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KR102297711B1 - 경질 피막이 형성된 절삭공구 - Google Patents

경질 피막이 형성된 절삭공구 Download PDF

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KR102297711B1
KR102297711B1 KR1020190172180A KR20190172180A KR102297711B1 KR 102297711 B1 KR102297711 B1 KR 102297711B1 KR 1020190172180 A KR1020190172180 A KR 1020190172180A KR 20190172180 A KR20190172180 A KR 20190172180A KR 102297711 B1 KR102297711 B1 KR 102297711B1
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권진한
박제훈
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한국야금 주식회사
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Abstract

본 발명은 초경합금, 써멧, 세라믹, 입방정 질화붕소와 같은 경질모재와 이 경질모재 상에 형성되는 경질피막으로 이루어진 절삭공구에 관한 것이다.
본 발명에 따른 절삭공구는, 모재 상에, 단층 또는 다층 구조로 이루어진 경질피막이 형성되고, 상기 경질피막은 산화물로 이루어진 층을 포함하고, 상기 산화물로 이루어진 층에 있어서, 절삭공구의 인선(edge) 중심의 산소 함량이 상기 인선 중심으로부터 50㎛ 이상 떨어진 영역의 산소 함량에 비해 높은 것을 특징으로 한다.

Description

경질 피막이 형성된 절삭공구 {HARD FILM COATED CUTTING TOOLS}
본 발명은 초경합금, 써멧, 세라믹, 입방정 질화붕소와 같은 경질모재 상에 경질피막이 코팅된 절삭공구에 관한 것으로, 보다 상세하게는 경질모재 상에 입방정의 감마상 또는 육방정의 알파상으로 이루어지는 산화막의 단층 구조 또는 산화막을 포함하는 다층 구조의 경질피막이 형성된 절삭공구에 관한 것이다.
절삭공구의 인선은 고경도 재료의 고속가공 시, 약 1000℃의 고온환경에 노출되고, 가공물과의 접촉으로 인한 마찰과 산화로 마모가 발생할 뿐 아니라, 단속과 같은 기계적 충격도 받게 된다. 그러므로 절삭공구는 적절한 내마모성과 인성을 갖는 것이 필수적으로 요구된다.
이와 같이 절삭공구에 요구되는 내마모성과 인성을 부여하기 위하여, 일반적으로 절삭공구로 사용되는 초경합금의 표면에는 화학기상증착법(이하, 'CVD'라 함) 또는 물리기상증착법(이하, 'PVD'라 함)을 통해 형성된 경질피막을 형성한다.
이러한 경질피막은, 단층 또는 다층의 비산화물계 피막(예: TiN, TiC, TiCN)이나, 우수한 내산화성을 갖는 산화물계 피막(예: Al2O3) 또는 이들의 혼합층으로 구성되며, 상기 비산화물계 피막의 예로는 TiN, TiC, TiCN 등과 같은 주기율표상 4, 5, 6족 금속원소의 탄화물, 질화물, 탄질화물이 있고, 산화물계 피막의 예로는 대표적으로 알파-Al2O3 또는 감마-Al2O3이 있다.
한편, 절삭공구는 피삭재와 접촉되는 부위에 따라 그 역할과 요구되는 물성에 있어서 조금씩 차이가 있다. 예를 들어 경사면의 경우 내산화성, 내마모성, 내용착성 등이 요구되고, 인선에는 내산화성, 내열크랙성, 내박리성 등이 요구되며, 여유면에는 내마모성이 일반적으로 요구된다.
이러한 절삭공구의 부위 별로 달리 요구되는 물성을 어느 정도 충족시키기 위하여, 여러 가지의 원소를 포함시킨 다원계 박막, 상이한 물질층으로 이루어진 다층구조 박막, 또는 후처리 기술 등이 적용되어 왔지만, 이러한 기술들은 공구 부위 별 물성을 차별화하는데 한계가 있다.
미국 공개특허공보 제2011/0311805호
본 발명의 과제는, 절삭공구의 부위 별로 형성되는 경질피막의 산소의 함량을 상이하게 조절하여, 인선, 경사면 및 여유면의 각각에 중점적으로 요구되는 물성에 보다 근접할 수 있도록 함으로써, 수명을 연장시킬 수 있는 절삭공구를 제공하는데 있다.
상기 과제를 해결하기 위해 본 발명은, 절삭공구의 모재 상에, 단층 또는 다층 구조로 이루어진 경질피막이 형성되고, 상기 경질피막은 산화물로 이루어진 층을 포함하고, 상기 산화물로 이루어진 층에 있어서, 절삭공구의 인선(edge) 중심의 산소 함량이 상기 인선 중심으로부터 50㎛ 이상 떨어진 영역의 산소 함량에 비해 높은, 경질피막이 형성된 절삭공구를 제공한다.
본 발명에 따른 절삭공구의 경우, 경사면 또는 여유면은 인선에 비해 상대적으로 산소 함량이 적은 상태가 되어 경도가 높아져 내마모성이 향상되고, 인선은 산소 함량의 증가를 통해 향상된 내산화성과 내열크랙성을 얻을 수 있게 된다.
도 1은 본 발명에 따른 경질피막의 구조를 개략적으로 나타낸 것이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.
그러나 다음에 예시하는 본 발명의 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 상술하는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시예는 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이다.
본 발명에 따른 경질피막이 코팅된 절삭공구는, 절삭공구의 모재 상에, 단층 또는 다층 구조로 이루어진 경질피막이 형성되고, 상기 경질피막은 산화물로 이루어진 층을 포함하고, 상기 산화물로 이루어진 층에 있어서, 절삭공구의 인선(edge) 중심의 산소 함량이 상기 인선 중심으로부터 50㎛ 이상 떨어진 영역의 산소 함량에 비해 높은 것을 특징으로 한다.
도 1은 본 발명에 따른 경질피막의 구조를 개략적으로 나타낸 것이다. 도 1에 도시된 것과 같이, 모재의 표면에 산화물로 이루어진 피막이 형성되고, 이 피막은 인선(모재에서 굴곡진 부분)의 중심으로부터 경사면 또는 여유면 쪽으로 약 50㎛ 이내의 영역부분(빗금 간격이 넓은 부분)은 그렇지 않은 부분(빗금 간격이 좁은 부분)에 비해 산소 함량이 상대적으로 높게 제어된 것을 특징으로 한다.
한편, 인선(모재에서 굴곡진 부분)의 중심으로부터 경사면 또는 여유면 쪽으로 약 50㎛ 이내의 영역부분(빗금 간격이 넓은 부분)은 산소 함량이 균일하게 형성될 수도 있고, 중심에서 경사면 또는 여유면을 향할 수록 산소 함량이 연속적 또는 단속적으로 점차 감소하는 형태로 형성될 수도 있다.
이와 같이 인선과 경사면 또는 여유면의 산소 함량이 상대적으로 다르게 제어될 경우, 경사면 또는 여유면은 인선에 비해 상대적으로 산소 함량이 적은 상태가 되어 경도가 높아져 내마모성이 향상되고, 인선 부분은 산소 함량이 높은 상태가 되어 내산화성과 내열크랙성을 얻을 수 있게 된다.
또한, 상기 산화물로 이루어진 층에 있어서, 절삭 공구의 인선 중심의 산소 함량은 상기 인선 중심으로부터 50㎛ 이상 떨어진 영역의 산소 함량의 차이가 5 at.% 미만일 경우 전술한 인선과 경사면 또는 여유면 간의 물성 차이가 충분하지 않을 수 있고, 15 at.% 초과할 경우 인선의 내마모성이 낮아져 바람직하지 않으므로, 산소함량의 차이는 5 ~ 15 at.%를 유지하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 피막은 Al, Cr, Ti, Y, V, W, Ta, Nb, Mo, Zr, Hf 및 Si에서 선택된 1종 이상의 원소를 포함하는 산화물일 수 있다.
또한, 상기 피막의 두께는 0.01㎛ 미만으로 얇게 형성될 경우 절삭 시에 요구되는 내산화성을 기대하기 어렵고, 5㎛ 초과 시에는 잔류응력이 증가함에 따라 박리 및 치핑 등이 발생하기 쉽고, 피막의 전도성이 현저하게 떨어지게 되어 증착할수록 피막의 밀도 및 밀착력이 감소하므로, 0.01 ~ 5㎛ 범위가 요구되며, 0.01 ~ 3㎛ 가 바람직하고, 0.01 ~ 1㎛가 보다 바람직하다.
또한, 상기 산화물로 이루어진 피막의 상부 및/또는 하부에는 추가로, Al, Cr, Ti, Y, V, W, Ta, Nb, Mo, Zr, Hf 및 Si에서 선택된 1종 이상을 포함하는 탄화물, 질화물, 산화물, 탄질화물, 산화질화물, 산화탄화물, 산화탄질화물, 붕화물, 질화붕소, 붕소탄화물, 붕소탄질화물, 붕소산화질화물, 붕소옥소탄화물, 붕소옥소탄질화물, 및 옥소질화붕소로부터 선택되는 화합물층이 1층 이상 형성될 수 있다.
또한, 상기 산화물로 이루어진 피막은 예를 들어, 입방정(cubic)의 감마상 또는 육방정(hexagonal)의 알파상으로 이루어진 Al2O3로 이루어질 수 있다.
[실시예]
경질피막의 제조
본 발명의 실시예에서는 초경합금, 써멧, 세라믹, 입방정 질화붕소와 같은 소결체로 이루어지는 경질 모재 표면 위에 물리적 기상 증착법(Physical vapor deposition; PVD)인 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 산화물로 이루어진 피막을 성막하였으며, 이와 함께 아크 이온 플레이팅을 동시에 적용하는 하이브리드 PVD 프로세스를 통하여 상기 산화물로 이루어진 피막을 포함하는 다층 구조의 피막을 형성하였다.
구체적으로, 상기 모재를 습식 마이크로 블라스팅 및 초순수로 세척한 뒤 건조한 상태에서 코팅로 내 회전 테이블 상의 중심축에서 반경 방향으로 소정 거리 떨어진 위치에 원주를 따라 장착하였다. 코팅로 내 초기 진공압력을 8.5×10-5 Torr 이하로 감압하였으며, 온도를 400 ~ 600℃로 가열한 후 Ar 가스 분위기 하에서 상기 회전 테이블 상에서 자전하면서 회전하는 모재에 -200 ~ -300V의 펄스 바이어스 전압을 인가하여 30 ~ 60 분간 이온 봄바드먼트(Ion bombardment)를 수행하였다. 코팅을 위한 가스압력은 50mTorr 이하 바람직하게는 40mTorr 이하로 유지하였으며, 코팅 시 기판 바이어스 전압은 산화막 코팅 시 -100 ~ -150V, 질화막 코팅 시 -20 ~ -100V를 인가하였다. 상기 코팅조건은 장비특성 및 조건에 따라 달라질 수 있다.
보다 구체적으로, 모재는 평균 입도 0.8㎛의 WC와 10wt.%의 Co 함량으로 이루어진 초경합금을 사용하였다. 산화물 피막은 Al2O3로 이루어지며, Al 99.9at.% 타겟을 사용하여 바이어스 전압 -125V(Pulsed DC, 20 ~ 45kHz), 스퍼터 전력 20kW, 반응가스로 O2와 Ar을 주입, 압력 0.5Pa의 조건으로 성막하였다. 여기서 바이어스 전압의 펄스 듀티 사이클을 50% 미만으로 적용하여 본 발명의 실시예를 구성하였으며, 바이어스 전압 펄스 듀티 사이클을 50% 이상으로 적용하여 본 발명의 비교예를 구성하였다. 또한, 상기 산화물로 이루어진 피막을 포함하는 다층 구조의 피막 형성 시 Al2O3 이외에 AlTiN 또는 AlCrN 질화막을 적용하였으며, AlTi(60at.%/40at.%) 타겟 또는 AlCr(64at.%/36at.%) 타겟을 사용하여 바이어스 전압 -30 ~ -60V, 아크 전류 100 ~ 150A, 반응가스로 N2를 주입, 압력 2.7 ~ 4.0Pa 조건으로 성막하였다.
상기의 조건으로 본 발명의 실시예와 비교예를 제조하였으며, 이에 해당되는 경질 피막의 구조, 두께, 경도에 대한 기본 정보를 아래 표 1에 나타내었다.
구분 번호 박막 구조 박막 두께
(㎛)		 전체 두께
(mm)		 박막 경도
(GPa)
실시예 1-1 Al2O3 0.8 0.8 28.0
1-2 AlTiN/Al2O3 0.4 2.8 31.5
1-3 AlTiN/Al2O3/AlTiN 0.4 3.1 31.9
1-4 AlCrN/Al2O3 0.4 3.0 30.1
1-5 AlCrN/Al2O3/AlCrN 0.4 3.0 31.8
비교예 2-1 Al2O3 0.9 0.9 26.9
2-2 AlTiN/Al2O3 0.4 3.0 30.4
2-3 AlTiN/Al2O3/AlTiN 0.4 2.9 32.3
2-4 AlCrN/Al2O3 0.4 3.0 29.8
2-5 AlCrN/Al2O3/AlCrN 0.4 3.1 31.0
경질피막의 산소함량 분석결과
하기 표 2에 실시예와 비교예 샘플에 대하여 절삭공구 인선 중심의 산화막 내 산소 함량과 상기 인선 중심으로부터 50㎛ 떨어진 영역의 산화막 내 산소 함량을 EDX(Energy-disperse X-ray spectroscopy)로 분석한 결과를 나타내었다. 이 때 일반적으로 공구의 경사면(Rake face)은 타겟과 평행한 방향에 놓이고, 공구의 여유면(Flank face)은 타겟과 수직한 방향에 놓이며, 이는 공구의 형상 또는 회전 테이블 상의 공구 장착 방식에 따라 바뀔 수 있다. 샘플 번호 1-3(R), 1-5(R), 2-3(R), 2-5(R)은 공구의 경사면이 타겟과 수직한 방향에 놓이고, 공구의 여유면이 타겟과 평행한 방향에 놓이도록 회전 테이블 상에 장착한 것이다.
구분 번호 박막 구조 산화막 내 산소 함량 (EDX, at.%)
인선 중심 경사면 여유면
실시예 1-1 Al2O3 48.9 34.7 42.9
1-2 AlTiN/Al2O3 46.4 32.5 40.5
1-3 AlTiN/Al2O3/AlTiN 47.5 33.1 41.9
1-3(R) AlTiN/Al2O3/AlTiN 50.1 42.8 33.4
1-4 AlCrN/Al2O3 47.8 33.3 40.9
1-5 AlCrN/Al2O3/AlCrN 49.0 37.8 41.8
1-5(R) AlCrN/Al2O3/AlCrN 47.3 40.9 31.6
비교예 2-1 Al2O3 43.7 37.0 41.5
2-2 AlTiN/Al2O3 45.6 39.7 42.5
2-3 AlTiN/Al2O3/AlTiN 43.9 37.2 39.8
2-3(R) AlTiN/Al2O3/AlTiN 45.6 42.9 39.0
2-4 AlCrN/Al2O3 46.4 39.9 44.2
2-5 AlCrN/Al2O3/AlCrN 46.1 40.3 43.0
2-5(R) AlCrN/Al2O3/AlCrN 44.5 42.1 40.0
상기 표 2에서 확인되는 바와 같이, 실시예의 경질피막은 절삭공구 인선 중심의 산화막 내 산소 함량이 상기 인선 중심으로부터 50㎛ 떨어진 영역(경사면 또는 여유면)의 산화막 내 산소 함량 대비 5 ~ 15at.% 높은 값을 가진다. 반면, 비교예의 경질피막은 절삭공구 인선 중심의 산화막 내 산소 함량이 상기 인선 중심으로부터 50㎛ 떨어진 영역(경사면 또는 여유면)의 산화막 내 산소 함량 대비 2 ~ 7at.% 높은 값을 가진다. 즉, 실시예의 경질피막이 절삭공구의 인선 위치에 따라 좀 더 현저한 산소 함량 차이를 갖는다.
절삭성능 평가
상기 표 2와 같이 제조한 경질피막의 내마모성, 내열크랙성, 내치핑성을 평가하기 위하여 밀링가공 시험을 수행하였으며, 하기와 같은 조건으로 평가하였다.
탄소강은 일반적으로 화학적인 마찰마모가 주요 마모유형으로, 인선부의 내산화성이 절삭성능에 미치는 영향이 크다. 합금강은 일반적으로 열크랙과 기계적인 마찰마모가 주요 마모유형으로, 인선부의 열차폐성과 경사면 또는 여유면의 박막 경도가 절삭성능에 미치는 영향이 크다. 스테인레스강은 일반적으로 피삭재의 용착 및 가공경화에 의한 치핑이 주요 마모유형으로, 인선부의 내산화성과 윤활성이 절삭성능에 미치는 영향이 크다.
(1) 내마모성 평가
피삭재: 탄소강(SM45C)
샘플형번: SNMX1206ANN-MM
절삭속도: 250m/min
절삭이송: 0.2mm/tooth
절삭깊이: 2mm
(2) 내열크랙성 평가
피삭재: 합금강(SCM440)
샘플형번: SNMX1206ANN-MM
절삭속도: 200m/min
절삭이송: 0.2mm/tooth
절삭깊이: 2mm
(3) 내치핑성 평가
피삭재: STS316L
샘플형번: ADKT170608PESR-ML
절삭속도: 120m/min
절삭이송: 0.15mm/tooth
절삭깊이: 5mm
이상과 같은 조건으로 평가한 결과를 아래 표 3에 나타내었다.
구분 번호 내마모성 내열크랙성 내치핑성
가공길이
(mm)		 마모유형 가공길이
(mm)		 마모유형 가공길이
(mm)		 마모유형
실시예 1-1 900 박막뜯김,
과대마모		 900 열크랙,
파손		 200 경계치핑
1-2 3000 박막뜯김 1500 과대마모,
열크랙		 400 경계치핑
1-3 5400 정상마모 5400 정상마모 1100 정상마모
1-3
(R)		 6300 정상마모 4200 정상마모 900 정상마모
1-4 2700 박막뜯김 1500 과대마모, 열크랙 300 경계치핑
1-5 6000 정상마모 5100 정상마모 1200 정상마모
1-5
(R)		 6600 정상마모 3600 과대마모 1100 정상마모
비교예 2-1 600 박막뜯김,
과대마모		 900 열크랙,
파손		 100 경계치핑
2-2 2100 박막뜯김,
과대마모		 1200 과대마모,
열크랙		 300 경계치핑
2-3 3300 과대마모 2700 열크랙 600 경계치핑
2-3
(R)		 3900 과대마모 1800 과대마모,
열크랙		 500 R부치핑
2-4 1800 박막뜯김,
과대마모		 1200 과대마모,
열크랙		 200 경계치핑
2-5 3600 과대마모 2100 열크랙 600 경계치핑
2-5
(R)		 3900 과대마모 1500 과대마모,
열크랙		 400 R부치핑
상기 표 3에서 확인되는 바와 같이, 실시예의 경질피막 중 1-3, 1-3(R), 1-5, 1-5(R)은 비교예의 경질피막 대비 내마모성, 내열크랙성, 내치핑성이 우수하다.
실시예의 경질피막은 경사면 또는 여유면 대비 인선 중심의 산소 함량이 높기 때문에 인선부의 내산화성과 윤활성이 우수하고, 경사면 또는 여유면은 박막 경도가 높아 기계적인 내마모성이 우수한 구조를 갖는다. 이 때문에 상기 밀링가공 시험에서 실시예의 경질피막이 비교예의 경질피막 대비 공구의 부위 별 요구되는 물성을 보다 잘 갖추고 있음으로써 절삭성능이 우세한 것으로 판단된다.
여기서 산화막이 단일층으로 이루어진 1-1, 2-1 샘플의 경우 낮은 박막 경도, 낮은 밀착력 그리고 얇은 박막 두께로 인하여 현저히 낮은 절삭성능을 나타낸다. 또한, 질화막 위에 산화막이 적층된 1-2, 1-4, 2-2, 2-4 샘플의 경우에는 박막 경도가 낮은 산화막을 보호할만한 최외각 층이 없기 때문에 가공 시 산화막이 빠르게 소모되고, 그에 따른 내산화성과 윤활성의 감소로 비교적 낮은 절삭성능을 나타낸다. 따라서 1-3, 1-5, 2-3, 2-5 샘플과 같이 산화막이 질화막과 질화막 사이에 적층되어 있는 것이 구조적으로 안정적임을 알 수 있고, 여기에 1-3, 1-5 샘플과 같이 공구 부위 별 산소 함량 차이를 가질 시 그에 따른 절삭성능의 향상 효과를 가장 잘 반영할 수 있는 박막 구조로 판단된다.
상기 평가한 14종의 샘플 외에 산화물로 이루어진 피막의 상부 및/또는 하부에 Al, Cr, Ti, Y, V, W, Ta, Nb, Mo, Zr, Hf 및 Si에서 선택된 1종 이상을 포함하는 질화물을 갖는 경질피막 샘플을 추가로 제조하였다. 이 샘플에 대해 밀링가공 시험을 수행하였으며, 평가한 결과를 아래 표 4에 나타내었다.
구분 번호 박막 구조 내마모성 내열크랙성 내치핑성
가공길이
(mm)		 가공길이
(mm)		 가공길이
(mm)
실시예 3-1 AlTiN/Al2O3/AlTiSiN
(Al:Ti:Si=57:38:5)		 7500 8400 1100
3-2 AlTiN/Al2O3/AlTiVZrN
(Al:Ti:V:Zr=54:36:5:5)		 5700 4500 1700
3-3 AlTiN/Al2O3/AlTiNbMoN
(Al:Ti:Nb:Mo=54:36:5:5)		 6300 6600 1100
3-4 AlTiWYN/Al2O3/AlTiN
(Al:Ti:W:Y=56.4:37.6:3:3)		 5400 3900 900
3-5 AlTiTaHfN/Al2O3/AlTiN
(Al:Ti:Ta:Hf=56.4:37.6:3:3)		 6300 7200 1600
3-6 AlCrN/Al2O3/AlCrSiN
(Al:Cr:Si=60.8:34.2:5)		 8100 6900 1100
3-7 AlCrN/Al2O3/AlCrVZrN
(Al:Cr:V:Zr=57.6:32.4:5:5)		 4800 3900 1900
3-8 AlCrN/Al2O3/AlCrNbMoN
(Al:Cr:Nb:Mo=57.6:32.4:5:5)		 6600 5700 1100
3-9 AlCrWYN/Al2O3/AlCrN
(Al:Cr:W:Y=60.2:33.8:3:3)		 5400 3600 1000
3-10 AlCrTaHfN/Al2O3/AlCrN
(Al:Cr:Ta:Hf=60.2:33.8:3:3)		 7800 7200 1900
비교예 4-1 AlTiN/Al2O3/AlTiSiN
(Al:Ti:Si=57:38:5)		 3300 4200 600
4-2 AlTiN/Al2O3/AlTiVZrN
(Al:Ti:V:Zr=54:36:5:5)		 2100 1800 900
4-3 AlTiN/Al2O3/AlTiNbMoN
(Al:Ti:Nb:Mo=54:36:5:5)		 2700 3000 500
4-4 AlTiWYN/Al2O3/AlTiN
(Al:Ti:W:Y=56.4:37.6:3:3)		 2100 1800 300
4-5 AlTiTaHfN/Al2O3/AlTiN
(Al:Ti:Ta:Hf=56.4:37.6:3:3)		 3000 2700 700
4-6 AlCrN/Al2O3/AlCrSiN
(Al:Cr:Si=60.8:34.2:5)		 3900 3900 500
4-7 AlCrN/Al2O3/AlCrVZrN
(Al:Cr:V:Zr=57.6:32.4:5:5)		 2100 1500 1000
4-8 AlCrN/Al2O3/AlCrNbMoN
(Al:Cr:Nb:Mo=57.6:32.4:5:5)		 2700 3000 400
4-9 AlCrWYN/Al2O3/AlCrN
(Al:Cr:W:Y=60.2:33.8:3:3)		 2100 1200 400
4-10 AlCrTaHfN/Al2O3/AlCrN
(Al:Cr:Ta:Hf=60.2:33.8:3:3)		 3600 4500 800
상기 표 4에서 확인되는 바와 같이, 실시예의 경질피막이 비교예의 경질피막 대비 전반적으로 내마모성, 내열크랙성, 내치핑성이 우수하다.
산화물로 이루어진 피막의 상부 및/또는 하부에 Al, Cr, Ti, Y, V, W, Ta, Nb, Mo, Zr, Hf 및 Si에서 선택된 1종 이상을 포함하는 질화물을 갖는 경질피막은 상기 질화물의 조성과 적층 위치에 따라 평가 항목 별로 조금씩 상이한 절삭성능을 갖는 것을 알 수 있다. 이와 같이 본 발명의 산화물로 이루어진 피막과 여러 물질의 조성적, 구조적 조합을 통하여 가공 환경에 적합한 경질피막의 설계와 그에 따른 성능 향상을 기대할 수 있다.

Claims (6)

  1. 절삭공구의 모재 상에, 단층 또는 다층 구조로 이루어진 경질피막이 형성되고,
    상기 경질피막은 산화물로 이루어진 층을 포함하고, 상기 산화물로 이루어진 층에 있어서, 절삭공구의 인선(edge) 중심의 산소 함량이 상기 인선 중심으로부터 50㎛ 이상 떨어진 양쪽 영역의 산소 함량에 비해 5 ~ 15at% 높은, 경질피막이 형성된 절삭공구.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 피막은 Al, Cr, Ti, Y, V, W, Ta, Nb, Mo, Zr, Hf 및 Si에서 선택된 1종 이상을 포함하는, 경질피막이 형성된 절삭공구.
  4. 제1항 또는 제3항에 있어서,
    상기 피막의 두께는 0.01 ~ 5㎛인, 경질피막이 형성된 절삭공구.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 산화물로 이루어진 피막의 상부 및/또는 하부에,
    Al, Cr, Ti, Y, V, W, Ta, Nb, Mo, Zr, Hf 및 Si에서 선택된 1종 이상을 포함하는 탄화물, 질화물, 산화물, 탄질화물, 산화질화물, 산화탄화물, 산화탄질화물, 붕화물, 질화붕소, 붕소탄화물, 붕소탄질화물, 붕소산화질화물, 붕소옥소탄화물, 붕소옥소탄질화물, 및 옥소질화붕소로부터 선택되는 화합물층이 1층 이상 형성되는, 경질피막이 형성된 절삭공구.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 산화물로 이루어진 피막은 입방정(cubic)의 감마상 또는 육방정(hexagonal)의 알파상으로 이루어진 Al2O3로 이루어진, 경질피막이 형성된 절삭공구.
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