[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

KR200443051Y1 - Air-knife for drying substrate - Google Patents

Air-knife for drying substrate Download PDF

Info

Publication number
KR200443051Y1
KR200443051Y1 KR2020070012665U KR20070012665U KR200443051Y1 KR 200443051 Y1 KR200443051 Y1 KR 200443051Y1 KR 2020070012665 U KR2020070012665 U KR 2020070012665U KR 20070012665 U KR20070012665 U KR 20070012665U KR 200443051 Y1 KR200443051 Y1 KR 200443051Y1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
air
substrate
main body
body portion
knife
Prior art date
Application number
KR2020070012665U
Other languages
Korean (ko)
Inventor
임석택
Original Assignee
주식회사 케이씨텍
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 케이씨텍 filed Critical 주식회사 케이씨텍
Priority to KR2020070012665U priority Critical patent/KR200443051Y1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR200443051Y1 publication Critical patent/KR200443051Y1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
    • H01L21/67034—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for drying

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
  • Drying Of Solid Materials (AREA)

Abstract

본 고안은 세정작업을 거친 평판 디스플레이 기판 등을 건조하는 데에 사용되는 기판 건조용 에어 나이프에 관한 것이다.The present invention relates to an air knife for drying a substrate used to dry a flat panel display substrate or the like which has been cleaned.

본 고안은 에어 공급원과 연통되는 에어 공급로가 내부에 형성되어 있으며 경량 소재로 이루어진 본체부와, 상기 본체부와 별개로 이루어져 본체부의 하부에 기밀하게 결합되며 건조하고자 하는 기판의 표면에 대해 에어를 경사지게 분사하는 에어 분사부를 포함하여 이루어진 기판 건조용 에어 나이프를 개시한다.According to the present invention, an air supply path communicating with an air supply source is formed therein, and a main body portion made of a lightweight material, and separated from the main body portion, is airtightly coupled to the lower portion of the main body portion, and air Disclosed is a substrate drying air knife comprising an air jetting part for inclined jetting.

본 고안은 기판에 대한 처짐 현상이 방지되고 기판에 대한 경사각도를 용이하게 조절할 수 있으므로, 기판에 대한 건조 성능이 향상되는 효과가 있다.The present invention can prevent the deflection phenomenon to the substrate and can easily adjust the inclination angle to the substrate, there is an effect that the drying performance for the substrate is improved.

에어 나이프, 기판, 건조, 경량, 처짐 현상, 직진성, 에어 가이드 Air Knife, Substrate, Dry, Lightweight, Sag, Straightness, Air Guide

Description

기판 건조용 에어 나이프 {Air-knife for drying substrate}Air-knife for drying substrate

본 고안은 세정작업을 거친 평판 디스플레이 기판 등을 건조하는 데에 사용되는 기판 건조용 에어 나이프에 관한 것이다.The present invention relates to an air knife for drying a substrate used to dry a flat panel display substrate or the like which has been cleaned.

평판 디스플레이(Flat Panel Display : FPD)의 기판 등을 제조할 때에, 제반 공정을 거치는 과정에서 기판의 표면은 외부로부터 유입되는 이물질이나 기판 자체에서 발생하는 파티클 등의 오염물질에 의해 오염이 된다. 따라서, 기판 표면의 각종 오염물질을 제거하기 위하여 일부 제조공정의 전/후로 세정공정이 수행된다. 예를 들어, 세정공정은 약액처리공정과 린스공정으로 이루어지고, 이들 공정 후에 건조공정이 수행됨으로써 기판 표면의 잔류물이나 세정액이 제거된다.When manufacturing a substrate of a flat panel display (FPD), the surface of the substrate is contaminated by contaminants such as foreign substances introduced from the outside or particles generated from the substrate itself in the course of the various processes. Therefore, cleaning processes are performed before and after some manufacturing processes to remove various contaminants on the substrate surface. For example, the cleaning process includes a chemical liquid treatment process and a rinse process, and a drying process is performed after these processes to remove residues or cleaning liquid on the substrate surface.

일반적으로 건조공정에서는 기판의 표면에 건조공기(Clean Dry Air : CDA)를 가압 분사하는 에어 나이프가 이용되고 있다. 통상적인 에어 나이프는 기판의 상부와 하부 측에 각각 기판의 너비방향으로 설치되며, 특히 에어 나이프로부터 분사되는 압축공기의 분사방향이 기판의 이송방향과 반대쪽을 향하도록 경사지게 설치된 다.In general, in the drying process, an air knife that pressurizes and sprays dry air (CDA) onto a surface of a substrate is used. Conventional air knives are installed on the upper and lower sides of the substrate in the width direction of the substrate, respectively, and are inclined so that the spraying direction of compressed air ejected from the air knife is opposite to the conveying direction of the substrate.

한편, 디스플레이 제조기술의 발달로 인해 기판도 점점 대형화되는 추세에 있고, 이에 따라 기판의 세정 후 건조를 위한 에어 나이프의 크기도 점점 대형화 및 장축화되어 가고 있다.On the other hand, due to the development of display manufacturing technology, the substrate is also increasing in size, and accordingly, the size of the air knife for drying after cleaning the substrate is also becoming larger and longer.

첨부도면 도 1은 종래 에어 나이프의 설치 상태를 나타낸 사시도로서, 그 구성을 살펴보면 다음과 같다. 에어 나이프(1,2)는 이송롤러(R)에 의해 이송되는 기판(S)의 상측면과 하측면 쪽에 각각 한 쌍이 대칭을 이루도록 설치된다. 특히, 에어 나이프의 본체(1a,2a)는 내식성이 우수한 스테인리스강으로 이루어지는 것이 일반적이고, 기판(S)의 이송방향에 대해 반대쪽을 향하도록 경사지게 배치되는데, 그 경사각은 기판(S)의 상·하면에 대해 각각 대략 60°를 이루고 있다. 또, 에어 나이프의 본체(1a,2a)는 에어 공급원(도시되지 않음)과 연결된 에어 공급관(1b,2b)으로부터 여러 개의 공급포트(1c,2c)를 통해 에어를 공급받게 된다.1 is a perspective view showing an installation state of a conventional air knife, looking at the configuration as follows. Air knives (1, 2) are installed so that the pair is symmetrical on the upper side and the lower side of the substrate (S) to be transferred by the transfer roller (R), respectively. In particular, the main body (1a, 2a) of the air knife is generally made of stainless steel excellent in corrosion resistance, it is disposed to be inclined so as to face the opposite direction to the conveying direction of the substrate (S), the inclination angle of the substrate (S) Each is approximately 60 ° with respect to the lower surface. In addition, the main body 1a, 2a of the air knife receives air through several supply ports 1c, 2c from the air supply pipes 1b, 2b connected with the air supply source (not shown).

위와 같이 구성된 종래의 에어 나이프는 그 본체(1a,2a)가 기판(S)에 대해 60°가량 경사지게 설치되는데다가 중량이 큰 스테인리스강과 같은 재질로 이루어져 있기 때문에, 에어 나이프 본체(1a,2a)가 아래쪽으로 처지는 문제가 발생한다. 더욱이, 상측 에어 나이프 본체(1a)가 아래쪽으로 처졌을 때, 이송 중인 기판(S)의 표면에 부딪혀 기판(S)을 파손시키는 문제가 유발된다. 또한, 에어 나이프 본체(1a,2a)의 처짐 현상으로 인해 기판(S)의 표면에 대한 에어의 압력차가 발생하여 기판(S)의 표면이 균일하게 건조되지 못하는 문제도 발생하고 있다. 한편, 종래의 에어 나이프(1,2)에는 에어 나이프 본체(1a,2a)와 연결되는 분기관 형태의 배관 인 공급포트(1c,2c)가 과다하게 구비되어 있다. 이 때문에, 에어 나이프(1,2)의 에어 분사각도를 조절하고자 할 경우 본체(1a,2a)를 움직이는 데에 많은 어려움이 따르고 있다.In the conventional air knife configured as described above, since the main bodies 1a and 2a are installed at an inclination of about 60 ° with respect to the substrate S and are made of a material such as stainless steel having a large weight, the air knife main bodies 1a and 2a are There is a problem of sagging downwards. Moreover, when the upper air knife main body 1a sags downward, the problem which hits the surface of the board | substrate S in conveyance and damages the board | substrate S is caused. In addition, due to deflection of the air knife bodies 1a and 2a, a pressure difference of air with respect to the surface of the substrate S is generated, and thus the surface of the substrate S may not be uniformly dried. On the other hand, the conventional air knives 1 and 2 are provided with excessively supply ports 1c and 2c which are pipes in the form of branch pipes connected to the air knife bodies 1a and 2a. For this reason, when trying to adjust the air blowing angle of the air knives 1 and 2, there are many difficulties in moving the main bodies 1a and 2a.

본 고안은 전술한 바와 같은 종래의 문제점을 개선하기 위해 안출된 것으로서, 그 목적은, 에어 나이프 본체의 처짐 현상을 방지함으로써 기판의 손상 없이 기판의 표면을 균일하게 건조할 수 있으며, 에어의 분사각도를 용이하게 조절할 수 있는 기판 건조용 에어 나이프를 제공하는 데에 있다.The present invention has been made to improve the conventional problems as described above, the object is to prevent the deflection phenomenon of the air knife body, it is possible to dry the surface of the substrate uniformly without damaging the substrate, the spray angle of air It is to provide an air knife for drying the substrate that can be easily adjusted.

본 고안은, 에어 공급원과 연통되는 에어 공급로가 내부에 형성되어 있으며 경량 소재로 이루어진 본체부와, 상기 본체부와 별개로 이루어져 본체부의 하부에 기밀하게 결합되며 건조하고자 하는 기판의 표면에 대해 에어를 경사지게 분사하는 에어 분사부를 포함하여 이루어진 기판 건조용 에어 나이프를 개시한다.According to the present invention, an air supply passage communicating with an air supply source is formed therein, and a main body portion made of a lightweight material, and separated from the main body portion, is airtightly coupled to the lower portion of the main body portion, and air Disclosed is a substrate drying air knife comprising an air ejecting portion for injecting obliquely.

여기서, 상기 기판의 표면에 대해, 상기 본체부는 수직으로 배치되고, 상기 에어 분사부는 경사지게 배치되는 구조로 이루어질 수 있다. 또는, 상기 기판의 표면에 대해 상기 본체부와 에어 분사부가 수직으로 배치되고, 상기 에어 분사부로부터 기판의 표면에 에어가 경사지게 분사되는 구조로 이루어질 수도 있다.Here, the main body portion may be vertically disposed with respect to the surface of the substrate, and the air jetting portion may be inclinedly disposed. Alternatively, the main body portion and the air jetting portion may be vertically disposed with respect to the surface of the substrate, and the air may be inclined from the air jetting portion to the surface of the substrate.

그리고, 상기 본체부의 양측에 에어 공급포트가 설치되어 이 에어 공급포트를 통해 상기 에어 공급로의 양 사이드로 에어가 공급되는 구성이 개시될 수 있다.And, the air supply port is provided on both sides of the main body portion may be a configuration in which air is supplied to both sides of the air supply path through the air supply port.

또, 상기 에어 분사부에는 상기 기판의 표면을 향해 분사된 에어가 기판의 표면과 평행하게 직진하도록 에어의 흐름을 유도하는 에어 가이드부가 구비될 수 있다.In addition, the air injection unit may be provided with an air guide unit for inducing the flow of air so that the air injected toward the surface of the substrate is in parallel with the surface of the substrate.

본 고안에 따른 기판 건조용 에어 나이프는 건조하고자 하는 기판에 대해 어느 한쪽으로 처지지 않게 되므로, 건조작업 중 기판을 손상시키는 문제를 일으키지 않으며, 기판의 표면을 균일하게 건조할 수 있게 된다. 더욱이, 에어 분사부에 에어 가이드부가 설치된 경우, 에어 분사부로부터 분사되는 에어의 직진성을 확보할 수 있으므로 기판의 균일한 건조 효과는 보다 더 향상된다.Since the air knife for drying the substrate according to the present invention does not sag to one side of the substrate to be dried, it does not cause a problem of damaging the substrate during the drying operation, it is possible to uniformly dry the surface of the substrate. Moreover, when the air guide part is provided in the air injection part, since the straightness of the air injected from the air injection part can be ensured, the uniform drying effect of a board | substrate improves further.

또한, 본 고안에 따른 기판 건조용 에어 나이프는 분기관 형태의 에어 공급포트가 배제된 구조에서 본체부의 각도 조정에 의해 기판에 대한 에어의 분사각도를 용이하게 조절할 수 있으므로, 기판 건조 성능의 향상을 도모할 수 있는 효과가 있다.In addition, the substrate drying air knife according to the present invention can easily adjust the spray angle of the air to the substrate by adjusting the angle of the body portion in a structure in which the branch supply type air supply port is excluded, thereby improving the substrate drying performance There is an effect that can be planned.

또, 본 고안에 따른 기판 건조용 에어 나이프는 본체부와 에어 분사부가 별개의 요소로 이루어져 결합되는 구조를 가지므로, 유지보수가 필요한 경우에는 해당 부분을 분리하여 작업할 수 있어 유지보수성이 향상되는 효과가 있다.In addition, since the substrate drying air knife according to the present invention has a structure in which the main body portion and the air jetting portion are composed of separate elements and are combined, when maintenance is required, the parts can be separated and operated to improve maintenance. It works.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 그러나, 이하의 실시예는 이 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 고안이 충분히 이해되도록 제공되는 것으로서 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있 으며, 본 고안의 범위가 다음에 기술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention. However, the following embodiments are provided to those skilled in the art to fully understand the present invention can be modified in various forms, the scope of the present invention to the embodiments described below It is not limited.

도 2는 본 고안에 따른 에어 나이프의 실시예를 나타낸 분리사시도이고, 도 1은 도 2의 에어 나이프에 대한 설치 상태를 개략적으로 나타낸 도면이다. 이들 도면에 나타난 바와 같이, 본 실시예의 에어 나이프는 별개의 요소로 이루어진 본체부(10)와 에어 분사부(20)를 포함하고 있으며, 본체부(10)와 에어 분사부(20)의 사이에는 기밀을 유지하기 위한 개스킷(30)이 개재된다.2 is an exploded perspective view showing an embodiment of an air knife according to the present invention, Figure 1 is a view schematically showing the installation state for the air knife of FIG. As shown in these figures, the air knife of this embodiment includes a main body portion 10 and an air jetting portion 20, which are composed of separate elements, between the main body portion 10 and the air jetting portion 20. A gasket 30 for interleaving is interposed.

상기 본체부(10)는 건조하고자 하는 기판(S)의 폭방향에 상응하는 좌우 길이를 가지며, 이 좌우 길이를 따라 내부에는 에어 공급로(11)가 형성되어 있다. 에어 공급로(11)는 에어 공급원(도시되지 않음)과 연통됨으로써 에어 공급원으로부터 에어를 공급받게 된다. 특히, 에어 공급원으로부터 에어 공급로(11)를 연결하는 에어 공급포트(50)가 본체부(10)의 상측이나 측부에 구비될 수 있는데, 본 실시예에서는 본체부(10)의 양측에 구비됨으로써 본체부(10)의 양 사이드로 에어가 공급되는 구조로 개시되어 있다. 이와 같은 본 실시예의 에어 공급포트(50)는, 종래에 에어 공급포트가 분기관 형태로 과다하게 구비되던 경우에 비하여 그 구조가 매우 간소화됨으로써, 에어 분사 각도의 조절이 매우 용이하게 되고, 원가절감의 효과를 볼 수 있다. 본체부(10)의 저면부에는 상기 에어 분사부(20)가 결합될 수 있도록 결합홈(12)이 형성됨과 아울러, 볼트와 같은 체결구(40)가 삽입되는 체결홈(도시 안됨)이 구비되어 있다. 이러한 본체부(10)는 알루미늄과 같이 중량이 가벼운 경량 소재로 이루어진다. 또, 본체부(10)는 기판(S)의 표면에 대해 수직으로 배치됨으로써 하중이 어느 한쪽으로 쏠리지 않게 된다. The main body 10 has a left and right length corresponding to the width direction of the substrate S to be dried, and an air supply path 11 is formed therein along the left and right lengths. The air supply passage 11 communicates with an air supply source (not shown) to receive air from the air supply source. In particular, the air supply port 50 for connecting the air supply path 11 from the air supply source may be provided on the upper side or the side of the main body 10, in this embodiment is provided on both sides of the main body 10 Disclosed is a structure in which air is supplied to both sides of the main body portion 10. The air supply port 50 of this embodiment has a very simple structure compared to the case where the air supply port is conventionally provided in the form of a branch pipe, and thus the air injection angle is very easily adjusted, and the cost is reduced. You can see the effect. A coupling groove 12 is formed at the bottom of the main body 10 to allow the air injection unit 20 to be coupled thereto, and a coupling groove (not shown) into which a fastener 40 such as a bolt is inserted is provided. It is. The body portion 10 is made of a lightweight material, such as aluminum, light weight. In addition, the main body portion 10 is disposed perpendicular to the surface of the substrate S so that the load is not swayed to either side.

상기 에어 분사부(20)는 본체부(10)의 에어 공급로(11)와 연통되는 슬릿(21)을 가진 구조로 이루어져 있다. 이 슬릿(21)은 건조하고자 하는 기판(S)의 표면을 향하게 된다. 특히, 슬릿(21)은 기판의 진행방향에 대해 역방향을 향하면서 기판(S)의 건조완료된 표면을 기준으로 대략 60°의 경사를 이루도록 형성되어 있다. 따라서, 건조작업의 진행시 기판(S)의 건조완료된 표면으로 오염물질이 전이되는 것을 방지할 수 있게 된다. 에어 분사부(20)의 상측면에는, 앞서 언급한 바와 같이, 본체부(10)의 하부에 기밀하게 결합될 수 있도록 본체부(10)의 저면에 구비된 결합홈(12)에 안치된 상태에서 체결구(40)로 체결되기 위한 플랜지(22)와 체결공(23)들이 형성되어 있다. 에어 분사부(20)는 슬릿(21)의 손상을 방지하려면 높은 내식성이 요구되므로 스테인리스강(예를 들면, SUS304)과 같은 내식성 소재로 이루어지는 것이 바람직하다.The air injection unit 20 has a structure having a slit 21 in communication with the air supply passage 11 of the main body unit 10. This slit 21 faces the surface of the substrate S to be dried. In particular, the slits 21 are formed to have an inclination of approximately 60 ° with respect to the dried surface of the substrate S while facing in the opposite direction to the traveling direction of the substrate. Therefore, it is possible to prevent the transfer of contaminants to the dried surface of the substrate (S) during the drying operation. On the upper side of the air injection unit 20, as mentioned above, the state settled in the coupling groove 12 provided on the bottom surface of the main body portion 10 so as to be hermetically coupled to the lower portion of the main body portion 10 In the flange 22 and the fastening holes 23 for fastening to the fastener 40 is formed. The air injection unit 20 is preferably made of a corrosion resistant material such as stainless steel (for example, SUS304) because high corrosion resistance is required to prevent damage of the slit 21.

위와 같은 구성에 따라, 에어 공급원으로부터 본체부(10)의 에어 공급로(11)로 공급된 압축공기는 에어 분사부(20)의 슬릿(21)을 통해 기판(S)의 표면을 향해 분사됨으로써 기판(S)의 건조가 이루어지게 된다. 이때, 이송롤러(R)에 의해 이송되는 기판(S)의 이송방향에 대하여 에어 분사부(20)가 역방향으로 60°정도 경사지게 배치되어 있으므로, 기판(S)의 건조완료된 면은 에어 분사에 따른 오염물질의 비산 등으로 인해 재차 오염되지는 않는다.According to the configuration as described above, the compressed air supplied from the air supply source to the air supply path 11 of the main body 10 is injected toward the surface of the substrate S through the slit 21 of the air injection unit 20 The substrate S is dried. At this time, since the air injection unit 20 is inclined about 60 ° in the reverse direction with respect to the transfer direction of the substrate S to be transferred by the transfer roller R, the dried surface of the substrate S is It is not contaminated again due to the scattering of pollutants.

한편, 전술한 바와 같이, 본 고안의 에어 나이프는 본체부(10)와 에어 분사 부(20)가 별개의 요소로 이루어지므로, 그 소재 또한 서로 다른 재질로 구성하기가 용이해진다. 예를 들어, 앞에서도 언급한 바와 같이 본체부(10)를 알루미늄과 같은 경량의 소재로 하고, 에어 분사부(20)는 내식성이 우수한 스테인리스강으로 하면, 에어 나이프의 전체 중량을 종래 보다 크게 저감할 수 있기 때문에, 에어 분사부(20)의 하중에 의한 처짐현상이 미연에 방지된다. 따라서, 기판(S) 건조시에 기판(S)의 손상 없이 기판(S)의 표면을 균일하게 건조할 수 있다.On the other hand, as described above, the air knife of the present invention is made of a separate element of the main body portion 10 and the air injection portion 20, the material is also easy to be composed of different materials. For example, as mentioned above, when the main body 10 is made of a lightweight material such as aluminum, and the air injection unit 20 is made of stainless steel having excellent corrosion resistance, the overall weight of the air knife is greatly reduced than before. Therefore, deflection due to the load of the air jetting portion 20 can be prevented in advance. Therefore, the surface of the board | substrate S can be dried uniformly, without damaging the board | substrate S at the time of drying the board | substrate S. FIG.

또, 종래 기술에서 개시되던 분기관 구조의 에어 공급포트를 대신하여 에어 나이프의 본체부(10) 내에 자체적으로 형성된 에어 공급로(11)가 본체부(10)의 양측에 설치되는 에어 공급포트(50)를 통해 에어 공급원과 연결되기 때문에, 필요한 경우 본체부(10) 자체를 움직임으로써 에어의 분사각도를 용이하게 조절할 수가 있다.In addition, instead of the air supply port of the branch pipe structure disclosed in the prior art, the air supply port 11 which is formed in the main body 10 of the air knife itself is provided on both sides of the main body 10 ( Since it is connected to the air supply through 50, it is possible to easily adjust the injection angle of the air by moving the body portion 10 itself if necessary.

다음으로, 도 4는 본 고안의 다른 실시예를 나타내고 있는데, 전술한 실시예와 동일한 부위에는 동일한 부호가 부여되어 있으며, 편의상 기판(S)의 상측에만 에어 나이프가 도시되어 있다.Next, Figure 4 shows another embodiment of the present invention, the same reference numerals are given to the same parts as the above-described embodiment, for convenience, the air knife is shown only on the upper side of the substrate (S).

본 실시예 역시 본체부(10)와 에어 분사부(20)가 별개의 요소로서 구비되어 결합되며, 각각의 구체적인 구성들은 전술한 실시예와 동일하되, 에어 분사부(20)로부터 분사되는 에어의 직진성을 확보하기 위한 수단이 더 개시되어 있다.The present embodiment is also provided with a main body 10 and the air injection unit 20 as a separate element, combined, each of the specific configuration is the same as the above-described embodiment, of the air injected from the air injection unit 20 Further means for securing straightness is disclosed.

즉, 에어 분사부(20)에는 저면부가 기판(S)의 표면과 평행한 구조로 이루어져 에어의 흐름을 유도하는 에어 가이드부(24)가 구비되어 있다. 이에 따라, 에어 분사부(20)의 슬릿(21)으로부터 기판(S)의 표면을 향해 분사된 에어가 에어 가이드부(24)와 기판(S) 표면 사이를 평행하게 직진하면서 통과함으로써 기판(S)의 표면을 균일하게 건조하게 된다. 이러한 에어 가이드부(24)는 기판(S)의 도입측에서 에어 분사부(20)에 일체로 형성되거나, 별개의 부품으로서 에어 분사부(20)에 결합되는 구조로 이루어질 수 있다.That is, the air jetting part 20 is provided with an air guide part 24 having a bottom portion parallel to the surface of the substrate S to guide the flow of air. Accordingly, the air jetted from the slit 21 of the air jetting portion 20 toward the surface of the substrate S passes through the air guide portion 24 and the surface of the substrate S while going straight in parallel to the substrate S. The surface of) is uniformly dried. The air guide part 24 may be formed integrally with the air jetting unit 20 at the introduction side of the substrate S, or may be configured to be coupled to the air jetting unit 20 as a separate component.

한편, 도 5는 본 고안의 또 다른 실시예를 나타내고 있는데, 본 실시예는 본체부(10')에 결합되는 에어 분사부(20')가 본체부(10')로부터 기판(S)의 표면을 향하여 수직으로 배치되되, 에어 분사부(20')에 형성되어 있는 슬릿(21')의 선단부만이 기판(S)에 대해 경사를 이루고 있는 데에 특징이 있다. 즉, 슬릿(21')은 기판(S)의 진행방향에 대해 역방향을 향하면서 기판(S)의 건조 완료된 표면을 기준으로 대략 60°의 경사를 이루도록 형성됨으로써, 기판(S)의 표면에 대해 에어가 경사지게 분사되는 것이다. 이 외의 구성은 전술한 실시예에 준하므로 이하 상세한 설명은 생략한다.Meanwhile, FIG. 5 shows another embodiment of the present invention. In this embodiment, the air jetting portion 20 'coupled to the main body portion 10' has a surface of the substrate S from the main body portion 10 '. It is arranged vertically toward the, characterized in that only the tip portion of the slit (21 ') formed in the air injection portion 20' is inclined with respect to the substrate (S). That is, the slits 21 ′ are formed to be inclined at approximately 60 ° with respect to the dried surface of the substrate S while facing in the reverse direction with respect to the advancing direction of the substrate S, and thus, relative to the surface of the substrate S. The air is injected obliquely. Since other configurations are based on the above-described embodiment, detailed description thereof will be omitted below.

이상에서는 본 고안을 바람직한 실시예에 의거하여 설명하였으나, 본 고안은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 고안의 기술적 사상의 범위 내에서 이 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.In the above described the present invention based on the preferred embodiment, the present invention is not limited to the above embodiment, various modifications by those skilled in the art within the scope of the technical idea of the present invention This is possible.

도 1은 종래 에어 나이프의 설치 상태를 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view showing an installation state of a conventional air knife.

도 2는 본 고안에 따른 에어 나이프의 실시예를 나타낸 분리사시도이다.Figure 2 is an exploded perspective view showing an embodiment of an air knife according to the present invention.

도 3은 도 2의 에어 나이프에 대한 설치 상태를 개략적으로 나타낸 도면이다.3 is a view schematically showing an installation state for the air knife of FIG.

도 4는 본 고안의 다른 실시예에 대한 도면이다.4 is a view of another embodiment of the present invention.

도 5는 본 고안의 또 다른 실시예를 나타낸 도면이다.5 is a view showing another embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for main parts of the drawings>

10,10' : 본체부 11 : 에어 공급로10,10 ': main body 11: air supply passage

12 : 결합홈 20,20' : 에어 분사부12: coupling groove 20,20 ': air injection unit

21,21' : 슬릿 22 : 플랜지21,21 ': Slit 22: Flange

23 : 체결공 24 : 에어 가이드부23: fastening hole 24: air guide

30 : 개스킷 40 : 체결구30: gasket 40: fastener

50 : 에어 공급포트 R : 이송롤러50: air supply port R: feed roller

S : 기판S: Substrate

Claims (5)

에어 공급원과 연통되는 에어 공급로가 내부에 형성되어 있으며 경량 소재로 이루어진 본체부; 및 상기 본체부와 별개로 이루어져 본체부의 하부에 기밀하게 결합되며 건조하고자 하는 기판의 표면에 에어를 경사지게 분사하는 에어 분사부를 포함하고,An air supply passage communicating with the air supply source and formed therein, the body portion being made of a lightweight material; And an air injection unit which is formed separately from the main body unit and is hermetically coupled to the lower part of the main body unit, and injects the air to the surface of the substrate to be dried at an angle. 상기 본체부의 양측에 에어 공급포트가 설치되어 이 에어 공급포트를 통해 상기 에어 공급로의 양 사이드로 에어가 공급되는 기판 건조용 에어 나이프.Air supply port is provided on both sides of the main body portion substrate air drying knife for supplying air to both sides of the air supply path through the air supply port. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기판의 표면에 대해, 상기 본체부는 수직으로 배치되고, 상기 에어 분사부는 경사지게 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 건조용 에어 나이프.And the main body portion is disposed vertically with respect to the surface of the substrate, and the air blowing portion is disposed to be inclined. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기판의 표면에 대해 상기 본체부와 에어 분사부가 수직으로 배치되고, 상기 에어 분사부로부터 기판의 표면에 에어가 경사지게 분사되는 것을 특징으로 하는 기판 건조용 에어 나이프.And a main body portion and an air jetting portion perpendicular to the surface of the substrate, wherein air is inclinedly injected from the air jetting portion to the surface of the substrate. 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 에어 분사부에는 상기 기판의 표면을 향해 분사된 에어가 기판의 표면과 평행하게 직진하도록 에어의 흐름을 유도하는 에어 가이드부가 구비된 것을 특징으로 하는 기판 건조용 에어 나이프.The air blowing unit is a substrate drying air knife, characterized in that the air guide portion for inducing the flow of air so that the air injected toward the surface of the substrate is parallel to the surface of the substrate.
KR2020070012665U 2007-07-27 2007-07-27 Air-knife for drying substrate KR200443051Y1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2020070012665U KR200443051Y1 (en) 2007-07-27 2007-07-27 Air-knife for drying substrate

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2020070012665U KR200443051Y1 (en) 2007-07-27 2007-07-27 Air-knife for drying substrate

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR200443051Y1 true KR200443051Y1 (en) 2009-01-07

Family

ID=44480019

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR2020070012665U KR200443051Y1 (en) 2007-07-27 2007-07-27 Air-knife for drying substrate

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR200443051Y1 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101992154A (en) * 2009-08-24 2011-03-30 显示器生产服务株式会社 Fluid spraying apparatus
KR101071954B1 (en) * 2009-03-05 2011-10-10 (주) 디바이스이엔지 Drying apparatus for flat display
KR101410482B1 (en) * 2012-12-27 2014-06-27 주식회사 포스코 Air knife for refining magnetic domain of oriented electrical steel steet and apparatus for refining magnetic domain using the same

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101071954B1 (en) * 2009-03-05 2011-10-10 (주) 디바이스이엔지 Drying apparatus for flat display
CN101992154A (en) * 2009-08-24 2011-03-30 显示器生产服务株式会社 Fluid spraying apparatus
KR101410482B1 (en) * 2012-12-27 2014-06-27 주식회사 포스코 Air knife for refining magnetic domain of oriented electrical steel steet and apparatus for refining magnetic domain using the same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101737124B1 (en) Slit nozzle cleaning apparatus and coating apparatus
KR20080090070A (en) Air knife and apparatus drying substrates having the same
JP2009148699A (en) Substrate treatment device
JP2015192141A (en) Substrate drying apparatus and substrate drying method
KR200443051Y1 (en) Air-knife for drying substrate
KR100819714B1 (en) Dry apparatus for large area substrate and method thereof
TWI227035B (en) Substrate processing device of transporting type
KR100938639B1 (en) Drying device
KR101187882B1 (en) Apparatus to dry glass substrate
KR100762371B1 (en) A glass dryness air knife
KR100691473B1 (en) Air knife module for drying substrate and drying device using thereof
JP3901635B2 (en) Acid treatment equipment for plate materials
KR20110020507A (en) Apparatus for jetting fluid
JP2009279477A (en) Apparatus for removing treatment liquid, apparatus for treating substrate, and method of setting up nozzle gap
KR100969359B1 (en) Apparatus for jetting fluid
CN104668217A (en) Substrate processing apparatus
KR200305052Y1 (en) Slit Type Device Nozzle for Jetting Fluid
KR100684048B1 (en) Apparatus for jetting fluid
CN109843822A (en) The manufacturing method of glass substrate
KR102223760B1 (en) Unit for suppying fluid and substrate processing apparatus using the same
KR20090116915A (en) Roller unit and apparatus for processing a glass including the same
KR19980060366U (en) Air Knife Cleaning / Drying Equipment
KR101145851B1 (en) Jet nozzle for washing substrate
KR20080062350A (en) Apparatus for cleaning substrate
KR102351696B1 (en) Substrate cleaning apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
REGI Registration of establishment
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121011

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130910

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151023

Year of fee payment: 8

EXPY Expiration of term