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KR102435481B1 - 기판 클램핑장치 - Google Patents

기판 클램핑장치 Download PDF

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KR102435481B1
KR102435481B1 KR1020210043258A KR20210043258A KR102435481B1 KR 102435481 B1 KR102435481 B1 KR 102435481B1 KR 1020210043258 A KR1020210043258 A KR 1020210043258A KR 20210043258 A KR20210043258 A KR 20210043258A KR 102435481 B1 KR102435481 B1 KR 102435481B1
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KR
South Korea
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clamping
limiting
coupled
rotation
substrate
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KR1020210043258A
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이상오
Original Assignee
주식회사 아바코
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Publication date
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Abstract

본 발명은 기판을 이송하기 위한 이송프레임에 결합된 고정부; 제1회전축을 중심으로 회전 가능하게 상기 고정부에 결합되고, 상기 제1회전축을 중심으로 하여 상기 기판을 상기 이송프레임에 고정시키기 위한 클램핑위치와 상기 클램핑위치로부터 이격된 해제위치 간에 회전되는 클램핑부; 및 상기 제1회전축으로부터 이격된 제2회전축을 중심으로 회전 가능하게 상기 클램핑부에 결합되고, 상기 제2회전축을 중심으로 하여 상기 고정부에 지지되는 회전제한위치와 상기 고정부로부터 이격되는 회전허용위치 간에 회전되는 제한부를 포함하되, 상기 제한부는 상기 회전제한위치에 위치되면 상기 고정부에 의해 지지되어서 상기 클램핑부가 상기 제1회전축을 중심으로 하여 상기 클램핑위치에서 상기 해제위치로 회전되는 것을 차단하고, 상기 회전허용위치에 위치되면 상기 고정부로부터 이격되어서 상기 클램핑부가 상기 제1회전축을 중심으로 하여 상기 클램핑위치에서 상기 해제위치로 회전되는 것을 허용하는 기판 클램핑장치에 관한 것이다.

Description

기판 클램핑장치{Apparatus for Clamping Substrate}
본 발명은 기판을 클램핑(Clamping)하기 위한 기판 클램핑장치에 관한 것이다.
일반적으로 디스플레이장치, 태양전지(Solar Cell), 반도체 소자 등은 기판에 대한 다양한 처리공정을 거쳐 제조된다. 예컨대, OLED(Organic Light Emitting Diodes), LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), EPD(Electrophoretic Display) 등의 디스플레이장치는 실리콘, 유리(Glass) 등으로 형성된 기판에 대한 증착공정, 포토공정, 식각공정 등과 같은 처리공정을 거쳐 제조될 수 있다. 이러한 처리공정 중에는 기판을 이송프레임에 고정시킨 상태에서 이루어지는 처리공정이 있다. 이 경우, 기판 클램핑장치는 이송프레임에 결합되어서 기판을 이송프레임에 고정시키는 기능을 담당한다.
도 1은 종래 기술에 따른 기판 클램핑장치의 측면 개념도이다.
도 1을 참고하면, 종래 기술에 따른 기판 클램핑장치(10)는 이송프레임(20)에 결합된 고정부(11), 및 기판(100)을 클램핑하기 위한 클램핑부(12)를 포함한다.
상기 클램핑부(12)는 하나의 단독회전축(12a)을 중심으로 회전 가능하게 상기 고정부(11)에 결합된다. 상기 클램핑부(12)의 하부(下部)에는 제1방향으로 돌출된 제1하측부재(121), 및 상기 제1방향에 대해 반대되는 제2방향으로 돌출된 제2하측부재(122)를 포함한다.
상기 제1하측부재(121)가 푸셔(미도시)에 의해 밀려서 상승되면, 도 1에 점선으로 도시된 바와 같이 상기 클램핑부(12)는 상기 단독회전축(12a)을 기준으로 하여 해제방향으로 회전될 수 있다. 이 상태에서 기판(100)을 상기 이송프레임(20)으로부터 분리하는 언로딩공정, 및 상기 기판(100)을 상기 이송프레임(20)에 안착시키는 로딩공정이 이루어질 수 있다.
상기 제1하측부재(121)에 대한 상기 푸셔의 가압력이 제거되면, 도 1에 실선으로 도시된 바와 같이 상기 클램핑부(12)는 상기 단독회전축(12a)을 기준으로 하여 상기 해제방향에 대해 반대되는 클램핑방향으로 회전될 수 있다. 이에 따라, 상기 클램핑부(12)는 상기 기판(100)을 가압하여 클램핑함으로써, 상기 기판(100)을 상기 이송프레임(20)에 고정시킬 수 있다. 이 경우, 상기 제2하측부재(122)와 상기 고정부(11) 간에 작용하는 자력(磁力)에 의해, 상기 클램핑부(12)는 상기 클램핑방향으로 회전되어서 상기 기판(100)을 클램핑할 수 있고, 상기 기판(100)을 클램핑한 상태로 유지될 수 있다.
이와 같이 상기 클램핑부(12)가 상기 기판(100)을 클램핑하여 상기 이송프레임(20)에 고정시킨 상태에서, 상기 이송프레임(20)은 복수개의 공정공간들을 이동하게 된다. 이 경우, 상기 기판(100)의 대형화로 인해 상기 기판(100)의 무게가 증가함에 따라, 상기 이송프레임(20)의 이동과 정지 시에 상기 기판(100)이 상기 클램핑부(12)를 가압하는 가압력 또한 증가하게 된다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 기판 클램핑장치(10)는 다음과 같은 문제가 있다.
첫째, 종래 기술에 따른 기판 클램핑장치(10)는 상기 이송프레임(20)의 이동과 정지로 인해 상기 기판(100)이 상기 클램핑부(12)를 가압하면, 상기 클램핑부(12)가 상기 기판(100)에 밀려서 상기 해제방향으로 회전됨에 따라 상기 기판(100)에 대한 고정이 해제될 수 있다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 기판 클램핑장치(10)는 상기 기판(100)에 대한 고정 해제로 인해 상기 기판(100)이 손상 내지 파손될 위험이 있는 문제가 있다.
둘째, 종래 기술에 따른 기판 클램핑장치(10)는 상기 클램핑부(12)가 상기 기판(100)에 밀려서 상기 해제방향으로 회전된 이후에 상기 제2하측부재(122)와 상기 고정부(11) 간에 작용하는 자력에 의해 상기 클램핑부(12)가 다시 상기 클램핑방향으로 회전되게 된다. 이 경우, 상기 제1하측부재(121)가 상기 푸셔에 의해 가압된 상태가 아니므로, 상기 클램핑부(12)는 빠른 속도로 상기 클램핑방향으로 회전되게 된다. 이에 따라, 상기 클램핑부(12)가 상기 기판(100)에 상당한 크기의 충격을 주게 되므로, 종래 기술에 따른 기판 클램핑장치(10)는 상기 클램핑부(12)가 상기 기판(100)에 가하는 충격으로 인해 상기 기판(100)이 손상 내지 파손될 위험이 높은 문제가 있다.
셋째, 상기 클램핑부(12)가 상기 기판(100)에 밀려서 상기 해제방향으로 회전되지 않도록, 상기 제2하측부재(122)와 상기 고정부(11) 간에 작용하는 자력을 증가시키는 방안이 제안되었다. 그러나, 이러한 방안 또한 상기 클램핑부(12)가 상기 기판(100)을 클램핑하기 위해 상기 기판(100)을 가압하는 가압력을 증가시키게 되므로, 증가된 가압력에 의해 상기 기판(100)이 손상 내지 파손될 위험이 있는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 클램핑부가 임의로 회전됨으로 인해 기판이 손상 내지 파손될 위험을 줄일 수 있는 기판 클램핑장치를 제공하기 위한 것이다.
상기와 같은 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 다음과 같은 구성을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 클램핑장치는 기판을 이송하기 위한 이송프레임에 결합된 고정부; 제1회전축을 중심으로 회전 가능하게 상기 고정부에 결합되고, 상기 제1회전축을 중심으로 하여 상기 기판을 상기 이송프레임에 고정시키기 위한 클램핑위치와 상기 클램핑위치로부터 이격된 해제위치 간에 회전되는 클램핑부; 및 상기 제1회전축으로부터 이격된 제2회전축을 중심으로 회전 가능하게 상기 클램핑부에 결합되고, 상기 제2회전축을 중심으로 하여 상기 고정부에 지지되는 회전제한위치와 상기 고정부로부터 이격되는 회전허용위치 간에 회전되는 제한부를 포함할 수 있다. 상기 제한부는 상기 회전제한위치에 위치되면 상기 고정부에 의해 지지되어서 상기 클램핑부가 상기 제1회전축을 중심으로 하여 상기 클램핑위치에서 상기 해제위치로 회전되는 것을 차단하고, 상기 회전허용위치에 위치되면 상기 고정부로부터 이격되어서 상기 클램핑부가 상기 제1회전축을 중심으로 하여 상기 클램핑위치에서 상기 해제위치로 회전되는 것을 허용할 수 있다.
본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 도모할 수 있다.
본 발명은 이중 회전축을 이용하여 클램핑부가 기판 등을 통해 가해지는 가압력에 의해서 회전되는 것을 차단할 수 있도록 구현된다. 이에 따라, 본 발명은 이송프레임의 이동과 정지가 이루어지는 과정에서 클램핑부가 임의로 회전됨으로 인해 기판이 손상 내지 파손될 위험을 줄일 수 있다.
본 발명은 이중 회전축을 이용하여 클램핑부가 임의로 회전되는 것을 차단할 수 있으므로, 클램핑부가 임의로 회전된 이후에 다시 원래의 위치로 회전되는 과정에서 기판에 충격을 가하는 경우가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명은 기판이 손상 내지 파손될 위험을 줄일 수 있고, 기판이 이송프레임에 고정된 상태로 안정적으로 이송되는데 기여할 수 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 기판 클램핑장치의 측면 개념도
도 2와 도 3은 본 발명에 따른 기판 클램핑장치의 개략적인 측면도
도 4는 본 발명에 따른 기판 클램핑장치의 개략적인 분해 사시도
도 5 내지 도 8은 회전제한위치와 회전허용위치 간에 회전되는 제한부를 설명하기 위한 개념적인 측면도
도 9 내지 도 12는 자력부의 실시예를 설명하기 위한 개념적인 측면도
이하에서는 본 발명에 따른 기판 클램핑장치의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 도 5 내지 도 11에는 고정부와 제한부의 배치관계를 나타내기 위해 클램핑본체가 점선으로 표시되어 있다. 도 5 내지 도 7에는 고정돌기와 제한돌기의 배치관계를 나타내기 위해 지지플레이트가 점선으로 표시되어 있다. 도 9 내지 도 12에는 자력부의 위치관계를 나타내기 위해 자력부에 해칭이 표시되어 있다. 도 11에는 제한마그넷의 위치관계를 나타내기 위해 제한마그넷에 해칭이 표시되어 있다.
도 2 및 도 3을 참고하면, 본 발명에 따른 기판 클램핑장치(1)는 기판(100)을 이송프레임(200)에 고정시키기 위한 것이다. 상기 기판(100)은 디스플레이장치, 태양전지(Solar Cell), 반도체 소자 등을 제조하기 위한 것이다. 예컨대, 상기 기판(100)은 유리(Glass) 기판, 실리콘 기판 등으로 구현될 수 있다. 상기 이송프레임(200)은 상기 기판(100)을 지지하는 것이다. 상기 기판(100)이 상기 이송프레임(200)에 고정된 상태에서 상기 기판(100)에 대한 처리공정이 이루어질 수 있다. 이 경우, 본 발명에 따른 기판 클램핑장치(1)는 상기 이송프레임(200)에 결합되어서 상기 기판(100)을 상기 이송프레임(200)에 고정시키는 기능을 담당할 수 있다.
이를 위해, 본 발명에 따른 기판 클램핑장치(1)는 고정부(2), 클램핑부(3), 및 제한부(4)를 포함할 수 있다.
도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 고정부(2)는 상기 이송프레임(200)에 결합된 것이다. 상기 고정부(2)는 상기 이송프레임(200)에 고정되게 결합됨으로써, 상기 클램핑부(3), 상기 제한부(4), 상기 기판(100) 등에 대한 지지력을 갖출 수 있다. 상기 고정부(2)는 상기 이송프레임(200)에 형성된 관통공(210) 쪽을 향하는 제1방향(FD 화살표 방향)으로 돌출될 수 있다. 상기 기판(100)은 상기 관통공(210) 상에 배치될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 이송프레임(200)에는 본 발명에 따른 기판 클램핑장치(1)가 복수개 결합될 수도 있다. 본 발명에 따른 기판 클램핑장치(1)들은 서로 이격되게 배치되어서 상기 기판(100)의 서로 다른 부분을 클램핑할 수 있다.
도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 클램핑부(3)는 상기 기판(100)을 클램핑(Clamping)하기 위한 것이다. 상기 클램핑부(3)는 제1회전축(3a)을 중심으로 회전 가능하게 상기 고정부(2)에 결합될 수 있다. 상기 클램핑부(3)는 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 하여 클램핑위치와 해제위치 간에 회전될 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이 상기 클램핑부(3)가 상기 해제위치에 위치되면, 상기 클램핑부(3)는 상기 기판(100)을 클램핑할 수 없는 위치에 위치될 수 있다. 이 상태에서, 상기 기판(100)을 상기 이송프레임(200)으로부터 분리하는 언로딩공정과 상기 기판(100)을 상기 이송프레임(200)에 안착시키는 로딩공정이 이루어질 수 있다. 도 2에 도시된 바와 같이 상기 클램핑부(3)가 상기 클램핑위치에 위치되면, 상기 클램핑부(3)는 상기 기판(100)을 클램핑할 수 있는 위치에 위치될 수 있다. 상기 기판(100)이 상기 이송프레임(200)에 안착된 상태에서, 상기 클램핑부(3)는 상기 클램핑위치에 위치되어서 상기 기판(100)을 상기 이송프레임(200)에 고정시킬 수 있다. 이 경우, 상기 클램핑부(3)는 상기 기판(100)이 갖는 측면의 일부와 상면의 일부에 접촉될 수 있다. 상기 기판(100)의 하면(下面)은 상기 이송프레임(200)이 갖는 지지체(미도시)에 지지될 수 있다.
상기 클램핑부(3)는 상기 클램핑위치에서 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 하여 해제방향(RD 화살표 방향)으로 회전됨으로써 상기 해제위치에 위치될 수 있다. 도 2와 도 3을 기준으로 할 때, 상기 해제방향(RD 화살표 방향)은 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 하여 반시계방향이다. 상기 클램핑부(3)는 상기 해제위치에서 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 하여 클램핑방향(CD 화살표 방향)으로 회전됨으로써 상기 클램핑위치에 위치될 수 있다. 도 2와 도 3을 기준으로 할 때, 상기 클램핑방향(CD 화살표 방향)은 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 하여 시계방향이다.
상기 클램핑부(3)는 클램핑본체(31)를 포함할 수 있다.
상기 클램핑본체(31)는 상기 고정부(2)에 결합된 것이다. 상기 클램핑본체(31)는 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 회전 가능하게 상기 고정부(2)에 결합될 수 있다. 상기 클램핑본체(31)는 상기 클램핑부(3)의 전체적인 외관을 이룰 수 있다. 상기 클램핑본체(31)는 비자성체로 형성될 수 있다.
상기 클램핑본체(31)는 상기 제1회전축(3a)을 기준으로 하여 일부가 상기 고정부(2)의 상측방향(UD 화살표 방향)으로 돌출됨과 아울러 상기 제1회전축(3a)을 기준으로 하여 일부가 상기 고정부(2)의 하측방향(DD 화살표 방향)으로 돌출되도록 상기 고정부(2)에 결합될 수 있다. 상기 클램핑본체(31)의 상부(上部)에는 클램핑부재(311)가 결합될 수 있다. 상기 클램핑부재(311)는 상기 기판(100)을 클램핑하기 위해 상기 기판(100)에 직접 접촉되는 것이다. 상기 클램핑부재(311)는 상기 클램핑본체(31)로부터 상기 제1방향(FD 화살표 방향)으로 돌출될 수 있다. 상기 클램핑부재(311)의 일부는 상기 클램핑본체(31)로부터 상기 상측방향(UD 화살표 방향)으로 돌출될 수도 있다. 상기 클램핑본체(31)의 하부(下部)에는 상기 제한부(4)가 결합될 수 있다.
상기 클램핑부(3)는 지지플레이트(32)를 포함할 수 있다.
상기 지지플레이트(32)는 상기 클램핑본체(31)에 결합된 것이다. 상기 지지플레이트(32)와 상기 클램핑본체(31)는 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 하여 함께 회전되도록 결합될 수 있다. 상기 지지플레이트(32)는 상기 제1회전축(3a)과 상기 제한부(4)의 사이에서 상기 클램핑본체(31)에 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 지지플레이트(32)는 상기 제1회전축(3a)에 대해 하측방향(DD 화살표 방향)에 위치되고, 상기 제한부(4)에 대해 상측방향(UD 화살표 방향)에 위치될 수 있다.
상기 지지플레이트(32)는 상기 클램핑본체(31)로부터 돌출될 수 있다. 상기 클램핑부(3)가 상기 클램핑위치에 위치되면, 상기 지지플레이트(32)는 상기 고정부(2)에 지지되도록 상기 클램핑본체(31)로부터 돌출될 수 있다. 상기 지지플레이트(32)는 상기 고정부(2)에 지지됨에 따라 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 하여 상기 고정부(2) 쪽으로 더 이상 회전할 수 없게 된다. 이에 따라, 상기 클램핑부(3)는 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 하여 상기 클램핑방향(CD 화살표 방향) 쪽으로 더 이상 회전할 수 없게 된다. 이와 같이, 상기 지지플레이트(32)는 상기 고정부(2)에 지지되어서 상기 클램핑부(3)가 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 하여 상기 클램핑방향(CD 화살표 방향) 쪽으로 회전 가능한 각도를 제한할 수 있다. 따라서, 상기 지지플레이트(32)는 상기 클램핑부(3)가 상기 클램핑방향(CD 화살표 방향) 쪽으로 과다하게 회전되는 것을 방지함으로써, 상기 기판(100)이 손상 내지 파손되는 것을 방지할 수 있다.
상기 지지플레이트(32)는 상기 클램핑본체(31)로부터 제2방향(SD 화살표 방향)으로 돌출될 수 있다. 상기 제2방향(SD 화살표 방향)과 상기 제1방향(FD 화살표 방향)은 서로 반대되는 방향이다. 상기 클램핑부(3)가 상기 클램핑위치에 위치되면, 상기 지지플레이트(32)는 상기 고정부(2)에 대해 하측방향(DD 화살표 방향) 쪽에 위치되어서 상기 고정부(2)에 지지될 수 있다.
도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 제한부(4)는 상기 클램핑부(3)에 결합된 것이다. 상기 제한부(4)가 상기 클램핑부(3)에 결합되므로, 상기 클램핑부(3)가 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 회전되는 경우, 상기 제한부(4)도 상기 클램핑부(3)와 함께 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 회전된다. 상기 제한부(4)는 제2회전축(4a)을 중심으로 회전 가능하게 상기 클램핑부(3)에 결합될 수 있다. 상기 제2회전축(4a)은 상기 제1회전축(3a)으로부터 이격된 위치에 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제한부(4)는 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 하여서는 상기 클램핑부(3)와 함께 회전되지만, 상기 제2회전축(4a)을 중심으로 하여서는 상기 클램핑부(3)에 대해 독립적으로 회전될 수 있다. 즉, 상기 제한부(4)는 상기 제2회전축(4a)을 중심으로 하여서는 상기 클램핑부(3)에 관계없이 회전될 수 있다.
상기 제한부(4)는 상기 제2회전축(4a)을 중심으로 하여 회전제한위치와 회전허용위치 간에 회전될 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이 상기 클램핑부(3)가 상기 클램핑위치에 위치된 상태에서 상기 제한부(4)가 상기 회전제한위치에 위치되면, 상기 제한부(4)는 상기 고정부(2)에 의해 지지될 수 있다. 이 경우, 상기 고정부(2)는 상기 제한부(4)를 지지함으로써, 상기 제한부(4)가 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 하여 상기 해제방향(RD 화살표 방향)으로 회전되는 것을 차단할 수 있다. 이에 따라, 상기 제한부(4)는 상기 고정부(2)에 의해 지지되어서 상기 클램핑부(3)가 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 하여 상기 클램핑위치에서 상기 해제위치로 회전되는 것을 차단할 수 있다. 즉, 상기 클램핑부(3)가 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 하여 상기 해제방향(RD 화살표 방향)으로 회전되는 것이 차단될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 클램핑장치(1)는 다음과 같은 작용 효과를 도모할 수 있다.
첫째, 본 발명에 따른 기판 클램핑장치(1)는 상기 클램핑부(3)가 상기 클램핑위치에서 상기 기판(100)을 클램핑하고 있는 경우, 상기 제한부(4)가 상기 고정부(2)에 의해 지지된 지지력을 이용하여 상기 클램핑부(3)가 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 하여 상기 해제방향(RD 화살표 방향)으로 회전되지 못하도록 상기 클램핑위치에 위치된 클램핑부(3)를 견고하게 지지할 수 있다. 이에 따라, 상기 이송프레임(200)의 이동과 정지로 인해 상기 기판(100)이 상기 클램핑부(3)를 가압하더라도, 상기 클램핑부(3)는 상기 기판(100)에 밀려서 상기 해제방향(RD 화살표 방향)으로 회전되는 것이 차단됨으로써 상기 기판(100)을 클램핑한 상태에서 견고하게 유지될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 클램핑장치(1)는 상기 이송프레임(200)의 이동과 정지가 이루어지는 과정에서 상기 클램핑부(3)가 임의로 회전됨으로 인해 상기 기판(100)이 손상 내지 파손될 위험을 줄일 수 있다.
둘째, 본 발명에 따른 기판 클램핑장치(1)는 상기 제한부(4)가 상기 고정부(2)에 의해 지지된 지지력을 이용하여 상기 클램핑위치에 위치된 클램핑부(3)가 상기 해제방향(RD 화살표 방향)으로 회전되는 것을 차단할 수 있으므로, 종래 기술에 있어서 상기 클램핑부(12, 도 1에 도시됨)가 상기 기판(100)에 밀려서 회전된 이후에 다시 원래의 위치로 회전되는 과정에서 상기 기판(100)에 충격을 가하는 경우가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 클램핑장치(1)는 상기 기판(100)이 손상 내지 파손될 위험을 줄일 수 있고, 상기 기판(100)이 상기 이송프레임(200)에 고정된 상태로 안정적으로 이송되는데 기여할 수 있다.
셋째, 본 발명에 따른 기판 클램핑장치(1)는 상기 제한부(4)가 상기 고정부(2)에 의해 지지된 지지력을 이용하여 상기 클램핑위치에 위치된 클램핑부(3)가 상기 해제방향(RD 화살표 방향)으로 회전되는 것을 차단할 수 있으므로, 상기 클램핑부(3)를 상기 클램핑위치에 유지시키기 위해 자력 등을 증대시킬 필요가 없다. 또한, 상기 클램핑부(3)가 상기 클램핑위치에 위치된 상태에서, 상기 제한부(4)는 상기 고정부(2)에 의해 지지되어서 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 하여 상기 클램핑방향(RD 화살표 방향)으로 더 회전할 수 없으므로, 상기 클램핑부(3)가 상기 클램핑위치에서 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 하여 상기 클램핑방향(RD 화살표 방향)으로 더 회전하는 것을 차단할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 클램핑장치(1)는 상기 클램핑위치에 위치된 클램핑부(3)가 과다한 가압력으로 상기 기판(100)을 가압하게 되는 것을 방지할 수 있으므로, 상기 기판(100)이 손상 내지 파손될 위험을 더 줄일 수 있다.
도 6에 도시된 바와 같이 상기 클램핑부(3)가 상기 클램핑위치에 위치된 상태에서 상기 제한부(4)가 상기 회전허용위치에 위치되면, 상기 제한부(4)는 상기 고정부(2)로부터 이격될 수 있다. 이 경우, 푸셔(300)가 상승하면서 상기 회전제한위치에 위치된 제한부(4)를 가압하게 되고, 이로 인해 상기 제한부(4)는 상기 제2회전축(4a)을 중심으로 하여 허용방향(AD 화살표 방향)으로 회전되어서 상기 회전허용위치에 위치될 수 있다. 상기 제한부(4)는 상기 회전허용위치에 위치되면 상기 고정부(2)로부터 이격되므로, 상기 클램핑부(3)가 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 하여 상기 클램핑위치에서 상기 해제위치로 회전되는 것을 허용할 수 있다. 이에 따라, 상기 푸셔(300)가 더 상승하면서 상기 회전허용위치에 위치된 제한부(4)를 더 가압하면, 상기 제한부(4)와 상기 클램핑부(3)는 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 하여 상기 해제방향으로 회전될 수 있다. 이 경우, 상기 제한부(4)는 상기 푸셔(300)에 의해 가압되어서 상기 클램핑본체(31)의 지지면(31a)을 가압하게 되고, 상기 지지면(31a)을 통해 상기 클램핑본체(31)를 가압함으로써 상기 클램핑부(3)를 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 하여 상기 해제방향으로 회전시킬 수 있다. 따라서, 상기 클램핑부(3)는 상기 푸셔(300)가 상기 제한부(4)를 가압하는 가압력을 이용하여 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 상기 해제방향으로 회전됨으로써 상기 해제위치에 위치될 수 있다. 상기 지지면(31a)은 상기 제한부(4)를 향하도록 배치된 상기 클램핑본체(31)의 면(面)이다. 상기 클램핑본체(31)의 하부(下部)에는 상기 제한부(4)가 삽입되기 위한 삽입홈이 형성되고, 상기 지지면(31a)은 상기 삽입홈에서 상기 제한부(4)를 향하도록 배치될 수 있다.
이와 같이, 본 발명에 기판 클램핑장치(1)는 상기 제1회전축(3a)과 상기 제2회전축(4a)을 통해 구현된 이중 회전축을 이용하여 상기 클램핑부(3)가 상기 기판(100) 등을 통해 가해지는 가압력에 의해서는 상기 클램핑위치에서 상기 해제위치로 회전되는 것을 차단할 수 있을 뿐만 아니라, 상기 클램핑부(3)가 상기 푸셔(300)를 통해 가해지는 가압력에 의해서는 상기 클램핑위치에서 상기 해제위치로 원활하게 회전되도록 구현될 수 있다.
상기 제한부(4)는 제한부재(41)를 포함할 수 있다.
상기 제한부재(41)는 상기 제2회전축(4a)을 중심으로 회전 가능하게 상기 클램핑본체(31)에 결합된 것이다. 상기 제2회전축(4a)은 상기 제1회전축(3a)의 하측에 위치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제한부재(41)는 상기 제1회전축(3a)의 하측에서 상기 제2회전축(4a)을 중심으로 회전 가능하게 상기 클램핑본체(31)에 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 제2회전축(4a)은 상기 제1회전축(3a)의 하측방향(DD 화살표 방향)으로 상기 제1회전축(3a)으로부터 이격된 위치에 배치될 수 있다. 상기 제2회전축(4a)은 상기 제1회전축(3a)의 수직하방에 위치될 수도 있다.
상기 제한부재(41)는 상기 제2회전축(4a)을 중심으로 하여 상기 회전제한위치와 상기 회전허용위치 간에 회전될 수 있다. 상기 제한부재(41)는 상기 회전제한위치에서 상기 제2회전축(4a)을 중심으로 하여 상기 허용방향(AD 화살표 방향)으로 회전됨으로써 상기 회전허용위치에 위치될 수 있다. 이 경우, 상기 제한부재(41)는 상기 푸셔(300)에 의해 제공된 가압력에 의해 상기 허용방향(AD 화살표 방향)으로 회전될 수 있다. 상기 제한부재(41)는 상기 회전허용위치에서 상기 제2회전축(4a)을 중심으로 하여 제한방향(LD 화살표 방향)으로 회전됨으로써 상기 회전제한위치에 위치될 수 있다. 상기 제한방향(LD 화살표 방향)과 상기 허용방향(AD 화살표 방향)은 상기 제2회전축(4a)을 중심으로 하여 서로 반대되는 회전방향이다.
상기 제한부(4)는 제한돌기(42)를 포함할 수 있다.
상기 제한돌기(42)는 상기 제한부재(41)로부터 돌출된 것이다. 상기 제한돌기(42)는 상기 제한부재(41)로부터 상측으로 돌출되도록 상기 제한부재(41)에 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 제한돌기(42)는 상기 제한부재(41)의 상면으로부터 상측방향(UD 화살표 방향)으로 돌출될 수 있다. 상기 제한부(4)가 상기 제한돌기(42)를 포함하는 경우, 상기 고정부(2)는 고정돌기(21)를 포함할 수 있다. 상기 고정돌기(21)는 상기 제한부(4)를 향하는 하측으로 돌출될 수 있다. 상기 제한부(4)가 상기 회전제한위치에 위치되면, 상기 고정돌기(21)는 상기 제한돌기(42)를 지지하여 상기 제한부재(41)가 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 하여 상기 해제방향(RD 화살표 방향)으로 회전되는 것을 차단할 수 있다. 이를 통해, 상기 고정돌기(21)는 상기 클램핑본체(31)가 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 하여 상기 해제방향(RD 화살표 방향)으로 회전되는 것을 차단함으로써, 상기 클램핑부(3)를 상기 클램핑위치에 위치된 상태로 유지시킬 수 있다. 상기 고정돌기(21)는 상기 회전제한위치에 위치된 제한부(4)의 제한돌기(42)와 상기 제1회전축(3a)의 사이에서 상기 제한부재(41) 쪽으로 돌출될 수 있다. 이 경우, 상기 제한부(4)가 상기 회전제한위치에 위치되면, 상기 제한돌기(42)는 상기 고정돌기(21)에 대해 상기 제2방향(SD 화살표 방향) 쪽에 위치될 수 있다. 이에 따라, 상기 고정돌기(21)는 상기 제한돌기(42)를 지지하여 상기 제한돌기(42)가 상기 제1방향(FD 화살표 방향)으로 이동되는 것을 차단함으로써, 상기 제한부(4)가 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 하여 상기 해제방향(RD 화살표 방향)으로 회전되는 것을 차단할 수 있다. 상기 고정돌기(21)는 상기 고정부(2)의 하면(下面)으로부터 상기 하측방향(DD 화살표 방향)으로 돌출되도록 상기 고정부(2)에 결합될 수 있다. 상기 고정부(2)와 상기 고정돌기(21)는 일체로 형성될 수도 있다. 한편, 상기 제한돌기(42)와 상기 제한부재(41)는 일체로 형성될 수도 있다.
상기 제한부(4)는 돌출부재(43)를 포함할 수 있다.
상기 돌출부재(43)는 상기 제한부재(41)로부터 돌출된 것이다. 상기 돌출부재(43)는 상기 제한부재(41)로부터 상기 제1방향(FD 화살표 방향)으로 돌출될 수 있다. 이 경우, 상기 제2회전축(4a)에 대해 상기 제1방향(FD 화살표 방향) 쪽에 위치된 제한부(4)의 부분은, 상기 돌출부재(43)에 의해 무게가 증대될 수 있다. 이에 따라, 상기 돌출부재(43)는 자중(自重)을 이용하여 상기 제한부(4)를 상기 제2회전축(4a)을 중심으로 상기 회전제한위치로 회전시킬 수 있다. 따라서, 상기 푸셔(300)가 상기 제한부(4)를 가압하지 않는 경우, 상기 제한부(4)는 상기 돌출부재(43)에 의한 자중(自重)을 이용하여 상기 제2회전축(4a)을 중심으로 상기 제한방향(LD 화살표 방향)으로 회전됨으로써 상기 회전제한위치에 위치될 수 있다. 상기 푸셔(300)는 상기 돌출부재(43)를 가압하여 상기 제한부(4)를 상기 허용방향(AD 화살표 방향)으로 회전시킬 수 있고, 상기 돌출부재(43)에 대한 가압력을 제거하여 상기 제한부(4)를 상기 제한방향(LD 화살표 방향)으로 회전시킬 수 있다. 이를 구체적으로 살펴보면, 다음과 같다.
우선, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 제한부(4)가 상기 회전제한위치에 위치된 상태에서, 도 6에 도시된 바와 같이 상기 푸셔(300)가 상측방향(UD 화살표 방향)으로 이동하면서 상기 돌출부재(43)를 가압하여 상측방향(UD 화살표 방향)으로 이동시키면, 상기 제한부(4)는 상기 제2회전축(4a)을 중심으로 하여 상기 허용방향(AD 화살표 방향)으로 회전될 수 있다. 상기 제한부(4)가 상기 회전제한위치에 위치되었을 때, 상기 제한부(4)는 상기 지지면(31a)로부터 하측방향(DD 화살표 방향)으로 이격된 위치에 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제한부(4)가 상기 회전제한위치에서 상기 허용방향(AD 화살표 방향)으로 회전되는 경우, 상기 클램핑본체(31)는 회전되지 않을 수 있다.
다음, 상기 제한부(4)가 상기 제2회전축(4a)을 중심으로 하여 상기 허용방향(AD 화살표 방향)으로 회전되어서 상기 지지면(31a)에 접촉되면, 상기 제한부(4)는 상기 지지면(31a)에 의해 지지되어서 상기 제2회전축(4a)을 중심으로 하여서는 상기 허용방향(AD 화살표 방향)으로 더 회전할 수 없게 된다.
다음, 상기 제한부(4)가 상기 지지면(31a)에 접촉된 이후에 상기 푸셔(300)가 상기 돌출부재(43)를 더 가압하여 상측방향(UD 화살표 방향)으로 더 이동시키면, 상기 제한부(4)는 상기 지지면(31a)을 상측방향(UD 화살표 방향)으로 가압하면서 상기 지지면(31a)과 함께 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 하여 상기 해제방향(RD 화살표 방향)으로 회전될 수 있다. 이 경우 상기 지지면(31a)이 상기 클램핑본체(31)가 갖는 면(面)이므로, 상기 제한부(4)는 상기 클램핑본체(31)와 함께 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 하여 상기 해제방향(RD 화살표 방향)으로 회전될 수 있다. 이에 따라, 상기 클램핑부(3)는 상기 해제위치에 위치될 수 있다.
다음, 상기 푸셔(300)가 하측방향(DD 화살표 방향)으로 이동하면서 상기 돌출부재(43)에 대한 가압력을 제거하면, 상기 제한부(4)와 상기 클램핑부(3)는 상기 돌출부재(43)에 의한 자중(自重)을 이용하여 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 하여 상기 클램핑방향으로 회전되어서 상기 클램핑위치에 위치될 수 있다. 상기 클램핑부(3)가 상기 클램핑위치에 위치되면, 상기 지지플레이트(32)는 상기 고정부(2)에 지지되어서 상기 클램핑본체(31)가 상기 클램핑방향으로 더 회전되지 못하도록 차단할 수 있다. 상기 클램핑부(3)가 상기 클램핑위치에 위치된 이후에 상기 푸셔(300)가 하측방향(DD 화살표 방향)으로 더 이동하면, 상기 제한부(4)는 상기 회전허용위에서 상기 제2회전축(4a)을 중심으로 상기 제한방향(LD 화살표 방향)으로 회전됨으로써 상기 회전제한위치에 위치될 수 있다.
도 8을 참고하면, 상기 제한부(4)는 가압부재(44)를 포함할 수 있다.
상기 가압부재(44)는 상기 지지면(31a)을 가압하기 위한 것이다. 상기 제한부(4)가 상기 회전제한위치에 위치된 경우, 상기 가압부재(44)는 상기 지지면(31a)으로부터 이격된 위치에 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 가압부재(44)는 상기 지지면(31a)으로부터 하측방향(DD 화살표 방향)으로 이격될 수 있다. 상기 제한부(4)가 상기 회전허용위치에 위치된 경우, 상기 가압부재(44)는 상기 지지면(31a)에 접촉될 수 있다. 이 경우, 상기 돌출부재(43)가 상기 푸셔(300)에 의해 가압됨에 따라 상기 제한부(4)가 상기 제2회전축(4a)을 중심으로 하여 상기 허용방향(AD 화살표 방향)을 회전되면, 상기 가압부재(44)는 상기 지지면(31a)에 접촉될 수 있다. 그 후 상기 돌출부재(43)가 상기 푸셔(300)에 의해 더 가압되면, 상기 가압부재(44)는 상기 지지면(31a)을 가압함으로써 상기 클램핑본체(31)를 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 하여 상기 해제방향(RD 화살표 방향)으로 회전시킬 수 있다.
상기 가압부재(44)는 상기 제한부재(41)에 결합될 수 있다. 상기 가압부재(44)는 상기 제한부재(41)로부터 상기 지지면(31a) 쪽으로 돌출되도록 상기 제한부재(41)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 돌출부재(43)가 상기 푸셔(300)에 의해 가압됨에 따라 상기 가압부재(44)가 상기 지지면(31a)에 접촉되면, 상기 가압부재(44)는 상기 제한부재(41)와 상기 지지면(31a)을 이격시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 클램핑장치(1)는 상기 가압부재(44)를 이용하여 상기 제한부재(41)가 상기 지지면(31a)에 직접 접촉되는 것을 차단함으로써, 상기 제한부재(41)가 마찰 등에 의해 마모 내지 손상되는 것을 방지할 수 있다. 상기 가압부재(44)는 상기 제한부재(41)에 탈부착 가능하게 결합될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 클램핑장치(1)는 상기 제한부(4)가 상기 지지면(31a)에 반복적으로 접촉됨에 따라 마모 등이 발생한 경우, 상기 가압부재(44)에 대해서만 교체, 수리 등이 이루어질 수 있도록 구현된다. 상기 가압부재(44)는 상기 제한부재(41)에 회전 가능하게 결합될 수도 있다. 이 경우, 상기 가압부재(44)는 상기 지지플레이트(32)에 접촉되는 면(面)이 곡면을 이루도록 형성될 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 기판 클램핑장치(1)는 상기 지지플레이트(32)가 상기 고정부(2)에 반복적으로 접촉됨에 따라 마찰 등에 의해 마모 내지 손상되는 것을 방지할 수 있도록 구현될 수도 있다. 이를 위해, 상기 본 발명에 따른 기판 클램핑장치(1)는 지지부재(33, 도 8에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 지지부재(33)는 상기 지지플레이트(32)에 결합된 것이다. 상기 클램핑부(3)가 상기 클램핑위치에 위치되면, 상기 지지부재(33)는 상기 고정부(2)에 접촉될 수 있다. 이에 따라, 상기 지지부재(33)는 상기 고정부(2)에 의해 지지되어서 상기 클램핑위치에 위치된 클램핑부(3)가 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 하여 상기 클램핑방향으로 더 회전되는 것을 방지할 수 있다.
상기 지지부재(33)는 상기 지지플레이트(32)로부터 상기 고정부(2) 쪽으로 돌출되도록 상기 지지플레이트(32)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 클램핑부(3)가 상기 클램핑위치에 위치됨에 따라 상기 지지부재(33)가 상기 고정부(2)에 접촉되면, 상기 지지부재(33)는 상기 지지플레이트(32)와 상기 고정부(2)를 이격시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 클램핑장치(1)는 상기 지지부재(33)를 이용하여 상기 지지플레이트(32)가 상기 고정부(2)에 직접 접촉되는 것을 차단함으로써, 상기 지지플레이트(32)가 마찰 등에 의해 마모 내지 손상되는 것을 방지할 수 있다. 상기 지지부재(33)는 상기 지지플레이트(32)에 탈부착 가능하게 결합될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 클램핑장치(1)는 상기 클램핑부(3)가 상기 고정부(2)에 반복적으로 접촉됨에 따라 마모 등이 발생한 경우, 상기 지지부재(33)에 대해서만 교체, 수리 등이 이루어질 수 있도록 구현된다. 상기 지지부재(33)는 상기 지지플레이트(32)에 회전 가능하게 결합될 수도 있다. 이 경우, 상기 지지부재(33)는 상기 고정부(2)에 접촉되는 면(面)이 곡면을 이루도록 형성될 수 있다. 상기 지지플레이트(32)에는 상기 지지부재(33)가 복수개 결합될 수도 있다. 이 경우, 상기 지지부재들(33, 33')은 서로 이격된 위치에서 상기 지지플레이트(32)에 결합될 수 있다. 상기 지지부재들(33, 33')은 상기 고정부(2)의 서로 다른 부분에 접촉될 수 있다.
한편, 상기에서는 상기 제한부(4)가 상기 클램핑본체(31)의 지지면(31a)을 가압하여 상기 클램핑부(3)를 상기 해제방향으로 회전시키는 것으로 설명하였으나, 상기 제한부(4)가 상기 지지플레이트(32)를 가압하여 상기 클램핑부(3)를 상기 해제방향으로 회전시킬 수도 있다. 이를 도 7을 참고하여 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
상기 제한부(4)가 상기 푸셔(300)에 의해 가압됨에 따라 상기 회전허용위치에 위치되면, 상기 제한부(4)는 상기 지지플레이트(32)에 접촉될 수 있다. 그 후, 상기 푸셔(300)가 더 상승하면서 상기 회전허용위치에 위치된 제한부(4)를 더 가압하면, 상기 제한부(4)와 상기 클램핑부(3)는 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 하여 상기 해제방향으로 회전될 수 있다. 이 경우, 상기 제한부(4)는 상기 푸셔(300)에 의해 가압되어서 상기 지지플레이트(32)를 가압하게 되고, 상기 지지플레이트(32)를 통해 상기 클램핑본체(31)를 가압함으로써 상기 클램핑부(3)를 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 하여 상기 해제방향으로 회전시킬 수 있다. 이 경우, 상기 제한부(4)는 상기 지지플레이트(32)를 상측방향(UD 화살표 방향)으로 가압하면서 상기 지지플레이트(32)와 함께 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 하여 상기 해제방향(RD 화살표 방향)으로 회전될 수 있다. 따라서, 상기 클램핑부(3)는 상기 푸셔(300)가 상기 제한부(4)를 가압하는 가압력을 이용하여 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 상기 해제방향으로 회전됨으로써 상기 해제위치에 위치될 수 있다.
상기 제한부(4)가 상기 가압부재(44)를 포함하는 경우, 상기 가압부재(44)는 상기 지지플레이트(32)를 가압하도록 구현될 수 있다. 상기 제한부(4)가 상기 회전제한위치에 위치된 경우, 상기 가압부재(44)는 상기 지지플레이트(32)로부터 이격된 위치에 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 가압부재(44)는 상기 지지플레이트(32)로부터 하측방향(DD 화살표 방향)으로 이격될 수 있다. 상기 제한부(4)가 상기 회전허용위치에 위치된 경우, 상기 가압부재(44)는 상기 지지플레이트(32)에 접촉될 수 있다. 이 경우, 상기 돌출부재(43)가 상기 푸셔(300)에 의해 가압됨에 따라 상기 제한부(4)가 상기 제2회전축(4a)을 중심으로 하여 상기 허용방향(AD 화살표 방향)을 회전되면, 상기 가압부재(44)는 상기 지지플레이트(32)에 접촉될 수 있다. 그 후 상기 돌출부재(43)가 상기 푸셔(300)에 의해 더 가압되면, 상기 가압부재(44)는 상기 지지플레이트(32)를 가압함으로써 상기 지지플레이트(32)와 상기 클램핑본체(31)를 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 하여 상기 해제방향(RD 화살표 방향)으로 회전시킬 수 있다. 상기 가압부재(44)는 상기 제한부재(41)로부터 상기 지지플레이트(32) 쪽으로 돌출되도록 상기 제한부재(41)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 돌출부재(43)가 상기 푸셔(300)에 의해 가압됨에 따라 상기 가압부재(44)가 상기 지지플레이트(32)에 접촉되면, 상기 가압부재(44)는 상기 제한부재(41)와 상기 지지플레이트(32)를 이격시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 클램핑장치(1)는 상기 가압부재(44)를 이용하여 상기 제한부재(41)가 상기 지지플레이트(32)에 직접 접촉되는 것을 차단함으로써, 상기 제한부재(41)가 마찰 등에 의해 마모 내지 손상되는 것을 방지할 수 있다.
도 2 내지 도 12를 참고하면, 본 발명에 따른 기판 클램핑장치(1)는 자력부(5)를 포함할 수 있다.
상기 자력부(5)는 자력(磁力)을 이용하여 상기 클램핑부(3)를 상기 클램핑위치로 회전시키기 위한 것이다. 상기 자력부(5)는 인력(引力)과 척력(斥力) 중에서 적어도 하나를 이용하여 상기 클램핑부(3)를 상기 클램핑위치로 회전시킬 수 있다. 상기 제한부(4)가 상기 돌출부재(43)를 포함하는 경우, 상기 클램핑부(3)는 상기 자력부(5)에 의한 자력과 상기 돌출부재(43)에 의한 자중 모두를 이용하여 상기 클램핑위치로 회전될 수 있다.
여기서, 본 발명에 따른 기판 클램핑장치(1)는 상기 자력부(5)에 관해 여러가지 실시예를 포함하는바, 이하에서는 상기 자력부(5)의 실시예들에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 9를 참고하면, 상기 자력부(5)는 상기 고정부(2)에 결합된 제1마그넷(51)을 포함할 수 있다.
상기 제1마그넷(51)은 자력을 이용하여 상기 지지플레이트(32)를 상기 고정부(2) 쪽으로 끌어당김으로써, 상기 클램핑부(3)를 상기 클램핑위치로 회전시킬 수 있다. 이 경우, 상기 제1마그넷(51)과 상기 지지플레이트(32) 간에는 인력(引力)이 작용할 수 있다. 상기 지지플레이트(32)는 자성체로 형성될 수 있다. 상기 제1마그넷(51)은 상기 제1회전축(3a)에 대해 상기 제2방향(SD 화살표 방향) 쪽에 위치될 수 있다. 이 경우, 상기 제1마그넷(51)은 상기 제1회전축(3a)에 대해 상기 제2방향(SD 화살표 방향) 쪽에 위치한 지지플레이트(32)의 부분을 상기 고정부(2) 쪽으로 끌어당길 수 있다. 이에 따라, 상기 지지플레이트(32)는 상기 클램핑본체(31)와 함께 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 하여 상기 클램핑방향으로 회전될 수 있다. 상기 제1마그넷(51)은 상기 고정부(2)의 내부에 위치되도록 상기 고정부(2)에 결합될 수 있다. 상기 제1마그넷(51)은 상기 고정부(2)의 외부에 위치되도록 상기 고정부(2)에 결합될 수도 있다. 상기 고정부(2)는 비자성체로 형성될 수 있다.
도 10을 참고하면, 상기 자력부(5)는 상기 지지플레이트(32)에 결합된 제1마그넷(51)을 포함할 수도 있다.
상기 제1마그넷(51)은 자력을 이용하여 상기 고정부(2) 쪽으로 이동됨으로써, 상기 지지플레이트(22)를 상기 고정부(2) 쪽으로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제1마그넷(51)은 상기 클램핑부(3)를 상기 클램핑위치로 회전시킬 수 있다. 이 경우, 상기 제1마그넷(51)과 상기 고정부(2) 간에는 인력(引力)이 작용할 수 있다. 상기 고정부(2)는 자성체로 형성될 수 있다. 상기 제1마그넷(51)은 상기 제1회전축(3a)에 대해 상기 제2방향(SD 화살표 방향) 쪽에 위치될 수 있다. 이 경우, 상기 제1마그넷(51)은 상기 제1회전축(3a)에 대해 상기 제2방향(SD 화살표 방향) 쪽에 위치한 고정부(2)의 부분 쪽으로 이동될 수 있다. 이에 따라, 상기 지지플레이트(32)는 상기 클램핑본체(31)와 함께 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 하여 상기 클램핑방향으로 회전될 수 있다. 상기 제1마그넷(51)은 상기 지지플레이트(32)의 내부에 위치되도록 상기 지지플레이트(32)에 결합될 수 있다. 상기 제1마그넷(51)은 상기 지지플레이트(32)의 외부에 위치되도록 상기 지지플레이트(32)에 결합될 수도 있다. 상기 지지플레이트(32)는 비자성체로 형성될 수 있다.
도 11을 참고하면, 상기 자력부(5)는 제1마그넷(51), 및 제2마그넷(52)을 포함할 수도 있다.
상기 제1마그넷(51)은 상기 고정부(2)에 결합될 수 있다. 상기 제1마그넷(51)은 자력을 이용하여 상기 제2마그넷(52)을 상기 고정부(2) 쪽으로 끌어당길 수 있다.
상기 제2마그넷(52)은 상기 지지플레이트(32)에 결합될 수 있다. 상기 제2마그넷(52)은 자력을 이용하여 상기 제1마그넷(51) 쪽으로 이동됨으로써, 상기 지지플레이트(22)를 상기 고정부(2) 쪽으로 이동시킬 수 있다.
상기 제2마그넷(52)과 상기 제1마그넷(51) 간에는 인력(引力)이 작용할 수 있다. 상기 제2마그넷(52)과 상기 제1마그넷(51) 간에 작용하는 인력은, 상기 지지플레이트(22)를 상기 고정부(2) 쪽으로 이동시킴으로써 상기 클램핑부(3)를 상기 클램핑위치로 회전시킬 수 있다. 상기 지지플레이트(32)와 상기 고정부(2)는 각각 비자성체로 형성될 수 있다.
상기 제2마그넷(52)과 상기 제1마그넷(51)은 상기 제1회전축(3a)에 대해 상기 제2방향(SD 화살표 방향) 쪽에 위치될 수 있다. 이 경우, 상기 제2마그넷(52)은 상기 제1회전축(3a)에 대해 상기 제2방향(SD 화살표 방향) 쪽에 위치된 지지플레이트(32)의 부분에 결합될 수 있다. 상기 제2마그넷(52)은 상기 지지플레이트(32)의 내부 또는 상기 지지플레이트(32)의 외부에 위치되도록 상기 지지플레이트(32)에 결합될 수 있다. 상기 제1마그넷(51)은 상기 제1회전축(3a)에 대해 상기 제2방향(SD 화살표 방향) 쪽에 위치된 고정부(2)의 부분에 결합될 수 있다. 상기 제1마그넷(51)은 상기 고정부(2)의 내부 또는 상기 고정부(2)의 외부에 위치되도록 상기 고정부(2)에 결합될 수 있다.
도 12를 참고하면, 상기 자력부(5)는 제1마그넷(51), 및 제2마그넷(52)을 포함할 수도 있다.
상기 제1마그넷(51)은 상기 고정부(2)에 결합될 수 있다. 상기 제1마그넷(51)은 자력을 이용하여 상기 제2마그넷(52)을 밀어낼 수 있다. 상기 제1마그넷(51)은 상기 고정부(2)로부터 상측방향(UD 화살표 방향)으로 돌출되게 상기 고정부(2)에 결합될 수 있다. 상기 제1마그넷(51)은 상기 고정부(2)에 고정되게 결합될 수 있다.
상기 제2마그넷(52)은 상기 클램핑본체(31)에 결합될 수 있다. 상기 제2마그넷(52)은 자력을 이용하여 상기 제1마그넷(51)을 밀어낼 수 있다. 상기 제2마그넷(52)은 상기 제1마그넷(51)에 대향(對向)되도록 상기 클램핑본체(31)에 결합될 수 있다. 상기 제2마그넷(52)은 상기 클램핑본체(31)와 함께 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 회전될 수 있게 상기 클램핑본체(31)에 고정되게 결합될 수 있다.
상기 제2마그넷(52)과 상기 제1마그넷(51) 간에는 척력(斥力)이 작용할 수 있다. 상기 제2마그넷(52)과 상기 제1마그넷(51) 간에 작용하는 척력은, 상기 클램핑본체(31)를 상기 클램핑위치로 회전시킬 수 있다. 상기 제1마그넷(51)이 결합된 고정부(2)가 상기 이송프레임(200)에 고정되어 있고, 상기 제2마그넷(52)이 결합된 클램핑본체(31)가 상기 제1회전축(3a)을 중심으로 회전 가능하므로, 상기 제2마그넷(52)과 상기 제1마그넷(51) 간에 작용하는 척력이 상기 제1마그넷(51)을 기준으로 하여 상기 제2마그넷(52)을 밀어내는 방향으로 작용하기 때문이다. 상기 클램핑본체(31)와 상기 고정부(2)는 각각 비자성체로 형성될 수 있다.
상기 제2마그넷(52)과 상기 제1마그넷(51)은 상기 제1회전축(3a)에 대해 상기 제2방향(SD 화살표 방향) 쪽에 위치될 수 있다. 이 경우, 상기 제2마그넷(52)은 상기 제1회전축(3a)에 대해 상기 제2방향(SD 화살표 방향) 쪽에 위치되도록 상기 클램핑본체(31)에 결합될 수 있다. 상기 제1마그넷(51)은 상기 제1회전축(3a)에 대해 상기 제2방향(SD 화살표 방향) 쪽에 위치되도록 상기 고정부(2)에 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 제1마그넷(51)은 상기 제2마그넷(52)에 대해 상기 제2방향(SD 화살표 방향) 쪽에 위치될 수 있다. 상기 제2마그넷(52)과 상기 제1마그넷(51)은 상기 제1회전축(3a)에 대해 상측방향(UD 화살표 방향) 쪽에 위치될 수 있다.
도 9 내지 도 12를 참고하면, 본 발명에 따른 기판 클램핑장치(1)는 자력을 이용하여 상기 제한부(4)를 상기 회전제한위치로 회전시키도록 구현될 수도 있다.
도 9에 도시된 바와 같이, 상기 제한부(4)는 상기 고정부(2)에 결합된 제1마그넷(51)에 의해 상기 회전제한위치로 회전될 수 있다. 이 경우, 상기 제한부(4)는 자성체로 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1마그넷(51)과 상기 제한부(4) 간에 작용하는 인력에 의해, 상기 제한부(4)는 상기 회전제한위치로 회전될 수 있다.
도 10에 도시된 바와 같이, 상기 제한부(4)는 상기 지지플레이트(32)에 결합된 제1마그넷(51)에 의해 상기 회전제한위치로 회전될 수도 있다. 이 경우, 상기 제한부(4)는 자성체로 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1마그넷(51)과 상기 제한부(4) 간에 작용하는 인력에 의해, 상기 제한부(4)는 상기 회전제한위치로 회전될 수 있다.
도 11에 도시된 바와 같이, 상기 제한부(4)는 상기 지지플레이트(32)에 결합된 제2마그넷(52)에 의해 상기 회전제한위치로 회전될 수도 있다. 이 경우, 상기 제한부(4)는 자성체로 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2마그넷(52)과 상기 제한부(4) 간에 작용하는 인력에 의해, 상기 제한부(4)는 상기 회전제한위치로 회전될 수 있다.
도 9 내지 도 11에 도시된 바와 같이 상기 제한부(4)가 상기 제1마그넷(51) 또는 상기 제2마그넷(52)에 의해 상기 회전제한위치로 회전되는 경우, 상기 제한부(4) 전체가 자성체로 형성될 수도 있고, 상기 제2회전축(4a)에 대해 상기 제2방향(SD 화살표 방향) 쪽에 위치된 제한부재(41)의 부분만 자성체로 형성될 수도 있다. 상기 제한돌기(42)가 자성체로 형성될 수도 있다. 상기 제한돌기(42)가 자성체로 형성된 경우, 상기 제한부재(41)는 자성체 또는 비자성체로 형성될 수 있다.
도 11에 도시된 바와 같이, 상기 제한부(4)는 제한마그넷(45)을 포함할 수도 있다. 상기 제한마그넷(45)은 자력을 이용하여 상기 제한부재(41)를 상기 회전제한위치로 회전시킬 수 있다. 이 경우, 상기 지지플레이트(32)가 자성체로 형성되고, 상기 제한마그넷(45)과 상기 지지플레이트(32) 간에 작용하는 인력에 의해 상기 제한부재(41)가 상기 회전제한위치로 회전될 수 있다. 상기 고정부(2)가 자성체로 형성되고, 상기 제한마그넷(45)과 상기 고정부(2) 간에 작용하는 인력에 의해 상기 제한부재(41)가 상기 회전제한위치로 회전될 수도 있다. 상기 제한마그넷(45)과 상기 지지플레이트(32)에 결합된 제2마그넷(52) 간에 작용하는 인력에 의해 상기 제한부재(41)가 상기 회전제한위치로 회전될 수도 있다. 상기 제한마그넷(45)과 상기 제1마그넷(51) 간에 작용하는 인력에 의해 상기 제한부재(41)가 상기 회전제한위치로 회전될 수도 있다. 이 경우, 상기 제1마그넷(51)은 도 9에 도시된 바와 같이 상기 고정부(2)에 결합될 수도 있고, 도 10에 도시된 바와 같이 상기 지지플레이트(32)에 결합될 수도 있다.
상기 제한마그넷(45)은 상기 제한부(4)의 내부에 위치될 수 있다. 상기 제한마그넷(45)은 상기 제한부(4)의 외부에 위치될 수도 있다. 상기 제한마그넷(45)은 상기 제한부재(41)와 상기 제한돌기(42) 중에서 적어도 하나에 결합될 수도 있다. 상기 제한마그넷(45)이 상기 제한부재(41)에 결합된 경우, 상기 제한마그넷(45)은 상기 제2회전축(4a)에 대해 상기 제2방향(SD 화살표 방향) 쪽에 위치되도록 상기 제한부재(41)에 결합될 수 있다. 상기 제한마그넷(45)이 구비되는 경우, 상기 제한부재(41)와 상기 제한돌기(42)는 각각 비자성체로 형성될 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
1 : 기판 클램핑장치 2 : 고정부
3 : 클램핑부 4 : 제한부
5 : 자력부 21 : 고정돌기
3a : 제1회전축 31 : 클램핑본체
31a: 지지면 311 : 클램핑부재
32 : 지지플레이트 33 : 지지부재
4a : 제2회전축 41 : 제한부재
42 : 제한돌기 43 : 돌출부재
44 : 가압부재 45 : 제한마그넷
51 : 제1마그넷 52 : 제2마그넷
100 : 기판 200 : 이송프레임
210 : 관통공 300 : 푸셔

Claims (16)

  1. 기판을 이송하기 위한 이송프레임에 결합된 고정부;
    제1회전축을 중심으로 회전 가능하게 상기 고정부에 결합되고, 상기 제1회전축을 중심으로 하여 상기 기판을 상기 이송프레임에 고정시키기 위한 클램핑위치와 상기 클램핑위치로부터 이격된 해제위치 간에 회전되는 클램핑부; 및
    상기 제1회전축으로부터 이격된 제2회전축을 중심으로 회전 가능하게 상기 클램핑부에 결합되고, 상기 제2회전축을 중심으로 하여 상기 고정부에 지지되는 회전제한위치와 상기 고정부로부터 이격되는 회전허용위치 간에 회전되는 제한부를 포함하고,
    상기 제한부는 상기 회전제한위치에 위치되면 상기 고정부에 의해 지지되어서 상기 클램핑부가 상기 제1회전축을 중심으로 하여 상기 클램핑위치에서 상기 해제위치로 회전되는 것을 차단하고, 상기 회전허용위치에 위치되면 상기 고정부로부터 이격되어서 상기 클램핑부가 상기 제1회전축을 중심으로 하여 상기 클램핑위치에서 상기 해제위치로 회전되는 것을 허용하는 것을 특징으로 하는 기판 클램핑장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 클램핑부는 상기 제1회전축을 중심으로 회전 가능하게 상기 고정부에 결합된 클램핑본체, 및 상기 제1회전축과 상기 제한부의 사이에서 상기 클램핑본체에 결합된 지지플레이트를 포함하고,
    상기 지지플레이트는 상기 클램핑부가 상기 클램핑위치에 위치되면 상기 고정부에 지지되도록 상기 클램핑본체로부터 돌출되고, 상기 고정부에 지지되어서 상기 클램핑부가 상기 제1회전축을 중심으로 하여 상기 해제위치에서 상기 클램핑위치로 회전되는 클램핑방향으로 회전 가능한 각도를 제한하는 것을 특징으로 하는 기판 클램핑장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 지지플레이트에는 상기 클램핑부가 상기 클램핑위치에 위치되면 상기 고정부에 접촉되는 지지부재가 결합되고,
    상기 지지부재는 상기 클램핑부가 상기 클램핑위치에 위치되면 상기 지지플레이트로부터 상기 고정부 쪽으로 돌출되도록 상기 지지플레이트에 결합되어서 상기 지지플레이트와 상기 고정부를 이격시키는 것을 특징으로 하는 기판 클램핑장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 클램핑부는 상기 제1회전축을 중심으로 회전 가능하게 상기 고정부에 결합된 클램핑본체를 포함하고,
    상기 제한부는 상기 제1회전축의 하측에서 상기 제2회전축을 중심으로 회전 가능하게 상기 클램핑본체에 결합된 제한부재, 및 상기 제한부재로부터 상측으로 돌출된 제한돌기를 포함하며,
    상기 고정부는 상기 제한부를 향하는 하측으로 돌출된 고정돌기를 포함하고,
    상기 고정돌기는 상기 제한부가 상기 회전제한위치에 위치되면 상기 제한돌기를 지지하여 상기 클램핑본체가 상기 제1회전축을 중심으로 하여 상기 클램핑위치에서 상기 해제위치로 회전되는 해제방향으로 회전되는 것을 차단하는 것을 특징으로 하는 기판 클램핑장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 고정돌기는 상기 회전제한위치에 위치된 제한부의 제한돌기와 상기 제1회전축의 사이에서 상기 제한부재 쪽으로 돌출된 것을 특징으로 하는 기판 클램핑장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 클램핑부는 상기 제1회전축을 중심으로 회전 가능하게 상기 고정부에 결합된 클램핑본체를 포함하고,
    상기 제한부는 상기 제2회전축을 중심으로 회전 가능하게 상기 클램핑본체에 결합된 제한부재, 및 자중(自重)을 이용하여 상기 제한부를 상기 제2회전축을 중심으로 상기 회전제한위치로 회전시키기 위한 돌출부재를 포함하며,
    상기 돌출부재는 상기 제한부재로부터 돌출된 것을 특징으로 하는 기판 클램핑장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 클램핑부는 상기 제1회전축을 중심으로 회전 가능하게 상기 고정부에 결합된 클램핑본체를 포함하고,
    상기 제한부는 상기 제1회전축의 하측에서 상기 제2회전축을 중심으로 회전 가능하게 상기 클램핑본체에 결합되되, 푸셔(Pusher)에 의해 가압됨에 따라 상기 회전제한위치에서 상기 회전허용위치로 회전되는 허용방향으로 회전되어서 상기 클램핑본체의 지지면에 접촉된 이후에 상기 푸셔에 의해 더 가압됨에 따라 상기 클램핑본체와 함께 상기 제1회전축을 중심으로 하여 상기 클램핑위치에서 상기 해제위치로 회전되는 해제방향으로 회전되는 것을 특징으로 하는 기판 클램핑장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 제한부는
    상기 제1회전축의 하측에서 상기 제2회전축을 중심으로 회전 가능하게 상기 클램핑본체에 결합된 제한부재;
    상기 제한부재로부터 돌출된 돌출부재; 및
    상기 회전제한위치에서 상기 지지면으로부터 이격된 위치에 배치되고, 상기 돌출부재가 상기 푸셔에 의해 가압됨에 따라 상기 지지면에 접촉되어서 상기 지지면을 가압하도록 상기 제한부재에 결합된 가압부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 클램핑장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 가압부재는 상기 제한부재로부터 상기 지지면 쪽으로 돌출되도록 상기 제한부재에 결합되되, 상기 돌출부재가 상기 푸셔에 의해 가압됨에 따라 상기 지지면에 접촉되면 상기 제한부재와 상기 지지면을 이격시키는 것을 특징으로 하는 기판 클램핑장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 클램핑부는 상기 제1회전축을 중심으로 회전 가능하게 상기 고정부에 결합된 클램핑본체, 및 상기 제1회전축과 상기 제한부의 사이에서 상기 클램핑본체에 결합된 지지플레이트를 포함하고,
    상기 제한부는 상기 제1회전축의 하측에서 상기 제2회전축을 중심으로 회전 가능하게 상기 클램핑본체에 결합되되, 푸셔(Pusher)에 의해 가압됨에 따라 상기 회전제한위치에서 상기 회전허용위치로 회전되는 허용방향으로 회전되어서 상기 지지플레이트에 접촉된 이후에 상기 푸셔에 의해 더 가압됨에 따라 상기 클램핑본체와 함께 상기 제1회전축을 중심으로 하여 상기 클램핑위치에서 상기 해제위치로 회전되는 해제방향으로 회전되는 것을 특징으로 하는 기판 클램핑장치.
  11. 제1항에 있어서,
    자력(磁力)을 이용하여 상기 클램핑부를 상기 클램핑위치로 회전시키기 위한 자력부를 포함하고,
    상기 자력부는 상기 고정부에 결합된 제1마그넷을 포함하며,
    상기 클램핑부는 상기 제1회전축을 중심으로 회전 가능하게 상기 고정부에 결합된 클램핑본체, 및 상기 클램핑부가 상기 클램핑위치에 위치되면 상기 고정부에 지지되도록 상기 클램핑본체로부터 돌출된 지지플레이트를 포함하고,
    상기 지지플레이트는 자성체로 형성되며,
    상기 제1마그넷과 상기 지지플레이트 간에는 상기 클램핑부를 상기 클램핑위치로 회전시키기 위한 인력(引力)이 작용하는 것을 특징으로 하는 기판 클램핑장치.
  12. 제1항에 있어서,
    자력(磁力)을 이용하여 상기 클램핑부를 상기 클램핑위치로 회전시키기 위한 자력부를 포함하고,
    상기 클램핑부는 상기 제1회전축을 중심으로 회전 가능하게 상기 고정부에 결합된 클램핑본체, 및 상기 클램핑부가 상기 클램핑위치에 위치되면 상기 고정부에 지지되도록 상기 클램핑본체로부터 돌출된 지지플레이트를 포함하며,
    상기 자력부는 상기 지지플레이트에 결합된 제1마그넷을 포함하고,
    상기 고정부는 자성체로 형성되며,
    상기 제1마그넷과 상기 고정부 간에는 상기 클램핑부를 상기 클램핑위치로 회전시키기 위한 인력(引力)이 작용하는 것을 특징으로 하는 기판 클램핑장치.
  13. 제1항에 있어서,
    자력(磁力)을 이용하여 상기 클램핑부를 상기 클램핑위치로 회전시키기 위한 자력부를 포함하고,
    상기 클램핑부는 상기 제1회전축을 중심으로 회전 가능하게 상기 고정부에 결합된 클램핑본체, 및 상기 클램핑부가 상기 클램핑위치에 위치되면 상기 고정부에 지지되도록 상기 클램핑본체로부터 돌출된 지지플레이트를 포함하며,
    상기 자력부는 상기 고정부에 결합된 제1마그넷, 및 상기 지지플레이트에 결합된 제2마그넷을 포함하고,
    상기 제1마그넷과 상기 제2마그넷 간에는 상기 클램핑부를 상기 클램핑위치로 회전시키기 위한 인력(引力)이 작용하는 것을 특징으로 하는 기판 클램핑장치.
  14. 제1항에 있어서,
    자력(磁力)을 이용하여 상기 클램핑부를 상기 클램핑위치로 회전시키기 위한 자력부를 포함하고,
    상기 클램핑부는 상기 제1회전축을 중심으로 회전 가능하게 상기 고정부에 결합된 클램핑본체를 포함하며,
    상기 자력부는 상기 고정부에 결합된 제1마그넷, 및 상기 제1마그넷에 대향(對向)되도록 상기 클램핑본체에 결합된 제2마그넷을 포함하고,
    상기 제1마그넷과 상기 제2마그넷 간에는 상기 클램핑부를 상기 클램핑위치로 회전시키기 위한 척력(斥力)이 작용하는 것을 특징으로 하는 기판 클램핑장치.
  15. 제11항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제한부는 자력에 의해 상기 회전제한위치로 회전되도록 자성체로 형성된 것을 특징으로 하는 기판 클램핑장치.
  16. 제11항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제한부는 상기 제2회전축을 중심으로 회전 가능하게 상기 클램핑본체에 결합된 제한부재, 및 상기 제한부재에 결합된 제한마그넷을 포함하고,
    상기 제한마그넷은 자력을 이용하여 상기 제한부재를 상기 회전제한위치로 회전시키는 것을 특징으로 하는 기판 클램핑장치.
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