KR20040106058A - Organic electro luminescence display and method for fabricating the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 유기 전계 발광 표시 장치 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 유기 전계 발광 표시 장치의 캐소드 콘택 및 봉지 접합부에 제거 보조막을 형성하여 접합 부위의 고분자 유기막을 보다 쉽게 제거하는 유기 전계 발광 표시 장치 및 그의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic electroluminescent display and a method of manufacturing the organic electroluminescent display, and more particularly, to an organic electroluminescence which more easily removes a polymer organic layer at a junction by forming a removal auxiliary layer at a cathode contact and an encapsulation junction of an organic electroluminescent display. A display device and a method of manufacturing the same.
유기 전계 발광 표시 장치에 있어서, 유기 전계 발광층으로 고분자 물질을 사용하는 경우에는 일반적으로 기판 상에 스핀 코팅을 통하여 유기 전계 발광층을 형성한다. 그러나, 스핀 코팅을 통하여 유기 전계 발광층을 형성하는 경우, 화소부 이외의 영역에도 유기막이 형성된다. 따라서, 유기 전계 발광 표시 장치의 내부 구조를 봉지하기 위하여 봉지접합부의 유기막을 제거할 필요가 있다.In the organic electroluminescent display device, when a polymer material is used as the organic electroluminescent layer, the organic electroluminescent layer is generally formed on the substrate through spin coating. However, when the organic electroluminescent layer is formed through spin coating, the organic film is formed in regions other than the pixel portion. Therefore, in order to seal the internal structure of the organic light emitting display device, it is necessary to remove the organic layer of the encapsulation junction.
종래의 경우, 봉지접합부의 유기막을 제거하기 위하여 유기 용매를 이용한 세정공정을 실시하였으나, 상기 세정 공정은 정밀도가 떨어지고 유기 용매가 침투하여 화소부 등에 손상을 입힐 가능성이 매우 크다.In the related art, a cleaning process using an organic solvent was performed to remove the organic film of the encapsulation junction. However, the cleaning process is less accurate, and the organic solvent penetrates and is highly likely to damage the pixel portion.
이러한 문제점을 해결하기 위하여, 레이저를 사용하여 기판 상의 이물질을 제거하는 방법이 사용된다. 한국 공개 특허 2000-0036020에는 레이저를 사용하여 기판 표면의 이물질을 제거하는 방법이 개시되어 있다. 상기 레이저를 이용한 이물질의 제거 방법은 UV 레이저를 기판의 표면에 직접 조사하여 기판 상의 유기 또는 무기 이물질을 제거하는 방법이다.To solve this problem, a method of removing foreign matter on a substrate using a laser is used. Korean Laid-Open Patent Publication No. 2000-0036020 discloses a method for removing foreign substances on the surface of a substrate using a laser. The foreign material removal method using the laser is a method of removing organic or inorganic foreign matter on the substrate by irradiating the UV laser directly on the surface of the substrate.
그러나, 종래의 기판의 경우 봉지 접합부는 유리 기판 상에 금속 배선과 패시배이션막(passivation layer)이 적층되는 것이 보통이다. 그러나 상기 패시배이션막의 레이저 에너지 흡수율이 작아 유기막이 잘 제거되지 않는다.However, in the case of the conventional board | substrate, it is common for the sealing junction part to laminate | stack a metal wiring and a passivation layer on a glass substrate. However, the laser energy absorption rate of the passivation film is small, so that the organic film is hardly removed.
도 1을 참조하면, 종래의 레이저를 사용하여 기판 상의 이물질을 제거하는 방법은 레이저의 펄스 수가 증가함에 따라 선형적으로 깍이지 않고 남아 있은 유기막의 두께가 얇을수록 깎이는 정도가 줄어들어 잔류물이 없이 완전히 제거하는데 많은 에너지가 필요함을 알 수 있다.Referring to FIG. 1, in the method of removing foreign matter on a substrate using a conventional laser, as the number of pulses of the laser increases, the thinner the thickness of the remaining organic film is reduced, the less the amount of shaving is reduced, and thus no residue is left. It can be seen that a large amount of energy is required for removal.
따라서, 종래의 레이저에 의한 이물질의 제거 방법은 기판에 손상을 입힐 수 있으며, 제거 효과에 비하여 많은 에너지를 소비하는 문제점이 있다.Therefore, the conventional method of removing foreign matters by the laser may damage the substrate, and consumes a lot of energy compared to the removal effect.
본 발명의 목적은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명은 봉지 접합부에 레이저 에너지를 잘 흡수하면서 자신은 손상을 입지 않는 유기막을 제거하기 위한 보조막을 형성시켜 낮은 에너지로 유기막을 제거할 수 있는 유기 전계 발광 표시 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, the present invention forms an auxiliary film for removing the organic film that does not damage itself while absorbing the laser energy well in the sealing junction to remove the organic film with low energy An object of the present invention is to provide an organic electroluminescent display device.
도 1은 종래의 봉지 접합부의 잔류 유기막과 레이저의 관계를 나타내는 그래프.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The graph which shows the relationship between the residual organic film and a laser of the conventional sealing junction part.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치를 나타내는 평면도.2 is a plan view illustrating an organic light emitting display device according to a preferred embodiment of the present invention.
도 3a 내지 도 3d는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치의 공정 단면도.3A to 3D are cross-sectional views of an organic light emitting display device according to a preferred embodiment of the present invention.
도 4는 본 발명의 봉지 접합부의 잔류 유기막과 레이저의 관계를 나타내는 그래프.4 is a graph showing the relationship between the residual organic film and the laser of the sealing junction of the present invention.
(도면의 주요 부위에 대한 부호의 설명)(Explanation of symbols for main parts of drawing)
100: 하부 절연 기판 110; 애노드 전극100: lower insulating substrate 110; Anode electrode
120, 130; 보조막 140; 화소 정의막120, 130; Auxiliary membrane 140; Pixel Definition Film
150; 유기 전계 발광층 160; 캐소드 전극150; An organic electroluminescent layer 160; Cathode electrode
170; 봉지 접착제 180; 상부 절연 기판170; Sealing adhesive 180; Upper insulation board
A; 캐소드 콘택 B; 봉지 접합부A; Cathode contact B; Bag joint
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 하부 절연 기판 상에 형성된 애노드 전극과; 상기 하부 절연 기판 전면에 걸쳐 상기 애노드 전극의 일부가 개구되도록 형성된 화소 정의막과; 상기 애노드 전극의 개구부에 형성된 유기 발광층과; 상기 유기 발광층 상에 형성된 캐소드 전극과; 상기 애노드 전극, 유기 발광층, 캐소드 전극을 봉지시켜 주기 위한 상부 절연 기판을 포함하며, 상기 하부 절연 기판의 캐소드 콘택 및 봉지 접합부에 형성된 보조막을 포함하는 유기 전계 발광 표시 장치를 제공하는 것을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object is an anode electrode formed on the lower insulating substrate; A pixel defining layer formed to open a portion of the anode electrode over an entire surface of the lower insulating substrate; An organic light emitting layer formed in the opening of the anode electrode; A cathode electrode formed on the organic light emitting layer; And an upper insulating substrate for encapsulating the anode electrode, the organic light emitting layer, and the cathode electrode, and including an auxiliary layer formed on the cathode contact and the encapsulation junction of the lower insulating substrate.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 보조막은 캐소드 콘택 및 봉지 접합부에 형성된 유기막을 제거하기 위한 보조막인 것이 바람직하며, ITO, IZO 또는 ICO로 이루어진 애노드 전극과 동일한 물질로 이루어지거나, 아크릴계 포토레지스트 또는 폴리이미드로 이루어진 화소 정의막과 동일한 물질로 이루어지는 것이 바람직하다.In an embodiment of the present invention, the auxiliary film is preferably an auxiliary film for removing the organic film formed on the cathode contact and the encapsulation junction, it is made of the same material as the anode electrode made of ITO, IZO or ICO, or an acrylic photoresist or It is preferable that it is made of the same material as the pixel defining layer made of polyimide.
또는, 상기 보조막은 유기막의 제거에 사용하는 레이저 파장에서 흡수율이 상기 유기막에 비하여 큰 물질로 이루어지거나, 유기막에 비하여 제거에 필요한 레이저 에너지 밀도가 큰 물질로 이루어지는 것이 바람직하다.Alternatively, the auxiliary film is preferably made of a material having a higher absorption rate than the organic film at a laser wavelength used for removing the organic film, or a material having a higher laser energy density for removal than the organic film.
또한, 본 발명은 하부 절연 기판 상에 애노드 전극을 형성하는 단계와; 상기 하부 절연 기판 전면에 걸쳐 상기 애노드 전극의 일부가 개구되도록 화소 정의막을 형성하는 단계와; 상기 애노드 전극의 개구부에 유기 전계 발광층을 형성하는 단계와; 상기 유기 전계 발광층 상에 캐소드 전극을 형성하는 단계와; 상기 애노드 전극, 유기 전계 발광층, 캐소드 전극을 봉지시켜 주기 위한 상부 절연 기판을 형성하는 단계를 포함하며, 캐소드 콘택 및 봉지 접합부에 보조막을 형성하는 단계와; 상기 화소부의 유기 전계 발광층 형성 후에 캐소드 콘택 및 봉지 접합부의 유기막을 제거하는 단계를 포함하는 유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것을 특징으로 한다.In addition, the present invention comprises the steps of forming an anode electrode on the lower insulating substrate; Forming a pixel defining layer to open a portion of the anode electrode over an entire surface of the lower insulating substrate; Forming an organic electroluminescent layer in the opening of the anode; Forming a cathode on the organic electroluminescent layer; Forming an upper insulating substrate for encapsulating the anode electrode, the organic electroluminescent layer, and the cathode electrode, and forming an auxiliary layer on the cathode contact and the encapsulation junction; And removing an organic layer of the cathode contact and the encapsulation junction after the organic electroluminescent layer is formed in the pixel portion.
본 발명의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 보조막은 캐소드 콘택 및 봉지 접합부에 형성된 유기막을 제거하기 위한 보조막인 것이 바람직하다.In a preferred embodiment of the present invention, the auxiliary film is preferably an auxiliary film for removing the organic film formed on the cathode contact and the sealing junction.
상기 보조막은 ITO, IZO 또는 ICO로 이루어진 애노드 전극과 동시에 형성하거나, 아크릴계 포토레지스트 또는 폴리이미드로 이루어진 화소 정의막과 동시에 형성하는 것이 바람직하다.The auxiliary layer is preferably formed at the same time as the anode electrode made of ITO, IZO or ICO, or at the same time as the pixel defining layer made of acrylic photoresist or polyimide.
또는, 상기 보조막은 상기 화소 정의막을 형성한 후, 유기막의 제거에 사용되는 레이저의 파장에서 흡수율이 상기 유기막에 비하여 큰 물질로 이루어지며, 제거에 필요한 레이저 에너지 밀도가 상기 유기막에 비하여 큰 물질로 이루어지는 것이 바람직하다.Alternatively, after forming the pixel defining layer, the auxiliary layer is formed of a material having a higher absorption rate than that of the organic film at a wavelength of a laser used to remove the organic film, and a material having a higher laser energy density than that of the organic film. It is preferable that it consists of.
상기 유기막 제거 공정은 레이저를 이용하여 상기 보조막 상의 유기막을 제거하며, 상기 레이저는 에너지 밀도가 75J/㎠ 이상이며, 더욱 바람직하게는 상기 레이저는 에너지 밀도가 125J/㎠ 이상인 것이 바람직하다.The organic film removing process removes the organic film on the auxiliary film using a laser, and the laser has an energy density of 75 J / cm 2 or more, and more preferably, the laser has an energy density of 125 J / cm 2 or more.
이하 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예를 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 2은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치를 나타내는 평면도이다.2 is a plan view illustrating an organic light emitting display device according to a preferred embodiment of the present invention.
도 3a 내지 도 3d는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치의 공정 단면도이다.3A through 3D are cross-sectional views illustrating an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 4는 본 발명의 봉지 접합부의 잔류 유기막과 레이저의 관계를 나타내는 그래프이다.4 is a graph showing the relationship between the residual organic film and the laser of the sealing junction of the present invention.
[실시예 1]Example 1
도 3a를 참조하면, 하부 절연 기판(100)으로써 유리 기판 상에 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), ICO(indium cesium oxide) 등의 투명한 전도성의 물질을 증착하고 패터닝하여 화소부에 투명 애노드 전극(110)을 형성한다.Referring to FIG. 3A, a pixel portion is formed by depositing and patterning a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), and indium cesium oxide (ICO) on a glass substrate as a lower insulating substrate 100. A transparent anode electrode 110 is formed on the substrate.
상기 애노드 전극(110)을 형성함과 동시에, 상기 하부 절연 기판(100)의 캐소드 콘택(A, cathode contact)과 봉지 접합부(B) 상에 애노드 전극(110) 물질과 동일한 유기막을 제거하기 위한 보조막(120, 130)을 형성한다.While forming the anode electrode 110, an auxiliary layer for removing the same organic film as the anode electrode 110 material on the cathode contact A and the encapsulation junction B of the lower insulating substrate 100 is provided. Films 120 and 130 are formed.
화소부의 애노드 전극(110)과, 캐소드 콘택(A) 상의 보조막(120)과 봉지 접합부(B) 상의 보조막(130)을 형성한 다음, 상기 하부 절연 기판(100) 전면에 걸쳐 상기 애노드 전극(110)의 일부가 개구되도록 화소 정의막(140)을 형성한다. 상기 화소 정의막(140)은 아크릴계 포토레지스트 또는 폴리이미드 등의 폴리머와 무기물로 이루어진다.An anode electrode 110 of the pixel portion, an auxiliary layer 120 on the cathode contact A, and an auxiliary layer 130 on the encapsulation junction B are formed, and then the anode electrode over the entire lower insulating substrate 100. The pixel defining layer 140 is formed to open a portion of the 110. The pixel defining layer 140 is made of a polymer such as acrylic photoresist or polyimide and an inorganic material.
그런 다음, 상기 화소부의 애노드 전극(110)의 개구부에 유기 전계 발광층(150)을 형성한다. 상기 유기 전계 발광층(150)은 스핀 코팅을 통하여 형성되는 것이 바람직하며, 정공 주입층(HIL), 정공 수송층(HTL), 발광층(Emitting layer), 전자 수송층(ETL), 전자 주입층(EIL) 중 적어도 하나의 층 이상으로 된 다층구조를 갖는다. 이때, 스핀 코팅을 통하여 유기 전계 발광층(150)을 형성하기 때문에 캐소드 콘택(A) 및 봉지 접합부(B)에도 유기막이 형성된다.Then, the organic electroluminescent layer 150 is formed in the opening of the anode electrode 110 of the pixel portion. The organic electroluminescent layer 150 may be formed through spin coating, and may include a hole injection layer (HIL), a hole transport layer (HTL), an emission layer, an electron transport layer (ETL), and an electron injection layer (EIL). It has a multilayer structure of at least one layer or more. At this time, since the organic electroluminescent layer 150 is formed through spin coating, the organic layer is also formed on the cathode contact A and the encapsulation junction B. FIG.
도 3b를 참조하면, 상기 유기 전계 발광층(150)을 형성한 후, 상기 보조막(120, 130)을 이용하여 기판의 캐소드 콘택(A) 및 봉지 접합부(B)의 유기막을 제거한다. 상기 유기막을 제거하는 공정은 레이저를 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 레이저는 광원 물질에 따라 UV(엑시머 레이저나, Nd:YAG 레이저 등)에서 IR(Nd:YAG, CO2 레이저 등)까지 사용할 수 있다.Referring to FIG. 3B, after forming the organic EL layer 150, the organic layers of the cathode contact A and the encapsulation junction B of the substrate are removed by using the auxiliary layers 120 and 130. It is preferable to use a laser for the process of removing the said organic film. In addition, the laser can be used from UV (excimer laser, Nd: YAG laser, etc.) to IR (Nd: YAG, CO2 laser, etc.) depending on the light source material.
상기 보조막(A) 상의 유기막을 제거한 다음, 상기 기판 상에 도전성의 물질을 증착하고, 패터닝하여 캐소드 전극(160)을 형성한다. 상기 캐소드 전극(160)은 금속 전극으로 일함수(work function)가 낮은 Al, Mg:Ag, Ca등의 전극을 사용하여 상기 전자 수송층으로의 전자 전달을 원할히 하는 역할을 수행한다.After removing the organic layer on the auxiliary layer A, a conductive material is deposited and patterned on the substrate to form the cathode electrode 160. The cathode electrode 160 serves as a metal electrode to smoothly transfer electrons to the electron transport layer using electrodes having a low work function, such as Al, Mg: Ag, and Ca.
도 3c 및 도 3d를 참조하면, 상기 캐소드 전극(160)을 형성한 후, 상기 애노드 전극(110), 유기 전계 발광층(150), 캐소드 전극(160)을 봉지시켜 주기 위하여 봉지 접합부(A)의 봉지 접착제(170)를 이용하여 상부 절연 기판(180)을 형성한다.Referring to FIGS. 3C and 3D, after the cathode electrode 160 is formed, the encapsulation junction A of the anode electrode 110, the organic electroluminescent layer 150, and the cathode electrode 160 is encapsulated. The upper insulating substrate 180 is formed using the sealing adhesive 170.
도 4를 참조하면, 본 발명의 보조막(120, 130)을 사용하여 기판(100) 상의 이물질을 제거하는 방법은 레이저의 에너지 밀도가 75J/㎠ 이상에서 펄스 수가 증가함에 따라 선형적으로 유기막이 깎이며, 필요한 펄스 수 또한 적음을 알 수 있다.Referring to FIG. 4, in the method of removing foreign matters on the substrate 100 using the auxiliary films 120 and 130 of the present invention, the organic film may be linearly increased as the number of pulses increases when the energy density of the laser is 75 J / cm 2 or more. It can be seen that the number of pulses required is also reduced.
상기 에너지 밀도가 75J/㎠인 경우에는 펄스 수가 8 이상에서 유기막이 깎이기 시작하여 펄스 수가 12인 상태에서 최대치를 나타낸다.When the energy density is 75 J / cm 2, the organic film starts to be shaved when the number of pulses is 8 or more, and the maximum value is shown when the number of pulses is 12.
또한, 에너지 밀도가 100J/㎠인 경우에는 펄스 수가 1에서 유기막이 깎이기 시작하여 2인 경우에 최대치를 나타낸다.In the case where the energy density is 100 J / cm 2, the number of pulses starts to be shaved at 1, and the maximum value is shown at 2.
더욱 바람직하게는, 에너지 밀도가 125J/㎠ 이상에서 레이저 조사와 동시에 유기막의 제거 깊이가 최대치를 나타냄을 알 수 있다.More preferably, it can be seen that the removal depth of the organic film shows the maximum value at the same time as the laser irradiation at the energy density of 125 J / cm 2 or more.
즉, 본 발명의 유기막을 제거하기 위한 보조막을 사용하여 유기막을 레이저로 제거하는 경우, 제거에 필요한 에너지가 적음을 알 수 있다.That is, when the organic film is removed by laser using the auxiliary film for removing the organic film of the present invention, it can be seen that the energy required for the removal is small.
[실시예 2]Example 2
실시에 1의 보조막(120, 130)을 화소 정의막(140)을 이용하여 형성하다.The auxiliary films 120 and 130 of the first embodiment are formed using the pixel defining layer 140.
화소 정의막(140) 물질을 증착하고 패터닝하여 화소 정의막(140)을 형성함과 동시에 캐소드 콘택(A)과 봉지 접합부(B)에 유기막을 제거하기 위한 보조막(120, 130)을 형성한다.The pixel defining layer 140 may be deposited and patterned to form the pixel defining layer 140, and at the same time, auxiliary layers 120 and 130 may be formed to remove the organic layers in the cathode contact A and the encapsulation junction B. FIG. .
[실시예 3]Example 3
실시예 1에서 상기 화소 정의막(140)을 형성한 후, 유기막을 제거하는 공정에서 사용하는 레이저 파장에서 레이저 에너지 흡수율이 상기 유기막에 비하여 큰 물질을 증착하고 패터닝하여 캐소드 콘택(A)과 봉지 접합부(B)에 보조막(120, 130)을 형성한다.After the pixel defining layer 140 is formed in Example 1, a material having a higher laser energy absorption rate than the organic layer is deposited and patterned at the laser wavelength used in the process of removing the organic layer to encapsulate the cathode contact A and the encapsulation layer. Auxiliary layers 120 and 130 are formed in the junction portion B.
또는, 상기 유기막에 비하여 제거에 필요한 레이저 에너지 밀도가 큰 물질을 이용하여 보조막(120, 130)을 형성한다.Alternatively, auxiliary layers 120 and 130 are formed using a material having a higher laser energy density than that of the organic layer.
상기한 바와 같이, 본 발명은 화소 전극 재료(ITO, IZO, ICO 등)나 화소 정의막(140) 재료(아크릴계 포토레지스트, 폴리이미드 등)를 보조막(120, 130)으로 이용하는 경우는 추가 공정이 필요 없으며, 추가로 보조막(120, 130)을 따라 형성하는 경우 레이저 광원에 맞춰 재료를 선택할 수 있어 다양한 광원을 사용할 수 있다.As described above, the present invention is an additional process in the case of using the pixel electrode material (ITO, IZO, ICO, etc.) or the pixel defining layer 140 material (acrylic photoresist, polyimide, etc.) as the auxiliary film (120, 130) In the case of forming the auxiliary layers 120 and 130, the material may be selected according to the laser light source so that various light sources may be used.
또한, 상기 보조막(120, 130)은 유기막 제거를 도울 뿐 아니라 레이저 제거 공정시 하부층의 보호막 역할도 하게 된다.In addition, the auxiliary layers 120 and 130 not only help to remove the organic layer but also serve as a protective layer of the lower layer during the laser removal process.
상기한 바와 같이 본 발명에 따르면, 본 발명은 봉지 접합부에 유기막을 제거하기 위한 보조막을 형성하여, 유기막 형성 시에 봉지 접합부에 생성되는 유기막을 보다 쉽게 제거할 수 있는 유기 전계 발광 표시 장치를 제공할 수 있다.According to the present invention as described above, the present invention provides an organic electroluminescent display device that can form an auxiliary film for removing the organic film in the encapsulation junction, it is possible to more easily remove the organic film generated in the encapsulation junction when forming the organic film. can do.
또한, 본 발명은 상기 보조막과 레이저를 이용하여 유기막을 제거함으로써 화소부의 손상이 없는 유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법을 제공할 수 있다.In addition, the present invention can provide a method of manufacturing an organic light emitting display device in which the pixel portion is not damaged by removing the organic layer using the auxiliary layer and the laser.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.While the foregoing has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art will be able to variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the claims below. It will be appreciated.
Claims (15)
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