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KR200468690Y1 - Die ejecting apparatus - Google Patents

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KR200468690Y1
KR200468690Y1 KR2020120007791U KR20120007791U KR200468690Y1 KR 200468690 Y1 KR200468690 Y1 KR 200468690Y1 KR 2020120007791 U KR2020120007791 U KR 2020120007791U KR 20120007791 U KR20120007791 U KR 20120007791U KR 200468690 Y1 KR200468690 Y1 KR 200468690Y1
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KR
South Korea
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ejecting
holder
unit
ejecting unit
die
Prior art date
Application number
KR2020120007791U
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Korean (ko)
Inventor
이희철
임석택
Original Assignee
세메스 주식회사
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Publication date
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Abstract

복수의 다이들이 부착된 다이싱 테이프로부터 상기 다이들을 이젝팅하기 위한 장치에 있어서, 상기 장치는 상기 다이들 중 하나를 선택적으로 이젝팅하기 위하여 상기 선택된 다이를 상방으로 밀어올리기 위한 이젝팅 유닛과, 상기 이젝팅 유닛을 수용하기 위한 내부 공간을 갖고, 상기 이젝팅 유닛이 수직 방향으로 이동 가능하도록 적어도 하나의 관통홀을 갖는 상부 패널과 상기 상부 패널로부터 하방으로 연장하며 개방된 하부를 갖는 하우징을 포함하는 홀더와, 상기 이젝팅 유닛과 결합되어 상기 이젝팅 유닛을 수직 방향으로 이동시키기 위한 구동부와, 상기 홀더의 개방된 하부에 삽입되며 상기 구동부를 수용하는 본체를 포함한다. 여기서, 상기 홀더와 상기 본체는 자기력에 의해 서로 결합될 수 있다. 따라서, 상기 이젝팅 유닛과 홀더의 교체가 용이하며 이에 소요되는 시간이 크게 단축될 수 있다.An apparatus for ejecting dies from a dicing tape to which a plurality of dies are attached, the apparatus comprising: an ejecting unit for pushing up the selected die upwards to selectively eject one of the dies; An upper space having an inner space for receiving the ejecting unit, the upper panel having at least one through hole so that the ejecting unit is movable in a vertical direction, and a housing having a lower portion extending downward from the upper panel; And a driving unit coupled to the ejecting unit to move the ejecting unit in a vertical direction, and a main body inserted into an open lower portion of the holder and accommodating the driving unit. Here, the holder and the main body may be coupled to each other by a magnetic force. Therefore, it is easy to replace the ejecting unit and the holder and the time required for this can be greatly shortened.

Description

다이 이젝팅 장치{DIE EJECTING APPARATUS}Die Ejecting Device {DIE EJECTING APPARATUS}

본 고안의 실시예들은 다이 이젝팅 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 제조 공정에서 기판 상에 반도체 소자가 형성된 다이들을 본딩하기 위하여 웨이퍼로부터 상기 다이들을 분리하는 다이 이젝팅 장치에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a die ejecting apparatus. More particularly, the invention relates to a die ejecting apparatus for separating dies from a wafer to bond dies having semiconductor elements formed thereon on a substrate in a semiconductor manufacturing process.

일반적으로 반도체 소자들은 일련의 제조 공정들을 반복적으로 수행함으로써 반도체 기판으로서 사용되는 실리콘 웨이퍼 상에 형성될 수 있으며, 상기와 같이 형성된 반도체 소자들은 다이싱 공정을 통해 분할될 수 있으며 본딩 공정을 통해 기판 상에 본딩될 수 있다.In general, semiconductor devices may be formed on a silicon wafer used as a semiconductor substrate by repeatedly performing a series of manufacturing processes, and the semiconductor devices formed as described above may be divided through a dicing process and bonded on a substrate through a bonding process. Can be bonded to.

상기 다이 본딩 공정을 수행하기 위한 장치는 반도체 소자가 형성된 다이들로 분할된 웨이퍼로부터 상기 다이들을 픽업하여 분리시키기 위한 픽업 모듈과 픽업된 반도체 소자를 기판 상에 부착시키기 위한 본딩 모듈을 포함할 수 있다. 상기 픽업 모듈은 상기 웨이퍼가 부착된 웨이퍼 링을 지지하는 스테이지 유닛과 상기 스테이지 유닛에 지지된 웨이퍼로부터 선택적으로 반도체 소자를 분리시키기 위하여 수직 방향으로 이동 가능하게 설치된 이젝팅 장치와 상기 웨이퍼로부터 상기 반도체 소자를 픽업하여 기판 상에 부착시키기 위한 픽업 유닛을 포함할 수 있다.The apparatus for performing the die bonding process may include a pick-up module for picking up and separating the dies from a wafer divided into dies in which a semiconductor element is formed, and a bonding module for attaching the picked-up semiconductor element to a substrate. . The pickup module includes a stage unit for supporting a wafer ring to which the wafer is attached and an ejecting device installed to be movable in a vertical direction to selectively separate a semiconductor element from a wafer supported on the stage unit, and the semiconductor element from the wafer. Pick-up unit for picking up and attach to the substrate.

일반적으로, 상기 다이 이젝팅 장치는 상기 반도체 소자를 다이싱 테이프로부터 분리시키기 위하여 상기 반도체 소자를 수직 방향으로 밀어올리는 이젝팅 유닛과 상기 이젝팅 유닛을 수용하는 홀더와 상기 이젝팅 유닛을 수직 방향으로 이동시키는 구동부 및 상기 구동부를 수용하는 본체 등을 포함할 수 있다. 상기와 같은 다이 이젝팅 장치에 관한 예들은 대한민국 등록특허 제10-0975500호 및 대한민국 공개특허 제10-2009-0108447호 등에 개시되어 있다.In general, the die ejecting apparatus includes an ejecting unit for pushing up the semiconductor element in a vertical direction, a holder for receiving the ejecting unit, and the ejecting unit in a vertical direction to separate the semiconductor element from a dicing tape. It may include a driving unit for moving and a main body for receiving the driving unit. Examples of such a die ejecting apparatus are disclosed in Korean Patent No. 10-0975500 and Korean Patent Laid-Open No. 10-2009-0108447.

한편, 상기 다이들의 크기에 대응하도록 상기 이젝팅 유닛과 홀더 등을 교체하는 경우 상기 이젝팅 유닛과 홀더의 회전각 정렬 및 중심 정렬 등에 상당히 많은 시간이 소요되기 때문에 상기 다이 이젝팅 장치를 이용하는 다이 본딩 설비의 가동율이 현저히 저하되는 문제점이 발생된다.On the other hand, when replacing the ejecting unit and the holder so as to correspond to the size of the die, it takes a lot of time to align the rotation angle and center alignment of the ejecting unit and holder die bonding using the die ejecting device There is a problem that the operation rate of the equipment is significantly reduced.

본 고안의 실시예들은 다이 이젝팅 장치에서 다이 이젝팅 유닛과 홀더의 교체를 매우 간단하게 수행할 수 있는 다이 이젝팅 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.Embodiments of the present invention have an object of the present invention is to provide a die ejecting device that can perform a very simple replacement of the die ejecting unit and the holder in the die ejecting device.

본 고안의 실시예들에 따르면, 복수의 다이들이 부착된 다이싱 테이프로부터 상기 다이들을 이젝팅하기 위한 다이 이젝팅 장치에 있어서, 상기 장치는 상기 다이들 중 하나를 선택적으로 이젝팅하기 위하여 상기 선택된 다이를 상방으로 밀어올리기 위한 이젝팅 유닛과, 상기 이젝팅 유닛을 수용하기 위한 내부 공간을 갖고, 상기 이젝팅 유닛이 수직 방향으로 이동 가능하도록 관통홀을 갖는 상부 패널과, 상기 상부 패널로부터 하방으로 연장하며 개방된 하부 및 상기 내부 공간에 수용된 이젝팅 유닛의 하방 이동을 제한하는 스토퍼가 구비된 내측면을 갖는 하우징을 포함하는 홀더와, 상기 이젝팅 유닛과 결합되어 상기 이젝팅 유닛을 수직 방향으로 이동시키기 위한 구동부와, 상기 홀더의 개방된 하부에 삽입되며 상기 구동부를 수용하는 본체를 포함할 수 있다. 이때, 상기 홀더와 상기 본체는 자기력에 의해 서로 결합될 수 있으며, 상기 이젝팅 유닛은 상부가 개방된 공기 챔버를 구비하고, 상기 구동부에 의해 다이싱 테이프의 하부에 밀착되고 상기 선택된 다이를 밀어올리기 위하여 상기 홀더의 상부 패널로부터 돌출되도록 상승될 수 있으며, 이어서 상기 공기 챔버에 상기 이젝팅 유닛에 밀착된 다이싱 테이프를 부분적으로 밀어올리기 위하여 공기가 주입될 수 있다.According to embodiments of the present invention, in a die ejecting apparatus for ejecting the dies from a dicing tape to which a plurality of dies are attached, the apparatus may be configured to selectively eject one of the dies. An upper panel having an ejecting unit for pushing the die upwards, an inner space for accommodating the ejecting unit, the upper panel having a through hole so that the ejecting unit is movable in a vertical direction, and downward from the upper panel; A holder having an inner surface having an extended lower opening and a stopper for limiting downward movement of the ejecting unit accommodated in the inner space; and coupled with the ejecting unit to move the ejecting unit in a vertical direction. A driving unit for moving and a main body inserted into an open lower portion of the holder and accommodating the driving unit. Can. At this time, the holder and the main body may be coupled to each other by a magnetic force, the ejecting unit has an air chamber of which the top is open, is in close contact with the lower portion of the dicing tape by the drive unit to push up the selected die In order to protrude from the upper panel of the holder, and then air may be injected into the air chamber to partially push the dicing tape in close contact with the ejecting unit.

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본 고안의 실시예들에 따르면, 상기 본체의 상부 외측면에는 상기 본체가 상기 홀더에 삽입되는 정도를 제한하기 위한 걸림턱이 구비될 수 있다.According to embodiments of the present invention, the upper outer surface of the main body may be provided with a locking step for limiting the degree to which the main body is inserted into the holder.

본 고안의 실시예들에 따르면, 상기 본체의 걸림턱 또는 상기 걸림턱 아래에는 상기 자기력을 제공하기 위한 영구자석이 구비될 수 있다.According to embodiments of the present invention, a permanent magnet for providing the magnetic force may be provided below the locking step or the locking step of the main body.

본 고안의 실시예들에 따르면, 상기 이젝팅 유닛과 상기 구동부는 자기력에 의해 서로 결합될 수 있다.According to embodiments of the present invention, the ejecting unit and the driving unit may be coupled to each other by a magnetic force.

본 고안의 실시예들에 따르면, 상기 구동부는 상기 이젝팅 유닛과 결합되는 헤드를 포함할 수 있으며, 상기 헤드에는 상기 이젝팅 유닛과의 결합을 위한 영구자석이 구비될 수 있다.According to embodiments of the present invention, the driving unit may include a head coupled to the ejecting unit, the head may be provided with a permanent magnet for coupling with the ejecting unit.

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본 고안의 실시예들에 따르면, 상기 상부 패널에는 상기 관통홀 주변에 위치되며 상기 다이싱 테이프를 흡착하기 위한 복수의 진공홀들이 구비될 수 있다.According to embodiments of the present invention, the upper panel may be provided around the through hole and provided with a plurality of vacuum holes for adsorbing the dicing tape.

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상술한 바와 같은 본 고안의 실시예들에 따르면, 다이싱 테이프에 부착된 다이들을 이젝팅하기 위한 장치에 있어서 상기 장치는 이젝팅 유닛이 내장된 홀더와 상기 이젝팅 유닛 및 상기 홀더에 각각 결합되는 구동부와 본체를 포함할 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, in the apparatus for ejecting the dies attached to the dicing tape, the apparatus is coupled to the holder and the ejecting unit and the holder is built-in respectively It may include a driving unit and the main body.

상기 홀더의 하부에 상기 본체가 삽입될 수 있으며 상기 본체의 상부에는 상기 본체가 삽입되는 정도를 제한하기 위한 걸림턱이 구비될 수 있다. 특히, 상기 걸림턱에는 자기력을 이용하여 상기 홀더와 상기 본체 사이를 서로 결합하기 위한 영구자석이 구비될 수 있다. 또한, 상기 이젝팅 유닛과 상기 구동부 사이의 결합 역시 자기력에 의해 이루어질 수 있다.The main body may be inserted into the lower part of the holder, and the upper end of the main body may be provided with a locking step for limiting the degree of insertion of the main body. In particular, the locking jaw may be provided with a permanent magnet for coupling between the holder and the main body using a magnetic force. In addition, the coupling between the ejecting unit and the driving unit may also be made by a magnetic force.

상술한 바와 같이 상기 홀더와 본체, 그리고 상기 이젝팅 유닛과 상기 본체 사이의 결합이 자기력에 의해 이루어지므로 상기 이젝팅 유닛과 홀더의 교체가 매우 간단하게 이루어질 수 있다. 또한 상기 정렬홈과 정렬핀을 이용하여 상기 이젝팅 유닛과 홀더의 회전각 정렬이 이루어질 수 있으므로, 상기 이젝팅 유닛과 홀더의 교체에 소요되는 시간이 크게 단축될 수 있다.As described above, since the coupling between the holder and the main body and the ejecting unit and the main body is made by magnetic force, the ejecting unit and the holder can be replaced very simply. In addition, since the rotation angle alignment of the ejecting unit and the holder may be performed using the alignment groove and the alignment pin, the time required for replacing the ejecting unit and the holder may be greatly shortened.

도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 다이 이젝팅 장치가 사용되는 다이 본딩 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2 및 도 3은 도 1에 도시된 다이 이젝팅 장치를 설명하기 위한 개략적인 단면도들이다.
도 4 및 도 5는 도 2에 도시된 다이 이젝팅 장치를 이용하여 다이를 이젝팅하는 방법을 설명하기 위한 개략적인 단면도들이다.
도 6은 도 2에 도시된 홀더와 이젝팅 유닛을 설명하기 위한 사시도이다.
도 7은 도 2에 도시된 홀더로부터 이젝팅 유닛이 상방으로 상승된 상태를 설명하기 위한 사시도이다.
도 8은 도 2에 도시된 홀더와 본체를 설명하기 위한 측면도이다.
도 9는 도 2에 도시된 이젝팅 유닛의 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 10은 도 9에 도시된 홀더와 이젝팅 유닛을 설명하기 위한 사시도이다.
도 11은 도 9에 도시된 홀더로부터 이젝팅 핀들이 상승된 상태를 설명하기 위한 사시도이다.1 is a schematic configuration diagram illustrating a die bonding apparatus using a die ejecting apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 and 3 are schematic cross-sectional views for explaining the die ejecting apparatus shown in FIG.
4 and 5 are schematic cross-sectional views illustrating a method of ejecting a die by using the die ejecting apparatus shown in FIG. 2.
FIG. 6 is a perspective view illustrating the holder and the ejecting unit illustrated in FIG. 2.
FIG. 7 is a perspective view for explaining a state in which the ejecting unit is lifted upward from the holder shown in FIG. 2.
8 is a side view for explaining the holder and the main body shown in FIG.
FIG. 9 is a schematic cross-sectional view for describing another example of the ejecting unit shown in FIG. 2.
FIG. 10 is a perspective view illustrating the holder and the ejecting unit illustrated in FIG. 9.
FIG. 11 is a perspective view illustrating a state in which ejecting pins are raised from the holder illustrated in FIG. 9.

이하, 본 고안은 본 고안의 실시예들을 보여주는 첨부 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명된다. 그러나, 본 고안은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 고안이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 고안의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 고안의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings showing embodiments of the present invention. However, the present invention should not be construed as limited to the embodiments described below and may be embodied in various other forms. The following examples are provided to fully convey the scope of the present invention to those skilled in the art, rather than to allow the present invention to be fully completed.

하나의 요소가 다른 하나의 요소 또는 층 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로서 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들 또는 층들이 이들 사이에 게재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결되는 것으로서 설명되는 경우, 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.When an element is described as being placed on or connected to another element or layer, the element may be directly disposed or connected to the other element, and other elements or layers may be placed therebetween It is possible. Alternatively, if one element is described as being placed directly on or connected to another element, there can be no other element between them. The terms first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers and / or portions, but the items are not limited by these terms .

하기에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 고안을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 고안의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 고안의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.The terminology used below is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to limit the present invention. Furthermore, all terms including technical and scientific terms have the same meaning as will be understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs, unless otherwise specified. These terms, such as those defined in conventional dictionaries, shall be construed as having a meaning consistent with their meaning in the context of the description of the relevant art and the present invention, and are to be interpreted as being ideally or externally grossly intuitive It will not be interpreted.

본 고안의 실시예들은 본 고안의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 고안의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 영역은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 영역의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 고안의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the present invention are described with reference to schematic illustrations of ideal embodiments of the present invention. Accordingly, changes from the shapes of the illustrations, such as changes in manufacturing methods and / or tolerances, are those that can be expected sufficiently. Accordingly, the embodiments of the present invention are not to be construed as being limited to the specific shapes of the regions illustrated by way of illustration, but rather to include deviations in the shapes, the regions described in the drawings being entirely schematic and their shapes Is not intended to illustrate the exact shape of the region and is not intended to limit the scope of the invention.

도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 다이 이젝팅 장치가 사용되는 다이 본딩 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이며, 도 2 및 도 3은 도 1에 도시된 다이 이젝팅 장치를 설명하기 위한 개략적인 단면도들이다.1 is a schematic diagram illustrating a die bonding apparatus using a die ejecting apparatus according to an embodiment of the present invention, Figures 2 and 3 are for explaining the die ejecting apparatus shown in FIG. Schematic cross-sectional views.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 고안의 일 실시예에 따른 다이 이젝팅 장치(100)는 반도체 소자가 형성된 다이들(20)로 이루어진 웨이퍼(10)로부터 상기 다이들(20)을 분리하여 기판 상에 본딩하기 위한 다이 본딩 공정에서 바람직하게 사용될 수 있다. 특히, 상기 웨이퍼(10)는 다이싱 테이프(32)에 부착된 상태로 제공될 수 있으며 상기 다이싱 테이프(32)는 상기 웨이퍼(10)보다 큰 직경을 갖는 웨이퍼 링(30)에 장착될 수 있다.1 to 3, the die ejecting apparatus 100 according to an embodiment of the present invention separates the dies 20 from the wafer 10 formed of the dies 20 on which semiconductor elements are formed. It can preferably be used in a die bonding process for bonding on a substrate. In particular, the wafer 10 may be provided attached to the dicing tape 32 and the dicing tape 32 may be mounted to the wafer ring 30 having a larger diameter than the wafer 10. have.

상기 웨이퍼 링(30)은 스테이지(40) 상에 배치된 클램프(42)에 의해 파지될 수 있으며 상기 다이싱 테이프(32)의 가장자리 부위는 상기 스테이지(40) 상에 배치된 확장 링(44)에 의해 지지될 수 있다. 상기 클램프(42)는 상기 다이싱 테이프(32)를 확장시키기 위하여 수직 하방으로 상기 웨이퍼 링(30)을 이동시킬 수 있으며 이에 의해 상기 다이싱 테이프(32)는 상기 확장 링(44)에 의해 확장될 수 있다. 결과적으로 상기 다이싱 테이프(32)에 부착된 다이들(20) 사이의 간격이 확장될 수 있다.The wafer ring 30 may be gripped by a clamp 42 disposed on the stage 40 and the edge portion of the dicing tape 32 may be extended ring 44 disposed on the stage 40. Can be supported by. The clamp 42 can move the wafer ring 30 vertically downward to expand the dicing tape 32 whereby the dicing tape 32 is extended by the expansion ring 44. Can be. As a result, the distance between the dies 20 attached to the dicing tape 32 can be extended.

상기 스테이지(40)의 하부에는 상기 다이들(20)을 상기 다이싱 테이프(32)로부터 분리시키기 위하여 상기 다이들(20)을 선택적으로 상승시키기 위한 다이 이젝팅 장치(100)가 구비될 수 있으며, 상기 스테이지(40)의 상부에는 상기 다이 이젝팅 장치(100)에 의해 상승된 다이(20)를 픽업하기 위한 픽업 장치(50)가 구비될 수 있다.A lower die ejecting device 100 for selectively lifting the dies 20 to separate the dies 20 from the dicing tape 32 may be provided at the bottom of the stage 40 And a pickup device 50 for picking up the die 20 lifted by the die ejecting device 100 may be provided on the stage 40. [

도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 다이 이젝팅 장치(100)는 상기 다이싱 테이프(32)로부터 상기 다이들(20)을 이젝팅하기 위하여 사용될 수 있다.2 and 3, the die ejecting apparatus 100 may be used to eject the dies 20 from the dicing tape 32.

본 고안의 일 실시예에 따르면, 상기 다이 이젝팅 장치(100)는 상기 다이들(20)을 상방으로 밀어올리기 위한 이젝팅 유닛(110)과, 상기 이젝팅 유닛(110)을 수용하는 홀더(120)와, 상기 이젝팅 유닛(110)을 수직 방향으로 이동시키기 위한 구동부(130)와 상기 구동부(130)를 수용하는 본체(140)를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the die ejecting apparatus 100 includes an ejecting unit 110 for pushing up the dies 20 upwardly, and a holder accommodating the ejecting unit 110. 120, a driving unit 130 for moving the ejecting unit 110 in a vertical direction, and a main body 140 accommodating the driving unit 130.

상기 이젝팅 유닛(110)은 상기 다이들(20) 중 하나를 선택적으로 이젝팅하기 위하여 상기 선택된 다이(20)를 밀어올릴 수 있다. 상기 구동부(130)는 상기 이젝팅 유닛(110)과 결합되는 헤드(132)와 구동력을 전달하기 위한 구동축(134)을 포함할 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 구동축(134)은 상기 구동력을 제공하기 위한 동력 제공부(미도시)와 연결될 수 있으며, 상기 동력 제공부는 모터, 실린더, 동력 전달 요소들, 등을 이용하여 다양한 방법으로 구성될 수 있다.The ejecting unit 110 may push up the selected die 20 to selectively eject one of the dies 20. The driving unit 130 may include a head 132 coupled to the ejecting unit 110 and a driving shaft 134 for transmitting a driving force. Although not shown in detail, the drive shaft 134 may be connected to a power supply unit (not shown) for providing the driving force, and the power supply unit may be used in various ways using a motor, a cylinder, power transmission elements, and the like. Can be configured.

상기 홀더(120)는 상기 이젝팅 유닛(110)을 수용하기 위한 내부 공간을 가질 수 있다. 예를 들면, 상기 홀더(120)는 상기 이젝팅 유닛(110)이 수직 방향으로 이동될 수 있도록 적어도 하나의 관통홀(122A)을 갖는 상부 패널(122)과 상기 상부 패널(122)로부터 하방으로 연장하며 개방된 하부를 갖는 하우징(124)을 포함할 수 있다.The holder 120 may have an inner space for accommodating the ejecting unit 110. For example, the holder 120 is downward from the upper panel 122 and the upper panel 122 having at least one through hole 122A so that the ejecting unit 110 can be moved in the vertical direction. It may include a housing 124 extending and having an open bottom.

상기 하우징(124)의 개방된 하부는 상기 본체(140)와 결합될 수 있으며 상기 구동부(130)의 헤드(132)와 구동축(134)은 상기 본체(140) 내부에서 수직 방향으로 이동될 수 있다.An open lower portion of the housing 124 may be combined with the main body 140, and the head 132 and the driving shaft 134 of the driving unit 130 may move in the vertical direction in the main body 140. .

일 예로서, 상기 홀더(120)의 하우징(124)과 상기 본체(140)는 대략 원형 튜브 형태를 가질 수 있다. 그러나, 상기 하우징(124)과 본체(140)의 형상에 의해 본 고안의 범위가 제한되지는 않을 것이다.As an example, the housing 124 and the body 140 of the holder 120 may have a substantially circular tube shape. However, the scope of the present invention is not limited by the shapes of the housing 124 and the main body 140.

상기 하우징(124)의 개방된 하부에는 상기 본체(140)의 상부가 삽입될 수 있으며, 도시된 바와 같이 상기 본체(140)의 상부 외측면에는 상기 본체(140)가 삽입되는 정도를 제한하기 위한 걸림턱(142)이 구비될 수 있다.An upper portion of the main body 140 may be inserted into an open lower portion of the housing 124, and as illustrated, an upper outer surface of the main body 140 may restrict the degree of insertion of the main body 140. The locking jaw 142 may be provided.

한편, 상기 하우징(124)의 내측면에는 상기 이젝팅 유닛(110)의 하방 이동을 제한하기 위한 스토퍼(126)가 구비될 수 있다. 상기 홀더(120) 내에 수용되는 이젝팅 유닛(110)은 상기 상부 패널(122)에 구비된 관통홀(122A)에 의해 수평 방향으로의 이동은 제한되며 수직 방향으로만 이동 가능하며, 특히 상방으로의 이동은 상기 상부 패널(122)에 의해 제한되고 하방으로의 이동은 상기 스토퍼(126)에 의해 제한될 수 있다. 결과적으로, 상기 이젝팅 유닛(110)은 상기 홀더(120) 내에서 소정 거리 수직 방향으로만 이동이 허용될 수 있으며, 필요시 상기 이젝팅 유닛(110)과 상기 홀더(120)는 함께 교체될 수 있다.On the other hand, the inner surface of the housing 124 may be provided with a stopper 126 for limiting the downward movement of the ejecting unit 110. The ejecting unit 110 accommodated in the holder 120 is limited in the horizontal direction by the through-hole 122A provided in the upper panel 122 and is movable only in the vertical direction, in particular upward. Movement is limited by the top panel 122 and downward movement may be limited by the stopper 126. As a result, the ejecting unit 110 may be allowed to move only in the vertical direction at a predetermined distance within the holder 120, and if necessary, the ejecting unit 110 and the holder 120 may be replaced together. Can be.

본 고안의 일 실시예에 따르면, 상기 다이들(20)의 크기 변화에 대응하기 위하여 상기 이젝팅 유닛(110)의 교체가 필요한 경우 상기 홀더(120)와 이젝팅 유닛(110)을 모두 교체할 수 있다. 특히, 각각의 다이들(20)에 대응하도록 이젝팅 유닛(110)과 홀더(120)로 이루어진 교체용 세트들을 미리 준비하고 해당 다이의 크기에 따라 이젝팅 유닛(110)과 홀더(120)를 선택적으로 사용할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, when the ejecting unit 110 needs to be replaced in order to correspond to the size change of the dies 20, both the holder 120 and the ejecting unit 110 may be replaced. Can be. In particular, replacement sets made of the ejecting unit 110 and the holder 120 are prepared in advance so as to correspond to the respective dies 20, and the ejecting unit 110 and the holder 120 are prepared according to the size of the die. Optionally available.

또한, 상기 홀더(120)와 상기 본체(140) 사이의 결합 구조 및 상기 이젝팅 유닛(110)과 상기 구동부(130) 사이의 결합 구조는 상기 이젝팅 유닛(110)과 홀더(120)의 교체를 보다 간단하게 수행할 수 있도록 구성될 수 있다.In addition, the coupling structure between the holder 120 and the main body 140 and the coupling structure between the ejecting unit 110 and the driving unit 130 may be replaced by the ejecting unit 110 and the holder 120. It can be configured to be more simple to perform.

본 고안의 일 실시예에 따르면, 상기 홀더(120)의 하우징(124)과 상기 본체(140)는 자기력에 의해 서로 결합될 수 있다. 예를 들면, 상기 본체(140)의 걸림턱(142)에는 상기 홀더(120)와 본체(140) 사이의 결합이 자기력에 의해 이루어지도록 영구자석(150)이 구비될 수 있다. 일 예로서, 도시된 바와 같이 상기 걸림턱(142)의 아래에 복수의 영구자석들(150)이 내장될 수 있다. 그러나, 상기와 다르게 상기 영구자석들(150)은 상기 걸림턱(142)의 상부면으로 노출될 수도 있다. 이 경우, 상기 홀더(120)의 하우징(124)은 자성체로 이루어지는 것이 바람직하며, 또한 상기 본체(140)의 상부는 비자성체로 이루어지는 것이 바람직하다.According to an embodiment of the present invention, the housing 124 and the main body 140 of the holder 120 may be coupled to each other by a magnetic force. For example, the locking jaw 142 of the main body 140 may be provided with a permanent magnet 150 so that the coupling between the holder 120 and the main body 140 is made by a magnetic force. As an example, as shown, a plurality of permanent magnets 150 may be embedded below the locking jaw 142. However, unlike the above, the permanent magnets 150 may be exposed to the upper surface of the locking step 142. In this case, the housing 124 of the holder 120 is preferably made of a magnetic material, and the upper portion of the main body 140 is preferably made of a nonmagnetic material.

한편, 상기 영구자석들(150)은 상기 하우징(124)의 하부면이 상기 걸림턱(142)의 상부면에 밀착되는 정도와 평행도를 크게 향상시킬 수 있으며, 자기력을 이용하여 상기 홀더(120)와 본체(140) 사이의 결합 상태를 안정적으로 유지시킬 수 있다. 따라서, 후속하는 다이 이젝팅 공정에서 상기 다이(20)를 안정적으로 이젝팅할 수 있다.On the other hand, the permanent magnets 150 can greatly improve the degree and parallelism of the lower surface of the housing 124 is in close contact with the upper surface of the locking jaw 142, the holder 120 by using a magnetic force And the coupling state between the main body 140 can be stably maintained. Thus, the die 20 can be ejected stably in a subsequent die ejecting process.

본 고안의 다른 실시예에 따르면, 상기 홀더(120)의 하우징(124)에도 상기 본체(140)의 영구자석들(150)과 대응하는 별도의 영구자석들(미도시)이 설치될 수 있으며, 이 경우 상기 홀더(120)의 하우징(124)과 상기 본체(140)의 상부는 모두 비자성체로 이루어지는 것이 바람직하다.According to another embodiment of the present invention, the permanent magnets (not shown) corresponding to the permanent magnets 150 of the main body 140 may also be installed in the housing 124 of the holder 120, In this case, both the housing 124 of the holder 120 and the upper portion of the main body 140 are preferably made of nonmagnetic material.

또한, 본 고안의 일 실시예에 따르면, 상기 이젝팅 유닛(110)과 상기 구동부(130) 역시 자기력에 의해 서로 결합될 수 있다. 예를 들면, 상기 구동부(130)의 헤드(132)에는 자기력을 이용하여 상기 이젝팅 유닛(110)을 파지하기 위한 복수의 영구자석들(136)이 구비될 수 있으며, 상기 이젝팅 유닛(110)은 자성체로 이루어질 수 있다. 또한, 상기와 다르게 상기 이젝팅 유닛(110)에 상기 헤드(132)의 영구자석들(136)에 대응하는 영구자석들(미도시)이 구비될 수도 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, the ejecting unit 110 and the drive unit 130 may also be coupled to each other by a magnetic force. For example, the head 132 of the driving unit 130 may be provided with a plurality of permanent magnets 136 for holding the ejecting unit 110 by using a magnetic force, the ejecting unit 110 ) May be made of magnetic material. In addition, unlike the above, the ejecting unit 110 may be provided with permanent magnets (not shown) corresponding to the permanent magnets 136 of the head 132.

한편, 상기 이젝팅 유닛(110)은 상부가 개방된 공기 챔버(112)를 가질 수 있다. 상기 공기 챔버(112)에는 상기 선택된 다이(20)의 이젝팅을 용이하게 하기 위하여 공기가 제공될 수 있다.On the other hand, the ejecting unit 110 may have an air chamber 112 of which the top is open. The air chamber 112 may be provided with air to facilitate ejection of the selected die 20.

도 4 및 도 5는 도 2에 도시된 다이 이젝팅 장치를 이용하여 다이를 이젝팅하는 방법을 설명하기 위한 개략적인 단면도들이고, 도 6은 도 2에 도시된 홀더와 이젝팅 유닛을 설명하기 위한 사시도이며, 도 7은 도 2에 도시된 홀더로부터 이젝팅 유닛이 상방으로 상승된 상태를 설명하기 위한 사시도이다.4 and 5 are schematic cross-sectional views illustrating a method of ejecting a die by using the die ejecting apparatus shown in FIG. 2, and FIG. 6 is a view illustrating the holder and the ejecting unit illustrated in FIG. 2. 7 is a perspective view for explaining a state in which the ejecting unit is lifted upward from the holder shown in FIG. 2.

도 4 내지 도 7을 참조하면, 도시되지는 않았으나, 상기 다이 이젝팅 장치(100)는 별도의 구동부(미도시)에 의해 상기 홀더(120)의 상부 패널(122)이 상기 다이싱 테이프(32)에 밀착되도록 상승될 수 있다.4 to 7, although not shown, the die ejecting apparatus 100 may include a separate driving unit (not shown) so that the upper panel 122 of the holder 120 may have the dicing tape 32. It may be raised to be in close contact with).

이어서, 상기 이젝팅 유닛(110)은 상기 구동부(130)에 의해 상기 상부 패널(122)의 상부면으로부터 도 4에 도시된 바와 같이 돌출되도록 상승될 수 있으며, 이에 의해 상기 선택된 다이(20)가 상기 다이싱 테이프(32)와 함께 상방으로 밀어올려질 수 있다. 이때, 상기 상부 패널(122)에는 상기 다이싱 테이프(32)의 일부 영역을 흡착하기 위한 복수의 진공홀들(122B)이 구비될 수 있다.Subsequently, the ejecting unit 110 may be raised by the driving unit 130 to protrude from the upper surface of the upper panel 122 as shown in FIG. 4, whereby the selected die 20 is raised. It can be pushed upward with the dicing tape 32. In this case, the upper panel 122 may be provided with a plurality of vacuum holes 122B for adsorbing a portion of the dicing tape 32.

예를 들면, 도시된 바와 같이 상기 이젝팅 유닛(110)이 위치되는 관통홀(122A) 주변에 복수의 진공홀들(122B)이 구비될 수 있으며, 상기 선택된 다이(20)의 주변에 위치되는 다이싱 테이프(32)의 일부 영역을 흡착할 수 있다. 이는 상기 선택된 다이(20)의 주변에 위치되는 다이싱 테이프(32)의 일부 영역을 흡착함으로써 상기 선택된 다이(20)가 상기 다이싱 테이프(32)로부터 용이하게 분리되도록 하기 위함이다.For example, as illustrated, a plurality of vacuum holes 122B may be provided around the through hole 122A in which the ejecting unit 110 is located, and located around the selected die 20. A portion of the dicing tape 32 can be adsorbed. This is to allow the selected die 20 to be easily separated from the dicing tape 32 by adsorbing a portion of the dicing tape 32 located around the selected die 20.

특히, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 이젝팅 유닛(110)이 상기 상부 패널(122)로부터 상방으로 돌출되는 경우 상기 선택된 다이(20)의 가장자리 부위가 상기 다이싱 테이프(32)로부터 분리될 수 있다.In particular, as shown in FIG. 4, when the ejecting unit 110 protrudes upward from the upper panel 122, an edge portion of the selected die 20 may be separated from the dicing tape 32. have.

이어서, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 공기 챔버(112) 내부에 공기가 주입되면 상기 이젝팅 유닛(110)의 상부면이 상기 다이싱 테이프(32)에 밀착된 상태이므로 상기 이젝팅 유닛(32)의 상부에 위치되는 다이싱 테이프(32)가 부분적으로 부풀어오를 수 있으며, 이에 의해 상기 선택된 다이(20)가 상기 다이싱 테이프(32)로부터 점차 분리될 수 있다.Subsequently, as shown in FIG. 5, when air is injected into the air chamber 112, the upper surface of the ejecting unit 110 is in close contact with the dicing tape 32. The dicing tape 32 located on top of the can be partially swollen, thereby allowing the selected die 20 to be gradually separated from the dicing tape 32.

한편, 상기 공기는 상기 구동축(134) 및 헤드(132)를 통하여 제공될 수 있으며, 상기 본체(140)를 통하여 상기 홀더(120) 내측으로 진공이 제공될 수 있다. 이때, 도시된 바와 같이 상기 본체(140)와 상기 하우징(124) 사이 그리고 상기 이젝팅 유닛(110)과 상기 헤드(132) 사이에는 각각 밀봉 부재(170,172)가 개재될 수 있다.The air may be provided through the driving shaft 134 and the head 132, and a vacuum may be provided into the holder 120 through the main body 140. In this case, as illustrated, sealing members 170 and 172 may be interposed between the main body 140 and the housing 124 and between the ejecting unit 110 and the head 132.

한편, 도 6 및 도 7에 도시된 바에 의하면, 상기 홀더(120)의 상부면에는 일자 또는 십자 형태의 식별 라인이 구비될 수 있으며, 상기 식별 라인은 상기 홀더(120)와 상기 이젝틱 유닛(110)의 교체 작업시 비전 모듈을 이용한 센터링 정렬을 위하여 사용될 수 있다.6 and 7, the upper surface of the holder 120 may be provided with an identification line having a straight or cross shape, and the identification line may include the holder 120 and the ejective unit ( 110 may be used for centering alignment using a vision module during replacement.

도 8은 도 2에 도시된 홀더와 본체를 설명하기 위한 측면도이다.8 is a side view for explaining the holder and the main body shown in FIG.

도 8을 참조하면, 상기 본체(140)의 상부 외측면에는 상기 홀더(120)와 이젝팅 유닛(110)의 회전 정렬을 위한 정렬핀(144)이 구비될 수 있으며 이에 대응하여 상기 홀더(120)의 개방된 하부에는 상기 정렬핀(144)이 삽입되는 정렬홈(128)이 구비될 수 있다.Referring to FIG. 8, the upper outer surface of the main body 140 may be provided with an alignment pin 144 for rotating alignment of the holder 120 and the ejecting unit 110, and correspondingly the holder 120. An open lower portion of) may be provided with an alignment groove 128 into which the alignment pin 144 is inserted.

상술한 바와 같은 본 고안의 일 실시예에 따르면, 홀더(120)와 본체(140) 사이의 결합이 상기 본체(142)의 상부 걸림턱(142)에 구비되는 영구자석들(150)에 의해 이루어지므로 상기 홀더(120)의 교체가 매우 용이하게 수행될 수 있다. 또한, 상기 정렬핀(144)과 정렬홈(128)을 이용함으로써 상기 홀더(120)와 이젝팅 유닛(110)의 교체시 회전각 정렬이 매우 간단하게 이루어질 수 있으며, 이에 의해 상기 홀더(120)와 이젝팅 유닛(110)의 교체에 소요되는 시간이 크게 단축될 수 있다.According to one embodiment of the present invention as described above, the coupling between the holder 120 and the main body 140 is made by the permanent magnets 150 provided in the upper locking jaw 142 of the main body 142 Since the holder 120 can be replaced very easily. In addition, by using the alignment pin 144 and the alignment groove 128, the rotation angle alignment can be made very simple when the holder 120 and the ejecting unit 110 is replaced, thereby the holder 120 The time required for replacing the ejecting unit 110 can be greatly shortened.

특히, 본 고안의 일 실시예에 따르면, 상기 홀더(120)와 이젝팅 유닛(110)을 다이들(20)의 종류에 따라 미리 복수의 세트들을 준비하고, 교체 작업이 요구되는 경우 빠른 시간 내에 상기 홀더(120)와 이젝팅 유닛(110)의 교체 작업을 수행할 수 있다. 결과적으로, 상기 홀더(120)와 이젝팅 유닛(110)으로 이루어진 세트 교체 작업에 소요되는 시간이 감소되므로 상기 다이 이젝팅 장치(100)를 포함하는 다이 본더 설비의 가동율이 크게 향상될 수 있다.In particular, according to an embodiment of the present invention, the holder 120 and the ejecting unit 110 is prepared in advance a plurality of sets in accordance with the type of the dies 20, if a replacement operation is required in a short time Replacement of the holder 120 and the ejecting unit 110 may be performed. As a result, since the time required for the set replacement operation consisting of the holder 120 and the ejecting unit 110 is reduced, the operation rate of the die bonder facility including the die ejecting apparatus 100 can be greatly improved.

도 9는 도 2에 도시된 이젝팅 유닛의 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 단면도이고, 도 10은 도 9에 도시된 홀더와 이젝팅 유닛을 설명하기 위한 사시도이며, 도 11은 도 9에 도시된 홀더로부터 이젝팅 핀들이 상승된 상태를 설명하기 위한 사시도이다.FIG. 9 is a schematic cross-sectional view for describing another example of the ejecting unit illustrated in FIG. 2, FIG. 10 is a perspective view illustrating the holder and the ejecting unit illustrated in FIG. 9, and FIG. 11 is illustrated in FIG. 9. A perspective view for explaining a state in which the ejecting pins are raised from the holder.

도 9 내지 도 11을 참조하면, 본 고안의 다른 실시예에 따르면 상부 패널(192)과 하우징(194)을 포함하는 홀더(190) 내에 수용되는 이젝팅 유닛(180)은 상기 홀더(190)의 상부 패널(192)에 형성된 관통홀들(192A)에 삽입되는 이젝팅 핀들(182)과 상기 홀더(190) 내에 배치되어 상기 이젝팅 핀들(182)을 지지하는 서포트 패널(184)을 포함할 수 있다.9 to 11, according to another embodiment of the present invention, the ejecting unit 180 accommodated in the holder 190 including the upper panel 192 and the housing 194 may be formed of the holder 190. Ejecting pins 182 inserted into the through holes 192A formed in the upper panel 192 and a support panel 184 disposed in the holder 190 to support the ejecting pins 182. have.

상기 서포트 패널(184)에는 도시된 바와 같이 상기 구동부(130)의 헤드(132)에 구비되는 영구자석들(136)에 대응하는 영구자석(186)이 구비될 수 있으며, 상기 영구자석들(136,186)에 의해 발생되는 자기력에 의해 상기 이젝팅 유닛(180)과 상기 헤드(132)가 서로 결합될 수 있다. 또한 상기 이젝팅 핀들(182) 역시 상기 서포트 패널(184)에 구비되는 영구자석(186)의 자기력에 의해 상기 서포트 패널(184)에 결합될 수 있다.The support panel 184 may be provided with permanent magnets 186 corresponding to the permanent magnets 136 provided on the head 132 of the driving unit 130, as shown in the permanent magnets 136, 186 The ejecting unit 180 and the head 132 may be coupled to each other by a magnetic force generated by). In addition, the ejecting pins 182 may also be coupled to the support panel 184 by the magnetic force of the permanent magnet 186 provided on the support panel 184.

한편, 도 10에 도시된 바와 같이 상기 홀더(190)의 상부면에는 일자 또는 십자 형태의 식별 라인이 구비될 수 있으며, 상기 식별 라인은 상기 홀더(190)와 상기 이젝틱 유닛(180)의 교체 작업시 비전 모듈을 이용한 센터링 정렬을 위하여 사용될 수 있다. 특히, 상기 다이들(20)의 종류에 따라 복수의 세트들을 준비하는 과정에서 상기 식별 라인은 상기 이젝팅 핀들(182)이 삽입되는 위치를 설정하기 위하여 사용될 수 있다. 즉, 상기 세트들의 준비 과정에서 상기 이젝팅 유닛(180)은 상기 홀더(190) 내에 배치된 상태로 준비될 수 있으며, 이 과정에서 상기 식별 라인은 상기 이젝팅 핀들(182)이 상기 관통홀들(192A)에 삽입되는 위치를 설정하기 위하여 사용될 수 있다.On the other hand, as shown in Figure 10, the upper surface of the holder 190 may be provided with an identification line of the form of a straight or cross, the identification line is replaced of the holder 190 and the ejection unit 180 It can be used for centering alignment using vision modules at work. In particular, in the process of preparing a plurality of sets according to the type of the dies 20, the identification line may be used to set the position at which the ejecting pins 182 are inserted. That is, in the preparation of the sets, the ejecting unit 180 may be prepared in a state in which the ejecting unit 180 is disposed in the holder 190. In this process, the identification line may include the ejecting pins 182 in the through holes. It can be used to set the position to be inserted into 192A.

상기와 같이 이젝팅 핀들(182)이 미리 상기 홀더(190) 내에 설정된 위치에 삽입된 상태로 준비되므로 상기 홀더(190)와 이젝팅 유닛(180)의 교체에 소요되는 시간이 더욱 감소될 수 있다.As described above, since the ejecting pins 182 are prepared in a state of being inserted into the holder 190 in advance, the time required for replacing the holder 190 and the ejecting unit 180 may be further reduced. .

상술한 바와 같은 본 고안의 실시예들에 따르면, 다이싱 테이프(32)에 부착된 다이들(20)을 이젝팅하기 위한 장치(100)에 있어서 상기 장치(100)는 이젝팅 유닛(110)이 내장된 홀더(120)와 상기 이젝팅 유닛(110) 및 상기 홀더(120)에 각각 결합되는 구동부(130)와 본체(140)를 포함할 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, in the device 100 for ejecting the dies 20 attached to the dicing tape 32, the device 100 is an ejecting unit 110. The built-in holder 120 may include a driving unit 130 and a main body 140 coupled to the ejecting unit 110 and the holder 120, respectively.

상기 홀더(120)의 하부에 상기 본체(140)가 삽입될 수 있으며 상기 본체(140)의 상부에는 상기 본체(140)가 삽입되는 정도를 제한하기 위한 걸림턱(142)이 구비될 수 있다. 특히, 상기 걸림턱(142)에는 자기력을 이용하여 상기 홀더(120)와 상기 본체(140) 사이를 서로 결합하기 위한 영구자석(150)이 구비될 수 있다. 또한, 상기 이젝팅 유닛(110)과 상기 구동부(130) 사이의 결합 역시 자기력에 의해 이루어질 수 있다.The main body 140 may be inserted into the lower part of the holder 120, and a locking step 142 may be provided on the upper part of the main body 140 to limit the degree of insertion of the main body 140. In particular, the locking jaw 142 may be provided with a permanent magnet 150 for coupling between the holder 120 and the main body 140 using a magnetic force. In addition, coupling between the ejecting unit 110 and the driving unit 130 may also be made by a magnetic force.

상술한 바와 같이 상기 홀더(120)와 본체(140), 그리고 상기 이젝팅 유닛(110)과 상기 본체(130) 사이의 결합이 자기력에 의해 이루어지므로 상기 이젝팅 유닛(110)과 홀더(120)의 교체가 매우 간단하게 이루어질 수 있다. 또한 상기 정렬홈(128)과 정렬핀(144)을 이용하여 상기 이젝팅 유닛(110)과 홀더(120)의 회전각 정렬이 이루어질 수 있으므로, 상기 이젝팅 유닛(110)과 홀더(120)의 교체에 소요되는 시간이 크게 단축될 수 있다.As described above, since the coupling between the holder 120 and the main body 140 and the ejecting unit 110 and the main body 130 is made by a magnetic force, the ejecting unit 110 and the holder 120 are provided. The replacement of can be done very simply. In addition, since the rotation angle of the ejecting unit 110 and the holder 120 may be aligned using the alignment groove 128 and the alignment pin 144, the ejection unit 110 and the holder 120 may be aligned. The time required for replacement can be greatly shortened.

상기에서는 본 고안의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 실용신안등록청구의 범위에 기재된 본 고안의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 고안을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the following claims And changes may be made without departing from the spirit and scope of the invention.

10 : 웨이퍼 20 : 다이
100 : 다이 이젝팅 장치 110 : 이젝팅 유닛
112 : 공기 챔버 120 : 홀더
122 : 상부 패널 124 : 하우징
126 : 스토퍼 128 : 정렬홈
130 : 구동부 132 : 헤드
134 : 구동축 136 : 영구자석
140 : 본체 142 : 걸림턱
148 : 정렬핀 150 : 영구자석
170, 172 : 밀봉부재 180 : 이젝팅 유닛
182 : 이젝팅 핀 184 : 서포트 패널
186 : 영구자석 190 : 홀더
192 : 상부 패널 194 : 하우징10: wafer 20: die
100: die ejecting device 110: ejecting unit
112: air chamber 120: holder
122: upper panel 124: housing
126: stopper 128: alignment groove
130: drive unit 132: head
134: drive shaft 136: permanent magnet
140: main body 142: locking jaw
148: alignment pin 150: permanent magnet
170, 172: sealing member 180: ejecting unit
182: ejecting pin 184: support panel
186: permanent magnet 190: holder
192: top panel 194: housing

Claims (10)

복수의 다이들이 부착된 다이싱 테이프로부터 상기 다이들을 이젝팅하기 위한 다이 이젝팅 장치에 있어서,
상기 다이들 중 하나를 선택적으로 이젝팅하기 위하여 상기 선택된 다이를 상방으로 밀어올리기 위한 이젝팅 유닛;
상기 이젝팅 유닛을 수용하기 위한 내부 공간을 갖고, 상기 이젝팅 유닛이 수직 방향으로 이동 가능하도록 관통홀을 갖는 상부 패널과, 상기 상부 패널로부터 하방으로 연장하며 개방된 하부 및 상기 내부 공간에 수용된 이젝팅 유닛의 하방 이동을 제한하는 스토퍼가 구비된 내측면을 갖는 하우징을 포함하는 홀더;
상기 이젝팅 유닛과 결합되어 상기 이젝팅 유닛을 수직 방향으로 이동시키기 위한 구동부; 및
상기 홀더의 개방된 하부에 삽입되며 상기 구동부를 수용하는 본체를 포함하되,
상기 홀더와 상기 본체는 자기력에 의해 서로 결합되며,
상기 이젝팅 유닛은 상부가 개방된 공기 챔버를 구비하며, 상기 구동부에 의해 다이싱 테이프의 하부에 밀착되고 상기 선택된 다이를 밀어올리기 위하여 상기 홀더의 상부 패널로부터 돌출되도록 상승되며, 이어서 상기 공기 챔버에는 상기 이젝팅 유닛에 밀착된 다이싱 테이프를 부분적으로 밀어올리기 위하여 공기가 주입되는 것을 특징으로 하는 다이 이젝팅 장치.A die ejecting apparatus for ejecting the dies from a dicing tape to which a plurality of dies are attached,
An ejecting unit for pushing up the selected die upwards to selectively eject one of the dies;
An upper panel having an inner space for accommodating the ejecting unit, the upper panel having a through hole so that the ejecting unit is movable in a vertical direction, a lower portion extending downward from the upper panel, and held in the inner space; A holder including a housing having an inner surface with a stopper for limiting downward movement of the ejecting unit;
A driving unit coupled to the ejecting unit to move the ejecting unit in a vertical direction; And
A main body inserted into an open lower portion of the holder and accommodating the driving part,
The holder and the main body are coupled to each other by a magnetic force,
The ejecting unit has an air chamber with an open top, and is raised by the drive unit so as to protrude from the upper panel of the holder to be in close contact with the bottom of the dicing tape and to push up the selected die. And ejecting air to partially push up the dicing tape in close contact with the ejecting unit. 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 본체의 상부 외측면에는 상기 본체가 상기 홀더에 삽입되는 정도를 제한하기 위한 걸림턱이 구비되는 것을 특징으로 하는 다이 이젝팅 장치.According to claim 1, The upper outer surface of the main body die ejecting apparatus characterized in that the locking step for limiting the degree of insertion of the main body into the holder. 제3항에 있어서, 상기 본체의 걸림턱 또는 상기 걸림턱 아래에는 상기 자기력을 제공하기 위한 영구자석이 구비되는 것을 특징으로 하는 다이 이젝팅 장치.4. The die ejecting apparatus of claim 3, wherein a permanent magnet for providing the magnetic force is provided below the locking jaw or the locking jaw of the main body. 제1항에 있어서, 상기 이젝팅 유닛과 상기 구동부는 자기력에 의해 서로 결합되는 것을 특징으로 하는 다이 이젝팅 장치.The die ejecting apparatus of claim 1, wherein the ejecting unit and the driving unit are coupled to each other by a magnetic force. 제5항에 있어서, 상기 구동부는 상기 이젝팅 유닛과 결합되는 헤드를 포함하며, 상기 헤드에는 상기 이젝팅 유닛과의 결합을 위한 영구자석이 구비되는 것을 특징으로 하는 다이 이젝팅 장치.The die ejecting apparatus of claim 5, wherein the driving unit includes a head coupled to the ejecting unit, and the head includes a permanent magnet for coupling with the ejecting unit. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 상부 패널에는 상기 관통홀 주변에 위치되며 상기 다이싱 테이프를 흡착하기 위한 복수의 진공홀들이 구비되는 것을 특징으로 하는 다이 이젝팅 장치.The die ejecting apparatus of claim 1, wherein the upper panel includes a plurality of vacuum holes positioned around the through hole and configured to adsorb the dicing tape. 삭제delete
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