KR20060094290A - Fixing unit for fixing exhaust line - Google Patents
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Abstract
본 발명은 소정의 단위 공정이 이루어지는 퍼니스(Furnace)에 연결된 배기라인의 소정부위를 임의의 대상물에 고정시키기 위한 배기라인 고정용 고정유닛으로서, 소정부위에 체결된 지지띠; 지지띠가 고정됨으로써 소정부위를 지지하고 다수 개의 고정홀이 형성된 지지대; 지지띠를 지지대에 고정시키고, 고정홀에 삽입되어 임의의 대상물에 체결됨으로써 지지대를 임의의 대상물에 고정시키는 고정핀들; 및 지지대의 하단에 설치되어 지지대를 상하로 이동시켜 배기라인의 수평을 조절하는 수평조절유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따르면, 수평조절유닛에 의해 배기라인의 소정부위를 지지하는 지지대가 상하로 이동됨으로써, 배기라인의 수평이 맞춰진다. 이에, 배기라인의 수평을 맞추기 위해 임의의 대상물에 체결된 고정핀들을 해체하여 망치나 공구 등을 이용하여 지지대에 충격을 가하거나 하는 별도의 작업 없이도 배기라인의 수평을 손쉽게 맞출 수 있다. 따라서, 배기라인의 수평을 맞추기 위한 작업시간 소요가 적어지고, 수평이 제대로 맞지 않음으로써 발생되는 공정 불량 및 공정 손실이 유발되지 않는다. The present invention provides a fixing unit for fixing an exhaust line for fixing a predetermined portion of an exhaust line connected to a furnace, in which a predetermined unit process is performed, to any object, comprising: a support belt fastened to a predetermined portion; A support for supporting a predetermined portion by fixing the support belt and having a plurality of fixing holes; Fixing pins for fixing the support belt to the support, and fixed to any object by being inserted into the fixing hole and fastened to any object; And it is installed on the bottom of the support characterized in that it comprises a horizontal control unit for moving the support up and down to adjust the horizontal line of the exhaust line. According to this, the support for supporting a predetermined portion of the exhaust line is moved up and down by the horizontal adjusting unit, thereby leveling the exhaust line. Thus, the leveling of the exhaust line can be easily leveled without disassembling the fixing pins fastened to any object in order to level the exhaust line and without impacting the support using a hammer or a tool. Therefore, the time required for leveling the exhaust line is reduced, and process defects and process losses caused by misalignment of the exhaust lines are not caused.
퍼니스(Furnace), 배기라인, 배기가스, 수평(Level), 수평조절유닛 Furnace, Exhaust Line, Exhaust Gas, Level, Level Control Unit
Description
도 1은 일반적인 배기라인 고정용 고정유닛에 의해 배기라인의 소정부위가 벽면에 고정된 상태를 개략적으로 나타낸 측면도.1 is a side view schematically showing a state in which a predetermined portion of the exhaust line is fixed to a wall by a general exhaust line fixing unit.
도 2는 도 1에 나타낸 A부분을 확대 도시한 사시도.FIG. 2 is an enlarged perspective view of a portion A shown in FIG. 1. FIG.
도 3은 본 발명에 따른 배기라인 고정용 고정유닛에 의해 배기라인의 소정부위가 벽면에 고정된 상태를 개략적으로 나타낸 일부 사시도.3 is a partial perspective view schematically showing a state in which a predetermined portion of the exhaust line is fixed to the wall by the fixing unit for fixing the exhaust line according to the present invention.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Major Parts of Drawings>
101: 퍼니스 102, 2: 배기라인101:
102a, 2a: 플랜지 103, 3: 고정유닛102a, 2a:
103a, 3a: 지지대 103b, 3b: 고정핀103a, 3a:
103c, 3c: 고정홀 103d, 3d: 지지띠103c, 3c: fixing
104, 4b: 벽면 5: 수평조절유닛104, 4b: wall 5: leveling unit
5a: 고정판 5b: 이동판5a: fixed plate 5b: moving plate
5c: 상하조절나사5c: Vertical adjustment screw
본 발명은 고정유닛에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 퍼니스의 일측에 체결되어 퍼니스 내부로부터 배출되는 배기가스의 이동통로가 되는 배기라인의 소정부위를 임의의 대상물에 고정시키기 위한 고정유닛에 관한 것이다.The present invention relates to a fixing unit, and more particularly, to a fixing unit for fixing a predetermined portion of the exhaust line which is fastened to one side of the furnace and becomes a moving passage of the exhaust gas discharged from the inside of the furnace.
일반적으로, 반도체 소자는 확산공정, 이온주입공정, 사진공정 및 식각공정 등의 단위공정을 반복 시행함으로써 제조되며, 사진공정을 제외한 단위공정은 대부분 소정의 밀폐된 공간을 갖는 퍼니스(Furnace) 내에서 이루어진다. Generally, semiconductor devices are manufactured by repeating unit processes such as diffusion process, ion implantation process, photo process, and etching process, and most of the unit processes except the photo process are carried out in a furnace having a predetermined closed space. Is done.
퍼니스는 소정의 단위공정이 이루어지는 동안 진공펌프에 의해 밀폐된 공간이 소정의 압력 상태에 놓이도록 하며, 이 때 퍼니스 내부의 배기가스는 일측에 진공펌프와 연결된 배기라인을 통해 배기가스 처리부로 이송된다. The furnace allows the space enclosed by the vacuum pump to be in a predetermined pressure state during a predetermined unit process, and exhaust gas inside the furnace is transferred to the exhaust gas treatment unit through an exhaust line connected to the vacuum pump at one side. .
최근, 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 소자 제조라인에서는 작업효율을 향상시키기 위해 다수 개의 퍼니스들을 한 공간 배치하고 있고, 퍼니스로부터 배출되는 배기가스를 처리하기 위한 배기가스처리부는 통상적으로 반도체 소자 제조라인 내부의 어느 한 공간에 배치하거나 외부에 배치하고 있다. 이에, 퍼니스에 연결된 배기라인은 다수 개의 단위 배기라인이 연이어 연결된 형태를 가지며, 이는 단위 배기라인의 양단에 체결된 플랜지(Flange)들이 서로 마주보도록 연결한 후 이 플랜지 연결부를 밀봉함으로써 다수 개의 단위 배기라인을 연결하고 있다. Recently, in the semiconductor device manufacturing line for manufacturing a semiconductor device is arranged a plurality of furnaces in one space to improve the work efficiency, the exhaust gas processing unit for processing the exhaust gas discharged from the furnace is typically inside the semiconductor device manufacturing line It is either placed in a space or placed outside. Therefore, the exhaust line connected to the furnace has a form in which a plurality of unit exhaust lines are connected in series, which is connected to the flanges fastened at both ends of the unit exhaust line to face each other and then sealed by the flange connection part. The line is connected.
이와 같이 퍼니스에 연결된 배기라인은 그 소정부위가 천정이나 벽면 등의 임의의 대상물에 고정설치되며, 벽면에 고정설치되는 경우에는 소정의 배기라인 고정용 고정유닛을 이용하여 플랜지 연결부를 지지 및 고정함으로써 고정설치된다. In this way, the exhaust line connected to the furnace is fixedly installed at an arbitrary object such as a ceiling or a wall, and when it is fixedly installed on the wall, by supporting and fixing the flange connection part using a predetermined exhaust line fixing unit. It is fixedly installed.
여기서, 배기라인은 퍼니스에 연결된 상태이므로 퍼니스의 연결부위와 벽면 에 고정된 부위가 수평을 이루는 것이 매우 중요하다. 이는 배기라인이 수평이 되지 않은 경우, 퍼니스에 연결된 부위로부터 리크가 발생 될 수 있고, 이에 따라 공정 에러 및 공정 불량이 발생될 수 있기 때문이다. Here, since the exhaust line is connected to the furnace, it is very important that the connection part of the furnace and the part fixed to the wall are horizontal. This is because if the exhaust line is not level, leaks can be generated from the parts connected to the furnace, which can result in process errors and process failures.
또한, 배기라인은 배기라인 내부를 클리닝하기 위해 주기적으로 해체된 후 다시 조립되어 임의의 대상물에 고정되는데, 이때에도 배기라인의 수평을 맞추는 것이 가장 중요하다.In addition, the exhaust line is periodically dismantled to clean the exhaust line, and then reassembled to be fixed to any object. In this case, it is most important to level the exhaust line.
이하, 첨부 도면을 참조하여 일반적인 배기라인 고정용 고정유닛에 의해 배기라인의 소정부위가 임의의 대상물인 벽면에 고정된 경우에 대해 간략하게 살펴보기로 한다.Hereinafter, a case in which a predetermined portion of the exhaust line is fixed to a wall surface of any object by a general exhaust line fixing unit will be briefly described with reference to the accompanying drawings.
도 1은 일반적인 배기라인 고정용 고정유닛에 의해 배기라인의 소정부위가 벽면에 고정된 상태를 개략적으로 나타낸 측면도이고, 도 2는 도 1에 나타낸 A부분을 확대 도시한 사시도이다.FIG. 1 is a side view schematically showing a state where a predetermined portion of an exhaust line is fixed to a wall by a general exhaust line fixing unit, and FIG. 2 is an enlarged perspective view of portion A shown in FIG. 1.
도 1 및 도 2를 참조하면, 배기라인(102)은 일단이 퍼니스(101)에 연결되어 있고, 연이어 수평으로 연장되어 임의의 대상물인 벽면(104)에 근접한 위치에서는 구부러져 벽면(104)에 나란히 위치되어 있고, 이와 같이 위치된 배기라인(102)은 일반적인 배기라인 고정용 고정유닛(103)에 의해 벽면에 고정된다. 1 and 2, the
여기서, 일반적인 배기라인 고정용 고정유닛(103)은 배기라인(102) 소정부위에 체결된 지지띠(103d)와, 지지띠(103d)가 고정되는 지지대(103a), 및 지지띠(103d)를 지지대(103a)에 고정시키고 지지대(103a)를 벽면(104)에 고정시키는 고정핀(103b)을 포함한다. Here, the general exhaust
이에, 일반적인 배기라인 고정용 고정유닛(103)은 배기라인(102)의 소정부위에 체결된 지지띠(103d)가 고정핀(103b)에 의해 지지대(103a) 상면에 고정되고, 소정부위에 위치한 플랜지 연결부(102a)의 하단에 지지대(103a)가 위치되어 플랜지 연결부(102a)를 지지함으로써, 배기라인(102)의 소정부위를 벽면(104)에 밀착시킨 상태로 지지한다. 이에, 지지대(103a)에 형성된 다수 개의 고정홀(103c)에 고정핀(103b)이 각각 삽입되어 벽면(104)에 체결됨으로써 배기라인(102)의 소정부위를 벽면(104)에 고정시킨다. Accordingly, in the general exhaust
그러나, 상기와 같이 일반적인 배기라인 고정용 고정유닛(103)을 이용하여 배기라인(102)의 소정부위를 임의의 대상물인 벽면(104)에 고정시키는 경우에는 작업자가 배기라인(102)의 수평을 맞추기 위해 고정핀(103b)을 푼 상태에서 플랜지 연결부(102a) 상측에 위치한 배기라인(102)의 일부분을 망치 등의 공구를 이용하여 힘을 가함으로써 인위적으로 상하 유동시켜 수평을 맞추고 있는 실정이다. However, when fixing a predetermined portion of the
이에, 배기라인(102)의 수평을 제대로 맞추기가 힘들기에 시간이 많이 소모되거나, 배기라인(102) 자체가 손상되는 경우가 종종 발생되고 있다. 특히, 배기라인(102)의 수평이 제대로 맞춰지지 않은 상태에서 퍼니스(100)를 가동하는 경우에는 배기라인(102)의 퍼니스(100)와의 연결부위에 리크(Leak)가 발생되어 공정 불량 및 이로 인한 공정 손실이 유발될 수 있다. Therefore, it is often difficult to level the
따라서, 본 발명은 배기라인의 소정부위를 임의의 대상물에 고정하거나 클리닝을 위해 해체한 후 다시 조립하여 고정하더라도, 소정의 도구 없이도 손쉽게 배 기라인의 수평을 맞춘 후 임의의 대상물에 고정할 수 있는 배기라인 고정용 고정유닛을 제공하고자 한다. Therefore, the present invention can be fixed to any object after leveling the exhaust line easily even without a tool even if a certain portion of the exhaust line is fixed to any object or disassembled for cleaning and then reassembled and fixed. It is intended to provide a fixing unit for fixing the exhaust line.
본 발명은 소정의 단위 공정이 이루어지는 퍼니스(Furnace)에 연결된 배기라인의 소정부위를 임의의 대상물에 고정시키기 위한 배기라인 고정용 고정유닛으로서, 소정부위에 체결된 지지띠; 지지띠가 고정됨으로써 소정부위를 지지하고 다수 개의 고정홀이 형성된 지지대; 지지띠를 지지대에 고정시키고, 고정홀에 삽입되어 임의의 대상물에 체결됨으로써 지지대를 임의의 대상물에 고정시키는 고정핀들; 및 지지대의 하단에 설치되어 지지대를 상하로 이동시켜 배기라인의 수평을 조절하는 수평조절유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention provides a fixing unit for fixing an exhaust line for fixing a predetermined portion of an exhaust line connected to a furnace, in which a predetermined unit process is performed, to any object, comprising: a support belt fastened to a predetermined portion; A support for supporting a predetermined portion by fixing the support belt and having a plurality of fixing holes; Fixing pins for fixing the support belt to the support, and fixed to any object by being inserted into the fixing hole and fastened to any object; And it is installed on the bottom of the support characterized in that it comprises a horizontal control unit for moving the support up and down to adjust the horizontal line of the exhaust line.
본 발명에 따른 배기라인 고정용 고정유닛에 있어서, 수평조절유닛은 임의의 대상물에 고정되는 고정판; 고정판 상측에 위치하여 지지대를 지지하는 이동판; 및 고정판과 나사결합되어 일단이 고정판 하측으로 돌출되고 타단이 이동판 하면에 고정되며 회전에 의해 이동판을 상하로 이동시키는 상하조절나사를 포함하는 것이 바람직하다.In the fixing unit for fixing the exhaust line according to the invention, the horizontal adjustment unit is fixed plate fixed to any object; A moving plate positioned above the fixed plate to support the support; And it is preferable to include a vertical adjustment screw for screwing the fixed plate and one end protrudes to the lower side of the fixed plate and the other end is fixed to the lower surface of the moving plate to move the moving plate up and down by rotation.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail an embodiment of the present invention.
도 3은 본 발명에 따른 배기라인 고정용 고정유닛에 의해 배기라인의 소정부위가 벽면에 고정된 상태를 개략적으로 나타낸 일부 사시도이다.3 is a partial perspective view schematically showing a state in which a predetermined portion of the exhaust line is fixed to the wall by the fixing unit for fixing the exhaust line according to the present invention.
도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 배기라인 고정용 고정유닛(3)은 말굽형상 으로 배기라인(2)의 소정부위를 감싸는 형상으로 체결된 지지띠(3d)와, 지지띠(3d)의 양단부가 상면에 고정됨으로써 소정부위를 지지하고 다수 개의 고정홀(3c)이 형성된 지지대(3a)와, 지지띠(3d)를 지지대(3a)에 고정시키고, 다수 개의 고정홀(3c)에 각각 삽입되어 벽면(4)에 체결됨으로써 배기라인(2)의 소정부위를 벽면(104)에 고정시키는 고정핀(3b)들, 및 지지대(3a)를 상하로 이동시켜 배기라인(2)의 수평을 조절하는 수평조절유닛(5)을 포함한다. Referring to FIG. 3, the exhaust
이러한 구성을 갖는 본 발명에 따른 배기라인 고정용 고정유닛(3)은 배기라인의 소정부위에 체결된 지지띠(3d)가 고정핀(3b)에 의해 지지대(3a)에 고정되고, 지지대(3a)에 형성된 다수 개의 고정홀(3c)에 고정핀(3b)들이 각각 삽입되어 벽면(4)에 체결됨으로써, 배기라인(2)의 소정부위를 벽면(4)에 고정시킨다. In the exhaust line
여기서, 본 발명에 따른 배기라인 고정용 고정유닛(3)은 일반적인 배기라인 고정용 고정유닛(도 2의 103)과는 달리, 배기라인(2)의 수평을 맞추기 위한 수평조절유닛(5)을 포함하고 있으며, 이 때 수평조절유닛(5)은 벽면(4)에 고정된 고정판(5b)과, 고정판(5b) 상측에 위치하여 지지대(3a)를 지지하는 이동판(5a), 및 고정판(5b)과 나사결합되어 회전에 의해 이동판(5a)을 상하로 이동시키는 상하조절나사(5c)를 포함하는 것이 바람직하다.Here, the exhaust line
즉, 고정판(5b)은 어느 하나의 측면이 벽면(4)에 고정되어 벽면(4)에 수직으로 위치되어 있고, 이동판(5a)은 고정판(5b) 하측에 고정판(5b)과 평행을 이루며 상하 이동가능하도록 위치되어 있으며, 상하조절나사(5c)는 고정판(5b)에 수직으로 고정판(5b)과 나사결합되어 일단이 고정판(5b) 하측으로 돌출되어 있고 타단이 이 동판(5a) 하면에 고정되어 있다. That is, the fixing plate 5b is fixed to the
이에, 본 발명에 따른 배기라인 고정용 고정유닛(3)을 이용하여 임의의 대상물인 벽면(4)에 나란히 위치한 배기라인(2)의 소정부위를 벽면(4)에 고정시키는 방법에 대해 살펴보면 다음과 같다.Thus, a method of fixing a predetermined portion of the
먼저, 배기라인(2)의 소정부위에 체결된 지지띠(3d)의 양단을 고정핀(3b)에 의해 지지대(3a) 상면에 고정시키면 배기라인(2)의 소정부위에 위치한 플랜지 연결부(2a)가 지지대(3a) 상면에 놓여지고, 이에 배기라인(2)의 소정부위가 벽면(4)에 밀착되어 지지대(3a)에 의해 지지된다. 다음으로, 지지대(3a)에 형성된 고정홀(3c)에 고정핀(3b)을 각각 삽입하여 고정핀(3b)이 벽면(4)에 체결되도록 한다. 이 때, 고정핀(3b)은 지지대(3a)를 벽면에 완전히 고정시키지 않고 지지대(3a)가 상하 유동가능하도록 삽입되어 있다. 다음으로, 고정판(5b)과 나사결합된 상하조절나사(5c)를 회전시켜 이동판(5a)을 상하로 이동시킴으로써, 지지대(3a)를 상하로 유동시켜 배기라인(2)의 수평을 조절한다. 마지막으로, 고정핀(3b)에 의해 지지대(3a)를 벽면(4)에 완전히 고정시킴으로써, 배기라인(2)의 소정부위를 벽면(4)에 고정시킨다. First, when both ends of the
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 따른 배기라인 고정용 고정유닛은 배기라인의 소정부위를 임의의 대상물에 고정시키는 경우 배기라인의 수평을 맞추기 위한 수평조절유닛을 포함한다. 이에, 배기라인을 클리닝 하기 위해 해체한 후 다시 조립하여 소정부위를 고정시키더라도, 소정의 도구 없이도 정확하고 손쉽게 배 기라인의 수평을 맞출 수 있다.As described above, the exhaust line fixing unit according to the present invention includes a horizontal control unit for leveling the exhaust line when fixing a predetermined portion of the exhaust line to any object. Accordingly, even if the exhaust line is dismantled to be cleaned and then reassembled to fix a predetermined portion, the exhaust line can be leveled accurately and easily without a predetermined tool.
따라서, 본 발명에 따른 배기라인 고정용 고정유닛은 배기라인의 소정부위를 임의의 대상물에 고정시키는 작업시간을 단축시킬 뿐만 아니라, 배기라인의 수평 불량으로 인한 리크를 발생시키지 않으므로, 공정 에러 및 공정 불량이 발생되지 않고, 이로 인한 공정 손실이 유발되지 않는다. Therefore, the fixing unit for fixing the exhaust line according to the present invention not only shortens the working time for fixing a predetermined portion of the exhaust line to an arbitrary object, but also does not generate leaks due to the horizontal defect of the exhaust line, resulting in process errors and processes. Defects are not generated and thus no process loss is caused.
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Cited By (1)
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KR101489548B1 (en) * | 2010-11-12 | 2015-02-03 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | Vacuum processing apparatus and assembly method thereof |
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2005
- 2005-02-24 KR KR1020050015339A patent/KR20060094290A/en not_active Application Discontinuation
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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WITN | Withdrawal due to no request for examination |