KR102683631B1 - Exposure film mask align apparatus - Google Patents
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Abstract
개시되는 노광용 필름 마스크 얼라인 장치가 테이블 부재와, 승강 흡착 부재와, 정렬 상태 촬영 부재와, 테이블 이동 부재를 포함함에 따라, 인쇄회로기판의 제작 시의 노광 공정에 적용되는 두 장의 노광용 필름 마스크의 얼라인이 자동으로 맞추어질 수 있게 되는 장점이 있다.As the disclosed film mask alignment device for exposure includes a table member, a lifting and adsorbing member, an alignment state photographing member, and a table moving member, two sheets of exposure film mask applied to the exposure process when manufacturing a printed circuit board are provided. There is an advantage that the alignment can be adjusted automatically.
Description
본 발명은 노광용 필름 마스크 얼라인 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a film mask alignment device for exposure.
인쇄회로기판(PCB)의 제작 시에 적용되는 노광 공정에는 노광용 필름 마스크가 사용된다.A film mask for exposure is used in the exposure process applied when manufacturing a printed circuit board (PCB).
이러한 인쇄회로기판의 제작에 적용되는 상기 노광용 필름 마스크의 예로 제시될 수 있는 것이 아래 제시된 특허문헌의 그 것이다.An example of the film mask for exposure applied to the production of such a printed circuit board is that of the patent document presented below.
상기 노광용 필름 마스크는 두 장이 세트로 적용되기 때문에, 두 장의 상기 노광용 필름 마스크는 서로 얼라인을 맞추어주어야 한다.Since two exposure film masks are applied as a set, the two exposure film masks must be aligned with each other.
그러나, 종래에는 두 장의 상기 노광용 필름 마스크의 얼라인을 맞추어주는 작업이 작업자에 의한 수작업으로 이루어졌기 때문에, 그 정확성이 떨어짐은 물론, 작업에 매우 많은 비효율성이 발생되는 문제가 있었다.However, in the past, the work of aligning the two exposure film masks was done manually by an operator, so there was a problem that not only was the accuracy low, but also a lot of inefficiency occurred in the work.
본 발명은 인쇄회로기판의 제작 시의 노광 공정에 적용되는 두 장의 노광용 필름 마스크의 얼라인이 자동으로 맞추어질 수 있도록 하는 노광용 필름 마스크 얼라인 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.The purpose of the present invention is to provide an exposure film mask alignment device that can automatically align two exposure film masks applied in an exposure process when manufacturing a printed circuit board.
본 발명의 일 측면에 따른 노광용 필름 마스크 얼라인 장치는 인쇄회로기판의 제작 시의 노광 공정에 적용되는 두 장의 노광용 필름 마스크가 겹쳐져서 올려지고, 상기 노광용 필름 마스크 중 하측의 것을 흡착하여 주는 테이블 부재; 상기 테이블 부재에 올려진 상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것의 일 측 모서리부를 흡착하여 들어올려 주는 승강 흡착 부재; 상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것에서 상기 승강 흡착 부재에 의해 들어올려진 부분과 상기 노광용 필름 마스크 중 하측의 것을 함께 촬영하여, 두 장의 상기 노광용 필름 마스크의 정렬 상태를 확인하는 정렬 상태 촬영 부재; 및 상기 정렬 상태 촬영 부재에 의해 확인된 두 장의 상기 노광용 필름 마스크의 정렬 상태에 따라, 상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것이 상기 승강 흡착 부재에 의해 흡착되고 상기 노광용 필름 마스크 중 하측의 것이 상기 테이블 부재에 의해 흡착된 상태에서, 두 장의 상기 노광용 필름 마스크가 요구되는 정렬 수준으로 정렬되도록 상기 테이블 부재를 이동시켜 주는 테이블 이동 부재;를 포함하고,
상기 테이블 부재 상에 두 장의 상기 노광용 필름 마스크가 놓이고, 상기 노광용 필름 마스크 중 하측의 것이 상기 테이블 부재에 흡착된 상태에서, 상기 승강 흡착 부재가 하강되어 상기 테이블 부재에 올려진 상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것의 일 측 모서리부를 흡착한 다음 상기 승강 흡착 부재가 소정 높이 상승되어 상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것의 일 측 모서리부가 들어올려지게 되고,
상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것의 일 측 모서리부가 들어올려진 상태에서, 상기 정렬 상태 촬영 부재가 촬영을 하게 되고, 상기 정렬 상태 촬영 부재에 의해 촬영된 촬영 정보를 이용하여, 상기 테이블 이동 부재가 상기 테이블 부재를 전후좌우 방향으로 이동시켜, 상기 테이블 부재에 흡착된 상기 노광용 필름 마스크 중 하측의 것이 상기 승강 흡착 부재에 의해 흡착된 상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것에 대해 상대적으로 전후좌우 방향으로 이동되면서, 두 장의 상기 노광용 필름 마스크의 정렬 상태가 맞추어지고,
두 장의 상기 노광용 필름 마스크의 정렬 상태가 맞추어진 상태에서, 상기 승강 흡착 부재에 의한 상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것에 대한 흡착이 해제되어, 상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것은 상기 노광용 필름 마스크 중 하측의 것 상에 전체적으로 겹쳐지게 되는 것을 특징으로 한다.The exposure film mask alignment device according to one aspect of the present invention is a table member in which two exposure film masks applied to the exposure process when manufacturing a printed circuit board are placed overlapping each other, and the lower one of the exposure film masks is adsorbed. ; a lifting and lowering adsorption member that adsorbs and lifts one corner of an upper one of the exposure film masks placed on the table member; An alignment state photographing member that confirms the alignment of the two exposure film masks by photographing the upper one of the exposure film masks lifted by the lifting and adsorbing member and the lower one of the exposure film masks; and according to the alignment state of the two exposure film masks confirmed by the alignment state photographing member, the upper one of the exposure film masks is adsorbed by the lifting and lowering adsorption member, and the lower one of the exposure film masks is attached to the table member. A table moving member that moves the table member so that the two exposure film masks are aligned at the required alignment level in the adsorbed state.
In a state where the two exposure film masks are placed on the table member, and the lower one of the exposure film masks is adsorbed on the table member, the lifting and suction member is lowered to select one of the exposure film masks placed on the table member. After adsorbing one corner of the upper one, the lifting and lowering adsorption member is raised to a predetermined height to lift one corner of the upper one of the exposure film masks,
In a state where one corner of the upper one of the exposure film masks is lifted, the aligned photographing member takes a photograph, and using the photographing information photographed by the aligned photographing member, the table moving member moves the table. By moving the member in the forward, left, and right directions, the lower one of the exposure film masks adsorbed on the table member is moved in the forward, left, and right directions relative to the upper one of the exposure film masks adsorbed by the lifting and lowering adsorption member, and the two The alignment of the exposure film mask in the field is adjusted,
In a state in which the two exposure film masks are aligned, the adsorption of the upper one of the exposure film masks by the lifting and lowering adsorption member is released, and the upper one of the exposure film masks is released from the lower one of the exposure film masks. It is characterized in that it overlaps entirely on the top.
본 발명의 일 측면에 따른 노광용 필름 마스크 얼라인 장치에 의하면, 상기 노광용 필름 마스크 얼라인 장치가 테이블 부재와, 승강 흡착 부재와, 정렬 상태 촬영 부재와, 테이블 이동 부재를 포함함에 따라, 인쇄회로기판의 제작 시의 노광 공정에 적용되는 두 장의 노광용 필름 마스크의 얼라인이 자동으로 맞추어질 수 있게 되는 효과가 있다.According to the film mask alignment device for exposure according to one aspect of the present invention, the film mask alignment device for exposure includes a table member, a lifting and lowering adsorption member, an aligned state photographing member, and a table moving member, so that the printed circuit board There is an effect that the alignment of the two exposure film masks applied in the exposure process during the production of is automatically aligned.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 노광용 필름 마스크 얼라인 장치의 구성을 보이는 도면.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 노광용 필름 마스크 얼라인 장치를 구성하는 테이블 부재와 승강 흡착 부재를 보이는 도면.1 is a diagram showing the configuration of a film mask alignment device for exposure according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a diagram showing a table member and a lifting and lowering adsorption member constituting a film mask alignment device for exposure according to an embodiment of the present invention.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 노광용 필름 마스크 얼라인 장치에 대하여 설명한다.Hereinafter, a film mask alignment device for exposure according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 노광용 필름 마스크 얼라인 장치의 구성을 보이는 도면이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 노광용 필름 마스크 얼라인 장치를 구성하는 테이블 부재와 승강 흡착 부재를 보이는 도면이다.FIG. 1 is a diagram showing the configuration of a film mask alignment device for exposure according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a diagram showing a table member and a lifting suction member constituting the film mask alignment device for exposure according to an embodiment of the present invention. This is a drawing showing .
도 1 및 도 2를 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 노광용 필름 마스크 얼라인 장치(100)는 테이블 부재(110)와, 승강 흡착 부재(140)와, 정렬 상태 촬영 부재(130)와, 테이블 이동 부재(120)를 포함한다.Referring to FIGS. 1 and 2 together, the exposure film mask alignment device 100 according to this embodiment includes a table member 110, a lifting and lowering adsorption member 140, an aligned state photographing member 130, and a table. Includes a moving member 120.
또한, 상기 노광용 필름 마스크 얼라인 장치(100)는 융착 부재(150)를 더 포함할 수 있다.Additionally, the exposure film mask alignment device 100 may further include a fusion member 150.
상기 노광용 필름 마스크 얼라인 장치(100)는 각 구성 요소의 지지를 위한 장치 프레임을 포함하나, 이러한 상기 장치 프레임의 형성을 당업자에게 일반적인 것이므로, 여기서는 상기 노광용 필름 마스크 얼라인 장치(100)의 각 구성 요소의 명확한 도시 및 설명을 위하여 상기 장치 프레임의 도시는 생략하기로 한다.The exposure film mask alignment device 100 includes a device frame for supporting each component. However, since the formation of the device frame is common to those skilled in the art, here, each component of the exposure film mask alignment device 100 is described. For clear illustration and explanation of elements, the illustration of the device frame will be omitted.
상기 테이블 부재(110)는 인쇄회로기판의 제작 시의 노광 공정에 적용되는 두 장의 노광용 필름 마스크가 겹쳐져서 올려지고, 상기 노광용 필름 마스크 중 하측의 것을 흡착하여 주는 것이다.The table member 110 is formed by stacking two exposure film masks applied in an exposure process when manufacturing a printed circuit board, and adsorbs the lower one of the exposure film masks.
상기 테이블 부재(110)는 소정 면적의 플레이트 형태로 이루어지는 상기 노광용 필름 마스크가 두 장 겹쳐져서 올려지도록, 소정 면적의 플레이트 형태로 형성된다.The table member 110 is formed in the form of a plate with a predetermined area so that two exposure film masks, which are in the form of a plate with a predetermined area, are placed on top of each other.
상기 테이블 부재(110)의 상단에는 복수 개의 테이블측 흡착홀(111)이 서로 이격되도록 형성되고, 상기 각 테이블측 흡착홀(111)에는 외부의 진공 펌프 등의 흡착 수단(미도시)에 의해 부압(negative pressure)이 걸려서, 상기 노광용 필름 마스크 중 하측의 것이 상기 테이블 부재(110)의 상면에 흡착될 수 있게 된다.A plurality of table side suction holes 111 are formed at the top of the table member 110 to be spaced apart from each other, and negative pressure is applied to each table side suction hole 111 by suction means (not shown) such as an external vacuum pump. (negative pressure) is applied, so that the lower one of the exposure film masks can be adsorbed to the upper surface of the table member 110.
상기 승강 흡착 부재(140)는 상기 테이블 부재(110)에 올려진 상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것의 일 측 모서리부를 흡착하여 들어올려 주는 것이다.The lifting and lowering suction member 140 absorbs and lifts one edge of the upper one of the exposure film masks placed on the table member 110.
상세히, 상기 승강 흡착 부재(140)는 흡착체(141)와, 흡착 승강 수단(144)을 포함한다.In detail, the lifting and lowering adsorption member 140 includes an adsorption body 141 and an adsorption lifting means 144.
상기 흡착체(141)는 상기 테이블 부재(110)에 올려진 상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것의 일 측 모서리부를 흡착하는 것이다.The adsorbent 141 adsorbs one corner of the upper one of the exposure film masks placed on the table member 110.
상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것의 일 측 모서리부를 소정 길이로 길게 흡착할 수 있도록, 상기 흡착체(141)는 상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것의 일 측 모서리부를 따라 소정 길이로 길게 형성되어, 상기 흡착체(141)의 길이 방향으로 길게 상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것의 일 측 모서리부를 흡착시키게 된다.The absorber 141 is formed to be long along one edge of the upper film mask for exposure to a predetermined length so as to adsorb the upper edge of the exposure film mask to a predetermined length. One edge of the upper one of the exposure film masks is adsorbed along the length of the sieve 141.
상기와 같이 형성된 상기 흡착체(141)의 길이 방향의 저면 상에 복수 개의 승강 흡착측 흡착홀(142)이 서로 이격되도록 형성되고, 상기 각 승강 흡착측 흡착홀(142)에는 외부의 진공 펌프 등의 상기 흡착 수단에 의해 부압이 걸려서, 상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것이 상기 흡착체(141)의 길이 방향으로 상기 흡착체(141)의 저면에 흡착될 수 있게 된다.A plurality of lifting adsorption side adsorption holes 142 are formed to be spaced apart from each other on the longitudinal bottom surface of the adsorbent 141 formed as described above, and an external vacuum pump, etc. are installed in each elevating adsorption side adsorption hole 142. A negative pressure is applied by the adsorption means, so that the upper one of the exposure film masks can be adsorbed to the bottom surface of the adsorbent 141 in the longitudinal direction of the adsorbent 141.
상기 흡착 승강 수단(144)은 상기 흡착체(141)에 의해 흡착된 상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것의 일 측 모서리부가 들어올려질 수 있도록, 상기 흡착체(141)를 승강시키는 것이다.The adsorption lifting means 144 elevates the adsorbent 141 so that one corner of the upper one of the exposure film masks adsorbed by the adsorbent 141 can be lifted.
상기 흡착 승강 수단(144)으로는 다양한 것이 제시될 수 있으나, 여기서는 예시적으로 상기 장치 프레임에 고정되는 유공압 실린더 등의 흡착 승강 실린더가 그 예로 제시될 수 있고, 상기 흡착 승강 실린더의 흡착 승강 피스톤(143)의 말단에 상기 흡착체(141)가 연결되어 승강될 수 있게 된다.The suction elevating means 144 may be various, but here, an adsorption elevating cylinder such as a hydraulic or pneumatic cylinder fixed to the device frame may be presented as an example, and an adsorption elevating piston of the adsorption elevating cylinder ( The absorber 141 is connected to the end of 143) and can be lifted.
상기 정렬 상태 촬영 부재(130)는 상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것에서 상기 승강 흡착 부재(140)에 의해 들어올려진 부분과 상기 노광용 필름 마스크 중 하측의 것을 함께 촬영하여, 두 장의 상기 노광용 필름 마스크의 정렬 상태를 확인하는 것으로, 통상의 영상 촬영 카메라가 그 예로 제시될 수 있다.The aligned state photographing member 130 captures the portion lifted by the lifting and adsorbing member 140 from the upper one of the exposure film masks and the lower one of the exposure film masks, thereby aligning the two exposure film masks. To check the status, a normal video capture camera can be presented as an example.
상기 정렬 상태 촬영 부재(130)는 상기 테이블 부재(110)의 상공의 소정 높이 상에 설치되되, 상기 정렬 상태 촬영 부재(130)는 상기 노광용 필름 마스크의 복수의 지점(상기 노광용 필름 마스크의 각 모서리 부분)을 각각 촬영하도록 복수 개 배치되고, 상기 테이블 부재(110)에 놓인 상기 노광용 필름 마스크의 각 모서리 부분을 각각 촬영할 수 있도록 상기 테이블 부재(110)의 각 모서리 부분의 상공에 각각 배치될 수 있다.The aligned state photographing member 130 is installed at a predetermined height above the table member 110, and the aligned state photographing member 130 is installed at a plurality of points of the exposure film mask (each corner of the exposure film mask). may be arranged in plural pieces to each photograph a portion, and each edge portion of the exposure film mask placed on the table member 110 can be photographed, respectively, above each corner portion of the table member 110. .
예시적으로, 상기 정렬 상태 촬영 부재(130)는 세 개가 설치되어, 상기 각 정렬 상태 촬영 부재(130)가 상기 테이블 부재(110)에 놓인 상기 노광용 필름 마스크의 세 개의 모서리 부분을 각각 촬영하고, 해당 촬영된 정보에 의해 상기 테이블 이동 부재(120)가 상기 테이블 부재(110)를 이동시킬 수 있게 된다.For example, three aligned photographing members 130 are installed, and each aligned photographing member 130 photographs three corner portions of the exposure film mask placed on the table member 110, The table moving member 120 can move the table member 110 based on the captured information.
상기 테이블 이동 부재(120)는 상기 정렬 상태 촬영 부재(130)에 의해 확인된 두 장의 상기 노광용 필름 마스크의 정렬 상태에 따라, 상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것이 상기 승강 흡착 부재(140)에 의해 흡착되고 상기 노광용 필름 마스크 중 하측의 것이 상기 테이블 부재(110)에 의해 흡착된 상태에서, 두 장의 상기 노광용 필름 마스크가 요구되는 정렬 수준으로 정렬되도록 상기 테이블 부재(110)를 이동시켜 주는 것이다.The table moving member 120 adsorbs the upper one of the exposure film masks by the lifting and lowering adsorption member 140 according to the alignment state of the two exposure film masks confirmed by the alignment state photographing member 130. With the lower one of the exposure film masks adsorbed by the table member 110, the table member 110 is moved so that the two exposure film masks are aligned at the required alignment level.
예시적으로, 상기 테이블 이동 부재(120)는 상기 테이블 부재(110)의 저면으로부터 소정 길이 연장되는 테이블 이동축(121)과, 상기 테이블 이동축(121)에 연결되는 테이블 이동 피스톤(122)과, 상기 테이블 이동 피스톤(122)이 돌출되거나 인입되는 유공압 실린더 등의 테이블 이동 실린더(123)와, 상기 테이블 이동 실린더(123)에 연결되고 상기 테이블 이동 피스톤(122)의 이동 방향에 대해 수직으로 이동되는 수직 이동 피스톤(124)과, 상기 장치 프레임에 고정되고 상기 수직 이동 피스톤(124)이 돌출되거나 인입되는 유공압 실린더 등의 수직 이동 실린더(125)를 포함한다.Exemplarily, the table moving member 120 includes a table moving shaft 121 extending a predetermined length from the bottom of the table member 110, a table moving piston 122 connected to the table moving shaft 121, and , the table moving piston 122 is connected to a table moving cylinder 123 such as a hydraulic or pneumatic cylinder that protrudes or retracts, and is connected to the table moving cylinder 123 and moves perpendicular to the moving direction of the table moving piston 122. It includes a vertically moving piston 124 and a vertically moving cylinder 125, such as a hydraulic or pneumatic cylinder, which is fixed to the device frame and into which the vertically moving piston 124 protrudes or retracts.
상기 테이블 이동 피스톤(122)이 상기 테이블 부재(110)의 좌우 방향으로 상기 테이블 이동 실린더(123)에 대해 신축되면, 상기 수직 이동 피스톤(124)이 상기 테이블 부재(110)의 전후 방향으로 상기 수직 이동 실린더(125)에 대해 신축되는데, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 이러한 방향을 예시로 하여 설명한다.When the table moving piston 122 expands and contracts with respect to the table moving cylinder 123 in the left and right directions of the table member 110, the vertically moving piston 124 moves vertically in the front and rear directions of the table member 110. It expands and contracts with respect to the moving cylinder 125, and for convenience of explanation, this direction will be described below as an example.
상기 수직 이동 실린더(125)로부터 상기 수직 이동 피스톤(124)이 신축되면, 상기 수직 이동 피스톤(124)에 연결된 상기 테이블 이동 실린더(123) 및 상기 테이블 이동 실린더(123)에 연결된 상기 테이블 부재(110)가 함께 상기 테이블 부재(110)의 전후 방향으로 이동되고, 상기 테이블 이동 실린더(123)로부터 상기 테이블 이동 피스톤(122)이 신축되면, 상기 테이블 이동 피스톤(122)에 연결된 상기 테이블 부재(110)가 상기 테이블 부재(110)의 좌우 방향으로 이동되면서, 상기 테이블 부재(110)가 전후좌우 방향으로 이동될 수 있고, 그에 따라 상기 테이블 부재(110)에 흡착된 상기 노광용 필름 마스크 중 하측의 것이 역시 상기 승강 흡착 부재(140)에 의해 흡착된 상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것에 대해 상대적으로 전후좌우 방향으로 이동되면서, 두 장의 상기 노광용 필름 마스크의 얼라인, 즉 정렬 상태가 맞추어질 수 있게 된다.When the vertically moving piston 124 is expanded and contracted from the vertically moving cylinder 125, the table moving cylinder 123 connected to the vertically moving piston 124 and the table member 110 connected to the table moving cylinder 123 ) are moved together in the front and rear direction of the table member 110, and when the table moving piston 122 is expanded and contracted from the table moving cylinder 123, the table member 110 connected to the table moving piston 122 As the table member 110 is moved in the left and right directions, the table member 110 may be moved in the front, rear, left, and right directions, and accordingly, the lower one of the exposure film masks adsorbed on the table member 110 is also As the exposure film mask adsorbed by the lifting and lowering member 140 is moved in the front, rear, left, and right directions relative to the upper one, the two exposure film masks can be aligned, that is, aligned.
상기 융착 부재(150)는 상기 테이블 이동 부재(120)에 의해 상기 테이블 부재(110)가 이동되면서 두 장의 상기 노광용 필름 마스크가 상기 요구되는 정렬 수준으로 정렬된 상태가 고정될 수 있도록, 두 장의 상기 노광용 필름 마스크의 가장자리 부분의 복수 지점을 융착시켜 주는 것이다.The fusion member 150 is used to fix the two exposure film masks aligned at the required alignment level while the table member 110 is moved by the table moving member 120. It fuses multiple points at the edges of the exposure film mask.
상세히, 상기 융착 부재(150)는 초음파 등을 이용하여 두 장의 상기 노광용 필름 마스크를 융착시켜줄 수 있는 필름 융착 수단(151)과, 상기 노광용 필름 마스크의 가장자리 부분의 복수 지점이 상기 필름 융착 수단(151)에 의해 융착될 수 있도록 상기 필름 융착 수단(151)을 이동시켜줄 수 있는 융착 이동 수단을 포함한다.In detail, the fusion member 150 includes a film fusion means 151 capable of fusing two sheets of the exposure film mask using ultrasonic waves, etc., and a plurality of points on the edge of the exposure film mask are formed by the film fusion means 151. It includes a fusion moving means that can move the film fusion means 151 so that it can be fused by ).
예시적으로, 상기 융착 이동 수단은 상기 필름 융착 수단(151)이 전후진되도록 상기 필름 융착 수단(151)과 연결되는 융착 전후진 피스톤(152)과, 상기 융착 전후진 피스톤(152)이 돌출되거나 인입되는 유공압 실린더 등의 융착 전후진 실린더(153)와, 상기 융착 전후진 실린더(153)가 승강되도록 상기 융착 전후진 실린더(153)와 연결되는 융착 승강 피스톤(154)과, 상기 융착 승강 피스톤(154)이 돌출되거나 인입되는 유공압 실린더 등의 융착 승강 실린더(155)와, 상기 융착 승강 실린더(155)의 하부에 고정되는 전기 모터 등의 융착 이동 모터(156)와, 상기 융착 이동 모터(156)의 회전축에 연결되는 피니언 기어(157)와, 상기 피니언 기어(157)와 맞물리는 랙 기어가 그 상단에 형성되되 상기 테이블 부재(110)의 일 측면의 외곽을 따라 소정 길이로 길게 형성되고 상기 장치 프레임에 고정되는 융착 이동 프레임(158)을 포함한다.Exemplarily, the fusion moving means includes a fusion forward and backward piston 152 connected to the film fusion means 151 so that the film fusion means 151 moves forward and backward, and the fusion forward and backward piston 152 protrudes. A fusion forward and backward cylinder 153 such as an incoming hydraulic or pneumatic cylinder, a fusion elevating piston 154 connected to the fusion forward and backward cylinder 153 so that the fusion forward and backward cylinder 153 is raised and lowered, and the fusion elevating piston ( A fusion lifting cylinder 155 such as a hydraulic or pneumatic cylinder on which 154) protrudes or retracts, a fusion moving motor 156 such as an electric motor fixed to the lower part of the fusion lifting cylinder 155, and the fusion moving motor 156 A pinion gear 157 connected to the rotation axis of the device, and a rack gear engaged with the pinion gear 157 are formed at the top of the pinion gear 157, and are formed to have a predetermined length along the outer edge of one side of the table member 110, and the device It includes a fusion movable frame 158 that is fixed to the frame.
상기 융착 이동 모터(156)의 작동에 따라, 상기 융착 이동 프레임(158)의 상단에 형성된 상기 랙 기어에 맞물린 상기 피니언 기어(157)가 회전되면서, 상기 융착 승강 실린더(155), 상기 융착 전후진 실린더(153) 및 상기 필름 융착 수단(151)이 함께 상기 융착 이동 프레임(158)을 따라 이동되고, 상기 융착 승강 실린더(155)로부터 상기 융착 승강 피스톤(154)이 신축됨에 따라, 상기 융착 전후진 실린더(153) 및 상기 필름 융착 수단(151)이 승강되고, 상기 융착 전후진 실린더(153)로부터 상기 융착 전후진 피스톤(152)이 신축됨에 따라, 상기 필름 융착 수단(151)이 전후진되면서 상기 테이블 부재(110)의 상공으로 전진되거나 상기 테이블 부재(110)의 상공으로부터 이탈되도록 후진될 수 있게 된다.As the fusion movement motor 156 operates, the pinion gear 157 engaged with the rack gear formed at the top of the fusion movement frame 158 rotates, and the fusion lifting cylinder 155 moves forward and backward. The cylinder 153 and the film fusion means 151 move together along the fusion moving frame 158, and as the fusion elevating piston 154 expands and contracts from the fusion elevating cylinder 155, the fusion moves forward and backward. As the cylinder 153 and the film fusion means 151 are raised and lowered, and the fusion forward and backward piston 152 is expanded and contracted from the fusion forward and backward cylinder 153, the film fusion means 151 moves forward and backward. It can be advanced to the sky above the table member 110 or backward to deviate from the sky of the table member 110.
상기와 같은 작동에 따라, 상기 필름 융착 수단(151)이 상기 노광용 필름 마스크의 가장자리 부분의 복수 지점을 융착시킨 다음 상기 테이블 부재(110)의 상공으로부터 이탈될 수 있게 된다.According to the above operation, the film fusing means 151 can be separated from the upper part of the table member 110 after fusing a plurality of points at the edge of the exposure film mask.
이하에서는 도면을 참조하여 본 실시예에 따른 노광용 필름 마스크 얼라인 장치(100)의 작동에 대하여 설명한다.Hereinafter, the operation of the exposure film mask alignment device 100 according to this embodiment will be described with reference to the drawings.
상기 테이블 부재(110) 상에 두 장의 상기 노광용 필름 마스크가 놓이고, 상기 노광용 필름 마스크 중 하측의 것이 상기 테이블 부재(110)에 흡착된 상태에서, 상기 승강 흡착 부재(140)의 상기 흡착체(141)가 하강되어 상기 테이블 부재(110)에 올려진 상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것의 일 측 모서리부를 흡착한 다음 상기 승강 흡착 부재(140)의 상기 흡착체(141)가 소정 높이 상승되어 상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것의 일 측 모서리부가 들어올려지게 된다.The two exposure film masks are placed on the table member 110, and the lower one of the exposure film masks is adsorbed to the table member 110, and the absorber of the lifting and lowering adsorption member 140 ( 141) is lowered to adsorb one edge of the upper one of the exposure film masks placed on the table member 110, and then the absorber 141 of the lifting and lowering adsorption member 140 is raised to a predetermined height to absorb the exposure film mask. One corner of the upper one of the film masks is lifted.
이러한 상태에서, 상기 정렬 상태 촬영 부재(130)가 촬영을 하게 되고, 상기 정렬 상태 촬영 부재(130)에 의해 촬영된 촬영 정보를 이용하여, 상기 테이블 이동 부재(120)가 상기 테이블 부재(110)를 전후좌우 방향으로 이동시켜, 상기 테이블 부재(110)에 흡착된 상기 노광용 필름 마스크 중 하측의 것이 상기 승강 흡착 부재(140)의 상기 흡착체(141)에 의해 흡착된 상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것에 대해 상대적으로 전후좌우 방향으로 이동되면서, 두 장의 상기 노광용 필름 마스크의 얼라인, 즉 정렬 상태가 맞추어진다.In this state, the aligned state photographing member 130 performs imaging, and using the photographing information captured by the aligned state photographing member 130, the table moving member 120 moves the table member 110. is moved in the forward, left, and right directions, so that the lower one of the exposure film masks adsorbed on the table member 110 is the upper one of the exposure film masks adsorbed by the suction body 141 of the lifting and lowering adsorption member 140. As the two exposure film masks are moved relative to each other in the forward, backward, left, and right directions, the alignment, that is, the state of alignment, is aligned.
이러한 상태에서, 상기 승강 흡착 부재(140)의 상기 흡착체(141)에 의한 상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것에 대한 흡착이 해제되어, 상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것은 상기 노광용 필름 마스크 중 하측의 것 상에 전체적으로 겹쳐지고, 상기 승강 흡착 부재(140)의 상기 흡착체(141)는 상기 노광용 필름 마스크와 이격되도록 상승된 상태로 된다.In this state, the adsorption of the lifting and lowering adsorption member 140 to the upper one of the exposure film masks by the adsorption body 141 is released, and the upper one of the exposure film masks becomes the lower one of the exposure film masks. The entire surface is overlapped, and the absorption body 141 of the lifting absorption member 140 is raised to be spaced apart from the exposure film mask.
이러한 상태에서, 상기 융착 부재(150)의 상기 필름 융착 수단(151)이 상기 노광용 필름 마스크에 접근되어 두 장의 상기 노광용 필름 마스크의 가장자리 부분의 복수 지점을 융착시켜 준다.In this state, the film fusion means 151 of the fusion member 150 approaches the exposure film mask and fuses a plurality of points at the edges of the two exposure film masks.
상기와 같이, 상기 노광용 필름 마스크 얼라인 장치(100)가 상기 테이블 부재(110)와, 상기 승강 흡착 부재(140)와, 상기 정렬 상태 촬영 부재(130)와, 상기 테이블 이동 부재(120)를 포함함에 따라, 인쇄회로기판의 제작 시의 노광 공정에 적용되는 두 장의 상기 노광용 필름 마스크의 얼라인이 자동으로 맞추어질 수 있게 된다.As described above, the exposure film mask alignment device 100 includes the table member 110, the lifting and lowering adsorption member 140, the aligned state photographing member 130, and the table moving member 120. By including it, the alignment of the two exposure film masks applied in the exposure process when manufacturing a printed circuit board can be automatically aligned.
상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.Although the present invention has been shown and described in relation to specific embodiments in the above, those skilled in the art can modify the present invention in various ways without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims below. You will see that it can be changed. However, we would like to make it clear that all such modifications and modified structures are included within the scope of the present invention.
본 발명의 일 측면에 따른 노광용 필름 마스크 얼라인 장치에 의하면, 인쇄회로기판의 제작 시의 노광 공정에 적용되는 두 장의 노광용 필름 마스크의 얼라인이 자동으로 맞추어질 수 있도록 할 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.According to the exposure film mask alignment device according to one aspect of the present invention, the alignment of two exposure film masks applied in the exposure process when manufacturing a printed circuit board can be automatically aligned, thereby improving the industrial efficiency. I would say it has high availability.
100 : 노광용 필름 마스크 얼라인 장치
110 : 테이블 부재
120 : 테이블 이동 부재
130 : 정렬 상태 촬영 부재
140 : 승강 흡착 부재
150 : 융착 부재100: Film mask alignment device for exposure
110: Table member
120: Table movement member
130: Alignment shooting member
140: lifting adsorption member
150: fusion member
Claims (4)
상기 테이블 부재에 올려진 상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것의 일 측 모서리부를 흡착하여 들어올려 주는 승강 흡착 부재;
상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것에서 상기 승강 흡착 부재에 의해 들어올려진 부분과 상기 노광용 필름 마스크 중 하측의 것을 함께 촬영하여, 두 장의 상기 노광용 필름 마스크의 정렬 상태를 확인하는 정렬 상태 촬영 부재; 및
상기 정렬 상태 촬영 부재에 의해 확인된 두 장의 상기 노광용 필름 마스크의 정렬 상태에 따라, 상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것이 상기 승강 흡착 부재에 의해 흡착되고 상기 노광용 필름 마스크 중 하측의 것이 상기 테이블 부재에 의해 흡착된 상태에서, 두 장의 상기 노광용 필름 마스크가 요구되는 정렬 수준으로 정렬되도록 상기 테이블 부재를 이동시켜 주는 테이블 이동 부재;를 포함하고,
상기 테이블 부재 상에 두 장의 상기 노광용 필름 마스크가 놓이고, 상기 노광용 필름 마스크 중 하측의 것이 상기 테이블 부재에 흡착된 상태에서, 상기 승강 흡착 부재가 하강되어 상기 테이블 부재에 올려진 상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것의 일 측 모서리부를 흡착한 다음 상기 승강 흡착 부재가 소정 높이 상승되어 상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것의 일 측 모서리부가 들어올려지게 되고,
상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것의 일 측 모서리부가 들어올려진 상태에서, 상기 정렬 상태 촬영 부재가 촬영을 하게 되고, 상기 정렬 상태 촬영 부재에 의해 촬영된 촬영 정보를 이용하여, 상기 테이블 이동 부재가 상기 테이블 부재를 전후좌우 방향으로 이동시켜, 상기 테이블 부재에 흡착된 상기 노광용 필름 마스크 중 하측의 것이 상기 승강 흡착 부재에 의해 흡착된 상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것에 대해 상대적으로 전후좌우 방향으로 이동되면서, 두 장의 상기 노광용 필름 마스크의 정렬 상태가 맞추어지고,
두 장의 상기 노광용 필름 마스크의 정렬 상태가 맞추어진 상태에서, 상기 승강 흡착 부재에 의한 상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것에 대한 흡착이 해제되어, 상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것은 상기 노광용 필름 마스크 중 하측의 것 상에 전체적으로 겹쳐지게 되는 것을 특징으로 하는 노광용 필름 마스크 얼라인 장치.A table member on which two exposure film masks applied in the exposure process when manufacturing a printed circuit board are placed overlapping each other, and which adsorbs the lower one of the exposure film masks;
a lifting and lowering adsorption member that adsorbs and lifts one corner of an upper one of the exposure film masks placed on the table member;
An alignment state photographing member that confirms the alignment of the two exposure film masks by photographing the upper one of the exposure film masks lifted by the lifting and adsorbing member and the lower one of the exposure film masks; and
According to the alignment state of the two exposure film masks confirmed by the alignment state photographing member, the upper one of the exposure film masks is adsorbed by the lifting and lowering adsorption member, and the lower one of the exposure film masks is absorbed by the table member. In the adsorbed state, a table moving member that moves the table member so that the two exposure film masks are aligned at the required level of alignment;
In a state where the two exposure film masks are placed on the table member, and the lower one of the exposure film masks is adsorbed on the table member, the lifting and suction member is lowered to select one of the exposure film masks placed on the table member. After adsorbing one corner of the upper one, the lifting and lowering adsorption member is raised to a predetermined height to lift one corner of the upper one of the exposure film masks,
In a state where one corner of the upper one of the exposure film masks is lifted, the aligned photographing member takes a photograph, and using the photographing information photographed by the aligned photographing member, the table moving member moves the table. By moving the member in the forward, left, and right directions, the lower one of the exposure film masks adsorbed on the table member is moved in the forward, left, and right directions relative to the upper one of the exposure film masks adsorbed by the lifting and lowering adsorption member, and the two The alignment of the exposure film mask in the field is adjusted,
In a state in which the two exposure film masks are aligned, the adsorption of the upper one of the exposure film masks by the lifting and lowering adsorption member is released, and the upper one of the exposure film masks is released from the lower one of the exposure film masks. A film mask alignment device for exposure, characterized in that it is entirely overlapped on the mask.
상기 정렬 상태 촬영 부재는 상기 노광용 필름 마스크의 복수의 지점을 각각 촬영하도록 복수 개 배치되고,
상기 승강 흡착 부재는
상기 테이블 부재에 올려진 상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것의 일 측 모서리부를 흡착하는 흡착체와,
상기 흡착체에 의해 흡착된 상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것의 일 측 모서리부가 들어올려질 수 있도록, 상기 흡착체를 승강시키는 흡착 승강 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 노광용 필름 마스크 얼라인 장치.According to claim 1,
A plurality of aligned state photographing members are arranged to respectively photograph a plurality of points on the exposure film mask,
The lifting and lowering adsorption member is
an adsorbent for adsorbing one corner of an upper one of the exposure film masks placed on the table member;
A film mask alignment device for exposure, characterized by comprising an adsorption lifting means for elevating the absorber so that one corner of the upper one of the exposure film masks adsorbed by the absorber can be lifted.
상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것의 일 측 모서리부를 소정 길이로 길게 흡착할 수 있도록, 상기 흡착체는 상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것의 일 측 모서리부를 따라 소정 길이로 길게 형성되어, 상기 흡착체의 길이 방향으로 길게 상기 노광용 필름 마스크 중 상측의 것의 일 측 모서리부를 흡착시키는 것을 특징으로 하는 노광용 필름 마스크 얼라인 장치.According to claim 2,
In order to adsorb one edge of the upper one of the exposure film masks to a predetermined length, the absorber is formed to be long along one edge of the upper one of the exposure film masks to a predetermined length, so that the adsorbent is long. A film mask alignment device for exposure, characterized in that the edge of one side of the upper one of the exposure film masks is adsorbed along the direction.
상기 노광용 필름 마스크 얼라인 장치는
상기 테이블 이동 부재에 의해 상기 테이블 부재가 이동되면서 두 장의 상기 노광용 필름 마스크가 상기 요구되는 정렬 수준으로 정렬된 상태가 고정될 수 있도록, 두 장의 상기 노광용 필름 마스크의 가장자리 부분의 복수 지점을 융착시켜 주는 융착 부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 노광용 필름 마스크 얼라인 장치.According to claim 1,
The exposure film mask alignment device is
As the table member is moved by the table moving member, a plurality of points on the edges of the two exposure film masks are fused so that the two exposure film masks are fixed at the required alignment level. A film mask alignment device for exposure, further comprising a fusion member.
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| E701 | Decision to grant or registration of patent right |