KR20020084411A - Vacuum pump - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 반도체 제조 장치에 사용되는 진공 펌프, 특히, 그 회전자의 편심 균형(eccentric balance)을 수용하는 구조에 관한 것이다.The present invention relates to a structure for accommodating an eccentric balance of a vacuum pump, in particular, a rotor, used in a semiconductor manufacturing apparatus.
반도체 제조 공정의 드라이 에칭 프로세스(dry etching process) 또는 CVD 프로세스와 같은 고진공의 프로세스 챔버(이하, "챔버"로 언급함) 내에서 프로세스를 실행하는 공정(step)에는 챔버 내의 가스를 배출하는 수단으로 터보 분자 펌프와 같은 진공 펌프가 채용된다.The process of executing a process in a high vacuum process chamber (hereinafter referred to as a "chamber"), such as a dry etching process or a CVD process in a semiconductor manufacturing process, may be a means for discharging gas in the chamber. Vacuum pumps such as turbomolecular pumps are employed.
도 5는 이러한 진공 펌프의 종래의 기본 구조를 도시한다. 도 5에 도시된 진공 펌프의 펌프 케이스(1)는 상부면상에 가스 흡기구(2)가 설치되고, 하부의 일측부에 배기구(3)로 작용하는 배기 파이프가 원통 형상으로 형성되어, 기부(1-1)에 부착된다.5 shows a conventional basic structure of such a vacuum pump. In the pump case 1 of the vacuum pump shown in FIG. 5, a gas intake port 2 is provided on an upper surface thereof, and an exhaust pipe acting as an exhaust port 3 is formed in a cylindrical shape on one side of a lower portion thereof. Attached to -1).
기부(1-1)의 저부는 단부판(4)으로 덮여지며, 그 내부 저면의 중심부에는 고정자 기둥(5, stator column)이 직립되어 설치된다.The bottom of the base 1-1 is covered with an end plate 4, and a stator column 5 is installed upright at the center of the inner bottom thereof.
고정자 기둥(5)의 중심부에는 상부 볼 베어링(6) 및 하부 볼 베어링(6)을 통해 회전자 샤프트(7)가 회전가능하게 지지된다.In the center of the stator column 5, the rotor shaft 7 is rotatably supported by an upper ball bearing 6 and a lower ball bearing 6.
고정자 기둥(5)의 내부에 구동 모터(8)가 배치된다. 구동 모터(8)는 고정자 요소(8a)가 고정자 기둥(5) 내부에 배치되고, 회전자 요소(8b)가 회전자 샤프트(8)상에 배치되는 구조를 가지며, 회전자 샤프트(7)가 축을 중심으로 회전되는 구조이다.The drive motor 8 is arranged inside the stator column 5. The drive motor 8 has a structure in which the stator element 8a is disposed inside the stator column 5, the rotor element 8b is disposed on the rotor shaft 8, and the rotor shaft 7 is It is a structure that rotates about an axis.
고정자 기둥(5)의 외주를 덮고, 단면형상으로 형성된 회전자(9)는, 회전자 샤프트(7)의 고정자 기둥(5)으로부터 상부 돌출 단부에 연결된다.The rotor 9 covering the outer periphery of the stator column 5 and formed in the cross-sectional shape is connected to the upper projecting end from the stator column 5 of the rotor shaft 7.
블레이드 형상으로 가공되어 형성되는, 복수 개의 회전자 블레이드(10) 및 복수 개의 고정자 블레이드(11)는, 고정자(9)의 상부 측 외주면과 펌프 케이스(1)의 상부 측 내벽 사이에 회전자(9)의 회전 중심 샤프트를 따라 교대로 배치된다.The plurality of rotor blades 10 and the plurality of stator blades 11, which are processed and formed in a blade shape, have a rotor 9 between the upper outer peripheral surface of the stator 9 and the upper inner wall of the pump case 1. Are alternately arranged along the central shaft of rotation.
회전자 블레이드(10)는 회전자(9)에 일체로 가공되며, 이에 의해 회전자(9)의 상부 측 외주면에 일체로 설치된다. 또한, 회전자 블레이드(10)는 회전자(9)에 일체로 회전될 수 있다. 그러나, 고정자 블레이드(11)는 펌프 케이스(1)의 상부 측 내벽에 위치되는 스페이서(11a)를 통해 회전자 블레이드(10, 10)의 상부 스테이지와 하부 스테이지 사이에 위치되어 배치된다. 또한, 고정자 블레이드(11)는 펌프 케이스(1)의 내벽에 부착되어 고정된다.The rotor blade 10 is integrally machined on the rotor 9, whereby the rotor blade 10 is integrally installed on the outer peripheral surface of the upper side of the rotor 9. In addition, the rotor blade 10 may be integrally rotated to the rotor 9. However, the stator blades 11 are positioned and positioned between the upper and lower stages of the rotor blades 10, 10 via spacers 11a located on the inner side inner wall of the pump case 1. In addition, the stator blades 11 are attached to and fixed to the inner wall of the pump case 1.
고정 스크류 고정자(12)는 회전자(9)의 하부 측 외주면의 대향 위치에 배치된다. 스크류 고정자(12)는 그 전체 형상이 회전자(9)의 하부 측 외주면을 둘러싸도록 원통형상으로 형성되고, 기부(1-1)에 일체로 부착되어 고정된다. 나사 홈이 스크류 고정자(12) 내부, 즉, 회전자(9)에 대향하는 표면 측에 형성된다.The fixed screw stator 12 is disposed at an opposite position of the outer peripheral surface of the lower side of the rotor 9. The screw stator 12 is formed in a cylindrical shape such that its overall shape surrounds the outer peripheral surface of the lower side of the rotor 9, and is integrally attached to the base 1-1 and fixed. A screw groove is formed inside the screw stator 12, ie on the surface side opposite to the rotor 9.
도 5에 도시된 진공 펌프는, 상술한 것과 같이 챔버(14)에 가스를 배출하기위한 수단이 채용된다. 그러나, 이러한 사용 상태에서, 도 5에 도시된 진공 펌프는 챔버(14)의 하부면 측 개구부에 부착되어 고정된다. 펌프가 부착되어 고정되는 구조에서, 펌프 케이스(1)의 상부면의 원주 단부에 일체로 제공되는 플랜지(1a)가 챔버(14)의 하부면 측 개구부의 원주 단부와 마주하여, 이 상태에서 플랜지(1a)가 복수 개의 볼트(15)에 의해 챔버(14)의 측면상에 체결되는 구조가 채용된다.The vacuum pump shown in FIG. 5 employs means for discharging gas into the chamber 14 as described above. However, in this use state, the vacuum pump shown in FIG. 5 is attached and fixed to the lower side opening of the chamber 14. In the structure in which the pump is attached and fixed, the flange 1a, which is integrally provided at the circumferential end of the upper surface of the pump case 1, faces the circumferential end of the lower surface side opening of the chamber 14, and in this state the flange The structure in which (1a) is fastened on the side surface of the chamber 14 by the some bolt 15 is employ | adopted.
상기 진공 펌프의 작동에 대해 기술한다. 진공 펌프에서, 가스 배기구(3)에 연결된 보조 펌프(도시되지 않음)는 챔버(14)의 내측에 어느 정도의 진공 상태로의 진입을 야기시키기 위해 작동된다. 이후, 구동 모터(8)는 회전자 샤프트(7)와 함께 일체화되어 회전자(9) 및 회전자 블레이드(10)를 고속으로 회전시키도록 작동된다.The operation of the vacuum pump is described. In the vacuum pump, an auxiliary pump (not shown) connected to the gas exhaust port 3 is operated to cause some degree of vacuum entry into the chamber 14. The drive motor 8 is then integrated with the rotor shaft 7 and operated to rotate the rotor 9 and the rotor blade 10 at high speed.
따라서, 고속으로 회전하는 최상의 스테이지의 회전자 블레이드(10)는 가스 흡기구(2)로부터 유입된 가스 분자에 하향 운동량(downward momentum)을 부가한다. 하향 운동량을 포함한 가스 분자는 고정자 블레이드(11)로 안내되고, 다음 하부 스테이지의 회전자 블레이드(10)의 측으로 이송된다. 가스 분자로의 상기 운동량의 부가 및 이송 작동은 많은 스테이지에서 반복된다. 그 결과, 가스 흡기구(2) 측의 가스 분자는 회전자(9)의 하부 측의 스크류 고정자(12)의 내부로 연속적으로 이동된다. 가스 분자의 배기 작동은, 회전하는 회전자 블레이드(10)와 고정된 고정자 블레이드(11) 사이의 상호작용에 기인하여 야기되는 가스 분자 배기 작동이다.Thus, the rotor blade 10 of the best stage rotating at high speed adds a downward momentum to the gas molecules introduced from the gas intake 2. The gas molecules including the downward momentum are guided to the stator blades 11 and then transported to the side of the rotor blades 10 of the lower stage. The addition and transfer operation of the momentum to the gas molecules is repeated at many stages. As a result, gas molecules on the gas intake port 2 side are continuously moved into the screw stator 12 on the lower side of the rotor 9. The exhaust operation of the gas molecules is a gas molecule exhaust operation caused by the interaction between the rotating rotor blade 10 and the fixed stator blade 11.
상술한 가스 분자 배기 작동을 통해 회전자(9)의 하부 측의 스크류 고정자(12)에 도달한 가스 분자는, 회전하는 회전자(9)와 스크류 고정자(12) 내부에 형성된 나사 그루브 사이의 상호작용에 의해 압축되며, 가스 배기구(3)의 측으로 이송되며, 이후, 가스 배기구(3)로부터 보조 펌프(도시되지 않음)를 통해 외부로 배출된다.The gas molecules reaching the screw stator 12 on the lower side of the rotor 9 through the above-described gas molecular exhaust operation are mutually formed between the rotating rotor 9 and the screw grooves formed inside the screw stator 12. It is compressed by the action and conveyed to the side of the gas exhaust port 3, and then discharged from the gas exhaust port 3 to the outside through an auxiliary pump (not shown).
부가적으로, 상술한 구조를 갖는 진공 펌프에서는, 펌프 조립 및 제조 단계에서 회전자(9) 및 회전자 블레이드(10)로 구성된 회전체의 고속회전시, 균형을 수용할 수 있다. 상기 균형을 수용하기 위한 방법으로는, 1) 회전자(9)의 외부 또는 내부의 일부를 드릴(drill) 또는 라우터(router)에 의해 절단하는 방법, 및 2) 회전자(9)의 외부 또는 내부에 접착제 등에 의해 추를 부가하는 방법을 포함한다.In addition, in the vacuum pump having the above-described structure, it is possible to accommodate the balance during the high speed rotation of the rotor composed of the rotor 9 and the rotor blade 10 in the pump assembly and manufacturing steps. Methods for accommodating the balance include: 1) a method of cutting a part of the outer or the inner part of the rotor 9 by a drill or a router, and 2) the outer or the outer part of the rotor 9. The method of adding a weight with an adhesive etc. inside is included.
그러나, 상기 절단이 실행된 후, 상기 1)에 도시된 절단 방법의 균형 구조에구멍이 형성된다. 그러므로, 이 구멍부분에 회전자(9)의 원심력에 기인한 응력(stress)이 집중되어, 회전자(9)의 최대 응력이 상승한다. 따라서, 회전자(9)의 파괴가 쉽게 발생한다.However, after the cutting is performed, a hole is formed in the balance structure of the cutting method shown in 1) above. Therefore, stress caused by the centrifugal force of the rotor 9 is concentrated in this hole portion, and the maximum stress of the rotor 9 rises. Therefore, breakage of the rotor 9 easily occurs.
특히, 도 5에 도시된 종래 기술의 진공 펌프는 상기 기술한 회전자(9)의 균형이 회전자(9)의 상부 및 하부 두 위치에서 수행되도록 설계되어 있다. 그러나, 회전자(9)의 하부 측은 회전자(9)의 상부 측보다 더 큰 직경 및 더 큰 원심력을 가지므로, 그 결과, 상기 1)에 도시된 절단 방법의 균형 구조에서 회전자(9)의 하부측에 균형을 수용하기 위해 차단되는 구멍에 기인하여 회전자(9) 파괴가 발생할 수 있는 가능성이 높다.In particular, the vacuum pump of the prior art shown in FIG. 5 is designed such that the balance of the rotor 9 described above is carried out in two positions above and below the rotor 9. However, since the lower side of the rotor 9 has a larger diameter and greater centrifugal force than the upper side of the rotor 9, as a result, the rotor 9 in the balance structure of the cutting method shown in 1) above. There is a high possibility that destruction of the rotor 9 may occur due to the holes blocked to accommodate the balance on the lower side of the.
상기 2)에 도시된 부가 방법의 균형 구조에서는, 회전자(9)의 외부에 접착제 등에 의해 추가 부착될 때, 원심력에 의해 추가 떨어지는 문제점이 있으며, 그 결과, 장시간 동안 균형을 수용할 수 있는 회전자(9)를 얻는 것이 불가능해진다. 또한, 회전자(9)의 내부에 접착제 등에 의해 추가 부착될 때, 그것이 응고되는데 장시간이 요구된다. 그러므로, 펌프 조립의 선행 시간(lead time) 및 제조 공정이 길어지는 문제점이 있다. 이러한 경우에, 자외선 경화형 접착제(ultraviolet curing type adhesive)를 사용하는 방법이 고려될 수 있다. 그러나, 상기 방법에서, 회전자(9)의 내측에 자외선을 조사(照射)할 필요가 있으므로, 추의 부착성이 떨어진다.In the balance structure of the additional method shown in the above 2), when additionally attached to the outside of the rotor 9 by an adhesive or the like, there is a problem of further falling by centrifugal force, and as a result, the ash that can accommodate the balance for a long time It becomes impossible to obtain the electrons 9. In addition, when additionally attached to the inside of the rotor 9 by an adhesive or the like, it takes a long time for it to solidify. Therefore, there is a problem in that the lead time of the pump assembly and the manufacturing process are long. In this case, a method of using an ultraviolet curing type adhesive may be considered. However, in the above method, since it is necessary to irradiate ultraviolet rays inside the rotor 9, the adhesion of the weight is inferior.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 만들어 졌고, 본 발명의 목적은 회전자 파괴의 가능성이 작고, 회전자의 균형의 작업성이 탁월하며, 장시간 동안 균형을 유지할 수 있는 진공 펌프를 제공하는 것이다. 상술한 목적을 얻기 위해, 본 발명에 따라서, 상부면에 흡기구를 형성한 펌프 케이스, 상기 펌프 케이스에 회전 가능하게 제공된 원통형 회전자, 상기 회전자의 외주면에 일체로 제공된 회전자 블레이드, 상기 회전자 블레이드 사이 또는 그 외부에 배치되고, 배열된 고정자 블레이드, 상기 회전자를 회전시키기 위한 구동 모터, 및 상기 회전자의 하부 측의 내부면에 그 원주 방향을 따라 형성되고, 상기 회전자의 균형을 수용하기 위한 추가 고정되고 부착되는 링 형상 그루브를 구비하는 것을 특징으로 한다.The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a vacuum pump having a low possibility of rotor destruction, excellent workability of the balance of the rotor, and maintaining a balance for a long time. . In order to achieve the above object, according to the present invention, a pump case having an air inlet formed on an upper surface thereof, a cylindrical rotor rotatably provided on the pump case, a rotor blade integrally provided on an outer circumferential surface of the rotor, the rotor Disposed along or outside the blades, formed along the circumferential direction of the arranged stator blades, the drive motor for rotating the rotor, and the inner surface of the lower side of the rotor, to accommodate the balance of the rotor And a ring-shaped groove to which it is further fixed and attached.
본 발명에는, 회전자의 외주의 원주 방향에는 단면의 변화가 없고, 노치가 없으므로, 응력 집중 등이 야기되지 않고, 회전자의 최대 응력이 감소된다. 또한, 회전자의 균형 구조는 접착제에 의해서만 유도되는 종래의 추 부착구조와는 상이하다. 이것은 이러한 종류의 추가 회전자의 링 형상 그루브에 들어맞게 부착되는 구조이며, 이에 의해, 회전자로부터 추가 쉽게 떨어지는 것을 방지하고, 장시간 회전자의 균형을 유지하는 것이 가능하며, 회전자의 균형의 작업성이 탁월해진다.In the present invention, since there is no change in cross section in the circumferential direction of the outer circumference of the rotor and there is no notch, stress concentration or the like is not caused, and the maximum stress of the rotor is reduced. Also, the balance structure of the rotor is different from the conventional weight attachment structure which is guided only by the adhesive. This is a structure that is attached to the ring-shaped groove of the additional rotor of this kind, whereby it is possible to prevent it from falling further easily from the rotor, to maintain the balance of the rotor for a long time, the work of the balance of the rotor The castle is excellent.
본 발명은 상기 추가 압입되는 곳에서 상기 링 형상 그루브가 도브테일 그루브를 형성하는 것을 특징으로 한다. 그러한 구조에 따라서, 도브테일 그루브에 들어맞게 부착되는 추는 그 것의 슬립 아웃 방향에 대해 역방향 테이퍼 작용에 의한 슬립 아웃을 방지 하는 경향이 있으며, 이에 의해, 추를 부착위치에 더욱 확실하게 파지하는 것이 가능해진다.The present invention is characterized in that the ring-shaped groove forms a dovetail groove at the place of the additional press. According to such a structure, the weight attached to the dovetail groove tends to prevent slip-out due to the reverse taper action with respect to its slip-out direction, whereby the weight can be held more securely at the attachment position. .
본 발명은 상기 회전자의 하부 개구 단부로부터 상기 링 형상 그루브에 이르는 상기 회전자의 내부면이, 이에 의해 형성된 절단부를 제공하기 위해 절단되는 것을 특징으로 한다. 절단부에 기인하에 링 형상 그루브 하부측의 회전자 내경은 확대된다. 그러므로, 펌프 조립시 및 제조 공정에서 회전자의 균형이 수용될 때, 회전자가 균형을 수용하는 검사 장치에서 설정되어 유지되는 동안, 이 회전자의 내부에 손가락을 직접 넣어서, 균형을 수용하기 위한 추가 링 형상 그루브에 들어맞게 부착될 수 있다. 이 점에서, 회전자의 균형의 작업성이 훨씬 탁월해진다.The present invention is characterized in that the inner surface of the rotor from the lower opening end of the rotor to the ring-shaped groove is cut to provide a cut formed thereby. Due to the cutout, the inner diameter of the rotor on the lower side of the ring groove is enlarged. Therefore, when the balance of the rotor is accommodated at the time of pump assembly and in the manufacturing process, while the rotor is set and held in the inspection device that receives the balance, the finger is inserted directly inside the rotor, so as to accommodate the balance. It may be attached to fit a ring-shaped groove. In this respect, the workability of the balance of the rotor becomes much more excellent.
본 발명은 복수 개의 링 형상 그루브가 상기 회전자의 수직 방향으로 제공되는 것을 특징으로 한다. 상기 구조에 따라, 하나의 큰 링 형상 그루브가 복수 개의 작은 링 형상 그루브로 분할되어 배치된다. 그러므로, 하나의 큰 링 형상 그루브를 형성하는 경우와 비교하여 추가 많은 위치에 들어맞게 부착된다. 그 결과, 동일한 무게를 갖는 추의 수가 증가되며, 이에 의해, 큰 불균형에도 대응되는 것이 가능하다.The present invention is characterized in that a plurality of ring-shaped grooves are provided in the vertical direction of the rotor. According to the above structure, one large ring-shaped groove is divided into a plurality of small ring-shaped grooves and arranged. Therefore, they are attached to fit in many more positions as compared to the case of forming one large ring-shaped groove. As a result, the number of weights having the same weight is increased, whereby it is possible to cope with a large imbalance.
본 발명은 그 양쪽 단부상에 판 스프링(leaf spring) 부재가 제공된 상자체에 상기 추가 수용되고, 상기 추를 포함한 상기 상자체가 상기 링 형상 그루브에 삽입되어 설정될 때, 상기 상자체의 상기 판 스프링 부재는 탄성 복귀를 야기하며, 그것과 함께 접촉되는 상기 링 형상 그루브의 상기 내벽에 의해 가압되고, 이에 의해, 상기 상자체와 함께 상기 추가 상기 링 형상 그루브에 들어맞게 부착되는 것을 특징으로 한다.The present invention is further accommodated in a box provided with leaf spring members on both ends thereof, and the plate of the box is set when the box including the weight is inserted into the ring-shaped groove. The spring member is characterized by causing an elastic return and being pressed by the inner wall of the ring-shaped groove which is in contact with it, whereby it is attached to the additional ring-shaped groove together with the box.
본 발명은 판 스프링 부재가 U자형으로 절곡되며, 양측의 절곡 단부를 외측으로 더 절곡하여 구성되는 핀칭 부품을 포함하는 홀더, 및 상기 추가 상기 홀더의 U자형상으로 형성된 내측 저부에 일체로 고정되며, 상기 추를 포함하는 상기 홀더가 상기 링 형상 그루브에 삽입되어 설정될 때, 상기 홀더의 핀칭 부품은 그것과 함께 접촉되는 상기 링 형상 그루브의 내벽에 의해 가압되어 탄성 복귀를 야기하고, 이에 의해, 상기 홀더와 함께 상기 추가 링 형상 그루브에 들어맞게 부착되는 것을 특징으로 한다.The present invention is a plate spring member is bent in a U-shape, the holder comprising a pinching component configured to further bend the bent end of both sides to the outside, and is integrally fixed to the inner bottom formed in the U-shape of the additional said holder And when the holder comprising the weight is inserted into and set in the ring-shaped groove, the pinching part of the holder is pressed by the inner wall of the ring-shaped groove in contact with it, thereby causing an elastic return, whereby It is characterized in that it is attached to the additional ring-shaped groove with the holder.
도 1은 본 발명의 실시예를 도시하는 진공 펌프의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a vacuum pump showing an embodiment of the present invention.
도 2a, 도 2b 및 도 2c는 도 1에 도시된 진공 펌프의 링 형상 그루브에 들어맞게 부착되는 추의 다른 구조예를 도시하는 도면이다. 도 2a는 추가 수용되는 판 스프링 부재를 갖는 상자체(box body)의 사시도이고, 도 2b는 링 형상 그루브에 상자체가 부착되기 직전의 상태를 도시하는 설명도이고, 도 2c는 링 형상 그루브에 상자체가 부착된 후의 상태를 도시하는 설명도이다.2A, 2B and 2C are views showing another structural example of a weight attached to fit into the ring-shaped groove of the vacuum pump shown in FIG. FIG. 2A is a perspective view of a box body having a leaf spring member to be additionally received, and FIG. 2B is an explanatory view showing a state immediately before the box is attached to a ring-shaped groove, and FIG. 2C is a ring-shaped groove. It is explanatory drawing which shows the state after a box body is attached.
도 3은 도 1에 도시된 진공 펌프의 링 형상 그루브에 들어맞게 부착되는 또 다른 구조예를 도시하는 도면이다.FIG. 3 is a view showing another structural example attached to the ring-shaped groove of the vacuum pump shown in FIG. 1.
도 4는 본 발명에 따른 다른 실시예를 도시하는 진공 펌프의 단면도이다.4 is a cross-sectional view of a vacuum pump showing another embodiment according to the present invention.
도 5는 종래 기술의 진공 펌프의 단면도이다.5 is a cross-sectional view of a vacuum pump of the prior art.
〈도면의 주요 부분에 대한 부호한 설명〉<Signed description of the main parts of the drawing>
1 : 펌프 케이스 2 : 가스 흡기구1: pump case 2: gas intake
3 : 가스 배기구 5 : 고정자 기둥3: gas exhaust port 5: stator column
7 : 회전자 샤프트 8 : 구동 모터7: rotor shaft 8: drive motor
9 : 회전자 10 : 회전자 블레이드9: rotor 10: rotor blade
11 : 고정자 블레이드 12 : 스크류 고정자11: stator blade 12: screw stator
14 : 처리 챔버 20 : 링 형상 그루브14 processing chamber 20 ring-shaped groove
21 : 추 50 : 상자체21: weight 50: box
60 : 홀더 60a : 판 스프링 부재60 holder 60a leaf spring member
이하, 본 발명에 따른 진공 펌프의 실시예에 대해 첨부 도면을 참조로 하여 상세히 설명한다. 부가적으로, 진공 펌프의 기본 구조는 종래 기술의 일예의 구조와 동일하다. 그러므로, 동일한 부호는 동일한 요소를 지정하는 데 사용되고, 특별한 설명은 생략한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, an embodiment of a vacuum pump according to the present invention will be described in detail. In addition, the basic structure of the vacuum pump is the same as that of the example of the prior art. Therefore, like numerals are used to designate like elements, and special descriptions are omitted.
도 1에 도시된 진공 펌프에는 회전자(9)의 하부 측 내부면에 회전자의 원주방향을 따라서 링 형상 그루브(20)가 형성된다. 링 형상 그루브(20)는 도 1의 부분 확대도에 도시된 것과 같은 도브테일 그루브(dovetail groove)를 형성하며, 회전자(9)의 하부 개구 단부로부터 약간 위에 형성된다.In the vacuum pump shown in FIG. 1, ring-shaped grooves 20 are formed along the circumferential direction of the rotor on the inner side of the lower side of the rotor 9. The ring shaped groove 20 forms a dovetail groove as shown in the partial enlarged view of FIG. 1 and is formed slightly above from the lower opening end of the rotor 9.
링 형상 그루브(20)에는, 펌프 조립 및 제조 공정에서 회전자(9)의 고속 회전시에 균형을 수용하기 위해 추(21)가 들어맞게 부착된다.A weight 21 is fitted to the ring-shaped groove 20 to accommodate the balance at high speed rotation of the rotor 9 in the pump assembly and manufacturing process.
따라서, 본 발명은 회전자(9)의 하부 측 내부면에 링 형상 그루브(20)가 형성되고, 링 형상 그루브(20)에 추(21)가 들어맞게 부착되며, 이에 의해 회전자(9)의 균형을 형성하는 구조를 채용한다.Therefore, in the present invention, the ring-shaped groove 20 is formed on the inner side of the lower side of the rotor 9, and the weight 21 is attached to the ring-shaped groove 20 to fit, whereby the rotor 9 Adopt a structure to form a balance.
상술한 본 발명의 균형 구조에 따라서, 회전자(9)의 외주의 원주 방향에는 단면의 변화 및 노치가 없으므로, 응력 집중 등이 야기되지 않고, 회전자(9)의 최대 응력이 감소되어, 이에 의해 회전자(9)의 파괴가 쉽게 야기되지 않는다.According to the balance structure of the present invention described above, since there is no change in cross section and notch in the circumferential direction of the outer circumference of the rotor 9, stress concentration or the like is not caused, and the maximum stress of the rotor 9 is reduced, thereby By this, breakage of the rotor 9 is not easily caused.
추(21)에 적용될 수 있는 재료는, 납, 구리, 알루미늄, 납땜재, 또는 서스(스테인레스 스틸) 분말에 의해 혼합된 비트론 고무(플루오로 카본 고무)등과 같은 금속 분말을 혼합한 고분자 탄성체 등, 가압에 기인하여 그 형상이 소성 변형(plastic deformation)을 용이하게 야기하는 고비중 재료를 포함한다.The material that can be applied to the weight 21 is a polymer elastic body such as lead, copper, aluminum, a brazing material, or a metal powder such as biton rubber (fluorocarbon rubber) mixed with sus (stainless steel) powder or the like. And high specific gravity materials, due to pressing, whose shape easily causes plastic deformation.
추(21)가 링 형상 그루브(20)에 들어맞게 부착되는 구조에서, 도 1의 부분 확대도에 도시된 것과 같이 추(21)가 링 형상 그루브에 직접적으로 들어맞게 압입되는, 압입구조가 사용될 수 있다. 그러나, 그 양쪽 단부에 판 스프링 부재(50a, 50a)에 제공된 상자체(50)가 도 2에 도시된 곳에 부착되는 링 형상 그루브(20)에 추를 들어맞게 적용하는 구조가 채용될 수 있다. 이 구조에서, 추(21)가 일체화되어 상자체(50)에 수용되는 것으로 가정하자. 이러한 추(21)를 포함하는 상자체(50)가 링 형상 그루브(20)에 들어맞게 부착될 때, 판 스프링 부재(50a, 50a)가 상자체(50)를 파지하기 위해 상자체(50)의 양쪽 측면으로부터 가압된다면, 이후, 상자체(50)가 이 상태로 설정되도록 링 형상 그루브(20)에 충분히 삽입될 수 있다. 이러한 삽입 및 설정이 실행될 때, 상자체(50)의 판 스프링 부재(50a, 50a)는 링 형상 그루브(20)에서 탄성 복귀를 야기하며, 거기에 접촉되는 링 형상 그루브(20)의 내벽에 의해 가압된다. 그 결과, 상자체(50)에 일체화된 추(21)는 링 형상 그루브(20)에 들어맞게 부착된다. 부가적으로, 스테인레스 강은 상자체(50)의 재료로서 적용될 수 있다. 또한, 그 내측의 상자체(50) 및 추(21)의 구조에서, 상자체(50)가 스테인레스 강으로 만들어지고, 스테인레스 강으로 만들어진 상자체(50)의 내부가 그 고형화를 얻기 위해 스테인레스 강 분말 및 에폭시 수지로 채워지는 구조가 채용될 수 있다.In the structure in which the weight 21 is attached to fit the ring-shaped groove 20, a press-in structure is used, in which the weight 21 is press-fitted directly into the ring-shaped groove, as shown in the partial enlarged view of FIG. 1. Can be. However, a structure may be employed in which the box 50 provided on the leaf spring members 50a and 50a at both ends thereof fits the weight to the ring-shaped groove 20 attached to the place shown in FIG. 2. In this structure, assume that the weight 21 is integrated and accommodated in the box 50. When the box 50 including such weight 21 is attached to the ring-shaped groove 20 to fit, the leaf spring members 50a and 50a are used to hold the box 50 so as to hold the box 50. If pressed from both sides of the box, then the box body 50 can be sufficiently inserted into the ring-shaped groove 20 so as to be set in this state. When such insertion and setting are carried out, the leaf spring members 50a and 50a of the box 50 cause elastic return in the ring-shaped groove 20 and by the inner wall of the ring-shaped groove 20 in contact therewith. Is pressurized. As a result, the weight 21 integrated in the box 50 is attached to fit the ring-shaped groove 20. In addition, stainless steel may be applied as the material of the box 50. Further, in the structure of the inner box 50 and the weight 21 therein, the box 50 is made of stainless steel, and the inside of the box 50 made of stainless steel is made of stainless steel to obtain its solidification. A structure filled with a powder and an epoxy resin can be employed.
또한, 추(21)가 링 형상 그루브(20)에 들어맞게 부착되는 다른 구조에서, 도 3에 도시된 형상을 갖는 홀더(60)가 적용되는 구조가 채용될 수 있다. 홀더(60)의 형상에서, 판 스프링 부재(60a)는 U-자형으로 절곡되며, 홀더(60)는 양쪽의 절곡된 단부를 외측으로 더 절곡하여 얻어지는 핀칭 부품(60b, 60b)을 가진다. 추(21)는 코킹 처리(caulking process) 등에 기인한 형상을 갖는 홀더(60)의 U-자형으로 형성되는 내부측 하부에 일체로 고정된다. 추(21)를 포함하는 홀더(60)가 링 형상 그루브(20)에 들어맞게 부착될 때, 핀칭 부품(60b, 60b)이 홀더(60)의 양쪽 측면으로부터 홀더(60)를 파지하기 위해 가압된다면, 이후, 홀더(60)는 이 상태로 설정되도록 링 형상 그루브(20)에 충분히 삽입된다. 이러한 삽입 및 설정이 실행될 때, 홀더(60)의 핀칭 부품(60b, 60b)은 링 형상 그루브(20)에서 탄성 복귀를 야기하며, 그것에 접촉되도록 링 형상 그루브(20)의 내벽에 의해 가압된다. 그 결과, 홀더(60)와 함께 추(21)가 링 형상 그루브(20)에 들어맞게 부착된다.Also, in another structure in which the weight 21 is attached to fit the ring-shaped groove 20, a structure in which the holder 60 having the shape shown in FIG. 3 is applied may be employed. In the shape of the holder 60, the leaf spring member 60a is bent in a U-shape, and the holder 60 has pinching parts 60b and 60b obtained by further bending both bent ends outward. The weight 21 is integrally fixed to the inner lower part formed in the U-shape of the holder 60 having a shape resulting from a caulking process or the like. When the holder 60 including the weight 21 is attached to fit the ring-shaped groove 20, the pinching parts 60b and 60b are pressed to grip the holder 60 from both sides of the holder 60. If so, the holder 60 is then sufficiently inserted into the ring-shaped groove 20 to be set in this state. When this insertion and setting is carried out, the pinching parts 60b, 60b of the holder 60 cause an elastic return in the ring-shaped groove 20 and are pressed by the inner wall of the ring-shaped groove 20 to contact it. As a result, the weight 21 is attached to the ring-shaped groove 20 together with the holder 60.
상자체(50) 또는 홀더(60)를 사용한 추(21)의 부착 및 들어맞는 구조에 따라서, 상자체(50) 또는 홀더(60)는 링 형상 그루브(20)에서 약간 이동될 수 있다. 그러므로, 링 형상 그루브(20)에서 추(21)의 위치 설정은 추(21)가 압입에 의해 링 형상 그루브(20)의 내측에 직접 고정되는 구조와 비교하여 용이하게 세밀하게 조정되며, 회전자(9)의 균형 작업성이 탁월하다.Depending on the attachment and fitting structure of the weight 21 using the box 50 or the holder 60, the box 50 or the holder 60 can be slightly moved in the ring-shaped groove 20. Therefore, the positioning of the weight 21 in the ring-shaped groove 20 is easily finely adjusted in comparison with the structure in which the weight 21 is directly fixed to the inside of the ring-shaped groove 20 by indentation, and the rotor (9) The balance workability is excellent.
상자체(50) 또는 홀더(60)를 사용한 추(21)의 부착 및 들어맞는 구조에 따라서, 추(21)의 위치 설정은 세밀하게 조정되며, 그후, 상자체(50) 또는 홀더(60)가 접착제에 의해 보조적으로 고정된다. 그러나, 필요하지 않다면, 접착제에 의한 고정이 생략될 수 있다. 또한, 추(21)가 링 형상 그루브에 직접적으로 압입될 때조차, 필요하다면, 추(21)는 접착제에 의해 보조적으로 고정될 수 있다. 이러한 종류의 접착제로서 자외선 경화형 접착제가 사용될 때, 접착제 도포부에 자외선이 충분히 조사(照射)되도록 회전자(9)의 위치는 케이스에 경사진다. 그러나, 추(21)가 압입, 또는 상자체(50) 또는 홀더(60)를 통해 링 형상 그루브(20)에 고정되고, 이러한 경우에서조차 이에 의해, 추(21)가 떨어져 나가는 것을 방지한다. 또한, 회전자(9)의 위치는 자외선의 조사시에 자유롭게 설정될 수 있다. 그러므로, 추(21)를 부가적으로 고정하는 접착제의 고체화의 작업성이 만족스럽다.According to the attachment and fitting structure of the weight 21 using the box 50 or the holder 60, the positioning of the weight 21 is finely adjusted, and then the box 50 or the holder 60. Is assisted by an adhesive. However, if not necessary, fixing by the adhesive can be omitted. In addition, even when the weight 21 is directly pressed into the ring-shaped groove, the weight 21 can be auxiliaryally fixed by an adhesive if necessary. When an ultraviolet curable adhesive is used as this kind of adhesive, the position of the rotor 9 is inclined to the case so that ultraviolet rays are sufficiently irradiated on the adhesive application portion. However, the weight 21 is press-fitted or fixed to the ring-shaped groove 20 through the box 50 or the holder 60, even in this case, thereby preventing the weight 21 from falling off. Further, the position of the rotor 9 can be freely set at the time of irradiation of ultraviolet rays. Therefore, the workability of solidifying the adhesive for additionally fixing the weight 21 is satisfactory.
회전자(9)의 하부 개구 단부로부터 링 형상 그루브(20)에 이르는 회전자(9)의 내부면에, 절단부(9a)가 제공되며, 절단부는 작은 면적으로 상기 내부면을 절단하여 형성된다. 링 형상 그루브(20)의 하부측의 회전자(9)의 내부 직경은 절단부(9a)에 의해 확대된다. 따라서, 추(21)가 링 형상 그루브(20)에 들어맞게 부착되는 경우에 작업성이 개선되기 때문에 링 형상 그루브(20)의 하부측의 회전자(9)의 내부 직경이 확대되는 구조가 채용된다.A cutout 9a is provided on the inner face of the rotor 9 from the lower opening end of the rotor 9 to the ring-shaped groove 20, the cutout being formed by cutting the inner face with a small area. The inner diameter of the rotor 9 on the lower side of the ring-shaped groove 20 is enlarged by the cutting portion 9a. Therefore, since the workability is improved when the weight 21 is attached to the ring-shaped groove 20, the structure in which the inner diameter of the rotor 9 on the lower side of the ring-shaped groove 20 is enlarged is adopted. do.
즉, 펌프 조립 및 제조 공정에서 회전자(9)의 균형이 수용될 때, 먼저, 회전자(9)가 검사 장치에서 설정된다. 회전자(9)가 검사 장치에서 고속으로 회전되고, 이에 의해, 회전자의 편심 하중 및 그 위치를 지정한다. 다음으로, 추(21)가 편심 하중 또는 위치의 데이터에 기초하여 링 형상 그루브(20)에 들어맞게 부착된다. 이 경우에, 본 발명은 링 형상 그루브(20)의 하부측의 회전자(9)의 내경이 절단부(9a)에 의해 확대되므로, 회전자(9)가 검사 장비에서 설정을 유지하는 동안 핑거를 회전자(9) 내부에 직접 넣어 부착되는 링 형상 그루브(20)에 균형 추(21)를 고정하는 것이 가능한 구조를 채용한다.That is, when the balance of the rotor 9 is accommodated in the pump assembly and manufacturing process, the rotor 9 is first set in the inspection apparatus. The rotor 9 is rotated at a high speed in the inspection apparatus, thereby specifying the eccentric load of the rotor and its position. Next, the weight 21 is attached to fit the ring-shaped groove 20 based on the data of the eccentric load or the position. In this case, the present invention enlarges the inner diameter of the rotor 9 on the lower side of the ring-shaped groove 20 by the cutting portion 9a, so that the finger is held while the rotor 9 maintains the setting in the inspection equipment. The structure which can fix the balance weight 21 to the ring-shaped groove 20 directly inserted in the rotor 9 is employ | adopted.
그러므로, 본 발명의 진공 펌프에 따라서, 회전자(9)의 편심 하중의 데이터 및 회전자(9)의 위치의 데이터가 얻어지는 작동 및 상기 테이터에 기초하여 유도되는 추(21)의 압입 작업이 펌프 조립 및 제조 공정의 다수의 시간에서 반복될 때조차, 검사 장치로부터 매시간마다 회전자(9)를 제거할 필요가 없다. 따라서, 회전자(9)의 균형 작업은 매끄럽게 실행될 수 있다.Therefore, according to the vacuum pump of the present invention, the operation in which the data of the eccentric load of the rotor 9 and the data of the position of the rotor 9 are obtained and the press-in operation of the weight 21 guided based on the data are pumped. Even when repeated at many times of the assembly and manufacturing process, it is not necessary to remove the rotor 9 every hour from the inspection device. Therefore, the balancing operation of the rotor 9 can be executed smoothly.
상술한 실시예는 링 형상 그루브(20)가 회전자(9)의 하부 측 내부면에 제공되는 예를 위한 설명이다. 그러나, 이러한 종류의 링 형상 그루브(20)로서, 도 4에 도시된 것과 같이 회전자(9)의 수직방향으로 두 개의 스테이지로 구성된 링 형상 그루브 또는 더 많은 링 형상 그루브가 제공될 수 있다. 복수 개의 스테이지로 구성된 링 형상 그루브(20)를 포함하는 구조에 따라서, 하나의 큰 링 형상 그루브가 다수의 작은 링 형상 그루브로 분해되고 배열될 수 있다. 그러므로, 추(21)가 들어맞게 부착되는 위치의 수는 하나의 링 형상 그루브가 형성되는 경우와 비교하여 증가된다. 그 결과, 동일 추를 갖는 추(21)의 수가 증가되고, 이에 의해 큰 불균형에 대응하는 것이 가능해진다.The above-described embodiment is a description for the example in which the ring-shaped groove 20 is provided on the lower side inner surface of the rotor 9. However, as this kind of ring-shaped groove 20, a ring-shaped groove or more ring-shaped grooves composed of two stages in the vertical direction of the rotor 9 may be provided as shown in FIG. According to the structure including the ring-shaped groove 20 composed of a plurality of stages, one large ring-shaped groove can be disassembled and arranged into a plurality of small ring-shaped grooves. Therefore, the number of positions at which the weight 21 is properly attached is increased in comparison with the case where one ring-shaped groove is formed. As a result, the number of weights 21 having the same weight is increased, thereby making it possible to cope with a large imbalance.
상술한 실시예에서, 도브테일 그루브 형상으로 형성된 링 형상 그루브(20)를 사용한 예에 대해 기술하였다. 그러나, 링 형상 그루브(20)는 또한 사각 단면을 갖는 것을 적용할 수도 있다.In the above-described embodiment, an example using the ring-shaped groove 20 formed in the dovetail groove shape has been described. However, the ring-shaped groove 20 may also apply to those having a rectangular cross section.
상술한 실시예에서, 본 발명은 터보 분자 펌프를 적용하는 예에 대해 기술되었다. 그러나, 본 발명은 드래그 펌프 등과 같은 회전을 이용하는 다른 펌프도 또한 적용 가능하다. 또한, 자기 베어링, 공기 베어링 등이 회전 샤프트(7)의 베어링으로서 볼 베어링에 부가하여 사용될 수 있다.In the above embodiment, the present invention has been described for an example of applying a turbomolecular pump. However, the present invention is also applicable to other pumps using rotation, such as drag pumps. In addition, magnetic bearings, air bearings and the like can be used in addition to the ball bearings as bearings of the rotary shaft 7.
상술한 것과 같이, 본 발명에 따라, 링 형상 그루브가 회전자의 하부 측 내부면의 원주 방향을 따라서 형성되고, 회전자의 균형을 수용하기 위한 추가 링 형상 그루브에 들어맞게 부착되는 구조가 채용되어 있다. 그러므로, 회전자의 면적이 공정을 통해 회전자의 균형을 위해 절단되는 종래 방법과 같지 않은 회전자에서응력이 증가된 형상이 형성되지 않는다. 또한, 형상에 기인한 응력 집중도 또한 야기되지 않는다. 그러므로, 회전자의 최대 응력이 감소되고, 회전자 파괴가 효과적으로 방지될 수 있다. 또한, 회전자의 균형 구조는 추가 접착제에 의해서만 부착되는 종래 기술의 구조와는 상이하다. 본 발명은 이러한 종류의 추가 회전자의 링 형상 그루브에 들어맞게 부착되는 구조이다. 그러므로, 추는 회전자로부터 쉽게 떨어지지 않고, 장시간 동안 회전자의 균형이 유지될 수 있다. 또한, 회전자의 균형 작업성이 탁월하다.As described above, according to the present invention, a ring-shaped groove is formed along the circumferential direction of the inner side of the lower side of the rotor, and a structure is adopted in which the ring-shaped groove is attached to fit an additional ring-shaped groove for accommodating the balance of the rotor. have. Therefore, a stress-increased shape is not formed in the rotor which is not the same as the conventional method in which the area of the rotor is cut for the balance of the rotor through the process. In addition, stress concentration due to the shape is also not caused. Therefore, the maximum stress of the rotor is reduced, and rotor breakage can be effectively prevented. In addition, the balance structure of the rotor is different from the structure of the prior art, which is attached only by an additional adhesive. The invention is structured to fit snugly into the ring-shaped groove of an additional rotor of this kind. Therefore, the weight does not easily fall from the rotor, and the balance of the rotor can be maintained for a long time. In addition, the balance workability of the rotor is excellent.
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Families Citing this family (9)
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Family Cites Families (4)
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| US5193977A (en) * | 1991-11-22 | 1993-03-16 | Don Dame | Flexible membrane sealless centrifugal pump |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101532820B1 (en) * | 2010-02-16 | 2015-06-30 | 가부시키가이샤 시마쓰세사쿠쇼 | Vacuum pump |
| US9528525B2 (en) | 2010-02-16 | 2016-12-27 | Shimadzu Corporation | Vacuum pump |
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| WITN | Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid |