KR20070043207A

KR20070043207A - Confocal microscope removing measurement noise generated by diffraction phenomenon

Info

Publication number: KR20070043207A
Application number: KR1020050099219A
Authority: KR
Inventors: 김덕영; 육영춘
Original assignee: 광주과학기술원
Priority date: 2005-10-20
Filing date: 2005-10-20
Publication date: 2007-04-25
Also published as: KR100719893B1

Abstract

본 발명은 공초점 조건을 만족하면서도 공간필터 또는 광섬유의 각 회절현상에 의해 발생되는 노이즈를 제거한 상태에서 샘플 시료 이미지를 취득하도록 구성된 공초점 현미경(200)에 관한 것으로서, 광원(210)의 빛을 평행광으로 변환하거나 포커싱하는 다수 개의 렌즈들과, 렌즈들의 전방 또는 후방에 위치하는 공초점 주사수단과, 광원(210)의 빛 또는 샘플 시료(250)의 표면에서 반사된 빛을 그 진ㅂ이 변경되도록 반사시키거나 통과시키는 빔 스플리터 및, 샘플 시료(250)에서 반사된 빛의 영상을 취득하는 광검출기를 포함한다. 그리고, 본 발명의 광검출기는 적어도 2개가 설치되며, 제1 광검출기(260)는 샘플 시료(250)의 표면에서 반사된 빛을 취득하도록 샘플 시료(250)의 상부에 위치하며, 제2 광검출기(261)는 제1 광검출기(260)로부터 이격되게 위치하고; 본 발명의 빔 스플리터는 적어도 2개가 설치되며, 제1 빔 스플리터(240)는 샘플 시료(250)가 놓여지는 위치와 제1 광검출기(260) 사이에 설치되며, 제2 빔 스플리터(241)는 광원(210)과 제1 빔 스플리터(240) 사이에서 제1 빔 스플리터(240)로부터 전달되는 빛을 제2 광검출기(260)로 반사시키고; 공초점 주사수단(공간필터 또는 광섬유)은 제1, 제2 빔 스플리터(240, 241) 사이에 설치되는 것을 특징으로 한다. The present invention relates to a confocal microscope (200) configured to acquire a sample sample image while satisfying confocal conditions and removing noise generated by each diffraction phenomenon of a spatial filter or an optical fiber. A plurality of lenses converting or focusing into parallel light, confocal scanning means located in front of or behind the lenses, and light reflected from the surface of the light source 210 or the sample sample 250. A beam splitter that reflects or passes to be altered, and a photodetector that acquires an image of the light reflected from the sample sample 250. In addition, at least two photodetectors of the present invention are installed, and the first photodetector 260 is positioned above the sample sample 250 to acquire the light reflected from the surface of the sample sample 250, and the second light The detector 261 is located spaced from the first photodetector 260; At least two beam splitters of the present invention are installed, the first beam splitter 240 is installed between the position where the sample sample 250 is placed and the first photodetector 260, and the second beam splitter 241 is Reflecting light transmitted from the first beam splitter 240 between the light source 210 and the first beam splitter 240 to the second photodetector 260; The confocal scanning means (spatial filter or optical fiber) is installed between the first and second beam splitters 240 and 241.

Description

Confocal Microscope Removing Measurement Noise Generated by Diffraction Phenomenon}

도 1은 종래기술에 따른 공간필터를 이용한 공초점 현미경의 개략도이고,1 is a schematic diagram of a confocal microscope using a spatial filter according to the prior art,

도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 회절현상에 의해 발생되는 노이즈를 제거하도록 구성된 공초점 현미경의 개략도이고,2 is a schematic diagram of a confocal microscope configured to remove noise caused by diffraction according to an embodiment of the present invention,

도 3은 도 2에 도시된 공초점 현미경의 제1, 제2 광검출기에서 각각 취득된 이미지 선명도를 나타낸 그래프이고,FIG. 3 is a graph showing image sharpness obtained by the first and second photodetectors of the confocal microscope shown in FIG. 2, respectively.

도 4는 광섬유 샘플 시료를 측정한 데이터들의 그래프들로서, (a)는 공간필터를 이용한 경우와 공간필터를 이용하지 않는 경우에 각각 취득한 데이터들이고, (b)는 도 2에 도시된 본 발명의 공초점 현미경을 이용하여 취득한 데이터이다. FIG. 4 is graphs of data obtained by measuring an optical fiber sample, (a) is data obtained when a spatial filter is used and a spatial filter is not used, and (b) is a graph of the present invention shown in FIG. Data obtained using a focus microscope.

도 5는 본 발명의 다른 실시예로서, 편광된 빛이 광원으로 사용되는 경우에 회절현상에 의해 발생되는 노이즈를 제거하도록 구성된 공초점 현미경의 개략도이고,5 is a schematic diagram of a confocal microscope configured to remove noise generated by diffraction when polarized light is used as a light source as another embodiment of the present invention;

도 6은 본 발명의 또 다른 실시예로서, 공간필터를 대신하는 광섬유를 이용하는 경우에 회절현상에 의해 발생되는 노이즈를 제거하도록 구성된 공초점 현미경의 개략도이다.6 is a schematic diagram of a confocal microscope configured to remove noise caused by diffraction when using an optical fiber instead of a spatial filter as another embodiment of the present invention.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 > <Description of Symbols for Major Parts of Drawings>

100, 200, 300, 400 : 공초점 현미경100, 200, 300, 400: confocal microscope

110, 210, 310 : 광원110, 210, 310: light source

130, 230, 330 : 공간필터130, 230, 330: Spatial filter

240, 241, 340, 341 : 빔 스플리터240, 241, 340, 341: beam splitter

150, 250, 350 : 샘플 시료150, 250, 350: sample sample

160, 260, 261, 360, 361 : 광검출기160, 260, 261, 360, 361: photodetector

본 발명은 공초점 현미경에 관한 것으로서, 특히 공초점 조건을 만족하면서도 공간필터 또는 광섬유의 각 회절현상에 의해 발생되는 노이즈를 제거한 상태에서 샘플 시료 이미지를 취득하도록 구성된 공초점 현미경에 관한 것이다.The present invention relates to a confocal microscope, and more particularly, to a confocal microscope configured to acquire a sample sample image while satisfying confocal conditions while removing noise generated by each diffraction phenomenon of a spatial filter or an optical fiber.

도 1은 종래기술에 따른 공간필터를 이용한 공초점 현미경의 개략도이다.1 is a schematic diagram of a confocal microscope using a spatial filter according to the prior art.

도 1에 도시된 종래기술에 따른 공초점 현미경(100)은 미국특허 제4,468,118호에 공지된 바와 같이 일반적으로 다음과 같이 구성된다. 즉, 종래기술의 공초점 현미경(100)은 광원(110)에서 발생되는 빛이 제1 렌즈(121)를 통과하면서 평행광으로 변환되고, 이런 평행광이 빔 스플리터(140)에서 방향전환되어, 대물렌즈(124)를 통해 샘플 시료(150)의 단면에 포커싱된다. 그러면, 종래기술의 공초점 현미경(100)은 샘플 시료(150)의 단면에서 반사되는 빛이 빔 스플리터(140)를 통과해서 광검출기(160)에 도달된다. 이때, 높은 분해능으로 샘플 시료(150)의 이미지를 취득하기 위해서 광검출기(160)의 전방에 공간필터(130)가 설치된다. The confocal microscope 100 according to the prior art shown in FIG. 1 is generally constructed as follows, as known from US Pat. No. 4,468,118. That is, in the conventional confocal microscope 100, the light generated from the light source 110 is converted into parallel light while passing through the first lens 121, and the parallel light is redirected in the beam splitter 140, The objective lens 124 is focused on the cross section of the sample sample 150. Then, in the conventional confocal microscope 100, the light reflected from the cross section of the sample specimen 150 passes through the beam splitter 140 and reaches the photodetector 160. In this case, the spatial filter 130 is installed in front of the photodetector 160 to acquire an image of the sample sample 150 with high resolution.

이와 같은 구성으로 공초점 현미경(100)은 일반 현미경에 비해 높은 공간 분해능으로 샘플 시료(150)의 이미지를 취득할 수 있어서, 생물-물리와 같은 다양한 연구분야에서 사용되고 있다.In this configuration, the confocal microscope 100 can acquire an image of the sample sample 150 with a higher spatial resolution than a general microscope, and thus is used in various research fields such as bio-physics.

하지만, 종래기술의 공초점 현미경(100)은 공간필터(130)의 회절현상으로 인해 샘플 시료(150)의 이미지에 노이즈가 발생되는 문제점이 있었다. 그럼에도 불구하고, 종래기술의 공초점 현미경(100)에서는 대부분의 샘플 시료(150)들의 이미지 굴절률 차가 크기 때문에, 공간필터(130)에 의해 발생되는 노이즈는 샘플 시료(150)의 이미지 명암에 비해 무시할 수 있는 정도였다. However, the conventional confocal microscope 100 has a problem that noise is generated in the image of the sample sample 150 due to the diffraction phenomenon of the spatial filter 130. Nevertheless, in the conventional confocal microscope 100, since the difference in image refractive index of most sample samples 150 is large, the noise generated by the spatial filter 130 is negligible compared to the image contrast of the sample sample 150. It was enough.

하지만, 공간필터(130)에 의해 발생되는 노이즈는 이미지 굴절률 차가 적은 샘플 시료(150)를 종래기술의 공초점 현미경(100)으로 측정하는 경우에 무시할 수 없는 정도의 부정확한 데이터가 취득될 수 밖에 없다.However, when the noise generated by the spatial filter 130 is measured by the confocal microscope 100 of the prior art, the sample 150 having a small image refractive index difference cannot be ignored. none.

본 발명은 앞서 설명한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 제공된 것으로서, 공초점 조건을 만족하는 지점에서 회절현상에 의해 발생되는 노이즈가 없는 상태의 샘플 시료 이미지를 취득하도록, 종래기술과 달리 제1, 제2 광검 출기와 다수 개의 렌즈들 및 공간필터 등이 배열 설치되는 공초점 현미경을 제공하는데 그 목적이 있다. The present invention is provided to solve the problems of the prior art as described above, unlike the prior art to acquire a sample sample image of the noise-free state caused by the diffraction phenomenon at the point that satisfies the confocal condition, Another object of the present invention is to provide a confocal microscope in which a second photodetector, a plurality of lenses, and a spatial filter are arranged.

앞서 설명한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 공초점 현미경은 빛을 발생시키는 광원과, 상기 광원의 빛을 평행광으로 변환하거나 포커싱하는 다수 개의 렌즈들과, 상기 렌즈들 전방 또는 후방에 위치하는 공초점 주사수단과, 상기 광원의 빛 또는 상기 샘플 시료의 표면에서 반사된 빛을 그 진행방향이 변경되도록 반사시키거나 통과시키는 빔 스플리터 및, 상기 샘플 시료에서 반사된 빛의 영상을 취득하는 광검출기를 포함한다. 그리고, 상기 광검출기는 적어도 2개가 설치되며, 제1 광검출기는 상기 샘플 시료의 표면에서 반사된 빛을 취득하도록 상기 샘플 시료의 상부에 위치하고, 제2 광검출기는 상기 제1 광검출기로부터 일정 간격 이격되게 위치하고; 상기 빔 스플리터는 적어도 2개가 설치되며, 제1 빔 스플리터는 상기 샘플 시료가 놓여지는 위치와 상기 제1 광검출기 사이에 설치되며, 제2 빔 스플리터는 상기 광원과 상기 제1 빔 스플리터 사이에서 상기 제1 빔 스플리터로부터 전달되는 빛을 상기 제2 광검출기로 반사시키고; 상기 공초점 주사수단은 상기 제1, 제2 빔 스플리터 사이에 설치되는 것을 특징으로 한다. Confocal microscope of the present invention for achieving the object as described above is a light source for generating light, a plurality of lenses for converting or focusing the light of the light source to parallel light, and located in front or rear of the lens A confocal scanning means, a beam splitter for reflecting or passing the light of the light source or the light reflected from the surface of the sample sample so that its traveling direction is changed, and a photodetector for obtaining an image of the light reflected from the sample sample It includes. In addition, at least two photodetectors are installed, and a first photodetector is positioned above the sample sample so as to acquire light reflected from the surface of the sample sample, and a second photodetector is spaced apart from the first photodetector by a predetermined distance. Spaced apart; At least two beam splitters are installed, and a first beam splitter is installed between a position where the sample sample is placed and the first photodetector, and a second beam splitter is disposed between the light source and the first beam splitter. Reflect light transmitted from one beam splitter to the second photodetector; The confocal scanning means is installed between the first and second beam splitters.

또한, 상기 공초점 주사수단은 공간필터인 것이 바람직하다. In addition, the confocal scanning means is preferably a spatial filter.

또한, 상기 공초점 주사수단은 광섬유이고, 상기 공초점 주사수단에는 편광 조정기가 연결되는 것이 더 바람직하다. In addition, the confocal scanning means is an optical fiber, it is more preferable that the polarization regulator is connected to the confocal scanning means.

또한, 상기 빔 스플리터는 폴라라이징 빔 스플리터(Polarising Beam Splitter)인 것이 더 바람직하다. In addition, the beam splitter is more preferably a polarizing beam splitter.

또한, 상기 제1 빔 스플리터와 상기 샘플 시료가 놓여지는 위치 사이에는 λ/4 웨이브 플레이트(quarter wave plate)가 설치되고, 상기 제2 빔 스플리터와 상기 공초점 주사수단 사이에는 λ/2 웨이브 플레이트(half wave plate)가 설치되는 것이 더 바람직하다. Also, a λ / 4 wave plate is provided between the first beam splitter and the position where the sample sample is placed, and a λ / 2 wave plate is provided between the second beam splitter and the confocal scanning means. More preferably, a half wave plate is installed.

아래에서는 회절현상에 의해 발생되는 노이즈를 제거하는 본 발명의 공초점 현미경에 대한 한 실시예를 첨부한 도면을 참조하면서 상세히 설명하겠다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, an embodiment of the confocal microscope of the present invention for removing noise caused by the diffraction phenomenon will be described in detail.

도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 회절현상에 의해 발생되는 노이즈를 제거하도록 구성된 공초점 현미경의 개략도이다.2 is a schematic diagram of a confocal microscope configured to remove noise generated by diffraction according to an embodiment of the present invention.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 공초점 현미경(200)은 공초점 주사수단인 공간필터(230)를 통과한 빛의 영상이 제2 광검출기(261)에서 취득됨으로써, 공초점 조건을 만족하는 지점이 확인된다. 그리고, 본 발명의 공초점 현미경(200)은 상기 공초점 조건을 만족하는 상태에서 공간필터(230)를 통과하기 전 단계의 샘플 시료에 대한 빛의 영상을 제1 광검출기(260)가 취득함으로써, 공간필터(230)의 회절현상에 의한 노이즈가 제거된 샘플 시료의 데이터가 수집될 수 있다.As shown in FIG. 2, the confocal microscope 200 of the present invention acquires an image of light passing through the spatial filter 230, which is a confocal scanning means, from the second photodetector 261, thereby adjusting confocal conditions. The point of satisfaction is identified. In the confocal microscope 200 of the present invention, the first photodetector 260 acquires an image of light for a sample sample before passing through the spatial filter 230 while satisfying the confocal condition. The data of the sample sample from which the noise due to the diffraction phenomenon of the spatial filter 230 is removed may be collected.

이를 위해 본 발명의 공초점 현미경(200)은 빛을 조사하는 광원(210)이 구비되고, 이런 광원(210)의 빛을 평행광으로 변환하도록 광원(210)의 전방에 제1 렌즈(221)가 설치된다.To this end, the confocal microscope 200 of the present invention is provided with a light source 210 for irradiating light, and the first lens 221 in front of the light source 210 to convert the light of the light source 210 into parallel light. Is installed.

본 발명의 공간필터(230)는 상기 빛의 이동경로 선상에 설치되고, 제2, 제3 렌즈(222, 223)는 평행광을 포커싱하거나 다시 평행광으로 변환하기 위해 공간필터(230)의 전후방에 각각 설치된다. 공간필터(230)는 높은 공간 분해능력을 가지기 때문에, 본 발명은 샘플 시료에서 반사된 빛을 공간필터(230)로 통과시키도록 구성된다. The spatial filter 230 of the present invention is installed on the line of the movement path of the light, and the second and third lenses 222 and 223 are front and rear of the spatial filter 230 to focus the parallel light or convert the light back into parallel light. Are installed on each. Since the spatial filter 230 has a high spatial resolution, the present invention is configured to pass the light reflected from the sample sample to the spatial filter 230.

제1, 제2 빔 스플리터(240, 241)는 빛의 진행방향이 변경되도록 빛을 반사시키거나 통과시키는 수단이다. 제1 빔 스플리터(240)는 제3 렌즈(223)의 후방에 설치되어, 광원(230)의 빛을 샘플 시료(250)가 위치하는 방향으로 반사시킨다. 그리고, 제2 빔 스플리터(241)는 제1, 제2 렌즈(221, 222)들 사이에 설치되어, 광원(230)의 빛을 공간필터(230)의 방향으로 통과 진행시킨다.The first and second beam splitters 240 and 241 are means for reflecting or passing the light so that the traveling direction of the light is changed. The first beam splitter 240 is installed at the rear of the third lens 223 to reflect the light of the light source 230 in the direction in which the sample sample 250 is located. The second beam splitter 241 is installed between the first and second lenses 221 and 222 to pass the light of the light source 230 in the direction of the spatial filter 230.

샘플 시료(250)는 제1 빔 스플리터(240)의 하부에 놓여지고, 샘플 시료(250)의 표면 상부에 대물렌즈(224)가 설치된다. 이와 같은 구성으로 본 발명의 공초점 현미경(200)은 대물렌즈(224)에 의해 샘플 시료(250)의 표면에 광원(210)의 빛이 약 1㎛ 이하의 빔으로 포커싱된다. The sample sample 250 is placed under the first beam splitter 240, and the objective lens 224 is installed on the surface of the sample sample 250. In this configuration, the confocal microscope 200 of the present invention focuses the light of the light source 210 on the surface of the sample sample 250 by the objective lens 224 with a beam of about 1 μm or less.

이때, 샘플 시료(250) 표면에서의 빛의 반사율은 다음의 수학식 1과 같으며, 샘플 시료(250)의 표면이 대물렌즈(224)의 초점거리에 위치할 때 샘플 시료(250)에서 반사되는 빛의 양이 가장 크다.In this case, the reflectance of light on the surface of the sample sample 250 is expressed by Equation 1 below, and when the surface of the sample sample 250 is located at the focal length of the objective lens 224, the reflectance of the light is reflected from the sample sample 250. The amount of light being emitted is the greatest.

(여기서, n : 굴절률, R : 샘플 시료에서 반사되는 빛의 반사율)Where n is the refractive index and R is the reflectance of light reflected from the sample sample.

제1 광검출기(260)는 제1 빔 스플리터(240)의 상부에 위치하며, 샘플 시료(250)의 표면에서 반사된 빛의 일부가 제1 빔 스플리터(240)와 제4 렌즈(225)를 순차적으로 통과한 후에 입사되어, 샘플 시료(250)의 데이터를 취득한다.The first photodetector 260 is positioned above the first beam splitter 240, and a part of the light reflected from the surface of the sample sample 250 is connected to the first beam splitter 240 and the fourth lens 225. After passing sequentially, it enters and acquires the data of the sample sample 250.

제2 광검출기(261)는 제2 빔 스플리터(241)의 상부 또는 하부에 위치한다. 그러면, 본 발명은 샘플 시료(250)의 표면에서 반사된 빛의 일부가 그 입사경로를 따라 제1 빔 스플리터(240)에서 반사되고, 공간필터(230)를 통과하여, 제2 빔 스플리터(241)에서 제2 광검출기(261)의 방향으로 반사된다. 이로 인해, 제2 광검출기(261)는 공간필터(230)를 통과한 빛이 제5 렌즈(226)를 통해 입사됨으로써, 공간필터(230)의 회절현상에 의한 노이즈가 있는 상태로 샘플 시료(250)의 데이터를 취득한다.The second photodetector 261 is positioned above or below the second beam splitter 241. Then, in the present invention, a part of the light reflected from the surface of the sample sample 250 is reflected by the first beam splitter 240 along the path of incidence, passes through the spatial filter 230, and the second beam splitter 241. ) Is reflected in the direction of the second photodetector 261. As a result, the second photodetector 261 receives the light through the spatial filter 230 and enters through the fifth lens 226 so that the sample sample (no noise due to diffraction phenomenon of the spatial filter 230 is present). Data of 250) is acquired.

이와 같은 본 발명의 공초점 현미경(200)을 이용하여, 샘플 시료(250)가 좌표 Z축으로 움직이는 경우에 제1, 제2 광검출기(260, 261)에서 각각 취득된 샘플 시료(250)의 데이터 예가 도 3에 도시되었다. By using the confocal microscope 200 of the present invention, when the sample sample 250 moves in the coordinate Z-axis, the sample samples 250 obtained by the first and second photodetectors 260 and 261, respectively, are obtained. An example data is shown in FIG. 3.

도 3에 도시된 곡선 1은 제1 광검출기(260)에서 취득된 샘플 시료(250)의 데이터 그래프이며, 곡선 2는 샘플 시료(250)에서 반사된 빛이 공간필터(230)로 통과되어 제2 광검출기(261)에서 취득된 샘플 시료(250)의 데이터 그래프이다. 곡선 2의 피크 포인트(peak point)는 공초점을 만족하는 가장 높은 공간 분해능의 지점을 나타낸다. 반면, 곡선 1의 피크 포인트(peak point)는 공간필터(230)를 통과하지 않은 빛의 데이터이기 때문에 공초점 조건이 아닌 경우에 취득된 것이다. Curve 1 shown in FIG. 3 is a data graph of the sample sample 250 acquired by the first photodetector 260, and curve 2 shows the light reflected from the sample sample 250 passing through the spatial filter 230. 2 is a data graph of the sample sample 250 acquired by the photodetector 261. The peak point of curve 2 represents the point of highest spatial resolution that satisfies the confocal point. On the other hand, since the peak point of the curve 1 is data of light that does not pass through the spatial filter 230, it is obtained when the confocal condition is not.

따라서, 본 발명의 공초점 현미경(200)은 곡선 2의 피크 포인트 지점에서 제 1 광검출기(260)로 샘플 시료(250)에 대한 데이터를 취득함으로써, 공초점을 만족하면서도 공간필터(230)의 회절현상에 의한 노이즈가 제거된 상태의 샘플 시료(250) 이미지가 얻어질 수 있다. 즉, 본 발명의 공초점 현미경(200)은 제2 광검출기(261)를 서보 시스템(servo system)으로 사용하여 공초점 조건을 만족하는 샘플 시료(250)의 지점을 취득하고, 제1 광검출기(260)에서 공간필터(230)의 회절현상에 의한 노이즈가 없으면서도 공간 분해능이 높은 샘플 시료(250)의 데이터가 취득될 수 있다.Therefore, the confocal microscope 200 of the present invention acquires data on the sample sample 250 with the first photodetector 260 at the peak point of the curve 2, thereby satisfying the confocal point of the spatial filter 230. An image of the sample 250 may be obtained in which noise due to diffraction is removed. That is, the confocal microscope 200 of the present invention uses the second photodetector 261 as a servo system to acquire a point of the sample sample 250 that satisfies the confocal condition, and the first photodetector At 260, the data of the sample sample 250 having high spatial resolution can be obtained without noise due to the diffraction phenomenon of the spatial filter 230.

도 4는 광섬유 샘플 시료를 측정한 데이터들의 그래프들로서, (a)는 공간필터를 이용한 경우와 공간필터를 이용하지 않는 경우에 각각 취득한 데이터들이고, (b)는 도 2에 도시된 본 발명의 공초점 현미경을 이용하여 취득한 데이터이다. 그리고, 본 실험에서는 계단모양의 굴절률(step index)을 갖는 광섬유를 그 샘플 시료로 사용하였다.FIG. 4 is graphs of data obtained by measuring an optical fiber sample, (a) is data obtained when a spatial filter is used and a spatial filter is not used, and (b) is a graph of the present invention shown in FIG. Data obtained using a focus microscope. In this experiment, an optical fiber having a stepped step index was used as the sample sample.

도 4의 (a) 그래프에서 확인되는 바와 같이, 종래기술의 현미경은 공간필터를 이용하지 않는 경우(D2)에 그래프 곡선이 완만하게 잘 측정된 것처럼 보이지만, 공초점이 아닌 상태에서 취득된 것으로 정확한 데이터라고 정의할 수 없다. 그리고, 종래기술의 현미경은 공간필터가 사용되는 경우(D1)에 회절현상에 의한 노이즈로 인해 그래프 곡선의 변동이 불규칙적으로 심하게 나타났다.As can be seen from the graph of FIG. 4 (a), the microscope of the prior art appears to have been measured well in the case where the graph curve is smoothly measured without using the spatial filter (D2), It cannot be defined as data. In the conventional microscope, when the spatial filter is used (D1), the fluctuation of the graph curve is severely irregular due to the noise caused by the diffraction phenomenon.

반면, 도 4의 (b) 그래프에서 확인되는 바와 같이, 본 발명의 공초점 현미경(200)을 이용하는 경우에는 공초점 조건을 만족하는 지점에서 광섬유 샘플 시료의 데이터가 측정됨으로써, 회절현상에 의한 노이즈가 없어서 그래프 곡선의 변동이 불규칙적이지 않음을 확인할 수 있다. On the other hand, as shown in the graph (b) of Figure 4, when using the confocal microscope 200 of the present invention by measuring the data of the optical fiber sample sample at the point satisfying the confocal conditions, noise due to diffraction phenomenon It can be seen that there is no irregularity in the graph curve due to the absence of.

도 5는 본 발명의 다른 실시예로서, 편광된 빛이 광원으로 사용되는 경우에 회절현상에 의해 발생되는 노이즈를 제거하도록 구성된 공초점 현미경의 개략도이다.5 is a schematic diagram of a confocal microscope in another embodiment of the present invention, configured to remove noise generated by diffraction when polarized light is used as a light source.

본 발명의 다른 실시예인 공초점 현미경(300)은 편광효과가 있는 광원(310)이 사용되는 경우에 다음과 같이 구성된다. 하지만, 도 5에 도시된 공초점 현미경(300)은 상술된 도 2의 공초점 현미경(200)과 그 기본 원리가 동일함으로 동일한 기능을 수행하는 주요 구성요소에 대해서는 생략하고, 아래에서 다른 구성요소만 설명하겠다.Confocal microscope 300 is another embodiment of the present invention is configured as follows when the light source 310 having a polarizing effect is used. However, the confocal microscope 300 shown in FIG. 5 omits the main components that perform the same function because the basic principle is the same as the confocal microscope 200 of FIG. 2 described above, and other components below. I will explain only.

즉, 공초점 현미경(300)은 도 2의 제1, 제2 빔 스플리터(240, 241)와 달리 제1, 제2 폴라라이징 빔 스플리터(340, 341 : Polarising Beam Splitter)가 사용되어, 편광된 빛이 2개로 나눠져 통과되거나 반사되도록 구성된다. That is, in the confocal microscope 300, the first and second polarizing beam splitters 340 and 341 are used, unlike the first and second beam splitters 240 and 241 of FIG. 2. The light is split into two and configured to pass or reflect.

그리고, 공초점 현미경(300)은 제1 폴라라이징 빔 스플리터(340)와 샘플 시료(350)가 놓이는 위치 사이에 λ/4 웨이브 플레이트(370 ; quarter wave plate)가 설치되고, 제2 빔 스플리터와 공초점 주사수단 사이에 λ/2 웨이브 플레이트(371 : half wave plate)가 설치되어, 샘플 시료(350)의 표면에서 반사되어 돌아오는 편광이 각각 통과될 수 있도록 구성된다. In the confocal microscope 300, a λ / 4 wave plate 370 is installed between the first polarizing beam splitter 340 and the sample sample 350, and the second beam splitter A half wave plate 371 is provided between the confocal scanning means, so that polarized light reflected from the surface of the sample sample 350 can be passed through.

본 발명의 또 다른 실시예의 공초점 현미경(400)은 도 2에 도시된 공초점 현미경(200)과 달리 공초점 주사수단으로 공간필터(230)를 대신하여 광섬유(430)가 사용된다. 단, 광섬유(430)가 공초점 주사수단으로 사용되는 경우에는 광섬유(430)가 빛의 편광상태를 바꾸기 때문에, 이를 조절하기 위한 편광 조정기(431 ; polarization controller)가 설치된다. The confocal microscope 400 of another embodiment of the present invention uses an optical fiber 430 instead of the spatial filter 230 as a confocal scanning means, unlike the confocal microscope 200 shown in FIG. 2. However, when the optical fiber 430 is used as the confocal scanning means, since the optical fiber 430 changes the polarization state of light, a polarization controller 431 for controlling this is provided.

그리고, 도 6에 도시된 공초점 현미경(400)은 상술된 도 5의 공초점 현미경(300)과 그 기본 원리가 동일함으로 동일한 기능을 수행하는 다른 구성요소에 대해서는 생략하겠다.In addition, the confocal microscope 400 shown in FIG. 6 will be omitted for other components that perform the same function because the basic principle is the same as the confocal microscope 300 of FIG. 5 described above.

앞서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명의 공초점 현미경은 공초점 조건을 만족하는 지점에서 공간필터의 회절현상에 의한 노이즈가 없는 샘플 시료의 이미지 데이터를 취득할 수 있는 장점이 있다. As described in detail above, the confocal microscope of the present invention has an advantage of acquiring image data of a sample sample without noise due to diffraction phenomenon of the spatial filter at a point satisfying the confocal condition.

이상에서 본 발명의 공초점 현미경에 대한 기술사상을 첨부도면과 함께 서술하였지만 이는 본 발명의 가장 양호한 실시예를 예시적으로 설명한 것이지 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 또한, 이 기술분야의 통상의 지식을 가진 자이면 누구나 본 발명의 기술사상의 범주를 이탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변형 및 모방이 가능함은 명백한 사실이다.Although the technical concept of the confocal microscope of the present invention has been described above with the accompanying drawings, this is for illustratively describing the best embodiments of the present invention and not for limiting the present invention. In addition, it is obvious that any person skilled in the art can make various modifications and imitations without departing from the scope of the technical idea of the present invention.

Claims

A light source for generating light, a plurality of lenses for converting or focusing the light of the light source into parallel light, confocal scanning means located in front of or behind the lenses, the light of the light source or the surface of the sample sample In the confocal microscope including a beam splitter for reflecting or passing the light reflected by the light so as to change its direction, and a photodetector for obtaining an image of the light reflected from the sample sample,

At least two photodetectors are installed, and a first photodetector is positioned on an upper portion of the sample sample to acquire light reflected from the surface of the sample sample, and a second photodetector is spaced apart from the first photodetector by a predetermined distance. Is located;

At least two beam splitters are installed, and a first beam splitter is installed between a position where the sample sample is placed and the first photodetector, and a second beam splitter is disposed between the light source and the first beam splitter. Reflect light from one beam splitter to the second photodetector,

And said confocal scanning means is installed between said first and second beam splitters to remove noise generated by diffraction.

The confocal microscope of claim 1, wherein the confocal scanning means is a spatial filter.

The confocal microscope of claim 1, wherein the confocal scanning means is an optical fiber, and the confocal scanning means is connected with a polarization adjuster.

The confocal microscope of claim 1, wherein the beam splitter is a polarizing beam splitter. 5.

The λ / 4 wave plate is provided between the first beam splitter and the position where the sample sample is placed, and λ / 2 is provided between the second beam splitter and the confocal scanning means. A confocal microscope for removing noise caused by diffraction, characterized in that a wave plate (half wave plate) is provided.