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KR102449001B1 - 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 - Google Patents

기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 Download PDF

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KR102449001B1
KR102449001B1 KR1020217006649A KR20217006649A KR102449001B1 KR 102449001 B1 KR102449001 B1 KR 102449001B1 KR 1020217006649 A KR1020217006649 A KR 1020217006649A KR 20217006649 A KR20217006649 A KR 20217006649A KR 102449001 B1 KR102449001 B1 KR 102449001B1
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slot
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inversion
processing
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신지 야마모토
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가부시키가이샤 스크린 홀딩스
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Abstract

제1 및 제2 반전부(41a, 41b)의 각각은, 송출 슬롯과, 취입(取入) 슬롯과, 반전 기구를 구비한다. 반전 기구는, 송출 슬롯 및 취입 슬롯을 일체적으로 반전함으로써, 송출 슬롯을 하측에 배치한 송출 자세와, 취입 슬롯을 하측에 배치한 취입 자세를 전환한다. 인덱서 로봇(3)이, 미처리 기판(9)을 송출 자세의 제1 또는 제2 반전부의 송출 슬롯에 삽입하고, 센터 로봇(5)이, 처리 완료 기판을 취입 자세의 제1 또는 제2 반전부의 취입 슬롯에 삽입한다. 이에 의해, 처리 완료 기판이 오염되는 것이 억제된다. 고(高)가동 상태에서는, 송출 슬롯 및 취입 슬롯에 기판이 삽입되어 있지 않고, 또한, 취입 자세인 제1 또는 제2 반전부를 송출 자세로 하고, 당해 반전부의 송출 슬롯에 미처리 기판이 삽입된다. 이에 의해, 복수의 기판이 효율적으로 처리된다.

Description

기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
본 발명은, 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 관한 것이다.
종래, 반도체 디바이스의 제조에서는, 반도체 기판(이하, 간단히 「기판」이라고 한다.)에 대해서 여러가지 처리를 행하는 기판 처리 장치가 이용되고 있다. 예를 들면, 일본국 특허 제4744426호 공보(문헌 1)의 기판 처리 장치에서는, 반전 유닛에 있어서 기판의 표면과 이면이 반전되고, 이면 세정 유닛에 있어서 이면의 세정이 행해진다. 또, 당해 기판 처리 장치에서는, 인덱서 로봇과 메인 로봇 사이에, 2개의 반전 유닛이 설치되고, 제1의 반전 유닛이 처리 전의 기판의 수도(受渡) 시에 이용되고, 제2의 반전 유닛이 처리 후의 기판의 수도 시에 이용된다. 이에 의해, 기판의 수도 시에, 처리 후의 기판이 처리 전의 기판에 의해 오염되는 것이 방지된다.
또한, 일본국 특허 제6331698호 공보의 기판 처리 장치에서는, 반입용 기판 수용기에 있어서, 서로 이웃하는 복수의 수용 위치를 수용 블록으로 하고, 복수의 수용 블록을 설치하여, 처리 완료 기판을 반입용 기판 수용기에 반입할 때에, 동일한 프로세스 잡에 대응하는 기판의 수용 위치를 공통의 수용 블록으로 하는 수법이 개시되어 있다. 또, 청정도가 높은 기판의 상방에, 청정도가 낮은 기판이 수용되는 것을 방지하고, 더스트의 낙하에 의한 기판 오염을 억제하는 수법도 개시되어 있다.
그런데, 문헌 1의 기판 처리 장치에서는, 예를 들면, 복수의 기판에 대한 처리를 개시할 때에, 1개의 반전 유닛만을 이용하여 처리 전의 기판을 반전하게 되기 때문에, 복수의 기판의 세정 유닛으로의 반송에 장시간을 요하게 된다. 복수의 기판의 세정 유닛으로의 반송에 있어서, 2개의 반전 유닛을 이용하는 것도 생각된다. 그러나, 이 경우, 처리 전의 기판의 반전, 및, 처리 완료 기판의 반전이, 동일한 반전 유닛에 의해 행해지게 되기 때문에, 처리 전의 기판의 더스트가 반전 유닛을 통해 처리 완료 기판에 부착되어, 처리 완료 기판이 오염될 가능성이 있다.
본 발명은, 기판 처리 장치를 위한 것이며, 처리 완료 기판이 오염되는 것을 억제하면서, 복수의 기판을 효율적으로 처리하는 것을 목적으로 하고 있다.
본 발명에 따른 기판 처리 장치는, 복수의 기판을 수납하는 수납 용기가 재치(載置)되는 용기 재치부와, 각각이 기판에 대해서 처리를 행하는 복수의 처리부를 갖는 처리 유닛과, 상기 용기 재치부와 상기 처리 유닛 사이에 배치되고, 기판을 반전하는 제1 반전부와, 상기 용기 재치부와 상기 처리 유닛 사이에 배치되고, 기판을 반전하는 제2 반전부와, 상기 수납 용기와 상기 제1 및 제2 반전부 사이에서 기판을 반송하는 용기 측 반송부와, 상기 제1 및 제2 반전부와 상기 복수의 처리부 사이에서 기판을 반송하는 처리부 측 반송부와, 상기 제1 반전부, 상기 제2 반전부, 상기 용기 측 반송부 및 상기 처리부 측 반송부를 제어함으로써, 상기 수납 용기 내의 미처리 기판을 상기 제1 또는 제2 반전부에서 반전하여 어느 한 처리부에 반입함과 더불어, 상기 처리부에 의한 처리 완료 기판을 상기 제1 또는 제2 반전부에서 반전하여 상기 수납 용기 내로 되돌리는 제어부를 구비하고, 각 반전부가, 상기 용기 측 반송부에 의해 상기 수납 용기 내의 미처리 기판이 삽입되는 송출 슬롯과, 상기 처리부 측 반송부에 의해 상기 처리부에 의한 처리 완료 기판이 삽입되는 취입(取入) 슬롯과, 상기 송출 슬롯 및 상기 취입 슬롯을 일체적으로 반전함으로써, 상기 용기 측 반송부에 의한 미처리 기판의 삽입에 대응지어진 위치에 상기 송출 슬롯을 배치한 송출 자세와, 상기 처리부 측 반송부에 의한 처리 완료 기판의 삽입에 대응지어진 위치에 상기 취입 슬롯을 배치한 취입 자세를 전환하는 반전 기구를 구비하고, 상기 제어부의 지령에 의해, 상기 용기 측 반송부가, 상기 수납 용기 내의 미처리 기판을 상기 송출 자세의 상기 제1 또는 제2 반전부의 상기 송출 슬롯에 삽입하고, 상기 처리부 측 반송부가, 상기 처리부에 의한 처리 완료 기판을 상기 취입 자세의 상기 제1 또는 제2 반전부의 상기 취입 슬롯에 삽입하고, 어느 한 처리부에 있어서의 처리의 완료를 기다려 당해 처리부로 반송되어야 할 미처리 기판이 상기 수납 용기 내에 존재하는 고(高)가동 상태에 있어서, 상기 제어부가, 상기 송출 슬롯 및 상기 취입 슬롯에 기판이 삽입되어 있지 않고, 또한, 상기 취입 자세인 상기 제1 또는 제2 반전부를 상기 송출 자세로 하고, 상기 송출 자세가 된 상기 제1 또는 제2 반전부의 상기 송출 슬롯에, 상기 용기 측 반송부에 의해 상기 미처리 기판을 삽입한다.
본 발명에 의하면, 처리 완료 기판이 오염되는 것을 억제하면서, 복수의 기판을 효율적으로 처리할 수 있다.
본 발명의 하나의 바람직한 형태에서는, 상기 고가동 상태에 있어서, 상기 제1 및 제2 반전부 중, 한쪽의 반전부의 상기 송출 슬롯 및 상기 취입 슬롯에 기판이 삽입되어 있지 않고, 또한, 상기 한쪽의 반전부가 상기 취입 자세가 되어 있고, 더욱이, 다른 쪽의 반전부의 상기 송출 슬롯에 미처리 기판이 삽입되는 경우에, 상기 제어부가, 상기 한쪽의 반전부를 상기 송출 자세로 한다.
본 발명의 다른 바람직한 형태에서는, 상기 각 반전부의 상기 송출 자세에 있어서, 상기 송출 슬롯이 상기 취입 슬롯의 하방에 위치하거나, 또는, 상기 각 반전부의 상기 취입 자세에 있어서, 상기 취입 슬롯이 상기 송출 슬롯의 상방에 위치한다.
이 경우에, 상기 각 반전부의 상기 송출 자세에 있어서, 상기 송출 슬롯이 상기 취입 슬롯의 하방에 위치하고, 또한, 상기 각 반전부가, 상기 송출 슬롯에 미처리 기판이 삽입된 상태로 상기 취입 자세가 되는 경우에, 상기 처리부 측 반송부에 의해, 상기 송출 슬롯의 상기 미처리 기판이 취출(取出)된 후, 상기 취입 슬롯에 처리 완료 기판이 삽입되거나, 또는, 상기 각 반전부의 상기 취입 자세에 있어서, 상기 취입 슬롯이 상기 송출 슬롯의 상방에 위치하고, 또한, 상기 각 반전부가, 상기 취입 슬롯에 처리 완료 기판이 삽입된 상태로 상기 송출 자세가 되는 경우에, 상기 용기 측 반송부에 의해, 상기 취입 슬롯의 상기 처리 완료 기판이 취출된 후, 상기 송출 슬롯에 미처리 기판이 삽입되는 것이 바람직하다.
본 발명의 다른 바람직한 형태에서는, 상기 송출 슬롯 및 상기 취입 슬롯 양쪽 모두에 기판이 들어간 상태에 있어서, 상기 반전 기구에 의한 반전 동작이 금지된다.
본 발명의 다른 바람직한 형태에서는, 상기 복수의 기판 각각이, 패턴이 형성된 패턴면과, 상기 패턴면과는 반대측의 이면을 갖고, 상기 수납 용기에 있어서, 상기 복수의 기판 각각이 상기 패턴면을 상방으로 향하게 하여 유지되고, 상기 복수의 처리부에 있어서, 기판의 상기 이면에 대해서 처리가 행해진다.
본 발명은, 기판 처리 장치에 있어서의 기판 처리 방법을 위한 것이기도 하다. 본 발명에 따른 기판 처리 방법에서는, 상기 기판 처리 장치가, 복수의 기판을 수납하는 수납 용기가 재치되는 용기 재치부와, 각각이 기판에 대해서 처리를 행하는 복수의 처리부를 갖는 처리 유닛과, 상기 용기 재치부와 상기 처리 유닛 사이에 배치되고, 기판을 반전하는 제1 반전부와, 상기 용기 재치부와 상기 처리 유닛 사이에 배치되고, 기판을 반전하는 제2 반전부와, 상기 수납 용기와 상기 제1 및 제2 반전부 사이에서 기판을 반송하는 용기 측 반송부와, 상기 제1 및 제2 반전부와 상기 복수의 처리부 사이에서 기판을 반송하는 처리부 측 반송부를 구비하고, 각 반전부가, 상기 용기 측 반송부에 의해 상기 수납 용기 내의 미처리 기판이 삽입되는 송출 슬롯과, 상기 처리부 측 반송부에 의해 상기 처리부에 의한 처리 완료 기판이 삽입되는 취입 슬롯과, 상기 송출 슬롯 및 상기 취입 슬롯을 일체적으로 반전함으로써, 상기 용기 측 반송부에 의한 미처리 기판의 삽입에 대응지어진 위치에 상기 송출 슬롯을 배치한 송출 자세와, 상기 처리부 측 반송부에 의한 처리 완료 기판의 삽입에 대응지어진 위치에 상기 취입 슬롯을 배치한 취입 자세를 전환하는 반전 기구를 구비하고, 상기 기판 처리 방법이, a) 상기 용기 측 반송부에 의해, 상기 수납 용기 내의 미처리 기판을 상기 송출 자세의 어느 한 반전부의 상기 송출 슬롯에 삽입하는 공정과, b) 상기 반전부를 상기 취입 자세로 하여 상기 기판을 반전하는 공정과, c) 상기 처리부 측 반송부에 의해, 상기 기판을 상기 반전부로부터 어느 한 처리부에 반입하는 공정과, d) 상기 처리부에 있어서 상기 기판에 대해서 처리를 행하는 공정과, e) 상기 처리부에 의한 처리가 완료된 상기 기판을, 상기 처리부 측 반송부에 의해 상기 취입 자세의 어느 한 반전부의 상기 취입 슬롯에 삽입하는 공정과, f) 상기 반전부를 상기 송출 자세로 하여 상기 기판을 반전하는 공정과, g) 상기 용기 측 반송부에 의해, 상기 기판을 상기 반전부로부터 상기 수납 용기 내로 되돌리는 공정과, h) 상기 a) 내지 g) 공정에 부분적으로 병행하면서, 상기 수납 용기 내의 다른 미처리 기판에 대해서 상기 a) 내지 g) 공정과 같은 동작을 행하는 공정과, i) 어느 한 처리부에 있어서의 처리의 완료를 기다려 당해 처리부로 반송되어야 할 미처리 기판이 상기 수납 용기 내에 존재하는 고가동 상태에 있어서, 상기 송출 슬롯 및 상기 취입 슬롯에 기판이 삽입되어 있지 않고, 또한, 상기 취입 자세인 상기 제1 또는 제2 반전부를 상기 송출 자세로 하는 공정과, j) 상기 i) 공정에 있어서 상기 송출 자세가 된 상기 제1 또는 제2 반전부의 상기 송출 슬롯에, 상기 용기 측 반송부에 의해 상기 미처리 기판을 삽입하는 공정을 구비한다.
상술한 목적 및 다른 목적, 특징, 양태 및 이점은, 첨부한 도면을 참조하여 이하에 행하는 이 발명의 상세한 설명에 의해 밝혀진다.
도 1은, 기판 처리 장치의 구성을 나타낸 도면이다.
도 2는, 제1 및 제2 반전부와 센터 로봇을 나타낸 도면이다.
도 3은, 반전부의 구성을 나타낸 도면이다.
도 4는, 센터 로봇의 구성을 나타낸 도면이다.
도 5는, 제어 유닛의 기능 구성을 나타낸 블록도이다.
도 6은, 이면 처리 동작의 흐름을 나타낸 도면이다.
도 7은, 복수의 기판을 처리하는 흐름을 나타낸 도면이다.
도 8은, 기판 처리 장치에 있어서의 타임 차트를 나타낸 도면이다.
도 9는, 제1 및 제2 반전부의 동작을 나타낸 도면이다.
도 10은, 기판 처리 장치에 있어서의 타임 차트를 나타낸 도면이다.
도 11은, 비교예의 기판 처리 장치에 있어서의 타임 차트를 나타낸 도면이다.
도 12는, 비교예의 기판 처리 장치에 있어서의 반전부의 동작을 나타낸 도면이다.
도 13은, 제1 및 제2 반전부의 다른 예의 동작을 나타낸 도면이다.
도 14는, 제1 및 제2 반전부의 다른 예의 동작을 나타낸 도면이다.
도 1은, 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 처리 장치(1)의 구성을 나타내는 도면이다. 도 1에서는, 서로 직교하는 3개의 방향을 X 방향, Y 방향 및 Z 방향으로서 나타내고 있다. 전형적으로는, Z 방향은 상하 방향(연직 방향)이며, X 방향 및 Y 방향은 수평 방향이다.
기판 처리 장치(1)는, 후술하는 처리부(61)에 있어서 원판 형상의 기판(9)을 1장씩 처리하는 매엽식의 장치이다. 기판(9)은, 디바이스 형성면인 하나의 주면(이하, 「패턴면」이라고 한다.)과, 디바이스 비(非)형성면인 다른 주면(이하, 「이면」이라고 한다.)을 갖는다. 패턴면에는, 제조 도중의 디바이스의 패턴이 형성된다. 이면은, 패턴면과는 반대측의 면이다. 후술하는 처리예에서는, 처리부(61)에 있어서, 이면을 상방으로 향하게 한 상태로 유지되는 기판(9)의 당해 이면에 대해서 처리액 등에 의한 처리가 행해진다.
기판 처리 장치(1)는, 용기 재치부(2)와, 인덱서 로봇(3)과, 제1 및 제2 반전부(41a, 41b)와, 센터 로봇(5)과, 처리 유닛(6)과, 제어 유닛(7)을 구비한다. 제어 유닛(7)은, 예를 들면 CPU 등을 포함하는 컴퓨터이며, 기판 처리 장치(1)의 전체 제어를 담당한다. 제어 유닛(7)의 기능에 대해서는 후술한다. 용기 재치부(2), 인덱서 로봇(3), 제1 및 제2 반전부(41a, 41b), 및, 센터 로봇(5)은, 이 순서대로 Y 방향으로 늘어선다. 처리 유닛(6)에 있어서의, 후술하는 복수의 처리부(61)는, 센터 로봇(5)의 주위에 배치된다.
용기 재치부(2)는, 복수의 용기 재치대(21)를 갖는다. 복수의 용기 재치대(21)는 X 방향으로 늘어선다. 각 용기 재치대(21)에는, 복수의 기판(9)을 수납하는 수납 용기(C)가 재치된다. 수납 용기(C)는, 복수의 기판(9)을 다단에 수납하는 캐리어이다. 수납 용기(C)에서는, 패턴면을 상방으로 향하게 한 상태로, 복수의 기판(9)이 수납된다.
인덱서 로봇(3)은, 수납 용기(C)와 제1 및 제2 반전부(41a, 41b) 사이에서 기판(9)을 반송하는 용기 측 반송부(또는, 용기 측 반송 장치)이다. 인덱서 로봇(3)은, 용기 재치부(2)와 제1 및 제2 반전부(41a, 41b) 사이에 배치된다. 인덱서 로봇(3)은, 이동부(35)를 구비한다. 이동부(35)는, X 방향으로 이동 가능하고, 또한, 상하 방향(Z 방향)으로 평행하는 축을 중심으로 하여 회동 가능하다. 또, 이동부(35)는, 상하 방향으로 승강 가능하다. 인덱서 로봇(3)은, 1개의 핸드군(310)을 더 구비한다. 핸드군(310)은, 다관절형 아암(33)을 개재하여 이동부(35)에 접속된다. 다관절형 아암(33)은, 핸드군(310)을 일정 자세로 유지하면서 수평 방향으로 진퇴시킨다. 핸드군(310)은, 2개의 핸드(31)를 갖는다. 2개의 핸드(31)는, 상하 방향으로 늘어서서 설치된다. 또, 각 핸드(31)에는, 2개의 유지부가 설치된다. 2개의 유지부는, 상하 방향으로 늘어서서 설치된다. 각 유지부는, 기판(9)의 하방을 향하는 이면의 외주연에 접촉하여 당해 기판(9)을 유지한다. 인덱서 로봇(3)에서는, 구동원으로서 모터 등이 이용된다.
이하의 설명에서는, 2개의 핸드(31)를 구별하는 경우에, 상측에 배치되는 핸드(31), 및, 하측에 배치되는 핸드(31)를 각각 「상측 핸드(31)」 및 「하측 핸드(31)」라고 한다. 또, 각 핸드(31)에 있어서, 2개의 유지부를 구별하는 경우에, 상측 및 하측의 유지부를 각각 「상측 유지부」 및 「하측 유지부」라고 한다. 상측 유지부로 유지되는 기판(9)이 하측 유지부에 접촉하지 않고, 하측 유지부로 유지되는 기판(9)이 상측 유지부에 접촉하는 일도 없다. 또한, 인덱서 로봇(3)의 상기 구조는 일례에 지나지 않고, 적절히 변경되어도 된다. 예를 들면, 2개의 핸드(31)에 대해서 다관절형 아암(33)이 개별적으로 설치되어도 된다.
도 2는, (＋Y) 측으로부터 (-Y) 방향을 향하여 본 기판 처리 장치(1)를 나타내는 도면이며, 제1 및 제2 반전부(41a, 41b)와 센터 로봇(5)을 나타내고 있다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 제1 및 제2 반전부(41a, 41b)는, 인덱서 로봇(3)과, 센터 로봇(5) 및 처리 유닛(6) 사이에 배치된다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 제1 반전부(41a)는, 제2 반전부(41b)의 상방에 배치된다. 기술한 인덱서 로봇(3)은, 제1 및 제2 반전부(41a, 41b)의 쌍방으로 액세스 가능하다. 센터 로봇(5)도 동일하다. 제1 및 제2 반전부(41a, 41b)는 서로 동일한 구조를 갖는다. 또한, 제1 및 제2 반전부(41a, 41b)는, 반드시 상하 방향으로 늘어설 필요는 없다. 이하의 설명에서는, 제1 및 제2 반전부(41a, 41b)를 구별하지 않는 경우에, 양자를 간단하게 「반전부(41)」라고 한다.
도 3은, 반전부(41)의 구성을 나타내는 도면이다. 반전부(41)는, 복수의 슬롯(42, 43)과, 슬롯 지지부(44)와, 반전 기구(45)를 구비한다. 각 슬롯(42, 43)은, 수평 상태로 기판(9)을 유지 가능한 기판 유지부이다. 각 슬롯(42, 43)에서는, 모터 또는 에어 실린더 등을 이용하여, 기판(9)의 유지 및 해제가 가능하다. 도 3의 예에서는, 4개의 슬롯(42, 43)이 설치된다. 4개의 슬롯(42, 43) 중, 2개의 슬롯(42)이 상하 방향으로 서로 인접하여 배치되고, 나머지 슬롯(43)이 상하 방향으로 서로 인접하여 배치된다. 이하의 설명에서는, 도 3에 나타내는 상태에 있어서, 하측에 배치되는 2개의 슬롯(42)을 「송출 슬롯(42)」이라고 하고, 상측에 배치되는 2개의 슬롯(43)을 「취입 슬롯(43)」이라고 한다. 송출 슬롯(42)과 취입 슬롯(43)의 차이에 대해서는 후술한다.
슬롯 지지부(44)는, 2개의 송출 슬롯(42) 및 2개의 취입 슬롯(43)을 일체적으로 지지하는 틀 형상 부재이다. 슬롯 지지부(44)에서는, Y 방향의 양측이 개구한다. 인덱서 로봇(3)은, 슬롯 지지부(44)의 (-Y) 측의 개구로부터 송출 슬롯(42) 및 취입 슬롯(43)에 액세스 가능하다. 센터 로봇(5)은, 슬롯 지지부(44)의 (＋Y) 측의 개구로부터 송출 슬롯(42) 및 취입 슬롯(43)에 액세스 가능하다. 반전 기구(45)는, 예를 들면, 모터를 갖고, X 방향으로 평행하는 축을 중심으로 하여 슬롯 지지부(44)를 180도만큼 회동한다. 이에 의해, 2개의 송출 슬롯(42) 및 2개의 취입 슬롯(43)이 일체적으로 반전하고, 송출 슬롯(42) 또는 취입 슬롯(43)에 유지되는 기판(9)도 반전된다.
반전부(41)에서는, 제어 유닛(7)의 지령에 의해, 상기 반전 동작이 반복된다. 환언하면, 반전부(41)에 있어서, 송출 슬롯(42)이 취입 슬롯(43)의 하방에 배치되는 도 3에 나타내는 자세(이하, 「송출 자세」라고 한다.)와, 취입 슬롯(43)이 송출 슬롯(42)의 하방에 배치되는 자세(이하, 「취입 자세」라고 한다.)가 전환된다. 반전부(41)에서는, 송출 슬롯(42) 및 취입 슬롯(43) 양쪽 모두에 기판(9)이 들어간 상태에 있어서, 반전 기구(45)에 의한 반전 동작이 금지되어 있다. 반전부(41)의 상기 구조는, 적절히 변경되어도 된다.
도 1에 나타내는 센터 로봇(5)은, 제1 및 제2 반전부(41a, 41b)와 복수의 처리부(61) 사이에서 기판(9)을 반송하는 처리부 측 반송부(또는, 처리부 측 반송 장치)이다. 센터 로봇(5)은, 제1 및 제2 반전부(41a, 41b)의 (＋Y) 측에 배치된다. 도 4는, 센터 로봇(5)의 구성을 나타내는 도면이다. 센터 로봇(5)은, 베이스부(56)와, 승강 회동부(55)를 구비한다. 승강 회동부(55)는, 베이스부(56)에 대해서, 상하 방향으로 평행하는 축을 중심으로 하여 회동 가능하고, 상하 방향으로 승강 가능하다.
센터 로봇(5)은, 2개의 핸드군(510)을 더 구비한다. 한쪽의 핸드군(510)은, 다른 쪽의 핸드군(510)보다 상방에 배치된다. 각 핸드군(510)은, 다관절형 아암(53)을 개재하여 승강 회동부(55)에 접속된다. 2개의 다관절형 아암(53)은, 도시 생략된 구동 기구에 의해 서로 독립적으로 구동되고, 핸드군(510)을 일정 자세로 유지하면서 수평 방향으로 진퇴시킨다. 각 핸드군(510)은, 2개의 핸드(51)를 갖는다. 2개의 핸드(51)는, 상하 방향으로 늘어서서 설치된다. 기술한 바와 같이, 제1 및 제2 반전부(41a, 41b)에서는, 기판(9)이 반전되어 있고, 각 핸드(51)는, 기판(9)의 하방을 향하는 패턴면의 외주연에 접촉하여 당해 기판(9)을 유지한다. 센터 로봇(5)에서는, 구동원으로서 모터 등이 이용된다.
이하의 설명에서는, 2개의 핸드군(510)을 구별하는 경우에, 상측에 배치되는 핸드군(510), 및, 하측에 배치되는 핸드군(510)을 각각 「상측 핸드군(510)」 및 「하측 핸드군(510)」이라고 한다. 또, 2개의 핸드(51)를 구별하는 경우에, 상측에 배치되는 핸드(51), 및, 하측에 배치되는 핸드(51)를 각각 「상측 핸드(51)」 및 「하측 핸드(51)」라고 한다. 상측 핸드(51)로 유지되는 기판(9)이 하측 핸드(51)에 접촉하지 않고, 하측 핸드(51)로 유지되는 기판(9)이 상측 핸드(51)에 접촉하지도 않는다. 또한, 센터 로봇(5)의 상기 구조는 일례에 지나지 않고, 적절히 변경되어도 된다. 예를 들면, 4개의 핸드(51)에 대해서 다관절형 아암(53)이 개별적으로 설치되어도 된다.
도 1에 나타내는 처리 유닛(6)은, 복수의 처리부(61)를 갖는다. 각 처리부(61)에서는, 센터 로봇(5)에 의해 반입되는 기판(9)이 척부에 의해 수평 상태로 유지된다. 척부는, 필요에 따라서 기판(9)과 더불어 회전한다. 예를 들면, 당해 기판(9)의 상방을 향하는 주면을 향해서, 노즐로부터 처리액이 공급되어, 당해 주면에 대해서 처리액에 의한 처리가 행해진다. 처리부(61)에서는, 기판(9)에 대해서 처리 가스에 의한 처리가 행해져도 된다. 처리 유닛(6)의 일례에서는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 상하 방향으로 적층된 4개의 처리부(61)가 적층 유닛(62)으로서 설치되고, 도 1에 나타내는 바와 같이, 센터 로봇(5)의 주위에 4개의 적층 유닛(62)이 배치된다. 처리 유닛(6)의 상기 구성은 일례에 지나지 않고, 처리 유닛(6)에 설치되는 처리부(61)의 개수 및 배치는 적절히 변경되어도 된다.
도 5는, 제어 유닛(7)의 기능 구성을 나타내는 블록도이다. 도 5에서는, 인덱서 로봇(3), 센터 로봇(5), 제1 반전부(41a), 제2 반전부(41b) 및 복수의 처리부(61)도 블록으로 도시하고 있다. 제어 유닛(7)은, 제어부(71)와, 출입력부(72)와, 기억부(73)를 구비한다. 출입력부(72)는, 조작자로부터의 입력을 받아들임과 더불어, 디스플레이로의 표시 등에 의해 조작자에 대한 통지를 행한다. 기억부(73)는, 각종 정보를 기억한다. 제어부(71)는, 스케줄링부(711)와, 처리 지령부(712)를 구비한다. 스케줄링부(711)는, 조작자로부터의 입력에 의거하여, 처리 대상의 복수의 기판(9)에 대해서, 인덱서 로봇(3), 센터 로봇(5), 제1 반전부(41a), 제2 반전부(41b) 및 복수의 처리부(61)에 있어서의 동작의 타이밍을 계획한다. 처리 지령부(712)는, 스케줄링부(711)에 의해 계획된 동작 타이밍에 따라서, 인덱서 로봇(3), 센터 로봇(5), 제1 반전부(41a), 제2 반전부(41b) 및 복수의 처리부(61)에 대해서 지령 신호를 출력함과 더불어, 이들로부터의 완료 응답 등을 수취한다. 기판 처리 장치(1)에서는, 인덱서 로봇(3), 센터 로봇(5), 제1 반전부(41a), 제2 반전부(41b) 및 복수의 처리부(61)의 동작이, 제어부(71)에 의해 제어된다.
도 6은, 이면 처리 동작의 흐름을 나타내는 도면이다. 이면 처리 동작은, 기판(9)의 이면에 대해서 처리부(61)에 의한 처리를 행하기 위한 일련의 동작이다. 이하, 1개의 기판(9)(이하, 「주목 기판(9)」이라고 한다.)에 주목하여, 이면 처리 동작에 대해 설명한다. 기판 처리 장치(1)에서는, 스케줄링부(711)에 의해 계획된 동작 타이밍에 의거하여, 복수의 기판(9)에 대한 이면 처리 동작이 서로 병행하여 행해지는데, 복수의 기판(9)에 대한 이면 처리 동작에 대해서는 후술한다.
이면 처리 동작에서는, 먼저, 제1 또는 제2 반전부(41a, 41b) 중 어느 것을 미처리 주목 기판(9)의 반전에 이용할지가, 처리 지령부(712)에 의해 확인된다. 제1 반전부(41a)를 이용하는 경우에(단계 S11), 인덱서 로봇(3)에 의해, 수납 용기(C) 내의 주목 기판(9)(미처리 기판(9))이 취출되고, 제1 반전부(41a)의 송출 슬롯(42)에 삽입된다(단계 S12a). 이 때, 제1 반전부(41a)는, 송출 슬롯(42)이 하측에 위치하는 송출 자세가 되어 있다. 제1 반전부(41a)에서는, 슬롯 지지부(44)가 반전된다. 이에 의해, 제1 반전부(41a)가, 송출 슬롯(42)이 상측에 위치하는 취입 자세가 됨과 더불어, 주목 기판(9)이 반전된다(단계 S13a). 기술한 바와 같이, 수납 용기(C)에서는, 패턴면을 상방으로 향하게 한 상태로 주목 기판(9)이 수납되어 있고, 반전 후의 주목 기판(9)에서는, 이면이 상방을 향한다. 센터 로봇(5)에 의해, 송출 슬롯(42)의 주목 기판(9)이 취출되고, 어느 한 처리부(61)에 반입된다(단계 S14a). 그리고, 당해 처리부(61)에 있어서 상방을 향하는 이면에 대해서 처리액 등에 의한 처리가 행해진다(단계 S15).
한편, 단계 S11에 있어서, 제2 반전부(41b)를 이용하는 것이 처리 지령부(712)에 의해 확인된 경우, 인덱서 로봇(3)에 의해, 수납 용기(C) 내의 주목 기판(9)이, 제2 반전부(41b)의 송출 슬롯(42)에 삽입된다(단계 S12b). 이 때, 제2 반전부(41b)는, 송출 슬롯(42)이 하측에 위치하는 송출 자세가 되어 있다. 제2 반전부(41b)에서는, 슬롯 지지부(44)가 반전된다. 이에 의해, 제2 반전부(41b)가, 송출 슬롯(42)이 상측에 위치하는 취입 자세가 됨과 더불어, 주목 기판(9)이 반전된다(단계 S13b). 센터 로봇(5)에 의해, 송출 슬롯(42)의 주목 기판(9)이 취출되고, 어느 한 처리부(61)에 반입된다(단계 S14b). 그리고, 당해 처리부(61)에 있어서 상방을 향하는 이면에 대해서 처리액 등에 의한 처리가 행해진다(단계 S15).
처리부(61)에 있어서의 처리가 완료되면, 처리 지령부(712)에 의해, 처리 완료 주목 기판(9)의 반전에 있어서 제1 또는 제2 반전부(41a, 41b) 중 어느 것을 이용할지가 확인된다. 제1 반전부(41a)를 이용하는 경우에(단계 S16), 센터 로봇(5)에 의해, 처리부(61) 내의 주목 기판(9)(처리 완료 기판(9))이 취출되고, 제1 반전부(41a)의 취입 슬롯(43)에 삽입된다(단계 S17a). 이 때, 제1 반전부(41a)는, 취입 슬롯(43)이 하측에 위치하는 취입 자세가 되어 있다. 제1 반전부(41a)에서는, 슬롯 지지부(44)가 반전된다. 이에 의해, 제1 반전부(41a)가, 취입 슬롯(43)이 상측에 위치하는 송출 자세가 됨과 더불어, 주목 기판(9)이 반전된다(단계 S18a). 반전 후의 주목 기판(9)에서는, 패턴 형성면이 상방을 향한다. 인덱서 로봇(3)에 의해, 취입 슬롯(43)의 주목 기판(9)이 취출되고, 수납 용기(C) 내로 되돌려진다(단계 S19a). 또한, 주목 기판(9)은, 미처리 시에 수납되어 있던 수납 용기(C)와는 상이한 수납 용기(C)로 되돌려져도 된다.
한편, 단계 S16에 있어서, 제2 반전부(41b)를 이용하는 것이 처리 지령부(712)에 의해 확인된 경우, 센터 로봇(5)에 의해, 처리부(61) 내의 주목 기판(9)이 취출되고, 제2 반전부(41b)의 취입 슬롯(43)에 삽입된다(단계 S17b). 이 때, 제2 반전부(41b)는, 취입 슬롯(43)이 하측에 위치하는 취입 자세가 되어 있다. 제2 반전부(41b)에서는, 슬롯 지지부(44)가 반전된다. 이에 의해, 제2 반전부(41b)가, 취입 슬롯(43)이 상측에 위치하는 송출 자세가 됨과 더불어, 주목 기판(9)이 반전된다(단계 S18b). 인덱서 로봇(3)에 의해, 취입 슬롯(43)의 주목 기판(9)이 취출되고, 수납 용기(C) 내로 되돌려진다(단계 S19b).
상기 단계 S11에 관해서, 스케줄링부(711)에서는, 원칙으로서, 수납 용기(C) 내의 주목 기판(9)이 처리부(61)에 의해 빠르게 반송 가능하도록, 제1 또는 제2 반전부(41a, 41b) 중 한쪽이 선택되어 있다. 기술한 바와 같이, 인덱서 로봇(3)은, 송출 자세의 반전부(41a, 41b)의 송출 슬롯(42)에 기판(9)을 삽입한다. 따라서, 예를 들면, 제1 반전부(41a)가 송출 자세이며, 또한, 송출 슬롯(42)에 기판(9)이 삽입되어 있지 않고, 제2 반전부(41b)가 취입 자세이며, 또한, 취입 슬롯(43)에 기판(9)이 삽입되어 있지 않은 상태에서는, 제1 반전부(41a)가 선택된다. 이에 의해, 인덱서 로봇(3)이, 기판(9)을 곧바로 송출 슬롯(42)에 삽입하는 것이 가능하다.
또, 제1 반전부(41a)가 송출 자세이며, 또한, 송출 슬롯(42)에 기판(9)이 삽입되어 있고, 제2 반전부(41b)가 취입 자세이며, 또한, 취입 슬롯(43)에 기판(9)이 삽입되어 있는 상태에서는, 제2 반전부(41b)가 선택된다. 이 경우에, 만일, 제1 반전부(41a)를 이용할 때에는, 제1 반전부(41a)의 반전 동작, 센터 로봇(5)에 의한 기판(9)의 취출, 및, 제1 반전부(41a)의 반전 동작을 기다릴 필요가 있다. 한편, 제2 반전부(41b)를 이용하는 경우, 제2 반전부(41b)의 반전 동작만을 기다리면, 인덱서 로봇(3)이, 기판(9)을 송출 슬롯(42)에 삽입하는 것이 가능하다.
상기 단계 S16에 관해서, 스케줄링부(711)에서는, 원칙으로서, 처리부(61) 내의 주목 기판(9)이 수납 용기(C)에 의해 빠르게 반송 가능하도록, 제1 또는 제2 반전부(41a, 41b) 중 한쪽이 선택되어 있다. 기술한 바와 같이, 센터 로봇(5)은, 취입 자세의 반전부(41a, 41b)의 취입 슬롯(43)에 기판(9)을 삽입한다. 따라서, 예를 들면, 제1 반전부(41a)가 송출 자세이며, 또한, 송출 슬롯(42)에 기판(9)이 삽입되어 있지 않고, 제2 반전부(41b)가 취입 자세이며, 또한, 취입 슬롯(43)에 기판(9)이 삽입되어 있지 않은 상태에서는, 제2 반전부(41b)가 선택된다. 이에 의해, 센터 로봇(5)이, 기판(9)을 곧바로 취입 슬롯(43)에 삽입하는 것이 가능하다.
이상과 같이, 바람직한 스케줄링부(711)에서는, 각 반전부(41a, 41b)의 자세, 및, 각 반전부(41a, 41b)에 있어서의 기판(9)의 유지의 유무 등에 의거하여, 주목 기판(9)을 보다 빠르게 반송 가능한 반전부(41a, 41b)가 선택된다.
실제의 기판 처리 장치(1)에서는, 도 7에 나타내는 바와 같이, 처리 대상의 복수의 기판(9)에 대해서 이면 처리 동작이 행해진다(단계 S21). 이 때, 후술하는 바와 같이, 하나의 기판(9)에 대한 이면 처리 동작에 부분적으로 병행하면서, 수납 용기(C) 내의 다른 미처리 기판(9)에 대해서 이면 처리 동작이 행해진다. 또, 모든 처리부(61)에 있어서 기판(9)이 처리되어 있고, 어느 한 처리부(61)에 있어서의 처리의 완료를 기다려 당해 처리부(61)로 반송되어야 할 미처리 기판(9)이 수납 용기(C) 내에 존재하는 고가동 상태에서는, 소정의 공반전 조건이 성립하는 경우에, 제1 또는 제2 반전부(41a, 41b)의 공반전이 행해진다(단계 S22). 본 실시의 형태에 있어서의 공반전은, 특별히 언급하는 경우를 제외하고, 송출 슬롯(42) 및 취입 슬롯(43)에 기판(9)이 삽입되어 있지 않고, 또한, 취입 자세인 제1 또는 제2 반전부(41a, 41b)를 송출 자세로 하는 동작이다. 공반전 조건에 대해서는 후술한다. 그리고, 처리 대상의 모든 기판(9)에 대한 이면 처리 동작이 종료되면, 기판 처리 장치(1)에 있어서의 복수의 기판(9)의 처리가 완료된다(단계 S23).
다음에, 복수의 기판(9)에 대한 이면 처리 동작에 있어서의 각 구성요소의 동작 타이밍(즉, 스케줄링부(711)에 의해 계획된 동작 타이밍)에 대해 상세하게 설명한다. 도 8은, 고가동 상태의 기판 처리 장치(1)에 있어서의 타임 차트를 나타내는 도면이다. 도 8(및, 후술하는 도 9 내지 도 14)에 있어서, ST는 용기 재치부(2), IR는 인덱서 로봇(3), RVP1는 제1 반전부(41a), RVP2는 제2 반전부(41b), CR는 센터 로봇(5), SPIN1~SPIN6은 제1 내지 제6 처리부(61)를 나타낸다. 여기서는, 도시 관계상, 6개의 처리부(61)만을 나타내고 있다. 블록 내에 나타내는 알파벳은, 용기 재치부(2), 인덱서 로봇(3), 제1 반전부(41a), 제2 반전부(41b), 센터 로봇(5), 제1 내지 제6 처리부(61)에 있어서의 동작의 대상이 되는 기판(9)을 식별하기 위한 것이다.
ST와 IR 사이의 화살표는, 용기 재치부(2)와 인덱서 로봇(3) 사이의 기판(9)의 수도를 나타내고, IR과 RVP1 또는 RVP2 사이의 화살표는, 인덱서 로봇(3)과 제1 또는 제2 반전부(41a, 41b) 사이의 기판(9)의 수도를 나타낸다. RVP1 또는 RVP2와 CR 사이의 화살표는, 제1 또는 제2 반전부(41a, 41b)와 센터 로봇(5) 사이의 기판(9)의 수도를 나타내고, CR과 SPIN1~SPIN6 사이의 화살표는, 센터 로봇(5)과 제1 내지 제6 처리부(61) 사이의 기판(9)의 수도를 나타낸다. RVP1 및 RVP2에 있어서의 블록의 하측에 나타내는 「REVERSE」는, 제1 및 제2 반전부(41a, 41b)에 있어서의 반전 동작을 나타낸다. SPIN1~SPIN6에 있어서의 블록의 하측에 나타내는 「PROCESS」는, 제1 내지 제6 처리부(61)에 있어서의 처리의 개시를 나타낸다.
도 9는, 고가동 상태에 있어서의 제1 및 제2 반전부(41a, 41b)의 동작을 나타내는 도면이다. 도 9에서는, 각 반전부(41a, 41b)(RVP1 또는 RVP2)의 2개의 취입 슬롯(43)에 대해서 「1」 및 「2」의 번호를 붙이고, 2개의 송출 슬롯(42)에 대해서 「3」 및 「4」의 번호를 붙이고 있다. 또, 반전 동작을 나타내는 화살표 A1(1개의 화살표에 부호 A1a를 붙인다.)의 좌측에, 반전 동작의 직전에 있어서의 슬롯의 배열을 번호로 나타내고, 화살표 A1의 우측에, 반전 동작의 직후에 있어서의 슬롯의 배열을 번호로 나타내고 있다. 후술하는 도 12 내지 도 14에 있어서도 동일하다.
도 9에서는, 인덱서 로봇(3) 및 센터 로봇(5)에 있어서 기판(9)을 유지하는 위치(유지부 또는 핸드)도 나타내고 있다. IR의 우측에 나타내는 Up-Up은 상측 핸드(31)의 상측 유지부를 나타내고, Lw-Up은 상측 핸드(31)의 하측 유지부를 나타내고, Up-Lw는 하측 핸드(31)의 상측 유지부를 나타내고, Lw-Lw는 하측 핸드(31)의 하측 유지부를 나타낸다. 또, CR의 우측에 나타내는 Up-Up은 상측 핸드군(510)의 상측 핸드(51)를 나타내고, Up-Lw는 하측 핸드군(510)의 상측 핸드(51)를 나타내고, Lw-Up은 상측 핸드군(510)의 하측 핸드(51)를 나타내고, Lw-Lw는 하측 핸드군(510)의 하측 핸드(51)를 나타낸다. 후술하는 바와 같이, 인덱서 로봇(3)에서는, 미처리 기판(9)은, 상측 핸드(31) 또는 하측 핸드(31)의 하측 유지부에서 유지되고, 처리 완료 기판(9)은, 상측 핸드(31) 또는 하측 핸드(31)의 상측 유지부에서 유지된다. 또, 센터 로봇(5)에서는, 미처리 기판(9)은, 상측 핸드군(510) 또는 하측 핸드군(510)의 하측 핸드(51)에서 유지되고, 처리 완료 기판(9)은, 상측 핸드군(510) 또는 하측 핸드군(510)의 상측 핸드(51)에서 유지된다.
여기서는, 모든 처리부(61)에 기판(9)이 반입되어 있고, 어느 한 처리부(61)에 있어서의 처리의 완료를 기다려 당해 처리부(61)로 반송되어야 할 미처리 기판(9)이 수납 용기(C) 내에 존재하는 상태, 즉, 고가동 상태인 것으로 한다. 일부의 처리부(61)에 있어서의 기판(9)의 처리의 완료가 가까워지면, 용기 재치부(2) 상의 수납 용기(C) 내의 「F」 및 「G」의 미처리 기판(9)이 인덱서 로봇(3)에 의해 취출된다. 이 때, 「F」 및 「G」의 미처리 기판(9)은, 상측 핸드(31)의 하측 유지부, 및, 하측 핸드(31)의 하측 유지부에 의해 각각 유지된다.
「F」 및 「G」의 미처리 기판(9)은, 제1 반전부(41a)의 「3」 및 「4」의 송출 슬롯(42)에 각각 삽입된다. 「3」 및 「4」의 송출 슬롯(42)은 하측에 위치해 있고, 제1 반전부(41a)는 송출 자세이다. 제1 반전부(41a)의 반전 동작에 의해, 「F」 및 「G」의 미처리 기판(9)이 반전된다. 또, 「3」 및 「4」의 송출 슬롯(42)이 상측에 위치하고, 제1 반전부(41a)가 취입 자세가 된다. 제1 반전부(41a)의 「G」 및 「F」의 미처리 기판(9)은, 센터 로봇(5)에 의해 취출된다. 이 때, 「G」 및 「F」의 미처리 기판(9)은, 상측 핸드군(510)의 하측 핸드(51), 및, 하측 핸드군(510)의 하측 핸드(51)에 의해 각각 유지된다. 그 후, 상측 핸드군(510)에서는, 상측 핸드(51)에서 제1 처리부(61) 내의 「a」의 처리 완료 기판(9)이 취출되고, 하측 핸드(51)에서 유지되고 있는 「G」의 미처리 기판(9)이 제1 처리부(61) 내의 척부에 수도된다(즉, 「G」의 미처리 기판(9)이 제1 처리부(61) 내에 반입된다). 또, 하측 핸드군(510)에서는, 상측 핸드(51)에서 제2 처리부(61) 내의 「b」의 처리 완료 기판(9)이 취출되고, 하측 핸드(51)에서 유지되고 있는 「F」의 미처리 기판(9)이 제2 처리부(61) 내에 반입된다. 이에 의해, 센터 로봇(5)에서는, 「a」 및 「b」의 처리 완료 기판(9)을 유지한 상태가 된다. 제1 및 제2 처리부(61)에서는, 「G」 및 「F」의 미처리 기판(9)에 대해서 처리가 개시된다.
여기서, 본 실시의 형태에서는, 고가동 상태에 있어서, 한쪽의 반전부의 송출 슬롯(42) 및 취입 슬롯(43)에 기판(9)이 삽입되어 있지 않고, 또한, 당해 한쪽의 반전부가 취입 자세가 되어 있고, 또한, 다른 쪽의 반전부의 송출 슬롯(42)에 미처리 기판이 삽입되는 것이, 당해 한쪽의 반전부의 공반전 조건이 된다. 「F」 및 「G」의 미처리 기판(9)이 취출됨으로써, 제1 반전부(41a)의 송출 슬롯(42) 및 취입 슬롯(43)에 어느 기판(9)도 삽입되어 있지 않고, 또한, 제1 반전부(41a)가 취입 자세가 되어 있다. 또, 후술하는 바와 같이, 제1 반전부(41a)의 상기 반전 동작(「F」 및 「G」의 미처리 기판(9)의 반전 동작)에 병행하여, 제2 반전부(41b)의 송출 슬롯(42)에 미처리 기판(9)이 삽입된다. 따라서, 제1 반전부(41a)의 공반전 조건이 성립하고, 도 9 중에 화살표 A1a로 나타내는 바와 같이, 제1 반전부(41a)의 공반전이 행해진다. 이에 의해, 제1 반전부(41a)가 송출 자세가 된다. 도 8에서는, 내부에 평행 사선을 그은 블록(B1)에 의해 공반전을 나타내고 있다. 공반전 후의 제1 반전부(41a)의 동작에 대해서는 후술한다.
인덱서 로봇(3)에서는, 상술한 「F」 및 「G」의 미처리 기판(9)의 제1 반전부(41a)로의 반송 후, 수납 용기(C) 내의 「H」 및 「I」의 미처리 기판(9)이 취출된다. 이 때, 「H」 및 「I」의 미처리 기판(9)은, 상측 핸드(31)의 하측 유지부, 및, 하측 핸드(31)의 하측 유지부에 의해 각각 유지된다. 「H」 및 「I」의 미처리 기판(9)은, 제2 반전부(41b)의 「3」 및 「4」의 송출 슬롯(42)에 각각 삽입된다. 「3」 및 「4」의 송출 슬롯(42)은 하측에 위치하고 있고, 제2 반전부(41b)는 송출 자세이다. 제2 반전부(41b)의 반전 동작에 의해, 「H」 및 「I」의 미처리 기판(9)이 반전된다. 또, 「3」 및 「4」의 송출 슬롯(42)이 상측에 위치하고, 제2 반전부(41b)가 취입 자세가 된다.
제2 반전부(41b)의 「I」 및 「H」의 미처리 기판(9)은, 센터 로봇(5)의 상측 핸드군(510)의 하측 핸드(51), 및, 하측 핸드군(510)의 하측 핸드(51)에 의해 각각 유지되고, 취출된다. 이 때, 센터 로봇(5)은, 「a」 및 「b」의 처리 완료 기판(9)을, 상측 핸드군(510)의 상측 핸드(51), 및, 하측 핸드군(510)의 상측 핸드(51)에 의해 유지하고 있다. 계속해서, 「a」 및 「b」의 처리 완료 기판(9)이, 취입 자세의 제2 반전부(41b)에 있어서의, 「2」 및 「1」의 취입 슬롯(43)에 각각 삽입된다. 이와 같이 하여, 센터 로봇(5)과 제2 반전부(41b) 사이에 있어서, 2개의 미처리 기판(9)과 2개의 처리 완료 기판(9)의 교환(이하, 간단히 「기판 교환」이라고도 한다.)이 행해진다.
이 때, 센터 로봇(5)에서는, 「a」 및 「b」의 처리 완료 기판(9), 및, 「I」 및 「H」의 미처리 기판(9)이 일시적으로 동시에 유지되는데, 모든 처리 완료 기판(9)은 상측 핸드(51)에 유지되며, 모든 미처리 기판(9)은 하측 핸드(51)에 유지된다. 따라서, 미처리 기판(9)으로부터의 더스트의 낙하에 의해 처리 완료 기판(9)이 오염되는 일은 없다. 또, 미처리 기판(9)의 더스트가 핸드(51)를 통해 처리 완료 기판(9)에 부착되는 것도 방지된다. 또한, 제2 반전부(41b)에서는, 하측에 위치하는 취입 슬롯(43)에 처리 완료 기판(9)이 삽입되는데, 처리 완료 기판(9)의 삽입 전에, 송출 슬롯(42)으로부터 미처리 기판(9)이 취출된다. 따라서, 송출 슬롯(42) 내의 미처리 기판(9)으로부터의 더스트의 낙하에 의해, 취입 슬롯(43) 내의 처리 완료 기판(9)이 오염되는 일은 없다.
그 후, 제2 반전부(41b)의 반전 동작에 의해, 「a」 및 「b」의 처리 완료 기판(9)이 반전된다. 또, 「1」 및 「2」의 취입 슬롯(43)이 상측에 위치하고, 제2 반전부(41b)가 송출 자세가 된다. 센터 로봇(5)의 상측 핸드군(510)에서는, 제3 처리부(61) 내의 「c」의 처리 완료 기판(9)이 취출되고, 「I」의 미처리 기판(9)이 제3 처리부(61) 내에 반입된다. 하측 핸드군(510)에서는, 제4 처리부(61) 내의 「d」의 처리 완료 기판(9)이 취출되고, 「H」의 미처리 기판(9)이 제4 처리부(61) 내에 반입된다. 이에 의해, 센터 로봇(5)에서는, 「c」 및 「d」의 처리 완료 기판(9)을 유지한 상태가 된다. 제3 및 제4 처리부(61)에서는, 「I」 및 「H」의 미처리 기판(9)에 대해서 처리가 개시된다.
인덱서 로봇(3)에서는, 센터 로봇(5)과 제2 반전부(41b) 사이에 있어서의 상기 기판 교환에 병행하여, 수납 용기(C) 내의 「J」 및 「K」의 미처리 기판(9)이 취출된다. 「J」 및 「K」의 미처리 기판(9)은, 공반전에 의해 송출 자세가 된 제1 반전부(41a)의 「3」 및 「4」의 송출 슬롯(42)에 각각 삽입된다. 제1 반전부(41a)의 반전 동작에 의해, 「J」 및 「K」의 미처리 기판(9)이 반전됨과 더불어, 제1 반전부(41a)가 취입 자세가 된다.
제1 반전부(41a)의 「K」 및 「J」의 미처리 기판(9)은, 센터 로봇(5)의 상측 핸드군(510)의 하측 핸드(51), 및, 하측 핸드군(510)의 하측 핸드(51)에 의해 각각 유지되고, 취출된다. 이 때, 센터 로봇(5)은, 「c」 및 「d」의 처리 완료 기판(9)을, 상측 핸드군(510)의 상측 핸드(51), 및, 하측 핸드군(510)의 상측 핸드(51)에 의해 유지하고 있다. 계속해서, 「c」 및 「d」의 처리 완료 기판(9)이, 취입 자세의 제1 반전부(41a)에 있어서의, 「2」 및 「1」의 취입 슬롯(43)에 각각 삽입된다. 이와 같이 하여, 센터 로봇(5)과 제1 반전부(41a) 사이에 있어서, 2개의 미처리 기판(9)과 2개의 처리 완료 기판(9)의 교환(즉, 기판 교환)이 행해진다. 여기서의 기판 교환은, 제1 반전부(41a)를 공반전하고, 제1 반전부(41a)에 2개의 미처리 기판(9)을 투입해 둠으로써 가능해진다. 또, 센터 로봇(5)이 제3 및 제4 처리부(61)에 액세스하고 있는 동안에, 제1 반전부(41a)의 상기 반전 동작(「J」 및 「K」의 미처리 기판(9)의 반전 동작)이 행해지기 때문에, 센터 로봇(5)에서는 과도한 대기 시간 없이, 제1 반전부(41a)와의 사이의 기판 교환이 가능해진다. 그 후, 제1 반전부(41a)의 반전 동작에 의해, 「c」 및 「d」의 처리 완료 기판(9)이 반전된다. 「K」 및 「J」의 미처리 기판(9)에 대한 그 후의 동작은, 기술한 미처리 기판(9)과 동일하기 때문에, 설명을 생략한다.
한편, 제2 반전부(41b)에서는, 취입 슬롯(43) 내의 「a」 및 「b」의 처리 완료 기판(9)의 반전이 완료되어 있고, 제2 반전부(41b)가 송출 자세가 되어 있다. 수납 용기(C) 내의 「L」 및 「M」의 미처리 기판(9)이, 인덱서 로봇(3)의 상측 핸드(31)의 하측 유지부, 및, 하측 핸드(31)의 하측 유지부에 의해 각각 유지되고, 송출 자세의 제2 반전부(41b)의 「3」 및 「4」의 송출 슬롯(42)에 각각 삽입된다. 계속해서, 「1」 및 「2」의 취입 슬롯(43) 내의 「b」 및 「a」의 처리 완료 기판(9)이, 상측 핸드(31)의 상측 유지부, 및, 하측 핸드(31)의 상측 유지부에 의해 유지되고, 수납 용기(C) 내에 되돌려진다. 이와 같이 하여, 인덱서 로봇(3)과 제2 반전부(41b) 사이에 있어서, 2개의 미처리 기판(9)과 2개의 처리 완료 기판(9)의 교환(즉, 기판 교환)이 행해진다.
이 때, 인덱서 로봇(3)에서는, 모든 처리 완료 기판(9)은 상측 유지부에 유지되며, 모든 미처리 기판(9)은 하측 유지부에 유지된다. 따라서, 미처리 기판(9)의 더스트가 핸드(31)를 통해 처리 완료 기판(9)에 부착되는 것이 방지된다. 또, 제2 반전부(41b)에서는, 「b」 및 「a」의 처리 완료 기판(9), 및, 「L」 및 「M」의 미처리 기판(9)이 일시적으로 동시에 유지되는데, 상측에 위치하는 취입 슬롯(43)에 처리 완료 기판(9)이 유지되고, 하측에 위치하는 송출 슬롯(42)에 미처리 기판(9)이 유지된다. 따라서, 미처리 기판(9)으로부터의 더스트의 낙하에 의해 처리 완료 기판(9)이 오염되는 일은 없다(제1 반전부(41a)에 있어서 동일). 또, 미처리 기판(9)은 송출 슬롯(42)에 삽입되고, 처리 완료 기판(9)은 취입 슬롯(43)에 삽입된다. 따라서, 미처리 기판(9)의 더스트가 슬롯을 통해 처리 완료 기판(9)에 부착되는 것도 방지된다. 「L」 및 「M」의 미처리 기판(9)에 대한 그 후의 동작은, 기술한 미처리 기판(9)과 동일하기 때문에, 설명을 생략한다.
또, 제1 반전부(41a)에서는, 기술한 바와 같이, 취입 슬롯(43) 내의 「c」 및 「d」의 처리 완료 기판(9)의 반전이 행해지고, 제1 반전부(41a)가 송출 자세가 되어 있다. 인덱서 로봇(3)에서는, 수납 용기(C) 내의 「N」 및 「O」의 미처리 기판(9)이, 제1 반전부(41a)의 2개의 송출 슬롯(42)에 각각 삽입된다. 이 때, 인덱서 로봇(3)이, 「a」 및 「b」의 처리 완료 기판(9)을 수납 용기(C)에 되돌리는 상기 동작에 병행하여, 제1 반전부(41a)의 상기 반전 동작(「c」 및 「d」의 처리 완료 기판(9)의 반전 동작)이 행해지고 있음으로써, 인덱서 로봇(3)에서는, 과도한 대기 시간 없이, 「N」 및 「O」의 미처리 기판(9)의 제1 반전부(41a)로의 투입이 가능하다. 그 후, 2개의 취입 슬롯(43) 내의 「c」 및 「d」의 처리 완료 기판(9)이, 수납 용기(C) 내로 되돌려진다. 이와 같이 하여, 인덱서 로봇(3)과 제1 반전부(41a) 사이에 있어서, 2개의 미처리 기판(9)과 2개의 처리 완료 기판(9)의 교환(즉, 기판 교환)이 행해진다. 「N」 및 「O」의 미처리 기판(9)에 대한 그 후의 동작은, 기술한 미처리 기판(9)과 동일하기 때문에, 설명을 생략한다.
도 10은, 복수의 기판(9)에 대한 이면 처리 동작의 개시 직후에 있어서의 타임 차트를 나타내는 도면이다. 도 10에 나타내는 바와 같이, 복수의 기판(9)에 대한 이면 처리 동작의 개시 직후에는, 복수의 처리부(61)에 대해서 수납 용기(C) 내의 미처리 기판(9)을 순차적으로 반입할 필요가 있다. 이 경우, 각 반전부(41a, 41b)에 있어서 미처리 기판(9)을 반전하고, 당해 미처리 기판(9)을 취출한 후, 내부에 평행 사선을 그은 블록(B2)에 나타내는 바와 같이, 공반전이 행해진다. 동일하게, 복수의 기판(9)에 대한 이면 처리 동작의 종료 직전에는, 복수의 처리부(61)로부터 수납 용기(C) 내에 처리 완료 기판(9)을 순차적으로 되돌릴 필요가 있다. 이 경우도, 각 반전부(41a, 41b)에 있어서 처리 완료 기판(9)을 반전하고, 당해 처리 완료 기판(9)을 취출한 후, 공반전이 행해진다. 한편, 도 8 중에 블록(B1)에 나타내는 공반전은, 고가동 상태에 있어서 공반전 조건에 따라서 행해지는 것이며, 복수의 기판(9)에 대한 이면 처리 동작의 개시 직후, 및, 종료 직전에 행해지는 상기 공반전과는 상이하다.
고가동 상태에 있어서의 공반전 조건은, 제1 또는 제2 반전부(41a, 41b)의 공반전을 행함으로써, 기판 처리 장치(1)에 있어서의 스루풋이 향상되는 조건이면 되고, 도 8 및 도 9를 참조하여 설명한 공반전 조건 이외여도 된다. 예를 들면, 제1 또는 제2 반전부(41a, 41b)의 공반전을 행함으로써, 인덱서 로봇(3)과 당해 반전부(41a, 41b) 사이, 또는, 센터 로봇(5)과 당해 반전부(41a, 41b) 사이에서, 2개의 미처리 기판(9)과 2개의 처리 완료 기판(9)의 교환(즉, 기판 교환)이 가능해지는 경우에, 공반전이 행해지는 것이 바람직하다.
일례에서는, 고가동 상태에 있어서, 제1 및 제2 반전부(41a, 41b)의 쌍방이 미처리 기판(9)을 유지하고 있지 않고, 또한, 쌍방의 반전부(41a, 41b)가 취입 자세인 경우, 적어도 한쪽의 반전부(41a, 41b)의 공반전이 행해지는 것이 바람직하다. 공반전 후, 당해 반전부(41a, 41b)의 송출 슬롯(42)에 미처리 기판(9)이 삽입되고, 또한, 당해 반전부(41a, 41b)의 반전 동작이 행해짐으로써, 당해 반전부(41a, 41b)가 미처리 기판(9)을 유지한 상태로 취입 자세가 된다. 상기와 같이, 미처리 기판(9)을 유지하고 있지 않은 쌍방의 반전부(41a, 41b)가 취입 자세인 경우, 센터 로봇(5)이 미처리 기판(9)을 유지하여 처리부(61)에 액세스하고 있고, 처리부(61)로부터 처리 완료 기판(9)을 반출한다고 생각된다. 반전부(41a, 41b)에 있어서의 반전 동작에는 어느 정도의 시간을 필요로 하는데, 센터 로봇(5)이 처리부(61)에 액세스하고 있는 동안에, 제1 또는 제2 반전부(41a, 41b)를, 미처리 기판(9)을 유지한 상태로 취입 자세로 해 둠으로써, 상기 처리 완료 기판(9)과 미처리 기판(9)의 교환을 과도한 대기 시간 없이 행하는 것이 가능해진다.
다음에, 제1 또는 제2 반전부(41a, 41b) 중 한쪽을 생략하고, 1개의 반전부만을 이용하는 비교예의 기판 처리 장치에 대해 기술한다. 비교예의 기판 처리 장치에 있어서의 반전부에서는, 송출 슬롯(42)과 취입 슬롯(43)은 구별되지 않는다. 또, 인덱서 로봇(3)에 의해 하측의 2개의 슬롯에 미처리 기판(9)이 삽입되고, 센터 로봇(5)에 의해 하측의 2개의 슬롯에 처리 완료 기판(9)이 삽입된다.
도 11은, 비교예의 기판 처리 장치에 있어서의 타임 차트를 나타내는 도면이며, 도 12는, 반전부의 동작을 나타내는 도면이다. 도 11 및 도 12는, 도 8 및 도 9에 각각 대응한다. 또, 도 11 및 도 12 중의 RVP는 상기 1개의 반전부를 나타낸다. 비교예의 기판 처리 장치에서는, 인덱서 로봇(3) 및 센터 로봇(5)이 반전부의 동작의 완료를 기다리는 시간이 길어져, 전체적인 가동률이 저하해 버린다. 또, 반전부에서는, 미처리 기판(9)이 삽입되는 슬롯과, 처리 완료 기판(9)이 삽입되는 슬롯이 구별되지 않기 때문에, 미처리 기판(9)의 더스트가 슬롯을 통해 처리 완료 기판(9)에 부착될 가능성이 있다.
이에 대해, 도 1의 기판 처리 장치(1)에서는, 2개의 반전부(41a, 41b)가 설치된다. 이에 의해, 인덱서 로봇(3) 및 센터 로봇(5)이, 반전부(41a, 41b)의 동작의 완료를 기다리는 시간을, 비교예의 기판 처리 장치에 비해 짧게(또는, 없게) 할 수 있고, 가동률을 향상시킬 수 있다. 일례에서는, 기판(9)의 반전을 행하지 않는 경우와 거의 동등한 가동률을 실현할 수 있다. 또, 각 반전부(41a, 41b)가, 미처리 기판(9)이 삽입되는 송출 슬롯(42)과, 처리 완료 기판(9)이 삽입되는 취입 슬롯(43)을 구비한다. 이에 의해, 미처리 기판(9)의 더스트가 슬롯을 통해 처리 완료 기판(9)에 부착되어, 처리 완료 기판(9)이 오염되는 것을 억제할 수 있다.
또, 고가동 상태에 있어서, 송출 슬롯(42) 및 취입 슬롯(43)에 기판(9)이 삽입되어 있지 않고, 또한, 취입 자세인 제1 또는 제2 반전부(41a, 41b)가, 소정의 조건에 있어서, 공반전에 의해 송출 자세가 된다. 그리고, 송출 자세가 된 당해 반전부(41a, 41b)의 송출 슬롯(42)에, 인덱서 로봇(3)에 의해 미처리 기판(9)이 삽입된다. 이와 같이, 고가동 상태에 있어서, 기판(9)이 삽입되어 있지 않은 제1 또는 제2 반전부(41a, 41b)의 반전(공반전)을 행함으로써, 당해 반전부(41a, 41b)와 센터 로봇(5) 사이에서 미처리 기판(9)과 처리 완료 기판(9)의 교환을 행할 수 있어, 복수의 기판(9)을 효율적으로 처리할 수 있다.
바람직하게는, 고가동 상태에 있어서, 제1 및 제2 반전부(41a, 41b) 중, 한쪽의 반전부의 송출 슬롯(42) 및 취입 슬롯(43)에 기판(9)이 삽입되어 있지 않고, 또한, 당해 한쪽의 반전부가 취입 자세가 되어 있고, 또한, 다른 쪽의 반전부의 송출 슬롯(42)에 미처리 기판(9)이 삽입되는 경우에, 당해 한쪽의 반전부가 공반전에 의해 송출 자세가 된다. 이에 의해, 당해 한쪽의 반전부(41a, 41b)와 센터 로봇(5) 사이에서 미처리 기판(9)과 처리 완료 기판(9)의 교환을 행하여, 복수의 기판(9)을 효율적으로 처리할 수 있다.
기판 처리 장치(1)에서는, 각 반전부(41a, 41b)의 송출 자세에 있어서, 송출 슬롯(42)이 취입 슬롯(43)의 하방에 위치한다. 이에 의해, 송출 자세의 당해 반전부(41a, 41b)에 있어서, 처리 완료 기판(9)이 미처리 기판(9)의 하방에 배치되는 것을 방지하고, 처리 완료 기판(9)이 미처리 기판(9)에 의해 오염되는 것을 억제할 수 있다. 게다가, 각 반전부(41a, 41b)가, 송출 슬롯(42)에 미처리 기판(9)이 삽입된 상태로 취입 자세가 되는 경우에, 센터 로봇(5)에 의해, 송출 슬롯(42)의 미처리 기판(9)이 취출된 후, 취입 슬롯(43)에 처리 완료 기판(9)이 삽입된다. 이에 의해, 취입 자세의 반전부(41a, 41b)에 있어서, 처리 완료 기판(9)이 미처리 기판(9)의 하방에 배치되는 것을 방지하고, 처리 완료 기판(9)이 미처리 기판(9)에 의해 오염되는 것을 억제할 수 있다.
각 반전부(41a, 41b)에서는, 송출 슬롯(42) 및 취입 슬롯(43)의 양쪽 모두에 기판(9)이 들어간 상태에 있어서, 반전 기구(45)에 의한 반전 동작이 금지된다. 이에 의해, 반전 동작에 의해, 처리 완료 기판(9)이 미처리 기판(9)의 하방에 배치되는 것을 방지할 수 있다.
각 반전부(41a, 41b)에 있어서, 송출 슬롯(42) 및 취입 슬롯(43)의 각각의 개수는, 2 이외여도 된다. 도 13에서는, 송출 슬롯(42) 및 취입 슬롯(43)의 각각의 개수가 1인 경우를 나타내고, 도 14에서는, 송출 슬롯(42) 및 취입 슬롯(43)의 각각의 개수가 4인 경우를 나타내고 있다. 도 13 및 도 14의 예에서도, 고가동 상태에 있어서, 제1 반전부(41a)(RVP1)의 송출 슬롯(42) 및 취입 슬롯(43)에 기판(9)이 삽입되어 있지 않고, 또한, 제1 반전부(41a)가 취입 자세가 되어 있고, 또한, 제2 반전부(41b)의 송출 슬롯(42)에 미처리 기판(9)이 삽입되는 경우에, 제1 반전부(41a)의 공반전 조건이 성립한다. 이에 의해, 제1 반전부(41a)의 공반전이 행해진다(화살표 A1a의 반전 동작 참조). 그 결과, 당해 제1 반전부(41a)와 센터 로봇(5) 사이에서 미처리 기판(9)과 처리 완료 기판(9)의 교환을 행하여, 복수의 기판(9)을 효율적으로 처리할 수 있다. 제2 반전부(41b)의 공반전 조건이 성립하는 경우도 동일하다.
상기 처리예에서는, 복수의 기판(9)에 대해서 이면 처리 동작이 행해지는데, 기판 처리 장치(1)에서는, 처리부(61)에 있어서, 기판(9)의 패턴면을 상방을 향하게 하여, 패턴면에 대해서 처리액 등에 의한 처리가 행해져도 된다. 기판(9)의 패턴면에 대해서 처리부(61)에 의한 처리를 행하기 위한 일련의 동작(이하, 「패턴면 처리 동작」이라고 한다.)에서는, 인덱서 로봇(3)에 의해 제1 또는 제2 반전부(41a, 41b)의 송출 슬롯(42)에 미처리 기판(9)이 삽입되고, 당해 반전부(41a, 41b)에 있어서 반전 동작을 행하지 않고, 센터 로봇(5)에 의해 당해 미처리 기판(9)이 취출된다. 당해 미처리 기판(9)은, 어느 한 처리부(61)에 반입된다. 또, 처리부(61)에 있어서 패턴면에 대한 처리가 행해진 기판(9), 즉, 처리 완료 기판(9)은, 센터 로봇(5)에 의해 취출되고, 제1 또는 제2 반전부(41a, 41b)의 취입 슬롯(43)에 삽입된다. 그리고, 당해 반전부(41a, 41b)에 있어서 반전 동작을 행하지 않고, 인덱서 로봇(3)에 의해 당해 처리 완료 기판(9)이 취출되어, 수납 용기(C)로 되돌려진다.
기판 처리 장치(1)에서는, 패턴면 처리 동작과, 이면 처리 동작이 혼재되어 행해져도 된다. 이 경우에, 고가동 상태에 있어서, 다음에 처리부(61)로 반송되어야 할 미처리 기판(9)에 대해서 이면 처리 동작이 행해지는 경우에는, 송출 슬롯(42) 및 취입 슬롯(43)에 기판(9)이 삽입되어 있지 않고, 또한, 취입 자세인 제1 또는 제2 반전부(41a, 41b)를, 공반전에 의해 송출 자세로 하는 것이 바람직하다. 송출 자세가 된 당해 반전부(41a, 41b)의 송출 슬롯(42)에는, 인덱서 로봇(3)에 의해 당해 미처리 기판(9)이 삽입되고, 당해 반전부(41a, 41b)의 반전 동작이 행해진다. 이에 의해, 당해 반전부(41a, 41b)와 센터 로봇(5) 사이에서, 이면이 상방을 향한 미처리 기판(9)과, 이면 또는 패턴면이 상방을 향한 처리 완료 기판(9)의 교환을 행할 수 있어, 복수의 기판(9)을 효율적으로 처리할 수 있다.
상기 기판 처리 장치(1)에서는 여러가지 변형이 가능하다.
기판 처리 장치(1)에서는, 각 반전부(41a, 41b)의 취입 자세에 있어서, 취입 슬롯(43)이 송출 슬롯(42)의 상방에 위치해도 된다. 이에 의해, 취입 자세의 반전부(41a, 41b)에 있어서, 처리 완료 기판(9)이 미처리 기판(9)의 하방에 배치되는 것을 방지하고, 처리 완료 기판(9)이 오염되는 것을 억제할 수 있다. 게다가, 각 반전부(41a, 41b)가, 취입 슬롯(43)에 처리 완료 기판(9)이 삽입된 상태로 송출 자세가 되는 경우, 즉, 송출 자세에 있어서 취입 슬롯(43)이 송출 슬롯(42)의 하방에 위치하는 경우에, 인덱서 로봇(3)에 의해, 취입 슬롯(43)의 처리 완료 기판(9)이 취출된 후, 송출 슬롯(42)에 미처리 기판(9)이 삽입되는 것이 바람직하다. 이에 의해, 송출 자세의 반전부(41a, 41b)에 있어서, 처리 완료 기판(9)이 미처리 기판(9)의 하방에 배치되는 것을 방지하고, 처리 완료 기판(9)이 오염되는 것을 억제할 수 있다.
또, 각 반전부(41a, 41b)에 있어서의 송출 자세 및 취입 자세에 있어서, 예를 들면, 송출 슬롯(42)과 취입 슬롯(43)이 수평 방향으로 떨어지는 위치에 배치되어도 된다. 반전부(41a, 41b)에 있어서의 송출 자세에서는, 인덱서 로봇(3)에 의한 미처리 기판(9)의 삽입에 대응지어진 임의의 위치에 송출 슬롯(42)이 배치되고, 반전부(41a, 41b)에 있어서의 취입 자세에서는, 센터 로봇(5)에 의한 처리 완료 기판(9)의 삽입에 대응지어진 임의의 위치에 취입 슬롯(43)이 배치되어도 된다.
기판 처리 장치(1)에 있어서 처리가 행해지는 기판은 반도체 기판에는 한정되지 않으며, 유리 기판이나 다른 기판이어도 된다. 또, 기판 처리 장치(1)가, 원판 형상과는 상이한 외형의 기판의 처리에 이용되어도 된다.
상기 실시의 형태 및 각 변형예에 있어서의 구성은, 서로 모순되지 않는 한 적당히 조합되어도 된다.
발명을 상세하게 묘사하여 설명했는데, 기술의 설명은 예시적이며 한정적인 것은 아니다. 따라서, 본 발명의 범위를 일탈하지 않는 한, 다수의 변형이나 양태가 가능하다고 할 수 있다.
1: 기판 처리 장치 2: 용기 재치부
3: 인덱서 로봇 5: 센터 로봇
6: 처리 유닛 9: 기판
41a: 제1 반전부 41b: 제2 반전부
42: 송출 슬롯 43: 취입 슬롯
45: 반전 기구 61: 처리부
71: 제어부 C: 수납 용기
S11, S12a~S14a, S12b~S14b, S15, S16, S17a~S19a, S17b~S19b, S21~S23: 단계

Claims (7)

  1. 기판 처리 장치로서,
    복수의 기판을 수납하는 수납 용기가 재치(載置)되는 용기 재치부와,
    각각이 기판에 대해서 처리를 행하는 복수의 처리부를 갖는 처리 유닛과,
    상기 용기 재치부와 상기 처리 유닛 사이에 배치되고, 기판을 반전하는 제1 반전부와,
    상기 용기 재치부와 상기 처리 유닛 사이에 배치되고, 기판을 반전하는 제2 반전부와,
    상기 수납 용기와 상기 제1 및 제2 반전부 사이에서 기판을 반송하는 용기 측 반송부와,
    상기 제1 및 제2 반전부와 상기 복수의 처리부 사이에서 기판을 반송하는 처리부 측 반송부와,
    상기 제1 반전부, 상기 제2 반전부, 상기 용기 측 반송부 및 상기 처리부 측 반송부를 제어함으로써, 상기 수납 용기 내의 미처리 기판을 상기 제1 또는 제2 반전부에서 반전하여 어느 한 처리부에 반입함과 더불어, 상기 처리부에 의한 처리 완료 기판을 상기 제1 또는 제2 반전부에서 반전하여 상기 수납 용기 내로 되돌리는 제어부를 구비하고,
    각 반전부가,
    상기 용기 측 반송부에 의해 상기 수납 용기 내의 미처리 기판이 삽입되는 송출 슬롯과,
    상기 처리부 측 반송부에 의해 상기 처리부에 의한 처리 완료 기판이 삽입되는 취입(取入) 슬롯과,
    상기 송출 슬롯 및 상기 취입 슬롯을 일체적으로 반전함으로써, 상기 용기 측 반송부에 의한 미처리 기판의 삽입에 대응지어진 위치에 상기 송출 슬롯을 배치한 송출 자세와, 상기 처리부 측 반송부에 의한 처리 완료 기판의 삽입에 대응지어진 위치에 상기 취입 슬롯을 배치한 취입 자세를 전환하는 반전 기구를 구비하고,
    상기 제어부의 지령에 의해, 상기 용기 측 반송부가, 상기 수납 용기 내의 미처리 기판을 상기 송출 자세의 상기 제1 또는 제2 반전부의 상기 송출 슬롯에 삽입하고, 상기 처리부 측 반송부가, 상기 처리부에 의한 처리 완료 기판을 상기 취입 자세의 상기 제1 또는 제2 반전부의 상기 취입 슬롯에 삽입하고,
    어느 한 처리부에 있어서의 처리의 완료를 기다려 당해 처리부로 반송되어야 할 미처리 기판이 상기 수납 용기 내에 존재하는 고(高)가동 상태에 있어서, 상기 제어부가, 상기 송출 슬롯 및 상기 취입 슬롯에 기판이 삽입되어 있지 않고, 또한, 상기 취입 자세인 상기 제1 또는 제2 반전부를 상기 송출 자세로 하고, 상기 송출 자세가 된 상기 제1 또는 제2 반전부의 상기 송출 슬롯에, 상기 용기 측 반송부에 의해 상기 미처리 기판을 삽입하는, 기판 처리 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 고가동 상태에 있어서, 상기 제1 및 제2 반전부 중, 한쪽의 반전부의 상기 송출 슬롯 및 상기 취입 슬롯에 기판이 삽입되어 있지 않고, 또한, 상기 한쪽의 반전부가 상기 취입 자세가 되어 있고, 더욱이, 다른 쪽의 반전부의 상기 송출 슬롯에 미처리 기판이 삽입되는 경우에, 상기 제어부가, 상기 한쪽의 반전부를 상기 송출 자세로 하는, 기판 처리 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 각 반전부의 상기 송출 자세에 있어서, 상기 송출 슬롯이 상기 취입 슬롯의 하방에 위치하거나, 또는, 상기 각 반전부의 상기 취입 자세에 있어서, 상기 취입 슬롯이 상기 송출 슬롯의 상방에 위치하는, 기판 처리 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 각 반전부의 상기 송출 자세에 있어서, 상기 송출 슬롯이 상기 취입 슬롯의 하방에 위치하고, 또한, 상기 각 반전부가, 상기 송출 슬롯에 미처리 기판이 삽입된 상태로 상기 취입 자세가 되는 경우에, 상기 처리부 측 반송부에 의해, 상기 송출 슬롯의 상기 미처리 기판이 취출(取出)된 후, 상기 취입 슬롯에 처리 완료 기판이 삽입되거나, 또는, 상기 각 반전부의 상기 취입 자세에 있어서, 상기 취입 슬롯이 상기 송출 슬롯의 상방에 위치하고, 또한, 상기 각 반전부가, 상기 취입 슬롯에 처리 완료 기판이 삽입된 상태로 상기 송출 자세가 되는 경우에, 상기 용기 측 반송부에 의해, 상기 취입 슬롯의 상기 처리 완료 기판이 취출된 후, 상기 송출 슬롯에 미처리 기판이 삽입되는, 기판 처리 장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 송출 슬롯 및 상기 취입 슬롯 양쪽 모두에 기판이 들어간 상태에 있어서, 상기 반전 기구에 의한 반전 동작이 금지되는, 기판 처리 장치.
  6. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수의 기판 각각이, 패턴이 형성된 패턴면과, 상기 패턴면과는 반대 측의 이면을 갖고,
    상기 수납 용기에 있어서, 상기 복수의 기판 각각이 상기 패턴면을 상방으로 향하게 하여 유지되고,
    상기 복수의 처리부에 있어서, 기판의 상기 이면에 대해서 처리가 행해지는, 기판 처리 장치.
  7. 기판 처리 장치에 있어서의 기판 처리 방법으로서,
    상기 기판 처리 장치가,
    복수의 기판을 수납하는 수납 용기가 재치되는 용기 재치부와,
    각각이 기판에 대해서 처리를 행하는 복수의 처리부를 갖는 처리 유닛과,
    상기 용기 재치부와 상기 처리 유닛 사이에 배치되고, 기판을 반전하는 제1 반전부와,
    상기 용기 재치부와 상기 처리 유닛 사이에 배치되고, 기판을 반전하는 제2 반전부와,
    상기 수납 용기와 상기 제1 및 제2 반전부 사이에서 기판을 반송하는 용기 측 반송부와,
    상기 제1 및 제2 반전부와 상기 복수의 처리부 사이에서 기판을 반송하는 처리부 측 반송부를 구비하고,
    각 반전부가,
    상기 용기 측 반송부에 의해 상기 수납 용기 내의 미처리 기판이 삽입되는 송출 슬롯과,
    상기 처리부 측 반송부에 의해 상기 처리부에 의한 처리 완료 기판이 삽입되는 취입 슬롯과,
    상기 송출 슬롯 및 상기 취입 슬롯을 일체적으로 반전함으로써, 상기 용기 측 반송부에 의한 미처리 기판의 삽입에 대응지어진 위치에 상기 송출 슬롯을 배치한 송출 자세와, 상기 처리부 측 반송부에 의한 처리 완료 기판의 삽입에 대응지어진 위치에 상기 취입 슬롯을 배치한 취입 자세를 전환하는 반전 기구를 구비하고,
    상기 기판 처리 방법이,
    a) 상기 용기 측 반송부에 의해, 상기 수납 용기 내의 미처리 기판을 상기 송출 자세의 어느 한 반전부의 상기 송출 슬롯에 삽입하는 공정과,
    b) 상기 반전부를 상기 취입 자세로 하여 상기 기판을 반전하는 공정과,
    c) 상기 처리부 측 반송부에 의해, 상기 기판을 상기 반전부로부터 어느 한 처리부에 반입하는 공정과,
    d) 상기 처리부에 있어서 상기 기판에 대해서 처리를 행하는 공정과,
    e) 상기 처리부에 의한 처리가 완료된 상기 기판을, 상기 처리부 측 반송부에 의해 상기 취입 자세의 어느 한 반전부의 상기 취입 슬롯에 삽입하는 공정과,
    f) 상기 반전부를 상기 송출 자세로 하여 상기 기판을 반전하는 공정과,
    g) 상기 용기 측 반송부에 의해, 상기 기판을 상기 반전부로부터 상기 수납 용기 내로 되돌리는 공정과,
    h) 상기 a) 내지 g) 공정에 부분적으로 병행하면서, 상기 수납 용기 내의 다른 미처리 기판에 대해서 상기 a) 내지 g) 공정과 같은 동작을 행하는 공정과,
    i) 어느 한 처리부에 있어서의 처리의 완료를 기다려 당해 처리부로 반송되어야 할 미처리 기판이 상기 수납 용기 내에 존재하는 고가동 상태에 있어서, 상기 송출 슬롯 및 상기 취입 슬롯에 기판이 삽입되어 있지 않고, 또한, 상기 취입 자세인 상기 제1 또는 제2 반전부를 상기 송출 자세로 하는 공정과,
    j) 상기 i) 공정에 있어서 상기 송출 자세가 된 상기 제1 또는 제2 반전부의 상기 송출 슬롯에, 상기 용기 측 반송부에 의해 상기 미처리 기판을 삽입하는 공정을 구비하는, 기판 처리 방법.
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