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KR102168797B1 - 유체 유로 장치 - Google Patents

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KR102168797B1
KR102168797B1 KR1020197028672A KR20197028672A KR102168797B1 KR 102168797 B1 KR102168797 B1 KR 102168797B1 KR 1020197028672 A KR1020197028672 A KR 1020197028672A KR 20197028672 A KR20197028672 A KR 20197028672A KR 102168797 B1 KR102168797 B1 KR 102168797B1
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KR
South Korea
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fluid flow
substrate
fluid
substrates
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KR1020197028672A
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도모히로 오조노
유타카 야기
고지 노이시키
Original Assignee
가부시키가이샤 고베 세이코쇼
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Filing date
Publication date
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Abstract

복수의 유체 유로가 서로 평행한 상태에서 연장되도록 형성되어 있는 경우라도, 복수의 유체 유로의 각각의 유로 길이를 길게 할 수 있음과 함께, 복수의 유체 유로 각각의 내부를 용이하게 청소할 수 있는 유체 유로 장치를 제공한다. 유체 유로 장치에는, 서로 평행한 상태에서 연장됨과 함께 각각이 유체를 유통시키는 복수의 유체 유로가 형성되어 있다. 유체 유로 장치는, 소정의 적층 방향으로 적층된 복수의 기판을 갖는 본체와, 각각이 본체에 대해서 착탈 가능한 복수의 덮개를 구비한다. 복수의 유체 유로의 각각은, 복수의 기판 중 상기 적층 방향으로 접하는 두 기판의 사이에 형성된 제1 유체 유로와, 복수의 기판 중 상기 적층 방향으로 접하는 두 기판의 사이에 형성되고, 상기 적층 방향으로 제1 유체 유로와는 상이한 위치에 배치되고, 유체가 흐르는 방향에서 제1 유체 유로보다도 하류측에 위치하는 제2 유체 유로를 포함한다.

Description

유체 유로 장치
본 발명은, 유체를 유통시키는 유체 유로가 형성된 유체 유로 장치이며, 상세하게는, 복수의 유체 유로가 서로 평행한 상태에서 연장되도록 형성된 유체 유로 장치에 관한 것이다.
복수의 유체를 혼합하는 수단으로서, 유체 유로 장치가 알려져 있다. 유체 유로 장치는, 예를 들어 반응 장치에 사용된다. 반응 장치는, 예를 들어 복수의 유체를 혼합하여 화학 반응시킴으로써, 목적으로 하는 반응 생성물을 얻기 위한 장치이다. 이와 같은 반응 장치는, 예를 들어 하기 특허문헌 1에 개시되어 있다.
특허문헌 1에 기재된 반응 장치는, 제1 반응제와 제2 반응제를 유통시키면서 반응시킨다. 반응 장치는, 유로 구조체를 구비한다. 유로 구조체는, 제1 도입로와, 제2 도입로와, 합류로와, 반응로를 갖는다.
제1 도입로는, 제1 반응제를 도입한다. 제2 도입로는, 제2 반응제를 도입한다. 합류로는, 제1 도입로의 하류단과, 제2 도입로의 하류단을 접속한다. 합류로는, 제1 도입로를 흐르는 제1 반응제와, 제2 도입로를 흐르는 제2 반응제를 합류시킨다. 반응로는, 합류로의 하류단에 접속되어 있다. 반응로는, 합류로에 있어서 합류된 제1 반응제와 제2 반응제를 유통시키면서 반응시킨다.
유로 구조체는, 기판과, 제1 밀봉 부재와, 제2 밀봉 부재를 갖는다. 제1 밀봉 부재는, 기판의 한쪽 면에 접합되어서, 당해 한쪽 면을 덮는다. 제2 밀봉 부재는, 기판의 다른 쪽 면에 접합되어서, 당해 다른 쪽의 면을 덮는다.
기판의 한쪽 면에는, 제1 도입 홈과, 제2 도입 홈이 형성되어 있다. 제1 도입 홈은, 제1 도입로를 구성한다. 제2 도입 홈은, 제2 도입로를 구성한다.
기판의 다른 쪽 면에는, 반응 홈이 형성되어 있다. 반응 홈은, 반응로를 구성한다. 반응 홈은, 기판의 다른 쪽 면에 있어서, 사행되면서 연장되어 있다. 즉, 반응로는, 어느 평면 상에서 사행되면서 연장되어 있다. 다른 표현을 하자면, 반응로는, 일방측으로 연장되는 부분과, 당해 부분의 하류측에서 타방측으로 연장되는 부분이 교대로 이어지는 형상을 가지고 있다. 그 때문에, 반응로의 유로 길이(반응로가 연장되는 방향에서의 길이)가 길게 되어 있다. 그 결과, 합류로에 있어서 합류시킨 제1 반응제와 제2 반응제의 체류 시간을 길게 하여, 제1 반응제와 제2 반응제의 반응을 촉진시킬 수 있다.
그러나, 특허문헌 1에서는, 반응로가 어느 평면 상에서 사행되도록 형성되어 있으므로, 반응로 내에 석출물이나 이물이 막혔을 때, 석출물이나 이물을 제거하기가 어렵다.
이와 같은 문제에 대처하기 위해서, 하기 특허문헌 2에 기재된 유로 구조체가 제안되어 있다. 특허문헌 2에 기재된 유로 구조체는, 본체부와, 제1 덮개부와, 제2 덮개부를 구비하고 있다. 본체부의 제1 단부면에는, 합류 유체 유로 중 일방측으로 연장되는 부분과 그 하류측에 배치되어서 타방측으로 연장되는 부분을 잇는 제2 폴딩부가 개구되어 있다. 본체부의 제2 단부면에는, 합류 유로 중 타방측으로 연장되는 부분과 그 하류측에 배치되어서 일방측으로 연장되는 부분을 잇는 제2 폴딩부가 개구되어 있다. 제1 덮개부는, 제1 폴딩부의 개구를 밀봉하도록 제1 단부면에 접촉한 상태에서 본체부가 착탈 가능해지도록 결합되어 있다. 제2 덮개부는, 제2 폴딩부의 개구를 밀봉하도록 제2 단부면에 접촉한 상태에서 본체부가 착탈 가능해지도록 결합되어 있다.
특허문헌 2에 기재된 유로 구조체에 있어서는, 제1 덮개부 및 제2 덮개부를 본체부로부터 분리함으로써, 본체부의 제1 단부면측 또는 제2 단부면측으로부터 유로 내에 청소 기구를 삽입하여, 석출물이나 이물을 제거할 수 있다.
일본 특허 공개 제2010-162428호 공보 일본 특허 공개 제2013-56315호 공보
특허문헌 1에 기재된 반응 장치나, 특허문헌 2에 기재된 유로 구조체는, 합류시킨 복수의 반응제를 반응시키기 위해서 사용된다. 여기서, 반응시키는 반응제의 종류에 따라서는, 합류시킨 복수의 반응제를 반응시키기 위한 시간을 충분히 확보할 필요가 있다. 그를 위해서는, 합류시킨 복수의 반응제가 유통하는 유체 유로의 유로 길이를 가능한 한 길게 해야 한다.
특허문헌 1이나 특허문헌 2에서는, 합류시킨 복수의 반응제가 유통하는 유체 유로를 어느 평면 상에서 사행시킴으로써, 유체 유로의 유로 길이를 길게 하고 있다. 그러나, 유체 유로를 어느 평면 상에서 사행시키는 것만으로는, 유체 유로의 유로 길이를 충분히 길게 하는 것은 어렵다.
특히, 특허문헌 1에서는, 보다 많은 반응제를 유통시키기 위해서, 복수의 유체 유로가 어느 평면 상에 있어서 서로 평행한 상태에서 연장되도록 형성되어 있다. 그러나, 어느 평면 상에서 유체 유로를 형성하기 위한 스페이스는 한정되어 있다. 그 때문에, 복수의 유체 유로를 어느 평면 상에 있어서 서로 평행한 상태에서 연장되도록 형성하면, 복수의 유체 유로의 각각의 유로 길이를 충분히 확보하기는 더욱 어려워진다.
본 발명의 목적은, 복수의 유체 유로가 서로 평행한 상태에서 연장되도록 형성되어 있는 경우라도, 복수의 유체 유로의 각각의 유로 길이를 길게 할 수 있음과 함께, 복수의 유체 유로의 각각의 내부를 용이하게 청소할 수 있는 유체 유로 장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 의한 유체 유로 장치는, 서로 평행한 상태에서 연장됨과 함께 각각이 유체를 유통시키는 복수의 유체 유로가 형성된 유체 유로 장치이며, 소정의 방향으로 적층된 복수의 기판을 갖는 본체와, 각각이 상기 본체에 대해서 착탈 가능하게 설치되는 복수의 덮개를 구비하고, 상기 복수의 유체 유로의 각각은, 상기 복수의 기판 중 상기 적층 방향으로 접하는 두 기판의 사이에 형성된 제1 유체 유로와, 상기 복수의 기판 중 상기 적층 방향으로 접하는 두 기판의 사이에 형성되고, 상기 적층 방향으로 상기 제1 유체 유로와는 상이한 위치에 배치되고, 상기 유체가 흐르는 방향에서 상기 제1 유체 유로보다도 하류측에 위치하는 제2 유체 유로와, 상기 제1 유체 유로 하류단부와 상기 제2 유체 유로의 상류단부를 상기 적층 방향으로 접속하는 제3 유체 유로를 포함하고, 상기 제1 유체 유로의 상류단 및 하류단은, 각각, 상기 복수의 기판 중 상기 제1 유체 유로를 형성하는 두 기판의 각각이 갖는 측면의 적어도 한쪽으로 개구되고, 상기 제2 유체 유로의 상류단 및 하류단은, 각각, 상기 복수의 기판 중 상기 제2 유체 유로를 형성하는 두 기판의 각각이 갖는 측면의 적어도 한쪽으로 개구되고, 상기 복수의 덮개는, 상기 본체에 설치된 상태에서, 상기 제1 유체 유로의 상류단을 덮는 제1 덮개와, 상기 본체에 설치된 상태에서, 상기 제1 유체 유로의 하류단과 상기 제2 유체 유로의 상류단을 덮는 제2 덮개를 포함한다.
본 발명에 의한 유체 유로 장치에 따르면, 복수의 유체 유로의 각각의 유로 길이를 길게 할 수 있음과 함께, 복수의 유체 유로의 각각의 내부를 용이하게 청소할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 형태에 의한 유체 유로 장치의 평면도이다.
도 2는 본 발명의 실시 형태에 의한 유체 유로 장치의 정면도이다.
도 3은 도 1에 도시하는 유체 유로 장치가 구비하는 본체를 구성하는 복수의 기판을 도시하는 측면도이다.
도 4는 프로세스 유로 유닛을 구성하는 네 기판 중, 가장 하방에 위치하는 기판의 평면도이다.
도 5는 도 1에 도시하는 유체 유로가 구비하는 본체를 구성하는 복수의 기판의 일부를 확대하여 도시하는 측면도이다.
도 6은 프로세스 유로 유닛을 구성하는 네 기판 중, 도 4에 도시하는 기판과 겹치는 기판의 저면도이다.
도 7은 도 4에 도시하는 기판과 도 6에 도시하는 기판의 사이에 형성된 유로를 도시하는 평면도이다.
도 8은 프로세스 유로 유닛을 구성하는 네 기판 중, 도 6에 도시하는 기판과 겹치는 기판의 평면도이다.
도 9는 도 1에 도시하는 유체 유로가 구비하는 본체를 구성하는 복수의 기판의 일부(도 5와는 상이한 부분)를 확대하여 도시하는 측면도이다.
도 10은 프로세스 유로 유닛을 구성하는 네 기판 중, 도 8에 도시하는 기판과 겹치는 기판의 저면도이다.
도 11은 도 8에 도시하는 기판과 도 10에 도시하는 기판의 사이에 형성된 유로를 도시하는 평면도이다.
도 12는 도 7의 일부를 확대하여 도시하는 평면도이다.
도 13은 도 11의 일부를 확대하여 도시하는 평면도이다.
도 14는 도 7의 다른 일부를 확대하여 도시하는 평면도이다.
도 15는 도 11의 다른 일부를 확대하여 도시하는 평면도이다.
도 16은 온도 조정 유로 유닛을 구성하는 복수의 기판 중, 복수의 홈이 형성된 기판의 평면도이다.
도 17은 온도 조정 유로 유닛을 구성하는 복수의 기판 중, 도 16에 도시하는 기판과 겹치는 기판의 평면도이다.
도 18은 도 16에 도시하는 기판과 도 17에 도시하는 기판의 사이에 형성된 유로를 도시하는 평면도이다.
도 19는 도 1에 도시하는 유체 유로 장치의 좌측면도이다.
도 20은 도 1에 도시하는 유체 유로 장치가 구비하는 두 플랜지 중, 좌측의 플랜지의 내부 구조를 도시하는 단면도이다.
도 21은 도 1에 도시하는 유체 유로 장치의 우측면도이다.
도 22는 도 1에 도시하는 유체 유로 장치가 구비하는 두 플랜지 중, 우측의 플랜지의 내부 구조를 도시하는 단면도이다.
도 23은 도 1에 도시하는 유체 유로 장치가 구비하는 두 유체 유로의 각각에 있어서, 유체가 흐르는 방향을 도시하는 설명도이다.
도 24는 도 1에 도시하는 유체 유로 장치가 구비하는 온도 조정 유로에 있어서, 유체가 흐르는 방향을 도시하는 설명도이다.
이하, 첨부 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태에 대해서 상세하게 설명한다.
도 1 및 도 2를 참조하면서, 본 발명의 실시 형태에 의한 유체 유로 장치(10)에 대해서 설명한다. 도 1은, 유체 유로 장치(10)의 평면도이다. 도 2는, 유체 유로 장치(10)의 정면도이다.
또한, 이하의 설명에서는, 도 1의 상하 방향을 유체 유로 장치(10)의 전후 방향으로 하고, 도 1의 좌우 방향을 유체 유로 장치(10)의 좌우 방향으로 하고, 도 1의 지면에 수직인 방향을 유체 유로 장치(10)의 상하 방향으로 한다. 유체 유로 장치(10)의 상하 방향은, 후술하는 복수의 기판(20A)(도 3 참조)이 적층되는 방향이다. 복수의 기판(20A)이 적층되는 방향은, 기판(20A)의 두께 방향과 일치하고 있다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 유로(혹은, 홈)의 단면은, 유로(혹은, 홈)가 연장되는 방향에 대해서 수직인 방향으로의 단면을 말한다.
유체 유로 장치(10)는, 복수의 유체를 합류시켜서 상호 작용을 발생시키기 위해서 사용된다. 유체 유로 장치(10)는, 예를 들어 마이크로 채널 리액터, 열 교환기, 추출 반응용의 반응 장치, 에멀션화용의 혼합 장치 등에 사용된다.
도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 유체 유로 장치(10)는, 본체로서의 본체(20)와, 복수의 덮개로서의 두 플랜지(30)를 구비한다. 이하, 이들에 대해서 설명한다.
[본체]
도 1에 도시하는 바와 같이, 본체(20)는, 전체적으로 직사각형의 블록 형상(예를 들어, 직육면체 형상)을 갖는다. 본체(20)는, 좌측 단부면(204)과, 우측 단부면(205)과, 전방 단부면(206)과, 후방 단부면(207)을 가지고 있다.
도 2에 도시하는 바와 같이, 본체(20)는, 복수의 기판(20A)을 포함한다. 복수의 기판(20A)은, 상하 방향으로 적층되어 있다.
도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 복수의 기판(20A)의 각각은, 전체적으로, 직사각형의 판 형상을 갖는다. 복수의 기판(20A)은, 상하 방향으로부터 보아서, 서로 동일한 외형을 갖는다. 복수의 기판(20A)의 각각은, 좌측 단부면(20A4)과, 우측 단부면(20A5)과, 전방 단부면(20A6)과, 후방 단부면(20A7)을 가지고 있다.
도 3을 참조하면서, 복수의 기판(20A)에 대해서 설명한다. 도 3은, 본체(20)를 구성하는 복수의 기판(20A)을 도시하는 측면도이다.
복수의 기판(20A)의 각각은, 상면(20A1) 및 하면(20A2)을 갖는다. 상면(20A1) 및 하면(20A2)의 각각은, 복수의 기판(20A)이 적층되는 방향에 대해서 수직인 방향으로 넓어진다.
복수의 기판(20A)은, 적층된 상태로, 서로 고정되어 있다. 구체적으로는, 적층 방향으로 인접하는 두 기판(20A)(상하 방향으로 겹치는 두 기판(20A)) 중, 한쪽 기판(20A)(하측의 기판(20A))이 갖는 상면(20A1)과, 다른 쪽 기판(20A)(상측의 기판(20A))이 갖는 하면(20A2)이 확산 접합되어 있다. 이에 의해, 후술하는 각종 유로로부터 유체가 누설되는 것을 방지하고 있다.
도 1 및 도 2에 도시하는 예에서는, 본체(20)의 좌측 단부면(204)은, 복수의 기판(20A)의 각각이 갖는 좌측 단부면(20A4)에 의해 실현되어 있다. 본체(20)의 우측 단부면(205)은, 복수의 기판(20A)의 각각이 갖는 우측 단부면(20A5)에 의해 실현되어 있다. 본체(20)의 전방 단부면(206)은, 복수의 기판(20A)의 각각이 갖는 전방 단부면(20A6)에 의해 실현되어 있다. 본체(20)의 후방 단부면(207)은, 복수의 기판(20A)의 각각이 갖는 후방 단부면(20A7)에 의해 실현되어 있다.
도 3에 도시하는 바와 같이, 본체(20)는, 세 프로세스 유로 유닛(20X)과, 두 온도 조정 유로 유닛(20Y)과, 두 온도 조정 유로 유닛(20Z)을 구비한다. 이하, 이들에 대해서 설명한다.
[프로세스 유로 유닛(20X)]
세 프로세스 유로 유닛(20X)의 각각은, 네 기판(20A)을 포함한다. 네 기판(20A)은, 상하 방향으로 적층된 상태로 고정되어 있다.
도 4를 참조하면서, 프로세스 유로 유닛(20X)을 구성하는 네 기판(20A) 중, 가장 하방에 위치하는 기판(20A)(이하, 기판(21))에 대해서 설명한다. 도 4는, 기판(21)의 평면도이다.
기판(21)의 상면(20A1)에는, 복수의 홈(211)이 형성되어 있다. 복수의 홈(211)의 각각은, 전체적으로, 대략 일정한 반원형 단면(도 5 참조)이며 좌우 방향으로 직선형으로 연장되어 있다.
복수의 홈(211)의 각각의 좌측 단부는, 기판(21)의 좌측 단부면(20A4)으로 개구되어 있다. 복수의 홈(211)의 각각의 우측 단부는, 기판(21)의 우측 단부면(20A5)으로 개구되어 있다.
복수의 홈(211)은, 두 홈(211B 내지 211C)을 포함한다. 이들은, 쌍으로 되는 두 홈(211)마다, 서로 평행한 상태에서 연장되도록 형성되어 있다.
기판(21)의 상면(20A1)에는, 복수의 홈(211)보다도 전방측에 있어서, 두 홈(212)이 형성되어 있다. 두 홈(212)은, 서로 평행한 상태에서 연장되도록 형성되어 있다. 두 홈(212)의 각각은, 대략 일정한 반원형 단면(도 5 참조)이며 좌우 방향으로 연장되도록 형성되어 있다.
두 홈(212)의 각각의 좌측 단부는, 기판(21)의 좌측 단부면(20A4)의 근처에 위치하고 있지만, 기판(21)의 좌측 단부면(20A4)으로 개구되어 있지 않다. 두 홈(212)의 각각의 우측 단부는, 기판(21)의 우측 단부면(20A5)으로 개구되어 있다.
또한, 복수의 홈(211) 및 두 홈(212)은, 예를 들어 에칭에 의해 형성된다.
도 6을 참조하면서, 프로세스 유로 유닛(20X)을 구성하는 네 기판(20A) 중, 기판(21)과 겹치는 기판(20A)(이하, 기판(22))에 대해서 설명한다. 도 6은, 기판(22)의 저면도이다.
기판(22)의 하면(20A2)에는, 복수의 홈(221)이 형성되어 있다. 복수의 홈(221)의 각각은, 전체적으로, 대략 일정한 반원형 단면(도 5 참조)이며 좌우 방향으로 직선형으로 연장되어 있다.
복수의 홈(221)의 각각의 좌측 단부는, 기판(22)의 좌측 단부면(20A4)으로 개구되어 있다. 복수의 홈(221)의 각각의 우측 단부는, 기판(22)의 우측 단부면(20A5)으로 개구되어 있다.
복수의 홈(221)의 각각의 좌측 단부에는, 기판(22)의 두께 방향(기판(22)의 상하 방향, 즉, 도 6의 지면에 수직인 방향)으로 대략 일정한 직사각형 단면으로 직선형으로 연장되는 홈(2211)이 형성되어 있다.
복수의 홈(221)의 각각의 우측 단부에는, 기판(22)의 두께 방향(기판(22)의 상하 방향, 즉, 도 6의 지면에 수직인 방향)으로 대략 일정한 직사각형 단면으로 직선형으로 연장되는 홈(2212)이 형성되어 있다.
복수의 홈(221)은, 두 홈(221B 내지 221C)을 포함한다. 이들은, 쌍으로 되는 두 홈(221)마다, 서로 평행한 상태에서 연장되도록 형성되어 있다.
복수의 홈(221)은, 복수의 홈(211)과 대응하는 위치에 형성되어 있다. 그 때문에, 기판(22)이 기판(21)에 적층된 상태에서는, 도 7에 도시하는 바와 같이, 복수의 유로(40)가 형성되어 있다. 즉, 기판(22)과 기판(21)의 사이에는, 복수의 유로(40)가 형성되어 있다.
도 7을 참조하면서, 복수의 유로(40)에 대해서 설명한다. 복수의 유로(40)는, 모두, 터널 형상을 갖는다. 복수의 유로(40)는, 모두, 하나의 홈(211)과, 하나의 홈(221)에 의해 형성되어 있다(도 5 참조). 복수의 유로(40)의 각각은, 대략 일정한 원형 단면이며 좌우 방향으로 직선형으로 연장되어 있다. 복수의 유로(40)의 각각의 좌측 단부는, 기판(21)의 좌측 단부면(20A4) 및 기판(22)의 좌측 단부면(20A4)으로 개구되어 있다. 복수의 유로(40)의 각각의 우측 단부는, 기판(21)의 우측 단부면(20A5) 및 기판(22)의 우측 단부면(20A5)으로 개구되어 있다.
복수의 유로(40)의 각각의 우측 단부는, 복수의 기판(20A)이 적층되는 방향으로부터 보아서, 당해 유로(40)의 좌측 단부에 마련된 유로(44)(도 9, 도 12 및 도 13 참조)를 통해 접속되는 유로(42)(도 11 참조)의 우측 단부와는 상이한 위치에 있다.
복수의 유로(40)는, 두 유로(40B 내지 40C))를 포함한다. 이들은, 쌍으로 되는 두 유로(40)마다, 서로 평행한 상태에서 연장되도록 형성되어 있다.
다시, 도 6을 참조하면서, 설명한다. 기판(22)의 하면(20A2)에는, 두 홈(222)이 형성되어 있다. 두 홈(222)은, 서로 평행한 상태에서 연장되도록 형성되어 있다. 두 홈(222)의 각각은, 대략 일정한 반원형 단면(도 5 참조)이며 좌우 방향으로 직선형으로 연장되어 있다.
두 홈(222)의 각각의 좌측 단부는, 기판(22)의 좌측 단부면(20A4)의 근처에 위치하고 있지만, 기판(22)의 좌측 단부면(20A4)으로 개구되어 있지 않다. 두 홈(222)의 각각의 우측 단부는, 기판(22)의 우측 단부면(20A5)으로 개구되어 있다.
두 홈(222)의 각각의 좌측 단부에는, 구멍(2221)이 형성되어 있다. 구멍(2221)은, 기판(22)의 두께 방향(기판(22)의 상하 방향, 즉, 도 6의 지면에 수직인 방향)으로 대략 일정한 원형 단면으로 직선형으로 연장되어 있다. 구멍(2221)은, 기판(22)을 관통하고 있다.
두 홈(222)은, 기판(21)에 있어서의 두 홈(212)과 대응하는 위치에 형성되어 있다. 그 때문에, 기판(22)이 기판(21)에 적층된 상태에서는, 도 7에 도시하는 바와 같이, 두 유로(41A)가 형성되어 있다. 즉, 기판(22)과 기판(21)의 사이에는, 두 유로(41A)가 형성되어 있다.
도 7을 참조하면서, 두 유로(41A)에 대해서 설명한다. 두 유로(41A)는, 모두, 터널 형상을 갖는다. 두 유로(41A)는, 모두, 하나의 홈(212)과, 하나의 홈(222)에 의해 형성되어 있다. 두 유로(41A)의 각각은, 대략 일정한 원형 단면이며 좌우 방향으로 직선형으로 연장되어 있다. 두 유로(41A)의 각각의 좌측 단부는, 기판(21)의 좌측 단부면(20A4) 및 기판(22)의 좌측 단부면(20A4)의 근처에 위치하고 있지만, 기판(21)의 좌측 단부면(20A4) 및 기판(22)의 좌측 단부면(20A4)으로 개구되어 있지 않다. 두 유로(41A)의 각각의 우측 단부는, 기판(21)의 우측 단부면(20A5) 및 기판(22)의 우측 단부면(20A5)으로 개구되어 있다.
또한, 복수의 홈(221) 및 두 홈(222)은, 예를 들어 에칭에 의해 형성된다. 두 홈(222)의 각각에 마련된 구멍(2221)은, 예를 들어 절삭 가공 등에 의해 형성된다. 복수의 홈(221)의 각각의 좌측 단부에 위치하는 홈(2211)은, 예를 들어 복수의 홈(221)의 각각의 저면으로 개구되는 구멍을 절삭 가공 등으로 형성한 후, 기판(21)의 좌측 단부면을 절삭 가공함으로써 형성된다. 복수의 홈(221)의 각각의 우측 단부에 위치하는 홈(2212)은, 예를 들어 복수의 홈(221)의 각각의 저면으로 개구되는 구멍을 절삭 가공 등으로 형성한 후, 기판(21)의 우측 단부면을 절삭 가공함으로써 형성된다.
도 8을 참조하면서, 프로세스 유로 유닛(20X)을 구성하는 네 기판(20A) 중, 기판(22)과 겹치는 기판(20A)(이하, 기판(23))에 대해서 설명한다. 도 8은, 기판(23)의 평면도이다.
기판(23)의 상면(20A1)에는, 복수의 홈(231)이 형성되어 있다. 복수의 홈(231)의 각각은, 전체적으로 대략 일정한 반원형 단면(도 9 참조)이며 좌우 방향으로 직선형으로 연장되어 있다.
복수의 홈(231)의 각각의 좌측 단부는, 기판(23)의 좌측 단부면(20A4)으로 개구되어 있다. 복수의 홈(231)의 각각의 우측 단부는, 기판(23)의 우측 단부면(20A5)으로 개구되어 있다.
복수의 홈(231)의 각각의 좌측 단부(단, 두 홈(231A)의 각각의 좌측 단부는 제외함)에는, 기판(23)의 두께 방향(기판(23)의 상하 방향, 즉, 도 8의 지면에 수직인 방향)으로 대략 일정한 직사각형 단면으로 직선형으로 연장되는 홈(2311)이 형성되어 있다.
복수의 홈(231)의 각각의 우측 단부(단, 두 홈(231C)의 각각의 우측 단부는 제외함)에는, 기판(23)의 두께 방향(기판(23)의 상하 방향, 즉, 도 8의 지면에 수직인 방향)으로 대략 일정한 직사각형 단면으로 직선형으로 연장되는 홈(2312)이 형성되어 있다.
복수의 홈(231)은, 두 홈(231A 내지 231C)을 포함한다. 이들은, 쌍으로 되는 두 홈(231)마다, 서로 평행한 상태에서 연장되도록 형성되어 있다.
두 홈(231A)의 각각의 좌단부 근방에는, 구멍(2313)이 형성되어 있다. 구멍(2313)은, 기판(23)의 두께 방향(기판(23)의 상하 방향, 즉, 도 8의 지면에 수직인 방향)으로 대략 일정한 원형 단면으로 직선형으로 연장되어 있다. 구멍(2313)은, 기판(23)을 관통하고 있다.
또한, 복수의 홈(231)은, 예를 들어 에칭에 의해 형성된다. 두 홈(231A)의 각각에 마련된 구멍(2313)은, 예를 들어 절삭 가공 등에 의해 형성된다. 복수의 홈(231)의 각각의 좌측 단부에 위치하는 홈(2311)은, 예를 들어 복수의 홈(231)의 각각의 저면으로 개구되는 구멍을 절삭 가공 등으로 형성한 후, 기판(23)의 좌측 단부면을 절삭 가공함으로써 형성된다. 복수의 홈(231)의 각각의 우측 단부에 위치하는 홈(2312)은, 예를 들어 복수의 홈(231)의 각각의 저면으로 개구되는 구멍을 절삭 가공 등으로 형성한 후, 기판(23)의 우측 단부면을 절삭 가공함으로써 형성된다.
도 10을 참조하면서, 네 기판(20A) 중, 기판(23)과 겹치는 기판(20A)(이하, 기판(24))에 대해서 설명한다. 도 10은, 기판(24)의 저면도이다.
기판(24)의 하면(20A2)에는, 복수의 홈(241)이 형성되어 있다. 복수의 홈(241)의 각각은, 대략 일정한 반원형 단면(도 9 참조)이며 좌우 방향으로 직선형으로 연장되어 있다.
복수의 홈(241)의 각각의 좌측 단부는, 기판(24)의 좌측 단부면(20A4)으로 개구되어 있다. 복수의 홈(241)의 각각의 우측 단부는, 기판(24)의 우측 단부면(20A5)으로 개구되어 있다.
복수의 홈(241)은, 두 홈(241A 내지 241C)을 포함한다. 이들은, 쌍으로 되는 두 홈(241)마다, 서로 평행한 상태에서 연장되도록 형성되어 있다.
복수의 홈(241)은, 복수의 홈(231)과 대응하는 위치에 형성되어 있다. 그 때문에, 기판(24)이 기판(23)에 적층된 상태에서는, 도 11에 도시하는 바와 같이, 복수의 유로(42)가 형성되어 있다. 즉, 기판(24)과 기판(23)의 사이에는, 복수의 유로(42)가 형성되어 있다.
도 11을 참조하면서, 복수의 유로(42)에 대해서 설명한다. 복수의 유로(42)는, 모두, 터널 형상을 갖는다. 복수의 유로(42)는, 모두, 하나의 홈(231)과, 하나의 홈(241)에 의해 형성되어 있다(도 9 참조). 복수의 유로(42)의 각각은, 대략 일정한 원형 단면이며 좌우 방향으로 직선형으로 연장되어 있다. 복수의 유로(42)의 각각의 좌측 단부는, 기판(23)의 좌측 단부면(20A4) 및 기판(24)의 좌측 단부면(20A4)으로 개구되어 있다. 복수의 유로(42)의 각각의 우측 단부는, 기판(23)의 우측 단부면(20A5) 및 기판(24)의 우측 단부면(20A5)으로 개구되어 있다.
복수의 유로(42)의 각각의 좌측 단부는, 복수의 기판(20A)이 적층되는 방향으로부터 보아서, 당해 유로(42)의 우측 단부에 마련된 유로(46)(도 5, 도 14 및 도 15 참조)를 통해 접속되는 유로(40)(도 7 참조)의 좌측 단부와는 상이한 위치에 있다.
복수의 유로(42)는, 두 유로(42A 내지 42C))를 포함한다. 이들은, 쌍으로 되는 두 유로(42)마다, 서로 평행한 상태에서 연장되도록 형성되어 있다.
또한, 복수의 홈(241)은, 예를 들어 에칭에 의해 형성된다.
기판(23)이 기판(22)에 적층된 상태에서, 기판(22)에 형성된 두 구멍(2221)은, 기판(23)에 형성된 두 구멍(2321)과 대응하는 위치에 있다. 구멍(2221)과, 구멍(2321)에 의해, 대략 일정한 원형 단면으로 상하 방향으로 직선형으로 연장되는 유로(43A)(도 7 및 도 11 참조)가 형성되어 있다. 즉, 프로세스 유로 유닛(20X)에는, 두 유로(43A)가 형성되어 있다.
유로(43A)의 상단은, 유로(42A)에 접속되어 있다. 유로(43A)의 하단은, 유로(41A)에 접속되어 있다.
기판(23)이 기판(22)에 적층된 상태에서는, 도 9, 도 12 및 도 13에 도시하는 바와 같이, 복수의 홈(2311)은, 복수의 홈(2211)과 대응하는 위치에 있다. 홈(2311)과, 홈(2211)에 의해, 홈(441)이 형성되어 있다. 즉, 프로세스 유로 유닛(20X)에는, 복수의 홈(441)이 형성되어 있다.
도 9, 도 12 및 도 13을 참조하면서, 복수의 홈(441)에 대해서 설명한다. 복수의 홈(441)의 각각은, 후술하는 플랜지(30A)에 의해 덮인다. 이에 의해, 복수의 유로(44)가 형성되어 있다. 복수의 유로(44)의 각각은, 대략 일정한 단면 형상이며 상하 방향으로 직선형으로 연장되어 있다.
복수의 유로(44)의 각각 상단은, 유로(42)의 좌측 단부에 접속되어 있다. 복수의 유로(44)의 각각의 하단은, 유로(40)의 좌측 단부에 접속되어 있다.
복수의 유로(44)는, 두 유로(44A 내지 44B))를 포함한다. 이들은, 쌍으로 되는 두 유로(44)마다, 서로 평행한 상태에서 연장되도록 형성되어 있다.
기판(23)이 기판(22)에 적층된 상태에서는, 도 5, 도 14 및 도 15에 도시하는 바와 같이, 복수의 홈(2312)은, 복수의 홈(2212)과 대응하는 위치에 있다. 홈(2312)과, 홈(2212)에 의해, 홈(461)이 형성되어 있다. 즉, 프로세스 유로 유닛(20X)에는, 복수의 홈(461)이 형성되어 있다.
도 5, 도 14 및 도 15를 참조하면서, 복수의 홈(461)에 대해서 설명한다. 복수의 홈(461)의 각각은, 후술하는 플랜지(30B)에 의해 덮인다. 이에 의해, 복수의 유로(46)가 형성되어 있다. 복수의 유로(46)의 각각은, 대략 일정한 단면 형상이며 상하 방향으로 직선형으로 연장되어 있다.
복수의 유로(46)의 각각의 상단은, 유로(42)의 우측 단부에 접속되어 있다. 복수의 유로(46)의 각각의 하단은, 유로(40)의 우측 단부에 접속되어 있다.
복수의 유로(46)는, 두 유로(46A 내지 46B))를 포함한다. 이들은, 쌍으로 되는 두 유로(46)마다, 서로 평행한 상태에서 연장되도록 형성되어 있다.
[온도 조정 유로 유닛(20Y)]
계속해서, 도 3을 참조하면서, 본체(20)가 구비하는 두 온도 조정 유로 유닛(20Y)에 대해서 설명한다. 두 온도 조정 유로 유닛(20Y)의 각각은, 두 기판(20A)을 포함한다. 두 기판(20A)은, 상하 방향으로 적층된 상태로 고정되어 있다.
도 16을 참조하면서, 온도 조정 유로 유닛(20Y)을 구성하는 두 기판(20A) 중, 하방에 위치하는 기판(20A)(이하, 기판(25))에 대해서 설명한다. 도 16은, 기판(25)의 평면도이다.
기판(25)의 상면(20A1)에는, 복수의 홈(251)이 형성되어 있다. 복수의 홈(251)은, 서로 평행한 상태에서 사행되면서 연장되어 있다.
기판(25)의 상면(20A1)에는, 좌우 방향으로 연장되는 홈(252)이 형성되어 있다. 홈(252)에는, 복수의 홈(251)의 각각의 전단부가 접속되어 있다.
기판(25)의 상면(20A1)에는, 좌우 방향으로 연장되는 홈(253)이 형성되어 있다. 홈(253)에는, 복수의 홈(251)의 각각의 후단부가 접속되어 있다.
기판(25)에는, 구멍(20A11)이 형성되어 있다. 구멍(20A11)은, 기판(25)의 전후 방향으로 홈(252)보다도 전방에 위치하고 있다. 구멍(20A11)은, 대략 일정한 반원형 단면이며 기판(25)의 두께 방향으로 연장되어 있다. 또한, 구멍(20A11)은, 프로세스 유로 유닛(20X)을 구성하는 네 기판(21 내지 24)의 각각에도 형성되어 있다.
기판(25)에는, 구멍(20A512)이 형성되어 있다. 구멍(20A12)은, 기판(25)의 전후 방향에서 홈(253)보다도 후방에 위치하고 있다. 구멍(20A12)은, 대략 일정한 반원형 단면이며 기판(25)의 두께 방향으로 연장되어 있다. 또한, 구멍(20A12)은, 프로세스 유로 유닛(20X)을 구성하는 네 기판(21 내지 24)의 각각에도 형성되어 있다.
기판(25)의 상면(20A1)에는, 복수의 홈(254)이 형성되어 있다. 복수의 홈(254)은, 홈(252)과 구멍(20A11)을 접속하고 있다.
기판(25)의 상면(20A1)에는, 복수의 홈(255)이 형성되어 있다. 복수의 홈(255)은, 홈(253)과 구멍(20A12)을 접속하고 있다.
도 17을 참조하면서, 온도 조정 유로 유닛(20Y)을 구성하는 두 기판(20A) 중, 기판(25)에 적층되는 기판(20A)(이하, 기판(26))에 대해서 설명한다. 도 17은, 기판(26)의 평면도이다.
기판(26)은, 기판(25)과 비교하여, 복수의 홈(251)과, 홈(252)과, 홈(253)과, 복수의 홈(254)과, 복수의 홈(255)이 형성되어 있지 않다는 점에서 상이하다. 즉, 기판(26)의 상면(20A1) 및 하면(20A2)의 각각에는, 홈이 형성되어 있지 않다.
도 3에 도시하는 바와 같이, 기판(26)은, 기판(25)에 대해서, 상하 방향으로 적층된다. 이 상태에서, 기판(25)의 상면(20A1)에 형성된 모든 홈(251 내지 255)이, 기판(26)의 하면(20A2)으로 덮여 있다. 그 결과, 도 18에 도시하는 바와 같이, 복수의 홈(251)과, 홈(252)과, 홈(253)과, 복수의 홈(254)과, 복수의 홈(255)에 의해, 유로(50)가 형성되어 있다.
[온도 조정 유로 유닛(20Z)]
계속해서, 도 3을 참조하면서, 본체(20)가 구비하는 두 온도 조정 유로 유닛(20Z)에 대해서 설명한다. 두 온도 조정 유로 유닛(20Z)의 각각은, 세 기판(20A)을 포함한다. 세 기판(20A)은, 상하 방향으로 적층된 상태로 서로 고정되어 있다.
세 기판(20A)은, 두 기판(25)과, 하나의 기판(26)으로 이루어진다.
두 기판(25)이 적층된 상태에서, 하측의 기판(25)의 상면(20A1)에 형성된 모든 홈(251 내지 255)이, 상측의 기판(25)의 하면(20A2)으로 덮여 있다. 온도 조정 유로 유닛(20Y)과 마찬가지로, 복수의 홈(251)과, 홈(252)과, 홈(253)과, 복수의 홈(254)과, 복수의 홈(255)에 의해, 유로(50)가 형성되어 있다.
기판(26)이 기판(25)에 적층된 상태에서, 기판(25)의 상면(20A1)에 형성된 모든 홈(251 내지 255)이, 기판(26)의 하면(20A2)으로 덮여 있다. 온도 조정 유로 유닛(20Y)과 마찬가지로, 복수의 홈(251)과, 홈(252)과, 홈(253)과, 복수의 홈(254)과, 복수의 홈(255)에 의해, 유로(50)가 형성되어 있다.
도 3에 도시하는 바와 같이, 세 프로세스 유로 유닛(20X), 두 온도 조정 유로 유닛(20Y) 및 두 온도 조정 유로 유닛(20Z)은, 소정의 순번으로 상하 방향으로 적층된다. 이하, 도 3을 참조하면서, 이들 유닛(20X, 20Y, 20Z)의 적층에 대해서 설명한다.
또한, 이하의 설명에서는, 세 프로세스 유로 유닛(20X)은, 프로세스 유로 유닛(20X1), 프로세스 유로 유닛(20X2) 및 프로세스 유로 유닛(20X3)으로 이루어진다. 두 온도 조정 유로 유닛(20Y)은, 온도 조정 유로 유닛(20Y1) 및 온도 조정 유로 유닛(20Y2)으로 이루어진다. 두 온도 조정 유로 유닛(20Z)은, 온도 조정 유로 유닛(20Z1) 및 온도 조정 유로 유닛(20Z2)으로 이루어진다.
프로세스 유로 유닛(20X1)은, 온도 조정 유로 유닛(20Y1)에 적층되어 있다. 온도 조정 유로 유닛(20Z1)은, 프로세스 유로 유닛(20X1)에 적층되어 있다. 프로세스 유로 유닛(20X2)은, 온도 조정 유로 유닛(20Z1)에 적층되어 있다. 온도 조정 유로 유닛(20Z2)은, 프로세스 유로 유닛(20X2)에 적층되어 있다. 프로세스 유로 유닛(20X3)은, 온도 조정 유로 유닛(20Z2)에 적층되어 있다. 온도 조정 유로 유닛(20Y2)은, 프로세스 유로 유닛(20X3)에 적층되어 있다.
[상단 유닛(20U)]
본체(20)는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 상단 유닛(20U)을 추가로 구비한다. 도 3을 참조하면서, 상단 유닛(20U)에 대해서 설명한다.
상단 유닛(20U)은, 온도 조정 유로 유닛(20Y2)에 적층되어 있다. 상단 유닛(20U)은, 두 기판(20A)을 포함한다. 두 기판(20A)은, 기판(20U1)과, 기판(20U2)으로 이루어진다.
기판(20U1)은, 기판(26)과 비교하여, 두께가 두껍다는 점에서 상이하다.
기판(20U2)은, 기판(26)과 비교하여, 두께가 두껍다는 점에서 상이하다. 기판(20U2)은, 기판(26)과 비교하여, 두 구멍(20A11, 20A12)이 형성되어 있지 않다 점에서 상이하다. 그 대신에, 기판(20U2)에는, 두 구멍(20A11, 20A12)과 대응하는 위치에 있어서, 두 나사 구멍(도시하지 않음)이 형성되어 있다. 두 나사 구멍의 각각은, 기판(20U2)을 두께 방향으로 관통하고 있다. 구멍(20A11)과 대응하는 위치에 형성된 나사 구멍에는, 커넥터(61)(도 1 및 도 2 참조)가 설치되어 있다. 구멍(20A12)과 대응하는 위치에 형성된 나사 구멍에는, 커넥터(62)(도 1 및 도 2 참조)가 설치되어 있다. 기판(20U2)은, 기판(20U1)의 상방에 위치하고 있다.
[하단 유닛(20L)]
본체(20)는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 하단 유닛(20L)을 추가로 구비한다. 도 3을 참조하면서, 하단 유닛(20L)에 대해서 설명한다.
하단 유닛(20L)은, 온도 조정 유로 유닛(20Y1)에 적층되어 있다. 하단 유닛(20L)은, 두 기판(20A)을 포함한다. 두 기판(20A)은, 기판(20L1)과, 기판(20L2)으로 이루어진다.
기판(20L1)은, 기판(26)과 비교하여, 두께가 두껍다는 점에서 상이하다.
기판(20L2)은, 기판(26)과 비교하여, 두께가 두껍다는 점에서 상이하다. 기판(20L2)은, 기판(26)과 비교하여, 두 구멍(20A11, 20A12)이 형성되어 있지 않다는 점에서 상이하다. 기판(20L2)은, 기판(20L1)의 하방에 위치하고 있다.
상단 유닛(20U)이 온도 조정 유로 유닛(20Y2)에 적층되고, 또한, 하단 유닛(20L)이 온도 조정 유로 유닛(20Y1)에 적층된 상태에서, 본체(20)에는, 두 유로(51, 52)가 형성되어 있다.
유로(51)는, 복수의 기판(20A) 중, 상단에 위치하는 기판(20A)(기판(20U2))과 하단에 위치하는 기판(20A)(기판(20L2))을 제외한 기판(20A)의 각각에 형성된 구멍(20A11)에 의해 실현되어 있다. 유로(51)는, 유로(50)의 일단부에 접속되어 있다. 유로(51)는, 커넥터(61)에 접속되어 있다.
유로(52)는, 복수의 기판(20A) 중, 상단에 위치하는 기판(20A)(기판(20U2))과 하단에 위치하는 기판(20A)(기판(20L2))을 제외한 기판(20A)의 각각에 형성된 구멍(20A12)에 의해 실현되어 있다. 유로(52)는, 유로(50)의 타단부에 접속되어 있다. 유로(52)는, 커넥터(62)에 접속되어 있다.
[플랜지]
계속해서, 도 1 및 도 2를 참조하면서, 두 플랜지(30)에 대해서 설명한다. 두 플랜지(30)의 각각은, 전체적으로, 직사각형의 판 형상을 갖는다. 두 플랜지(30)의 각각은, 좌측면(301) 및 우측면(302)을 갖는다.
두 플랜지(30)의 각각은, 본체(20)에 대해서 착탈 가능하게 설치되어 있다. 구체적으로는, 두 플랜지(30) 중, 한쪽 플랜지(30)(이하, 플랜지(30A))는, 본체(20)의 좌측 단부면(204)에 대해서 착탈 가능하게 설치되어 있다. 두 플랜지(30) 중, 다른 쪽 플랜지(30)(이하, 플랜지(30B))는, 본체(20)의 우측 단부면(205)에 대해서 착탈 가능하게 설치되어 있다.
계속해서, 도 12, 도 13, 도 19 및 도 20을 참조하면서, 플랜지(30A)에 대해서 설명한다. 도 19는, 유체 유로 장치(10)의 좌측면도이다. 도 20은, 플랜지(30A)의 단면도이다.
플랜지(30A)의 우측면(302)에는, 복수의 오목부(302A 내지 302C)와, 복수의 환상 홈(3021 내지 3023)이 형성되어 있다. 이하, 이들에 대해서 설명한다.
복수의 오목부(302A 내지 302C)는, 각각, 유체 유로 장치(10)의 좌측으로부터 보아서, 세 프로세스 유로 유닛(20X)의 각각이 갖는 복수의 유로(40) 및 복수의 유로(42)의 어느 개구를 덮도록 형성되어 있다. 복수의 환상 홈(3021 내지 3023)의 각각은, 복수의 오목부(302A 내지 302C)의 어느 것을 둘러싸도록 형성되어 있다.
오목부(302B)에는, 시트 형상의 시일 부재(3122)가 수용되어 있다. 플랜지(30A)가 본체(20)에 설치된 상태에서, 시일 부재(3122)는, 플랜지(30A)와 본체(20)의 사이에 끼워져 있다. 이때, 시일 부재(3122)는, 세 프로세스 유로 유닛(20X)의 각각이 갖는 두 홈(441)을 덮고 있다. 이에 의해, 두 유로(44A)가 시일되어 있다.
오목부(302C)에는, 시트 형상의 시일 부재(3123)가 수용되어 있다. 플랜지(30A)가 본체(20)에 설치된 상태에서, 시일 부재(3123)는, 플랜지(30A)와 본체(20)의 사이에 끼워져 있다. 이때, 시일 부재(3123)는, 세 프로세스 유로 유닛(20X)의 각각이 갖는 두 홈(441)을 덮고 있다. 이에 의해, 두 유로(44B)가 시일되어 있다.
플랜지(30A)에는, 오목부(302A)와 대응하는 위치에, 구멍(303)이 형성되어 있다.
플랜지(30A)에는, 커넥터(32)이 설치되어 있다. 커넥터(32)는, 구멍(303)에 삽입된 상태로, 플랜지(30A)에 설치되어 있다.
플랜지(30A)는, 복수의 볼트(331)에 의해, 본체(20)의 좌측 단부면(204)에 고정되어 있다. 플랜지(30A)가 본체(20)에 고정된 상태로, 플랜지(30A)의 우측면(302)은, 본체(20)의 좌측 단부면(204)에 접하고 있다.
이 상태에서, 복수의 환상 홈(3021 내지 3023)의 각각에 하나씩 배치된 복수의 시일 부재(312A 내지 312C)는, 각각, 플랜지(30A)와 본체(20)의 사이에 끼워져 있다. 이에 의해, 복수의 오목부(302A 내지 302C)의 각각의 주위가 시일되어 있다.
계속해서, 도 14, 도 15, 도 21 및 도 22를 참조하면서, 플랜지(30B)에 대해서 설명한다. 도 21은, 유체 유로 장치(10)의 우측면도이다. 도 22는, 플랜지(30B)의 단면도이다.
플랜지(30B)의 좌측면(301)에는, 복수의 오목부(301A 내지 301D)와, 복수의 환상 홈(3011 내지 3014)이 형성되어 있다. 이하, 이들에 대해서 설명한다.
복수의 오목부(301A 내지 301D)는, 각각, 유체 유로 장치(10)의 우측으로부터 보아서, 세 프로세스 유로 유닛(20X)의 각각이 갖는 복수의 유로(40) 및 복수의 유로(42)의 어느 개구를 덮도록 형성되어 있다. 복수의 환상 홈(3011 내지 3014)의 각각은, 복수의 오목부(301A 내지 3014)의 어느 것을 둘러싸도록 형성되어 있다.
오목부(301B)에는, 시트 형상의 시일 부재(3112)가 수용되어 있다. 플랜지(30B)가 본체(20)에 설치된 상태에서, 시일 부재(3112)는, 플랜지(30B)와 본체(20)의 사이에 끼워져 있다. 이때, 시일 부재(3112)는, 세 프로세스 유로 유닛(20X)의 각각이 갖는 두 홈(461)을 덮고 있다. 이에 의해, 두 유로(46A)가 시일되어 있다.
오목부(301C)에는, 시트 형상의 시일 부재(3113)가 수용되어 있다. 플랜지(30B)가 본체(20)에 설치된 상태에서, 시일 부재(3113)는, 플랜지(30B)와 본체(20)의 사이에 끼워져 있다. 이때, 시일 부재(3113)는, 세 프로세스 유로 유닛(20X)의 각각이 갖는 두 홈(461)을 덮고 있다. 이에 의해, 두 유로(46B)가 시일되어 있다.
플랜지(30B)에는, 복수의 구멍(304-307)이 형성되어 있다. 복수의 구멍(304-307)은, 복수의 오목부(301A 내지 301D)와 대응하는 위치에 형성되어 있다.
플랜지(30B)에는, 두 커넥터(34, 37)가 설치되어 있다. 커넥터(34)는, 구멍(304)에 삽입된 상태로, 플랜지(30B)에 고정되어 있다. 커넥터(37)는, 구멍(307)에 삽입된 상태로, 플랜지(30B)에 고정되어 있다.
플랜지(30B)는, 복수의 볼트(333)에 의해, 본체(20)의 좌측 단부면(204)에 고정되어 있다. 플랜지(30B)가 본체(20)에 고정된 상태로, 플랜지(30B)의 좌측면(301)은, 본체(20)의 우측 단부면(205)에 접하고 있다.
이 상태에서, 복수의 환상 홈(3011 내지 3014)의 각각에 하나씩 배치된 복수의 시일 부재(312A 내지 312D)는, 각각, 플랜지(30B)와 본체(20)의 사이에 끼워져 있다. 이에 의해, 복수의 오목부(301A 내지 301D)의 각각의 주위가 시일되어 있다.
[유체 유로 장치에 있어서의 유체의 유통]
계속해서, 도 1, 도 7 및 도 11을 참조하면서, 유체 유로 장치(10)에 있어서의 유체의 유통에 대해서 설명한다.
유체 유로 장치(10)는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 하나의 프로세스 유로 유닛(20X)마다, 두 유로(12)와, 두 유로(41A)를 구비한다. 두 유로(12)의 각각은, 복수의 유로(40B 내지 40C)와, 복수의 유로(42A 내지 42C)와, 복수의 유로(44A 내지 44B)와, 복수의 유로(46A 내지 46B)를 구비한다.
두 유로(12)의 각각은, 도 23에 도시하는 바와 같이, 유체를 유통시킨다. 구체적으로는, 이하와 같다.
제1 유체는, 커넥터(32) 및 구멍(303)을 통해, 제1 유체 유로로서의 유로(42A)에 도입된다. 유로(42A)에 도입된 제1 유체는, 유체 유로 장치(10)의 오른쪽으로부터 왼쪽을 향해, 유로(42A)를 흐른다.
제2 유체는, 커넥터(34) 및 구멍(304)을 통해, 도입 유로로서의 유로(41A)에 도입된다. 유로(41A)에 도입된 제2 유체는, 유체 유로 장치(10)의 왼쪽으로부터 오른쪽을 향해, 유로(41A)를 흐른다.
유로(41A)를 흐르는 제2 유체는, 유로(43A)를 통해, 유로(42A)에 도입된다. 이에 의해, 제2 유체는, 제1 유체와 함께, 유로(42A)를 흐른다. 이하, 제2 유체가 제1 유체와 함께 흐르고 있는 상태의 유체를 혼합 유체라 칭한다.
유로(42A)를 흐르는 혼합 유체는, 제3 유체 유로로서의 유로(46A)를 통해, 제2 유체 유로로서의 유로(40B)에 도입된다. 유로(40B)에 도입된 혼합 유체는, 유체 유로 장치(10)의 오른쪽으로부터 왼쪽을 향해, 유로(40B)를 흐른다.
유로(40B)를 흐르는 혼합 유체는, 유로(44A)를 통해, 유로(42B)에 도입된다. 유로(42B)에 도입된 혼합 유체는, 유체 유로 장치(10)의 왼쪽으로부터 오른쪽을 향해, 유로(42B)를 흐른다.
이와 같이 하여, 혼합 유체는, 유체 유로 장치(10)의 왼쪽으로부터 오른쪽을 향해 흐를 때는, 복수의 유로(42)의 어느 것을 흐르고, 유체 유로 장치(10)의 오른쪽으로부터 왼쪽을 향해 흐를 때는, 복수의 유로(40)의 어느 것을 흐른다. 복수의 유로(42)의 어느 것을 흐르는 혼합 유체는, 당해 유로(42)에 접속된 유로(46)를 통해, 복수의 유로(40)의 어느 것(구체적으로는, 당해 유로(46)에 접속된 유로(40))에 도입된다. 복수의 유로(40)의 어느 것을 흐르는 혼합 유체는, 당해 유로(40)에 접속된 유로(44)를 통해, 복수의 유로(42)의 어느 것(구체적으로는, 당해 유로(44)에 접속된 유로(42))에 도입된다.
혼합 유체는, 이와 같이 하여 유체 유로 장치(10)의 좌우 방향(오른쪽으로부터 왼쪽, 혹은, 왼쪽으로부터 오른쪽)으로 이동하면서, 유체 유로 장치(10)의 앞에서 뒤를 향해서 이동한다. 그리고, 소정의 위치에 도달하면, 유체 유로 장치(10)의 외부로 배출된다. 구체적으로는, 이하와 같다.
상기와 같이 유로(42B)를 흐르는 혼합 유체는, 유로(46B), 유로(40C) 및 유로(44B)를 통해, 유로(42C)에 도입된다. 유로(42C)를 흐르는 혼합 유체는, 구멍(307) 및 커넥터(37)을 통해, 유체 유로 장치(10)의 외부로 배출된다.
유체 유로 장치(10)는, 프로세스 유로 유닛(20X)마다, 두 유로(12)을 구비한다. 두 유로(12)의 각각은, 도 23에 도시하는 바와 같이, 유체 유로 장치(10)의 왼쪽으로부터 오른쪽을 향해서 유체를 유통시키는 유로(도 7에 나타내는 복수의 유로(40B 내지 40C))와, 유체 유로 장치(10)의 오른쪽으로부터 왼쪽을 향해 유체를 유통시키는 유로(도 11에 도시하는 복수의 유로(42A 내지 42C))를 포함한다. 유체 유로 장치(10)의 왼쪽으로부터 오른쪽을 향해서 유체를 유통시키는 유로(도 7에 나타내는 복수의 유로(40B 내지 40C))와, 유체 유로 장치(10)의 오른쪽으로부터 왼쪽을 향해 유체를 유통시키는 유로(도 11에 도시하는 복수의 유로(42A 내지 42C))는, 복수의 기판(20A)이 적층되는 방향으로 상이한 위치에 형성되어 있다. 즉, 유체 유로 장치(10)가 구비하는 두 유로(12)는, 각각, 적층 구조를 가지고 있다. 그 때문에, 유체 유로 장치(10)에 있어서는, 두 유로(12)의 각각의 유로 길이를 길게 할 수 있다.
유체 유로 장치(10)에 있어서는, 복수의 유로(40B 내지 40C)의 좌측 단부가 플랜지(30A)로 덮여 있고, 복수의 유로(40B 내지 40C)의 우측 단부가 플랜지(30B)로 덮여 있다. 여기서, 플랜지(30A) 및 플랜지(30B)는, 각각, 본체(20)에 대해서 착탈 가능하게 설치된다. 따라서, 플랜지(30A) 및 플랜지(30B)를 본체(20)로부터 분리한 상태에서, 복수의 유로(40B 내지 40C)의 각각의 좌측 단부 또는 우측 단부로부터 청소 기구를 삽입하면, 복수의 유로(40B 내지 40C)의 각각의 내부를 용이하게 청소할 수 있다. 또한, 복수의 유로(40B 내지 40C)의 각각의 내부의 청소는, 청소용의 유체를 이용해도 된다.
유체 유로 장치(10)에 있어서는, 복수의 유로(42A 내지 42C)의 좌측 단부가 플랜지(30A)로 덮여 있고, 복수의 유로(42A 내지 42C)의 우측 단부가 플랜지(30B)로 덮여 있다. 여기서, 플랜지(30A) 및 플랜지(30B)는, 각각, 본체(20)에 대해서 착탈 가능하게 설치된다. 따라서, 플랜지(30A) 및 플랜지(30B)를 본체(20)로부터 분리한 상태에서, 복수의 유로(42A 내지 42C)의 각각의 좌측 단부 또는 우측 단부로부터 청소 기구를 삽입하면, 복수의 유로(42A 내지 42C)의 각각의 내부를 용이하게 청소할 수 있다. 또한, 복수의 유로(42A 내지 42C)의 각각의 내부의 청소는, 청소용의 유체를 이용해도 된다.
유체 유로 장치(10)는, 도 7에 나타내는 복수의 유로(40B 내지 40C)의 각각이, 본체(20)의 좌우 방향으로 직선형으로 연장되어 있다. 그 때문에, 복수의 유로(40B 내지 40C)의 각각의 내부를 청소하기가 더욱 용이해진다.
유체 유로 장치(10)는, 도 11에 도시하는 복수의 유로(42A 내지 42C)의 각각이, 본체(20)의 좌우 방향으로 직선형으로 연장되어 있다. 그 때문에, 복수의 유로(42A 내지 42C)의 각각의 내부를 청소하기가 더욱 용이해진다.
유체 유로 장치(10)에 있어서는, 복수의 유로(44)가, 본체(20)의 좌측 단부면(204)에 대해서 플랜지(30A)가 설치됨으로써 형성된다. 그 때문에, 복수의 유로(44)를 용이하게 형성할 수 있다.
유체 유로 장치(10)에 있어서는, 복수의 유로(44)의 각각을 형성하는 홈(441)이 본체(20)의 좌측 단부면(204)에 형성되어 있다. 그 때문에, 플랜지(30A)를 분리함으로써, 홈(441)을 청소할 수 있다.
유체 유로 장치(10)에 있어서는, 복수의 유로(46)가, 본체(20)의 우측 단부면(205)에 대해서 플랜지(30B)가 설치됨으로써 형성된다. 그 때문에, 복수의 유로(46)를 용이하게 형성할 수 있다.
유체 유로 장치(10)에 있어서는, 복수의 유로(46)의 각각을 형성하는 홈(461)이 본체(20)의 우측 단부면(205)에 형성되어 있다. 그 때문에, 플랜지(30B)를 분리함으로써, 홈(461)을 청소할 수 있다.
유체 유로 장치(10)에 있어서, 유로(42)의 좌측 단부(상류단)는, 복수의 기판(20A)이 적층되는 방향으로부터 보아서, 당해 유로(42)의 우측 단부(하류단)에 마련된 유로(46)를 통해 접속되는 유로(40)의 좌측 단부(하류단)와는 상이한 위치에 있다. 또한, 유로(40)의 우측 단부(상류단)는, 복수의 기판(20A)이 적층되는 방향으로부터 보아서, 당해 유로(42)의 좌측 단부(하류단)에 마련된 유로(44)를 통해 접속되는 유로(42)의 우측 단부(하류단)와는 상이한 위치에 있다. 그 때문에, 유로(40) 및 유로(42)를 교대로 접속할 수 있다. 그 결과, 복수의 유로(40) 및 복수의 유로(42)의 각각이, 복수의 기판(20A)이 적층되는 방향으로부터 보아서, 직선형으로 연장되는 형상이어도, 복수의 유로(12)의 각각의 유로 길이를 길게 할 수 있다.
유체 유로 장치(10)는, 온도 조정 유로 유닛(20Y)마다, 하나의 유로(50)를 구비한다. 또한, 유체 유로 장치(10)는, 온도 조정 유로 유닛(20Z)마다, 두 유로(50)를 구비한다. 유로(50)는, 도 24에 도시하는 바와 같이, 유체를 유통시킨다. 유체가 유로(50)를 흐름으로써, 두 유로(12)의 각각을 흐르는 유체의 온도를 조정할 수 있다.
이상, 본 발명의 실시 형태에 대해서 상세하게 설명해 왔지만, 이들은 어디까지나 예시이며, 상술한 실시 형태는, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 범위 내에서 적절히 변형하여 실시할 수 있다.
상기 실시 형태에서는, 두 유로(12)가 서로 평행한 상태에서 연장되도록 형성되어 있었지만, 예를 들어 셋 이상의 유로(12)가 서로 평행한 상태에서 연장되도록 형성되어 있어도 된다.
상기 실시 형태에서는, 두 유로(12)의 각각은, 두 층에 걸쳐 형성되어 있었지만, 예를 들어 두 유로(12)의 각각은, 셋 이상의 층에 걸쳐 형성되어 있어도 된다.
유로(40, 42, 44, 46)의 수는, 상기 실시 형태에 기재된 수에 한정되지 않는다. 유로(40, 42, 44, 46)의 수는, 유로(12)의 유로 길이에 따라, 적절히, 변경된다.
상기 실시 형태에서는, 복수의 유로(40) 및 복수의 유로(42)의 각각은, 본체(20)의 좌측 단부면(204)과 우측 단부면(205)으로 개구되어 있었지만, 복수의 유로(40) 및 복수의 유로(42)의 각각은, 예를 들어 본체(20)의 전방 단부면(206)과 후방 단부면(207)으로 개구되어 있어도 되고, 본체(20)의 전방 단부면(206)과 좌측 단부면(204)으로 개구되어 있어도 되고, 본체(20)의 전방 단부면(206)과 우측 단부면(205)으로 개구되어 있어도 되고, 본체(20)의 후방 단부면(207)과 좌측 단부면(204)으로 개구되어 있어도 되고, 본체(20)의 후방 단부면(207)과 우측 단부면(205)으로 개구되어 있어도 된다.
상기 실시 형태에서는, 유체 유로 장치(10)가 세 프로세스 유로 유닛(20X)을 구비하고 있었지만, 예를 들어 유체 유로 장치(10)가 구비하는 프로세스 유로 유닛(20X)의 수는, 하나여도 되고, 둘이어도 되고, 넷 이상이어도 된다.
상기 실시 형태에서는, 혼합 유체를 배출하기 위한 커넥터(37)가 구멍(307)에 삽입된 상태로 플랜지(30B)에 고정되어 있었지만, 예를 들어 커넥터(37)는 구멍(305)이나 구멍(306)에 삽입된 상태로 플랜지(30B)에 고정되어 있어도 된다. 여기서, 커넥터(37)가 구멍(305)에 삽입되는 경우, 시일 부재(3122)는 불필요해진다. 마찬가지로, 커넥터(37)가 구멍(306)에 삽입되는 경우, 시일 부재(3123)는 불필요해진다.
상기 실시 형태에서는, 유체 유로 장치(10)가 두 온도 조정 유로 유닛(20Z)을 구비하고 있었지만, 이들 두 온도 조정 유로 유닛(20Z) 대신에 두 온도 조정 유로 유닛(20Y)을 채용해도 된다.
상기 실시 형태에서는, 유체 유로 장치(10)가 두 온도 조정 유로 유닛(20Y)을 구비하고 있었지만, 이들 두 온도 조정 유로 유닛(20Y) 대신에 두 온도 조정 유로 유닛(20Z)을 채용해도 된다.
상기 실시 형태에서는, 유체 유로 장치(10)가 두 온도 조정 유로 유닛(20Y) 및 두 온도 조정 유로 유닛(20Z)을 구비하고 있었지만, 유체 유로 장치(10)는, 이들 온도 조정 유로 유닛(20Y, 20Z)를 구비하고 있지 않아도 된다.
상기 실시 형태에서는, 유로(50)가 복수의 기판(20A)이 적층되는 방향으로부터 보아서 사행되도록 형성되어 있었지만, 유로(50)의 형상은, 상기 실시 형태에 기재된 형상에 한정되지 않는다.
상기 실시 형태에서는, 복수의 유로(44)가 본체(20)의 좌측 단부면(204)과 플랜지(30A)의 우측면(302)의 사이에 형성되어 있었지만, 복수의 유로(44)는, 본체(20)의 좌측 단부면(204)으로부터 떨어진 위치에서 본체(20)에 형성된 터널상의 유로여도 된다.
상기 실시 형태에서는, 복수의 유로(46)가 본체(20)의 우측 단부면(205)과 플랜지(30B)의 좌측면(301)의 사이에 형성되어 있었지만, 복수의 유로(46)는, 본체(20)의 우측 단부면(205)로부터 떨어진 위치에서 본체(20)에 형성된 터널상의 유로여도 된다.
이상, 본 발명의 실시 형태 및 그 변형예에 대해서 상세하게 설명했지만, 이들은 어디까지나 예시이며, 본 발명은, 상술한 실시 형태 및 그 변형예에 의해, 하등, 한정되지 않는다.
본 발명에 있어서, 유체 유로 장치의 용도는, 특별히 한정되지 않는다. 유체 유로 장치는, 예를 들어 반응기에 사용되어도 되고, 열 교환기에 사용되어도 된다.
본 발명에 있어서, 복수의 유체 유로의 각각이 유통시키는 유체는, 특별히 한정되지 않는다. 복수의 유체 유로의 각각이 유통시키는 유체는, 예를 들어 액체여도 되고, 기체여도 되고, 액체와 기체가 혼합된 것이어도 된다.
본 발명에 있어서, 복수의 유체 유로의 각각의 단면(유로가 연장되는 방향으로 수직인 방향으로의 단면)의 형상은, 특별히 한정되지 않는다. 복수의 유체 유로의 각각의 단면의 형상은, 예를 들어 반원이어도 되고, 원이어도 되고, 다각형이어도 된다. 여기서, 원은, 진원뿐만 아니라, 타원을 포함한다.
본 발명에 있어서, 복수의 유체 유로의 각각의 단면의 형상은, 복수의 유체 유로의 각각이 연장되는 방향에 있어서, 일정해도 되고, 일정하지 않아도 된다.
본 발명에 있어서, 복수의 유체 유로의 각각의 단면의 크기는, 특별히 한정되지 않는다. 복수의 유체 유로의 각각의 단면의 크기는, 서로 동일해도 되고, 서로 달라도 된다. 복수의 유체 유로의 각각의 단면의 크기는, 예를 들어 유체가 유체 유로 내를 유통할 때의 저항(유통 저항)을 고려하여 설정된다.
본 발명에 있어서, 복수의 유체 유로의 각각의 단면의 크기는, 복수의 유체 유로의 각각이 연장되는 방향에 있어서, 일정해도 되고, 일정하지 않아도 된다.
본 발명에 있어서, 복수의 유체 유로의 각각의 형상(복수의 기판이 적층되는 방향으로부터 본 형상)은, 특별히 한정되지 않는다. 복수의 유체 유로의 각각의 형상은, 예를 들어 제1 유체 유로 및 제2 유체 유로의 적어도 한쪽이 직선적으로 연장되는 형상이어도 되고, 제1 유체 유로 및 제2 유체 유로의 적어도 한쪽이 도중에 만곡 또는 굴곡되어 연장되는 형상이어도 된다.
본 발명에 있어서, 제1 유체 유로의 상류단이 개구되는 방향은, 제1 유체 유로의 하류단이 개구되는 방향과 동일해도 되고, 상이해도 된다. 제1 유체 유로의 상류단이 개구되는 방향은, 제1 유체 유로의 하류단이 개구되는 방향과는 반대인 방향이어도 된다.
본 발명에 있어서, 제2 유체 유로의 상류단이 개구되는 방향은, 제2 유체 유로의 하류단이 개구되는 방향과 동일해도 되고, 상이해도 된다. 제2 유체 유로의 상류단이 개구되는 방향은, 제2 유체 유로의 하류단이 개구되는 방향과는 반대인 방향이어도 된다.
본 발명에 있어서, 복수의 기판의 각각의 형상은, 특별히 한정되지 않는다. 본 발명에 있어서, 복수의 기판의 각각은, 적층된 상태로 접하는 평탄면을 가지고 있어도 된다. 복수의 기판의 각각은, 예를 들어 직사각형의 판 형상이어도 되고, 원판 형상이어도 된다.
본 발명에 있어서, 복수의 덮개의 각각의 형상은, 특별히 한정되지 않는다. 본 발명에 있어서, 복수의 덮개의 각각은, 본체에 접하는 면을 가지고 있어도 된다. 복수의 덮개의 각각은, 예를 들어 직사각형의 판 형상이다.
본 발명에 있어서, 기판 및 덮개의 재료는, 특별히 한정되지 않는다. 기판 및 덮개의 재료는, 예를 들어 금속이어도 되고, 세라믹스여도 된다. 금속은, 예를 들어 스테인리스강이다. 기판 및 덮개의 재료는, 예를 들어 복수의 유체 유로의 각각이 유통시키는 유체에 대한 내식성을 고려하여 설정된다.
본 발명에 있어서, 복수의 덮개의 각각이 설치되는 것은, 본체의 측면이다. 본체의 측면은, 적층된 복수의 기판의 각각이 갖는 측면에 의해 실현된다.
본 발명에 있어서, 제1 유체 유로가 두 기판의 사이에 형성되는 양태는, 예를 들어 한쪽 기판에 형성된 홈이 다른 쪽 기판에 의해 덮임으로써 형성되는 양태를 포함한다. 다른 쪽 기판에는, 한쪽 기판에 형성된 홈과 대응하는 위치에, 홈이 형성되어 있어도 된다. 한쪽 기판에만 홈이 형성되어 있는 경우, 제1 유체 유로의 상류단 및 하류단의 각각은, 한쪽 기판의 측면으로만 개구된다. 두 기판의 각각에 홈이 형성되어 있는 경우, 제1 유체 유로의 상류단 및 하류단의 각각은, 두 기판의 각각의 측면으로 개구된다.
본 발명에 있어서, 제2 유체 유로가 두 기판의 사이에 형성되는 양태는, 예를 들어 한쪽 기판에 형성된 홈이 다른 쪽 기판에 의해 덮임으로써 형성되는 양태를 포함한다. 다른 쪽 기판에는, 한쪽 기판에 형성된 홈과 대응하는 위치에, 홈이 형성되어 있어도 된다. 한쪽 기판에만 홈이 형성되어 있는 경우, 제2 유체 유로의 상류단 및 하류단의 각각은, 한쪽 기판의 측면으로만 개구된다. 두 기판의 각각에 홈이 형성되어 있는 경우, 제2 유체 유로의 상류단 및 하류단의 각각은, 두 기판의 각각의 측면으로 개구된다.
본 발명에 있어서, 제2 유체 유로를 형성하는 두 기판의 어느 것은, 제1 유체 유로를 형성하는 두 기판의 어느 것과 동일해도 된다. 이 경우, 적층된 세 기판 중, 1번째 기판과 두번째 기판의 사이에 제1 유체 유로가 형성되고, 두번째 기판과 세번째 기판의 사이에 제2 유체 유로가 형성된다. 그 때문에, 제1 유체 유로 및 제2 유체 유로를 형성하기 위한 기판 수를 적게 할 수 있다.
본 발명에 있어서, 제2 유체 유로를 형성하는 두 기판은, 제1 유체 유로를 형성하는 두 기판과는 상이한 것이어도 된다.
본 발명에 있어서, 제3 유체 유로는, 복수의 기판이 적층되는 방향과 평행한 방향으로 연장되어 있지 않아도 된다. 예를 들어, 제3 유체 유로는, 복수의 기판이 적층되는 방향에 대해서 경사져 있는 방향으로 연장되어 있어도 된다. 즉, 복수의 기판이 적층되는 방향으로부터 보아서, 제1 유체 유로의 하류단은, 제2 유체 유로의 상류단과는 상이한 위치에 있어도 된다.
본 발명에 있어서, 제3 유체 유로가 본체와 제2 덮개의 사이에 형성되는 양태는, 예를 들어 본체 및 제2 덮개의 한쪽에 형성된 홈을 다른 쪽이 덮는 양태를 포함한다. 이 경우, 본체 및 제2 덮개의 다른 쪽에는, 본체 및 제2 덮개의 한쪽에 형성된 홈과 대응하는 위치에, 홈이 형성되어 있어도 된다.
본 발명에 있어서, 복수의 덮개의 어느 것에는, 복수의 유체 유로의 각각을 유통하는 유체를 유체 유로 장치의 외부로 배출하기 위한 구멍이 형성되어 있어도 된다. 구멍은, 하나여도 되고, 복수여도 된다. 복수의 구멍이 형성되어 있는 경우, 복수의 구멍의 어느 것을 통과하여, 유체가 유체 유로 장치의 외부로 배출된다. 구멍의 위치는, 예를 들어 복수의 유체 유로의 각각의 유로 길이에 따라 설정된다. 즉, 필요로 되는 유로 길이(유체의 반응에 요하는 시간)에 따라, 유체를 배출하는 구멍이 선택된다.
이상과 같이, 본 발명에 따르면, 복수의 유체 유로가 서로 평행한 상태에서 연장되도록 형성되어 있는 경우라도, 복수의 유체 유로의 각각의 유로 길이를 길게 할 수 있음과 함께, 복수의 유체 유로의 각각의 내부를 용이하게 청소할 수 있는 유체 유로 장치가 제공된다.
본 발명에 의해 제공되는 것은, 서로 평행한 상태에서 연장됨과 함께 각각이 유체를 유통시키는 복수의 유체 유로가 형성된 유체 유로 장치이며, 소정의 방향으로 적층된 복수의 기판을 갖는 본체와, 각각이 상기 본체에 대해서 착탈 가능하게 설치되는 복수의 덮개를 구비하고, 상기 복수의 유체 유로의 각각은, 상기 복수의 기판 중 상기 적층 방향으로 접하는 두 기판의 사이에 형성된 제1 유체 유로와, 상기 복수의 기판 중 상기 적층 방향으로 접하는 두 기판의 사이에 형성되고, 상기 적층 방향으로 상기 제1 유체 유로와는 상이한 위치에 배치되고, 상기 유체가 흐르는 방향에서 상기 제1 유체 유로보다도 하류측에 위치하는 제2 유체 유로와, 상기 제1 유체 유로의 하류단부와 상기 제2 유체 유로의 상류단부를 상기 적층 방향으로 접속하는 제3 유체 유로를 포함하고, 상기 제1 유체 유로의 상류단 및 하류단은, 각각, 상기 복수의 기판 중 상기 제1 유체 유로를 형성하는 두 기판의 각각이 갖는 측면의 적어도 한쪽으로 개구되고, 상기 제2 유체 유로의 상류단 및 하류단은, 각각, 상기 복수의 기판 중 상기 제2 유체 유로를 형성하는 두 기판의 각각이 갖는 측면의 적어도 한쪽으로 개구되고, 상기 복수의 덮개는, 상기 본체에 설치된 상태에서, 상기 제1 유체 유로의 상류단을 덮는 제1 덮개와, 상기 본체에 설치된 상태에서, 상기 제1 유체 유로의 하류단과 상기 제2 유체 유로의 상류단을 덮는 제2 덮개를 포함한다.
상기 유체 유로 장치에 있어서는, 복수의 유체 유로가 어느 평면 상에 있어서 서로 평행한 상태에서 연장되도록 형성되어 있는 경우에 비하여, 복수의 유체 유로의 각각의 유로 길이를 길게 할 수 있다. 그 이유는, 이하와 같다.
상기 유체 유로 장치에 있어서는, 복수의 유체 유로의 각각이, 제1 유체 유로와, 제2 유체 유로를 포함한다. 제2 유체 유로는, 복수의 기판이 적층되는 방향에서, 제1 유체 유로와는 상이한 위치에 형성되어 있다. 즉, 복수의 유체 유로가 두 층에 걸쳐 형성되어 있다. 다른 표현을 하자면, 복수의 유체 유로가 계층 구조를 가지고 있다. 그 결과, 복수의 유체 유로가 어느 평면 상에 있어서(즉, 하나의층 상에 있어서) 서로 평행한 상태에서 연장되도록 형성되어 있는 경우에 비하여, 복수의 유체 유로의 각각의 유로 길이를 길게 할 수 있다.
또한, 상기 유체 유로 장치에 있어서는, 복수의 유체 유로의 각각의 내부를 용이하게 청소할 수 있다. 그 이유는, 이하와 같다.
상기 유체 유로 장치에 있어서, 제1 유체 유로의 상류단 및 하류단은, 각각, 제1 유체 유로를 형성하는 두 기판의 각각이 갖는 측면의 적어도 한쪽으로 개구되어 있다. 제2 유체 유로 상류단 및 하류단은, 각각, 제2 유체 유로를 형성하는 두 기판의 각각이 갖는 측면의 적어도 한쪽으로 개구되어 있다.
여기서, 제1 유체 유로의 상류단을 덮는 제1 덮개와, 제1 유체 유로의 하류단과 제2 유체 유로의 상류단을 덮는 제2 덮개는, 각각, 본체에 대해서 착탈 가능하게 설치된다.
따라서, 상기 유체 유로 장치에 있어서는, 제1 덮개 및 제2 덮개를 분리함으로써, 제1 유체 유로의 상류단 및 하류단의 각각을 개방할 수 있다. 그 때문에, 예를 들어 제1 유체 유로의 상류단 및 하류단의 적어도 한쪽으로부터 제1 유체 유로 내에 청소 기구를 삽입함으로써, 제1 유체 유로 내의 석출물이나 이물을 제거할 수 있다. 또한, 제2 덮개를 분리함으로써, 제2 유체 유로의 상류단 및 하류단의 각각을 개방할 수 있다. 그 때문에, 예를 들어 제2 유체 유로의 상류단 및 하류단의 적어도 한쪽으로부터 제2 유체 유로 내에 청소 기구를 삽입함으로써, 제2 유체 유로 내의 석출물이나 이물을 제거할 수 있다.
즉, 상기 유체 유로 장치에 있어서는, 복수의 유체 유로의 각각의 내부를 용이하게 청소할 수 있다.
상기 유체 유로 장치에 있어서, 바람직하게는 상기 제3 유체 유로는, 상기 제2 덮개와 상기 본체의 사이에 형성되어 있다.
이 경우, 제2 덮개를 본체로부터 분리함으로써, 제3 유체 유로를 청소하는 것을 용이하게 할 수 있다.
상기 유체 유로 장치에 있어서, 바람직하게는 상기 제3 유체 유로는, 상기 본체의 측면에 형성된 홈이 상기 제2 덮개에 의해 덮임으로써 형성되어 있다.
이 경우, 제2 덮개를 본체로부터 분리함으로써, 제3 유체 유로를 청소하는 것을 용이하게 할 수 있다.
상기 유체 유로 장치에 있어서, 바람직하게는 상기 제1 유체 유로 및 상기 제2 유체 유로의 적어도 한쪽은, 그 상류단으로부터 하류단을 향해, 직선형으로 연장되어 있다.
이 경우, 제1 유체 유로 및 제2 유체 유로 중, 또한 상류단으로부터 하류단을 향해서 직선형으로 연장되어 있는 유로에 대해서는, 내부의 청소가 용이해진다.
상기 유체 유로 장치에 있어서, 상기 제2 유체 유로의 하류단은, 상기 적층 방향으로부터 보아서, 상기 제1 유체 유로의 상류단과는 상이한 위치에 형성되어 있다.
이 경우, 제2 유체 유로의 하류단에 대해서 다른 유로를 접속하는 것을 용이하게 할 수 있다. 그 결과, 복수의 유체 유로의 각각의 유로 길이를 더욱 길게 할 수 있다.
상기 유체 유로 장치에 있어서, 바람직하게는 상기 제1 덮개는, 상기 제2 유체 유로의 하류단을 추가로 덮는다.
이 경우, 제2 유체 유로의 하류단을 덮는 덮개를 별도 마련하지 않아도 된다. 그 때문에, 복수의 덮개의 총 수를 적게 할 수 있다.

Claims (6)

  1. 서로 평행한 상태에서 연장됨과 함께 각각이 유체를 유통시키는 복수의 유체 유로가 형성된 유체 유로 장치이며,
    소정의 적층 방향으로 적층된 복수의 기판을 갖는 본체와,
    각각이 상기 본체에 대해서 착탈 가능하게 설치되는 복수의 덮개를 구비하고,
    상기 복수의 유체 유로의 각각은,
    상기 복수의 기판 중 상기 적층 방향으로 접하는 두 기판의 사이에 형성된 제1 유체 유로와,
    상기 복수의 기판 중 상기 적층 방향으로 접하는 두 기판의 사이에 형성되고, 상기 적층 방향으로 상기 제1 유체 유로와는 상이한 위치에 배치되고, 상기 유체가 흐르는 방향에서 상기 제1 유체 유로보다도 하류측에 위치하는 제2 유체 유로와,
    상기 제1 유체 유로의 하류단부와 상기 제2 유체 유로의 상류단부를 상기 적층 방향으로 접속하는 제3 유체 유로를 포함하고,
    상기 제1 유체 유로의 상류단 및 하류단은, 각각, 상기 복수의 기판 중 상기 제1 유체 유로를 형성하는 두 기판의 각각이 갖는 측면의 적어도 한쪽으로 개구되고,
    상기 제2 유체 유로의 상류단 및 하류단은, 각각, 상기 복수의 기판 중 상기 제2 유체 유로를 형성하는 두 기판의 각각이 갖는 측면의 적어도 한쪽으로 개구되고,
    상기 복수의 덮개는,
    상기 본체에 설치된 상태에서, 상기 제1 유체 유로의 상류단을 덮는 제1 덮개와,
    상기 본체에 설치된 상태에서, 상기 제1 유체 유로의 하류단과 상기 제2 유체 유로의 상류단을 덮는 제2 덮개를 포함하는, 유체 유로 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제3 유체 유로는, 상기 제2 덮개와 상기 본체의 사이에 형성되어 있는, 유체 유로 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제3 유체 유로는, 상기 본체의 측면에 형성된 홈이 상기 제2 덮개에 의해 덮임으로써 형성되어 있는, 유체 유로 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 유체 유로 및 상기 제2 유체 유로의 적어도 한쪽은, 그 상류단으로부터 하류단을 향해, 직선형으로 연장되어 있는, 유체 유로 장치.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 유체 유로의 하류단은, 상기 적층 방향으로부터 보아서, 상기 제1 유체 유로의 상류단과는 상이한 위치에 형성되어 있는, 유체 유로 장치.
  6. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 덮개는, 상기 제2 유체 유로의 하류단을 추가로 덮는, 유체 유로 장치.
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