KR102513200B1

KR102513200B1 - 액적 검사 장치

Info

Publication number: KR102513200B1
Application number: KR1020210013924A
Authority: KR
Inventors: 지준배
Original assignee: (주)에스티아이
Priority date: 2021-02-01
Filing date: 2021-02-01
Publication date: 2023-03-23
Anticipated expiration: 2041-02-01
Also published as: KR20220110921A

Abstract

액적 검사 장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 액적 검사 장치는, 갠트리를 따라 제1 방향으로 이동 가능하도록 지지되고, 상기 제1 방향에서 제1 간격으로 복수의 노즐이 형성된 잉크젯 헤드에서 토출되어, 착탄된 액적의 특성을 검사하기 위한 액적 검사 장치에 있어서, 상기 액적이 착탄 가능한 측정 플레이트; 및 상기 측정 플레이트의 하부에 상기 노즐과 나란히 배열 가능하게 상기 제1 간격으로 이격 배치되고, 상기 액적의 무게를 측정 가능한 복수의 하중 검출 패드를 포함할 수 있다.

Description

액적 검사 장치{INK DROPLET INSPECTING APPARATUS}

본 발명은 액적 검사 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 잉크젯 헤드에서 토출, 착탄된 액적의 특성을 검사할 수 있는 액적 검사 장치에 관한 것이다.

잉크젯 기술이 발전함에 따라 종이에 활자 등을 출력하는 경우는 물론, 잉크 등의 액적을 토출하여 박막 형성이나 패터닝으로 디스플레이 장치의 제조 공정에 사용되는 등 다양한 분야에서 활용되고 있다.

잉크젯 기술을 응용한 잉크젯 프린트 시스템에서는, 잉크젯 헤드에서 토출된 액적이 원하는 형상대로 기판에 착탄되는지 여부를 판단하는 액적 검사가 필요하다.

종래에는 액적 검사 장치로 잉크젯 헤드에서 토출된 액적을 낙하 중 실시간 검사하는 드롭 왓쳐(drop watcher)를 사용하였다.

드롭 왓쳐는, 잉크젯 헤드에서 토출되어 낙하하는 액적의 형상, 속도, 체적 등을 측정하는 3차원 측정 장비이다. 드롭 왓쳐는, 고가의 장비로 비용 부담이 크고 잉크젯 프린트 시스템에 구비시 설치 공간상 제약이 큰 문제점이 있었다.

또한 관측이 용이한 파형(waveform)을 가지는 잉크를 드롭 왓쳐로 측정할 경우, 실제 잉크젯 프린트 시스템에서 토출되는 액적과는 체적 등 특성이 서로 상이해 측정 정확도가 떨어지며, 광량과 드롭 왓쳐의 설치 위치에 따라 체적 값이 일정하지 않는 문제점이 있었다.

나아가 낙하 도중 액적을 분석하는 액적 검사 장치들의 경우, 낙하 도중 기류에 의한 흔들림으로 잉크젯 헤드의 제팅 직진성을 저해하고, 이의 안정성을 위해 외부 환경을 제어해야 하는데 어려움이 있었다.

한국공개공보 제10-2019-0100008호(공개일자: 2019.08.28.)

본 발명이 해결하고자 하는 일 기술적 과제는, 노즐에서 토출, 일면에 착탄된 액적을 임의 노즐 단위로 미소 액적 특성의 정밀한 분석이 가능하며 고가의 장비를 대체하여 측정 방식을 용이하게 한 액적 검사 장치를 제공하는 데 있다.

상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 액적 검사 장치를 제공한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 액적 검사 장치는, 갠트리를 따라 제1 방향으로 이동 가능하도록 지지되고, 상기 제1 방향에서 제1 간격으로 복수의 노즐이 형성된 잉크젯 헤드에서 토출되어, 착탄된 액적의 특성을 검사하기 위한 액적 검사 장치에 있어서, 상기 노즐로부터 토출된 상기 액적이 착탄 가능한 측정 플레이트; 상기 측정 플레이트의 하부에 배치되되 상기 제1 방향을 따라 서로 이격 마련되어, 상기 액적의 무게를 측정 가능한 하중 검출 패드; 및 상기 측정 플레이트를 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 위치 이동 가능한 스테이지를 포함하고, 상기 잉크젯 헤드는 수직 방향에서 상기 스테이지에 대향하도록 상기 제1 방향에서 위치 결정되고 상기 스테이지의 이동에 동기하여 상기 노즐 단위로 상기 액적을 상기 측정 플레이트에 토출하고, 상기 하중 검출 패드는 어느 하나의 상기 노즐에서 토출되되 상기 스테이지의 이동에 따라 상기 제2 방향으로 열을 이루며 상기 측정 플레이트에 착탄된 상기 액적의 무게를 측정할 수 있다.

일 실시예에 따르면, n차 열의 상기 하중 검출 패드는 n번째의 상기 노즐에서 x번째 토출되어 상기 측정 플레이트에 x번째 착탄된 액적에 이르기까지 상기 제2 방향으로 열을 이루며 순차 착탄된 액적들의 무게를 측정할 수 있다.

일 실시예에 따르면, n차 열의 상기 하중 검출 패드는 n번째의 상기 노즐에서 x+1번째 토출되어 상기 측정 플레이트에 상기 제2 방향으로 열을 이루며 착탄된 상기 액적들 중, x+1번째로 상기 측정 플레이트에 착탄된 상기 액적의 무게는 상기 측정 플레이트에 착탄된 x번째까지의 액적들의 무게를 제한 무게일 수 있다.

일 실시예에 따르면 상기 하중 검출 패드가 측정한 상기 액적의 무게를 환산해 상기 액적의 체적을 구하는 프로세서를 더 포함할 수 있다.

일 실시예에 따르면 상기 측정 플레이트에 착탄된 상기 액적에 상응하는 액적 영상을 생성하는 카메라 모듈을 더 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 기판에 준하는 높이 조건으로 구현한 측정 플레이트에 액적을 착탄해 실제 잉크젯 프린팅 환경에 준해 액적의 무게를 측정함으로써, 액적에 관한 측정 결과의 신뢰성을 높일 수 있는 이점이 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 측정 플레이트의 하면에 마련된 하중 검출 패드가 노즐의 이격 거리에 상응하도록 이격 마련됨으로써, 액적의 무게는 물론 노즐별 잉크 토출에 따른 위치 정보, 미스트 형성 여부 등 액적 거동을 분석할 수 있는 이점이 있다.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 측정 플레이트에 착탄된 액적의 특성을 추적해 각 노즐 별 토출량과 토출 횟수를 보완할 수 있는 프로세서를 구비함으로써, 각 액적 별 균일성(uniformity)를 높임과 동시에 잉크젯 프린팅 성능을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 시스템을 보여주는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 시스템을 보여주는 평면도이다.
도 3(a)는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드에 형성된 노즐을 보여주는 저면도이고, 도 3(b)는 본 발명의 일 실시예에 따라 착탄된 액적을 보여주는 평면도이다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명할 것이다. 그러나 본 발명의 기술적 사상은 여기서 설명되는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 통상의 기술자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.

본 명세서에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소 상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 구성요소가 개재될 수도 있다는 것을 의미한다. 또한, 도면들에 있어서, 형상 및 크기는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.

또한, 본 명세서의 다양한 실시예들에서 제1, 제2, 제3 등의 용어가 다양한 구성요소들을 기술하기 위해서 사용되었지만, 이들 구성요소들이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이들 용어들은 단지 어느 구성요소를 다른 구성요소와 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 따라서 어느 한 실시예에 제 1 구성요소로 언급된 것이 다른 실시예에서는 제 2 구성요소로 언급될 수도 있다. 여기에 설명되고 예시되는 각 실시예는 그것의 상보적인 실시예도 포함한다. 또한, 본 명세서에서 '및/또는'은 전후에 나열한 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용되었다.

명세서에서 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다. 또한, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 배제하는 것으로 이해되어서는 안 된다. 또한, 본 명세서에서 "연결"은 복수의 구성 요소를 간접적으로 연결하는 것, 및 직접적으로 연결하는 것을 모두 포함하는 의미로 사용된다.

또한, 하기에서 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다.

이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 방향은 직교 좌표계의 X축을 지칭하고, 제2 방향은 직교 좌표계의 Y축을 지칭하기로 한다. 이때 제1 방향은 제2 방향과 직교한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 시스템(1)을 보여주는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 시스템(1)을 보여주는 평면도이며, 도 3(a)는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드(20)에 형성된 노즐(21)을 보여주는 저면도이고, 도 3(b)는 본 발명의 일 실시예에 따라 착탄된 액적(D)을 보여주는 평면도이다.

이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 액적 검사 장치(30)를 구성하는 각 구성요소에 대하여 상세히 설명하도록 한다.

도 1 내지 도 3(b)를 참조하면 본 발명의 일 실시예에 따른 액적 검사 장치(30)는, 후술할 잉크젯 프린트 시스템(1) 중 잉크젯 헤드(100)에서 토출되어, 측정 플레이트(100)에 착탄된 액적(D)의 체적 등 특성을 검사할 수 있다.

액적 검사 장치(30)는, 측정 플레이트(100)과 하중 검출 패드(200)를 포함하고, 나아가 스테이지(300)와 프로세서(400), 카메라 모듈(500)을 포함할 수 있다.

이때 잉크(I)는, 아크릴계, 에폭시계, 실리콘계 또는 고무계의 레진 중 어느 하나 또는 이들의 혼합물일 수 있으며, 바람직하게는 UV 광에 의해 경화 가능한UV 경화성 레진일 수 있다.

다시 도 1 내지 도 3(b)를 참조하면 측정 플레이트(100)에는 액적이 착탄될 수 있다. 측정 플레이트(100)의 상면은 평탄하게 제공될 수 있다. 즉 노즐(21)별 착탄된 액적(D)의 착탄되는 조건을 동일하게 하기 위하여 각각의 노즐(21)이 형성된 잉크젯 헤드(20)의 일면과 측정 플레이트(100) 사이의 높이는 동일하도록 측정 플레이트(100)는 평탄하게 제공될 수 있다. 측정 플레이트(100)는, 잉크젯 프린트 시스템(1)에 의해 피토출되어 일정 두께의 박막이 형성되는 기판(미도시)에 대응되는 크기를 가질 수 있다.

일 실시예에 따른 측정 플레이트(100)는, 소수성 보호막이 형성되어 착탄된 액적(D)의 흡수를 최소화할 수 있다. 일 실시예에 따르면 측정 플레이트(100)은, 스핀 코팅에 의해 소수성 보호막이 형성될 수 있다. 다른 실시예에 다르면 측정 플레이트(100)은, 액적 흡수를 최소화하기 위해 균일한 표면 거칠기를 가질 수 있다. 또 다른 실시예에 따르면 측정 플레이트(100)은, 연마에 따른 표면 평탄화 공정을 거칠 수 있다.

측정 플레이트(200)의 표면이 소수성 성질을 가짐으로써, 착탄된 액적(D)은 측정 플레이트(200) 상에 반구형의 형상으로 형성될 수 있다.

다시 도 1 내지 도 3(b)를 참조하면 하중 검출 패드(200)는, 단위 액적별 착탄된 액적(D)의 무게를 측정할 수 있다. 단위 액적은, 기설정된 토출 횟수만큼 노즐(21)에서 토출, 착탄된 액적(D)들로 적어도 1회 이상 노즐(21)에서 토출 착탄되어 이루어질 수 있다.

하중 검출 패드(200)는, 액적 착탄면인, 측정 플레이트(100)의 상면이 평탄하게 제공되도록 측정 플레이트(100)의 하부에 마련될 수 있다. 제1 방향을 따라 하중 검출 패드(200)는 서로 이격 마련되고, 제2 방향으로 하중 검출 패드(200)는 측정 플레이트(100)의 일 방향 길이에 상응하는 길이를 가질 수 있다. 제2 방향으로 스테이지(300)의 위치 이동에 따라 잉크젯 헤드(20)와 직교하는 측정 플레이트(100) 및 하중 검출 패드(200)의 위치가 달라질 수 있다. 즉 제2 방향의 액적 간에는 스테이지(300)의 이동에 따른 시간차에 따른 액적 간 위치 확인이 가능할 수 있다.

하중 검출 패드(200)는, 단위 위치 영역별 무게를 측정할 수 있는 장치로써 로드셀 또는 면압측정기가 이에 해당될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.

일 실시예에 따른 하중 검출 패드(200)가 면압측정기인 경우, 매트릭스 형태로 분포하며 각각의 픽셀 단위로 위치 압력을 측정할 수 있다. 측정된 위치 압력을 토대로 픽셀별 단위면적에 따른 무게를 획득할 수 있다.

서로 다른 하중 검출 패드(200)는, 제1 방향을 따라 제1 간격으로 이격 배치될 수 있다. 이때 하중 검출 패드(200)의 이격 거리인 제1 간격은, 잉크젯 헤드(20)에 제1 방향에서 제1 간격으로 이격 형성된 노즐(21)의 이격 거리와 같을 수 있다.

제1 간격은, 잉크젯 헤드(20)에 형성되고 n번째, n+1번째(m번째, 즉 m은 n+1과 같다) 노즐(21)을 포함한 복수의 노즐들 간 노즐(21)의 이격 거리에 대응될 수 있다. 제1 간격은, 같은 시간(t1)에 동시에 잉크(I)를 토출 가능한 노즐(21)별 무게를 측정하기 위해 각 노들(21)들 간 서로 구별할 수 있는 최소한의 이격 거리에 대응될 수 있다. 일 실시예에 따르면 제1 간격은, n번째 노즐(21)과 n+1번째(m번째) 노즐(21) 간의 거리에 대응될 수 있다.

일 실시예에 따른 n차 열의 하중 검출 패드(200)는, n번째의 노즐(21)에서 x번째 토출되어 측정 플레이트(100)에 x번째 착탄된 액적(D)에 이르기까지 제2 방향으로 열을 이루며 순차적으로 착탄된 액적(D)들의 무게를 측정할 수 있다. n차 열의 하중 검출 패드(200)는, 제1 방향에서 측정 플레이트(100)의 하부에 n번째에 위치하고, 제1 방향에서 n차 열의 하중 검출 패드(200)는, n번째의 노즐(21)에 상호 대향되도록 수직 방향으로 나란히 마련될 수 있다. 일 실시예에 따른 m차 열의 하중 검출 패드(200)는, m차 열의 노즐(21)에서 x번째 토출되어 측정 플레이트(100)에 x번째 착탄된 액적(D)에 이르기까지 제2 방향으로 열을 이루며 순차적으로 착탄된 액적들의 무게를 측정할 수 있다. m차 열의 하중 검출 패드(200)는, 제1 방향에서 측정 플레이트(100)의 하부에 m번째에 위치하고, 제1 방향에서 m차 열의 하중 검출 패드(200)는, m번째의 노즐(21)에 상호 대향하도록 수직 방향으로 나란히 마련될 수 있다.

다시 도 1과 도 2를 참조하면 스테이지(300)는, 측정 플레이트(100)와 하중 검출 패드(200)를 지지하고, 제2 방향으로 전후 위치 이동시킬 수 있다.

스테이지(300)의 위치 이동에 따라, 제2 방향에서 x+1번째(y번째, 즉 y은 x+1과 같다) 착탄된 액적(D)은, 직전 x번째 착탄된 액적(D)과 시간 차를 둔 만큼, x번째 착탄된 액적(D)과 이시(different time)에 착탄될 수 있다. 이때 특정 하중 검출 패드(200)에서 측정한 복수의 착탄된 액적(D)들 전체 무게 중 y번째 착탄된 액적(D)의 무게는, x번째 착탄된 액적(D)에 이르기까지 착탄된 액적(D)들의 무게를 제한 무게일 수 있다.

다시 도 1과 도 2를 참조하면 프로세서(400)는, 하중 검출 패드(200)가 측정한 착탄된 액적(D)의 무게로부터 착탄된 액적(D)의 체적을 구할 수 있다.

일 실시예에 따른 프로세서(400)는, 아래 수학식 1을 토대로, 기 제공된 잉크(I)의 밀도값과 단위 노즐의 액적 토출 횟수를 가지고, 특정 단위 노즐(21)에서 착탄된 액적(D)의 무게를 체적으로 연산할 수 있다.

[수학식 1]

또한 프로세서(400)는, 후술할 카메라 모듈(500)의 영상 정보를 획득해 노즐(21)의 토출구 막힘 등을 점검하기 위해 복수개의 노즐(21)이 형성된 잉크젯 헤드(20) 단위에서 노즐(21)의 비정상 또는 미토출 여부를 사전에 점검할 수 있다.

다시 도 1과 도 2를 참조하면 카메라 모듈(500)은, 측정 플레이트(100)와 하중 검출 패드(200)에 의해 획득한 액적 특성 정보를 보완적으로 점검할 수 있는 영상 정보를 생성할 수 있다. 카메라 모듈(500)은, 잉크젯 헤드(20)의 토출 공정 전 또는 공정 중 자동 또는 수동으로 설정된 시간 간격에 따라 영상 정보를 생성할 수 있다.

일 실시예에 따른 카메라 모듈(500)은, 잉크(I) 토출 전 노즐(21)의 상태 점검을 위한 영상 정보를 생성할 수 있다. 카메라 모듈(500)은, 프로세서(400)에 영상 정보를 제공할 수 있다.

이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 액적 검사 장치(30)를 포함하는 잉크젯 프린트 시스템(1)에 대해 설명하기로 한다.

다시 도 1과 도 2를 참조하면 잉크젯 프린트 시스템(1)은, 갠트리(10)와 잉크젯 헤드(20), 액적 검사 장치(30)를 포함할 수 있다.

다시 도 1과 도 2를 참조하면 갠트리(10)는, 잉크젯 헤드(20)를 지지할 수 있다. 갠트리(10)는, 액적 검사 장치(30) 중, 측정 플레이트(100)에 대응되는 면적만큼 잉크젯 헤드(20)의 이동 경로를 제공할 수 있다.

다시 도 1 내지 도 3(b)를 참조하면 잉크젯 헤드(20)는, 갠트리(10) 상에서 헤드 구동부(미도시)의 구동에 의해 측정 플레이트(100)의 전면적을 따라 제1 방향으로 이동하며 임의 위치상으로 이동할 수 있다. 잉크젯 헤드(20)는 수직 방향에서 스테이지(300)에 대항하도록 제1 방향에서 위치 결정될 수 있다.

잉크젯 헤드(20)는, 노즐(21) 단위로 측정 플레이트(100)상에 액적을 토출할 수 있다. 보다 구체적으로 잉크젯 헤드(20)는, 제1 방향에서 위치 결정되고, 스테이지(200)의 이동에 동기하여 노즐(21) 단위로 액적(D)을 토출할 수 있다. 잉크젯 헤드(20)는, 임의 위치에서 토출되는 잉크의 용량, 토출 횟수 등을 조절하여 측정 플레이트(100)에 액적(D)을 토출할 수 있다. 헤드 구동부(미도시)는, 노즐(21)를 포함하여 잉크젯 헤드(20)의 1회 토출량, 토출 횟수 또는 일부 노즐의 개폐 여부 등을 조절할 수 있다.

잉크젯 헤드(20)는, 수십, 수천 개의 노즐(21)과 액적 토출 경로상 잉크 공급부(미도시)를 포함할 수 있다.

노즐(21)은, 미세 크기의 잉크(I)를 액적 형태로 토출할 수 있다.

잉크 공급부(미도시)는, 갠트리(700) 상에 설치되거나 잉크젯 헤드(20) 내부에 마련될 수 있다.

이상, 본 발명을 바람직한 실시예를 사용하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 범위는 특정 실시예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 이해하여야 할 것이다.

1 : 잉크젯 프린트 시스템
10 : 갠트리
20 : 잉크젯 헤드 21 : 노즐
30 : 액적 검사 장치
100 : 측정 플레이트
200 : 하중 검출 패드
300 : 스테이지
400 : 프로세서
500 : 카메라 모듈
I : 잉크
D 착탄된 액적

Claims

갠트리를 따라 제1 방향으로 이동 가능하도록 지지되고, 상기 제1 방향에서 제1 간격으로 복수의 노즐이 형성된 잉크젯 헤드에서 토출되어, 착탄된 액적의 특성을 검사하기 위한 액적 검사 장치에 있어서,
상기 노즐로부터 토출된 상기 액적이 착탄 가능한 측정 플레이트;
상기 측정 플레이트의 하부에 배치되되 복수개가 상기 제1 방향을 따라 서로 이격 마련되어, 상기 액적의 무게를 측정 가능한 하중 검출 패드; 및
상기 측정 플레이트를 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 위치 이동 가능한 스테이지를 포함하고,
상기 잉크젯 헤드는 수직 방향에서 상기 스테이지에 대향하도록 상기 제1 방향에서 위치 결정되고 상기 스테이지의 이동에 동기하여 상기 노즐 단위로 상기 액적을 상기 측정 플레이트에 토출하고,
상기 하중 검출 패드는 어느 하나의 상기 노즐에서 토출되되 상기 스테이지의 이동에 따라 상기 제2 방향으로 열을 이루며 상기 측정 플레이트에 착탄된 상기 액적의 무게를 측정 가능한, 액적 검사 장치.
제 1 항에 있어서,
n차 열의 상기 하중 검출 패드는 n번째의 상기 노즐에서 x번째 토출되어 상기 측정 플레이트에 x번째 착탄된 액적에 이르기까지 상기 제2 방향으로 열을 이루며 순차적으로 착탄된 액적들의 무게를 측정 가능한, 액적 검사 장치.
제 1 항에 있어서,
n차 열의 상기 하중 검출 패드는 n번째의 상기 노즐에서 x+1번째 토출되어 상기 측정 플레이트에 상기 제2 방향으로 열을 이루며 착탄된 상기 액적들 중, x+1번째로 상기 측정 플레이트에 착탄된 상기 액적의 무게는 상기 측정 플레이트에 착탄된 x번째까지의 액적들의 무게를 제한 무게인, 액적 검사 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 하중 검출 패드가 측정한 상기 액적의 무게를 환산해 상기 액적의 체적을 구하는 프로세서를 더 포함하는, 액적 검사 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 측정 플레이트에 착탄된 상기 액적에 상응하는 액적 영상을 생성하는 카메라 모듈을 더 포함하는, 액적 검사 장치.