KR102256934B1

KR102256934B1 - Apparatus for controlling fluid supply

Info

Publication number: KR102256934B1
Application number: KR1020140170176A
Authority: KR
Inventors: 케이스케 카토; 히로시 이타후지; 유키 미하라; 카츠노리 히로세; 토시카즈 미와; 시게노부 니시다; 카즈토시 이토
Original assignee: 시케이디 가부시키가이샤
Priority date: 2013-12-05
Filing date: 2014-12-02
Publication date: 2021-05-26
Also published as: CN104696299A; TW201533365A; CN104696299B; TWI651486B; KR20150065587A; TWI646278B; CN104699128A; TW201533356A; CN104696569B; KR102187947B1; CN104696569A; CN104699128B; KR20150065585A; TWI650499B; KR20150065586A; KR102256901B1; TW201533355A

Abstract

[과제] 양호한 메인티넌스성을 유지하면서 장치를 더욱 소형화 혹은 집적화하는 것.
[해결수단] 본 발명의 유체공급 제어장치는 유로블록과 복수의 모듈을 구비하고 있다. 복수의 모듈은 유로블록에 착탈 가능한 착탈모듈을 적어도 하나 포함하고, 소정의 배열방향을 따라 대략 일직선상에 배치되어 있다. 유로블록에는 접속유로와 한 쌍의 암나사부가 형성되어 있다. 한 쌍의 암나사부는 착탈모듈을 착탈이 자유롭게 장착 가능하게 형성되어 있다. 접속유로는 다른 모듈끼리 접속하도록 형성되어 있다. 접속유로와 암나사부는 유로블록에서의 유체의 통류방향인 배열방향을 따라 대략 일직선상에 배치되어 있다.[Task] To further downsize or integrate devices while maintaining good maintainability.
[Solution means] The fluid supply control apparatus of the present invention includes a flow path block and a plurality of modules. The plurality of modules include at least one detachable module detachable from the flow path block, and are disposed in a substantially straight line along a predetermined arrangement direction. The flow path block is formed with a connection flow path and a pair of female threads. A pair of female screw portions are formed so that the detachable module can be freely mounted. The connection passage is formed so as to connect different modules. The connection passage and the female threaded portion are arranged in a substantially straight line along the arrangement direction, which is the direction of fluid flow in the passage block.

Description

Fluid supply control device {APPARATUS FOR CONTROLLING FLUID SUPPLY}

본 발명은 유체의 유로가 내부에 형성된 유로블록과, 이 유로블록에 장착된 복수의 모듈을 구비한 유체공급 제어장치에 관한 것이다.The present invention relates to a fluid supply control apparatus including a flow path block having a fluid flow path therein, and a plurality of modules mounted on the flow path block.

이러한 종류의 장치는 예를 들어, 반도체 제조공정에서의 가스공급장치로 이용되고 있다. 구체적으로는, 예를 들어, 하기 특허문헌 1에 개시된 가스공급유닛에서는 내부에 가스유로가 형성된 유로블록에 복수의 유체제어기기(유체제어밸브나 유량제어기 등)가 볼트에 의해 고정되어 있다. 또한, 이 복수의 유체제어기기는 유로블록의 길이방향을 따라 일렬로 배치되어 있다.This kind of device is used, for example, as a gas supply device in a semiconductor manufacturing process. Specifically, for example, in the gas supply unit disclosed in Patent Document 1 below, a plurality of fluid control devices (fluid control valves, flow controllers, etc.) are fixed by bolts to a flow path block in which a gas flow path is formed therein. Further, the plurality of fluid control devices are arranged in a row along the longitudinal direction of the flow path block.

그런데, 반도체 제조공정에 이용되는 상기한 가스공급장치는 다수 종류의 가스를 공급하도록 구성되는 경우가 있다. 이 경우, 상기와 같은 가스공급유닛이 복수 병렬로 설치되어 있다(예를 들어, 하기 특허문헌 2 참조).By the way, the above-described gas supply device used in a semiconductor manufacturing process may be configured to supply a plurality of types of gases. In this case, a plurality of gas supply units as described above are provided in parallel (for example, see Patent Document 2 below).

특허문헌 1: 일본 공개특허공보 2001-227657호Patent Document 1: Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2001-227657 특허문헌 2: 일본 공개특허공보 2006-46494호Patent Document 2: Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2006-46494

이러한 종류의 장치(특히, 상기와 같이 반도체 제조공정에 이용되는 가스공급장치)에 있어서, 양호한 메인티넌스성(maintainability)을 유지하면서 장치를 더욱 소형화 혹은 집적화하라는 요구가 있다. 본 발명은 상기에 예시한 사정 등을 감안하여 이루어진 것이다.In this kind of device (especially a gas supply device used in a semiconductor manufacturing process as described above), there is a demand to further downsize or integrate the device while maintaining good maintainability. The present invention has been made in view of the circumstances exemplified above and the like.

본 발명의 유체공급 제어장치는 유로블록과 복수의 모듈을 구비하고 있다. 상기 유로블록의 내부에는 유체의 유로가 형성되어 있다. 복수의 상기 모듈은 상기 유로블록에 장착되어 있다. 구체적으로, 복수의 상기 모듈은 소정의 배열방향을 따라 대략 일직선상에 배치되어 있다. 상기 모듈은 전형적으로는 유체제어밸브나 유량제어기 등의 유체제어기기이다. 또한, 복수의 상기 모듈 중 적어도 하나는 상기 유로블록에 착탈 가능한 착탈모듈이다.The fluid supply control apparatus of the present invention includes a flow path block and a plurality of modules. A fluid flow path is formed inside the flow path block. A plurality of the modules are mounted on the flow path block. Specifically, a plurality of the modules are disposed in a substantially straight line along a predetermined arrangement direction. The module is typically a fluid control device such as a fluid control valve or a flow controller. In addition, at least one of the plurality of modules is a detachable module detachable from the flow path block.

상기 유로블록에는 상기 유로로서의 접속유로와 한 쌍의 암나사부가 형성되어 있다. 한 쌍의 상기 암나사부는 상기 착탈모듈을 착탈이 자유롭게 장착 가능하게 형성되어 있다. 상기 접속유로는 다른 상기 모듈끼리 접속하도록 형성되어 있다. 다만, 본 명세서에 있어서 "착탈이 자유로운"이란 단순히 "착탈 가능"한 것뿐만 아니라, 그 유체공급 제어장치의 메인티넌스 담당자가 비교적 간단한 착탈 작업(볼트의 장착이나 그 해제 등)에 의해 용이하게 착탈하는 것이 가능한 것을 말하는 것으로 한다.The channel block is formed with a connection channel serving as the channel and a pair of female threaded portions. A pair of the female screw portions are formed to be freely attachable and detachable to the detachable module. The connection passage is formed so as to connect the other modules. However, in this specification, "removable" means not only "removable", but also the maintenance person in charge of the fluid supply control device can be easily attached and detached by relatively simple attaching and detaching operations (such as mounting or releasing bolts). It shall mean something that can be attached or detached.

본 발명의 제1 구성에서의 특징은, 상기 유로블록이 상기 배열방향으로 배열된 복수의 상기 모듈에 대해 일체불가분으로 형성되어 있는 동시에, 상기 접속유로와 상기 암나사부가 상기 배열방향을 따라(전형적으로는 상기 배열방향과 평행하게) 대략 일직선상에 배치된 것에 있다. 여기서, 상기 배열방향은 상기 유로블록에서 상기 유체의 통류방향과 평행한 방향이다. 또한, 상기 접속유로는, 전형적으로는 상기 배열방향으로 상기 유체를 통류시키도록 그 배열방향을 따라 형성되어 있다. 즉, 전형적으로 상기 유로블록은 상기 유체를 상기 배열방향(상기 배열방향과 평행한 방향)으로 통류시키도록 구성되어 있다.A feature of the first configuration of the present invention is that the flow path block is formed integrally with respect to the plurality of modules arranged in the arrangement direction, and the connection flow path and the female thread are along the arrangement direction (typically Are arranged in a substantially straight line (parallel to the above arrangement direction). Here, the arrangement direction is a direction parallel to the flow direction of the fluid in the flow path block. In addition, the connection flow path is typically formed along the arrangement direction so as to allow the fluid to flow in the arrangement direction. That is, typically, the flow path block is configured to flow the fluid in the arrangement direction (a direction parallel to the arrangement direction).

이러한 제1 구성에 의하면, 하나의 상기 유로블록에 대해 복수의 상기 모듈이 상기 배열방향으로 배열되면서 장착된다. 특히 복수의 상기 모듈 중 상기 착탈모듈은 한 쌍의 상기 암나사부에 의해 상기 유로블록에 대해 착탈이 자유롭게 장착(고정)된다. 또한, 다른 상기 모듈끼리는 상기 접속유로에 의해 접속된다.According to this first configuration, a plurality of the modules are mounted while being arranged in the arrangement direction for one of the flow path blocks. In particular, the detachable module among the plurality of modules is freely mounted (fixed) to the flow path block by a pair of the female screw portions. Further, the other modules are connected by the connection passage.

그런데 종래기술에서는, 상기 모듈(예를 들어, 유체제어밸브)을 상기 유로블록에 고정하기 위해 4개의 볼트가 이용되고 있었다. 이 4개의 볼트는 평면에서 보아 대략 직사각형으로 배치한 상태로 상기 유로블록에 장착된다. 이 때문에, 이러한 종래기술에서는 이 4개의 볼트의 배치에 대응하여 플랜지부나 나사구멍을 형성하기 위해 평면에서 보아 소정의 영역을 필요로 한다고 하는 제약이 있다. 이 때문에, 종래기술에서는 상기 모듈의 폭을 아무리 작게 해도 장치 전체의 폭 치수의 축소화에는 한계가 있었다. 극단적으로 말하면, 상기 모듈의 폭을 극한까지 작게 한 경우 나사구멍이 상기 모듈의 폭을 벗어나는 사태도 생길 수 있었다.However, in the prior art, four bolts have been used to fix the module (eg, a fluid control valve) to the flow path block. These four bolts are mounted on the flow path block in a state of being arranged in a substantially rectangular shape when viewed in plan view. For this reason, in this prior art, there is a limitation that a predetermined area is required in plan view in order to form a flange portion or a screw hole corresponding to the arrangement of these four bolts. For this reason, in the prior art, no matter how small the width of the module is, there is a limit to the reduction of the overall width of the device. In extreme terms, when the width of the module is reduced to the limit, the screw hole may be out of the width of the module.

이러한 점에서, 상기와 같은 본 발명의 제1 구성의 상기 유로블록에서는 상기 착탈모듈을 착탈이 자유롭게 장착하기 위한 한 쌍의 상기 암나사부와 다른 상기 모듈끼리 접속하기 위한 상기 접속유로가 상기 배열방향을 따라 대략 일직선상에 형성된다. 이로써, 상기한 종래기술과 같은 제약에 의해 장치 소형화에 발생하는 장애가 가급적으로 억제된다. 따라서, 이러한 구성에 의하면, 복수의 상기 모듈 중 적어도 하나를 상기 유로블록에 대해 착탈이 자유롭게 하면서 상기 유로블록 및 상기 유체공급 제어장치의 폭(상기 암나사부의 축방향 및 상기 배열방향과 직교하는 방향의 치수)을 가급적 작게 할 수 있다. 따라서, 이러한 구성에 의하면, 상기 유체공급 제어장치에 있어서 양호한 메인티넌스성을 유지하면서 소형화 혹은 집적화를 더욱 가능하게 한다.In this respect, in the flow path block of the first configuration of the present invention as described above, a pair of the female screw portions for freely mounting the detachable module and the connection passage for connecting the other modules to each other are arranged in the arrangement direction. It is formed in an approximately straight line along the way. Thereby, the obstacle that occurs in downsizing the device due to the limitations as in the prior art described above is suppressed as much as possible. Accordingly, according to this configuration, the width of the flow path block and the fluid supply control device (in a direction orthogonal to the axial direction of the female screw part and the arrangement direction) while freely attaching and detaching at least one of the plurality of modules to the flow path block. Dimensions) can be made as small as possible. Therefore, according to this configuration, it is possible to further downsize or integrate the fluid supply control device while maintaining good maintainability.

본 발명의 제2 구성에 있어서는, 상기 착탈모듈이 상기 유로블록의 표면에 장착되어 있다. 구체적으로, 상기 암나사부는 그 표면에서 개구하는 비관통구멍으로 형성되어 있다. 또한, 상기 접속유로는 상기 비관통구멍에서 깊이방향으로 상기 암나사부를 우회하도록 형성되어 있다. 따라서, 이러한 제2 구성에 의하면, 상기 유로블록 및 상기 유체공급 제어장치의 폭을 가급적 작게 할 수 있어, 상기 유체공급 제어장치에서의 추가적인 소형화 혹은 집적화 요구에 양호하게 대응하는 것이 가능해진다.In the second configuration of the present invention, the detachable module is mounted on the surface of the flow path block. Specifically, the female threaded portion is formed as a non-penetrating hole opening on its surface. Further, the connection passage is formed to bypass the female threaded portion in the depth direction from the non-through hole. Therefore, according to this second configuration, the width of the flow path block and the fluid supply control device can be made as small as possible, and it becomes possible to satisfactorily respond to further miniaturization or integration demands in the fluid supply control device.

본 발명의 제3 구성에 있어서는, 복수의 상기 모듈에는 유체제어밸브와 유량제어기가 포함되어 있다. 여기서, 상기 모듈로서의 상기 유체제어밸브는 상기 유체의 통류와 차단을 전환 가능하게 구성되어 있다. 또한, 상기 모듈로서의 상기 유량제어기는 상기 유체의 통류량을 제어하도록 구성되어 있다. 그리고, 이러한 제3 구성에 있어서는, 상기 유로블록에는 상기 착탈모듈로서의 상기 유체제어밸브를 착탈이 자유롭게 장착하기 위한 한 쌍의 상기 암나사부와 상기 착탈모듈로서의 상기 유량제어기를 착탈이 자유롭게 장착하기 위한 한 쌍의 상기 암나사부가 형성되어 있다.In the third configuration of the present invention, a fluid control valve and a flow controller are included in the plurality of modules. Here, the fluid control valve as the module is configured to be able to switch the flow of the fluid and the shut off. Further, the flow controller as the module is configured to control the amount of flow of the fluid. And, in this third configuration, a pair of female screw portions for freely attaching and detaching the fluid control valve as the detachable module and one for detachably attaching the flow controller as the detachable module to the flow path block. A pair of the female screw portions are formed.

이러한 제3 구성에 의하면, 상기 유체제어밸브 및 상기 유량제어기가 상기 유로블록에 대해 착탈이 자유로워진다. 따라서, 이러한 구성에 의하면, 상기 유체제어밸브 및 상기 유량제어기의 메인티넌스성이 양호한 상기 유체공급 제어장치가 가급적 작은 폭으로 실현 가능해진다.According to this third configuration, the fluid control valve and the flow controller are freely attached and detached from the flow path block. Accordingly, according to this configuration, the fluid supply control device having good maintainability of the fluid control valve and the flow controller can be realized with as small a width as possible.

본 발명의 제4 구성에 있어서는, 복수의 상기 모듈에는 상기 유체제어밸브와 상기 유량제어기가 포함되어 있다. 또한, 상기 유로블록에는 상기 착탈모듈로서의 상기 유량제어기를 착탈이 자유롭게 장착하기 위한 한 쌍의 상기 암나사부가 형성되어 있다. 즉, 상기 유량제어기는 상기 한 쌍의 상기 암나사부에 의해 상기 유로블록에 대해 착탈이 자유롭게 장착되어 있다. 한편, 이러한 제4 구성에 있어서는 상기 유체제어밸브(복수 존재하는 경우는 적어도 하나)는 상기 암나사부 없이 상기 유로블록과 일체화되어 있다.In the fourth configuration of the present invention, the fluid control valve and the flow controller are included in the plurality of modules. In addition, the flow path block is provided with a pair of female screw portions for freely attaching and detaching the flow controller as the detachable module. That is, the flow controller is detachably mounted to the flow path block by the pair of the female screw portions. On the other hand, in this fourth configuration, the fluid control valve (or at least one if there is a plurality) is integrated with the flow path block without the female threaded portion.

이러한 제4 구성에 의하면, 상기 유체제어밸브가 일체적으로 형성된 상기 유로블록에 대해 상기 착탈모듈로서의 상기 유량제어기가 한 쌍의 상기 암나사부에 의해 착탈이 자유롭게 장착된다. 따라서, 이러한 구성에 의하면, 조립이 용이하고 상기 유량제어기의 메인티넌스성이 양호한 상기 유체공급 제어장치가 가급적 작은 폭으로 실현 가능해진다. 또한, 상기 유체제어밸브가 상기 암나사부 없이 상기 유로블록과 일체화되어, 폭방향과는 다른 방향에 대한 소형화도 양호하게 이루어질 수 있다.According to this fourth configuration, the flow controller as the detachable module is detachably attached to the flow path block in which the fluid control valve is integrally formed by a pair of the female screw portions. Therefore, according to this configuration, the fluid supply control device, which is easy to assemble and has good maintainability of the flow controller, can be realized with as small a width as possible. In addition, since the fluid control valve is integrated with the flow path block without the female threaded portion, miniaturization in a direction different from the width direction can be achieved satisfactorily.

본 발명의 제5 구성에 있어서는, 상기 유체제어밸브 및 상기 유량제어기는 상기 유로블록에서의 일표면인 상측표면측에 집약 장착되어 있다. 따라서, 이러한 구성에 의하면, 상기 유체제어밸브 및 상기 유량제어기가 상기 상측표면측에 집약 장착된 상기 유체공급 제어장치가 상기 유체제어밸브 및 상기 유량제어기에서의 양호한 메인티넌스성이 유지되면서 가급적 작은 폭으로 실현 가능해진다.In the fifth configuration of the present invention, the fluid control valve and the flow controller are collectively mounted on an upper surface side, which is one surface of the flow path block. Therefore, according to this configuration, the fluid supply control device, in which the fluid control valve and the flow controller are intensively mounted on the upper surface side, maintains good maintenance properties in the fluid control valve and the flow controller, and has a width as small as possible. Becomes feasible.

본 발명의 제6 구성에 있어서는, 상기 유량제어기는 상기 유로블록에서의 일표면인 상측표면측에 형성되어 있다. 구체적으로, 상기 유량제어기는 상기 유로블록에서의 상기 상측표면측에 착탈이 자유롭게 장착되어 있다. 또한, 상기 유체제어밸브는 상기 상측표면과는 반대측의 일표면인 하측표면측에 형성되어 있다. 따라서, 이러한 구성에 의하면, 상기 유량제어기의 메인티넌스가 양호한 상기 유체공급 제어장치가 가급적 작은 폭 또한, 상기 배열방향에서의 가급적 작은 길이로 실현 가능해진다.In the sixth configuration of the present invention, the flow controller is formed on an upper surface side, which is one surface of the flow path block. Specifically, the flow controller is detachably mounted on the upper surface side of the flow path block. Further, the fluid control valve is formed on a lower surface side, which is one surface opposite to the upper surface. Accordingly, according to this configuration, the fluid supply control device having good maintenance of the flow controller can be realized with a width as small as possible and a length as small as possible in the arrangement direction.

본 발명의 제7 구성에 있어서는, 상기 유로블록은 상기 배열방향으로 배열된 복수의 상기 모듈의 세트를 상기 배열방향과 직교하는 폭방향으로 배열하면서 장착 가능하게 구성되어 있다. 본 발명의 제8 구성에 있어서는, 상기 유로블록은 복수의 상기 세트에 걸쳐 일체불가분으로 형성되어 있다. 본 발명의 제9 구성에 있어서는, 상기 유로블록은 복수의 상기 세트 각각에 대응하여 분할 가능하게 형성되어 있다. 이러한 구성에 의하면, 복수의 상기 세트가 병렬로 형성되어 복수 종류의 상기 유체를 공급 가능한 상기 유체공급 제어장치가 가급적 작은 폭으로 실현 가능해진다.In the seventh configuration of the present invention, the flow path block is configured to be mountable while arranging a plurality of sets of the modules arranged in the arrangement direction in a width direction orthogonal to the arrangement direction. In the eighth configuration of the present invention, the flow path block is integrally formed over a plurality of the sets. In the ninth configuration of the present invention, the flow path block is formed so as to be divisible corresponding to each of the plurality of sets. According to this configuration, the fluid supply control device capable of supplying a plurality of types of fluids by forming a plurality of the sets in parallel can be realized with a width as small as possible.

상기한 유체제어밸브는 다음과 같은 구성으로 되어 있다.The fluid control valve has the following configuration.

(1) 조작유체의 압력에 의해 피스톤을 슬라이딩시켜 밸브체를 밸브시트에 접촉 또는 이간시키는 유체제어밸브에 있어서, 제1 피스톤 및 제2 피스톤을 동축상에 가지는 것, 상기 제1 피스톤에는 상기 밸브체가 상기 밸브시트에 접촉하는 방향으로 탄성지지하는 하나의 제1 압축스프링이 동축상에 부착되어 있는 것, 상기 제2 피스톤에는 상기 밸브체가 상기 밸브시트에 접촉하는 방향으로 탄성지지하는 하나의 제2 압축스프링이 동축상에 부착되어 있는 것을 특징으로 한다.(1) A fluid control valve in which a piston is slid by a pressure of an operating fluid to contact or separate the valve body to or from a valve seat, wherein the first piston and the second piston are coaxial, and the first piston has the valve One first compression spring, which elastically supports the body in the direction in contact with the valve seat, is coaxially attached, and the second piston has one second elastically supported in the direction in which the valve body contacts the valve seat. It is characterized in that the compression spring is attached coaxially.

(2) (1)에 기재된 유체제어밸브에 있어서, 상기 제1 피스톤 및 상기 제2 피스톤은 동일 형상인 것, 상기 제1 압축스프링 및 상기 제2 압축스프링은 동일 형상인 것이 바람직하다.(2) In the fluid control valve described in (1), it is preferable that the first piston and the second piston have the same shape, and that the first compression spring and the second compression spring have the same shape.

(3) (1) 또는 (2)에 기재된 유체제어밸브에 있어서, 상기 제1 압축스프링에 의한 탄성지지력과 상기 제2 압축스프링에 의한 탄성지지력의 총합이 상기 밸브체를 상기 밸브시트에 접촉시키는 힘이 되는 것이 바람직하다.(3) In the fluid control valve according to (1) or (2), the sum of the elastic support force by the first compression spring and the elastic support force by the second compression spring causes the valve body to contact the valve seat. It is desirable to be power.

(4) (1) 내지 (3) 중 어느 하나에 기재된 유체제어밸브에 있어서, 상기 밸브시트가 형성되는 보디의 상부에는 홀더가 고정되고, 상기 밸브체와 상기 홀더 사이에는 벨로우즈가 배치되어 있는 것이 바람직하다.(4) In the fluid control valve according to any one of (1) to (3), a holder is fixed on an upper portion of the body on which the valve seat is formed, and a bellows is disposed between the valve body and the holder. desirable.

(5) (1) 내지 (4) 중 어느 하나에 기재된 유체제어밸브에 있어서, 상기 밸브시트가 형성되는 보디의 상부에는 홀더가 용접에 의해 고정되어 있는 것이 바람직하다.(5) In the fluid control valve according to any one of (1) to (4), it is preferable that a holder is fixed by welding on an upper portion of the body on which the valve seat is formed.

(6) (5)에 기재된 유체제어밸브에 있어서, 상기 피스톤을 구비하는 액츄에이터부는 상기 홀더로부터 착탈 가능한 것이 바람직하다.(6) In the fluid control valve described in (5), it is preferable that the actuator portion including the piston is detachable from the holder.

(7) (1) 내지 (6) 중 어느 하나에 기재된 유체제어밸브에 있어서, 튜브형상의 외장부재를 가지는 것이 바람직하다.(7) In the fluid control valve according to any one of (1) to (6), it is preferable to have a tubular exterior member.

(8) (7)에 기재된 유체제어밸브에 있어서, 상기 외장부재의 선단에 부착된 캡의 상면에 원터치 조인트를 가지는 것이 바람직하다.(8) In the fluid control valve described in (7), it is preferable to have a one-touch joint on the upper surface of the cap attached to the tip of the exterior member.

상기한 유체제어밸브는 다음과 같은 작용·효과를 가진다.The fluid control valve described above has the following functions and effects.

상기 (1)의 양태에 의하면, 제1 피스톤에 제1 압축스프링이, 제2 피스톤에 제2 압축스프링이 각각 동축상에 직렬로 부착되어 있기 때문에, 하나의 유체제어밸브의 폭을 좁게 하여 소형화할 수 있다. 따라서, 전체 설치면적을 감소시킬 수 있다.According to the aspect (1) above, since the first compression spring is attached to the first piston and the second compression spring is attached to the second piston in series, respectively, the width of one fluid control valve is narrowed to reduce the size. can do. Therefore, it is possible to reduce the total installation area.

여기서, 최근 반도체 제조장치에서는 여러 종류의 가스의 전환을 위해 설치해야 할 밸브의 수가 증가하여 전체 설치면적을 감소시키는 것이 과제로 되어 있다. 본 발명의 유체제어밸브에 의하면, 2개의 피스톤(제1 피스톤, 제2 피스톤)뿐만 아니라 밸브폐쇄를 위한 시일력을 높이기 위해 예를 들어, 6개의 피스톤을 겹쳐 쌓았다고 해도 액츄에이터부의 높이가 늘어날 뿐이다. 즉, 시일력을 높이면서도 유체제어밸브 자체의 폭은 좁은 상태 그대로이며 설치면적은 변화하지 않는다. 따라서, 피스톤의 수에 관계없이 유체제어밸브의 소형화를 실현할 수 있어 전체 설치면적의 감소를 실현할 수 있다. 또한, 피스톤의 수에 관계없이 밸브체의 재질이나 형상, 필요한 Cv치 등에 따라 임의의 수의 피스톤을 조합하는 것만으로 밸브폐쇄를 위해 필요한 시일력을 용이하게 설정하는 것이 가능해진다. 게다가, 어느 한쪽의 압축스프링이 열화되었다고 해도 다른 압축스프링의 탄성지지력에 의해 밸브체가 밸런스가 무너져서 기울어지거나 하는 일이 없이 밸브시트에 대해 균일한 시일력을 확보할 수 있다.Here, in recent semiconductor manufacturing apparatuses, the number of valves to be installed for conversion of various types of gases is increased, and thus, it is a problem to reduce the total installation area. According to the fluid control valve of the present invention, the height of the actuator portion only increases even if six pistons are stacked in order to increase the sealing force for closing the valve as well as two pistons (first and second pistons). . That is, while increasing the sealing force, the width of the fluid control valve itself remains narrow and the installation area does not change. Therefore, it is possible to realize the miniaturization of the fluid control valve regardless of the number of pistons, and thus the total installation area can be reduced. In addition, regardless of the number of pistons, it becomes possible to easily set the sealing force required for valve closing simply by combining an arbitrary number of pistons according to the material and shape of the valve body, the required Cv value, and the like. In addition, even if one compression spring is deteriorated, a uniform sealing force can be secured against the valve seat without causing the valve body to lose its balance due to the elastic support force of the other compression spring and tilt.

상기 (2)의 양태에 의하면, 복수의 피스톤과 압축스프링을 조합할 때 각각 동일 형상이기 때문에, 부품을 공통화할 수 있다. 따라서, 별도로 다른 형상의 피스톤, 압축스프링을 준비할 필요가 없다. 또한, 몰드 성형으로 부품을 제조하는 경우에는 제조하기 위한 비용을 삭감할 수 있다. 그리고, 부품을 공통화하는 것에 의해 조립시 작업의 효율성을 향상시킬 수 있다.According to the aspect (2) above, when a plurality of pistons and compression springs are combined, each of them has the same shape, so that parts can be shared in common. Therefore, it is not necessary to separately prepare a piston or compression spring of another shape. In addition, when manufacturing a part by mold molding, the cost for manufacturing can be reduced. And, by making the parts common, it is possible to improve the efficiency of work during assembly.

상기 (3)의 양태에 의하면, 제1 압축스프링, 제2 압축스프링 각각의 탄성지지력의 총합이 유체제어밸브를 폐쇄하기 위한 시일력이 되기 때문에, 압축스프링의 스프링 응력을 각각 낮출 수 있다. 그 때문에, 스프링의 내구성이 향상된다. 또한, 스프링의 설계 자유도가 높아져서 설계·제조가 용이해진다. 그리고, 공차에 편차가 있다고 해도 밸브폐쇄에 필요한 시일력을 확보할 수 있다.According to the aspect (3), since the sum of the elastic bearing forces of the first compression spring and the second compression spring becomes a sealing force for closing the fluid control valve, the spring stress of the compression spring can be reduced, respectively. Therefore, the durability of the spring is improved. In addition, the degree of freedom in designing the spring is increased, which facilitates design and manufacture. In addition, even if there is a variation in the tolerance, the sealing force required for closing the valve can be secured.

상기 (4)의 양태에 의하면, 밸브체와 홀더 사이에는 벨로우즈가 형성되어 있기 때문에, 다이아프램 밸브체와 비교하면 보다 작은 직경 내에서 긴 스트로크를 얻을 수 있다.According to the aspect (4) above, since the bellows are formed between the valve body and the holder, a longer stroke can be obtained within a smaller diameter compared to the diaphragm valve body.

상기 (5)의 양태에 의하면, 보디와 홀더는 용접에 의해 고정되어 밀봉되어 있기 때문에, 조립이나 메인티넌스시에 액츄에이터부를 용이하게 분리할 수 있어 작업의 효율성을 향상시킬 수 있다. 또한, 보디와 홀더는 밀봉되어 있기 때문에, 제어유체가 새는 일이 없어 안전성을 높일 수 있다.According to the aspect (5), since the body and the holder are fixed and sealed by welding, the actuator unit can be easily separated during assembly or maintenance, thereby improving work efficiency. In addition, since the body and holder are sealed, there is no leakage of the control fluid, so safety can be improved.

상기 (6)의 양태에 의하면, 액츄에이터부를 홀더로부터 착탈할 수 있으므로, 조립이나 메인티넌스시에 간단하게 액츄에이터부를 교환할 수 있어 작업의 효율성을 향상시킬 수 있다.According to the aspect (6) above, since the actuator unit can be detached from the holder, the actuator unit can be easily replaced during assembly or maintenance, thereby improving work efficiency.

상기 (7)의 양태에 의하면, 외장부재가 튜브형상이기 때문에, 유체제어밸브의 조립을 용이하게 실시할 수 있다.According to the aspect (7) above, since the exterior member has a tube shape, it is possible to easily assemble the fluid control valve.

상기 (8)의 양태에 의하면, 외장부재의 선단에 부착된 캡의 상면에 원터치 조인트를 배치하여 상면에 에어튜브를 접속할 수 있기 때문에, 설치면적의 증가를 억제할 수 있다.According to the aspect (8), since the air tube can be connected to the upper surface by disposing a one-touch joint on the upper surface of the cap attached to the front end of the exterior member, an increase in the installation area can be suppressed.

도 1은 본 발명 유체공급 제어장치의 한 실시형태인 가스공급장치에서의 유체 통류경로의 개략구성을 나타내는 플로우도.
도 2는 도 1에 나타내고 있는 가스공급장치의 구성의 일례를 나타내는 평면도.
도 3은 도 2에 나타내고 있는 가스공급장치(본 발명 유로블록의 한 실시형태를 포함한다)의 정면도.
도 4는 도 3에 나타내고 있는 본 발명 유로블록의 한 실시형태를 확대한 정면도.
도 5는 도 4에 나타내고 있는 유로블록의 평면도.
도 6은 도 5에 나타내고 있는 유로블록의 측면도.
도 7은 도 5에서의 7-7 단면도.
도 8은 본 발명 유로블록의 한 변형예의 평면도.
도 9는 도 8에 나타내고 있는 유로블록의 정면도.
도 10은 도 8에 나타내고 있는 유로블록의 측면도.
도 11은 본 발명 유체공급 제어장치의 개략구성을 나타내는 평면도.
도 12는 도 11에 나타내고 있는 유체공급 제어장치의 정면도.
도 13은 도 11에 나타내고 있는 유체공급 제어장치의 저면도.
도 14는 도 11에 나타내고 있는 유로블록을 확대한 정면도.
도 15는 본 발명 유체공급 제어장치의 개략구성을 나타내는 평면도.
도 16은 도 15에 나타내고 있는 유체공급 제어장치의 정면도.
도 17은 도 15에 나타내고 있는 유체공급 제어장치의 저면도.
도 18은 도 15에 나타내고 있는 유로블록을 확대한 정면도.
도 19는 본 발명의 한 변형예에 관련된 유체공급 제어장치의 개략구성을 나타내는 사시도.
도 20은 본 발명의 다른 변형예에 관련된 유체공급 제어장치의 분해 사시도.
도 21은 도 20에 나타내고 있는 제1 유로블록을 확대한 사시도.
도 22는 도 21에 나타내고 있는 제1 유로블록을 다른 시점에서 본 사시도.
도 23은 본 발명의 한 실시형태에 관련된 배관 조인트의 일례를 나타내는 평면도.
도 24는 도 23에 나타내고 있는 배관 조인트의 측면도.
도 25는 도 23에 나타내고 있는 배관 조인트의 저면도.
도 26은 본 발명의 한 실시형태에 관련된 배관 조인트의 다른 일례를 나타내는 평면도.
도 27은 도 26에 나타내고 있는 배관 조인트의 측면도.
도 28은 도 26에 나타내고 있는 배관 조인트의 저면도.
도 29는 도 23 내지 도 25에 나타내고 있는 배관 조인트와 도 26 내지 도 28에 나타내고 있는 배관 조인트를 연결하는 것에 의해 형성된, 본 발명의 한 실시형태에 관련된 배관 조인트 구조의 개략구성을 나타내는 측면도.
도 30은 도 23 내지 도 25에 나타내고 있는 배관 조인트와 도 26 내지 도 28에 나타내고 있는 배관 조인트를 연결하는 것에 의해 형성된, 본 발명의 한 실시형태에 관련된 배관 조인트 구조의 개략구성을 나타내는 평면도.
도 31은 비교예로서의 종래기술의 배관 조인트의 구성을 나타내는 평면도.
도 32는 본 발명의 한 실시형태에 관련된 유체공급 제어장치의 구성의 일례를 나타내는 평면도.
도 33은 도 32에 나타내고 있는 유체공급 제어장치의 측면도.
도 34는 도 33에 나타내고 있는 유로블록을 확대한 측면도.
도 35는 본 발명의 유체공급 제어장치의 구성의 다른 일례를 나타내는 측면도.
도 36은 본 발명의 배관 조인트의 한 변형예의 구성을 나타내는 평면도.
도 37은 도 36에 나타내고 있는 배관 조인트의 측면도.
도 38은 도 36에 나타내고 있는 배관 조인트의 저면도.
도 39는 본 발명의 배관 조인트의 다른 한 변형예의 구성을 나타내는 평면도.
도 40은 도 39에 나타내고 있는 배관 조인트의 측면도.
도 41은 도 39에 나타내고 있는 배관 조인트의 저면도.
도 42는 유체제어밸브의 단면도.
도 43은 도 42의 PV부 확대 단면도.
도 44는 밸브부의 단면도.
도 45는 피스톤의 단면도.
도 46은 피스톤의 사면도.
도 47은 유체제어밸브 조립시의 분해도.
도 48은 유체제어밸브의 한 변형예의 단면도.
도 49는 유체제어밸브의 다른 변형예의 단면도.
도 50은 유체제어밸브의 참고예의 단면도.
도 51은 밸브부착블록 내 유로 주변의 단면도.
도 52는 밸브부착블록 내 유로 주변의 단면도.
도 53은 종래 유체제어밸브의 단면도.
도 54는 종래 유체제어밸브의 단면도.1 is a flow diagram showing a schematic configuration of a fluid flow path in a gas supply device as an embodiment of a fluid supply control device of the present invention.
Fig. 2 is a plan view showing an example of the configuration of the gas supply device shown in Fig. 1;
Fig. 3 is a front view of the gas supply device shown in Fig. 2 (including one embodiment of the flow path block of the present invention);
Fig. 4 is an enlarged front view of an embodiment of the flow path block of the present invention shown in Fig. 3;
Fig. 5 is a plan view of the flow path block shown in Fig. 4;
Fig. 6 is a side view of the flow path block shown in Fig. 5;
7 is a cross-sectional view 7-7 in FIG. 5;
8 is a plan view of a modified example of the flow path block of the present invention.
Fig. 9 is a front view of the flow path block shown in Fig. 8;
Fig. 10 is a side view of the flow path block shown in Fig. 8;
11 is a plan view showing a schematic configuration of a fluid supply control device according to the present invention.
Fig. 12 is a front view of the fluid supply control device shown in Fig. 11;
Fig. 13 is a bottom view of the fluid supply control device shown in Fig. 11;
Fig. 14 is an enlarged front view of the flow path block shown in Fig. 11;
15 is a plan view showing a schematic configuration of a fluid supply control device according to the present invention.
Fig. 16 is a front view of the fluid supply control device shown in Fig. 15;
Fig. 17 is a bottom view of the fluid supply control device shown in Fig. 15;
Fig. 18 is an enlarged front view of the flow path block shown in Fig. 15;
Fig. 19 is a perspective view showing a schematic configuration of a fluid supply control device according to a modified example of the present invention.
20 is an exploded perspective view of a fluid supply control device according to another modified example of the present invention.
Fig. 21 is an enlarged perspective view of the first flow path block shown in Fig. 20;
Fig. 22 is a perspective view of the first flow path block shown in Fig. 21 as viewed from a different viewpoint.
23 is a plan view showing an example of a piping joint according to an embodiment of the present invention.
Fig. 24 is a side view of the piping joint shown in Fig. 23;
Fig. 25 is a bottom view of the piping joint shown in Fig. 23;
26 is a plan view showing another example of a piping joint according to an embodiment of the present invention.
Fig. 27 is a side view of the piping joint shown in Fig. 26;
Fig. 28 is a bottom view of the piping joint shown in Fig. 26;
Fig. 29 is a side view showing a schematic configuration of a pipe joint structure according to an embodiment of the present invention formed by connecting the pipe joint shown in Figs. 23 to 25 and the pipe joint shown in Figs. 26 to 28;
Fig. 30 is a plan view showing a schematic configuration of a piping joint structure according to an embodiment of the present invention, formed by connecting the piping joint shown in Figs. 23 to 25 and the piping joint shown in Figs. 26 to 28;
Fig. 31 is a plan view showing the configuration of a conventional piping joint as a comparative example.
32 is a plan view showing an example of a configuration of a fluid supply control device according to an embodiment of the present invention.
Fig. 33 is a side view of the fluid supply control device shown in Fig. 32;
Fig. 34 is an enlarged side view of the flow path block shown in Fig. 33;
Fig. 35 is a side view showing another example of the configuration of the fluid supply control device of the present invention.
Fig. 36 is a plan view showing a configuration of a modified example of the piping joint of the present invention.
Fig. 37 is a side view of the piping joint shown in Fig. 36;
Fig. 38 is a bottom view of the piping joint shown in Fig. 36;
39 is a plan view showing the configuration of another modified example of the piping joint of the present invention.
Fig. 40 is a side view of the piping joint shown in Fig. 39;
Fig. 41 is a bottom view of the piping joint shown in Fig. 39;
42 is a cross-sectional view of a fluid control valve.
43 is an enlarged cross-sectional view of the PV part of FIG. 42.
44 is a cross-sectional view of a valve part.
45 is a cross-sectional view of a piston.
46 is an oblique view of the piston.
47 is an exploded view when assembling the fluid control valve.
48 is a cross-sectional view of a modified example of the fluid control valve.
49 is a cross-sectional view of another modified example of the fluid control valve.
50 is a cross-sectional view of a reference example of a fluid control valve.
51 is a cross-sectional view of a flow path in a valve attachment block.
52 is a cross-sectional view of a flow path in a valve attachment block.
53 is a cross-sectional view of a conventional fluid control valve.
54 is a cross-sectional view of a conventional fluid control valve.

이하, 본 발명을 구체화한 한 실시형태를 도면에 기초하여 설명한다. 또한, 변형예는 한 실시형태의 설명 중에 삽입되면 실시형태의 설명의 이해를 방해할 수 있으므로 말미에 정리해 기재되어 있다.Hereinafter, an embodiment in which the present invention is embodied will be described based on the drawings. In addition, modified examples, if inserted in the description of one embodiment, may interfere with the understanding of the description of the embodiment, and thus are collectively described at the end.

<실시형태의 가스공급장치의 전체 구성><Overall configuration of the gas supply device of the embodiment>

먼저, 도 1을 참조하면서 본 발명에 관련된 유체공급 제어장치의 일례(한 실시형태)인 가스공급장치(10)에서의 유체 통류경로의 개략구성에 대해 설명한다. 가스공급장치(10)는 반도체 제조공정(예를 들어, 에칭 프로세스)에 이용되는 것으로, 복수(도 1의 도시에서는 8개)의 프로세스 가스를 이용 가능하게 구성되어 있다. 즉, 가스공급장치(10)는 공급용 가스(복수의 프로세스 가스를 혼합한 혼합 가스 또는 단일의 프로세스 가스)를 도시하지 않은 공급처(프로세스 챔버)에 공급 가능하게 구성되어 있다.First, a schematic configuration of a fluid passage path in a gas supply device 10, which is an example (an embodiment) of a fluid supply control device according to the present invention, will be described with reference to FIG. 1. The gas supply device 10 is used in a semiconductor manufacturing process (eg, an etching process), and is configured to be able to use a plurality of process gases (8 in the illustration of FIG. 1 ). That is, the gas supply device 10 is configured to be capable of supplying a supply gas (a mixed gas obtained by mixing a plurality of process gases or a single process gas) to a supply destination (process chamber) not shown.

구체적으로, 가스공급장치(10)에서는 가스공급유닛(10A, 10B, 10C, 10D, 10E, 10F, 10G 및 10H)이 병렬로 형성되어 있다. 가스공급유닛(10A∼10H)은 각각 다른 프로세스 가스 유입 라인(11)(프로세스 가스 유입 라인(11A, 11B, 11C, 11D, 11E, 11F, 11G 및 11H))에 접속되어 있다. 프로세스 가스 유입 라인(11A∼11H)은 각각 다른 종류의 프로세스 가스가 도입되게 되어 있다.Specifically, in the gas supply device 10, gas supply units 10A, 10B, 10C, 10D, 10E, 10F, 10G and 10H are formed in parallel. The gas supply units 10A to 10H are respectively connected to different process gas inlet lines 11 (process gas inlet lines 11A, 11B, 11C, 11D, 11E, 11F, 11G and 11H). Each of the process gas inlet lines 11A to 11H introduces different types of process gases.

또한, 가스공급유닛(10A∼10H)에는 퍼지 가스 유입 라인(12)이 접속되어 있다. 퍼지 가스 유입 라인(12)은 불활성 가스(예를 들어, 질소 가스)인 퍼지 가스를 가스공급유닛(10A∼10H)에 공급하도록 형성되어 있다. 그리고, 가스공급유닛(10A∼10H)에는 프로세스 가스 공급 라인(13)이 접속되어 있다.Further, a purge gas inlet line 12 is connected to the gas supply units 10A to 10H. The purge gas inlet line 12 is formed to supply a purge gas, which is an inert gas (eg, nitrogen gas), to the gas supply units 10A to 10H. Further, a process gas supply line 13 is connected to the gas supply units 10A to 10H.

즉, 가스공급유닛(10A∼10H)은 프로세스 가스 유입 라인(11)을 통해 도시하지 않은 프로세스 가스 공급원으로부터 공급된 프로세스 가스와 퍼지 가스 유입 라인(12)을 통해 도시하지 않은 퍼지 가스 공급원으로부터 공급된 퍼지 가스를 택일적으로 프로세스 가스 공급 라인(13)을 향해 통류시키도록 구성되어 있다. 그리고, 가스공급장치(10)는 프로세스 가스를 프로세스 가스 공급 라인(13)에 공급하도록 가스공급유닛(10A∼10H)을 동작시켜서 상기한 공급용 가스를 프로세스 가스 공급 라인(13)을 통해 상기한 공급처에 공급하도록 구성되어 있다.That is, the gas supply units 10A to 10H are supplied from a process gas supply source not shown through the process gas inlet line 11 and a purge gas supply source not shown through the purge gas inlet line 12. It is configured to flow purge gas alternatively toward the process gas supply line 13. In addition, the gas supply device 10 operates the gas supply units 10A to 10H to supply the process gas to the process gas supply line 13 so that the above-described supply gas is supplied through the process gas supply line 13. It is configured to supply to the source.

다만, 가스공급유닛(10A∼10H)은 각각 동일한 구성으로 되어 있다. 따라서, 이하, 가스공급유닛(10A)의 구성을 중심으로 하여 설명한다.However, the gas supply units 10A to 10H each have the same configuration. Therefore, a description will be given below focusing on the configuration of the gas supply unit 10A.

가스공급유닛(10A)에는 내부 메인 가스유로(14)와 내부 퍼지 가스유로(15)가 형성되어 있다. 내부 메인 가스유로(14) 및 내부 퍼지 가스유로(15)는 가스공급유닛(10A)의 내부에 형성된 가스유로이다. 내부 메인 가스유로(14)는 프로세스 가스 유입 라인(11)과 프로세스 가스 공급 라인(13) 사이에 형성되어 있다. 즉, 프로세스 가스 유입 라인(11)은 내부 메인 가스유로(14)를 통해 프로세스 가스 공급 라인(13)에 접속되어 있다. 또한, 내부 퍼지 가스유로(15)는 퍼지 가스의 유로이며, 퍼지 가스 유입 라인(12)와 내부 메인 가스유로(14)를 접속하도록 형성되어 있다.The gas supply unit 10A has an internal main gas flow passage 14 and an internal purge gas flow passage 15 formed therein. The inner main gas passage 14 and the inner purge gas passage 15 are gas passages formed inside the gas supply unit 10A. The inner main gas flow path 14 is formed between the process gas inlet line 11 and the process gas supply line 13. That is, the process gas inlet line 11 is connected to the process gas supply line 13 through the internal main gas flow path 14. Further, the internal purge gas flow path 15 is a flow path for purge gas, and is formed to connect the purge gas inlet line 12 and the internal main gas flow path 14.

가스공급유닛(10A)은 모듈로서의 유량제어기(16)를 구비하고 있다. 유량제어기(16)는 내부 메인 가스유로(14)에서 내부 퍼지 가스유로(15)와의 접속 개소보다 프로세스 가스의 통류방향에서의 하류측(프로세스 가스 공급 라인(13)측)에 개재되어 있다. 또한, 가스공급유닛(10A) 등에서의 프로세스 가스의 통류방향을 이하 "가스통류방향"이라고 부른다. 유량제어기(16)는 이른바 "매스 플로우 컨트롤러"라고 불리는 것으로, 내부 메인 가스유로(14)에서의 가스의 질량유량에 대응하는 검출신호를 출력 가능함과 동시에 이러한 질량유량을 외부(마이크로 컴퓨터 등)로부터의 제어신호에 의해 제어 가능하게 구성되어 있다.The gas supply unit 10A includes a flow controller 16 as a module. The flow controller 16 is interposed on the downstream side in the flow direction of the process gas (process gas supply line 13 side) than the connection point of the internal main gas flow passage 14 with the internal purge gas flow passage 15. In addition, the flow direction of the process gas in the gas supply unit 10A or the like is hereinafter referred to as "gas flow direction". The flow controller 16 is a so-called "mass flow controller", and can output a detection signal corresponding to the mass flow rate of the gas in the internal main gas flow path 14, and at the same time, transmit the mass flow rate from the outside (microcomputer, etc.). It is configured to be controllable by the control signal of.

또한, 가스공급유닛(10A)은 모듈로서의 유체제어밸브(17)(유체제어밸브 액츄에이터(17a)를 포함한다), 유체제어밸브(18)(유체제어밸브 액츄에이터(18a)를 포함한다) 및 유체제어밸브(19)(유체제어밸브 액츄에이터(19a)를 포함한다)를 구비하고 있다. 유체제어밸브(17)는 상기한 접속 개소보다 가스통류방향에서의 상류측(프로세스 가스 유입 라인(11)측)에서 내부 메인 가스유로(14)에 개재되어 있다. 유체제어밸브(18)는 내부 퍼지 가스유로(15)에 개재되어 있다. 유체제어밸브(19)는 유량제어기(16)보다 가스통류방향에서의 하류측에서 내부 메인 가스유로(14)에 개재되어 있다.In addition, the gas supply unit 10A includes a fluid control valve 17 (including the fluid control valve actuator 17a), a fluid control valve 18 (including the fluid control valve actuator 18a) as a module, and fluid. A control valve 19 (including a fluid control valve actuator 19a) is provided. The fluid control valve 17 is interposed in the internal main gas flow passage 14 on the upstream side (process gas inlet line 11 side) in the gas flow direction than the above-described connection point. The fluid control valve 18 is interposed in the internal purge gas flow path 15. The fluid control valve 19 is interposed in the internal main gas flow passage 14 on the downstream side in the gas flow direction than the flow controller 16.

유체제어밸브(17)는 이른바 "에어 오퍼레이트 밸브"로서의 구성을 구비한 개폐밸브로서, 유체제어밸브 액츄에이터(17a)의 단부에는 개폐제어용 에어 배관을 접속하기 위한 조인트부가 마련되어 있다(유체제어밸브(18 및 19)도 마찬가지이다). 유체제어밸브(17)는 프로세스 가스 유입 라인(11)으로부터 유량제어기(16)로 향하는 프로세스 가스의 유입과 그 차단을 전환 가능하게 형성되어 있다. 유체제어밸브(18)는 내부 메인 가스유로(14)에 대한 퍼지 가스의 유입과 그 차단을 전환 가능하게 형성되어 있다. 유체제어밸브(19)는 프로세스 가스 공급 라인(13)으로 향하는 가스의 유입과 그 차단을 전환 가능하게 형성되어 있다.The fluid control valve 17 is an on-off valve having a configuration as a so-called "air operated valve", and a joint part for connecting an air pipe for opening/closing control is provided at the end of the fluid control valve actuator 17a (fluid control valve ( 18 and 19) as well). The fluid control valve 17 is formed so as to be able to switch the inflow of the process gas from the process gas inlet line 11 to the flow controller 16 and its interruption. The fluid control valve 18 is formed to be capable of switching the inflow and shut-off of the purge gas into the internal main gas flow path 14. The fluid control valve 19 is formed so as to be capable of switching the inflow and shut-off of gas to the process gas supply line 13.

도 2를 참조하면, 가스공급유닛(10A∼10H)에서는 유체제어밸브(17), 유체제어밸브(18), 유량제어기(16) 및 유체제어밸브(19)가 가스통류방향에 대해 이 순서대로 배치되어 있다. 또한, 유체제어밸브(17∼19) 및 유량제어기(16)는 가스통류방향을 따라(구체적으로는 가스통류방향과 평행하게) 대략 일직선상에 배열되어 있다. 다만, 이하 가스공급유닛(10A) 등에서의 유체제어밸브(17), 유체제어밸브(18), 유량제어기(16) 및 유체제어밸브(19)가 배열되어 있는 방향을 "기기배열방향"이라고 부른다. 본 구성에서는, 가스통류방향은 기기배열방향과 평행하고, 유체제어밸브(17)로부터 유체제어밸브(18) 및 유량제어기(16)를 거쳐 유체제어밸브(19)로 향하는 방향(도 2에서 왼쪽에서 오른쪽을 향한 방향)으로 설정되어 있다.2, in the gas supply units 10A to 10H, the fluid control valve 17, the fluid control valve 18, the flow controller 16, and the fluid control valve 19 are in this order with respect to the gas flow direction. It is placed. Further, the fluid control valves 17 to 19 and the flow controller 16 are arranged in a substantially straight line along the gas flow direction (specifically, parallel to the gas flow direction). However, hereinafter, the direction in which the fluid control valve 17, the fluid control valve 18, the flow controller 16, and the fluid control valve 19 are arranged in the gas supply unit 10A, etc. is referred to as the "equipment arrangement direction". . In this configuration, the gas flow direction is parallel to the device arrangement direction, and the direction from the fluid control valve 17 through the fluid control valve 18 and the flow controller 16 to the fluid control valve 19 (left in Fig. 2). To the right).

또한, 본 구성에서는 가스공급유닛(10A∼10D)에서의 각 유량제어기(16)는 가스통류방향에 대해 대략 동일한 위치에 배치되어 있다(유체제어밸브(17∼19)에 대해서도 마찬가지이다). 즉, 가스공급유닛(10A∼10D)에서의 각 유량제어기(16)는 폭방향(가스통류방향 및 후술하는 유로블록(20)의 두께방향과 직교하는 방향: 도 2에서 상하방향)을 따라 대략 일직선상에 배열되어 있다. 마찬가지로 가스공급유닛(10E∼10H)에서의 각 유량제어기(16)는 가스통류방향에 대해 대략 동일한 위치에 배치되어 있다(유체제어밸브(17, 18 및 19)에 대해서도 마찬가지이다).Further, in this configuration, each of the flow controllers 16 in the gas supply units 10A to 10D are disposed at substantially the same position with respect to the gas flow direction (the same applies to the fluid control valves 17 to 19). That is, each flow rate controller 16 in the gas supply units 10A to 10D is approximately along the width direction (the gas flow direction and the direction orthogonal to the thickness direction of the flow path block 20 to be described later: the vertical direction in FIG. 2). They are arranged in a straight line. Similarly, each of the flow controllers 16 in the gas supply units 10E to 10H are disposed at substantially the same position with respect to the gas flow direction (the same applies to the fluid control valves 17, 18, and 19).

가스공급장치(10)(가스공급유닛(10A))는 대략 평판형상 부재인 상기한 유로블록(20)(장착 대상)을 구비하고 있다. 본 구성에서는, 유로블록(20)에는 유량제어기(16) 및 유체제어밸브(17, 18 및 19)가 기기배열방향으로 배열되면서 착탈이 자유롭게 장착(고정)되어 있다. 유체제어밸브(17), 유체제어밸브(18), 유량제어기(16) 및 유체제어밸브(19)는 이 순서대로 기기배열방향으로 배열되면서 유로블록(20)에 장착됨으로써 그 유로블록(20)의 내부에 형성된 가스유로(자세한 것은 후술한다)에 의해 가스를 주고 받을 수 있게 접속되게 되어 있다. 즉, 유로블록(20)은 기기배열방향으로 배열된 상태로 유체제어밸브(17), 유체제어밸브(18), 유량제어기(16) 및 유체제어밸브(19)가 장착됨으로써 이들을 이 순서대로 접속하도록 구성되어 있다.The gas supply device 10 (gas supply unit 10A) is provided with the above-described flow path block 20 (to be mounted) which is a substantially flat member. In this configuration, the flow controller 16 and the fluid control valves 17, 18, and 19 are freely attached (fixed) to the flow path block 20 while being arranged in the device arrangement direction. The fluid control valve 17, the fluid control valve 18, the flow controller 16, and the fluid control valve 19 are arranged in the device arrangement direction in this order and mounted on the flow path block 20, so that the flow control valve 20 It is connected so that gas can be exchanged through a gas flow path (detailed later) formed in the inside of the device. That is, the flow path block 20 is connected in this order by installing the fluid control valve 17, the fluid control valve 18, the flow controller 16, and the fluid control valve 19 in a state arranged in the device arrangement direction. It is structured to be.

또한, 유로블록(20)은 상기한 기기배열방향으로 배열된 유체제어밸브(17), 유체제어밸브(18), 유량제어기(16) 및 유체제어밸브(19)의 세트를 폭방향으로 복수(본 구체예에서는 4개) 장착 가능하게 구성되어 있다. 구체적으로 본 구성에서는, 하나의 유로블록(20)은 복수의 가스공급유닛(10A∼10D)을 폭방향으로 배열하면서 장착 가능하게 구성되어 있다. 이 유로블록(20)은 복수의 가스공급유닛(10A∼10D)에 걸쳐 분리 불가능하게 일체적(구체적으로는 조인트 없이 일체)으로 형성되어 있다. 마찬가지로 또한, 하나의 유로블록(20)은 복수의 가스공급유닛(10E∼10H)을 폭방향으로 배열하면서 장착 가능하게 구성되어 있다. 이 유로블록(20)은 복수의 가스공급유닛(10E∼10H)에 걸쳐 분리 불가능하게 일체적(구체적으로는 조인트없이 일체)으로 형성되어 있다.In addition, the flow path block 20 includes a plurality of sets of fluid control valves 17, fluid control valves 18, flow controllers 16, and fluid control valves 19 arranged in the above-described device arrangement direction in the width direction ( In this specific example, it is comprised so that 4) can be attached. Specifically, in this configuration, one flow path block 20 is configured to be mountable while arranging a plurality of gas supply units 10A to 10D in the width direction. The flow path block 20 is formed integrally (specifically, integrally without a joint) in a non-separable manner across a plurality of gas supply units 10A to 10D. Similarly, one flow path block 20 is configured to be mountable while arranging a plurality of gas supply units 10E to 10H in the width direction. The flow path block 20 is formed integrally (specifically, integrally without a joint) so as not to be separated across a plurality of gas supply units 10E to 10H.

즉, 본 구성에 있어서는 가스공급장치(10)는 가스공급유닛(10A∼10D)에 대응하는 유로블록(20)(분리 불가능하게 일체)과 가스공급유닛(10E∼10H)에 대응하는 유로블록(20)(분리 불가능하게 일체)을 구비하고 있다. 양자는 서로 공급용 가스나 퍼지 가스를 주고 받을 수 있게 인접한 상태로 서로 결합되게 되어 있다.That is, in this configuration, the gas supply device 10 includes a flow path block 20 (integral non-separable) corresponding to the gas supply units 10A to 10D and a flow path block corresponding to the gas supply units 10E to 10H. 20) (integral to be non-separable) is provided. Both are coupled to each other in an adjacent state so that supply gas or purge gas can be exchanged with each other.

<실시형태의 유로블록의 개략구성><Schematic configuration of the flow path block of the embodiment>

도 3 내지 도 7은 본 발명의 한 실시형태에 관련된 유로블록(20)의 상세한 구성을 나타내고 있다. 이하, 도 3 내지 도 7을 이용하고 또한, 필요에 따라 다른 도면도 참조하면서 본 실시형태의 유로블록(20)의 구체적 구성에 대해 상세하게 설명한다.3 to 7 show a detailed configuration of a flow path block 20 according to an embodiment of the present invention. Hereinafter, the specific configuration of the flow path block 20 of the present embodiment will be described in detail with reference to FIGS. 3 to 7 and referring to other drawings as necessary.

도 2 및 도 3을 참조하면, 가스공급유닛(10A∼10D 및 10E∼10H)에서는 유량제어기(16) 및 유체제어밸브(17, 18 및 19)는 유로블록(20)에서의 일표면인 상측표면(20a)(장착면)측에 집약 장착되어 있다. 또한, 유로블록(20)에서의 상측표면(20a)과는 반대측의 일표면을 이하 "하측표면(20b)"이라 부른다. 또한, 유로블록(20)에서의 상측표면(20a) 및 하측표면(20b)과 직교하는 표면이면서 법선방향이 폭방향이 되는 면을 이하 "단면(端面)(20c)"이라 부른다.2 and 3, in the gas supply units 10A to 10D and 10E to 10H, the flow controller 16 and the fluid control valves 17, 18 and 19 are the upper side which is one surface of the flow path block 20. It is intensively attached to the surface 20a (mounting surface) side. In addition, one surface of the flow path block 20 on the opposite side to the upper surface 20a is hereinafter referred to as "lower surface 20b". Further, a surface of the flow path block 20 that is a surface orthogonal to the upper surface 20a and the lower surface 20b and whose normal direction is the width direction is hereinafter referred to as "cross-section 20c".

이하, 먼저, 도 2 내지 도 4를 참조하면서 하나의 유로블록(20)에서의 유체제어밸브(17), 유체제어밸브(18), 유량제어기(16) 및 유체제어밸브(19) 사이의 접속 및 가스공급유닛(10A∼10D) 사이의 상호접속에 관한 내부의 가스유로의 개략적인 구성에 대해 설명한다.Hereinafter, first, the connection between the fluid control valve 17, the fluid control valve 18, the flow controller 16 and the fluid control valve 19 in one flow path block 20 with reference to FIGS. 2 to 4 And a schematic configuration of an internal gas flow path relating to interconnection between the gas supply units 10A to 10D.

유로블록(20)은 스테인리스강에 의해 형성된 대략 판형의 부재이며, 그 내부에서 프로세스 가스를 상기한 가스통류방향, 즉, 기기배열방향으로 통류시키도록 구성되어 있다. 구체적으로는 유로블록(20)의 내부에는 대략 U자형의 접속유로(21)가 형성되어 있다. 본 발명의 "제1 유로"를 구성하는 접속유로(21)는 유로블록(20)의 가스통류방향에서의 상류측 위치(가스통류방향에서의 상류측 단부쪽의 위치)에 형성되어 있다.The flow path block 20 is a substantially plate-shaped member formed of stainless steel, and is configured to flow process gas in the above-described gas flow direction, that is, the device arrangement direction. Specifically, a substantially U-shaped connection passage 21 is formed inside the passage block 20. The connection passage 21 constituting the "first flow passage" of the present invention is formed at an upstream position of the passage block 20 in the gas flow direction (position on the upstream end side in the gas flow direction).

접속유로(21)는 프로세스 가스를 상기한 가스통류방향으로 통류시키도록 평면에서 보았을 때(유로블록(20)의 두께방향으로 본 경우) 가스통류방향을 따라 대략 일직선상에 형성되어 있다. 구체적으로는, 접속유로(21)는 상측표면(20a)에서 개구하는 입구포트(21a) 및 출구포트(21b)를 가지고 있다. 즉, 입구포트(21a)는 프로세스 가스 유입 라인(11)으로부터의 프로세스 가스의 유입구로 접속유로(21)의 가스통류방향에서의 상류측 단부에 형성되어 있다. 마찬가지로 출구포트(21b)는 입구포트(21a)로부터 유입된 프로세스 가스의 유출구로 접속유로(21)의 가스통류방향에서의 하류측 단부에 형성되어 있다.The connection passage 21 is formed in a substantially straight line along the gas passage direction when viewed in plan view (when viewed in the thickness direction of the passage block 20) so as to allow the process gas to flow in the above-described gas passage direction. Specifically, the connection passage 21 has an inlet port 21a and an outlet port 21b that open from the upper surface 20a. That is, the inlet port 21a is formed at the upstream end of the connection passage 21 in the gas flow direction to the inlet port of the process gas from the process gas inlet line 11. Similarly, the outlet port 21b is formed at the downstream end of the connection passage 21 in the gas flow direction to the outlet of the process gas flowing in from the inlet port 21a.

입구포트(21a)로부터 하측표면(20b)을 향해 입구통로(21c)가 형성되어 있다. 마찬가지로 출구포트(21b)로부터 하측표면(20b)을 향해 출구통로(21d)가 형성되어 있다. 입구통로(21c) 및 출구통로(21d)는 원통형의 구멍이며 유로블록(20)의 두께방향과 평행하게 형성되어 있다.An inlet passage 21c is formed from the inlet port 21a toward the lower surface 20b. Similarly, an outlet passage 21d is formed from the outlet port 21b toward the lower surface 20b. The inlet passage 21c and the outlet passage 21d are cylindrical holes and are formed parallel to the thickness direction of the passage block 20.

입구통로(21c) 및 출구통로(21d)에서 하측표면(20b)측의 단부는 접속로(21e)에 의해 서로 접속되어 있다. 접속로(21e)는 하측표면(20b)측으로부터 형성된 홈을 스테인리스강으로 형성된 평판형상(평면에서 보아 타원형)의 덮개부(21f)에 의해 용접(예를 들어, 레이저 용접이나 전자빔 용접) 등으로 기밀적으로 폐쇄하는 것에 의해 형성된 공간이며 가스통류방향과 평행하게 형성되어 있다.Ends of the inlet passage 21c and the outlet passage 21d on the lower surface 20b side are connected to each other by a connection passage 21e. In the connection path 21e, a groove formed from the lower surface 20b side is welded (for example, laser welding or electron beam welding) by a flat plate-shaped (elliptical in plan view) cover part 21f formed of stainless steel. It is a space formed by hermetically closing it and is formed parallel to the gas flow direction.

접속유로(21)보다 가스통류방향에서의 하류측이며 유체제어밸브(17, 18)와 유량제어기(16) 사이에는 접속유로(22)가 형성되어 있다. 본 발명의 "제1 유로"를 구성하는 접속유로(22)는 상기한 가스통류방향으로 가스를 통류시키도록 유로블록(20)의 내부에서 가스통류방향을 따라 형성된 가스유로이다. 접속유로(22)는 상기한 접속유로(21)와 동일한 구조를 가지고 있으며, 유체제어밸브(17 또는 18)와 유량제어기(16)를 접속하도록 형성되어 있다.A connection passage 22 is formed on the downstream side in the gas flow direction than the connection passage 21 and between the fluid control valves 17 and 18 and the flow controller 16. The connection passage 22 constituting the "first passage" of the present invention is a gas passage formed in the passage block 20 along the gas passage direction so as to pass gas in the gas passage direction. The connection passage 22 has the same structure as the connection passage 21 described above, and is formed to connect the fluid control valve 17 or 18 and the flow controller 16.

구체적으로는, 접속유로(22)는 상기한 접속유로(21)와 마찬가지로 입구포트(22a), 출구포트(22b), 입구통로(22c), 출구통로(22d), 접속로(22e) 및 덮개부(22f)를 가지고 있다. 접속유로(22)는 유체제어밸브(17 또는 18)를 거쳐 입구포트(22a)로 유입된 가스를 입구통로(22c), 접속로(22e) 및 출구통로(22d)를 통해 출구포트(22b)에 전달하여 출구포트(22b)로부터 배출함으로써, 그 가스를 유체제어밸브(17 또는 18)로부터 유량제어기(16)를 향해 통류 가능하게 형성되어 있다.Specifically, the connection passage 22 is the inlet port 22a, the outlet port 22b, the inlet passage 22c, the outlet passage 22d, the connection passage 22e, and the cover similar to the connection passage 21 described above. It has a minor (22f). The connection passage 22 passes the gas flowing into the inlet port 22a through the fluid control valve 17 or 18 through the inlet passage 22c, the connection passage 22e, and the outlet passage 22d through the outlet port 22b. And discharged from the outlet port 22b to allow the gas to flow from the fluid control valve 17 or 18 toward the flow controller 16.

유로블록(20)의 가스통류방향에서의 접속유로(21 및 22)보다 하류측의 위치에는 접속유로(23)가 형성되어 있다. 즉, 접속유로(23)는 유로블록(20)의 가스통류방향에서의 하류측의 위치(하류측의 단부쪽 위치)에 형성되어 있다. 본 발명의 "제1 유로"를 구성하는 접속유로(23)는 상기한 가스통류방향으로 가스를 통류시키도록 유로블록(20)의 내부에서 가스통류방향을 따라 형성된 가스유로이며, 상기한 접속유로(21 및 22)와 동일한 구조로 되어 있다. 이 접속유로(23)는 유량제어기(16)와 유체제어밸브(19)를 접속하도록 형성되어 있다.A connection flow path 23 is formed at a position downstream of the connection flow paths 21 and 22 in the gas flow direction of the flow path block 20. That is, the connection passage 23 is formed at a position on the downstream side of the passage block 20 in the gas flow direction (position toward the end of the downstream side). The connection flow path 23 constituting the "first flow path" of the present invention is a gas flow path formed along the gas flow direction inside the flow path block 20 so that gas flows in the gas flow direction described above, and the connection flow path described above It has the same structure as (21 and 22). This connection passage 23 is formed to connect the flow controller 16 and the fluid control valve 19.

구체적으로는, 접속유로(23)는 상기한 접속유로(21 및 22)와 마찬가지로 입구포트(23a), 출구포트(23b), 입구통로(23c), 출구통로(23d), 접속로(23e) 및 덮개부(23f)를 가지고 있다. 접속유로(23)는 유량제어기(16)를 거쳐 입구포트(23a)로 유입된 가스를 입구통로(23c), 접속로(23e) 및 출구통로(23d)를 통해 출구포트(23b)에 전달하여 출구포트(23b)로부터 배출함으로써, 그 가스를 유량제어기(16)로부터 유체제어밸브(19)를 향해 통류 가능하게 형성되어 있다.Specifically, the connection passage 23 is the inlet port 23a, the outlet port 23b, the inlet passage 23c, the outlet passage 23d, and the connection passage 23e, similar to the connection passages 21 and 22 described above. And a cover portion 23f. The connection passage 23 transmits the gas flowing into the inlet port 23a through the flow controller 16 to the outlet port 23b through the inlet passage 23c, the connection passage 23e, and the outlet passage 23d. By discharging from the outlet port 23b, the gas is formed so as to flow from the flow controller 16 toward the fluid control valve 19.

상기와 같이, 접속유로(21, 22 및 23)는 각각 평면에서 보아 가스통류방향을 따라 대략 일직선상에 형성되어 있다. 또한, 접속유로(21, 22 및 23)는 평면에서 보아 가스통류방향을 따라 대략 일직선상에 배치되어 있다. 여기서, 접속유로(21, 22 및 23)가 "대략 일직선상에 배치되어 있다"는 것은 반드시 이 평면에서 보아 중심이 정확하게 특정 직선상에 위치하는 것까지 요구하는 것은 아니다. 즉, 예를 들어, 이것이 평면에서 보아 특정 직선과 겹쳐지도록 배치되어 있다면 "대략 일직선상에 배치되어 있다"고 할 수 있다.As described above, the connection passages 21, 22, and 23 are formed in a substantially straight line along the gas flow direction, respectively, when viewed from a plan view. Further, the connection passages 21, 22, and 23 are arranged in a substantially straight line along the gas flow direction when viewed in plan view. Here, the fact that the connection passages 21, 22 and 23 are "arranged on an approximately straight line" does not necessarily require that the center is positioned on a specific straight line when viewed from this plane. That is, for example, if it is arranged so as to overlap with a specific straight line when viewed in a plan view, it can be said that it is "aligned approximately on a straight line".

유로블록(20)의 상측표면(20a)에서 유체제어밸브(18)에 대응하는 위치에는 퍼지 가스 공급포트(24)가 유체제어밸브(18)를 향해 개구하도록 형성되어 있다. 퍼지 가스 공급포트(24)는 평면에서 보아 접속유로(22)에서의 입구포트(22a)에 대해 접속유로(21)에서의 출구포트(21b)와 대략 점대칭의 위치에 배치되어 있다. 즉, 접속유로(21)에서의 출구포트(21b)와 퍼지 가스 공급포트(24)와 접속유로(22)에서의 입구포트(22a)는 이 순서대로 평면에서 보아 가스통류방향을 따라 대략 일직선상에 배치되어 있다.At a position corresponding to the fluid control valve 18 on the upper surface 20a of the flow path block 20, a purge gas supply port 24 is formed to open toward the fluid control valve 18. The purge gas supply port 24 is disposed at a position substantially point-symmetrical to the outlet port 21b in the connection passage 21 with respect to the inlet port 22a in the connection passage 22 in plan view. That is, the outlet port (21b) and the purge gas supply port (24) in the connection passage (21), and the inlet port (22a) from the connection passage (22) are in this order in a substantially straight line along the gas flow direction when viewed from a plane. It is placed in.

퍼지 가스 공급포트(24)는 복수의 가스공급유닛(10A, 10B …)에 걸치도록 장치 폭방향을 따라 형성된 내부 퍼지 가스 라인(25)과 연통하여 유체제어밸브(18)에 퍼지 가스를 공급하도록 형성되어 있다. 본 발명의 "제2 유로"를 구성하는 내부 퍼지 가스 라인(25)은 유로블록(20)의 내부에 형성된 퍼지 가스유로이며, 퍼지 가스 유입 라인(12)(도 1 참조)에 접속되어 있다. 또한, 퍼지 가스 공급포트(24)와 내부 퍼지 가스 라인(25) 사이에는 유로블록(20)의 두께방향과 평행한 짧은 가스유로가 형성되어 있다. 즉, 가스공급유닛(10A∼10D)에 대응하는 각 퍼지 가스 공급포트(24)는 각각 상기한 짧은 가스유로를 통해 내부 퍼지 가스 라인(25)에 접속되어 있다.The purge gas supply port 24 communicates with the internal purge gas line 25 formed along the width direction of the device so as to span the plurality of gas supply units 10A, 10B... to supply the purge gas to the fluid control valve 18. Is formed. The internal purge gas line 25 constituting the "second flow path" of the present invention is a purge gas flow path formed in the flow path block 20, and is connected to the purge gas inlet line 12 (see Fig. 1). In addition, a short gas flow path parallel to the thickness direction of the flow path block 20 is formed between the purge gas supply port 24 and the internal purge gas line 25. That is, each of the purge gas supply ports 24 corresponding to the gas supply units 10A to 10D is connected to the internal purge gas line 25 through the above-described short gas flow path, respectively.

본 실시형태에서는, 내부 퍼지 가스 라인(25)은 유체제어밸브(18)에 대응하는 위치(유체제어밸브(18)의 거의 바로 밑)에 형성되어 있다. 구체적으로는, 내부 퍼지 가스 라인(25)은 평면에서 보아 기기배열방향에서의 위치가 퍼지 가스 공급포트(24)와 대략 일치하도록 배치되어 있다.In this embodiment, the internal purge gas line 25 is formed at a position corresponding to the fluid control valve 18 (almost immediately below the fluid control valve 18). Specifically, the internal purge gas line 25 is arranged so that the position in the device arrangement direction substantially coincides with the purge gas supply port 24 when viewed in plan view.

유로블록(20)의 상측표면(20a)에서 유체제어밸브(19)에 대응하는 위치에는 프로세스 가스 공급포트(26)가 유체제어밸브(19)를 향해 개구하도록 형성되어 있다. 프로세스 가스 공급포트(26)는 복수의 가스공급유닛(10A, 10B …)에 걸치도록 장치 폭방향을 따라 형성된 공급측 내부 가스 라인(27)과 연통하여 유체제어밸브(19)를 통과한 가스를 내부 가스 라인(27)에 공급하도록 형성되어 있다.A process gas supply port 26 is formed to open toward the fluid control valve 19 at a position corresponding to the fluid control valve 19 on the upper surface 20a of the flow path block 20. The process gas supply port 26 communicates with the supply-side internal gas line 27 formed along the width direction of the device so as to span a plurality of gas supply units 10A, 10B... It is formed to supply to the gas line (27).

본 발명의 "제2 유로"를 구성하는 공급측 내부 가스 라인(27)은 유로블록(20)의 내부에 형성된 가스유로이며, 프로세스 가스 공급 라인(13)(도 1 참조)에 접속되어 있다. 또한, 프로세스 가스 공급포트(26)와 공급측 내부 가스 라인(27) 사이에는 유로블록(20)의 두께방향과 평행한 짧은 가스유로가 형성되어 있다. 즉, 가스공급유닛(10A∼10D)에 대응하는 각 프로세스 가스 공급포트(26)는 각각 상기한 짧은 가스유로를 통해 공급측 내부 가스 라인(27)에 접속되어 있다.The supply-side internal gas line 27 constituting the "second flow path" of the present invention is a gas flow path formed inside the flow path block 20, and is connected to the process gas supply line 13 (see Fig. 1). Further, a short gas flow path parallel to the thickness direction of the flow path block 20 is formed between the process gas supply port 26 and the supply-side internal gas line 27. That is, each of the process gas supply ports 26 corresponding to the gas supply units 10A to 10D is connected to the supply side internal gas line 27 through the above-described short gas flow path, respectively.

본 실시형태에서는, 공급측 내부 가스 라인(27)은 유체제어밸브(19)에 대응하는 위치(유체제어밸브(19)의 거의 바로 밑)에 형성되어 있다. 구체적으로는, 공급측 내부 가스 라인(27)은 평면에서 보아 기기배열방향에서의 위치가 프로세스 가스 공급포트(26)와 대략 일치하도록 배치되어 있다.In this embodiment, the supply-side internal gas line 27 is formed at a position corresponding to the fluid control valve 19 (almost immediately below the fluid control valve 19). Specifically, the supply-side internal gas line 27 is disposed so that the position in the device arrangement direction substantially coincides with the process gas supply port 26 when viewed in plan view.

상기와 같이 가스공급유닛(10A) 등은 프로세스 가스 유입 라인(11)으로부터 접속유로(21)에서의 입구포트(21a)에 유입된 프로세스 가스 또는 퍼지 가스 유입 라인(12)로부터 내부 퍼지 가스 라인(25)에 유입된 퍼지 가스를 유체제어밸브(17 및 18)에 의해 택일적으로 접속유로(22), 유량제어기(16), 접속유로(23) 및 유체제어밸브(19)를 통해 공급측 내부 가스 라인(27)에 공급 가능하게 구성되어 있다. 즉, 가스공급유닛(10A∼10D)(10E∼10H)은 내부 퍼지 가스 라인(25) 및 공급측 내부 가스 라인(27)을 통해 가스를 주고 받을 수 있게 서로 접속되어 있다.As described above, the gas supply unit 10A or the like is supplied from the process gas inlet line 11 to the inlet port 21a in the connection passage 21 or the internal purge gas line from the purge gas inlet line 12 ( The purge gas introduced into 25) is selectively supplied by the fluid control valves 17 and 18 through the connection flow path 22, the flow controller 16, the connection flow path 23, and the fluid control valve 19. It is configured to be able to be supplied to the line 27. That is, the gas supply units 10A to 10D (10E to 10H) are connected to each other so that gas can be exchanged through the internal purge gas line 25 and the supply-side internal gas line 27.

유로블록(20)에서의 상측표면(20a)측에는 암나사부(28a, 28b, 28c 및 28d)가 형성되어 있다. 암나사부(28a, 28b, 28c 및 28d)는 이른바 "나사구멍"으로, 축방향(깊이방향)이 유로블록(20)의 두께방향과 평행해지도록 형성되어 있다.Female threaded portions 28a, 28b, 28c and 28d are formed on the upper surface 20a side of the flow path block 20. The female threaded portions 28a, 28b, 28c, and 28d are so-called "screw holes", and are formed so that the axial direction (depth direction) is parallel to the thickness direction of the flow path block 20.

한 쌍의 암나사부(28a)는 유입측 플랜지(30)에 대응하는 위치에 형성되어 있다. 한 쌍의 암나사부(28b)는 유체제어밸브(17 및 18)에 대응하는 위치에 형성되어 있다. 한 쌍의 암나사부(28c)는 유량제어기(16)에 대응하는 위치에 형성되어 있다. 한 쌍의 암나사부(28d)는 유체제어밸브(19)에 대응하는 위치에 형성되어 있다. 그리고, 한 쌍의 암나사부(28a)와 한 쌍의 암나사부(28b)와 한 쌍의 암나사부(28c)와 한 쌍의 암나사부(28d)가 이 순서대로 가스통류방향(기기배열방향)을 따라 대략 일직선상에 배열되어 있다.A pair of female threaded portions 28a are formed at positions corresponding to the inlet-side flange 30. A pair of female threaded portions 28b are formed at positions corresponding to the fluid control valves 17 and 18. A pair of female threaded portions 28c are formed at positions corresponding to the flow rate controller 16. A pair of female threaded portions 28d are formed at positions corresponding to the fluid control valve 19. Then, a pair of female threaded portions 28a, a pair of female threaded portions 28b, a pair of female threaded portions 28c, and a pair of female threaded portions 28d are in this order in the gas flow direction (equipment arrangement direction). They are arranged in a roughly straight line along the way.

유입측 플랜지(30)에 대응하는 한 쌍의 암나사부(28a)는 접속유로(21)에서의 입구포트(21a)를 사이에 둔 양측에 기기배열방향으로 배열되어 있다. 유입측 플랜지(30)는 가스공급유닛(10A∼10H) 각각에 하나씩 형성되어 있다. 가스공급유닛(10A)에서의 유입측 플랜지(30)는 프로세스 가스 유입 라인(11A)과 입구포트(21a)를 접속하기 위한 배관 플랜지이며, 정면에서 보아 대략 역 T자형으로 형성되어 있다(가스공급유닛(10B∼10H)에서의 유입측 플랜지(30)도 동일한 구성으로 되어 있다).A pair of female threaded portions 28a corresponding to the inlet-side flange 30 are arranged in the device arrangement direction on both sides of the connection passage 21 with the inlet port 21a interposed therebetween. One inlet side flange 30 is formed in each of the gas supply units 10A to 10H. The inlet-side flange 30 of the gas supply unit 10A is a pipe flange for connecting the process gas inlet line 11A and the inlet port 21a, and is formed in a substantially inverted T-shape when viewed from the front (gas supply). The inflow-side flange 30 of the units 10B to 10H has the same configuration).

모듈에 상당하는 것 중 하나인 유입측 플랜지(30)는 플랜지부(31)와 관부(32)로 구성되어 있다. 플랜지부(31)는 평면에서 보아 대략 I자형의 판형 부재이며, 유로블록(20)에서의 상측표면(20a)에 대해 기밀적으로 접합되게 되어 있다. 관부(32)는 플랜지부(31)로부터 대략 수직으로 세워 형성되어 있다. 플랜지부(31)는 그 폭(상기한 폭방향에서의 치수: 이하 동일)이 관부(32) 및 부착볼트(33)의 외경보다 약간 크며, 또한, 유량제어기(16) 및 유체제어밸브(17∼19)의 폭(유체제어밸브 액츄에이터(17a∼19a)의 폭)과 대략 동일해지도록 형성되어 있다.One of the modules corresponding to the inlet-side flange 30 is composed of a flange portion 31 and a pipe portion 32. The flange portion 31 is a substantially I-shaped plate member in plan view, and is hermetically joined to the upper surface 20a of the flow path block 20. The pipe part 32 is formed substantially vertically from the flange part 31. The flange portion 31 has a width (dimension in the width direction described above: the same hereinafter) slightly larger than the outer diameter of the pipe portion 32 and the attachment bolt 33, and the flow controller 16 and the fluid control valve 17 It is formed so as to be substantially the same as the width of -19) (the width of the fluid control valve actuators 17a to 19a).

플랜지부(31)에서 암나사부(28a)에 대응하는 위치에는 부착볼트(33)를 삽입통과시키기 위한 도시하지 않은 관통구멍이 형성되어 있다. 그리고, 유입측 플랜지(30)는 한 쌍의 암나사부(28a)에 부착볼트(33)를 장착하는 것에 의해 유로블록(20)에서의 상측표면(20a)측에 대해 기밀적으로 장착되어 있다(이러한 장착개소에서의 기밀적 시일구조는 주지이므로 도시나 설명은 생략한다: 이하 동일). 즉, 한 쌍의 암나사부(28a)는 유입측 플랜지(30)를 유로블록(20)에 대해 착탈이 자유롭게 장착 가능하게 형성되어 있다.A through hole (not shown) is formed in the flange portion 31 at a position corresponding to the female thread portion 28a to allow the attachment bolt 33 to be inserted therethrough. In addition, the inlet side flange 30 is hermetically attached to the upper surface 20a side of the flow path block 20 by attaching the attachment bolts 33 to the pair of female threaded portions 28a ( The airtight seal structure at such a mounting location is well known, so the illustration or description is omitted: the same hereinafter). That is, the pair of female threaded portions 28a are formed so that the inlet-side flange 30 can be freely attached to and detached from the flow path block 20.

유체제어밸브(17 및 18)에 대응하는 한 쌍의 암나사부(28b) 중 일방은 접속유로(21)에서의 출구포트(21b)와 한 쌍의 암나사부(28a) 중 가스통류방향에서의 하류측(도 4에서 우측)에 있는 것 사이의 위치에 형성되어 있다. 한 쌍의 암나사부(28b) 중 타방은 퍼지 가스 공급포트(24)와 접속유로(22)에서의 출구포트(22b) 사이의 위치에 형성되어 있다.One of the pair of female threaded portions 28b corresponding to the fluid control valves 17 and 18 is the outlet port 21b of the connection passage 21 and the downstream of the pair of female threaded portions 28a in the gas flow direction. It is formed in a position between the ones on the side (right side in Fig. 4). The other of the pair of female screw portions 28b is formed at a position between the purge gas supply port 24 and the outlet port 22b of the connection passage 22.

본 실시형태에서는, 유체제어밸브(17 및 18)는 공통의 밸브부착블록(40)을 통해 일체화되면서 유로블록(20)에 고정되어 있다. 즉, 유체제어밸브 액츄에이터(17a 및 18a)는 동일한 밸브부착블록(40)에 미리 부착되어 있다. 밸브부착블록(40)은 평면에서 보아 대략 I자형으로 형성되어 있다. 또한, 밸브부착블록(40)은 그 폭이 부착볼트(41)의 외경보다 약간 크며, 또한, 유량제어기(16) 및 유체제어밸브 액츄에이터(17a∼19a)의 폭과 대략 동일해지도록 형성되어 있다. 이 밸브부착블록(40)에는 접속유로(21)에서의 출구포트(21b)로부터 유체제어밸브 액츄에이터(17a)에서의 밸브체 근방 부분(이러한 근방 부분의 구성은 주지이므로 도시나 설명은 생략한다: 이하 동일)을 통해 접속유로(22)에서의 입구포트(22a)에 이르는 내부 가스유로(도시생략)와 퍼지 가스 공급포트(24)로부터 유체제어밸브 액츄에이터(18a)에서의 밸브체의 근방 부분을 통해 접속유로(22)에서의 입구포트(22a)에 이르는 내부 가스유로(도시생략)가 형성되어 있다. 그리고, 유체제어밸브(17)(18)는 상기와 같은 구성을 가지는 밸브부착블록(40)에 유체제어밸브 액츄에이터(17a)( 18a)를 부착하는 것에 의해 구성되어 있다.In this embodiment, the fluid control valves 17 and 18 are fixed to the flow path block 20 while being integrated through a common valve mounting block 40. That is, the fluid control valve actuators 17a and 18a are previously attached to the same valve attachment block 40. The valve attachment block 40 is formed in an approximately I-shape when viewed in a plan view. In addition, the valve mounting block 40 has a width slightly larger than the outer diameter of the mounting bolt 41, and is formed to be approximately the same as the width of the flow controller 16 and the fluid control valve actuators 17a to 19a. . In this valve attachment block 40, a portion near the valve body in the fluid control valve actuator 17a from the outlet port 21b in the connection passage 21 (the structure of such a portion is well known, so the illustration or description is omitted: From the internal gas flow path (not shown) from the connection flow path 22 to the inlet port 22a and the purge gas supply port 24 through the same), the vicinity of the valve body in the fluid control valve actuator 18a is removed. An internal gas flow path (not shown) from the connection flow path 22 to the inlet port 22a is formed. Further, the fluid control valves 17 and 18 are configured by attaching the fluid control valve actuators 17a and 18a to the valve mounting block 40 having the above configuration.

또한, 밸브부착블록(40)에서의 암나사부(28b)에 대응하는 위치에는 부착볼트(41)를 삽입통과시키기 위한 도시하지 않은 관통구멍이 형성되어 있다. 그리고, 유체제어밸브(17 및 18)는 한 쌍의 암나사부(28b)에 부착볼트(41)를 장착하는 것에 의해 공통의 밸브부착블록(40)을 통해 유로블록(20)에서의 상측표면(20a)측에 대해 기밀적으로 장착되어 있다. 즉, 본 실시형태에서는 유체제어밸브(17 및 18)를 일체로 형성한 것, 바꾸어 말하면 유체제어밸브 액츄에이터(17a, 18a) 및 이것이 미리 부착된 밸브부착블록(40)이 유로블록(20)에 대해 착탈이 자유로운 하나의 모듈(착탈모듈)을 구성하게 되어 있다. 그리고, 한 쌍의 암나사부(28b)는 유체제어밸브(17 및 18)(유체제어밸브 액츄에이터(17a, 18a))가 미리 부착된 밸브부착블록(40))를 유로블록(20)에 대해 착탈이 자유롭게 장착 가능하게 형성되어 있다.In addition, a through hole (not shown) is formed in the valve mounting block 40 at a position corresponding to the female threaded portion 28b to allow the mounting bolt 41 to be inserted therethrough. In addition, the fluid control valves 17 and 18 are connected to the upper surface of the flow path block 20 through the common valve attachment block 40 by attaching the attachment bolts 41 to the pair of female threaded portions 28b. It is airtightly attached to the 20a) side. That is, in this embodiment, the fluid control valves 17 and 18 are integrally formed, in other words, the fluid control valve actuators 17a and 18a and the valve mounting block 40 to which the fluid control valves are attached in advance are attached to the flow path block 20. On the other hand, it consists of one module (removable module) that is free to attach and detach. In addition, the pair of female threaded portions 28b attaches and detaches the valve attachment block 40 to which the fluid control valves 17 and 18 (fluid control valve actuators 17a, 18a) are previously attached to the flow path block 20. It is formed so that it can be mounted freely.

유량제어기(16)에 대응하는 한 쌍의 암나사부(28c) 중 일방은 한 쌍의 암나사부(28b) 중 가스통류방향에서의 하류측에 있는 것과 접속유로(22)에서의 출구포트(22b) 사이의 위치에 형성되어 있다. 한 쌍의 암나사부(28c) 중 타방은 접속유로(23)에서의 입구포트(23a)와 출구포트(23b) 사이의 위치에 형성되어 있다.One of the pair of female threaded portions 28c corresponding to the flow controller 16 is one of the pair of female threaded portions 28b on the downstream side in the gas flow direction and the outlet port 22b of the connection channel 22 It is formed in the position between. The other of the pair of female threaded portions 28c is formed at a position between the inlet port 23a and the outlet port 23b in the connection passage 23.

본 실시형태에서는, 유량제어기(16)에는 MFC 부착부(50)가 형성되어 있다. MFC 부착부(50)는 평면에서 보아 대략 I자형으로 형성되어 있다. 또한, MFC 부착부(50)는 그 폭이 부착볼트(51)의 외경보다 약간 크며, 또한, 유량제어기(16)에서의 MFC 부착부(50)보다 상측에 있는 부분 및 유체제어밸브(17∼19)(유체제어밸브 액츄에이터(17a∼19a))의 폭과 대략 동일해지도록 형성되어 있다. 이 MFC 부착부(50)에는 접속유로(22)에서의 출구포트(22b)로부터 유량제어기(16)에 이르는 내부 가스유로(도시생략)와 유량제어기(16)의 내부를 통과한 가스가 접속유로(23)에서의 입구포트(23a)에 이르는 내부 가스유로(도시생략)가 형성되어 있다.In this embodiment, the MFC attachment part 50 is formed in the flow controller 16. The MFC attachment part 50 is formed in an approximately I-shape when viewed in a plan view. In addition, the width of the MFC attachment portion 50 is slightly larger than the outer diameter of the attachment bolt 51, and the portion above the MFC attachment portion 50 of the flow controller 16 and the fluid control valves 17 to 19) It is formed so as to be substantially the same as the width of (fluid control valve actuators 17a to 19a). In the MFC attachment part 50, the internal gas flow path (not shown) from the outlet port 22b of the connection flow path 22 to the flow controller 16 and the gas passing through the inside of the flow controller 16 are connected to the connection flow path. An internal gas flow path (not shown) reaching the inlet port 23a at (23) is formed.

또한, MFC 부착부(50)에서 암나사부(28c)에 대응하는 위치에는 부착볼트(51)를 삽입통과시키기 위한 도시하지 않은 관통구멍이 형성되어 있다. 그리고, 유량제어기(16)는 한 쌍의 암나사부(28c)에 부착볼트(51)를 장착하는 것에 의해 유로블록(20)에서의 상측표면(20a)측에 대해 기밀적으로 장착되어 있다. 즉, 한 쌍의 암나사부(28c)는 유량제어기(16)(MFC 부착부(50))를 유로블록(20)에 대해 착탈이 자유롭게 장착 가능하게 형성되어 있다.In addition, a through hole (not shown) is formed in the MFC attachment portion 50 at a position corresponding to the female thread portion 28c to allow the attachment bolt 51 to be inserted therethrough. Then, the flow controller 16 is airtightly attached to the upper surface 20a side of the flow path block 20 by attaching the mounting bolts 51 to the pair of female threaded portions 28c. That is, the pair of female threaded portions 28c are formed so that the flow controller 16 (MFC attachment portion 50) can be freely attached to and detached from the flow path block 20.

유체제어밸브(19)에 대응하는 한 쌍의 암나사부(28d) 중 일방은 한 쌍의 암나사부(28c) 중 가스통류방향에서의 하류측에 있는 것과 접속유로(23)에서의 출구포트(23b) 사이의 위치에 형성되어 있다. 한 쌍의 암나사부(28d) 중 타방은 프로세스 가스 공급포트(26)보다 가스통류방향에서의 하류측, 즉, 유로블록(20)의 가스통류방향에서의 하류측 단부에 형성되어 있다.One of the pair of female threaded portions 28d corresponding to the fluid control valve 19 is one on the downstream side in the gas flow direction among the pair of female threaded portions 28c, and the outlet port 23b of the connection channel 23 ) Is formed in the position between. The other of the pair of female threaded portions 28d is formed downstream from the process gas supply port 26 in the gas flow direction, that is, at the downstream end of the flow path block 20 in the gas flow direction.

본 실시형태에서는, 유체제어밸브(19)는 밸브부착블록(60)에 유체제어밸브 액츄에이터(19a)를 미리 부착시키는 것에 의해 구성되어 있다. 밸브부착블록(60)은 평면에서 보아 대략 I자형으로 형성되어 있다. 또한, 밸브부착블록(60)은 그 폭이 부착볼트(61)의 외경보다 약간 크며, 또한, 유량제어기(16) 및 유체제어밸브 액츄에이터(17a∼19a)의 폭과 대략 동일해지도록 형성되어 있다. 이 밸브부착블록(60)에는 접속유로(23)에서의 출구포트(23b)로부터 유체제어밸브 액츄에이터(19a)에서의 밸브체의 근방 부분을 통해 프로세스 가스 공급포트(26)에 이르는 내부 가스유로(도시생략)가 형성되어 있다.In this embodiment, the fluid control valve 19 is configured by attaching the fluid control valve actuator 19a to the valve mounting block 60 in advance. The valve attachment block 60 is formed in an approximately I-shape when viewed in a plan view. In addition, the valve mounting block 60 has a width slightly larger than the outer diameter of the mounting bolt 61, and is formed to be approximately the same as the width of the flow controller 16 and the fluid control valve actuators 17a to 19a. . In this valve attachment block 60, an internal gas flow path from the outlet port 23b of the connection flow path 23 to the process gas supply port 26 through a portion in the vicinity of the valve body in the fluid control valve actuator 19a. City omitted) is formed.

또한, 밸브부착블록(60)에서 암나사부(28d)에 대응하는 위치에는 부착볼트(61)를 삽입통과시키기 위한 도시하지 않은 관통구멍이 형성되어 있다. 그리고, 유체제어밸브(19)는 한 쌍의 암나사부(28d)에 부착볼트(61)를 장착하는 것에 의해 밸브부착블록(60)을 통해 유로블록(20)에서의 상측표면(20a)측에 대해 기밀적으로 장착되어 있다. 즉, 한 쌍의 암나사부(28d)는 유체제어밸브(19)(유체제어밸브 액츄에이터(19a)가 미리 부착된 밸브부착블록(60))를 유로블록(20)에 대해 착탈이 자유롭게 장착 가능하게 형성되어 있다.In addition, a through hole (not shown) is formed in the valve mounting block 60 at a position corresponding to the female threaded portion 28d to allow the mounting bolt 61 to be inserted therethrough. Then, the fluid control valve 19 is attached to the upper surface 20a side of the flow path block 20 through the valve attachment block 60 by attaching the attachment bolts 61 to the pair of female threaded portions 28d. It is fitted in an airtight manner. That is, the pair of female threaded portions 28d allows the fluid control valve 19 (the valve attachment block 60 to which the fluid control valve actuator 19a is pre-attached) to be freely attached to the flow path block 20. Is formed.

본 실시형태에서는 암나사부(28a), 접속유로(21)(입구포트(21a), 입구통로(21c), 접속로(21e), 출구통로(21d) 및 출구포트(21b)를 포함한다), 암나사부(28b), 접속유로(22)(상동), 퍼지 가스 공급포트(24), 암나사부(28c), 접속유로(23)(상동), 프로세스 가스 공급포트(26) 및 암나사부(28d)가 기기배열방향을 따라 대략 일직선상에 배치되어 있다. 또한, 암나사부(28a, 28b, 28c 및 28d)는 상측표면(20a)에서 개구하는 비관통구멍으로서 형성되어 있다. 즉, 접속유로(21, 22 및 23)는 암나사부(28a∼28d)에서 깊이방향으로 그 암나사부(28a∼28d)를 우회하도록 형성되어 있다. 구체적으로, 암나사부(28a∼28d)는 접속유로(21∼23)와 연통하지 않게 형성되어 있다.In this embodiment, the female threaded portion 28a, the connection passage 21 (including the inlet port 21a, the inlet passage 21c, the connection passage 21e, the outlet passage 21d, and the outlet port 21b), Female threaded portion 28b, connection passage 22 (above), purge gas supply port 24, female threaded portion 28c, connection passage 23 (above), process gas supply port 26 and female threaded portion 28d ) Are arranged in a roughly straight line along the device arrangement direction. In addition, the female threaded portions 28a, 28b, 28c, and 28d are formed as non-penetrating holes opening in the upper surface 20a. That is, the connection passages 21, 22 and 23 are formed so as to bypass the female threaded portions 28a to 28d in the depth direction from the female threaded portions 28a to 28d. Specifically, the female threaded portions 28a to 28d are formed so as not to communicate with the connection passages 21 to 23.

다만, 도 1에서의 내부 메인 가스유로(14)는 접속유로(21∼23), 유체제어밸브(17)에 형성된 내부 가스유로(밸브부착블록(40)에 형성된 내부 가스유로이며 접속유로(21)에서의 출구포트(21b)로부터 유체제어밸브 액츄에이터(17a)를 통해 접속유로(22)에서의 입구포트(22a)에 이르는 유로), 유량제어기(16)에 형성된 내부 가스유로, 유체제어밸브(19)에 형성된 내부 가스유로(밸브부착블록(60)에 형성된 내부 가스유로이며 접속유로(23)에서의 출구포트(23b)로부터 유체제어밸브 액츄에이터(19a)를 통해 프로세스 가스 공급포트(26)에 이르는 유로) 및 프로세스 가스 공급포트(26)로부터 공급측 내부 가스 라인(27)에 이르는 가스유로에 상당한다. 또한, 도 1에서의 내부 퍼지 가스유로(15)는 내부 퍼지 가스 라인(25)으로부터 퍼지 가스 공급포트(24)에 이르는 퍼지 가스유로, 밸브부착블록(40)에 형성된 내부 가스유로이며 퍼지 가스 공급포트(24)로부터 유체제어밸브(18)를 통해 접속유로(22)에서의 입구포트(22a)에 이르는 유로 및 내부 퍼지 가스 라인(25)에 상당한다.However, the inner main gas passage 14 in FIG. 1 is an inner gas passage formed in the connection passages 21 to 23 and the fluid control valve 17 (the inner gas passage formed in the valve attachment block 40 and the connection passage 21 ) From the outlet port (21b) through the fluid control valve actuator (17a) to the inlet port (22a) in the connection passage (22), the internal gas passage formed in the flow controller (16), the fluid control valve ( The internal gas flow path formed in 19) (the internal gas flow path formed in the valve attachment block 60, from the outlet port 23b of the connection flow path 23) to the process gas supply port 26 through the fluid control valve actuator 19a. Flow path) and a gas flow path extending from the process gas supply port 26 to the supply-side internal gas line 27. In addition, the internal purge gas flow path 15 in FIG. 1 is a purge gas flow path from the internal purge gas line 25 to the purge gas supply port 24, and is an internal gas flow path formed in the valve attachment block 40 to supply purge gas. It corresponds to a flow path and an internal purge gas line 25 from the port 24 to the inlet port 22a from the connection flow path 22 through the fluid control valve 18.

<실시형태의 유로블록의 주요부 구성><Configuration of main parts of the flow path block of the embodiment>

다음으로, 복수의 유로블록(20)을 폭방향으로 병렬로 인접 배치한 상태에서, 인접하는 유로블록(20)에서의 내부 퍼지 가스 라인(25)끼리 및 공급측 내부 가스 라인(27)끼리의 접속에 관한 구성에 대해 도 5 내지 도 7을 참조하면서 설명한다. 다만, 도 7은 인접하는 유로블록(20)에서의 내부 퍼지 가스 라인(25)끼리의 접속부분의 확대 단면도만 나타내고 있다. 당연히 인접하는 유로블록(20)에서의 공급측 내부 가스 라인(27)끼리의 접속부분에 대해서도 동일한 구성이므로, 이러한 부분에 대한 확대 단면도의 도시는 생략한다.Next, connection between the internal purge gas lines 25 and the supply side internal gas lines 27 in the adjacent flow path blocks 20 in a state in which a plurality of flow path blocks 20 are arranged adjacent to each other in the width direction. A configuration related to will be described with reference to FIGS. 5 to 7. However, FIG. 7 shows only an enlarged cross-sectional view of a connection portion between the internal purge gas lines 25 in the adjacent flow path block 20. Naturally, since the connection portion between the supply side internal gas lines 27 in the adjacent flow path block 20 is also of the same configuration, the enlarged cross-sectional view of this portion is omitted.

유로블록(20)은 본 발명의 "접속부"를 구성하는 제1 접속편(201) 및 제2 접속편(202)을 구비하고 있다. 제1 접속편(201)은 하측표면(20b)측에서 폭방향에서의 일방의 단부(도 6에서의 우측의 단부)로부터 그 폭방향으로(즉, 외측을 향해) 돌출 형성되어 있다. 제2 접속편(202)은 상측표면(20a)측에서 폭방향에서의 타방의 단부로부터 그 폭방향으로 돌출 형성되어 있다. 즉, 도 6에 나타내는 바와 같이 제1 접속편(201)과 제2 접속편(202)은 기기배열방향을 따라 본 경우 대각위치에 형성되어 있다.The flow path block 20 is provided with a first connecting piece 201 and a second connecting piece 202 constituting the "connection portion" of the present invention. The first connecting piece 201 is formed to protrude from one end in the width direction (the right end in Fig. 6) in the width direction (that is, to the outside) from the lower surface 20b side. The second connecting piece 202 is formed to protrude in the width direction from the other end in the width direction from the upper surface 20a side. That is, as shown in Fig. 6, the first connecting piece 201 and the second connecting piece 202 are formed at diagonal positions when viewed along the device arrangement direction.

다만, 본 실시형태에 있어서는, 제1 접속편(201) 및 제2 접속편(202)은 유로블록(20)의 본체부분(유로블록(20)의 주요부를 구성하는 직육면체 부분이면서 덮개부(21f) 등을 제외한 부분)과 조인트 없이 일체로 형성되어 있다. 또한, 제1 접속편(201) 및 제2 접속편(202)은 기기배열방향에 대해 유로블록(20)의 전체길이에 걸쳐 형성되어 있다. 내부 퍼지 가스 라인(25)은 제2 접속편(202)측으로부터 폭방향을 따라 형성된 비관통구멍의 개구부를 스테인리스강으로 형성된 대략 원주형의 폐쇄부재로 용접(예를 들어, 레이저 용접이나 전자빔 용접) 등에 의해 기밀적으로 폐쇄하는 것에 의해 형성되어 있다. 공급측 내부 가스 라인(27)도 마찬가지로 형성되어 있다.However, in the present embodiment, the first connecting piece 201 and the second connecting piece 202 are the main body portion of the flow path block 20 (a rectangular parallelepiped part constituting the main part of the flow channel block 20, and the cover part 21f) ), etc.) and without joints. Further, the first connecting piece 201 and the second connecting piece 202 are formed over the entire length of the flow path block 20 with respect to the device arrangement direction. The internal purge gas line 25 welds the opening of the non-penetrating hole formed along the width direction from the side of the second connecting piece 202 to a substantially cylindrical closing member formed of stainless steel (e.g., laser welding or electron beam welding. ), etc. to hermetically close it. The supply side internal gas line 27 is similarly formed.

제1 접속편(201)의 표면(하측표면(20b)과는 반대측의 면)에서 기기배열방향에서의 내부 퍼지 가스 라인(25) 및 공급측 내부 가스 라인(27)에 대응하는 위치에는 제1 접속개구부(211)가 형성되어 있다. 제1 접속개구부(211)는 하측표면(20b)측으로부터 상측표면(20a)측을 향한 방향으로(즉, 도 6에서 상방을 향해) 개구하도록 형성되어 있다.The first connection is made from the surface of the first connection piece 201 (the surface opposite to the lower surface 20b) to the position corresponding to the internal purge gas line 25 and the supply-side internal gas line 27 in the device arrangement direction. An opening 211 is formed. The first connection opening 211 is formed to open in a direction from the lower surface 20b side toward the upper surface 20a side (that is, toward the upper side in Fig. 6).

다만, 내부 퍼지 가스 라인(25)에 대응하는 제1 접속개구부(211)는 도면 중 "211a"라고 표시되고 또한, 이하의 설명에서 "제1 접속개구부(211a)"라고 불리는 일이 있다. 마찬가지로 공급측 내부 가스 라인(27)에 대응하는 제1 접속개구부(211)는 도면 중 "211b"라고 표시되고 또한, 이하의 설명에서 "제1 접속개구부(211b)"라고 불리는 일이 있다. 또한, 이하의 설명에서 "제1 접속개구부(211a)"와 "제1 접속개구부(211b)"를 "제1 접속개구부(211)"라고 총칭하는 일이 있다.However, the first connection opening 211 corresponding to the internal purge gas line 25 is indicated as "211a" in the drawing, and is sometimes referred to as the "first connection opening 211a" in the following description. Similarly, the first connection opening 211 corresponding to the supply-side internal gas line 27 is indicated as "211b" in the drawing, and is sometimes referred to as the "first connection opening 211b" in the following description. Further, in the following description, the "first connection opening 211a" and the "first connection opening 211b" are sometimes collectively referred to as the "first connection opening 211".

제1 접속개구부(211a)는 제1 접속로(212)를 통해 내부 퍼지 가스 라인(25)의 폭방향에서의 일방의 단부(제1 접속편(201)측의 단부)에 접속되어 있다. 즉, 내부 퍼지 가스 라인(25)은 폭방향에 대해 비관통구멍으로서 형성되어 있다. 그리고, 제1 접속로(212)는 유로블록(20)의 내부의 가스 통로이며 내부 퍼지 가스 라인(25)에서의 상기한 일방의 단부와 제1 접속개구부(211a)를 접속하도록 형성되어 있다.The first connection opening 211a is connected to one end (an end on the first connection piece 201 side) in the width direction of the internal purge gas line 25 through the first connection path 212. That is, the internal purge gas line 25 is formed as a non-penetrating hole in the width direction. Further, the first connection path 212 is a gas passage inside the flow path block 20 and is formed to connect the one end of the internal purge gas line 25 to the first connection opening 211a.

본 실시형태에서는, 제1 접속로(212)는 상기한 접속유로(21) 등과 마찬가지로 측단면에서 보았을 때 대략 U자형으로 형성되어 있다. 구체적으로 제1 접속로(212)는 직관부(213)와 직관부(214)와 접속통로부(215)를 구비하고 있다. 직관부(213)는 제1 접속개구부(211a)로부터 하측표면(20b)측을 향해 형성된 대략 원통형의 가스 통로이며 접속통로부(215)에서의 일방의 단부에 접속되어 있다. 직관부(214)는 내부 퍼지 가스 라인(25)에서의 상기한 일방의 단부로부터 하측표면(20b)측을 향해 형성된 대략 원통형의 가스 통로이며 접속통로부(215)에서의 타방의 단부에 접속되어 있다. 접속통로부(215)는 하측표면(20b)측으로부터 형성된 홈을 스테인리스강으로 형성된 평판형상(평면에서 보아 타원형)의 덮개부(216)에 의해 용접(예를 들어, 레이저 용접이나 전자빔 용접) 등으로 기밀적으로 폐쇄하는 것에 의해 형성된 공간이며 폭방향을 따라 형성되어 있다.In this embodiment, the first connection path 212 is formed in a substantially U-shape when viewed from a side cross-section, similar to the connection flow path 21 or the like described above. Specifically, the first connection path 212 includes a straight pipe portion 213, a straight pipe portion 214, and a connection passage portion 215. The straight pipe portion 213 is a substantially cylindrical gas passage formed from the first connection opening 211a toward the lower surface 20b, and is connected to one end of the connection passage portion 215. The straight pipe portion 214 is a substantially cylindrical gas passage formed from the above-described one end of the internal purge gas line 25 toward the lower surface 20b side, and is connected to the other end of the connection passage portion 215. have. The connection passage part 215 is welded (for example, laser welding or electron beam welding) by a flat plate-shaped (elliptical in plan view) cover part 216 formed of a stainless steel groove formed from the lower surface 20b side. It is a space formed by hermetically closing it and is formed along the width direction.

본 실시형태에서는, 제1 접속개구부(211b)와 공급측 내부 가스 라인(27) 사이의 접속 구성은 상기한 제1 접속개구부(211a)와 내부 퍼지 가스 라인(25) 사이의 접속 구성과 동일하다. 따라서, 제1 접속개구부(211b)는 제1 접속로(212)를 통해 공급측 내부 가스 라인(27)의 폭방향에서의 일방의 단부(제1 접속편(201)측의 단부)에 접속되어 있다. 즉, 공급측 내부 가스 라인(27)은 폭방향에 대해 비관통구멍으로서 형성되어 있다. 그리고, 제1 접속개구부(211b)와 공급측 내부 가스 라인(27)을 접속하는 제1 접속로(212)는 상기와 동일하게 형성되어 있다.In this embodiment, the connection configuration between the first connection opening 211b and the supply-side internal gas line 27 is the same as the connection configuration between the first connection opening 211a and the internal purge gas line 25 described above. Accordingly, the first connection opening 211b is connected to one end (an end on the first connection piece 201 side) in the width direction of the supply-side internal gas line 27 through the first connection path 212. . That is, the supply-side internal gas line 27 is formed as a non-penetrating hole in the width direction. In addition, the first connection path 212 connecting the first connection opening 211b and the supply-side internal gas line 27 is formed in the same manner as above.

도 5 및 도 7에 나타내는 바와 같이 제1 접속개구부(211)의 양측에는 각각 연결볼트 결합구멍(217)이 형성되어 있다. 연결볼트 결합구멍(217)은 제1 접속편(201)의 두께방향을 따라 형성된 나사구멍(관통구멍)이며 연결볼트(B)를 결합(체결) 가능하게 형성되어 있다. 본 실시형태에서는 한 쌍의 연결볼트 결합구멍(217)은 기기배열방향을 따라 배열되어 있다. 즉, 한 쌍의 연결볼트 결합구멍(217)은 제1 접속개구부(211)를 사이에 두고 대략 대칭으로 형성되어 있다.As shown in FIGS. 5 and 7, connection bolt coupling holes 217 are formed on both sides of the first connection opening 211, respectively. The connection bolt coupling hole 217 is a screw hole (through hole) formed along the thickness direction of the first connection piece 201 and is formed to be capable of coupling (fastening) the connection bolt B. In this embodiment, the pair of connection bolt coupling holes 217 are arranged along the device arrangement direction. That is, the pair of connection bolt coupling holes 217 are formed substantially symmetrically with the first connection opening 211 therebetween.

제2 접속편(202)의 저면(상측표면(20a)과는 반대측의 면)에서 기기배열방향에서의 내부 퍼지 가스 라인(25) 및 공급측 내부 가스 라인(27)에 대응하는 위치에는 제2 접속개구부(221)가 형성되어 있다. 제2 접속개구부(221)는 상측표면(20a)측으로부터 하측표면(20b)측을 향한 방향으로(즉, 도 6에서 하방을 향해) 개구하도록 형성되어 있다.The second connection is made from the bottom surface of the second connecting piece 202 (the surface opposite to the upper surface 20a) to the position corresponding to the internal purge gas line 25 and the supply-side internal gas line 27 in the device arrangement direction. An opening 221 is formed. The second connection opening 221 is formed to open in a direction from the upper surface 20a side to the lower surface 20b side (ie, downwardly in FIG. 6 ).

다만, 내부 퍼지 가스 라인(25)에 대응하는 제2 접속개구부(221)는 도면 중 "221a"라고 표시되고 또한, 이하의 설명에서 "제2 접속개구부(221a)"라고 불리는 일이 있다. 마찬가지로 공급측 내부 가스 라인(27)에 대응하는 제2 접속개구부(221)는 도면 중 "221b"라고 표시되고 또한, 이하의 설명에서 "제2 접속개구부(221b)"라고 불리는 일이 있다. 또한, 이하의 설명에서 "제2 접속개구부(221a)"와 "제2 접속개구부(221b)"를 "제2 접속개구부(221)"라고 총칭하는 일이 있다.However, the second connection opening 221 corresponding to the internal purge gas line 25 is indicated as "221a" in the drawing, and may be referred to as "the second connection opening 221a" in the following description. Similarly, the second connection opening 221 corresponding to the supply-side internal gas line 27 is indicated as "221b" in the drawing, and may be referred to as "the second connection opening 221b" in the following description. In addition, in the following description, the "second connection opening 221a" and the "second connection opening 221b" are sometimes collectively referred to as the "second connection opening 221".

제2 접속개구부(221a)는 제2 접속로(222)를 통해 내부 퍼지 가스 라인(25)의 폭방향에서의 타방의 단부쪽 위치에 접속되어 있다. 또한, 제2 접속로(222)는 내부 퍼지 가스 라인(25)에서의 상기한 타방의 단부와 제2 접속개구부(221a)를 접속하도록 유로블록(20)의 내부에 형성된 가스 통로이다. 구체적으로 본 실시형태에서는 제2 접속로(222)는 대략 원통형의 가스 통로이며 제2 접속개구부(221a)로부터 내부 퍼지 가스 라인(25)을 향해(즉, 상측표면(20a)측을 향해) 형성되어 있다.The second connection opening 221a is connected to the other end position in the width direction of the internal purge gas line 25 through the second connection path 222. In addition, the second connection path 222 is a gas path formed inside the flow path block 20 to connect the other end of the internal purge gas line 25 and the second connection opening 221a. Specifically, in this embodiment, the second connection path 222 is a substantially cylindrical gas path and is formed from the second connection opening 221a toward the internal purge gas line 25 (that is, toward the upper surface 20a side). Has been.

본 실시형태에서는 제2 접속개구부(221b)와 공급측 내부 가스 라인(27) 사이의 접속 구성은 제2 접속개구부(221a)와 내부 퍼지 가스 라인(25) 사이의 접속 구성과 동일하다. 따라서, 제2 접속개구부(221b)는 제2 접속로(222)를 통해 공급측 내부 가스 라인(27)의 폭방향에서의 타방의 단부(제2 접속편(202)측의 단부)에 접속되어 있다. 그리고, 제2 접속개구부(221b)와 공급측 내부 가스 라인(27)을 접속하는 제2 접속로(222)는 상기와 동일하게 형성되어 있다.In this embodiment, the connection configuration between the second connection opening 221b and the supply-side internal gas line 27 is the same as the connection configuration between the second connection opening 221a and the internal purge gas line 25. Accordingly, the second connection opening 221b is connected to the other end (an end of the second connection piece 202 side) in the width direction of the supply-side internal gas line 27 through the second connection path 222. . In addition, the second connection path 222 connecting the second connection opening 221b and the supply-side internal gas line 27 is formed in the same manner as above.

도 5 및 도 7에 나타내는 바와 같이 제2 접속개구부(221)의 양측에는 각각 연결볼트 삽입통과구멍(227)이 형성되어 있다. 연결볼트 삽입통과구멍(227)은 제2 접속편(202)의 두께방향을 따라 형성된 관통구멍이며 상기한 연결볼트(B)를 삽입통과 가능하게 형성되어 있다. 구체적으로 연결볼트 삽입통과구멍(227)은 그 내경이 연결볼트(B)의 외경보다 약간 커지도록 형성되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는 한 쌍의 연결볼트 삽입통과구멍(227)은 기기배열방향을 따라 배열되어 있다. 즉, 한 쌍의 연결볼트 삽입통과구멍(227)은 제2 접속개구부(221)를 사이에 두고 대략 대칭으로 형성되어 있다.As shown in FIGS. 5 and 7, connection bolt insertion holes 227 are formed on both sides of the second connection opening 221, respectively. The connection bolt insertion hole 227 is a through hole formed along the thickness direction of the second connection piece 202 and is formed to allow the connection bolt B to be inserted therethrough. Specifically, the connection bolt insertion hole 227 is formed so that the inner diameter thereof is slightly larger than the outer diameter of the connection bolt (B). Further, in this embodiment, the pair of connection bolt insertion holes 227 are arranged along the device arrangement direction. That is, the pair of connection bolt insertion holes 227 are formed substantially symmetrically with the second connection opening 221 interposed therebetween.

본 실시형태에서는, 제1 접속개구부(211)와 제2 접속개구부(221)가 기기배열방향에 대해 동일 위치가 되도록 제1 접속편(201) 및 제2 접속편(202)이 형성되어 있다. 즉, 2개의 유로블록(20)이 기기배열방향에 대해 대략 일치하도록 폭방향으로 인접 배치되어 일방의 제1 접속편(201)과 타방의 제2 접속편(202)이 겹쳐진 상태로, 평면에서 보아 제1 접속개구부(211a)와 제2 접속개구부(221a)가 서로 대향하고 제1 접속개구부(211b)와 제2 접속개구부(221b)가 서로 대향하도록 제1 접속개구부(211) 및 제2 접속개구부(221)가 형성되어 있다. 마찬가지로 연결볼트 삽입통과구멍(227)은 상기한 상태로 평면에서 보아 연결볼트 결합구멍(217)을 둘러싸듯이 형성되어 있다.In this embodiment, the first connection piece 201 and the second connection piece 202 are formed so that the first connection opening 211 and the second connection opening 221 are at the same position with respect to the device arrangement direction. That is, the two flow path blocks 20 are disposed adjacent to each other in the width direction so as to substantially coincide with the device arrangement direction, so that one first connecting piece 201 and the other second connecting piece 202 overlap each other in a plane. The first connection opening 211 and the second connection so that the first connection opening 211a and the second connection opening 221a face each other, and the first connection opening 211b and the second connection opening 221b face each other. An opening 221 is formed. Similarly, the connection bolt insertion hole 227 is formed to surround the connection bolt coupling hole 217 when viewed in plan view in the above-described state.

다만, 본 실시형태에서는, 제1 접속개구부(211) 및 제2 접속개구부(221)에는 각각 양자를 대향시키면서 기밀적으로 접합할 때의 시일부재를 수용할 수 있는 단차부가 형성되어 있다. 이와 같이, 제1 접속편(201) 및 제2 접속편(202)은 제1 접속개구부(211)와 제2 접속개구부(221)가 서로 대향하도록 두께방향으로 겹쳐짐으로써, 인접하는 유로블록(20)에서의 내부 퍼지 가스 라인(25)끼리 및 공급측 내부 가스 라인(27)끼리를 접속하도록 구성되어 있다.However, in the present embodiment, the first connection opening 211 and the second connection opening 221 are provided with stepped portions capable of accommodating a sealing member when sealing members are hermetically joined while facing each other. In this way, the first connection piece 201 and the second connection piece 202 overlap in the thickness direction so that the first connection opening 211 and the second connection opening 221 face each other, so that adjacent flow path blocks ( The internal purge gas lines 25 in 20) and the supply-side internal gas lines 27 are connected to each other.

<실시형태의 구성에 의한 작용·효과><Action and effect by the configuration of the embodiment>

상기와 같은 본 실시형태의 구성에서는, 기기배열방향으로 배열된 유체제어밸브(17), 유체제어밸브(18), 유량제어기(16) 및 유체제어밸브(19)(이들은 유로블록(20)에 장착되어 가스를 주고 받을 수 있게 접속된다)를 구비한 가스공급유닛(10A∼10D)이 폭방향으로 배열된 상태로 유로블록(20)에 장착된다. 그러면, 가스공급유닛(10A∼10D)이 유로블록(20)의 내부에 형성된 내부 퍼지 가스 라인(25) 및 공급측 내부 가스 라인(27)에 의해 가스를 주고 받을 수 있게 접속된다. 가스공급유닛(10E∼10H)에 대해서도 마찬가지이다.In the configuration of the present embodiment as described above, the fluid control valve 17, the fluid control valve 18, the flow controller 16, and the fluid control valve 19 (these are arranged in the flow path block 20) The gas supply units 10A to 10D are mounted on the flow path block 20 in a state in which the gas supply units 10A to 10D are arranged in the width direction. Then, the gas supply units 10A to 10D are connected to exchange gas through the internal purge gas line 25 and the supply-side internal gas line 27 formed in the flow path block 20. The same applies to the gas supply units 10E to 10H.

여기서, 이러한 구성에서는 가스공급유닛(10A∼10D)이 장착된 유로블록(20)과 가스공급유닛(10E∼10H)이 장착된 유로블록(20)이 폭방향으로 병렬로 인접 배치된다. 그러면, 가스공급유닛(10A∼10H)에 있어서 각각의 유량제어기(16)가 가스통류방향, 즉, 기기배열방향에 대해 대략 동일 위치에 배치된다(유체제어밸브(17∼19)도 마찬가지이다).Here, in this configuration, the flow path block 20 on which the gas supply units 10A to 10D are mounted and the flow path block 20 on which the gas supply units 10E to 10H are mounted are disposed adjacent to each other in the width direction. Then, in the gas supply units 10A to 10H, each of the flow controllers 16 is disposed at approximately the same position with respect to the gas flow direction, that is, the device arrangement direction (the same applies to the fluid control valves 17 to 19). .

이 상태로 인접하는 2개의 유로블록(20)이 제1 접속편(201) 및 제2 접속편(202)에 의해 서로 접합(접속)된다. 이것에 의해 양자에서의 내부 퍼지 가스 라인(25)끼리 및 공급측 내부 가스 라인(27)끼리가 가스를 주고 받을 수 있게 접속된다.In this state, two adjacent flow path blocks 20 are joined (connected) to each other by the first connecting piece 201 and the second connecting piece 202. Thereby, the internal purge gas lines 25 and the supply-side internal gas lines 27 are connected so that gas can be exchanged.

구체적으로는, 일방의 유로블록(20)에서의 제1 접속개구부(211)와 타방의 유로블록(20)에서의 제2 접속개구부(221)가 상기한 시일부재를 사이에 두고 서로 대향하도록 제1 접속편(201)과 제2 접속편(202)이 두께방향으로 겹쳐진다. 그리고, 연결볼트(B)가 연결볼트 삽입통과구멍(227)에 삽입통과되면서 연결볼트 결합구멍(217)에 나사결합된다. 이것에 의해 가스공급유닛(10A∼10D)이 장착된 유로블록(20)과 가스공급유닛(10E∼10H)이 장착된 유로블록(20)이 연결(결합)된다.Specifically, the first connection opening 211 of one flow path block 20 and the second connection opening 221 of the other flow path block 20 face each other with the sealing member interposed therebetween. The first connecting piece 201 and the second connecting piece 202 overlap in the thickness direction. Then, the connection bolt (B) is screwed into the connection bolt coupling hole 217 while being inserted through the connection bolt insertion hole 227. Thereby, the flow path block 20 on which the gas supply units 10A to 10D are mounted and the flow path block 20 on which the gas supply units 10E to 10H are mounted are connected (coupled).

이와 같이, 이러한 본 실시형태의 구성에 의하면, 복수의 유로블록(20)을 병렬로 인접 배치하여 제1 접속편(201) 및 제2 접속편(202)에 의해 양자를 접속함으로써 프로세스 가스의 종류 증가에 따라 병렬로 다수의 가스공급유닛(10A) 등을 형성하는 요구에 양호하게 대응하는 것이 가능해진다. 따라서, 이러한 구성에 의하면, 가스공급장치(10)를 양호한 메인티넌스성을 유지하면서 양호하게 소형화 혹은 집적화하는 것이 가능해진다.As described above, according to the configuration of the present embodiment, a plurality of flow path blocks 20 are arranged adjacent to each other in parallel and are connected by the first connecting piece 201 and the second connecting piece 202 to connect the type of process gas. With the increase, it becomes possible to satisfactorily respond to the demand for forming a plurality of gas supply units 10A and the like in parallel. Therefore, according to this configuration, it becomes possible to reduce or integrate the gas supply device 10 satisfactorily while maintaining good maintainability.

구체적으로 상기와 같은 본 실시형태의 구성에 의하면, 가스공급장치(10) 전체의 배관길이를 가급적 억제하는 것이 가능해진다. 또한, 본 실시형태의 구성에서는 제1 접속개구부(211)와 제2 접속개구부(221)가 기기배열방향에 대해 동일 위치에 형성되어 있다. 따라서, 이러한 구성에 의하면, 가스공급장치(10) 전체의 기기배열방향에서의 사이즈를 종래보다 한층 더 저감시키는 것이 가능해진다.Specifically, according to the configuration of the present embodiment as described above, it becomes possible to suppress the pipe length of the entire gas supply device 10 as much as possible. Further, in the configuration of the present embodiment, the first connection opening 211 and the second connection opening 221 are formed at the same position with respect to the device arrangement direction. Accordingly, according to this configuration, it becomes possible to further reduce the size of the gas supply device 10 in the device arrangement direction as compared to the conventional one.

또한, 본 실시형태의 구성에서는, 유입측 플랜지(30)는 한 쌍의 암나사부(28a)에 의해 유로블록(20)에 대해 착탈이 자유롭게 장착된다. 마찬가지로 유체제어밸브(17 및 18)는 한 쌍의 암나사부(28b)에 의해 유로블록(20)에 대해 착탈이 자유롭게 장착된다. 또한, 유량제어기(16)는 한 쌍의 암나사부(28c)에 의해 유로블록(20)에 대해 착탈이 자유롭게 장착된다. 그리고, 유체제어밸브(19)는 한 쌍의 암나사부(28d)에 의해 유로블록(20)에 대해 착탈이 자유롭게 장착된다.Further, in the configuration of the present embodiment, the inflow-side flange 30 is freely attached and detached from the flow path block 20 by a pair of female threaded portions 28a. Similarly, the fluid control valves 17 and 18 are detachably mounted to the flow path block 20 by a pair of female threaded portions 28b. Further, the flow controller 16 is freely attached and detached from the flow path block 20 by a pair of female threaded portions 28c. Further, the fluid control valve 19 is freely attached and detached from the flow path block 20 by a pair of female threaded portions 28d.

그러면, 유입측 플랜지(30)와 유체제어밸브(17 및 18)는 접속유로(21)에 의해 접속된다. 마찬가지로 유체제어밸브(17 및 18)와 유량제어기(16)는 접속유로(22)에 의해 접속된다. 그리고, 유량제어기(16)와 유체제어밸브(19)는 접속유로(23)에 의해 접속된다. 그리고, 이 접속유로(21∼23)는 암나사부(28a∼28d)와 거의 동일 직선상에 배치되며, 이것을 깊이방향으로 우회하도록 형성된다.Then, the inlet side flange 30 and the fluid control valves 17 and 18 are connected by a connection passage 21. Similarly, the fluid control valves 17 and 18 and the flow controller 16 are connected by a connection passage 22. Then, the flow controller 16 and the fluid control valve 19 are connected by a connection passage 23. Further, the connection passages 21 to 23 are disposed on substantially the same straight line as the female threaded portions 28a to 28d, and are formed so as to bypass this in the depth direction.

따라서, 상기한 구성에 의하면, 유입측 플랜지(30), 밸브부착블록(40), MFC 부착부(50) 및 밸브부착블록(60)의 폭을 최소한(구체적으로는 유량제어기(16) 및 유체제어밸브 액츄에이터(17a∼19a)의 폭과 대략 동일)으로 설정하더라도 유량제어기(16) 및 유체제어밸브(17∼19)를 유로블록(20)에 대해 양호하게 착탈이 자유롭게 하는 것이 가능해진다. 바꾸어 말하면, 부착용볼트를 평면에서 보아 대략 직사각형으로 4개씩 이용하는 일 없이 이것을 유로블록(20)에 대해 양호하게 착탈이 자유롭게 하는 것이 가능해진다. 따라서, 이러한 구성에 의하면, 각 가스공급유닛(10A) 등의 폭이나 가스공급장치(10) 전체의 폭을 가급적 작게 하는 것이 가능해지고, 따라서, 가스공급장치(10)에서 양호한 메인티넌스성을 유지하면서 더욱 소형화하는 것이 가능해진다.Therefore, according to the above configuration, the width of the inlet side flange 30, the valve attachment block 40, the MFC attachment part 50, and the valve attachment block 60 is minimized (specifically, the flow controller 16 and the fluid Even if it is set to be substantially the same as the width of the control valve actuators 17a to 19a), it becomes possible to freely attach and detach the flow rate controller 16 and the fluid control valves 17 to 19 with respect to the flow path block 20. In other words, it becomes possible to freely attach/detach the mounting bolts to the flow path block 20 without using four screws each in a substantially rectangular shape in plan view. Therefore, according to this configuration, it is possible to reduce the width of each gas supply unit 10A or the like or the entire width of the gas supply device 10 as possible, and thus, maintain good maintenance properties in the gas supply device 10. While doing so, it becomes possible to further downsize.

또한, 본 실시형태의 구성에서는, 유입측 플랜지(30), 유량제어기(16) 및 유체제어밸브(17∼19)가 유로블록(20)에서의 상측표면(20a)측에 집약되어 있다. 따라서, 이러한 구성에 의하면, 유입측 플랜지(30), 유량제어기(16) 및 유체제어밸브(17∼19)가 상측표면(20a)측에 집약하여 장착된 구성(이러한 구성에 의하면, 모든 유량제어기(16) 및 유체제어밸브(17∼19)에 대해 메인티넌스(부착볼트(41) 등을 조이거나 푸는 동작 등)시에 상측표면(20a)측으로부터 액세스하는 것이 가능해지기 때문에, 메인티넌스성이 매우 양호해진다)에서 가스공급유닛(10A) 등 혹은 가스공급장치(10)가 양호한 메인티넌스성을 해치는 일 없이 가급적 작은 폭으로 실현 가능해진다.Further, in the configuration of the present embodiment, the inlet flange 30, the flow controller 16, and the fluid control valves 17 to 19 are concentrated on the upper surface 20a side of the flow path block 20. Therefore, according to this configuration, the inlet flange 30, the flow controller 16, and the fluid control valves 17 to 19 are integrated and mounted on the upper surface 20a side (according to this configuration, all flow controllers (16) and fluid control valves (17 to 19) can be accessed from the upper surface (20a) during maintenance (such as tightening or loosening the mounting bolts (41)). This makes it very good), so that the gas supply unit 10A or the like or the gas supply device 10 can be realized in as small a width as possible without impairing good maintenance.

특히 프로세스 가스의 종류가 많아져서 복수의 가스공급유닛(10A) 등이 집적화되는 경우, 유로블록(20)의 대형화는 큰 문제가 된다. 즉, 유로블록(20)의 대형화는 가스공급장치(10)에서의 중량 및 설치면적의 증가로 이어진다. 그렇게 되면, 대형화된 유로블록(20) 및 가스공급장치(10)에서는 설치에 대한 자유도가 매우 좁아진다.Particularly, when a plurality of gas supply units 10A and the like are integrated due to an increase in the number of types of process gases, the enlargement of the flow path block 20 becomes a big problem. That is, the enlargement of the flow path block 20 leads to an increase in the weight and installation area of the gas supply device 10. Then, in the enlarged flow path block 20 and the gas supply device 10, the degree of freedom for installation is very narrow.

이러한 점에서, 상기와 같은 구성에 의해 유로블록(20)의 소형화가 도모되어 가스공급장치(10)의 설치에 대한 자유도가 높아지고, 따라서, 고성능의 반도체 제조공정을 양호하게 실현하는 것이 가능해진다. 구체적으로는, 예를 들어, 프로세스 챔버 바로 옆에 가스공급장치(10)를 배치하는 것이 가능해진다. 이 경우, 프로세스 가스 공급 라인(13)의 배관길이가 가급적 짧아진다. 따라서, 프로세스 가스의 공급이 고빈도, 고정밀도(높은 응답성 및 제어성)로 이루어질 수 있다. 또한, 프로세스 가스의 전환시간이 삭감되어 스루풋이 향상된다.In this respect, with the above-described configuration, the flow path block 20 is miniaturized, the degree of freedom for installation of the gas supply device 10 is increased, and thus, a high-performance semiconductor manufacturing process can be satisfactorily realized. Specifically, for example, it becomes possible to arrange the gas supply device 10 right next to the process chamber. In this case, the piping length of the process gas supply line 13 is shortened as much as possible. Therefore, the supply of the process gas can be made with high frequency and high precision (high responsiveness and controllability). In addition, the process gas switching time is reduced and throughput is improved.

또한, 본 실시형태의 구성에서는 유로블록(20)별로 조립, 보관, 운반이 가능하다. 뿐만 아니라 가스공급유닛(10A) 등의 세트수의 다양한 요구에 대해서도 유로블록(20)에 대한 가스공급유닛(10A) 등의 장착수나 복수의 유로블록(20)끼리의 병렬접속 등에 의해 유연하게 대응하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 실시형태에 의하면, 가스공급장치(10)의 제조시 취급용이성이 향상됨과 함께 부품점수가 삭감된다.In addition, in the configuration of this embodiment, it is possible to assemble, store, and transport each channel block 20. In addition, flexible response to various requests for the number of sets of gas supply units (10A), etc., by the number of installations of gas supply units (10A) to the flow path block (20) or parallel connection of a plurality of flow path blocks (20), etc. It becomes possible to do. Accordingly, according to the present embodiment, the ease of handling during manufacture of the gas supply device 10 is improved and the number of parts is reduced.

<변형예><modification example>

이하, 대표적인 변형예에 대해 몇 가지 예시한다. 이하의 변형예의 설명에 있어서 상기한 실시형태에서 설명되고 있는 것과 동일한 구성 및 기능을 가지는 부분에 대해서는 상기한 실시형태와 동일한 부호가 이용될 수 있다. 그리고, 이러한 부분의 설명에 대해서는 기술적으로 모순되지 않는 범위 내에서 상기한 실시형태에서의 설명이 적절히 원용될 수 있다. 당연히 말할 필요도 없이 변형예는 이하에 열거된 것에 한정되는 것은 아니다. 또한, 복수의 변형예의 전부 및 일부가 기술적으로 모순되지 않는 범위 내에서 적절히 복합적으로 적용될 수 있다.Hereinafter, some examples are given of representative modified examples. In the following description of the modified example, the same reference numerals as those in the above-described embodiment may be used for portions having the same configuration and function as those described in the above-described embodiment. In addition, for the description of such a part, the description in the above-described embodiment may be appropriately used within a range not technically contradictory. Needless to say, the modified examples are not limited to those listed below. In addition, all and a part of a plurality of modified examples may be appropriately and complexly applied within a range not technically contradictory.

"상측표면(20a)"은 각 실시형태의 설명을 위해 편의상 부여한 명칭이며, 이것은 반드시 연직방향에서의 상측의 표면이 되는 것은 아니다. 즉, 가스공급장치(10)의 설치양태에 따라 상측표면(20a)은 그 법선이 수평방향이나 연직방향에서의 하방을 향하도록 설정될 수 있다.The "upper surface 20a" is a name given for convenience for explanation of each embodiment, and this does not necessarily become the upper surface in the vertical direction. That is, depending on the installation mode of the gas supply device 10, the upper surface 20a may be set such that its normal line faces downward in a horizontal direction or a vertical direction.

유체제어밸브(17)와 유체제어밸브(18)는 공통의 밸브부착블록(40)에 미리 부착되어 있었지만, 본 발명은 이러한 양태에 한정되지 않는다. 즉, 유체제어밸브(17)와 유체제어밸브(18)는 유체제어밸브(19)와 마찬가지로 각각 독립적으로 유로블록(20)에 착탈이 자유롭게 장착될 수 있다.The fluid control valve 17 and the fluid control valve 18 were previously attached to the common valve mounting block 40, but the present invention is not limited to this aspect. That is, the fluid control valve 17 and the fluid control valve 18 may be freely attached and detached to the flow path block 20 independently of each other like the fluid control valve 19.

하나의 가스공급유닛(10A) 등에 포함되는 유체제어밸브(17) 등의 수도 상기한 실시형태에 한정되지 않는다. 또한, 유체제어밸브(17) 등은 암나사부나 볼트 없이 미리 유로블록(20)과 일체화되어 있어도 된다.The number of fluid control valves 17 and the like included in one gas supply unit 10A or the like is not limited to the above-described embodiment. Further, the fluid control valve 17 or the like may be integrated with the flow path block 20 in advance without a female thread or a bolt.

유체제어밸브(17) 등은 일부가 유로블록(20)에 대해 미리 부착되어 있고 잔부가 유로블록(20)에 대해 착탈이 자유로워도 된다. 또한, 유체제어밸브(17) 등은 상기와 같은 "에어 오퍼레이트 밸브"여도 되고, 전자밸브나 압전식 밸브여도 된다.Some of the fluid control valve 17 and the like may be attached to the flow path block 20 in advance, and the remainder may be freely attached and detached from the flow path block 20. Further, the fluid control valve 17 or the like may be an "air operated valve" as described above, or may be a solenoid valve or a piezoelectric valve.

하나의 유로블록(20)에 병렬로 장착 가능한 가스공급유닛(10A) 등의 수는 4개에 한정되지 않는다. 즉, 예를 들어, 가스공급유닛(10A) 등을 2개 병렬로 장착 가능한 유로블록(20)이나 가스공급유닛(10A) 등을 3개 병렬로 장착 가능한 유로블록(20) 등이 준비되어도 된다. 또한, 유로블록(20)의 병렬수도 2개에 한정되지 않는다. 즉, 3개 이상의 유로블록(20)의 연결도 상기한 각 실시형태의 설명과 동일하게 이루어진다.The number of gas supply units 10A, etc. that can be mounted in parallel on one flow path block 20 is not limited to four. That is, for example, a flow path block 20 capable of mounting two gas supply units 10A and the like in parallel, or a flow path block 20 capable of mounting three gas supply units 10A and the like in parallel may be prepared. . Also, the number of parallel flow path blocks 20 is not limited to two. That is, the connection of three or more flow path blocks 20 is also made in the same manner as described in each of the above embodiments.

도 8 내지 도 10은 본 발명의 유로블록(20)의 한 변형예의 구성을 나타낸다. 도 8 내지 도 10을 참조하면, 이 변형예에서는 유로블록(20)에는 제1 접속편(201, 201')과 제2 접속편(202, 202')이 형성되어 있다. 또한, 이 변형예에서는 제1 접속편(201, 201') 및 제2 접속편(202, 202')은 상기한 유로블록(20)의 본체부분과 동일한 두께로 형성되어 있다. 또한, 제1 접속개구부(211a), 제1 접속개구부(211b), 제2 접속개구부(221a) 및 제2 접속개구부(221b)는 모두 상측표면(20a)에서 개구하도록 형성되어 있다.8 to 10 show the configuration of a modified example of the flow path block 20 of the present invention. 8 to 10, in this modified example, first connecting pieces 201 and 201 ′ and second connecting pieces 202 and 202 ′ are formed in the flow path block 20. Further, in this modified example, the first connecting pieces 201 and 201' and the second connecting pieces 202 and 202' are formed to have the same thickness as the body portion of the flow path block 20 described above. Further, the first connection opening 211a, the first connection opening 211b, the second connection opening 221a, and the second connection opening 221b are all formed to open from the upper surface 20a.

제1 접속편(201)은 제1 접속개구부(211a)에 대응하여 폭방향으로 돌출하도록 형성되어 있다. 제1 접속편(201')은 제1 접속개구부(211b)에 대응하여 폭방향으로 돌출하도록 형성되어 있다. 제2 접속편(202)은 제2 접속개구부(221a)에 대응하여 폭방향으로 돌출하도록 형성되어 있다. 제2 접속편(202')은 제2 접속개구부(221b)에 대응하여 폭방향으로 돌출하도록 형성되어 있다.The first connection piece 201 is formed to protrude in the width direction corresponding to the first connection opening 211a. The first connection piece 201' is formed to protrude in the width direction corresponding to the first connection opening 211b. The second connection piece 202 is formed to protrude in the width direction corresponding to the second connection opening 221a. The second connection piece 202' is formed to protrude in the width direction corresponding to the second connection opening 221b.

제1 접속편(201, 201') 및 제2 접속편(202, 202')은 돌출량이 동일해지도록 형성되어 있다. 즉, 2개의 유로블록(20)을 폭방향으로 인접 배치한 상태로 제1 접속편(201), 제2 접속편(202), 제1 접속편(201') 및 제2 접속편(202')이 이 순서대로 기기배열방향으로 대략 일직선상에 배열하면서 인접 배치되도록(이 때 동시에 제1 접속개구부(211a), 제2 접속개구부(221a), 제1 접속개구부(211b) 및 제2 접속개구부(221b)가 이 순서대로 기기배열방향으로 대략 일직선상에 배열하도록) 제1 접속편(201, 201') 및 제2 접속편(202, 202')이 형성되어 있다.The first connecting pieces 201 and 201 ′ and the second connecting pieces 202 and 202 ′ are formed so as to have the same protrusion. That is, the first connecting piece 201, the second connecting piece 202, the first connecting piece 201', and the second connecting piece 202' with two flow path blocks 20 adjacent to each other in the width direction. ) Are arranged in an approximate straight line in the device arrangement direction in this order and arranged adjacent to each other (at this time, the first connection opening 211a, the second connection opening 221a), the first connection opening 211b, and the second connection opening The first connecting pieces 201 and 201' and the second connecting pieces 202 and 202' are formed so that 221b are arranged in a substantially straight line in the device arrangement direction in this order.

도 10에 나타내고 있는 바와 같이, 제1 접속개구부(211a)는 내부 퍼지 가스 라인(25)의 폭방향에서의 제1 접속편(201)측 단부와 제1 접속로(212)를 통해 접속되어 있다. 즉, 내부 퍼지 가스 라인(25)은 폭방향에 대해 비관통구멍으로서 형성되어 있다. 또한, 이 변형예에서는 제1 접속로(212)는 상기한 제1 실시형태에서의 직관부(213)과 마찬가지로 제1 접속개구부(211a)로부터 하측표면(20b)측을 향해 형성된 대략 원통형의 가스 통로이면서 내부 퍼지 가스 라인(25)의 폭방향에서의 상기한 제1 접속편(201)측의 단부에 접속되어 있다.As shown in FIG. 10, the first connection opening 211a is connected to the end of the internal purge gas line 25 on the side of the first connection piece 201 in the width direction through the first connection path 212. . That is, the internal purge gas line 25 is formed as a non-penetrating hole in the width direction. In addition, in this modified example, the first connection path 212 is a substantially cylindrical gas formed from the first connection opening 211a toward the lower surface 20b, similarly to the straight pipe part 213 in the above-described first embodiment. While being a passage, it is connected to an end portion on the side of the first connecting piece 201 in the width direction of the internal purge gas line 25.

또한, 제2 접속개구부(221a)는 제2 접속로(222)를 통해 내부 퍼지 가스 라인(25)의 폭방향에서 제2 접속편(202)측의 단부쪽 위치에 접속되어 있다. 제2 접속로(222)는 내부 퍼지 가스 라인(25)에서의 상기한 제2 접속편(202)측 단부와 제2 접속개구부(221a)를 접속하도록 유로블록(20)의 내부에 형성된 가스 통로이다. 구체적으로는, 제2 접속로(222)는 대략 원통형의 가스 통로이며 제2 접속개구부(221a)로부터 내부 퍼지 가스 라인(25)을 향해(즉, 하측표면(20b)측을 향해) 형성되어 있다.Further, the second connection opening 221a is connected to an end position on the side of the second connection piece 202 in the width direction of the internal purge gas line 25 through the second connection path 222. The second connection path 222 is a gas path formed inside the flow path block 20 to connect the end of the second connection piece 202 side of the internal purge gas line 25 and the second connection opening 221a. to be. Specifically, the second connection passage 222 is a substantially cylindrical gas passage and is formed from the second connection opening 221a toward the internal purge gas line 25 (that is, toward the lower surface 20b). .

제1 접속개구부(211)의 양측에는 상기한 제1 실시형태에서의 연결볼트 결합구멍(217)(도 5 참조)과 마찬가지로 연결볼트 결합구멍(230)이 각각 형성되어 있다. 또한, 이 변형예에서는 제2 접속개구부(221a)의 양측에도 연결볼트 결합구멍(230)이 형성되어 있다. 그리고, 제1 접속편(201), 제2 접속편(202), 제1 접속편(201') 및 제2 접속편(202')을 상기와 같이 기기배열방향으로 인접 배치한 상태로 바이패스 배관(290)을 장착함으로써, 인접하는 유로블록(20)에서의 내부 퍼지 가스 라인(25)끼리 및 공급측 내부 가스 라인(27)끼리 접속되도록 유로블록(20)이 구성되어 있다.Connection bolt coupling holes 230 are formed on both sides of the first connection opening 211, similar to the connection bolt coupling holes 217 (refer to FIG. 5) in the above-described first embodiment. In addition, in this modified example, connection bolt coupling holes 230 are formed on both sides of the second connection opening 221a. Then, bypass the first connecting piece 201, the second connecting piece 202, the first connecting piece 201', and the second connecting piece 202' adjacent to each other in the device arrangement direction as described above. By attaching the piping 290, the flow path block 20 is configured so that the internal purge gas lines 25 and the supply-side internal gas lines 27 in the adjacent flow path blocks 20 are connected to each other.

구체적으로는, 바이패스 배관(290)은 플랜지부(291)와 접속관부(292)를 구비하고 있다. 플랜지부(291)는 상기한 유입측 플랜지(30)에서의 플랜지부(31)(도 2 등 참조)와 동일하게 구성되어 있다. 그리고, 이 플랜지부(291)는 제1 접속개구부(211)나 제2 접속개구부(221)에 대향하도록 배치된 상태로 연결볼트(B)를 연결볼트 결합구멍(230)에 장착함으로써 유로블록(20)에 기밀적으로 접합되게 되어 있다. 접속관부(292)는 2개의 플랜지부(291)끼리 접속하도록 정면에서 보아 역 U자형으로 형성되어 있다.Specifically, the bypass pipe 290 includes a flange portion 291 and a connection pipe portion 292. The flange portion 291 is configured in the same manner as the flange portion 31 (see Fig. 2 and the like) of the inlet-side flange 30 described above. In addition, the flange portion 291 is disposed so as to face the first connection opening 211 or the second connection opening 221 and attaching the connection bolt B to the connection bolt coupling hole 230, thereby providing a flow path block ( 20) is hermetically bonded. The connecting pipe portion 292 is formed in an inverted U shape as viewed from the front so that the two flange portions 291 may be connected to each other.

이러한 변형예의 구성에 있어서는, 제1 접속편(201)과 제2 접속편(202)이 기기배열방향으로 인접 배치된 상태로 제1 접속편(201)과 제2 접속편(202)에 걸치도록 바이패스 배관(290)이 장착된다. 이로써 인접 배치된 유로블록(20)에서의 서로의 내부 퍼지 가스 라인(25)끼리가 접속된다. 마찬가지로 제1 접속편(201')과 제2 접속편(202')이 기기배열방향으로 인접 배치된 상태로 제1 접속편(201')과 제2 접속편(202')에 걸치도록 바이패스 배관(290)이 장착된다. 이로써 인접 배치된 유로블록(20)에서의 서로의 공급측 내부 가스 라인(27)끼리가 접속된다.In the configuration of this modified example, the first connecting piece 201 and the second connecting piece 202 are disposed adjacent to each other in the device arrangement direction, so that they span the first connecting piece 201 and the second connecting piece 202. Bypass piping 290 is mounted. Thereby, the internal purge gas lines 25 in the adjacently disposed flow path blocks 20 are connected to each other. Similarly, bypass so that the first connecting piece 201' and the second connecting piece 202' are disposed adjacent to each other in the device arrangement direction and spanning the first connecting piece 201' and the second connecting piece 202'. Piping 290 is mounted. Thereby, the supply side internal gas lines 27 in the adjacently arranged flow path blocks 20 are connected to each other.

여기서, 도 8에 나타내고 있는 바와 같이 2개의 유로블록(20)이 인접 배치된 상태에서는 제1 접속편(201)과 제1 접속편(201') 사이의 공간에 제2 접속편(202)이 수용된다. 마찬가지로 제2 접속편(202)과 제2 접속편(202') 사이의 공간에 제1 접속편(201')이 수용된다. 따라서, 이러한 구성에 의하면, 프로세스 가스의 종류 증가에 따라 병렬로 다수의 가스공급유닛(10A) 등을 형성하는 경우에 가스공급장치(10) 전체의 폭방향에서의 사이즈를 가급적 억제하는 것이 가능해진다.Here, as shown in FIG. 8, in a state in which the two flow path blocks 20 are disposed adjacent to each other, the second connection piece 202 is located in the space between the first connection piece 201 and the first connection piece 201'. Is accepted. Similarly, the first connecting piece 201' is accommodated in the space between the second connecting piece 202 and the second connecting piece 202'. Therefore, according to this configuration, when a plurality of gas supply units 10A or the like are formed in parallel with an increase in the type of process gas, it becomes possible to suppress the size of the entire gas supply device 10 in the width direction as much as possible. .

제1 접속편(201, 201') 및 제2 접속편(202, 202')은 제1 접속개구부(211)나 제2 접속개구부(221)의 근방에만 설편형상(캔틸레버형상)으로 형성되어 있어도 된다. 특히 본 실시형태에서 제1 접속개구부(211a)에 대응하는 제1 접속편(201)은 제1 접속개구부(211b)에 대응하는 제1 접속편(201')과 마찬가지로 기기배열방향에서의 치수가 필요최소한의 좁은 범위에서(구체적으로는 제1 접속개구부(211a)의 양측에 연결볼트 결합구멍(230)을 양호하게 형성 가능한 범위에서 가급적 좁게) 형성되어 있어도 된다. 제2 접속개구부(221a)에 대응하는 제2 접속편(202)도 마찬가지이다.Even if the first connecting pieces 201 and 201 ′ and the second connecting pieces 202 and 202 ′ are formed in a tongue shape (cantilever shape) only in the vicinity of the first connection opening 211 or the second connection opening 221 do. In particular, in this embodiment, the first connection piece 201 corresponding to the first connection opening 211a has a dimension in the device arrangement direction similar to the first connection piece 201' corresponding to the first connection opening 211b. It may be formed in the narrowest range as necessary (specifically, as narrow as possible in the range in which the connection bolt coupling holes 230 can be formed satisfactorily on both sides of the first connection opening 211a). The same applies to the second connecting piece 202 corresponding to the second connecting opening 221a.

<유체공급 제어장치의 개략구성의 변형예><Modified example of schematic configuration of fluid supply control device>

다음으로, 본 발명의 다른 예(다른 실시형태)에 관련된 구성에 대해 설명한다. 이하의 다른 예의 설명에서 상기한 실시형태에서 설명되고 있는 것과 동일한 구성 및 기능을 가지는 부분에 대해서는 상기한 실시형태와 동일한 부호를 이용할 수 있다. 그리고, 이러한 부분의 설명에 대해서는 기술적으로 모순되지 않는 범위 내에서 상기한 실시형태에서의 도면이나 설명이 적절히 원용될 수 있다.Next, a configuration related to another example (another embodiment) of the present invention will be described. In the following description of other examples, the same reference numerals as those in the above-described embodiment may be used for portions having the same configuration and function as those described in the above-described embodiment. In addition, the drawings and descriptions in the above-described embodiments may be appropriately used within a range not technically contradictory for the description of such a part.

도 11 내지 도 14를 참조하면, 본 실시형태에서는 유량제어기(16)는 유로블록(20)에서의 상측표면(20a)측에 착탈이 자유롭게 장착되어 있다. 한편, 유체제어밸브(17∼19) 및 유입측 플랜지(30)는 상측표면(20a)과는 반대측의 하측표면(20b)측에 착탈이 자유롭게 장착되어 있다. 또한, 유체제어밸브(18), 유체제어밸브(17), 유입측 플랜지(30) 및 유체제어밸브(19)가 이 순서대로 기기배열방향(접속유로(21)에서의 접속로(21e)와 평행한 방향)으로 배열되어 있다. 이것에 기인하여 유로블록(20) 내부의 유로구성이 상기한 실시형태의 구성에서 변경되었다.Referring to Figs. 11 to 14, in the present embodiment, the flow controller 16 is detachably mounted on the upper surface 20a side of the flow path block 20. On the other hand, the fluid control valves 17 to 19 and the inlet flange 30 are detachably attached to the lower surface 20b side opposite to the upper surface 20a. In addition, the fluid control valve 18, the fluid control valve 17, the inlet side flange 30, and the fluid control valve 19 are in this order in the device arrangement direction (the connection path 21e in the connection channel 21) and the Are arranged in parallel directions). Due to this, the flow path configuration inside the flow path block 20 has been changed from the configuration of the above-described embodiment.

상기한 것 외에는 유량제어기(16), 유체제어밸브(17∼19) 및 유입측 플랜지(30)는 상기한 실시형태와 동일하게 하여 유로블록(20)에 장착되어 있다. 즉, 밸브부착블록(40), MFC 부착부(50) 및 밸브부착블록(60)의 구성은 상기한 실시형태와 거의 동일하다.Except for the above, the flow controller 16, the fluid control valves 17 to 19, and the inlet flange 30 are mounted on the flow path block 20 in the same manner as in the above-described embodiment. That is, the configurations of the valve attachment block 40, the MFC attachment part 50, and the valve attachment block 60 are almost the same as those in the above-described embodiment.

본 실시형태에서의 유로블록(20)의 구성에 대해 설명하면, 상기한 실시형태와는 달리 접속유로(21)는 입구포트(21a) 및 출구포트(21b)가 하측표면(20b)측에서 개구하도록 형성되어 있다. 또한, 접속유로(21)는 기기배열방향에 대해 접속유로(22)와 접속유로(23) 사이에 형성되어 있다. 구체적으로는 접속유로(21)에서의 입구포트(21a)는 기기배열방향에 대해 유로블록(20)의 대략 중앙부에 형성되어 있다. 그 외에는 접속유로(21)는 상기한 실시형태와 동일하게 대략 U자형으로 형성되어 있다.In the description of the configuration of the flow path block 20 in this embodiment, unlike the above-described embodiment, the connection flow path 21 has an inlet port 21a and an outlet port 21b open from the lower surface 20b side. It is formed to be. Further, the connection passage 21 is formed between the connection passage 22 and the connection passage 23 in the device arrangement direction. Specifically, the inlet port 21a in the connection passage 21 is formed in an approximately central portion of the passage block 20 with respect to the device arrangement direction. Otherwise, the connection passage 21 is formed in a substantially U-shape similar to the above-described embodiment.

접속유로(22)에서의 입구포트(22a)는 접속유로(21)에서의 입구포트(21a)로부터 출구포트(21b)를 향해 그은 유향선분의 연장선상에서 하측표면(20b)측에 개구하도록 형성되어 있다. 한편, 출구포트(22b)는 상측표면(20a)측에 개구하도록 형성되어 있다. 그리고, 접속유로(22)는 입구포트(22a)와 출구포트(22b)를 일직선상에 접속하도록 형성되어 있다. 구체적으로는, 본 실시형태에서 출구포트(22b)는 평면에서 보아 입구포트(22a)와 대략 일치하는 위치에 배치되어 있다. 즉, 접속유로(22)는 유로블록(20)의 두께방향과 평행하게 형성되어 있다.The inlet port (22a) in the connection passage (22) is formed to open on the lower surface (20b) side on an extension line of the directional line drawn from the inlet port (21a) in the connection passage (21) toward the outlet port (21b). have. On the other hand, the outlet port 22b is formed so as to open on the upper surface 20a side. Further, the connection passage 22 is formed to connect the inlet port 22a and the outlet port 22b in a straight line. Specifically, in this embodiment, the outlet port 22b is disposed at a position substantially coincident with the inlet port 22a in plan view. That is, the connection passage 22 is formed parallel to the thickness direction of the passage block 20.

접속유로(23)에서의 출구포트(23b)는 접속유로(21)에서의 출구포트(21b)로부터 입구포트(21a)를 향해 그은 유향선분의 연장선상에서 하측표면(20b)측에 개구하도록 형성되어 있다. 한편, 입구포트(23a)는 상측표면(20a)측에 개구하도록 형성되어 있다. 그리고, 접속유로(23)는 입구포트(23a)와 출구포트(23b)를 일직선상에 접속하도록 형성되어 있다. 구체적으로는, 본 실시형태에서 출구포트(23b)는 평면에서 보아 입구포트(23a)와 대략 일치하는 위치에 배치되어 있다. 즉, 접속유로(23)는 유로블록(20)의 두께방향과 평행하게 형성되어 있다.The outlet port (23b) of the connection passage (23) is formed to open on the lower surface (20b) side on an extension line of the directional line drawn from the outlet port (21b) of the connection passage (21) toward the inlet port (21a). have. On the other hand, the inlet port 23a is formed so as to open on the upper surface 20a side. Further, the connection passage 23 is formed to connect the inlet port 23a and the outlet port 23b in a straight line. Specifically, in the present embodiment, the outlet port 23b is disposed at a position substantially coincident with the inlet port 23a in plan view. That is, the connection passage 23 is formed parallel to the thickness direction of the passage block 20.

퍼지 가스 공급포트(24)는 접속유로(21)에서의 출구포트(21b)로부터 접속유로(22)에서의 입구포트(22a)를 향해 그은 유향선분의 연장선상에서 하측표면(20b)측에 개구하도록 형성되어 있다. 구체적으로는, 퍼지 가스 공급포트(24)는 유로블록(20)의 기기배열방향에서의 일방의 단부 근방에 배치되어 있다. 이 퍼지 가스 공급포트(24)는 상기한 실시형태와 동일하게 하여 내부 퍼지 가스 라인(25)에 접속되어 있다.The purge gas supply port 24 is opened on the lower surface 20b side from the outlet port 21b of the connection passage 21 toward the inlet port 22a of the connection passage 22 on an extension line of the directed line. Is formed. Specifically, the purge gas supply port 24 is disposed near one end portion of the flow path block 20 in the device arrangement direction. This purge gas supply port 24 is connected to the internal purge gas line 25 in the same manner as in the above-described embodiment.

또한, 프로세스 가스 공급포트(26)는 접속유로(21)에서의 입구포트(21a)로부터 접속유로(23)에서의 출구포트(23b)를 향해 그은 유향선분의 연장선상에서 하측표면(20b)측에 개구하도록 형성되어 있다. 구체적으로는, 프로세스 가스 공급포트(26)는 유로블록(20)의 기기배열방향에서의 타방의 단부 근방에서 접속유로(23)에서의 출구포트(23b)에 근접(인접)하도록 배치되어 있다. 이 프로세스 가스 공급포트(26)는 상기한 실시형태와 동일하게 하여 공급측 내부 가스 라인(27)에 접속되어 있다.In addition, the process gas supply port 26 is located on the lower surface 20b side on the extension line of the directional line drawn from the inlet port 21a in the connection passage 21 toward the outlet port 23b in the connection passage 23. It is formed so as to open. Specifically, the process gas supply port 26 is arranged so as to be close to (adjacent) the outlet port 23b of the connection passage 23 in the vicinity of the other end portion of the passage block 20 in the device arrangement direction. This process gas supply port 26 is connected to the supply side internal gas line 27 in the same manner as in the above-described embodiment.

그리고, 본 실시형태에서는 퍼지 가스 공급포트(24), 접속유로(22), 접속유로(21)에서의 출구포트(21b), 접속유로(21)에서의 입구포트(21a), 접속유로(23) 및 프로세스 가스 공급포트(26)가 이 순서대로 기기배열방향을 따라 대략 일직선상에 배열되어 있다.In this embodiment, the purge gas supply port 24, the connection passage 22, the outlet port 21b from the connection passage 21, the inlet port 21a from the connection passage 21, and the connection passage 23 ) And the process gas supply ports 26 are arranged in a substantially straight line along the device arrangement direction in this order.

본 실시형태에서도 접속유로(21∼23)는 암나사부(28a∼28d)를 우회하도록 형성되어 있다. 구체적으로는, 한 쌍의 암나사부(28c)는 유로블록(20)에서의 상측표면(20a)에서 개구하는 비관통 나사구멍이면서 기기배열방향에 대해 접속유로(21∼23)의 외측에 형성되어 있다. 또한, 한 쌍의 암나사부(28c)에서의 일방이면서 접속유로(22)측에 배치된 것은 내부 퍼지 가스 라인(25)에 연통하지 않게 형성되어 있다. 마찬가지로 한 쌍의 암나사부(28c)에서의 타방이면서 접속유로(23)측에 배치된 것은 공급측 내부 가스 라인(27)에 연통하지 않게 형성되어 있다.Also in this embodiment, the connection passages 21 to 23 are formed so as to bypass the female threaded portions 28a to 28d. Specifically, the pair of female threaded portions 28c are non-penetrating screw holes that open on the upper surface 20a of the flow path block 20, and are formed outside the connection flow paths 21 to 23 with respect to the device arrangement direction. have. Further, one of the pair of female threaded portions 28c and disposed on the connection passage 22 side is formed so as not to communicate with the internal purge gas line 25. Similarly, the other side of the pair of female threaded portions 28c and disposed on the connection passage 23 side is formed so as not to communicate with the supply-side internal gas line 27.

암나사부(28a, 28b 및 28d)는 비관통 나사구멍이면서 유로블록(20)에서의 하측표면(20b)에서 개구하도록 형성되어 있다. 한 쌍의 암나사부(28a) 중 일방 및 한 쌍의 암나사부(28b) 중 일방은 접속유로(21)에서의 입구포트(21a)와 출구포트(21b) 사이의 위치에서 접속로(21e)에 연통하지 않게 형성되어 있다. 한 쌍의 암나사부(28a) 중 타방 및 한 쌍의 암나사부(28d) 중 일방은 접속유로(21)에서의 입구포트(21a)와 접속유로(23) 사이의 내부 유로가 형성되지 않은 영역에 형성되어 있다. 한 쌍의 암나사부(28b) 중 타방 및 한 쌍의 암나사부(28d) 중 타방은 기기배열방향에서 양단부의 내부 유로가 형성되지 않은 영역에 형성되어 있다.The female threaded portions 28a, 28b, and 28d are non-penetrating screw holes and are formed to open from the lower surface 20b of the flow path block 20. One of the pair of female screw portions 28a and one of the pair of female screw portions 28b are connected to the connection path 21e at a position between the inlet port 21a and the outlet port 21b in the connection passage 21. It is formed not to communicate. The other of the pair of female screw portions 28a and one of the pair of female screw portions 28d are located in the area where the internal flow path between the inlet port 21a and the connection flow path 23 in the connection flow path 21 is not formed. Is formed. The other of the pair of female screw portions 28b and the other of the pair of female screw portions 28d are formed in a region in which internal flow paths at both ends are not formed in the device arrangement direction.

이와 같이, 본 실시형태의 구성에서는, 유량제어기(16)는 유로블록(20)에서의 일표면인 상측표면(20a)측에 착탈이 자유롭게 장착되어 있다. 한편, 유체제어밸브(17∼19)는 상측표면(20a)과는 반대측인 하측표면(20b)측에 착탈이 자유롭게 형성되어 있다. 따라서, 이러한 구성에 의하면, 유량제어기(16) 및 유체제어밸브(17∼19)의 메인티넌스성이 양호한 가스공급유닛(10A) 등 혹은 가스공급장치(10)가 가급적 작은 폭 및 기기배열방향에서의 길이로 실현 가능해진다.As described above, in the configuration of the present embodiment, the flow controller 16 is detachably attached to the upper surface 20a side, which is one surface of the flow path block 20. On the other hand, the fluid control valves 17 to 19 are detachably formed on the side of the lower surface 20b opposite to the upper surface 20a. Therefore, according to this configuration, the flow controller 16 and the fluid control valves 17 to 19 have good maintainability, such as the gas supply unit 10A, or the gas supply device 10 in the smallest width as possible and in the device arrangement direction. It becomes feasible with the length of.

다만, 도 12 및 도 14를 참조하면, 실시형태에서는 접속유로(21)에서의 입구포트(21a)에 공급된 프로세스 가스는 접속유로(21) 내 및 밸브부착블록(40) 내를 도면 중 오른쪽에서 왼쪽을 향해 통류하는 한편, 유량제어기(16) 및 밸브부착블록(60) 내를 도면 중 왼쪽에서 오른쪽을 향해 통류한다. 이 때문에, 실시형태에서는 "가스통류방향"은 한 방향이 되는 것은 아니며 기기배열방향을 따라 왕복하는(혹은 "루프"를 그리는) 양태가 된다.However, referring to FIGS. 12 and 14, in the embodiment, the process gas supplied to the inlet port 21a in the connection passage 21 is in the connection passage 21 and the inside of the valve attachment block 40 on the right side of the drawing. In the figure, while the flow flows toward the left, the flow controller 16 and the inside of the valve attachment block 60 flow from the left to the right. For this reason, in the embodiment, the "gas flow direction" does not become one direction, but is a form of reciprocating (or drawing a "loop") along the device arrangement direction.

도 15 내지 도 18을 참조하면, 실시형태의 구성은 상기한 실시형태에 대해 변경을 더한 것이다. 구체적으로는, 본 실시형태에서는 유입측 플랜지(30)가 유로블록(20)에서의 단면(20c)에 장착되어 있다. 여기서, 단면(20c)은 유로블록(20)에서의 일표면이면서 상측표면(20a) 및 하측표면(20b)과 직교하는 표면이다. 이 단면(20c)은 유로블록(20)에서 기기배열방향에서의 일단측에 형성되어 있다.15 to 18, the configuration of the embodiment is obtained by adding changes to the above-described embodiment. Specifically, in this embodiment, the inflow-side flange 30 is attached to the end face 20c of the flow path block 20. Here, the end surface 20c is a surface of the flow path block 20 and a surface orthogonal to the upper surface 20a and the lower surface 20b. This end surface 20c is formed at one end of the flow path block 20 in the device arrangement direction.

또한, 이것에 기인하여 본 실시형태에서는 기기배열방향에서의 유체제어밸브(17)와 유체제어밸브(18)의 위치관계가 상기한 실시형태의 것과는 반대로 되어 있다. 즉, 유체제어밸브(17)는 유체제어밸브(18)보다 단면(20c)쪽 위치에 배치되어 있다. 그리고, 상기한 변경에 기인하여 유로블록(20) 내부의 유로구성이 상기한 실시형태의 구성에서 변경되어 있다.Further, due to this, in the present embodiment, the positional relationship between the fluid control valve 17 and the fluid control valve 18 in the device arrangement direction is opposite to that of the above-described embodiment. That is, the fluid control valve 17 is disposed at a position closer to the end face 20c than the fluid control valve 18. Further, due to the above-described change, the flow path configuration inside the flow path block 20 has been changed from the configuration of the above-described embodiment.

접속유로(21)에서의 입구포트(21a)는 단면(20c)에서 개구하도록 형성되어 있다. 한편, 출구포트(21b)는 하측표면(20b)에서 기기배열방향에서의 중앙부보다 단면(20c)측의 위치(구체적으로는 기기배열방향에서의 상기한 일단쪽 위치)에서 개구하도록 형성되어 있다. 그리고, 도 16 및 도 18에 나타내고 있는 바와 같이 접속유로(21)는 입구포트(21a)와 출구포트(21b)를 접속하도록 직각으로 꺽인 형상(대략 L자형)으로 형성되어 있다.The inlet port 21a in the connection passage 21 is formed to open at the end face 20c. On the other hand, the outlet port 21b is formed to open from the lower surface 20b at a position on the end face 20c side (specifically, at one end position in the device arrangement direction) than the central portion in the device arrangement direction. And, as shown in Figs. 16 and 18, the connection passage 21 is formed in a shape (approximately L-shaped) bent at a right angle so as to connect the inlet port 21a and the outlet port 21b.

퍼지 가스 공급포트(24)는 하측표면(20b)에서 기기배열방향에서의 중앙쪽의 위치에서 개구하도록 형성되어 있다. 이 퍼지 가스 공급포트(24)는 상기한 제1 및 실시형태와 동일하게 내부 퍼지 가스 라인(25)에 접속되어 있다.The purge gas supply port 24 is formed so as to open at a position at the center of the lower surface 20b in the device arrangement direction. This purge gas supply port 24 is connected to the internal purge gas line 25 in the same manner as in the first and embodiment described above.

접속유로(22)에서의 입구포트(22a)는 접속유로(21)에서의 출구포트(21b)와 퍼지 가스 공급포트(24) 사이의 위치에서 하측표면(20b)에서 개구하도록 형성되어 있다. 한편, 출구포트(22b)는 상측표면(20a)에서 기기배열방향에서의 중앙부보다 단면(20c)측의 위치에서 개구하도록 형성되어 있다. 구체적으로는, 출구포트(22b)는 평면에서 보아 접속유로(21)에서의 출구포트(21b)와 대략 일치하는 위치에 배치되어 있다. 그리고, 접속유로(22)는 입구포트(22a)와 출구포트(22b)를 일직선상에 접속하도록 형성되어 있다. 보다 상세하게는, 본 실시형태에서 접속유로(22)는 유로블록(20)의 두께방향과 교차하도록 정면에서 보아 경사져서 형성되어 있다.The inlet port 22a of the connection passage 22 is formed to open from the lower surface 20b at a position between the outlet port 21b of the connection passage 21 and the purge gas supply port 24. On the other hand, the outlet port 22b is formed so as to open from the upper surface 20a at a position closer to the end surface 20c than the central part in the device arrangement direction. Specifically, the outlet port 22b is disposed at a position substantially coincident with the outlet port 21b in the connection passage 21 in plan view. Further, the connection passage 22 is formed to connect the inlet port 22a and the outlet port 22b in a straight line. More specifically, in this embodiment, the connection passage 22 is formed inclined as viewed from the front so as to intersect with the thickness direction of the passage block 20.

접속유로(23)는 상기한 실시형태와 동일하게 유로블록(20)에서 기기배열방향에서의 타단쪽 위치에 형성되어 있다. 즉, 접속유로(23)에서의 입구포트(23a)는 기기배열방향에서의 단면(20c)과는 반대측의 단부쪽 위치에서 상측표면(20a)측에 개구하도록 형성되어 있다. 한편, 출구포트(23b)는 접속유로(21)에서의 출구포트(21b)로부터 접속유로(22)에서의 입구포트(22a) 및 퍼지 가스 공급포트(24)를 향해 그은 유향선분의 연장선상에서 하측표면(20b)측에 개구하도록 형성되어 있다. 구체적으로는, 출구포트(23b)는 상기한 실시형태와 동일하게 평면에서 보아 입구포트(23a)와 대략 일치하는 위치에서 하측표면(20b)측에 개구하도록 형성되어 있다. 그리고, 접속유로(23)는 입구포트(23a)와 출구포트(23b)를 일직선상에 접속하도록 형성되어 있다.The connection passage 23 is formed at the other end of the passage block 20 in the device arrangement direction in the same manner as in the above-described embodiment. That is, the inlet port 23a of the connection passage 23 is formed to open to the upper surface 20a side at an end position opposite to the end face 20c in the device arrangement direction. On the other hand, the outlet port (23b) is a lower side on the extension line of the directed line segment drawn from the outlet port (21b) in the connection passage (21) toward the inlet port (22a) in the connection passage (22) and the purge gas supply port (24). It is formed so as to open on the surface 20b side. Specifically, the outlet port 23b is formed to open to the lower surface 20b side at a position substantially coincident with the inlet port 23a in plan view in the same manner as in the above-described embodiment. Further, the connection passage 23 is formed to connect the inlet port 23a and the outlet port 23b in a straight line.

프로세스 가스 공급포트(26)는 퍼지 가스 공급포트(24)와 접속유로(23)에서의 출구포트(23b) 사이의 위치에서 하측표면(20b)측에 개구하도록 형성되어 있다. 구체적으로는, 프로세스 가스 공급포트(26)는 접속유로(23)에서의 출구포트(23b)에 근접(인접)하도록 배치되어 있다. 이 프로세스 가스 공급포트(26)는 상기한 실시형태와 동일하게 하여 공급측 내부 가스 라인(27)에 접속되어 있다.The process gas supply port 26 is formed to open to the lower surface 20b side at a position between the purge gas supply port 24 and the outlet port 23b of the connection passage 23. Specifically, the process gas supply port 26 is disposed so as to be close to (adjacent) the outlet port 23b of the connection passage 23. This process gas supply port 26 is connected to the supply side internal gas line 27 in the same manner as in the above-described embodiment.

한 쌍의 암나사부(28a)는 단면(20c)측에서 개구하는 비관통구멍으로서 접속유로(21 및 22)에 연통하지 않게 형성되어 있다. 암나사부(28b 및 28d)는 비관통 나사구멍이면서 유로블록(20)에서의 하측표면(20b)에서 개구하도록 형성되어 있다.The pair of female threaded portions 28a are non-penetrating holes opened from the end face 20c side, and are formed so as not to communicate with the connection passages 21 and 22. The female threaded portions 28b and 28d are non-penetrating screw holes and are formed to open from the lower surface 20b of the flow path block 20.

한 쌍의 암나사부(28b) 중 일방은 접속유로(21)에서의 출구포트(21b)보다 단면(20c)측에 접속유로(21)에 연통하지 않게 형성되어 있다. 한 쌍의 암나사부(28b) 중 타방 및 한 쌍의 암나사부(28d) 중 일방은 퍼지 가스 공급포트(24) 및 내부 퍼지 가스 라인(25)과 프로세스 가스 공급포트(26) 및 공급측 내부 가스 라인(27) 사이의 내부 유로가 형성되지 않은 영역에 형성되어 있다.One of the pair of female threaded portions 28b is formed so as not to communicate with the connection passage 21 on the end face 20c side than the outlet port 21b in the connection passage 21. The other of the pair of female screw portions 28b and one of the pair of female screw portions 28d are the purge gas supply port 24 and the internal purge gas line 25, the process gas supply port 26, and the supply-side internal gas line. (27) It is formed in a region in which the inner flow path is not formed.

한 쌍의 암나사부(28c)는 유로블록(20)에서의 상측표면(20a)에서 개구하는 비관통 나사구멍이면서 기기배열방향에 대해 접속유로(22)에서의 출구포트(22b) 및 접속유로(23)에서의 입구포트(23a)의 외측에 형성되어 있다. 구체적으로는, 한 쌍의 암나사부(28c) 중 일방은 접속유로(22)에서의 출구포트(22b)보다 단면(20c)측에서 접속유로(21)에 연통하지 않게 형성되어 있다. 한 쌍의 암나사부(28c) 중 타방은 한 쌍의 암나사부(28d)에서의 타방과 마찬가지로 기기배열방향에서의 단면(20c)과는 반대측의 단부의 내부 유로가 형성되지 않은 영역에 형성되어 있다.The pair of female threaded portions 28c are non-penetrating screw holes that open on the upper surface 20a of the flow path block 20, and the outlet port 22b and the connection flow path 22 in the connection flow path 22 with respect to the device arrangement direction. It is formed on the outside of the inlet port 23a at 23). Specifically, one of the pair of female threaded portions 28c is formed so as not to communicate with the connection passage 21 from the end face 20c side of the outlet port 22b of the connection passage 22. The other of the pair of female screw portions 28c is formed in a region where the inner flow path at the end opposite to the end face 20c in the device arrangement direction is not formed, similar to the other of the pair of female screw portions 28d. .

이와 같이, 실시형태에서는 유로블록(20)에서의 상측표면(20a)측에 한 쌍의 암나사부(28c), 접속유로(22)에서의 출구포트(22b), 접속유로(23)에서의 입구포트(23a)가 기기배열방향을 따라 대략 일직선상에 배치되어 있다. 또한, 유로블록(20)에서의 하측표면(20b)측에 암나사부(28b 및 28d), 접속유로(21)에서의 출구포트(21b), 접속유로(22)에서의 입구포트(22a), 퍼지 가스 공급포트(24), 프로세스 가스 공급포트(26), 접속유로(23)에서의 출구포트(23b)가 기기배열방향을 따라 대략 일직선상에 배치되어 있다.As described above, in the embodiment, a pair of female threaded portions 28c on the upper surface 20a side of the flow path block 20, the outlet port 22b of the connection flow path 22, and the inlet of the connection flow path 23 The ports 23a are arranged in a substantially straight line along the device arrangement direction. In addition, female threaded portions 28b and 28d on the lower surface 20b side of the flow path block 20, the outlet port 21b of the connection flow path 21, the inlet port 22a of the connection flow path 22, The purge gas supply port 24, the process gas supply port 26, and the outlet port 23b of the connection passage 23 are arranged in a substantially straight line along the device arrangement direction.

즉, 본 실시형태에서도 접속유로(21∼23) 및 암나사부(28a∼28d)는 기기배열방향을 따라 대략 일직선상에 배치되어 있다. 그리고, 접속유로(21∼23)는 암나사부(28a∼28d)를 우회하도록 형성되어 있다.That is, in this embodiment as well, the connection passages 21 to 23 and the female threaded portions 28a to 28d are arranged in a substantially straight line along the device arrangement direction. Further, the connection passages 21 to 23 are formed so as to bypass the female threaded portions 28a to 28d.

이러한 본 실시형태의 구성에 의하면, 유입측 플랜지(30)를 유로블록(20)에서의 단면(20c)에 형성한 것에 의해, 상기한 실시형태의 구성과 비교하여 유로블록(20)의 기기배열방향에서의 치수가 소형화되고 있다.According to the configuration of this embodiment, since the inflow-side flange 30 is formed on the end face 20c of the flow path block 20, the device arrangement of the flow path block 20 is compared with the configuration of the above-described embodiment. Dimensions in the direction are becoming smaller.

또한, 도 19에 나타내고 있는 바와 같이 유체제어밸브(17) 등은 유로블록(20)에서의 단면(상측표면(20a) 및 하측표면(20b)과는 다른 표면)에 장착되어도 된다.Further, as shown in Fig. 19, the fluid control valve 17 or the like may be mounted on an end face of the flow path block 20 (a surface different from the upper surface 20a and the lower surface 20b).

가스공급장치(10)에 복수의 가스공급유닛(10A, 10B …)이 형성되는 경우, 본 발명은 상기한 각 실시형태와 같이 하나의 유로블록(20)이 복수의 가스공급유닛(10A, 10B ……)에 걸쳐서 공통(일체)인 구성에 한정되지 않는다. 즉, 유로블록(20)은 복수의 가스공급유닛(10A, 10B …) 각각에 대응하여 분할 가능하게 구성되어 있어도 된다.When a plurality of gas supply units 10A, 10B ... are formed in the gas supply device 10, the present invention provides a flow path block 20 with a plurality of gas supply units 10A, 10B, as in each of the above-described embodiments. It is not limited to the configuration that is common (integral) over ……). That is, the flow path block 20 may be configured so as to be divisible corresponding to each of the plurality of gas supply units 10A, 10B....

또한, 하나의 가스공급유닛(10A) 등에 포함되는 유체제어밸브(17) 등의 수도 상기한 실시형태에 한정되지 않는다. 또한, 유체제어밸브(17) 등은 암나사부나 볼트 없이 미리 유로블록(20)과 일체화되어 있어도 된다.Further, the number of the fluid control valve 17 and the like included in one gas supply unit 10A and the like is not limited to the above-described embodiment. Further, the fluid control valve 17 or the like may be integrated with the flow path block 20 in advance without a female thread or a bolt.

도 20 내지 도 22는 이 변형예들에 대응한 구성을 나타내고 있다. 도 20 내지 도 22에 나타내고 있는 본 변형예에서는 가스공급유닛(10A, 10B …)은 서로 별체로 구성되어 있는 동시에 서로 폭방향으로 연결 가능하게 구성되어 있다. 또한, 도 20에서는 도시를 간략화하기 위해 2개의 가스공급유닛(10A, 10B)만 나타나 있지만, 본 변형예에서는 임의의 수의 가스공급유닛(10A) 등을 연결하는 것이 가능하다.20 to 22 show configurations corresponding to these modified examples. In the present modified example shown in Figs. 20 to 22, the gas supply units 10A, 10B ... are configured to be separated from each other and connected to each other in the width direction. In addition, although only two gas supply units 10A and 10B are shown in FIG. 20 to simplify the illustration, in this modified example, it is possible to connect an arbitrary number of gas supply units 10A and the like.

본 변형예의 각 가스공급유닛(10A) 등에서는 상기한 각 실시형태와 마찬가지로 유량제어기(16)는 유로블록(20)에서의 상측표면(20a)에 대해 착탈이 자유롭게 장착되어 있다. 한편, 유체제어밸브(17) 등은 상기와 같은 부착볼트 없이 미리 유로블록(20)과 일체화되어 있다. 즉, 유체제어밸브 액츄에이터(17a) 등은 유로블록(20)에 대해 직접적으로 고정되어 있다. 또한, 본 변형예에서는 유체제어밸브(17) 등은 유로블록(20)에서의 하측표면(20b)측에 형성되어 있다(단, 도 20에서는 하측표면(20b)측이 도면 중 상측이 되도록 도시되어 있다).In each of the gas supply units 10A and the like of the present modified example, the flow controller 16 is freely attached to and detached from the upper surface 20a of the flow path block 20, as in each of the above-described embodiments. Meanwhile, the fluid control valve 17 and the like are previously integrated with the flow path block 20 without the attachment bolts as described above. That is, the fluid control valve actuator (17a) and the like are directly fixed to the flow path block (20). In addition, in this modified example, the fluid control valve 17 and the like are formed on the lower surface 20b side of the flow path block 20 (however, in FIG. 20, the lower surface 20b side is shown to be the upper side in the drawing. Is done).

여기서, 병렬하여 형성된 복수의 가스공급유닛(10A, 10B …)에서 인접하는 유닛끼리의 연결은 인접하는 유로블록(20)에서의 측면(폭방향과 평행한 법선을 가지는 표면)인 연결면(20d)을 통해 형성되게 되어 있다. 이하, 인접하는 유로블록(20)끼리를 연결하기 위한 구성의 상세에 대해 설명한다. 또한, 상기한 연결체끼리를 연결하기 위한 구성에 대해서는 후술한다.Here, the connection between adjacent units in a plurality of gas supply units 10A, 10B… formed in parallel is a connection surface 20d, which is a side surface (a surface having a normal parallel to the width direction) at the adjacent flow path block 20. ) To be formed. Hereinafter, details of the configuration for connecting adjacent flow path blocks 20 will be described. In addition, a configuration for connecting the above-described connecting bodies will be described later.

본 변형예의 가스공급장치(10)에서는 2 종류의 유로블록(20), 즉, 제1 유로블록(201A)과 제2 유로블록(202A)이 형성되어 있다. 병렬하여 형성된 복수의 가스공급유닛(10A, 10B …)의 연결체에서는 제1 유로블록(201A)과 제2 유로블록(202A)이 교대로 배치되어 있다. 즉, 예를 들어, 제1 유로블록(201A)은 가스공급유닛(10A)에 형성되어 있는 한편, 제2 유로블록(202A)은 가스공급유닛(10B)에 형성되어 있다.In the gas supply device 10 of this modified example, two types of flow path blocks 20, that is, a first flow path block 201A and a second flow path block 202A, are formed. In the connection body of the plurality of gas supply units 10A, 10B ... formed in parallel, the first flow path blocks 201A and the second flow path blocks 202A are alternately arranged. That is, for example, the first flow path block 201A is formed in the gas supply unit 10A, while the second flow path block 202A is formed in the gas supply unit 10B.

제1 유로블록(201A) 및 제2 유로블록(202A)에서는 퍼지 가스 공급포트(24) 및 프로세스 가스 공급포트(26)는 한 쌍의 연결면(20d) 각각에서 개구하도록 형성되어 있다. 제1 유로블록(201A) 및 제2 유로블록(202A)에는 연결용 나사구멍(211H) 및 연결볼트 삽입통과구멍(212H)이 형성되어 있다. 연결용 나사구멍(211H)은 폭방향을 따라 관통한 나사구멍으로, 연결볼트(B)를 장착 가능하게 형성되어 있다. 연결볼트 삽입통과구멍(212H)은 연결볼트(B)의 머리 부분을 수용할 수 있는 단부를 구비한 관통구멍으로, 연결볼트(B)의 수나사부를 삽입통과 가능하게 형성되어 있다.In the first flow path block 201A and the second flow path block 202A, the purge gas supply port 24 and the process gas supply port 26 are formed to open from each of the pair of connection surfaces 20d. A connection screw hole 211H and a connection bolt insertion hole 212H are formed in the first flow path block 201A and the second flow path block 202A. The connection screw hole 211H is a screw hole penetrating along the width direction, and is formed so that the connection bolt B can be mounted. The connection bolt insertion hole 212H is a through hole having an end portion capable of accommodating the head of the connection bolt B, and is formed to allow the male threaded portion of the connection bolt B to be inserted therethrough.

본 변형예에서는 한 쌍의 연결용 나사구멍(211H)이 퍼지 가스 공급포트(24)를 사이에 둔 대각위치에 형성되어 있다. 또한, 한 쌍의 연결볼트 삽입통과구멍(212H)이 퍼지 가스 공급포트(24)를 사이에 둔 대각위치에 형성되어 있다. 그리고, 한 쌍의 연결용 나사구멍(211H)과 한 쌍의 연결볼트 삽입통과구멍(212H)이 정면에서 보아 (즉, 폭방향과 평행하게 본 경우에) 대략 직사각형으로 배치되어 있다. 마찬가지로 프로세스 가스 공급포트(26)의 주위에도 한 쌍의 연결용 나사구멍(211H)과 한 쌍의 연결볼트 삽입통과구멍(212H)이 정면에서 보아 대략 직사각형으로 배치되어 있다.In this modified example, a pair of connection screw holes 211H are formed at a diagonal position with the purge gas supply port 24 interposed therebetween. Further, a pair of connection bolt insertion holes 212H are formed at a diagonal position with the purge gas supply port 24 interposed therebetween. Further, a pair of connection screw holes 211H and a pair of connection bolt insertion holes 212H are arranged in a substantially rectangular shape when viewed from the front (that is, when viewed parallel to the width direction). Similarly, around the process gas supply port 26, a pair of connection screw holes 211H and a pair of connection bolt insertion holes 212H are arranged in a substantially rectangular shape when viewed from the front.

본 변형예에서는 제2 유로블록(202A)은 연결용 나사구멍(211H) 및 연결볼트 삽입통과구멍(212H)의 위치관계가 제1 유로블록(201A)과 다른 것 외에는 제1 유로블록(201A)와 동일한 구성을 구비하고 있다. 구체적으로는, 정면에서 보아 제1 유로블록(201A)에서의 연결용 나사구멍(211H)이 형성되어 있는 위치와 제2 유로블록(202A)에서의 연결볼트 삽입통과구멍(212H)이 형성되어 있는 위치가 일치함과 동시에 제1 유로블록(201A)에서의 연결볼트 삽입통과구멍(212H)이 형성되어 있는 위치와 제2 유로블록(202A)에서의 연결용 나사구멍(211H)이 형성되어 있는 위치가 일치하도록 제1 유로블록(201A) 및 제2 유로블록(202A)이 형성되어 있다. 따라서, 이하 제1 유로블록(201A)의 사시도인 도 21 및 도 22를 참조하면서 제1 유로블록(201A) 및 제2 유로블록(202A)의 상세한 구성에 대해 설명한다.In this modified example, the second flow path block 202A is the first flow path block 201A except that the positional relationship between the connection screw hole 211H and the connection bolt insertion hole 212H is different from that of the first flow path block 201A. It has the same configuration as that. Specifically, when viewed from the front, the connection screw hole 211H is formed in the first flow path block 201A and the connection bolt insertion hole 212H is formed in the second flow path block 202A. At the same time, the position where the connection bolt insertion hole 212H is formed in the first flow path block 201A and the connection screw hole 211H is formed in the second flow path block 202A. The first flow path block 201A and the second flow path block 202A are formed so as to coincide. Accordingly, detailed configurations of the first flow path block 201A and the second flow path block 202A will be described below with reference to FIGS. 21 and 22 which are perspective views of the first flow path block 201A.

제1 유로블록(201A)(제2 유로블록(202A))의 연결면(20d)에서의 퍼지 가스 공급포트(24)의 주위이며 연결용 나사구멍(211H) 및 연결볼트 삽입통과구멍(212H)보다 내측(퍼지 가스 공급포트(24)측)에는 퍼지 라인 시일단부(213A)가 형성되어 있다. 이 퍼지 라인 시일단부(213A)는 인접하는 제2 유로블록(202A)(제1 유로블록(201A))과 퍼지 가스 공급포트(24)의 위치에서 기밀적으로 접속하기 위한 도시하지 않은 시일부재를 장착 가능하게 형성되어 있다.Around the purge gas supply port 24 at the connection surface 20d of the first flow path block 201A (the second flow path block 202A), the connection screw hole 211H and the connection bolt insertion hole 212H A purge line seal end portion 213A is formed further inside (the purge gas supply port 24 side). The purge line seal end 213A includes a sealing member (not shown) for airtightly connecting the adjacent second flow path block 202A (first flow path block 201A) and the purge gas supply port 24. It is formed so that it can be installed.

마찬가지로 제1 유로블록(201A)(제2 유로블록(202A))의 연결면(20d)에서의 프로세스 가스 공급포트(26)의 주위이며 연결용 나사구멍(211H) 및 연결볼트 삽입통과구멍(212H)보다 내측(프로세스 가스 공급포트(26)측)에는 공급 라인 시일단부(214A)가 형성되어 있다. 이 공급 라인 시일단부(214A)는 인접하는 제2 유로블록(202A)(제1 유로블록(201A))과 프로세스 가스 공급포트(26)의 위치에서 기밀적으로 접속하기 위한 도시하지 않은 시일부재를 장착 가능하게 형성되어 있다.Similarly, around the process gas supply port 26 on the connection surface 20d of the first flow path block 201A (the second flow path block 202A), the connection screw hole 211H and the connection bolt insertion hole 212H ), a supply line seal end portion 214A is formed inside (the process gas supply port 26 side). The supply line seal end 214A includes a sealing member (not shown) for hermetically connecting the adjacent second flow path block 202A (first flow path block 201A) and the process gas supply port 26. It is formed so that it can be installed.

제1 유로블록(201A) 및 제2 유로블록(202A)에는 하측표면(20b)에서 개구하는 대략 원통형의 비관통구멍인 액츄에이터 부착구멍(215A, 216A 및 217A)이 형성되어 있다. 본 변형예에서는 액츄에이터 부착구멍(215A, 216A 및 217A)은 이 순서대로 기기배열방향을 따라 대략 일직선상에 배치되어 있다. 즉, 액츄에이터 부착구멍(215A)은 제1 유로블록(201A) 및 제2 유로블록(202A)의 기기배열방향에서의 일방(도 21에서의 좌측)의 단부쪽 위치에 형성되어 있다. 한편, 액츄에이터 부착구멍(217A)은 제1 유로블록(201A) 및 제2 유로블록(202A)의 기기배열방향에서의 타방(도 21에서의 우측)의 단부쪽 위치에 형성되어 있다.The first flow path block 201A and the second flow path block 202A are formed with actuator attachment holes 215A, 216A, and 217A, which are substantially cylindrical non-penetrating holes opening in the lower surface 20b. In this modification, the actuator attachment holes 215A, 216A, and 217A are arranged in a substantially straight line along the device arrangement direction in this order. That is, the actuator attachment hole 215A is formed at an end portion of the first flow path block 201A and the second flow path block 202A in the device arrangement direction (left side in FIG. 21). On the other hand, the actuator attachment hole 217A is formed at an end position of the first flow path block 201A and the second flow path block 202A on the other side (right side in Fig. 21) in the device arrangement direction.

액츄에이터 부착구멍(215A, 216A 및 217A)은 유체제어밸브 액츄에이터(18a, 17a 및 19a)를 각각 고정 가능하게 형성되어 있다. 또한, 액츄에이터 부착구멍(215A, 216A 및 217A)은 깊이방향에서의 단부가 유체제어밸브 액츄에이터(18a, 17a 및 19a)의 부착 후에 유체제어밸브(18, 17 및 19)에서의 밸브실을 구성하도록 형성되어 있다.The actuator attachment holes 215A, 216A, and 217A are formed so as to be able to fix the fluid control valve actuators 18a, 17a, and 19a, respectively. In addition, the actuator mounting holes 215A, 216A, and 217A have their ends in the depth direction constituting the valve chamber in the fluid control valves 18, 17 and 19 after the fluid control valve actuators 18a, 17a and 19a are attached. Is formed.

이하, 제1 유로블록(201A) 및 제2 유로블록(202A)에서의 내부의 유로구성에 대해 설명한다. 본 실시형태에서는, 접속유로(23)에서의 입구포트(23a)는 상측표면(20a)에서 개구하도록 평면에서 보아 액츄에이터 부착구멍(217A)과 겹치는 위치(보다 상세하게는 액츄에이터 부착구멍(217A)의 중심축과 동축의 위치)에 형성되어 있다. 접속유로(23)에서의 출구포트(23b)는 액츄에이터 부착구멍(217A)의 평면에서 보아 대략 중앙부에서 개구하도록 형성되어 있다. 그리고, 접속유로(23)는 입구포트(23a)로부터 출구포트(23b)를 향하는 대략 원통형의 관통구멍으로서 형성되어 있다. 즉, 접속유로(23)는 유량제어기(16)를 거쳐 입구포트(23a)로부터 유입된 가스가 액츄에이터 부착구멍(217A)(유체제어밸브(19))을 거쳐 프로세스 가스 공급포트(26)에 배출되도록 형성되어 있다.Hereinafter, the internal flow path structure in the first flow path block 201A and the second flow path block 202A will be described. In this embodiment, the inlet port 23a in the connection passage 23 is a position overlapping the actuator mounting hole 217A in plan view so as to open from the upper surface 20a (more specifically, the actuator mounting hole 217A). It is formed at the position of the central axis and coaxial). The outlet port 23b of the connection passage 23 is formed to open substantially at the center of the actuator attachment hole 217A in plan view. Further, the connection passage 23 is formed as a substantially cylindrical through hole from the inlet port 23a to the outlet port 23b. That is, in the connection passage 23, the gas introduced from the inlet port 23a through the flow controller 16 is discharged to the process gas supply port 26 through the actuator attachment hole 217A (fluid control valve 19). It is formed to be.

제1 유로블록(201A) 및 제2 유로블록(202A)에는 유입측 플랜지(30)와 유체제어밸브(17)(액츄에이터 부착구멍(216A))를 접속하기 위한 접속유로(223)가 형성되어 있다. 접속유로(223)는 입구포트(223a), 출구포트(223b), 제1 입구통로(223c), 제2 입구통로(223d), 접속로(223e)를 가지고 있다.A connection passage 223 for connecting the inlet side flange 30 and the fluid control valve 17 (actuator attachment hole 216A) is formed in the first flow path block 201A and the second flow path block 202A. . The connection passage 223 has an inlet port 223a, an outlet port 223b, a first inlet passage 223c, a second inlet passage 223d, and a connection passage 223e.

입구포트(223a)는 하측표면(20b)측에 개구하도록 유입측 플랜지(30)를 착탈이 자유롭게 장착하기 위한 한 쌍의 암나사부(28a)의 중간위치에 형성되어 있다. 출구포트(223b)는 액츄에이터 부착구멍(216A)에서 개구하도록 형성되어 있다. 제1 입구통로(223c)는 대략 원통형의 비관통구멍이며, 입구포트(223a)로부터 상측표면(20a)측을 향해 늘어나도록 형성되어 있다. 제2 입구통로(223d)는 제1 입구통로(223c)에서의 입구포트(223a)와는 반대측의 단부로부터 폭방향을 따라 늘어나도록 형성되어 있다.The inlet port 223a is formed at an intermediate position between a pair of female screw portions 28a for attaching and detaching the inlet flange 30 freely so as to open to the lower surface 20b side. The outlet port 223b is formed to open through the actuator attachment hole 216A. The first inlet passage 223c is a substantially cylindrical non-penetrating hole, and is formed so as to extend from the inlet port 223a toward the upper surface 20a side. The second inlet passage 223d is formed to extend along the width direction from an end portion of the first inlet passage 223c opposite to the inlet port 223a.

접속로(223e)는 제2 입구통로(223d)가 연장된 부분의 연결면(20d)측으로부터 형성된 홈을 스테인리스강으로 형성된 평판형상(평면에서 보아 타원형)의 도시하지 않은 덮개부에 의해 용접(예를 들어, 레이저 용접이나 전자빔 용접) 등으로 기밀적으로 폐쇄하는 것에 의해 형성된 공간으로, 가스통류방향과 평행하게 형성되어 있다. 이 접속로(223e)에서의 일방의 단부는 제2 입구통로(223d)에 접속되어 있다. 또한, 접속로(223e)에서의 타방의 단부는 출구포트(223b)에 접속되어 있다.The connection path 223e is welded by a cover (not shown) of a flat plate shape (elliptical in plan view) formed of stainless steel with a groove formed from the side of the connection surface 20d of the portion where the second inlet passage 223d extends ( For example, it is a space formed by sealing it airtightly by laser welding or electron beam welding), and is formed parallel to the gas flow direction. One end of the connection path 223e is connected to the second inlet passage 223d. Further, the other end of the connection path 223e is connected to the outlet port 223b.

또한, 제1 유로블록(201A) 및 제2 유로블록(202A)에는 유체제어밸브(17 및 18)(액츄에이터 부착구멍(216A 및 215A))과 유량제어기(16)를 접속하기 위한 접속유로(222A)가 형성되어 있다. 본 실시형태에서 접속유로(222A)는 입구포트(222a), 출구포트(222b), 제1 입구통로(222c), 제2 입구통로(222d), 접속로(222e), 출구통로(222g), 합류통로(222h)를 가지고 있다.In addition, a connection passage 222A for connecting the fluid control valves 17 and 18 (actuator attachment holes 216A and 215A) and the flow controller 16 to the first flow path block 201A and the second flow path block 202A. ) Is formed. In this embodiment, the connection passage 222A is an inlet port 222a, an outlet port 222b, a first inlet passage 222c, a second inlet passage 222d, a connection passage 222e, an outlet passage 222g, It has a confluence passage (222h).

입구포트(222a)는 액츄에이터 부착구멍(216A)의 평면에서 보아 대략 중앙부에서 개구하도록 형성되어 있다. 출구포트(222b)는 상측표면(20a)에서 개구하도록 평면에서 보아 액츄에이터 부착구멍(215A)과 겹치는 위치(보다 상세하게는 액츄에이터 부착구멍(215A)의 중심축과 동축의 위치)에 형성되어 있다. 또한, 출구포트(222b)보다 기기배열방향에서의 외측에는 한 쌍의 암나사부(28c) 중 일방이 상측표면(20a)측에 개구하도록 형성되어 있다. 한 쌍의 암나사부(28c) 중 타방은 상측표면(20a)측에 개구하도록 접속유로(23)에서의 입구포트(23a)보다 기기배열방향에서의 외측에 형성되어 있다.The inlet port 222a is formed to open substantially at the center of the actuator attachment hole 216A in plan view. The outlet port 222b is formed at a position overlapping the actuator attachment hole 215A in plan view so as to open from the upper surface 20a (more specifically, a position coaxial with the central axis of the actuator attachment hole 215A). Further, outside the outlet port 222b in the device arrangement direction, one of the pair of female screw portions 28c is formed to open to the upper surface 20a side. The other of the pair of female threaded portions 28c is formed outside the inlet port 23a in the connection passage 23 in the device arrangement direction so as to open to the upper surface 20a side.

제1 입구통로(222c)는 대략 원통형의 비관통구멍이며, 입구포트(222a)로부터 상측표면(20a)측을 향해 늘어나도록 형성되어 있다. 제2 입구통로(222d)는 제1 입구통로(222c)에서의 입구포트(222a)와는 반대측의 단부로부터 폭방향을 따라 늘어나도록 형성되어 있다.The first inlet passage 222c is a substantially cylindrical non-penetrating hole, and is formed so as to extend from the inlet port 222a toward the upper surface 20a side. The second inlet passage 222d is formed to extend along the width direction from an end of the first inlet passage 222c opposite to the inlet port 222a.

접속로(222e)는 제2 입구통로(222d)가 연장된 부분의 연결면(20d)측으로부터 형성된 홈을 스테인리스강으로 형성된 평판형상(평면에서 보아 타원형)의 도시하지 않은 덮개부에 의해 용접(예를 들어, 레이저 용접이나 전자빔 용접) 등으로 기밀적으로 폐쇄하는 것에 의해 형성된 공간으로, 가스통류방향과 평행하게 형성되어 있다. 이 접속로(222e)에서의 일방의 단부는 제2 입구통로(222d)에 접속되어 있다. 또한, 접속로(222e)에서의 타방의 단부는 출구통로(222g)에 접속되어 있다.The connection path 222e is welded by a cover (not shown) of a flat plate shape (elliptical in plan view) formed of stainless steel with a groove formed from the side of the connection surface 20d of the portion where the second inlet passage 222d extends ( For example, it is a space formed by sealing it airtightly by laser welding or electron beam welding), and is formed parallel to the gas flow direction. One end of the connection passage 222e is connected to the second inlet passage 222d. In addition, the other end of the connection passage 222e is connected to the outlet passage 222g.

출구통로(222g)는 폭방향을 따라 접속로(222e)에서의 상기한 타방의 단부로부터 제2 입구통로(222d)와는 반대측을 향해 늘어나도록 형성되어 있다. 이 출구통로(222g)는 합류통로(222h)에 접속되어 있다. 합류통로(222h)는 대략 원통형의 관통구멍이며, 액츄에이터 부착구멍(215A)의 평면에서 보아 대략 중앙부와 출구포트(222b)를 접속하도록 형성되어 있다.The outlet passage 222g is formed to extend from the other end of the connection passage 222e toward the opposite side to the second inlet passage 222d along the width direction. This exit passage 222g is connected to the confluence passage 222h. The confluence passage 222h is a substantially cylindrical through hole, and is formed so as to connect the substantially central portion and the outlet port 222b in plan view of the actuator attachment hole 215A.

본 변형예에서는, 접속유로(222A)는 접속유로(223)에서의 출구포트(223b)를 통해 액츄에이터 부착구멍(216A)(유체제어밸브(17))에 유입된 프로세스 가스를 입구포트(222a)로부터 제1 입구통로(222c), 제2 입구통로(222d), 접속로(222e), 출구통로(222g) 및 합류통로(222h)를 통해 출구포트(222b)로부터 배출함으로써 이러한 프로세스 가스를 유량제어기(16)에 공급 가능하게 형성되어 있다. 또한, 접속유로(222A)는 퍼지 가스 공급포트(24)로부터 유입된 퍼지 가스를 액츄에이터 부착구멍(215A)(유체제어밸브(18)) 및 합류통로(222h)를 통해 출구포트(222b)로부터 배출하는 것에 의해 이러한 퍼지 가스를 유량제어기(16)에 공급 가능하게 형성되어 있다.In this modified example, the connection passage 222A feeds the process gas flowing into the actuator attachment hole 216A (fluid control valve 17) through the outlet port 223b of the connection passage 223 into the inlet port 222a. The process gas is discharged from the outlet port 222b through the first inlet passage 222c, the second inlet passage 222d, the connection passage 222e, the outlet passage 222g, and the confluence passage 222h from the flow controller. It is formed so as to be able to supply to (16). In addition, the connection passage 222A discharges the purge gas introduced from the purge gas supply port 24 from the outlet port 222b through the actuator attachment hole 215A (fluid control valve 18) and the confluence passage 222h. As a result, it is formed so that such a purge gas can be supplied to the flow controller 16.

또한, 본 변형예에서는 한 쌍의 연결면(20d) 중 일방에 형성된 퍼지 가스 공급포트(24)와 액츄에이터 부착구멍(215A)(유체제어밸브(18))과 한 쌍의 연결면(20d) 중 타방에 형성된 퍼지 가스 공급포트(24)를 잇는 퍼지 가스유로에 의해, 상기한 실시형태에서의 내부 퍼지 가스 라인에 상당하는 것이 형성되어 있다. 마찬가지로 한 쌍의 연결면(20d) 중 일방에 형성된 프로세스 가스 공급포트(26)과 액츄에이터 부착구멍(217A)(유체제어밸브(19))과 한 쌍의 연결면(20d) 중 타방에 형성된 프로세스 가스 공급포트(26)를 잇는 프로세스 가스 공급 유로에 의해, 상기한 실시형태에서의 공급측 내부 가스 라인에 상당하는 것이 형성되어 있다.In addition, in this modified example, of the purge gas supply port 24 formed on one of the pair of connecting surfaces 20d, the actuator attachment hole 215A (fluid control valve 18), and the pair of connecting surfaces 20d. By the purge gas flow path connecting the purge gas supply port 24 formed on the other side, one corresponding to the internal purge gas line in the above-described embodiment is formed. Similarly, the process gas supply port 26 formed on one of the pair of connecting surfaces 20d, the actuator attachment hole 217A (fluid control valve 19), and the process gas formed on the other of the pair of connecting surfaces 20d A process gas supply passage connecting the supply port 26 is formed to correspond to the supply side internal gas line in the above-described embodiment.

그리고, 본 변형예에서는 암나사부(28a 및 28c), 접속유로(23), 접속유로(223)에서의 입구포트(223a) 및 제1 입구통로(223c), 접속유로(222A)에서의 입구포트(222a), 출구포트(223b), 제1 입구통로(222c) 및 접속로(223e)가 평면에서 보아 가스통류방향을 따라 대략 일직선상에 배치되어 있다. 그리고, 접속유로(223 및 222A)는 암나사부(28a 및 28c)와 연통하지 않게 형성되어 있다.In this modified example, the female threaded portions 28a and 28c, the connection passage 23, the inlet port 223a and the first inlet passage 223c in the connection passage 223, and the inlet port in the connection passage 222A. (222a), the outlet port 223b, the first inlet passage 222c, and the connection passage 223e are arranged in a substantially straight line along the gas flow direction in plan view. Further, the connection passages 223 and 222A are formed so as not to communicate with the female threaded portions 28a and 28c.

이와 같이, 병렬로 형성된 복수의 가스공급유닛(10A, 10B …)의 연결체에서는, 인접하는 제1 유로블록(201A) 및 제2 유로블록(202A)이 연결볼트(B) 및 상기한 도시하지 않은 시일부재를 이용해 접합됨으로써 대향하는 퍼지 가스 공급포트(24)끼리 및 대향하는 프로세스 가스 공급포트(26)끼리 각각 기밀적으로 접속된다. 이것에 의해 복수의 퍼지 가스 공급포트(24) 및 복수의 액츄에이터 부착구멍(215A)(유체제어밸브(18))을 통과하는 내부 퍼지 가스 라인이 형성된다. 또한, 마찬가지로 복수의 프로세스 가스 공급포트(26) 및 복수의 액츄에이터 부착구멍(217A)(유체제어밸브(19))을 통과하는 공급측 내부 가스 라인이 형성된다.In this way, in the connection body of the plurality of gas supply units 10A, 10B ... formed in parallel, the adjacent first flow path block 201A and the second flow path block 202A are connected to the connection bolt B and the above-described not shown. The purge gas supply ports 24 that face each other and the process gas supply ports 26 that face each other are airtightly connected by being joined using a non-sealing member. This forms an internal purge gas line passing through the plurality of purge gas supply ports 24 and the plurality of actuator attachment holes 215A (fluid control valve 18). Further, similarly, a supply-side internal gas line passing through a plurality of process gas supply ports 26 and a plurality of actuator attachment holes 217A (fluid control valve 19) is formed.

이러한 구성에서는 유체제어밸브(17) 등이 일체적으로 형성된 유로블록(20)에 대해 유량제어기(16)가 착탈이 자유롭게 장착된다. 따라서, 이러한 구성에 의하면, 가스공급유닛(10A) 등 혹은 가스공급장치(10)에서 도 20에서의 높이방향의 소형화가 양호하게 이루어진다. 또한, 조립이 용이하고 유량제어기(16)의 메인티넌스성이 양호한 가스공급유닛(10A) 등 혹은 가스공급장치(10)가 가급적 작은 폭으로 실현 가능해진다. 또한, 복수의 가스공급유닛(10A, 10B …)이 병렬로 형성됨으로써 복수 종류의 프로세스 가스를 공급할 수 있는 가스공급장치(10)가 가급적 작은 폭으로 실현 가능해진다.In this configuration, the flow controller 16 is detachably mounted on the flow path block 20 in which the fluid control valve 17 and the like are integrally formed. Therefore, according to this configuration, the gas supply unit 10A or the like or in the gas supply device 10 can be reduced in size in the height direction in FIG. 20 favorably. In addition, the gas supply unit 10A or the like or the gas supply device 10, which is easy to assemble and has good maintainability of the flow controller 16, can be realized with as small a width as possible. Further, by forming a plurality of gas supply units 10A, 10B... in parallel, a gas supply device 10 capable of supplying a plurality of types of process gases can be realized with as small a width as possible.

다만, 유체제어밸브(17) 등은 일부가 유로블록(20)에 대해 미리 부착되어 있고 잔부가 유로블록(20)에 대해 착탈이 자유로워도 된다.However, some of the fluid control valve 17 and the like may be attached to the flow path block 20 in advance, and the remainder may be freely attached or detached from the flow path block 20.

상기한 각 실시형태 및 변형예에 기재된 구성에 따르면, 상기와 같이 복수 종류의 프로세스 가스를 공급 가능한 가스공급장치(10)를 가급적 소형화하는 것이 가능해진다. 특히 상기한 각 실시형태 및 변형예에 기재된 구성에 따르면, 본체부분의 폭치수가 가급적 작게 설계된 유체제어밸브(17) 등의 유체제어기기(예를 들어, 후술하는 설치면적을 가급적 감소시킨 구성의 에어 오퍼레이트 밸브)를 구비한 가스공급유닛(10A) 등에 있어서, 이러한 유체제어기기를 유로블록(20)에 착탈이 자유롭게 장착하기 위한 부착구조나 복수의 유체제어기기끼리를 접속하기 위한 유로구조에 기인하는 폭치수의 증가가 양호하게 억제된다.According to the configuration described in each of the above-described embodiments and modifications, it becomes possible to reduce the size of the gas supply device 10 capable of supplying a plurality of types of process gases as described above. In particular, according to the configuration described in each of the above embodiments and modifications, fluid control devices such as a fluid control valve 17 designed to have a width dimension as small as possible of the body portion (for example, a configuration in which the installation area to be described later is reduced as much as possible) In the gas supply unit 10A, etc. equipped with an air operated valve), such a fluid control device may be attached to or detached from the flow path block 20, or a flow path structure for connecting a plurality of fluid control devices. The resulting increase in the width dimension is satisfactorily suppressed.

<배관 조인트 및 배관접속구조의 구성><Configuration of piping joint and piping connection structure>

도 23 내지 도 30을 참조하면서 본 발명의 한 실시형태에 관련된 배관 조인트(1 및 1A) 및 본 발명의 한 실시형태에 관련된 배관접속구조(PJ)에 대해 설명한다. 배관 조인트(1)와 배관 조인트(1A)는 거의 동일한 구성을 가지고 있다. 그래서 먼저, 도 23 내지 도 25를 이용하여 배관 조인트(1)의 구성의 상세에 대하여 설명한다. 다만, 도 31은 비교예로서의 종래기술에 관련된 배관 조인트 구조(1C)를 나타내는 것이다.A description will be given of piping joints 1 and 1A according to an embodiment of the present invention and a piping connection structure PJ according to an embodiment of the present invention with reference to FIGS. 23 to 30. The piping joint 1 and the piping joint 1A have almost the same configuration. So, first, details of the configuration of the piping joint 1 will be described with reference to FIGS. 23 to 25. However, Fig. 31 shows a pipe joint structure 1C related to the prior art as a comparative example.

배관 조인트(1)는 본체부(2)를 구비하고 있다. 본체부(2)는 도 23 내지 도 25에서의 좌우방향과 평행한 길이방향을 가지는 대략 직육면체의 외형상으로 형성되어 있다. 즉, 배관 조인트(1)는 접합면(2a), 정상면(2b), 제1 단면(2c), 제2 단면(2d), 제1 측면(2e) 및 제2 측면(2f)의 6개의 평면상의 표면을 가지고 있다.The piping joint 1 has a main body 2. The main body 2 is formed in an external shape of a substantially rectangular parallelepiped having a longitudinal direction parallel to the left and right directions in FIGS. 23 to 25. That is, the pipe joint 1 has six planes of the joint surface 2a, the top surface 2b, the first end face 2c, the second end face 2d, the first side 2e and the second side 2f. Has a top surface.

접합면(2a)(구체적으로는 저면)은 길이방향 및 폭방향(도 23에서의 상하방향)의 쌍방과 직교하는 높이방향을 법선으로 하는 평면이다. 이 접합면(2a)은 배관 조인트(1)의 장착 대상에 대해 접합되도록 형성된 평면으로, 대략 직사각형상으로 형성되어 있다. 정상면(2b)은 접합면(2a)과 평행하게 형성되어 있다.The bonding surface 2a (specifically, the bottom surface) is a plane in which the height direction orthogonal to both of the longitudinal direction and the width direction (the vertical direction in Fig. 23) is a normal line. This bonding surface 2a is a plane formed so as to be bonded to the mounting object of the piping joint 1, and is formed in a substantially rectangular shape. The top surface 2b is formed parallel to the bonding surface 2a.

제1 단면(2c) 및 제2 단면(2d)은 길이방향을 법선으로 하는 본체부(2)의 단면으로 서로 평행하게 형성되어 있다. 제1 측면(2e) 및 제2 측면(2f)은 폭방향을 법선으로 하는 본체부(2)의 측면으로 서로 평행하게 형성되어 있다.The first cross-section 2c and the second cross-section 2d are cross-sections of the main body 2 whose longitudinal direction is a normal line, and are formed parallel to each other. The first side surface 2e and the second side surface 2f are formed parallel to each other as a side surface of the body portion 2 whose width direction is a normal line.

접합면(2a)에는 제1 개구부(2g) 및 시일단차부(2h)가 형성되어 있다. 즉, 제1 개구부(2g)는 접합면(2a)에서 개구하도록 형성되어 있다. 본 실시형태에서는 제1 개구부(2g)는 접합면(2a)에서 폭방향에서의 대략 중앙부에 형성되어 있다. 시일단차부(2h)는 제1 개구부(2g)의 주위에서 도시하지 않은 시일부재를 수용 가능하게 형성되어 있다. 여기서, 시일부재란 배관 조인트(1)를 장착 대상에 대해 장착(접합 및 고정)한 경우, 이러한 장착 대상에 형성된 유체통로와 배관 조인트(1)의 내부에 형성된 유체통로(자세한 것은 후술한다)를 기밀적 또는 액밀적으로 접속하기 위한 부재이다. 다만, 이러한 시일부재의 구성에 대해서는 주지이므로 본 명세서에서는 이러한 구성에 대한 도시나 더 이상의 상세한 설명은 생략한다.A first opening 2g and a seal step 2h are formed on the bonding surface 2a. That is, the first opening 2g is formed so as to open in the bonding surface 2a. In this embodiment, the 1st opening part 2g is formed in the substantially central part in the width direction in the bonding surface 2a. The seal step 2h is formed around the first opening 2g to accommodate a seal member (not shown). Here, the seal member refers to a fluid path formed in the pipe joint 1 and a fluid path formed in the pipe joint 1 (details will be described later) when the piping joint 1 is mounted (joined and fixed) to the mounting object. It is a member for airtight or liquid-tight connection. However, since the configuration of such a seal member is well known, the illustration or further detailed description of such a configuration is omitted in the present specification.

본체부(2)에는 제1 볼트 삽입통과구멍(2k) 및 제2 볼트 삽입통과구멍(2m)이 높이방향을 따라 형성되어 있다. 본 실시형태에서는 제1 볼트 삽입통과구멍(2k) 및 제2 볼트 삽입통과구멍(2m)은 배관 조인트(1)를 장착 대상에 대해 장착할 때 나사(볼트: 예를 들어, 도 29에 나타내고 있는 볼트(B) 등)를 삽입통과시키기 위한, 나사부를 가지지 않는 관통구멍이며, 접합면(2a) 및 정상면(2b)에서 개구하도록 형성되어 있다.In the main body 2, a first bolt insertion hole 2k and a second bolt insertion hole 2m are formed along the height direction. In the present embodiment, the first bolt insertion hole 2k and the second bolt insertion hole 2m are screws (bolts: for example, shown in FIG. 29) when mounting the piping joint 1 to the mounting object. It is a through hole which does not have a threaded portion for inserting the bolt (B) or the like), and is formed so as to open at the bonding surface 2a and the top surface 2b.

본 발명의 "유로측 나사 삽입통과구멍"에 상당하는 제1 볼트 삽입통과구멍(2k)은 제1 개구부(2g)보다 제1 단면(2c)쪽에 형성되어 있다. 즉, 제1 볼트 삽입통과구멍(2k)은 본체부(2)의 길이방향에서 후술하는 제2 개구부(2p)가 형성된 측의 단부쪽 위치에 형성되어 있다. 한편, 제2 볼트 삽입통과구멍(2m)은 본체부(2)의 길이방향에서 제2 단면(2d)측의 단부에 배치되어 있다. 구체적으로는, 제1 볼트 삽입통과구멍(2k)과 제2 볼트 삽입통과구멍(2m)은 평면에서 보아 제1 개구부(2g)를 사이에 두고 대칭의 위치에 형성되어 있다.The first bolt insertion hole 2k corresponding to the "passage side screw insertion hole" of the present invention is formed toward the first end face 2c than the first opening 2g. That is, the first bolt insertion hole 2k is formed at an end position on the side where the second opening 2p, which will be described later, is formed in the longitudinal direction of the body portion 2. On the other hand, the second bolt insertion hole 2m is disposed at the end of the body portion 2 on the side of the second end face 2d in the longitudinal direction. Specifically, the first bolt insertion hole 2k and the second bolt insertion hole 2m are formed in a symmetrical position with the first opening 2g therebetween in plan view.

제1 단면(2c)에는 제2 개구부(2p)가 형성되어 있다. 즉, 제2 개구부(2p)는 본체부(2) 길이방향에서의 제1 단면(2c)측의 단부에서 개구하도록 형성되어 있다. 본 실시형태에서는, 제2 개구부(2p)는 본체부(2) 폭방향에서의 대략 중앙부(즉, 폭방향에 대해 제1 개구부(2g)와 대략 동일한 위치)에 형성되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 제2 개구부(2p)는 관부(3)에 의해 덮여 있다. 관부(3)는 제1 단면(2c)으로부터 그 제1 단면(2c)의 법선방향을 향해 외측으로 돌출하도록 형성된 대략 원통형의 부재이며, 그 외경이 본체부(2)의 폭(폭방향에서의 치수: 이하 동일)보다 약간 작아지도록 형성되어 있다.A second opening 2p is formed in the first end face 2c. That is, the second opening portion 2p is formed to open at an end portion on the side of the first end face 2c in the longitudinal direction of the body portion 2. In this embodiment, the second opening portion 2p is formed at an approximately central portion in the width direction of the body portion 2 (that is, at a position substantially the same as the first opening portion 2g in the width direction). In addition, in this embodiment, the 2nd opening part 2p is covered with the pipe part 3. The pipe part 3 is a substantially cylindrical member formed to protrude outward from the first end face 2c toward the normal direction of the first end face 2c, and the outer diameter is the width of the body part 2 (in the width direction). Dimensions: It is formed so that it may be slightly smaller than (the same below).

본체부(2)의 내부에는 제1 개구부(2g)와 제2 개구부(2p)(관부(3))를 연통하는 유체통로(전형적으로는 가스 통로)가 형성되어 있다. 구체적으로는 본체부(2)의 내부에는 제1 통로(4)와 제2 통로(5)가 형성되어 있다.A fluid passage (typically a gas passage) communicating between the first opening 2g and the second opening 2p (pipe 3) is formed inside the main body 2. Specifically, a first passage 4 and a second passage 5 are formed inside the main body 2.

제1 통로(4)는 제1 개구부(2g)로부터 높이방향을 따라 형성되어 있다. 본 실시형태에서는, 제1 통로(4)는 비관통구멍으로서 형성되어 있다. 제2 통로(5)는 제2 개구부(2p)를 통과하는 동시에 제1 통로(4)에 접속하도록 길이방향을 따라 형성되어 있다. 구체적으로는, 본 실시형태에서는 제2 통로(5)는 제1 통로(4)에서의 제1 개구부(2g)보다 접합면(2a)으로부터 이격된 위치와 제2 개구부(2p)를 접속하도록 길이방향을 따라 형성되어 있다. 즉, 제2 통로(5)는 제1 통로(4)에서의 제1 개구부(2g)와는 반대측의 단부와 제2 개구부(2p)를 접속하도록 형성되어 있다.The first passage 4 is formed along the height direction from the first opening 2g. In this embodiment, the first passage 4 is formed as a non-penetrating hole. The second passage 5 is formed along the lengthwise direction so as to be connected to the first passage 4 while passing through the second opening 2p. Specifically, in this embodiment, the second passage 5 is longer than the first opening 2g in the first passage 4 so as to connect the second opening 2p and the position spaced apart from the bonding surface 2a. It is formed along the direction. That is, the second passage 5 is formed so as to connect the end of the first passage 4 on the opposite side to the first opening 2g and the second opening 2p.

제2 통로(5)는 제1 볼트 삽입통과구멍(2k)측에 (즉, 제2 볼트 삽입통과구멍(2m)과는 간섭하지 않는 위치에) 형성되어 있다. 특히 제2 통로(5)는 제1 볼트 삽입통과구멍(2k)을 우회하도록 형성되어 있다. 구체적으로는, 본 실시형태에서는 제2 통로(5)는 개구측 통로(6)와 중간통로(7)를 가지고 있다.The second passage 5 is formed on the side of the first bolt insertion hole 2k (that is, at a position that does not interfere with the second bolt insertion hole 2m). In particular, the second passage 5 is formed so as to bypass the first bolt insertion hole 2k. Specifically, in this embodiment, the second passage 5 has an opening side passage 6 and an intermediate passage 7.

개구측 통로(6)는 제2 개구부(2p)로부터 길이방향을 따라 형성된 비관통구멍이며, 제1 볼트 삽입통과구멍(2k)에 도달하지 않게 형성되어 있다. 중간통로(7)는 제1 볼트 삽입통과구멍(2k)에는 연통하지 않고 그 측방을 통과하도록 길이방향을 따라 형성되어 있다. 즉, 중간통로(7)는, 폭방향에 대해 제1 볼트 삽입통과구멍(2k)보다 본체부(2)에서의 제1 측면(2e)쪽 위치에 형성되어 있다. 구체적으로는, 중간통로(7)는 제1 측면(2e)측으로부터 형성된 홈을 스테인리스강으로 형성된 평판형상(평면에서 보아 타원형)의 덮개부(7a)에 의해 용접(예를 들어, 레이저 용접이나 전자빔 용접) 등으로 기밀적 또는 액밀적으로 폐쇄하는 것에 의해 형성된 공간으로, 길이방향과 평행하게 형성되어 있다.The opening-side passage 6 is a non-penetrating hole formed along the longitudinal direction from the second opening 2p, and is formed so as not to reach the first bolt insertion hole 2k. The intermediate passage 7 is formed along the longitudinal direction so as to pass through the side of the first bolt insertion hole 2k without communicating. That is, the intermediate passage 7 is formed at a position toward the first side surface 2e of the main body 2 rather than the first bolt insertion hole 2k in the width direction. Specifically, the intermediate passage 7 is formed by welding (for example, laser welding or laser welding) a flat plate-shaped (elliptical in plan view) cover portion 7a formed of a stainless steel groove formed from the side of the first side surface 2e. It is a space formed by airtight or liquid-tight closure by electron beam welding), etc., and is formed parallel to the longitudinal direction.

중간통로(7)는 그 일단이 제1 통로(4)에서의 정상면(2b)측 단부와 매우 짧은 유체통로인 연통부(8a)를 통해 연통하도록 형성되어 있다. 마찬가지로, 중간통로(7)는 그 타단이 개구측 통로(6)에서의 제1 볼트 삽입통과구멍(2k)측 단부와 매우 짧은 유체통로인 연통부(8b)를 통해 연통하도록 형성되어 있다. 이와 같이, 본체부(2)의 내부에는 제2 개구부(2p)로부터 제1 개구부(2g)에 이르는 유체통로가 제1 볼트 삽입통과구멍(2k)을 우회하면서 길이방향을 따라 대략 L자형으로 형성되어 있다.The intermediate passage 7 is formed so that one end of the intermediate passage 7 communicates with an end portion on the top surface 2b side of the first passage 4 through a communication portion 8a which is a very short fluid passage. Similarly, the intermediate passage 7 is formed so that its other end communicates with the first bolt insertion hole 2k side end of the opening side passage 6 through a communication portion 8b which is a very short fluid passage. In this way, the fluid passage from the second opening 2p to the first opening 2g is formed in an approximately L-shape in the longitudinal direction while bypassing the first bolt insertion hole 2k inside the main body 2 Has been.

배관 조인트(1A)는 제1 볼트 삽입통과구멍(2k) 대신에 제1 볼트 삽입통과구멍(9a)을 가지는 동시에 제2 볼트 삽입통과구멍(2m) 대신에 제2 볼트 삽입통과구멍(9b)을 가지는 것 외에는 배관 조인트(1)와 (거의) 동일한 구성을 가지고 있다. 따라서, 도 26 내지 도 28에 나타내고 있는 배관 조인트(1A)의 구성에서 제1 볼트 삽입통과구멍(9a) 및 제2 볼트 삽입통과구멍(9b) 이외 부분의 설명에 대해서는 상기한 배관 조인트(1)에 대한 설명이 원용된다.The piping joint 1A has a first bolt insertion hole 9a instead of the first bolt insertion hole 2k, and a second bolt insertion hole 9b instead of the second bolt insertion hole 2m. Except for having, it has (almost) the same configuration as the pipe joint (1). Therefore, in the configuration of the piping joint 1A shown in Figs. 26 to 28, the above-described piping joint 1 is for the description of the portions other than the first bolt insertion hole 9a and the second bolt insertion hole 9b. The explanation for is used.

제1 볼트 삽입통과구멍(9a)은 제1 볼트 삽입통과구멍(2k)에 삽입통과되는 상기한 나사를 장착 가능한 나사부를 가지고 있다. 본 실시형태에서는 이 제1 볼트 삽입통과구멍(9a)은 접합면(2a)에서만 개구하는 비관통구멍으로서 형성되어 있다. 마찬가지로 제2 볼트 삽입통과구멍(9b)은 제2 볼트 삽입통과구멍(2m)에 삽입통과되는 상기한 나사를 장착 가능한 나사부를 가지고 있다. 본 실시형태에서는, 이 제2 볼트 삽입통과구멍(9b)도 접합면(2a)에서만 개구하는 비관통구멍으로서 형성되어 있다.The first bolt insertion hole 9a has a threaded portion capable of attaching the aforementioned screw that is inserted through the first bolt insertion hole 2k. In this embodiment, this first bolt insertion hole 9a is formed as a non-penetrating hole that opens only on the bonding surface 2a. Similarly, the second bolt insertion hole 9b has a threaded portion capable of attaching the above-described screw that is inserted through the second bolt insertion hole 2m. In this embodiment, this second bolt insertion hole 9b is also formed as a non-penetrating hole that opens only on the bonding surface 2a.

배관 조인트(1 및 1A)는 길이방향을 따른(구체적으로는 길이방향과 평행한) 제2 개구부(2p)의 중심축선(C1)이, 높이방향을 따른(구체적으로는 높이방향과 평행한) 제1 개구부(2g)의 중심축선(C2)과 본체부(2)의 폭방향에서의 대략 중앙부에서 교차하도록(구체적으로는 직교하도록) 구성되어 있다.The pipe joints 1 and 1A have the central axis C1 of the second opening 2p along the longitudinal direction (specifically parallel to the longitudinal direction), along the height direction (specifically parallel to the height direction). It is comprised so that the central axis C2 of the 1st opening part 2g and the approximately central part in the width direction of the body part 2 may be crossed (specifically, orthogonal to).

도 29에 나타내고 있는 배관접속구조(PJ)는 배관 조인트(1)와 배관 조인트(1A)를 구비하고 있다. 배관 조인트(1)에서의 관부(3)는 스테인리스강으로 형성된 튜브형상의 배관(P11)과 용접(예를 들어, TIG 용접) 등에 의해 기밀적 또는 액밀적으로 접속되어 있다. 마찬가지로 배관 조인트(1A)에서의 관부(3)는 스테인리스강으로 형성된 튜브형상의 배관(P12)과 용접(예를 들어, TIG 용접) 등에 의해 기밀적 또는 액밀적으로 접속되어 있다. 배관 조인트(1)와 배관 조인트(1A)는 서로의 제1 개구부(2g)가 겹치도록 서로의 접합면(2a)에서 접합되어 있다. 그리고, 배관접속구조(PJ)는 상기와 같이 하여 배관 조인트(1)의 접합면(2a)과 배관 조인트(1A)의 접합면(2a)을 서로 접합하고, 하나의 볼트(B)를 제1 볼트 삽입통과구멍(2k)에 삽입통과시키면서 제1 볼트 삽입통과구멍(9a)에 장착하고, 다른 하나의 볼트(B)를 제2 볼트 삽입통과구멍(2m)에 삽입통과시키면서 제2 볼트 삽입통과구멍(9b)에 장착하는 것에 의해 형성되어 있다.The piping connection structure PJ shown in FIG. 29 is provided with the piping joint 1 and the piping joint 1A. The pipe portion 3 in the pipe joint 1 is hermetically or liquid-tightly connected to a tubular pipe P11 made of stainless steel by welding (eg, TIG welding) or the like. Similarly, the pipe portion 3 in the pipe joint 1A is hermetically or liquid-tightly connected to a tubular pipe P12 formed of stainless steel by welding (eg, TIG welding) or the like. The piping joint 1 and the piping joint 1A are joined by mutual bonding surfaces 2a so that the first opening portions 2g of each other overlap. In the pipe connection structure (PJ), as described above, the joint surface 2a of the pipe joint 1 and the joint surface 2a of the pipe joint 1A are joined to each other, and one bolt B is first Inserting the bolt into the first bolt insertion hole (9a) while passing through the bolt insertion hole (2k), and inserting the other bolt (B) through the second bolt insertion hole (2m) while passing through the second bolt insertion hole. It is formed by attaching it to the hole 9b.

도 30에 나타내고 있는 배관접속구조(PJ)는 배관(P11)과 배관(P12)을 접속하고, 배관(P21)과 배관(P22)을 접속하고, 배관(P31)과 배관(P32)을 접속하고 또한, 배관(P41)과 배관(P42)을 접속하기 위해 도 29에 나타내고 있는 배관접속구조(PJ)를 4세트 구비하고 있다.The piping connection structure PJ shown in FIG. 30 connects the piping P11 and the piping P12, connects the piping P21 and the piping P22, and connects the piping P31 and the piping P32. Further, in order to connect the pipe P41 and the pipe P42, four sets of pipe connection structures PJ shown in Fig. 29 are provided.

<작용·효과><Action/Effect>

상기한 실시형태의 구성에서는, 제1 볼트 삽입통과구멍(2k)(9a)과 제2 볼트 삽입통과구멍(2m)(9b) 사이에서 높이방향을 따라 형성된 제1 통로(4)와 제2 개구부(2p)(관부(3)) 사이의 유체통로가 제1 볼트 삽입통과구멍(2k)(9a)을 우회하도록 길이방향을 따라 형성되어 있다. 이러한 구성의 배관 조인트(1)는 높이방향을 따라 나사(볼트(B) 등)를 제1 볼트 삽입통과구멍(2k) 및 제2 볼트 삽입통과구멍(2m)에 삽입통과시킴으로써 장착 대상에 대해 고정(장착)된다.In the configuration of the above-described embodiment, the first passage 4 and the second opening formed along the height direction between the first bolt insertion hole 2k (9a) and the second bolt insertion hole 2m and 9b. (2p) The fluid passage between (pipe part 3) is formed along the longitudinal direction so as to bypass the first bolt insertion hole 2k and 9a. The piping joint 1 of this configuration is fixed to the mounting object by inserting a screw (bolt (B), etc.) into the first bolt insertion hole (2k) and the second bolt insertion hole (2m) along the height direction. (Equipped).

여기서, 제1 통로(4)와 제2 통로(5)를 폭방향에 대해 가급적 근접시키고 또한, 제1 볼트 삽입통과구멍(2k)(9a)과 제2 통로(5)를 서로 연통하지 않을 정도로 폭방향에 대해 가급적 근접시키는 것에 의해, 본체부(2)의 폭방향에서의 치수가 가급적 작게 될 수 있다. 따라서, 이러한 구성에 의하면, 폭방향에서 장치구성을 양호하게 소형화 혹은 집적화하는 것이 가능해진다.Here, the first passage 4 and the second passage 5 are as close as possible to the width direction, and the first bolt insertion hole 2k (9a) and the second passage 5 are not communicated with each other. By making it as close as possible to the width direction, the size of the main body 2 in the width direction can be made as small as possible. Therefore, according to this configuration, it becomes possible to downsize or integrate the device configuration satisfactorily in the width direction.

그리고, 배관 조인트(1 및 1A)에서는 길이방향을 따른 제2 개구부(2p)의 중심축선(C1)이, 높이방향을 따른 제1 개구부(2g)의 중심축선(C2)과 본체부(2)의 폭방향에서의 대략 중앙부에서 교차한다(구체적으로는 동일면에서 직교한다). 이러한 구성에서는, 배관 조인트(1)에서의 중심축선(C1)과 배관 조인트(1A)에서의 중심축선(C1)이 폭방향에 대해 대략 일치하게 된다. 따라서, 이러한 구성에 의하면, 배관설계가 용이해진다. 구체적으로는 2개의 배관(P11, P12)을 폭방향에 대해 대략 일직선상에 배치하면서 접속하는 것이 가능해진다. 또한, 배관 조인트(1)를 어떠한 장착 대상에 대해 나사를 이용하여 장착할 때, 관부(3) 및 여기에 접속되는 배관과 상기한 나사나 그 체결용 공구와의 간섭 발생이 양호하게 회피된다.And, in the pipe joints 1 and 1A, the central axis C1 of the second opening 2p along the longitudinal direction is, the central axis C2 and the body portion 2 of the first opening 2g along the height direction. It intersects approximately at the center in the width direction of (specifically, it is orthogonal to the same plane) In this configuration, the central axis line C1 of the pipe joint 1 and the central axis line C1 of the pipe joint 1A substantially coincide in the width direction. Therefore, according to this configuration, piping design becomes easy. Specifically, it becomes possible to connect the two pipes P11 and P12 while arranging them in a substantially straight line with respect to the width direction. In addition, when the pipe joint 1 is attached to a certain mounting object using screws, the occurrence of interference between the pipe portion 3 and the pipe connected thereto and the screw described above or a tool for fastening thereof is satisfactorily avoided.

특히 배관 조인트(1)와 배관 조인트(1A)를 접속(연결)하는 것에 의해 형성된 배관접속구조(PJ)에서는, 도 29 및 도 30에 나타내고 있는 바와 같이 배관 조인트(1)와 배관 조인트(1A)의 체결(연결) 또는 분리 작업을 배관 조인트(1)에서의 정상면(2b)측으로부터 높이방향을 따라 막대형상의 육각렌치 등을 끼워넣어서 볼트(B)를 조작하여 행할 수 있다. 따라서, 이러한 구성에 의하면, 배관 조인트(1) 및 배관 조인트(1A)의 폭을 가급적 작게 해도 양호한 메인티넌스성(상기한 작업의 작업성)이 확보된다.In particular, in the piping connection structure PJ formed by connecting (connecting) the piping joint 1 and the piping joint 1A, as shown in Figs. 29 and 30, the piping joint 1 and the piping joint 1A. The bolt (B) can be operated by inserting a bar-shaped hexagon wrench or the like along the height direction from the top surface (2b) side of the pipe joint (1). Therefore, according to this configuration, even if the widths of the pipe joint 1 and the pipe joint 1A are as small as possible, good maintainability (workability of the above-described operation) is ensured.

또한, 도 30에 나타내고 있는 바와 같이 병렬로 형성된 복수의 배관(P11, P21, …))과 병렬로 형성된 복수의 배관(P12, P22, …)을 각각 서로 접속하는 경우, 이러한 접속을 형성하기 위한 배관접속구조(PJ)는 종래기술에 관련된 배관 조인트 구조(1C)(도 31 참조)와 비교하여 폭방향으로 양호하게 집적화될 수 있다.Further, as shown in Fig. 30, when a plurality of pipes P11, P21, ... formed in parallel and a plurality of pipes P12, P22, ... formed in parallel are connected to each other, The piping connection structure PJ can be well integrated in the width direction compared to the piping joint structure 1C (see Fig. 31) related to the prior art.

즉, 도 30에 나타내고 있는 "d"는 상기와 같이 볼트(B)를 배관 조인트(1)에서의 정상면(2b)측으로부터 높이방향을 따라 조작하는 경우에 필요한 인접하는 배관끼리의 간격을 나타낸다. 여기서, 도 30에서는 병렬로 형성된 4개의 배관(P11∼P41)과 병렬로 형성된 4개의 배관(P12∼P42)이 접속되어 있으므로 P11과 P41의 중심간 거리(P12와 P42의 중심간 거리)(D)는 3d가 된다.That is, "d" shown in Fig. 30 denotes the spacing between adjacent pipes required when the bolt B is operated along the height direction from the top surface 2b side of the pipe joint 1 as described above. Here, in Fig. 30, since four pipes P11 to P41 formed in parallel and four pipes P12 to P42 formed in parallel are connected, the distance between the centers of P11 and P41 (the distance between the centers of P12 and P42) (D ) Becomes 3d.

이에 반해, 종래기술에 관련된 배관 조인트 구조(1C)(도 31 참조)에 있어서는, 체결이나 분리를 위한 메인티넌스 작업은 스패너를 배관(P11) 등과 직교하는 방향에서 끼워 넣어 배관(P11) 등에서의 축방향을 중심으로 회전시키는 것에 의해 이루어진다. 이 때문에, 종래기술에 관련된 배관 조인트 구조(1C)를 이용한 경우, 도 30과 마찬가지로 배관(P11∼P41)과 배관(P12∼P42)을 접속하는 경우에도 도 31에 나타내고 있는 바와 같이 인접하는 배관끼리의 간격(d1)이 도 30에서의 간격(d)보다 훨씬 커지고, P11과 P41의 중심간 거리(P12와 P42의 중심간 거리)(D1)도 도 30에서의 중심간 거리(D)보다 훨씬 커진다.On the other hand, in the pipe joint structure 1C (refer to Fig. 31) related to the prior art, the maintenance work for fastening or separation is performed by inserting a spanner in a direction orthogonal to the pipe P11, etc. It is achieved by rotating it around the axial direction. Therefore, in the case of using the pipe joint structure 1C according to the prior art, as shown in Fig. 31, when connecting the pipes P11 to P41 and the pipes P12 to P42 as in Fig. 30, adjacent pipes are The distance (d1) of is much larger than the distance (d) in FIG. 30, and the distance between the centers of P11 and P41 (the distance between the centers of P12 and P42) (D1) is also much larger than the distance between the centers (D) in FIG. It gets bigger.

다음으로, 도 32 내지 도 34를 참조하면서 상기한 배관 조인트(1)(도 23 내지 도 25 참조)가 본 발명의 "유체공급 제어장치"로서의 가스공급장치(10)에 적용되는 경우의 구체예에 대해 설명한다.Next, a specific example of the case where the pipe joint 1 (see FIGS. 23 to 25) described above with reference to FIGS. 32 to 34 is applied to the gas supply device 10 as the "fluid supply control device" of the present invention. Explain about.

한 쌍의 암나사부(28a1, 28a2)는 배관 조인트(1)에 대응하는 위치에 형성되어 있다. 구체적으로는, 배관 조인트(1)에 대응하는 한 쌍의 암나사부(28a1, 28a2)는 접속유로(21)에서의 입구포트(21a)를 사이에 둔 양측에 기기배열방향으로 배열되어 있다. 즉, 암나사부(28a1)(가스통류방향에서의 상류측에 있는 것)는 유로블록(20)의 가스통류방향에서의 최상류측 위치에 형성되어 있다. 한 쌍의 암나사부(28b)는 유체제어밸브(17 및 18)에 대응하는 위치에 형성되어 있다. 한 쌍의 암나사부(28c)는 유량제어기(16)에 대응하는 위치에 형성되어 있다. 한 쌍의 암나사부(28d)는 유체제어밸브(19)에 대응하는 위치에 형성되어 있다.A pair of female threaded portions 28a1 and 28a2 are formed at positions corresponding to the piping joint 1. Specifically, a pair of female threaded portions 28a1 and 28a2 corresponding to the piping joint 1 are arranged in the device arrangement direction on both sides of the connection passage 21 with the inlet port 21a interposed therebetween. That is, the female threaded portion 28a1 (the one on the upstream side in the gas flow direction) is formed at the uppermost position of the flow path block 20 in the gas flow direction. A pair of female threaded portions 28b are formed at positions corresponding to the fluid control valves 17 and 18. A pair of female threaded portions 28c are formed at positions corresponding to the flow rate controller 16. A pair of female threaded portions 28d are formed at positions corresponding to the fluid control valve 19.

본 실시형태에서는, 한 쌍의 암나사부(28a1, 28a2)와 한 쌍의 암나사부(28b)와 한 쌍의 암나사부(28c)와 한 쌍의 암나사부(28d)가 이 순서대로 가스통류방향(기기배열방향)을 따라 거의 일직선상에 배열되도록 형성되어 있다. 구체적으로는, 암나사부(28b, 28c) 및 암나사부(28d)는 평면에서 보아 이들의 중심이 가스통류방향과 평행한 직선인 중심선(C)(도 32에서의 1점쇄선 참조) 상에 위치하도록 형성되어 있다. 또한, 한 쌍의 암나사부(28a1, 28a2)는 평면에서 보아 내경을 구성하는 원이 중심선(C)과 겹치도록 형성되어 있다.In this embodiment, a pair of female screw portions 28a1 and 28a2, a pair of female screw portions 28b, a pair of female screw portions 28c, and a pair of female screw portions 28d are in this order in the gas flow direction ( It is formed to be arranged almost in a straight line along the device arrangement direction). Specifically, the female threaded portions 28b and 28c and the female threaded portion 28d are located on the center line C (see the one-dot chain line in Fig. 32), which is a straight line parallel to the gas flow direction in plan view. It is formed to be. In addition, the pair of female threaded portions 28a1 and 28a2 is formed so that a circle constituting the inner diameter when viewed in a plan view overlaps the center line C.

또한, 본 실시형태에서는, 암나사부(28a1)는 그 중심이 상기한 중심선(C)보다 장치 폭방향에서의 일방측(가스공급유닛(10B∼10D)과는 반대측)에 오프셋하도록 형성되어 있다. 마찬가지로 암나사부(28a2)는 그 중심이 상기한 중심선(C)보다 장치 폭방향에서의 타방측(가스공급유닛(10B∼10D)측)에 오프셋하도록 형성되어 있다.Further, in the present embodiment, the female threaded portion 28a1 is formed so that its center is offset from the center line C to one side in the width direction of the device (the side opposite to the gas supply units 10B to 10D). Similarly, the female threaded portion 28a2 is formed so that its center is offset from the center line C to the other side (gas supply units 10B to 10D) side in the width direction of the device.

배관 조인트(1)는 가스공급유닛(10A, 10B, 10C 및 10D) 각각에 하나씩 형성되어 있다. 가스공급유닛(10A)에서의 배관 조인트(1)는 접속유로(21)에서의 입구포트(21a)(본 발명의 "출입구"에 상당한다)에 접속되도록 구성되어 있다. 즉, 이 배관 조인트(1)는 입구포트(21a)에 대향하는 위치에서 유로블록(20)에서의 상측표면(20a)에 대해 기밀적으로 접합됨으로써 프로세스 가스 유입 라인(11A)과 입구포트(21a)를 접속하게 되어 있다(가스공급유닛(10B, 10C 및 10D)에서의 배관 조인트(1)도 동일한 구성을 가지고 있다).One pipe joint 1 is formed in each of the gas supply units 10A, 10B, 10C and 10D. The piping joint 1 in the gas supply unit 10A is configured to be connected to an inlet port 21a (corresponding to the "inlet port" of the present invention) in the connection passage 21. That is, the piping joint 1 is hermetically joined to the upper surface 20a of the flow path block 20 at a position opposite to the inlet port 21a, so that the process gas inlet line 11A and the inlet port 21a ) Is connected (the pipe joint 1 in the gas supply units 10B, 10C and 10D has the same configuration).

배관 조인트(1)는 본체부(2)에서의 길이방향이 기기배열방향을 따른 방향(구체적으로는 평행)이 되고, 본체부(2)에서의 폭방향이 상기한 장치 폭방향을 따른 방향(구체적으로는 평행)이 되고, 본체부(2)에서의 높이방향이 유로블록(20)의 두께방향을 따른 방향(구체적으로는 평행)이 되도록 유로블록(20)에 장착되어 있다. 또한, 본체부(2)에서는 제1 볼트 삽입통과구멍(2k) 및 제2 볼트 삽입통과구멍(2m)은 배관 조인트(1)를 유로블록(20)에 대해 장착한 상태로 볼트(B)가 평면에서 보아 상기한 중심선(C)과 교차하도록 형성되어 있다. 본체부(2)에서의 접합면(2a)은 유로블록(20)에서의 상측표면(20a)에 대해 접합되어 있다.In the pipe joint 1, the longitudinal direction in the main body 2 is a direction along the device arrangement direction (specifically, parallel), and the width direction in the main body 2 is a direction along the width direction of the device ( Specifically, it becomes parallel), and is attached to the flow path block 20 so that the height direction of the main body 2 is a direction along the thickness direction of the flow path block 20 (specifically, parallel). In addition, in the body part 2, the first bolt insertion hole (2k) and the second bolt insertion hole (2m) have the piping joint (1) attached to the flow path block (20), and the bolt (B) is It is formed so as to intersect the center line (C) described above in plan view. The bonding surface 2a of the main body 2 is bonded to the upper surface 20a of the flow path block 20.

배관 조인트(1)는 제1 단면(2c)이 가스통류방향에서의 상류측에 위치하도록 유로블록(20)에 대해 장착되어 있다. 이 제1 단면(2c)으로부터 대략 수평방향으로 돌출하도록 프로세스 가스 유입 라인(11)과 접속하기 위한 관부(3)가 형성되어 있다.The piping joint 1 is attached to the flow path block 20 so that the first end face 2c is positioned upstream in the gas flow direction. A pipe portion 3 for connecting with the process gas inlet line 11 is formed so as to protrude substantially horizontally from the first end face 2c.

제1 측면(2e)은 배관 조인트(1)가 유로블록(20)에 장착된 상태로 암나사부(28a2)측에 형성되어 있다. 제2 측면(2f)은 배관 조인트(1)가 유로블록(20)에 장착된 상태로 암나사부(28a1)측에 형성되어 있다.The first side surface 2e is formed on the female threaded portion 28a2 side with the piping joint 1 mounted on the flow path block 20. The second side surface 2f is formed on the female threaded portion 28a1 side with the piping joint 1 mounted on the flow path block 20.

배관 조인트(1)는 한 쌍의 볼트(B)를 제1 볼트 삽입통과구멍(2k) 및 제2 볼트 삽입통과구멍(2m)에 삽입통과시켜 한 쌍의 암나사부(28a1, 28a2)에 장착함으로써 유로블록(20)에 대해 착탈이 자유롭게 장착되어 있다. 여기서, 본 실시형태에서는, 본체부(2)는 그 폭이 관부(3) 및 볼트(B)의 외경보다 약간 크고 또한, 유량제어기(16) 및 유체제어밸브(17∼19)의 폭(유체제어밸브 액츄에이터(17a∼19a)의 폭)과 대략 동일해지도록 형성되어 있다.The piping joint 1 is attached to a pair of female threaded portions 28a1 and 28a2 by inserting a pair of bolts (B) through the first bolt insertion hole (2k) and the second bolt insertion hole (2m). It is freely attached to and detached from the flow path block 20. Here, in this embodiment, the width of the body portion 2 is slightly larger than the outer diameters of the pipe portion 3 and the bolt B, and the width of the flow controller 16 and the fluid control valves 17 to 19 (fluid It is formed so as to be substantially equal to the width of the control valve actuators 17a to 19a).

제1 볼트 삽입통과구멍(2k)은 암나사부(28a1)에 대응하도록 평면에서 보아 관부(3)측에 배치되어 있다. 한편, 제2 볼트 삽입통과구멍(2m)은 암나사부(28a2)에 대응하도록 상기한 길이방향에서의 제2 단면(2d)측의 단부에 배치되어 있다. 제1 개구부(2g)는 배관 조인트(1)가 유로블록(20)에 장착된 상태로 유로블록(20)에서의 프로세스 가스의 입구에 대응하는 접속유로(21)에서의 입구포트(21a)에 대향하는 위치에 배치되어 있다.The first bolt insertion hole 2k is disposed on the side of the tube part 3 in plan view so as to correspond to the female threaded part 28a1. On the other hand, the second bolt insertion hole 2m is disposed at the end of the second end face 2d side in the longitudinal direction described above so as to correspond to the female threaded portion 28a2. The first opening 2g is connected to the inlet port 21a in the connection passage 21 corresponding to the inlet of the process gas in the passage block 20 with the piping joint 1 mounted on the passage block 20. They are placed in opposite positions.

시일단차부(2h)는 가스 시일부재를 수용 가능하게 형성되어 있다. 이 가스 시일부재는 배관 조인트(1)를 유로블록(20)에 장착한 상태로 유로블록(20)에서의 상측표면(20a)과 본체부(2)에서의 접합면(2a)의 접합개소에서 접속유로(21)에서의 입구포트(21a)와 제1 개구부(2g)를 기밀적으로 접속하게 되어 있다. 제2 개구부(2p)는 배관 조인트(1)가 유로블록(20)에 장착된 상태로 본체부(2)에서 가스통류방향에서의 상류측의 단부에서 개구하도록 형성되어 있다.The seal step 2h is formed to accommodate a gas seal member. This gas seal member is formed at a joint location between the upper surface 20a of the flow path block 20 and the bonding surface 2a of the main body 2 with the piping joint 1 attached to the flow path block 20. The inlet port 21a and the first opening 2g in the connection passage 21 are hermetically connected. The second opening 2p is formed so as to open at an end of the main body 2 on the upstream side in the gas flow direction with the pipe joint 1 mounted on the flow path block 20.

유체제어밸브(17 및 18)에 대응하는 한 쌍의 암나사부(28b) 중 일방은 접속유로(21)에서의 출구포트(21b)와 암나사부(28a2) 사이의 위치에 형성되어 있다. 한 쌍의 암나사부(28b) 중 타방은 퍼지 가스 공급포트(24)와 접속유로(22)에서의 출구포트(22b) 사이의 위치에 형성되어 있다(보다 엄밀하게 말하면, 한 쌍의 암나사부(28b) 중 타방은 퍼지 가스 공급포트(24)와 한 쌍의 암나사부(28c)에서의 후술하는 일방과 퍼지 가스 공급포트(24) 사이에 형성되어 있다. 그러나, 이 설명 단계에서는 한 쌍의 암나사부(28c)의 위치는 아직도 확정되어 있지 않다. 따라서, 한 쌍의 암나사부(28c)의 위치에 대해서는 후술하는 설명을 참조하기 바란다.).One of the pair of female threaded portions 28b corresponding to the fluid control valves 17 and 18 is formed at a position between the outlet port 21b and the female threaded portion 28a2 in the connection passage 21. The other of the pair of female screw portions 28b is formed at a position between the purge gas supply port 24 and the outlet port 22b of the connection passage 22 (more strictly speaking, the pair of female screw portions ( The other of 28b) is formed between the purge gas supply port 24 and one of the pair of female threaded portions 28c, which will be described later, and the purge gas supply port 24. However, in this description step, a pair of female threads is formed. The position of the portion 28c has not been determined yet, therefore, for the position of the pair of female screw portions 28c, refer to the description to be described later.)

유량제어기(16)에 대응하는 한 쌍의 암나사부(28c) 중 일방은 한 쌍의 암나사부(28b) 중 가스통류방향에서의 하류측에 있는 것과 접속유로(22)에서의 출구포트(22b) 사이의 위치에 형성되어 있다. 한 쌍의 암나사부(28c) 중 타방은 접속유로(23)에서의 입구포트(23a)와 출구포트(23b) 사이의 위치에 형성되어 있다(보다 엄밀하게 말하면, 한 쌍의 암나사부(28c) 중 타방은 입구포트(23a)와 한 쌍의 암나사부(28d)에서의 후술하는 일방 사이에 형성되어 있다. 그러나, 이 설명 단계에서는 한 쌍의 암나사부(28d)의 위치는 아직도 확정되어 있지 않다. 따라서, 한 쌍의 암나사부(28d)의 위치에 대해서는 후술하는 설명을 참조하기 바란다.).One of the pair of female threaded portions 28c corresponding to the flow controller 16 is one of the pair of female threaded portions 28b on the downstream side in the gas flow direction and the outlet port 22b of the connection channel 22 It is formed in the position between. The other of the pair of female screw portions 28c is formed at a position between the inlet port 23a and the outlet port 23b in the connection passage 23 (more strictly speaking, the pair of female screw portions 28c) The other of which is formed between the inlet port 23a and one of the pair of female threaded portions 28d, which will be described later, However, in this description step, the position of the pair of female threaded portion 28d has not yet been determined. Therefore, for the position of the pair of female threaded portions 28d, refer to the description to be described later).

또한, MFC 부착부(50)에서 암나사부(28c)에 대응하는 위치에는 부착볼트(51)를 삽입통과시키기 위한 도시하지 않은 관통구멍이 형성되어 있다. 그리고, 유량제어기(16)는 한 쌍의 암나사부(28c)에 부착볼트(51)를 장착함으로써 유로블록(20)에서의 상측표면(20a)측에 대해 기밀적으로 장착되어 있다. 즉, 한 쌍의 암나사부(28c)는 유량제어기(16)(MFC 부착부(50))를 유로블록(20)에 대해 착탈이 자유롭게 장착 가능하게 형성되어 있다. 또한, 유량제어기(16)(MFC 부착부(50))를 유로블록(20)에서의 상측표면(20a)측에 대해 기밀적으로 접합하는 구성에 대해서는 주지이므로, 본 명세서에서는 이러한 구성에 대한 도시나 더 이상의 상세한 설명은 생략한다.In addition, a through hole (not shown) is formed in the MFC attachment portion 50 at a position corresponding to the female thread portion 28c to allow the attachment bolt 51 to be inserted therethrough. Then, the flow controller 16 is airtightly attached to the upper surface 20a side of the flow path block 20 by attaching the attachment bolts 51 to the pair of female threaded portions 28c. That is, the pair of female threaded portions 28c are formed so that the flow controller 16 (MFC attachment portion 50) can be freely attached to and detached from the flow path block 20. In addition, since it is well known about the configuration in which the flow controller 16 (MFC attachment portion 50) is hermetically bonded to the upper surface 20a side of the flow path block 20, this configuration is illustrated in the present specification. B. Further detailed description is omitted.

상기와 같이 본 실시형태에서는 암나사부(28a1, 28a2), 접속유로(21)(입구포트(21a), 입구통로(21c), 접속로(21e), 출구통로(21d) 및 출구포트(21b)를 포함한다), 암나사부(28b), 접속유로(22)(상동), 퍼지 가스 공급포트(24), 암나사부(28c), 접속유로(23)(상동), 프로세스 가스 공급포트(26) 및 암나사부(28d)가 기기배열방향을 따라 거의 일직선상에 배치되어 있다. 또한, 암나사부(28a1, 28a2, 28b, 28c 및 28d)는 상측표면(20a)에서 개구하는 비관통구멍으로서 형성되어 있다. 즉, 접속유로(21, 22 및 23)는 암나사부(28a1∼28d)에서의 깊이방향으로 그 암나사부(28a1∼28d)를 우회하도록 형성되어 있다. 구체적으로는, 암나사부(28a1∼28d)는 접속유로(21∼23)와 연통하지 않게 형성되어 있다.As described above, in this embodiment, the female threaded portions 28a1 and 28a2, the connection passage 21 (inlet port 21a, inlet passage 21c, connection passage 21e, outlet passage 21d, and outlet port 21b) Including), female threaded portion 28b, connection passage 22 (above), purge gas supply port 24, female threaded portion 28c, connection passage 23 (above), process gas supply port 26 And the female threaded portion 28d is disposed in a substantially straight line along the device arrangement direction. Further, the female threaded portions 28a1, 28a2, 28b, 28c, and 28d are formed as non-penetrating holes opening in the upper surface 20a. That is, the connection passages 21, 22 and 23 are formed so as to bypass the female threaded portions 28a1 to 28d in the depth direction from the female threaded portions 28a1 to 28d. Specifically, the female threaded portions 28a1 to 28d are formed so as not to communicate with the connection passages 21 to 23.

<작용·효과><Action/Effect>

상기와 같은 본 실시형태의 구성에서는, 배관 조인트(1)는 한 쌍의 암나사부(28a1, 28a2)에 의해 유로블록(20)에 대해 착탈이 자유롭게 장착된다. 마찬가지로 유체제어밸브(17 및 18)는 한 쌍의 암나사부(28b)에 의해 유로블록(20)에 대해 착탈이 자유롭게 장착된다. 또한, 유량제어기(16)는 한 쌍의 암나사부(28c)에 의해 유로블록(20)에 대해 착탈이 자유롭게 장착된다. 그리고, 유체제어밸브(19)는 한 쌍의 암나사부(28d)에 의해 유로블록(20)에 대해 착탈이 자유롭게 장착된다.In the configuration of the present embodiment as described above, the piping joint 1 is freely attached and detached from the flow path block 20 by a pair of female threaded portions 28a1 and 28a2. Similarly, the fluid control valves 17 and 18 are detachably mounted to the flow path block 20 by a pair of female threaded portions 28b. Further, the flow controller 16 is freely attached and detached from the flow path block 20 by a pair of female threaded portions 28c. Further, the fluid control valve 19 is freely attached and detached from the flow path block 20 by a pair of female threaded portions 28d.

그러면, 배관 조인트(1)와 유체제어밸브(17 및 18)는 접속유로(21)에 의해 접속된다. 마찬가지로 유체제어밸브(17 및 18)와 유량제어기(16)는 접속유로(22)에 의해 접속된다. 또한, 유량제어기(16)와 유체제어밸브(19)는 접속유로(23)에 의해 접속된다. 그리고, 이러한 접속유로(21∼23)는 암나사부(28a∼28d)와 거의 동일 직선상에 배치되며 이것을 깊이방향으로 우회하도록 형성된다.Then, the pipe joint 1 and the fluid control valves 17 and 18 are connected by a connection passage 21. Similarly, the fluid control valves 17 and 18 and the flow controller 16 are connected by a connection passage 22. Further, the flow controller 16 and the fluid control valve 19 are connected by a connection passage 23. Further, the connection passages 21 to 23 are disposed on substantially the same straight line as the female threaded portions 28a to 28d, and are formed to bypass this in the depth direction.

따라서, 상기한 구성에 의하면, 배관 조인트(1), 밸브부착블록(40), MFC 부착부(50) 및 밸브부착블록(60)의 폭을 최소한(구체적으로는 유량제어기(16) 및 유체제어밸브 액츄에이터(17a∼19a)의 폭과 대략 동일)으로 설정해도, 유량제어기(16) 및 유체제어밸브(17∼19)를 유로블록(20)에 대해 양호하게 착탈이 자유롭게 하는 것이 가능해진다. 바꾸어 말하면, 이것을 부착용 볼트를 평면에서 보아 대략 직사각형으로 4개씩 이용하는 일 없이 유로블록(20)에 대해 양호하게 착탈이 자유롭게 하는 것이 가능해진다. 따라서, 이러한 구성에 의하면, 각 가스공급유닛(10A) 등의 폭이나 가스공급장치(10) 전체의 폭을 가급적 작게 하는 것이 가능해지고, 따라서, 가스공급장치(10)에서 양호한 메인티넌스성을 유지하면서 더욱 소형화하는 것이 가능해진다.Accordingly, according to the above configuration, the width of the pipe joint 1, the valve attachment block 40, the MFC attachment part 50, and the valve attachment block 60 is minimized (specifically, the flow controller 16 and the fluid control Even if it is set to be substantially the same as the width of the valve actuators 17a to 19a), it becomes possible to freely attach and detach the flow rate controller 16 and the fluid control valves 17 to 19 with respect to the flow path block 20. In other words, it becomes possible to freely attach and detach the bolts for attachment to the flow path block 20 without using four screws each in a substantially rectangular shape when viewed in plan view. Therefore, according to this configuration, it is possible to reduce the width of each gas supply unit 10A or the like or the entire width of the gas supply device 10 as possible, and thus, maintain good maintenance properties in the gas supply device 10. While doing so, it becomes possible to further downsize.

특히 유로블록(20)에 대한 배관부분의 구성에 대해 주목하면, 배관 조인트(1)에서는 평면에서 보아 길이방향을 가지는 외형상으로 형성된 본체부(2)에서 길이방향에서의 제2 개구부(2p)측과는 반대측의 단부에 제1 볼트 삽입통과구멍(2k)이 형성된다. 또한, 제1 볼트 삽입통과구멍(2k)과 제2 볼트 삽입통과구멍(2m)은 유로블록(20)을 향해 개구하는 제1 개구부(2g) 및 제1 통로(4)를 사이에 두고 대략 대칭의 위치에 형성된다. 이러한 제1 볼트 삽입통과구멍(2k)과 제2 볼트 삽입통과구멍(2m)과 볼트(B)를 이용하여 배관 조인트(1)가 유로블록(20)에 장착된다.In particular, paying attention to the configuration of the piping portion for the flow path block 20, in the piping joint 1, the second opening 2p in the longitudinal direction in the body portion 2 formed in an outer shape having a longitudinal direction when viewed from a plan view. A first bolt insertion hole 2k is formed at an end of the side opposite to the side. In addition, the first bolt insertion hole 2k and the second bolt insertion hole 2m are substantially symmetrical with the first opening 2g and the first passage 4 opening toward the flow path block 20 interposed therebetween. Is formed in the position of. The pipe joint 1 is mounted on the flow path block 20 by using the first bolt insertion hole 2k, the second bolt insertion hole 2m, and the bolt B.

여기서, 본체부(2)의 내부에서는 제1 통로(4)가 제1 개구부(2g)로부터 높이방향을 따라 형성된다. 그리고, 제2 통로(5)가 제1 통로(4)에서의 제1 개구부(2g)로부터 이격된 위치로부터 길이방향을 따라 제1 볼트 삽입통과구멍(2k)를 우회하도록 형성된다.Here, inside the main body 2, the first passage 4 is formed along the height direction from the first opening 2g. In addition, the second passage 5 is formed to bypass the first bolt insertion hole 2k along the longitudinal direction from a position spaced apart from the first opening 2g in the first passage 4.

즉, 이러한 구성에서는 본체부(2)의 내부에는 제1 개구부(2g)와 제2 개구부(2p) 사이에서 측단면에서 보아 대략 L자형의 가스 통로가 형성된다. 또한, 제1 통로(4)와 제2 통로(5)를 폭방향으로 가급적 근접시키고 또한, 제2 볼트 삽입통과구멍(2m)과 제2 통로(5)를 서로 연통하지 않을 정도로 폭방향으로 가급적 근접시키는 것에 의해 본체부(2)의 폭방향에서의 치수가 가급적 작게 될 수 있다.That is, in this configuration, an approximately L-shaped gas passage is formed in the main body 2 between the first opening 2g and the second opening 2p when viewed from a side cross-section. In addition, the first passage 4 and the second passage 5 are as close as possible in the width direction, and the second bolt insertion hole 2m and the second passage 5 are not communicated with each other as much as possible in the width direction. By bringing it closer together, the dimension in the width direction of the main body 2 can be made as small as possible.

또한, 이러한 구성에서는 유로블록(20)에 대한 배관부분의 구성이 가급적 소형화된다. 즉, 배관 조인트(1)가 유량제어기(16) 및 유체제어밸브(17∼19), 그리고, 이것을 유로블록(20)에 장착하기 위한 구성(암나사부(28b) 등 및 부착볼트(41) 등)과 함께 가스통류방향을 따라 대략 일직선상에 배열된, 암나사부(28a1, 28a2)와 한 쌍의 볼트(B)에 의해 유로블록(20)에 장착된다.In addition, in this configuration, the configuration of the piping portion for the flow path block 20 is reduced as much as possible. That is, the piping joint 1 is the flow controller 16 and the fluid control valves 17 to 19, and a configuration for mounting this to the flow path block 20 (female thread 28b, etc., and mounting bolts 41, etc.) ) And are mounted on the flow path block 20 by the female threaded portions 28a1 and 28a2 and a pair of bolts B, arranged in a substantially straight line along the gas flow direction.

이 때, 배관 조인트(1)로부터는 프로세스 가스 유입 라인(11)에 접속하기 위한 가스 통로 구성(본체부(2) 내부의 가스 통로 및 관부(3))이 본체부(2)로부터 대략 수평으로 가스통류방향에서의 상류측을 향해 연장되도록 형성된다. 이 때문에, 도 32 및 도 33에 나타내고 있는 바와 같이 프로세스 가스 유입 라인(11)에서의 배관 조인트(1) 근방의 부분은 장치 폭방향이나 높이방향으로 굴곡되는 일 없이 형성된다.At this time, from the piping joint 1, the gas passage configuration (gas passage and pipe 3 inside the body 2) for connecting to the process gas inlet line 11 is approximately horizontally from the main body 2 It is formed so as to extend toward the upstream side in the gas flow direction. For this reason, as shown in Figs. 32 and 33, a portion of the process gas inlet line 11 in the vicinity of the pipe joint 1 is formed without bending in the width direction or height direction of the device.

또한, 배관 조인트(1)를 유로블록(20)에 착탈할 때, 제1 볼트 삽입통과구멍(2k) 및 제2 볼트 삽입통과구멍(2m)이 프로세스 가스 유입 라인(11)에서의 배관 조인트(1) 근방의 부분에 간섭하지 않는 위치가 된다. 이 때문에, 제1 볼트 삽입통과구멍(2k) 및 제2 볼트 삽입통과구멍(2m)의 상측에 볼트(B)의 체결작업용의 비교적 큰 스페이스를 배관 설계에 의해 굳이 만들(확보할) 필요가 없어진다. 즉, 이러한 배관부분을 배관 조인트(1)의 착탈작업용 스페이스의 확보를 위해 일부러 우회시킬 필요가 없어진다. 따라서, 이러한 배관부분을 가급적 짧게 할 수 있다.In addition, when the piping joint 1 is attached to and removed from the flow path block 20, the first bolt insertion hole 2k and the second bolt insertion hole 2m are formed at the pipe joint in the process gas inlet line 11 ( 1) It is a location that does not interfere with nearby parts. For this reason, it is not necessary to create (secure) a relatively large space for fastening work of the bolt B above the first bolt insertion hole 2k and the second bolt insertion hole 2m by piping design. . That is, there is no need to deliberately bypass such a pipe portion to secure a space for attaching and detaching the pipe joint 1. Therefore, such a piping part can be shortened as much as possible.

또한, 본 실시형태의 구성에서는, 배관 조인트(1), 유량제어기(16) 및 유체제어밸브(17∼19)가 유로블록(20)에서의 상측표면(20a)측에 집약되어 있다. 따라서, 이러한 구성에 의하면, 배관 조인트(1), 유량제어기(16) 및 유체제어밸브(17∼19)가 상측표면(20a)측에 집약 장착된 구성(이러한 구성에 의하면, 모든 배관 조인트(1), 유량제어기(16) 및 유체제어밸브(17∼19)에 대해 메인티넌스(볼트(B) 및 부착볼트(41)를 조이거나 푸는 동작 등)시에 상측표면(20a)측으로부터 액세스하는 것이 가능해지기 때문에, 메인티넌스성이 매우 양호해진다)에서 가스공급유닛(10A) 등 혹은 가스공급장치(10)가 양호한 메인티넌스성을 해치는 일 없이 가급적 작은 폭으로 실현 가능해진다.Further, in the configuration of this embodiment, the piping joint 1, the flow controller 16, and the fluid control valves 17 to 19 are integrated on the upper surface 20a side of the flow path block 20. Accordingly, according to this configuration, the piping joint 1, the flow controller 16, and the fluid control valves 17 to 19 are collectively mounted on the upper surface 20a side (according to this configuration, all piping joints 1 ), the flow controller 16 and the fluid control valves 17 to 19 are accessed from the upper surface 20a during maintenance (such as tightening or releasing the bolts (B) and mounting bolts (41)). Because it becomes possible, the maintenance property becomes very good), and the gas supply unit 10A or the like or the gas supply device 10 can be realized in as small a width as possible without impairing the good maintenance property.

도 29 및 도 30에 나타내고 있는 구성은 예를 들어, 도 32에 나타내고 있는 프로세스 가스 유입 라인(11)(프로세스 가스 유입 라인(11A, 11B, 11C 및 11D))에서의 유로블록(20)에 도달하기 전 배관부분에서의 배관접속구조에 대해 양호하게 적용될 수 있다.The configurations shown in Figs. 29 and 30 reach the flow path block 20 in the process gas inlet line 11 (process gas inlet lines 11A, 11B, 11C and 11D) shown in Fig. 32, for example. It can be applied well to the piping connection structure in the piping part before the following.

유체제어밸브(17∼19)는 하측표면(20b)측에 착탈이 자유롭게 장착되어도 된다. 도 35는 이러한 변형예에 대응하는 것이다. 본 변형예에서는, 배관 조인트(1)는 상기한 실시형태와 동일한 구성을 가지고 있으며, 관부(3)가 하측(하측표면(20b)측)으로 돌출하도록 유로블록(20)에서의 단면(201B)에 장착되어 있다. 여기서, 단면(201B)은 유로블록(20)에서의 일표면으로 상측표면(20a) 및 하측표면(20b)과 직교하는 표면이다. 이 단면(201B)은 유로블록(20)의 기기배열방향에서의 일단측에 형성되어 있다.The fluid control valves 17 to 19 may be detachably attached to the lower surface 20b side. Fig. 35 corresponds to this modification. In this modified example, the pipe joint 1 has the same configuration as the above-described embodiment, and the end face 201B of the flow path block 20 so that the pipe portion 3 protrudes downward (the lower surface 20b side). It is mounted on. Here, the end surface 201B is one surface of the flow path block 20 and is a surface orthogonal to the upper surface 20a and the lower surface 20b. This end surface 201B is formed at one end of the flow path block 20 in the device arrangement direction.

또한, 본 변형예에서는 유체제어밸브(17, 18 및 19)가 단면(201B)측으로부터 이 순서대로 기기배열방향으로 배열되어 있다. 이러한 변경에 기인하여 유로블록(20) 내부의 유로구성이 상기한 실시형태의 구성에서 변경되었다. 상기한 것 외에는 유량제어기(16), 유체제어밸브(17∼19) 및 배관 조인트(1)는 상기한 실시형태와 동일하게 하여 유로블록(20)에 장착되어 있다. 즉, 밸브부착블록(40), MFC 부착부(50) 및 밸브부착블록(60)의 구성은 상기한 실시형태와 거의 동일하다.Further, in this modification, the fluid control valves 17, 18, and 19 are arranged in the device arrangement direction in this order from the end face 201B side. Due to this change, the flow path configuration inside the flow path block 20 has been changed from the configuration of the above-described embodiment. Except for the above, the flow controller 16, the fluid control valves 17 to 19, and the pipe joint 1 are mounted on the flow path block 20 in the same manner as in the above-described embodiment. That is, the configurations of the valve attachment block 40, the MFC attachment part 50, and the valve attachment block 60 are almost the same as those in the above-described embodiment.

접속유로(21)에서의 입구포트(21a)는 단면(201B)의 두께방향에서의 대략 중앙부에서 개구하도록 형성되어 있다. 한편, 출구포트(21b)는 하측표면(20b)의 기기배열방향에서의 중앙부보다 단면(201B)측의 위치에서 개구하도록 형성되어 있다. 그리고, 접속유로(21)는 입구포트(21a)와 출구포트(21b)를 접속하도록 직각으로 꺽인 형상(대략 L자 모양)으로 형성되어 있다.The inlet port 21a in the connection passage 21 is formed to open substantially at a central portion in the thickness direction of the end face 201B. On the other hand, the outlet port 21b is formed so as to open at a position on the end face 201B side than the center portion of the lower surface 20b in the device arrangement direction. Further, the connection passage 21 is formed in a shape (approximately L-shaped) bent at a right angle to connect the inlet port 21a and the outlet port 21b.

한 쌍의 암나사부(28a1, 28a2)는 단면(201B)측에서 개구하는 비관통구멍으로서 접속유로(21 및 22)에 연통하지 않게 형성되어 있다. 구체적으로는, 암나사부(28a1)는 접속유로(21)에서의 입구포트(21a)보다 상방(상측표면(20a)측)에 형성되어 있다. 한편, 암나사부(28a2)는 접속유로(21)에서의 입구포트(21a)보다 하방(하측표면(20b)측)에 형성되어 있다. 그리고, 암나사부(28a1), 접속유로(21)에서의 입구포트(21a) 및 암나사부(28a2)는 이 순서대로 상방으로부터 하방으로 배열되어 있다.The pair of female threaded portions 28a1 and 28a2 are non-penetrating holes opened on the end face 201B side and are formed so as not to communicate with the connection passages 21 and 22. Specifically, the female threaded portion 28a1 is formed above the inlet port 21a in the connection passage 21 (upper surface 20a side). On the other hand, the female threaded portion 28a2 is formed below the inlet port 21a in the connection passage 21 (the lower surface 20b side). The female threaded portion 28a1, the inlet port 21a of the connection passage 21, and the female threaded portion 28a2 are arranged in this order from top to bottom.

암나사부(28b 및 28d)는 비관통 나사구멍으로, 유로블록(20)에서의 하측표면(20b)에서 개구하도록 형성되어 있다. 한 쌍의 암나사부(28b) 중 일방은 접속유로(21)에서의 출구포트(21b)보다 단면(201B)측에 접속유로(21)에 연통하지 않게 형성되어 있다. 한 쌍의 암나사부(28b) 중 타방 및 한 쌍의 암나사부(28d) 중 일방은 퍼지 가스 공급포트(24) 및 내부 퍼지 가스 라인(25)과 프로세스 가스 공급포트(26) 및 공급측 내부 가스 라인(27) 사이의 내부 유로가 형성되지 않은 영역에 형성되어 있다.The female threaded portions 28b and 28d are non-penetrating screw holes, and are formed to open from the lower surface 20b of the flow path block 20. One of the pair of female threaded portions 28b is formed so as not to communicate with the connection passage 21 on the end face 201B side than the outlet port 21b in the connection passage 21. The other of the pair of female screw portions 28b and one of the pair of female screw portions 28d are the purge gas supply port 24 and the internal purge gas line 25, the process gas supply port 26, and the supply-side internal gas line. (27) It is formed in a region in which the inner flow path is not formed.

이와 같이, 본 변형예에서는, 유로블록(20)에서의 상측표면(20a)측에 한 쌍의 암나사부(28c)와 접속유로(22)에서의 출구포트(22b)와 접속유로(23)에서의 입구포트(23a)가 기기배열방향을 따라 대략 일직선상에 배치되어 있다. 또한, 유로블록(20)에서의 하측표면(20b)측에 암나사부(28b 및 28d)와 접속유로(21)에서의 출구포트(21b)와 접속유로(22)에서의 입구포트(22a)와 퍼지 가스 공급포트(24)와 프로세스 가스 공급포트(26)가 기기배열방향을 따라 대략 일직선상에 배치되어 있다.As described above, in this modified example, the pair of female threaded portions 28c on the upper surface 20a side of the flow path block 20, the outlet port 22b of the connection flow path 22, and the connection flow path 23 The inlet port (23a) of is disposed in a substantially straight line along the device arrangement direction. In addition, the female threaded portions 28b and 28d on the lower surface 20b side of the flow path block 20, the outlet port 21b of the connection flow path 21, and the inlet port 22a of the connection flow path 22, The purge gas supply port 24 and the process gas supply port 26 are arranged in a substantially straight line along the device arrangement direction.

또한, 본 변형예의 구성에서는, 배관 조인트(1)에서의 관부(3)는 하측(하측표면(20b)측)으로 돌출하도록 형성되어 있다. 이 때문에, 프로세스 가스 유입 라인(11)에서의 배관 조인트(1) 근방의 부분은 장치 폭방향으로 굴곡되는 일 없이 형성된다. 따라서, 이러한 배관부분을 가급적 짧게 할 수 있다.Further, in the configuration of the present modified example, the pipe portion 3 in the piping joint 1 is formed to protrude downward (toward the lower surface 20b). For this reason, the portion in the vicinity of the piping joint 1 in the process gas inlet line 11 is formed without being bent in the width direction of the device. Therefore, such a piping part can be shortened as much as possible.

게다가, 본 변형예의 구성에 의하면, 배관 조인트(1)를 유로블록(20)에서의 단면(201B)에 형성하였기 때문에, 유로블록(20)의 기기배열방향에서의 치수가 소형화되고 있다. 이로써 유로블록(20)을 한층 더 경량화하는 것이 가능해진다.In addition, according to the configuration of this modified example, since the pipe joint 1 is formed in the end face 201B of the flow path block 20, the size of the flow path block 20 in the device arrangement direction is reduced. This makes it possible to further reduce the weight of the flow path block 20.

또한, 도 35를 참조하면서 본 변형예에서의 프로세스 가스의 통류상태에 대해 설명한다. 먼저, 프로세스 가스는, 유로블록(20)에 대해 그 단면(201B)에 형성된 접속유로(21)에서의 입구포트(21a)에 공급된다. 이 프로세스 가스는 접속유로(21) 내에서 도면 중 오른쪽방향으로 이동한 다음에 아래쪽으로 이동한다. 그 후 프로세스 가스는 접속유로(21)에서의 출구포트(21b)로부터 유체제어밸브(17)를 거쳐 접속유로(22)에서의 입구포트(22a)까지 밸브부착블록(40) 내를 통류한다. 여기까지의 프로세스 가스의 흐름은 기기배열방향에 대해서는 도면 중 왼쪽에서 오른쪽으로 향하게 된다.Further, with reference to Fig. 35, the flow state of the process gas in this modified example will be described. First, the process gas is supplied to the inlet port 21a in the connection passage 21 formed in the end face 201B of the passage block 20. This process gas moves to the right in the drawing in the connection passage 21 and then moves downward. After that, the process gas flows through the inside of the valve attachment block 40 from the outlet port 21b in the connection passage 21 through the fluid control valve 17 to the inlet port 22a in the connection passage 22. The flow of the process gas up to this point is directed from left to right in the drawing with respect to the device arrangement direction.

한편, 접속유로(22)에서의 출구포트(22b)는, 기기배열방향에 대해서는 입구포트(22a)보다 도면 중 왼쪽이 된다. 이 때문에, 접속유로(22)에서의 프로세스 가스의 흐름은, 기기배열방향에 대해서는 도면 중 오른쪽에서 왼쪽을 향하게 된다. 그 후 프로세스 가스는 유량제어기(16)(MFC 부착부(50)를 포함한다) 내를 기기배열방향에 대해 도면 중 왼쪽에서 오른쪽을 향해 통류한다.On the other hand, the outlet port 22b in the connection passage 22 is on the left side of the drawing than the inlet port 22a in the device arrangement direction. For this reason, the flow of the process gas in the connection passage 22 is directed from right to left in the drawing with respect to the device arrangement direction. Thereafter, the process gas flows through the flow controller 16 (including the MFC attachment portion 50) from the left to the right in the drawing with respect to the device arrangement direction.

그리고, 유량제어기(16)(MFC 부착부(50)를 포함한다)를 거쳐 접속유로(23)에서의 입구포트(23a)에 공급된 프로세스 가스는, 접속유로(23) 내에서 하방으로 통류하면서 밸브부착블록(60)에 이른다. 이 밸브부착블록(60)에서도 프로세스 가스는 유체제어밸브(19)를 거쳐 프로세스 가스 공급포트(26)를 향하는 동안에 기기배열방향에 대해 도면 중 오른쪽에서 왼쪽을 향하게 된다. 이와 같이, 본 변형예에서는 "가스통류방향"은 기기배열방향에 대해 한 방향이 되는 것은 아니며 기기배열방향을 따라 왕복하는(혹은 "루프"를 그리는) 양태가 된다.Then, the process gas supplied to the inlet port 23a in the connection passage 23 through the flow controller 16 (including the MFC attachment portion 50) flows downward in the connection passage 23. It reaches the valve attachment block (60). Also in this valve attachment block 60, the process gas is directed from the right to the left in the drawing with respect to the device arrangement direction while it is directed to the process gas supply port 26 via the fluid control valve 19. As described above, in the present modified example, the "gas flow direction" does not become one direction with respect to the device arrangement direction, but reciprocates along the device arrangement direction (or draws a "loop").

본 발명은 상기한 실시형태나 변형예와 같은 배관구성에 한정되지 않는다. 이 때문에, 배관 조인트(1)의 구성도 장치 전체의 배관구성에 따라 적절히 변경될 수 있다.The present invention is not limited to the piping configuration as in the above-described embodiment or modification. For this reason, the configuration of the piping joint 1 can also be appropriately changed according to the piping configuration of the entire apparatus.

예를 들어, 도 36 내지 도 38에 나타내고 있는 바와 같이, 제1 통로(4)는 접합면(2a)에서 정상면(2b)에 이르는 관통구멍으로서 형성될 수 있다. 이 경우, 정상면(2b)에도 관부(3)가 형성될 수 있다. 그리고, 도 39 내지 도 41에 나타내고 있는 바와 같이 제2 단면(2d)측에도 관부(3) 및 제2 개구부(2p)가 형성될 수 있다. 이 경우, 제2 통로(5)는 평면에서 보아 제1 개구부(2g)(제1 통로(4))를 사이에 두고 한 쌍 형성된다. 전형적으로는 이 경우 한 쌍의 제2 통로(5)는 제1 개구부(2g)(제1 통로(4))를 사이에 두고 대략 점대칭으로 형성될 수 있다.For example, as shown in Figs. 36 to 38, the first passage 4 can be formed as a through hole from the bonding surface 2a to the top surface 2b. In this case, the tube portion 3 may also be formed on the top surface 2b. In addition, as shown in FIGS. 39 to 41, the tube portion 3 and the second opening portion 2p may also be formed on the second end face 2d side. In this case, the second passage 5 is formed in a pair with the first opening 2g (first passage 4) interposed therebetween in plan view. Typically, in this case, the pair of second passages 5 may be formed approximately point symmetrical with the first opening 2g (first passage 4) interposed therebetween.

관부(3)는 적절히 생략될 수 있다.The tube part 3 can be appropriately omitted.

제1 볼트 삽입통과구멍(2k)과 제2 볼트 삽입통과구멍(2m)은 평면에서 보아 제1 개구부(2g)를 사이에 두고 대칭인 위치에 형성되지 않아도 된다. 즉, 제1 개구부(2g)에서의 시일을 양호하게 확보할 수 있는 범위에서 제1 볼트 삽입통과구멍(2k) 및 제2 볼트 삽입통과구멍(2m)의 위치는 적절히 변경될 수 있다.The first bolt insertion hole 2k and the second bolt insertion hole 2m do not have to be formed in a symmetrical position with the first opening 2g interposed therebetween when viewed in plan view. That is, the positions of the first bolt insertion hole 2k and the second bolt insertion hole 2m can be appropriately changed within a range in which a seal in the first opening 2g can be satisfactorily secured.

본 발명은 유로블록(20)에 대한 유체의 공급개소에 적용하는 것에 한정되지 않는다. 즉, 본 발명은, 유로블록(20)으로부터의 유체의 유출개소(유출측 조인트)에 적용하는 것도 가능하다.The present invention is not limited to being applied to a fluid supply point to the flow path block 20. That is, the present invention can also be applied to the outlet of the fluid from the flow path block 20 (the outlet joint).

종래, 조작에어의 압력에 의해 2개 이상의 피스톤을 슬라이딩시키는 에어 오퍼레이트 밸브에 있어서, 밸브체를 밸브시트에 접촉 또는 이간시키기 위해 밸브체가 밸브시트에 접촉하는 방향으로 탄성지지하는 압축스프링이 사용되고 있다. 반도체 제조 프로세스에서는 위험한 가스를 취급하기 때문에, 반도체제조용 에어 오퍼레이트 밸브로부터 가스가 조금이라도 새는 것을 저지할 필요가 있다. 그 때문에, 에어 오퍼레이트 밸브의 폐쇄시에 높은 시일성이 요구되고 있다. 예를 들어, 특허문헌 1(일본 공개특허공보 평04-248085호)에는 도 53에 나타내는 것과 같은 에어 오퍼레이트 밸브(100)가 있다.Conventionally, in an air operated valve that slides two or more pistons by the pressure of the operating air, a compression spring that elastically supports the valve body in the direction in which the valve body contacts the valve seat is used to contact or separate the valve body to the valve seat. . Since a dangerous gas is handled in the semiconductor manufacturing process, it is necessary to prevent even a slight leakage of gas from the air operated valve for semiconductor manufacturing. Therefore, high sealing properties are required when the air operated valve is closed. For example, in Patent Document 1 (Japanese Laid-Open Patent Publication No. Hei 04-248085), there is an air operated valve 100 as shown in FIG. 53.

그러나, 에어 오퍼레이트 밸브(100V)에는 다음과 같은 문제점이 있었다.However, the air operated valve 100V had the following problems.

즉, 에어 오퍼레이트 밸브(100V)에는 피스톤(101AV, 101BV, 101CV)이 있다. 각각의 피스톤에는 8개의 코일 스프링(102AV∼102AV, 102BV∼102BV, 102CV∼102CV)가 원주형으로 부착되어 사용되고 있다. 8개의 코일 스프링 중 예를 들어, 어느 하나의 코일 스프링이 열화되면 밸브체가 밸런스가 무너져서 기울어져, 에어 오퍼레이트 밸브(100V)의 폐쇄시에 필요한 시일력이 악화될 우려가 있었다.That is, there are pistons 101AV, 101BV, and 101CV in the air operated valve 100V. Eight coil springs (102AV to 102AV, 102BV to 102BV, and 102CV to 102CV) are attached to each piston in a cylindrical shape and used. Of the eight coil springs, for example, when any one of the coil springs deteriorates, the valve body loses its balance and inclines, and there is a concern that the sealing force required for closing the air operated valve 100V may deteriorate.

상기 문제를 해결하기 위해, 특허문헌 2(일본 공개특허공보 2008-144819호)에 기재된 에어 오퍼레이트 밸브(200V)에서는, 도 54에 나타내는 바와 같이 제1 피스톤(201V)과 제2 피스톤(202V) 중 제1 피스톤(201V)에는 폐쇄시에 시일력을 얻기 위해 2개의 코일 스프링(203V, 204V)을 동일 평면상에 2개 구비하고 있다.In order to solve the above problem, in the air operated valve 200V described in Patent Document 2 (Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2008-144819), as shown in Fig. 54, the first piston 201V and the second piston 202V. The first piston 201V is provided with two coil springs 203V and 204V on the same plane in order to obtain a sealing force when closed.

그러나, 특허문헌 2에 기재된 에어 오퍼레이트 밸브(200V)에는 다음과 같은 문제가 있었다.However, the air operated valve 200V described in patent document 2 had the following problem.

(1) 밸브폐쇄에 필요한 시일력을 얻기 위해 에어 오퍼레이트 밸브(200V)와 같이 제1 피스톤(201V)에 동일 평면상에 2개의 코일 스프링(203V, 204V)을 부착하면 밸브가 대형화될 우려가 있다. 최근 반도체 제조장치에서는 반도체 웨이퍼의 제조 프로세스가 복잡해짐에 따라 다종의 가스 전환이 필요하게 되었다. 이에 따라 설치해야 할 밸브의 수가 증가하고 있다. 그 때문에, 에어 오퍼레이트 밸브를 복수 설치하면 전체 설치면적이 증가한다고 하는 문제가 생긴다. 그래서 하나하나의 밸브를 소형화하라는 요구가 높아지고 있다.(1) If two coil springs (203V, 204V) are attached to the first piston (201V) on the same plane as the air operated valve (200V) in order to obtain the sealing force necessary for closing the valve, there is a possibility that the valve will be enlarged. have. In recent semiconductor manufacturing apparatuses, as the manufacturing process of semiconductor wafers becomes complicated, various types of gas conversion are required. Accordingly, the number of valves to be installed is increasing. Therefore, when a plurality of air operated valves are provided, there arises a problem that the total installation area is increased. Therefore, there is a growing demand to miniaturize each valve.

(2) 또한, 밸브를 소형화하면 설치면적이 한정되어 스프링의 선직경이나 스프링 직경의 자유도가 없어진다. 그 이유는, 설치면적이 한정되면 스프링의 선직경을 가늘게 해야 하여 스프링의 직경이 작은 것을 이용할 수 밖에 없기 때문이다. 그 때문에, 하나의 스프링에 가해지는 응력이 상승하게 되어 스프링의 내구성에 문제가 생긴다. 특히 반도체 제조 프로세스에서는 위험한 가스를 취급하기 때문에, 반도체제조용 유체제어밸브의 폐쇄에 필요한 시일력의 확보나 밸브의 성능, 내구성 등은 큰 과제이다.(2) In addition, when the valve is miniaturized, the installation area is limited, and the wire diameter of the spring and the degree of freedom of the spring diameter are eliminated. The reason for this is that if the installation area is limited, the wire diameter of the spring must be made thin, so that a small spring diameter must be used. Therefore, the stress applied to one spring increases, causing a problem in the durability of the spring. In particular, since dangerous gases are handled in the semiconductor manufacturing process, securing the sealing force required for closing the fluid control valve for semiconductor manufacturing, the performance of the valve, and the durability, etc., are big problems.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위한 것으로, 밸브를 소형화하여 전체 설치면적의 감소를 실현하면서 압축스프링의 설계 자유도를 향상시켜 밸브폐쇄에 필요한 시일력을 확보할 수 있는 유체제어밸브를 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to solve the above problems, and to provide a fluid control valve capable of securing the sealing force required for valve closing by improving the design freedom of the compression spring while realizing a reduction in the total installation area by miniaturizing the valve. It is done.

<유체제어밸브의 구성><Composition of fluid control valve>

유체제어밸브(1V)(상기한 유체제어밸브(17∼19))는 도 42에 나타내는 바와 같이 유체를 제어하는 밸브부(YV)와 밸브부(YV)에 구동력을 부여하는 액츄에이터부(XV)를 구비한다. 유체제어밸브(1V)는 액츄에이터부(XV)를 어댑터(15V)를 통해 보디(14V)에 연결한다. 유체제어밸브(1V)는 연필과 동일한 정도의 직경을 가지며 원주형상의 외관을 구성한다.The fluid control valve 1V (the above-described fluid control valves 17 to 19) is a valve unit YV that controls fluid and an actuator unit XV that provides driving force to the valve unit YV as shown in FIG. It is equipped with. The fluid control valve 1V connects the actuator unit XV to the body 14V through an adapter 15V. The fluid control valve 1V has the same diameter as a pencil and has a cylindrical appearance.

밸브부(YV)는 도 44에 나타내는 바와 같이 보디(14V)와 홀더(16V)를 구비한다. 보디(14V)의 하면에는 제어유체가 유입되는 입구유로(14bV)와 제어유체가 유출되는 출구유로(14cV)가 형성되어 있다. 보디(14V)의 상면에는 부착구멍(14dV)이 원주형상으로 형성되어 있다. 보디(14V)의 중앙부에는 밸브시트(14aV)가 형성되고 밸브시트(14aV) 내의 밸브구멍을 통해 입구유로(14bV)와 출구유로(14cV)가 연통하고 있다.As shown in Fig. 44, the valve portion YV includes a body 14V and a holder 16V. In the lower surface of the body 14V, an inlet passage 14bV through which the control fluid flows and an outlet passage 14cV through which the control fluid flows are formed. An attachment hole 14dV is formed in a columnar shape on the upper surface of the body 14V. A valve seat 14aV is formed in the central portion of the body 14V, and an inlet passage 14bV and an outlet passage 14cV communicate through a valve hole in the valve seat 14aV.

보디(14V)의 상부에는 홀더(16V)가 용접부(29V)에서 용접에 의해 고정되어 있다. 이것에 의해 보디(14V)와 홀더(16V)는 일체화되어 밀봉되어 있다. 홀더(16V)의 상부에는 도 42에 나타내는 바와 같이 어댑터(15V)가 부착되어 있다. 홀더(16V)의 상방 외주면에는 수나사부(16aV)가 형성되고, 어댑터(15V)의 내주면에는 암나사부(15aV)가 형성되어 있다. 홀더(16V)의 내주면에는 원통형의 스템(24V)이 슬라이딩 가능하게 지지되어 있다. 홀더(16V)의 상면에는 개구부가 형성되어 압축스프링(19V)이 수납되어 있다. 또한, 홀더(16V)의 하면에는 벨로우즈(17V)의 상단면이 부착되어 있다. 벨로우즈(17V)의 하단면은 스템(24V)의 하면에 형성되어 있는 밸브체 지지부(24aV)에 부착되어 있다. 밸브체 지지부(24aV)에는 탄성체로 이루어지는 밸브체(18V)가 부착되어 있다. 즉, 밸브체(18V)와 홀더(16V) 사이에 벨로우즈(17V)가 배치되어 있다.The holder 16V is fixed to the upper part of the body 14V by welding at the welding part 29V. Thereby, the body 14V and the holder 16V are integrated and sealed. As shown in Fig. 42, an adapter 15V is attached to the upper part of the holder 16V. A male threaded portion 16aV is formed on the upper outer peripheral surface of the holder 16V, and a female threaded portion 15aV is formed on the inner peripheral surface of the adapter 15V. A cylindrical stem 24V is slidably supported on the inner circumferential surface of the holder 16V. An opening is formed on the upper surface of the holder 16V to accommodate the compression spring 19V. Further, the upper end surface of the bellows 17V is attached to the lower surface of the holder 16V. The lower end of the bellows 17V is attached to the valve body support 24aV formed on the lower surface of the stem 24V. A valve body 18V made of an elastic body is attached to the valve body support portion 24aV. That is, the bellows 17V is disposed between the valve body 18V and the holder 16V.

밸브체(18V)는 밸브시트(14aV)에 대해 접촉 또는 이간한다. 밸브체(18V)가 밸브시트(14aV)에 접촉하면 입구유로(14bV)와 출구유로(14cV)는 차단되고, 밸브체(18V)가 밸브시트(14aV)에서 이간되면 입구유로(14bV)와 출구유로(14cV)는 연통한다. 스템(24V)에는 스프링부착판(28V)이 부설되어 있고, 압축스프링(19V)의 상단면은 스프링부착판(28V)의 하면측에 접촉하고 있다. 압축스프링(19V)의 하단면은 홀더(16V)의 개구부 상면에 접촉하고 있다. 압축스프링(19V)은 밸브체(18V)를 밸브시트(14aV)로부터 이간시키는 방향으로 탄성지지하고 있다. 도 43에 나타내는 바와 같이 스템(24V)의 상방 외주부와 내장부품(23AV)의 내주면 사이에는 에어의 누설을 막기 위한 O링(27V)이 부착되어 있다.The valve body 18V contacts or separates from the valve seat 14aV. When the valve body (18V) contacts the valve seat (14aV), the inlet flow passage (14bV) and the outlet flow passage (14cV) are blocked, and when the valve body (18V) is separated from the valve seat (14aV), the inlet flow passage (14bV) and the outlet The flow path 14cV communicates. A spring plate (28V) is attached to the stem (24V), and the top surface of the compression spring (19V) is in contact with the lower surface side of the spring plate (28V). The lower end of the compression spring 19V is in contact with the upper surface of the opening of the holder 16V. The compression spring 19V elastically supports the valve body 18V in a direction separating it from the valve seat 14aV. As shown in Fig. 43, an O-ring 27V for preventing air leakage is attached between the upper outer peripheral portion of the stem 24V and the inner peripheral surface of the internal component 23AV.

액츄에이터부(XV)는 도 43에 나타내는 바와 같이 제1 피스톤(11AV)과 제2 피스톤(11BV)을 동축상에 직렬로 구비한다. 동축상이란 축심이 동일한 것을 말한다. 또한, 제1 피스톤(11AV)에는 밸브체(18V)가 밸브시트(14aV)에 접촉하는 방향으로 탄성지지하는 하나의 제1 압축스프링(12AV)이 동축상에 부착되고, 제2 피스톤(11BV)에는 밸브체(18V)가 밸브시트(14aV)에 접촉하는 방향으로 탄성지지하는 하나의 제2 압축스프링(12BV)이 동축상에 부착되어 있다. 각각 동축상에 직렬로 부착되어 있기 때문에, 밸브의 폭을 가늘게 하여 소형화할 수 있다. 또한, 제1 피스톤(11AV)과 제2 피스톤(11BV), 제1 압축스프링(12AV)과 제2 압축스프링(12BV) 및 내장부품(23AV)과 내장부품(23BV)은 각각 동일한 형상이다. 그 때문에, 부품을 공통화할 수 있어 제조비용을 삭감할 수 있다. 또한, 조립시에는 작업의 효율성이 향상된다.As shown in Fig. 43, the actuator unit XV includes a first piston 11AV and a second piston 11BV in series coaxially. Coaxial means that the shaft centers are the same. In addition, a first compression spring (12AV) elastically supported in a direction in which the valve body (18V) contacts the valve seat (14aV) is coaxially attached to the first piston (11AV), and the second piston (11BV) A second compression spring 12BV, which elastically supports the valve body 18V in a direction in contact with the valve seat 14aV, is attached coaxially. Since each is attached in series on the coaxial, it is possible to reduce the size by reducing the width of the valve. In addition, the first piston 11AV and the second piston 11BV, the first compression spring 12AV and the second compression spring 12BV, the interior part 23AV and the interior part 23BV each have the same shape. Therefore, the parts can be common and the manufacturing cost can be reduced. In addition, the efficiency of work is improved during assembly.

그리고, 액츄에이터부(XV)는 내장부품(23AV)과 내장부품(23BV), 외장부재(22V), 캡(20V)을 구비한다.In addition, the actuator unit XV includes an interior component 23AV, an interior component 23BV, an exterior member 22V, and a cap 20V.

또한, 동일 형상인 각각의 부품 중 하나의 부품을 설명함으로써 다른 부품의 설명을 생략한다. 또한, 설명문이 번잡해지므로 동일 형상인 부품의 "A", "B"를 적절히 생략한다.In addition, description of the other components is omitted by describing one component of each component having the same shape. In addition, since the description becomes complicated, "A" and "B" of the parts having the same shape are appropriately omitted.

도 43에 나타내는 바와 같이, 액츄에이터부(XV)는 튜브형상의 외장부재(22V)에 2개의 내장부품(23AV, 23BV)을 장전하고 있다. 내장부품(23V)은 측면이 원통형으로 형성되어 있다. 내장부품(23V)의 상방 내부에는 실린더(23aV)가 형성되어 있다. 내장부품(23V)의 외경 치수는 외장부재(22V)의 내경 치수와 거의 동직경으로 되어 있다. 내장부품(23V)의 하방 내부에는 외장부재(22V)의 내경 치수보다 작은 개구부가 형성되어 있다. 외장부재(22V)의 선단에는 캡(20V)이 부착되고, 타단에는 어댑터(15V)가 부착되어 있다. 이것에 의해 어댑터(15V)와 캡(20V) 사이에 내장부품(23AV, 23BV)이 개재하여 지지되고 있다. 내장부품(23AV, 23BV)은 외장부재(22V)의 내부에서 겹쳐진 상태로 고정되며 제1 피스톤(11AV), 제2 피스톤(11BV)을 각각 수납하는 제1 피스톤실(13AV)과 제2 피스톤실(13BV)을 형성한다.As shown in Fig. 43, the actuator unit XV is loaded with two interior parts 23AV and 23BV in the tubular exterior member 22V. The interior part 23V has a cylindrical side surface. A cylinder 23aV is formed inside the interior part 23V. The outer diameter dimension of the interior component 23V is substantially the same as the inner diameter dimension of the exterior member 22V. An opening smaller than the inner diameter of the exterior member 22V is formed in the lower interior of the interior part 23V. A cap 20V is attached to the front end of the exterior member 22V, and an adapter 15V is attached to the other end. Thereby, the internal parts 23AV and 23BV are interposed and supported between the adapter 15V and the cap 20V. The internal parts (23AV, 23BV) are fixed in an overlapping state inside the exterior member (22V), and the first piston chamber (13AV) and the second piston chamber respectively accommodate the first piston (11AV) and the second piston (11BV). (13BV) is formed.

피스톤(11V)은 피스톤실(13V)에 슬라이딩 가능하게 장전되어 피스톤실(13V)을 가압실(13aV)과 배압실(13bV)로 구획하고 있다. 배압실(13bV)에는 압축스프링(12V)이 피스톤(11V)을 밸브시트(14aV)에 근접시키는 방향으로 탄성지지한 상태로 피스톤(11V)과 동축상에 배치되어 있다.The piston 11V is slidably loaded in the piston chamber 13V to divide the piston chamber 13V into a pressure chamber 13aV and a back pressure chamber 13bV. In the back pressure chamber 13bV, a compression spring 12V is disposed coaxially with the piston 11V in a state that elastically supports the piston 11V in a direction approaching the valve seat 14aV.

피스톤(11V)은 도 45 및 도 46에 나타내는 바와 같이 피스톤부(11aV)에 피스톤 로드(11bV)를 일체적으로 성형한 것이다. 피스톤부(11aV)는 원주상이며, 외경 치수가 내장부품(23V)의 내경 치수보다 약간 작은 직경으로 되어 있다. 피스톤부(11aV)에는 고무 등의 탄성체로 이루어지는 O링(25V)을 장착하기 위한 장착 홈(11cV)이 외주면을 따라 환형으로 형성되어 있다. 피스톤(11V)의 하면에는 오목부(11eV)가 형성되어 있다. 또한, 피스톤(11V)의 내부에는 내부 유로(11dV)가 형성되어 있다. 내부 유로(11dV)의 하방에는 가압실(13aV)과 연통하기 위한 유로(11fV)가 형성되어 있다. 유로(11fV)는 내부 유로(11dV)와 연통하고 있다. 즉, 캡(20V)의 내주면에 형성된 급배기포트(20aV)는 피스톤(11V)의 내부 유로(11dV), 유로(11fV)를 통해 피스톤(11V)의 가압실(13aV)과 연통한다.The piston 11V is an integrally molded piston rod 11bV in the piston portion 11aV, as shown in FIGS. 45 and 46. The piston part 11aV is cylindrical, and the outer diameter dimension is slightly smaller than the inner diameter dimension of the interior part 23V. In the piston part 11aV, a mounting groove 11cV for mounting the O-ring 25V made of an elastic body such as rubber is formed in an annular shape along the outer circumferential surface. A concave portion 11eV is formed on the lower surface of the piston 11V. Further, an internal flow path 11dV is formed inside the piston 11V. A flow path 11fV for communicating with the pressure chamber 13aV is formed below the internal flow path 11dV. The flow path 11fV communicates with the internal flow path 11dV. That is, the supply/exhaust port 20aV formed on the inner circumferential surface of the cap 20V communicates with the pressure chamber 13aV of the piston 11V through the inner flow path 11dV and the flow path 11fV of the piston 11V.

유체제어밸브(1V)에서는 2개인 피스톤(11V) 중 하단에 있는 제1 피스톤(11AV)의 오목부(11eV)에는 스템(24V)이 배치되어 있다. 한편, 상단에 있는 제2 피스톤(11BV)의 오목부(11eV)에는 제1 피스톤(11AV)의 피스톤 로드(11bV)의 상단이 배치되어 있다. 또한, 2개인 피스톤(11V) 중 하단에 있는 제1 피스톤(11AV)의 피스톤 로드(11bV)의 외주면과 내장부품(23BV)의 하방 내주부에는 에어의 누설을 막기 위한 O링(26AV)이 배치되어 있다. 한편, 상단에 있는 제2 피스톤(11BV)의 피스톤 로드(11bV)의 외주면과 캡(20V)의 하방 내주부 사이에는 O링(26BV)이 배치되어 있다.In the fluid control valve 1V, a stem 24V is disposed in the concave portion 11eV of the first piston 11AV at the lower end of the two pistons 11V. On the other hand, the upper end of the piston rod 11bV of the first piston 11AV is disposed in the concave portion 11eV of the second piston 11BV at the upper end. In addition, an O-ring (26AV) to prevent air leakage is disposed on the outer circumferential surface of the piston rod (11bV) of the first piston (11AV) at the bottom of the two pistons (11V) and the inner circumferential portion below the interior part (23BV) Has been. On the other hand, an O-ring 26BV is disposed between the outer circumferential surface of the piston rod 11bV of the second piston 11BV at the upper end and the lower inner circumferential portion of the cap 20V.

제1 피스톤(11AV), 제2 피스톤(11BV)의 피스톤부(11aV) 상면에는 각각 밸브체(18V)가 밸브시트(14aV)에 접촉하는 방향으로 탄성지지하는 압축스프링(12AV, 12BV)의 하단면이 접촉하고 있다. 내장부품(23BV)의 하면에는 제1 압축스프링(12AV)의 상단면이 접촉하고 캡(20V)의 하면에는 제2 압축스프링(12BV)의 상단면이 접촉하고 있다.The lower ends of compression springs (12AV, 12BV) that elastically support the valve body (18V) in the direction in which the valve body (18V) contacts the valve seat (14aV), respectively, on the upper surface of the piston part (11aV) of the first piston (11AV) and the second piston (11BV). The face is in contact. The upper surface of the first compression spring 12AV is in contact with the lower surface of the internal component 23BV, and the upper surface of the second compression spring 12BV is in contact with the lower surface of the cap 20V.

여기서, 제1 압축스프링(12AV)에 의한 탄성지지력(F1)과 제2 압축스프링(12BV)에 의한 탄성지지력(F2)의 총합(F1+F2)이 밸브체(18V)를 밸브시트(14aV)에 접촉시키는 힘(F=F1+F2), 즉, 유체제어밸브(1V)를 폐쇄하기 위한 시일력이 된다. 또한, 압축스프링(19V)의 저항력은 밸브체(18V)를 밸브시트(14aV)에 접촉시키는 힘(F)과 비교하여 작은 힘이기 때문에, 설명에서는 압축스프링(19V)의 저항력을 생략하고 있다. 또한, 후술하는 다른 실시형태에 관련된 유체제어밸브(2V, 3V)에서도 마찬가지로 압축스프링(19V)의 저항력에 대한 설명을 생략하고 있다.Here, the sum (F1+F2) of the elastic support force (F1) by the first compression spring (12AV) and the elastic support force (F2) by the second compression spring (12BV) is the valve body (18V) and the valve seat (14aV). It becomes the force (F=F1+F2) that makes contact with, that is, a sealing force for closing the fluid control valve (1V). In addition, since the resistance force of the compression spring 19V is a small force compared to the force F for bringing the valve body 18V into contact with the valve seat 14aV, the resistance force of the compression spring 19V is omitted in the description. In addition, similarly to the fluid control valves 2V and 3V according to another embodiment described later, the description of the resistance force of the compression spring 19V is omitted.

또한, 제1 압축스프링(12AV)과 제2 압축스프링(12BV)은 동일 형상이기 때문에, 동일한 정도의 탄성지지력을 가진다(F1=F2). 즉, 하나의 스프링에 필요한 탄성지지력은 2개의 피스톤을 겹친 경우, F/2=F1=F2가 된다. 따라서, 각 스프링의 탄성지지력을 낮출 수 있다. 즉, 하나의 스프링에 가해지는 응력을 낮출 수 있어 스프링의 내구성이 향상된다. 또한, 스프링의 설계 자유도가 높아진다.In addition, since the first compression spring 12AV and the second compression spring 12BV have the same shape, they have the same degree of elastic support (F1 = F2). That is, the elastic bearing force required for one spring is F/2=F1=F2 when two pistons are overlapped. Therefore, it is possible to lower the elastic support force of each spring. In other words, it is possible to reduce the stress applied to one spring, thereby improving the durability of the spring. In addition, the degree of freedom in designing the spring is increased.

후술하는 다른 실시형태에 관련된 유체제어밸브(2V)에서는 6개의 제1 압축스프링(12AV)∼제6 압축스프링(12FV)를 가지는데, 각 압축스프링(12V)의 탄성지지력의 총합(F1+F2+F3+F4+F5+F6)은 밸브체(18V)를 밸브시트(14aV)에 접촉시키는 힘(F=F1+F2+F3+F4+F5+F6)이 된다. 또한, 스프링 하나에 필요한 탄성지지력은 F/6=F1=F2=F3=F4=F5=F6이 된다. 또한, 후술하는 다른 실시형태에 관련된 유체제어밸브(3V)는 다른 실시형태에 관련된 유체제어밸브(2V)와 피스톤의 수가 같기 때문에, 설명을 생략한다.The fluid control valve 2V according to another embodiment to be described later has six first compression springs 12AV to sixth compression springs 12FV, the sum of the elastic bearing forces of each compression spring 12V (F1 + F2). +F3+F4+F5+F6) becomes a force (F=F1+F2+F3+F4+F5+F6) to bring the valve body 18V into contact with the valve seat 14aV. In addition, the elastic bearing force required for one spring is F/6=F1=F2=F3=F4=F5=F6. In addition, since the fluid control valve 3V according to another embodiment described later has the same number of pistons as the fluid control valve 2V according to the other embodiment, a description thereof will be omitted.

유체제어밸브(1V)는 캡(20V)의 내주면에 형성된 급배기포트(20aV)를 통해 에어를 급배기시킨다. 캡(20V)의 외주면은 외장부재(22V)에 의해 덮이고, 캡(20V)의 상면에는 원터치 조인트(21V)가 장착되어 있다. 원터치 조인트(21V)에는 도시하지 않지만 에어튜브가 접속되어 있다. 이와 같이, 에어튜브는 상면에서 접속할 수 있기 때문에, 설치면적의 증가를 방지할 수 있다.The fluid control valve 1V supplies and exhausts air through a supply/exhaust port 20aV formed on the inner circumferential surface of the cap 20V. The outer circumferential surface of the cap 20V is covered by an exterior member 22V, and a one-touch joint 21V is attached to the upper surface of the cap 20V. Although not shown, an air tube is connected to the one-touch joint 21V. In this way, since the air tube can be connected from the upper surface, an increase in the installation area can be prevented.

(유체제어밸브의 조립)(Assembly of fluid control valve)

다음으로, 본 실시형태에 관련된 유체제어밸브(1)의 조립을 도 47을 이용하여 설명한다. 액츄에이터부(XV)와 밸브부(YV)는 각각 별개로 조립된다. 그 때문에, 액츄에이터부(XV)는 밸브부(YV)를 구성하는 홀더(16V)에서 착탈 가능하다.Next, assembly of the fluid control valve 1 according to the present embodiment will be described with reference to FIG. 47. The actuator unit (XV) and the valve unit (YV) are separately assembled. Therefore, the actuator unit XV can be attached and detached from the holder 16V constituting the valve unit YV.

먼저, 액츄에이터부(XV)의 조립에 대해 설명한다. 제1 피스톤(11AV)과 제2 피스톤(11BV)의 장착 홈(11cV)에 시일부재(25AV)를 장착한다. 외장부재(22V)의 일단 개구부에 어댑터(15V)를 압입한다. 내장부품(23AV), 피스톤(11AV), 압축스프링(12AV), 내장부품(23BV), 피스톤(11BV), 압축스프링(12BV)을 외장부재(22V)에 장전한다. 이 때, 피스톤(11V)의 피스톤 로드(11bV)가 내장부품(23V)의 관통구멍과 캡(20V)의 관통구멍에 관통된다. 내장부품(23V)의 관통구멍에서 밖으로 튀어나오는 피스톤 로드(11bV)를 관통하도록 캡(20V)을 외장부재(22V)의 개구 단부에 끼워 맞춘다. 이 단계에서 내장부품(23V)과 피스톤(11V)과 압축스프링(12V)이 외장부재(22V) 내에 임시로 지지된다. 외장부재(22V)의 양단부를 어댑터(15V)와 캡(20V)의 코킹 홈을 따라 코킹하여 고정한다.First, the assembly of the actuator unit XV will be described. The sealing member 25AV is mounted in the mounting groove 11cV of the first piston 11AV and the second piston 11BV. The adapter 15V is press-fitted into the one end opening of the exterior member 22V. The interior part 23AV, the piston 11AV, the compression spring 12AV, the interior part 23BV, the piston 11BV, and the compression spring 12BV are loaded into the exterior member 22V. At this time, the piston rod 11bV of the piston 11V penetrates through the through hole of the internal component 23V and the through hole of the cap 20V. The cap 20V is fitted to the open end of the exterior member 22V so as to penetrate the piston rod 11bV protruding out from the through hole of the interior part 23V. In this step, the interior part 23V, the piston 11V, and the compression spring 12V are temporarily supported in the exterior member 22V. Both ends of the exterior member 22V are fixed by caulking along the caulking grooves of the adapter 15V and the cap 20V.

다음에 밸브부(YV)의 조립에 대해 설명한다. 도 47에 나타내는 바와 같이 보디(14V)의 부착구멍(14dV)에 홀더(16V)를 삽입하고, 스템(24V)을 끼워넣은 홀더(16V)를 부착구멍(14dV)의 내부에 배치한다. 보디(14V)와 홀더(16V)를 용접부(29V)에서 용접함으로써 고정한다. 이것에 의해 보디(14V)와 홀더(16V)를 일체적으로 형성하여 밀봉한다. 또한, 보디(14V)와 홀더(16V)를 고정하는 방법은 금속개스킷 등을 끼워 넣어 압입이나 나사결합에 의해 막아도 된다.Next, the assembly of the valve unit YV will be described. As shown in FIG. 47, the holder 16V is inserted into the attachment hole 14dV of the body 14V, and the holder 16V in which the stem 24V is inserted is arrange|positioned inside the attachment hole 14dV. The body 14V and the holder 16V are fixed by welding at the welding part 29V. Thereby, the body 14V and the holder 16V are integrally formed and sealed. In addition, as a method of fixing the body 14V and the holder 16V, a metal gasket or the like may be inserted and blocked by press-fitting or screwing.

다음에 액츄에이터부(XV)를 밸브부(YV)에 연결한다. 보디(14V)에 형성한 어댑터(15V)의 암나사부(15aV)를 홀더(16V)의 수나사부(16aV)에 끼워넣는다. 이 때, 홀더(16V)에서 돌출하는 스템(24V)이 피스톤(11V)의 오목부(11eV)에 닿고 피스톤(11V)에 작용하는 압축스프링(12V)의 탄성력을 스템(24V)을 통해 밸브체(18V)에 전달하여 밸브체(18V)를 밸브시트(14aV)에 접촉시킨다. 이상으로 조립이 완료된다.Next, the actuator part (XV) is connected to the valve part (YV). The female threaded portion 15aV of the adapter 15V formed on the body 14V is fitted into the male threaded portion 16aV of the holder 16V. At this time, the stem (24V) protruding from the holder (16V) contacts the concave portion (11eV) of the piston (11V), and the elastic force of the compression spring (12V) acting on the piston (11V) is applied to the valve body through the stem (24V). It is transmitted to (18V), and the valve body (18V) is brought into contact with the valve seat (14aV). This completes the assembly.

최근, 유체제어밸브의 소형화에 대한 요구가 높아지고 있다. 그러나, 소형화와 함께 유체제어밸브의 구성부품은 각각 작아지고 있기 때문에, 충분한 강도를 유지하는 것이 곤란해진다. 그 때문에, 보디(14V)와 홀더(16V)를 고정하기 위해 압입하면 구성부품을 파손시켜 버릴 우려가 있다.In recent years, the demand for miniaturization of fluid control valves is increasing. However, since the constituent parts of the fluid control valve are each becoming smaller along with the miniaturization, it becomes difficult to maintain sufficient strength. Therefore, if the body 14V and the holder 16V are press-fitted in order to fix the body 14V and the holder 16V, there is a fear that the component parts will be damaged.

연필과 동일한 정도의 직경(예를 들어, 약 10mm의 직경)을 가지는 본 발명의 유체제어밸브(1V)에서는, 보디(14V)와 홀더(16V)를 용접에 의해 고정함으로써 압입이나 나사결합에 의한 파손 우려가 없이 보디(14V)와 홀더(16V)를 밀봉할 수 있다. 따라서, 유체제어밸브의 소형화를 실현하면서 밸브부(Y)의 강도를 확보할 수 있다. 조립이나 메인티넌스시에 액츄에이터부(X)를 밸브부(Y)로부터 용이하게 분리할 수 있기 때문에, 작업의 효율성을 향상시킬 수 있다. 또한, 보디(14V)와 홀더(16V)는 밀봉되어 있기 때문에, 제어유체가 새는 일이 없어 안전성을 높일 수 있다.In the fluid control valve 1V of the present invention having the same diameter as a pencil (for example, a diameter of about 10 mm), the body 14V and the holder 16V are fixed by welding, The body 14V and the holder 16V can be sealed without fear of damage. Accordingly, it is possible to secure the strength of the valve portion Y while realizing downsizing of the fluid control valve. Since the actuator unit X can be easily separated from the valve unit Y during assembly or maintenance, the efficiency of work can be improved. In addition, since the body 14V and the holder 16V are sealed, there is no leakage of the control fluid, and safety can be improved.

(유체제어밸브의 동작 설명)(Description of fluid control valve operation)

다음으로, 본 실시형태에 관련된 유체제어밸브(1V)의 동작을 설명한다.Next, the operation of the fluid control valve 1V according to the present embodiment will be described.

유체제어밸브(1V)는, 급배기포트(20aV)에 에어가 공급되지 않을 때 압축스프링(12V)의 탄성력에 의해 압축스프링(19V)의 저항력에 반발하여 피스톤(11V)이 밸브시트(14aV) 방향으로 눌리고, 스템(24V)을 통해 밸브체(18V)를 밸브시트(14aV)에 접촉시킨다. 그 때문에, 입구유로(14bV)에 공급된 제어유체는 밸브시트(14aV)로부터 출구유로(14cV)로 흐르지 않는다.When air is not supplied to the supply/exhaust port (20aV), the fluid control valve (1V) repels the resistance force of the compression spring (19V) by the elastic force of the compression spring (12V), and the piston (11V) becomes the valve seat (14aV). Pressed in the direction, the valve body (18V) is brought into contact with the valve seat (14aV) through the stem (24V). Therefore, the control fluid supplied to the inlet passage 14bV does not flow from the valve seat 14aV to the outlet passage 14cV.

급배기포트(20aV)에서 에어가 공급되면, 에어는 내부 유로(11dV)에서 유로(11fV)를 통해 가압실(13aV)에 유입된다. 가압실(13aV)에 유입되는 에어가 배압실(13bV)에 있는 압축스프링(12V)의 탄성력보다 크면 압축스프링(12V)은 수축하기 시작한다. 이것에 의해 피스톤(11V)은 상승한다. 피스톤(11V)이 상승하면 도 42에 나타내는 바와 같이 스템(24V)에 부설되는 압축스프링(19V)은 밸브시트(14aV) 방향으로 눌리지 않게 되어 압축스프링(19V)의 탄성력에 의해 스템(24V)은 상승한다. 신장되어 있던 벨로우즈(17V)는 수축되어 밸브체(18V)가 밸브시트(14aV)로부터 이간한다. 이 상태로 입구유로(14bV)에 제어유체를 공급하면, 제어유체가 입구유로(14bV)로부터 밸브시트(14aV) 내의 밸브 구멍을 통해 출구유로(14cV)로 흐른다.When air is supplied from the supply/exhaust port 20aV, air flows into the pressurization chamber 13aV through the flow path 11fV from the internal flow path 11dV. When the air flowing into the pressure chamber 13aV is greater than the elastic force of the compression spring 12V in the back pressure chamber 13bV, the compression spring 12V begins to contract. Thereby, the piston 11V rises. When the piston (11V) rises, the compression spring (19V) installed on the stem (24V) is not pressed in the direction of the valve seat (14aV) as shown in FIG. Rises. The elongated bellows 17V contracts and the valve body 18V is separated from the valve seat 14aV. When the control fluid is supplied to the inlet passage 14bV in this state, the control fluid flows from the inlet passage 14bV through the valve hole in the valve seat 14aV to the outlet passage 14cV.

<유체제어밸브의 변형예><Modified example of fluid control valve>

본 발명의 유체제어밸브의 다른 실시형태에 대해 도면을 참조하면서 설명한다. 도 48은 본 발명의 다른 실시형태에 관련된 유체제어밸브(2V)의 단면도이다. 또한, 상기한 실시형태와 공통되는 구성에 대해서는 상기한 실시형태와 동일한 부호를 도면에 부여하고 설명은 생략한다.Another embodiment of the fluid control valve of the present invention will be described with reference to the drawings. 48 is a cross-sectional view of a fluid control valve 2V according to another embodiment of the present invention. In addition, for a configuration common to the above-described embodiment, the same reference numerals as those of the above-described embodiment are assigned to the drawings, and description thereof is omitted.

본 실시형태에 관련된 유체제어밸브(2V)(상기한 유체제어밸브(17∼19))에서는, 도 48에 나타내는 바와 같이 동일 형상의 내장부품(23V)을 6개 겹쳐 외장부재(22V) 내에 고정함으로써 6개의 제1, 제2, 제3, 제4, 제5, 제6 피스톤(11AV, 11BV, 11CV, 11DV, 11EV, 11FV)(이하, 11AV∼11FV라 기재함)과 6개의 제1, 제2, 제3, 제4, 제5, 제6 압축스프링(12AV, 12BV, 12CV, 12DV, 12EV, 12FV)(이하, 12AV∼12FV라 기재함)을 설치할 수 있다. 제1∼제6 피스톤(11AV∼11FV)에는 각각 하나씩 제1∼제6 압축스프링(12AV∼12FV)이 동축상에 부착되어 있다. 피스톤(11V)을 6개 겹치는 것에 의해 6개의 피스톤실(13AV, 13BV, 13CV, 13DV, 13EV, 13FV)을 형성하여 6단식 유체제어밸브를 구성한다.In the fluid control valve 2V (the above-described fluid control valves 17 to 19) according to the present embodiment, as shown in Fig. 48, six internal parts 23V of the same shape are stacked and fixed in the exterior member 22V. By doing so, six first, second, third, fourth, fifth and sixth pistons (11AV, 11BV, 11CV, 11DV, 11EV, 11FV) (hereinafter referred to as 11AV-11FV) and six first, Second, third, fourth, fifth and sixth compression springs 12AV, 12BV, 12CV, 12DV, 12EV, 12FV (hereinafter referred to as 12AV-12FV) can be installed. First to sixth compression springs 12AV to 12FV are coaxially attached to each of the first to sixth pistons 11AV to 11FV, one respectively. Six piston chambers (13AV, 13BV, 13CV, 13DV, 13EV, 13FV) are formed by overlapping six pistons (11V) to constitute a six-stage fluid control valve.

여기서, 최근 반도체 제조장치에서는 다종의 가스 전환을 위해 설치해야 할 밸브의 수가 증가하여 전체 설치면적의 감소가 과제로 되어 있다. 밸브를 소형화하기 위해서 연필과 동일한 정도의 직경을 가지는 유체제어밸브가 개발되었다. 이 경우, 피스톤(11V)에 부착되는 압축스프링(12V)의 스프링 직경은 작아야 한다. 그 때문에, 밸브폐쇄시의 일정한 시일력을 확보하기 위해 피스톤(11V)을 복수 겹쳐 쌓을 필요가 있다.Here, in recent semiconductor manufacturing apparatuses, the number of valves to be installed for switching various types of gases increases, and thus, a reduction in the total installation area is a problem. In order to miniaturize the valve, a fluid control valve having the same diameter as a pencil was developed. In this case, the spring diameter of the compression spring 12V attached to the piston 11V should be small. Therefore, it is necessary to stack a plurality of pistons 11V in order to ensure a constant sealing force when the valve is closed.

본 출원인은 수많은 실험을 실시하여, 밸브폐쇄시의 일정한 시일력을 확보하기 위해서는 4개 이상의 피스톤(11V)을 겹쳐 쌓을 필요가 있다는 것을 알았다. 4개 이상의 피스톤(11V)에는 각각 하나씩 압축스프링(12V)이 동축상에 부착되어 있다. 또한, 유체제어밸브(2V)와 같이 6개의 피스톤(11V)을 겹쳐 쌓아 6개의 압축스프링(12V)을 각각 하나씩 부착한 경우, 확실히 일정한 시일력을 확보하여 한층 더 압축스프링(12V)의 내구성을 향상시킨다는 것을 알 수 있었다.The present applicant has conducted numerous experiments and found that it is necessary to stack four or more pistons (11V) in order to secure a constant sealing force when the valve is closed. One compression spring (12V) is coaxially attached to each of the four or more pistons (11V). In addition, when six pistons (11V) are stacked together like the fluid control valve (2V) and six compression springs (12V) are attached one by one, a certain sealing force is secured to further increase the durability of the compression spring (12V). I could see that it improves.

이상 설명한 바와 같이 본 발명의 유체제어밸브(1V, 2V)에 의하면,As described above, according to the fluid control valve (1V, 2V) of the present invention,

(1) 조작유체의 압력에 의해 피스톤(11V)을 슬라이딩시켜 밸브체(18V)를 밸브시트(14aV)에 접촉 또는 이간시키는 유체제어밸브(1V, 2V)에 있어서, 제1 피스톤(11AV) 및 제2 피스톤(11BV)을 동축상에 가지는 것, 제1 피스톤(11AV)에는 밸브체(18V)가 밸브시트(14aV)에 접촉하는 방향으로 탄성지지하는 하나의 제1 압축스프링(12AV)이 동축상에 부착되어 있는 것, 제2 피스톤(11BV)에는 밸브체(18V)가 밸브시트(14aV)에 접촉하는 방향으로 탄성지지하는 하나의 제2 압축스프링(12BV)이 동축상에 부착되어 있는 것을 특징으로 하므로, 제1 피스톤(11AV)에 제1 압축스프링(12AV)이, 제2 피스톤(11BV)에 제2 압축스프링(12BV)이 각각 직렬로 부착되어 있기 때문에, 유체제어밸브(1V, 2V)의 폭을 좁게 하여 소형화할 수 있다. 따라서, 전체 설치면적을 감소시킬 수 있다.(1) In the fluid control valves (1V, 2V) that slide the piston (11V) by the pressure of the operating fluid to contact or separate the valve body (18V) with the valve seat (14aV), the first piston (11AV) and Having a second piston (11BV) coaxially, a first compression spring (12AV) elastically supported in a direction in which the valve body (18V) contacts the valve seat (14aV) is coaxial with the first piston (11AV). One second compression spring (12BV) that is elastically supported in a direction in which the valve body (18V) contacts the valve seat (14aV) is attached to the second piston (11BV) coaxially. As a characteristic, since the first compression spring (12AV) is attached to the first piston (11AV) and the second compression spring (12BV) is attached to the second piston (11BV) in series, respectively, the fluid control valves (1V, 2V) ) Can be downsized by narrowing the width. Therefore, it is possible to reduce the total installation area.

2개의 피스톤(11V)(제1 피스톤(11AV), 제2 피스톤(11BV))뿐만 아니라 밸브폐쇄를 위한 시일력을 높이기 위해 예를 들어, 6개의 피스톤(11V)을 겹쳐 쌓았다고 해도 액츄에이터부(X)의 높이가 늘어날 뿐이다. 즉, 시일력을 높이면서도 유체제어밸브 자체의 폭은 좁은 상태 그대로이며 설치면적은 변화하지 않는다. 따라서, 피스톤(11V)의 수에 관계없이 유체제어밸브의 소형화를 실현할 수 있어 전체 설치면적의 감소를 실현할 수 있다. 또한, 피스톤(11V)의 수에 관계없이 밸브체(18V)의 재질이나 형상, 필요한 Cv치 등에 따라 임의의 수의 피스톤(11V)을 조합하는 것만으로 밸브폐쇄를 위해 필요한 시일력을 용이하게 설정하는 것이 가능해진다. 게다가, 어느 한쪽의 압축스프링(12V)이 열화되었다고 해도 다른 압축스프링(12V)의 탄성지지력에 의해 밸브체(18V)가 밸런스가 무너져서 기울어지거나 하는 일 없이 밸브시트(14aV)에 대해 균일한 시일력을 확보할 수 있다.In order to increase the sealing force for valve closing as well as the two pistons 11V (the first piston 11AV, the second piston 11BV), for example, even if six pistons 11V are stacked, the actuator unit ( It only increases the height of X). That is, while increasing the sealing force, the width of the fluid control valve itself remains narrow and the installation area does not change. Therefore, it is possible to realize the miniaturization of the fluid control valve regardless of the number of pistons 11V, and to realize a reduction in the total installation area. In addition, regardless of the number of pistons (11V), simply by combining an arbitrary number of pistons (11V) according to the material and shape of the valve body (18V) and the required Cv value, you can easily set the sealing force required for valve closing. It becomes possible to do. In addition, even if one compression spring (12V) deteriorates, the valve body (18V) is unbalanced due to the elastic support force of the other compression spring (12V) and does not incline, and a uniform sealing force against the valve seat (14aV). Can be secured.

(2) (1)에 기재된 유체제어밸브(1V, 2V)에 있어서, 제1 피스톤(11AV) 및 제2 피스톤(11BV)은 동일 형상인 것, 제1 압축스프링(12AV) 및 제2 압축스프링(12BV)은 동일 형상인 것을 특징으로 하므로, 복수의 피스톤(11V)과 압축스프링(12V)을 조합할 때 각각 동일 형상이기 때문에, 부품을 공통화할 수 있다. 따라서, 별도로 다른 형상의 피스톤, 압축스프링을 준비할 필요가 없고, 몰드 성형으로 부품을 제조하는 경우에는 제조하기 위한 비용을 삭감할 수 있다. 그리고, 부품을 공통화하는 것에 의해 조립시 작업의 효율성을 향상시킬 수 있다.(2) In the fluid control valves (1V, 2V) described in (1), the first piston (11AV) and the second piston (11BV) are of the same shape, the first compression spring (12AV) and the second compression spring Since (12BV) is characterized by having the same shape, when combining a plurality of pistons 11V and compression spring 12V, each has the same shape, so that parts can be shared in common. Therefore, it is not necessary to separately prepare pistons and compression springs of different shapes, and when a part is manufactured by mold molding, the cost for manufacturing can be reduced. And, by making the parts common, it is possible to improve the efficiency of work during assembly.

(3) (1) 또는 (2)에 기재된 유체제어밸브(1V, 2V)에 있어서, 제1 압축스프링(12AV)에 의한 탄성지지력과 제2 압축스프링(12BV)에 의한 탄성지지력의 총합이 밸브체(18V)를 밸브시트(14aV)에 접촉시키는 힘이 되는 것을 특징으로 하므로, 제1 압축스프링(12AV), 제2 압축스프링(12BV) 각각의 탄성지지력의 총합이 유체제어밸브(1V, 2V)를 폐쇄하기 위한 시일력이 되기 때문에, 압축스프링(12V)의 스프링 응력을 각각 낮출 수 있다. 그 때문에, 압축스프링(12V)의 내구성을 향상시킬 수 있다. 또한, 압축스프링(12V)의 설계 자유도가 높아져서 설계·제조가 용이해진다. 그리고, 공차에 편차가 있다고 해도 밸브폐쇄에 필요한 시일력을 확보할 수 있다.(3) In the fluid control valves (1V, 2V) described in (1) or (2), the sum of the elastic support force by the first compression spring (12AV) and the elastic support force by the second compression spring (12BV) is the valve Since the sieve (18V) is characterized by being a force to contact the valve seat (14aV), the sum of the elastic bearing forces of each of the first compression spring (12AV) and the second compression spring (12BV) is the fluid control valve (1V, 2V). Since it becomes a sealing force for closing ), the spring stress of the compression spring 12V can be lowered, respectively. Therefore, the durability of the compression spring 12V can be improved. In addition, the degree of freedom in design of the compression spring (12V) is increased, making design and manufacturing easier. In addition, even if there is a variation in the tolerance, the sealing force required for closing the valve can be secured.

(4) (1) 내지 (3) 중 어느 하나에 기재된 유체제어밸브(1V, 2V)에 있어서, 밸브시트(14aV)가 형성되는 보디(14V)의 상부에는 홀더(16V)가 고정되고, 밸브체(18V)와 홀더(16V) 사이에는 벨로우즈(17V)가 배치되어 있는 것을 특징으로 하므로, 다이아프램 밸브체와 비교하면 보다 작은 직경 내에서 긴 스트로크를 얻을 수 있다.(4) In the fluid control valve (1V, 2V) described in any one of (1) to (3), a holder (16V) is fixed on the upper portion of the body (14V) on which the valve seat (14aV) is formed, and the valve Since the bellows 17V is arranged between the sieve 18V and the holder 16V, a long stroke can be obtained within a smaller diameter compared to the diaphragm valve body.

(5) (1) 내지 (4) 중 어느 하나에 기재된 유체제어밸브(1V, 2V)에 있어서, 밸브시트(14aV)가 형성되는 보디(14V)의 상부에는 홀더(16V)가 용접에 의해 고정되어 있는 것을 특징으로 하므로, 조립이나 메인티넌스시에 액츄에이터부(XV)를 용이하게 분리할 수 있어 작업의 효율성을 향상시킬 수 있다. 또한, 보디(14V)와 홀더(16V)는 밀봉되어 있기 때문에, 제어유체가 새는 일이 없어 안전성을 높일 수 있다.(5) In the fluid control valve (1V, 2V) according to any one of (1) to (4), a holder (16V) is fixed by welding on the upper portion of the body (14V) where the valve seat (14aV) is formed. Since it is characterized in that it is, it is possible to easily remove the actuator unit (XV) during assembly or maintenance, it is possible to improve the efficiency of work. In addition, since the body 14V and the holder 16V are sealed, there is no leakage of the control fluid, and safety can be improved.

(6) (5)에 기재된 유체제어밸브에 있어서, 피스톤(11V)을 구비하는 액츄에이터부(XV)는 홀더(16V)로부터 착탈 가능한 것을 특징으로 하므로, 조립이나 메인티넌스시에 곧바로 액츄에이터부(X)를 교환할 수 있어 작업의 효율성을 향상시킬 수 있다.(6) In the fluid control valve described in (5), the actuator unit (XV) having the piston (11V) is characterized in that it is detachable from the holder (16V). ) Can be exchanged to improve work efficiency.

(7) (1) 내지 (6) 중 어느 하나에 기재된 유체제어밸브(1V, 2V)에 있어서, 튜브형상의 외장부재(22V)를 가지는 것을 특징으로 하므로, 용이하게 조립할 수 있다.(7) The fluid control valves 1V and 2V according to any one of (1) to (6) are characterized by having a tubular exterior member 22V, so that they can be easily assembled.

(8) (7)에 기재된 유체제어밸브(1V, 2V)에 있어서, 외장부재(22V)의 선단에 부착된 캡(20V)의 상면에 원터치 조인트(21V)를 가지는 것을 특징으로 하므로, 외장부재의 선단에 부착된 캡(20V)의 상면에 원터치 조인트(21V)를 배치하여 상면에 에어튜브를 접속할 수 있기 때문에, 설치면적의 증가를 억제할 수 있다.(8) In the fluid control valve (1V, 2V) described in (7), it is characterized in that it has a one-touch joint (21V) on the upper surface of the cap (20V) attached to the tip of the exterior member (22V). Since the air tube can be connected to the upper surface by arranging the one-touch joint 21V on the upper surface of the cap 20V attached to the tip of the cap 20V, an increase in the installation area can be suppressed.

<유체제어밸브의 다른 변형예><Other variations of fluid control valve>

본 발명의 유체제어밸브의 다른 실시형태에 대해 도면을 참조하면서 설명한다. 도 49는 본 발명의 다른 실시형태에 관련된 유체제어밸브(3V)(상기한 유체제어밸브(17∼19))의 단면도이다. 또한, 상기한 실시형태와 공통되는 구성에 대해서는 상기한 실시형태와 동일한 부호를 도면에 부여하고 설명은 생략한다.Another embodiment of the fluid control valve of the present invention will be described with reference to the drawings. 49 is a cross-sectional view of a fluid control valve 3V (the above-described fluid control valves 17 to 19) according to another embodiment of the present invention. In addition, for a configuration common to the above-described embodiment, the same reference numerals as those of the above-described embodiment are assigned to the drawings, and description thereof is omitted.

상기한 실시형태에서는 유체제어밸브(1)의 밸브부(YV)에 벨로우즈(17V)를 이용하여 설명했다. 그러나, 본 실시형태에 관련된 유체제어밸브(3V)에서는 도 49에 나타내는 바와 같이 밸브부(YV)는 벨로우즈(17V)가 아니라 다이아프램 밸브체(31V)를 이용하여 유체제어밸브(3V)를 구성한다.In the above-described embodiment, the bellows 17V was used for the valve portion YV of the fluid control valve 1 and described. However, in the fluid control valve 3V according to the present embodiment, as shown in Fig. 49, the valve portion YV uses the diaphragm valve body 31V instead of the bellows 17V to constitute the fluid control valve 3V. do.

밸브부(Y)의 보디(14V)의 하면에는 입구유로(14bV)와 출구유로(14cV)가 형성되어 있다. 보디(14V)의 상면에는 부착구멍(14dV)이 원주상으로 형성되어 있다. 부착구멍(14dV)의 저벽 중앙부에는 밸브시트(32V)가 환형으로 형성되며 그 밸브시트(32V)를 통해 입구유로(14bV)와 출구유로(14cV)가 연통되어 있다.An inlet passage 14bV and an outlet passage 14cV are formed on the lower surface of the body 14V of the valve portion Y. An attachment hole 14dV is formed in a circumferential shape on the upper surface of the body 14V. A valve seat 32V is formed in an annular shape at the center of the bottom wall of the attachment hole 14dV, and the inlet passage 14bV and the outlet passage 14cV are in communication through the valve seat 32V.

밸브부(YV)는 보디(14V)의 부착구멍(14dV)에 다이아프램 밸브체(31V)를 장착하고, 다이아프램 밸브체(31V)의 외연부를 홀더(34V)로 눌러 부착구멍(14dV)의 내주면과 홀더(34V)의 외주면 사이에 삽입한 어댑터(33V)를 보디(14V)에 끼워 넣는 것에 의해 다이아프램 밸브체(31V)의 외연부를 보디(14V)와 홀더(34V) 사이에 개재하여 지지하고 있다. 다이아프램 밸브체(31V)는 수지나 금속 등을 얇은 막상으로 형성하여 변형 가능하게 한 것이다. 그리고, 홀더(34V)와 어댑터(33V)는 내열성이나 강성이 있는 금속을 재질로 하고 있다. 홀더(34V)에는 다이아프램 밸브체(31V)에 접촉하도록 금속제 스템(30V)이 장전되며, 스템(30V)을 통해 다이아프램 밸브체(31V)에 액츄에이터부(XV)의 구동력을 전달하게 되어 있다.As for the valve part (YV), the diaphragm valve body (31V) is attached to the mounting hole (14dV) of the body (14V), and the outer edge of the diaphragm valve body (31V) is pressed with the holder (34V) to close the mounting hole (14dV). The outer periphery of the diaphragm valve body (31V) is supported by interposing between the body (14V) and the holder (34V) by inserting the adapter (33V) inserted between the inner circumferential surface and the outer circumferential surface of the holder (34V) into the body (14V). I'm doing it. The diaphragm valve body 31V is formed by forming a thin film of resin, metal, or the like to be deformable. Further, the holder 34V and the adapter 33V are made of metal having heat resistance and rigidity. A metal stem (30V) is loaded in the holder (34V) so as to contact the diaphragm valve body (31V), and the driving force of the actuator unit (XV) is transmitted to the diaphragm valve body (31V) through the stem (30V). .

이상 설명한 바와 같이 본 발명의 유체제어밸브(3V)에 의하면,As described above, according to the fluid control valve (3V) of the present invention,

(1) 조작유체의 압력에 의해 피스톤(11V)을 슬라이딩시켜 다이아프램 밸브체(31V)를 밸브시트(32V)에 접촉 또는 이간시키는 유체제어밸브(3V)에 있어서, 제1 피스톤(11AV) 및 제2 피스톤(11BV)을 동축상에 가지는 것, 제1 피스톤(11AV)에는 다이아프램 밸브체(31V)가 밸브시트(32V)에 접촉하는 방향으로 탄성지지하는 하나의 제1 압축스프링(12AV)이 동축상에 부착되어 있는 것, 제2 피스톤(11BV)에는 다이아프램 밸브체(31V)가 밸브시트(32V)에 접촉하는 방향으로 탄성지지하는 하나의 제2 압축스프링(12BV)이 동축상에 부착되어 있는 것을 특징으로 하므로, 제1 피스톤(11AV)에 제1 압축스프링(12AV)이, 제2 피스톤(11BV)에 제2 압축스프링(12BV)이 각각 직렬로 부착되어 있기 때문에, 유체제어밸브(3V)의 폭을 좁게 하여 소형화할 수 있다. 따라서, 전체 설치면적을 감소시킬 수 있다.(1) In the fluid control valve (3V) that slides the piston (11V) by the pressure of the operating fluid to contact or separate the diaphragm valve body (31V) with the valve seat (32V), the first piston (11AV) and Having a second piston (11BV) coaxially, a first compression spring (12AV) elastically supported in a direction in which the diaphragm valve body (31V) contacts the valve seat (32V) in the first piston (11AV) One second compression spring (12BV) that is elastically supported in a direction in which the diaphragm valve body (31V) contacts the valve seat (32V) is attached to the second piston (11BV) on the coaxial side. Since it is characterized in that it is attached, the first compression spring (12AV) is attached to the first piston (11AV) and the second compression spring (12BV) is attached to the second piston (11BV) in series. It can be downsized by narrowing the width of (3V). Therefore, it is possible to reduce the total installation area.

<유체제어밸브의 참고예><Reference example of fluid control valve>

동일 형상의 피스톤(11V)은 NO형 유체제어밸브에도 응용할 수 있다. 도 50에 참고예에 관련되는 유체제어밸브(4V)(상기한 유체제어밸브(17∼19))의 단면도를 나타낸다. NC형 유체제어밸브(1V, 2V, 3V)와 비교하여 압축스프링(12V)은 밸브체(18V)가 밸브시트(14aV)에 접촉하는 방향으로 탄성지지되어 있지 않은 점 및 압축스프링(12V)은 복수의 피스톤(11V) 중 피스톤마다 부착되지 않은 점에서 다르다. 또한, 상기한 실시형태와 공통되는 구성에 대해서는 상기한 실시형태와 동일한 부호를 도면에 부여하고 설명은 생략한다.The piston 11V of the same shape can also be applied to a NO fluid control valve. Fig. 50 shows a cross-sectional view of a fluid control valve 4V (the above-described fluid control valves 17 to 19) according to a reference example. Compared with NC type fluid control valves (1V, 2V, 3V), the compression spring (12V) is not elastically supported in the direction in which the valve body (18V) contacts the valve seat (14aV), and the compression spring (12V) is It differs in that it is not attached to each piston among the plurality of pistons 11V. In addition, for a configuration common to the above-described embodiment, the same reference numerals as those of the above-described embodiment are assigned to the drawings, and description thereof is omitted.

유체제어밸브(4V)에서는 NC형 유체제어밸브(1V, 2V, 3V)와 비교하여 피스톤(11V)의 피스톤부(11aV)를 상부, 피스톤 로드(11bV)를 하부로 하도록 부착되어 있다. 압축스프링(12AV)은 맨 밑에 배치된 제1 피스톤(11AV)에만 부착되어 있다. 압축스프링(12AV)의 일단은 제1 피스톤(11AV)에 접촉하고, 그 타단은 어댑터(15V)에 부착된 부품(35V)에 접촉하고 있다. 압축스프링(12AV)은 밸브체(18V)가 밸브시트(14aV)로 이간되는 방향으로 탄성지지하고 있다. 이것에 의해 동일 형상의 피스톤(11V)은 NC형뿐만 아니라 NO형에도 대응할 수 있다.The fluid control valve 4V is attached so that the piston part 11aV of the piston 11V is at the top and the piston rod 11bV is at the bottom, compared to the NC type fluid control valves 1V, 2V, and 3V. The compression spring 12AV is attached only to the first piston 11AV disposed at the bottom. One end of the compression spring 12AV is in contact with the first piston 11AV, and the other end of the compression spring 12AV is in contact with a component 35V attached to the adapter 15V. The compression spring 12AV is elastically supported in a direction in which the valve body 18V is separated from the valve seat 14aV. Thereby, the piston 11V of the same shape can cope with not only the NC type but also the NO type.

또한, NO형 유체제어밸브에 있어서 참고예에 관련되는 유체제어밸브(4V)에서는 하나의 압축스프링(12AV)밖에 이용하지 않지만, 복수의 피스톤을 이용하는 경우, 하나의 피스톤(11V)에 하나의 압축스프링(12V)을 부착해도 된다. 예를 들어, 참고예에 관련되는 유체제어밸브(4V)에서는 피스톤(11AV∼11FV)에 각각 하나씩 압축스프링(12V)을 부착해도 된다.In addition, in the NO fluid control valve, only one compression spring (12AV) is used in the fluid control valve (4V) related to the reference example, but when a plurality of pistons are used, one compression is compressed by one piston (11V). You may attach a spring (12V). For example, in the fluid control valve 4V according to the reference example, one compression spring 12V may be attached to each of the pistons 11AV to 11FV.

또한, 본 실시형태는 단순한 예시에 불과하며, 본 발명을 조금도 한정하는 것은 아니다. 따라서, 본 발명은 당연히 그 요지를 일탈하지 않는 범위 내에서 여러가지 개량, 변형이 가능하다.In addition, this embodiment is only a mere illustration, and does not limit this invention at all. Accordingly, the present invention can naturally be variously improved and modified within a range not departing from the gist of the present invention.

예를 들어, 상기한 실시형태에서는 2개의 피스톤(11V)을, 다른 실시형태에서는 6개의 피스톤(11V)를 겹쳤지만, 피스톤(11V)은 복수 개 겹쳐도 된다.For example, although two pistons 11V are overlapped in the above-described embodiment and six pistons 11V are stacked in another embodiment, a plurality of pistons 11V may be overlapped.

예를 들어, 상기한 실시형태에서는 조작유체로서 에어를 이용하고 있지만, 조작유체는 불활성 가스여도 된다.For example, in the above-described embodiment, air is used as the operating fluid, but the operating fluid may be an inert gas.

<밸브부착블록 내의 유로><Flow path in the valve attachment block>

도 51은 밸브부착블록(60) 내의 유로 주변을 나타내는 단면도이다. 밸브부착블록(60) 내에는 프로세스 가스 또는 퍼지 가스가 유입되는 입구유로(14bV), 프로세스 가스 또는 퍼지 가스가 유출되는 출구유로(14cV), 입구유로(14bV) 및 출구유로(14cV)에 연통되어 있는 부착구멍(14dV)(밸브실)이 형성되어 있다.51 is a cross-sectional view showing the periphery of a flow path in the valve attachment block 60. As shown in FIG. The valve attachment block 60 communicates with the inlet passage (14bV) through which the process gas or purge gas flows, the outlet passage through which the process gas or purge gas flows (14cV), the inlet passage (14bV), and the outlet passage (14cV). A mounting hole 14dV (valve chamber) is formed.

입구유로(14bV)는 출구포트(23b)를 통해 접속유로(23)에 접속되어 있다. 출구유로(14cV)는 프로세스 가스 공급포트(26)를 통해 공급측 내부 가스 라인(27)에 접속되어 있다. 그리고, 유체제어밸브(19)의 밸브체(18V)는 밸브시트(14aV)에 대해 이간 및 접촉함으로써 부착구멍(14dV)과 출구유로(14cV)를 연통 및 차단하도록 구동된다. 즉, 차단부의 상류측에 용적이 크고 형상이 복잡한 부착구멍(14dV) 및 벨로우즈(17V)를 배치하고 있다. 이러한 구성에 의해 밸브체(18V)가 부착구멍(14dV)과 출구유로(14cV)를 차단하고 있는 상태에서 차단부 하류측의 공급측 내부 가스 라인(27)과 밸브체(18V) 사이에 체류하는 가스의 양을 줄일 수 있다.The inlet passage 14bV is connected to the connection passage 23 through the outlet port 23b. The outlet passage 14cV is connected to the supply side internal gas line 27 through the process gas supply port 26. Then, the valve body 18V of the fluid control valve 19 is driven to communicate and cut off the attachment hole 14dV and the outlet passage 14cV by being separated and in contact with the valve seat 14aV. That is, an attachment hole 14dV having a large volume and a complex shape and a bellows 17V are disposed on the upstream side of the blocking portion. With this configuration, the gas remaining between the supply-side internal gas line 27 and the valve body 18V on the downstream side of the shut-off part while the valve body 18V blocks the attachment hole 14dV and the outlet flow path 14cV. The amount of can be reduced.

도 52는 밸브부착블록(40) 내의 유로 주변을 나타내는 단면도이다. 밸브부착블록(40) 내(동 도면에서 좌측)에는 프로세스 가스(제1 유체)가 유입되는 입구유로(14bV)(제1 입구유로), 프로세스 가스가 유출되는 출구유로(14cV)(제1 출구유로), 입구유로(14bV) 및 출구유로(14cV)에 연통되어 있는 부착구멍(14dV)(제1 밸브실)이 형성되어 있다. 또한, 밸브부착블록(40) 내(동 도면에서 우측)에는 퍼지 가스(제2 유체)가 유입되는 입구유로(14bV)(제2 입구유로), 퍼지 가스가 유출되는 출구유로(14cV)(제2 출구유로), 입구유로(14bV) 및 출구유로(14cV)에 연통되어 있는 부착구멍(14dV)(제2 밸브실)이 형성되어 있다.52 is a cross-sectional view showing the periphery of a flow path in the valve attachment block 40. As shown in FIG. In the valve attachment block 40 (left side in the drawing), the inlet passage (14bV) through which the process gas (first fluid) flows in (14bV) (the first inlet flow passage), the outlet passage through which the process gas flows (14cV) (the first outlet) The attachment hole 14dV (first valve chamber) communicating with the flow path), the inlet flow passage 14bV, and the outlet flow passage 14cV is formed. In addition, in the valve attachment block 40 (right side in the drawing), an inlet passage (14bV) through which purge gas (second fluid) flows in (a second inlet flow passage), and an outlet passage through which purge gas flows (14cV) 2 An attachment hole 14dV (second valve chamber) communicating with the outlet passage), the inlet passage 14bV, and the outlet passage 14cV is formed.

좌측의 입구유로(14bV)는 출구포트(21b)를 통해 접속유로(21)에 접속되어 있다. 출구유로(14cV)는 입구포트(22a)를 통해 접속유로(22)에 접속되어 있다. 우측의 입구유로(14bV)는 퍼지 가스 공급포트(24)를 통해 내부 퍼지 가스 라인(25)에 접속되어 있다. 출구유로(14cV)는 입구포트(22a)를 통해 접속유로(22)에 접속되어 있다. 2개의 출구유로(14cV)는 서로 연통하고 있다.The inlet passage 14bV on the left is connected to the connection passage 21 through the outlet port 21b. The outlet passage 14cV is connected to the connection passage 22 through the inlet port 22a. The inlet passage 14bV on the right is connected to the internal purge gas line 25 through the purge gas supply port 24. The outlet passage 14cV is connected to the connection passage 22 through the inlet port 22a. The two exit passages 14cV are in communication with each other.

그리고, 동 도면의 좌측에서 유체제어밸브(17)(일방의 유체제어밸브)의 밸브체(18V)는 밸브시트(14aV)에 대해 이간 및 접촉함으로써 부착구멍(14dV)(제1 밸브실)과 출구유로(14cV)(제1 출구유로)를 연통 및 차단하도록 구동된다. 또한, 동 도면의 우측에서 유체제어밸브(18)(타방의 유체제어밸브)의 밸브체(18V)는 밸브시트(14aV)에 대해 이간 및 접촉함으로써 부착구멍(14dV)(제2 밸브실)과 출구유로(14cV)(제2 출구유로)를 연통 및 차단하도록 구동된다.And, on the left side of the figure, the valve body 18V of the fluid control valve 17 (one fluid control valve) is separated from and in contact with the valve seat 14aV, so that the attachment hole 14dV (the first valve chamber) and the It is driven to communicate and block the outlet passage 14cV (the first outlet passage). Further, on the right side of the figure, the valve body 18V of the fluid control valve 18 (the other fluid control valve) is separated from and in contact with the valve seat 14aV, so that the attachment hole 14dV (the second valve chamber) and the It is driven to communicate and block the outlet passage 14cV (the second outlet passage).

즉, 차단부의 상류측에 용적이 크고 형상이 복잡한 부착구멍(14dV) 및 벨로우즈(17V)를 배치하고 있다. 이러한 구성에 의해, 쌍방의 유체제어밸브(17, 18)에서 밸브체(18V)가 부착구멍(14dV)과 출구유로(14cV)를 차단하고 있는 상태에서 차단부 하류측에 체류하는 가스의 양을 적게 할 수 있다. 따라서, 프로세스 가스와 퍼지 가스의 전환시에 체류하고 있던 전환전의 가스가 전환후의 가스에 혼입되는 양을 적게 할 수 있다.That is, an attachment hole 14dV having a large volume and a complex shape and a bellows 17V are disposed on the upstream side of the blocking portion. With this configuration, the amount of gas remaining on the downstream side of the shut-off part in the state in which the valve body 18V blocks the attachment hole 14dV and the outlet flow path 14cV in both fluid control valves 17 and 18 is controlled. I can do less. Accordingly, it is possible to reduce the amount of the gas before conversion, which has remained at the time of switching the process gas and the purge gas, to be mixed with the gas after the conversion.

그 외에 특별히 언급되지 않은 변형예에 대해서도 본 발명의 본질적 부분을 변경하지 않는 범위 내에서 본 발명의 기술적범위에 포함되는 것은 당연하다. 또한, 본 발명의 과제를 해결하기 위한 수단을 구성하는 각 요소에서 작용·기능적으로 표현되고 있는 요소는 상기한 실시형태나 변형예에서 개시되어 있는 구체적 구성 및 그 균등물 외에 그 작용·기능을 실현 가능한 모든 구성도 포함한다.In addition, it is natural that modifications not specifically mentioned are included in the technical scope of the present invention within the scope of not changing the essential part of the present invention. In addition, the elements that are functionally and functionally expressed in each element constituting the means for solving the problems of the present invention realize the functions and functions in addition to the specific configurations and their equivalents disclosed in the above-described embodiments or modifications. Includes all possible configurations.

1: 배관 조인트 2: 본체부
2a: 접합면 2g: 제1 개구부
2k: 제1 볼트 삽입통과구멍 2m: 제2 볼트 삽입통과구멍
2p: 제2 개구부 4: 제1 통로
5: 제2 통로 6: 개구측 통로
7: 중간통로 10: 가스공급장치
10A∼10H: 가스공급유닛 11: 프로세스 가스 유입 라인
12: 퍼지 가스 유입 라인 13: 프로세스 가스 공급 라인
14: 내부 메인 가스유로 15: 내부 퍼지 가스유로
16: 유량제어기 17∼19: 유체제어밸브
19a, 19b: 유체제어밸브 액츄에이터
20: 유로블록 20a: 상측표면
20b: 하측표면 21∼23: 접속유로
24: 퍼지 가스 공급포트 25: 내부 퍼지 가스 라인
26: 프로세스 가스 공급포트 27: 공급측 내부 가스 라인
28a∼28d: 암나사부 30: 유입측 플랜지
31: 플랜지부 32: 관부
33: 부착볼트 40: 밸브부착블록
41: 부착볼트 50: MFC 부착부
51: 부착볼트 60: 밸브부착블록
61: 부착볼트 201: 제1 접속편
202: 제2 접속편 211: 제1 접속개구부
212: 제1 접속로 221: 제2 접속개구부
222: 제2 접속로 28a∼28d: 암나사부
290: 바이패스 배관 1V∼3V: 유체제어밸브
11V: 피스톤 11AV: 제1 피스톤
11BV: 제2 피스톤 12V: 압축스프링
12AV: 제1 압축스프링 12BV: 제2 압축스프링
13V: 피스톤실 14V: 보디
14aV: 밸브시트 15V: 어댑터
16V: 홀더 17V: 벨로우즈
18V: 밸브체 20V: 캡
21V: 원터치 조인트 22V: 외장부재
23V: 내장부품 31V: 다이아프램 밸브체
32V: 밸브시트 XV: 액츄에이터부
YV: 밸브부1: piping joint 2: body part
2a: bonding surface 2g: first opening
2k: 1st bolt insertion hole 2m: 2nd bolt insertion hole
2p: second opening 4: first passage
5: second passage 6: opening side passage
7: intermediate passage 10: gas supply device
10A-10H: Gas supply unit 11: Process gas inlet line
12: purge gas inlet line 13: process gas supply line
14: internal main gas flow path 15: internal purge gas flow path
16: flow controller 17-19: fluid control valve
19a, 19b: fluid control valve actuator
20: flow block 20a: upper surface
20b: lower surface 21 to 23: connection passage
24: purge gas supply port 25: internal purge gas line
26: process gas supply port 27: supply side internal gas line
28a to 28d: female threaded portion 30: inlet flange
31: flange portion 32: pipe portion
33: mounting bolt 40: valve mounting block
41: mounting bolt 50: MFC mounting portion
51: mounting bolt 60: valve mounting block
61: mounting bolt 201: first connection piece
202: second connection piece 211: first connection opening
212: first connection path 221: second connection opening
222: second connection path 28a to 28d: female thread
290: bypass piping 1V to 3V: fluid control valve
11V: piston 11AV: first piston
11BV: 2nd piston 12V: Compression spring
12AV: first compression spring 12BV: second compression spring
13V: Piston seal 14V: Body
14aV: Valve seat 15V: Adapter
16V: Holder 17V: Bellows
18V: valve body 20V: cap
21V: One-touch joint 22V: Exterior member
23V: internal parts 31V: diaphragm valve body
32V: valve seat XV: actuator part
YV: valve part

Claims

A fluid supply control device comprising a flow path block in which a fluid flow path is formed, and a plurality of modules mounted on the flow path block,
The plurality of modules includes at least one detachable module detachable from the flow path block,
The channel block,
A pair of female screw portions formed so that the detachable module can be detachably mounted, and a connection passage which is the U-shaped passage formed so as to connect the other modules to each other, are provided in a plurality of parallel to the flow direction of the fluid in the passage block. Along the arrangement direction of the modules, the center is arranged to be located on a specific straight line when viewed in a plane,
A fluid supply control device, characterized in that it is formed integrally with respect to the plurality of modules arranged in the arrangement direction.

The method of claim 1,
The female threaded portion is formed as a non-penetrating hole opening in the surface so that the detachable module is mounted on the surface of the flow path block,
The fluid supply control device, characterized in that the connection passage is formed to bypass the female threaded portion in a depth direction in the non-through hole.

The method of claim 1,
In a plurality of the modules,
A fluid control valve configured to be capable of switching the flow and shutoff of the fluid,
A flow controller configured to control the flow rate of the fluid
Included,
In the flow path block, a pair of female screw portions for detachably attaching and detaching the fluid control valve as the detachable module, and a pair of female screw portions for detachably attaching the flow controller as the detachable module are formed. Characterized in, fluid supply control device.

The method of claim 2,
In a plurality of the modules,
A fluid control valve configured to be capable of switching the flow and shutoff of the fluid,
A flow controller configured to control the flow rate of the fluid
Included,
In the flow path block, a pair of female screw portions for detachably attaching and detaching the fluid control valve as the detachable module, and a pair of female screw portions for detachably attaching the flow controller as the detachable module are formed. Characterized in, fluid supply control device.

The method according to claim 3 or 4,
The fluid supply control device, characterized in that the actuators of the two fluid control valves are mounted to the flow path block through a common attachment block.

The method of claim 5,
Inside the attachment block, a first inlet passage through which a first fluid flows, a first outlet passage through which the first fluid flows out, and a first valve in communication with the first inlet passage and the first outlet passage A seal, a second inlet passage through which the second fluid flows, a second outlet passage through which the second fluid flows out, and a second valve chamber in communication with the second inlet passage and the second outlet passage are formed, ,
The valve body of one of the fluid control valves is driven to communicate and block the first valve chamber and the first outlet flow path, and the valve body of the fluid control valve of the other side comprises the second valve chamber and the second outlet flow path. The fluid supply control device, characterized in that the drive to communicate and block the communication, characterized in that the first outlet passage and the second outlet passage in communication.

The method of claim 5,
A fluid supply control device, characterized in that in a direction orthogonal to the arrangement direction, the width of the attachment block is formed to be the same as the width of the fluid control valve.

The method of claim 1,
In a plurality of the modules,
A fluid control valve configured to be capable of switching the flow and shutoff of the fluid,
A flow controller configured to control the flow rate of the fluid
Included,
In the flow path block, a pair of the female screw portions for attaching and detaching the flow controller as the detachable module are formed,
The fluid control valve, characterized in that integrated with the flow path block without the female threaded portion, fluid supply control device.

The method of claim 2,
In a plurality of the modules,
A fluid control valve configured to be capable of switching the flow and shutoff of the fluid,
A flow controller configured to control the flow rate of the fluid
Included,
In the flow path block, a pair of the female screw portions for attaching and detaching the flow controller as the detachable module are formed,
The fluid control valve, characterized in that integrated with the flow path block without the female threaded portion, fluid supply control device.

The method according to any one of claims 3, 4, 8, and 9,
The fluid control valve and the flow controller, characterized in that the fluid supply control device is intensively mounted on an upper surface side, which is one surface of the flow path block.

The method according to any one of claims 3, 4, 8, and 9,
The flow controller is formed on an upper surface side, which is one surface of the flow path block,
The fluid control valve, characterized in that it is formed on a lower surface side, which is one surface opposite to the upper surface.

The method according to any one of claims 1 to 4, 8, and 9,
The flow path block is configured to be mounted while arranging a plurality of sets of the modules arranged in the arrangement direction in a width direction orthogonal to the arrangement direction.

The method of claim 12,
The fluid supply control device, characterized in that the flow path block is integrally formed over a plurality of the sets.

The method of claim 12,
The fluid supply control device, characterized in that the flow path block is formed so as to be divisible corresponding to each of the plurality of sets.

The method according to any one of claims 3, 4, 8, and 9,
The fluid control valve,
By sliding the piston by the pressure of the operating fluid, the valve body is brought into contact with or separated from the valve seat,
Having a first piston and a second piston as the piston coaxially,
One first compression spring for elastically supporting the valve body in a direction contacting the valve seat is coaxially attached to the first piston,
One second compression spring is coaxially attached to the second piston for elastically supporting the valve body in a direction in contact with the valve seat.
Characterized in, the fluid supply control device.

The method of claim 15,
The first piston and the second piston are of the same shape,
The first compression spring and the second compression spring are of the same shape
Characterized in, the fluid supply control device.

The method of claim 15,
The elastic support force by the first compression spring and the elastic support force by the second compression spring act as a force for bringing the valve body into contact with the valve seat.
Characterized in, the fluid supply control device.

The method of claim 15,
Having a tube-shaped exterior member,
A cap is attached to one end of the exterior member, and an adapter is attached to the other end of the exterior member,
In the inside of the exterior member, a cylindrical first internal part and a cylindrical second internal part are loaded,
The first interior part and the second interior part are fixed in an overlapping state inside the exterior member,
One end of the first compression spring is in contact with the first piston, and the other end of the first compression spring is in contact with the second internal component,
One end of the second compression spring is in contact with the second piston, and the other end of the second compression spring is in contact with the cap
Characterized in, the fluid supply control device.

The method of claim 18,
The cap is provided with a supply/exhaust port of the operating fluid,
In the inside of the first piston and the second piston, flow paths for the operating fluid are respectively formed,
The supply/exhaust port is in communication with a pressure chamber for applying pressure of the operating fluid to the second piston and a pressure chamber for applying pressure of the operating fluid to the first piston through the flow path.
Characterized in, the fluid supply control device.

The method of claim 18,
Each of the first piston and the second piston has a concave portion formed therein,
The valve body is formed at one end, and the other end has a stem disposed in the concave portion of the first piston,
One end of the first piston is disposed in the concave portion of the second piston
Characterized in, the fluid supply control device.

The method according to any one of claims 3, 4, 8, and 9,
The fluid control valve,
By sliding the piston by the pressure of the operating fluid, the valve body is brought into contact with or separated from the valve seat,
Having four or more of the pistons coaxially,
Compression springs that elastically support the valve body in a direction contacting the valve seat are attached to the piston, respectively, coaxially.
Characterized in, the fluid supply control device.

The method of claim 21,
The sum of the elastic support forces by the compression spring becomes a force for bringing the valve body into contact with the valve seat.
Characterized in, the fluid supply control device.

The method of claim 15,
On the upper part of the body on which the valve seat is formed, a holder is fixed,
Bellows are arranged between the valve body and the holder
Characterized in, the fluid supply control device.

The method of claim 15,
On the upper part of the body on which the valve seat is formed, a holder is fixed by welding
Characterized in, the fluid supply control device.

The method of claim 24,
Actuator portion having the piston is detachable from the holder
Characterized in, the fluid supply control device.

The method of claim 15,
With tubular sheathing members
Characterized in, the fluid supply control device.

The method of claim 26,
Having a one-touch joint on the upper surface of the cap attached to the front end of the exterior member
Characterized in, the fluid supply control device.