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KR102433759B1 - 웨이퍼 식각장치 - Google Patents

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KR102433759B1
KR102433759B1 KR1020200159800A KR20200159800A KR102433759B1 KR 102433759 B1 KR102433759 B1 KR 102433759B1 KR 1020200159800 A KR1020200159800 A KR 1020200159800A KR 20200159800 A KR20200159800 A KR 20200159800A KR 102433759 B1 KR102433759 B1 KR 102433759B1
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마오-린 리우
팅-위 우
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사이언테크 코포레이션
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Abstract

본 발명은 침지기구, 회전모터, 개폐기구 및 주입 노즐을 포함하는, 작업용 유체로 웨이퍼를 식각하기 위한 웨이퍼 식각장치를 제공한다. 침지기구는 웨이퍼를 탑재하기 위한 캐리어 및 작업용 유체를 담기 위해 웨이퍼 둘레에 끼워지기 위한 링형벽을 포함한다. 회전모터는 캐리어에 연동되어 캐리어를 회전하도록 구동한다. 개폐기구는 침지기구에 연동되어 캐리어 및 링형벽이 상대적으로 이동하게 구동함으로써 웨이퍼가 링형벽에서 출입할 수 있게 한다. 주입 노즐은 침지기구의 일측에 구비되고 또한 링형벽 안쪽을 향하게 배치되어 작업용 유체를 공급한다.

Description

웨이퍼 식각장치{Apparatus for etching substrate}
본 발명은 웨이퍼 식각장치에 관한 것으로, 특히 단일 웨이퍼를 식각하기 위한 웨이퍼 식각장치에 관한 것이다.
현재 웨이퍼 식각 공정의 추세는 제품 다양화라는 요구에 부응하고자 단일 웨이퍼 가공이라는 방향으로 점차 발전하고 있다. 종래의 단일 웨이퍼 식각장치는 웨이퍼 표면에 식각액을 스프레이하는 방식으로 식각을 진행하지만 상기 식각액이 웨이퍼 가장자리에 머무는 시간이 너무 짧아서 웨이퍼 가장자리의 식각 수율이 열악하게 된다. 이러한 문제점에 대한 종래의 솔루션은 먼저 웨이퍼를 쌓은 후 웨이퍼를 미리 침지하여 웨이퍼 표면의 각 부분이 식각액과 충분히 접촉하게 한 후 식각장치에 진입 시켜 식각을 진행한다. 그러나 이러한 방법은 습기차고 젖은 웨이퍼를 이동시켜야 하고 비산되는 식각액을 제어하기 어렵다. 그리고 한 무리의 웨이퍼를 미리 식각하는 과정은 단일 웨이퍼 식각의 장점을 잃게 만든다.
이에, 본 발명자가 개선하고자 하는 목적은 상술한 종래 기술에 대해 깊이 연구하고 학문적인 응용을 결합하여 상술한 문제점을 전적으로 해결하는 것이다.
본 발명은 단일 웨이퍼를 식각하기 위한 웨이퍼 식각장치를 제공한다.
본 발명은 침지기구, 회전모터, 개폐기구 및 주입 노즐을 포함하는, 작업용 유체로 웨이퍼를 식각하기 위한 웨이퍼 식각장치를 제공한다. 침지기구는 웨이퍼를 탑재하기 위한 캐리어 및 작업용 유체를 담기 위해 웨이퍼 둘레에 끼워지기 위한 링형벽을 포함한다. 회전모터는 캐리어에 연동되어 캐리어가 회전하게 구동할 수 있다. 개폐기구는 침지기구에 연동되어 캐리어 및 링형벽이 상대적으로 이동하게 구동함으로써 웨이퍼가 링형벽에서 출입할 수 있게 한다. 주입 노즐은 침지기구의 일측에 구비되고 또한 링형벽 안쪽을 향하게 배치되어 작업용 유체를 공급한다.
본 발명에 따른 웨이퍼 식각장치는 내부에 침지기구를 안치하는 외부 배수조를 더 포함한다. 외부 배수조는 감싸는 방식으로 상호 겹쳐지는 다수 개의 분기용 링형 캡을 포함하고, 각각의 분기용 링형 캡은 각각 침지기구를 둘러싸고 또한 독자적으로 승강할 수 있다.
본 발명에 따른 웨이퍼 식각장치의 개폐기구는 캐리어에 연결되는 제1 승강모듈을 포함한다. 개폐기구는 링형벽에 연결되는 제2 승강모듈을 포함한다.
본 발명에 따른 웨이퍼 식각장치의 링형벽에는 스토퍼 모듈이 구비되어 웨이퍼 표면을 오버플로우하는 작업용 유체를 저지한다. 스토퍼 모듈은 링형벽의 내벽면에 연통되게 다수 개의 가스 분출구를 구비하여 가스를 링형벽과 웨이퍼 사이의 틈새에 주입한다. 스토퍼 모듈은 링형벽에 구비되는 밀폐링을 포함하고 캐리어는 밑판을 포함하고 밀폐링은 밑판의 가장자리에 맞닿아 압력을 가한다. 밑판의 상단면에는 돌출된 원추형 모양의 배수면이 형성된다. 캐리어는 밑판의 상단면에 세로로 구비되는 다수 개의 척을 구비하고 웨이퍼는 상술한 척에 탑재된다.
본 발명에 따른 웨이퍼 식각장치의 회전모터는 링형벽에 연동되어 링형벽과 캐리어가 동시에 회전하도록 구동할 수 있다.
본 발명에 따른 웨이퍼 식각장치의 캐리어 옆에는 상기 캐리어를 에워 싸는 다수 개의 청소 노즐을 구비하고 상술한 청소 노즐은 위로 벌어지게 배치된다. 상술한 청소 노즐의 분사 방향은 밖을 향해 발산하는 것이다.
본 발명에 따른 웨이퍼 식각장치는 링형벽에 의해 웨이퍼의 가장자리를 감싸서 작업용 유체를 링형벽 내에 주입하고 나서 웨이퍼를 회전 시켜 식각을 진행한다. 그러므로 작업용 유체가 웨이퍼의 표면을 완전히 커버할 수 있어서 식각 품질이 균일하고 안정적이다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 웨이퍼 식각장치의 설명도다.
도 3 내지 도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 웨이퍼 식각장치의 사용 상태 설명도이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 웨이퍼 식각장치의 변형 실시에 대한 설명도다.
도 7 및 도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 웨이퍼 식각장치의 설명도다.
도 9 내지 도 10은 본 발명의 제2 실시예에 따른 웨이퍼 식각장치의 사용 상태 설명도이다.
도 11 내지 도 13은 본 발명의 제2 실시예에 따른 웨이퍼 식각장치의 변형 실시에 대한 설명도이다.
본 발명에 따른 웨이퍼 식각장치는 전체적으로 원기둥 모양을 하고 그 중심축을 따라 대칭된다. 따라서, 각 실시예에서는 세로 방향 단면도로 설명을 진행한다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 웨이퍼 식각장치는 작업용 유체(20)로 웨이퍼(10)를 식각하기 위한 것으로 적어도 침지기구(100), 회전모터(200), 개폐기구(300) 및 적어도 하나의 주입 노즐(400)을 포함한다.
침지기구(100)는 캐리어(110) 및 링형벽(120)을 포함하고, 캐리어(110)는 웨이퍼(10)를 탑재하고 링형벽(120)은 웨이퍼(10)의 둘레에 끼워져 작업용 유체(20)를 담고 또한 작업용 유체(20)가 웨이퍼(10)의 표면을 덮도록 한다. 캐리어(110)는 밑판(101) 및 다수 개의 척(111)을 구비하고 밑판(101)은 접시 모양을 갖고 척(111)은 밑판(101)의 상단면에 세로로 구비되고 웨이퍼(10)는 상술한 척(111) 상에 탑재된다. 캐리어(110)의 밑판(101)은 장부(121)에 의해 링형벽(120)에 걸림으로써 결합되어 밑판(101)과 링형벽(120)을 고정 시킬 수 있다. 밑판(101)의 상단면에는 배수면(112)이 추가로 형성되고 배수면(112)은 돌출된 원추 모양을 갖는 것이 바람직하며, 배수면(112)은 밑판(101) 상단면에 잔류된 작업용 유체(20)를 밖으로 배출할 수 있다.
링형벽(120)에는 스토퍼 모듈(130)을 구비하여 웨이퍼(10) 표면을 오버플로우하는 작업용 유체(20)를 저지한다. 본 실시예에서, 바람직하게는 스토퍼 모듈(130)은 링형벽(120)에 구비되는 밀폐링(131)을 포함하고, 웨이퍼(10)가 링형벽(120) 내에 위치할 때 밀폐링(131)은 밑판(101)의 가장자리에 맞닿아 압력을 가하여 밑판(101)과 밀폐되게 결합한다.
회전모터(200)는 적어도 캐리어(110)에 연동되어 캐리어(110)를 구동할 수 있으며, 본 실시예에서 회전모터(200)는 추가로 링형벽(120)에 연동되어 링형벽(120)과 캐리어(110)가 동시에 회전하게 구동할 수 있다. 구체적으로, 캐리어(110) 및 링형벽(120)은 각각 동일 회전축(210)에 직접이나 간접 연결되고 회전모터(200)는 회전축(210)과 맞물려서 캐리어(110) 및 링형벽(120)의 회전을 구동하며, 회전모터(200)는 회전축(210)에 직접 맞물리거나 감속 기어에 의해 회전축(210)에 간접적으로 맞물릴 수 있다.
개폐기구(300)는 침지기구(100)에 연동되어 캐리어(110) 및 링형벽(120)이 상대적으로 승강 이동하게 구동함으로써 웨이퍼(10)가 링형벽(120)에서 출입할 수 있게 한다. 본 실시예에서, 개폐기구(300)는 캐리어(110)에 연결되는 제1 승강모듈(310) 및 링형벽(120)에 연결되는 제2 승강모듈(320)을 포함한다. 제1 승강모듈(310) 및 제2 승강모듈(320)은 각각 적어도 세로로 구비되는 신축바(311/321)를 포함하되, 신축바(311/321)는 전동 실린더(선형 엑츄에이터), 유압 실린더 등의 동력 부재일 수 있으며 본 발명은 이에 국한되지 않는다. 구체적으로, 바람직하게는 회전모터(200)는 회전축(210)으로 탑재 테이블의 회전을 구동하고 제1 승강모듈(310) 및 제2 승강모듈(320)은 각각 탑재 테이블에 세로 방향으로 구비되고, 캐리어(110) 및 링형벽(120)은 각각 제1 승강모듈(310) 상 및 제2 승강모듈(320) 상에 구비되어서 회전축(210)에 간접 연결된다.
주입 노즐(400)은 작업용 유체(20)를 공급하기 위한 것으로, 침지기구(100)의 일측에 구비되고 또한 링형벽(120) 안쪽을 향하게 배치된다. 본 실시예에서, 작업용 유체(20)는 웨이퍼(10)를 식각하기 위한 식각액이거나 웨이퍼(10) 상에 잔류하는 식각액을 제거하기 위한 세척액일 수 있다. 웨이퍼(10) 상의 상이한 코팅층에 대응하여 상응하는 식각액을 사용해야 하기 때문에 본 발명에서는 식각액의 종류에 제한을 두지 않는다. 세척액은 물이거나 기타 휘발성 용액일 수 있다. 바람직하게는, 다수 개의 주입 노즐(400)을 구비하여 여러 가지 다른 작업용 유체(20)를 공급하도록 한다.
바람직하게는, 본 발명에 따른 웨이퍼 식각장치는 침지기구(100)가 내부에 안치되는 외부 배수조(500)를 더 포함한다. 외부 배수조(500)는 감싸는 방식으로 상호 겹쳐지는 다수 개의 분기용 링형 캡(510)을 포함하고, 각각의 분기용 링형 캡(510)은 각각 침지기구(100)를 둘러싸고 또한 상술한 분기용 링형 캡(510) 중 적어도 일부는 승강기구(520)에 각각 연결되어 독자적으로 승강할 수 있으므로 감싸는 방식으로 상호 겹쳐지는 분기용 링형 캡(510) 모두 분리될 수 있게 한다. 상호 겹쳐진 분기용 링형 캡(510)이 분리할 때 양자 사이의 틈새에는 배수로(501)가 형성되어 작업용 유체(20)가 이를 통과하여 배출되게 한다. 상술한 분기용 링형 캡(510)을 선택적으로 승강 시켜서 각각의 배수로(501)를 개폐 시킬 수 있다. 여러 가지 작업용 유체(20)를 사용할 경우 각 작업용 유체(20)는 상응하는 배수로(501)를 통해 각각 배출됨으로써 각 작업용 유체(20)가 배수로(501) 내벽에 부착된 다른 작업용 유체(20)에 의해 오염되는 것을 방지할 수 있다.
도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 웨이퍼 식각장치를 사용할 때 캐리어(110) 및 링형벽(120)이 먼저 상대적으로 승강하여 분리함으로써 캐리어(110)가 링형벽(120) 외부의 상방에 위치하게 하여 웨이퍼(10)를 캐리어(110) 상에 편리하게 수평으로 안치할 수 있게 한다.
도 3을 참조하면, 이어서, 캐리어(110) 및 링형벽(120)을 상대적으로 승강하게 하여 웨이퍼(10)를 링형벽(120) 내로 이동시키고 또한 캐리어(110)의 밑판(101)이 밀폐링(131)에 맞닿아 압력을 가하여 밑판(101)이 링형벽(120)과 밀폐 결합하게 한다. 그러고 나서 주입 노즐(400)에 의해 작업용 유체(20)를 링형벽(120) 내에 주입하여 링형벽(120) 내의 웨이퍼(10)를 잠기게 한다. 회전모터(200)로 캐리어(110)를 회전시켜서 웨이퍼(10)가 회전하게 함으로써 웨이퍼(10)의 표면이 적절하게 식각되게 한다.
도 4를 참조하면, 식각이 완료된 후 캐리어(110) 및 링형벽(120)을 상대적으로 승강 시켜서 분리하게 하여 웨이퍼(10)가 링형벽(120)으로부터 나오도록 한다. 링형벽(120) 내에 남은 작업용 유체(20)는 사방으로 유출 유동하여 외부 배수조(500) 내에 이르고 상응하는 배수로(501)를 통해 배출된다.
제1 실시예에 나타낸 것은 본 실시예 중에서 개폐기구(300)의 일 배치 방식을 나타내지만 본 발명은 이에 국한되지 않는다. 개폐기구(300)의 기능은 캐리어(110) 및 링형벽(120)이 상대적으로 승강하게 구동하는 것이며, 본 실시예에서는 여가 가지 다른 배치 방식을 열거할 수 있으며 이는 후술하도록 한다.
도 5를 참조하면, 개폐기구(300)는 캐리어(110)에 연결되는 제1 승강모듈(310)만 포함해도 된다. 제1 승강모듈(310)에 의해 캐리어(110)가 링형벽(120)과 상대적으로 승강하게 구동하면 웨이퍼(10)를 링형벽(120)에 진입하게 하거나 빠져나오게 할 수 있다.
도 6을 참조하면, 개폐기구(300)는 링형벽(120)에 연결되는 제2 승강모듈(320)만 포함해도 된다. 제2 승강모듈(320)에 의해 링형벽(120)이 캐리어(110)와 상대적으로 승강하게 구동하면 웨이퍼(10)를 링형벽(120)에 진입하게 하거나 빠져나오게 할 수 있다.
도 7 내지 도 9를 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 웨이퍼 식각장치는 작업용 유체(20)로 웨이퍼(10)를 식각하기 위한 것으로 적어도 침지기구(100), 회전모터(200), 개폐기구(300) 및 제1 실시예에 따른 적어도 하나의 주입 노즐(400)을 포함한다.
침지기구(100)는 캐리어(110) 및 링형벽(120)을 포함하고, 캐리어(110)는 웨이퍼(10)를 탑재하고 링형벽(120)은 웨이퍼(10)의 둘레에 끼워져 작업용 유체(20)를 담고 또한 작업용 유체(20)가 웨이퍼(10)의 표면을 덮도록 한다. 캐리어(110)는 밑판(101)을 구비하고 밑판(101)은 접시 모양을 갖고 상단은 평면이며, 웨이퍼(10)는 밑판(101)의 상단면에 탑재된다. 웨이퍼(10)가 링형벽(120)에 진입할 때 캐리어(110) 및 웨이퍼(10)는 모두 링형벽(120)으로부터 분리되기 때문에 캐리어(110) 및 웨이퍼(10)는 독자적으로 작동할 수 있고 링형벽(120)에 연동되지 않는다. 링형벽(120)에는 스토퍼 모듈(130)이 구비되어 웨이퍼(10) 표면을 오버플로우하는 작업용 유체(20)를 저지한다. 스토퍼 모듈(130)은 링형벽(120)의 내벽면에 연통되는 다수 개의 가스 분출구(132)를 포함하고, 각각의 가스 분출구(132)는 양압 가스원에 각각 연통되어 가스를 링형벽(120)과 웨이퍼(10) 사이의 틈새에 주입함으로써 작업용 유체(20)를 저지한다. 링형벽(120)의 밑부 가장자리에는 틈새에 대응되는 하방에 링형 홈(122)를 구비함으로써 누출된 작업용 유체(20)를 담고 더 나아가 회수하거나 배출할 수 있다.
회전모터(200)는 캐리어(110)에 연동되어 캐리어(110)가 회전하도록 구동할 수 있다. 구체적으로, 캐리어(110)는 회전축(210)에 직접 또는 간접 연결될 수 있고, 회전모터(200)는 회전축(210)에 맞물려서 캐리어(110)가 회전하도록 구동하며, 회전모터(200)는 회전축(210)에 직접 맞물리거나 감속 기어에 의해 회전축(210)에 간접적으로 맞물릴 수 있다.
개폐기구(300)는 침지기구(100)에 연동되어 캐리어(110) 및 링형벽(120)이 상대적으로 승강 이동하게 구동함으로써 웨이퍼(10)가 링형벽(120)에서 출입할 수 있게 한다. 본 실시예에서, 개폐기구(300)는 캐리어(110)에 연결되는 제1 승강모듈(310) 및 링형벽(120)에 연결되는 제2 승강모듈(320)을 포함한다. 제1 승강모듈(310) 및 제2 승강모듈(320)은 각각 적어도 세로로 구비되는 신축바(311/321)를 포함하되, 신축바(311/321)는 전동 실린더(선형 엑츄에이터), 유압 실린더 등의 동력 부재일 수 있으며 본 발명은 이에 국한되지 않는다.
주입 노즐(400)은 작업용 유체(20)를 공급하기 위한 것으로, 침지기구(100)의 일측에 배치되고 또한 링형벽(120) 내부를 향하게 배치된다.
바람직하게는, 본 발명에 따른 웨이퍼 식각장치는 침지기구(100)가 내부에 안치되는 외부 배수조(500)를 더 포함한다. 외부 배수조(500)는 감싸는 방식으로 상호 겹쳐지는 다수 개의 분기용 링형 캡(510)을 포함하고, 각각의 분기용 링형 캡(510)는 각각 침지기구(100)를 둘러싸고 또한 상술한 분기용 링형 캡(510) 중 적어도 일부는 승강기구(520)에 각각 연결되어 독자적으로 승강할 수 있으므로 감싸는 방식으로 상호 겹쳐지는 분기용 링형 캡(510) 모두 분리될 수 있게 한다. 승강기구(520)는 전동 실린더(선형 엑츄에이터), 유압 실린더 등의 동력 부재일 수 있으며 본 발명은 이에 국한되지 않는다. 상호 겹쳐지는 분기용 링형 캡(510)이 분리될 때 양자 사이의 틈새에는 배수로(501)가 형성되어 작업용 유체(20)가 이를 통과하여 배출되게 한다. 상술한 분기용 링형 캡(510)을 선택적으로 승강 시켜서 각각의 배수로(501)를 개폐 시킬 수 있다. 여러 가지 작업용 유체(20)를 사용할 경우 각 작업용 유체(20)는 상응하는 배수로(501)를 통해 각각 배출됨으로써 각 작업용 유체(20)가 배수로(501) 내벽에 부착된 다른 작업용 유체(20)에 의해 오염되는 것을 방지할 수 있다.
도 8을 참조하면, 본 발명에 따른 웨이퍼 식각장치를 사용할 때 캐리어(110) 및 링형벽(120)이 먼저 상대적으로 승강하여 분리함으로써 캐리어(110)가 링형벽(120) 외부의 상방에 위치하게 하여 웨이퍼(10)를 캐리어(110) 상에 편리하게 수평으로 안치할 수 있게 한다.
도 9을 참조하면, 이어서, 캐리어(110) 및 링형벽(120)을 상대적으로 승강하게 하여 웨이퍼(10)를 링형벽(120) 내로 이동시키고 또한 링형벽(120)을 밀폐 결합시킨다. 그러고 나서 주입 노즐(400)에 의해 작업용 유체(20)를 링형벽(120) 내에 주입하여 링형벽(120) 내의 웨이퍼(10)를 잠기게 한다. 회전모터(200)로 캐리어(110)를 회전시켜서 웨이퍼(10)가 회전하게 함으로써 웨이퍼(10)의 표면이 적절하게 식각되게 한다.
도 10을 참조하면, 식각이 완료된 후 캐리어(110) 및 링형벽(120)을 상대적으로 승강 시켜서 분리하게 하여 웨이퍼(10)가 링형벽(120)으로부터 나오도록 한다. 링형벽(120) 내에 남은 작업용 유체(20)는 사방으로 유출 유동하여 외부 배수조(500) 내에 이르고 상응하는 배수로(501)를 통해 배출된다.
제2 실시예에 나타낸 것은 본 실시예 중에서 개폐기구(300)의 일 배치 방식을 나타내지만 본 발명은 이에 국한되지 않는다. 개폐기구(300)의 기능은 캐리어(110) 및 링형벽(120)이 상대적으로 승강하게 구동하는 것이며, 본 실시예에서는 여가 가지 다른 배치 방식을 열거할 수 있으며 이는 후술하도록 한다.
도 11을 참조하면, 개폐기구(300)는 캐리어(110)에 연결되는 제1 승강모듈(310)만 포함해도 된다. 제1 승강모듈(310)에 의해 캐리어(110)가 링형벽(120)과 상대적으로 승강하게 구동하면 웨이퍼(10)를 링형벽(120)에 진입하게 하거나 빠져나오게 할 수 있다.
도 12를 참조하면, 개폐기구(300)는 링형벽(120)的에 연결되는 제2 승강모듈(320)만 포함해도 된다. 제2 승강모듈(320)에 의해 링형벽(120)이 캐리어(110)와 상대적으로 승강하게 구동하면 웨이퍼(10)를 링형벽(120)에 진입하게 하거나 빠져나오게 할 수 있다.
도 13을 참조하면, 캐리어(110) 내에는 밑판 상단면에 연통되는 음압 관로(102)를 구비함으로써 웨이퍼(10)를 흡착 및 고정 시킨다. 그리고, 캐리어(110) 옆에는 청소 모듈(600)을 구비할 수 있고, 바람직하게는 청소 모듈(600)은 캐리어(110)를 에워 싸는 링형 부재이고 또한 청소 모듈(600) 상에는 캐리어(110)을 에워 싸며 배열되는 다수 개의 청소 노즐(601)이 구비되며, 상술한 청소 노즐(601)은 위로 벌어지게 웨이퍼의 밑면에 대응 배치되고 또한 상술한 청소 노즐(601)의 분사 방향은 밖을 향해 발산하는 것이다. 청소 노즐(601)은 세척액을 공급하거나 공기를 분사할 수 있으며, 이로 인해 웨이퍼(10)의 밑면을 세척할 수 있고 웨이퍼(10) 밑면에 잔류된 작업용 유체(20)를 웨이퍼(10)의 가장자리로 불어서 제거할 수 있다. 청소 모듈(600)은 캐리어(110)와 분리되어 연동하지 않고 또한 웨이퍼(10)와 분리 배치된다.
본 발명에 따른 웨이퍼 식각장치는 링형벽(120)이 웨이퍼(10)의 가장자리를 감싸서 작업용 유체(20)를 링형벽(120) 내에 주입하고 나서 웨이퍼(10)를 회전 시켜 식각을 진행한다. 따라서, 작업용 유체(20)는 웨이퍼(10)의 표면, 특히 웨이퍼(10)의 가장자리를 완전히 커버할 수 있어서 식각 품질이 균일하고 안정적이다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만 이로써 본 발명의 특허범위를 한정하는 것이 아니며, 본 발명의 특허 사상을 응용한 동등한 모든 변화는 모두 본 발명의 특허범위에 속한다고 봐야 한다.
10 : 웨이퍼 20 : 작업용 유체
100 : 침지기구 101 : 밑판
102 : 음압 관로 110 : 캐리어
111 : 척 112 : 배수면
120 : 링형벽 121 : 장부
122 : 링형 홈 130 : 스토퍼 모듈
131 : 밀폐링 132 : 가스 분출구
200 : 회전모터 210 : 회전축
300 : 개폐기구 310 : 제1 승강모듈
311 : 신축바 320 : 제2 승강모듈
321 : 신축바 400 : 주입 노즐
500 : 외부 배수조 501 : 배수로
510 : 분기용 링형 캡 520 : 승강기구
600 : 청소 모듈 601 : 청소 노즐

Claims (13)

  1. 작업용 유체로 웨이퍼를 식각하기 위한 웨이퍼 식각장치에 있어서,
    상기 웨이퍼를 탑재하기 위한 캐리어 및 작업용 유체를 담기 위해 상기 웨이퍼 둘레에 끼워지기 위한 링형벽을 구비하는 침지기구와,
    상기 캐리어에 연동되어 상기 캐리어를 회전하도록 구동할 수 있는 회전모터와,
    상기 침지기구에 연동되어 상기 캐리어 및 상기 링형벽이 상대적으로 이동하게 구동함으로써 상기 웨이퍼가 상기 링형벽에서 출입할 수 있게 하는 개폐기구, 및
    상기 침지기구의 일측에 구비되고 또한 상기 링형벽 안쪽을 향하게 배치되는, 상기 작업용 유체를 공급하기 위한 주입 노즐을 포함하고,
    상기 링형벽에는 스토퍼 모듈을 구비하여 상기 웨이퍼 표면을 오버플로우하는 작업용 유체를 저지하고,
    상기 스토퍼 모듈은 상기 링형벽에 구비되는 밀폐링을 포함하고, 상기 캐리어는 밑판을 포함하고, 상기 밀폐링은 상기 밑판의 가장자리에 맞닿아 압력을 가하고,
    상기 밑판의 상단면에는 돌출된 원추형 모양의 배수면이 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 식각장치.
  2. 제1항에 있어서,
    내부에 상기 침지기구를 안치하는 외부 배수조를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 식각장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 외부 배수조는 감싸는 방식으로 상호 겹쳐지는 다수 개의 분기용 링형 캡을 포함하고, 각각의 상기 분기용 링형 캡은 각각 상기 침지기구를 둘러싸고 또한 독자적으로 승강할 수 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 식각장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 개폐기구는 상기 캐리어에 연결되는 제1 승강모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 식각장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 개폐기구는 상기 링형벽에 연결되는 제2 승강모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 식각장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 스토퍼 모듈은 상기 링형벽의 내벽면에 연통되게 다수 개의 가스 분출구를 구비하여 가스를 상기 링형벽과 상기 웨이퍼 사이의 틈새에 주입하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 식각장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 캐리어는 상기 밑판의 상단면에 세로로 구비되는 다수 개의 척을 구비하고 상기 웨이퍼는 상술한 척에 탑재되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 식각장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 회전모터는 상기 링형벽에 연동되어 상기 링형벽과 상기 캐리어가 동시에 회전하도록 구동할 수 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 식각장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 캐리어 옆에는 상기 캐리어를 에워 싸는 다수 개의 청소 노즐을 구비하고 상술한 청소 노즐은 위로 벌어지게 배치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 식각장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상술한 청소 노즐의 분사 방향은 밖을 향해 발산하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 식각장치.

  11. 삭제
  12. 삭제
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