KR100658758B1 - OLED display and manufacturing method thereof - Google Patents
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Abstract
Description
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 나타낸 단면도이다.1 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 화소를 나타낸 평면도이다.2 is a plan view illustrating pixels of an organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 화소를 나타낸 부분 단면도로서, 도 2의 Ⅲ-Ⅲ 선에 따른 단면도이다.3 is a partial cross-sectional view illustrating a pixel of an organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment of the present invention, and is taken along line III-III of FIG. 2.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 화소를 나타낸 부분 단면도이다.4 is a partial cross-sectional view illustrating a pixel of an organic light emitting diode display according to another exemplary embodiment of the present invention.
도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 순차적 공정 단면도들이다.5A through 5C are cross-sectional views sequentially illustrating a method of manufacturing an OLED display according to an exemplary embodiment of the present invention.
본 발명은 유기 발광 표시 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 봉지 공정 시 화소의 파괴를 방지할 수 있는 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting diode display, and more particularly, to an organic light emitting diode display and a method of manufacturing the same which can prevent the destruction of pixels during the encapsulation process.
유기 발광 표시 장치는 유기물질에 양극(anode)과 음극(cathode)을 통하여 주입된 전자와 정공이 재결합(recombination)하여 여기자(exciton)을 형성하고, 형성된 여기자로부터의 에너지에 의해 특정한 파장의 빛이 발생하는 현상을 이용한 자체 발광형 표시 장치이다. 따라서, 유기 발광 표시 장치는 백라이트와 같은 별도의 광원이 요구되지 않아 액정 표시 장치에 비해 소비 전력이 낮을 뿐만 아니라 광시야각 및 빠른 응답속도 확보가 용이하다는 장점이 있어 차세대 표시 장치로서 주목받고 있다.In the organic light emitting diode display, electrons and holes injected into the organic material through an anode and a cathode recombine to form an exciton, and light of a specific wavelength is generated by energy from the exciton formed. It is a self-luminous display device using the phenomenon which occurs. Accordingly, the organic light emitting diode display is attracting attention as a next-generation display device because it does not require a separate light source such as a backlight, and thus has low power consumption and easy securing of a wide viewing angle and a fast response speed compared to the liquid crystal display.
상기 유기 발광 표시 장치의 발광 소자는 정공 주입 전극인 양극의 제1 전극, 발광층, 및 전자 주입 전극인 음극의 제2 전극으로 이루어지고, 발광층이 적(Red; R), 녹(G; Green), 청(Blue; B)을 내는 각각의 유기 물질로 이루어져 풀 칼라(full color)를 구현한다. 또한, 발광층은 전자와 정공의 균형을 좋게 하여 발광 효율을 높이도록 발광층(emitting layer; EML)에 전자 수송층(electron transport layer; ETL), 정공 수송층(hole transport layer; HTL)을 포함한 다층 구조로 이루어질 수 있으며, 경우에 따라서는 별도의 전자 주입층(electron injection layer; EIL)과 홀 주입층(hole injection layer; HIL)을 더 포함할 수 있다.The light emitting device of the organic light emitting diode display includes a first electrode of an anode, which is a hole injection electrode, a light emitting layer, and a second electrode of a cathode, which is an electron injection electrode, and the light emitting layer is red (R), green (G; Green). In addition, each of the organic materials emitting blue (B) is made of full color. In addition, the light emitting layer has a multilayer structure including an electron transport layer (ETL) and a hole transport layer (HTL) in the emitting layer (EML) to improve the light emission efficiency by improving the balance between electrons and holes. In some cases, it may further include a separate electron injection layer (EIL) and a hole injection layer (HIL).
상기 유기 발광 표시 장치는 구동 방식에 따라 수동 구동형(passive matrix type)과 능동 구동형(active matrix type)으로 구분된다. The OLED display is classified into a passive matrix type and an active matrix type according to a driving method.
여기서, 수동 구동형 유기 발광 표시 장치는 제조 공정이 단순하고 제조 비용이 저렴하지만 소비 전력이 크고 대면적화에 부적합하다. 반면, 능동 구동형 유 기 발광 표시 장치는 구동 소자로 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT, 이하 TFT 라 칭함)를 구비함에 따라 수동 구동형 유기 발광 표시 장치에 비해 공정이 복잡하고 제조 비용이 높지만, R, G, B 독립 구동 방식으로 낮은 소비 전력, 고정세, 빠른 응답 속도, 광시야각 및 박형화 구현이 가능하다는 장점이 있어, 최근에는 주로 능동 구동형 유기 발광 표시 장치가 적용되고 있다.Here, the passive driving type organic light emitting display device is simple in manufacturing process and low in manufacturing cost, but is large in power consumption and unsuitable for large area. On the other hand, since the active driving type organic light emitting display device has a thin film transistor (TFT) as a driving element, the process is more complicated and the manufacturing cost is higher than that of the passive driving type organic light emitting display device. Since R, G, and B independent driving methods enable low power consumption, high definition, fast response speed, wide viewing angle, and thinning, the active driving type organic light emitting display device is mainly applied.
한편, 유기 발광 표시 장치에서는 기판에 발광 소자를 포함하는 화소를 형성한 후, 외부의 수분 등으로부터 화소를 보호하도록 밀봉 부재에 의해 기판과 봉지 기판을 접합하는 봉지 공정을 수행한다. 이때, 봉지 기판의 재질로는 주로 유리를 사용한다.Meanwhile, in the organic light emitting diode display, after the pixel including the light emitting element is formed on the substrate, an encapsulation process of bonding the substrate and the encapsulation substrate by a sealing member is performed to protect the pixel from external moisture. At this time, glass is mainly used as a material of the sealing substrate.
그런데, 상기 유기 발광 표시 장치에서는 기판과 봉지 기판을 접합할 때 기판에 가해지는 압력 등에 의해 화소가 파괴되는 문제가 발생하게 된다.However, in the organic light emitting diode display, when the substrate and the encapsulation substrate are bonded to each other, there is a problem that the pixels are destroyed due to the pressure applied to the substrate.
본 발명은 상술한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 봉지 공정 시 화소의 파괴를 방지할 수 있는 유기 발광 표시 장치를 제공하는데 있다.The present invention is to solve the problems of the prior art as described above, an object of the present invention is to provide an organic light emitting display device that can prevent the destruction of the pixel during the sealing process.
또한, 본 발명의 다른 목적은 상기 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 제공하는데 있다.In addition, another object of the present invention is to provide a method of manufacturing the organic light emitting display device.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 발광부와 비발광부를 포함하는 화소가 형성된 기판, 발광부에 형성되고 제1 전극, 유기 발광층, 및 제2 전극을 포 함하는 발광 소자, 제1 전극을 인접 화소의 제1 전극과 분리하며 기판의 전면 위에 형성되고 비발광부를 일부 노출시키는 개구부를 구비하는 화소 정의막, 화소 정의막 위로 일부가 돌출되면서 화소 정의막의 개구부에 매립되어 형성되는 지지층을 포함하는 유기 발광 표시 장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a substrate having a pixel including a light emitting portion and a non-light emitting portion, a light emitting element formed on the light emitting portion and including a first electrode, an organic light emitting layer, and a second electrode, and a first electrode. A pixel defining layer which is separated from the first electrode of the adjacent pixel and has an opening which is formed on the entire surface of the substrate and partially exposes the non-light emitting portion, and a support layer which is formed by being partially embedded in the opening of the pixel defining layer while protruding a portion over the pixel defining layer. An organic light emitting display device is provided.
또한, 본 발명의 유기 발광 표시 장치는 화소 정의막 하부에 형성되는 평탄화막을 더욱 포함할 수 있으며, 이때 평탄화막이 화소 정의막의 개구부에 대응하는 개구부를 구비하고 지지층이 평탄화막의 개구부에도 매립될 수 있다.In addition, the organic light emitting diode display of the present invention may further include a planarization layer formed under the pixel definition layer, wherein the planarization layer may include an opening corresponding to the opening of the pixel definition layer, and the support layer may be embedded in the opening of the planarization layer.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 발광부와 비발광부가 정의된 기판을 준비하고, 기판의 발광부에 제1 전극을 형성하고, 기판의 전면 위에 화소 정의막을 형성하고, 화소 정의막에 제1 전극을 노출시키는 제1 개구부와 비발광부를 일부 노출시키는 제2 개구부를 형성하고, 제1 개구부에 의해 노출된 제1 전극 위로 유기 발광층을 형성하고, 제2 개구부를 매립하면서 화소 정의막 위로 일부가 돌출되는 지지층을 형성하고, 기판의 전면 위에 제2 전극을 형성하는 단계들을 포함할 수 있다.In order to achieve the above object, the present invention provides a substrate in which a light emitting portion and a non-light emitting portion are defined, a first electrode is formed on the light emitting portion of the substrate, a pixel defining layer is formed on the entire surface of the substrate, and Forming a first opening exposing the first electrode and a second opening partially exposing the non-light emitting portion, forming an organic emission layer over the first electrode exposed by the first opening, and filling the second opening over the pixel defining layer Forming a support layer on which a portion protrudes, and forming a second electrode on the front surface of the substrate.
또한, 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은, 제1 전극을 형성하기 전에 기판의 전면 위에 평탄화막을 형성하고, 평탄화막에 화소 정의막의 제2 개구부와 관통하는 개구부를 형성하는 단계들을 더욱 포함할 수 있다.In addition, the method of manufacturing the organic light emitting display device may further include forming a planarization film on the entire surface of the substrate before forming the first electrode and forming an opening penetrating the second opening of the pixel defining layer in the planarization film. can do.
여기서, 지지층은 무기 절연 물질 또는 유기 절연 물질로 이루어질 수 있으며, 무기 절연 물질이 실리콘 산화물 또는 실리콘 질화물로 이루어질 수 있다.Here, the support layer may be made of an inorganic insulating material or an organic insulating material, and the inorganic insulating material may be made of silicon oxide or silicon nitride.
또한, 지지층의 돌출 두께가 0.3 내지 10㎛ 정도일 수 있다.In addition, the protruding thickness of the support layer may be about 0.3 to 10㎛.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 나타낸 단면도이고, 도 2는 도 1의 화소(P)를 나타낸 평면도이고, 도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ 선에 따른 단면도이다.1 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view illustrating a pixel P of FIG. 1, and FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line III-III of FIG. 2.
도 1을 참조하면, 유기 발광 표시 장치(100)는 기판(110)에 화소(P)가 복수개로 형성되고, 외부의 수분 등으로부터 화소(P)가 보호되도록 밀봉 부재(130)에 의해 기판(100)과 봉지 기판(120)이 접합되며, 화소(P)와 봉지 기판(120) 사이에 막대 형상의 지지층(350)이 형성되는 구성을 갖는다.Referring to FIG. 1, the organic light emitting diode display 100 includes a plurality of pixels P formed on the
여기서, 기판(110)은 유리나 플라스틱과 같은 절연 재질 또는 스테인리스 강(stainless steel; SUS)과 같은 금속 재질로 이루어질 수 있다.Here, the
화소(P)는 실제 발광이 이루어지는 발광부(A1)와 발광부(A1) 주변의 비발광부(A2)를 포함한다. 도 2와 같이 발광부(A1)에는 오엘이디(organic light-emitting diode; OLED)로 이루어지는 발광 소자(L)가 형성되고, 비발광부(A2)에는 스캔 라인(SL)과, 이 스캔 라인(SL)에 교차하면서 서로 이격되어 배치되는 데이터 라인(DL) 및 전원 라인(VDD)과, 스캔 라인(SL) 및 데이터 라인(DL)에 각각 연결되는 제1 TFT(T1)와 발광 소자(L) 및 전원 라인(VDD)에 각각 연결되는 제2 TFT(T2)로 이루어지는 구동 소자, 및 제1 및 제2 TFT(T1)와 전원 라인(VDD)에 각각 연결되는 캐패시터(Cst)로 이루어지는 저장 소자가 각각 형성된다. 또한, 비발광부(A2)의 데이터 라인(DL) 위로 지지층(350)이 형성된다.The pixel P includes a light emitting portion A1 that actually emits light and a non-light emitting portion A2 around the light emitting portion A1. As shown in FIG. 2, a light emitting device L including an organic light-emitting diode (OLED) is formed in the light emitting unit A1, and a scan line SL and the scan line SL are formed in the non-light emitting unit A2. ) And a data line DL and a power line VDD disposed to be spaced apart from each other, and are respectively connected to the scan line SL and the data line DL. Each of the driving elements including the second TFT T2 connected to the power supply line VDD and the storage elements including the capacitor Cst connected to the first and second TFT T1 and the power supply line VDD, respectively Is formed. In addition, the
본 실시예에서는 막대 형상의 지지층(350)이 비발광부(A1)의 데이터 라인(DL) 위로 1 개 형성되는 경우를 나타내었지만, 비발광부(A1) 위로 형성되는 지지층(350)의 위치, 개수 및 형상 등은 이에 한정되지 않는다.In the present exemplary embodiment, one rod-
일례로 지지층(350)은 화소(P)의 코너부 마다 데이터 라인(DL)과 전원 라인(VDD) 위로 각각 1 개씩 형성되어 화소(P)에 총 4 개가 배치될 수도 있다. For example, one
또한, 본 실시예에서는 화소(P)의 구동 소자가 2개의 TFT(T1, T2)로 구성되고 저장 소자가 1개의 캐패시터(Cst)로 구성되는 경우를 나타내었지만, 이러한 구동 소자 및 저장 소자의 구성은 이에 한정되지 않는다.In addition, in the present embodiment, although the driving element of the pixel P is composed of two TFTs T1 and T2 and the storage element is composed of one capacitor Cst, the configuration of such a driving element and the storage element is shown. Is not limited to this.
도 3을 참조하면, 화소(P)의 TFT(T2)는 기판(110) 위에 게이트 절연막(220)을 사이에 두고 반도체층(210)과 게이트 전극(230)이 순차적으로 형성되고, 층간 절연막(240)을 사이에 두고 게이트 전극(230) 위로 소오스 전극(251)과 드레인 전극(252)이 형성되는 구성을 갖는다. Referring to FIG. 3, in the TFT P2 of the pixel P, the
반도체층(210)은 불순물이 도핑된 소오스 및 드레인 영역(211, 212)과 이들 사이의 채널 영역(213)으로 이루어지고, 게이트 전극(230)은 채널 영역(211)에 대응하여 형성되며, 소오스 전극(251)과 드레인 전극(252)은 게이트 절연막(220)과 층간 절연막(24)에 구비된 각각의 콘택홀(221, 222)(241, 242)을 통하여 반도체층(210)의 소오스 영역(211) 및 드레인 영역(212)과 전기적으로 연결된다.The
본 실시예에서는 TFT(T2)가 반도체층(210) 위로 게이트 전극(230)과 소오스 및 드레인 전극(251, 252)이 배치되는 구조로 이루어진 경우를 나타내었지만, 반도체층(210), 게이트 전극(230), 소오스 및 드레인 전극(251, 252)의 배치 구조는 이 에 한정되지 않는다.In the present exemplary embodiment, the TFT (T2) has a structure in which the
발광 소자(L)는 평탄화막(260)을 사이에 두고 TFT(T2) 위로 형성되고, 제1 전극(310), 유기 발광층(330) 및 제2 전극(340)이 순차적으로 적층된 구조를 가지며, 제1 전극(310)이 화소 정의막(320)에 의해 인접 화소의 제1 전극(미도시)과 분리된다. 또한, 제1 전극(310)은 평탄화막(260)에 구비된 비아홀(261)을 통하여 드레인 전극(252)에 전기적으로 연결되고, 화소 정의막(320)에 구비된 제1 개구부(321)를 통하여 유기 발광층(330)과 접촉한다.The light emitting device L is formed on the TFT T2 with the
제1 전극(310)은 반사율이 높은 금속을 포함하는 물질, 일례로 ITO/Ag/ITO, ITO/Ag 합금/ITO 또는 AlNd/ITO로 이루어지고 제2 전극은 MgAg와 같은 투명 물질을 포함할 수 있다. The
다른 한편으로, 제1 전극(310)은 ITO, IZO의 단일층 또는 이들의 복합층으로 이루어지고 제2 전극(340)은 MgAg 또는 Al 등으로 이루어질 수도 있다.On the other hand, the
유기 발광층(330)은 코퍼 프탈로시아닌(copper phthalocyanine; CuPc), N,N'-디(나프탈렌-1-일)-N,N'-디페틸-벤지딘(N,N'-Di(naphthalene-1-yl)-N,N' -diphenyl-benzidine; NPB), 트리스-8-하이드록시퀴놀린 알루미늄(tris-8-hydroxyquinoline aluminum)(Alq3) 등과 같은 저분자 유기물로 이루어지거나 고분자 유기물로 이루어질 수 있다.The organic
예컨대, 유기 발광층(330)이 저분자 유기물로 이루어지는 경우, 홀 주입층(Hole Injection layer; HIL), 홀 수송층(Hole Transport Layer; HTL), 발광층(Emitting Layer; EML) 및 전자 수송층(Electron Transport Layer; ETL)을 포함한 다층 구조로 이루어질 수 있다.For example, when the
또한, 유기 발광층(330)이 고분자 유기물로 이루어지는 경우, 홀 수송층(Hole Transport Layer; HTL) 및 발광층(Emitting Layer; EML)으로 이루어질 수 있으며, 이때 HTL은 PEDOT 물질로 이루어지고 EML은 폴리-페닐렌비닐렌(Poly-Phenylenevinylene; PPV)계 또는 폴리플루오렌(Polyfluorene)계 물질로 이루어질 수 있다.In addition, when the organic
지지층(350)은 화소 정의막(320)에 구비된 제2 개구부(322)를 통하여 데이터라인(DL) 위의 평탄화막(260)과 접촉하면서 화소 정의막(320) 위로 돌출되어 형성될 수 있다. The
다른 한편으로 지지층(350)은 도 4와 같이 화소 정의막(320)에 구비된 제2 개구부(322)와 이 제2 개구부(322)와 관통하도록 평탄화막(260)에 구비된 또 다른 개구부(262)를 통하여 데이터 라인(DL)과 직접 접촉하면서 화소 정의막(320) 위로 돌출되어 형성될 수도 있다.On the other hand, as shown in FIG. 4, the
또한, 지지층(350)은 실리콘 산화물(SiO2), 실리콘 질화물(SiNx)과 같은 무기 절연 물질로 이루어지고, 지지층(350)의 돌출 두께는 0.3 내지 10㎛ 정도인 것이 바람직하며, 무기 절연 물질은 유기 절연 물질로도 대체될 수 있다.In addition, the
상술한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 도 5a 내지 도 5c를 참조하여 설명한다.The method of manufacturing the organic light emitting display device described above will be described with reference to FIGS. 5A to 5C.
도 5a를 참조하면, 기판(110)의 비발광부(A2, 도 2 참조)에 상술한 바와 같 은 게이트 전극(230), 소오스 전극(251) 및 드레인 전극(252)으로 이루어지는 TFT(T2)와 데이터 라인(DL) 등을 형성하고, 이들을 덮도록 기판(110)의 전면 위에 평탄화막(260)을 형성한다. 그 다음, 평탄화막(260)을 패터닝하여 드레인 전극(252)을 노출시키는 비아홀(261)을 형성하고, 발광부(A1, 도 2 참조)의 평탄화막(260) 위로 비아홀(261)을 통하여 드레인 전극(252)과 전기적으로 연결되는 제1 전극(310)을 형성한다.Referring to FIG. 5A, the TFT T2 including the
도 5b를 참조하면, 제1 전극(310)을 덮도록 기판(110)의 전면 위에 화소 정의막(320)을 형성하고 이를 패터닝하여 제1 전극(310)을 노출시키는 제1 개구부(321)와 비발광부(A2)의 일부, 일례로 데이터 라인(DL) 위의 평탄화막(260)을 노출시키는 제2 개구부(322)를 형성한다. Referring to FIG. 5B, the
한편, 도 4와 같이 지지층(350)이 데이터 라인(이)과 직접 접촉하는 경우에는 제2 개구부(322)를 형성하기 전에 평탄화막(260)의 비아홀(261) 형성 시 제2 개구부(322)와 관통하는 별도의 개구부(262)를 더 형성할 수 있다.Meanwhile, as shown in FIG. 4, when the
도 5c를 참조하면, 제1 개구부(321)에 의해 노출된 제1 전극(310) 위로 유기 발광층(330)을 형성한다. 그 후, 에스오지(SOG; spin on glass) 공정에 의해 제2 개구부(321)를 매립하도록 기판(110)의 전면 위에 실리콘 산화물, 실리콘 질화물과 같은 무기 절연 물질 또는 유기 절연 물질을 도포하고 이를 패터닝하여 화소 정의막(350) 위로 일부가 돌출되는 지지층(350)을 형성한다. 이때, 무기 절연 물질 또는 유기 절연 물질은 지지층(350)의 돌출 두께가 0.3 내지 10㎛ 정도가 되도록 그 두께를 적절히 조절하여 도포한다.Referring to FIG. 5C, the
그 후, 도 3과 같이 기판(110)의 전면 위로 제2 전극(340)을 형성하여 발광 소자(L)를 형성하고, 도 1과 같이 기판(110)을 밀봉 부재(130)에 의해 봉지 기판(120)과 접합시켜 봉지한다.Thereafter, as shown in FIG. 3, the
이때, 기판(110)에 압력 등이 가해지더라도 지지층(350)에 의해 기판(110)의 화소(P)와 봉지 기판(120) 사이의 간격이 충분히 확보되므로 화소(P)의 파괴가 발생되지 않는다.At this time, even if pressure or the like is applied to the
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited thereto, and various modifications and changes can be made within the scope of the claims and the detailed description of the invention and the accompanying drawings. Naturally, it belongs to
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 유기 발광 표시 장치는 지지층에 의해 기판의 화소와 봉지 기판 사이의 간격을 충분히 확보하여 봉지 공정 시 화소의 파괴 등을 방지할 수 있으므로, 신뢰성 및 표시 품질을 개선할 수 있다.As described above, the organic light emitting diode display according to the present invention can sufficiently secure the gap between the pixel of the substrate and the encapsulation substrate by the support layer to prevent the destruction of the pixel during the encapsulation process, thereby improving reliability and display quality. have.
또한, 본 발명에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은 지지층 형성을 위한 별도의 마스크 공정 등을 더 수행하지 않으므로 제조 비용을 증가시키지 않는다.In addition, the manufacturing method of the organic light emitting diode display according to the present invention does not further perform a separate mask process for forming a support layer, and thus does not increase manufacturing cost.
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