KR20070019359A - 밀봉 수지 주입용 개구부를 구비하는 양면 실장형 기판 및그를 이용하는 멀티 칩 패키지의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 밀봉 수지 주입용 개구부를 구비하는 양면 실장형 기판 및 그를 이용하는 멀티 칩 패키지의 제조방법에 관한 것으로서, 양면 실장형 기판을 이용하여 멀티 칩 패키지를 제조하는 경우 기판의 상부면 및 하부면에 구비된 칩 실장 영역을 한 번의 밀봉 공정을 통해 밀봉할 수 있는 것을 목적으로 한다.
이를 위해 본 발명에 따른 양면 실장형 기판은 상부면 및 하부면에 각각 구비된 칩 실장 영역에 상부면에서 하부면을 관통하는 적어도 하나 이상의 밀봉 수지 주입용 개구부를 구비하고, 본 발명에 따른 멀티 칩 패키지의 제조방법은 본 발명에 따른 양면 실장형 기판을 이용하는 것을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에 따르면 기판의 상부면 및 하부면에 구비된 칩 실장 영역을 한 번의 밀봉 공정을 통해 밀봉할 수 있고, 밀봉 공정 시 기판의 휨(Warpage) 현상이 발생되지 않는다. 이에, 제품의 불량률이 줄어들고, 패키지의 제조시 소모되는 공정 시간 및 공정비가 절감된다
양면 실장형 기판, 인쇄회로기판, 멀티 칩 패키지, 와이어 본딩, 플립 칩 본딩(Flip Chip Bonding), 적층, 밀봉(Encapsulation), 휨(Warpage)
Description
도 1a는 와이어 본딩기술에 의해 기판의 양면에 칩이 각각 실장된 구조를 갖는 멀티 칩 패키지를 개략적으로 나타낸 단면도.
도 1b는 도 1a에 나타낸 기판의 상부면을 개략적으로 나타낸 평면도.
도 2a는 플립 칩 본딩기술에 의해 기판의 양면에 칩이 각각 실장된 구조를 갖는 멀티 칩 패키지를 개략적으로 나타낸 단면도.
도 2b는 도 2a에 나타낸 기판의 상부면을 개략적으로 나타낸 평면도.
도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 양면 실장형 기판을 개략적으로 나타낸 단면도.
도 3b는 도3a에 나타낸 양면 실장형 기판의 상부면을 나타낸 평면도.
도 3c는 도3a에 나타낸 양면 실장형 기판의 하부면을 나타낸 평면도.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 양면 실장형 기판의 칩 실장 영역을 설명하기 위해 기판의 상부면을 나타낸 평면도.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명에 따른 양면 실장형 기판을 이용하는 멀티 칩 패키지의 제조방법을 설명하기 위해 개략적으로 도식화한 단면도.
<도면의 주요 부분에 대한 설명>
100, 200: 멀티 칩 패키지 110, 210, 310, 510: 기판
111, 211, 311, 411, 511: 상부면 112, 212, 312, 512: 하부면
113, 213, 313, 413: 칩 실장 영역 114, 314: 주변 영역
120, 220, 520: 칩 121, 521: 본딩 패드
130, 230, 530: 밀봉부 140, 540: 본딩 와이어
315: 칩 탑재부 316: 본딩부
115, 317, 417: 기판 패드 318: 접속 패드
319: 관통 전극 350, 450, 550: 개구부
415: 칩 실장부 416: 더미(Dummy)부
551: 밀봉 수지 561: 상부 금형
562: 하부 금형 570: 외부 단자
본 발명은 양면 실장형 기판 및 그를 이용하는 멀티 칩 패키지의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 양면에 적어도 하나 이상의 칩이 실장되는 양면 실장형 기판을 이용하여 멀티 칩 패키지를 제조할 시, 기판의 양면에 각각 구비되는 칩 실장 영역을 한 번의 밀봉 공정을 통해 밀봉할 수 있도록 하는 양면 실장형 기판 및 그를 이용하는 멀티 칩 패키지의 제조방법에 관한 것이다.
최근에는 전자·정보기기의 소형화, 경량화, 및 대용량화가 요구되고 있으며, 이러한 요구에 따라 반도체 패키지의 소형화, 박형화 및 고집적화가 이루어지고 있는 추세이다. 이러한 요구를 충족하기 위한 한 방안으로서, 소정의 회로 배선가 형성된 기판의 일면이 아닌 양면에 복수 개의 칩을 실장하여 실장 밀도를 높일 수 있는 멀티 칩 패키지가 개발되었다.
이에 대해 도면을 참조하여 좀 더 자세히 살펴보면 다음과 같다.
도 1a는 와이어 본딩기술에 의해 기판(110)의 양면에 칩(120)이 각각 실장된 구조를 갖는 멀티 칩 패키지(100)를 개략적으로 나타낸 단면도이고, 도 1b는 도 1a에 나타낸 기판(110)의 상부면(111)을 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 1a 및 도 1b를 참조하면, 멀티 칩 패키지(100)는 상부면(111)과 하부면(112)을 갖는 양면 실장형 기판(110)을 포함하고, 상부면(111) 및 하부면(112)에는 복수 개의 본딩 패드(121)들을 갖는 칩(120)이 실장되는 칩 실장 영역(113)과 주변 영역(114)이 각각 형성되어 있다. 칩 실장영역(113)에는 칩(120)이 각각 탑재되어 있고, 본딩 와이어(140)에 의해 칩(120)의 본딩 패드(121)들과 기판(110)의 기판 패드(115)들이 전기적으로 각각 연결되어 있으며, 기판(110)의 상부면(111) 및 하부면(112)에 위치한 칩(120)과 본딩 와이어(140)는 외부로부터 보호되도록 각각의 밀봉부(130)에 의해 밀봉된 구성을 갖는다.
도 2a는 플립 칩 본딩기술에 의해 기판(210)의 양면에 칩(220)이 각각 실장된 구조를 갖는 멀티 칩 패키지(200)를 개략적으로 나타낸 단면도이고, 도 2b는 도 2a에 나타낸 기판(210)의 상부면(211)을 개략적으로 나타낸 평면도다.
도 2a 및 도 2b를 참조하면, 멀티 칩 패키지(200)는 도 1에 나타낸 멀티 칩 패키지(도 1의 100)와 마찬가지로, 양면 실장형 기판(210)의 상부면(211) 및 하부면(212)에 형성되어 있는 각각의 칩 실장 영역(213)에 칩(220)이 실장되고, 밀봉부(230)에 의해 칩 실장 영역(213)이 밀봉된 구조를 갖는다. 반면, 기판(210)의 칩 실장 영역(213)에 실장된 칩(220)은 본딩 와이어를 이용하는 와이어 본딩 기술이 아닌 플립 칩 본딩 기술에 의해 실장된 구성을 갖는다.
이와 같은 구성을 갖는 종래 기술에 따른 멀티 칩 패키지들(100, 200)은 기판의 상부면 및 하부면 상에 각각 위치한 칩 실장 영역을 밀봉하기 위해 두 번의 밀봉 공정을 거친다. 예컨대, 한 번의 밀봉 공정을 완료한 다음 그 결과물을 뒤집은 후 다시 밀봉 공정을 시행함으로써 밀봉 공정을 완료한다. 그러나, 이와 같은 밀봉 공정 시에는 양면에 칩이 실장된 기판의 일측 부위에만 열압착이 가해짐에 따라 기판의 휨(Warpage) 현상이 발생될 수 있다. 이에, 기판에 실장된 칩과 기판과의 전기적 연결 부위가 끊어지는 등 패키지의 불량이 유발될 수 있다. 또한, 두 번의 밀봉 공정을 시행해야 하므로 생산성이 저하될 뿐만 아니라, 그에 따른 공정 시간이 증가됨으로 인해 제품의 단가상승을 초래할 수 있다.
따라서, 본 발명은 양면 실장형 기판의 상부면 및 하부면 상에 각각 위치되는 칩 실장 영역을 한 번의 밀봉 공정으로도 각각 밀봉할 수 있도록 하는 양면 실장형 기판을 제공하고, 그를 이용하는 멀티 칩 패키지의 제조방법을 제공하고자 한 다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 양면 실장형 기판은 상부면과 상부면에 반대면인 하부면을 갖고 상부면 및 하부면에 각각 적어도 하나 이상의 칩이 실장되는 양면 실장형 기판으로서, 상부면 및 하부면의 중앙에 각각 위치되어 적어도 하나 이상의 칩이 실장되고 밀봉 수지에 의해 밀봉되는 칩 실장 영역과, 상부면 및 하부면의 칩 실장 영역 주변에 위치되어 외부 기기와 접속하기 위한 외부 단자가 형성되는 접속 패드들을 구비한 주변 영역을 포함하고, 칩 실장 영역에는 상부면에서 하부면을 관통하는 적어도 하나 이상의 밀봉 수지 주입용 개구부가 구비되는 것을 특징으로 한다. 이때, 개구부의 형상은 기판의 일면에서 볼 때, 슬릿(Slit), 원(Circle), 사각, 및 삼각을 포함하는 그룹에서 선택된 어느 하나의 형상인 것이 바람직하다.
한편, 본 발명에 따른 양면 실장형 기판에 있어서, 칩 실장 영역은 칩이 탑재되는 칩 탑재부와 칩의 본딩 패드들과 대응되는 복수 개의 기판 패드들이 형성된 본딩부를 포함하는 것이 바람직하고, 밀봉 수지 주입용 개구부는 본딩부에 형성되는 것이 바람직하다.
다른 한편, 본 발명에 따른 양면 실장형 기판에 있어서, 칩 실장 영역은 칩이 탑재되고 칩의 본딩 패드들과 대응되는 복수 개의 기판 패드들이 형성된 칩 실장부와 칩 실장부 외측에 형성되는 더미(Dummy)부를 포함하는 것이 바람직하고, 밀봉 수지 주입용 개구부는 더미부에 형성되는 것이 바람직하다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 양면 실장형 기판을 이용하는 멀티 칩 패키지의 제조방법은 (a)제1항에 기재된 양면 실장형 기판을 준비하는 단계; (b)기판의 칩 실장 영역에 적어도 하나 이상의 칩을 실장하는 단계; 및 (c)칩 실장 영역을 밀봉 수지로 밀봉(Encapsulation)하는 단계를 포함하고, (c)단계에서는 기판에 구비된 밀봉 수지 주입용 개구부를 통해 밀봉 수지를 상부면 하부면으로 동시에 공급함에 따라 상부면 및 하부면에 위치한 칩 실장 영역이 한꺼번에 밀봉되고, 개구부는 밀봉부 내에 위치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 멀티 칩 패키지의 제조방법에 있어서, (b)단계에서 칩은 기판에 플립 칩 본딩 또는 와이어 본딩될 수 있으며, 어느 하나의 칩 실장 영역에는 와이어 본딩기술을 이용하여 칩과 기판을 전기적으로 연결하고, 다른 하나의 칩 실장 영역에는 플립 칩 본딩기술을 이용하여 칩과 기판을 전기적으로 연결할 수도 있다. 이때, 칩은 하나 또는 다수 개가 적층된 상태로 실장될 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 멀티 칩 패키지의 제조방법은 주변 영역에 형성된 접속 패드들 상에 외부 단자를 형성하는 (d)단계를 더 포함하는 것이 바람직하다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명에 따른 양면 실장형 기판 및 그를 이용하는 멀티 칩 패키지의 제조방법에 대한 바람직한 실시예들을 설명하고자 한다.
도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 양면 실장형 기판을 개략적으로 나타낸 단면도이고, 도 3b는 도3a에 나타낸 양면 실장형 기판의 상부면을 나타낸 평면도이며, 도 3c는 도3a에 나타낸 양면 실장형 기판의 하부면을 나타낸 평면도이다.
도 3a 내지 도 3c를 참조하면, 본 실시예에 따른 양면 실장형 기판(310)은 전도성의 배선 패턴이 표면 및/또는 내부에 소정의 패턴으로 형성되어 있는 인쇄회로기판(PCB:Printed Circuit Board)으로서 예컨대, FR-4 기판이다. 이때, 배선 패턴은 예컨대, 구리 금속 패턴이다.
기판(310)은 상부면(311)과 상부면(311)에 반대면인 하부면(312)을 갖고, 상부면(311) 및 하부면(312)에는 칩 실장 영역(313)과, 주변 영역(314)이 각각 형성되어 있다.
칩 실장 영역(313)은 칩이 실장되는 곳으로서 기판(310)의 상부면(311) 및 하부면(312)의 중앙에 위치되고, 도 3b에 나타낸 바와 같이 칩이 탑재되는 칩 탑재부(315)와 본딩부(316)를 포함한다. 이때, 본딩부(316)에는 칩의 본딩 패드들과 각각 대응되는 위치에 기판 패드(317)들이 형성되어 있다.
주변 영역(314)은 외부 기기 혹은 외부 단자와 접속되는 접속 패드(318)들이 형성되는 곳으로서, 칩 실장 영역(313)의 외측에 각각 위치된다. 접속 패드(318)들은 칩 실장 영역(313)의 기판 패드(317)들과 배선 패턴으로 각각 연결되어 있으며, 기판(310)의 상부면(311) 및 하부면(312) 사이의 접속 패드(318)들은 예컨대 관통 전극(319)과 같은 배선 패턴에 의해 전기적으로 연결되어 있다.
이와 같은 구성을 갖는 본 실시예에 따른 양면 실장형 기판(310)은 종래 기술에 따른 기판과는 달리, 칩 실장 영역(313)에 상부면(311)에서 하부면(312)을 관통하는 적어도 하나 이상의 밀봉 수지 주입용 개구부(350)가 구비되어 있다. 개구부(350)는 도 3b 또는 도 3b에 나타낸 바와 같이 본딩부(316)에 형성되어 있으며, 기판(310)의 일면에서 볼 때 슬릿 형상을 가진다. 이와 같은 개구부(350)는 예컨 대, 펀칭(Punching) 공정에 의해 형성될 수 있다. 한편, 본 실시예에서는 개구부(350)의 형상을 슬릿 형상으로 형성하였으나, 동 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 여러 가지의 형상으로 변형이 가능하다. 예컨대, 원형, 사각형, 삼각형 등의 형상으로 형성될 수 있다.
따라서, 본 실시예에 따른 양면 실장형 기판은 기판의 일면에 형성된 칩 실장 영역으로 밀봉 수지가 공급되면, 공급되는 밀봉 수지는 밀봉 수지 주입용 개구부를 통해 다른 면으로 흘러들어가게 된다. 이에, 본 실시예에 따른 기판을 이용하여 멀티 칩 패키지를 제조하는 경우에는 기판의 양면에 형성된 칩 실장 영역을 한 번의 밀봉 공정을 통해 동시에 밀봉할 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 양면 실장형 기판의 칩 실장 영역을 설명하기 위해 기판의 상부면을 나타낸 평면도이다. 본 실시예에 따른 기판은 도 3a에 나타낸 기판과 대부분의 구성이 동일하다. 다만, 기판의 상부면 및 하부면에 형성된 칩 실장 영역의 구성만이 다르므로, 여기서는 칩 실장 영역에 대해서만 설명하기로 한다.
도 4를 참조하면, 본 실시예에 따른 양면 실장형 기판은 칩 실장 영역(413)에 실장되는 칩이 와이어 본딩이 아닌 플립 칩 본딩에 의해 실장되도록 구성되어 있다. 즉, 칩 실장 영역(413)은 복수 개의 기판 패드(417)들이 형성되어 있고 기판 패드(417)들과 전기적으로 대응되도록 칩이 탑재되는 칩 실장부(415)와, 칩 실장부(415)의 외측에 형성되는 더미(Dummy)부(416)를 포함하고, 더미부(416)에 기판의 상부면(411)과 하부면을 관통하는 밀봉 수지 주입용 개구부(450)가 구비되는 것을 특징으로 한다.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명에 따른 양면 실장형 기판을 이용하는 멀티 칩 패키지의 제조방법을 설명하기 위해 개략적으로 도식화한 단면도이다. 여기서, 도 5a 내지 도 5d에 나타난 기판은 본 실시예에 따른 멀티 칩 패키지의 제조방법에 대한 설명의 편의성을 위해 개략적으로 나타내어졌다.
도 5a를 참조하면, 본 실시예에 따른 멀티 칩 패키지의 제조방법은 먼저, 양면에 칩이 실장되는 양면 실장형 기판(510)을 준비한다. 이때, 기판(510)은 상부면(511) 및 하부면(512)에 각각 구비된 칩 실장 영역에 상부면(511)에서 하부면(512)을 관통하는 밀봉 수지 주입용 개구부(550)가 구비된 것으로서, 도 3a에 나타낸 양면 실장형 기판(도 3a의 310)과 동일한 구성 및 구조를 갖는다.
다음으로, 도 5b에 나타낸 바와 같이 기판(510)의 상부면(511) 및 하부면(512)에 형성된 칩 실장 영역에 칩(520)을 각각 실장한다. 이는 예컨대, 칩 실장 영역의 칩 탑재부에 소정의 접착제를 사용하여 칩(520)을 각각 부착시킨 다음, 칩(520)의 본딩 패드(521)들과 기판(510)의 기판 패드(도시 되지 않음)들을 본딩 와이어(540)로 연결한다. 한편, 본 실시예에서는 칩(520)과 기판(510)을 전기적으로 연결할 시 와이어 본딩기술을 이용하였으나, 플립 칩 본딩기술을 이용하여도 무관하다. 다만, 플립 칩 본딩기술을 이용하는 경우 칩 실장 영역은 도 4에 나타낸 바와 같이 칩 실장부(도 4의 415)와 더미부(도 4의 416)를 포함하는 것이 바람직하다. 또한, 기판(510)의 어느 한 면에 구비된 칩 실장 영역에는 와이어 본딩기술을 이용하여 칩(520)과 기판(510)을 전기적으로 연결하고, 기판(510)의 다른 면에 형 성된 칩 실장 영역에는 플립 칩 본딩기술을 이용하여 칩(520)과 기판(510)을 전기적으로 연결할 수도 있다. 이때, 기판(510)의 일면 또는 양면에 실장되는 칩(520)은 싱글(Single) 칩 또는 싱글 칩이 복수 개가 적층된 적층(Stack) 칩 구조를 가질 수 있다.
다음으로, 칩 실장 영역을 밀봉 수지로 밀봉(Encapsulation)한다. 이는 예컨대, 도 5c에 나타낸 바와 같이 금형을 사용하여 시행할 수 있다. 즉, 상부 금형(561)과 하부 금형(562) 사이에 칩(510)이 실장된 기판(510)을 위치시키고, 금형에 구비된 게이트를 통해 기판(510)의 상부면(511)에 위치한 칩 실장 영역으로 밀봉 수지(551)를 공급시킨다. 이때, 사용되는 밀봉 수지(551)로는 예컨대 에폭시 몰딩 컴파운드(Epoxy Molding Compound)를 사용하는 것이 바람직하다. 이후, 칩 실장 영역으로 공급된 밀봉 수지(551)가 기판(510)의 상부면(511) 뿐만 아니라 기판(510)에 구비된 밀봉 수지 주입용 개구부(550)를 통해 하부면(512)으로도 공급된 후 경화된다. 따라서, 본 실시예에서는 한 번의 밀봉 공정을 통해 기판(510)의 상부면(511) 및 하부면(512)에 각각 구비된 칩 실장 영역을 동시에 밀봉시킨다. 이때, 개구부(550)는 도 5d에 나타낸 바와 같이 밀봉부(530) 내에 위치하게 된다.
다음으로, 도 5d를 참조하면 기판(510)의 하부면(512)에 위치한 주변 영역에 형성되어 있는 접속 패드들 상에 외부 기기와 접속되는 외부 단자를 형성한다. 외부 단자는 일반적으로 널리 사용되고 있는 납(Pb)-주석(Sn) 합금 재질의 솔더 볼(Solder Ball)이고, 솔더 볼은 스크린 프린팅(Screen Printing) 방법 등을 이용하여 형성할 수 있다.
한편, 본 발명은 상기한 실시예들에 한정되지 않으며, 본 발명이 속한 기술적 분야에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 많은 변형이 가능함이 명백하다. 예를 들어, 본 발명에 따른 양면 실장형 기판은 다수 개가 스트립 형태로 연결되어 제조될 수 있으며, 본 발명에 따른 멀티 칩 패키지의 제조방법은 양면 실장형 기판을 사용하여 제조되는 모든 반도체 패키지에 적용될 수 있다. 특히, 멀티 칩 패키지가 다수 개가 적층된 멀티 스택 패키지에도 적용될 수 있다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 따른 양면 실장형 기판은 칩이 실장되고 밀봉 수지에 의해 밀봉되는 칩 실장 영역에 상부면에서 하부면을 관통하는 밀봉 수지 주입용 개구부를 구비한다. 따라서, 본 발명은 기판의 주변 영역에 형성되는 접속 패드들의 형성위치에 영향을 미치지 않을 뿐만 아니라, 칩 실장 영역의 밀봉 후에는 밀봉부 내에 위치되므로 외관상으로도 보기가 좋다.
그리고, 본 발명에 따른 멀티 칩 패키지 제조방법은 본 발명에 따른 양면 실장형 기판을 이용한다. 따라서, 본 발명은 한 번의 밀봉 공정으로도 기판의 양면에 각각 위치한 칩 실장 영역을 동시에 밀봉할 수 있음으로써, 밀봉 공정 시 기판의 휨(Warpage) 현상이 발생되지 않는다. 이에, 제품의 불량률이 줄어들고, 패키지의 제조시 소모되는 공정 시간 및 공정비가 절감된다.
Claims (12)
- 상부면과 상기 상부면에 반대면인 하부면을 갖고, 상기 상부면 및 상기 하부면에 각각 적어도 하나 이상의 칩이 실장되는 양면 실장형 기판에 있어서,상기 상부면 및 상기 하부면의 중앙에 각각 위치되어 적어도 하나 이상의 칩이 실장되고 밀봉 수지에 의해 밀봉되는 칩 실장 영역과,상기 상부면 및 상기 하부면의 상기 칩 실장 영역 주변에 위치되어 외부 기기와 접속하기 위한 외부 단자가 형성되는 접속 패드들을 구비한 주변 영역을 포함하고,상기 칩 실장 영역에는 상기 상부면에서 상기 하부면을 관통하는 적어도 하나 이상의 밀봉 수지 주입용 개구부가 구비되는 것을 특징으로 하는 양면 실장형 기판.
- 제1항에 있어서, 상기 개구부의 형상은 상기 기판의 일면에서 볼 때 슬릿(Slit), 원(Circle), 사각, 및 삼각을 포함하는 그룹에서 선택된 어느 하나의 형상인 것을 특징으로 하는 양면 실장형 기판.
- 제1항에 있어서, 상기 칩 실장 영역은 상기 칩이 탑재되는 칩 탑재부와, 상기 칩 탑재부의 외측에 형성되고 상기 칩의 본딩 패드들과 대응되는 복수 개의 기판 패드들이 형성된 본딩부를 포함하는 것을 특징으로 하는 양면 실장형 기판.
- 제3항에 있어서, 상기 밀봉 수지 주입용 개구부는 상기 본딩부에 형성되는 것을 특징으로 하는 양면 실장형 기판.
- 제1항에 있어서, 상기 칩 실장 영역은 상기 칩이 탑재되고 상기 칩의 본딩 패드들과 대응되는 복수 개의 기판 패드들이 형성된 칩 실장부와, 상기 칩 실장부의 외측에 형성되는 더미(Dummy)부를 포함하는 것을 특징으로 하는 양면 실장형 기판.
- 제5항에 있어서, 상기 밀봉 수지 주입용 개구부는 상기 더미부에 형성되는 것을 특징으로 하는 양면 실장형 기판.
- (a)제1항에 기재된 양면 실장형 기판을 준비하는 단계;(b)상기 기판의 칩 실장 영역에 적어도 하나 이상의 칩을 실장하는 단계; 및(c)상기 칩 실장 영역을 밀봉 수지로 밀봉(Encapsulation)하는 단계를 포함하고,상기 (c)단계에서는 상기 칩 실장 영역으로 상기 밀봉 수지가 공급되고, 상기 밀봉 수지가 상기 기판에 구비된 밀봉 수지 주입용 개구부를 통해 상기 상부면 및 상기 하부면으로 동시에 공급됨에 따라 상기 상부면 및 상기 하부면에 위치한 상기 칩 실장 영역이 한꺼번에 밀봉되고, 상기 개구부가 상기 밀봉부 내에 위치되 는 것을 특징으로 하는 멀티 칩 패키지의 제조방법.
- 제7항에 있어서, 상기 (b)단계에서 상기 칩은 상기 기판에 플립 칩 본딩되는 것을 특징으로 하는 멀티 칩 패키지의 제조방법.
- 제7항에 있어서, 상기 (b)단계에서 상기 칩은 상기 기판과 본딩 와이어로 연결되는 것을 특징으로 하는 멀티 칩 패키지의 제조방법.
- 제7항에 있어서, 상기 (b)단계에서는 어느 하나의 상기 칩 실장 영역에는 와이어 본딩기술을 이용하여 상기 칩과 상기 기판을 전기적으로 연결하고, 다른 하나의 상기 칩 실장영역에는 플립 칩 본딩기술을 이용하여 상기 칩과 상기 기판을 전기적으로 연결하는 것을 특징으로 하는 멀티 칩 패키지의 제조방법.
- 제7항에 있어서, 상기 (b)단계에서는 싱글 칩 또는 적층 칩 구조를 갖는 상기 칩을 실장하는 것을 특징으로 하는 멀티 칩 패키지의 제조방법.
- 제7항에 있어서, 상기 주변 영역에 형성된 접속 패드들 상에 외부 단자를 형성하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 칩 패키지의 제조방법.
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Cited By (2)
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Cited By (3)
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---|---|---|---|---|
US7679928B2 (en) | 2008-07-04 | 2010-03-16 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | System-in-package module and mobile terminal having the same |
WO2019194517A1 (ko) * | 2018-04-04 | 2019-10-10 | 엘지이노텍 주식회사 | 인쇄회로기판 및 인쇄회로기판 스트립 |
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