial surface 721a of the second permanent magnet 720.

도 13을 참조하여 설명한 바와 같이, 제2 영구자석(720)은 제4 부분자석(721)의 자성 세기가 제5 및 제6 부분자석들(722, 723)의 자석 세기보다 작게 착자됨에 따라, 제2 영구자석(720)의 제4 부분자석(721)의 제4 부분면(721a)의 하방에는 자기력선 수렴영역이 형성된다. 따라서, 제2 영구자석(720)의 부상위치를 적절히 결정하여 제2 영구자석(720)의 자기력선 수렴영역에 제1 영구자석(710)의 제1 부분자석(711)의 제1 부분면(711a)이 위치하도록 하면, 제2 영구자석(720)은 제1 영구자석(710)에 이격된 상태로 자기적 척력에 의해 수직 방향의 부상력(731)과 수평 방향의 측면 반발력(732, 733)을 받는다. 제2 영구자석(720)이 제1 영구자석(710)의 중심(716)에서 일측 방향으로 편향되면, 수평 방향의 측면 반발력(732, 733)의 차는 측면 복원력으로 작용하게 된다.13, the second permanent magnets 720 are arranged such that the magnetic intensity of the fourth partial magnet 721 is magnetized to be smaller than the magnet intensities of the fifth and sixth partial magnets 722 and 723, The fourth portion of the second permanent magnet 720 has a magnetic force line convergence region below the fourth part surface 721a of the magnet 721. Accordingly, the floating position of the second permanent magnet 720 is appropriately determined, and the first partial surface 711a of the first partial magnet 711 of the first permanent magnet 710 is positioned in the magnetic field line converging region of the second permanent magnet 720 The second permanent magnets 720 are spaced apart from the first permanent magnets 710 so that the levitation force 731 in the vertical direction and the lateral repulsive forces 732 and 733 in the horizontal direction are generated by the magnetic repulsive force, . When the second permanent magnet 720 is deflected in one direction from the center 716 of the first permanent magnet 710, the difference in the lateral side repulsive force 732, 733 acts as a side restoring force.

도 20은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 자기부상장치(800)의 개략적인 사시도이다. 20 is a schematic perspective view of a magnetic levitation apparatus 800 according to another embodiment of the present invention.

도 20을 참조하면, 본 실시예의 자기부상장치(800)는 제1 영구자석(810)과, 제2 영구자석(820)을 포함한다. 제1 영구자석(810)은 제2 영구자석(820)의 연직 상방(+Z축 방향)에 위치하며 자기부상력에 의해 부상된다. 이러한 제1 및 제2 영구자석(810, 820)은 도 19를 참조하여 설명한 실시예의 자기부상장치(700)의 제1 및 제2 영구자석(710, 720)의 상하 위치가 바뀐 경우이다. 즉, 본 실시예는 제1 영구자석(810)이 자기 부상체에 해당되며, 제2 영구자석(820)이 제1 영구자석(810)의 자기 부상을 지지하는 지지체의 역할을 수행한다. 전술한 실시예에서 제1 및 제2 영구자석(710, 720)의 상하 위치가 뒤바뀌더라도 자기적 척력에 의한 힘의 관계는 실질적으로 동일하므로, 본 실시예에서 제1 영구자석(810)은 제2 영구자석(820)에 이격된 상태로 자기적 척력에 의해 수직 방향의 부상력과 수평 방향의 측면 복원력을 동시에 받는다.Referring to FIG. 20, the magnetic levitation apparatus 800 of this embodiment includes a first permanent magnet 810 and a second permanent magnet 820. The first permanent magnet 810 is located vertically (in the + Z-axis direction) of the second permanent magnet 820 and floats by the levitation force. The first and second permanent magnets 810 and 820 correspond to the case where the first and second permanent magnets 710 and 720 of the magnetic levitation apparatus 700 of the embodiment described with reference to FIG. That is, in this embodiment, the first permanent magnet 810 corresponds to a magnetic levitation body, and the second permanent magnet 820 serves as a support for supporting the magnetic levitation of the first permanent magnet 810. Even if the first and second permanent magnets 710 and 720 are reversed vertically in the above-described embodiment, the relationship of the forces due to the magnetic repulsive force is substantially the same, and therefore, in this embodiment, the first permanent magnets 810 The second permanent magnets 820 are spaced apart from each other and simultaneously receive a levitation force in a vertical direction and a lateral direction restoring force in a horizontal direction by a magnetic repulsive force.

도 21은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 자기부상장치(900)의 개략적인 사시도이다. 21 is a schematic perspective view of a magnetic levitation apparatus 900 according to another embodiment of the present invention.

도 21을 참조하면, 본 실시예의 자기부상장치(900)는 제1 영구자석(910)과, 제2 영구자석(920)과, 제1 보조자석(930)을 포함한다. Referring to Fig. 21, the magnetic levitation apparatus 900 of this embodiment includes a first permanent magnet 910, a second permanent magnet 920, and a first auxiliary magnet 930.

제1 영구자석(910) 및 제2 영구자석(920)은 도 4 내지 도 10을 참조하여 설명한 실시예에서의 제1 영구자석(110) 및 제2 영구자석(120)일 수 있다. 도 5를 참조하여 설명한 바와 같이, 제1 영구자석(910)은, 길이 방향(X축 방향)에 수직한 횡단면에서 보았을 때, 첨두면(911)으로 갈수록 폭이 좁아지는 사다리꼴 형상일 수 있다. 제1 영구자석(910)은 첨두면(911)이 N극 혹은 S극의 자극면이 되도록 착자된다. 제1 영구자석(910)의 첨두면(911)의 배면(915)은 첨두면(911)의 극성과 반대되는 극성이 된다. 제2 영구자석(920)은 제1 영구자석(910)의 연직 상방(+Z축 방향)에 위치하여 자기부상력에 의해 부상되는 자기 부상체의 역할을 수행한다. 도 6을 참조하여 설명한 바와 같이, 제2 영구자석(920)의 오목홈(924)을 이루는 내면들(921, 922, 923)에서 발생된 자기력선이 수렴되는 영역이 오목홈(924)의 내부 혹은 입구 근방에 위치할 수 있게 된다.The first permanent magnet 910 and the second permanent magnet 920 may be the first permanent magnet 110 and the second permanent magnet 120 in the embodiment described with reference to FIGS. 5, the first permanent magnet 910 may have a trapezoidal shape in which the width becomes narrower toward the apex 911 when viewed from a transverse section perpendicular to the longitudinal direction (X-axis direction). The first permanent magnet 910 is magnetized such that the apical surface 911 is a magnetic pole surface of N pole or S pole. The back surface 915 of the apical surface 911 of the first permanent magnet 910 has a polarity opposite to the polarity of the apical surface 911. [ The second permanent magnets 920 are positioned vertically (in the + Z-axis direction) of the first permanent magnets 910 and serve as a magnetic levitating body lifted by the levitation force. The area where the lines of magnetic force generated from the inner surfaces 921, 922, and 923 forming the concave grooves 924 of the second permanent magnets 920 converge is formed inside the concave grooves 924 So that it can be positioned near the entrance.

제1 보조자석(930)은 평판형의 영구자석으로서, 제1 영구자석(910)의 배면(915)에 배치되며, 제1 영구자석(910)과 함께 제2 영구자석(920)에 대한 지지체의 역할을 수행한다. 또한, 제1 보조자석(930)의 상면(931)의 일부는 제1 영구자석(910)의 바깥에 위치하여 제2 영구자석(920)에 대면한다. 즉, 제1 보조자석(930)의 폭은 제1 영구자석(910)의 하단의 폭보다 크다. The first auxiliary magnet 930 is a flat plate type permanent magnet disposed on the back surface 915 of the first permanent magnet 910 and is supported by the support 920 for the second permanent magnet 920 together with the first permanent magnet 910. [ . A portion of the upper surface 931 of the first auxiliary magnet 930 is located outside the first permanent magnet 910 and confronts the second permanent magnet 920. That is, the width of the first auxiliary magnet 930 is larger than the width of the lower end of the first permanent magnet 910.

제1 보조자석(930)의 상면(931)은 제1 영구자석(910)의 배면(915)의 극성과 반대되는 극성으로 착자되어, 제1 보조자석(930)은 제1 영구자석(910)과 자기적으로 결합되어 있을 수 있다. 제1 영구자석(910)과 제1 보조자석(930)은 추가적으로 접착제등에 의해 고정되어 있을 수 있다. The upper surface 931 of the first auxiliary magnet 930 is magnetized in a polarity opposite to the polarity of the back surface 915 of the first permanent magnet 910 so that the first auxiliary magnet 930 is magnetized by the first permanent magnet 910, May be magnetically coupled. The first permanent magnet 910 and the first auxiliary magnet 930 may be further fixed with an adhesive or the like.

제1 영구자석(910)의 첨두면(911)과 제2 영구자석(920)의 오목홈(924)을 이루는 내면들(921, 922, 923)은 모두 동일 극성으로 착자되어, 제2 영구자석(920)은 제1 영구자석(910)에 이격된 상태로 자기적 척력에 의해 수직 방향의 부상력과 수평 방향의 측면 복원력을 동시에 받는다. 나아가, 제2 영구자석(920)의 오목홈(924) 근방에서 자기력선이 수렴됨에 따라, 제2 영구자석(920)이 받는 측면 복원력은 수렴되는 방향으로 이루어져 좀 더 안정적으로 측면 제어될 수 있다.The inner faces 921, 922 and 923 forming the concave groove 924 of the second permanent magnet 920 and the apical face 911 of the first permanent magnet 910 are all magnetized in the same polarity, The first permanent magnets 920 are spaced apart from the first permanent magnets 910 and simultaneously receive a levitation force in a vertical direction and a lateral direction restoring force in a horizontal direction by a magnetic repulsive force. Further, as the lines of magnetic force converge in the vicinity of the concave grooves 924 of the second permanent magnets 920, the side restoring forces received by the second permanent magnets 920 are in a converging direction, so that more stable lateral control can be achieved.

또한, 제2 영구자석(920)의 오목홈(924)을 사이에 둔 제1 및 제2 하면(928, 929)은 제1 보조자석(930)의 상면(931)과 마주보게 위치하며, 제2 영구자석(920)의 오목홈(924)을 사이에 둔 제1 및 제2 하면(928, 929) 역시 제1 보조자석(930)의 상면(931)과 동일한 극성으로 착자되어, 제1 영구자석(910)은 제1 보조자석(930)에 이격된 상태로 자기적 척력에 의해 수직 방향의 추가적인 부상력을 받을 수 있다. 이와 같은 추가적인 부상력 덕분에, 제2 영구자석(920)에 요구되는 자석 세기의 부담이 경감되며, 자기력선 수렴영역과 관련되는 오목홈(924)의 형상 및 착자에 대한 설계의 자유도를 향상시킬 수 있다.The first and second lower surfaces 928 and 929 sandwiching the concave groove 924 of the second permanent magnet 920 are positioned to face the upper surface 931 of the first auxiliary magnet 930, The first and second lower surfaces 928 and 929 sandwiching the concave groove 924 of the second permanent magnet 920 are also magnetized in the same polarity as the upper surface 931 of the first auxiliary magnet 930, The magnet 910 can receive additional levitation force in the vertical direction by magnetic repulsing force while being separated from the first auxiliary magnet 930. [ By virtue of such additional levitation force, the burden of the magnet strength required for the second permanent magnet 920 is reduced, and the shape of the concave groove 924 associated with the magnetic field line convergence region and the freedom of designing for magnetization can be improved have.

제1 보조자석(930)은 제2 영구자석(920)의 폭 방향(Y 방향)의 폭(W5)보다 긴 폭(W6)을 가져, 제2 영구자석(920)이 폭 방향(Y 방향)으로 소정 거리 이동하더라도 안정적으로 부상시키도록 할 수 있다. 이러한 제2 영구자석(920)의 폭(W5)에 대한 제1 보조자석(930)의 폭(W6)의 관계는 제2 영구자석(920)이 폭 방향(Y 방향)으로 이동이 허용되는 폭에 따라 결정될 수 있다. The first auxiliary magnet 930 has a width W6 that is longer than the width W5 of the second permanent magnets 920 in the width direction (Y direction), and the second permanent magnets 920 are arranged in the width direction (Y direction) It is possible to stably float even if it moves a predetermined distance. The relationship of the width W6 of the first auxiliary magnet 930 with respect to the width W5 of the second permanent magnet 920 is set such that the width of the second permanent magnet 920, &Lt; / RTI >

본 실시예는 제1 보조자석(930)이 제1 영구자석(910)에 결합하는 경우를 예로 들어 설명하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 가령, 제1 보조자석(930)은 전술한 실시예들의 자기부상장치(200, 300, 400, 500, 600, 700, 800)에서 아랫쪽에 위치하는 영구자석(220, 310, 420, 510, 620, 710, 820)의 하면에 부착될 수도 있다.In this embodiment, the case where the first auxiliary magnet 930 is coupled to the first permanent magnet 910 is described as an example, but the present invention is not limited thereto. For example, the first auxiliary magnet 930 may include permanent magnets 220, 310, 420, 510, 620 located below the magnetic levitation apparatus 200, 300, 400, 500, 600, 700, 800 of the above- , 710, 820).

도 22는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 자기부상장치(1000)의 개략적인 사시도이다. 22 is a schematic perspective view of a magnetic levitation apparatus 1000 according to another embodiment of the present invention.

도 22를 참조하면, 본 실시예의 자기부상장치(1000)는 제1 영구자석(1010)과, 제2 영구자석(1020)과, 제2 보조자석(1030)을 포함한다. Referring to FIG. 22, the magnetic levitation apparatus 1000 of this embodiment includes a first permanent magnet 1010, a second permanent magnet 1020, and a second auxiliary magnet 1030.

제1 영구자석(1010) 및 제2 영구자석(1020)은 도 12 내지 도 15를 참조하여 설명한 실시예에서의 제1 영구자석(310) 및 제2 영구자석(320)일 수 있다. 제1 영구자석(1010)은 길이 방향(X축 방향)으로 길게 연장되는 제1 부분자석(1011)과, 제1 부분자석(1011)의 좌우측에 위치하는 제2 부분자석(1012) 및 제3 부분자석(1013)을 포함하는 평판 형상을 가질 수 있으며, 이들 제1 내지 제3 부분자석(1011, 1012, 1013)의 형상, 자성 세기, 및 자극 방향은 도 13를 참조한 제1 영구자석(310)과 실질적으로 동일할 수 있다. 마찬가지로, 제2 영구자석(1020)은 길이 방향(X축 방향)으로 길게 연장되는 제4 부분자석(1021)과, 제4 부분자석(1021)의 좌우측에 위치하는 제5 부분자석(1022) 및 제6 부분자석(1023)을 포함하는 평판 형상을 가질 수 있으며, 이들 제4 내지 제5 부분자석(1021, 1022, 1023)의 형상, 자성 세기, 및 자극 방향은 도 13를 참조한 제2 영구자석(320)과 실질적으로 동일할 수 있다.The first permanent magnet 1010 and the second permanent magnet 1020 may be the first permanent magnet 310 and the second permanent magnet 320 in the embodiment described with reference to FIGS. The first permanent magnet 1010 includes a first partial magnet 1011 extending in the longitudinal direction (X axis direction), a second partial magnet 1012 located on the right and left of the first partial magnet 1011, The shape, magnetic intensity, and magnetic pole direction of the first to third partial magnets 1011, 1012, and 1013 may have a flat shape including a partial magnet 1013, and the first permanent magnets 310 ). &Lt; / RTI > Similarly, the second permanent magnet 1020 includes a fourth partial magnet 1021 extending in the longitudinal direction (X-axis direction), a fifth partial magnet 1022 located at the right and left of the fourth partial magnet 1021, And the shape, magnetic intensity, and magnetic pole direction of the fourth to fifth partial magnets 1021, 1022, and 1023 may have a flat shape including a sixth partial magnet 1023, 0.0 > 320 < / RTI >

제2 보조자석(1030)은 평판형의 영구자석으로서, 제2 영구자석(1020)의 배면(1020b)에 부착된다. 제2 보조자석(1030)의 폭(W7)은 제2 영구자석(1020)의 폭(W8)보다 크며, 제1 영구자석(1010)의 폭(W9)보다 작게 형성될 수 있다. 따라서, 제2 보조자석(1030)의 일부 하면(1030a)은 제2 영구자석(1020)에 부착된 영역 바깥에 있으며 제1 영구자석(1010)에 대면한다.The second auxiliary magnet 1030 is a flat permanent magnet and is attached to the back surface 1020b of the second permanent magnet 1020. [ The width W7 of the second auxiliary magnet 1030 is larger than the width W8 of the second permanent magnet 1020 and smaller than the width W9 of the first permanent magnet 1010. [ The lower surface 1030a of the second subsidiary magnet 1030 is located outside the area attached to the second permanent magnet 1020 and confronts the first permanent magnet 1010. [

제2 보조자석(1030)의 하면(1030a)은 제2 영구자석(1020)의 배면(1020b)의 극성과 반대되는 극성으로 착자되어, 제2 보조자석(1030)은 제2 영구자석(1020)과 자기적으로 결합되어 있을 수 있다. 제2 영구자석(1020)과 제2 보조자석(1030)은 추가적으로 접착제등에 의해 고정되어 있을 수 있다. The lower surface 1030a of the second subsidiary magnet 1030 is magnetized in a polarity opposite to the polarity of the back surface 1020b of the second permanent magnet 1020 while the second subsidiary magnet 1030 is magnetized in the second permanent magnet 1020, May be magnetically coupled. The second permanent magnets 1020 and the second auxiliary magnets 1030 may be further fixed with an adhesive or the like.

제1 영구자석(1010)의 상면(1010a)과 제2 영구자석(1020)의 하면(1020a)은 모두 동일 극성으로 착자되어, 제2 영구자석(1020)은 제1 영구자석(1010)에 이격된 상태로 자기적 척력에 의해 수직 방향의 부상력과 수평 방향의 측면 복원력을 동시에 받는다. 나아가, 도 13를 참조하여 설명한 바와 같이, 제2 영구자석(1020)은 제4 부분자석(1021)의 자성 세기가 제5 및 제6 부분자석들(1022, 1023)의 자석 세기보다 작게 착자됨에 따라, 제2 영구자석(1020)의 제4 부분자석(1021)의 하방에는 자기력선 수렴영역이 형성됨에 따라, 제2 영구자석(1020)이 받는 측면 복원력은 수렴되는 방향으로 이루어져 좀 더 안정적으로 측면 제어될 수 있다. The upper surface 1010a of the first permanent magnet 1010 and the lower surface 1020a of the second permanent magnet 1020 are magnetized in the same polarity so that the second permanent magnet 1020 is spaced apart from the first permanent magnet 1010 And receives the levitation force in the vertical direction and the lateral restoring force in the horizontal direction simultaneously by the magnetic repulsive force. 13, the second permanent magnet 1020 is magnetized so that the magnetic intensity of the fourth partial magnet 1021 is smaller than the magnet intensities of the fifth and sixth partial magnets 1022 and 1023 Accordingly, since the magnetic field lines converge on the lower portion of the fourth partial magnet 1021 of the second permanent magnet 1020, the side restoring force received by the second permanent magnet 1020 is in a converging direction, Lt; / RTI >

또한, 제1 및 제2 영구자석(1010, 1020) 사이의 자기적 척력에 의한 부상력뿐만 아니라, 제2 보조자석(1030)의 제1 영구자석(1010)에 대면하는 하면(1030a) 역시 제1 영구자석(1010)의 상면(1010a)과 동일 자극으로 착자되어 자기적 척력에 추가적인 부상력이 발생된다. 이와 같은 추가적인 부상력 덕분에, 제2 영구자석(1020)에 요구되는 자석 세기의 부담이 경감되며, 자기력선 수렴영역과 관련되는 제4 내지 제6 부분자석(1021, 1022, 2023)들의 형상 및 착자에 대한 설계의 자유도를 향상시킬 수 있다.Not only the levitation force due to the magnetic repulsive force between the first and second permanent magnets 1010 and 1020 but also the lower surface 1030a facing the first permanent magnet 1010 of the second auxiliary magnet 1030 1 permanent magnet 1010, and an additional levitation force is generated in addition to the magnetic repulsive force. This additional floating force reduces the burden on the magnet strength required for the second permanent magnet 1020, and the shape of the fourth through sixth partial magnets 1021, 1022, 2023 related to the magnetic field line convergence region, Can be improved.

본 실시예는 제2 보조자석(1030)이 제2 영구자석(1020)에 결합하는 경우를 예로 들어 설명하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 가령, 제2 보조자석(1030)은 전술한 실시예들의 자기부상장치(100, 200, 400, 500, 600, 700, 800)에서 윗쪽에 위치하는 영구자석(120, 210, 410, 520, 610, 720, 810)의 상면에 부착될 수도 있다. 나아가, 전술한 실시예에서의 제1 보조자석(930)과 본 실시예의 제2 보조자석(1030)이 자기부상장치(100, 200, 400, 500, 600, 700, 800)의 제1 및 제2 영구자석에 동시에 부착될 수도 있다.Although the present embodiment has been described by way of example in which the second auxiliary magnet 1030 is coupled to the second permanent magnet 1020, the present invention is not limited thereto. For example, the second auxiliary magnet 1030 may include permanent magnets 120, 210, 410, 520, and 610 located above the magnetic levitation apparatuses 100, 200, 400, 500, 600, 700, 800 of the above- , 720, 810). Further, the first auxiliary magnet 930 and the second auxiliary magnet 1030 of the embodiment of the present invention are disposed in the first and second magnetic levitation devices 100, 200, 400, 500, 600, 700, 2 permanent magnets.

도 23은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 자기부상장치(1100)의 개략적인 사시도이다. 도 23을 참조하면, 본 실시예의 자기부상장치(1100)는 지지대(1130)와, 지지대(1130)의 상면에 길이 방향(X축 방향)으로 길게 연장되어 마련된 제1 영구자석(1110)과, 제1 영구자석(1110)에 상방으로 이격되며 대향되는 제2 영구자석(1120)과, 제2 영구자석(1120)의 상면에 부착되는 부상체(1150)를 포함한다. 나아가, 지지대(1130)에는 제3 보조자석(1140)이 마련되며, 제3 보조자석(1140)의 상방으로 이격되며 대향되는 제4 보조자석(1160)이 부상체(1150)에 하면에 부착되어 있다. 23 is a schematic perspective view of a magnetic levitation apparatus 1100 according to another embodiment of the present invention. 23, the magnetic levitation apparatus 1100 of the present embodiment includes a support 1130, a first permanent magnet 1110 extending in the longitudinal direction (X-axis direction) on the upper surface of the support 1130, A second permanent magnet 1120 facing upward and spaced apart from the first permanent magnet 1110 and a floating body 1150 attached to the upper surface of the second permanent magnet 1120. Further, a third auxiliary magnet 1140 is provided on the support base 1130, and a fourth auxiliary magnet 1160, which is spaced apart from the third auxiliary magnet 1140 and opposed to the third auxiliary magnet 1140, is attached to the lower surface of the floating body 1150 have.

제1 및 제2 영구자석(1110, 1120)은 전술한 실시예들의 자기부상장치(100, 200, 300, 400, 500, 600, 700, 800, 900, 1000)의 제1 및 제2 영구자석들이거나, 이들에 제1 보조자석(930) 또는 제2 보조자석(1030)이 결합된 것일 수 있다. 예를 들어, 도 23에 도시된 바와 같이, 제1 영구자석(1110)은 첨두면(1111)이 돌출된 영구자석이고, 제2 영구자석(1120)은 오목홈(1124)을 갖는 영구자석일 수 있다. 이러한 제1 및 제2 영구자석(1110, 1120)은 제2 영구자석(1120)에게 부상력(1171)과 함께 측면 복원력을 준다. The first and second permanent magnets 1110 and 1120 are disposed on the first and second permanent magnets 1110 and 1120 of the magnetic levitation apparatuses 100, 200, 300, 400, 500, 600, 700, Or the first auxiliary magnet 930 or the second auxiliary magnet 1030 may be combined with the first auxiliary magnet 930 or the second auxiliary magnet 1030. [ 23, the first permanent magnet 1110 is a permanent magnet with a protruding face 1111 protruded, and the second permanent magnet 1120 is a permanent magnet having a concave groove 1124. [ . The first and second permanent magnets 1110 and 1120 give the second permanent magnet 1120 a lateral restoring force together with the levitation force 1171. [

제3 보조자석(1140)은 제1 영구자석(1110)의 양측면에 배치되는 좌우 제3 보조자석(1141, 1142)를 포함할 수 있다. 좌우 제3 보조자석(1141, 1142)은 길이 방향(X축 방향)으로 길게 연장되어 형성될 수 있다. 마찬가지로, 제4 보조자석(1160)은 제2 영구자석(1120)의 양측면에 배치되는 좌우 제4 보조자석(1161, 1162)를 포함할 수 있다. 좌우 제4 보조자석(1161, 1162)은 길이 방향(X축 방향)으로 길게 연장되어 형성될 수 있다. The third auxiliary magnet 1140 may include left and right third auxiliary magnets 1141 and 1142 disposed on both sides of the first permanent magnet 1110. The left and right third auxiliary magnets 1141 and 1142 may be elongated in the longitudinal direction (X-axis direction). Likewise, the fourth auxiliary magnet 1160 may include left and right fourth auxiliary magnets 1161 and 1162 disposed on both sides of the second permanent magnet 1120. The left and right fourth auxiliary magnets 1161 and 1162 may be elongated in the longitudinal direction (X-axis direction).

좌우 제4 보조자석(1161, 1162) 각각의 폭은, 도 23에 도시되듯이, 좌우 제3 보조자석(1141, 1142) 각각의 폭보다 짧게 형성될 수 있다. 그러나, 본 실시예는 이에 한정될 필요는 없다. 다만, 좌우 제4 보조자석(1161, 1162)이나 좌우 제3 보조자석(1141, 1142)의 끝단에서의 급격한 자기력선 발산에 의한 악영향을 경감시키기 위하여, 좌우 제3 보조자석(1141, 1142)과 좌우 제4 보조자석(1161, 1162) 중 어느 하나의 폭이 다른 하나의 폭보다 긴 것이 바람직하며, 상측의 무게를 가볍게 하기 위하여 좌우 제4 보조자석(1161, 1162) 각각의 폭을, 도 23에 도시되듯이, 좌우 제3 보조자석(1141, 1142) 각각의 폭보다 짧게 형성할 수 있다.The width of each of the left and right fourth auxiliary magnets 1161 and 1162 may be shorter than the width of each of the left and right third auxiliary magnets 1141 and 1142 as shown in FIG. However, the present embodiment is not limited thereto. However, in order to alleviate the adverse effects caused by the abrupt magnetic force line divergence at the ends of the left and right fourth auxiliary magnets 1161 and 1162 and the left and right third auxiliary magnets 1141 and 1142, the left and right third auxiliary magnets 1141 and 1142, It is preferable that the width of any one of the fourth auxiliary magnets 1161 and 1162 is longer than the other width and the width of each of the left and right fourth auxiliary magnets 1161 and 1162 is set to be As shown in the figure, the widths of the left and right third auxiliary magnets 1141 and 1142 may be shorter than the widths of the left and right third auxiliary magnets 1141 and 1142, respectively.

제3 보조자석(1140)과 제4 보조자석(1160)은 대향되는 면이 동일 자극(예를 들어, 도 23에 도시되듯이 N극)으로 착자되어 자기적 척력에 의한 추가적인 부상력(1174, 1175)이 발생되도록 할 수 있다. 이와 같은 추가적인 부상력 덕분에, 제1 및 제2 영구자석(1110, 1120)들의 형상 및 착자에 대한 설계의 자유도를 향상시킬 수 있다.The third auxiliary magnet 1140 and the fourth auxiliary magnet 1160 are magnetized with the same magnetic pole (for example, N pole as shown in FIG. 23) so that the opposed surfaces are magnetized by the additional levitation force 1174, 1175) may be generated. Thanks to such additional levitation force, the degree of freedom in designing the shape and magnetization of the first and second permanent magnets 1110 and 1120 can be improved.

본 실시예는 제3 및 제4 보조자석(1140, 1160)이 2개씩 마련된 경우를 예로 들어 설명하고 있으나, 본 발명은 이에 한정될 필요는 없다. 가령, 제3 및 제4 보조자석(1140, 1160)은 1개 혹은 3개 이상 마련될 수도 있을 것이다.In the present embodiment, two third and fourth auxiliary magnets 1140 and 1160 are provided, but the present invention is not limited thereto. For example, one or more third and fourth auxiliary magnets 1140 and 1160 may be provided.

도 21 내지 도 23을 참조하여 설명한 실시예들에서는 추가적인 부상력을 주는 제1 보조자석(930)과, 제2 보조자석(1030)과, 제3 및 제4 보조자석(1140, 1160) 중 어느 한쪽이 사용된 경우를 예로 들어 설명하고 있으나, 이러한 제1 보조자석(930)과, 제2 보조자석(1030)과, 제3 및 제4 보조자석(1140, 1160)은 일부 혹은 전체가 동시에 사용될 수도 있다. 또한, 도 21 내지 도 23을 참조하여 설명한 실시예들에서는 추가적인 부상력을 주는 제1 보조자석(930)이나 제2 보조자석(1030)이나 제3 및 제4 보조자석(1140, 1160)은 영구자석인 경우를 예로 들어 설명하고 있으나, 전자석일 수도 있다. 제1 보조자석(930)이나 제2 보조자석(1030)이나 제3 및 제4 보조자석(1140, 1160)이 전자석인 경우는 추가적인 부상력을 전기적으로 제어함으로써, 전체 부상력을 제어할 수 있을 것이다.In the embodiments described with reference to Figs. 21 to 23, the first auxiliary magnet 930, the second auxiliary magnet 1030, and the third and fourth auxiliary magnets 1140 and 1160, which give additional levitation force, The first auxiliary magnet 930, the second auxiliary magnet 1030 and the third and fourth auxiliary magnets 1140 and 1160 may be partially or wholly used at the same time It is possible. 21 to 23, the first auxiliary magnet 930 or the second auxiliary magnet 1030 or the third and fourth auxiliary magnets 1140 and 1160, which give additional levitation force, Although the magnet is described as an example, it may be an electromagnet. If the first auxiliary magnet 930 or the second auxiliary magnet 1030 or the third and fourth auxiliary magnets 1140 and 1160 are electromagnets, the additional levitation force can be electrically controlled to control the total levitation force will be.

도 24는 본 발명에 따르는 일 실시예(구체적으로는, 도 21을 참조한 실시예)의 자기부상장치를 실제 제작하여 제2 영구자석의 부상 높이에 따른 부상력 및 측면 반발력을 측정한 도표이다. 도 254를 참조하면, 제2 영구자석의 높이가 멀수록 상방을 향한 자기적 척력, 즉 부상력이 점차 작아짐을 볼 수 있다. 따라서, 제2 영구자석의 무게와 부상력과의 평형을 이루는 지점에서 제2 영구자석의 부상 높이가 결정될 것이다. 한편, 제2 영구자석의 일 측면에 가해지는 측면 반발력은 9mm 높이까지 점차 작아지다가 다시 커짐을 볼 수 있다. 측면 반발력은 자기력선이 중심 방향으로 수렴하는 분포를 갖는 자기력선 수렴영역에서 작용하는 것으로 이해될 수 있으므로, 상기 높이 9mm 근방은 전술한 자기력선 수렴영역으로 이해될 수 있다. 따라서, 제2 영구자석의 부상 높이를 상기 높이 9mm 근방으로 설정함으로써, 제2 영구자석의 측면 방향으로의 움직임을 구속시키는 측면 복원력을 확보할 수 있음이 이해될 수 있을 것이다.FIG. 24 is a graph showing a measurement result of a levitation force and a lateral repulsive force according to a flying height of a second permanent magnet, by actually manufacturing a magnetic levitation apparatus according to an embodiment of the present invention (concretely, the embodiment referring to FIG. 21). Referring to Figure 254, as the height of the second permanent magnet increases, the magnetic repulsive force toward the upward direction, that is, the levitation force gradually decreases. Therefore, the floating height of the second permanent magnet will be determined at a point where the weight of the second permanent magnet equals the floating force. On the other hand, the side repulsive force applied to one side of the second permanent magnet gradually decreases to 9 mm, and then increases again. It can be understood that the side repulsive force acts in the magnetic flux line convergence region having the distribution in which the magnetic flux lines converge to the center direction, so that the vicinity of 9 mm in height can be understood as the magnetic flux line convergence region described above. Therefore, it can be understood that by setting the height of the floating height of the second permanent magnet to the vicinity of the height of 9 mm, it is possible to secure the side restoring force that restrains the movement of the second permanent magnet in the lateral direction.

도 25는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 자기부상 이송장치(1200)의 개략적인 평면도이며, 도 26은 도 25의 자기부상 이송장치(1200)를 I-II선을 따라 본 개략적인 측단면도이며, 도 27는 도 25의 자기부상 이송장치(1200)의 개략적인 정면도이다.25 is a schematic plan view of a magnetic levitation conveyance apparatus 1200 according to another embodiment of the present invention and FIG. 26 is a schematic side sectional view taken along line I-II of the magnetic levitation conveyance apparatus 1200 of FIG. 25 And Fig. 27 is a schematic front view of the magnetic levitation conveyance apparatus 1200 of Fig.

도 25 내지 도 27을 참조하면, 본 실시예의 자기부상 이송장치(1200)는 자기부상을 위한 레일(1210)과, 피처리체를 탑재하는 이송체(1220)를 포함한다. 레일(1210)은 길이 방향(X축 방향)으로 길게 연장되어 형성된다. 이송체(1220)는 피처리체를 탑재할 수 있는 몸체(1221)와, 몸체(1221)의 하부면의 상기 레일(1210)에 대향되는 위치에 마련되는 부상자석(1222)을 포함할 수 있다. 레일(1210) 및 이송체(1220)에는 전술한 실시예들의 자기부상장치(100, 200, 300, 400, 500, 600, 700, 800, 900, 1000, 1100)가 적용될 수 있다. 즉, 레일(1210)과 부상자석(1222)은 전술한 실시예들의 자기부상장치(100, 200, 300, 400, 500, 600, 700, 800, 900, 1000, 1100)의 제1 및 제2 영구자석들이거나, 이들에 보조자석들이 결합된 것일 수 있다. 일 예로, 레일(1210)은 도 4 내지 도 11을 참조하여 설명한 제1 영구자석(110)이고, 부상자석(1222)은 도 4 내지 도 11을 참조하여 설명한 제2 영구자석(120)일 수 있다. 이 경우, 부상자석(1222)에 의해 형성되는 자기력선 수렴영역(도 6의 126 참조)이 레일(1210)의 첨두면(도 4의 111 참조)이 위치한 높이에 있게 됨으로서, 이송체(1220)는 부상자석(1222)에 이격된 상태로 자기적 척력에 의해 수직 방향의 부상력과 수평 방향의 측면 복원력을 동시에 받는다.25 to 27, the magnetic levitation conveyance apparatus 1200 of this embodiment includes a rail 1210 for magnetic levitation and a conveyance body 1220 for mounting the object to be processed. The rail 1210 is formed to extend in the longitudinal direction (X-axis direction). The transfer member 1220 may include a body 1221 on which the object to be processed can be mounted and a floating magnet 1222 provided on a lower surface of the body 1221 at a position opposite to the rail 1210. The magnetic levitation apparatuses 100, 200, 300, 400, 500, 600, 700, 800, 900, 1000, and 1100 of the embodiments described above may be applied to the rail 1210 and the transfer body 1220. [ That is, the rails 1210 and the floating magnets 1222 are disposed on the first and second sides of the magnetic levitation apparatuses 100, 200, 300, 400, 500, 600, 700, 800, 900, 1000, Permanent magnets, or auxiliary magnets coupled to these. For example, the rail 1210 is the first permanent magnet 110 described with reference to Figs. 4 to 11, and the floating magnet 1222 may be the second permanent magnet 120 described with reference to Figs. have. 6) of the rail 1210 is located at the height of the leading edge of the rail 1210 (see 111 in FIG. 4), so that the conveying member 1220 And receives the lifting force in the vertical direction and the lateral restoring force in the horizontal direction simultaneously by the magnetic repulsive force in a state of being separated from the floating magnet 1222. [

본 실시예의 자기부상 이송장치(1200)는 반도체 제조 장치일 수 있다. 이 경우, 피처리체는 예를 들어, 반도체 기판, 유리 기판, 플라스틱 기판 등일 수 있다. 자기부상 이송장치(1200)의 하우징(1290)은 입구 개폐기(1240) 및 출구 개폐기(1270)에 의해 밀폐되어 있을 수 있다. 하우징(1290)의 입구 개폐기(1240) 및 출구 개폐기(1270)에 의해 밀폐된 공간은 증착, 에칭등의 반도체 처리 공정이 수행되는 챔버로 이해될 수 있다. 레일(1210)은 하우징(1290)의 입구 개폐기(1240) 및 출구 개폐기(1270)에 의해 밀폐된 내부에 마련될 수 있다. 입구 개폐기(1240) 앞에는 피처리체가 대기하는 대기부(1230)가 위치하고, 출구 개폐기(1270)의 바깥에는 피처리체가 적재되는 적재부(1280)가 위치할 수 있다.The magnetic levitation conveyance apparatus 1200 of this embodiment may be a semiconductor manufacturing apparatus. In this case, the object to be processed may be, for example, a semiconductor substrate, a glass substrate, a plastic substrate, or the like. The housing 1290 of the magnetic levitation conveyance device 1200 may be sealed by the entrance switch 1240 and the exit switch 1270. The space enclosed by the inlet switch 1240 and the outlet switch 1270 of the housing 1290 can be understood as a chamber in which a semiconductor processing process such as deposition, etching, etc. is performed. The rail 1210 may be provided inside the enclosure sealed by the inlet switch 1240 and the outlet switch 1270 of the housing 1290. A standby portion 1230 for waiting an object to be processed is located in front of the entrance switch 1240 and a loading portion 1280 for placing an object to be processed can be located outside the exit switch 1270.

이송체(1220)의 이송, 즉 대기부(1230)에서 레일(1210) 위로의 이송, 레일(1210) 상에서의 이송, 레일(1210)로부터 적재부(1280)로의 이송은 공지된 이송 수단(예를 들어, 지그(jig)등을 이용한 접촉식 이송 혹은 전자석을 이용한 비접속식 이송 등)을 이용하여 이루어질 수 있다.The conveyance of the conveying member 1220, that is, the conveyance from the base 1230 to the rail 1210, the conveyance from the rail 1210, and the conveyance from the rail 1210 to the loading unit 1280, For example, a contact type transfer using a jig or the like, or a non-connection type transfer using an electromagnet).

다음으로 본 실시예의 자기부상 이송장치(1200)의 동작을 설명한다.Next, the operation of the magnetic levitation conveyance apparatus 1200 of the present embodiment will be described.

이송체(1220)는 대기부(1230)에 대기상태로 있다가 입구 개폐기(1240)가 열리면 순차적으로 레일(1210) 위로 옮겨지고, 레일(1210) 상을 이동한다. 이송체(1220)는 레일(1210)과의 자기적 척력에 의한 부상력과 측면 복원력을 동시에 받으면서 레일(1210)을 따라 이송된다. 이송체(1220)가 레일(1210) 위를 이동하면, 피처리체에 증착, 에칭 등의 반도체 처리공정이 수행된다. 공정이 완료되면, 출구 개폐기(1270)가 열리고 적재부(1280)에 적재된다. 참조번호 1231, 1281은 대기부(1230) 및 적재부(1280) 상에 놓여지는 베어링을 나타낸다.The conveying member 1220 is in standby state in the standby portion 1230 and is sequentially moved over the rail 1210 and moved on the rail 1210 when the entrance switch 1240 is opened. The conveying member 1220 is conveyed along the rail 1210 while simultaneously receiving the levitation force and the lateral restoring force due to the magnetic repulsive force with the rail 1210. When the transfer body 1220 moves on the rail 1210, a semiconductor processing process such as deposition and etching is performed on the object to be processed. When the process is completed, the exit switch 1270 is opened and loaded on the loading section 1280. [ Reference numerals 1231 and 1281 denote bearings placed on the standby portion 1230 and the loading portion 1280, respectively.

도 28은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 자기부상 이송장치(1300)의 개략적인 평면도이며, 도 29는 도 28의 자기부상 이송장치(1300)를 I-II선을 따라 본 개략적인 측단면도이며, 도 30은 도 28의 자기부상 이송장치(1300)의 개략적인 정면도이다.FIG. 28 is a schematic plan view of a magnetic levitation conveying apparatus 1300 according to another embodiment of the present invention, and FIG. 29 is a schematic side sectional view taken along line I-II of the magnetic levitation conveying apparatus 1300 of FIG. And Fig. 30 is a schematic front view of the magnetic levitation conveying apparatus 1300 of Fig.

도 28 내지 도 30을 참조하면, 본 실시예의 자기부상 이송장치(1300)는 자기부상을 위한 레일(1310)과, 피처리체를 탑재하는 이송체(1320)를 포함한다. 이송체(1320)는 피처리체를 탑재할 수 있는 몸체(1321)와, 몸체(1321)의 하부면의 상기 레일(1310)에 대향되는 위치에 마련되는 부상 자석(1322)을 포함할 수 있다. 28 to 30, the magnetic levitation conveying apparatus 1300 of this embodiment includes a rail 1310 for magnetic levitation and a conveying body 1320 for mounting the object to be processed. The transfer body 1320 may include a body 1321 on which the object to be processed can be mounted and a floating magnet 1322 provided on a lower surface of the body 1321 at a position opposite to the rail 1310.

자기부상 이송장치(1300)의 하우징(1390)은 입구 개폐기(1340) 및 출구 개폐기(1370)에 의해 밀폐되어 있을 수 있다. 입구 개폐기(1340) 앞에는 피처리체가 대기하는 대기부(1330)가 위치하고, 출구 개폐기(1370)의 바깥에는 피처리체가 적재되는 적재부(1380)가 위치할 수 있다. 하우징(1390)의 입구 개폐기(1340) 및 출구 개폐기(1370)에 의해 밀폐된 공간은 증착, 에칭등의 반도체 처리 공정이 수행되는 챔버(1360)로 이해될 수 있다. 챔버(1360)는 중간 계폐기(1350)에 의해 공간적으로 분리된 복수의 공간일 수 있다. 레일(1310)은 챔버들(1360) 내부에 마련될 수 있다. 챔버들(1360)은 중간 개폐기(1350)에 의해 공간적으로 분할되어 있으므로, 레일(1310)은 중간 개폐기(1350)가 있는 위치에서 단선되어 있다. 즉, 중간 개폐기(1350)가 위치하는 곳은 레일(1310)(즉, 영구자석)이 놓이지 않은 단선부가 된다. 이송체(1320)의 이송, 즉 대기부(1330)에서 레일(1310) 위로의 이송, 레일(1310) 상에서의 이송, 레일(1310)로부터 적재부(1380)로의 이송은 공지된 이송 수단(예를 들어, 지그등을 이용한 접촉식 이송 혹은 전자석을 이용한 비접속식 이송 등)을 이용하여 이루어질 수 있다.The housing 1390 of the magnetic levitation conveyance apparatus 1300 may be sealed by the entrance switch 1340 and the exit switch 1370. [ A standby portion 1330 for waiting for an object to be processed is located in front of the entrance switch 1340 and a loading portion 1380 for placing an object to be processed can be located outside the exit switch 1370. The space sealed by the inlet switch 1340 and the outlet switch 1370 of the housing 1390 can be understood as a chamber 1360 in which a semiconductor processing process such as deposition, etching, etc. is performed. The chamber 1360 can be a plurality of spaces spatially separated by the intermediate system waste 1350. The rails 1310 may be provided inside the chambers 1360. Since the chambers 1360 are spatially divided by the intermediate switch 1350, the rail 1310 is disconnected at the location where the intermediate switch 1350 is located. That is, the position where the intermediate switch 1350 is located is a disconnected portion where the rails 1310 (i.e., permanent magnets) are not placed. The conveyance of the conveying member 1320, that is, the conveyance from the standby portion 1330 to the rail 1310, the conveyance from the rail 1310, and the conveyance from the rail 1310 to the loading portion 1380, For example, a contact type transfer using a jig or the like, or a non-connection type transfer using an electromagnet).

전술한 실시예와 마찬가지로, 본 실시예의 레일(1310) 및 이송체(1320)에는 전술한 실시예들의 자기부상장치(100, 200, 300, 400, 500, 600, 700, 800, 900, 1000, 1100)가 적용될 수 있다. 즉, 레일(1310)과 부상자석(1322)은 전술한 실시예들의 자기부상장치(100, 200, 300, 400, 500, 600, 700, 800, 900, 1000, 1100)의 제1 및 제2 영구자석들이거나, 이들에 보조자석들이 결합된 것일 수 있다. 일 예로, 도 30에 도시된 바와 같이 레일(1310)은 도 4 내지 도 11을 참조하여 설명한 자기부상장치(100)의 제1 영구자석(110)일 수 있으며, 부상 자석(1322)은 도 4 내지 도 11을 참조하여 설명한 자기부상장치(100)의 제2 영구자석(120)일 수 있다. 이 경우, 부상자석(1322)에 의해 형성되는 자기력선 수렴영역(도 6의 126 참조)이 레일(1310)의 첨두면(도 4의 111 참조)이 위치한 높이에 있게 됨으로서, 이송체(1320)는 부상자석(1322)에 이격된 상태로 자기적 척력에 의해 수직 방향의 부상력과 수평 방향의 측면 복원력을 동시에 받는다.The magnetic levitation apparatuses 100, 200, 300, 400, 500, 600, 700, 800, 900, 1000, and 1000 of the embodiments described above are mounted on the rails 1310 and the conveying bodies 1320 of the present embodiment, 1100) may be applied. That is, the rails 1310 and the floating magnets 1322 are disposed on the first and second sides of the magnetic levitation apparatuses 100, 200, 300, 400, 500, 600, 700, 800, 900, 1000, Permanent magnets, or auxiliary magnets coupled to these. For example, as shown in Fig. 30, the rail 1310 may be the first permanent magnet 110 of the magnetic levitation apparatus 100 described with reference to Figs. 4 to 11, and the floating magnet 1322 may be the first permanent magnet 110 of Fig. And may be the second permanent magnet 120 of the magnetic levitation apparatus 100 described with reference to Fig. In this case, since the magnetic flux line converging region (see reference numeral 126 in Fig. 6) formed by the floating magnet 1322 is at a height at which the apical surface of the rail 1310 (see 111 in Fig. 4) is located, And is lifted at the same time by the magnetic repulsive force in a state of being separated from the floating magnets 1322 and simultaneously receiving the levitation force in the vertical direction and the lateral restoring force in the horizontal direction.

이송체(1320)의 상부면의 길이 방향(X축 방향)을 기준으로 한 전단 및 후단에 제1 및 제2 보조자석(1323, 1324)가 각각 마련된다. 또한, 각각의 챔버(1360)내의 하우징(1390)의 상부면(1391)에는 중간 개폐기(1350)의 전후의 인접한 위치에 제3 및 제4 보조자석(1393, 1394)가 각각 마련된다. 제1 및 제2 보조자석(1323, 1324)과 제3 및 제4 보조자석(1393, 1394)은 대향되는 면이 서로 반대되는 극성으로 착자된다. 가령, 제1 및 제2 보조자석(1323, 1324)의 상부면은 N극으로 착자되고, 제3 및 제4 보조자석(1393, 1394)의 하부면은 S극으로 착자될 수 있다. 물론, N극과 S극은 서로 바뀔 수도 있다. 이러한 제1 내지 제4 보조자석(1323, 1324, 1393, 1394)은 이송체(1320)가 중간 개폐기(1350)가 위치하는 곳, 즉 레일(1310)의 단선부를 지날 때 이송체(1320)의 자기부상을 보조하는 보조자석 모듈이 된다. First and second auxiliary magnets 1323 and 1324 are provided at the front end and the rear end, respectively, with respect to the longitudinal direction (X-axis direction) of the upper surface of the conveying member 1320. Third and fourth auxiliary magnets 1393 and 1394 are provided on the upper surface 1391 of the housing 1390 in each chamber 1360 at the adjacent positions before and after the intermediate switch 1350, respectively. The first and second auxiliary magnets 1323 and 1324 and the third and fourth auxiliary magnets 1393 and 1394 are magnetized in such a polarity that the opposed faces are opposite to each other. For example, the upper surface of the first and second subsidiary magnets 1323 and 1324 may be magnetized to the N pole, and the lower surface of the third and fourth subsidiary magnets 1393 and 1394 may be magnetized to the S pole. Of course, the N pole and the S pole may be exchanged with each other. The first to fourth auxiliary magnets 1323, 1324, 1393 and 1394 are arranged in such a manner that the conveying member 1320 is positioned at a position where the intermediate switch 1350 is located, that is, It becomes an auxiliary magnet module assisting magnetic levitation.

도 31a 내지 도 31f는 본 실시예의 자기부상 이송장치(1300)의 동작을 설명한다.Figs. 31A to 31F explain the operation of the magnetic levitation conveyance apparatus 1300 of this embodiment.

이송체(1320)는 대기부(1330)에 대기상태로 있다가 입구 개폐기(1340)가 열리면 순차적으로 레일(1310) 위로 옮겨지고, 챔버(1360) 내로 이송된다. 이송체(1320)는 레일(1310)과의 자기적 척력에 의한 부상력과 측면 복원력을 동시에 받으면서 레일(1310)을 따라 이송된다. 이송체(1320)가 레일(1310)을 따라 각 챔버(1360)로 이송되면, 피처리체에 증착, 에칭 등의 반도체 처리공정이 수행된다. 챔버들(1360)의 사이에는 중간 개폐기(1350)가 있어, 반도체 처리공정이 수행되는 동안은 밀폐된다. 중간 개폐기(1350)가 위치한 곳에는 레일이 놓여 있지 아니하다. 설명의 편의를 위해, 이송체(1320)의 이송 방향(1325)을 기준으로 상류측의 챔버를 제1 챔버(1361), 하류측의 챔버를 제2 챔버(1362)라 하고, 상류측의 레일을 제1 레일(1311), 하류측의 레일을 제2 레일(1312)이라 한다. The transfer member 1320 is in standby state in the standby portion 1330 and is sequentially transferred onto the rail 1310 and transferred into the chamber 1360 when the entrance switch 1340 is opened. The conveying member 1320 is conveyed along the rail 1310 while simultaneously receiving the levitation force and the lateral restoring force due to the magnetic repulsive force with the rail 1310. When the transfer body 1320 is transferred to each chamber 1360 along the rail 1310, a semiconductor processing process such as deposition and etching is performed on the object to be processed. Between the chambers 1360 is an intermediate switch 1350, which is sealed during the semiconductor processing process. The rail is not placed where the intermediate switch 1350 is located. The upstream chamber is referred to as the first chamber 1361 and the downstream chamber is referred to as the second chamber 1362 with reference to the conveying direction 1325 of the conveying member 1320, Is referred to as a first rail 1311, and a rail on the downstream side is referred to as a second rail 1312. [

도 31a에 도시되듯이, 제1 챔버(1361) 내에서 이송체(1320)가 제1 레일(1311) 상에 위치할 때는 이송체(1320)는 부상 자석(1322)과 제1 레일(1311) 사이의 자기 부상력(1315)에 의해 부상된다. 31A, when the conveying member 1320 is positioned on the first rail 1311 in the first chamber 1361, the conveying member 1320 rotates to move the floating member 1322 to the first rail 1311, By the magnetic levitation force 1315 between them.

이송체(1320)가 중간 개폐부(1350)에 인접하게 되면, 도 31b에 도시되듯이, 중간 개폐부(1350)의 앞에 위치한 제3 보조자석(1393)과 이송체(1320)의 제1 보조자석(1323) 사이에 자기적 인력(1326)이 작용하여, 이송체(1320)의 전단 부분은 상방으로 약간 들처지게 된다. The third auxiliary magnet 1393 positioned in front of the intermediate opening and closing part 1350 and the first auxiliary magnet 1330 of the transfer body 1320 are positioned in the middle of the intermediate opening and closing part 1350, 1323 so that the front end portion of the conveying member 1320 is somewhat obscured upward.

도 31c 및 도 31d를 참조하면, 이송체(1320)가 중간 개폐부(1350)에 진입하게 되면, 중간 개폐부(1350)가 위치하는 곳, 즉 제1 레일(1311)과 제2 레일(1312) 사이의 단속 영역에서 부상 자석(1322)과 제1 레일(1311) 사이의 자기 부상력(1315)이 작아지게 된다. 그러나, 중간 개폐부(1350)의 앞에 위치한 제3 보조자석(1393) 및 중간 개폐부(1350)의 뒤에 위치한 제4 보조자석(1394)과 이송체(1320)의 제1 보조자석(1323) 사이에 자기적 인력(1327)이 순차적으로 작용하므로, 작아진 자기 부상력(1315)을 보조하여 이송체(1320)를 안정적으로 부상시킨다.Referring to FIGS. 31C and 31D, when the conveying member 1320 enters the intermediate opening / closing unit 1350, when the intermediate opening / closing unit 1350 is located, that is, between the first rail 1311 and the second rail 1312 The magnetic levitation force 1315 between the floating magnet 1322 and the first rail 1311 becomes small. However, when the third auxiliary magnet 1393 located in front of the intermediate opening / closing part 1350 and the fourth auxiliary magnet 1394 located behind the intermediate opening / closing part 1350 and the first auxiliary magnet 1323 of the transfer element 1320 are magnetized Since the attraction force 1327 sequentially acts, the magnetic levitation force 1315 is assisted to stably float the conveying member 1320.

도 31e를 참조하면, 이송체(1320)가 중간 개폐부(1350)를 지나 제2 챔버(1362)에 진입하게 되면, 이송체(1320)의 전단은 제2 레일(1312)에 의한 자기적 척력(1316)을 추가적으로 받으면서 자기부상 상태를 유지한다. 나아가, 이송체(1320)의 후단이 중간 개폐부(1350)에 인접하게 되면, 이송체(1320)의 후단에 위치한 제2 보조자석(1324)와 중간 개폐부(1350)의 앞에 위치한 제3 보조자석(1393) 사이의 자기적 인력(1328)에 의해 제1 및 제2 레일(1311, 1312)의 단속 영역에 의해 줄어지는 자기 부상력(1315, 1316)을 보조하게 된다. 31E, when the conveying member 1320 enters the second chamber 1362 through the intermediate opening / closing unit 1350, the front end of the conveying member 1320 is moved in the direction of the magnetic repulsive force 1316) to maintain the magnetic levitation state. When the rear end of the conveying member 1320 is adjacent to the intermediate opening and closing unit 1350, the second auxiliary magnet 1324 located at the rear end of the conveying member 1320 and the third auxiliary magnet 1320 located at the front of the intermediate opening and closing unit 1350 The magnetic levitation forces 1315 and 1316 which are reduced by the intermittent regions of the first and second rails 1311 and 1312 are assisted by the magnetic attractive force 1328 between the first and second rails 1311 and 1393.

도 31f를 참조하면, 이송체(1320)의 후단이 중간 개폐부(1350)를 지나게 되면, 이송체(1310)는 제1 레일(1311)에 의한 자기 부상력(1315)을 더 이상 받지 아니하나, 중간 개폐부(1350)의 앞뒤에 위치하는 제3 및 제4 보조자석(1393, 1394)에 의한 자기적 인력(1329)을 순차적으로 받으면서 제2 챔버(1320)에 안정적으로 진입하게 된다. 31F, when the rear end of the conveying member 1320 passes the intermediate opening / closing unit 1350, the conveying member 1310 no longer receives the levitation force 1315 by the first rail 1311, And stably enters the second chamber 1320 while sequentially receiving the magnetic attracting force 1329 by the third and fourth auxiliary magnets 1393 and 1394 located at the front and rear of the intermediate opening and closing part 1350.

본 실시예의 자기부상 이송장치(1300)는 제1 및 제2 보조자석(1323, 1324)이 이송체(1320)의 상부면의 길이 방향(X축 방향)의 전단 및 후단에 모두 배치되는 경우를 예를들어 설명하고 있으나, 경우에 따라서는 길이 방향(X축 방향)의 전단 및 후단 중 어느 한쪽에 배치될 수 있음은 물론이다. 마찬가지로, 제3 및 제4 보조자석(1393, 1394)이 각각의 챔버(1360) 내에서 하우징(1390)의 상부면(1391)의 길이 방향(X축 방향)의 전단 및 후단에 모두 배치되는 경우를 예를들어 설명하고 있으나, 경우에 따라서는 길이 방향(X축 방향)의 전단 및 후단 중 어느 한쪽에 배치될 수 있음은 물론이다. 가령, 입구 개폐기(1340) 앞쪽 상방이나 출구 개폐기(1370)의 뒤쪽 상방에 보조자석이 배치될 수 있다. 한편, 제3 및 제4 보조자석(1393, 1394)이 설치되는 위치는 하우징(1390)의 상부면(1391)으로 제한되지 않는다. 가령, 제3 및 제4 보조자석(1393, 1394) 중간 개폐기(1350)의 상측에 마련되거나, 별도의 지지부에 마련될 수도 있을 것이다.The magnetic levitation conveying apparatus 1300 of this embodiment is a case in which the first and second auxiliary magnets 1323 and 1324 are disposed both at the front end and at the rear end in the longitudinal direction (X-axis direction) of the upper surface of the conveying member 1320 It is needless to say that it may be disposed at either the front end or the rear end in the longitudinal direction (X-axis direction). Likewise, when the third and fourth auxiliary magnets 1393 and 1394 are disposed in both the front and rear ends in the longitudinal direction (X-axis direction) of the upper surface 1391 of the housing 1390 in each chamber 1360 It is needless to say that it may be disposed at either the front end or the rear end in the longitudinal direction (X-axis direction). For example, the auxiliary magnet may be disposed above the entrance switch 1340 or above the exit switch 1370. On the other hand, the position where the third and fourth auxiliary magnets 1393 and 1394 are installed is not limited to the upper surface 1391 of the housing 1390. [ For example, the third and fourth auxiliary magnets 1393 and 1394 may be provided on the upper side of the intermediate switch 1350, or may be provided on a separate support.

또한, 본 실시예의 자기부상 이송장치(1300)는 제1 및 제2 보조자석(1323, 1324)과 제3 및 제4 보조자석(1393, 1394)이 서로 반대되는 자극을 가지어 자기적 인력이 발생되는 경우를 예로 들어 설명하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 가령, 이송체(1320)의 후단에 보조자석이 마련되고, 이송체(1320)가 레일(1310)의 단선부를 지나는 순간에 상기 보조자석에 인접하게 대향되게 하우징(1390)의 상부면에 또 다른 보조자석이 마련되는 경우, 대향되는 보조자석들에 자기적 척력이 발생되도록 착자할 수도 있다. 이와 같은 경우, 이송체(1320)가 레일(1310)의 단선부를 지나는 순간에 보조자석들간의 자기적 척력은 이송체(1320)의 후단을 하방으로 밀고, 이에 따라 이송체(1320)의 전단이 상방으로 향하는 힘으로 작용하여 레일(1310)의 단선부에서 아래로 쏠리지 않도록 하게 된다.The first and second auxiliary magnets 1323 and 1324 and the third and fourth auxiliary magnets 1393 and 1394 have mutually opposite magnetic poles so that the magnetic attracting force However, the present invention is not limited to this. An auxiliary magnet may be provided at the rear end of the conveying member 1320 and the conveying member 1320 may be provided on the upper surface of the housing 1390 so as to face the auxiliary magnet adjacent to the auxiliary magnet When the auxiliary magnet is provided, it may be magnetized so that magnetic repulsive force is generated in the opposed auxiliary magnets. In such a case, the magnetic repulsive force between the auxiliary magnets at the instant that the conveying member 1320 passes through the broken line of the rail 1310 pushes the rear end of the conveying member 1320 downward, and thereby the front end of the conveying member 1320 So as not to be pushed downward at the broken portion of the rail 1310.

한편, 전술한 실시예들의 자기부상 이송장치(1200, 1300)은 반도체 처리 장치를 예로 들어 설명하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 전술한 실시예들의 자기부상장치(100, 200)를 자기부상열차, 리니어 엘리베이터와 같은 수송 시스템이나, 공장내 반송, 클린룸 내 반송, 건물내의 입체 반송, 고속 구분장치 등의 반송 시스템이나, 공작기계내 이송장치, 회전축 등의 자기부상 이송장치, 창문, 여닫이문에 적용될 수 있음은 물론이다. Meanwhile, although the magnetic levitation conveying apparatuses 1200 and 1300 of the above-described embodiments are described using the semiconductor processing apparatus as an example, the present invention is not limited thereto. The magnetic levitation apparatuses 100 and 200 of the above-described embodiments can be used as a transportation system such as a magnetically levitated train or a linear elevator, a conveyance system such as a conveyance in a factory, a conveyance in a clean room, But it can also be applied to an in-machine transfer device, a magnetic levitation transfer device such as a rotary shaft, a window, and a hinged door.

도 32는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 자기부상 가이드장치(1430)가 적용된 자기부상 이송장치(1400)의 개략적인 정면도이며, 도 33은 본 실시예의 자기부상 가이드장치(1430)를 확대한 도면이다.FIG. 32 is a schematic front view of a magnetic levitation conveying apparatus 1400 to which a magnetic levitation guide apparatus 1430 according to another embodiment of the present invention is applied, and FIG. 33 shows an enlarged view of a magnetic levitation guide apparatus 1430 according to this embodiment FIG.

도 32 및 도 33을 참조하면, 본 실시예의 자기부상 이송장치(1400)는 지지체(1410)와 상기 지지체(1410) 상에 자기부상되는 이송체(1420)를 포함한다. 지지체(1410)와 이송체(1420)의 서로 대향되는 위치에는 레일(1411, 1412)과 부상자석(1421, 1422)이 각각 마련되어 있다. 레일(1411, 1412)과 부상자석(1421, 1422)은 전술한 자기부상장치이거나 혹은 공지의 자기부상장치일 수 있다. 지지체(1410)는 이송체(1420)의 양측면까지 연장되어 있다. 도 32는 지지체(1410)가 일체로 형성된 구성을 예시적으로 도시하고 있으나, 이송체(1420)의 양측면 쪽에 위치하는 지지 프레임들이 지지체(1410)와 별개로 마련될 수 있음은 물론이다. 32 and 33, the magnetic levitation conveying apparatus 1400 of this embodiment includes a support body 1410 and a transfer body 1420 magnetically levitated on the support body 1410. Rails 1411 and 1412 and floating magnets 1421 and 1422 are provided at positions where the supporting body 1410 and the conveying body 1420 are opposed to each other. The rails 1411 and 1412 and the floating magnets 1421 and 1422 may be the aforementioned magnetic levitation apparatus or a known magnetic levitation apparatus. The support body 1410 extends to both sides of the conveying body 1420. 32 illustratively shows a structure in which the supporting bodies 1410 are integrally formed. However, it goes without saying that the supporting frames located on both sides of the conveying body 1420 may be provided separately from the supporting body 1410.

이송체(1420)의 양측면 및 이에 대향되는 지지체(1410)에는 자기부상 가이드장치(1430)가 마련된다. 자기부상 가이드장치(1430)는 이송체(1410)의 양측면에 마련되는 제1 가이드자석들(1431)과 이에 대향되는 지지체(1410)의 측면에 길이방향으로 길게 마련되는 제2 가이드자석들(1432)을 포함한다. 제1 및 제2 가이드자석들(1431, 1432)에는 전술한 실시예들의 자기부상장치(100, 200, 300, 400, 500, 600, 700, 800, 900, 1000, 1100)가 적용될 수 있다. 즉, 제1 가이드자석들(1431)은 전술한 실시예들에서의 제1 영구자석(110, 210, 310, 410, 510, 610, 710, 810, 910, 1010, 1110)과 제2 영구자석(120, 220, 320, 420, 520, 620, 720, 820, 920, 1020, 1120) 중 어느 하나이거나 이들에 보조자석들이 겹합된 것이고, 제2 가이드자석들(1132)은 다른 하나이거나 이들에 보조자석들이 결합된 것일 수 있다. 일 예로, 도 33에 도시된 바와 같이 제1 가이드자석들(1431)은 도 4 내지 도 11을 참조하여 설명한 자기부상장치(100)의 제1 영구자석(110)일 수 있으며, 제2 가이드자석들(1432)은 도 4 내지 도 11을 참조하여 설명한 자기부상장치(100)의 제2 영구자석(120)일 수 있다.On both sides of the conveying member 1420 and the supporting body 1410 opposed to the conveying body 1420, a magnetic levitation guide apparatus 1430 is provided. The magnetic levitation guide apparatus 1430 includes first guide magnets 1431 provided on both sides of the conveying member 1410 and second guide magnets 1432 provided long on the side of the support member 1410 facing the first guide magnets 1431 ). The magnetic levitation apparatuses 100, 200, 300, 400, 500, 600, 700, 800, 900, 1000, 1100 of the above-described embodiments can be applied to the first and second guide magnets 1431, 1432. That is, the first guide magnets 1431 are disposed in the same direction as the first permanent magnets 110, 210, 310, 410, 510, 610, 710, 810, 910, 1010, 1110 in the above- And the second guide magnets 1132 are either one of the first guide magnets 1120, 120, 220, 320, 420, 520, 620, 720, 820, 920, 1020, 1120, The auxiliary magnets may be combined. 33, the first guide magnets 1431 can be the first permanent magnets 110 of the magnetic levitation apparatus 100 described with reference to Figs. 4 to 11, and the second guide magnets 1431, The second permanent magnet 120 may be the second permanent magnet 120 of the magnetic levitation apparatus 100 described with reference to FIGS.

전술한 실시예에서 설명한 바와 같이 제1 및 제2 가이드자석(1431, 1432)에는 서로 대향되는 방향, 즉 본 실시예에서는 측면 방향으로의 자기적 척력(1435)이 작용한다. 자기부상 가이드장치(1430)는 이송체(1420)의 양측면에 마련되므로, 자기부상 가이드장치(1430)의 측면 방향으로의 자기적 척력(1435)에 의해 이송체(1420)의 좌우로의 움직임은 제한된다. 이송체(1420)가 자기부상된 상태에서 이송될 때, 좌우로의 움직임은 자기부상 가이드장치(1430)에 의해 제한되므로, 안정적인 이송이 이루어질수 있다.The magnetic repulsive force 1435 acts on the first and second guide magnets 1431 and 1432 in the directions opposite to each other, that is, in the lateral direction in this embodiment, as described in the above embodiment. Since the magnetic levitation guide apparatus 1430 is provided on both sides of the conveying member 1420, the lateral movement of the conveying member 1420 by the magnetic repulsive force 1435 in the lateral direction of the magnetic levitation guide apparatus 1430 Is limited. When the conveying member 1420 is conveyed in the state of being levitated, the leftward and rightward movement is limited by the magnetic levitation guide device 1430, so that stable conveyance can be performed.

제1 및 제2 영구자석(1431, 1432)에는 서로 대향되는 방향의 수직한 방향, 즉 본 실시예에서는 연직 방향으로의 자기적 척력(1436, 1437)도 작용한다. 제1 영구자석(1431)은 제2 영구자석(1432)의 하부쪽 면으로부터 상방으로의 자기적 척력(1436)을 받게 되며, 제2 영구자석(1432)의 상부쪽 면으로부터 하방으로의 자기적 척력(1437)을 받게 된다. 제1 및 제2 영구자석(1431, 1432) 각각이 대칭적인 구조를 가지는 경우, 제1 영구자석(1431)은 제2 영구자석(1432)의 중심선(C)으로부터 하방으로 편심배치된다면, 상방으로의 자기적 척력(1436)이 하방으로의 자기적 척력(1437)보다 커지게 되어, 상방으로의 부상력을 추가적으로 받게 된다. 이러한 상방으로의 부상력은 이송체(1420)를 부상시키는 힘으로 작용할 수 있다. 만일 이송체(1420)의 무게가 충분히 가볍다면, 레일(1411, 1112) 및 부상자석(1421, 1122)와 같은 자기부상수단은 생략되고 자기부상 가이드장치(1430)에서의 부상력만으로도 부상될 수 있을 것이다.The first and second permanent magnets 1431 and 1432 also act on the magnetic repulsive forces 1436 and 1437 in the directions perpendicular to each other, that is, in the vertical direction in this embodiment. The first permanent magnet 1431 is subjected to the magnetic repulsive force 1436 upward from the lower surface of the second permanent magnet 1432 and is magnetically attracted to the lower surface of the second permanent magnet 1432 The repulsive force 1437 is received. If each of the first and second permanent magnets 1431 and 1432 has a symmetrical structure, if the first permanent magnet 1431 is disposed eccentrically downward from the center line C of the second permanent magnet 1432, The magnetic repulsive force 1436 of the magnetic force 1436 is greater than the magnetic repulsive force 1437 of the downward direction, Such an upward lifting force can act as a force for lifting the conveying member 1420. If the weight of the conveying member 1420 is sufficiently light, the magnetic levitation means such as the rails 1411 and 1112 and the floating magnets 1421 and 1122 may be omitted and the levitation force of the levitation guide unit 1430 may be lifted There will be.

제1 영구자석(1431)의 편심배치는 상방으로의 자기적 척력(1436)을 하방으로의 자기적 척력(1437)보다 크게 하는 예이며, 이에 한정되는 것은 아니다. 전술한 바와 같이 제1 및 제2 영구자석(1431, 1432) 각각은 비대칭적인 구조를 가질 수 있으며, 이 경우 비대칭적 구조에 의해 상방으로의 자기적 척력(1436)이 하방으로의 자기적 척력(1437)보다 크게 될 수도 있을 것이다.The eccentric arrangement of the first permanent magnets 1431 is an example in which the upward magnetic repulsive force 1436 is made larger than the downward magnetic repulsive force 1437, but is not limited thereto. As described above, each of the first and second permanent magnets 1431 and 1432 may have an asymmetric structure. In this case, the asymmetric structure causes the magnetic repulsive force 1436 upward, 1437).

전술한 본 발명인 자기부상장치, 자기부상장치를 이용한 이송장치, 및 자기부상장치를 이용한 가이드장치는 이해를 돕기 위하여 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.Although the above-described magnetic levitation apparatus, the transfer apparatus using the magnetic levitation apparatus, and the guide apparatus using the magnetic levitation apparatus according to the present invention have been described with reference to the embodiments shown in the drawings for the sake of understanding, It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the scope of the present invention. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the appended claims.

100, 200, 300, 400, 500, 600, 700, 800, 900, 1000, 1100 : 자기부상장치
110, 210, 310, 410, 510, 610, 710, 810, 910, 1010, 1110 : 제1 영구자석
120, 220, 320, 420, 520, 620, 720, 820, 920, 1020, 1120 : 제2 영구자석
111, 211, 711, 811, 911, 1111 : 첨두면
124, 224, 523, 624, 924, 1124 : 오목홈
126, 226, 326, 426, 526, 626 : 자기력선 수렴영역
930, 1030, 1140, 1160, 1323, 1324, 1393, 1394 : 보조자석
1100, 1200, 1300 : 자기부상 이송장치
1110, 1210, 1310 : 레일
1120, 1220, 1320 : 이송체
1430 : 자기부상 가이드장치
1431, 1432 : 가이드자석100, 200, 300, 400, 500, 600, 700, 800, 900, 1000,
110, 210, 310, 410, 510, 610, 710, 810, 910, 1010, 1110:
120, 220, 320, 420, 520, 620, 720, 820, 920, 1020, 1120:
111, 211, 711, 811, 911, 1111:
124, 224, 523, 624, 924, 1124:
126, 226, 326, 426, 526, 626: magnetic field convergence region
930, 1030, 1140, 1160, 1323, 1324, 1393, 1394: auxiliary magnet
1100, 1200, 1300: magnetic levitation conveying device
1110, 1210, 1310: rail
1120, 1220, 1320:
1430: Magnetic levitation guide device
1431, 1432: Guide magnet

Claims

A first permanent magnet; And
And a second permanent magnet spaced apart in a first direction of the first permanent magnet,
The surfaces of the first permanent magnet and the second permanent magnet facing each other are magnetized with the same magnetic pole,
And a magnetic force line formed by the second permanent magnet is converged in one region between the second permanent magnet and the first permanent magnet.

The method according to claim 1,
Wherein the first permanent magnet has a sloped surface protruding in the first direction and extending in the longitudinal direction orthogonal to the first direction,
Wherein the second permanent magnets have concave grooves extending in the longitudinal direction on the surface facing the first permanent magnet and recessed in the first direction,
And the inner surfaces of the first permanent magnet and the second permanent magnet are magnetized in the same magnetic poles.

3. The method of claim 2,
Magnetic lines of force generated by the magnetization of the inner surfaces constituting the concave grooves of the second permanent magnets converge at or near the entrance of the concave groove when viewed from a cross section perpendicular to the longitudinal direction. Device.

The method of claim 3,
Wherein the apical surface of the first permanent magnet is disposed in a magnetic flux line converging region having a distribution in which the magnetic flux lines generated by the magnetization of the inner surfaces constituting the concave grooves of the second permanent magnet are converged, And is spaced apart from the main magnetic pole.

3. The method of claim 2,
Wherein the inner surfaces constituting the concave grooves of the second permanent magnet include a bottom surface extending in the longitudinal direction and first and second inner surfaces extending in the longitudinal direction, Is inclined at an obtuse angle or at a right angle to the plane facing the permanent magnet.

3. The method of claim 2,
Wherein the first permanent magnet comprises first and second outer surfaces extending in the longitudinal direction and the apical surface extending in the longitudinal direction and the first and second outer surfaces are obtuse or angled with respect to the apex surface, Characterized in that it is inclined in the cabinet.

3. The method of claim 2,
Wherein the first permanent magnets have a trapezoidal shape in which the width of the first permanent magnets becomes narrower toward the end when viewed from a cross section perpendicular to the longitudinal direction.

8. The method of claim 7,
Wherein the concave grooves of the second permanent magnets have a concave trapezoidal shape that becomes narrower in the depth direction when viewed from a cross section perpendicular to the longitudinal direction.

The method according to claim 1,
The first permanent magnet has a first flat plate surface orthogonal to the first direction,
The second permanent magnets have a second flat surface opposite to and spaced apart from the first flat surface of the first permanent magnet and perpendicular to the first direction,
The first flat plate surface of the first permanent magnet and the second flat plate surface of the second permanent magnet are magnetized in the same polarity,
Wherein the first flat plate surface of the first permanent magnet includes a first partial surface that is located at the center in the width direction and extends in the longitudinal direction and second and third partial surfaces on both sides of the first partial surface, The magnet intensity in one partial surface is stronger than the magnet strength in the second and third partial surfaces,
The second flat plate surface of the second permanent magnet includes a fourth partial surface located at the center in the width direction and extending in the longitudinal direction and fifth and sixth partial surfaces on both sides of the fourth partial surface, And the magnet intensity in the four partial surfaces is weaker than the magnet strength in the fifth and sixth partial surfaces.

10. The method of claim 9,
A line of magnetic force generated by the magnetization of the second flat plate surface of the second permanent magnet as viewed in a transverse section perpendicular to the longitudinal direction is located at a position spaced apart from the fourth partial surface of the second flat plate surface in the direction of the first permanent magnet And the magnetic flux is converged in the magnetic levitation device.

11. The method of claim 10,
Wherein a first partial surface of the first flat plate surface of the first permanent magnet is located in a magnetic field line converging region having a distribution in which a magnetic field line generated by the magnetization of the second flat plate surface of the second permanent magnet is converged or in the vicinity of the magnetic field line converging region And the magnetic levitation device.

10. The method of claim 9,
The first permanent magnet includes a first partial magnet including the first partial surface, a second partial magnet including the second partial surface, and a third partial magnet including the third partial surface, The second permanent magnet includes a fourth partial magnet including the fourth partial surface, a fifth partial magnet including the fifth partial surface, and a sixth partial magnet including the sixth partial surface Characterized by a magnetic levitation device.

13. The method of claim 12,
Wherein the first partial magnet and the second partial magnet are inclined at an obtuse angle or at a right angle to the first partial surface of the first partial magnet, 2 interface is inclined at an obtuse angle or at a right angle to the first partial surface of the first partial magnet.

13. The method of claim 12,
Wherein a third boundary surface between the fourth partial magnet and the fifth partial magnet is inclined at an obtuse angle or a right angle to the fourth partial surface of the fourth partial magnet and the third boundary surface between the fourth partial magnet and the sixth partial magnet 4 interface is inclined at an obtuse angle or at a right angle to the fourth partial surface of the fourth partial magnet.

13. The method of claim 12,
Wherein the first partial magnet has a trapezoidal shape that becomes narrower toward the first partial surface when viewed from a cross section perpendicular to the longitudinal direction.

13. The method of claim 12,
And the fourth partial magnet has a trapezoidal shape that widens toward the fourth partial surface when viewed from a cross section perpendicular to the longitudinal direction.

13. The method of claim 12,
Wherein the first and fourth partial magnets each have a symmetrical shape when viewed from a cross section perpendicular to the longitudinal direction.

13. The method of claim 12,
Wherein the magnetic composition of the first partial magnet is different from the magnetic composition of the second and third partial magnets.

13. The method of claim 12,
Wherein the first to third partial magnets have the same magnetic composition, and each of the first to third partial magnets is individually magnetized.

10. The method of claim 9,
The magnet intensity at the second partial surface being equal to the magnet intensity at the third partial surface and being equal to the magnet intensity at the fifth partial surface and the magnet intensity at the sixth partial surface, Device.

The method according to claim 1,
The first permanent magnet is in the form of a flat plate having a first flat plate surface orthogonal to the first direction,
Wherein the second permanent magnets have concave grooves extending in the longitudinal direction on the surface facing the first permanent magnet and recessed in the first direction,
The first flat plate surface of the first permanent magnet and the inner surfaces constituting the concave grooves of the second permanent magnet are magnetized in the same polarity,
Wherein the first flat plate surface of the first permanent magnet includes a first partial surface that is located at the center in the width direction and extends in the longitudinal direction and second and third partial surfaces on both sides of the first partial surface, Wherein the magnitude of the magnet in one of the partial faces is stronger than that in the second and third partial faces.

22. The method of claim 21,
Magnetic lines of force generated by the magnetization of the inner surfaces constituting the concave grooves of the second permanent magnets converge at or near the entrance of the concave groove when viewed from a cross section perpendicular to the longitudinal direction. Device.

23. The method of claim 22,
The first flat plate surface of the first permanent magnet is disposed in the magnetic flux line converging region having a distribution in which the magnetic flux lines generated by the magnetization of the inner surfaces constituting the concave grooves of the second permanent magnet are converged or in the vicinity of the magnetic flux line converging region .

22. The method of claim 21,
Wherein the inner surfaces constituting the concave grooves of the second permanent magnet include a bottom surface extending in the longitudinal direction and first and second inner surfaces extending in the longitudinal direction, Is inclined at an obtuse angle or at a right angle to the plane facing the permanent magnet.

22. The method of claim 21,
Wherein the concave grooves of the second permanent magnets have a concave trapezoidal shape that becomes narrower in the depth direction when viewed from a cross section perpendicular to the longitudinal direction.

22. The method of claim 21,
The first permanent magnet includes a first partial magnet including the first partial surface, a second partial magnet including the second partial surface, and a third partial magnet including the third partial surface Characterized by a magnetic levitation device.

27. The method of claim 26,
Wherein the first partial magnet and the second partial magnet are inclined at an obtuse angle or at a right angle to the first partial surface of the first partial magnet, 2 interface is inclined at an obtuse angle or at a right angle to the first partial surface of the first partial magnet.

27. The method of claim 26,
Wherein the first partial magnet has a trapezoidal shape that becomes narrower toward the first partial surface when viewed from a cross section perpendicular to the longitudinal direction.

27. The method of claim 26,
Wherein the first partial magnet and the second permanent magnet have symmetrical shapes when viewed from a cross section perpendicular to the longitudinal direction, respectively.

22. The method of claim 21,
The magnet intensity at the second partial surface and the magnet intensity at the third partial surface.

The method according to claim 1,
Wherein the first permanent magnet has a sloped surface protruding in the first direction and extending in the longitudinal direction orthogonal to the first direction,
The second permanent magnet is in the form of a flat plate having a second flat plate surface orthogonal to the first direction and opposed to the apex of the first permanent magnet,
The apical surface of the first permanent magnet and the second flat surface of the second permanent magnet are magnetized in the same polarity,
The second flat plate surface of the second permanent magnet includes a fourth partial surface located at the center in the width direction and extending in the longitudinal direction and fifth and sixth partial surfaces on both sides of the fourth partial surface, And the magnet intensity in the four partial surfaces is weaker than the magnet strength in the fifth and sixth partial surfaces.

32. The method of claim 31,
A line of magnetic force generated by the magnetization of the second flat plate surface of the second permanent magnet as viewed in a transverse section perpendicular to the longitudinal direction is located at a position spaced apart from the fourth partial surface of the second flat plate surface in the direction of the first permanent magnet And the magnetic flux is converged in the magnetic levitation device.

33. The method of claim 32,
Wherein the apical surface of the first permanent magnet is disposed in a magnetic flux line converging region having a distribution in which a magnetic flux line generated by the magnetization of the second flat plate surface of the second permanent magnet is converged or in the vicinity of the magnetic flux line converging region. Flotation device.

32. The method of claim 31,
Wherein the first permanent magnet comprises first and second outer surfaces extending in the longitudinal direction and the apical surface extending in the longitudinal direction and the first and second outer surfaces are obtuse or angled with respect to the apex surface, Characterized in that it is inclined in the cabinet.

32. The method of claim 31,
Wherein the first permanent magnets have a trapezoidal shape in which the width of the first permanent magnets becomes narrower toward the end when viewed from a cross section perpendicular to the longitudinal direction.

32. The method of claim 31,
The second permanent magnet includes a fourth partial magnet including the fourth partial surface, a fifth partial magnet including the fifth partial surface, and a sixth partial magnet including the sixth partial surface Characterized by a magnetic levitation device.

37. The method of claim 36,
Wherein a third boundary surface between the fourth partial magnet and the fifth partial magnet is inclined at an obtuse angle or a right angle to the fourth partial surface of the fourth partial magnet and the third boundary surface between the fourth partial magnet and the sixth partial magnet 4 interface is inclined at an obtuse angle or at a right angle to the fourth partial surface of the fourth partial magnet.

37. The method of claim 36,
And the fourth partial magnet has a trapezoidal shape that widens toward the fourth partial surface when viewed from a cross section perpendicular to the longitudinal direction.

37. The method of claim 36,
And the fourth partial magnets of the first permanent magnet and the second permanent magnet have a symmetrical shape when viewed from a cross section perpendicular to the longitudinal direction.

32. The method of claim 31,
The magnetic intensity at the fifth partial surface and the magnetic intensity at the sixth partial surface.

The method according to claim 1,
Wherein the first and second permanent magnets each have a symmetrical magnetic force line distribution when viewed from a cross section perpendicular to the longitudinal direction.

The method according to claim 1,
The first direction is vertically upward,
Wherein the second permanent magnet is positioned above the first permanent magnet and has a magnetic levitation force due to a magnetic repulsive force in the first direction and a magnetic restoring force due to a lateral repulsive force in a second direction perpendicular to the first direction The magnetic levitation apparatus comprising:

The method according to claim 1,
The first direction is vertically downward,
Wherein the first permanent magnet is located above the second permanent magnet and has a floating force due to a magnetic repulsive force in the first direction and a magnetic restoring force due to a side force in a second direction perpendicular to the first direction The magnetic levitation apparatus comprising:

The method according to claim 1,
The first direction is a horizontal direction,
Wherein the first permanent magnet and the second permanent magnet are arranged side by side in the first direction to receive a side force due to a magnetic repulsive force in the first direction.

The method according to claim 1,
And a first auxiliary magnet provided on a rear surface of the first permanent magnet facing the second permanent magnet,
Wherein a part of the first auxiliary magnet is exposed from the first permanent magnet and faces the second permanent magnet, and a surface of the first auxiliary magnet facing the second permanent magnet is a surface facing the second permanent magnet And the magnet is magnetized in the same polarity as the surface of the magnetic layer.

The method according to claim 1,
And a second auxiliary magnet provided on a rear surface of the second permanent magnet facing the first permanent magnet,
Wherein a part of the second auxiliary magnet is exposed from the first permanent magnet to face the first permanent magnet and a surface of the second auxiliary magnet facing the first permanent magnet faces a surface of the first permanent magnet facing the first permanent magnet And the magnet is magnetized in the same polarity as the surface of the magnetic layer.

The method according to claim 1,
At least one third auxiliary magnet extending in the longitudinal direction and arranged in parallel to the first permanent magnets in a direction perpendicular to the first direction;
And at least one fourth auxiliary magnet extending in the longitudinal direction and being arranged side by side apart from the second permanent magnet in a direction perpendicular to the first direction and opposed to the at least one third auxiliary magnet,
Wherein the at least one third auxiliary magnet and the at least one fourth auxiliary magnet are magnetized in the same polarity so as to face each other.

46. A transfer device using the magnetic levitation device according to any one of claims 1 to 47,
A support; And
And a magnetic levitation conveying member magnetically levitated on the support,
Wherein one of the first permanent magnet and the second permanent magnet of the magnetic levitation device is formed to extend in the longitudinal direction at an upper portion of the support,
And the other of the first permanent magnet and the second permanent magnet is provided on a lower surface of the magnetic levitated conveyer,
Wherein said magnetic levitation conveying member receives a levitation force in a vertical direction and a lateral direction restoring force in a horizontal direction at the same time by magnetic repulsive force between said first permanent magnet and said second permanent magnet while being separated from said support Device.

49. The method of claim 48,
The support further comprises a disconnected portion in which the first permanent magnet is not placed in the longitudinal direction,
Wherein the auxiliary magnet module is provided to assist the magnetic levitation of the magnetic levitation conveying member when the magnetic levitation conveying member passes the broken line.

50. The method of claim 49,
The auxiliary magnet module includes:
A first auxiliary magnet provided on an upper surface of the magnetic levitation conveyor; And
And a second auxiliary magnet provided on the support frame so as to be opposed to the first auxiliary magnet when the magnetic levitation conveying member passes the broken line, And the conveying device.

51. The method of claim 50,
Wherein the first auxiliary magnet is provided at the front end and the rear end with respect to the longitudinal direction of the upper surface of the magnetic levitated conveyance body respectively and the second auxiliary magnet is provided at a position immediately before and immediately after the start of the broken- And the conveying device is provided.

49. The method of claim 48,
Wherein said magnetic levitation conveying device is a semiconductor processing device.

46. A guide device using a magnetic levitation device according to any one of claims 1 to 47,
A magnetic levitation conveying member magnetically levitated and movable in the longitudinal direction; And
And a guide module for preventing lateral deflection of the magnetic levitation conveyer,
The guide module may include first guide members provided on both sides of the magnetic levitated body, second guide members spaced apart from the first guide members and extending in the longitudinal direction, And a support frame for supporting the second guide members,
Wherein one of the first guide members and the second guide members is a first permanent magnet of the magnetic levitation device and the other one of the first guide members and the second guide members is the magnetically levitated A second permanent magnet of the device,
Wherein said magnetic levitation conveying member is guided by horizontal side forces acting on both sides of said magnetic levitation conveying body by magnetic repulsive force between said first permanent magnet and said second permanent magnet. Device.

54. The method of claim 53,
Wherein the first guide members are disposed eccentrically downward with respect to the second guide members to receive a lifting force in a vertical direction.

54. The method of claim 53,
Wherein said magnetic levitation conveying member is floated by a separately provided permanent magnet or electromagnet.