KR100553711B1

KR100553711B1 - Vertical furnace and method assembling the furnace

Info

Publication number: KR100553711B1
Application number: KR1020040026745A
Authority: KR
Inventors: 김종수
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2004-04-19
Filing date: 2004-04-19
Publication date: 2006-02-24
Also published as: KR20050101666A

Abstract

본 발명은 반도체 소자 제조에 사용되는 종형 확산로의 조립 방법에 관한 것으로, 상기 방법에 의하면 작업자는 플랜지에 설치된 광조사기로부터 조사된 광이 히터 블록에 형성된 수광부에 맺히는지를 보면서 플랜지를 정렬한다. 따라서 내부튜브/외부튜브가 플랜지에 장착된 상태에서도 플랜지의 정렬이 이루어질 수 있으며, 플랜지의 정렬에 소요되는 시간을 크게 단축할 수 있다.The present invention relates to a method for assembling a vertical diffusion path used for manufacturing a semiconductor device, in which the operator aligns the flange while seeing whether light irradiated from the light irradiator provided on the flange is formed on the light receiving portion formed in the heater block. Therefore, even when the inner tube / the outer tube is mounted on the flange alignment can be made, the time required for the alignment of the flange can be significantly shortened.

종형 확산로, 플랜지, 정렬, 광조사기Vertical Diffusion Furnace, Flange, Alignment, Light Irradiator

Description

Longitudinal diffusion furnace and method for assembling the same {VERTICAL FURNACE AND METHOD ASSEMBLING THE FURNACE}

도 1은 종형확산로가 조립된 상태를 보여주는 도면;1 is a view showing a state in which a bell spreader is assembled;

도 2는 도 1의 플랜지의 사시도;2 is a perspective view of the flange of FIG. 1;

도 3은 조립 전에 플랜지가 히터 블록의 아래로 일정거리 이격되어 놓여진 상태를 보여주는 도면;3 is a view showing a state in which the flange is placed a predetermined distance below the heater block before assembly;

도 4는 정렬부가 도시된 도 3의 단면도;4 is a cross-sectional view of FIG. 3 with the alignment shown;

도 5a는 도 4의 광조사기의 일 예를 보여주는 광조사기의 정면도;5A is a front view of a light irradiator showing an example of the light irradiator of FIG. 4;

도 5b는 도 5a의 광조사기의 다른 예를 보여주는 광조사기의 정면도;5B is a front view of the light irradiator showing another example of the light irradiator of FIG. 5A;

도 6은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 종형 확산로의 조립 방법을 순차적으로 보여주는 플로우차트이다.6 is a flowchart sequentially illustrating a method of assembling a vertical diffusion furnace according to an exemplary embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

120 : 내부튜브 140 : 외부튜브120: inner tube 140: outer tube

200 : 플랜지 260 : 고정돌기200: flange 260: fixing protrusion

262 : 나사홀 300 : 히터 블록262: screw hole 300: heater block

400 : 승강기 500 : 정렬부400: elevator 500: alignment unit

522 : 정렬핀 524 : 핀홀522: alignment pin 524: pinhole

542 : 광조사기 544 : 수광부542: light irradiator 544: light receiving unit

본 발명은 반도체 소자를 제조하는 장치 및 방법에 관한 것으로, 더 상세하게는 종형확산로 및 이를 조립하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus and method for manufacturing a semiconductor device, and more particularly, to a vertical diffusion furnace and a method of assembling the same.

일반적으로 반도체 소자의 제조를 위해 반도체 기판 상에 증착, 노광, 식각 등 다양한 제조 공정이 수행된다. 화학 기상 증착법(chemical vapor deposition)은 상술한 증착공정을 수행하는 방법 중의 하나로 화학소스를 가스 상태로 장치 내에 공급하여 웨이퍼 표면상에서 확산을 일으킴으로써 유전체막, 도전막 및 반도전막 등을 웨이퍼 표면에 증착시키는 기술로, 반도체 웨이퍼 상에 폴리실리콘 박막을 형성하기 위해 이용된다. In general, various manufacturing processes, such as deposition, exposure, and etching, are performed on a semiconductor substrate to manufacture a semiconductor device. Chemical vapor deposition is one of the methods of performing the above-described deposition process. A dielectric source, a conductive film, a semiconducting film, and the like are deposited on the wafer surface by supplying a chemical source into the device in a gas state to diffuse on the wafer surface. It is used to form a polysilicon thin film on a semiconductor wafer.

이러한 화학기상증착을 위해 최근에는 증착막의 균일도(uniformity)가 좋으며, 많은 양의 웨이퍼에 대해 동시에 공정을 진행할 수 있을 뿐만 아니라 가스의 소비량이 적어 생산원가가 낮은 공정이 가능한 저압 화학 기상 증착법이 많이 이용되고 있으며, 그 장치로는 통상 종형확산로(vertical diffusion furnace)가 사용된다. For such chemical vapor deposition, recently, the uniformity of the deposited film is good, and the low pressure chemical vapor deposition method which is able to process a large amount of wafers at the same time and has a low production cost due to low gas consumption is widely used. As the apparatus, a vertical diffusion furnace is usually used.

한국공개특허 2001-0019990에는 일반적인 종형 확산로의 구조가 도시되어 있다. 이에 개시된 바와 같이 일반적인 종형 확산로는 플랜지 상에 설치된 튜브들(내부튜브와 외부튜브)과 튜브들의 둘레에 배치되어 튜브 내부를 공정온도로 유지하는 히터블록을 가진다. 종형확산로는 히터블록, 플랜지, 튜브로 분리 후 세정 및 점검이 수행되고, 다시 조립되는 과정이 주기적으로 요구된다. 일반적인 조립 방법은 다음과 같다. 처음에 플랜지를 엘리베이터에 장착 후 플랜지를 히터 블록을 향해 승강시키고 플랜지에 형성된 정렬핀이 히터 블록의 저면에 형성된 핀홀에 삽입되도록 플랜지를 움직여 플랜지를 히터 블록에 대해 정렬한다. 다시 플랜지를 하강하여 플랜지에 튜브들을 장착하고, 이후 플랜지를 승강시켜 플랜지와 히터 블록을 나사로 결합한다.Korean Patent Laid-Open No. 2001-0019990 shows a structure of a general vertical diffusion path. As described herein, a general vertical diffusion furnace has tubes (inner and outer tubes) installed on a flange and a heater block disposed around the tubes to maintain a process temperature inside the tubes. The vertical diffusion furnace requires periodic cleaning and separation and reassembly of the heater block, flange and tube. The general assembly method is as follows. Initially mount the flange to the elevator, then raise the flange toward the heater block and align the flange with respect to the heater block by moving the flange so that the alignment pins formed on the flange are inserted into the pinholes formed on the bottom of the heater block. Lower the flange again to mount the tubes on the flange, and then lift the flange to screw the flange and the heater block together.

상술한 과정은 플랜지의 정렬을 위해 플랜지가 승강 및 하강하는 과정을 거쳐야 하므로 시간이 많이 소요되며, 또한 플랜지의 정렬 후 플랜지에 비교적 무거운 튜브를 장착할 때 플랜지의 정렬위치가 다시 틀어지는 문제가 있다.The above-described process takes a lot of time because the flange has to go up and down to align the flange, and there is a problem that the alignment position of the flange is changed again when mounting a relatively heavy tube to the flange after alignment of the flange.

본 발명은 히터블록, 플랜지, 그리고 튜브들간에 조립이 신속하고 용이하게 이루어질 수 있는 구조를 가지는 종형 확산로 및 이를 조립하는 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.It is an object of the present invention to provide a longitudinal diffusion furnace having a structure in which assembly between heater blocks, flanges, and tubes can be made quickly and easily, and a method of assembling the same.

상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명인 종형 확산로는 튜브가 장착되는 플랜지와 공정 진행시 상기 플랜지가 고정 결합되며 상기 튜브를 내삽하여 상기 튜브를 가열하는 히터 블록을 가진다. 상기 플랜지와 상기 히터 블록간의 상대적 높이를 조절하는 승강기와, 상기 플랜지가 상기 히터 블록과 결합되기 전 상기 히터 블록에 대해 상기 플랜지의 위치 정렬에 사용되는 정렬부가 제공된다. 상기 정렬부 는 상기 플랜지 또는 상기 히터 블록 중 어느 하나에 위치되며 광을 조사하는 광조사기와 상기 플랜지 또는 상기 히터 블록 중 다른 하나에 위치되며 상기 플랜지와 상기 히터 블록의 정렬이 이루어질 때 상기 광이 조사되는 수광부를 가진다. 상기 광조사기는 상기 플랜지 또는 상기 히터 블록으로부터 탈착가능한 것이 바람직하다.In order to achieve the above object, the vertical diffusion furnace of the present invention has a flange on which a tube is mounted and a heater block fixedly coupled to each other during the process and interpolating the tube to heat the tube. An elevator is provided for adjusting the relative height between the flange and the heater block, and an alignment is used to align the flange relative to the heater block before the flange is engaged with the heater block. The alignment unit is located on any one of the flange or the heater block and the light irradiator for irradiating light and the other one of the flange or the heater block and the light is irradiated when the alignment between the flange and the heater block is made It has a light receiving unit. The light irradiator is preferably detachable from the flange or the heater block.

일 예에 의하면, 상기 플랜지와 상기 히터 블록에는 이들간의 나사 결합을 위해 서로 상응되는 위치에 나사홀들이 형성되고, 상기 광조사기는 상기 플랜지에 형성된 나사홀에 장착되며 상기 히터 블록에 형성된 홀은 상기 수광부로서 기능 한다. 상기 광조사기는 상기 플랜지에 설치시 상기 플랜지에 형성된 나사홀에 삽입되는 하부로드와 상기 하부로드의 상부에 위치되며 상기 나사홀 내부로 유입이 차단되는 구조를 가지며 광을 조사하는 발광부를 가진다. 상기 광조사기의 하부로드는 외주면에 나사산이 형성되어 상기 플랜지에 형성된 나사홀과 나사 결합될 수 있다.According to an example, screw holes are formed at positions corresponding to each other for screw coupling between the flange and the heater block, and the light irradiator is mounted on a screw hole formed in the flange, and the hole formed in the heater block is Functions as a light receiver. The light irradiator has a lower rod inserted into a screw hole formed in the flange when installed on the flange and a light emitting part for irradiating light having a structure of blocking the inflow into the screw hole and being located at an upper portion of the lower rod. The lower rod of the light irradiator may have a screw thread formed on an outer circumferential surface thereof and may be screwed with a screw hole formed in the flange.

또한, 본 발명의 종형 확산로를 조립하는 방법은 플랜지에 형성된 나사홀들에 광조사기를 장착하는 단계, 상기 플랜지에 설치된 상기 광조사기로부터 상부로 광을 조사하는 단계, 상기 플랜지에 튜브를 설치하고 상기 플랜지의 상부에 배치되는 히터 블록에 배치된 수광부에 상기 광조사기로부터 조사된 광이 맺히도록 상기 플랜지를 정렬하는 단계, 상기 광조사기를 상기 플랜지로부터 제거하는 단계, 그리고 상기 플랜지를 상기 히터 블록을 향해 승강하여 상기 플랜지를 상기 히터 블록에 고정하는 단계를 포함한다.In addition, the method of assembling the vertical diffusion path of the present invention comprises the steps of mounting a light irradiator in the screw holes formed in the flange, irradiating light from the light irradiator installed on the flange to the top, installing a tube on the flange and Arranging the flange so that light irradiated from the light irradiator is formed on a light receiving unit disposed in the heater block disposed above the flange, removing the light irradiator from the flange, and removing the flange from the heater block. Lifting the flange to secure the flange to the heater block.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 6을 참조하면서 보다 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것으로 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. 1 to 6. The embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described below. This embodiment is provided to those skilled in the art to more fully describe the present invention, and the shape of the elements in the drawings are exaggerated to emphasize a more clear description.

도 1은 본 발명의 종형 확산로(1)를 개략적으로 보여주는 단면도이다. 도 1을 참조하면, 종형 확산로(1)는 반응챔버(100), 플랜지(200), 히터 블록(300), 승강기(도 3의 400), 그리고 정렬부(도 4의 500)를 가진다. 반응챔버(100)는 증착 공정이 진행되는 부분으로 석영(quartz)으로 된 외부튜브(outer tube)(140)와 내부튜브(inner tube)(120)를 가진다. 내부튜브(120)는 상·하부가 모두 개방된 원통형의 형상을 가지고, 외부튜브(140)는 내부튜브(120)를 감싸도록 설치되며 하부가 개방된 원통형의 형상을 가진다. 외부튜브(140)의 바깥쪽에는 히터 블록(300)이 배치되며, 히터 블록(300)은 반응챔버(100) 내로 유입된 반응가스들을 열분해하고, 화학반응이 일어날 수 있는 온도까지 반응챔버(100)를 가열한다. 히터 블록(300)은 반응챔버(100)의 측면 전체를 감싸도록 하부가 개방된 통 형상을 가진다. 웨이퍼들은 대략 50 내지 100매가 동시에 보트(600)에 탑재되어 반응챔버(100) 내로 승강되며, 보트(600)는 공정진행시 웨이퍼에 균일한 증착이 이루어지도록 회전될 수 있다.1 is a cross-sectional view schematically showing a vertical diffusion path 1 of the present invention. Referring to FIG. 1, the vertical diffusion path 1 has a reaction chamber 100, a flange 200, a heater block 300, an elevator (400 in FIG. 3), and an alignment unit (500 in FIG. 4). The reaction chamber 100 has an outer tube 140 and an inner tube 120 made of quartz as part of a deposition process. The inner tube 120 has a cylindrical shape in which both the upper and lower portions are open, and the outer tube 140 is installed to surround the inner tube 120 and has a cylindrical shape in which the lower part is opened. The heater block 300 is disposed outside the outer tube 140, and the heater block 300 pyrolyzes the reaction gases introduced into the reaction chamber 100, and reacts the reaction chamber 100 to a temperature at which a chemical reaction can occur. Heat). The heater block 300 has a tubular shape in which a lower portion thereof is opened to surround the entire side surface of the reaction chamber 100. About 50 to 100 wafers are simultaneously loaded into the boat 600 and lifted into the reaction chamber 100, and the boat 600 may be rotated to uniformly deposit the wafer during the process.

내부튜브(120)와 외부튜브(140)의 아래에는 중앙에 통공(202)이 형성된 플랜지(200)가 배치된다. 도 2는 도 1의 플랜지(200)의 사시도이다. 도 2를 참조하면, 플랜지(200)는 대체로 원통형의 형상을 가지며, 중앙에는 상술한 보트(600)가 지나 갈 수 있도록 통공(202)이 형성된다. 플랜지(200)의 측벽 상단에는 외부튜브(140)가 놓여지는 지지대(220)가 바깥쪽으로 돌출된다. 플랜지(200)의 내측벽에는 내부튜브(120)가 놓여지는 지지대(240)가 안쪽으로 돌출된다. 외부튜브(140)와 플랜지(200) 사이에는 반응챔버(100) 내부를 외부로부터 실링하는 오링(150)이 설치될 수 있다. 플랜지(200)의 일측에는 복수의 포트들(282a, 282b)이 형성되며, 여기에는 증착을 위한 가스들을 공급하는 소스가스 공급관(도시되지 않음)과 웨이퍼 상에 자연산화막의 형성을 방지하는 가스를 공급하는 퍼지가스 공급관(도시되지 않음)이 연결된다. 플랜지(200)의 타측에는 배기 포트(284)가 형성되며, 여기에는 반응챔버(100) 내를 소정의 진공도로 유지하고 반응챔버(100) 내의 부산물들을 배기하기 위한 진공펌프가 설치된 배기관(도시되지 않음)이 연결된다. Below the inner tube 120 and the outer tube 140, a flange 200 in which a through hole 202 is formed is disposed. 2 is a perspective view of the flange 200 of FIG. 1. Referring to FIG. 2, the flange 200 has a generally cylindrical shape, and a through hole 202 is formed at the center thereof so that the boat 600 can pass therethrough. On the top of the side wall of the flange 200, a support 220 on which the outer tube 140 is placed protrudes outward. On the inner wall of the flange 200, a support 240 on which the inner tube 120 is placed protrudes inward. An O-ring 150 may be installed between the outer tube 140 and the flange 200 to seal the inside of the reaction chamber 100 from the outside. A plurality of ports 282a and 282b are formed at one side of the flange 200, which includes a source gas supply pipe (not shown) for supplying gases for deposition and a gas for preventing formation of a natural oxide film on the wafer. The purge gas supply pipe (not shown) which supplies is connected. An exhaust port 284 is formed at the other side of the flange 200, and an exhaust pipe (not shown) is installed to maintain the inside of the reaction chamber 100 at a predetermined vacuum and exhaust the by-products in the reaction chamber 100. Is connected).

플랜지(200)는 그 외측면으로부터 바깥쪽으로 돌출된 복수의 고정돌기(260)들을 가진다. 고정돌기(260)들은 서로 균등한 간격으로 3개가 설치되며, 각각의 고정돌기(260)들은 모두 동일한 형상 및 구성을 가진다. 고정돌기(260)는 플랜지(200)와 히터 블록(300)이 결합될 때 히터 블록(300)의 저면과 접촉된다. 고정돌기(260)의 끝단에는 관통된 나사홀(262)이 형성되며, 히터 블록(300)의 저면 가장자리에는 고정돌기(260)에 형성된 나사홀(262)과 대응되는 위치에 나사홀(도 4의 320)이 형성된다. 나사홀들(262, 320)에 나사(360)가 결합됨으로써 플랜지(200)는 히터 블록(300)에 고정될 수 있다. The flange 200 has a plurality of fixing protrusions 260 protruding outward from its outer surface. Three fixing protrusions 260 are installed at equal intervals, and each of the fixing protrusions 260 has the same shape and configuration. The fixing protrusion 260 is in contact with the bottom surface of the heater block 300 when the flange 200 and the heater block 300 are coupled to each other. The end of the fixing protrusion 260 is formed through the screw hole 262, the bottom edge of the heater block 300, the screw hole in the position corresponding to the screw hole 262 formed in the fixing protrusion 260 (Fig. 4 320) is formed. As the screw 360 is coupled to the screw holes 262 and 320, the flange 200 may be fixed to the heater block 300.

플랜지(200)는 승강기(400)에 의해 승하강된다. 도 3은 히터 블록(300)의 아래로 일정거리 이격되어 승강기(400) 상에 놓여진 플랜지(200)를 보여준다. 도 3을 참조하면, 승강기(400)는 고정체(420)와 이동체(440)를 가진다. 고정체(420)는 수직으로 형성되며 이동체(440)의 이동을 안내한다. 이동체(440)는 평평한 형상을 가지며 수평으로 배치되고, 구동부(도시되지 않음)에 의해 고정체(420)를 따라 상하로 이동한다. 이동체(440) 상에는 플랜지(200)가 놓여지는 베이스(460)가 설치된다.The flange 200 is lifted up and down by the elevator 400. 3 shows the flange 200 placed on the elevator 400 spaced a distance below the heater block 300. Referring to FIG. 3, the elevator 400 has a stationary body 420 and a movable body 440. The fixture 420 is formed vertically and guides the movement of the movable body 440. The moving body 440 has a flat shape and is disposed horizontally, and moves up and down along the fixing body 420 by a driving unit (not shown). The base 460 on which the flange 200 is placed is installed on the movable body 440.

정렬부(500)는 히터 블록(300)에 대한 플랜지(200)의 위치를 정렬시키는 수단이다. 도 4는 정렬부(500)를 보여주기 위한 도면으로 광조사기(542)가 도시된 도 3의 단면도이다. 도 4를 참조하면, 정렬부(500)는 정렬핀(522)과 핀홀(524)로 이루어진 조합체(520)와 광조사기(542)와 수광부(544)로 이루어진 조합체(540)를 가진다. 정렬핀(522)과 핀홀(524)로 이루어진 조합체(520)는 튜브들(120, 140)이 설치된 플랜지(200)가 히터 블록(300)과 나사 결합될 때, 플랜지(200)의 정렬된 위치를 고정시켜 플랜지(200)의 위치가 틀어지는 것을 방지한다. 정렬핀(522)은 플랜지(200)의 각각의 고정돌기(260)에 배치되며, 고정돌기(260)의 상부면으로부터 위로 돌출 되도록 배치된다. 핀홀(524)은 정렬핀(522)이 삽입되는 부분으로 히터 블록(300)의 저면에 정렬핀(522)과 대응되도록 형성된다.The alignment unit 500 is a means for aligning the position of the flange 200 with respect to the heater block 300. 4 is a cross-sectional view of FIG. 3 in which the light irradiator 542 is shown as a view illustrating the alignment unit 500. Referring to FIG. 4, the alignment unit 500 includes a combination 520 composed of an alignment pin 522 and a pinhole 524, and a combination 540 composed of a light irradiator 542 and a light receiver 544. The combination 520 consisting of the alignment pin 522 and the pinhole 524 is an aligned position of the flange 200 when the flange 200 in which the tubes 120 and 140 are installed is screwed with the heater block 300. By fixing the to prevent the position of the flange 200 is twisted. The alignment pin 522 is disposed on each fixing protrusion 260 of the flange 200, and is arranged to protrude upward from the upper surface of the fixing protrusion 260. The pinhole 524 is a portion into which the alignment pin 522 is inserted, and is formed to correspond to the alignment pin 522 on the bottom of the heater block 300.

광조사기(542)와 수광부(544)로 이루어진 조합체(540)는 튜브들(129, 140)이 플랜지(200)에 장착되기 이전 또는 장착된 직후에 히터 블록(300)에 대해 플랜지(200)의 위치를 정렬할 때에 사용된다. 일 예에 의하면 광조사기(542)는 플랜지(200)의 각각의 고정돌기(260)에 설치되고, 수광부(544)는 히터 블록(300)의 저면에 형성된다. 광조사기(542)는 수직 상부로 광을 조사하고, 플랜지(200)가 히 터 블록(300)에 대해 정렬되어 있을 때 광은 수광부(544)에 맺힌다. 예컨대, 광조사기(542)로는 레이저 포인터(laser pointer)가 사용되고, 수광부(544)로는 정렬된 상태에서 레이저가 조사되는 부분에 소정의 마크(mark)로서 형성될 수 있다. 선택적으로 광조사기(542)는 플랜지(200) 상의 다른 부분에 설치되거나, 광조사기(542)는 히터 블록(300)에 설치되고 수광부(544)는 플랜지(200)에 형성될 수 있다.The combination 540, which consists of the light irradiator 542 and the light receiving portion 544, is provided with the flange 200 relative to the heater block 300 before or immediately after the tubes 129, 140 are mounted to the flange 200. Used to align position. In one example, the light irradiator 542 is installed at each fixing protrusion 260 of the flange 200, and the light receiving unit 544 is formed on the bottom surface of the heater block 300. The light irradiator 542 irradiates light vertically upward, and when the flange 200 is aligned with respect to the heater block 300, the light is incident on the light receiver 544. For example, a laser pointer may be used as the light irradiator 542, and may be formed as a predetermined mark in a portion where the laser is irradiated while being aligned with the light receiving unit 544. Optionally, the light irradiator 542 may be installed at another portion on the flange 200, or the light irradiator 542 may be installed at the heater block 300, and the light receiver 544 may be formed at the flange 200.

광조사기(542)는 플랜지(200)로부터 탈착가능한 것이 바람직하다. 그러나 선택적으로 광조사기(542)는 플랜지(200)에 고정 설치될 수 있다. 도 5a는 광조사기의 일 예를 보여주는 도면이고, 도 5b는 광조사기의 다른 예를 보여주는 도면이다. 도 5a를 참조하면, 광조사기(542)는 발광부(542a)와 하부로드(542b)를 가진다. 하부로드(542b)는 고정돌기(260)에 형성된 나사홀(262)에 삽입 가능한 직경을 가지고, 발광부(542a)는 나사홀(262)에 삽입이 이루어지지 않도록 나사홀(262)의 산지름보다 큰 직경을 가진다. 작업자는 나사홀(262)에 광조사기(542)의 하부로드(542b)를 삽입함으로써 용이하게 광조사기(542)를 고정돌기(260)에 설치할 수 있다. 이 때, 히터 블록(300)에 형성된 나사홀(320)은 수광부(544)로부서 기능을 한다. 하부로드(542b)가 고정돌기(260)에 형성된 나사홀(262)에 삽입된 상태에서 자유롭게 이동되지 않도록 하부로드(542b)는 나사홀(262)의 산지름과 유사한 직경을 가지는 것이 바람직하다. 선택적으로 도 5b에 도시된 바와 같이 하부로드(542b)의 외주면에 나사산이 형성되어 광조사기(542)가 고정돌기(260)에 나사 결합될 수 있다. 광조사기(542)가 탈착가능한 구조로 이루어지므로, 고가의 광조사기(542)를 특정 확산로(1)에 한정하여 사용하지 않고 복수의 확산로(1)에 번 갈아가며 사용 가능하다.The light irradiator 542 is preferably detachable from the flange 200. However, optionally, the light irradiator 542 may be fixed to the flange 200. 5A is a diagram illustrating an example of a light irradiator, and FIG. 5B is a diagram illustrating another example of a light irradiator. Referring to FIG. 5A, the light irradiator 542 includes a light emitting part 542a and a lower rod 542b. The lower rod 542b has a diameter that can be inserted into the screw hole 262 formed in the fixing protrusion 260, and the light emitting part 542a has a diameter of the screw hole 262 such that the lower hole 542b is not inserted into the screw hole 262. Have a larger diameter. The operator can easily install the light irradiator 542 on the fixing protrusion 260 by inserting the lower rod 542b of the light irradiator 542 into the screw hole 262. At this time, the screw hole 320 formed in the heater block 300 functions as the light receiving unit 544. It is preferable that the lower rod 542b has a diameter similar to the diameter of the screw hole 262 so that the lower rod 542b is not freely moved in a state in which the lower rod 542b is inserted into the screw hole 262 formed in the fixing protrusion 260. Optionally, as shown in FIG. 5B, a thread is formed on the outer circumferential surface of the lower rod 542b so that the light irradiator 542 may be screwed to the fixing protrusion 260. Since the light irradiator 542 is made of a detachable structure, the expensive light irradiator 542 is not limited to the specific diffusion path 1 and can be used alternately to the plurality of diffusion paths 1.

종형 확산로(1)를 일정기간 사용하여 공정을 진행한 후에는, 정기적으로 외부튜브(140) 및 내부튜브(120)의 세정, 그리고 점검이 이루어져야 한다. 이를 위해 종형 확산로(1)가 분리되며, 세정 및 점검이 이루어진 후에는 다시 조립되어야 한다. 이하, 본 발명의 종형 확산로(1)를 조립하는 방법을 설명한다. After the process using the vertical diffusion furnace (1) for a certain period of time, the outer tube 140 and the inner tube 120 should be cleaned and checked regularly. To this end, the longitudinal diffusion furnace 1 is separated and must be reassembled after cleaning and inspection. Hereinafter, the method of assembling the vertical diffusion path 1 of this invention is demonstrated.

도 6은 상술한 구조를 가진 본 발명의 종형 확산로(1)를 조립하는 방법을 순차적으로 보여주는 플로우차트이다. 도 6을 참조하면, 처음에 플랜지(200)는 히터 블록(300)의 아래로 상당거리 이격된 상태에서 승강기(400)의 베이스(460) 상에 놓여진다(스텝 S10). 작업자는 광조사기(542)를 플랜지(200)의 고정돌기(260)에 형성된 나사홀(262)에 삽입한 후, 외부튜브(140) 및/또는 내부튜브(120)를 플랜지(200) 상에 설치한다(스텝 S20, S30). 광조사기(542)로부터 광이 수직상부로 조사된다. 작업자는 플랜지(200)를 움직여 광이 히터 블록(300)의 수광부(나사홀)(320)에 맺히도록 플랜지(200)를 정렬한다(스텝 S40). 정렬이 이루어지면 나사홀로부터 광조사기(542)를 제거한다(스텝 S50). 이후 플랜지(200)를 승강하여, 플랜지(200)의 정렬핀(522)을 핀홀(524)에 삽입하고 나사(360)를 이용하여 플랜지(200)를 히터 블록(300)에 고정시킨다(스텝 S60). 상술한 예와 달리, 플랜지(200)를 히터 블록(300)에 대해 먼저 정렬시키고, 이후에 내부튜브(120)와 외부튜브(140)를 플랜지(200)에 설치할 수 있다. 또한, 광조사기(542)는 플랜지(200)를 히터 블록(300)에 대해 인접한 위치까지 승강시킨 후, 나사홀(262)로부터 광조사기(542)를 제거할 수 있다. 6 is a flowchart sequentially showing a method of assembling the vertical diffusion furnace 1 of the present invention having the above-described structure. Referring to FIG. 6, the flange 200 is initially placed on the base 460 of the elevator 400 in a state spaced apart substantially below the heater block 300 (step S10). The operator inserts the light irradiator 542 into the screw hole 262 formed in the fixing protrusion 260 of the flange 200, and then attaches the outer tube 140 and / or the inner tube 120 to the flange 200. It installs (step S20, S30). Light is irradiated from the light irradiator 542 to the vertical part. The worker moves the flange 200 to align the flange 200 so that light is formed on the light receiving portion (screw hole) 320 of the heater block 300 (step S40). When the alignment is made, the light irradiator 542 is removed from the screw hole (step S50). Thereafter, the flange 200 is elevated, the alignment pin 522 of the flange 200 is inserted into the pinhole 524, and the flange 200 is fixed to the heater block 300 by using the screw 360 (step S60). ). Unlike the above-described example, the flange 200 may be aligned with respect to the heater block 300 first, and then the inner tube 120 and the outer tube 140 may be installed on the flange 200. In addition, the light irradiator 542 may lift the flange 200 to a position adjacent to the heater block 300, and then remove the light irradiator 542 from the screw hole 262.

본 발명에 의하면, 플랜지의 승하강 이동 없이 플랜지에 장착된 광조사기를 사용하여 정렬이 이루어지므로, 플랜지의 정렬이 신속하고 용이하게 이루어질 수 있다. According to the present invention, since the alignment is made using a light irradiator mounted on the flange without the lifting movement of the flange, the alignment of the flange can be made quickly and easily.

또한, 본 발명에 의하면, 광조사기는 플랜지로부터 탈착가능하므로, 고가의 광조사기를 복수의 확산로에 번갈아가며 사용할 수 있다. In addition, according to the present invention, since the light irradiator is detachable from the flange, an expensive light irradiator can be alternately used in a plurality of diffusion paths.

또한, 본 발명에 의하면, 튜브들이 설치된 상태에서 플랜지의 정렬이 이루어지므로, 일반적인 경우처럼 튜브설치로 인해 플랜지의 정렬이 틀어지는 문제점을 해결할 수 있다.In addition, according to the present invention, since the alignment of the flange is made in the tube installed state, it is possible to solve the problem that the alignment of the flange is misaligned due to the installation of the tube as in the general case.

Claims

A flange on which the tube is mounted;

A heater block to which the flange is fixedly coupled during the process and which interpolates the tube to heat the tube;

An elevator for adjusting a relative height between the flange and the heater block;

Before the flange is coupled to the heater block, including an alignment portion used for alignment of the flange relative to the heater block,

The alignment unit,

A light irradiator positioned on one of the flange or the heater block and irradiating light;

Located on the other one of the flange or the heater block, the vertical diffusion path comprising a light receiving portion irradiated with the light when the alignment of the flange and the heater block is made.

The method of claim 1,

And the light irradiator is detachable from the flange or the heater block.

The method of claim 1,

Screw holes are formed in the flange and the heater block at positions corresponding to each other for screwing therebetween,

And the light irradiator is mounted in a screw hole formed in the flange, and the hole formed in the heater block functions as the light receiving unit.

The method of claim 3, wherein

The light irradiator,

A lower rod inserted into a screw hole formed in the flange when installed on the flange;

Located in the upper portion of the lower rod having a structure in which the inflow is blocked into the screw hole, and the vertical diffusion path, characterized in that it has a light emitting portion for irradiating light.

The method of claim 4, wherein

The lower rod of the light irradiator is a vertical diffusion path, characterized in that the thread is formed on the outer peripheral surface can be screwed with the screw hole formed in the flange.

A flange on which the tube is mounted and on which alignment pins and screw holes are formed;

A heater block in which a screw hole is formed at a position corresponding to a pin hole into which the alignment pin is inserted and a screw hole formed in the flange so that the flange is coupled, and the tube is interposed to heat the tube during the process;

And a light irradiator capable of mounting and detaching the screw holes formed in the flange.

In the method of assembling a vertical diffusion furnace,

Irradiating light upward from a light irradiator mounted on the flange;

Installing a tube on the flange and aligning the flange so that light emitted from the light irradiator is formed on a light receiving unit disposed in a heater block disposed above the flange; And

And lifting the flange toward the heater block to fix the flange to the heater block.

The method of claim 7, wherein

The method,

Mounting the light irradiator on screw holes formed in the flange prior to irradiating the light;

And removing the light irradiator from the flange prior to fixing the flange to the heater block.

The method of claim 8,

The light irradiator,

Located in the upper portion of the lower rod has a structure that is blocked inflow into the screw hole, and the vertical diffusion path assembly method characterized in that it has a light emitting portion for irradiating light.

The method of claim 9,

The lower rod of the light irradiator is a screw thread is formed on the outer circumferential surface of the vertical diffusion furnace assembly method, characterized in that the screw hole formed in the flange can be coupled.