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KR102431540B1 - 스토커 시스템 - Google Patents

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KR102431540B1
KR102431540B1 KR1020207026828A KR20207026828A KR102431540B1 KR 102431540 B1 KR102431540 B1 KR 102431540B1 KR 1020207026828 A KR1020207026828 A KR 1020207026828A KR 20207026828 A KR20207026828 A KR 20207026828A KR 102431540 B1 KR102431540 B1 KR 102431540B1
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KR
South Korea
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track
entry
crane
article
exit port
Prior art date
Application number
KR1020207026828A
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Inventor
후미키 고토
Original Assignee
무라다기카이가부시끼가이샤
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Publication date
Application filed by 무라다기카이가부시끼가이샤 filed Critical 무라다기카이가부시끼가이샤
Publication of KR20200121355A publication Critical patent/KR20200121355A/ko
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Abstract

[과제] 스토커를 상방에 설치함으로써 건물의 바닥면에 있어서 스토커의 설치에 필요한 면적을 없애면서, 복수의 물품을 고밀도로 수납함으로써 물품의 수납 효율을 향상시킨다.
[해결 수단] 스토커(100)는 처리 장치(TL)보다 상방에 배치되고, 상하 방향에 다단으로 설치되어 물품(2)을 두기 위한 복수의 선반(10)과, 선반(10)에 물품(2)를 두거나, 또는 선반(10)에 놓여진 물품(2)을 꺼내는 크레인(40)을 갖고, 복수의 선반(10)은 천장 반송차(50)가 물품(2)을 두기 위한 입출고 포트(12)와, 크레인(40)이 물품(2)을 두기 위한 보관 선반(11)을 포함하고, 입출고 포트(12)는 천장 반송차(50)의 파지부(53)가 상방으로부터 물품(2)을 내려놓을 만큼의 상하 치수를 갖고, 보관 선반(11)은 입출고 포트(12)보다 수가 많고 또한 상하 치수가 작게 설치되고, 크레인(40)은 이재 장치(42)에 의해 입출고 포트(12)의 물품(2)을 보관 선반(11)에 두거나, 또는 보관 선반(11)의 물품(2)을 입출고 포트(12)에 둔다.

Description

스토커 시스템
본 발명은 스토커 시스템에 관한 것이다.
반도체 제조 공장 등에서는 반도체 웨이퍼를 수용하는 FOUP 또는 레티클을 수용하는 레티클 Pod 등의 물품을 보관하는 스토커가 설치되어 있다. 이 스토커는 건물의 바닥면에 설치된 복수의 선반과, 선반을 따라 이동하는 크레인을 구비하고 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조). 복수의 선반은 상하 방향 및 좌우 방향에 설치되고, 크레인에 의해 물품을 적재가능한 보관 선반과, 천장 또는 천장 근방에 부설된 궤도를 따라 주행하는 천장 반송차가 물품을 내려놓기 위한 입출고 포트를 구비하고 있다. 크레인은 보관 선반과 입출고 포트 사이에서 물품의 이재를 행하고 있다.
일본 특허 제5880693호 공보
특허문헌 1에 기재된 스토커는 복수의 선반이 건물의 바닥면에 설치되고, 또한 바닥면에 부설된 궤도를 따라 크레인이 주행하므로, 이 복수의 선반 및 크레인을 설치하기 위한 설치 스페이스를 바닥면에 확보할 필요가 있다.
본 발명은 스토커를 상방에 설치함으로써 건물의 바닥면에 있어서 스토커의 설치에 필요한 면적을 없애면서, 복수의 물품을 고밀도로 수납함으로써 물품의 수납 효율을 향상시키는 것이 가능한 스토커 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 천장 반송차에 의해 반송되는 물품을 보관가능한 스토커를 갖고, 천장 반송차가 물품의 상부를 상방측으로부터 잡는 파지부와, 파지부를 승강시키는 승강 구동부를 구비하고, 건물의 천장에 부설된 궤도를 주행하고, 궤도의 하방에 설치되어 있는 장치의 로드 포트에 물품을 내려놓는 스토커 시스템으로서, 스토커는 장치보다 상방에 배치되고 상하 방향에 다단으로 설치되어 물품을 두기 위한 복수의 선반과, 선반에 물품을 두거나, 또는 선반에 놓여진 물품을 꺼내는 크레인을 갖고, 복수의 선반은 천장 반송차가 물품을 두기 위한 입출고 포트와, 크레인이 물품을 두기 위한 보관 선반을 포함하고, 입출고 포트는 파지부가 상방으로부터 물품을 내려놓을 만큼의 상하 치수를 갖도록 형성되어 있고, 보관 선반은 입출고 포트보다 수가 많고 또한 입출고 포트보다 상하 치수가 작게 설치되어 있고, 크레인은 물품을 실어서 입출고 포트 또는 보관 선반에 물품을 내려놓는 이재 장치를 구비하고, 천장 반송차에 의해 입출고 포트에 놓여진 물품을 보관 선반에 두거나, 또는 보관 선반에 놓여진 물품을 꺼내서 입출고 포트에 둔, 스토커 시스템이 제공된다.
또한, 궤도는 로드 포트의 바로 위에 위치하고 있고, 입출고 포트는 궤도의 하방 또한 측방에 배치되고, 천장 반송차는 승강 구동부를 궤도의 측방으로 횡출(橫出)시키는 횡출 기구를 구비하고, 횡출 기구에 의해 승강 구동부를 횡출해서 파지부를 하강시킴으로써 입출고 포트에 물품을 내려놓거나, 또는 입출고 포트에 놓여진 물품을 수취하는 구성이어도 좋다. 또한, 보관 선반은 입출고 포트의 상방측 및 하방측 중 적어도 일방에 다단으로 설치되어 좋다.
또한, 입출고 포트는 궤도의 바로 아래에 배치되고, 천장 반송차는 승강 구동부를 궤도의 측방으로 횡출시키는 횡출 기구를 구비하고, 횡출 기구에 의해 승강 구동부를 횡출해서 파지부를 하강시킴으로써 로드 포트에 물품을 내려놓거나, 또는 로드 포트에 놓여진 물품을 수취하는 구성이어도 좋다. 또한, 보관 선반은 입출고 포트의 하방측에 다단으로 설치되어도 좋다.
또한, 크레인은 주회 궤도를 주행하고, 복수의 선반은 주회 궤도에 있어서의 직선 구간에 대응해서 설치되어도 좋다. 또한, 입출고 포트에 대하여 크레인의 주행 영역을 사이에 두고 반대측에, 크레인에 의해 물품을 두거나 또는 물품을 꺼내는 것이 가능한 제 2 보관 선반이 설치되어도 좋다.
(발명의 효과)
본 발명에 따른 스토커 시스템에 의하면, 스토커가 장치보다 상방에 배치되어 있기 때문에, 천장 반송차에 의해 물품의 입출고가 가능한 대용량의 스토커를 바닥면에 설치하지 않고 실현될 수 있고, 건물의 바닥면의 일부를 스토커 설치 이외의 용도로 이용할 수 있고, 예를 들면 스토커의 하방의 스페이스를 작업자용 통로로서 이용할 수 있다. 또한, 보관 선반의 상하 치수가 입출고 포트보다 작으므로, 보관 선반을 다단화해도 상하 방향의 치수를 억제하는 것이 가능해진다. 그 결과, 이 보관 선반에 물품을 수납함으로써, 복수의 물품을 고밀도로 수납할 수 있고, 물품의 수납 효율을 향상시킬 수 있다.
또한, 궤도가 로드 포트의 바로 위에 위치하고 있으며, 입출고 포트가 궤도의 하방 또한 측방에 배치되고 천장 반송차가 승강 구동부를 궤도의 측방으로 횡출시키는 횡출 기구를 구비하고, 횡출 기구에 의해 승강 구동부를 횡출해서 파지부를 하강시킴으로써 입출고 포트에 물품을 내려놓거나, 또는 입출고 포트에 놓여진 물품을 수취하는 구성에서는 천장 반송차의 궤도가 입출고 포트로부터 벗어나 있기 때문에, 입출고 포트와 보관 선반을 상하 방향으로 다단화해도 천장 반송차의 주행의 지장이 되지 않고, 많은 보관 선반을 확보할 수 있다. 또한, 보관 선반이 입출고 포트의 상방측 및 하방측 중 적어도 일방에 다단으로 설치되는 구성에서는 보관 선반의 상하 치수가 입출고 포트보다 작으므로, 보관 선반의 단수를 많게 함으로써 물품을 고밀도로 수납할 수 있다.
또한, 입출고 포트가 궤도의 바로 아래에 배치되고, 천장 반송차가 승강 구동부를 궤도의 측방으로 횡출시키는 횡출 기구를 구비하고, 횡출 기구에 의해 승강 구동부를 횡출해서 파지부를 하강시킴으로써 로드 포트에 물품을 내려놓거나, 또는 로드 포트에 놓여진 물품을 수취하는 구성에서는 입출고 포트가 궤도의 바로 아래에 배치되므로, 천장 반송차는 파지부를 하강시키는 것만으로 입출고 포트에 대하여 물품의 주고받음을 행할 수 있다. 또한, 보관 선반이 입출고 포트의 하방측에 다단으로 설치되는 구성에서는 상하 치수가 입출고 포트보다 작은 보관 선반의 단수를 많게 함으로써, 물품을 고밀도로 수납할 수 있다.
또한, 크레인이 주회 궤도를 주행하고, 복수의 선반이 주회 궤도에 있어서의 직선 구간에 대응해서 설치되는 구성에서는 크레인이 주회함으로써, 용이하게 복수의 선반 중 어느 하나에 크레인을 위치 부여할 수 있고, 또한 직선 구간에 복수의 선반이 설치되므로, 선반의 설치 및 구조가 간단해져 비용을 저감시킬 수 있다. 또한, 입출고 포트에 대하여 크레인의 주행 영역을 사이에 두고 반대측에, 크레인에 의해 물품을 두거나 또는 물품을 꺼내는 것이 가능한 제 2 보관 선반이 설치되는 구성에서는 제 2 보관 선반에 물품을 수납 가능하게 함으로써, 대용량의 스토커를 실현할 수 있다.
도 1은 제 1 실시형태에 의한 스토커 시스템의 일례를 Y 방향으로부터 본 도면이다.
도 2는 도 1에 나타내는 스토커 시스템을 평면에서 볼 때에 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 3은 입출고 포트 및 보관 선반을 X 방향으로부터 본 도면이다.
도 4는 크레인을 Y 방향으로부터 본 도면이다.
도 5는 크레인에 구비하는 이재 장치의 일례를 나타내는 평면도이다.
도 6(A)는 이재 장치의 다른 예를 나타내는 도면, (B)는 이재 장치의 또 다른 예를 나타내는 도면이다.
도 7은 천장 반송차를 Y 방향으로부터 본 도면이다.
도 8은 크레인으로부터 입출고 포트에 물품을 이재하는 동작을 나타내는 도면이다.
도 9는 입출고 포트로부터 천장 반송차에 물품을 이재하는 동작을 나타내는 도면이다.
도 10은 천장 반송차로부터 입출고 포트에 물품을 이재하는 동작을 나타내는 도면이다.
도 11은 입출고 포트로부터 크레인에 물품을 이재하는 동작을 나타내는 도면이다.
도 12는 제 2 실시형태에 의한 스토커 시스템의 일례를 나타내는 평면도이다.
도 13은 도 12에 나타내는 스토커 시스템을 Y 방향으로부터 본 도면이다.
도 14는 제 3 실시형태에 의한 스토커 시스템의 일례를 Y 방향으로부터 본 도면이다.
도 15는 제 4 실시형태에 의한 스토커 시스템의 일례를 나타내는 평면도이다.
이하, 실시형태에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다. 단, 본 발명은 이 실시형태에 한정되지 않는다. 또한, 도면에 있어서는 실시형태를 설명하기 위해서, 일부분을 크게 또는 강조해서 기재하는 등 적당히 축척을 변경해서 표현하고 있다. 이하의 각 도면에 있어서, XYZ 좌표계를 사용해서 도면 중의 방향을 설명한다. 이 XYZ 좌표계에 있어서는 연직 방향을 Z 방향으로 하고, 수평 방향을 X 방향, Y 방향으로 한다. Y 방향은 수평 방향 내에 있어서의 일방향이며, 후술하는 크레인용 천장 궤도(20)를 따른 방향이다. X 방향은 Y 방향과 직교하는 방향이다. 또한, X, Y, Z 방향의 각 방향에 대해서, 적당히 화살표가 가리키는 방향을 + 방향(예를 들면, +X 방향)으로 표현하고, 그 반대 방향을 - 방향(예를 들면, -X 방향)으로 표현한다.
[제 1 실시형태]
도 1은 제 1 실시형태에 의한 스토커 시스템(SYS)의 일례를 Y 방향으로부터 본 도면이다. 도 2는 스토커 시스템(SYS)을 평면에서 볼 때에 모식적으로 나타내는 도면이다. 도 1 및 도 2에 나타내는 스토커 시스템(SYS)은, 예를 들면 반도체 디바이스의 제조 공장 등에 설치되어, 반도체 디바이스의 제조에 사용되는 반도체 웨이퍼를 수용한 FOUP, 또는 레티클 등을 수용한 레티클 pod 등의 물품(2)을 보관한다. 스토커 시스템(SYS)은 물품(2)을 반송하는 반송 시스템에 접속하도록 설치된다. 본 실시형태에서는 물품(2)이 FOUP인 예를 사용하여 설명하지만, 물품(2)은 FOUP 이외이어도 좋다. 또한, 스토커 시스템(SYS)은 반도체 제조 분야 이외의 설비에 적용가능하고, 물품(2)은 스토커 시스템(SYS)에 보관가능한 다른 물품이어도 좋다.
스토커 시스템(SYS)은 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이 스토커(100)를 구비한다. 스토커(100)는 복수의 선반(10)과, 크레인용 천장 궤도(20)와, 크레인(40)을 구비한다. 복수의 선반(10)은 도 2에 나타내는 바와 같이 평면에서 볼 때에 있어서, 천장 반송차(50)가 주행하는 주회 천장 궤도(궤도)(30)의 내측에 설치되고, 크레인용 천장 궤도(20)와 주회 천장 궤도(30) 사이에 배치된다. 또한, 복수의 선반(10)은 도 1에 나타내는 바와 같이 프레임(13)에 유지되어, 상하 방향(Z 방향)으로 4단 배치되어 있다. 또한, 복수의 선반(10)은 후술하는 크레인(40)의 주행 방향(Y 방향)을 따라 복수 나란히 배치된다. 본 명세서에 있어서, 선반(10)은 물품(2)을 적재해서 보관하는 공간, 또는 보관 스페이스의 의미로 사용되고 있다. 즉, 선반(10)은 물품(2)을 적재하는 면(예를 들면 선반판(11a, 12a)의 상면)과, 이 면으로부터 상방의 천장 등(예를 들면, 선반판(11a, 12a)의 하면)까지의 공간을 합친 물품(2)의 보관 공간 또는 보관 스페이스이다.
복수의 선반(10)은 각각 물품(2)을 적재하기 위한 보관 선반(11)과 입출고 포트(12)를 포함하고 있다. 보관 선반(11) 및 입출고 포트(12)의 각각은 물품(2)을 적재하는 선반판(11a, 12a)을 구비하고 있고, 선반판(11a, 12a)의 상면과, 이 상면으로부터 상방의 선반판(11a) 등의 하면까지의 상하 치수를 가지고 있다. 이하의 설명에 있어서, 보관 선반(11) 또는 입출고 포트(12)에 물품(2)을 두는 것은 보관 선반(11)의 선반판(11a) 또는 입출고 포트(12)의 선반판(12a)에 물품(2)을 두는 것을 의미한다. 또한, 보관 선반(11) 및 입출고 포트(12)의 선반판(11a, 12a)에는 각각 물품(2)을 적재했을 때에 물품(2)의 바닥면에 형성된 홈부에 들어가는 복수의 핀이 형성되어도 좋다. 이 핀이 물품(2)의 홈부에 들어감으로써, 물품(2)은 보관 선반(11) 또는 입출고 포트(12)에 대하여 위치 결정된다.
복수의 선반(10)은 프레임(13)에 의해 시스템 천장(SC1)으로부터 매달린 상태로 설치된다. 시스템 천장(SC1)은 매달림 금구(3)에 의해 건물의 천장(C)으로부터 매달린 상태로 배치되어 있다. 또한, 프레임(13)은 시스템 천장(SC1)으로부터 매달리는 것 대신에, 천장(C)으로부터 매달려도 좋다. 복수의 선반(10)의 하단은 바닥면(F)으로부터의 높이가 높이 H1로 설정되어 있다. 높이 H1은 바닥면(F)으로부터의 처리 장치(TL)의 높이 H2보다 높아지도록 설정되어 있다. 또한, 후술하는 크레인(40)의 하단의 높이 H3도 처리 장치(TL)의 높이 H2보다 높아지도록 설정되어 있다. 즉, 스토커(100)는 처리 장치(TL)보다 상방에 배치되어 있다. 또한, 높이 H3은 작업자 등이 바닥면(F)을 지장없이 통행하는 것이 가능한 작업자용 통로(PS)를 형성하기 위한 높이가 확보되어도 좋다. 그 결과, 스토커(100)의 하방의 공간이 작업자용 통로(PS)로서 이용가능해진다.
복수의 선반(10)은 상하 3단의 보관 선반(11)과, 보관 선반(11)보다 하방에 배치된 최하단의 입출고 포트(12)를 포함한다. 보관 선반(11)의 단수는 임의로 설정할 수 있고, 예를 들면 입출고 포트(12)의 상방에 4단 이상 설치되어도 좋다. 또한, 보관 선반(11)은 설치 스페이스가 있으면, 입출고 포트(12)의 하방에 다단으로 설치되어도 좋다. 입출고 포트(12)는 주회 천장 궤도(30)를 주행하는 천장 반송차(50)와의 사이에서 물품(2)을 주고받기 위한 포트이다. 본 실시형태의 입출고 포트(12)는 복수의 선반(10)의 최하단에 배치되어 있지만, 이 배치에 한정되지 않는다. 입출고 포트(12)는 주회 천장 궤도(30)를 주행하는 천장 반송차(50)의 높이에 의해 설정된다. 따라서, 예를 들면 천장 반송차(50)의 높이를 변화시킴으로써, 최하단 이외의 중단 또는 최상단에 입출고 포트(12)를 설정하는 것이 가능하다.
도 3은 보관 선반(11) 및 입출고 포트(12)를 X 방향으로부터 본 도면이다. 또한, 도 3에서는 복수의 선반(10)의 프레임(13)을 생략하고 있다. 입출고 포트(12)는 복수의 선반(10) 중, 상하 방향의 최하단에 배치되어 있다. 또한, 도 2에서는 크레인(40) 주행 방향(Y 방향)의 양단에 입출고 포트(12)를 기재하고 있지만, 복수의 선반(10)의 최하단이 입출고 포트(12)이다. 또한, 복수의 선반(10)의 최하단의 일부가 보관 선반(11)이어도 좋다. 입출고 포트(12)에 대해서는 크레인(40) 및 천장 반송차(50)의 쌍방이 물품(2)의 주고받음을 행할 수 있다. 입출고 포트(12)는 도 3에 나타내는 바와 같이 상하 치수(상하 방향의 길이)(L1)가 되도록 설치되어 있다. 상하 치수(L1)는 후술하는 천장 반송차(50)의 파지부(53), 승강 구동부(54), 및 횡출 기구(55)의 일부가 입출고 포트(12)의 상방측에 들어가서 물품(2)을 승강시키기 위해 필요한 치수이다.
복수의 선반(10) 중, 입출고 포트(12)를 제외한 전부 또는 일부가 보관 선반(11)이다. 보관 선반(11)은 천장 반송차(50)에 의한 물품(2)의 주고받음을 행할 수 없고, 크레인(40)에 의해 물품(2)의 주고받음을 행한다. 보관 선반(11)은 도 3에 나타내는 바와 같이 상하 치수(L2)가 되도록 설치되어 있다. 보관 선반(11)의 상하 치수(L2)는 입출고 포트(12)의 상하 치수(L1)보다 작다. 상하 치수(L2)는 후술하는 크레인(40)의 이재 장치(42)가 물품(2)을 들어 올리기 위해 필요한 치수이다. 크레인(40)의 이재 장치(42)는 물품(2)의 일부를 들어 올리는 구성이기 때문에, 물품(2)의 상방에 큰 스페이스를 필요로 하지 않는다. 예를 들면, 상하 치수(L2)는 물품(2)의 상하 치수에 수 센티미터 추가하는 정도의 치수로 하는 것도 가능하다.
이와 같이, 보관 선반(11)이 상하 치수(L2)이며, 상하 치수(L1)보다 작기 때문에 스토커(100)(복수의 선반(10))를 처리 장치(TL)보다 상방에 배치했을 때에 건물의 천장(C)(또는 시스템 천장(SC1) 등)까지의 스페이스가 한정된다고 해도, 이 스페이스에 있어서 효율적으로 보관 선반(11)을 상하 방향으로 다단화해서 설치하는 것이 가능해진다. 그 결과, 복수의 물품(2)을 복수의 선반(10)에 고밀도로 수납할 수 있고, 물품(2)의 수납 효율을 향상시킬 수 있다.
크레인용 천장 궤도(20)는 도 1에 나타내는 바와 같이 시스템 천장(SC1)으로부터 매달림 금구(5)에 의해 매달린 상태로 설치된다. 또한, 크레인용 천장 궤도(20)는 시스템 천장(SC1)으로부터 매달리는 것 대신에, 천장(C)으로부터 매달려도 좋다. 크레인용 천장 궤도(20)는 도 2에 나타내는 바와 같이 Y 방향으로 연장되는 직선 형상의 궤도이며, 평면에서 볼 때에 있어서 주회 천장 궤도(30)의 내측으로 수습되는 범위로 설치된다. 즉, 크레인용 천장 궤도(20)는 그 일부가 평면에서 볼 때에 있어서 주회 천장 궤도(30)의 외측까지 연장되지 않은 형태, 또는 이 크레인용 천장 궤도(20)를 주행하는 크레인(40)이 주회 천장 궤도(30)의 외측까지 이동할 수 없는 형태로 되어 있다. 따라서, 크레인용 천장 궤도(20)의 +Y측 및 -Y측의 단부는 평면에서 볼 때에 있어서 주회 천장 궤도(30)의 내측에 배치되고, 또한 단부 사이의 궤도도 평면에서 볼 때에 있어서 주회 천장 궤도(30)의 내측에 배치된다.
크레인용 천장 궤도(20)가 직선 형상의 궤도임으로써, 평면에서 볼 때에 있어서의 주회 천장 궤도(30)의 내측의 범위가 좁은 경우에도, 그 범위 내에 수습되도록(또는 궤도의 일부가 주회 천장 궤도(30)의 외측에 배치되지 않도록) 크레인용 천장 궤도(20) 및 크레인(40)을 설치할 수 있다. 크레인용 천장 궤도(20)는 도 1에 나타내는 바와 같이 주회 천장 궤도(30)에 대하여, 바닥면(F)으로부터의 높이가 상이하다. 본 실시형태에 있어서, 크레인용 천장 궤도(20)는 주회 천장 궤도(30)보다 바닥면(F)으로부터의 높이가 높다. 단, 이 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 크레인용 천장 궤도(20)는 주회 천장 궤도(30)보다 바닥면(F)으로부터의 높이가 낮아도 좋고, 주회 천장 궤도(30)와 동일한 높이이어도 좋다.
크레인(40)은 크레인용 천장 궤도(20)를 주행하고 물품(2)을 유지해서 이동한다. 크레인(40)은 보관 선반(11)과 다른 보관 선반(11) 사이, 또는 보관 선반(11)과 입출고 포트(12) 사이에서 물품(2)을 이재한다. 크레인(40)은 크레인용 천장 궤도(20)를 +Y 방향 및 -Y 방향으로 주행가능하며, 왕복 주행이 가능하다. 또한, 1개의 크레인용 천장 궤도(20)에 배치되는 크레인(40)은 1대에 한정되지 않는다. 예를 들면, 1개의 크레인용 천장 궤도(20)에 2대 이상의 크레인(40)이 배치되어도 좋다.
크레인(40)은 도 3에 나타내는 바와 같이 측면에서 볼 때에 있어서(X 방향으로부터 보아서, 또는 크레인(40)의 주행 방향과 직교하는 방향으로부터 보아서), 그 일부가 주회 천장 궤도(30) 및 천장 반송차(50) 중 어느 일방 또는 쌍방과 겹치는 높이로 설치되어 있다. 이 구성에 의해, 주회 천장 궤도(30)를 기준으로 하는 스토커(100)(복수의 선반(10)) 상하 방향의 치수를 억제할 수 있고, 복수의 선반(10)의 하단의 높이 H1 및 크레인(40)의 마스트(43)의 하단의 높이 H3을, 처리 장치(TL)의 높이 H2 이상으로 용이하게 설정할 수 있다.
크레인(40)은 도 1에 나타내는 바와 같이 주행부(41)로부터 매달린 상태로 설치되고, 보관 선반(11) 또는 입출고 포트(12) 사이에서 물품(2)을 주고받는 이재 장치(42)를 구비하고 있다. 이재 장치(42)는 마스트(43)를 가지고 있다. 마스트(43)는 바닥면(F)으로부터의 하단의 높이가 높이 H3이 되도록 설치되어 있다. 마스트(43)의 하단이 크레인(40)의 하단이며, 크레인(40)은 바닥면(F)으로부터의 높이가 높이 H3으로 되어 있다. 높이 H3은 상술한 바와 같이 처리 장치(TL)의 높이 H1보다 높다.
도 4는 크레인(40)의 일례를 나타내는 도면이다. 크레인(40)은 도 4에 나타내는 바와 같이 천장(C)측에 부설된 크레인용 천장 궤도(20)를 주행하므로, 바닥면(F)측(지상측)에 궤도를 설치할 필요가 없다. 크레인(40)은 2대의 주행부(41)(도 3 참조)와, 이재 장치(42)를 구비한다. 주행부(41)의 하방에는 부착부(46)를 통해서 상부 지지부(47)가 부착되고, 상부 지지부(47)에 의해 2대의 주행부(41)가 연결되어 있다. 각 주행부(41)는 도시되지 않은 주행 구동부 및 복수의 차륜(41a)를 구비하고, 크레인용 천장 궤도(20)를 따라 주행한다. 주행 구동부는, 예를 들면 주행부(41)에 구비되어 차륜(41a)를 구동하는 전동 모터이어도 좋고, 크레인용 천장 궤도(20)를 사용해서 설치된 리니어 모터이어도 좋다.
본 실시형태의 크레인(40)에서는 2대의 주행부(41)를 사용함으로써, 중량물인 이재 장치(42) 및 물품(2)을 확실하게 지지할 수 있다. 또한, 크레인(40)은 2대의 주행부(41)가 사용되고 있지만, 이 구성에 한정되지 않고, 1대 또는 3대 이상의 주행부(41)가 사용되어도 좋다.
이재 장치(42)는 마스트(43)와, 승강대(44)와, 승강 구동부(45)와, 신축부(48)와, 적재대(49)를 구비한다. 마스트(43)는 상부 지지부(47)로부터 매달린 상태로 상하 방향으로 연장되고, 주행부(41)의 주행 방향의 전후로 2개 설치되어 있다(도 3 참조). 마스트(43)는 중공 또는 중실의 봉 형상으로 형성되고, 단면이 원 형상, 타원 형상, 장원 형상, 또는 사각형 형상 등의 다각형 형상으로 형성된다. 상부 지지부(47)에의 마스트(43)의 부착은, 예를 들면 볼트 및 너트 등의 체결 부재가 사용되어도 좋고, 용접 등이 사용되어도 좋다. 또한, 마스트(43)는 1개이어도 좋다.
도 5는 크레인(40)에 구비하는 이재 장치(42)의 일례를 나타내는 평면도이다. 이재 장치(42)의 승강대(44)는 2개의 마스트(43)에 끼워진 상태로 배치되고, 마스트(43)로 안내되어 승강가능하다. 승강대(44)의 상면측에는 이재 장치(42)가 부착되어 있다. 승강대(44)는 마스트(43)의 표면에 접촉하는 가이드 롤러(44a)를 구비하고 있어, 마스트(43)에 따른 승강 동작을 원활하게 행하고 있다. 또한, 마스트(43)의 하부에는 하부 지지부(47a)가 설치되어 있고(도 3 참조), 승강대(44)는 이 하부 지지부(47a) 상에 접촉하는 위치까지 하강가능하다. 또한, 하부 지지부(47a)는 승강대(44)가 마스트(43)로부터 하방으로 빠지는 것을 방지한다.
신축부(48)는 주행부(41)의 주행 방향과 직교하는 방향으로 신축가능한 복수의 암에 의해 구성되어 있다. 적재대(49)는 신축부(48)의 선단에 설치되어 있다. 적재대(49)는 물품(2)을 적재가능한 삼각형 형상의 판상 부재이다. 적재대(49)는 물품(2)이 적재됨으로써 물품(2)을 유지한다. 적재대(49)의 상면에는 물품(2)의 바닥면에 구비하는 홈부에 삽입해서 물품(2)을 위치 결정하는 핀(49a)이 형성되어 있다. 또한, 상술한 보관 선반(11) 및 입출고 포트(12)에는 적재대(49)가 상하 방향으로 통과가능한 노치(CU)가 형성되어 있다.
이재 장치(42)는 보관 선반(11) 또는 입출고 포트(12)로부터 물품(2)을 수취할 때, 신축부(48)를 늘려서 적재대(49)를 물품(2)의 하방으로 위치시킨 상태에서 승강대(44)를 상승시킴으로써 적재대(49)에서 물품(2)을 떠올린다. 계속해서, 이재 장치(42)는 적재대(49)에 물품(2)을 적재한 채 신축부(48)를 줄임으로써, 물품(2)을 적재한 적재대(49)를 승강대(44)의 상방에 배치시킨다. 또한, 이재 장치(42)에 의해 물품(2)을 보관 선반(11) 또는 입출고 포트(12)에 건네줄 때는 상기의 역동작에 의해 행한다. 또한, 이재 장치(42)는 상술한 구성에 한정되지 않는다.
도 6(A) 및 (B)는 각각 이재 장치의 다른 예를 나타내는 도면이다. 도 6(A)에 나타내는 바와 같이, 상술한 적재대(49) 대신에, 신축부(48)의 선단에 포크부(49A)가 부착되어 있어도 좋다. 이 포크부(49A)는 신축부(48)가 연장됨으로써, 도 6(A)에 나타내는 바와 같이 물품(2)의 상부에 구비하는 플랜지부(2a)의 하방으로 진입가능하다. 이 상태에서 승강대(44)(도 5 참조)를 상승시킴으로써, 보관 선반(11) 또는 입출고 포트(12)의 물품(2)을 들어올릴 수 있다. 또한, 도 6(A)에 나타내는 상태로부터 승강대(44)를 하강시킴으로써, 물품(2)을 보관 선반(11) 또는 입출고 포트(12)에 둘 수 있다.
또한, 도 6(B)에 나타내는 바와 같이 상술한 적재대(49) 대신에, 신축부(48)의 선단에 포크부(49B)가 부착되어 있어도 좋다. 이 포크부(49B)는 신축부(48)가 연장됨으로써, 도 6(B)에 나타내는 바와 같이 물품(2)의 측면에 구비하는 사이드 플랜지부(2b)의 하방으로 진입가능하다. 이 상태에서 승강대(44)(도 5 참조)를 상승시킴으로써, 보관 선반(11) 또는 입출고 포트(12)의 물품(2)을 들어올릴 수 있다. 또한, 도 6(B)에 나타내는 상태로부터 승강대(44)를 하강시킴으로써, 물품(2)을 보관 선반(11) 또는 입출고 포트(12)에 둘 수 있다.
승강 구동부(45)는, 예를 들면 호이스트 등이 사용되고, 마스트(43)를 따라 승강대(44)를 승강시킨다. 승강 구동부(45)는 매달림 부재(45a) 및 도시되지 않은 구동부를 구비한다. 매달림 부재(45a)는, 예를 들면 벨트 또는 와이어 등이며, 승강대(44)는 이 매달림 부재(45a)에 의해 상부 지지부(47)로부터 매달려 있다. 도시되지 않은 구동부는, 예를 들면 상부 지지부(47)에 설치되고, 매달림 부재(45a)를 조출하여 권취를 행한다. 승강대(44)는 구동부가 매달림 부재(45a)를 조출하면, 마스트(43)로 안내되어 하강한다. 또한, 승강대(44)는 구동부가 매달림 부재(45a)를 권취하면, 마스트(43)로 안내되어 상승한다. 승강 구동부(45)는 도시되지 않은 제어 장치 등을 제어하여, 소정의 속도로 승강대(44)를 하강 또는 상승시킨다. 또한, 승강 구동부(45)는 제어 장치 등을 제어하여, 승강대(44)를 목표 높이로 유지한다.
승강 구동부(45)는 도 4에 나타내는 바와 같이 상부 지지부(47)(주행부(41))에 설치된다. 또한, 승강 구동부(45)는 상부 지지부(47)에 설치되는 것 대신에, 예를 들면 승강대(44)에 설치되어 좋다. 승강대(44)에 승강 구동부(45)가 설치되는 구성에서는, 예를 들면 상부 지지부(47)로부터 매달림 벨트 또는 와이어 등을 승강대(44)에 탑재한 호이스트 등에 의해 권상 또는 조출을 행하여 승강대(44)를 승강시켜도 좋다. 또한, 승강대(44)에 피니언 기어를 구동하는 전동 모터 등이 탑재되어 이 피니언 기어가 맞물리는 랙이 마스트(43)에 형성되고, 전동 모터 등을 구동해서 피니언 기어를 회전시킴으로써 승강대(44)를 상승시켜도 좋다.
주회 천장 궤도(30)는 도 1에 나타내는 바와 같이 시스템 천장(SC2)으로부터 매달림 금구(6)에 의해 매달린 상태로 설치된다. 시스템 천장(SC2)은 천장(C)으로부터 매달림 금구(4)에 의해 매달린 상태로 설치된다. 또한, 주회 천장 궤도(30)는 시스템 천장(SC2)으로부터 매달리는 것 대신에, 천장(C)으로부터 매달려도 좋다.
주회 천장 궤도(30)는 도 2에 나타내는 바와 같이 소정의 간격(작업자용 통로(PS))을 사이에 두고 상대향하는 복수의 로드 포트(LP)의 바로 위를 따라 설치되어 있다. 본 실시형태에서는 로드 포트(LP)가 1대의 처리 장치(TL)에 있어서 2개소 설치되어 있지만, 이 형태에 한정되지 않는다. 예를 들면, 1대의 처리 장치(TL)에 있어서 1개소의 로드 포트(LP)가 설치되어도 좋고, 3개소 이상의 로드 포트(LP)가 설치되어도 좋다. 주회 천장 궤도(30)는 로드 포트(LP)의 바로 위에 설치되어 있기 때문에, 주회 천장 궤도(30)의 천장 반송차(50)가 물품(2)을 승강시키는 것만으로 로드 포트(LP) 사이에서 물품(2)의 주고받음을 행할 수 있고, 입출고 포트(12)에 대하여는 파지부(53)를 횡출해서(횡 이재에 의해) 물품(2)의 주고받음을 행할 수 있다.
주회 천장 궤도(30)는 평면에서 볼 때에 인터 베이 루트(베이간 궤도)(R1)와 인터 베이 루트(R2) 사이에 배치되어 있다. 주회 천장 궤도(30)는 평면에서 볼 때에 있어서 외측에만 분기를 가지고 있다. 즉, 주회 천장 궤도(30)는 평면에서 볼 때에 있어서 내측에는 분기되지 않고, 최소 단위의 주회 천장 궤도이다. 주회 천장 궤도(30)는 베이 내(인터 베이 내)에 각각 설치되어 있고, 인터 베이 루트(R1) 등은 복수의 주회 천장 궤도(30)를 접속하기 위해서 설치되어 있다. 주회 천장 궤도(30)는 인터 베이 루트(R1)로부터 진입용 또는 퇴출용의 2개의 지선(S1)을 통해서 접속되고, 인터 베이 루트(R2)로부터 진입용 또는 퇴출용의 2개의 지선(S2)을 통해서 접속되어 있다.
주회 천장 궤도(30)는 직선부(31)와, 접속부(32)를 갖는다. 천장 반송차(50)는 직선부(31) 및 접속부(32)를 따라 일방향(예를 들면, 평면에서 볼 때에 반시계 회전의 방향)으로 주회 주행하는 것이 가능하다. 직선부(31)는 로드 포트(LP)의 바로 위에 있어서, 복수의 로드 포트(LP)를 따라 Y 방향으로 배치된다. 2개의 직선부(31)는 크레인용 천장 궤도(20)와 병행하도록 배치되어 있다. 접속부(32)는 곡선부를 포함해서 +Y측 및 -Y측의 양단에 배치되고, 2개의 직선부(31)끼리는 접속한다.
천장 반송차(50)는 인터 베이 루트(R1, R2)로부터 지선(S1, S2)을 통해서 주회 천장 궤도(30)에 진입하고, 또는 주회 천장 궤도(30)로부터 지선(S1, S2)을 통해서 인터 베이 루트(R1, R2)로 퇴출한다. 천장 반송차(50)는 다른 장소(예를 들면, 인터 베이 루트(R1) 등에 접속되는 다른 스토커 등)로부터 물품(2)을 반송해서 처리 장치(TL)의 로드 포트(LP) 또는 입출고 포트(12)로 건네준다. 또한, 천장 반송차(50)는 처리 장치(TL)의 로드 포트(LP) 또는 입출고 포트(12)의 물품(2)을 다른 장소로 반송한다. 천장 반송차(50)는 주회 천장 궤도(30)를 따라 이동하고, 로드 포트(LP)와 입출고 포트(12) 사이에서 물품(2)의 이재를 행한다.
도 7은 천장 반송차(50)의 일례를 나타내는 도면이다. 천장 반송차(50)는 도 7에 나타내는 바와 같이 반송차 주행부(51)와, 본체부(52)를 갖는다. 반송차 주행부(51)는 크레인(40)의 주행부(41)와 동일한 구성이 적용되고 있고, 도시되지 않은 주행 구동부 및 복수의 차륜(51a)을 구비하고, 주회 천장 궤도(30) 등을 따라 주행한다. 주행 구동부는, 예를 들면 반송차 주행부(51)에 구비되어 차륜(51a)을 구동하는 전동 모터이어도 좋고, 주회 천장 궤도(30)를 사용해서 설치된 리니어 모터이어도 좋다.
본체부(52)는 부착부(52a)를 통해서 반송차 주행부(51)의 하부에 부착되어 있다. 본체부(52)는 물품(2)을 유지하는 파지부(53)와, 파지부(53)를 매달아 승강시키는 승강 구동부(54)와, 승강 구동부(54)를 궤도의 측방으로 이동시키는 횡출 기구(55)를 갖는다. 파지부(53)는 물품(2)의 플랜지부(2a)를 상방으로부터 잡아 파지함으로써 물품(2)을 매달아 유지한다. 파지부(53)는, 예를 들면 수평 방향으로 진퇴가능한 복수의 클로부(53a)를 갖는 척이며, 클로부(53a)를 물품(2)의 플랜지부(2a)의 하방으로 진입시켜 파지부(53)를 상승시킴으로써 물품(2)을 매단 상태로 유지한다. 파지부(53)는 와이어 또는 벨트 등의 매달림 부재(53b)와 접속되어 있다. 파지부(53)는 승강 구동부(54)로부터 매달린 상태로 승강한다.
승강 구동부(54)는, 예를 들면 호이스트이며, 매달림 부재(53b)를 조출함으로써 파지부(53)를 하강시키고, 매달림 부재(53b)를 권취함으로써 파지부(53)를 상승시킨다. 승강 구동부(54)는 도시되지 않은 제어 장치 등으로 제어되고, 소정의 속도로 파지부(53)를 하강 또는 상승시킨다. 또한, 승강 구동부(54)는 제어 장치 등에 의해 제어되고, 파지부(53)를 목표 높이로 유지한다.
횡출 기구(55)는, 예를 들면 상하 방향으로 겹쳐 배치된 가동판을 갖는다. 가동판은 반송차 주행부(51)의 주행 방향의 측방(주행 방향에 직교하는 방향)으로 이동가능하다. 가동판에는 승강 구동부(54)가 부착되어 있다. 본체부(52)는 횡출 기구(55)를 안내하는 도시되지 않은 가이드, 및 횡출 기구(55)를 구동하는 도시되지 않은 구동부 등을 갖는다. 횡출 기구(55)는 전동 모터 등의 구동부로부터의 구동력에 의해, 승강 구동부(54) 및 파지부(53)를 가이드를 따라 돌출 위치와 격납 위치 사이에서 이동시킨다. 돌출 위치는 본체부(52)로부터 파지부(53)를 측방으로 돌출하는 위치이다. 격납 위치는 본체부(52) 내에 파지부(53)를 격납하는 위치이다. 또한, 횡출 기구(55)와 승강 구동부(54) 사이에는 승강 구동부(54)(파지부(53))를 상하 방향의 축 주위로 회전시키기 위한 회전 기구가 설치되어도 좋다.
스토커 시스템(SYS)은 도시되지 않은 제어 장치를 갖는다. 이 제어 장치는 스토커 시스템(SYS)을 통괄해서 제어한다. 제어 장치는 무선 또는 유선에 의한 통신에 의해 크레인(40) 및 천장 반송차(50)의 동작을 제어한다. 또한, 제어 장치는 크레인(40)을 제어하는 제어 장치와, 천장 반송차(50)를 제어하는 제어 장치로 분할되어도 좋다.
상기한 스토커 시스템(SYS)에 있어서, 크레인(40)으로부터 천장 반송차(50)에 물품(2)을 건네주는 경우, 입출고 포트(12)가 사용된다. 도 8 및 도 9는 크레인(40)으로부터 천장 반송차(50)에 물품(2)을 건네주는 동작을 나타내는 도면이다. 또한, 도 8 및 도 9에 있어서, 입출고 포트(12)의 노치(CU)(도 5 참조)는 생략하고 있다. 도시되지 않은 제어 장치는 크레인(40)으로부터 천장 반송차(50)에 물품(2)을 건네주도록 크레인(40) 및 천장 반송차(50)를 제어한다. 우선, 크레인(40)은 크레인용 천장 궤도(20)를 따라 Y 방향으로 주행하고, 보관 선반(11)의 측방으로 이동해서 물품(2)을 이재 장치(42)에 의해 수취한다. 그 후에, 크레인(40)은 물품(2)을 적재대(49)에 적재한 상태에서, 도 8에 나타내는 바와 같이 입출고 포트(12)까지 이동해서 정지하고, 신축부(48)를 늘려서 물품(2)을 입출고 포트(12)의 상방에 배치시킨다. 계속해서, 승강 구동부(45)를 구동해서 승강대(44)를 하강시킴으로써, 물품(2)은 적재대(49)로부터 입출고 포트(12)에 건네진다.
천장 반송차(50)는 크레인(40)에 의해 입출고 포트(12)에 물품(2)이 적재된 경우, 도 9에 나타내는 바와 같이 주회 천장 궤도(30)를 따라 Y 방향으로 입출고 포트(12)의 측방까지 이동해서 정지하고, 횡출 기구(55)에 의해 승강 구동부(54) 및 파지부(53)를 돌출 위치까지 돌출시켜 파지부(53)를 물품(2)의 상방에 배치시킨다. 계속해서, 승강 구동부(54)를 구동해서 파지부(53)를 하강시키고, 파지부(53)에 의해 물품(2)의 플랜지부(2a)를 상방으로부터 잡아 파지시킨다. 계속해서, 승강 구동부(54)에 의해 파지부(53)를 상승시키고, 또한 횡출 기구(55)에 의해 파지부(53)를 격납 위치로 되돌림으로써, 물품(2)은 본체부(52) 내에 수용된다.
이 일련의 동작에 의해, 물품(2)은 입출고 포트(12)를 경유해서 크레인(40)으로부터 천장 반송차(50)로 건네준다. 물품(2)을 수취한 후, 천장 반송차(50)는 예를 들면 처리 장치(TL)의 로드 포트(LP)까지 주회 천장 궤도(30)를 주행하고, 물품(2)을 유지하는 파지부(53)를 승강 구동부(54)에 의해 하강시킴으로써, 물품(2)을 처리 장치(TL)의 로드 포트(LP)에 적재할 수 있다.
또한, 천장 반송차(50)로부터 크레인(40)에 물품(2)을 건네주는 경우에 있어서도, 입출고 포트(12)가 사용된다. 도 10 및 도 11은 천장 반송차(50)로부터 크레인(40)에 물품(2)을 건네주는 동작을 나타내는 도면이다. 또한, 도 10 및 도 11에 있어서, 입출고 포트(12)의 노치(CU)(도 5 참조)는 생략하고 있다. 천장 반송차(50)는 도 10에 나타내는 바와 같이 물품(2)을 파지부(53)에서 유지한 상태로 주회 천장 궤도(30)를 따라 입출고 포트(12)의 측방까지 이동해서 정지한다. 계속해서, 물품(2)을 파지한 채 횡출 기구(55)에 의해 승강 구동부(54) 및 파지부(53)를 돌출 위치까지 측방으로 횡출시켜, 물품(2)을 입출고 포트(12)의 상방에 배치시킨다. 계속해서, 승강 구동부(54)를 구동해서 파지부(53)를 하강시킴으로써, 물품(2)은 입출고 포트(12)에 적재된다.
크레인(40)은 천장 반송차(50)에 의해 입출고 포트(12)에 물품(2)이 적재된 경우, 도 11에 나타내는 바와 같이 크레인용 천장 궤도(20)를 따라 입출고 포트(12)의 측방까지 이동해서 정지한다. 계속해서, 크레인(40)은 신축부(48)를 늘려 적재대(49)을 물품(2)의 하방에 배치시킨다. 계속해서, 승강 구동부(45)를 구동해서 승강대(44)를 상승시킴으로써, 물품(2)은 입출고 포트(12)로부터 적재대(49)로 건네진다. 계속해서, 신축부(48)를 줄임으로써, 물품(2)은 승강대(44)의 상방에 배치된다.
이 일련의 동작에 의해, 물품(2)은 입출고 포트(12)를 경유해서 천장 반송차(50)로부터 크레인(40)에 건네진다. 물품(2)을 수취한 후, 크레인(40)은 예를 들면 물품(2)을 적재대(49)에 적재한 상태에서 복수의 보관 선반(11) 중 어느 하나의 측방까지 이동하고, 물품(2)을 이재 장치(42)에 의해 보관 선반(11)에 이재할 수 있다.
이와 같이, 제 1 실시형태에 의한 스토커 시스템(SYS)에 의하면, 복수의 선반(10) 및 크레인(40)이 처리 장치(TL)의 높이 H2 이상의 천장측의 스페이스에 배치되기 때문에, 물품(2)의 입출고가 가능한 대용량의 스토커(100)를 바닥면(F)에 설치하지 않고 실현할 수 있다. 또한, 보관 선반(11)의 상하 치수가 입출고 포트(12)보다 작으므로, 보관 선반(11)을 다단화해도 상하 방향의 치수를 억제하는 것이 가능해진다. 그 결과, 이 보관 선반(11)에 물품(2)을 수납함으로써, 복수의 물품(2)을 고밀도로 수납할 수 있고, 물품(2)의 수납 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 스토커(100)의 하방의 스페이스를 작업자용 통로(PS)로서 유효 이용할 수 있다.
제 1 실시형태에서는 주회 천장 궤도(30)를 주회하는 천장 반송차(50)가 로드 포트(LP)에 대하여 물품(2)의 주고받음을 행하는 구성으로 되어 있다. 이 구성에 의해, 천장 반송차(50)가 베이 내(인터 베이 내)의 주회 천장 궤도(30)를 주회하면서 스토커(100)(복수의 선반(10))와 로드 포트(LP) 사이에서 물품(2)을 주고받을 수 있다. 예를 들면, 천장 반송차(50)는 도 2에 나타내는 바와 같이 입출고 포트(12A)에서 수취한 물품(2)을 주회 천장 궤도(30)를 주회해서 로드 포트(LPA)로 건네질(둘) 수 있다. 이와 같이, 베이 내의 주회 천장 궤도(30)를 주회하는 천장 반송차(50)가 물품(2)을 주고받기 가능한 장소에 대용량의 스토커(100)를 설치할 수 있다.
또한, 제 1 실시형태에서는 크레인용 천장 궤도(20)가 직선 형상의 1개 궤도이다. 이 구성에 의해, 주회 천장 궤도(30) 중 병행하는 Y 방향의 궤도(도 2 참조)의 간격이 좁은 장소에도 스토커(100)를 설치할 수 있다. 또한, 병행되는 Y 방향의 궤도의 간격이 넓은 경우(예를 들면, 베이 내에 있어서 처리 장치(TL)의 X 방향의 간격이 넓은 경우)는 크레인용 천장 궤도(20)를 후술하는 제 2 실시형태와 같이 주회 궤도로 해도 좋다.
또한, 제 1 실시형태에서는 도 1에 나타내는 바와 같이 크레인용 천장 궤도(20)가 주회 천장 궤도(30)를 지지하는 시스템 천장(SC2)보다 높은 위치에 설치되어 있다. 이 구성에 의해, 지금까지 데드스페이스로 되어 있었던 시스템 천장(SC2) 등보다 상방의 공간을 물품(2)의 보관 스페이스, 또는 물품(2)의 이재 장치인 크레인(40)의 배치 스페이스로서 활용할 수 있다. 또한, 주회 천장 궤도(30)의 높이는 시스템 천장(SC2)에 의해 그대로 되기 때문에(또는 낮게 억제할 수 있으므로), 천장 반송차(50)에 있어서 로드 포트(LP)에의 물품(2)의 승강 스트로크를 억제할 수 있다.
[제 2 실시형태]
상기한 제 1 실시형태에서는 주회 천장 궤도(30)가 처리 장치(TL)의 로드 포트(LP)의 바로 위에 위치하고 있으며, 입출고 포트(12)(복수의 선반(10))가 주회 천장 궤도(30)의 하방 또한 측방에 배치되는 구성을 나타내고 있지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 도 12는 제 2 실시형태에 의한 스토커 시스템(SYS2)의 일례를 나타내는 평면도이다. 도 13은 도 12에 나타내는 스토커 시스템(SYS2)을 Y 방향으로부터 본 도면이다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 상술한 제 1 실시형태와 동일 또는 동등한 구성에 대해서는 동일한 부호를 붙여서 설명을 생략 또는 간략화한다.
도 12에 나타내는 스토커 시스템(SYS2)은 스토커(100A)를 구비한다. 스토커(100A)는 복수의 선반(10)과, 크레인(40)을 갖는다. 도 12 및 도 13에 나타내는 바와 같이 스토커 시스템(SYS2)에서는 입출고 포트(12)(복수의 선반(10))가 주회 천장 궤도(30A)의 바로 아래에 배치되어 있으며, 처리 장치(TL)의 로드 포트(LP)가 주회 천장 궤도(30A)의 하방 또한 측방에 배치되어 있다. 주회 천장 궤도(30A)는 직선부(31A)와, 접속부(32A)를 갖는다. 천장 반송차(50)는 직선부(31A) 및 접속부(32A)를 따라 일방향(예를 들면, 평면에서 볼 때에 반시계 회전의 방향)으로 주회 주행하는 것이 가능하다. 직선부(31A)는 복수의 선반(10)의 바로 위에 있어서, 복수의 선반(10)을 따라 Y 방향으로 배치된다. 2개의 직선부(31A)는 크레인용 천장 궤도(20)와 병행하도록 배치되어 있다. 접속부(32A)는 곡선부를 포함해서 +Y측 및 -Y측의 양단에 배치되고, 2개의 직선부(31A)끼리를 접속한다. 주회 천장 궤도(30A)는 도 2에 나타내는 주회 천장 궤도(30)와 비교하여, 2개의 직선부(31A)에 있어서의 X 방향의 간격이 좁아지고 있다.
크레인(40)은 평면에서 볼 때에 있어서 주회 천장 궤도(30B)의 내측에 들어가는 직선 형상의 크레인용 천장 궤도(20)를 주행한다. 크레인용 천장 궤도(20)는 도 13에 나타내는 바와 같이 천장(C)으로부터 매달림 금구(5)에 의해 매달려 설치되지만, 이 구성 대신에, 시스템 천장(SC1)(도 1 참조)으로부터 매달려도 좋고, 후술하는 시스템 천장(SC3)이 넓은 경우에는 시스템 천장(SC3)으로부터 매달려도 좋다. 또한, 크레인용 천장 궤도(20)는 주회 천장 궤도(30A)와 동일 또는 거의 동일한 높이로 설정되어 있지만, 주회 천장 궤도(30A)보다 높게 설정되어도 좋고, 낮게 설정되어도 좋다.
복수의 선반(10)은 프레임(13)에 의해 시스템 천장(SC3)으로부터 각각 매달려 설치된다. 시스템 천장(SC3)은 매달림 금구(7)에 의해 건물의 천장(C)으로부터 매달려 배치되어 있다. 또한, 복수의 선반(10)은 시스템 천장(SC3)으로부터 매달리는 것 대신에, 천장(C)으로부터 매달려도 좋다. 복수의 선반(10)의 하단은 상기한 제 1 실시형태의 스토커(100)와 마찬가지로, 바닥면(F)으로부터의 높이가 처리 장치(TL)의 높이 H2보다 높은 높이 H1로 설정되어, 크레인(40)의 마스트(43)의 하단의 높이 H3이 처리 장치(TL)의 높이 H2보다 높다. 따라서, 제 2 실시형태의 스토커(100A)에 있어서도, 처리 장치(TL)보다 상방에 배치되어 있다.
시스템 천장(SC3)의 하방에는 주회 천장 궤도(30A)가 매달림 금구(6)에 의해 시스템 천장(SC3)으로부터 매달려 설치된다. 주회 천장 궤도(30A)는 복수의 선반(10)의 바로 위에 있어서 프레임(13)에 끼워져 있었던 영역 내에 배치되어 있다. 복수의 선반(10)은 상하 3단의 보관 선반(11)과, 최상단에 배치된 입출고 포트(12)를 포함한다. 또한, 도 12에서는 크레인(40) 주행 방향(Y 방향)의 양단에 입출고 포트(12)를 기재하고 있지만, 복수의 선반(10)의 최상단이 입출고 포트(12)이다. 보관 선반(11)의 단수는 임의로 설정할 수 있고, 예를 들면 입출고 포트(12)의 하방에 있어서 4단 이상 형성되어도 좋다. 보관 선반(11)은 제 1 실시형태와 마찬가지로 상하 치수(L2)이다(도 3 참조).
입출고 포트(12)는 천장 반송차(50)가 횡출 기구(55)에 의해 파지부(53)를 횡출하지 않고, 파지부(53)를 하강시켜 물품(2)을 주고받기 가능해지고 있다. 복수의 선반(10)에 있어서의 입출고 포트(12)는 상하 치수(L11)이며, 보관 선반(11)의 상하 치수(L2)보다 크다. 제 2 실시형태에 있어서의 입출고 포트(12)는 상방에 있어서 천장 반송차(50)의 주행 스페이스가 필요하며, 또한 천장 반송차(50)로부터 파지부(53)를 승강시켜 물품(2)을 두거나, 또는 물품(2)을 잡기 위한 스페이스가 필요하기 때문에, 상하 치수(L11)로 함으로써 보관 선반(11)의 상하 치수(L2)보다 커진다. 또한, 보관 선반(11)의 상하 치수(L2)가 입출고 포트(12)의 상하 치수(L11)보다 작으므로, 제 1 실시형태와 마찬가지로, 보관 선반(11)을 다단화해도 상하 방향의 치수를 억제하는 것이 가능해진다. 그 결과, 보관 선반(11)에 의해, 복수의 물품(2)을 고밀도로 수납할 수 있고, 물품(2)의 수납 효율을 향상시킬 수 있다.
스토커(100A)에 있어서, 크레인(40)은 보관 선반(11) 및 입출고 포트(12)에 대하여 물품(2)의 주고받음이 가능하다. 또한, 천장 반송차(50)는 파지부(53)를 주회 천장 궤도(30A)의 측방으로 횡출하지 않고, 파지부(53)를 승강 구동부(54)에 의해 상승시키는 것만으로 복수의 선반(10)의 최상단에 배치된 입출고 포트(12)에 대하여 물품(2)의 주고받음이 가능하다. 따라서, 상술한 스토커(100)와 마찬가지로, 입출고 포트(12)를 통해서 크레인(40)으로부터 천장 반송차(50)에 물품(2)을 건네줄 수 있고, 또한 천장 반송차(50)로부터 크레인(40)에 물품(2)을 건네줄 수 있다.
또한, 도 13에 나타내는 바와 같이 천장 반송차(50)는 입출고 포트(12) 등으로부터 물품(2)을 수취한 후, 횡출 기구(55)에 의해 파지부(53) 및 승강 구동부(54)를 돌출 위치까지 횡출하여 파지부(53)를 처리 장치(TL)의 로드 포트(LP)의 바로 위에 배치시키고, 계속해서 승강 구동부(54)에 의해 파지부(53)를 하강시켜 처리 장치(TL)의 로드 포트(LP)에 물품(2)을 적재할 수 있다. 또한, 처리 장치(TL)의 로드 포트(LP)에 적재된 물품(2)을 수취하는 경우도, 횡출 기구(55)에 의해 파지부(53) 및 승강 구동부(54)를 돌출 위치까지 횡출하여 파지부(53)를 승강 구동부(54)에 의해 하강시킴으로써, 물품(2)을 상방으로부터 잡아 파지할 수 있다.
이와 같이, 제 2 실시형태에 의한 스토커 시스템(SYS2)에서는 복수의 선반(10)에 있어서 입출고 포트(12)가 주회 천장 궤도(30A)의 바로 아래에 설치되기 때문에, 천장 반송차(50)는 파지부(53)(물품(2))를 주회 천장 궤도(30A)의 측방으로 횡출시키지 않고 승강시키는 것만으로 입출고 포트(12) 사이에서 물품(2)의 주고받음을 행할 수 있다. 또한, 스토커 시스템(SYS2)에서는 주회 천장 궤도(30A)에 있어서 2개의 직선부(31A)의 X 방향의 간격이 좁은 경우에도, 복수의 물품(2)을 고밀도로 수납가능한 스토커(100A)를 설치할 수 있다.
[제 3 실시형태]
상기한 제 1 및 제 2 실시형태에서는 평면에서 볼 때에 주회 천장 궤도(30, 30A)의 내측에 스토커(100, 100A)가 배치되는 구성을 예로 들어서 설명했지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 도 14는 제 3 실시형태에 의한 스토커 시스템(SYS3)의 일례를 Y 방향으로부터 본 도면이다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 상술한 제 1 실시형태와 동일 또는 동등한 구성에 대해서는 동일한 부호를 붙여서 설명을 생략 또는 간략화한다.
스토커 시스템(SYS3)은 도 14에 나타내는 바와 같이 주회 천장 궤도(30)의 내측에 스토커(100)를 구비하고, 또한 주회 천장 궤도(30)의 외측에 스토커(100B)를 구비하고 있다. 스토커(100B)는 복수의 선반(10)과 크레인(40)을 가지고 있으며, 주회 천장 궤도(30)를 주행하는 천장 반송차(50) 사이에서 물품(2)을 주고받기 위한 입출고 포트(12)를 가지고 있다. 천장 반송차(50)는 스토커(100B)의 입출고 포트(12)에 대하여, 횡출 기구(55)에 의해 파지부(53)를 횡출함으로써 물품(2)의 주고받음이 가능하다.
스토커(100B)의 입출고 포트(12)의 상방에는 다단화된 보관 선반(11)을 구비하고 있다. 또한, 입출고 포트(12)에 대하여 크레인(40)의 주행 영역을 사이에 두고 반대측에는 크레인(40)에 의해 물품(2)을 두거나 또는 물품(2)을 꺼내는 것이 가능한 제 2 보관 선반(11S)을 구비하고 있다. 제 2 보관 선반(11S)은 선반판(11Sa)을 구비하고, 프레임(13)에 의해 시스템 천장(SC1)에 유지되어 있다. 제 2 보관 선반(11S)의 각각은 상하 치수가 상술한 보관 선반(11)과 마찬가지로 길이 L2로 설치되어 있고, 상하에 다단(본 실시형태에서는 5단)으로 되어 있다. 제 2 보관 선반(11S)의 상하 치수가 길이 L2임으로써, 주회 천장 궤도(30)의 외측에 있어서도 복수의 물품(2)을 고밀도로 수납할 수 있고, 물품(2)의 수납 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 제 2 보관 선반(11S)에 물품(2)을 두는 것은 제 2 보관 선반(11S)의 선반판(11Sa)에 물품(2)을 두는 것을 의미한다.
복수의 제 2 보관 선반(11S)은 주회 천장 궤도(30)를 주행하는 천장 반송차(50)도 사이에서 물품(2)의 주고받음을 행하지 않으므로 입출고 포트(12)가 없다. 따라서, 입출고 포트(12) 대신에 제 2 보관 선반(11S)을 배치할 수 있으므로, 보다 많은 물품(2)을 수납할 수 있다. 또한, 복수의 제 2 보관 선반(11S)의 하단의 높이는 상술한 실시형태에 있어서의 복수의 선반(10)과 마찬가지로, 처리 장치(TL)의 높이 H2보다 높게 설정되어 있다.
또한, 크레인(40)은 주회 천장 궤도(30)의 외측에 있어서 크레인용 주회 천장 궤도(20A)를 주회 주행한다. 도 14에 있어서, 크레인(40)은 예를 들면 우측의 크레인용 주회 천장 궤도(20A)를 -Y 방향으로 주행하고, 좌측의 크레인용 주회 천장 궤도(20A)를 +Y 방향으로 주행함으로써, 크레인용 주회 천장 궤도(20A)를 주회 주행한다. 크레인용 주회 천장 궤도(20A)는 직선 구간과 주회 구간을 가지고 있다(후술하는 도 15의 스토커 시스템(SYS4) 참조). 복수의 제 2 보관 선반(11S)은 크레인용 주회 천장 궤도(20A)에 있어서의 직선 구간에 대응하여 크레인(40)의 주행 영역의 양측에 설치되어 있다.
크레인(40)은 크레인용 주회 천장 궤도(20A)를 주회 주행함으로써, 제 2 보관 선반(11S) 또는 보관 선반(11)으로부터 물품(2)을 수취하여 입출고 포트(12)에 둘 수 있다. 또한, 크레인(40)은 천장 반송차(50)에 의해 입출고 포트(12)에 놓여진 물품(2)을 수취하여 제 2 보관 선반(11S) 또는 보관 선반(11)에 둘 수 있다. 또한, 크레인용 주회 천장 궤도(20A)를 주행하는 크레인(40)은 크레인용 천장 궤도(20)를 주행하는 크레인(40)과 동일한 구성이어도 좋고, 다른 구성이어도 좋다.
이와 같이, 스토커 시스템(SYS3)에 의하면, 주회 천장 궤도(30)의 외측에 복수의 제 2 보관 선반(11S)을 갖는 스토커(100B)를 구비하므로, 건물의 천장 근방에 있어서, 많은 물품(2)을 수납가능한 대용량의 스토커 시스템을 실현할 수 있고, 천장 근방의 스페이스를 유효하게 활용할 수 있다.
[제 4 실시형태]
도 15는 제 4 실시형태에 의한 스토커 시스템(SYS4)의 일례를 나타내는 평면도이다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 상술한 실시형태와 동일 또는 동등한 구성 에 대해서는 동일한 부호를 붙여서 설명을 생략 또는 간략화한다. 도 15에 나타내는 스토커 시스템(SYS4)은 스토커(100C)를 구비하고 있다. 스토커(100C)는 복수의 선반(10)과 크레인(40)을 갖는다. 또한, 도 15에 나타내는 스토커 시스템(SYS4)에서는 2개의 주회 궤도인 크레인용 주회 천장 궤도(20A, 20B)를 2개의 접속 궤도(S4)로 접속한 구성을 가지고 있으며, 크레인(40)이 크레인용 주회 천장 궤도(20A, 20B), 접속 궤도(S4)를 주행한다.
크레인용 주회 천장 궤도(20A, 20B)는 도 15에 나타내는 바와 같이 평면에서 볼 때에 주회 천장 궤도(30A)의 내측에 배치되고, 각각 직선 구간(21) 및 접속 구간(22)을 갖는다. 2개의 직선 구간(21)은 각각 Y 방향으로 병행되고 연장되어 설치되고, X 방향으로 2개 나란히 배치된다. 접속 구간(22)은 2개의 직선 구간(21)의 +Y측 및 -Y측의 단부끼리를 각각 연결하고 있다. 2개의 접속 궤도(S4)는 크레인용 주회 천장 궤도(20A)의 직선 구간(21)과, 크레인용 주회 천장 궤도(20B)의 직선 구간(21)을 접속하도록 설치된다.
크레인(40)은 크레인용 주회 천장 궤도(20A, 20B)의 각각에 있어서, 직선 구간(21) 및 접속 구간(22)을 따라 일방향(예를 들면, 평면에서 볼 때에 반시계 회전의 방향)으로 주회 주행한다. 또한, 크레인(40)은 접속 궤도(S4)를 통과해서 크레인용 주회 천장 궤도(20A)로부터 크레인용 주회 천장 궤도(20B)로, 또는 접속 궤도(S4)를 통과해서 크레인용 주회 천장 궤도(20B)로부터 크레인용 주회 천장 궤도(20A)로 이동할 수 있다. 복수의 크레인(40)은 크레인용 주회 천장 궤도(20A, 20B)의 각각에 있어서 주회 주행하면서 물품(2)을 반송하는 제 1 상태와, 크레인용 주회 천장 궤도(20A, 20B) 각각의 일부, 및 2개의 접속 궤도(S4)에 의해 구성되는 주회 궤도(20C)를 주회 주행하면서 물품(2)을 반송하는 제 2 상태 중 어느 하나에 있어서 가동시킬 수 있도록 되어 있으며, 복수의 크레인(40)을 제 1 상태 및 제 2 상태 중 어느 하나에서 가동시키도록 제어하는 컨트롤러를 구비하고 있다.
이 컨트롤러는 복수의 크레인(40)이 제 1 상태, 제 2 상태에서 가동하는 비율(시간 비율)을 변경할 수 있다. 컨트롤러는 각 베이에 있어서의 처리 장치(TL)의 가동 상태 등에 따라, 반송 효율이 향상하도록 제 1 상태 및 제 2 상태를 선택적으로 성립시킨다(또는 제 1 상태, 제 2 상태에서 가동하는 비율을 변경한다). 또한, 크레인용 주회 천장 궤도(20A, 20B)는 평면에서 볼 때에 있어서 동일 또는 거의 동일한 형상 또는 크기이며, Y 방향으로 나란히 배치되어 있다. 크레인용 주회 천장 궤도(20A, 20B)는 평면에서 볼 때에 있어서 상이한 형상 또는 크기이어도 좋다. 크레인용 주회 천장 궤도(20A, 20B), 접속 궤도(S4)는 도 1 등에 나타내는 크레인용 천장 궤도(20)와 마찬가지로, 시스템 천장(SC1) 또는 천장(C)으로부터 매달린 상태로 설치된다.
천장 반송차(50)가 주행하는 주회 천장 궤도(30B)는 인터 베이 루트(R1, R1A)와 인터 베이 루트(R2, R2A) 사이에 배치된다. 인터 베이 루트(R1, R1A)는 병행하여 Y 방향으로 연장되어 형성되어 있다. 마찬가지로, 인터 베이 루트(R2, R2A)는 병행하여 Y 방향으로 연장되어 형성되어 있다. 인터 베이 루트(R1, R1A, R2, R2A)는 인터 베이 사이를 접속하는 베이간 궤도이다. 인터 베이 루트(R1, R1A, R2, R2A), 주회 천장 궤도(30B), 및 스토커(100C)가 설치되어 있는 장소의 하방은 메인 통로(PSA)이다.
메인 통로(PSA)는 인터 베이 내의 처리 장치(TL)와, 대향하는 인터 베이 내의 처리 장치(TL) 사이에 형성되어 있다. 메인 통로(PSA)는 작업자용 통로이며, 또한 예를 들면 처리 장치(TL)의 반입 또는 반출의 통로로서 이용된다. 주회 천장 궤도(30B)는 2개의 직선부(31B)와, 접속부(32B)와, 인터 베이 루트(R1A, R2A)의 일부를 사용하여 형성되어 있다. 2개의 직선부(31B)는 각각 Y 방향으로 병행되고 연장되어 형성되고, X 방향으로 2개 나란히 배치된다. +X측의 직선부(31B)의 +Y측 및 -Y측의 단부는 인터 베이 루트(R2A)에 접속된다. -X측의 직선부(31B)의 +Y측 및 -Y측의 단부는 인터 베이 루트(R1A)에 접속된다. 직선부(31A)는 메인 통로(PSA)의 상방에 배치된 인터 베이 루트(R1A, R2A)보다 스토커(100C)(복수의 선반(10))에 가까이 하고, 스토커(100C)에 액세스하기 쉽게 하기 위해 설치된 증설 레일이다. 이 구성에 의해, 메인 통로(PSA)의 X 방향의 폭이 넓은 경우에도 스토커(100C)의 X 방향의 폭을 억제할 수 있다.
또한, 스토커(100C)의 X 방향의 폭이 큰 경우, 또는 메인 통로(PSA)의 X 방향의 폭이 작은 경우에는 직선부(31B) 대신에 인터 베이 루트(R1A, R2A)를 이용하여 주회 천장 궤도(30B)를 형성해도 좋다. 접속부(32B)는 2개의 직선부(31B)의 +Y측 및 -Y측에 있어서 인터 베이 루트(R1A)와 인터 베이 루트(R2A)를 접속하도록 형성된다. 주회 천장 궤도(30B)는 도 1 등에 나타내는 주회 천장 궤도(30)와 마찬가지로, 시스템 천장(SC2) 또는 천장(C)으로부터 매달린 상태로 설치된다.
천장 반송차(50)는 주회 천장 궤도(30B)를 따라 일방향(예를 들면, 평면에서 볼 때에 시계 회전의 방향)으로 주회 주행하는 것이 가능하다. 또한, 크레인(40)도 크레인용 주회 천장 궤도(20A, 20B)를 따라 각각 일방향(예를 들면, 평면에서 볼 때에 시계 회전의 방향)으로 주회 주행한다. 이와 같이, 크레인(40) 및 천장 반송차(50)를 동일한 방향으로 주회시킴으로써, 크레인(40) 및 천장 반송차(50)의 쌍방을 같은 형식의 제어 프로그램을 구비한 컨트롤러에 의해 제어할 수 있고, 일방을 반대 주위로 주회시키는 제어와 비교해서 제어를 간이화할 수 있다. 천장 반송차(50)는 직선부(31B)로부터 접속부(32B)에 진입할 때, 및 접속부(32B)로부터 직선부(31B)에 진입할 때, 인터 베이 루트(R1A) 또는 인터 베이 루트(R2A)를 통해서 주행하게 된다. 또한, 주회 천장 궤도(30B)는 인터 베이 루트(R1A) 또는 인터 베이 루트(R2A)의 일부를 사용하는 구성에 한정되지 않고, 직선부(31B)의 +Y측 및 -Y측의 단부끼리가 각각 접속부(32B)에 의해 연결되어도 좋다.
복수의 선반(10)은 평면에서 볼 때에 있어서, 주회 천장 궤도(30B)와 크레인용 주회 천장 궤도(20A, 20B) 사이, 및 크레인용 주회 천장 궤도(20A, 20B)의 내측에 복수 설치되어 있다. 즉, 모든 복수의 선반(10)은 평면에서 볼 때에 있어서 주회 천장 궤도(30B)의 내측에 배치되어 있다. 복수의 선반(10)은 보관 선반(11) 및 입출고 포트(12)를 가지고 있다. 입출고 포트(12)는 주회 천장 궤도(30B)와 크레인용 주회 천장 궤도(20A, 20B) 사이에 배치된 복수의 선반(10)에 형성된다. 크레인용 주회 천장 궤도(20A)의 내측에 설치된 복수의 선반(10)은 천장 반송차(50)를 액세스할 수 없으므로 입출고 포트(12)가 없고, 보관 선반(11)만 구성이 된다. 또한, 도 15에서는 복수의 선반(10)의 +Y측의 단부에 입출고 포트(12)를 기재하고 있지만, 상술한 제 1 실시형태와 마찬가지로, 복수의 선반(10)의 최하단이 입출고 포트(12)이다.
스토커(100C)는 메인 통로(PSA)의 상방에 설치되어 있으며, 복수의 선반(10)의 하단의 높이 H1(도 1 참조), 및 크레인(40)(마스트(43))의 하단의 높이 H3(도 1 참조)은 처리 장치(TL)의 높이 H2(도 1 참조)보다 높다. 이 구성에 의해, 메인 통로(PSA)를 처리 장치(TL) 등의 반입 또는 반출에 사용할 수 있다.
크레인용 주회 천장 궤도(20A)의 +Y측, 및 크레인용 주회 천장 궤도(20B)의 -Y측과, 주회 천장 궤도(30B)의 접속부(32B) 사이에는 지선(S3)이 설치되어 있다. 크레인(40)은 지선(S3)을 통해서 주회 천장 궤도(30B)에 진입하는 것이 가능하고, 주회 천장 궤도(30B)로부터 인터 베이 루트(R1A) 또는 인터 베이 루트(R2A)에 진입하는 것이 가능하다. 단, 지선(S3)을 설치하는지의 여부는 임의이고, 지선(S3)은 설치되지 않아도 좋다.
또한, 인터 베이 루트(R1) 또는 인터 베이 루트(R2)에 접속된 복수의 주회 천장 궤도(30)에는 보관 선반(STB)이 설치되어 있다. 보관 선반(STB)은, 예를 들면 천장(C)으로부터 매달려 설치되고, 물품(2)을 적재가능하다. 천장 반송차(50)는 보관 선반(STB) 사이에서 물품(2)의 주고받음이 가능하다. 또한, 주회 천장 궤도(30)에 보관 선반(STB)이 배치되는 것 대신에, 도 1 등에 나타내는 바와 같은 스토커(100)가 배치되어도 좋다.
도 15에 나타내는 스토커(100C)에 있어서도, 상술한 스토커(100)와 마찬가지로, 입출고 포트(12)를 통해서 크레인(40)으로부터 천장 반송차(50)에 물품(2)을 건네줄 수 있고, 또한 천장 반송차(50)로부터 크레인(40)에 물품(2)을 건네줄 수 있다. 또한, 도 15에서는 크레인용 주회 천장 궤도(20A, 20B)에 각각 2대의 크레인(40)이 배치되어 있지만, 크레인(40)의 배치수는 임의이다.
이와 같이, 제 4 실시형태에 의한 스토커 시스템(SYS4)에서는 복수의 선반(10)이 주회 천장 궤도(30B)와 크레인용 주회 천장 궤도(20A, 20B) 사이, 및 크레인용 주회 천장 궤도(20A, 20B)의 내측에 설치되어 있으므로 많은 물품(2)을 보관할 수 있고, 대용량의 스토커 시스템을 실현할 수 있다.
또한, 제 4 실시형태에서는 크레인용 주회 천장 궤도(20A, 20B)의 내측에 2열의 복수의 선반(10)이 배치되어 있으므로, 크레인(40)이 물품(2)을 이재할 때에 물품(2)의 방향을 일률적으로(동일하게) 할 수 있고, 크레인(40)에 의한 물품(2)의 이재에 관한 제어가 용이하게 된다. 예를 들면, 크레인용 주회 천장 궤도(20A, 20B)의 내측에 1열의 복수의 선반(10) 배치되는 경우, 복수의 선반(10)에 대하여 +X측으로부터 물품(2)의 주고받음을 행할 때와, -X측으로부터 물품(2)의 주고받음을 행할 때에서 물품(2)의 방향이 역방향이 되기 때문에, 크레인(40)에 있어서 크레인용 주회 천장 궤도(20A, 20B) 중 어느 하나로부터 물품(2)을 복수의 선반(10)에 주고받음할 때에도 그 복수의 선반(10)에 보관되는 물품(2)이 동방향이 되도록 물품(2)을 회전시키는 제어가 필요하다.
이상, 실시형태에 대해서 설명했지만, 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고, 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위에 있어서 다양한 변경이 가능하다. 예를 들면, 도 1 및 도 13 등에 나타내는 스토커 시스템(SYS, SYS2)에서는 크레인용 천장 궤도(20)와 주회 천장 궤도(30, 30A)가 접속되지 않는 구성을 예로 들어서 설명했지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 크레인(40)의 메인터넌스시 등에 일시적으로 크레인(40)을 주회 천장 궤도(30, 30A)로 주행시키기 위해서(주회 천장 궤도(30, 30A)를 통해서 천장 반송차(50)의 궤도로 연장되어, 메인터넌스 장소까지 주행시키기 위해서), 크레인용 천장 궤도(20)와 주회 천장 궤도(30, 30A)가 지선 등을 통해서 접속되어도 좋다.
또한, 상술한 스토커 시스템(SYS, SYS2, SYS3, SYS4)에 있어서, 복수의 선반(10), 크레인용 천장 궤도(20), 크레인용 주회 천장 궤도(20A, 20B) 및 주회 천장 궤도(30, 30A, 30B)가 천장(C) 또는 시스템 천장(SC1, SC2, SC3)으로부터 매달린 구성을 예로 들어서 설명했지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 복수의 선반(10), 크레인용 천장 궤도(20), 크레인용 주회 천장 궤도(20A, 20B), 및 주회 천장 궤도(30, 30A, 30B) 중 적어도 1개가 바닥면(F)으로부터 상방으로 연장되는 지주 또는 프레임, 가대 등에 의해 지지되어, 복수의 선반(10) 등의 하중을 바닥면(F)에서 받는 구성이어도 좋다. 또한, 법령에서 허용되는 한에 있어서, 일본 특허 출원인 일본 특허 출원 2018-054470, 및 상술의 실시형태 등에서 인용한 모든 문헌의 내용을 원용해서 본문의 기재의 일부로 한다.
C···천장 F···바닥면
SC1, SC2, SC3···시스템 천장 LP···로드 포트
TL···처리 장치(장치) PS···작업자용 통로
PSA···메인 통로
SYS, SYS2, SYS3, SYS4···스토커 시스템
2···물품 10···복수의 선반
11···보관 선반 11S··· 제 2 보관 선반
12···입출고 포트 20···크레인용 천장 궤도
20A ···크레인용 주회 천장 궤도(주회 궤도)
21···직선 구간 22···접속 구간
30, 30A, 30B···주회 천장 궤도(궤도)
31, 31A, 31B···직선부 32, 32A, 32B···접속부
40···크레인 41···주행부
42···이재 장치 43···마스트
44···승강대 45···승강 구동부
48···신축부 49···적재대
50···천장 반송차 51···반송차 주행부
52···본체부 53···파지부
54···승강 구동부 55···횡출 기구
100, 100A, 100B, 100C···스토커

Claims (7)

  1. 천장 반송차에 의해 반송되는 물품을 보관가능한 스토커를 갖고, 상기 천장 반송차가 물품의 상부를 상방측으로부터 잡는 파지부와, 상기 파지부를 승강시키는 승강 구동부를 구비하고, 건물의 천장에 부설된 궤도를 주행하고, 상기 궤도의 하방에 설치되어 있는 장치의 로드 포트에 물품을 내려놓는 스토커 시스템으로서,
    상기 스토커는
    상기 장치보다 상방에 배치되고,
    상하 방향에 다단으로 설치되어 물품을 두기 위한 복수의 선반과,
    상기 선반에 물품을 두거나, 또는 상기 선반에 놓여진 물품을 꺼내는 크레인을 갖고,
    상기 복수의 선반의 하단의 높이는 상기 장치의 높이보다 높고,
    상기 크레인의 하단의 높이는 상기 장치의 높이보다 높고,
    상기 복수의 선반은 상기 천장 반송차 및 상기 크레인의 각각이 물품을 두기 위한 입출고 포트와, 상기 크레인이 물품을 두기 위한 보관 선반을 포함하고,
    상기 입출고 포트는 상기 파지부가 상방으로부터 물품을 내려놓을 만큼의 상하 치수를 갖도록 형성되어 있고,
    상기 보관 선반은 상기 입출고 포트보다 수가 많고 또한 상기 입출고 포트보다 상하 치수가 작게 설치되어 있고,
    상기 크레인은
    물품을 실어서 상기 입출고 포트 또는 상기 보관 선반에 물품을 내려놓는 이재 장치를 구비하고,
    상기 천장 반송차에 의해 상기 입출고 포트에 놓여진 물품을 상기 보관 선반에 두거나, 또는 상기 보관 선반에 놓여진 물품을 꺼내서 상기 입출고 포트에 두고,
    상기 크레인은 주회 궤도를 주행하고,
    상기 복수의 선반은 상기 주회 궤도에 있어서의 직선 구간에 대응해서 설치되며,
    상기 주회 궤도는 상기 건물의 천장에 부설된 크레인용 천장 궤도인 스토커 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 궤도는 상기 로드 포트의 바로 위에 위치하고 있으며,
    상기 입출고 포트는 상기 궤도의 하방 또한 측방에 배치되고,
    상기 천장 반송차는 상기 승강 구동부를 상기 궤도의 측방으로 횡출시키는 횡출 기구를 구비하고, 상기 횡출 기구에 의해 상기 승강 구동부를 횡출해서 상기파지부를 하강시킴으로써 상기 입출고 포트에 물품을 내려놓거나, 또는 상기 입출고 포트에 놓여진 물품을 수취하는 스토커 시스템.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 보관 선반은 상기 입출고 포트의 상방측 및 하방측 중 적어도 일방에 다단으로 설치되는 스토커 시스템.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 입출고 포트는 상기 궤도의 바로 아래에 배치되고,
    상기 천장 반송차는 상기 승강 구동부를 상기 궤도의 측방으로 횡출시키는 횡출 기구를 구비하고, 상기 횡출 기구에 의해 상기 승강 구동부를 횡출해서 상기 파지부를 하강시킴으로써 상기 로드 포트에 물품을 내려놓거나, 또는 상기 로드 포트에 놓여진 물품을 수취하는 스토커 시스템.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 보관 선반은 상기 입출고 포트의 하방측에 다단으로 설치되는 스토커 시스템.
  6. 삭제
  7. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 입출고 포트에 대하여 상기 크레인의 주행 영역을 사이에 두고 반대측에, 상기 크레인에 의해 물품을 두거나 또는 물품을 꺼내는 것이 가능한 제 2 보관 선반이 설치되는 스토커 시스템.
KR1020207026828A 2018-03-22 2019-02-04 스토커 시스템 KR102431540B1 (ko)

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