KR20030088289A - Carrier Module for Semiconductor Test Handler - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 반도체 소자를 테스트하는 핸들러에서 테스트 트레이에 설치되는 캐리어 모듈에 관한 것으로, 특히 리드 또는 볼이 소자의 저면부의 가장자리까지 위치하거나 초소형화된 BGA 타입 등의 반도체 소자를 안정적으로 장착하여 테스트 사이트의 테스트소켓에 용이하게 접속시킬 수 있도록 한 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a carrier module installed in a test tray in a handler for testing a semiconductor device, and in particular, a lead or ball is positioned up to the edge of the bottom of the device, or stably mounts a semiconductor device such as a miniaturized BGA type to a test site A carrier module for a semiconductor device test handler which can be easily connected to a test socket of the present invention.
일반적으로, 메모리 혹은 비메모리 반도체 소자 및 이들을 적절히 하나의 기판상에 회로적으로 구성한 모듈 아이씨(Module IC)들은 생산 후 여러 가지 테스트과정을 거친 후 출하된다.In general, memory ICs or non-memory semiconductor devices and module ICs having them properly configured on a substrate are shipped after various tests after production.
핸들러는 상기와 같은 반도체 소자 및 모듈램 등을 자동으로 테스트하는데 사용되고 있는 장치로, 이러한 핸들러에서는 작업자가 테스트할 반도체 소자를 수납한 트레이들을 핸들러의 로딩스택커에 적재한 후, 로딩스택커의 반도체 소자들을 별도의 테스트 트레이에 재장착하고, 이 반도체 소자들이 장착된 테스트 트레이를 테스트 사이트(test site)로 보내 반도체 소자들의 리드 또는 볼 부분을 테스트 소켓의 컨넥터에 전기적으로 접속시켜 소정의 테스트를 수행한 다음, 다시 테스트 트레이의 반도체 소자들을 분리하여 언로딩스택커의 고객 트레이에 테스트 결과에 따라 분류 장착하는 과정으로 테스트를 수행하는 것이 일반적이다.The handler is a device used to automatically test the semiconductor device and the module as described above. In such a handler, a tray containing the semiconductor device to be tested by the operator is loaded into the loading stacker of the handler, and then the semiconductor of the loading stacker is loaded. Reattach the devices to a separate test tray, send a test tray equipped with these semiconductor devices to a test site, and conduct a predetermined test by electrically connecting the lead or ball portion of the semiconductor devices to the connector of the test socket. Then, it is common to perform the test by separating the semiconductor elements of the test tray and classifying and mounting them on the customer tray of the unloading stacker according to the test result.
첨부된 도면의 도 1과 도 2는 상기와 같이 핸들러에서 반도체 소자를 공정간에 이송하기 위한 테스트 트레이와 이 테스트 트레이에 장착된 종래의 캐리어 모듈을 나타낸 것으로, 테스트 트레이(1)는 금속재질의 프레임(11)에 반도체 소자가 장착되는 복수개의 캐리어 모듈(2)이 일정 간격으로 배열되어 구성된다.1 and 2 of the accompanying drawings show a test tray for transferring a semiconductor device between processes in a handler as described above and a conventional carrier module mounted to the test tray, wherein the test tray 1 is a metal frame A plurality of carrier modules 2 on which semiconductor elements are mounted at 11 are arranged at regular intervals.
상기 캐리어 모듈(2)은 직사각형 형태의 몸체(21) 상에 반도체 소자(D)가 안착되는 소자안착부(22)가 구비되고, 이 소자안착부(22)의 양측에 반도체 소자(D)를 홀딩하는 한 쌍의 랫치(23)가 설치되어 구성된다.The carrier module 2 includes a device seating part 22 on which the semiconductor device D is mounted on a rectangular body 21, and the semiconductor device D is disposed on both sides of the device seating part 22. A pair of latches 23 for holding are provided.
여기서, 상기 랫치(23)는 몸체(21) 내부에 설치된 힌지축(미도시)을 중심으로 상하로 선회하면서 벌어졌다 오므려졌다 하며 소자안착부(22) 상에 안착된 반도체 소자(D)의 양측 가장자리의 볼(Db)이 형성되지 않은 부분을 홀딩하게 된다.Here, the latch 23 is opened and closed while pivoting up and down about a hinge axis (not shown) installed inside the body 21, and the latch 23 is formed on the device seat 22. The ball Db at both edges thereof is held.
상기와 같은 종래의 캐리어 모듈(2)은 도 2에 도시된 것과 같이 볼형성면이 위쪽을 향하도록 반도체 소자(D)를 장착하게 되는데, 이렇게 반도체 소자(D)가 장착된 테스트 트레이(1)가 핸들러의 테스트 사이트로 이송되면, 테스트 사이트에 설치된 인덱스유니트(Index Unit)가 상기 캐리어 모듈(2)을 테스트 소켓 쪽으로 밀어반도체 소자(D)의 볼(Db)이 소켓의 단자핀(미도시)과 접속되도록 하여 소정의 테스트를 수행한다.In the conventional carrier module 2 as described above, as shown in FIG. 2, the semiconductor device D is mounted with the ball-forming surface facing upward. The test tray 1 in which the semiconductor device D is mounted is thus mounted. Is transferred to the test site of the handler, the index unit installed at the test site pushes the carrier module 2 toward the test socket, and the ball Db of the semiconductor element D is connected to the terminal pin of the socket (not shown). A test is performed by making a connection with the.
그런데, 상기와 같은 종래의 캐리어 모듈들은 반도체 소자(D)의 볼(Db) 또는 리드가 형성되지 않은 부분이 많을 경우에는 랫치(23)가 반도체 소자(D)를 충분히 홀딩할 수 있으나, 최근의 추세에서 나타나는 바와 같이 볼 또는 리드가 반도체 소자의 저면부 가장자리의 전영역에 걸쳐 분포하거나 반도체 소자가 초소형인 경우에는 실질적으로 랫치(23)가 홀딩할 수 있는 부분이 충분히 확보되지 않기 때문에 캐리어 모듈에 반도체 소자를 장착할 수 없는 문제점이 발생한다.However, in the conventional carrier modules as described above, when the ball Db or the lead of the semiconductor device D is not formed in many, the latch 23 may sufficiently hold the semiconductor device D. As shown in the trend, when the ball or lead is distributed over the entire area of the bottom edge of the semiconductor element or when the semiconductor element is microminiature, since the portion that the latch 23 can hold is not sufficiently secured, There arises a problem that the semiconductor element cannot be mounted.
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 반도체 소자의 크기가 아주 작거나 반도체 소자, 특히 BGA타입 반도체 소자의 볼이 소자의 가장자리 전영역에 걸쳐 설치되더라도 반도체 소자를 안정적으로 고정함과 더불어 반도체 소자의 볼 또는 리드를 테스트 사이트의 테스트 소켓에 용이하게 접속시킬 수 있도록 한 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈을 제공함에 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, and the semiconductor device is stably fixed even if the size of the semiconductor device is very small or a ball of the semiconductor device, in particular, a BGA type semiconductor device, is installed over the entire area of the edge of the device. In addition, it is an object of the present invention to provide a carrier module for a semiconductor device test handler which can easily connect the ball or lead of the semiconductor device to the test socket of the test site.
도 1은 종래의 캐리어 모듈이 설치된 테스트 트레이의 구성을 개략적으로 나타낸 정면도1 is a front view schematically showing the configuration of a test tray installed with a conventional carrier module
도 2는 종래의 캐리어 모듈을 나타낸 사시도2 is a perspective view showing a conventional carrier module
도 3은 본 발명에 따른 캐리어 모듈을 나타낸 사시도3 is a perspective view showing a carrier module according to the present invention
도 4는 도 3의 캐리어 모듈의 평면도4 is a plan view of the carrier module of FIG.
도 5는 도 4의 I-I선 단면도5 is a cross-sectional view taken along the line I-I of FIG.
도 6은 도 4의 Ⅱ-Ⅱ선 단면도6 is a cross-sectional view taken along the line II-II of FIG. 4.
도 7은 도 6의 A부분의 확대도7 is an enlarged view of a portion A of FIG.
도 8은 본 발명에 따른 캐리어 모듈의 작동을 보여주는 것으로, 캐리어 모듈에 반도체 소자가 장착되는 동작을 보여주는 단면도8 is a cross-sectional view illustrating an operation of a carrier module according to the present invention, in which a semiconductor device is mounted on a carrier module.
도 9는 본 발명에 따른 캐리어 모듈의 작동을 보여주는 것으로, 캐리어 모듈에 반도체 소자가 테스트 사이트의 테스트 소켓 단자핀에 접속되는 동작을 보여주는 단면도9 is a cross-sectional view illustrating an operation of a carrier module according to the present invention, in which a semiconductor device is connected to a test socket terminal pin of a test site in a carrier module.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
1 : 테스트 트레이 200 : 캐리어 모듈1: test tray 200: carrier module
201 : 몸체 202 : 소자 출입홈201: Body 202: Device Access Groove
204 : 홀더 207 : 코일스프링204: holder 207: coil spring
210 : 소자 안착블럭 211 : 관통공210: device seating block 211: through hole
212 : 압축코일스프링 214 : 고정블럭212: compression coil spring 214: fixed block
215 : 포고핀 D : 반도체 소자215: pogo pin D: semiconductor element
Db : 볼Db: ball
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 대략 직육방체 형태로 되어 테스트 트레이에 고정되는 몸체와; 상기 몸체의 상부에 오목하게 형성된 소자 출입홈과; 상기 소자 출입홈의 하부에 설치되어, 소자 출입홈을 통해 볼 또는 리드 형성면이 아래로 향하도록 반도체 소자가 안착되는 접속부재와; 상기 접속부재에 상하방향으로 설치되어, 상단은 접속부재 상에 안착되는 반도체 소자의 각각의 볼 또는 리드와 접속하게 되고 하단은 상기 몸체의 하부면 외부로 노출되어 테스트 사이트의 소켓의 단자핀에 접속하게 되는 복수개의 접속핀 및; 상기 접속부재 상에 안착된 반도체 소자를 해제가능하게 고정시키기 위한 고정수단을 포함하여 구성된 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈을 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention is a substantially rectangular parallelepiped body fixed to the test tray; An element access groove recessed in an upper portion of the body; A connection member installed at a lower portion of the element access groove, and having a semiconductor element seated thereon so that a ball or lead forming surface faces downward through the element access groove; Installed in the connecting member in the vertical direction, the upper end is connected to each ball or lead of the semiconductor element seated on the connecting member and the lower end is exposed to the outside of the lower surface of the body is connected to the terminal pin of the socket of the test site A plurality of connecting pins; Provided is a carrier module for a semiconductor device test handler including a fixing means for releasably fixing a semiconductor device mounted on the connection member.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of a carrier module for a semiconductor device test handler according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 3 내지 도 7은 본 발명에 따른 캐리어 모듈의 구조를 나타낸 것으로, 본 발명의 캐리어 모듈(200)은 대체로 직육방체 형태로 되어 테스트 트레이에 고정되는 몸체(201)와, 상기 몸체(201)의 상부면 중앙에 관통되어 형성된 소자 출입홈(202)과, 상기 소자 출입홈(202)의 하부에 상하로 이동가능하게 설치되며 그 상부면에 반도체 소자(D)가 안착되는 소자 안착블럭(210)과, 상기 소자 안착블럭(210)의 하부에서 상기 몸체(201) 하부에 고정되게 설치된 고정블럭(214) 및, 상기 고정블럭(214)과 소자 안착블럭(210) 사이에 설치되어 고정블럭(214)에 대해 상기 소자 안착블럭(210)을 탄성적으로 지지하는 복수개의 압축코일스프링(212)을 구비한다.3 to 7 show the structure of a carrier module according to the present invention, the carrier module 200 of the present invention has a generally rectangular parallelepiped body 201 fixed to a test tray and the body 201. A device entrance groove 202 formed through the center of the upper surface of the device and a device mounting block 210 installed on the lower portion of the device entrance groove 202 so as to be movable up and down and on which the semiconductor device D is mounted. And a fixed block 214 fixedly installed below the body 201 under the device seating block 210 and between the fixed block 214 and the device seating block 210. And a plurality of compression coil springs 212 elastically supporting the device seating block 210 with respect to 214.
상기 몸체(201)의 상부면에는 상기 소자 출입홈(202)의 양측으로 가이드홈(203)이 형성되고, 각 가이드홈(203)에는 소자 안착블럭(210) 상에 안착된 반도체 소자(D)를 고정되게 지지하여 주는 한 쌍의 홀더(204)가 이동가능하게 설치된다.Guide grooves 203 are formed at both sides of the device access groove 202 on the upper surface of the body 201, and the semiconductor device D seated on the device mounting block 210 is formed in each guide groove 203. A pair of holders 204 for supporting the fixed fixing member are movably installed.
그리고, 상기 몸체(201)의 상부면에는 2개의 지지리브(206)가 일체로 돌출되게 형성되고, 이 지지리브(206)에는 고리형태의 코일스프링(207)이 걸쳐져 결합되는데, 상기 코일스프링(207)은 상기 홀더(204)의 외측부에 연접하며 홀더(204)를 탄성적으로 지지하게 된다.In addition, two support ribs 206 are formed to protrude integrally on an upper surface of the body 201, and an annular coil spring 207 is coupled to and coupled to the support ribs 206. 207 is in contact with the outer portion of the holder 204 and elastically supports the holder 204.
상기 홀더(204)는 내측부가 경사지도록 형성되는데, 이는 캐리어 모듈의 상측에서 반도체 소자를 픽업하는 픽커헤드가 진입시 홀더(204)가 자연스럽게 벌어지면서 소자 출입홈(202)을 통해 소자 안착블럭(210)에 반도체 소자(D)를 안착시키거나 소자 안착블럭(210) 상의 반도체 소자(D)를 인출할 수 있도록 하기 위함이다.The holder 204 is formed to be inclined at an inner side thereof, which means that the holder 204 naturally opens when the picker head picking up the semiconductor device from the upper side of the carrier module enters the device seating block 210 through the device access groove 202. This is to allow the semiconductor device D to be seated on the semiconductor device D or to draw the semiconductor device D on the device seating block 210.
또한, 상기 홀더(204)의 하부에는 횡장형의 장공(205)이 형성되고, 이 장공(205)에는 홀더(204)의 이동을 제한하기 위한 스톱퍼핀(208)이 삽입되어 고정된다.In addition, a horizontal long hole 205 is formed in the lower part of the holder 204, the stopper pin 208 for restricting the movement of the holder 204 is inserted and fixed to the long hole 205.
한편, 상기 소자 안착블럭(210)에는 안착된 반도체 소자(D)의 볼(Db) 또는 리드와 대응하는 위치에 관통공(211)들이 형성되어 있으며, 상기 고정블럭(214)에는 상기 각 관통공(211)에 삽입되도록 배치되는 복수개의 포고핀(215)(pogo pin)이 고정되는데, 여기서 상기 포고핀(215)은 그 상단부가 관통공(211) 상단에 안착되는 반도체 소자(D)의 볼(Db)과 인접하고, 포고핀(215)의 하단부는 고정블럭(214) 하부면을 통해 외부로 노출되도록 되어 있다.On the other hand, the through hole 211 is formed in a position corresponding to the ball (Db) or the lead of the semiconductor element (D) seated in the device mounting block 210, the fixed block 214, each through hole A plurality of pogo pins 215 (pogo pins) arranged to be inserted into the 211 is fixed, wherein the pogo pins 215 is a ball of the semiconductor element (D) whose upper end is seated on the upper end of the through hole (211) Adjacent to Db, the lower end of the pogo pin 215 is exposed to the outside through the lower surface of the fixing block 214.
도 8과 도 9는 각각 상기 캐리어 모듈(200)에 반도체 소자(D)가 장착되는 동작과, 캐리어 모듈(200)에 장착된 반도체 소자(D)가 테스트 사이트의 테스트 소켓단자핀(51)에 접속되는 동작을 보여주는 단면도로, 도 8과 도 9를 참조하여 캐리어 모듈(200)의 작동을 설명하면 다음과 같다.8 and 9 illustrate an operation in which the semiconductor device D is mounted on the carrier module 200, and the semiconductor device D mounted on the carrier module 200 is connected to the test socket terminal pins 51 of the test site. 8 is a cross-sectional view illustrating an operation of the carrier module 200 with reference to FIGS. 8 and 9.
핸들러의 로딩스택커(미도시)에 적재된 테스트 대상 반도체 소자들은 픽커로봇에 의해 픽업되어 테스트 트레이(1)(도 1참조)의 캐리어 모듈(200)에 장착되는 바, 도 8에 도시된 것과 같이, 반도체 소자를 픽업한 픽커로봇의 픽커헤드(30)가 캐리어 모듈(200)의 상부쪽으로 진입하면 픽커헤드(30) 하단 모서리부가 각 홀더(204)의 경사진 내측 모서리부와 접촉하면서 홀더(204)가 외측으로 이동하여 자연스럽게 벌어지게 되고, 이 상태에서 픽커헤드(30)는 홀딩하고 있던 반도체 소자를 소자 안착블럭(210) 위에 안착시킨다. 이 때, 상기 반도체 소자(D)는 볼형성면이 캐리어 모듈(200)의 내측으로, 즉 소자 안착블럭(210) 쪽으로 향하도록 장착되고, 안착된 반도체 소자(D)는 각각의 볼(Db)이 소자 안착블럭(210)의 각 관통공(211) 상에 위치하게 된다.The semiconductor devices under test loaded on the loading stacker (not shown) of the handler are picked up by the picker robot and mounted on the carrier module 200 of the test tray 1 (see FIG. 1). Likewise, when the picker head 30 of the picker robot picking up the semiconductor device enters the upper side of the carrier module 200, the bottom edge of the picker head 30 contacts the inclined inner edge of each holder 204. 204 moves to the outside to open naturally, and in this state, the picker head 30 mounts the holding semiconductor element on the element mounting block 210. At this time, the semiconductor device (D) is mounted so that the ball forming surface toward the inside of the carrier module 200, that is toward the device seating block 210, the seated semiconductor device (D) is each ball (Db) The through holes 211 of the device mounting block 210 are positioned.
이어서, 다시 픽커헤드(30)가 캐리어 모듈(200) 외측으로 빠져나가면 코일스프링(207)의 작용에 의해 홀더(204)가 원래의 위치로 복귀하며 홀더(204)의 내측 끝단이 반도체 소자(D)를 고정시킨다.Subsequently, when the picker head 30 again exits the carrier module 200, the holder 204 returns to its original position by the action of the coil spring 207, and the inner end of the holder 204 is a semiconductor device D. ).
테스트 트레이(1)의 캐리어 모듈(200)에 반도체 소자(D)들이 모두 장착되면 테스트 트레이(1)는 핸들러에 마련된 별도의 트레이 이송수단에 의해 테스트 사이트로 이송된다.When the semiconductor devices D are all mounted on the carrier module 200 of the test tray 1, the test tray 1 is transferred to the test site by a separate tray transfer means provided in the handler.
테스트 트레이(1)가 테스트 사이트에 위치되면, 별도의 푸싱유닛(미도시)이 캐리어 모듈 몸체(201)를 테스트 소켓(214) 쪽으로 밀어 포고핀(215) 하단이 단자핀(51) 끝단에 접속됨과 동시에, 도 9에 도시된 것과 같이 푸싱유닛(40)이 캐리어 모듈(200)의 반도체 소자(D) 상측으로 진입하여 반도체 소자(D)를 테스트 소켓(50) 쪽으로 밀어낸다.When the test tray 1 is located at the test site, a separate pushing unit (not shown) pushes the carrier module body 201 toward the test socket 214 so that the bottom of the pogo pin 215 is connected to the end of the terminal pin 51. At the same time, as shown in FIG. 9, the pushing unit 40 enters the upper side of the semiconductor device D of the carrier module 200 to push the semiconductor device D toward the test socket 50.
이에 따라 반도체 소자(D)가 안착된 소자 안착블럭(210)이 몸체 하부로 밀리면서 반도체 소자(D)의 각 볼(Db)이 각각의 포고핀(215) 상단부와 접속되어 테스트가 이루어지게 된다.Accordingly, the device seating block 210 on which the semiconductor device D is seated is pushed to the lower part of the body, and each ball Db of the semiconductor device D is connected to the upper end of each pogo pin 215, thereby performing a test. .
테스트가 완료되면, 반도체 소자(D)를 누르고 있던 푸싱유닛(40)이 후퇴하면서 포고핀(215)과 테스트 소켓(50)의 단자핀(51) 간의 접속이 해제되고, 테스트 트레이(1)는 핸들러의 전방으로 이송되어 캐리어 모듈(200)로부터 반도체 소자(D)를 분리하는 작업이 이루어진다. 캐리어 모듈(200)로부터 반도체 소자를 분리하는 작업은 도 8을 참조하여 전술한 소자 장착작업을 역으로 수행하면 된다.When the test is completed, the pushing unit 40 holding the semiconductor element D retreats and the connection between the pogo pin 215 and the terminal pin 51 of the test socket 50 is released, and the test tray 1 is Transferred to the front of the handler is performed to separate the semiconductor device (D) from the carrier module (200). Separation of the semiconductor device from the carrier module 200 may be performed by reversely performing the device mounting operation described above with reference to FIG. 8.
한편, 전술한 실시예에서는 캐리어 모듈 상에서 반도체 소자를 고정시키기 위해 측방으로 이동하는 홀더(204)를 사용하고 있으나, 반도체 소자가 기존과는 다르게 그의 볼형성면이 캐리어 모듈 내측방향으로 장착되므로 전술한 실시예의 홀더 구조 외에도 도 2에서 설명했던 기존의 랫치와 유사하거나 동일한 구조의 고정수단을 구성하여 사용할 수도 있다.Meanwhile, in the above-described embodiment, the holder 204 is used to move laterally to fix the semiconductor element on the carrier module. However, since the ball forming surface of the semiconductor element is mounted in the carrier module inwardly, the above-described method is used. In addition to the holder structure of the embodiment may be used by configuring a fixing means having a structure similar or identical to the conventional latch described in FIG.
이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 반도체 소자가 캐리어 모듈에 장착되면서 캐리어 모듈에 내장된 포고핀 등의 접속핀과 일차적으로 접속된 후 상기 접속핀이 테스트 소켓의 단자핀과 접속되어 테스트가 이루어지게 되므로, 반도체 소자의볼이 가장자리 전역에 걸쳐 분포되거나 반도체 소자의 크기가 매우 작은 경우에도 반도체 소자를 캐리어 모듈에 안정되게 고정시켜 테스트를 수행할 수 있게 된다.As described above, according to the present invention, the semiconductor device is mounted on the carrier module and is first connected to a connection pin such as a pogo pin embedded in the carrier module, and then the connection pin is connected to the terminal pin of the test socket to perform the test. Therefore, even when the ball of the semiconductor device is distributed over the edge or the size of the semiconductor device is very small, it is possible to stably fix the semiconductor device to the carrier module to perform the test.
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