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KR102746191B1 - 노광 장치 및 물품의 제조 방법 - Google Patents

노광 장치 및 물품의 제조 방법 Download PDF

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KR102746191B1
KR102746191B1 KR1020227007782A KR20227007782A KR102746191B1 KR 102746191 B1 KR102746191 B1 KR 102746191B1 KR 1020227007782 A KR1020227007782 A KR 1020227007782A KR 20227007782 A KR20227007782 A KR 20227007782A KR 102746191 B1 KR102746191 B1 KR 102746191B1
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다이스케 코바야시
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캐논 가부시끼가이샤
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Abstract

피조사면에 있어서의 광강도 분포의 중심광선의 어긋남 등의 억제를 유리하게 하기 위해서, 주사 방향으로 서로 대향하는 단부를 각각이 가지고, 상기 주사 방향에 있어서의 상대거리가 가변의 제1, 제2차광 부재를 포함하는 제1차광부(18)와, 상기 주사 방향으로 서로 대향하는 단부를 각각이 가지고, 상기 주사 방향에 있어서의 상대거리가 가변의 제3, 제4차광 부재를 포함하는 제2차광부(19)를 가지고, 상기 제1 및 제2차광부(18, 19)는, 각각, 피조명면의 공역면으로부터 광원측 및 비조사면측으로 떨어진 위치에 배치된, 주사형 노광 장치의 조명 광학계에 있어서, 상기 공역면내에서 상기 주사 방향과 직교하는 방향이 소정위치에 있어서, 상기 제1, 제2차광 부재의 상기 서로 대향하는 단부의 중점과 상기 조명 광학계의 광축을 포함하여 상기 주사 방향에 직교하는 면과의 사이의 제1거리와, 상기 제3, 제4차광 부재의 상기 서로 대향하는 단부의 중점과 상기 면과의 사이의 제2거리가 일치하도록 구성했다.

Description

노광 장치 및 물품의 제조 방법
본 발명은, 노광 장치 및 물품의 제조 방법에 관한 것이다.
원판(레티클 또는 마스크)을 조명 광학계로 조명하고, 원판의 패턴을 투영 광학계를 통해 기판(웨이퍼)에 투영하는 노광 장치가 종래부터 사용되고 있다. 노광 장치에는, 해상도 및 스루풋의 향상이 점점 요구되어, 예를 들면, 해상도의 향상을 실현하기 위해서는, 노광 광의 단파장화 및 투영 광학계의 개구수(ＮＡ)의 증가(고ＮＡ화)가 유효하다. 또한, 변형 조명(윤대조명, 2중극 조명, 4중극 조명 등)으로 원판을 조명하는 것은 해상도를 향상시키는 데 효과적이어서, 변형 조명을 형성하기 위해서 조명 광학계에 회절광학 소자를 사용하는 것이 알려져 있다.
특허문헌 1에는, 노광 장치의 피조명면의 공역면으로부터 광원측으로 디포커스한 위치에 배치된 차광부와, 피조명면의 공역면으로부터 피조명면측으로 디포커스한 위치에 배치된 차광부를, 가지는 노광 장치가 개시되어 있다. 특허문헌 1에 개시된 노광 장치는, 주사 방향의 각 점을 조명하는 광속의 중심광선을 광축과 거의 평행하게 할 수 있다.
특허문헌1: 일본 특허공개 2010-73835호 공보
그렇지만, 피조명면에 배치된 원판(물체면상)의 패턴을 투영 광학계를 통해 기판(상면상)에 투영할 때에, 피조명면에 있어서의 유효광원분포(광강도 분포)의 중심광선의 어긋남이 있으면, 상면에 있어서의 텔레센트릭 정도가 저하한다. 이에 따라, 노광시에 포커스가 어긋났을 경우에는, 노광 장치에 있어서의 포개기 정밀도가 저하해버린다. 따라서, 피조명면에 있어서의 유효광원분포의 중심광선의 어긋남을 적절하게 설정할 필요가 있다.
본 발명은, 피조명면에 있어서의 광강도 분포의 중심광선의 어긋남 및 텔레센트릭 정도의 저하를 억제하는 데 유리한 노광 장치를 제공한다.
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 일측면으로서의 노광 장치는, 원판과 기판을 이동시키면서 상기 기판을 노광하는 노광 장치로서, 광원으로부터의 광으로 상기 원판의 피조명면을 조명하는 조명 광학계를 가지고, 상기 조명 광학계는, 주사 방향으로 서로 대향하는 단부를 각각이 가지고, 상기 주사 방향에 있어서의 상대거리가 가변의 제1차광 부재 및 제2차광 부재를 포함하고, 상기 피조명면의 공역면으로부터 상기 광원측으로 떨어진 위치에 배치되는 제1차광부와, 상기 주사 방향으로 서로 대향하는 단부를 각각이 가지고, 상기 주사 방향에 있어서의 상대 거리가 가변의 제3차광 부재 및 제4차광 부재를 포함하고, 상기 공역면으로부터 상기 피조명면측으로 떨어진 위치에 배치되는 제2차광부를 가지고, 상기 공역면의 면내에서 상기 주사 방향과 직교하는 방향의 소정위치에 있어서, 상기 제1차광 부재 및 상기 제2차광 부재의 상기 서로 대향하는 단부의 중점과 상기 조명 광학계의 광축을 포함하여 상기 주사 방향으로 직교하는 면과의 사이의 제1거리와, 상기 제3차광 부재 및 상기 제4차광 부재의 상기 서로 대향하는 단부의 중점과 상기 면과의 사이의 제2거리가 일치하도록, 상기 제1차광부 및 상기 제2차광부가 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 예를 들면, 피조명면에 있어서의 광강도 분포의 중심광선의 어긋남 및 텔레센트릭 정도의 저하를 억제하는 데 유리한 노광 장치를 제공할 수 있다.
본 발명의 그 밖의 특징 및 이점은, 첨부 도면을 참조한 이하의 설명에 의해 밝혀질 것이다. 또한, 첨부 도면에 있어서는, 같거나 마찬가지의 구성에는, 같은 참조 번호를 첨부한다.
첨부 도면은 명세서에 포함되고, 그 일부를 구성하고, 본 발명의 실시 형태를 도시하고, 그 기술과 함께 본 발명의 원리를 설명하기 위해서 사용된다.
[도1] 본 발명의 일측면으로서의 노광 장치의 구성을 도시하는 개략 단면도다.
[도2] 제1차광부 및 제2차광부의 상세를 설명하기 위한 도다.
[도3] 적산 유효광원을 설명하기 위한 도다.
[도4] 제1차광부 및 제2차광부의 기능을 설명하기 위한 도다.
[도5] 복수의 차광판을 포함하는 제1차광부 및 제2차광부의 각각을 도시한 도다.
[도6] 복수의 차광판을 포함하는 제1차광부 및 제2차광부의 각각을 도시한 도다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 실시 형태를 상세하게 설명한다. 또한, 이하의 실시 형태는 특허청구의 범위에 관계되는 발명을 한정하는 것이 아니다. 실시 형태에는 복수의 특징이 기재되어 있지만, 이것들의 복수의 특징의 전부가 발명에 필수적인 것이라고는 할 수 없고, 또한, 복수의 특징은 임의로 조합되어도 좋다. 더욱, 첨부 도면에 있어서는, 동일 또는 마찬가지의 구성에 동일한 참조 번호를 첨부하여, 중복한 설명은 생략한다.
도1은, 본 발명의 일측면으로서의 노광 장치 100의 구성을 도시한 개략 단면도다. 노광 장치 100은, 원판 25와 기판 27을 주사 방향으로 이동시키면서 기판 27을 노광(주사 노광)하고, 원판 25의 패턴을 기판 위에 전사하는 스텝ㅇ앤드ㅇ스캔 방식의 노광 장치(스캐너)이다. 노광 장치 100은, 광원 1로부터의 광으로 원판 25(레티클 또는 마스크)를 조명하는 조명 광학계 110과, 원판 25의 패턴을 기판 27(웨이퍼나 유리 플레이트 등)에 투영하는 투영 광학계 26을, 가진다.
광원 1은, 파장 약 365ｎｍ의 수은 램프나 파장 약 248ｎｍ의 ＫｒＦ엑시머 레이저, 파장 약 193ｎｍ의 ＡｒＦ엑시머 레이저 등의 엑시머 레이저등을 포함하고, 원판 25를 조명하기 위한 광속(노광 광)을 사출한다.
조명 광학계 110은, 릴레이 광학계 2와, 사출각도 보존 광학소자 5와, 회절광학 소자 6과, 콘덴서 렌즈 7과, 차광 부재 8과, 프리즘 유닛 10과, 줌렌즈 유닛 11을 포함한다. 또한, 조명 광학계 110은, 옵티컬 인터그레이터 12와, 조리개 13과, 콘덴서 렌즈 14와, 제1차광부 18과, 제2차광부 20과, 마스킹 유닛 19와, 콘덴서 렌즈 21과, 콜리메이터 렌즈 23을 포함한다.
릴레이 광학계 2는, 광원 1과 사출각도 보존 광학소자 5와의 사이에 설치되고, 광원 1로부터의 광속을 사출각도 보존 광학소자 5에 이끈다. 사출각도 보존 광학소자 5는, 회절광학 소자 6의 광원측에 설치되고, 광원 1로부터의 광속을, 그 발산 각도를 일정하게 유지하면서 회절광학 소자 6에 이끈다. 사출각도 보존 광학소자 5는, 플라이 아이 렌즈, 마이크로렌즈 어레이나 파이버 다발 등의 옵티컬 인터그레이터를 포함한다. 사출각도 보존 광학소자 5는, 광원 1의 출력 변동이 회절광학 소자 6에 의해 형성되는 광강도 분포(패턴 분포)에 끼치는 영향을 저감한다.
회절광학 소자 6은, 조명 광학계 110의 동공면과 푸리에 변환의 관계에 있는 면에 배치되어 있다. 회절광학 소자 6은, 투영 광학계 26의 동공면과 공역한 면인 조명 광학계 110의 동공면이나 조명 광학계 110의 동공면과 공역한 면에, 광원 1로부터의 광속의 광강도 분포를 회절 작용에 의해 변환해서 원하는 광강도 분포를 형성한다. 회절광학 소자 6은, 회절 패턴면에 원하는 회절 패턴이 얻어지도록 계산기로 설계된 계산기 홀로그램(ＣＧＨ:Ｃｏｍｐｕｔｅｒ Ｇｅｎｅｒａｔｅｄ Ｈｏｌｏｇｒａｍ)으로 구성되어 있어도 좋다. 본 실시 형태에서는, 투영 광학계 26의 동공면에 형성되는 광원형상을 유효광원형상이라고 칭한다. 또한, 「유효광원」이란, 피조명면 및 피조명면의 공역면에 있어서의 광강도 분포 또는 광각도 분포를 의미한다. 회절광학 소자 6은, 사출각도 보존 광학소자 5와 콘덴서 렌즈 7과의 사이에 설치되어 있다.
조명 광학계 110에는, 복수의 회절광학 소자 6이 설치되어도 좋다. 예를 들면, 복수의 회절광학 소자 6의 각각은 터릿(도시되지 않음)의 복수의 슬롯에 대응하는 1개에 부착되어 있다(탑재되어 있다). 복수의 회절광학 소자 6은, 각각, 상이한 유효광원형상을 형성한다. 이것들의 유효광원형상은, 소원형 형상(비교적 작은 원형형상), 대원형 형상(비교적 큰 원형형상), 윤대형상, 2중극 형상, 4중극 형상, 그 밖의 형상을 포함한다. 윤대형상, 2중극 형상 또는 4중극 형상의 유효광원형상으로 피조명면을 조명하는 방법은, 변형 조명이라고 불린다.
사출각도 보존 광학소자 5로부터의 광속은, 회절광학 소자 6에서 회절되어, 콘덴서 렌즈 7에 이끌어진다. 콘덴서 렌즈 7은, 회절광학 소자 6과 프리즘 유닛 10과의 사이에 설치되고, 회절광학 소자 6에서 회절된 광속을 집광하여, 푸리에 변환면 9에 회절 패턴(광강도 분포)을 형성한다.
푸리에 변환면 9는, 옵티컬 인터그레이터 12와 회절광학 소자 6과의 사이에 있고, 회절광학 소자 6과 광학적으로 푸리에 변환의 관계에 있는 면이다. 조명 광학계 110의 광로에 배치되는 회절광학 소자 6을 교환함으로써, 푸리에 변환면 9에 형성되는 회절 패턴의 형상을 변경할 수 있다.
차광 부재 8은, 조명 광학계 110의 광축 1b와 수직한 방향으로 이동가능하게 구성되고, 푸리에 변환면 9의 상류측(광원측)에 배치되어 있다. 차광 부재 8은, 푸리에 변환면 9의 위치로부터 약간 디포커스한 위치에 배치되어 있다.
프리즘 유닛 10 및 줌렌즈 유닛 11은, 푸리에 변환면 9와 옵티컬 인터그레이터 12와의 사이에 설치되고, 푸리에 변환면 9에 형성된 광강도 분포를 확대하는 줌 광학계로서 기능한다. 프리즘 유닛 10은, 푸리에 변환면 9에 형성된 광강도 분포를, 윤대율 등을 조정해서 줌렌즈 유닛 11에 이끈다. 또한, 줌렌즈 유닛 11은, 프리즘 유닛 10과 옵티컬 인터그레이터 12와의 사이에 설치되어 있다. 줌렌즈 유닛 11은, 예를 들면, 복수의 줌렌즈를 포함하고, 푸리에 변환면 9에 형성된 광강도 분포를, 조명 광학계 110의 ＮＡ와 투영 광학계 26의 ＮＡ와의 비를 기준으로 한 σ값을 조정하여 옵티컬 인터그레이터 12에 이끈다.
옵티컬 인터그레이터 12는, 줌렌즈 유닛 11과 콘덴서 렌즈 14와의 사이에 설치되어 있다. 옵티컬 인터그레이터 12는, 윤대율, 개구각 및 σ값이 조정된 광강도 분포에 따라서, 다수의 2차 광원을 형성하여 콘덴서 렌즈 14에 이끄는 파리의 눈 렌즈를 포함한다. 단, 옵티컬 인터그레이터 12는, 파리의 눈 렌즈을 대신하여, 옵티컬 파이프, 회절광학 소자, 마이크로렌즈 어레이 등의 다른 광학소자를 포함하고 있어도 좋다. 옵티컬 인터그레이터 12는, 회절광학 소자 6을 경과한 광속으로 피조명면 24에 배치된 원판 25를 균일하게 조명한다. 옵티컬 인터그레이터 12와 콘덴서 렌즈 14와의 사이에는, 조리개 13이 설치되어 있다.
콘덴서 렌즈 14는, 옵티컬 인터그레이터 12와 원판 25와의 사이에 설치되어 있다. 이에 따라, 옵티컬 인터그레이터 12로부터 이끌어진 다수의 광속을 집광하여 원판 25를 중첩적으로 조명할 수 있다. 광선을 옵티컬 인터그레이터 12에 입사해서 콘덴서 렌즈 14에서 집광하면, 콘덴서 렌즈 14의 초평면인 공역면 19a는, 거의 직사각형 형상으로 조명된다.
콘덴서 렌즈 14의 후단에는, 하프 미러 15가 배치되어 있다. 하프 미러 15에서 반사된 노광 광의 일부는, 광량 측정 광학계 16에 입사한다. 광량 측정 광학계 16의 후단에는, 광량을 측정하는 센서 17이 배치되어 있다. 센서 17에서 측정된 광량에 근거하여, 노광시의 노광량이 적절하게 제어된다.
피조명면 24와 공역한 면인 공역면 19a 또는 공역면 19a의 근방에는, 마스킹 유닛 19가 배치되어, 거의 직사각형 형상의 광강도 분포로 조명된다. 마스킹 유닛 19는, 원판 25의 조명 범위를 획정하기 위해서 배치되고, 원판 스테이지 29 및 기판 스테이지 28에 동기하여 주사된다. 주사 노광에 있어서, 마스킹 유닛 19는, 서로 대향하는 2개의 마스킹 블레이드로 규정하는 개구를 닫은 상태로부터, 한쪽의 마스킹 블레이드를 이동시켜서 개구를 서서히 넓힌다. 그리고, 한쪽의 마스킹 블레이드의 이동이 종료하면 다른 쪽의 마스킹 블레이드를 이동시켜서 개구를 서서히 좁힌다. 이러한 주사 노광시의 마스킹 유닛 19의 동작의 상세에 관해서는, 예를 들면, 일본 특허공개 2005-109304호 공보에 개시되어 있다. 원판 스테이지 29는, 원판 25를 보유하여 이동하는 스테이지이며, 기판 스테이지 28은, 기판 27을 보유하여 이동하는 스테이지다.
마스킹 유닛 19(피조명면 24의 공역면 19a)로부터 떨어진(디포커스한) 위치에, 2개의 차광부, 본 실시 형태에서는, 제1차광부 18 및 제2차광부 20이 설치되어 있다. 제1차광부 18은, 피조명면 24의 공역면 19a로부터 광원측으로 떨어진 위치에 배치되어 있다. 제2차광부 20은, 피조명면 24의 공역면 19a로부터 피조명면측으로 떨어진 위치에 배치되어 있다.
콘덴서 렌즈 21로부터의 광속에 대하여 소정의 기울기를 가지는 미러 22에서 반사된 광은, 콜리메이터 렌즈 23을 통하여, 원판 25를 조명한다.
투영 광학계 26은, 원판 25의 패턴을 기판 27에 투영한다. 원판 25의 패턴의 해상성은, 유효광원형상에 의존하고 있다. 따라서, 조명 광학계 110에 있어서 적절한 유효광원분포를 형성함으로써, 원판 25의 패턴의 해상성을 향상시킬 수 있다.
도2를 참조하여, 제1차광부 18 및 제2차광부 20의 상세를 설명한다. 도2에 있어서, y방향은, 주사 방향을 나타내고 있다. 여기에서, 「주사 방향」이란, 원판 25나 기판 27의 주사 방향이나 원판 25나 기판 27에 동기하여 주사되는 마스킹 유닛 19의 마스킹 블레이드의 주사 방향을 포함한다. 따라서, 원판 25나 기판 27과 마스킹 유닛 19의 마스킹 블레이드와는, 본 실시 형태에서는, 동일한 방향으로 주사된다. 또한, 도1에서는, 원판 25 및 기판 27과, 마스킹 유닛 19의 마스킹 블레이드와는, 서로 직교하는 방향으로 주사되도록 도시되어 있지만, 이것은 미러 22가 배치되어 있기 때문이며, 장치 좌표계에 있어서는 동일한 방향으로 주사된다.
제1차광부 18은, 주사 방향으로 서로 대향하는 단부를 각각이 가지고, 주사 방향에 있어서의 상대거리가 가변의 제1차광 부재 18a 및 제2차광 부재 18b를 포함한다. 제1차광 부재 18a의 단부 18ａＡ 및 상기 제2차광 부재 18ｂ의 단부 18bＡ는, 광선유효영역내에 위치하고, 광선의 일부를 차광함으로써 피조명면 24에 도달하는 광의 강도를 조정한다. 본 실시 형태에서는, 제1차광부 18에 대하여, 제1차광 부재 18a 및 제2차광 부재 18b 중 적어도 한쪽을 주사 방향을 따라서 이동시키는 제1이동부ＦＭＵ가 설치되어 있다. 구체적으로는, 제1이동부ＦＭＵ는, 제1차광 부재 18a에 연결된 액추에이터를 포함한다(즉, 제1차광 부재 18a를 주사 방향을 따라서 이동시킨다). 제1이동부ＦＭＵ는, 제1차광 부재 18a를 주사 방향을 따라서 이동시키는 것으로, 제1차광 부재 18a의 제2차광 부재측의 단부 18ａＡ와 제2차광 부재 18b의 제1차광 부재측의 단부 18ｂＡ에 의해 규정되는 개구폭을 변경한다. 본 실시 형태에서는, 제1이동부ＦＭＵ에 의해, 제1차광 부재 18a의 위치를 변경할 수 있으므로, 제1차광 부재 18a의 단부 18ａＡ와 제2차광 부재 18b의 단부 18ｂＡ와의 중점 18c는, 조명 광학계 110의 광축 1b와 반드시 일치하지 않는다. 바꾸어 말하면, 본 실시 형태에서는, 제1차광 부재 18a의 단부 18ａＡ와 제2차광 부재 18b의 단부 18ｂＡ와의 중점 18c는, 조명 광학계 110의 광축 1b를 포함하여 주사 방향으로 직교하는 면으로부터 떨어진 위치에 존재하고 있다(제1거리 18d가 제로가 아니다).
제2차광부 20은, 주사 방향으로 서로 대향하는 단부를 각각이 가지고, 주사 방향에 있어서의 상대거리가 가변의 제3차광 부재 20a 및 제4차광 부재 20b를 포함한다. 제3차광 부재 20a의 단부 20ａＡ 및 상기 제4차광 부재 20ｂ의 단부 20bＡ는, 광선유효영역내에 위치하여, 광선의 일부를 차광함으로써 피조명면 24에 도달하는 광의 강도를 조정한다. 본 실시 형태에서는, 제2차광부 20에 대하여, 제3차광 부재 20a 및 제4차광 부재 20b 중 적어도 한쪽을 주사 방향을 따라서 이동시키는 제2이동부ＳＭＵ가 설치되어 있다. 구체적으로는, 제2이동부ＳＭＵ는, 제3차광 부재 20a에 연결된 액추에이터를 포함한다(즉, 제3차광 부재 20a를 주사 방향을 따라서 이동시킨다). 제2이동부ＳＭＵ는, 제3차광 부재 20a를 주사 방향을 따라서 이동시키는 것으로, 제3차광 부재 20a의 제4차광 부재측의 단부 20ａＡ와 제4차광 부재 20b의 제3차광 부재측의 단부 20ｂＡ에 의해 규정되는 개구폭을 변경한다. 본 실시 형태에서는, 제2이동부ＳＭＵ에 의해, 제3차광 부재 20a의 위치를 변경할 수 있으므로, 제3차광 부재 20a의 단부 20ａＡ와 제4차광 부재 20b의 단부 20ｂＡ와의 중점 20c는, 조명 광학계 110의 광축 1b와 반드시 일치하지 않는다. 바꾸어 말하면, 본 실시 형태에서는, 제3차광 부재 20a의 단부 20ａＡ와 제3차광 부재 20b의 단부 20ｂＡ와의 중점 20c는, 조명 광학계 110의 광축 1b를 포함하여 주사 방향으로 직교하는 면으로부터 떨어진 위치에 존재하고 있다(제2거리 20d가 제로가 아니다).
본 실시 형태에서는, 제1차광 부재 18a 및 제2차광 부재 18b 중 한쪽(제1차광 부재 18a)을 이동 가능하게 하고, 다른 쪽(제2차광 부재18b)의 위치를 고정하고 있다. 마찬가지로, 제3차광 부재 20a 및 제4차광 부재 20b 중 한쪽(제3차광 부재 20a)을 이동 가능하게 하고, 다른 쪽(제4차광 부재 20b)의 위치를 고정하고 있다. 후술하는 것 같이, 주사 노광시의 조도분포를 균일화(조도 얼룩 보정)하기 위해서는, 공역면 19a의 면내에서 주사 방향과 직교하는 방향의 각 위치에서 제1차광부 18 및 제2차광부 20으로 규정되는 개구폭을 변경할 필요가 있다. 단, 주사 방향으로 적산한 조도분포가 균일해지면 좋기 때문에, 제1차광 부재 18a 및 제2차광 부재 18b의 양쪽, 제3차광 부재 20a 및 제4차광 부재 20b의 양쪽을 이동시킬 필요는 없다. 본 실시 형태와 같이, 제1차광 부재 18a 및 제2차광 부재 18b 중 한쪽 및 제3차광 부재 20a 및 제4차광 부재 20b의 한쪽을 이동가능하게 구성함으로써, 그것들을 이동시키는 기구의 대형화를 방지할 수 있으므로, 배치 스페이스의 점에서 유리하다. 단, 배치 스페이스에 여유가 있는 경우에는, 제2차광 부재 18b나 제4차광 부재 20b에 대하여 다른 이동부를 더욱 설치하고, 제2차광 부재 18b나 제4차광 부재 20b를 주사 방향으로 이동시켜도 좋다.
도2에 도시한 바와 같이, 피조명면 24의 공역면 19a로부터 제1차광부 18까지의 거리는, 공역면 19a로부터 제2차광부 20까지의 거리와 상이하여도 좋다. 또한, 피조명면 24의 공역면 19a(마스킹 유닛 19)와 제1차광부 18 및 제2차광부 20과의 사이의 거리가 지나치게 짧으면, 주사 노광시에 주기적인 줄무늬형의 조도 얼룩이 발생해버린다. 한편, 피조명면 24의 공역면 19a와 제1차광부 18 및 제2차광부 20과의 사이의 거리가 지나치게 길면, 동일한 개구폭이라도 마스킹 블레이드상의 분포의 폭이 커지기 때문에, 광학계의 유효지름을 크게 해야만 하게 된다. 따라서, 피조명면 24의 공역면 19a와 제1차광부 18 및 제2차광부 20과의 사이의 거리에는 최적의 거리가 존재한다. 본 실시 형태에서는, 여러 가지의 조건에 따라서, 피조명면 24의 공역면 19a와 제1차광부 18 및 제2차광부 20과의 사이의 거리가 최적의 거리가 되도록, 제1차광부 18 및 제2차광부 20을 배치하고 있다.
도3a 및 도3b를 참조하여, 적산 유효광원에 대해서 설명한다. 도3a 및 도3b에 있어서, y방향은, 주사 방향을 나타내고 있다. 도3a는, 피조명면 24의 조명 영역 24e를 나타내고, 도3b는, 피조명면 24와 공역 관계에 있는 공역면 19a(마스킹 유닛 19)의 조명 영역 19b를 나타내고 있다.
노광에 있어서, 조명 영역 24e가 주사된다. 이때, 노광면상의 어떤 점을 조명하는 입사각도 분포는, 조명 영역 24e에 있어서의 주사 방향(y방향)에 평행한 직선 24f의 각 점을 조명하는 입사각도 분포를 적산한 것이며, 이것을 적산 유효광원이라고 칭한다. 직선 19c는 공역면 19a에 있어서 직선 24e의 각 점과 공역한 점의 집합이기 때문에, 적산 유효광원은, 직선 19c의 각 점을 통과하는 광속에 의해 피조명면 24를 조명하는 입사각도 분포를 적산한 것과 등가다.
도4a, 도4b 및 도4c를 참조하여, 제1차광부 18 및 제2차광부 20의 기능에 대해서 설명한다. 도4a, 도4b 및 도4c에 있어서, y방향은, 주사 방향을 나타내고 있다. 도4a는, 옵티컬 인터그레이터 12, 콘덴서 렌즈 14, 제1차광부 18 및 제2차광부 20의 근방의 확대도다. 도4a에는, 옵티컬 인터그레이터 12를 사출하고, 콘덴서 렌즈 14를 통하여, 공역면 19a의 점A, B 및 C를 통과하는 광선이 도시되어 있다. 여기에서, 점A, B 및 C는, 도3b에 도시한 직선 19c 위의 점이다. 도4b는, 피조명면 24의 점A', B' 및 C'의 각각에 있어서의 유효광원 24a, 24b 및 24c를 도시한 도면이다. 점A', B' 및 C'의 각각은, 피조명면 24의 공역면 19a의 점A, B 및 C와 공역 관계에 있다. 도4c는, 피조명면 24의 점A', B' 및 C'를 포함하는 직선상을 통과하는 모든 광선을 적산한 적산 유효광원 24d를 도시한 도면이다.
또한, 본 실시 형태에서는, 발명의 이해를 쉽게 하기 위해서, 유효광원이 컨벤셔널 조명이라고 불리는 원형형상인 경우를 예로 설명하지만, 프리즘 유닛 10이나 회절광학 소자 6의 조합에 따라서는 윤대나 다중극 등의 형상이 된다. 본 발명은, 회절광학 소자 6이나 프리즘 유닛 10 등에 의해 형성되는 유효광원의 형상에 의해 한정되는 것이 아니다.
도4a를 참조컨대, 옵티컬 인터그레이터 12로부터 광축 1b와 평행하게 사출되고, 콘덴서 렌즈 14를 통하여, 공역면 19a의 점A를 향하는 광선 12a는, 제1차광부 18 및 제2차광부 20에 의해 차광되지 않는다. 따라서, 피조명면 24의 점A'에 있어서의 유효광원 24a는, 도4b에 도시한 바와 같이, 거의 원형이 되고, 주사 방향으로 거의 대칭이다.
한편, 옵티컬 인터그레이터 12로부터 광축 1b보다 제1차광 부재측으로 기울어서 사출되고, 콘덴서 렌즈 14를 통하여, 공역면 19a의 점B를 향하는 광선 12b는, 그의 일부가 제1차광 부재 18a 및 제3차광 부재 20a에 의해 차광된다. 따라서, 피조명면 24의 점B'에 있어서의 유효광원 24b는, 원형으로부터 일부가 이지러진 형상이 된다. 또한, 제1차광 부재 18a로 차광되는 양과 제3차광 부재 20a로 차광되는 양이 상이하기 때문에, 피조명면 24의 점B'에 있어서의 유효광원 24b는, 일반적으로, 주사 방향에 비대칭한 형상이 된다.
또한, 옵티컬 인터그레이터 12로부터 광축 1b보다 제2차광 부재측으로 기울어서 사출되고, 콘덴서 렌즈 14를 통하여, 공역면 19a의 점C를 향하는 광선 12c는, 그의 일부가 제2차광 부재 18b 및 제4차광 부재 20b에 의해 차광된다. 따라서, 피조명면 24의 점C'에 있어서의 유효광원 24c는, 원형으로부터 일부가 이지러진 형상이 된다. 또한, 제2차광 부재 18b로 차광되는 양과 제4차광 부재 20b로 차광되는 양이 상이하기 때문에, 피조명면 24의 점C'에 있어서의 유효광원 24c는, 일반적으로, 주사 방향에 비대칭한 형상이 된다.
본 실시 형태에서는, 콘덴서 렌즈 14로부터 점C를 향하는 광속이 제2차광 부재 18b로 차광되는 양과, 콘덴서 렌즈 14로부터 점B를 향하는 광속이 제1차광부 18a로 차광되는 양이 일치하도록, 광선 12c의 사출각도를 결정한다. 이때, 콘덴서 렌즈 14로부터 점C를 향하는 광속이 제4차광 부재 20b로 차광되는 양과, 콘덴서 렌즈 14로부터 점B를 향하는 광속이 제3차광부 20a로 차광되는 양이 일치하도록, 제4차광 부재 20b의 위치를 결정한다. 이에 따라, 유효광원 24c는, 유효광원 24b를 반전한 형상이 된다.
상술한 것 같이 제1차광 부재 18a, 제2차광 부재 18b, 제3차광 부재 20a 및 제4차광 부재 20b의 각각의 위치를 결정함으로써, 도2에 도시한 제1거리 18d와 제2거리 20d를 일치시킬 수 있다. 여기에서, 제1거리 18d는, 광축 1b를 포함하여 주사 방향에 직교하는 면과, 제1차광 부재 18a의 단부 18ａＡ와 제2차광 부재 18b의 단부 18ｂＡ와의 중점 18c과의 사이의 거리다. 또한, 제2거리 20d는, 광축 1b를 포함하여 주사 방향에 직교하는 면과, 제3차광 부재 20a의 단부 20ａＡ와 제4차광 부재 20b의 단부 20ｂＡ와의 중점 20c과의 사이의 거리다.
이러한 구성으로 함으로써, 임의의 점B에 대하여, 유효광원 24b를 주사 방향으로 반전한 유효광원 24c가 되는 점C가 반드시 존재한다. 그 때문에, 도4c에 도시한 바와 같이, 점A, B 및 C를 포함하는 직선상을 통과하는 모든 광속을 적산한 적산 유효광원 24d를 생각하면, 그의 중심광선은, 광축 1b와 거의 평행해진다.
본 실시 형태에서는, 제1이동부ＦＭＵ 및 제2이동부ＳＭＵ(조정부)를 사용하여, 제1거리 18d와 제2거리 20d가 일치하도록, 제1차광부 18 및 제2차광부 20의 각각을 조정하고 있다. 이에 따라, 피조명면 24의 공역면 19a의 상류측 및 하류측의 각각에 제1차광부 18 및 제2차광부 20을 배치하는 구성에 있어서, 제1차광부 18 및 제2차광부 20에서의 차광에 기인하는 유효광원의 중심 어긋남을 방지(저감)할 수 있다. 따라서, 텔레센트릭 정도의 감소가 작은 노광 장치 100을 제공할 수 있다.
도5a 및 도5b를 참조하여, 제1차광부재 18a 및 제3차광부재 20a의 각각이 공역면 19a의 면내에서 주사 방향에 직교하는 방향을 따라서 배열된 복수의 차광판(부분 차광 부재)을 포함하는 경우에 대해서 설명한다. 도5a는, 제1차광부 18을 광축방향 상류측에서 본 도이며, 도5b는, 제2차광부 20을 광축방향 상류측에서 본 도다. 도5a 및 도5b에 있어서, y방향은, 주사 방향을 나타내고 있다.
제1차광부 18 및 제2차광부 20의 각각은, 피조명면 24에 있어서 주사 방향으로 적산한 조도분포의 불균일성을 보정하기 위해서, 공역면 19a의 면내에서 주사 방향과 직교하는 방향의 각 위치(소정위치)에 있어서, 개구폭을 조정할 필요가 있다. 그래서, 제1차광 부재 18a는, 공역면 19a의 면내에서 주사 방향에 직교하는 방향을 따라서 배열된 5개의 차광판(제1차광판) 181a, 182a, 183a, 184a 및 185a를 포함한다. 제1이동부ＦＭＵ는, 차광판 181a, 182a, 183a, 184a 및 185a의 각각을 독립해서 주사 방향을 따라서 이동시키는 것이 가능하다. 또한, 제3차광 부재 20a는, 공역면 19a의 면내에서 주사 방향에 직교하는 방향을 따라서 배열된 5개의 차광판(제2차광판) 201a, 202a, 203a, 204a 및 205a를 포함한다. 제2이동부ＳＭＵ는, 차광판 201a, 202a, 203a, 204a 및 205a의 각각을 독립해서 주사 방향을 따라서 이동시키는 것이 가능하다.
도5a를 참조컨대, 직선 18e는, 광축 1b를 거쳐서 주사 방향에 직교하는 직선이다. 중점 181c, 182c, 183c, 184c 및 185c는, 각각, 차광판 181a, 182a, 183a, 184a 및 185a의 제2차광 부재측의 단부와 제2차광 부재 18b의 단부 18ｂＡ와의 중점이다. 거리 181d, 182d, 183d, 184d 및 185d는, 각각, 중점 181c, 182c, 183c, 184c 및 185c와 직선 18e와의 사이의 거리다.
도5b를 참조컨대, 직선 20e는, 광축 1b를 거쳐서 주사 방향에 직교하는 직선이다. 중점 201c, 202c, 203c, 204c 및 205c는, 각각, 차광판 201a, 202a, 203a, 204a 및 205a의 제4차광 부재측의 단부와 제4차광 부재 20b의 단부 20ｂＡ와의 중점이다. 거리 201d, 202d, 203d, 204d 및 205d는, 각각, 중점 201c, 202c, 203c, 204c 및 205c와 직선 20e와의 사이의 거리다.
본 실시 형태에서는, 공역면 19a의 면내에서 주사 방향에 직교하는 방향에 있어서, 차광판 181a 내지 185a의 위치를 통과하는 중심광선이, 각각, 차광판 201a 내지 205a의 위치를 통과하도록 한다. 이러한 관계가 되도록, 차광판 201a 내지 205a의 각각의 주사 방향에 직교하는 방향에 있어서의 위치를 결정한다. 예를 들면, 차광판 181a 내지 185a의 각각의 주사 방향에 직교하는 방향에 있어서의 위치와, 차광판 201a 내지 205a의 각각의 주사 방향에 직교하는 방향에 있어서의 위치가, 동일해지도록 한다. 구체적으로는, 거리 181d 내지 185d의 각각과 거리 201d 내지 205d의 각각이 일치하도록, 차광판 201a 내지 205a의 위치를 결정한다. 이에 따라, 공역면 19a의 면내에서 주사 방향에 직교하는 임의의 위치에 있어서, 적산 유효광원의 중심광선은, 광축 1b와 거의 평행해진다.
다음에, 도6a 및 도6b를 참조하여, 도5a 및 도5b에 도시한 상태로부터, 제1이동부ＦＭＵ 및 제2이동부ＳＭＵ를 사용하여, 제1차광부 18로 규정되는 개구폭 및 제2차광부 20로 규정되는 개구폭을 변경하는 경우에 대해서 설명한다. 도6a는, 제1차광부 18을 광축방향 상류측에서 본 도이며, 도6b는, 제2차광부 20을 광축방향 상류측에서 본 도다. 도6a 및 도6b에 있어서, y방향은, 주사 방향을 나타내고 있다.
도6a에는, 제1차광 부재 18a에 있어서, 차광판 185a를 주사 방향으로 이동시켜서 차광판 185a의 주사 방향의 위치를 변경한 상태를 도시하고 있다. 도6b에는, 제3차광 부재 20a에 있어서, 제1차광 부재 18a의 차광판 185a에 동기하여, 차광판 205a를 주사 방향으로 이동시켜서 차광판 205a의 주사 방향의 위치를 변경한 상태를 도시하고 있다. 여기에서, 차광판 205a를 이동시키는 양은, 차광판 185a를 이동시키는 양과 같다. 바꾸어 말하면, 차광판 185a와 차광판 205a를 동일한 이동량으로 이동시킨다. 또한, 차광판 181a 내지 184a를 주사 방향으로 이동시키는 경우에는, 마찬가지로, 차광판 181a 내지 184a에 동기하여, 차광판 181a 내지 184a를 이동시키는 양과 같은 양으로 차광판 201a 내지 204a를 이동시키면 좋다. 이에 따라, 거리 181d 내지 185d의 각각과 거리 201d 내지 205d의 각각이 일치하는(같은) 상태를 유지하면서, 제1차광부 18로 규정되는 개구폭 및 제2차광부 20으로 규정되는 개구폭을 변경할 수 있다. 바꾸어 말하면, 공역면 19a의 면내에서 주사 방향에 직교하는 임의의 위치에 있어서, 적산 유효광원의 중심광선이 광축 1b와 거의 평행한 상태를 유지하면서, 제1차광부 18로 규정되는 개구폭 및 제2차광부 20으로 규정되는 개구폭을 변경할 수 있다.
본 실시 형태에서는, 피조명면 24의 공역면 19a로부터 광원측으로 떨어진 위치에 제1차광부 18을 배치하고 있지만, 피조명면 24로부터 광원측으로 떨어진 위치에 제1차광부 18을 배치해도 좋다. 이 경우, 거리 18d는, 광축 1b를 포함하여 주사 방향에 직교하는 면과, 제1차광 부재 18a의 단부 18ａＡ와 제2차광 부재 18b의 단부 18ｂＡ와의 중점 18c와의 사이의 거리를, 공역면 19a와 피조명면 24와의 사이의 배율(결상배율)로 나눈 값으로 하면 좋다.
본 발명의 실시 형태에 있어서의 물품의 제조 방법은, 예를 들면, 플랫 패널 디스플레이, 액정표시 소자, 반도체 소자, ＭＥＭＳ 등의 물품을 제조하는 데 적합하다. 이러한 제조 방법은, 상술한 노광 장치 100을 사용해서 감광제가 도포된 기판을 노광하는 공정과, 노광된 감광제를 현상하는 공정을 포함한다. 또한, 현상된 감광제의 패턴을 마스크로서 기판에 대하여 에칭 공정이나 이온 주입 공정 등을 행하여, 기판 위에 회로 패턴이 형성된다. 이것들의 노광, 현상, 에칭 등의 공정을 되풀이하여, 기판 위에 복수의 층으로 이루어지는 회로 패턴을 형성한다. 후속 공정에서, 회로 패턴이 형성된 기판에 대하여 다이싱(가공)을 행하여, 칩의 마운팅, 본딩, 검사 공정을 행한다. 또한, 이러한 제조 방법은, 다른 주지의 공정(산화, 성막, 증착, 도핑, 평탄화, 레지스트 박리 등)을 포함할 수 있다. 본 실시 형태에 있어서의 물품의 제조 방법은, 종래와 비교하여, 물품의 성능, 품질, 생산성 및 생산 가격의 적어도 1개에 있어서 유리하다.
발명은 상기 실시 형태에 제한되는 것이 아니고, 발명의 정신 및 범위로부터 이탈하지 않고, 여러 가지의 변경 및 변형이 가능하다. 따라서, 발명의 범위를 밝히기 위해서 청구항을 첨부한다.
본원은, 2019년 9월 3일 제출의 일본국 특허출원 특원 2019-160664를 기초로 하여서 우선권을 주장하는 것으로, 그 기재 내용의 전부를, 여기에 인용한다.

Claims (19)

  1. 원판과 기판을 주사방향으로 이동시키면서 상기 기판을 노광하는 노광 장치로서,
    광원으로부터의 광으로 상기 원판의 피조명면을 조명하는 조명 광학계를 가지고,
    상기 조명 광학계는,
    상기 피조명면의 공역면에서 상기 주사 방향과 같은 동일한 방향으로 서로 대향하는 단부를 각각이 가지고 상기 동일한 방향에 있어서의 상대거리가 가변될 수 있는 제1차광 부재 및 제2차광 부재를 포함하며, 상기 공역면으로부터 상기 광원측으로 떨어진 위치에 배치되는 제1차광부와,
    상기 동일한 방향으로 서로 대향하는 단부를 각각이 가지고 상기 동일한 방향에 있어서의 상대거리가 가변될 수 있는 제3차광 부재 및 제4차광 부재를 포함하며, 상기 공역면으로부터 상기 피조명면측으로 떨어진 위치에 배치되는 제2차광부를,
    가지고,
    상기 공역면내에서 상기 동일한 방향과 직교하는 방향으로 소정위치에 있어서, 상기 제1차광 부재의 상기 단부와 상기 제3차광 부재의 상기 단부가 상기 조명 광학계의 광축을 포함하며 상기 동일한 방향에 직교하는 면에 대하여 동일한 측에 존재하고, 상기 면으로부터 상기 제1차광 부재의 상기 단부와 상기 제3차광 부재의 상기 단부까지의 거리가 서로 다르고, 서로 대향하는 상기 제1차광 부재의 상기 단부와 상기 제2차광 부재의 상기 단부 사이의 중점과 서로 대향하는 상기 제3차광 부재의 상기 단부와 상기 제4차광 부재의 상기 단부 사이의 중점이 상기 면에 대하여 동일한 측 및 상기 면으로부터 떨어진 위치들에 존재하고, 상기 면으로부터 상기 서로 대향하는 상기 제1차광 부재의 상기 단부와 상기 제2차광 부재의 상기 단부 사이의 상기 중점까지의 거리가 상기 면으로부터 상기 서로 대향하는 상기 제3차광 부재의 상기 단부와 상기 제4차광 부재의 상기 단부 사이의 상기 중점까지의 거리와 일치하도록, 상기 제1차광부 및 상기 제2차광부가 배치되어 있는, 노광 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1차광부와 상기 제2차광부의 상기 위치들을 조정하는 조정부를 더욱 가지는, 노광 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 조정부는,
    상기 제1차광 부재 및 상기 제2차광 부재 중 한쪽을 상기 동일한 방향을 따라서 이동시키는 제1이동부와,
    상기 제3차광 부재 및 상기 제4차광 부재 중 한쪽을 상기 동일한 방향을 따라서 이동시키는 제2이동부를,
    포함하고,
    상기 제1차광 부재 및 상기 제2차광 부재 중 다른 쪽, 및, 상기 제3차광 부재 및 상기 제4차광 부재 중 다른 쪽은, 상기 동일한 방향의 위치가 고정되어 있는, 노광 장치.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 조정부는, 상기 제1차광 부재 및 상기 제2차광 부재 중 적어도 한쪽과 상기 제3차광 부재 및 상기 제4차광 부재 중 적어도 한쪽을 동기하여 상기 동일한 방향을 따라서 이동시키는, 노광 장치.
  6. 제 3 항에 있어서,
    상기 조정부는, 상기 제1차광 부재 및 상기 제2차광 부재 중 적어도 한쪽과 상기 제3차광 부재 및 상기 제4차광 부재 중 적어도 한쪽을 동일한 이동량으로 상기 동일한 방향을 따라서 이동시키는, 노광 장치.
  7. 제 3 항에 있어서,
    상기 제1차광 부재 및 상기 제2차광 부재 중 한쪽은, 상기 공역면의 면내에서 상기 동일한 방향에 직교하는 방향을 따라서 배열된 복수의 제1차광판을 포함하고,
    상기 제3차광 부재 및 상기 제4차광 부재 중 한쪽은, 상기 공역면의 면내에서 상기 동일한 방향에 직교하는 상기 방향을 따라서 배열된 복수의 제2차광판을 포함하고,
    상기 조정부는,
    상기 복수의 제1차광판의 각각을 독립해서 상기 동일한 방향을 따라서 이동시키고,
    상기 복수의 제2차광판의 각각을 독립해서 상기 동일한 방향을 따라서 이동시키는, 노광 장치.
  8. 원판과 기판을 주사 방향으로 이동시키면서 상기 기판을 노광하는 노광 장치로서,
    광원으로부터의 광으로 상기 원판의 피조명면을 조명하는 조명 광학계를 가지고,
    상기 조명 광학계는,
    상기 피조명면의 공역면에서 상기 주사 방향과 같은 동일한 방향으로 서로 대향하는 단부를 각각이 가지고 상기 동일한 방향에 있어서의 상대거리가 가변될 수 있는 제1차광 부재 및 제2차광 부재를 포함하며, 상기 공역면으로부터 상기 광원측으로 떨어진 위치에 배치되는 제1차광부와,
    상기 동일한 방향으로 서로 대향하는 단부를 각각이 가지고 상기 동일한 방향에 있어서의 상대거리가 가변될 수 있는 제3차광 부재 및 제4차광 부재를 포함하며, 상기 공역면으로부터 상기 피조명면측으로 떨어진 위치에 배치되는 제2차광부를,
    가지고,
    상기 공역면내에서 상기 동일한 방향과 직교하는 방향으로 소정위치에 있어서, 상기 제1차광 부재의 상기 단부와 상기 제3차광 부재의 상기 단부가 상기 조명 광학계의 광축을 포함하며 상기 동일한 방향에 직교하는 면에 대하여 동일한 측에 존재하고, 상기 면으로부터 상기 제1차광 부재의 상기 단부와 상기 제3차광 부재의 상기 단부까지의 거리가 서로 다르고, 서로 대향하는 상기 제1차광 부재의 상기 단부와 상기 제2차광 부재의 상기 단부 사이의 중점과 서로 대향하는 상기 제3차광 부재의 상기 단부와 상기 제4차광 부재의 상기 단부 사이의 중점이 상기 면에 대하여 동일한 측 및 상기 면으로부터 떨어진 위치들에 존재하고, 서로 대향하는 상기 제1차광 부재의 상기 단부와 상기 제2차광 부재의 상기 단부 사이의 중점과 상기 면과의 사이의 거리를 상기 공역면과 상기 피조명면과의 사이의 배율로 나눈 값이 상기 서로 대향하는 상기 제3차광 부재의 상기 단부와 상기 제4차광 부재의 상기 단부 사이의 중점과 상기 면과의 사이의 거리와 일치하도록, 상기 제1차광부 및 상기 제2차광부가 배치되어 있는, 노광 장치.
  9. 원판과 기판을 주사 방향으로 이동시키면서 상기 기판을 노광하는 노광 장치로서,
    광원으로부터의 광으로 상기 원판의 피조명면을 조명하는 조명 광학계를 가지고,
    상기 조명 광학계는,
    상기 피조명면의 공역면에서 상기 주사 방향과 같은 동일한 방향으로 서로 대향하는 단부를 각각이 가지고 상기 동일한 방향에 있어서의 상대거리가 가변될 수 있는 제1차광 부재 및 제2차광 부재를 포함하며, 상기 공역면으로부터 상기 광원측으로 떨어진 위치에 배치되는 제1차광부와,
    상기 동일한 방향으로 서로 대향하는 단부를 각각이 가지고 상기 동일한 방향에 있어서의 상대거리가 가변될 수 있는 제3차광 부재 및 제4차광 부재를 포함하며, 상기 공역면으로부터 상기 피조명면측으로 떨어진 위치에 배치되는 제2차광부를,
    가지고,
    상기 공역면내에서 상기 동일한 방향과 직교하는 방향으로 소정위치에 있어서, 상기 제1차광 부재의 상기 단부와 상기 제3차광 부재의 상기 단부가 상기 조명 광학계의 광축을 포함하며 상기 동일한 방향에 직교하는 면에 대하여 동일한 측에 존재하고, 상기 면으로부터 상기 제1차광 부재의 상기 단부와 상기 제3차광 부재의 상기 단부까지의 거리가 서로 다르고, 서로 대향하는 상기 제1차광 부재의 상기 단부와 상기 제2차광 부재의 상기 단부 사이의 중점과 상기 서로 대향하는 상기 제3차광 부재의 상기 단부와 상기 제4차광 부재의 상기 단부 사이의 중점이 상기 면에 대하여 동일한 측 및 상기 면으로부터 떨어진 위치들에 존재하도록, 상기 제1차광부 및 상기 제2차광부가 배치되어 있는, 노광 장치.
  10. 제 1 항에 기재된 노광 장치를 사용해서 기판을 노광하는 공정과,
    노광한 상기 기판을 현상하는 공정과,
    현상된 상기 기판으로부터 물품을 제조하는 공정을 포함하는, 물품의 제조 방법.
  11. 제 8 항에 기재된 노광 장치를 사용해서 기판을 노광하는 공정과,
    노광한 상기 기판을 현상하는 공정과,
    현상된 상기 기판으로부터 물품을 제조하는 공정을 포함하는, 물품의 제조 방법.
  12. 제 9 항에 기재된 노광 장치를 사용해서 기판을 노광하는 공정과,
    노광한 상기 기판을 현상하는 공정과,
    현상된 상기 기판으로부터 물품을 제조하는 공정을 포함하는, 물품의 제조 방법.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1차광부와 상기 공역면 사이의 거리가 상기 광축의 방향으로 상기 제2차광부와 상기 공역면 사이의 거리와 다른, 노광 장치.
  14. 제 9 항에 있어서,
    상기 제1차광부와 상기 공역면 사이의 거리가 상기 광축의 방향으로 상기 제2차광부와 상기 공역면 사이의 거리와 다른, 노광 장치.
  15. 제 9 항에 있어서,
    상기 제1차광부와 상기 제2차광부의 상기 위치들을 조정하는 조정부를 더욱 가지는, 노광 장치.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 조정부는,
    상기 제1차광 부재 및 상기 제2차광 부재 중 한쪽을 상기 동일한 방향을 따라서 이동시키는 제1이동부와,
    상기 제3차광 부재 및 상기 제4차광 부재 중 한쪽을 상기 동일한 방향을 따라서 이동시키는 제2이동부를,
    포함하고,
    상기 제1차광 부재 및 상기 제2차광 부재 중 다른 쪽, 및, 상기 제3차광 부재 및 상기 제4차광 부재 중 다른 쪽은, 상기 동일한 방향의 위치가 고정되어 있는, 노광 장치.
  17. 제 15 항에 있어서,
    상기 조정부는, 상기 제1차광 부재 및 상기 제2차광 부재 중 적어도 한쪽과 상기 제3차광 부재 및 상기 제4차광 부재 중 적어도 한쪽을 동기하여 상기 동일한 방향을 따라서 이동시키는, 노광 장치.
  18. 제 15 항에 있어서,
    상기 조정부는, 상기 제1차광 부재 및 상기 제2차광 부재 중 적어도 한쪽과 상기 제3차광 부재 및 상기 제4차광 부재 중 적어도 한쪽을 동일한 이동량으로 상기 동일한 방향을 따라서 이동시키는, 노광 장치.
  19. 제 15 항에 있어서,
    상기 제1차광 부재 및 상기 제2차광 부재 중 한쪽은, 상기 공역면의 면내에서 상기 동일한 방향에 직교하는 방향을 따라서 배열된 복수의 제1차광판을 포함하고,
    상기 제3차광 부재 및 상기 제4차광 부재 중 한쪽은, 상기 공역면의 면내에서 상기 동일한 방향에 직교하는 상기 방향을 따라서 배열된 복수의 제2차광판을 포함하고,
    상기 조정부는,
    상기 복수의 제1차광판의 각각을 독립해서 상기 동일한 방향을 따라서 이동시키고,
    상기 복수의 제2차광판의 각각을 독립해서 상기 동일한 방향을 따라서 이동시키는, 노광 장치.
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