KR20040050658A - Semiconductor package loading apparatus - Google Patents
Semiconductor package loading apparatus Download PDFInfo
- Publication number
- KR20040050658A KR20040050658A KR1020020078522A KR20020078522A KR20040050658A KR 20040050658 A KR20040050658 A KR 20040050658A KR 1020020078522 A KR1020020078522 A KR 1020020078522A KR 20020078522 A KR20020078522 A KR 20020078522A KR 20040050658 A KR20040050658 A KR 20040050658A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- tray
- package
- tube
- picker
- feeder
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Abstract
Description
본 발명은 반도체 패키지 적재장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 트레이에 적재된 패키지를 튜브에 자동으로 적재할 수 있는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor package loading apparatus, and more particularly, to an apparatus capable of automatically loading a package loaded on a tray into a tube.
반도체 제조 공정중 리드프레임으로부터 싱귤레이션된 반도체 패키지는 반도체의 종류 또는 주문 업체의 요구에 의해 트레이 또는 튜브에 적재되어진다.Semiconductor packages singulated from leadframes during the semiconductor manufacturing process are loaded into trays or tubes at the type of semiconductor or at the request of the orderer.
이런 이유로 반도체 리드프레임을 싱귤레이션하는 장치에는 패키지를 트레이에 적재하는 트레이 타입 오프 로더(off-loader), 튜브에 적재하는 튜브 타입 오프 로더, 튜브 및 트레이에 선택적으로 적재할 수 있는 트레이 및 튜브 타입 오프 로더등이 제공되어 있다.For this reason, devices that singulate semiconductor leadframes include tray-type off-loaders that load packages into trays, tube-type offloaders that load tubes, and trays and tube types that can be selectively loaded into tubes and trays. Off loaders are provided.
통상적으로 반도체 패키지 제조 하청 업체는 상기한 바와 같이 주문 업체의 요구에 따라 패키지를 트레이 또는 튜브에 적재하여 납품하는데, 트레이 타입 오프로더를 구비한 싱귤레이션 장치만을 가진 하청 업체는 주문 업체가 패키지를 튜브에 적재할 것을 요구하는 경우에 있어서 장치의 특성상 패키지를 트레이에만 적재할 수 없기 때문에 그 요구 사항을 들어줄 수가 없었다.Typically, a semiconductor package manufacturer subcontractor delivers the package to a tray or tube according to the orderer's request as described above. A subcontractor with only a singulation device equipped with a tray-type offloader is required by the orderer to deliver the package to the tube. In the case of requiring the loading, the requirements of the device could not be satisfied because the package could not be loaded only in the tray.
따라서, 반도체 제조 하청 업체는 주문 업체의 요구를 만족시키기 위해서 튜브타입 오프로더가 구비된 싱귤레이션 장치를 구입하거나, 트레이에 적재된 패키지를 수작업을 통해서 튜브에 적재할 수도 있겠지만, 이는 반도체 제조 장비가 고가이기에 물질적 부담이 증가하며, 패키지의 크기가 작고 그 수가 많음을 감안할 때 작업에 있어 많은 어려움이 발생하게 된다.Therefore, a semiconductor manufacturing subcontractor may purchase a singulation device equipped with a tube type offloader or manually load a package loaded in a tray into a tube in order to satisfy the demand of an ordering company. This leads to an increase in material burden, and a lot of difficulties arise in the work given the small size and large number of packages.
본 발명은 이와 같이 트레이에 적재된 패키지를 튜브에 전용으로 적재시켜줄수 있는 저가의 간단한 반도체 패키지 적재장치를 제공함에 그 목적이 있다.It is an object of the present invention to provide a simple low-cost semiconductor package stacking device capable of exclusively loading a package loaded on a tray into a tube.
도 1은 트레이에 패키지가 들어있는 상태를 도시한 사시도.1 is a perspective view showing a state in which a package is contained in a tray.
도 2은 본 발명에 따른 반도체 패키지 적재장치의 일 실시예에 의한 개략도.2 is a schematic view of an embodiment of a semiconductor package stacking device according to the present invention;
도 3은 도 1의 A-A' 방향의 정면도.3 is a front view of the AA 'direction of FIG.
도 4는 도2의 B 방향에서 본 좌측면도.4 is a left side view as viewed in the direction B of FIG. 2;
도 5는 도 2에서 패키지픽커의 평면도.5 is a plan view of the package picker in FIG.
도 6은 도 5의 정면도.6 is a front view of FIG. 5;
도 7은 도 2에서 C-C'방향의 정면도.FIG. 7 is a front view of a C-C 'direction in FIG. 2; FIG.
도 8은 도 2의 D-D'방향의 우측면도.8 is a right side view of the D-D 'direction of FIG. 2;
도 9는 도 8의 E방향의 평면도.9 is a plan view in the E direction in FIG. 8;
도 10은 도 8의 F-F'방향의 측면도.FIG. 10 is a side view of the FF ′ direction in FIG. 8; FIG.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>
1 : 패키지3 : 안착홈1: package 3: seating groove
5 : 트레이7 : 장착홈5: Tray 7: mounting groove
9 : 장착단차부10 : 온로더부9: mounting step 10: on-loader
12 : 트레이선반14 : 오프로더부12 tray tray 14 offloader
21 : 픽커아암22 : 제1트레이픽커21: Picker Arm 22: First Tray Picker
23 : 핑거24 : 제2트레이픽커23: finger 24: second tracker
25 : 실린더26 : 트레이 픽커 이송부재25: cylinder 26: tray picker transfer member
30 : 트레이로딩포지션32 : 트레이언로딩포지션30: Trading loading position 32: Trading loading position
34 : 패키지언로딩포지션42 : 트레이 피더34: package unloading position 42: tray feeder
43 : 트레이 피더 회전부재44 : 스텝모터43: tray feeder rotation member 44: step motor
45 : 회전축46 : 트레이 피더 이송부재45: rotation axis 46: tray feeder transfer member
50 : 패키지 픽커51 : 진공패드50: package picker 51: vacuum pad
53 : 패키지 픽커 수직이송부재53: package picker vertical transfer member
54 : 패키지 픽커 수평이송부재54: package picker horizontal transfer member
60 : 튜브62 : 슈트60: tube 62: chute
63 : 안착부64 : 이송홀63: seating portion 64: transfer hole
70 : 푸셔구동부72 : 푸셔바70: pusher driving unit 72: pusher bar
80 : 튜브 적재 유닛82 : 튜브 공급부80: tube loading unit 82: tube supply unit
84 : 경사면84: slope
본 발명의 목적을 달성하기 위해 본 발명은; 패키지가 들어있는 트레이를 자동적으로 공급하는 온로더부와, 상기 온로더부에 의하여 공급된 트레이가 작업 공정을 마치고 난 후 패키지가 이송된 상태의 빈 트레이가 적재되는 오프로더부와, 상기 오프로더부에 빈 트레이를 이송하며 상기 온로더부에서 공급된 패키지가 적재된 트레이를 이송하기 위한 트레이 픽커 이송부재와, 상기 온로더부로부터 상기 트레이 픽커 이송부재에 의하여 이송된 패키지가 안착된 트레이가 놓여지기 위한 트레이 피더와, 상기 트레이 피더를 회전시키는 회전구동부재와 상기 트레이 피더를 수평 이동하기 위한 수평구동부재가 설치된 트레이 피더 이송부재와, 상기 트레이 피더 이송부재에 의하여 이송된 트레이에 적재된 패키지를 개별로 동작되는 패키지이송부재에 의하여 원하는 수량만큼 픽업하는 패키지픽커와, 상기 패키지픽커에 의하여 내려진 패키지를 튜브에 적재하는 튜브 적재 유닛을 구비한 반도체 패키지 적재장치를 제공하고 있다.The present invention to achieve the object of the present invention; An on-loader part for automatically supplying a tray containing a package, an off-loader part for loading an empty tray in which a package is transported after the tray supplied by the on-loader part has finished a work process, and the off-loader part A tray picker conveying member for conveying an empty tray and conveying a tray loaded with a package supplied from the onloader portion, and a tray on which a package conveyed by the tray picker conveying member from the onloader portion is placed. A tray feeder transfer member provided with a tray feeder, a rotary drive member for rotating the tray feeder, a horizontal drive member for horizontally moving the tray feeder, and a package loaded in a tray conveyed by the tray feeder transfer member separately A package picker that picks up a desired quantity by a package transfer member that is operated; The present invention provides a semiconductor package loading apparatus having a tube loading unit for loading a package taken down by the package picker into a tube.
여기서 상기 트레이 픽커 이송부재는, 상기 온로더부에서 공급된 패키지가 적재되어 있는 트레이를 이송하는 제1트레이픽커와, 상기 제1트레이픽커에 의하여 공급된 트레이가 패키지 적재 작업을 마치고 난 후의 트레이를 상기 오프로더부로 이송하는 제2트레이픽커와, 상기 제1트레이픽커와 제2트레이픽커를 이송시키는 직선 이송부재를 포함하고 있다.The tray picker conveying member may include a first tray picker for transferring a tray on which a package supplied from the onloader unit is loaded, and a tray after the tray supplied by the first tray picker finishes a package loading operation. And a second transporter for transporting the offloader, and a linear transporter for transporting the first and second trackers.
또한, 상기 트레이 피더 이송부재는 상기 트레이 피더에 적재된 패키지의 방향성을 맞추기 위해서 설정된 각도로 상기 트레이 피더부재를 회전시키도록 스텝모터를 사용하는 트레이 피더 회전부재와, 상기 트레이 피더 회전부재에 의하여 회전된 트레이 피더를 상기 패키지 피커로 이송하는 트레이 피더 수평이송부재를 포함하고 있다.In addition, the tray feeder conveying member is rotated by a tray feeder rotating member using a step motor to rotate the tray feeder member at a set angle to match the orientation of the package loaded on the tray feeder, and the tray feeder rotating member. It comprises a tray feeder horizontal transfer member for transferring the tray feeder to the package picker.
상기 패키지 픽커는 상기 패키지 픽커를 수직으로 이송시키는 패키지 픽커 수직이송부재와, 상기 패키지를 흡착한 상기 패키지 픽커를 슈트 방향으로 이송시키는 패키지 픽커 수평이송부재와, 상기 패키지 픽커에 진공압을 제어하는 솔레노이드밸브를 포함하고 있다.The package picker includes a package picker vertical transfer member for vertically transferring the package picker, a package picker horizontal transfer member for transferring the package picker adsorbing the package in a chute direction, and a solenoid for controlling vacuum pressure on the package picker. It includes a valve.
상기 튜브 적재 유닛은, 상기 픽커부에 의하여 이송된 패키지가 안착되는 슈트와, 상기 슈트부에 안착된 패키지의 이탈을 방지하기 위하여 상기 슈트에 안착된 패키지를 덮을 수 있도록 공압 실린더에 의해 구동되는 커버와, 상기 슈트와 커버 사이에 안착된 패키지를 공기 의하여 튜브로 이송하는 공압 이송수단과, 상기 공압 이송수단에 의해 이송되지 못한 패키지를 밀어서 튜브로 이송하는 푸셔바와, 상기 슈트의 연장선상에는 배치되어 패키지가 적재되는 튜브가 안착되어지는 튜브 안착부와, 상기 튜브 안착부에 일측에 배치되어 상기 튜브 안착부에 빈 튜브를 공급하는 튜브 공급부와, 상기 튜브 공급부의 하측에 배치되어 상기 튜브 공급부로부터 빈 튜브를 상기 튜브 안착부로 이동시키는 튜브 피딩 블록과, 상기 튜브 안착부의 타측에 배치되어 상기 튜브 안착부로부터 패키지가 적재되어진 튜브를 모으기 위한 경사면이 구비된 저장부를 포함하고 있다.The tube loading unit may include a cover driven by a pneumatic cylinder to cover the chute on which the package transported by the picker part is seated, and the package seated on the chute to prevent detachment of the package seated on the chute part. A pneumatic conveying means for conveying the package seated between the chute and the cover to the tube by air, a pusher bar for pushing the package not conveyed by the pneumatic conveying means to the tube, and a package disposed on an extension line of the chute. A tube seating portion on which the tube on which the stack is mounted is seated, a tube supply portion disposed on one side of the tube seating portion, and supplying an empty tube to the tube seating portion, and a tube feeding portion disposed below the tube supplying portion and empty from the tube supplying portion. A tube feeding block for moving the tube to the tube seat and the other side of the tube seat It includes a storage unit provided with an inclined surface for collecting the tube on which the package is loaded from the tube seat.
상기 공압 이송수단은 상기 슈트의 안착부에 형성된 이송홀과 상기 이송홀로부터 상기 패키지의 진행 방향으로 형성된 이송홈이다.The pneumatic conveying means is a conveying hole formed in the seating portion of the chute and a conveying groove formed in the traveling direction of the package from the conveying hole.
여기서, 상기 튜브 안착부는 실린더에 의해서 상하로 구동되며 튜브가 안착되어질 수 있도록 홈이 형성된 업다운 포켓과, 상기 업다운 포켓 하강시 상기 튜브를 지지하는 튜브지지 블록과, 상기 튜브의 이탈을 방지할 수 있도록 상기 튜브를 지지하는 압력핀이 설치된 프레스 블록과, 상기 패키지의 공급 방향 타측에 설치되어 상기 튜브를 실린더에 의해 수평방향으로 가압하는 엔드 푸셔 유닛과, 상기 엔드 퓨셔 유닛에 의해서 튜브가 휘어지는 것을 방지할 수 있도록 상기 프레스 블록에 고정되어 상기 업다운 포켓에 안착된 튜브의 중간부분을 지지하는 상부 가이드로 이루어져 있다.Here, the tube seating portion is driven up and down by the cylinder and the groove is formed up-down pocket to be seated, the tube support block for supporting the tube when the up-down pocket descends, so as to prevent the separation of the tube A press block provided with a pressure pin for supporting the tube, an end pusher unit installed on the other side in the supply direction of the package to pressurize the tube horizontally by a cylinder, and to prevent the tube from being bent by the end pusher unit. And an upper guide fixed to the press block to support an intermediate portion of the tube seated in the up-down pocket.
상기 트레이 픽커 이송부재의 제1트레이픽커와 제2트레이픽커는 한 쌍으로 이루어져서 상기 직선이송부재를 따라서 동시에 이동되어질수 있도록 구성할 수도 있다.The first picker and the second picker of the tray picker transfer member may be configured in a pair so that they can be simultaneously moved along the linear transfer member.
본 발명의 설명에 앞서, 본 발명에 따른 반도체 패키지 적재장치에 패키지를 공급하기 위한 중간 매개물의 역할을 하는 트레이에 대해서 간단히 설명한다. 도 1은 트레이(5)에 패키지(1)가 들어있는 상태를 도시한 사시도로서, 상기 트레이(5)의 주위에는 장착 단차부(9)가 형성되어 있고, 장착 단차부(9)의 저부에는 장착홈(7)이 형성되어 있다. 그리고, 상기 트레이(5)의 상면에는 패키지(1)가 안착되어 질 수 있는 안착홈(3)이 형성되어져 있다.Prior to the description of the present invention, a tray serving as an intermediate medium for supplying a package to the semiconductor package loading apparatus according to the present invention will be briefly described. 1 is a perspective view showing a state in which the package 1 is placed in the tray 5, wherein a mounting step 9 is formed around the tray 5, and a bottom of the mounting step 9 is provided. The mounting groove 7 is formed. In addition, a mounting groove 3 on which the package 1 may be seated is formed on the upper surface of the tray 5.
도 1에서는 패키지(1)가 안착되는 안착홈(3)을 예시하기 위해서 안착홈(3)에패키지(1)를 전부 안착시키지는 않았지만, 실질적으로 본 발명의 반도체 패키지 적재장치로 공급되는 트레이(5)의 안착홈(3)에는 싱귤레이션 장치의 오프로더부에 의해 패키지(1)가 전부 안착되어지게 된다. 여기서, 상기 트레이(5)에 안착되는 패키지(1)의 상면 일측 모서리에는 표식(도 1상에서는 점으로 도시되어 있음)이 되어 있어, 작업자는 트레이(5)에 패키지(1)가 어떤 방향으로 안착되어 있는지 패키지(1)의 방향성을 용이하게 인식할 수 있게 되어 있다.In FIG. 1, although not all the packages 1 are seated in the seating recesses 3 to illustrate the seating recesses 3 on which the packages 1 are seated, the trays 5 substantially supplied to the semiconductor package stacking apparatus of the present invention are provided. The package 1 is completely seated in the seating groove 3 of) by the offloader of the singulation device. Here, one side edge of the upper surface of the package 1 seated on the tray 5 is marked (shown as a dot in FIG. 1), so that the worker rests on the tray 5 in which direction the package 1 rests. It is possible to easily recognize the orientation of the package 1.
이하, 상기 트레이(5)에 안착된 패키지(1)를 튜브에 적재시키는 본 발명의 반도체 패키지 적재 장치를 도 2에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 반도체 패키지 적재장치의 일실시예에 의한 개략도와 도 3에서 도 2의 A-A' 선분에 따른 방향의 정면도를 참조하여 개략적으로 설명한다.Hereinafter, a schematic diagram according to an embodiment of a semiconductor package stacking device according to an embodiment of the present invention shown in FIG. 2, the semiconductor package stacking device of the present invention for loading the package 1 seated on the tray 5 to a tube. 3 will be schematically described with reference to a front view of a direction along the AA ′ line of FIG. 2.
도 2, 3을 참조하면, 본 발명은 패키지(1)가 안착된 트레이(5)가 차례로 적층 수납되는 온로더부(10)를 구비하고 있다. 상기 온로더부(10) 상방향에는 상기 트레이(5)를 집는 제1트레이 픽커(22)가 위치되어 있다. 상기 제1트레이 픽커(22)는 상하로 이동가능하며, 트레이 픽커 이송부재(26)에 탑재되어져 본 발명에 따른 패키지 적재 장치의 전후 방향으로 이동이 가능하다.2 and 3, the present invention includes an on-loader portion 10 in which the tray 5 on which the package 1 is seated is stored in a stack. The first tray picker 22, which picks up the tray 5, is positioned above the onloader unit 10. The first tray picker 22 is movable up and down and is mounted on the tray picker conveying member 26 so that the first tray picker 22 is movable in the front-rear direction of the package stacking device according to the present invention.
상기 트레이 픽거 이송부재(26)를 따라 제1트레이 픽커(22)가 후방으로 이동한 지점에는 상기 제1트레이 픽커(22)로부터 트레이(5)를 받는 트레이 피더(42)가 위치되어 있다. 상기 트레이 피더(42)는 트레이 피더 이송부재(46)에 탑재되어져, 좌우 방향으로 이동이 가능하다.The tray feeder 42 which receives the tray 5 from the first tray picker 22 is located at the point where the first tray picker 22 moves backward along the tray picker conveying member 26. The tray feeder 42 is mounted on the tray feeder conveying member 46 and is movable in the left and right directions.
상기 트레이 피더 이송부재(46)를 따라 트레이 피더(42)의 좌방향으로 이동한 지점에는 상기 트레이 피더(42)로부터 패키지(1)를 집는 패키지 픽커(50)가 설치되어 있다. 상기 패키지 픽커(50)는 도 3에 도시된 바와 같이, 패키지 픽커 수직 이송부재(53)와 패키지 픽커 수평이송부재(54)에 탑재되어져, 상하 및 전후 방향으로 이동이 가능하다.The package picker 50, which picks up the package 1 from the tray feeder 42, is installed at the point moved to the left of the tray feeder 42 along the tray feeder conveying member 46. The package picker 50 is mounted on the package picker vertical transfer member 53 and the package picker horizontal transfer member 54, as shown in FIG. 3, and can move in the vertical direction.
상기 패키지 픽커 수평이송부재(54)를 따라 패키지(1)를 집은 상태의 패키지 픽커(50)가 전방으로 이동한 지점에는 패키지(1)를 튜브(60)에 적재하는 패키지 적재 유닛(80)이 설치되어져 있다.The package loading unit 80 for loading the package 1 into the tube 60 at a point where the package picker 50 in the state where the package 1 is picked up along the package picker horizontal transfer member 54 moves forward. Is installed.
상기 패키지 픽커(50)를 통해 상기 트레이(5)로부터 패키지(1)가 상기 패키지 적재 유닛(80)으로 모두 공급되고 나면, 빈 트레이(5)를 적재하고 있는 트레이 피더(42)는 트레이 피더 이송부재(46)를 따라 우측으로 이동하게 되는데, 트레이 피더(42)가 우측방향으로 이송된 지점인 트레이언로딩포지션(32) 상방향에는 트레이 픽커 이송부재(26)에 의해 상기 제1트레이 픽커(22)와 같이 구동되며 상하방향으로 이동 가능한 제2트레이 픽커(24)가 위치되어져 있다.After all of the packages 1 are supplied from the tray 5 to the package loading unit 80 through the package picker 50, the tray feeder 42, which is loading the empty tray 5, transfers the tray feeder. It moves to the right along the member 46, the first tray picker (26) by the tray picker transfer member 26 in the upper direction of the tray unloading position 32 which is the point where the tray feeder 42 is transferred to the right direction A second tray picker 24 which is driven as in 22 and movable up and down is located.
상기 제2트레이 픽커(24)는 빈 트레이(5)를 집어 트레이 픽커 이송부재(26)를 따라 본 발명에 따른 패키지 적재 장치의 전방 즉, 온로더부(10)의 우측으로 이동시키는데 이곳에는 빈 트레이(5)가 적재되어지는 오프로더부(14)가 설치되어져 있다.The second tray picker 24 picks up the empty tray 5 and moves along the tray picker conveying member 26 to the front of the package stacking device according to the present invention, that is, to the right side of the onloader portion 10. The off-loader part 14 in which the tray 5 is mounted is provided.
이하 본 발명에 따른 반도체 패키지 적재장치를 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the semiconductor package stacking apparatus according to the present invention will be described in detail.
먼저 도 2, 3을 참조하여 온로더부(10)부터 먼저 설명한다.First, the onloader unit 10 will be described first with reference to FIGS. 2 and 3.
상기 온로더부(10)의 내부에는 패키지(1)가 안착된 트레이(5)의 적재가 가능한 트레이 선반(12)이 설치되어 있다. 상기 트레이 선반(12)은 반도체 후공정 제조장비에서 공지된 바와 같이 도시되지 않은 볼 스크류 및 너트와 구동모터로 이루어지는 엘리베이터 장치에 의하여 상하로 구동되어진다.Inside the on-loader unit 10, a tray shelf 12 capable of loading the tray 5 on which the package 1 is mounted is installed. The tray shelf 12 is driven up and down by an elevator device consisting of a ball screw and nut and a drive motor, not shown, as is known in semiconductor post-process manufacturing equipment.
상기 온로더부(10)의 상측에는 트레이 선반(12)의 최상부에 위치한 트레이(5)를 집어 올리는 제1트레이 픽커(22)가 트레이 픽커 이송부재(26)에 탑재되어져 있다. 이 트레이 픽커 이송부재(26)에는 전술한 바와 같이 오프로더부(14) 상측에 위치되어지도록, 제2트레이 픽커(24)가 탑재되어져 있는데, 상기 제1, 2트레이 픽커(22, 24)는 픽커 아암(21)에 의해 상호 연결되어져 상기 트레이 픽커 이송부재(26)에 의해 본 발명에 따른 반도체 패키지 적재 장치의 전후방으로 이동되어진다. 상기 트레이 픽커 이송부재(26)는 반도체 후공정 제조장비에서 공지된 바와 같이 도시되지 않은 볼 스크류 및 너트와 구동 모터로 이루어져 있으며, 상기 픽커 아암(21)은 상기 너트에 고정되어 볼 스크류가 회전함으로서 제1, 2트레이 픽커(22, 24)가 이동되어질 수 있도록 구성되어져 있다.Above the on-loader portion 10, a first tray picker 22 for picking up the tray 5 located at the top of the tray shelf 12 is mounted on the tray picker transfer member 26. The tray picker conveying member 26 is provided with a second tray picker 24 so as to be positioned above the offloader section 14 as described above. The first and second tray pickers 22 and 24 are pickers. Interconnected by the arms 21 and moved by the tray picker transfer member 26 back and forth of the semiconductor package stacking device according to the present invention. The tray picker conveying member 26 is composed of a ball screw and nut and a drive motor, not shown as is known in semiconductor post-process manufacturing equipment, and the picker arm 21 is fixed to the nut to rotate the ball screw. The first and second tray pickers 22 and 24 are configured to be moved.
여기서 상기 제1, 2트레이 픽커(22, 24) 장변 양측에는 도시되지 않은 공압 실린더에 의해 회동하여 상기 트레이(5)에 형성된 장착홈(7)으로 파지되는 핑거(23)가 설치되어 있고, 상기 제1, 2트레이 픽커(22, 24)는 실린더(25)를 통해서 상기 픽커 아암(21)에 연결되어 있다.The first and second tray pickers 22 and 24 are provided at both sides of a long side, and fingers 23 are pivoted by a pneumatic cylinder (not shown) and gripped by mounting grooves 7 formed in the tray 5. The first and second tray pickers 22 and 24 are connected to the picker arm 21 via a cylinder 25.
도 2, 3, 4에 도시된 바와 같이 상기 트레이 픽커 이송부재(26)에 의해 제1, 2트레이 픽커(22, 24)가 후방으로 이송되어지는 곳에는 트레이 피더 이송부재(46)가 배치되어 있다. 이 트레이 피더 이송부재(46)에는 트레이 피더(42)가 상기 제1, 2트레이 픽커(22, 24)의 하방에 대응되는 위치로 이동 가능하게 장착되어져 있다. 상기 트레이 피더 이송부재(46)는 반도체 후공정 장비에서 공지된 바와 같이 도시되지 않은 볼 스크류 및 너트와 구동 모터로 구성되어져 있다. 상기 트레이 피더 이송부재(46)에 의해서 상기 트레이 피더(42)는 상기 제1, 2트레이 픽커(22, 24)가 후방으로 이동하였을 때 이에 대응하는 위치로 좌우 이동가능하다. 여기서, 상기 제1트레이 픽커(22)에 대응하는 위치는 제1트레이 픽커(22)가 패키지가 안착된 트레이(5)를 트레이 피더(42)에 내려놓게 되므로 트레이 로딩 포지션(30)이되며, 제2트레이 픽커(24)에 대응하는 위치는 제2트레이 픽커(24)가 빈 트레이(5)를 트레이 피더(42)로부터 집어 올리므로 트레이 언로딩 포지션(32)이 되게 된다. 한편, 상기 트레이 피더 이송부재(46)는 상기 트레이 피더(42)를 상기 패키지 픽커(50) 하방에 대응하는 위치로 이송시킬 수 있는데, 이 위치는 상기 패키지 픽커(50)가 트레이(5)로부터 상기 패키지(1)를 집어 올리게 되므로 패키지 언로딩 포지션(34)이 되게 된다.As shown in FIGS. 2, 3, and 4, the tray feeder transfer member 46 is disposed where the first and second tray pickers 22 and 24 are moved backward by the tray picker transfer member 26. have. The tray feeder 42 is attached to the tray feeder conveying member 46 so as to be movable to a position corresponding to the lower side of the first and second tray pickers 22 and 24. The tray feeder conveying member 46 is comprised of a ball screw and nut and a drive motor, not shown, as is known in semiconductor post-process equipment. The tray feeder 42 may be moved left and right by the tray feeder conveying member 46 to a position corresponding to the first and second tray pickers 22 and 24 when the trays are moved backwards. Here, the position corresponding to the first tray picker 22 is the tray loading position 30 because the first tray picker 22 puts the tray 5 on which the package is seated on the tray feeder 42. The position corresponding to the second tray picker 24 is the tray unloading position 32 because the second tray picker 24 picks up the empty tray 5 from the tray feeder 42. On the other hand, the tray feeder transfer member 46 may transfer the tray feeder 42 to a position corresponding to the lower side of the package picker 50, the position of the package picker 50 from the tray (5) Since the package 1 is picked up, the package unloading position 34 becomes.
한편, 도 3과 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 트레이 피더(42)의 하방에는 상기 트레이 피더(42)를 소정 각도로 회전시키기 위한 트레이 피더 회전부재(43)가 설치되어져 있다. 상기 트레이 피더 회전부재(43)는 소정각도로 회전하는 것이 가능한 스텝모터(44)와 상기 스텝모터(44)와 상기 트레이 피더(42)에 각각 고정된 회전축(45)으로 구성되어 있어서, 스텝 모터(44)의 회전에 의해 회전축(45)을 경유하여 상기 트레이 피더(42)를 소정 각도로 회전시킬 수가 있다. 상기 트레이피더(42)의 회전각도는 0도 90도 180도 270도로 구분할 수 있으며, 더욱 미세한 각도로 나누어서 상기 회전 각도를 제어할 수도 있다. 상기 트레이 피더(42)를 회전시키는 이유는 트레이(5)에 안착된 패키지의 방향이 싱귤레이션 장치에 구비된 오프로더부의 종류에 따라 다르므로, 어떠한 싱귤레이션 장치의 오프로더부에 의해서 트레이(5)에 패키지(1)가 안착되어지더라도 상기 트레이 피더 회전부재(43)에 의해 트레이 피더(42)를 회전시킴으로서 패키지 픽커(50)에 집혀지는 패키지의 방향성을 항상 일정하게 하게 하기 위해서이다.3 and 7, a tray feeder rotating member 43 for rotating the tray feeder 42 at a predetermined angle is provided below the tray feeder 42. The tray feeder rotating member 43 is composed of a step motor 44 capable of rotating at a predetermined angle and a rotation shaft 45 fixed to the step motor 44 and the tray feeder 42, respectively, so as to provide a step motor. By the rotation of 44, the tray feeder 42 can be rotated at a predetermined angle via the rotation shaft 45. The rotation angle of the tray feeder 42 may be divided into 0 degrees 90 degrees 180 degrees 270 degrees, and may be divided into finer angles to control the rotation angle. The reason for rotating the tray feeder 42 is that the direction of the package seated on the tray 5 depends on the type of offloader provided in the singulation device. Even if the package 1 is seated, the tray feeder 42 is rotated by the tray feeder rotating member 43 so that the orientation of the package picked up by the package picker 50 is always constant.
또한, 상기 트레이 피더(42)의 장변측에는 도시되지 않은 공압 실린더에 의해 작동하는 핑거(41)가 설치되어져 있는데, 이 핑거(41)는 트레이 피더(42)에 안착된 트레이(5)의 휨이나 비틀림등을 바로잡는 역할을 한다. 즉, 트레이 피더(42)에 트레이(5)가 놓여지게 되면, 상기 핑거(41)는 상기 트레이(5)의 장착단차부(9)를 잡아주는 역할을 하게 된다. 이 구성에 관해서는 본 출원인에 의해서 선출원된 실용신안 반도체 패키지용 트레이 피더(실용신안 출원번호: 20-2002-0035752)에 잘 개시되어 있다.In addition, a finger 41 which is operated by a pneumatic cylinder (not shown) is provided on the long side of the tray feeder 42, and the finger 41 is used for bending the tray 5 seated on the tray feeder 42. It corrects torsion, etc. That is, when the tray 5 is placed on the tray feeder 42, the finger 41 serves to hold the mounting step 9 of the tray 5. This configuration is well disclosed in the tray feeder for utility model semiconductor packages (Utility Model Application No. 20-2002-0035752) filed previously by the present applicant.
도 3, 4, 6에 도시된 바와 같이, 패키지 언로딩 포지션(34)에 위치한 트레이 피더(42)로부터 패키지(1)를 집는 상기 패키지 픽커(50)는 패키지(1)를 집기 위한 패키지 픽커 수직이송부재(53)와 패키지(1)를 집은 상태에서 패키지(1)를 상기 패키지 적재 유닛(80)까지 이송하기 위해 패키지 픽커 수평 이송부재(54)에 의해서 상하 전후로 이송할 수 있도록 구성되어 있다.As shown in Figs. 3, 4 and 6, the package picker 50 which picks up the package 1 from the tray feeder 42 located in the package unloading position 34 is a vertical package picker for picking up the package 1. In order to convey the package 1 to the package stacking unit 80 in a state where the conveying member 53 and the package 1 are picked up, the package picker horizontal conveying member 54 is configured to be transported up and down. .
상기 패키지 픽커(50)는 부압을 이용해서 상기 패키지(1)를 집어 올리는데,패키지(1)를 용이하게 흡착할 수 있도록 패키지 픽커(50)의 하단에는 다수개의 진공패드(51)가 제공되어 있다. 상기 패키지 픽커(50)는 솔레노이드밸브(56)에 의해 부압이 제어되어, 상기 패키지 픽커(50)를 개별적으로 동작시킬 수 있다. 상기 패키지 픽커(50)는 솔레노이이드 밸브(56)에 의해서 개별 동작되므로 튜브(60)에 적재되어져야 하는 패키지(1) 수량에 따라서, 트레이(5)로부터 패키지(1)를 원하는 만큼 카운트해서 집어 올릴 수 있다.The package picker 50 picks up the package 1 by using negative pressure, and a plurality of vacuum pads 51 are provided at the bottom of the package picker 50 so as to easily absorb the package 1. . Negative pressure is controlled by the solenoid valve 56 of the package picker 50 to operate the package picker 50 individually. Since the package picker 50 is individually operated by the solenoid valve 56, according to the quantity of the package 1 to be loaded in the tube 60, the package picker 50 is counted as desired from the tray 5. I can pick it up.
상기 패키지 픽커 수직 이송부재(53)는 패키지 픽커(50)를 상하 이송시켜 상기 진공패드(51)가 트레이(5)에 담겨진 패키지(1)를 흡착 가능한 위치에 도달하도록 하는 역할을 한다. 상기 패키지 픽커 수직 이송부재(53)는 실린더 또는 서보 모터에 의해서 구동이 가능하다. 본 발명에서는 패키지 픽커 수직 이송부재(53)의 구동 수단으로 서보 모터를 이용하고 있으며, 서보 모터의 동력 전달을 위해서 도시되지 않은 볼 스크류 및 너트가 설치되어져 있다. 본 발명과 같이 패키지 픽커(50)의 수직 이송부재(53)에 서모 모터를 이용할 경우에는 패키지 픽커(50)의 상하 스트로크 조절이 용이한 장점을 갖게 된다.The package picker vertical transfer member 53 transfers the package picker 50 up and down so that the vacuum pad 51 reaches a position capable of absorbing the package 1 contained in the tray 5. The package picker vertical transfer member 53 may be driven by a cylinder or a servo motor. In the present invention, a servo motor is used as a drive means of the package picker vertical transfer member 53, and a ball screw and nut (not shown) are provided for power transmission of the servo motor. When the thermo motor is used for the vertical transport member 53 of the package picker 50 as in the present invention, the vertical stroke of the package picker 50 can be easily adjusted.
그리고, 패키지 픽커 수평이송부재(54)는 패키지(1)를 집은 상기 패키지 픽커(50)를 패키지언로딩포지션(34)에서 슈트(62)까지 레일을 따라 수평 이동시키기 위한 역할을 한다. 상기 패키지 픽커 수평이송부재(54)는 반도체 후공정 장비 등에서 공지된 바와 같이 서보 모터, 볼 스크류 및 너트등으로 구성되어 있다.In addition, the package picker horizontal transfer member 54 serves to horizontally move the package picker 50 picking up the package 1 along the rail from the package unloading position 34 to the chute 62. The package picker horizontal transfer member 54 is composed of a servo motor, a ball screw, a nut, and the like, as is known in semiconductor post-process equipment.
이하 도 8 내지 도 10을 참조하여 패키지 적재 유닛(80)을 설명한다.Hereinafter, the package loading unit 80 will be described with reference to FIGS. 8 to 10.
도 8는 상기 패키지 픽커(50) 로부터 이송된 패키지(1)가 적재되는 패키지적재유닛(80)의 측면도(도 1의 D-D' 방향의 우측면도)이고, 도 9는 그 평면도(도 8의 E 방향의 평면도)이고, 도 10은 도 8의 F-F' 방향에서 바라본 도면이다.FIG. 8 is a side view (right side view in the DD 'direction of FIG. 1) in which the package 1 transferred from the package picker 50 is loaded, and FIG. 9 is a plan view thereof (E in FIG. 8). Direction), and FIG. 10 is a view seen from the FF 'direction of FIG.
상기 패키지 적재 유닛(80)은 도 9에 도시된 바와 같이, 슈트(62)를 구비하고 있다. 상기 슈트(62)는 상기 패키지 픽커로부터 패키지(1)를 내려받기 위한 안착부(63)를 구비하고 있으며, 상기 안착부(63)의 좌우측에는 공압이 분사되는 이송홀(64)과 상기 이송홀(64)로부터 상기 패키지(1)의 진행 방향으로 형성된 이송홈(65)이 구비되며, 상기 안착부(63)에 장착된 패키지(1)를 도시되지 않은 공압 발생부로부터 발생된 공압에 의해서 패키지 적재 유닛(80)에 적재되어 있는 튜브(60) 방향으로 밀어주게 된다. 또한 상기 안착부(63)의 상부에는 실린더(66)에 의해 회동되어 개폐되는 커버(67)가 구비되어 있는데, 이 커버(67)는 패키지(1)가 상기 안착부(63)에 안착되어질 때는 열리게 되고, 상기 패키지(1)가 상기 안착부(63)에 안착되고 난 후에는 폐쇄되어 상기 패키지가 상기 안착부(63)로부터 이탈하지 못하도록 하는 역할을 한다. 도 9는 상기 이송홀(64)과 이송홈(65)을 예시하기 위하여 편의상 상기 커버가 열려져 있는 것으로 도시하였다. 상기 커버(67)가 폐쇄되었을 때는 상기 안착부(63)와 상기 커버(67) 사이에는 패키지(1)가 이동할 수 있는 통로가 형성되어지게 된다.The package loading unit 80 has a chute 62, as shown in FIG. The chute 62 includes a seating portion 63 for downloading the package 1 from the package picker, and a transfer hole 64 and the transfer hole are sprayed with pneumatic pressure on left and right sides of the seating portion 63. A transfer groove 65 formed in the traveling direction of the package 1 is provided from 64, and the package 1 mounted on the seating portion 63 is packaged by pneumatic pressure generated from a pneumatic generator not shown. It is pushed in the direction of the tube 60 loaded on the loading unit 80. In addition, the upper portion of the seating portion 63 is provided with a cover 67 which is rotated and opened and closed by the cylinder 66, the cover 67 is when the package 1 is seated on the seating portion (63) The package 1 is opened and closed after the package 1 is seated in the seating part 63 to prevent the package from being detached from the seating part 63. 9 illustrates that the cover is opened for convenience in order to illustrate the transfer hole 64 and the transfer groove 65. When the cover 67 is closed, a passage through which the package 1 can move is formed between the seating portion 63 and the cover 67.
한편, 상기 패키지 픽커(50)에 의하여 상기 슈트(62)에 놓여지는 패키지(1)를 튜브(60)에 적재하기 위해서, 상기 수평이송부재(54)의 하측 레일에는 푸셔구동부(70)가 구비되어 있다. 이 푸셔 구동부(70)는 반도체 후공정 장비에서 공지되어 있는 바와 같이 도시되지 않은 서보 모터에서 구동되는 볼 스크류 및 너트로 이루어져 있다. 상기 너트는 볼 스크류의 회전에 의해 본 발명에 따른 반도체 패키지 적재장치의 전후방향으로 이동이 가능한데, 상기 너트에는 퓨셔바(72)가 연결되어 상기 푸셔바(72)는 전후 이동이 가능하다. 상기 푸셔바(72)는 상기 슈트에 안착된 패키지가 공압에 의해 원활하게 튜브(60)로 이동되지 못하였을 때, 패키지(1)를 기계적인 힘을 이용하여 튜브(60)로 이송시키는 역할을 하게 된다.Meanwhile, in order to load the package 1 placed on the chute 62 by the package picker 50 onto the tube 60, the pusher driving part 70 is provided on the lower rail of the horizontal transfer member 54. It is. This pusher drive 70 consists of a ball screw and nut driven in a servo motor, not shown, as is known in semiconductor post-process equipment. The nut is movable in the front and rear direction of the semiconductor package loading apparatus according to the present invention by the rotation of the ball screw, the pusher bar 72 is connected to the nut, the pusher bar 72 can be moved back and forth. The pusher bar 72 serves to transfer the package 1 to the tube 60 by using mechanical force when the package seated on the chute cannot be smoothly moved to the tube 60 by pneumatic pressure. Done.
한편, 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 슈트(62)의 연장선상에는 패키지(1)가 적재되는 튜브(60)가 안착되어지는 튜브 안착부(90)가 구비되어져 있으며, 상기 튜브 안착부(90)에 측면에는 상기 튜브 안착부(90)에 빈 튜브(60)를 공급하는 튜브 공급부(82)가 구비되어 있고, 상기 튜브 공급부(82)의 하측에는 상기 튜브 공급부(82)로부터 빈 튜브(60)를 상기 튜브 안착부(90)로 이동시키는 튜브 피딩 블록(91)이 제공되어져 있다. 또한 상기 튜브 안착부(90)의 타측에는 상기 튜브 안착부(90)에 안착된 튜브(60)에 패키지(1)가 적재되어진 튜브(60)를 모으기 위한 경사면(84)이 구비된 저장부(86)가 상기 튜브 공급부(82)의 일측에 형성되어 있다.On the other hand, as shown in Figure 10, on the extension line of the chute 62 is provided with a tube seating portion 90 on which the tube 60 on which the package 1 is mounted is mounted, and the tube seating portion 90 The side of the tube is provided with a tube supply portion 82 for supplying the empty tube 60 to the tube seating portion 90, the lower side of the tube supply portion 82 is empty tube 60 from the tube supply portion 82 There is provided a tube feeding block 91 for moving the tube into the tube seat 90. In addition, a storage unit having an inclined surface 84 for collecting the tube 60 on which the package 1 is mounted on the tube 60 seated on the tube seating portion 90 on the other side of the tube seating portion 90 ( 86 is formed on one side of the tube supply part 82.
상기 패키지 적재 유닛(80)의 각 구성부에 대해 보다 상세히 설명하면, 상기 튜브 안착부(90)는 실린더(92)에 의해서 상하로 구동되며 튜브(60)가 안착되어질 수 있도록 홈(94)이 형성된 업다운 포켓(93)과, 상기 업다운 포켓(93) 하강시 상기 튜브(60)를 지지하는 튜브지지 블록(95)과, 상기 튜브(60)의 이탈을 방지할 수 있도록 상기 튜브(60)를 양단에서 도시되지 않은 스프링에 의해 지지하는 압력핀(96)이 설치된 프레스 블록(97)과, 상기 패키지(1)의 공급 방향 타측에 설치되어 상기 튜브(60)를 실린더(98)에 의해 수평방향으로 가압하는 엔드 푸셔 유닛(99)과, 상기엔드 퓨셔 유닛(99)에 의해서 튜브(60)가 휘어지는 것을 방지할 수 있도록 상기 프레스 블록(97)에 고정되어 상기 업다운 포켓(3)에 안착된 튜브(60)의 중간부분을 지지하는 상부 가이드(100)로 이루어져 있다.In more detail with respect to each component of the package loading unit 80, the tube seating portion 90 is driven up and down by the cylinder 92 and the groove 94 is so that the tube 60 can be seated The formed up-down pocket 93, the tube support block 95 for supporting the tube 60 when the up-down pocket 93 descends, and the tube 60 to prevent the tube 60 from being separated. Press block 97 provided with a pressure pin 96 supported by a spring (not shown) at both ends, and is installed on the other side of the supply direction of the package 1 so that the tube 60 is moved horizontally by the cylinder 98. End pusher unit (99) pressurized by the end and the tube is fixed to the press block (97) seated in the up-down pocket (3) to prevent the tube (60) from being bent by the end pusher unit (99) Consists of the upper guide 100 for supporting the middle portion of (60).
상기 튜브 공급부(82)는 상기 패키지 적재 유닛(80)의 양측에 고정된 수직 가이드(101)와 상기 수직 가이드(101)에 삽입되어진 튜브 가이드(102)로 이루어져 있다. 상기 튜브 가이드(102)에는 홈(103)이 형성되어져 튜브(60)의 적재가 가능하다.The tube supply part 82 includes a vertical guide 101 fixed to both sides of the package loading unit 80 and a tube guide 102 inserted into the vertical guide 101. A groove 103 is formed in the tube guide 102 to allow the tube 60 to be loaded.
상기 튜브 피딩 블록(1)은 상기 튜브 가이드(102) 저면에 위치되어 상기 튜브 가이드(102)의 가장 아래에 적재된 튜브(60)를 지지하고 있다. 이 피딩 블록에는 상기 튜브가 삽입되어지는 홈(94)이 형성되어 있고, 상기 베이스(104)에 고정된 실린더(105)에 고정되어 수평으로 이동가능하다.The tube feeding block 1 is located on the bottom surface of the tube guide 102 to support the tube 60 mounted on the bottom of the tube guide 102. The feeding block is formed with a groove 94 into which the tube is inserted, and is fixed to the cylinder 105 fixed to the base 104 and is movable horizontally.
이와 같이 구성되는 상기 패키지 적재 유닛(80)은 튜브(60)의 다양한 길이를 수용할 수 있도록 도 8에 도시된 바와 같은 거의 좌우 동형으로 구성된 패키지 적재 유닛의 일측(도 8에서는 좌측) 구성 부분을 베이스(104)를 따라 슬라이딩 가능하게 구성하였다.The package loading unit 80 configured as described above may include one side (left side in FIG. 8) of the package loading unit having a substantially left and right isomorphism as shown in FIG. 8 to accommodate various lengths of the tube 60. It was configured to be slidable along the base 104.
한편, 상기 온로더부(10) 우측방향에는 오프로더부(14)가 설치되어 있는데, 오프로더부(14)는 패키지(1)를 패키지 적재 유닛(80)에 모두 공급한 빈 트레이(5)가 차례로 적재되어지는 곳이다. 상기 빈 트레이(5)는 도 3에 도시된 바와 같이 오프로더부(14)의 트레이 선반(12)에 차례로 적재되어진다. 상기 오프로더부(14)의 트레이 선반(12)은 상기 온로더부의 선반(12)과 마찬가지로 볼 스크류 및 너트와구동 모터로 이루어지는 엘리베이터 장치에 의하여 상하로 구동 가능한데, 트레이(5)가 오프로더부(14)로 적재될 때마다 트레이(5)의 높이만큼 단계적으로 선반(12)은 한단계씩 하측으로 이동되어질 수 있도록 구성되어 있다.On the other hand, the off-loader part 14 is installed in the right direction of the on-loader part 10. The off-loader part 14 is the empty tray 5 which supplied all the packages 1 to the package loading unit 80 in order. This is where it is loaded. The empty tray 5 is sequentially loaded on the tray shelf 12 of the offloader portion 14 as shown in FIG. The tray shelf 12 of the offloader part 14 can be driven up and down by an elevator device consisting of a ball screw, a nut and a driving motor, similarly to the shelf 12 of the onloader part, and the tray 5 is the offloader part 14. The shelf 12 is configured to be moved downward by one step each time as the height of the tray 5 is loaded into the c).
상기 구성을 갖는 본 발명 실시예에 의한 반도체 패키지 적재장치의 동작에 대하여 설명하기로 한다.The operation of the semiconductor package mounting apparatus according to the embodiment of the present invention having the above configuration will be described.
도 1과 도 2에 도시된 바와 같이, 작업자에 의해 온로더부(10)의 트레이 선반(12)에 패키지(1)가 들어있는 트레이(5)가 올려지게 되면, 엘레베이터 장치에 의하여 자동적으로 트레이 선반(12)이 상승하여 트레이(5)는 제1트레이픽커(22)가 집어올려질 수 있는 높이로 위치하게 된다. 이후, 공압 실린더(25)의 실린더 로드가 하강하여 제1트레이픽커(22)가 하강하면, 이후 공압 실린더에 의해 핑거(23)가 회전하여 핑거(23)가 장착홈(7)으로 삽입되어 트레이(5)는 제1트레이 픽커(22)에 결합되어지게 된다. 이후 공압 실린더(25)에 의해 제1트레이 픽커(22)가 상승하고 나면, 제1트레이 픽커(22)는 트레이 픽커 이송부재(26)에 의하여 트레이로딩포지션(30) 위치로 이송되어진다.1 and 2, when a tray 5 containing a package 1 is placed on the tray shelf 12 of the on-loader unit 10 by an operator, the tray is automatically lifted by the elevator apparatus. The shelf 12 is raised so that the tray 5 is positioned at a height at which the first tray 22 can be picked up. Then, when the cylinder rod of the pneumatic cylinder 25 is lowered and the first tracker 22 is lowered, the fingers 23 are rotated by the pneumatic cylinders, and the fingers 23 are inserted into the mounting grooves 7 so that the trays are lowered. 5 is to be coupled to the first tray picker 22. After the first tray picker 22 is raised by the pneumatic cylinder 25, the first tray picker 22 is transferred to the tray loading position 30 by the tray picker transfer member 26.
트레이 로딩 포지션(30)에 제1트레이픽커(22)가 위치되게 되면, 트레이 피더 (42)역시 트레이 피더 이송부재(46)에 의해서 트레이 로딩 포지션(30)에 위치한 상태가 되게 된다. 이후 공압실린더(25)에 의해 트레이 픽커(22)는 하강하고, 핑거(23)가 해제되어 패키지(1)가 들어있는 트레이(5)를 트레이 피더(42)에 내려놓게 된다. 상기 트레이 픽커 이송부재(26)는 패키지(1) 안착된 트레이(5)를 상기 트레이 피더(42)에 놓은 후 제1트레이 픽커(22)가 패키지(1)가 안착된 트레이(5)를집어 올리도록 다시 온로더부(10)로 돌아가고, 제1트레이 픽커(22)가 트레이(5)를 온로더부(10)로부터 집은후에는, 패키지(1)가 안착된 트레이(5)를 트레이 피더(42)에 내려놓을 수 있도록 제1트레이 픽커(22)를 다시 트레이 로딩 포지션(30)까지 이동시키게 된다.When the first tray picker 22 is positioned at the tray loading position 30, the tray feeder 42 is also positioned at the tray loading position 30 by the tray feeder conveying member 46. Then, the tray picker 22 is lowered by the pneumatic cylinder 25, and the finger 23 is released to lower the tray 5 containing the package 1 onto the tray feeder 42. The tray picker transfer member 26 places the tray 5 on which the package 1 is seated on the tray feeder 42, and then the first tray picker 22 picks up the tray 5 on which the package 1 is seated. After returning to the on-loader section 10 again, the first tray picker 22 picks up the tray 5 from the on-loader section 10, and then the tray 5 on which the package 1 is seated. The first tray picker 22 is moved back to the tray loading position 30 so as to be placed on the feeder 42.
한편, 상기 트레이(5)가 트레이 피더(42)에 놓여지면, 트레이 피더(42)의 핑거(41)가 작동하여, 트레이(5)를 고정함과 동시에 트레이(5)의 비틀림이나 휨등을 교정하게 된다. 이후 상기 트레이 피더(42)는 트레이 피더(42)에 놓여진 트레이(5)에 안착된 패키지(1)의 방향성을 맞추어 주기 위하여 회전구동부재(43)의 스텝 모터(44)에 의하여 소정 각도 회전하게 된다. 그러나, 상기 트레이 피더(42)는 트레이(5)에 놓여진 패키지의 방향성에 따라 트레이 피더(42)의 회전 없이 상기 패키지언로딩포지션(34)으로 이동할 수도 있다. 이와 같이 트레이(5)가 회전하거나 하지 않는 것은 작업자가 트레이(5)에 안착된 패키지(1)의 방향성을 미리 인지하고 튜브(60)에 적재되어질 패키지(1)의 방향을 판단한 후, 트레이 피더(42)의 회전각을 미리 도시되지 않은 제어장치에 입력함으로서 결정되어지게 된다.On the other hand, when the tray 5 is placed in the tray feeder 42, the finger 41 of the tray feeder 42 is operated to fix the tray 5 and correct the twist or warp of the tray 5 at the same time. Done. The tray feeder 42 is then rotated a predetermined angle by the step motor 44 of the rotary drive member 43 to match the orientation of the package 1 seated on the tray 5 placed on the tray feeder 42. do. However, the tray feeder 42 may move to the package unloading position 34 without rotating the tray feeder 42 depending on the orientation of the package placed on the tray 5. In this way, the tray 5 does not rotate or not, after the operator recognizes the direction of the package 1 seated on the tray 5 in advance and determines the direction of the package 1 to be loaded on the tube 60, and then the tray feeder. It is determined by inputting the rotation angle of 42 to a control device not shown in advance.
이후, 상기 트레이 피더(42)는 패키지(1)가 들어있는 트레이(5)를 적재한 한 상태로 패키지언로딩포지션(34)이동하게 된다. 트레이 피더(42)가 패키지 언로딩 포지(34)로 이동되면, 패키지픽커(50)가 패키지 픽거 수직 이송부재(53)에 의해 아래로 이동되고, 이와 동시에 솔레노이드밸브(56)의 동작에 의하여 패키지 픽커에 부압이 작용하여 상기 패키지(1)를 원하는 수량 만큼 트레이(5)로 흡착시킬수 있게 된다. 상기 패키지 픽커(50)는 상기 패키지 픽커 상하 이송부재(53)에 의해서 다시 들어 올려지고, 이 상태에서 패키지 픽커 수평 이송수단(54)에 의해 패키지 픽커(50)는 슈트(62)의 수직 상방향 위치까지 이동되어 진다. 이후 상기 패키지 픽커(50)는 상기 패키지 픽커 수직 이송부재(53)에 의해서 다시 하강하고, 슈트(62)의 안착부(63)상에 솔레노이드 밸브(56)의 동작에 의하여 패키지(1)를 안착시키게 된다.Thereafter, the tray feeder 42 moves the package unloading position 34 in a state in which the tray 5 containing the package 1 is loaded. When the tray feeder 42 is moved to the package unloading forge 34, the package picker 50 is moved downward by the package picker vertical transfer member 53, and at the same time, the package is picked up by the operation of the solenoid valve 56. The negative pressure acts on the picker to allow the package 1 to be adsorbed to the tray 5 in a desired quantity. The package picker 50 is lifted up again by the package picker up-and-down conveying member 53, and in this state, the package picker 50 is moved vertically upward of the chute 62 by the package picker horizontal transfer means 54. It is moved to the position. Thereafter, the package picker 50 is lowered again by the package picker vertical transfer member 53, and the package 1 is seated by the operation of the solenoid valve 56 on the seating portion 63 of the chute 62. Let's go.
안착부(63)에 패키지 안착되면 실린더(66)에 의해 커버(67)가 회동하여 안착부(63) 위를 덮음으로서 패키지(1)는 슈트(62)의 안착부(63)을 이탈할 수가 없게 된다. 이 상태에서 공기가 이송홀(64)과 이송홈(65)으로 분사되면, 패키지(1)는 튜브 안착부(90)에 안착된 튜브(60)로 이동 적재되게 된다. 이송홀(64)과 이송홈(65)으로 공기가 분사된 직후, 푸셔바(72)는 푸셔 구동부(70)에 의해서 안착부(63) 위를 스치듯 지나게 되는데, 상기 푸셔바(72)는 공압에 의해서 패키지(1)가 슈트(62)의 안착부(63)로부터 튜브(60)로 이동되어지지 않은 경우에 패키지(1)를 슈트(62)의 안착부(63)로부터 튜브(60)로 확실하게 밀어 넣게 된다. 상기 패키지 픽커(50)의 반복적인 동작에 의해서, 트레이(5)에서 안착된 패키지 열이 전부 이송되면, 다음열의 패키지(1)가 패키지 픽커(50)에 의하여 이송될 수 있도록 트레이 피더 이송부재(46)에 의하여 트레이 피더(42)가 한단계(안착부간의 피치만큼)이동되어진다.(도 2에서 좌측)When the package is seated on the seating part 63, the cover 67 is rotated by the cylinder 66 to cover the seating part 63 so that the package 1 can be detached from the seating part 63 of the chute 62. There will be no. In this state, when air is injected into the transfer hole 64 and the transfer groove 65, the package 1 is moved and loaded into the tube 60 seated on the tube seating portion 90. Immediately after the air is injected into the transfer hole 64 and the transfer groove 65, the pusher bar 72 passes through the seating portion 63 by the pusher driving unit 70, and the pusher bar 72 is pneumatically pressed. When the package 1 is not moved from the seating part 63 of the chute 62 to the tube 60, the package 1 is moved from the seating part 63 of the chute 62 to the tube 60. It is pushed firmly. When all of the package rows seated in the tray 5 are transferred by the repetitive operation of the package picker 50, the tray feeder conveying member may be transported by the package picker 50 so that the next package 1 may be conveyed by the package picker 50. 46, the tray feeder 42 is moved one step (as much as the pitch between the seating portions). (Left in FIG. 2)
이와 같은 과정을 통해 상기 튜브 안착부(90)에 안착된 튜브(60)에 패키지(1)가 모두 적재되고 나면, 상기 업다운 포켓(93)이 하강하게 되고, 업다운 포켓(93)의 하강에 의해 패키지(1)가 적재된 튜브(60)는 튜브지지 블록(95)에 걸쳐져 지지된 상태를 유지하게 된다. 이후 튜브 피딩 블록(91)이 피딩 실린더(105)에 의해서 도 10의 좌측으로 이동하게 되면, 피딩 블록(91)의 홈(94)에 삽입되어 있던 빈 튜브(60)는 피딩 블록(91)과 같이 이동하게 되며, 이와 동시에 피딩 블록의 끝단은 상기 지지 블록(95)에 걸쳐 지지되어 있는 패키지(1)가 적재된 튜브(60)를 튜브 저장부(86)쪽으로 밀게 된다. 피딩 블록(91)에 의해서 밀린 튜브(60)는 도 10에 도시된 바와 같이, 경사면(84)을 따라 슬라이딩되어 튜브 저장부(86)에 저장되게 된다.After all the packages 1 are loaded on the tube 60 seated on the tube seating part 90 through the above process, the up-down pocket 93 is lowered, and the lowering of the up-down pocket 93 is caused by the lowering. The tube 60 on which the package 1 is loaded is held across the tube support block 95. Then, when the tube feeding block 91 is moved to the left side of FIG. 10 by the feeding cylinder 105, the empty tube 60 inserted into the groove 94 of the feeding block 91 is fed to the feeding block 91. At the same time, the end of the feeding block pushes the tube 60 loaded with the package 1 supported over the support block 95 toward the tube storage 86. As shown in FIG. 10, the tube 60 pushed by the feeding block 91 is slid along the inclined surface 84 to be stored in the tube storage 86.
한편, 피딩 블록(91)이 도 10의 좌측으로 완전히 이동하게 되면, 상기 업다운 포켓(93)이 업다운 실린더(92)에 의해서 다시 상승하게 되는데 이에 따라 피딩 블록(94)의 홈(94)에 있던 빈 튜브(60)의 저면과 측면은 업다운 포켓으로 안착되면서 지지되고, 그 상부는 압력핀(96)과 상부 가이드(100)에 의해서 지지되어 진다. 이후 업다운 포켓(93)이 완전히 상승하게 되면, 엔드 푸셔(99)의 실린더(98)는 상기 빈 튜브를 상기 슈트(62)쪽으로 밀어 튜브(60)가 슈트(62)측으로 밀착되게 하여 슈트(62)로부터 공급되어지는 패키지(1)가 빈 튜브(60)로 공급되어 질 수 있게 한다. 여기서, 상기 업다운 포켓(93)과 상부 가이드(100)는 상기 튜브(60)의 하부, 측면, 상부 중간 부분을 지지하고 있으므로, 상기 엔드 푸셔(99)의 실린더(98)로 상기 튜브를 슈트(62)쪽으로 밀더라도 상기 튜브(60)는 변형되지 않아서, 패키지(1)가 튜브(60) 내부로 잘 적재되어질 수 있게 한다.On the other hand, when the feeding block 91 is completely moved to the left side of FIG. 10, the up-down pocket 93 is raised again by the up-down cylinder 92, whereby the up-down pocket 93 is located in the groove 94 of the feeding block 94. The bottom and sides of the empty tube 60 are supported by being seated in an up-down pocket, the upper portion of which is supported by a pressure pin 96 and an upper guide 100. Then, when the up-down pocket 93 is fully raised, the cylinder 98 of the end pusher 99 pushes the empty tube toward the chute 62 so that the tube 60 comes into close contact with the chute 62 and the chute 62 The package 1 to be supplied from) can be supplied to the empty tube (60). Here, since the up-down pocket 93 and the upper guide 100 support the lower, side, and upper middle portions of the tube 60, the tube is churned by the cylinder 98 of the end pusher 99. Pushing toward 62 does not deform the tube 60, so that the package 1 can be loaded into the tube 60 well.
상기 튜브 피딩 블록(91)이 도 10의 우측으로 다시 원위치되게 되면 홈(94)에는 중력에 의하여 빈 튜브(60)가 안착되게 되므로, 빈 튜브(60)는 상기 튜브 피딩 블록(91)에 의해 상기 튜브(60)를 튜브 안착부(90)에 연속적으로 공급되어질수가 있게 되는 것이다.When the tube feeding block 91 is returned to the right side of FIG. 10, the hollow tube 60 is seated in the groove 94 by gravity, so that the empty tube 60 is formed by the tube feeding block 91. The tube 60 can be continuously supplied to the tube seating portion (90).
한편, 상기 패키지언로딩포지션(34)에서 패키지 픽커(50)에 의해서 트레이(5)로부터 패키지(1)의 언로딩이 완료되면, 패키지(1)가 없는 빈 트레이(5)가 장착된 트레이 피더(42)는 트레이 피더 이송부재(46)에 의하여 트레이언로딩포지션(32)으로 이동된다. 이후 공압 실린더(25)에 의해 하강한 제2트레이픽커(24)의 핑거(23)가 트레이(5)의 장착홈(7)으로 삽입되어 빈 트레이(5)는 제2트레이 픽커(24)에 집혀지게 되고, 이와 동시에 트레이 피더의 핑거(41)도 해제되어 트레이(5)를 언로딩 시킬 준비를 하게된다. 이후 공압 실린더(25)에 의해 제2트레이 픽커(24)가 상승하게 되면 빈 트레이(5)는 상기 트레이 피더(42)로부터 제거되게 된다. 상기 제2트레이 픽커(24)는 트레이 언로딩 포지션(32)에서 대기 상태를 유지하게 되며, 이 상태에서, 상기 트레이 피더(42)는 트레이 로딩 포지션(30)으로 위치하게 된다. 패키지(1)를 안착한 트레이(5)를 집고 있던 제1트레이 픽커(22)는 공압실린더(25)에 의해서 하강한 후, 핑거(23)를 해제하여 패키지(1)가 안착된 트레이(5)를 트레이 피더(42)에 내려놓게 된다. 트레이 피더(42)는 트레이(1)를 핑거(41)로 결합하게 되고, 트레이 피더 이송부재(46)에 의해 패키지 언로딩 포지션으로 이동되어지게 된다. 이후, 빈 트레이(5)를 집고 있던 제2트레이 픽커(24)는 트레이 픽커 이송부재(26)에 의해 오프로더부(14) 상측으로 이동되어진다. 이후 제2트레이 픽커(24)는 공압 실린더(25)에 의해 하강하고, 핑거(23)를 해제하여 빈 트레이(5)를 오프로더부(14)의 트레이 선반(12)에 내려 놓게 된다. 빈 트레이(5)가 트레이 선반(12)에 놓여지면, 트레이 선반(12) 엘리베이팅 장치가 작동하여 트레이 선반(12)은 놓여진 트레이(5)의 높이에 해당하는 만큼 한단계 아래로 내려가게 된다.Meanwhile, when the unloading of the package 1 from the tray 5 is completed by the package picker 50 in the package unloading position 34, the tray feeder on which the empty tray 5 without the package 1 is mounted. 42 is moved to the tray unloading position 32 by the tray feeder conveying member 46. Then, the finger 23 of the second tray picker 24 lowered by the pneumatic cylinder 25 is inserted into the mounting groove 7 of the tray 5 so that the empty tray 5 is inserted into the second tray picker 24. At the same time, the finger 41 of the tray feeder is also released to prepare for unloading the tray 5. Then, when the second tray picker 24 is raised by the pneumatic cylinder 25, the empty tray 5 is removed from the tray feeder 42. The second tray picker 24 maintains a standby state at the tray unloading position 32, in which the tray feeder 42 is positioned at the tray loading position 30. The first tray picker 22, which has picked up the tray 5 on which the package 1 is seated, is lowered by the pneumatic cylinder 25, and then releases the finger 23 to release the tray 1 on which the package 1 is seated. To the tray feeder 42. The tray feeder 42 couples the tray 1 to the fingers 41 and is moved to the package unloading position by the tray feeder conveying member 46. Thereafter, the second tray picker 24, which has picked up the empty tray 5, is moved above the offloader portion 14 by the tray picker transfer member 26. Thereafter, the second tray picker 24 is lowered by the pneumatic cylinder 25, and the finger 23 is released to lower the empty tray 5 on the tray shelf 12 of the offloader unit 14. When the empty tray 5 is placed on the tray shelf 12, the tray shelf 12 elevation device is operated so that the tray shelf 12 is lowered by one level corresponding to the height of the tray 5 placed thereon.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 반도체 패키지 적재장치에 의하면, 튜브(60)에 패키지(1) 적재시 개별로 동작되는 진공패드(51)에 의하여 정해진 수량을 정확하게 튜브(60)에 적재할 수 있게 된다.According to the semiconductor package stacking apparatus of the present invention configured as described above, it is possible to accurately load a predetermined amount of water in the tube 60 by the vacuum pad 51 which is operated separately when the package 1 is loaded in the tube 60. do.
따라서, 튜브(60)의 다양한 길이를 수용할 수 있도록 도 8에 도시된 바와 같이 패키지 적재 유닛(80)의 일측(도 8에서는 좌측) 구성 부분을 베이스를 따라 슬라이딩 시키더라도, 다양한 길이의 튜브(60)를 수용하더라도 튜브(60)의 길이에 맞게 패키지 픽커는 튜브(60)에 적절한 개수만큼 패키지를 공급 할 수가 있게 된다.Accordingly, even if one side (left side in FIG. 8) components of the package loading unit 80 are slid along the base to accommodate various lengths of the tube 60, the tubes of various lengths ( Even if the housing 60 is accommodated, the package picker can supply the appropriate number of packages to the tube 60 according to the length of the tube 60.
트레이(5)가 적재된 트레이 피더(42)를 회전 시킬수 있으므로, 트레이(5)에 어떠한 방향으로 패키지가 적재되어 오더라도, 회전구동부재(43)에 의하여 트레이를 회전시킴으로서 튜브(60)에 항상 일정한 방향으로 패키지를 적재할 수가 있게 된다.Since the tray feeder 42 on which the tray 5 is loaded can be rotated, the package 60 is always loaded onto the tube 60 by rotating the tray by the rotary drive member 43 even when the package is loaded in the tray 5 in any direction. The package can be loaded in a certain direction.
또한, 제1트레이 픽커(22)는 트레이 피더(42)가 패키지 언로딩 포지션(34)에서 패키지(1)를 패키지 픽커(50)에 공급하고 있는 동안에 온로더부(10)로부터 패키지(1)가 안착된 트레이(5)를 미리 집은후 트레이 언로딩 포지션(30)에서 대기하고 있으므로, 트레이(5)의 연속적인 공급을 최대한 빨리 할 수 있어 작업 능률이 향상되게 된다.In addition, the first tray picker 22 receives the package 1 from the onloader unit 10 while the tray feeder 42 is supplying the package 1 to the package picker 50 at the package unloading position 34. Since the tray 5, which has been seated, is pre-collected and waited at the tray unloading position 30, the continuous supply of the tray 5 can be performed as soon as possible, thereby improving work efficiency.
본 발명에 의한 반도체 패키지 적재장치에 의하면, 패키지가 담겨진 트레이로부터 패키지를 튜브로 적재하는 작업공정을 완전 자동화할 수 있으므로, 기존의 트레이 타입 오프로더만을 갖춘 싱귤레이션 장치만을 갖춘 하청 업체가 튜브에 패키지를 적재할 것을 주문 업체로부터 요구받은 경우, 본 발명에 따른 간단한 반도체 패키지 적재 장치를 저렴한 가격에 구입함으로서, 튜브 타입 오프로더가 구비된 싱귤레이션 장치를 별도로 구입하지 않고도 주문 업체의 요구를 수용할 수 있는 장점을 갖게 된다.According to the semiconductor package stacking device according to the present invention, since a work process for loading a package into a tube from a tray containing the package can be fully automated, a subcontractor having only a singulation device having only a conventional tray type offloader can load the package into the tube. When requested to be loaded by the ordering company, by purchasing a simple semiconductor package loading device according to the present invention at a low price, the advantage of being able to accommodate the needs of the ordering company without purchasing a singulation device equipped with a tube type offloader Will have
Claims (8)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2002-0078522A KR100463760B1 (en) | 2002-12-10 | 2002-12-10 | Semiconductor package loading apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2002-0078522A KR100463760B1 (en) | 2002-12-10 | 2002-12-10 | Semiconductor package loading apparatus |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20040050658A true KR20040050658A (en) | 2004-06-16 |
KR100463760B1 KR100463760B1 (en) | 2004-12-29 |
Family
ID=37344812
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR10-2002-0078522A KR100463760B1 (en) | 2002-12-10 | 2002-12-10 | Semiconductor package loading apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100463760B1 (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100721529B1 (en) * | 2006-12-13 | 2007-05-23 | 한미반도체 주식회사 | reversing apparatus for semiconductor package |
KR100833284B1 (en) * | 2006-12-18 | 2008-05-28 | 세크론 주식회사 | Transfer method of tray for semiconductor device |
KR100854436B1 (en) * | 2006-11-20 | 2008-08-28 | 한미반도체 주식회사 | Handling Apparatus for Semiconductor Package |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101461124B1 (en) | 2008-09-11 | 2014-11-13 | 한미반도체 주식회사 | Tray Off-loader for Semiconductor Manufacturing Machine |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6257226A (en) * | 1985-09-06 | 1987-03-12 | Toshiba Corp | Pickup mechanism |
JPH08292233A (en) * | 1995-04-25 | 1996-11-05 | Hitachi Ltd | Ic handler |
JPH0974128A (en) * | 1995-09-05 | 1997-03-18 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | Vacuum suction hand for ic package |
KR19980068188A (en) * | 1997-02-17 | 1998-10-15 | 김광호 | Semiconductor Chip Package Insert Device |
KR20020076553A (en) * | 2001-03-29 | 2002-10-11 | 삼성전자 주식회사 | Marking apparatus for semiconductor package |
KR20020079653A (en) * | 2002-09-02 | 2002-10-19 | 주식회사 한미 | Singulation system of semiconductor package |
-
2002
- 2002-12-10 KR KR10-2002-0078522A patent/KR100463760B1/en active IP Right Grant
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100854436B1 (en) * | 2006-11-20 | 2008-08-28 | 한미반도체 주식회사 | Handling Apparatus for Semiconductor Package |
KR100721529B1 (en) * | 2006-12-13 | 2007-05-23 | 한미반도체 주식회사 | reversing apparatus for semiconductor package |
KR100833284B1 (en) * | 2006-12-18 | 2008-05-28 | 세크론 주식회사 | Transfer method of tray for semiconductor device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100463760B1 (en) | 2004-12-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5588797A (en) | IC tray handling apparatus and method | |
JP3759579B2 (en) | RAM bus handler (Rambushandler) | |
KR100496949B1 (en) | Method and apparatus for mounting electronic components | |
US3997067A (en) | Apparatus for transporting successive printed circuit boards to and from a work station | |
KR20080045027A (en) | Unloading handler for semiconductor package | |
KR100463760B1 (en) | Semiconductor package loading apparatus | |
JP2008068985A (en) | Conveying device and conveying method | |
JPWO2007026433A1 (en) | Work handling device | |
JPH10218120A (en) | Transferring and mounting equipment for fruit and vegetables | |
KR20100053125A (en) | Apparatus for transferring semiconductor packages | |
JP2550527Y2 (en) | Feeder for stacked cup-shaped containers | |
CN216186448U (en) | Packaging machine | |
CN112756992B (en) | Antenna oscillator automatic assembly line and antenna oscillator assembly method | |
CN210191935U (en) | Crisp dish case packer | |
KR101020669B1 (en) | Apparatus for picking and placing of semiconductor chip | |
CN219030710U (en) | Automatic tray arranging machine | |
CN108605431A (en) | Component encapsulation device and method thereof | |
CN111605936A (en) | Transfer device and stacker crane | |
TW202212224A (en) | Automated warehousing system for boxing semiconductor component | |
JPH0872803A (en) | Method and device for boxing article | |
CN221841882U (en) | Battery assembling equipment | |
JPH09136718A (en) | Pallet store/extract device | |
CN115744001B (en) | Circulation feeding system and control method | |
CN211225473U (en) | Carrying device | |
CN215968115U (en) | Automatic assembly line for antenna oscillator |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20121203 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20131128 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20141126 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20161129 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20171129 Year of fee payment: 14 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20181126 Year of fee payment: 15 |