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KR102307395B1 - 기판 합착 장치 및 기판 합착 방법 - Google Patents

기판 합착 장치 및 기판 합착 방법 Download PDF

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KR102307395B1
KR102307395B1 KR1020210036524A KR20210036524A KR102307395B1 KR 102307395 B1 KR102307395 B1 KR 102307395B1 KR 1020210036524 A KR1020210036524 A KR 1020210036524A KR 20210036524 A KR20210036524 A KR 20210036524A KR 102307395 B1 KR102307395 B1 KR 102307395B1
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KR
South Korea
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electrostatic film
flexible substrate
electrostatic
flexible
substrate
Prior art date
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Active
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KR1020210036524A
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English (en)
Inventor
김봉호
원재희
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(주) 아이엠텍
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Publication date
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Abstract

기판 합착 장치는, 플렉서블 플레이트를 지지하는 스테이지, 상기 스테이지의 측부에 배치되며, 정전기력을 이용하여 플렉서블 기판을 부착할 수 있는 정전기 필름의 외곽부를 클램핑하고 상기 정전기 필름에 부착된 플렉서블 기판을 벤딩할 수 있도록 구비된 클램핑 유닛 및 상기 스테이지의 상부에 배치되며, 상기 정전기 필름을 상기 플렉서블 플레이트로 향하여 가압하여 상기 플렉서블 플레이트에 대하여 상기 벤딩된 플렉서블 기판의 중심부로부터 외곽부로 순차적으로 부착시키는 가압 유닛을 포함한다. 이로써, 플렉서블 기판을 벤딩한 후 합착 공정이 기포없이 수행될 수 있다.

Description

기판 합착 장치 및 기판 합착 방법{APPARATUS OF BONDING A SUBSTRATE AND METHOD OF BONDING A SUBSTRATE}
본 발명은 기판 합착 장치 및 기판 합착 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 플렉서블 기판을 플렉서블 플레이트에 용이하게 합착할 수 있는 기판 합착 장치 및 기판 합착 방법에 관한 것이다.
컴퓨터, 휴대용 단말기 및 각종 정보기기의 모니터 등에는 유기 발광 표시장치(Organic Light Emitting Display Device), 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display Device) 등과 같은 다양한 종류의 표시 장치가 사용되고 있다.
이러한 표시장치들은 영상을 표시하는 표시 패널 및 영상이 출사되는 방향 상에 이를 보호하기 위한 커버 글라스가 부착된다. 상기 표시 패널에 커버 글라스를 부착하기 위하여, 표시 패널 상에 접착층을 액상으로 도포한 후, 표시 패널 및 커버 글라스를 합착시키고 접착층을 경화시킨다.
상기 표시 장치가 기존의 평판형 표시 장치를 대체하여 곡면형 표시 장치에 대한 수요가 증대되고 있다.
상기 평판형 표시 장치의 경우, 이와 같이 상압 상태에서 접착층을 이용하여 표시 패널과 커버 글라스를 합착하는 방법을 이용하더라도 접착층에 기포가 발생하거나, 접착이 불균일하게 된다는 문제가 발생하지 않는다.
하지만, 곡면형 표시 장치의 경우, 접착 균일성, 접착층 내 기포 발생, 표시 패널과 곡면형 커버 글라스 사이의 정렬(alignment) 등에서 문제가 발생할 수 있다.
특히, 상기 표시 패널 및 곡면형 커버 글라스를 상호 합착하는 데 있어서 합착 장치가 이용되고 있다. 상기 합착 장치는 곡면형 커버 글라스를 고정하는 고정 지그, 상기 표시 패널의 양 측부들과 인접하며, 상기 표시 패널의 양 측부들을 클램핑하는 한 쌍의 클램핑 유닛 및 상기 표시 패널을 하방으로부터 상기 곡면형 커버 글라스를 향하여 가압하는 합착 패드부를 포함한다. 이에 대하여 대한민국 등록특허 제10-1861629호가 개시하고 있다.
하지만, 상기 표시 패널의 에지부가 라운드 형상을 갖도록 하는 절곡 공정이 선행하여 요구된다.
본 발명의 실시예들은 플렉서블 기판의 에지부를 절곡하면서 상기 플렉서블 기판을 플렉서블 플레이트에 합착할 수 있는 기판 합착 장치를 제공한다.
본 발명의 실시예들은 플렉서블 기판의 에지부를 절곡하면서 상기 플렉서블 기판을 플렉서블 플레이트에 합착할 수 있는 기판 합착 방법을 제공한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예들에 따른 기판 합착 장치는, 플렉서블 플레이트를 지지하는 스테이지, 상기 스테이지의 측부에 배치되며, 정전기력을 이용하여 플렉서블 기판을 부착할 수 있는 정전기 필름의 외곽부를 클램핑하고 상기 정전기 필름에 부착된 플렉서블 기판을 벤딩할 수 있도록 구비된 클램핑 유닛 및 상기 스테이지의 상부에 배치되며, 상기 정전기 필름을 상기 플렉서블 플레이트로 향하여 가압하여 상기 플렉서블 플레이트에 대하여 상기 벤딩된 플렉서블 기판의 중심부로부터 외곽부로 순차적으로 부착시키는 가압 유닛을 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 클램핑 유닛을 수평 방향 및 수직 방향을 따라 이동시키도록 상기 클램핑 유닛에 구동력을 제공하는 제1 구동부가 추가적으로 제공된다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 정전기 필름에 정전기력을 발생시키기 위한 전원을 공급하는 전원 공급부가 더 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 가압 유닛을 승강 시키기 위하여 상기 가압 유닛에 구동력을 제공하는 제2 구동부가 추가적으로 제공될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 가압 유닛은 실리콘 또는 고무와 같은 탄성 재질로 이루어질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 벤딩된 플렉서블 기판을 상기 플렉서블 플레이트에 합착하기 위하여 합착 공간을 제공하며, 상기 합착 공간을 진공 상태로 유지할 수 있도록 구비된 챔버가 추가적으로 구비될 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예들에 따른 기판 합착 방법에 있어서, 스테이지 상에 플렉서블 플레이트를 지지하고, 플렉서블 기판을 부착할 수 있는 정전기 필름의 외곽부를 클램핑한다. 이이서 상기 정전기 필름에 플렉서블 기판을 정전기력으로 부착하고, 상기 정전기 필름을 벤딩하여 상기 정전기 필름에 부착된 상기 플렉서블 기판을 벤딩한다. 이후, 상기 정전기 필름을 상기 플렉서블 플레이트로 향하여 가압하여, 상기 플렉서블 플레이트에 대하여 상기 벤딩된 플렉서블 기판의 중심부로부터 외곽부로 순차적으로 부착시킨다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 정전기 필름을 벤딩하기 위하여, 상기 정전기 필름의 와곽부를 클램핑하는 한 쌍의 클램핑 유닛을 상호 접근시킨다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 정전기 필름을 상기 플렉서블 플레이트로 향하여 가압하는 단계는 상기 정전기 필름의 상면을 향하여 탄성 재질로 이루어진 가압 유닛을 하강할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치는, 정전기 필름의 외곽부를 클램핑하고 상기 정전기 필름에 부착된 플렉서블 기판을 벤딩할 수 있도록 구비된 클램핑 유닛 및 클램핑 유닛의 상부에 배치되며, 상기 정전기 필름을 상기 플렉서블 플레이트로 향하여 가압하여 상기 플렉서블 플레이트에 대하여 상기 벤딩된 플렉서블 기판의 중심부로부터 외곽부로 순차적으로 부착시키는 가압 유닛을 포함한다. 이로써, 상기 플렉서블 기판을 벤딩할 수 있을 뿐만 아니라, 벤딩된 플렉서블 기판의 중심부로부터 외곽부로 순차적으로 플렉서블 플레이트의 상면에 부착시킬 수 있다. 이로써, 상기 플렉서블 기판 및 플렉서블 플레이트 사이에 기포가 발생하는 것을 억제할 수 있다.
또한, 상기 기판 합착 장치는 진공 상태를 갖는 합착 공간을 제공하는 챔버를 구비함으로써, 상기 플렉서블 기판 및 플렉서블 플레이트 사이에 기포가 억제될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치를 설명하기 위한 단면도이다.
도 2는 도 1의 기판 합착 장치의 구동을 설명하기 위한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치를 설명하기 위한 단면도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치(100)는 스테이지(110), 클램핑 유닛(130) 및 가압 유닛(150)을 포함한다. 상기 기판 합착 장치(100)는 플렉서블 기판(20)의 외곽부를 벤딩하나 나아가 벤딩된 외곽부를 갖는 플렉서블 기판(20)을 플렉서블 플레이트(10)에 합착 또는 라미네이팅할 수 있다.
상기 플렉서블 기판(10)은 예를 들면, 폴리이미드 기판을 포함하는 유연 표시패널을 포함할 수 있다. 한편, 상기 플렉서블 플레이트(20)는, UTG(Ultra Thin Glass; UTG) 또는 OCA 또는 OCR 등과 같은 커버 플레이트를 포함할 수 있다.
스테이지(110)는 상기 플렉서블 플레이트(10)를 지지한다. 상기 스테이지(110)는 상기 플레서블 플레이트(10)를 지지하는 상면을 가질 수 있다.
상기 스테이지(110)는 구동 가능하게 구비된다. 예를 들면, 상기 스테이지(110)는 수직 방향으로 승강 가능하고 나아가 수평 방향으로 이동할 수 있다. 이로써 상기 스테이지(110) 상에 지지된 플렉서블 플레이트(10)는 상기 플렉서블 기판(20)과 정렬될 수 있다.
상기 클램핑 유닛(130)은 상기 스테이지(110)의 측부에 구비된다. 상기 클램핑 유닛(130)은 한 쌍으로 구비될 수 있다. 상기 클램핑 유닛(130)은 정전기 필름(30)을 클램핑 할 수 있다. 예를 들면, 상기 클램핑 유닛(130)은 상기 정전기 필름(30)의 외곽을 그립핑 할 수 있다.
상기 클램핑 유닛(130)은 상기 정전기 필름(30)의 외곽부를 개재시켜 상기 정전기 필름(30)을 그립핑하는 상부 클램퍼 및 하부 클램퍼 한 쌍으로 제공될 수 있다.
상기 정전기 필름(30)은 정전기력을 이용하여 그 하부에 배치된 플렉서블 기판(20)을 부착시킬 수 있다. 이로써, 상기 플렉서블 기판(20)이 유리 재질과 같은 비금속성 재질로 이루어지더라도 상기 정전기 필름(30)은 플렉서블 기판(20)을 부착시킬 수 있다. 이때, 상기 플렉서블 기판(20)은 전체적으로 플랫한 상태를 가진다.
또한, 상기 정전기 필름(30)은 유연 필름 형태를 가진다. 따라서, 상기 정전기 필름(30)은 용이하게 벤딩될 수 있다. 예를 들면, 상기 정전기 필름(30)을 클램핑하는 한 쌍의 클램핑 유닛(130)이 수평 방향을 따라 상호 접근할 경우, 상기 정전기 필름(30)이 용이하게 벤딩될 수 있다. 이때, 상기 정전기 필름(30)에 부착된 플렉서블 기판(20)이 함께 벤딩될 수 있다.
상기 가압 유닛(150)은 상기 스테이지(110)의 상부에 배치된다. 상기 가압 닛(150)은 정전기 필름(30)을 상기 플레서블 플레이트(10)를 향하여 가압한다. 즉, 상기 가압 유닛(150)은 정전기 필름(30)을 하방으로 가압할 수 있다. 이로써, 상기 가압 유닛(150)은 상기 플레서블 플레이트(10)에 대향하여 벤딩된 플렉서블 기판(20)의 중심부로부터 외곽부로 순차적으로 부착시킬 수 있다. 이로써, 상기 벤딩된 플렉서블 기판(20) 및 플렉서블 플레이트(10)가 벤딩된 상태로 합착될 수 있다. 이때 벤딩된 플렉서블 기판(20)이 그 중심부로부터 외곽부로 순차적으로 플렉서블 플레이트(10)에 부착됨에 따라 상기 합착 공정 중 벤딩된 플렉서블 기판(20) 및 플렉서블 플레이트(10) 사이에 기포가 발생하는 것이 억제될 수 있다.
상기 가압 유닛(150)은 실리콘 또는 러버 재질과 같은 탄성 재질로 이루어질 수 있다. 이로써, 상기 가압 유닛(150)이 상기 플렉서블 기판(20)의 중심부로부터 외곽부로 순차적으로 균일하게 가압할 수 있다.
상기 가압 유닛(150)은 특정 라운드 형상의 라운드 하면을 가질 수 있다. 상기 라운드 하면의 라운드 형상은 원하는 플렉서블 기판(20)의 벤딩 형상에 대응된다. 즉. 상기 클램핑 유닛(130)이 상승할 경우, 상기 정전기 필름(30)은 상기 라운드 하면의 형상에 따라 벤딩될 수 있다. 따라서, 상기 라운드 하면은 상기 정전기 필름(30)에 부착된 플렉서블 기판(20)의 형상을 정의할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 클램핑 유닛(130)을 수평 방향 및 수직 방향을 따라 이동시키도록 상기 클램핑 유닛(130)에 구동력을 제공하는 제1 구동부(미도시)가 구비될 수 있다. 상기 제1 구동부는 예를 들면, 실린더, 볼스크류 또는 모터 등을 포함할 수 있다.
상기 제1 구동부가 상기 클램핑 유닛(130)을 수평 방향을 따라 이동시킴으로써, 상기 클램핑 유닛(130)이 그립핑 하는 정전기 필름(30)을 벤딩할 수 있다. 한편, 상기 제1 구동부가 상기 클램핑 유닛(130)을 수직 방향을 따라 이동시킴으로써, 상기 클램핑 유닛(130)이 그립핑하는 정전기 필름(30)을 가압 유닛을 향하여 상승시킨다. 이로써, 상기 정전기 필름(30)이 상기 가압 유닛의 라운드 하면의 형상을 따라 벤딩될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 정전기 필름(30)에 정전기력을 발생시키기 위한 전원을 공급하는 전원 공급부(미도시)가 구비될 수 있다. 상기 전원 공급부는 상기 정전기 필름(30)에 구비된 전극들과 전기적으로 연결되어 정전기력을 발생시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 가압 유닛(150)을 승강시키기 위하여 상기 가압 유닛에 구동력을 제공하는 제2 구동부(미도시)가 구비될 수 있다. 상기 제2 구동부는 실린더, 볼스크류 또는 모터 등을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 벤딩된 플렉서블 기판(30)을 상기 플렉서블 플레이트(10)에 합착하기 위하여 합착 공간(105)을 제공하며, 상기 합착 공간을 진공 상태로 유지할 수 있도록 구비된 챔버(101)가 구비될 수 있다. 상기 합착 공간(105)은 진공으로 유지됨에 따라 상기 합착 공정 중 기포 발생이 억제될 수 있다. 나아가, 상기 정전기 필름(30)이 진공 상태에서 보다 효과적으로 정전기력을 발생할 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 방법에 있어서, 스테이지(110) 상에 플렉서블 플레이트(10)를 지지시킨다(S110). 상기 스테이지(110)는 상기 플레서블 플레이트(10)를 진공력 또는 정전기력을 이용하여 고정할 수 있다.
이어서, 플렉서블 기판(20)을 부착할 수 있는 정전기 필름(30)의 외곽부를 클램핑한다. 이때, 클램핑 유닛(130)이 상기 정전기 필름(30)을 클램핑 할 수 있다. 이 경우, 상기 플렉서블 기판(20)은 수평 방향으로 따라 평행한 상태를 유지하면서 상기 정전기 필름(30)과 이격된 상태를 가질 수 있다.
이후, 상기 정전기 필름(30)에 플렉서블 기판(20)을 정전기력으로 부착한다. 상기 정전기 필름(30)이 정전기력을 발생하여 상기 플렉서블 기판(20)을 부착할 수 있다. 이를 위하여 상기 클램핑 유닛(130)이 상기 플렉서블 기판(20)을 향하여 접근한 후, 정전기력을 이용하여 상기 플렉서블 기판(20)을 상기 정전기 필름(20)의 하면에 부착할 수 있다.
상기 정전기 필름(30)을 벤딩하여 상기 정전기 필름(30)에 부착된 상기 플렉서블 기판(20)을 벤딩한다(S170).
이를 위하여, 상기 정전기 필름(30)을 클램핑 하는 한 쌍의 클램핑 유닛들(130)이 상호 접근한다. 또한, 상기 클램핑 유닛(130)이 상승하여 상기 가압 유닛(150)의 라운드 하면의 형상에 대응되도록 상기 정전기 필름(30)이 벤딩될 수 있다. 이로써, 상기 정전기 필름(30)에 부착된 플렉서블 기판(20)이 함께 벤딩될 수 있다.
이후, 상기 정전기 필름(30)을 상기 플렉서블 플레이트(10)로 향하여 가압한다. 이로써, 상기 플렉서블 플레이트(10)에 대하여 상기 벤딩된 플렉서블 기판(20)의 중심부로부터 외곽부로 순차적으로 부착시킨다(S190).
이를 위하여, 상기 정전기 필름(30)의 상면을 향하여 탄성 재질로 이루어진 가압 유닛(150)이 하강하여 상기 정전기 필름(30)을 가압한다. 이로써, 상기 플렉서블 플레이트(10)에 대하여 상기 벤딩된 플렉서블 기판(20)의 중심부로부터 외곽부로가 순차적으로 부착될 수 있다. 이로써, 합착 공정중 기포 발생이 억제될 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 기판 합착 장치 110 : 스테이지
130: 클램핑 유닛 150 : 가압 유닛

Claims (9)

  1. 플렉서블 플레이트를 지지하는 스테이지;
    상기 스테이지의 측부에 배치되며, 정전기력을 이용하여 플렉서블 기판을 부착할 수 있는 정전기 필름의 외곽부를 클램핑하고 상기 정전기 필름에 부착된 플렉서블 기판을 벤딩할 수 있도록 구비된 한 쌍의 클램핑 유닛; 및
    상기 스테이지의 상부에 배치되며, 상기 정전기 필름을 상기 플렉서블 플레이트로 향하여 가압하여 상기 플렉서블 플레이트에 대하여 상기 벤딩된 플렉서블 기판의 중심부로부터 외곽부로 순차적으로 부착시키는 가압 유닛을 포함하고,
    상기 클램핑 유닛을 수평 방향 및 수직 방향을 따라 이동시키도록 상기 클램핑 유닛에 구동력을 제공하고 상기 클램핑 유닛을 수평 방향을 따라 상호 접근시켜 상기 플렉서블 기판을 벤딩할 수 있도록 구비된 제1 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 합착 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 정전기 필름에 정전기력을 발생시키기 위한 전원을 공급하는 전원 공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 합착 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 가압 유닛을 승강 시키기 위하여 상기 가압 유닛에 구동력을 제공하는 제2 구동부를 더 포함하는 기판 합착 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 가압 유닛은 실리콘 또는 고무와 같은 탄성 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 합착 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 벤딩된 플렉서블 기판을 상기 플렉서블 플레이트에 합착하기 위하여 합착 공간을 제공하며, 상기 합착 공간을 진공 상태로 유지할 수 있도록 구비된 챔버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 합착 장치.
  7. 스테이지 상에 플렉서블 플레이트를 지지하는 단계;
    플렉서블 기판을 부착할 수 있는 정전기 필름의 외곽부를 클램핑하는 단계;
    상기 정전기 필름에 플렉서블 기판을 정전기력으로 부착하는 단계;
    상기 정전기 필름의 외곽부를 클램핑하는 한 쌍의 클램핑 유닛을 수평 방향을 따라 상호 접근시킴으로써 상기 정전기 필름을 벤딩하여 상기 정전기 필름에 부착된 상기 플렉서블 기판을 벤딩하는 단계; 및
    상기 정전기 필름을 상기 플렉서블 플레이트로 향하여 가압하여, 상기 플렉서블 플레이트에 대하여 상기 벤딩된 플렉서블 기판의 중심부로부터 외곽부로 순차적으로 부착시키는 단계를 포함하는 기판 합착 방법.
  8. 삭제
  9. 제7항에 있어서, 상기 정전기 필름을 상기 플렉서블 플레이트로 향하여 가압하는 단계는 상기 정전기 필름의 상면을 향하여 탄성 재질로 이루어진 가압 유닛을 하강하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 합착 방법.
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