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KR20050051034A - 유전체층이 개선된 플라즈마 디스플레이 패널과, 이를제조하기 위한 방법 - Google Patents

유전체층이 개선된 플라즈마 디스플레이 패널과, 이를제조하기 위한 방법 Download PDF

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KR20050051034A
KR20050051034A KR1020030084719A KR20030084719A KR20050051034A KR 20050051034 A KR20050051034 A KR 20050051034A KR 1020030084719 A KR1020030084719 A KR 1020030084719A KR 20030084719 A KR20030084719 A KR 20030084719A KR 20050051034 A KR20050051034 A KR 20050051034A
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KR
South Korea
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partition wall
substrate
partition
address electrode
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Inventor
강태경
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삼성에스디아이 주식회사
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Abstract

유전체층이 개선된 플라즈마 디스플레이 패널과, 이를 제조하기 위한 방법을 개시한다. 본 발명은 전면 기판과, 그 아랫면에 형성된 버스 전극과, XY 전극과, 이 전극들을 매립하는 전면 유전체층과, 그 아랫면에 형성된 보호막층과, 배면 기판과, 그 윗면에 형성된 어드레스 전극과, 어드레스 전극 사이에 배치된 격벽과, 격벽의 내측면에 도포되며, 어드레스 전극을 매립함과 동시에 격벽중 적어도 어느 하나의 격벽의 상단면에 도포되는 보조 유전체층을 구비한 유전체층과, 격벽의 내측면에 도포되는 적,녹,청색의 형광체층을 포함하는 것으로서, 격벽의 상단면과 전면 기판의 하부 사이에 공간을 발생시킴에 따라서, 진공 배기 공정시에 패널 조립체의 내부로부터 잔류하는 불순 가스의 배출이 용이하게 된다. 이에 따라, 배기 성능이 향상됨에 따라서 패널 조립체의 전기, 광학적 특성을 크게 향상시킬 수가 있다.

Description

유전체층이 개선된 플라즈마 디스플레이 패널과, 이를 제조하기 위한 방법{Plasma display panel having the improved dielectric layer and the fabrication method the same}
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 격벽의 상단면에 유전체층을 도포하여 배기 통로를 형성하여서, 불순 가스의 배기가 용이한 유전체층이 개선된 플라즈마 디스플레이 패널과, 이를 제조하기 위한 방법에 관한 것이다.
통상적으로, 플라즈마 디스플레이 패널은 전극이 형성된 두 기판 사이에 밀봉된 가스를 방전시키고, 이로 인하여 발생되는 자외선에 의하여 형광체층을 여기시켜 소망하는 숫자, 문자 또는 그래픽을 구현하는 표시장치이다.
플라즈마 디스플레이 패널은 방전 셀에 인가하는 구동 전압의 형식, 예컨대 방전 형식에 따라 직류형과 교류형으로 분류하고, 전극들의 구성 형태에 따라 대향 방전형 및 면 방전형으로 구분할 수 있다.
직류형 플라즈마 디스플레이 패널은 모든 전극들이 방전 공간에 노출되는 구조로서, 대응 전극들 사이에 전하의 이동이 직접적으로 이루어진다. 반면에, 교류형 플라즈마 디스플레이 패널은 적어도 한 전극이 유전체층에 매립되고, 대응하는 전극들 사이에 직접적인 전하의 이동이 이루어지지 않는 대신에, 유전체층 표면에 방전에 의하여 생성된 이온과 전자가 부착하여 벽전압(wall voltage)을 형성하고, 유지 전압(sustaing voltage)에 의하여 방전 유지가 가능하다.
한편, 대향 방전형 플라즈마 디스플레이 패널은 단위 화소마다 어드레스 전극과 Y 전극이 대향하여 마련되고, 두 전극간에 어드레싱 방전 및 유지 방전이 일어나는 방식이다. 반면에, 면 방전형 플라즈마 디스플레이 패널은 각 단위 화소마다 어드레스 전극과 그에 해당되는 X 및 Y 전극이 마련되어 어드레싱 방전과 유지 방전이 발생하게 되는 방식이다.
도 1은 종래의 플라즈마 디스플레이 패널(10)의 단위 셀을 도시한 것이다.
도면을 참조하면, 상기 플라즈마 디스플레이 패널(10)은 전면 기판(11)의 아랫면에 한 쌍의 XY 전극(12)이 형성되어 있으며, 상기 XY 전극(12)은 전면 유전체층(13)에 의하여 매립되어 있다. 상기 전면 유전체층(13) 상에는 보호막층(14)이 코팅되어 있다.
상기 전면 기판(11)과 대향되게 배치된 배면 기판(15)의 윗면에는 어드레스 전극(16)이 형성되어 있으며, 상기 어드레스 전극(16)은 배면 유전체층(17)에 의하여 매립되어 있다. 상기 배면 유전체층(17) 상에는 인접한 방전 셀간의 크로스토크를 방지하기 위하여 격벽(18)이 형성되어 있다. 상기 배면 유전체층(17)의 표면과 격벽(18)의 내측벽에는 적,녹,청색의 형광체층(19)이 형성되어 있다.
한편, 전면 및 배면 기판(11)(15)의 결합된 내측 공간에는 불활성 가스를 봉입하여 방전 영역을 가지도록 형성되어 있다.
상기와 같은 구조를 가지는 플라즈마 디스플레이 패널(10)의 동작을 간략하게 설명하자면 다음과 같다.
한 쌍의 XY 전극(12)에 구동 전압을 인가하며, 상기 전면 유전체층(13)과 보호막층(14) 표면의 방전 영역에서 면 방전이 일어나서 자외선이 발생하게 된다. 발생된 자외선에 의하여 주위의 형광체층(19)의 형광 물질이 여기됨에 따라서 칼라 표시가 이루어진다.
즉, 방전 셀 내부에 공간 전하(space charge)들은 인가된 구동 전압에 의하여 가속되면서, 방전 셀 내부에 400 내지 500 토르(Torr) 정도의 압력으로 채워진 불활성 혼합 가스인 네온(Ne)을 주성분으로 하여 헬륨(He), 크세논(Xe) 가스등을 첨가한 페닝 혼합 가스와 충돌하게 된다.
이에 따라, 불활성 가스가 여기되면서 147 나노미터의 자외선이 발생하게 된다. 이렇게 발생한 자외선은 어드레스 전극(16)과 격벽(18) 주위를 둘러싸고 있는 형광체층(19)의 형광 물질과 충돌함에 따라서 가시광을 발생하게 된다.
종래의 플라즈마 디스플레이 패널(10)은 전면 기판(11) 상에 패턴층을 형성시키는 공정과, 배면 기판(15) 상에 패턴층을 형성시키는 공정과, 전면 및 배면 기판(11)(15)을 상호 결합하는 공정으로 분류할 수 있다.
이중에서, 배면 기판(15)상에 패턴층을 형성시키기 위해서는 준비된 배면 기판(15) 상에 어드레스 전극(16)을 패턴화시키고, 배면 유전체층(17)을 이용하여 어드레스 전극(16)을 매립하게 된다.
이어서, 상기 배면 유전체층(17)의 윗면에 격벽용 원소재를 인쇄하고, 이를 건조하고, 감광성 필름(DFR,dry film resistor)를 코팅하고, 노광, 박리, 소성 공정을 진행하여 격벽(18)을 형성하게 된다. 격벽(18)이 형성된 다음에는 각 방전셀별로 적,녹,청색의 형광체층(19)을 도포하게 된다.
통상적으로, 플라즈마 디스플레이 패널(10)은 수분 흡착성이 강한 보호막층(14)과, 다공성의 형광체층(19) 내에 다량의 불순 가스를 포함하고 있으며, 이러한 불순 가스는 패널 조립체에 잔류하여 수명 특성에 많은 악영향을 주어 영구 잔상 및 방전 불안등의 문제를 유발할 수가 있다.
이를 위하여, 진공 배기공정중에 다량의 불순 가스를 외부로 배출하게 되는데, 종래의 플라즈마 디스플레이 패널(10)의 경우에는 전면 기판(10)의 하부와 격벽(18) 상단면 사이에 간격이 거의 없어서 불순 가스의 배출이 어려운 구조이다. 특히, 패널 조립체의 중앙부에서의 배출은 더욱 어렵다고 할 수 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기판과 격벽의 상단면 사이에 소정의 간격을 형성시켜서 배기 공정이 원할하게 이루어질 수 있도록 유전체층의 구조가 개선된 플라즈마 디스플레이 패널과 이의 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 측면에 따른 유전체층이 개선된 플라즈마 디스플레이 패널은,
전면 기판;
상기 전면 기판의 아랫면에 형성된 버스 전극과, XY 전극;
상기 전극들을 매립하는 전면 유전체층;
상기 전면 유전체층의 아랫면에 형성된 보호막층;
상기 전면 기판과 대향되게 설치된 배면 기판;
상기 배면 기판의 윗면에 형성된 어드레스 전극;
상기 어드레스 전극 사이에 배치되며, 방전 공간을 구획하는 격벽;
상기 격벽의 내측면에 도포되며, 상기 어드레스 전극을 매립함과 동시에 상기 격벽중 적어도 어느 하나의 격벽의 상단면에 소정 두께로 도포되는 보조 유전체층을 구비한 유전체층; 및
상기 격벽의 내측면에 도포되는 적,녹,청색의 형광체층;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 격벽은 상기 어드레스 전극이 배치된 방향과 직교한 방향으로 배치된 가로 격벽과, 상기 어드레스 전극이 배치된 방향과 평행한 방향으로 배치된 세로 격벽을 포함하고, 상기 가로 및 세로 격벽은 매트릭스 형상인 것을 특징으로 한다.
게다가, 상기 가로 격벽의 상단면에는 보조 유전체층이 형성되고, 상기 세로 격벽의 상단면에는 보조 유전체층이 형성되지 않아서, 전면 기판의 아랫면과 격벽의 상단면 사이에 세로 격벽 방향으로 배기 통로를 제공하는 공간이 형성된 것을 특징으로 한다.
아울러, 상기 보조 유전체층은 상기 방전 공간에 도포되는 유전체층과 일체로 연결된 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 측면에 따른 유전체층이 개선된 플라즈마 디스플레이 패널은,
상호 대향되게 배치되는 복수개의 기판;
상기 기판상에 배치된 복수개의 전극;
상기 전극 사이에 배치되며, 방전 공간을 구획하는 복수개의 격벽;
상기 격벽의 내측면에 도포되며, 상기 전극을 매립하는 유전체층;
상기 격벽중 적어도 어느 하나의 격벽의 상단면에 형성되어서, 상기 기판의 아랫면과 격벽의 상단면 사이에 배기 통로를 형성하는 보조 유전체층; 및
상기 격벽의 내측면에 도포된 적,녹,청색의 형광체층;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
아울러, 상기 보조 유전체층은 격벽과 기판과의 결합시 격벽간에 단차지게 하여 배기 통로를 제공할 수 있도록 상기 격벽중 적어도 어느 하나의 방향으로 배치된 격벽의 상단면에는 도포되고, 다른 방향으로 배치된 격벽의 상단면에는 도포되지 않은 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 측면에 따른 유전체층이 개선된 플라즈마 디스플레이 패널을 제조하기 위한 방법은,
기판상에 어드레스 전극을 패턴화시키는 단계;
상기 기판상에 격벽용 원소재를 균일하게 도포하는 단계;
상기 격벽용 원소재상에 감광성 필름을 부착하는 단계;
상기 감광성 필름상에 포토 마스크를 설치하여서, 격벽의 패턴을 노광, 현상하는 단계;
상기 감광성 필름이 부착되지 않은 부분의 격벽용 원소재를 제거하고, 격벽용 원소재의 윗면에 잔류하는 감광성 필름을 박리하는 단계;
상기 격벽용 원소재를 소성하여 소정 패턴의 격벽을 완성하는 단계; 및
상기 격벽 사이로 상기 어드레스 전극을 매립하고, 이와 동시에 상기 격벽 상단면에 도포되는 보조 유전체층을 가지는 유전체층용 원소재를 공히 도포하여 유전체층을 완성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
게다가, 상기 유전체층 원소재를 도포하는 단계에서는,
상기 유전체층의 원소재는 노즐을 이용하여 적어도 어느 한 방향으로 배치된 격벽 사이를 따라서 도포하는 것을 특징으로 한다.
나아가, 상기 유전체층용 원소재는 어느 한 방향으로 배치된 격벽의 상단면에는 도포되지 않고, 이와 다른 방향으로 배치된 격벽의 상단면에는 소정 두께로 도포되어서, 격벽간의 단차를 형성하는 것을 특징으로 한다.
이하에서 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널을 상세하게 설명하고자 한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널(20)을 도시한 것이다.
도면을 참조하면, 상기 플라즈마 디스플레이 패널(20)에는 전면 기판(21)과, 상기 전면 기판(21)과 대향되게 배치되는 배면 기판(210)이 마련되어 있다.
상기 전면 기판(21)의 아랫면에는 소정 간격 이격되게 버스 전극(22)이 배치되어 있다. 상기 버스 전극(22)은 스트립 형상으로 형성되어 있다. 인접한 한 쌍의 버스 전극(22)의 내측벽으로부터 대향되는 방향으로는 소정 크기의 X 전극(23)과, Y 전극(24)이 돌출되어 있다.
상기 XY 전극(23)(24)은 상기 버스 전극(22)의 내측벽을 따라서 길이 방향으로 소정 간격 이격되게 배치되어 있으며, 대향되는 X 전극(23)과, Y 전극(24)이 형성된 영역은 하나의 방전 셀을 형성하고 있다. 또한, 방전 셀을 이루는 X 및 Y 전극(23)(24)이 배치된 버스 전극(22)과 이와 인접한 다른 버스 전극(22) 사이의 영역은 비방전 영역에 해당된다. 비방전 영역에는 블랙 매트리스층이 형성될 수가 있다.
상기 버스 전극(22)과, XY 전극(23)(24)이 형성된 전면 기판(21)에는 이들을 매립하기 위하여 전면 유전체층(25)이 형성되어 있다. 상기 전면 유전체층(25)의 표면에는 산화 마그네슘막과 같은 보호막층(26)이 전면 도포되어 있다.
한편, 상기 배면 기판(210)의 윗면에는 소정 간격 이격되게 어드레스 전극(220)이 형성되어 있다. 상기 어드레스 전극(220)은 상기 버스 전극(22)이 형성된 방향과 직교하는 방향으로 배치되어 있다. 상기 어드레스 전극(220)은 XY 전극(23)(24)이 대향되게 설치된 방전 셀에 위치하고 있다.
상기 어드레스 전극(220)의 윗면에는 이를 매립하기 위하여 배면 유전체층(230)이 형성되어 있다.
상기 배면 기판(210)의 윗면에는 방전 공간을 구획하고, 크로스 토크를 방지하기 위하여 격벽(240)이 형성되어 있다. 상기 격벽(240)은 어드레스 전극(220) 사이의 공간에 배치되어 있다. 상기 격벽(240)은 상기 어드레스 전극(220)과 직교하는 방향으로 형성된 가로 격벽(241)과, 상기 어드레스 전극(220)과 나란한 방향으로 형성된 세로 격벽(242)을 포함하고 있다. 상기 세로 격벽(242)은 상기 가로 격벽(241)의 양 측벽으로부터 연장되어 있으며, 이와 일체로 연결되어서 매트릭스형을 이루고 있다. 대안으로는, 상기 격벽(240)은 미앤더형(meander type)이나, 스트립형(strip type)등 방전 공간을 구획하는 형상이라면 이에 한정되는 것은 아니다.
상기 격벽(240)의 내측벽과, 배면 유전체층(230)의 윗면에는 방전 셀별로 적,녹,청색의 형광체층(250)이 형성되어 있다.
본 발명의 특징에 따르면, 배기 공정시에 패널 조립체내에 잔류하는 불순 가스가 원할하게 외부로 배출가능하도록 기판과 격벽 상단면 사이에 소정의 간격을 형성시킬 수 있는 보조 유전체층이 설치된데에 있다.
보다 상세하게는 도 3에 도시된 바와 같다.
여기서, 앞서 도시된 도면에서와 동일한 참조 번호는 동일한 기능을 하는 동일한 부재를 가리킨다.
도면을 참조하면, 상기 배면 기판(210) 상에는 어드레스 전극(220)이 배치되어 있다. 상기 어드레스 전극(220)은 소정 간격 이격되게 배치된 스트립 형이다.
그리고, 상기 배면 기판(210) 상에는 격벽(240)이 배치되어 있다. 이때, 상기 격벽(240)은 종래의 경우처럼 배면 유전체층(17,도 1참조) 상에 형성되는 것이 아니라, 상기 배면 기판(210)의 표면으로부터 직접적으로 형성되어 있다.
즉, 상기 어드레스 전극(220)과 나란한 방향으로 세로 격벽(242)이 형성되어 있다. 상기 세로 격벽(242)은 상기 어드레스 전극(220)이 배치된 사이의 공간에서 배면 기판(210)의 표면으로부터 소정 높이 돌출하여 있다.
또한, 상기 어드레스 전극(220)과 직교하는 방향으로 가로 격벽(241)이 형성되어 있다. 상기 가로 격벽(241)은 상기 어드레스 전극(220)을 가로질러서 형성되어 있다. 상기 가로 격벽(241)은 상기 세로 격벽(242)의 양 측벽으로부터 이와 직교하는 방향으로 돌출하여서 인접한 다른 세로 격벽(242)의 측벽으로 연결하는 형상으로서, 상기 세로 격벽(242)과 일체로 형성되어 있다.
전체적으로, 상기 가로 격벽(241)과 세로 격벽(242)을 구비하는 격벽(240)은 매트릭스형의 구조를 가지고 있으며, 공히, 배면 기판(210)의 표면으로부터 직접적으로 형성되어 있다.
그리고, 상기 격벽(240)으로 구획된 방전 공간에는 상기 어드레스 전극(220)을 매립하기 위하여 배면 유전체층(230)이 형성되어 있다. 이때, 상기 배면 유전체층(230)은 전면 인쇄를 하는 것이 아니라, 노즐과 같은 분사 수단을 이용하여 상기 어드레스 전극(220)이 배치된 방향, 예컨대, 세로 격벽(242)이 형성된 방향을 따라서 방전 공간내에 도포되어 있다.
이에 따라, 상기 배면 유전체층(230)은 방전 공간내에 도포될 뿐만 아니라, 분사 수단이 진행하는 방향과 직교하는 방향으로 만나는 가로 격벽(241)에도 추가적으로 도포된 보조 유전체층(231)을 구비하고 있다.
상기 보조 유전체층(231)은 인접한 세로 격벽(242) 사이를 따라서 분사 수단이 진행하면서 유전체층용 원소재를 도포시에 상기 가로 격벽(241)의 상단면에 형성되는 영역으로서, 상기 가로 격벽(241)의 높이는 그 상단면에 도포된 보조 유전체층(231)의 두께(t)로 인하여 세로 격벽(242)의 높이보다 보조 유전체층의 두께(t)만큼 높아져서 단차를 형성한다 할 것이다.
이러한 보조 유전체층(231)의 존재는 추후 전면 기판(21)과의 결합시 격벽(240)의 상단면과 전면 기판(21)의 아랫면과의 사이에 세로 격벽(242)이 형성된 방향으로 소정의 공간을 형성하는 역할을 하게 되어서, 배기 공정시에 불순 가스의 배출 통로를 제공할 수 있다.
이때, 상기 보조 유전체층(231)의 두께(t)는 배기를 향상시키기 위해서 2 내지 22 마이크로 내외가 바람직하다.
한편, 상기 보조 유전체층(231)은 가로 격벽(241) 상에 형성시키지 않고, 세로 격벽(242)의 상단면에 형성시킬 수도 있는등, 상기 가로 또는 새로 격벽(241)(242)중 적어도 하나 이상의 상단면에 형성시켜서 전면 기판(21)과 격벽(240) 사이에 요철 형상의 공간을 형성하여서 배기 통로를 형성할 수만 있다면, 상술한 실시예에 한정되는 것은 아니다.
표 1은 본 출원인의 실험에 따른 보조 유전체층(231)이 형성된 경우의 진공도를 도시한 것이다.
여기서, 시간(분)은 배기 시간을 말하는 것이고, 비교예는 격벽의 상단면에 단차가 형성되지 않은 종래의 경우이고, 실시예 1 내지 실시예 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 격벽의 상단면에 보조 유전체층(231)의 두께를 2, 6, 10, 14, 18, 22 마이크로미터로 변화시킨 경우로서, 패널 조립체내의 진공도 변화를 측정한 것이다.
표 1을 참조하면, 비교예의 경우에는 배기 시간이 0분에서 840분으로 변화
게 되면, 진공도는 6.07×100토르에서 1.11×10-1 토르로 변화되었다. 실시예 1의 경우에는 배기 시간이 0분에서 840분으로 변화하게 되면, 진공도가 6.05×100 토르
에서 1.10×10-1 토르로, 실시예 2의 경우에는 진공도가 6.04×100 토르에서 1.09×10-1 토르로, 실시예 3의 경우에는 진공도가 6.01×100 토르에서 1.06×10 -1 토르로, 실시예 4의 경우에는 진공도가 6.00×100 토르에서 1.02×10-1 토르로, 실시예 5의 경우에는 진공도가 5.80×100 토르에서 1.00×10-1 토르로, 실시예 6의 경우에는 5.70×100 토르에서 9.80×10-2 토르로 변화하였다.
이처럼, 비교예의 경우와 실시예 1 내지 6의 경우를 비교하여 보면, 배기 시간이 길어질수록 진공도가 높아진다는 것을 알 수 있다. 또한, 격벽의 상단면에 보조 유전체층(231)이 형성되는 경우인 실시예 1 내지 6의 경우가 격벽에 단차가 없는 비교예의 경우보다 진공도가 높다는 것을 알 수 있다. 게다가, 보조 유전체층의 두께가 두꺼워질수록 진공도가 향상됨을 알 수 있다.
이것은 보조 유전체층(231)의 형성으로 전면 기판(21)과 격벽(240)의 상단면과의 간격이 크면 클수록 패널 조립체내에 잔류하는 불순 가스의 배출이 보다 원할하게 이루어진다는 것을 의미한다.
한편, 보조 유전체층(231)의 두께가 24 마이크로미터 이상이 되면, 배기에는 좋으나, 간격이 너무 넓게 되어서 세로 격벽(242) 방향으로 오방전이 발생하게 된다.
상기와 같은 구조를 가지는 배면 기판(210)상의 각 패턴층(220 내지 250)을 형성시키는 과정을 순차적으로 설명하면 다음과 같다.
먼저, 투명한 유리로 된 배면 기판(210)이 마련된 다음에, 상기 배면 기판(210) 상에 스트립형의 어드레스 전극(220)을 패턴화시킨다.(도 4a)
어드레스 전극(220)이 패턴화된 배면 기판(210) 상에는 소정 두께를 가지는 페이스트 형태의 격벽용 원소재(243)를 균일하게 도포하게 된다.(도 4b)
다음으로, 상기 격벽용 원소재(243) 상에는 격벽(240)을 형성시키기 위하여 패턴을 형성시킨 감광성 필름(410)을 부착하게 된다. 즉, 격벽용 원소재(243)가 인쇄된 배면 기판(210)상에 감광성 필름(410)을 정렬하고, 이를 복수개의 롤러 사이를 통과시켜서 상호 라미네이팅시킨다. 이어서, 상기 감광성 필름(410) 상에 포토 마스크(420)을 정렬하고, 상기 감광성 필름(410)에 격벽(240)의 패턴을 자외선 노광하게 된다. 노광된 부분은 화학적으로 안정화가 된다.(도 4c)
노광이 완료되면, 상기 감광성 필름(410)을 현상하여 격벽(240)의 패턴이 상기 필름(410)에 형성된다.(도 4d)
이어서, 현상이 완료된 기판(210) 상에는 예컨대 샌드 블라스트(sand blast) 공정을 수행하게 된다.
즉, 상기 기판(210)의 상부에 샌드 블라스트 장치를 이용하여 그 전면에 고압으로 연마제를 내뿜으면, 그 압력으로 인하여 상기 감광성 필름(410)이 부착되지 않은 부분의 격벽용 원소재는 제거되고, 상기 감광성 필름(410)이 부착된 부분의 격벽용 원소재(243)는 그대로 존재하게 된다.(도 4e)
다음으로, 존재하는 격벽용 원소재(243)의 상면에 부착되어 있는 감광성 필름(410)을 박리하고, 상기 격벽용 원소재(243)를 소성하면 매트릭스 형상의 가로 및 세로 격벽(241)(242)을 구비한 격벽(240)이 완성된다.(도 4f)
이어서, 상기 기판(210)의 일변으로부터 타변을 향하여 일방향으로 분사 수단, 예컨대 노즐(430)을 이용하여 유전체층 원소재(232)를 도포하게 된다. 이때, 상기 유전체층 원소재(232)는 격벽(240) 사이의 공간상에 도포되며, 상기 어드레스 전극(220)을 매립하게 된다.(도 4g)
이때, 상기 노즐(430)을 이용한 유전체층 원소재(232)의 도포는 매트릭스 형상의 가로 및 세로 격벽(241)(242)중 어느 하나의 격벽 방향으로 진행하게 된다. 본 실시예에서는 세로 격벽(242)과 나란한 방향을 따라 방전 공간에 유전체층 원소재(232)가 도포되고 있다.
이에 따라, 도 4h에 도시된 것처럼, 상기 가로 격벽(241) 사이에는 유전체층(230)이 형성되고, 이 유전체층(230)은 어드레스 전극(220)을 매립하고 있다. 또한, 상기 가로 격벽(241)의 상단면과 양 측벽에도 상기 유전체층(230)과 일체로 연결된 보조 유전체층(231)이 도포된다. 상기 가로 격벽(241) 상단면상의 보조 유전체층(231)의 두께(t)는 대략 2 마이크로미터 내지 22 마이크로미터가 바람직하다.
그리고, 도 4i에 도시된 것처럼, 상기 세로 격벽(230) 사이에는 유전체층(230)이 형성되어서 어드레스 전극(220)을 매립하는 반면에, 분사 수단인 노즐(530)이 진행하는 방향이므로, 상기 세로 격벽(230) 상단면에는 보조 유전체층(231)이 도포되지 않는다.
이러한 결과로서, 상기 배면 기판(210) 상에는 어드레스 전극(220)이 형성되고, 그 사이의 공간에 가로 및 세로 격벽(241)(242)으로 된 격벽(240)이 매트릭스형으로 배치되고, 상기 격벽(240)의 내측면에는 어드레스 전극(220)을 매립하는 유전체층(230)이 형성되고, 상기 가로 격벽(241)의 상단면에만 소정 두께의 보조 유전체층(231)이 형성된다.
따라서, 전면 기판(210)과 격벽(240)의 상단면 사이에는 상기 보조 유전체층(231)의 형성으로 인하여 가로 격벽(241)과 세로 격벽(242) 높이 차이가 발생하여서 소정의 간격이 형성가능하다. 이 공간을 통하여 패널 조립체에 잔류하는 불순 가스의 배출이 가능하다.
이상의 설명에서와 같이 본 발명의 유전체층의 구조가 개선된 플라즈마 디스플레이 패널과 이의 제조 방법은 배면 기판상에 격벽을 형성시킨 다음, 격벽의 상단면에 보조 유전체층을 형성시켜서 격벽의 상단면과 전면 기판의 하부 사이에 공간을 발생시킴에 따라서, 진공 배기 공정시에 패널 조립체의 내부로부터 잔류하는 불순 가스의 배출이 용이하게 된다. 이에 따라, 배기 성능이 항상됨에 따라서 패널 조립체의 전기, 광학적 특성을 크게 향상시킬 수가 있다.
본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
도 1은 통상적인 플라즈마 디스플레이 패널의 단위 셀을 절제도시한 단면도,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널을 일부 절제하여 도시한 분리 사시도,
도 3은 도 2의 일부를 확대 도시한 사시도,
도 4a 내지 4i는 도 2의 격벽과 유전체층을 형성시키는 과정을 순차적으로 도시한 것으로서,
도 4a는 배면 기판상에 어드레스 전극이 형성된 이후의 상태를 도시한 단면도,
도 4b는 도 4a의 기판상에 격벽용 원소재를 도포한 이후의 상태를 도시한 단면도,
도 4c는 도 4b의 격벽용 원소재상에 감광성 필름을 부착하고, 포토 마스크를 정렬한 이후의 상태를 도시한 단면도,
도 4d는 도 4c의 감광성 필름을 노광, 현상한 이후의 상태를 도시한 단면도,
도 4e는 도 4d의 기판상에 샌드 블라스트 공정을 수행한 이후의 상태를 도시한 단면도,
도 4f는 도 4e의 기판상에 잔류하는 감광성 필름을 제거한 이후의 상태를 도시한 단면도,
도 4g는 도 4f의 기판상에 노즐을 이용하여 유전체층용 원소재를 분사하는 상태를 도시한 단면도,
도 4h는 도 4g의 가로 격벽 방향으로 유전체층이 형성된 이후의 상태를 도시한 단면도,
도 4i는 도 4g의 세로 격벽 방향으로 유전체층이 형성된 이후의 상태를 도시한 단면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 간단한 설명>
20...플라즈마 디스플레이 패널
21...전면 기판 22...버스 전극
23...X 전극 24...Y 전극
25...전면 유전체층 26...보호막층
210...배면 기판 220...어드레스 전극
230...배면 유전체층 231...보조 유전체층
240...격벽 241...가로 격벽
242...세로 격벽 250...형광체층

Claims (12)

  1. 전면 기판;
    상기 전면 기판의 아랫면에 형성된 버스 전극과, XY 전극;
    상기 전극들을 매립하는 전면 유전체층;
    상기 전면 유전체층의 아랫면에 형성된 보호막층;
    상기 전면 기판과 대향되게 설치된 배면 기판;
    상기 배면 기판의 윗면에 형성된 어드레스 전극;
    상기 어드레스 전극 사이에 배치되며, 방전 공간을 구획하는 격벽;
    상기 격벽의 내측면에 도포되며, 상기 어드레스 전극을 매립함과 동시에 상기 격벽중 적어도 어느 하나의 격벽의 상단면에 소정 두께로 도포되는 보조 유전체층을 구비한 유전체층; 및
    상기 격벽의 내측면에 도포되는 적,녹,청색의 형광체층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유전체층의 구조가 개선된 플라즈마 디스플레이 패널.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 격벽은 상기 어드레스 전극이 배치된 방향과 직교한 방향으로 배치된 가로 격벽과, 상기 어드레스 전극이 배치된 방향과 평행한 방향으로 배치된 세로 격벽을 포함하고, 상기 가로 및 세로 격벽은 매트릭스 형상인 것을 특징으로 하는 유전체층의 구조가 개선된 플라즈마 디스플레이 패널.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 가로 격벽의 상단면에는 보조 유전체층이 형성되고, 상기 세로 격벽의 상단면에는 보조 유전체층이 형성되지 않아서, 전면 기판의 아랫면과 격벽의 상단면 사이에 세로 격벽 방향으로 배기 통로를 제공하는 공간이 형성된 것을 특징으로 하는 유전체층의 구조가 개선된 플라즈마 디스플레이 패널.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 보조 유전체층의 두께는 2 내지 22 마이크로미터인 것을 특징으로 하는 유전체층의 구조가 개선된 플라즈마 디스플레이 패널.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 보조 유전체층은 상기 방전 공간에 도포되는 유전체층과 일체로 연결된 것을 특징으로 하는 유전체층의 구조가 개선된 플라즈마 디스플레이 패널.
  6. 상호 대향되게 배치되는 복수개의 기판;
    상기 기판상에 배치된 복수개의 전극;
    상기 전극 사이에 배치되며, 방전 공간을 구획하는 복수개의 격벽;
    상기 격벽의 내측면에 도포되며, 상기 전극을 매립하는 유전체층;
    상기 격벽중 적어도 어느 하나의 격벽의 상단면에 형성되어서, 상기 기판의 아랫면과 격벽의 상단면 사이에 배기 통로를 형성하는 보조 유전체층; 및
    상기 격벽의 내측면에 도포된 적,녹,청색의 형광체층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유전체층의 구조가 개선된 플라즈마 디스플레이 패널.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 보조 유전체층은 격벽과 기판과의 결합시 격벽간에 단차지게 하여 배기 통로를 제공할 수 있도록 상기 격벽중 적어도 어느 하나의 방향으로 배치된 격벽의 상단면에는 도포되고, 다른 방향으로 배치된 격벽의 상단면에는 도포되지 않은 것을 특징으로 하는 유전체층의 구조가 개선된 플라즈마 디스플레이 패널.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 보조 유전체층은 방전 공간에 도포되는 유전체층과 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 유전체층의 구조가 개선된 플라즈마 디스플레이 패널.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 보조 유전체층의 두께는 2 내지 22 마이크로미터 이내인 것을 특징으로 하는 유전체층의 구조가 개선된 플라즈마 디스플레이 패널.
  10. 기판상에 어드레스 전극을 패턴화시키는 단계;
    상기 기판상에 격벽용 원소재를 균일하게 도포하는 단계;
    상기 격벽용 원소재상에 감광성 필름을 부착하는 단계;
    상기 감광성 필름상에 포토 마스크를 설치하여서, 격벽의 패턴을 노광, 현상하는 단계;
    상기 감광성 필름이 부착되지 않은 부분의 격벽용 원소재를 제거하고, 격벽용 원소재의 윗면에 잔류하는 감광성 필름을 박리하는 단계;
    상기 격벽용 원소재를 소성하여 소정 패턴의 격벽을 완성하는 단계; 및
    상기 격벽 사이로 상기 어드레스 전극을 매립하고, 이와 동시에 상기 격벽 상단면에 도포되는 보조 유전체층을 가지는 유전체층용 원소재를 공히 도포하여 유전체층을 완성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유전체층의 구조가 개선된 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 유전체층 원소재를 도포하는 단계에서는,
    상기 유전체층의 원소재는 노즐을 이용하여 적어도 어느 한 방향으로 배치된 격벽 사이를 따라서 도포하는 것을 특징으로 하는 유전체층의 구조가 개선된 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 유전체층용 원소재는 어느 한 방향으로 배치된 격벽의 상단면에는 도포되지 않고, 이와 다른 방향으로 배치된 격벽의 상단면에는 소정 두께로 도포되어서, 격벽간의 단차를 형성하는 것을 특징으로 하는 유전체층의 구조가 개선된 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
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