KR102714345B1

KR102714345B1 - Substrate inspection device for transferring tray

Info

Publication number: KR102714345B1
Application number: KR1020220134021A
Authority: KR
Inventors: 이만식
Original assignee: 주식회사엔피엑스
Priority date: 2022-10-18
Filing date: 2022-10-18
Publication date: 2024-10-11
Also published as: KR20240053909A

Abstract

본 발명은 검사하기 위한 기판을 탑재한 기판 트레이를 공급하고, 상기 기판 트레이에 탑재된 기판이 제거된 회수용 빈 트레이를 회수하는 기판 트레이 공급/회수부; 검사를 마친 기판을 검사 결과에 따라 선별하여 탑재하도록 공급용 빈 트레이를 공급하고 검사를 마친 기판을 탑재한 완료 기판 트레이를 회수하는 빈 트레이 공급/완료기판 회수부; 상기 기판 트레이 또는 상기 공급용 빈 트레이를 이송하는 트레이 이송 수단; 기판을 검사하는 검사부; 를 포함하고,
상기 기판 트레이 공급/회수부에는 상기 기판 트레이가 복수로 적재되는 기판 트레이 적재부가 마련되며, 상기 빈 트레이 공급/완료기판 회수부에는 기판이 없는 공급용 빈 트레이가 복수로 적재되는 빈 트레이 공급용 거치부가 구비되고,
상기 트레이 이송 수단은 복수로 적재된 상기 기판 트레이 또는 상기 공급용 빈 트레이의 최하단의 기판 트레이 또는 공급용 빈 트레이를 빼내서 상기 검사부로 이송하는 기판 검사 장치가 제공될 수 있다.
The present invention comprises: a substrate tray supply/recovery unit for supplying a substrate tray loaded with a substrate for inspection and recovering an empty tray for recovery from which a substrate loaded on the substrate tray has been removed; an empty tray supply/completed substrate recovery unit for supplying an empty tray for supply so that inspected substrates can be selected and loaded according to inspection results and recovering a completed substrate tray loaded with inspected substrates; a tray transfer means for transferring the substrate tray or the empty tray for supply; an inspection unit for inspecting the substrate;
The above substrate tray supply/retrieval unit is provided with a substrate tray loading unit in which a plurality of substrate trays are loaded, and the empty tray supply/completed substrate retrieval unit is provided with an empty tray supply holder in which a plurality of empty trays for supply without substrates are loaded.
The above tray transport means may be provided with a substrate inspection device that removes the substrate tray or the lowest substrate tray of the plurality of stacked substrate trays or the empty supply trays and transports them to the inspection section.

Description

{SUBSTRATE INSPECTION DEVICE FOR TRANSFERRING TRAY}

본 발명은 기판을 탑재한 트레이를 정확하게 정렬된 상태로 이송할 수 있는 기판 검사 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a substrate inspection device capable of transporting a tray loaded with a substrate in an accurately aligned state.

일반적으로, 인쇄회로기판(PCB : Printed Circuit Board)은 세탁기나 텔레비전 등의 가전제품은 물론 휴대폰을 포함한 생활용품, 또는 자동차, 인공위성 등과 같이 거의 모든 장비에서 기본이 되는 필수 부품 중의 하나이다.In general, printed circuit boards (PCBs) are one of the essential components in almost all equipment, including home appliances such as washing machines and televisions, as well as daily necessities such as cell phones, automobiles, and satellites.

근래 들어, 인쇄회로기판(이하 '기판'이라고 함)을 구성하는 각종 전자부품의 집적도가 높아짐에 따라 그 패턴(pattern)이 상당히 미세화되어 매우 정교한 패턴의 인쇄공정이 요구되고 있으며, 그에 따른 불량률의 증가에 의해 기판에 대한 검사의 중요성이 부각되고 있다.In recent years, as the integration of various electronic components that make up printed circuit boards (hereinafter referred to as “boards”) has increased, their patterns have become considerably finer, requiring a printing process for very precise patterns. As a result, the importance of board inspection has been highlighted due to the increase in defect rates.

보다 많은 기판을 신속 정확하게 검사하기 위해서, 복수의 기판을 하나의 트레이에 탑재하여 이송하면서 검사하는 검사 장치가 마련되어 있으나, 트레이를 적층하고 이송하는 과정에서 이송 로봇에 의해 정확하게 트레이를 클램핑하고 이송해야 한다. In order to inspect more substrates quickly and accurately, an inspection device is provided that loads multiple substrates onto a single tray and transports them for inspection. However, during the process of stacking and transporting the trays, the trays must be accurately clamped and transported by a transport robot.

그러나, 트레이는 모두 동일한 규격으로 성형되더라도 미세한 오차가 발생하므로, 복수의 트레이를 적층하고 이송할 때, 정위치로 적층되지 못하여 이송 로봇에 의한 정확한 이송이 어렵게 되는 문제점이 있다. However, since there is a slight error even when all trays are molded to the same specifications, there is a problem in that when multiple trays are stacked and transported, they are not stacked in the correct position, making it difficult to transport them accurately by a transport robot.

본 발명은 트레이가 복수로 적층되더라도 누적 공차 없이 정확하게 클램핑하고 이송할 수 있도록 정위치 상태의 트레이 이송이 가능한 기판 검사 장치를 제공하는 것이다. The present invention provides a substrate inspection device capable of tray transfer in a fixed position so that trays can be accurately clamped and transferred without accumulated tolerance even when trays are stacked in multiple layers.

본 발명의 해결 수단은 검사하기 위한 기판을 탑재한 기판 트레이를 공급하고, 상기 기판 트레이에 탑재된 기판이 제거된 회수용 빈 트레이를 회수하는 기판 트레이 공급/회수부; 검사를 마친 기판을 검사 결과에 따라 선별하여 탑재하도록 공급용 빈 트레이를 공급하고 검사를 마친 기판을 탑재한 완료 기판 트레이를 회수하는 빈 트레이 공급/완료기판 회수부; 상기 기판 트레이 또는 상기 공급용 빈 트레이를 이송하는 트레이 이송 수단; 기판을 검사하는 검사부; 를 포함하고, The solution of the present invention comprises: a substrate tray supply/recovery unit that supplies a substrate tray loaded with a substrate for inspection and recovers an empty tray for recovery from which the substrate loaded on the substrate tray has been removed; an empty tray supply/completed substrate recovery unit that supplies an empty tray for supply so that inspected substrates can be selected and loaded according to inspection results and recovers a completed substrate tray loaded with inspected substrates; a tray transfer means that transfers the substrate tray or the empty tray for supply; an inspection unit that inspects the substrate;

상기 기판 트레이 공급/회수부에는 상기 기판 트레이가 복수로 적재되는 기판 트레이 적재부가 마련되며, 상기 빈 트레이 공급/완료기판 회수부에는 기판이 없는 공급용 빈 트레이가 복수로 적재되는 빈 트레이 공급용 거치부가 구비되고,The above substrate tray supply/retrieval unit is provided with a substrate tray loading unit in which a plurality of substrate trays are loaded, and the empty tray supply/completed substrate retrieval unit is provided with an empty tray supply holder in which a plurality of empty trays for supply without substrates are loaded.

상기 트레이 이송 수단은 복수로 적재된 상기 기판 트레이 또는 상기 공급용 빈 트레이의 최하단의 기판 트레이 또는 공급용 빈 트레이를 빼내서 상기 검사부로 이송하는 기판 검사 장치가 제공될 수 있다.The above tray transport means may be provided with a substrate inspection device that removes the substrate tray or the lowest substrate tray of the plurality of stacked substrate trays or the empty supply trays and transports them to the inspection section.

기판을 검사하는 과정에서 복수의 기판을 탑재한 기판 트레이의 적층 및 이송시, 최상단에 있는 기판 트레이를 이송하는 경우, 기판 트레이의 적층에 따른 누적 공차에 따라 기판 트레이의 적재 위치가 틀어질 수 있고, 그에 따라 이송 수단에 의한 클램핑시 부정확하게 기판 트레이를 클램핑하여 이송할 수 있다. In the process of inspecting a substrate, when stacking and transporting substrate trays carrying multiple substrates, if the uppermost substrate tray is transported, the stacking position of the substrate tray may be misaligned depending on the accumulated tolerance according to the stacking of the substrate trays, and as a result, the substrate tray may be clamped and transported inaccurately when clamped by a transport means.

따라서, 이러한 트레이의 누적 공차에 따른 배치 오류 상태의 기판 트레이를 이송 수단을 통해 클램핑시 불안정하게 클램핑하여 이송 도중에 떨어뜨리거나, 부정확하게 다음 이송 위치에 안착시키지 못할 수 있다. Therefore, when clamping a substrate tray in a placement error state due to the accumulated tolerance of such trays, the substrate tray may be clamped unstably by the transport means, causing it to drop during transport, or may not be accurately settled at the next transport position.

본 발명은 적층된 기판 트레이중에서 항상 최하단의 기판 트레이를 이송 수단에 의해 클램핑하고 검사부로 이송하도록 함으로써, 기판 트레이의 적층에 따른 누적 공차에 의한 정렬 오차 문제를 근본적으로 해소할 수 있다. The present invention fundamentally resolves the problem of alignment error due to accumulated tolerance according to stacking of substrate trays by always clamping the lowest substrate tray among the stacked substrate trays by a transfer means and transferring it to an inspection section.

또한, 검사부에는 기판 공급용 대기부가 마련될 수 있고, 기판 트레이 공급부로부터 기판이 탑재된 기판 트레이를 트레이 이송 수단에 의해 기판 공급용 대기부에 공급하고, 기판 공급용 대기부에 있는 기판 트레이로부터 기판을 하나씩 순차적으로 기판 공급용 이송 로봇에 의해 검사를 위한 인덱스판에 올려 놓고 소정의 검사 공정을 거칠 수 있으며, 기판 공급용 대기부에 공급된 기판 트레이로부터 검사를 위해 기판이 모두 소진되면, 트레이 이송 수단에 의해 빈 트레이 회수부로 이송하여 적재시키고, 빈 트레이 회수부의 최대 높이로 적재되면 비울 수 있다. In addition, the inspection section may be provided with a substrate supply standby section, and a substrate tray loaded with substrates may be supplied from the substrate tray supply section to the substrate supply standby section by a tray transfer means, and the substrates may be sequentially placed one by one from the substrate trays in the substrate supply standby section on an index plate for inspection by a substrate supply transfer robot and subjected to a predetermined inspection process, and when all the substrates for inspection from the substrate trays supplied to the substrate supply standby section are used up, they may be transferred to an empty tray recovery section by the tray transfer means and loaded, and when the empty tray recovery section is loaded to the maximum height, the empty tray recovery section may be emptied.

또한, 본 발명은 검사부에서 검사를 마친 기판을 수거하여 양품 또는 불량품을 선별하여 탑재하기 위한 기판 선별용 대기부가 마련되고, 기판 선별용 대기부에 안착되는 공급용 빈 트레이를 공급하기 위한 빈 트레이 공급용 거치부를 구비하며, 빈 트레이 공급용 거치부에 적재된 공급용 빈 트레이중 항상 최하단의 공급용 빈 트레이를 트레이 이송 수단에 의해 정확하고 확실하게 클램핑하고 기판 선별용 대기부에 이동 및 상승하여 정확하게 안착시킬 수 있다.In addition, the present invention provides a substrate sorting standby for collecting substrates that have completed inspection in an inspection section, sorting and loading good or defective products, and an empty tray supply holder for supplying empty trays to be placed in the substrate sorting standby, and among the empty trays loaded in the empty tray supply holder, the lowest empty tray can always be accurately and reliably clamped by a tray transfer means and moved and raised to the substrate sorting standby for accurately placing it.

또한, 본 발명은 양품용 거치대와 불량품용 거치대가 마련되고, 검사를 마치고 선별된 기판이 양품용 거치대와 불량품용 거치대에 구비된 완료기판 트레이에 탑재된 후 트레이 이송 수단에 의해 양품용 거치대와 불량품용 거치대에 각각 적재되고 최대 높이로 만적되면 비울 수 있다. In addition, the present invention provides a stand for good products and a stand for defective products, and after inspection, selected substrates are mounted on completed substrate trays provided on the stand for good products and the stand for defective products, and then are loaded onto the stand for good products and the stand for defective products respectively by a tray transfer means, and can be emptied when they are filled to the maximum height.

이러한 과정에서 이송 수단은 기판 트레이, 공급용 빈 트레이, 회수용 빈 트레이 및 완료 기판 트레이를 정확하게 클램핑하고, 원하는 위치에 정확하게 안착시킬 수 있으므로, 기판 검사 장치의 동작중 에러가 발생할 가능성이 거의 없다. In this process, the transport means can accurately clamp the substrate tray, the empty tray for supply, the empty tray for return, and the finished substrate tray, and accurately place them in the desired positions, so that there is almost no possibility of errors occurring during the operation of the substrate inspection device.

만일, 기판 검사 장치 동작중 에러가 발생하면, 기판 검사 장치의 동작을 정지시키고, 에러가 발생한 부분을 확인 및 수리 등의 조치를 취해야 하므로, 그 만큼 작업 시간이 지체될 수 있지만. 본 발명은 이러한 문제점을 해소할 수 있으므로. 전체 생산성이 향상될 수 있다. If an error occurs during the operation of the board inspection device, the operation of the board inspection device must be stopped, and measures such as checking and repairing the part where the error occurred must be taken, so the work time may be delayed accordingly. However, since the present invention can solve this problem, the overall productivity can be improved.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 검사 장치의 개략적인 전체 구성을 나타낸 평면도이다.
도 2는 본 발명의 기판 검사 장치의 구성 및 동작 흐름을 설명하기 위한 블럭도이다.
도 3은 본 발명의 이송 수단에 의해 기판 트레이를 검사부에 포함되는 기판 공급용 대기부에 올려 놓는 과정을 설명하기 위한 개략도이다.
도 4는 본 발명의 트레이의 개략적인 평면도이다.
도 5는 본 발명의 기판 트레이 공급부와 빈 트레이 회수부 및 빈 트레이 공급부의 모습을 나타낸 사시도이다.
도 6은 본 발명의 빈 트레이 분배용 적재부의 사시도이다.
도 7의 (a) 내지 (e)는 본 발명의 걸림 부재에 걸림된 복수의 기판 트레이중 트레이 이송 수단을 통해 최하단의 기판 트레이를 분리하는 과정을 단계별로 나타낸 개략도이다.
도 8은 본 발명의 회동 걸림 부재에 걸림된 복수의 공급용 빈 트레이 및 회수용 빈 트레이중 이송 수단을 통해 최하단의 공급용 빈 트레이 또는 회수용 빈 트레이를 분리하는 과정을 나타낸 측면도이다.
도 9는 본 발명의 회동 걸림 부재에 공급용 빈 트레이 및 회수용 빈 트레이가 걸림되고 분리되는 모습의 확대도이다.
도 10은 본 발명의 이송 수단의 거치 유니트의 개략적인 평면도이다.
도 11은 본 발명의 이송 수단을 통해 트레이를 클램핑하고 이동하는 이동 경로를 나타낸 개략도이다.
도 12는 본 발명의 기판 공급용 대기부와 기판 선별용 대기부의 마련되는 클램핑 유니트의 구조를 나타낸 사시도이다.
도 13은 도 12의 A부 확대도이다. FIG. 1 is a plan view schematically showing the overall configuration of a substrate inspection device according to one embodiment of the present invention.
Figure 2 is a block diagram for explaining the configuration and operation flow of the substrate inspection device of the present invention.
FIG. 3 is a schematic diagram for explaining a process of placing a substrate tray on a substrate supply standby unit included in an inspection unit by a transport means of the present invention.
Figure 4 is a schematic plan view of the tray of the present invention.
FIG. 5 is a perspective view showing the substrate tray supply section, empty tray recovery section, and empty tray supply section of the present invention.
Figure 6 is a perspective view of a loading unit for distributing empty trays of the present invention.
Figures 7 (a) to (e) are schematic diagrams showing, step by step, a process of separating the lowermost substrate tray from among a plurality of substrate trays caught in a catch member of the present invention through a tray transfer means.
FIG. 8 is a side view showing a process of separating the lowest supply empty tray or recovery empty tray through a transport means among a plurality of supply empty trays and recovery empty trays caught in a rotating catch member of the present invention.
Figure 9 is an enlarged view of the appearance of a supply empty tray and a return empty tray being caught and separated by a rotating catch member of the present invention.
Figure 10 is a schematic plan view of the mounting unit of the transport means of the present invention.
Figure 11 is a schematic diagram showing a movement path for clamping and moving a tray through a transfer means of the present invention.
Figure 12 is a perspective view showing the structure of a clamping unit provided in a substrate supply standby unit and a substrate selection standby unit of the present invention.
Figure 13 is an enlarged view of part A of Figure 12.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 검사 장치의 개략적인 전체 구성도, 도 2는 본 발명의 기판 검사 장치의 구성 및 동작 흐름을 설명하기 위한 블럭도이다. FIG. 1 is a schematic overall configuration diagram of a substrate inspection device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a block diagram for explaining the configuration and operation flow of the substrate inspection device of the present invention.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 기판 검사 장치(1)는 검사하기 위한 기판(PCB)을 탑재한 기판 트레이(10)를 공급하고 회수하는 기판 트레이 공급/회수부(100), 검사를 마친 기판을 검사 결과에 따라 양품 및 불량품으로 선별하여 탑재하는 공급용 빈 트레이(20)를 공급하고, 검사가 완료된 기판이 탑재된 완료 기판 트레이(40)를 회수하는 빈 트레이 공급/완료 기판 트레이 회수부(200), 기판을 검사하고 선별하는 검사부(300)를 포함할 수 있다. Referring to FIGS. 1 and 2, a substrate inspection device (1) according to the present invention may include a substrate tray supply/retrieval unit (100) that supplies and retrieves a substrate tray (10) loaded with a substrate (PCB) to be inspected, an empty tray supply/completed substrate tray retrieval unit (200) that supplies an empty tray for supplying and loading an inspected substrate into good and defective products according to the inspection results, and retrieves a completed substrate tray (40) loaded with an inspected substrate, and an inspection unit (300) that inspects and selects a substrate.

본 발명에서 빈 트레이는 공급용 빈 트레이와 회수용 빈 트레이로 이루어질 수 있다. In the present invention, the empty tray may be composed of a supply empty tray and a return empty tray.

기판 트레이(10)는 검사할 기판(S)이 탑재된 트레이일 수 있으며, 공급용 빈 트레이(20) 및 후술하는 회수용 빈 트레이(30)는 기판(S)이 없는 상태의 트레이를 의미할 수 있다. The substrate tray (10) may be a tray on which a substrate (S) to be inspected is loaded, and the empty tray (20) for supply and the empty tray (30) for recovery described below may mean trays without a substrate (S).

따라서, 회수용 빈 트레이(30)는 기판 트레이(10)에 탑재된 기판(S)을 빼낸 상태의 트레이일 수 있다. Therefore, the empty tray (30) for recovery may be a tray with the substrate (S) mounted on the substrate tray (10) removed.

도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 기판 트레이(10), 공급용 빈 트레이(20) 및 회수용 빈 트레이(30), 완료 기판 트레이(40)는 복수의 기판(S)을 탑재할 수 있는 제덱 트레이(Jedec Tray)일 수 있다. Referring to FIG. 4, the substrate tray (10), the empty tray for supply (20), the empty tray for recovery (30), and the finished substrate tray (40) according to the present invention may be a Jedec tray capable of mounting a plurality of substrates (S).

각 트레이의 양 단부에는 걸림 돌기(11)(21)(31)(41)가 돌출되고, 전체 면적에 대해서는 경량화를 위한 복수의 관통공(12)(22)(32)(42)이 각각 형성될 수 있으며, 각각의 관통공(12)(22)(32)(42)의 주변에는 기판(S)을 안착시킬 수 있는 지지 돌기가 돌출될 수 있다. 따라서, 각 트레이는 격자 모양으로 형성될 수 있고, 각 관통공(12)(22)(32)(42)에는 기판을 안착하는 수납칸이 마련될 수 있다. At both ends of each tray, a catch projection (11)(21)(31)(41) may be protruded, and a plurality of through holes (12)(22)(32)(42) for weight reduction may be formed for the entire area, and a support projection capable of settling a substrate (S) may be protruded around each of the through holes (12)(22)(32)(42). Accordingly, each tray may be formed in a grid shape, and a storage compartment for settling a substrate may be provided in each of the through holes (12)(22)(32)(42).

본 발명의 도면중 도 4를 제외한 나머지 도면에 도시된 트레이는 편의상 개략도로 도시한 것이다. 물론, 도 4에 도시된 트레이도 개략도로 도시한 수준이지만, 다른 도면에 비해 좀더 자세하게 도시한 수준일 수 있다. Except for Fig. 4, the trays illustrated in the drawings of the present invention are schematic drawings for convenience. Of course, the tray illustrated in Fig. 4 is also schematically illustrated, but may be illustrated in more detail than in other drawings.

또한, 본 발명은 기판 트레이(10), 빈 트레이인 공급용 빈 트레이(20), 회수용 빈 트레이(30) 및 완료 기판 트레이(40)를 이송하는 트레이 이송 수단(400)이 마련될 수 있다. In addition, the present invention may be provided with a tray transport means (400) for transporting a substrate tray (10), an empty tray for supply (20), an empty tray for recovery (30), and a finished substrate tray (40).

기판 트레이 공급/회수부(100)는 검사할 기판을 탑재한 기판 트레이(10)를 복수로 적층하는 기판 트레이 적재부(110), 기판 트레이 적재부(110)의 일측에 구비되고 공급된 빈 트레이(10)를 회수하는 빈 트레이 회수부(120)를 포함할 수 있다. The substrate tray supply/retrieval unit (100) may include a substrate tray loading unit (110) for stacking a plurality of substrate trays (10) loaded with substrates to be inspected, and an empty tray retrieval unit (120) provided on one side of the substrate tray loading unit (110) for retrieving the supplied empty trays (10).

본 발명의 실시 예에 있어서, 기판 트레이 적재부(110)는 복수로 마련할 수 있고, 복수의 기판 트레이(10)를 소정의 높이로 적층할 때 지지하면서 기판 트레이(10)의 공급을 위해 빼냄에 따라, 하강시 가이드하는 가이드 부재(111)를 포함할 수 있다. In an embodiment of the present invention, a plurality of substrate tray loading parts (110) may be provided, and may include a guide member (111) that supports a plurality of substrate trays (10) when stacked at a predetermined height and guides them when they are lowered as the substrate trays (10) are pulled out for supply.

도 5를 참조하면, 가이드 부재(111)는 기판 트레이 적재부(110)의 후방에 소정 높이로 마련할 수 있고, 기판 트레이 적재부(110)의 전방에는 가이드 부재(111)의 높이보다 작은 높이의 가이드 부재(111a)가 형성될 수 있다.Referring to FIG. 5, a guide member (111) can be provided at a predetermined height at the rear of the substrate tray loading portion (110), and a guide member (111a) having a height smaller than the height of the guide member (111) can be formed at the front of the substrate tray loading portion (110).

따라서, 복수로 적층되는 기판 트레이(10)는 가이드 부재(111)의 높이 이하로 적재될 수 있다. Accordingly, the substrate trays (10) that are stacked in multiple layers can be loaded below the height of the guide member (111).

또한, 기판 트레이 적재부(110)의 하부에는 기판 트레이(10)를 받치는 안치 부재(112)를 구비할 수 있다. Additionally, a support member (112) for supporting the substrate tray (10) may be provided at the bottom of the substrate tray loading section (110).

안치 부재(112)에는 기판 트레이(10)의 양쪽 단부를 지지하는 걸림 부재(113)가 마련될 수 있다. A catch member (113) that supports both ends of the substrate tray (10) may be provided in the mounting member (112).

걸림 부재(113)는 공압 또는 유압 등으로 움직이는 액츄에이터에 의해 안치되는 기판 트레이(10) 방향으로 전후진 동작을 수행할 수 있다. The hanging member (113) can perform forward and backward movements in the direction of the substrate tray (10) on which it is placed by an actuator that moves by pneumatic or hydraulic pressure, etc.

도 7을 참조하면, 걸림 부재(113)의 단부에는 기판 트레이(10)의 양쪽 단부에 형성된 걸림 돌기(11)에 걸림되는 걸림턱(113a)이 돌출될 수 있다. Referring to Fig. 7, a catch projection (113a) that catches a catch projection (11) formed at both ends of the substrate tray (10) may be protruded at the end of the catch member (113).

걸림턱(113a)은 걸림 부재(113)의 단부 하부측에 치우쳐져서 돌출될 수 있고, 따라서, 걸림턱(113a)의 상부는 개방된 상태일 수 있다. The catch (113a) may be protruded so as to be offset from the lower end of the catch member (113), and thus, the upper portion of the catch (113a) may be in an open state.

걸림 부재(113)의 사이에는 개방된 공간이 홈 형태로 마련될 수 있다. 이 공간은 트레이 이송 수단(400)이 기판 트레이(10)를 다른 위치로 이송될 수 있도록 접근이 허용되는 역할을 할 수 있다. An open space may be provided in the form of a groove between the hanging members (113). This space may serve to allow access for the tray transport means (400) to transport the substrate tray (10) to another location.

기판 트레이 공급/회수부(100)는 기판 트레이 적재부(110)에 적층된 기판 트레이(10)를 순차적으로 트레이 이송 수단(400)에 의해 검사부(300)로 보내고, 검사부(300)에서 기판의 검사가 순차적으로 이루어짐에 따라 기판이 제거된 상태의 회수용 빈 트레이(30)는 빈 트레이 회수부(120)로 보내질 수 있다. The substrate tray supply/recovery unit (100) sequentially sends the substrate trays (10) stacked on the substrate tray loading unit (110) to the inspection unit (300) by the tray transfer means (400), and as the inspection of the substrates is sequentially performed in the inspection unit (300), the empty trays (30) for recovery with the substrates removed can be sent to the empty tray recovery unit (120).

기판 트레이 적재부(110)에 적층된 복수의 기판 트레이(10)를 순차적으로 검사부(300)에 보내기 위해서 트레이 이송 수단(400)은 적층된 복수의 기판 트레이(10)중 최하단의 기판 트레이(10)를 분리하여 이송할 수 있다. In order to sequentially send a plurality of substrate trays (10) stacked on the substrate tray loading unit (110) to the inspection unit (300), the tray transfer means (400) can separate and transfer the lowest substrate tray (10) among the plurality of stacked substrate trays (10).

더 구체적으로 설명하면, 트레이 이송 수단(400)은 3축 방향으로 이동이 가능한 구조로서, 예를 들어 LM 가이드 등의 구조를 포함할 수 있다. To explain more specifically, the tray transport means (400) is a structure capable of moving in three axes, and may include a structure such as an LM guide, for example.

다시 말해서, 도 11을 참조하면, 상기 트레이 이송 수단(400)은 상기 기판 트레이 공급/회수부(100) 또는 상기 빈 트레이 공급/완료기판 회수부(200) 방향의 제1 방향(x축 방향), 제1 방향과 직교 방향인 제2 방향(y축 방향), 제1 방향 및 제2 방향과 직교 방향이고 상기 검사부(300) 방향의 높이 방향인 제3 방향(z축 방향)으로 이동할 수 있다. In other words, referring to FIG. 11, the tray transport means (400) can move in a first direction (x-axis direction) toward the substrate tray supply/retrieval unit (100) or the empty tray supply/completed substrate retrieval unit (200), a second direction (y-axis direction) that is orthogonal to the first direction, and a third direction (z-axis direction) that is orthogonal to the first and second directions and is a height direction toward the inspection unit (300).

따라서, 트레이 이송 수단(400)에는 이동부(420), 이동부(420)가 제1 방향을 따라 이동할 수 있는 제1 가이드 레일(422), 이동부(420)가 제2 방향을 따라 이동할 수 있는 제2 가이드 레일(424), 이동부(420)가 제3 방향을 따라 이동할 수 있는 제3 가이드 레일(426)을 포함할 수 있다. Accordingly, the tray transport means (400) may include a moving unit (420), a first guide rail (422) along which the moving unit (420) can move along a first direction, a second guide rail (424) along which the moving unit (420) can move along a second direction, and a third guide rail (426) along which the moving unit (420) can move along a third direction.

트레이 이송 수단(400)은 기판 트레이(10), 공급용 빈 트레이(20) 및 회수용 빈 트레이(30), 완료 기판 트레이(40)(이하 '트레이'라 함)를 거치할 수 있는 거치 유니트(410)가 마련될 수 있다. 거치 유니트(410)는 트레이의 4면중 적어도 2면, 바람직하게는 4면 모두를 거치하고 이동시킬 수 있다. The tray transport means (400) may be provided with a mounting unit (410) capable of mounting a substrate tray (10), an empty tray for supply (20), an empty tray for recovery (30), and a finished substrate tray (40) (hereinafter referred to as “tray”). The mounting unit (410) may be capable of mounting and moving at least two of the four sides of the tray, and preferably all four sides.

기판 트레이 적재부(110)에 복수로 적층된 기판 트레이(10)의 양쪽 측면, 예를 들어 기판 트레이(10)가 직사각형 구조인 경우, 단변을 가지는 양쪽 측면을 걸림 부재(113)에 의해 걸림되고, 나머지 2면인 장변을 가지는 다른쪽 양 측면을 클램핑 부재(410)에 의해 클램핑할 수 있다.Both sides of the substrate trays (10) stacked in multiple layers on the substrate tray loading section (110), for example, when the substrate trays (10) have a rectangular structure, both sides having short sides can be caught by the catch member (113), and the other two sides having long sides, which are the remaining two sides, can be clamped by the clamping member (410).

기판 트레이(10)에는 복수의 관통공(12)이 형성되고, 각각의 관통공 주변에 지지 돌기가 마련되어서 4각형 구조의 기판(10)을 안치할 수 있다. A plurality of through holes (12) are formed in the substrate tray (10), and a support protrusion is provided around each of the through holes so that a rectangular substrate (10) can be placed thereon.

도 5를 참조하면, 기판 트레이(10)에 탑재된 검사할 기판을 제거하고 비워진 빈 트레이(30)를 회수하는 빈 트레이 회수부(120)는, 소정 높이를 가지고 일측에 마련되는 가이드 부재(121), 하부에 형성되는 안치 부재(122), 안치 부재(122)의 양측에 각각 회동 가능하게 구비되는 회동 걸림 부재(123)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 5, an empty tray recovery unit (120) for removing a substrate to be inspected mounted on a substrate tray (10) and recovering an empty tray (30) may include a guide member (121) provided on one side with a predetermined height, a settling member (122) formed at the bottom, and a rotational engaging member (123) rotatably provided on each side of the settling member (122).

가이드 부재(121)는 안치 부재(122)의 일단에 소정 높이로 마련될 수 있고, 간격을 두고 한쌍의 가이드 부재(121)를 수직 방향으로 배치할 수 있으며, 회수되는 회수용 빈 트레이(30)의 적층시 안정되게 지지할 수 있다. A guide member (121) can be provided at a predetermined height on one end of a mounting member (122), and a pair of guide members (121) can be arranged vertically at intervals, and can stably support stacking of empty trays (30) for recovery.

빈 트레이 회수부(120)의 전방에는 기판 트레이 적재부(110)와 마찬가지로, 가이드 부재(121)보다 높이가 낮은 가이드 부재(121a)가 형성될 수 있다.In front of the empty tray recovery section (120), a guide member (121a) having a lower height than the guide member (121) can be formed, similar to the substrate tray loading section (110).

따라서, 적재되는 회수용 빈 트레이(30)의 전후방에서 안정되게 지지할 수 있다. Accordingly, the empty tray (30) to be loaded can be stably supported from the front and rear.

도 9를 참조하면, 회동 걸림 부재(123)는 회수용 빈 트레이(30)의 양측면에 돌출된 걸림 돌기(31)에 걸림될 수 있다. 회동 걸림 부재(123)는 회전축(123a)과, 단부에 형성되는 경사면(123b)을 포함할 수 있다. 회전축(123a)은 고정 부재(124)에 결합될 수 있다. Referring to Fig. 9, the rotating catch member (123) can be caught by the catch projections (31) protruding on both sides of the empty tray (30) for recovery. The rotating catch member (123) can include a rotation shaft (123a) and an inclined surface (123b) formed at an end. The rotation shaft (123a) can be coupled to a fixed member (124).

경사면(123b)은 회동 걸림 부재(123)의 상면의 길이가 하면의 길이보다 길도록 하향 경사지게 형성될 수 있다. The inclined surface (123b) can be formed to slope downward so that the length of the upper surface of the rotating engaging member (123) is longer than the length of the lower surface.

회동 걸림 부재(123)는 도 5 및 도 6을 참조하면, 회수용 빈 트레이(30)의 양측면에 각각 간격을 두고 2개씩 마련하여 안정되게 지지할 수 있다. Referring to FIGS. 5 and 6, two rotating retaining members (123) can be provided on each side of the empty tray (30) for recovery at intervals to stably support it.

회동 걸림 부재(123)는 전동식이 아닌, 수동으로 회전되고 자중에 의해 원위치로 복귀되는 걸림 부재이고, 회수용 빈 트레이(30)와 같이 트레이를 하부에서 상부로 적층시킬 때 사용할 수 있다. The rotating catch member (123) is a catch member that is not electrically operated but manually rotated and returned to its original position by its own weight, and can be used when stacking trays from the bottom to the top, such as a recovery empty tray (30).

도 6은 후술하는 양품용 거치대(230) 및 불량품용 거치대(240) 구조에 대하여 도시한 것이지만, 빈 트레이 회수부(120)의 구조와 동일한 구조로 이루어질 수 있다. FIG. 6 illustrates the structure of the stand for good products (230) and the stand for defective products (240) described later, but can be formed with the same structure as the structure of the empty tray recovery unit (120).

도 2 및 도 5를 참조하면, 빈 트레이 공급/완료기판 회수부(200)는 빈 트레이 공급용 거치부(210), 빈 트레이 공급용 거치부(210)의 일측에 적어도 하나 이상, 바람직하게는 2개 이상 마련되고 빈 트레이를 분배받는 완료 기판 트레이 회수부(220)를 포함할 수 있다. Referring to FIGS. 2 and 5, the empty tray supply/completed substrate retrieval unit (200) may include an empty tray supply holder (210), and at least one, preferably two or more, completed substrate tray retrieval units (220) provided on one side of the empty tray supply holder (210) and for distributing empty trays.

빈 트레이 공급용 거치부(210)에는 작업자 등이 미리 소정 높이로 복수의 공급용 빈 트레이(20)를 거치하여 적층시킬 수 있도록 하기 위해서, 일측(후방)에 가이드 부재(211)가 수직 방향으로 마련되고, 가이드 부재(211)의 하부에는 공급용 빈 트레이(20)를 거치할 수 있는 거치 부재(212)가 구비될 수 있다. In order to enable workers, etc. to place and stack multiple empty trays (20) for supply at a predetermined height in advance, a guide member (211) may be provided vertically on one side (rear) of the empty tray supply stand (210), and a stand member (212) capable of placing empty trays (20) for supply may be provided at the bottom of the guide member (211).

빈 트레이 공급용 거치부(210)의 전방에는 가이드 부재(211)보다 높이가 낮은 가이드 부재(211a)가 마련될 수 있다. A guide member (211a) having a lower height than the guide member (211) may be provided in front of the empty tray supply holder (210).

거치 부재(212)의 양측에는 공급용 빈 트레이(20)를 거치할 수 있도록 공급용 빈 트레이(20) 방향으로 전후진 동작을 하는 걸림 부재(213)가 구비될 수 있다. On both sides of the mounting member (212), a catch member (213) that moves back and forth in the direction of the supply empty tray (20) can be provided so that the supply empty tray (20) can be caught.

따라서, 거치 부재(212)의 양측에 구비되는 걸림 부재(213) 사이에는 트레이 이송 수단(400)에 접근할 수 있는 개방부가 형성될 수 있다. Accordingly, an opening that allows access to the tray transport means (400) can be formed between the catch members (213) provided on both sides of the support member (212).

걸림 부재(213)는 앞서 설명한 기판 트레이 공급/회수부(100)의 걸림 부재(113)와 동일 구조로 이루어질 수 있다. 따라서, 걸림 부재(113)는 액츄에이터에 의해 거치되는 공급용 빈 트레이(20) 방향으로 전후진되면서 공급용 빈 트레이(20)를 거치 및 분리시킬 수 있다. The catch member (213) may have the same structure as the catch member (113) of the substrate tray supply/retrieval unit (100) described above. Accordingly, the catch member (113) may be moved back and forth in the direction of the empty supply tray (20) held by the actuator, thereby holding and separating the empty supply tray (20).

또한, 완료 기판 트레이 회수부(220)는 검사부(300)에서의 기판 검사후, 양품 또는 불량품으로 선별한 기판을 구분하여 탑재할 수 있도록 하기 위한 양품용 거치대(230) 및 불량품용 거치대(240)를 포함할 수 있다. In addition, the completed substrate tray recovery unit (220) may include a holder for good products (230) and a holder for bad products (240) to enable the substrates selected as good or bad after substrate inspection in the inspection unit (300) to be mounted separately.

본 발명의 실시 예에 있어서, 양품용 거치대(230)와 불량품용 거치대(240)는 각각 복수로 마련한 구조일 수 있다. 일련의 검사 및 선별 동작에 따라 양품용 거치대(230)와 불량품용 거치대(240)를 단수로 마련한 것에 비해 보다 효율적인 운영이 가능할 수 있다. In an embodiment of the present invention, the stand for good products (230) and the stand for defective products (240) may be provided in multiples. Compared to providing a single stand for good products (230) and a single stand for defective products (240), more efficient operation may be possible according to a series of inspection and selection operations.

양품용 거치대(230)와 불량품용 거치대(240)를 단수로 마련하는 경우에는 공급용 빈 트레이(20)에 검사 완료된 기판이 채워져서 완료 기판 트레이(40)가 되고, 완료 기판 트레이(40)를 회수 및 적재하여 설정된 높이까지 적재시키면, 적재되는 양의 한계로 인해, 완료 기판 트레이(40)의 최대 높이까지 적재되어서 비워야 하는 시간이 짧아질 수 있다. In the case where a stand for good products (230) and a stand for defective products (240) are provided in a single unit, the empty tray (20) for supply is filled with inspected substrates to become a completed substrate tray (40), and when the completed substrate tray (40) is recovered and loaded to a set height, the time required to empty the completed substrate tray (40) by loading it to the maximum height due to the limit on the amount that can be loaded can be shortened.

그러면, 그 만큼 쌓여져 만적된 완료 기판 트레이(40)를 모두 빼내는 작업 시간이 짧아지고, 따라서, 검사 장치의 동작중 제때에 검사가 완료되고 선별된 완료 기판 트레이(40)를 제때에 빼내지 못하여 결국 원활한 검사 장치 운영에 차질이 발생할 수 있다. Then, the work time to remove all the completed substrate trays (40) that have been piled up to that extent becomes shorter, and therefore, during the operation of the inspection device, the inspection is completed in a timely manner and the selected completed substrate trays (40) cannot be removed in a timely manner, which may eventually cause problems in the smooth operation of the inspection device.

본 발명은 한쌍의 양품용 거치대(230)와 불량품용 거치대(240)를 마련함으로써, 한쪽의 양품용 거치대(230)와 불량품용 거치대(240)에 완료 기판 트레이(40)가 최대 높이까지 적재되면, 다른쪽의 양품용 거치대(230)와 불량품용 거치대(240)에 적재할 수 있으므로, 한쪽의 양품용 거치대(230)와 불량품용 거치대(240)에 만적된 완료 기판 트레이(40)를 제거할 수 있는 시간이 확보되어서 검사 장치 동작의 중단없이 기판의 원활한 검사 공정을 수행할 수 있다. The present invention provides a pair of stands (230) for good products and stands (240) for defective products, so that when a completed substrate tray (40) is loaded to the maximum height on one stand (230) for good products and stands (240) for defective products, it can be loaded on the other stand (230) for good products and stands (240), so that time is secured for removing the completed substrate tray (40) fully loaded on one stand (230) for good products and stands (240) for defective products, so that a smooth inspection process of the substrate can be performed without interrupting the operation of the inspection device.

도 5 및 도 6을 참조하면, 한쌍의 양품용 거치대(230)와 한쌍의 불량품용 거치대(240)는 각각 소정 높이로 세워지는 가이드 부재(231)(241), 검사가 완료된 기판이 선별되어 탑재되는 완료 기판 트레이(40)를 거치할 수 있는 거치 부재(232)(242), 거치 부재(232)(242)의 양측에 마련되고 완료 기판 트레이(40)를 지지하는 회동 걸림 부재(233)(243)를 포함할 수 있다. Referring to FIGS. 5 and 6, a pair of holders for good products (230) and a pair of holders for defective products (240) may each include a guide member (231)(241) erected at a predetermined height, a holder member (232)(242) capable of holding a completed substrate tray (40) on which a substrate that has undergone inspection is selected and mounted, and a rotational engaging member (233)(243) provided on both sides of the holder member (232)(242) and supporting the completed substrate tray (40).

한쌍의 양품용 거치대(230)와 한쌍의 불량품용 거치대(240)에 마련된 가이드 부재(231)(241)는 후방에 배치되고, 전방에는 가이드 부재(231)(241)보다 높이가 낮은 가이드 부재(231a)(241a)가 마련되어 완료 기판 트레이(40)를 전후방에서 가이드할 수 있다. A guide member (231)(241) provided on a pair of holders for good products (230) and a pair of holders for defective products (240) is arranged at the rear, and a guide member (231a)(241a) having a lower height than the guide member (231)(241) is provided at the front so as to guide the completed substrate tray (40) from the front and rear.

도 6을 참조하면, 한쌍의 양품용 거치대(230)와 한쌍의 불량품용 거치대(240)에는 트레이 이송 수단(400)이 진입하여 완료 기판 트레이(40)를 이송할 수 있도록 거치 부재(232)(242)는 바닥면으로부터 소정 높이로 간격을 두고 배치되고, 거치 부재(232)(242) 사이에는 개방된 개방부가 형성될 수 있다. 개방부의 양측에는 상기 회동 걸림 부재(233)(243)가 각각 회동 가능하게 구비될 수 있다. Referring to Fig. 6, a pair of holders (230) for good products and a pair of holders (240) for defective products are arranged with a predetermined height from the floor surface to allow a tray transfer means (400) to enter and transfer a completed substrate tray (40), and an open portion may be formed between the holders (232) (242). A rotational engaging member (233) (243) may be provided on each side of the open portion so as to be rotatable.

각 회동 걸림 부재(233)(243)는 앞서 설명한 빈 트레이 회수부(120)에 마련된 회동 걸림 부재(123)와 동일 구조로 이루어지고, 동작이 동일하게 구현되게 마련될 수 있다. 따라서, 각 회동 걸림 부재(233)(243)는 고정 부재에 회전축으로 회전 가능하게 결합되고, 단부에는 경사면이 형성된 구조일 수 있다.Each rotational engaging member (233)(243) may be configured to have the same structure as the rotational engaging member (123) provided in the empty tray recovery unit (120) described above, and may be configured to implement the same operation. Accordingly, each rotational engaging member (233)(243) may be configured to be rotatably coupled to the fixed member about a rotational axis, and have an inclined surface formed at an end.

또한, 거치 부재(232)(242)는 완료 기판 트레이(40)의 양쪽 단부에 마련될 수 있고, 양쪽 단부에 마련되는 각 거치 부재(232)(242)에는 각각 복수의 회동 걸림 부재(233)(243)를 마련하고, 완료 기판 트레이(40)의 양쪽 단부를 복수로 지지할 수 있다. In addition, the support members (232)(242) can be provided at both ends of the completed substrate tray (40), and a plurality of rotational engaging members (233)(243) are provided for each of the support members (232)(242) provided at both ends, so that the both ends of the completed substrate tray (40) can be supported in multiple ways.

다시 말해서, 예를 들어 양품용 거치대(230)에 마련되는 거치 부재(232)는 완료 기판 트레이(40)의 양쪽 단부를 지지하기 위해 완료 기판 트레이(40)의 전방 및 후방에 마련되고, 각각의 거치 부재(232)에는 간격을 두고 복수의 회동 걸림 부재(233)를 구비하여 완료 기판 트레이(40)의 단부를 복수로 지지할 수 있다. In other words, for example, the support members (232) provided on the stand (230) for quality products are provided at the front and rear of the completed substrate tray (40) to support both ends of the completed substrate tray (40), and each of the support members (232) is provided with a plurality of rotating engaging members (233) spaced apart to support a plurality of ends of the completed substrate tray (40).

정리하면, 기판 트레이 적재부(110)와 빈 트레이 공급용 거치부(210)는 동일 구조로 이루어지고, 가이드 부재의 높이만 다를 뿐이며, 빈 트레이 회수부(120)와 양품용 거치대(230) 및 불량품용 거치대(240)는 가이드 부재의 높이만 다를뿐 동일 구조로 이루어진 것일 수 있다. In summary, the substrate tray loading unit (110) and the empty tray supply holder (210) may have the same structure, with only the height of the guide member being different, and the empty tray recovery unit (120), the holder for good products (230) and the holder for defective products (240) may have the same structure, with only the height of the guide member being different.

또한, 기판 트레이 공급/회수부(100)와 빈 트레이 공급/완료기판 회수부(200)에 각각 마련된 기판 트레이 적재부(110), 빈 트레이 회수부(120), 빈 트레이 공급용 거치부(210) 및 완료 기판 트레이 회수부(220)는 모두 바닥면으로부터 소정 높이 띄워진 상태로 트레이를 지지하고 있기 때문에, 트레이 이송 수단(400)이 트레이에 접근이 용이하고, 간편하게 트레이를 원하는 위치로 이송시킬 수 있다. In addition, since the substrate tray loading section (110), the empty tray retrieval section (120), the empty tray supply stand (210), and the completed substrate tray retrieval section (220) provided in the substrate tray supply/retrieval section (100) and the empty tray supply/completed substrate retrieval section (200) respectively support the tray while being raised from the floor surface by a predetermined height, the tray transfer means (400) can easily access the tray and easily transfer the tray to the desired position.

여기서, 본 발명의 기술적 특징은 기판(10)이 탑재된 기판 트레이(10)를 공급하거나 기판(10)이 없는 공급용 빈 트레이(20)를 검사부(300)에 공급하는 경우, 검사를 위해 검사부(300)에 기판이 이송됨에 따라 비워진 회수용 빈 트레이(30)를 회수하는 경우, 검사를 마친 기판을 탑재한 완료 기판 트레이(40)를 회수하는 경우, 기판 검사 장치의 하부에서 트레이 이송 수단(400)에 의해 공급할 수 있다. Here, the technical feature of the present invention is that when supplying a substrate tray (10) loaded with a substrate (10) or supplying an empty tray (20) for supply without a substrate (10) to an inspection unit (300), when recovering an empty recovery tray (30) that has become empty as the substrate is transferred to the inspection unit (300) for inspection, when recovering a completed substrate tray (40) loaded with a substrate that has completed inspection, the supply can be done by a tray transfer means (400) from the bottom of the substrate inspection device.

이때, 복수로 적층된 기판 트레이(10) 또는 공급용 빈 트레이(20)에서 최하단의 기판 트레이(10) 또는 공급용 빈 트레이(20)를 빼내서 공급할 수 있다는 것이다. At this time, the lowest substrate tray (10) or empty supply tray (20) can be removed from the multiple stacked substrate trays (10) or empty supply trays (20) and supplied.

이러한 기술적 특징은 기판 검사 장치를 운용함에 있어서, 매우 중요한 것일 수 있다. 즉, 기판 트레이(10) 또는 공급용 빈 트레이(20)가 적층되는 경우, 최하단에서부터 수직 방향으로 높아질 수록 적층될 때의 누적 공차가 증가할 수 있다. This technical feature may be very important in operating a substrate inspection device. That is, when substrate trays (10) or empty trays (20) for supply are stacked, the accumulated tolerance when stacked may increase as the height increases in the vertical direction from the bottom.

예를 들어, 최초에 최하단 위치인 1층에 기판 트레이(10) 또는 공급용 빈 트레이(20)를 안치한 상태에서, 다른 기판 트레이(10) 또는 공급용 빈 트레이(20)를 1층에 있는 기판 트레이(10) 또는 공급용 빈 트레이(20) 위에 2층,3층,4층, N층 식으로 계속해서 높게 적층시키는 경우, 최하단인 1층에 배치된 기판 트레이(10) 또는 공급용 빈 트레이(20)와 그 위에 배치되는 기판 트레이(10) 또는 공급용 빈 트레이(20)와 다르게 배치될 가능성이 높아질 수 있다. For example, when a substrate tray (10) or an empty supply tray (20) is initially placed on the 1st floor, which is the lowest position, and other substrate trays (10) or empty supply trays (20) are continuously stacked in 2nd, 3rd, 4th, Nth, etc. layers on top of the substrate tray (10) or empty supply tray (20) on the 1st floor, there is a high possibility that the substrate tray (10) or empty supply tray (20) placed on the 1st floor, which is the lowest position, will be placed differently from the substrate tray (10) or empty supply tray (20) placed on top of it.

다시 말해서, 일렬로 정렬된 상태로 정확하게 적층되지 못하고, 조금씩 원래의 위치인 정 위치로부터 벗어나게 배치될 수 있다. In other words, they may not be stacked exactly in a straight line, but may be placed slightly away from their original positions.

이러한 현상은 기판 트레이(10) 또는 공급용 빈 트레이(20)의 제조시, 제조 공차가 존재하고, 더욱이 적층하는 과정에서 정확하게 정렬되지 못하고 조금씩 삐뚤어지면서 쌓아질 수 있기 때문에, 결국 최상단에 있는 기판 트레이(10) 또는 공급용 빈 트레이(20)는 최하단의 기판 트레이(10) 또는 공급용 빈 트레이(20)에 비해 어긋나게 배열될 수 있다. This phenomenon occurs because, when manufacturing the substrate tray (10) or the empty supply tray (20), there is a manufacturing tolerance, and furthermore, during the stacking process, they may not be aligned accurately and may be stacked slightly crooked. As a result, the uppermost substrate tray (10) or the empty supply tray (20) may be arranged misaligned compared to the lowest substrate tray (10) or the empty supply tray (20).

따라서, 만일 기판 검사를 위해 이송 수단인 이송 로봇이 최상단에 배치된 기판 트레이(10) 또는 공급용 빈 트레이(20)를 클램핑하고 이송하는 경우, 정확하게 동작하는 이송 로봇은 기판 트레이(10) 또는 공급용 빈 트레이(20)가 정 위치에 배치된 상태를 고려하여 동작을 수행하므로, 어긋나게 배치된 최상단의 기판 트레이(10) 또는 공급용 빈 트레이(20)를 클램핑하는 과정에서 정확하게 클램핑하지 못할 수 있다. Accordingly, if a transport robot, which is a transport means for substrate inspection, clamps and transports a substrate tray (10) or an empty tray for supply (20) placed at the top, a transport robot that operates accurately performs operations while considering the state in which the substrate tray (10) or the empty tray for supply (20) is placed at the correct position, and thus may not accurately clamp the misaligned uppermost substrate tray (10) or the empty tray for supply (20) during the clamping process.

트레이를 이송하는 이송 로봇이 기판 트레이(10) 또는 공급용 빈 트레이(20)를 정확하게 클램핑하지 못하고 이송하는 경우, 기판 트레이(10) 또는 공급용 빈 트레이(20)를 떨어뜨리거나, 또는 적층된 최상단의 기판 트레이(10) 또는 공급용 빈 트레이(20)를 클램핑을 하지 못하여 이송 동작을 할 수 없는 상황이 발생할 수 있다.If a transport robot transporting trays fails to accurately clamp a substrate tray (10) or an empty supply tray (20) and transports it, the substrate tray (10) or the empty supply tray (20) may be dropped, or the uppermost stacked substrate tray (10) or the empty supply tray (20) may not be clamped, resulting in a situation where the transport operation cannot be performed.

또한, 설사 기판 트레이(10) 또는 공급용 빈 트레이(20)를 클램핑하더라도 정확하게 클램핑하지 못한 상태에서 이송하므로, 검사를 위해 다음 포지션에 이송하여 안착시킬 때 확실하게 안착시키지 못할 수 있다. In addition, even if the substrate tray (10) or the empty tray (20) for supply is clamped, it may not be securely secured when transferred to the next position for inspection because it is transported without being clamped accurately.

이처럼 이송 로봇에 의한 이송 과정에서 에러가 발생하면, 기판 검사 장치(1)의 각 단계별 동작이 원활하게 이루어질 수 없고, 결국 기판 검사를 제대로 수행하지 못하는 결과를 초래할 수 있다.If an error occurs during the transfer process by the transfer robot, each step of the substrate inspection device (1) cannot be performed smoothly, which may ultimately result in the substrate inspection not being performed properly.

따라서, 본 발명은 기판 트레이(10) 또는 공급용 빈 트레이(20)의 누적 공차에 의한 부정확한 이송 과정을 해소하기 위해서, 적재시에도 최하단의 기판 트레이(10) 위에 두번째 기판 트레이(10)를 적재하지 않고, 최하단의 기판 트레이(10)의 하부에서 상승시키면서 적재할 수 있다. Accordingly, in order to resolve the inaccurate transfer process due to the accumulated tolerance of the substrate tray (10) or the empty tray for supply (20), the second substrate tray (10) is not loaded on top of the lowest substrate tray (10) when loading, but can be loaded by raising it from the bottom of the lowest substrate tray (10).

이와 같이, 소정 높이로 적재한 기판 트레이(10) 또는 공급용 빈 트레이(20)는 최상단에서 클램핑하여 이송하지 않고, 최하단에 배치된 기판 트레이(10) 또는 공급용 빈 트레이(20)를 이송하는 것이다. In this way, the substrate tray (10) or the empty tray (20) for supply loaded to a predetermined height is not clamped and transported at the top, but the substrate tray (10) or the empty tray (20) for supply placed at the bottom is transported.

다시 말해서, 본 발명은 항상 기판 트레이(10) 또는 공급용 빈 트레이(20)의 하부에서 빼내서 이송하고, 반대로 기판 트레이(10) 또는 공급용 빈 트레이(20)의 하부에서 밀어올리면서 적재하는 방식일 수 있다. In other words, the present invention can be a method of always transporting by pulling out from the bottom of the substrate tray (10) or the empty tray for supply (20), and, conversely, loading by pushing up from the bottom of the substrate tray (10) or the empty tray for supply (20).

따라서, 트레이(기판 트레이(10), 공급용 빈 트레이(20), 회수용 빈 트레이(30) 및 완료 기판 트레이(40))를 이송하는 트레이 이송 수단(400)은 트레이가 적재된 위치의 하부에 배치되어서 트레이를 이동시킬 수 있다. Accordingly, the tray transport means (400) for transporting the trays (substrate tray (10), empty tray for supply (20), empty tray for recovery (30), and finished substrate tray (40)) is positioned below the position where the trays are loaded so as to move the trays.

도 3을 참조하면, 트레이의 이송 및 기판 검사 동작을 수행하기 위해서, 기판 트레이(10) 또는 공급용 빈 트레이(20)를 공급하고 회수하는 영역과 검사를 담당하는 영역을 높이차를 두고 배치함으로써 구현할 수 있다. 왜냐하면, 항상 적층된 기판 트레이(10) 또는 공급용 빈 트레이(20)중 최하단에 있는 트레이를 빼내서 이송하기 때문에, 트레이를 공급하는 영역보다 검사하는 영역을 소정의 높이(H)로 높게 배치함이 바람직할 수 있다. Referring to Fig. 3, in order to perform the operation of transporting trays and inspecting substrates, the area for supplying and retrieving substrate trays (10) or empty trays for supply (20) and the area for inspection can be arranged with a height difference. This is because the tray at the bottom of the stacked substrate trays (10) or empty trays for supply (20) is always taken out and transported, so it may be desirable to arrange the area for inspection at a predetermined height (H) higher than the area for supplying trays.

즉, 기판 트레이 공급/회수부(100)와 빈 트레이 공급/완료기판 회수부(200)가 배치된 위치를 제1 위치(P1)라 하고, 기판 공급용 대기부(340)와 기판 선별용 대기부(350)를 포함하는 검사부(300)가 배치된 위치를 제2 위치(P2)라 할 때, 제2 위치(P2)는 제1 위치(P1)보다 높이(H)를 두고 높게 배치될 수 있다. That is, when the position where the substrate tray supply/retrieval unit (100) and the empty tray supply/complete substrate retrieval unit (200) are arranged is referred to as the first position (P1), and the position where the inspection unit (300) including the substrate supply standby unit (340) and the substrate selection standby unit (350) are arranged is referred to as the second position (P2), the second position (P2) can be arranged higher by a height (H) than the first position (P1).

더욱이, 검사부(300)의 기판 공급용 대기부(340)와 기판 선별용 대기부(350)를 기판 트레이 공급/회수부(100)와 빈 트레이 공급/완료기판 회수부(200) 보다 더 높게 배치함으로써, 기판 트레이 공급/회수부(100)와 빈 트레이 공급/완료기판 회수부(200)에 기판 트레이(10) 및 공급용 빈 트레이(20)를 안정되게 적재할 수 있는 높이가 제공될 수 있다. Furthermore, by arranging the substrate supply standby unit (340) and the substrate selection standby unit (350) of the inspection unit (300) higher than the substrate tray supply/retrieval unit (100) and the empty tray supply/completed substrate retrieval unit (200), a height capable of stably loading the substrate tray (10) and the empty tray for supply (20) can be provided on the substrate tray supply/retrieval unit (100) and the empty tray supply/completed substrate retrieval unit (200).

만일, 기판 공급용 대기부(340) 및 기판 선별용 대기부(350)와 기판 트레이 공급/회수부(100) 및 빈 트레이 공급/완료기판 회수부(200)의 설치 높이를 동일하게 하는 경우, 적재되는 기판 트레이(10) 또는 공급용 빈 트레이(20)의 적재 높이가 기판 공급용 대기부(340) 및 기판 선별용 대기부(350) 보다 높아질 수 있다.If the installation heights of the substrate supply standby unit (340) and the substrate selection standby unit (350) and the substrate tray supply/retrieval unit (100) and the empty tray supply/completed substrate retrieval unit (200) are the same, the loading height of the loaded substrate tray (10) or the empty tray for supply (20) may be higher than that of the substrate supply standby unit (340) and the substrate selection standby unit (350).

또한, 기판 공급용 대기부(340) 및 기판 선별용 대기부(350)와 기판 트레이 공급/회수부(100) 및 빈 트레이 공급/완료기판 회수부(200)의 설치 높이를 동일하게 하는 경우, 기판 트레이 공급/회수부(100)와 빈 트레이 공급/완료기판 회수부(200)가 전방에 배치되면, 기판 트레이 공급/회수부(100)와 빈 트레이 공급/완료기판 회수부(200)의 측면에 지지 부재를 마련하여 기판 트레이(10) 및 공급용 빈 트레이(20)를 지지하더라도 안쪽에 위치하는 검사부(300)가 보이지 않아 작업상 불편을 초래할 수 있다. In addition, when the installation heights of the substrate supply standby unit (340) and the substrate selection standby unit (350) and the substrate tray supply/retrieval unit (100) and the empty tray supply/completed substrate retrieval unit (200) are the same, if the substrate tray supply/retrieval unit (100) and the empty tray supply/completed substrate retrieval unit (200) are arranged at the front, even if a support member is provided on the side of the substrate tray supply/retrieval unit (100) and the empty tray supply/completed substrate retrieval unit (200) to support the substrate tray (10) and the empty tray for supply (20), the inspection unit (300) located inside cannot be seen, which may cause inconvenience in operation.

도 2 및 도 3을 참조하면, 트레이 이송 수단(400)은 검사부(300), 기판 공급용 대기부(340), 기판 선별용 대기부(350), 기판 트레이 공급/회수부(100) 및 빈 트레이 공급/완료기판 회수부(200)의 하부에서 이동(상하좌우 이동)하므로, 기판 공급용 대기부(340) 및 기판 선별용 대기부(350)의 설치 높이보다 기판 트레이 공급/회수부(100)와 빈 트레이 공급/완료기판 회수부(200)의 기판 트레이(10) 및 공급용 빈 트레이(20)의 적재 높이를 더 높게 적재하더라도 안정된 상태를 유지하고 이송 작업을 편리하게 수행할 수 있다. Referring to FIGS. 2 and 3, the tray transport means (400) moves (up, down, left, and right) below the inspection unit (300), the substrate supply standby unit (340), the substrate selection standby unit (350), the substrate tray supply/retrieval unit (100), and the empty tray supply/completed substrate retrieval unit (200). Therefore, even if the substrate trays (10) and the supply empty trays (20) of the substrate tray supply/retrieval unit (100) and the empty tray supply/completed substrate retrieval unit (200) are loaded higher than the installation height of the substrate supply standby unit (340) and the substrate selection standby unit (350), a stable state can be maintained and the transport operation can be conveniently performed.

도 11을 참조하면, 본 발명은 기판 트레이(10) 또는 공급용 빈 트레이(20)의 이송시, 트레이 이송 수단(400)에 의해 원하는 위치로 이송시킬 수 있다. 트레이 이송 수단(400)은 3축 방향인 x축 방향인 제1 방향, y축 방향인 제2 방향, z축 방향인 제3 방향으로 이동할 수 있다. Referring to FIG. 11, the present invention can transport a substrate tray (10) or a supply empty tray (20) to a desired position by a tray transport means (400). The tray transport means (400) can move in a first direction, which is the x-axis direction, a second direction, which is the y-axis direction, and a third direction, which is the z-axis direction, among three directions.

검사부(300)는 원형으로 이루어지고 회전 가능한 인덱스판(310)을 포함할 수 있고, 인덱스판(310)은 기판 트레이(10) 또는 공급용 빈 트레이(20)가 적재된 위치보다 위에 배치될 수 있다.The inspection unit (300) may be formed in a circular shape and may include a rotatable index plate (310), and the index plate (310) may be positioned above a position where a substrate tray (10) or an empty tray (20) for supply is loaded.

검사부(300)에는 트레이 이송 수단(400)에 의해 기판 트레이(10)가 공급되면, 기판 트레이(10)에 탑재된 복수의 기판(S)중에서 1개를 빼내서 검사를 위한 인덱스판(310)에 안치하는 기판 공급용 이송 로봇(320)이 갖추어질 수 있다. In the inspection unit (300), when a substrate tray (10) is supplied by a tray transfer means (400), a substrate supply transfer robot (320) may be provided that takes out one of a plurality of substrates (S) mounted on the substrate tray (10) and places it on an index plate (310) for inspection.

또한, 검사부(300)에는 인덱스판(310)에 안치된 기판(S)이 소정의 검사 과정을 거친 다음, 검사 결과에 따라 양품 또는 불량품으로 판정된 기판을 선별하여 분류하기 위한 기판 선별용 이송 로봇(330)이 구비될 수 있다. In addition, the inspection unit (300) may be equipped with a substrate sorting transport robot (330) to sort and classify substrates that are judged to be good or defective based on the inspection results after the substrates (S) placed on the index plate (310) undergo a predetermined inspection process.

또한, 도 12 및 도 13을 참조하면, 검사부(300)에는 검사부(300) 보다 낮은 위치에 구비된 기판 트레이(10) 또는 공급용 빈 트레이(20)를 트레이 이송 수단(400)을 통해 상승시켜서 검사부(300)로 이동시켜 안치하기 위한 기판 공급용 대기부(340)와 기판 선별용 대기부(350)를 포함할 수 있다. In addition, referring to FIGS. 12 and 13, the inspection unit (300) may include a substrate supply standby unit (340) and a substrate selection standby unit (350) for moving and placing a substrate tray (10) or a supply empty tray (20) provided at a lower position than the inspection unit (300) by lifting it up through a tray transfer means (400) to the inspection unit (300).

도 12에 도시된 기판 트레이(10) 또는 공급용 빈 트레이(20)는 편의상 개략도로 도시한 것이고, 상기 설명한 바와 같이, 제덱 트레이 구조일 수 있다. The substrate tray (10) or empty tray (20) for supply illustrated in Fig. 12 is schematically illustrated for convenience, and may have a deck tray structure as described above.

기판 공급용 대기부(340)와 기판 선별용 대기부(350)에는 각각 기판 트레이(10)와 공급용 빈 트레이(20)를 클램핑하는 클램핑 유니트가 마련될 수 있다. A clamping unit for clamping a substrate tray (10) and an empty tray for supply (20) may be provided in each of the substrate supply waiting section (340) and the substrate selection waiting section (350).

기판 공급용 대기부(340)에 마련되는 클램핑 유니트는 기판 트레이(10)를 하부에서 상부로 상승시켜서 안착시키는 안착 부재(341), 안착 부재(341)에 상승된 기판 트레이(10)를 클램핑할 수 있는 클램핑 수단이 구비될 수 있다. The clamping unit provided in the substrate supply standby section (340) may be equipped with a fixing member (341) that lifts the substrate tray (10) from the bottom to the top and fixes it thereon, and a clamping means that can clamp the raised substrate tray (10) to the fixing member (341).

다시 말해서, 도 12를 참조하면, 기판 공급용 대기부(340)에는 트레이 이송 수단(400)에 의해 하부에서 상부로 이송하여 상승된 기판 트레이(10)를 안착시키고, 기판 트레이(10)에 탑재된 기판(S)을 검사부(300)로 이동시켜서 검사를 진행할 수 있다. In other words, referring to Fig. 12, a substrate tray (10) that has been raised by being transported from the bottom to the top by a tray transport means (400) is placed in a substrate supply standby unit (340), and the substrate (S) mounted on the substrate tray (10) is moved to an inspection unit (300) to perform inspection.

안착 부재(341)는 기판 트레이(10)가 상승되어 안착될 수 있도록 하는 개방부(341a)가 형성되고, 클램핑 수단으로서 기판 트레이(10)의 양 측면인 제1 측면에 클램핑 부재(342)가 구비되며, 기판 트레이(10)의 나머지 양측에 해당하는 제2 측면에는 정렬 부재(343)가 마련될 수 있다. The fixing member (341) is formed with an opening (341a) that allows the substrate tray (10) to be raised and fixed, and clamping members (342) are provided on the first side, which is both sides of the substrate tray (10), as a clamping means, and alignment members (343) can be provided on the second side, which is the remaining two sides of the substrate tray (10).

본 발명의 실시 예에서 기판 트레이(10), 공급용 빈 트레이(20) 및 회수용 빈 트레이(30) 및 완료 기판 트레이(40)의 제1 측면은 길이가 짧은 단변이고, 제2 측면은 제1 측면에 비해 길이가 긴 장변일 수 있다. In an embodiment of the present invention, the first side of the substrate tray (10), the empty supply tray (20), the empty recovery tray (30), and the finished substrate tray (40) may be a short side having a short length, and the second side may be a long side having a longer length than the first side.

기판 트레이(10)에서 검사할 기판이 제거되면 회수용 빈 트레이(30)가 되고, 공급용 빈 트레이(20)에 검사가 완료된 기판이 양품 및 불량품으로 선별되어 탑재되면 완료 기판 트레이(40)가 될 수 있다. When a substrate to be inspected is removed from the substrate tray (10), it becomes an empty tray for recovery (30), and when the inspected substrates are sorted into good and defective products and loaded onto the empty tray for supply (20), it can become a completed substrate tray (40).

클램핑 부재(342)는 액츄에이터에 의해 기판 트레이(10) 방향으로 전후진 동작을 할 수 있다. The clamping member (342) can move forward and backward toward the substrate tray (10) by an actuator.

도 12 및 도 13을 참조하면, 클램핑 부재(342)는 평면상 기판 트레이(10) 방향으로 대략 U자형으로 형성될 수 있고, 따라서, 오목부(342a)가 형성되며, 오목부(342a)의 양측으로 기판 트레이(10), 공급용 빈 트레이(20)(회수용 빈 트레이(30), 완료 기판 트레이(40)) 각각의 측면에 형성된 걸림 돌기(11)(21)(31)에 끼워지는 한쌍의 걸림 단부(342b)가 형성될 수 있다. Referring to FIGS. 12 and 13, the clamping member (342) can be formed in an approximately U-shape in the direction of the substrate tray (10) on a plane, and thus, a concave portion (342a) is formed, and a pair of catch ends (342b) that fit into catch projections (11)(21)(31) formed on each side of the substrate tray (10), the empty tray for supply (20) (the empty tray for recovery (30), the finished substrate tray (40)) on both sides of the concave portion (342a) can be formed.

한쌍의 걸림 단부(342b)에는 걸림 돌기(11)(21)(31)가 삽입되는 삽입홈(342c)이 형성될 수 있다. 삽입홈(342c)의 내부에는 걸림 돌기(11)(21)(31)의 걸림 및 해제가 용이하도록 하기 위한 경사면이 형성될 수 있다. An insertion groove (342c) into which a hook projection (11), (21), or (31) is inserted may be formed in a pair of hook ends (342b). An inclined surface may be formed on the inside of the insertion groove (342c) to facilitate hooking and releasing of the hook projection (11), (21), or (31).

공급용 빈 트레이(20)는 안착 부재(341)의 개방부(341a)를 통해 접근되며, 접근시 안착 부재(341)의 하부에서 상승하여 안착 부재(341)의 개방부(341a)로 트레이 이송 수단(400)의 거치 유니트(410)에 의해 접근될 수 있다. The empty tray (20) for supply is accessed through the opening (341a) of the settling member (341), and when accessed, it rises from the lower part of the settling member (341) and can be accessed by the mounting unit (410) of the tray transfer means (400) to the opening (341a) of the settling member (341).

즉, 거치 유니트(410)는 지지 프레임(411), 지지 프레임(411)의 상부 둘레를 따라 간격을 두고 복수로 구비되고 기판 트레이(10)의 측면을 지지해주는 지지 브래킷(412)을 포함할 수 있다. That is, the mounting unit (410) may include a support frame (411), a plurality of support brackets (412) provided at intervals along the upper periphery of the support frame (411) and supporting the side of the substrate tray (10).

지지 브래킷(412)은 'ㄴ'자형으로 형성될 수 있고, 지지 프레임(411)에 나사와 같은 체결 부재를 통해 착탈 가능하게 결합될 수 있다. The support bracket (412) can be formed in an ‘L’ shape and can be detachably connected to the support frame (411) through a fastening member such as a screw.

정렬 부재(343)는 기판 트레이(10)의 제2 측면 방향으로 전후진되면서 기판 트레이(10)를 정 위치로 정렬시킬 수 있고, 기판 트레이(10)의 제2 측면에 대면되는 전후진되는 몸체부(343a), 몸체부(343a)의 단부에 형성되는 롤러(343b)가 구비될 수 있다. 몸체부(343a)는 전동식으로 움직일 수 있다. 예를 들어 몸체부(343a)는 액츄에이터와 연결되어 액츄에이터의 공압 등으로 왕복 이동시킬 수 있다. The alignment member (343) can align the substrate tray (10) to a fixed position by moving back and forth in the second side direction of the substrate tray (10), and may be provided with a body part (343a) that faces the second side of the substrate tray (10) and moves back and forth, and a roller (343b) formed at an end of the body part (343a). The body part (343a) can be moved electrically. For example, the body part (343a) can be connected to an actuator and moved back and forth by pneumatic pressure of the actuator, etc.

따라서, 기판 트레이(10)가 안착 부재(341)의 개방부(341a)를 통해 진입하면, 정렬 부재(343)의 몸체부(343a)는 전진하여 기판 트레이(10)의 제2 측면을 지지하면서 기판 트레이(10)를 정위치로 배치시킬 수 있다. Accordingly, when the substrate tray (10) enters through the opening (341a) of the fixing member (341), the body (343a) of the alignment member (343) moves forward to support the second side of the substrate tray (10) and place the substrate tray (10) in the correct position.

트레이 이송 수단(400)의 거치 유니트(410)는 안착 부재(341)에 마련된 클램핑 부재(342)에 기판 트레이(10)가 클램핑되면, 다시 하강하여 안착 부재(341)로부터 멀어질 수 있다. When the substrate tray (10) is clamped to the clamping member (342) provided on the fixing member (341), the mounting unit (410) of the tray transport means (400) can be lowered again and moved away from the fixing member (341).

기판 공급용 이송 로봇(320)은 회전 가능한 소정 길이의 아암부(321)를 가지고, 아암부(321)의 하부에는 기판을 흡착할 수 있는 흡착 부재(322)와 기판 트레이(10)에 기판이 탑재되어 있는지 여부를 판별하는 기판 감지 센서(323)가 마련될 수 있다. A substrate supply transport robot (320) has a rotatable arm (321) of a predetermined length, and an adsorption member (322) capable of adsorbing a substrate and a substrate detection sensor (323) for determining whether a substrate is loaded on a substrate tray (10) may be provided at the lower portion of the arm (321).

또한, 기판 선별용 이송 로봇(330)은 기판 공급용 이송 로봇(320)과 마찬가지로, 회전 가능한 소정 길이의 아암부(331)를 가지고, 아암부(331)의 하부에는 검사를 완료한 기판을 흡착하여 공급용 빈 트레이(20)에 기판의 검사 결과에 따라 선별하여 탑재시킬 수 있는 흡착 부재(332)와, 검사를 마친 기판을 공급용 빈 트레이(30)에 탑재되었는지 여부를 판단하는 기판 감지 센서(333)가 구비될 수 있다. In addition, the substrate sorting transport robot (330), like the substrate supply transport robot (320), has a rotatable arm (331) of a predetermined length, and an adsorption member (332) that can adsorb a substrate that has completed inspection and select and load it onto a supply empty tray (20) according to the inspection results of the substrate at the lower portion of the arm (331), and a substrate detection sensor (333) that determines whether or not an inspected substrate has been loaded onto a supply empty tray (30) may be provided.

기판 공급용 이송 로봇(320)과 기판 선별용 이송 로봇(330)에 각각 구비되는 흡착 부재(322)(332)는 공압에 의해 기판을 흡착 및 떨어뜨릴 수 있다. The suction members (322)(332) provided in the substrate supply transport robot (320) and the substrate selection transport robot (330) respectively can suction and drop the substrate by air pressure.

기판 선별용 대기부(350)에는 기판 공급용 대기부(340)에 마련되는 여러 구성 요소와 동일 구조로 이루어질 수 있다. 따라서, 기판 선별용 대기부(350)에는 안착 부재(351), 클램핑 부재(352) 및 정렬 부재(353)가 마련될 수 있다. The substrate sorting standby unit (350) may have the same structure as several components provided in the substrate supply standby unit (340). Accordingly, the substrate sorting standby unit (350) may be provided with a fixing member (351), a clamping member (352), and an alignment member (353).

기판 선별용 대기부(350)에 포함되는 안착 부재(351), 클램핑 부재(352) 및 정렬 부재(353)는 각각 기판 공급용 대기부(340)에 마련된 안착 부재(341), 클램핑 부재(342) 및 정렬 부재(343)와 동일 구조로 이루어질 수 있다. The fixing member (351), clamping member (352), and alignment member (353) included in the substrate selection standby unit (350) may have the same structure as the fixing member (341), clamping member (342), and alignment member (343) provided in the substrate supply standby unit (340), respectively.

따라서, 안착 부재(351)에는 이송 수단(400)이 진입하여 공급용 빈 트레이(30)를 안착할 수 있도록 해주기 위한 개방부(351a)가 형성될 수 있다.Accordingly, an opening (351a) may be formed in the fixing member (351) to allow the transport means (400) to enter and fix the empty tray (30) for supply.

클램핑 부재(352)는 평면상 기판 트레이(10), 공급용 빈 트레이(20), 회수용 빈 트레이(30)중 어느 하나의 방향으로 대략 U자형으로 형성될 수 있고, 따라서, 클램핑 부재(352)에는 오목부(352a)가 형성되며, 오목부(352a)의 양측으로 기판 트레이(10), 공급용 빈 트레이(20) 및 회수용 빈 트레이(30)의 측면에 형성된 걸림 돌기(11)(21)(31)에 끼워지는 한쌍의 걸림 단부(352b)가 형성될 수 있다. The clamping member (352) can be formed in an approximately U shape in one direction among the substrate tray (10), the empty tray for supply (20), and the empty tray for recovery (30) on a flat surface, and thus, a concave portion (352a) is formed in the clamping member (352), and a pair of catching ends (352b) that fit into catching projections (11), (21), and (31) formed on the sides of the substrate tray (10), the empty tray for supply (20), and the empty tray for recovery (30) can be formed on both sides of the concave portion (352a).

걸림 단부(352b)에는 각 걸림 돌기(11)(21)(31)가 삽입되는 삽입홈(352c)이 형성될 수 있다. An insertion groove (352c) into which each of the hook projections (11), (21), and (31) is inserted can be formed in the hook end (352b).

삽입홈(352c)의 내부에는 각 걸림 돌기(11)(21)(31)의 걸림 및 해제가 용이하도록 하기 위한 경사면이 형성될 수 있다. An inclined surface may be formed on the inside of the insertion groove (352c) to facilitate engaging and releasing each engaging projection (11), (21), or (31).

또한, 정렬 부재(353)는 액츄에이터에 의해 전후진되는 몸체부(353a), 몸체부(353a)의 단부에 형성되는 롤러(353b)를 포함할 수 있다. Additionally, the alignment member (353) may include a body portion (353a) that moves forward and backward by an actuator, and a roller (353b) formed at an end of the body portion (353a).

기판 선별용 대기부(350)에 포함되는 안착 부재(351)와 클램핑 부재(352)는 하나의 기판 선별 유니트로 구성될 수 있고, 이러한 기판 선별 유니트는 복수로 마련될 수 있다. 즉, 검사부(300)에서 검사를 마친 기판은 양품 또는 불량품으로 구분하여 각각 독립된 복수의 기판 선별 유니트에 안치할 수 있다. The fixing member (351) and the clamping member (352) included in the substrate sorting standby unit (350) can be configured as one substrate sorting unit, and such substrate sorting units can be provided in multiple numbers. That is, the substrates that have completed inspection in the inspection unit (300) can be classified as good or defective and placed in multiple independent substrate sorting units.

본 발명은 기판을 검사(통전 검사)하기 위해서, 복수의 기판을 담은 기판 트레이(10)를 적재하고, 적재된 기판 트레이(10)를 순차적으로 트레이 이송 수단(400)에 의해 빼내서 기판 트레이(10)에 담겨진 기판을 검사부(300)로 보내며, 이러한 이송 과정에서 적재된 기판 트레이(10)중 항상 최하단의 기판 트레이(10)를 빼내서 이송함으로써, 적재되는 기판 트레이(10)의 누적 공차에 따른 부정확한 이송 상태를 해소할 수 있다. In order to inspect a substrate (conduction inspection), the present invention loads a substrate tray (10) containing a plurality of substrates, sequentially removes the loaded substrate trays (10) by a tray transport means (400), and sends the substrates contained in the substrate trays (10) to an inspection unit (300). In the transport process, the lowest substrate tray (10) among the loaded substrate trays (10) is always removed and transported, thereby eliminating an inaccurate transport state due to accumulated tolerance of the loaded substrate trays (10).

또한, 본 발명은 검사부(300)에서 기판(S) 검사후, 양품 또는 불량품의 기판을 선별하여 별개의 기판 선별 유니트의 안착 부재(351)에 구비된 공급용 빈 트레이(20)에 탑재할 수 있다. In addition, the present invention can select a good or defective substrate after inspection of the substrate (S) in the inspection unit (300) and load it onto an empty supply tray (20) provided on a fixing member (351) of a separate substrate selection unit.

검사부(300)에서는 인덱스판(310)상에 구비된 지그에 탑재된 기판을 프로브(probe)를 통해 검사하고, 검사후 양품의 기판과 불량품의 기판을 판별하고 기판 선별용 이송 로봇(330)에 의해 양품 또는 불량품의 기판을 각각 기판 선별용 대기부(350)의 안착 부재(351)에 마련된 공급용 빈 트레이(20)에 탑재할 수 있다. In the inspection section (300), a substrate mounted on a jig provided on an index plate (310) is inspected using a probe, and after inspection, a good substrate and a defective substrate are determined, and a good or defective substrate can be respectively mounted on an empty supply tray (20) provided on a fixing member (351) of a substrate sorting standby section (350) by a substrate sorting transport robot (330).

기판 검사후 양품 또는 불량품으로 판정된 기판을 선별하여 이송하는 기판 선별용 이송 로봇(330)은 검사부(300)에 포함되는 제어부에 의해 동작이 제어될 수 있다. The substrate sorting transport robot (330) that sorts and transports substrates judged to be good or defective after substrate inspection can have its operation controlled by a control unit included in the inspection unit (300).

또한, 본 발명은 빈 트레이 공급/완료기판 회수부(200)의 완료 기판 트레이 회수부(220)에 적재된 공급용 빈 트레이(20)를 기판 선별용 대기부(350)에 이송시, 트레이 이송 수단(400)의 거치 유니트(410)에 적재된 공급용 빈 트레이(20)중 최하단의 공급용 빈 트레이(20)를 분리하고, 더 높은 위치에 마련된 기판 선별용 대기부(350)의 안착 부재(351)에 안착시킬 수 있다. In addition, when the empty supply tray (20) loaded in the completed substrate tray recovery unit (220) of the empty tray supply/completed substrate recovery unit (200) is transferred to the substrate sorting waiting unit (350), the lowest empty supply tray (20) among the empty supply trays (20) loaded in the mounting unit (410) of the tray transfer means (400) can be separated and placed on the mounting member (351) of the substrate sorting waiting unit (350) provided at a higher position.

또한, 본 발명은 트레이 이송 수단(400)에 의해 적재된 기판 트레이(10) 또는 공급용 빈 트레이(20)를 빼낼 때, 다음과 같은 동작으로 구현될 수 있다. In addition, the present invention can be implemented by the following operation when removing a substrate tray (10) or an empty tray (20) for supply loaded by a tray transport means (400).

도 7의 (a) 내지 (e)를 참조하면, 기판 트레이 적재부(110)에 마련되는 걸림 부재(113)인 경우, 상부가 개방된 상태로 걸림턱(113a)이 돌출된 구조로서, 걸림턱(113a)의 상면에 기판 트레이(10)의 측면에 형성된 걸림 돌기(11)가 걸쳐진 상태이므로, 적재된 기판 트레이(20)의 하부에서 트레이 이송 수단(400)의 거치 유니트(410)가 상승하여 최하단의 기판 트레이(20)를 클램핑하면서 상승시키면, 적재된 모든 기판 트레이(10)는 동시에 높이 방향으로 상승하면서 걸림 부재(113)의 걸림턱(113a)으로부터 최하단의 기판 트레이(20)가 간격을 두고 떨어질 수 있다. Referring to (a) to (e) of FIG. 7, in the case of a catch member (113) provided on a substrate tray loading portion (110), the catch member (113) has a structure in which a catch protrusion (113a) protrudes while the upper part is open, and a catch projection (11) formed on the side of the substrate tray (10) is hung on the upper surface of the catch member (113a), so that when the mounting unit (410) of the tray transfer means (400) rises from the lower part of the loaded substrate tray (20) to clamp and raise the lowest substrate tray (20), all of the loaded substrate trays (10) rise in the height direction at the same time, and the lowest substrate tray (20) can be separated from the catch member (113) by a gap.

그러면, 걸림 부재(113)는 기판 트레이(10)로부터 멀어지는 방향으로 후퇴하게 되고, 트레이 이송 수단(400)의 거치 유니트(410)는 최하단의 기판 트레이(10)를 클램핑한 상태에서 하강할 수 있다. 이런 다음에, 최하단의 기판 트레이(10)의 바로 위에 적재된 두번째의 기판 트레이(10)가 소정 위치로 하강하면, 후퇴하고 있던 걸림 부재(113)가 전진하여 두번째의 기판 트레이(10)의 측면에 돌출된 걸림 돌기(113a)에 걸림될 수 있다. Then, the catch member (113) is moved back in a direction away from the substrate tray (10), and the mounting unit (410) of the tray transfer means (400) can be lowered while clamping the lowest substrate tray (10). Then, when the second substrate tray (10) loaded directly above the lowest substrate tray (10) is lowered to a predetermined position, the catch member (113) that was moved back can be moved forward and caught by the catch projection (113a) protruding from the side of the second substrate tray (10).

최하단의 기판 트레이(10)를 트레이 이송 수단(400)에 의해 빼낸 다음, 두번째의 기판 트레이(10)가 하강하게 될 때, 기판 트레이 적재부(110)에 마련된 가이드 부재(111)에 의해 가이드되면서 하강하여 정렬될 수 있다. When the lowermost substrate tray (10) is pulled out by the tray transfer means (400), and the second substrate tray (10) is lowered, it can be lowered and aligned while being guided by the guide member (111) provided in the substrate tray loading section (110).

여기서, 기판 트레이(10)의 상승 및 하강 동작시 걸림 부재(113)의 전후진 동작을 적절한 타이밍에 수행되도록 기판 트레이 적재부(110)의 일측에는 트레이 감지 센서(13)가 구비될 수 있다. Here, a tray detection sensor (13) may be provided on one side of the substrate tray loading unit (110) so that the forward and backward movement of the catch member (113) is performed at an appropriate timing during the rising and falling movement of the substrate tray (10).

즉, 트레이 감지 센서(13)는 기판 트레이(10)가 걸림 부재(113)로부터 이격되어 멀어지는 상태를 감지하고, 이러한 감지 신호를 전달받은 제어부에서 걸림 부재(113)를 후진시키도록 액츄에이터를 동작시키며, 반대로 빼낸 기판 트레이(10) 위에 있는 기판 트레이(10)가 하강하면 다시 트레이 감지 센서(13)가 감지하여 제어부에서 걸림 부재(113)를 전진시킬 수 있다. That is, the tray detection sensor (13) detects a state in which the substrate tray (10) is moving away from the engaging member (113), and the control unit that receives this detection signal operates the actuator to move the engaging member (113) backwards. Conversely, when the substrate tray (10) on top of the removed substrate tray (10) descends, the tray detection sensor (13) detects it again and the control unit can move the engaging member (113) forward.

한편, 도 8 및 도 9를 참조하면, 빈 트레이 회수부(120)에 마련된 회동 걸림 부재(123) 또는 빈 트레이 공급/완료기판 회수부(200)의 빈 트레이 공급용 거치부(210) 및 완료 기판 트레이 회수부(220)에 마련된 회동 걸림 부재(233)(243)에 공급용 빈 트레이(20)가 걸림되어 적재된 경우, 공급용 빈 트레이(20)를 빼낼 때, 트레이 이송 수단(400)의 거치 유니트(410)가 하부에서 상승하여 적재된 공급용 빈 트레이(20)중 최하단의 공급용 빈 트레이(20)를 클램핑하면서 상승시키면, 적재된 모든 공급용 빈 트레이(20)가 후방에 마련된 가이드 부재(121)(231)(241)와 전방에 마련된 가이드 부재(121a)(231a)(241a)에 의해 가이드되면서 동시에 상승할 수 있다. Meanwhile, referring to FIGS. 8 and 9, when a supply empty tray (20) is loaded by being caught on a rotational catch member (123) provided in an empty tray recovery unit (120) or a rotational catch member (233)(243) provided in an empty tray supply receiving unit (210) of an empty tray supply/completed substrate recovery unit (200) and a completed substrate tray recovery unit (220), when the supply empty tray (20) is removed, when the receiving unit (410) of the tray transfer means (400) rises from the bottom to clamp and raise the lowest supply empty tray (20) among the loaded supply empty trays (20), all of the loaded supply empty trays (20) can rise simultaneously while being guided by the guide members (121)(231)(241) provided at the rear and the guide members (121a)(231a)(241a) provided at the front.

그러면, 거치 유니트(410)는 최하단의 공급용 빈 트레이(20) 양측면에 돌출된 걸림 돌기(21)에 걸림된 회동 걸림 부재(123)의 경사면(123b)을 타고 상승하게 되고, 회동 걸림 부재(123)는 회전축(123a)을 통해 회전하게 되며, 그에 따라 공급용 빈 트레이(20)의 양측에 마련된 회동 걸림 부재(123) 사이의 간격이 더 벌어지면서 거치 유니트(410)는 통과될 수 있는 상태가 될 수 있다. Then, the mounting unit (410) rises along the inclined surface (123b) of the rotating engaging member (123) that is engaged with the engaging projections (21) protruding on both sides of the lowermost empty supply tray (20), and the rotating engaging member (123) rotates via the rotation shaft (123a), and accordingly, the gap between the rotating engaging members (123) provided on both sides of the empty supply tray (20) widens further, allowing the mounting unit (410) to pass through.

양측의 회동 걸림 부재(123) 사이의 간격을 벌린 상태에서 거치 유니트(410)는 적재된 공급용 빈 트레이(20)를 상승시키고, 이 상태에서 최하단의 공급용 빈 트레이(20)만을 클램핑하고 하강하여 회동 걸림 부재(123)로부터 멀어지도록 이탈될 수 있다. With the gap between the rotating engaging members (123) on both sides widened, the mounting unit (410) raises the loaded empty supply tray (20), and in this state, only the lowest empty supply tray (20) is clamped and lowered so that it can be separated from the rotating engaging member (123).

그러면, 최하단의 공급용 빈 트레이(20)는 분리되고, 그 위에 배치된 두번째의 공급용 빈 트레이(20)는 회동 걸림 부재(123)에 걸림될 수 있다. 즉, 회동 걸림 부재(123)는 하부에서 거치 유니트(410)에 의해 밀어 올리면 회전축(123a)을 통해 회전하고, 밀어 올린 거치 유니트(410)를 하강시키면, 자중에 의해 역방향으로 회전하여 원위치될 수 있다. Then, the bottom empty supply tray (20) is separated, and the second empty supply tray (20) placed above it can be caught by the rotational catch member (123). That is, when the rotational catch member (123) is pushed up by the mounting unit (410) from below, it rotates through the rotational shaft (123a), and when the pushed-up mounting unit (410) is lowered, it rotates in the reverse direction by its own weight and can return to the original position.

여기서, 거치 유니트(410)에 의해 최하단의 공급용 빈 트레이(20)가 분리되면서 그 위에 배치된 두번째 공급용 빈 트레이(20)는 하강하면서 회동 걸림 부재(123)에 걸림될 때, 빈 트레이 회수부(120)의 일측에 마련된 가이드 부재(121)를 타고 가이드되면서 정렬될 수 있다.Here, when the lowest empty supply tray (20) is separated by the holding unit (410), the second empty supply tray (20) placed above it can be aligned while being guided by the guide member (121) provided on one side of the empty tray recovery unit (120) when it is lowered and caught by the rotating catch member (123).

다시 말해서, 회동 걸림 부재(123)는 트레이를 적재시 유용하게 사용될 수 있다. In other words, the rotating catch member (123) can be usefully used when loading trays.

한편, 도 5를 참조하면, 본 발명에서 기판 트레이 적재부(110)에 마련된 걸림 부재(113)와 빈 트레이 공급용 거치부(210)에 마련된 걸림 부재(213)는 동일 구조를 이루고 있으므로, 각각 적재된 기판 트레이(10) 및 공급용 빈 트레이(20)에서 최하단의 트레이를 빼낼 때, 동작이 동일하게 이루어질 수 있다. Meanwhile, referring to FIG. 5, in the present invention, the catch member (113) provided in the substrate tray loading section (110) and the catch member (213) provided in the empty tray supply holder (210) have the same structure, so that when removing the lowermost tray from the loaded substrate tray (10) and the empty tray for supply (20), the same operation can be performed.

또한, 트레이 이송 수단(400)에 의해 빼낸 기판 트레이(10) 또는 공급용 빈 트레이(20) 위의 두번째 기판 트레이(10) 또는 공급용 빈 트레이(20)의 하강시 각각 가이드 부재(111)(211)에 의해 가이드되면서 자동적으로 정렬될 수 있다.In addition, when the second substrate tray (10) or the empty tray for supply (20) is lowered above the substrate tray (10) or the empty tray for supply (20) taken out by the tray transport means (400), it can be automatically aligned while being guided by the guide member (111)(211).

또한, 빈 트레이 회수부(120)에 마련된 회동 걸림 부재(123)와 완료 기판 트레이 회수부(220)의 양품용 거치대(230)와 불량품용 거치대(240)에 마련된 회동 걸림 부재(233)(243)는 동일 구조로 이루어져 있으므로, 회수용 빈 트레이(30) 또는 완료 기판 트레이(40)를 순차적으로 각각 가이드 부재(121)(231)(241)에 의해 가이드되면서 적재시킬 수 있다. In addition, since the rotational catch member (123) provided in the empty tray recovery unit (120) and the rotational catch members (233)(243) provided in the good product holder (230) and the defective product holder (240) of the finished substrate tray recovery unit (220) have the same structure, the empty tray (30) for recovery or the finished substrate tray (40) can be sequentially loaded while being guided by the guide members (121)(231)(241), respectively.

본 발명에 있어서, 기판 트레이 적재부(110) 및 빈 트레이 공급용 거치부(210)에 구비된 걸림 부재(113)(213)는 미리 기판 트레이(10) 및 공급용 빈 트레이(20)를 적재한 상태에서 트레이 이송 수단(400)의 거치 유니트(410)에 의해 최하단부터 빼낼 때에 유용하게 사용될 수 있다.In the present invention, the catch member (113)(213) provided in the substrate tray loading section (110) and the empty tray supply mounting section (210) can be usefully used when the substrate tray (10) and the empty tray for supply (20) are loaded in advance and then pulled out from the lowest position by the mounting unit (410) of the tray transport means (400).

또한, 완료 기판 트레이 회수부(220) 및 빈 트레이 회수부(120)에 마련된 회동 걸림 부재(233)(243)(123)는 전동식이 아닌 무동력의 무게에 의한 자동 낙하 구조로서, 트레이 이송 수단(400)의 거치 유니트(410)에 의해 하부에서 상부로 공급용 빈 트레이(20)에 검사 완료된 기판을 탑재하여 이루어진 완료 기판 트레이(40) 및 회수용 빈 트레이(30)를 적층시킬 수 있다. In addition, the rotating catch members (233)(243)(123) provided in the completed substrate tray recovery unit (220) and the empty tray recovery unit (120) are non-powered, weight-based automatic dropping structures, and can stack completed substrate trays (40) and empty trays (30) for recovery, which are formed by loading an inspected substrate onto an empty tray (20) for supply from the bottom to the top by the mounting unit (410) of the tray transfer means (400).

회동 걸림 부재(233)(243)(123)에 의한 완료 기판 트레이(40) 및 회수용 빈 트레이(30)를 적층시키는 경우, 예를 들어 트레이 이송 수단(400)의 거치 유니트(410)를 통해 빈 트레이 회수부(120) 및 완료 기판 트레이 회수부(220)에 각각 회수용 트레이(30) 및 완료 기판 트레이(40)를 취부한 상태에서 접근하여 최하단에서 상부로 회수용 트레이(30) 및 완료 기판 트레이(40)를 상승시켜서 회동 걸림 부재(233) 또는 회동 걸림 부재(243)보다 위에 배치되면, 다시 거치 유니트(410)를 하강시킨다. When stacking the completed substrate tray (40) and the empty tray for recovery (30) by the rotational engaging member (233)(243)(123), for example, the empty tray recovery unit (120) and the completed substrate tray recovery unit (220) are respectively attached to the recovery tray (30) and the completed substrate tray (40) through the mounting unit (410) of the tray transport means (400), and the recovery tray (30) and the completed substrate tray (40) are raised from the bottom to the top so that they are positioned above the rotational engaging member (233) or the rotational engaging member (243), and then the mounting unit (410) is lowered again.

거치 유니트(410)의 하강시 회동되어 벌어진 상태의 회동 걸림 부재(233) 또는 회동 걸림 부재(243)는 자중에 의해 다시 원위치되도록 역회전되면서 수평 상태로 전환되고, 그에 따라, 상승된 상태의 회수용 빈 트레이(30) 및 완료 기판 트레이(40)는 수평 상태로 전환되는 회동 걸림 부재(123)(233)(243)의 상면에 걸림되어 지지될 수 있다. When the mounting unit (410) is lowered, the rotating engaging member (233) or the rotating engaging member (243) that is rotated and opened is rotated back to its original position by its own weight and converted to a horizontal state, and accordingly, the empty tray (30) for recovery and the completed substrate tray (40) in the raised state can be supported by being caught on the upper surface of the rotating engaging member (123)(233)(243) converted to a horizontal state.

이어서, 거치 유니트(410)에 두번째의 회수용 빈 트레이(30) 및 완료 기판 트레이(40)를 먼저 적재된 첫번째의 회수용 빈 트레이(30) 및 완료 기판 트레이(40)와 회동 걸림 부재(123)(233)(243)를 밀면서 회동 걸림 부재(123)(233)(243)로부터 이격되게 상승시키고 다시 하강시키면, 자중에 의해 원위치로 역회전되는 회동 걸림 부재(123)(233)(243)가 수평 상태로 전환되면서 두번째의 회수용 빈 트레이(30) 및 완료 기판 트레이(40)가 걸림되면서 첫번째의 회수용 빈 트레이(30) 및 완료 기판 트레이(40)의 하부에 대면되면서 적재될 수 있다. Next, the second recovery empty tray (30) and the completed substrate tray (40) are first loaded onto the loading unit (410) and the rotational engaging member (123)(233)(243) is pushed while lifting them away from the rotational engaging member (123)(233)(243) and then lowered again. As the rotational engaging member (123)(233)(243) is rotated back to the original position by its own weight and converted to a horizontal state, the second recovery empty tray (30) and the completed substrate tray (40) are caught and loaded while facing the lower portion of the first recovery empty tray (30) and the completed substrate tray (40).

트레이 이송 수단(400)에 의해 이러한 동작을 반복하여 빈 트레이 회수부(120) 및 완료 기판 트레이 회수부(220)에 최대 높이까지 적재된 회수용 빈 트레이(30) 및 완료 기판 트레이(40)를 옮겨서 다음 공정을 처리할 수 있다. By repeating this operation by the tray transfer means (400), the empty trays (30) for recovery and the completed substrate trays (40) loaded to the maximum height can be moved to the empty tray recovery unit (120) and the completed substrate tray recovery unit (220) to process the next process.

트레이를 최하단에서 상부로 순차적으로 적재시킬때에는 회동 걸림 부재(123)(233)(243)에 의해 수행하고, 트레이를 최하단에서 순차적으로 빼낼때에는 전후진 동작하는 걸림 부재(113)(213)에 의해 수행되게 함으로써, 보다 경제적으로 운용할 수 있다. When sequentially loading trays from the bottom to the top, this is done by a rotating catch member (123)(233)(243), and when sequentially removing trays from the bottom, this is done by a catch member (113)(213) that moves forward and backward, thereby enabling more economical operation.

만일, 전후진 동작하는 걸림 부재(113)(213)를 기판 트레이 공급/회수부(100) 및 빈 트레이 공급/완료 기판 회수부(200)에 모두 설치하는 경우에는 설치 비용이 상승될 수 있어 검사 장치의 전체 제작 비용이 상승하게 될 수 있다. If the forward and backward moving catch member (113)(213) is installed in both the substrate tray supply/retrieval unit (100) and the empty tray supply/complete substrate retrieval unit (200), the installation cost may increase, which may increase the overall manufacturing cost of the inspection device.

또한, 걸림 부재(113)(213)를 전후진 동작시키기 위한 감지 센서, 액츄에이터 등 여러가지 설비가 마련되어야 하므로 그 만큼 검사 장치가 복잡해지고, 설치 공간을 많이 차지할 수 있는 등의 단점이 발생할 수 있다. In addition, since various devices such as detection sensors and actuators must be provided to move the catch member (113)(213) forward and backward, the inspection device becomes more complex and may take up a lot of installation space, which may result in disadvantages.

따라서, 본 발명은 전후진 동작하는 걸림 부재(113)(213)와 자중에 의해 복귀되는 회동 걸림 부재(123)(233)(243)을 함께 설치하여 보다 경제적이고 컴팩트하고, 단순화된 기판 검사 장치를 마련할 수 있다. Accordingly, the present invention can provide a more economical, compact, and simplified substrate inspection device by installing together a forward-backward moving engaging member (113)(213) and a rotating engaging member (123)(233)(243) that returns by its own weight.

또한, 본 발명은 기판 트레이 공급/회수부(100) 및 빈 트레이 공급/완료 기판 회수부(200)에 마련된 기판 트레이 적재부(110), 빈 트레이 회수부(120), 빈 트레이 공급용 거치부(210), 완료 기판 트레이 회수부(220)는 개방된 구조를 이룰 수 있다. 적재된 트레이의 주변으로 어떠한 격벽 또는 브래킷을 마련하지 않고, 전후방에 트레이의 양쪽 단부 모서부를 가이드하는 프레임 구조의 가이드 부재만을 마련하고, 나머지 부분은 모두 개방된 상태이므로, 작업자가 접근하여 트레이를 적재 또는 빼낼때 간섭없이 편리하게 작업을 수행할 수 있다. In addition, the present invention can form an open structure in which the substrate tray loading section (110), the empty tray retrieval section (120), the empty tray supply holder (210), and the completed substrate tray retrieval section (220) provided in the substrate tray supply/retrieval section (100) and the empty tray supply/completed substrate retrieval section (200) are formed. No partitions or brackets are provided around the loaded trays, and only the guide members of the frame structure that guide the corners of both ends of the tray at the front and rear are provided, and the remaining parts are all open, so that a worker can conveniently perform the work without interference when approaching to load or remove the tray.

즉, 작업자는 기판 트레이 적재부(110)에 검사할 기판이 탑재된 기판 트레이(10)를 최대 높이까지 적재하고, 빈 트레이 공급용 거치부(210)에는 기판이 없는 빈 트레이(20)를 최대 높이까지 적재할 수 있다(이하 '제1 작업'이라 함).That is, the worker can load a substrate tray (10) loaded with a substrate to be inspected onto the substrate tray loading section (110) to the maximum height, and load an empty tray (20) without a substrate onto the empty tray supply section (210) to the maximum height (hereinafter referred to as “first task”).

또한, 작업자는 빈 트레이 회수부(120)에 트레이 이송 수단(400)에 의해 회수용 빈 트레이(30)가 최대 높이까지 적재되면 모두 빼내서 비우는 작업을 할 수 있다(이하' 제2 작업'이라 함). In addition, the worker can perform a task of removing and emptying all empty trays (30) for recovery by loading them to the maximum height by the tray transport means (400) in the empty tray recovery unit (120) (hereinafter referred to as 'second task').

또한, 작업자는 양품용 거치대(230) 및 불량품용 거치대(240)에 트레이 이송 수단(400)에 의해 검사가 완료되고 선별되어 탑재된 완료 기판 트레이(40)를 회수하여 최대 높이까지 적재되면 모두 빼내서 비우는 작업을 할 수 있다(이하 '제3 작업'이라 함). In addition, the worker can retrieve the completed substrate trays (40) that have been inspected, selected, and loaded onto the tray transfer means (400) on the good product stand (230) and the defective product stand (240), and then remove and empty them all when they are loaded to the maximum height (hereinafter referred to as the 'third task').

이러한 제1 작업 내지 제3 작업 수행시 본 발명은 사방이 개방된 구조이므로, 작업자가 적재된 트레이에 접근하고 빼내는 작업을 용이하게 할 수 있다. Since the present invention has an open structure on all sides when performing the first to third operations, it is easy for a worker to access and remove a loaded tray.

1... 기판 검사 장치
10... 기판 트레이 11,21,31,41... 걸림 돌기
12,22,32,42... 관통공 13... 트레이 감지 센서
20... 공급용 빈 트레이 22... 관통공
30... 회수용 빈 트레이 32... 관통공
40... 완료 기판 트레이
100... 기판 트레이 공급/회수부 110... 기판 트레이 적재부
111,111a... 가이드 부재 112... 안치 부재
113... 걸림 부재 113a... 걸림턱
120... 빈 트레이 회수부 121,121a... 가이드 부재
122... 안치 부재 123... 회동 걸림 부재
123a... 회전축 123b... 경사면
124... 고정 부재
200... 빈 트레이 공급/완료 기판 회수부
210... 빈 트레이 공급용 거치부 211,211a... 가이드 부재
212... 거치 부재 213... 걸림 부재
220... 완료 기판 트레이 회수부
230... 양품용 거치대 240... 불량품용 거치대
231,231a,241,241a... 가이드 부재 232,242... 거치 부재
233.243... 회동 걸림 부재
300... 검사부 310... 인덱스판
320... 기판 공급용 이송 로봇 321... 아암부
322... 흡착 부재 323... 기판 감지 센서
330... 기판 선별용 이송 로봇 331... 아암부
332... 흡착 부재 333... 기판 감지 센서
340... 기판 공급용 대기부 341... 안착 부재
341a... 개방부 342... 클램핑 부재
342a... 오목부 342b... 걸림 단부
342c... 삽입홈
343... 정렬 부재 343a... 몸체부
343b... 롤러
350... 기판 선별용 대기부 351... 안착 부재
351a... 개방부
352... 클램핑 부재 352a... 오목부
352b... 걸림 단부 352c... 삽입홈
353... 정렬 부재
353a... 몸체부 353b... 롤러
400... 트레이 이송 수단 410... 거치 유니트
411... 지지 프레임 412... 지지 브래킷
420... 이동부
422... 제1 가이드 레일 424... 제2 가이드 레일
426... 제3 가이드 레일
H... 높이 P1... 제1 위치
P2... 제2 위치1... Board inspection device
10... Substrate tray 11,21,31,41... Hanging protrusions
12,22,32,42... through hole 13... tray detection sensor
20... Empty tray for supply 22... Through hole
30... Empty tray for recovery 32... Through hole
40... Completed substrate tray
100... Substrate tray supply/retrieval section 110... Substrate tray loading section
111,111a... Absence of guide 112... Absence of installation
113... Absence of catch 113a... Catch jaw
120... Empty tray recovery section 121,121a... Guide absence
122... Absence of anchor 123... Absence of rotation catch
123a... axis of rotation 123b... inclined plane
124... Fixed Absence
200... Empty tray supply/completed board recovery unit
210... Empty tray supply stand 211,211a... Guide absence
212... Absence of a stopper 213... Absence of a catcher
220... Completed substrate tray recovery section
230... Stand for good products 240... Stand for bad products
231,231a,241,241a... Guide Absence 232,242... Mounting Absence
233.243... Absence of rotational hitch
300... Inspection Department 310... Index Board
320... Transfer robot for substrate supply 321... Arm
322... Absorbent member 323... Substrate detection sensor
330... Transfer robot for substrate sorting 331... Arm section
332... Absorbent member 333... Substrate detection sensor
340... Waiting area for substrate supply 341... Fixing member
341a... Opening 342... Clamping member
342a... concave part 342b... hook end
342c... Insert Home
343... Alignment Absence 343a... Body Part
343b... roller
350... Waiting area for substrate selection 351... Fixing member
351a... Opening
352... Clamping member 352a... Recessed portion
352b... hook end 352c... insertion groove
353... Absence of alignment
353a... body 353b... roller
400... Tray transport means 410... Mounting unit
411... Support frame 412... Support bracket
420...Moving part
422... 1st guide rail 424... 2nd guide rail
426... 3rd guide rail
H... Height P1... First position
P2... 2nd position

Claims

delete

A substrate tray supply/recovery unit that supplies a substrate tray loaded with a substrate for inspection and recovers an empty tray for recovery from which the substrate loaded on the substrate tray has been removed;
An empty tray supply/completed board retrieval unit that supplies empty trays for loading and sorting inspected boards according to the inspection results and retrieves completed board trays loaded with inspected boards;
A tray transport means for transporting the above substrate tray or the above empty tray for supply;
Including an inspection unit for inspecting the substrate;
The above substrate tray supply/retrieval unit is provided with a substrate tray loading unit in which the above substrate trays are loaded in multiples.
The above empty tray supply/completed substrate recovery unit is equipped with an empty tray supply rack in which multiple empty trays for supply without substrates are loaded.
The above tray transport means removes the substrate tray or the lowest empty supply tray from the plurality of stacked substrate trays or the empty supply tray and transports them to the inspection section.
In the above inspection department,
A substrate supply waiting section in which a substrate tray supplied from the above substrate tray loading section is placed;
Includes a substrate selection waiting section for selecting and placing substrates that have completed inspection.
A substrate tray having multiple substrates is supplied to the above substrate supply waiting section.
A substrate inspection device in which empty trays for supply are supplied from the empty tray supply unit to the above substrate selection waiting unit.

In the fourth paragraph,
A substrate inspection device in which the substrate supply waiting section or the substrate selection waiting section is positioned higher than the substrate tray supply/retrieval section or the empty tray supply/completed substrate retrieval section.

A substrate tray supply/recovery unit that supplies a substrate tray loaded with a substrate for inspection and recovers an empty tray for recovery from which the substrate loaded on the substrate tray has been removed;
An empty tray supply/completed board recovery unit that supplies empty trays for loading inspected boards by selecting them according to the inspection results and retrieves completed board trays loaded with inspected boards;
A tray transport means for transporting the above substrate tray or the above empty tray for supply;
Including an inspection unit for inspecting the substrate;
The above substrate tray supply/retrieval unit is provided with a substrate tray loading unit in which the above substrate trays are loaded in multiples.
The above empty tray supply/completed substrate recovery unit is equipped with an empty tray supply rack in which multiple empty trays for supply without substrates are loaded.
The above tray transport means removes the substrate tray or the lowest empty supply tray from the plurality of stacked substrate trays or the empty supply tray and transports them to the inspection section.
In the above inspection department,
It includes a substrate supply standby section in which a substrate tray supplied from the substrate tray loading section is placed,
A substrate inspection device including an empty tray recovery unit for recovering an empty tray for recovery without a substrate when a substrate loaded on the substrate tray placed in the substrate supply waiting unit is removed for inspection on one side of the substrate tray loading unit.

A substrate tray supply/recovery unit that supplies a substrate tray loaded with a substrate for inspection and recovers an empty tray for recovery from which the substrate loaded on the substrate tray has been removed;
An empty tray supply/completed board retrieval unit that supplies empty trays for loading and sorting inspected boards according to the inspection results and retrieves completed board trays loaded with inspected boards;
A tray transport means for transporting the above substrate tray or the above empty tray for supply;
Including an inspection unit for inspecting the substrate;
The above substrate tray supply/retrieval unit is provided with a substrate tray loading unit in which the above substrate trays are loaded in multiples.
The above empty tray supply/completed substrate recovery unit is equipped with an empty tray supply rack in which multiple empty trays for supply without substrates are loaded.
The above tray transport means removes the substrate tray or the lowest empty supply tray from the plurality of stacked substrate trays or the empty supply tray and transports them to the inspection section.
In the above inspection department,
A substrate supply waiting section in which a substrate tray supplied from the above substrate tray loading section is placed;
Includes a substrate selection waiting section for selecting and placing substrates that have completed inspection.
The above empty tray supply/completed board recovery unit is,
A plurality of empty tray supply racks are stacked to supply empty trays to the above substrate sorting standby unit,
A substrate inspection device including a completed substrate tray recovery unit that recovers a completed substrate tray loaded with a substrate that has been inspected and selected from an empty tray supplied to the above substrate selection waiting unit.

A substrate tray supply/recovery unit that supplies a substrate tray loaded with a substrate for inspection and recovers an empty tray for recovery from which the substrate loaded on the substrate tray has been removed;
An empty tray supply/completed board retrieval unit that supplies empty trays for loading and sorting inspected boards according to the inspection results and retrieves completed board trays loaded with inspected boards;
A tray transport means for transporting the above substrate tray or the above empty tray for supply;
Including an inspection unit for inspecting the substrate;
The above substrate tray supply/retrieval unit is provided with a substrate tray loading unit in which the above substrate trays are loaded in multiples.
The above empty tray supply/completed substrate recovery unit is equipped with an empty tray supply rack in which multiple empty trays for supply without substrates are loaded.
The above tray transport means removes the substrate tray or the lowest empty supply tray from the plurality of stacked substrate trays or the empty supply tray and transports them to the inspection section.
In the above inspection department,
A substrate supply waiting section in which a substrate tray supplied from the above substrate tray loading section is placed;
Includes a substrate selection waiting section for selecting and placing substrates that have completed inspection.
The above tray transport means is movable in a first direction in the direction of the substrate tray supply section or the empty tray supply section, a second direction orthogonal to the first direction, and a third direction orthogonal to the first and second directions and in the height direction of the inspection section.
The above tray transport means moves the lowest substrate tray among the plurality of substrate trays loaded in the substrate tray loading section in the third direction to the inspection section and supplies it to the substrate supply waiting section.
The above tray transport means is a substrate inspection device that moves the lowest supply empty tray among a plurality of supply empty trays loaded in the empty tray supply holder in the third direction and supplies the lowermost supply empty tray to the substrate sorting waiting unit.

A substrate tray supply/recovery unit that supplies a substrate tray loaded with a substrate for inspection and recovers an empty tray for recovery from which the substrate loaded on the substrate tray has been removed;
An empty tray supply/completed board retrieval unit that supplies empty trays for loading and sorting inspected boards according to the inspection results and retrieves completed board trays loaded with inspected boards;
A tray transport means for transporting the above substrate tray or the above empty tray for supply;
Including an inspection unit for inspecting the substrate;
The above substrate tray supply/retrieval unit is provided with a substrate tray loading unit in which the above substrate trays are loaded in multiples.
The above empty tray supply/completed substrate recovery unit is equipped with an empty tray supply rack in which multiple empty trays for supply without substrates are loaded.
The above tray transport means removes the substrate tray or the lowest empty supply tray from the plurality of stacked substrate trays or the empty supply tray and transports them to the inspection section.
The above substrate tray loading section is provided with a catch member to allow the substrate tray to be loaded.
The above-mentioned hanging member supports both sides of the lowest substrate tray among the plurality of substrate trays,
When the lowermost substrate tray is pushed up by the above tray transport means, the catch member retracts in a direction away from the substrate tray,
A substrate inspection device that lowers a substrate tray pushed up by the above tray transport means to remove the lowermost substrate tray from the engaging member, and then the retreated engaging member moves forward to support the second substrate tray located above the lowermost substrate tray.

A substrate tray supply/recovery unit that supplies a substrate tray loaded with a substrate for inspection and recovers an empty tray for recovery from which the substrate loaded on the substrate tray has been removed;
An empty tray supply/completed board recovery unit that supplies empty trays for loading inspected boards by selecting them according to the inspection results and retrieves completed board trays loaded with inspected boards;
A tray transport means for transporting the above substrate tray or the above empty tray for supply;
Including an inspection unit for inspecting the substrate;
The above substrate tray supply/retrieval unit is provided with a substrate tray loading unit in which the above substrate trays are loaded in multiples.
The above empty tray supply/completed substrate recovery unit is equipped with an empty tray supply rack in which multiple empty trays for supply without substrates are loaded.
The above tray transport means removes the substrate tray or the lowest empty supply tray from the plurality of stacked substrate trays or the empty supply tray and transports them to the inspection section.
In the above inspection department,
A substrate supply standby section in which a substrate tray supplied from the above substrate tray supply section is placed;
Includes a substrate selection waiting section for selecting and placing substrates that have completed inspection.
In the above substrate tray supply/retrieval section,
An empty tray recovery unit is provided for recovering and loading the empty trays for recovery by the tray transport means.
In the above empty tray recovery section, a rotational catch member is provided to support both sides of the empty tray for recovery so that the tray for recovery can be loaded from the bottom to the top by the lifting operation of the tray transport means when the tray for recovery is loaded.
The above tray transport means pushes the empty tray for recovery from the bottom to the top in the empty tray recovery section, and as the rotational engaging member rotates upward, the empty tray for recovery rises while being released from the rotational engaging member.
When the above tray transport means is lowered, the rotational engaging member rotates downwards in reverse, causing the tray transport means to move away from the rotational engaging member, and an empty tray for recovery is supported by being caught on the rotational engaging member.
By the lifting operation of the above tray transport means, the Nth empty tray for recovery rises from the bottom to the top while pushing up the above rotating engaging member,
Conversely, the substrate inspection device in which the tray transport means moves away from the rotating catch member when lowered, and the Nth empty tray for recovery is caught and loaded by the reverse rotation of the rotating catch member.

In Article 10,
A substrate inspection device in which a downwardly inclined slope is formed at the end of the above-mentioned rotating engaging member so that the length of the upper surface of the rotating engaging member is longer than the length of the lower surface.

A substrate tray supply/recovery unit that supplies a substrate tray loaded with a substrate for inspection and recovers an empty tray for recovery from which the substrate loaded on the substrate tray has been removed;
An empty tray supply/completed board recovery unit that supplies empty trays for loading inspected boards by selecting them according to the inspection results and retrieves completed board trays loaded with inspected boards;
A tray transport means for transporting the above substrate tray or the above empty tray for supply;
Including an inspection unit for inspecting the substrate;
The above substrate tray supply/retrieval unit is provided with a substrate tray loading unit in which the above substrate trays are loaded in multiples.
The above empty tray supply/completed substrate recovery unit is equipped with an empty tray supply rack in which multiple empty trays for supply without substrates are loaded.
The above tray transport means removes the substrate tray or the lowest empty supply tray from the plurality of stacked substrate trays or the empty supply tray and transports them to the inspection section.
In the above inspection department,
Includes a substrate selection waiting section for selecting and placing substrates that have completed inspection.
In the above empty tray supply/completed substrate recovery section,
It includes a tray for good products and a tray for defective products for collecting and loading completed substrate trays loaded with substrates that have completed inspection in the above substrate sorting waiting area.
The above-mentioned stand for good products and stand for defective products are provided with a rotating catch member that supports the completed substrate tray.
When loading the completed substrate tray by the tray transport means, the completed substrate tray is raised from the bottom to the top while rotating the rotating engaging member and placed at a position spaced from the rotating engaging member.
A substrate inspection device in which the completed substrate tray is lowered so that the tray transport means is lowered away from the rotating engaging member, and the completed substrate tray is caught on the rotating engaging member that rotates in reverse.

A substrate tray supply/recovery unit that supplies a substrate tray loaded with a substrate for inspection and recovers an empty tray for recovery from which the substrate loaded on the substrate tray has been removed;
An empty tray supply/completed board retrieval unit that supplies empty trays for loading and sorting inspected boards according to the inspection results and retrieves completed board trays loaded with inspected boards;
A tray transport means for transporting the above substrate tray or the above empty tray for supply;
Including an inspection unit for inspecting the substrate;
The above substrate tray supply/retrieval unit is provided with a substrate tray loading unit in which the above substrate trays are loaded in multiples.
The above empty tray supply/completed substrate recovery unit is equipped with an empty tray supply rack in which multiple empty trays for supply without substrates are loaded.
The above tray transport means removes the substrate tray or the lowest empty supply tray from the plurality of stacked substrate trays or the empty supply tray and transports them to the inspection section.
A substrate inspection device, wherein a guide member is provided on the substrate tray loading section or the empty tray supplying section so that when a loaded substrate tray or an empty tray for supply is pulled out from the lowest section by the tray transfer means, a second substrate tray or an empty tray for supply placed above is lowered and aligned.

In the fourth paragraph,
A substrate inspection device in which a space is formed at the bottom of a tray loaded into the substrate tray supply/retrieval unit or the empty tray supply/completed substrate retrieval unit, allowing movement and access of the tray transport means.