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KR101953104B1 - Pincers-type contact plunger tiltable by wedge action, and PION pin of test socket for minimizing interference between coil spring using the same - Google Patents

Pincers-type contact plunger tiltable by wedge action, and PION pin of test socket for minimizing interference between coil spring using the same Download PDF

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KR101953104B1
KR101953104B1 KR1020170041858A KR20170041858A KR101953104B1 KR 101953104 B1 KR101953104 B1 KR 101953104B1 KR 1020170041858 A KR1020170041858 A KR 1020170041858A KR 20170041858 A KR20170041858 A KR 20170041858A KR 101953104 B1 KR101953104 B1 KR 101953104B1
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KR
South Korea
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pad
ball
pair
plunger
legs
Prior art date
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Inventor
전진국
서정준
최원호
박성규
Original Assignee
주식회사 오킨스전자
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Publication date
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Abstract

본 발명의 핀셋 타입 플런저는, 외부 기기와 접촉되는 접속 팁, 상기 접속 팁에서 스페이스를 사이에 두고 양측으로 연장되는 한 쌍의 레그, 상기 레그 단부에서 내측으로 확장되는 한 쌍의 후크, 상기 레그 외측으로 돌출되는 트리거, 및 상기 레그 외측으로 상기 트리거보다 더 길게 연장되는 스토퍼를 포함한다. 이와 같은 본 발명의 구성에 의하면, 상기한 레그가 스프링에 의하여 간섭받지 않기 때문에 동작성이 개선된다.A tweezer-type plunger of the present invention includes a connecting tip in contact with an external device, a pair of legs extending on both sides of the connecting tip with a space therebetween, a pair of hooks extending inwardly from the leg end, And a stopper extending longer than the trigger to the outside of the leg. According to the configuration of the present invention, since the legs are not interfered by the spring, the operation is improved.

Description

코일 스프링의 쐐기 작용에 의하여 틸트 가능한 핀셋 타입 플런저, 그리고 이를 이용하여 테스트 소켓에서 코일 스프링의 간섭이 최소화되는 PION 핀 { Pincers-type contact plunger tiltable by wedge action, and PION pin of test socket for minimizing interference between coil spring using the same}A pin-type plunger that can be tilted by a wedge action of a coil spring, and a PION pin that minimizes interference of a coil spring in a test socket using the pin-type plunger and a pinion pin of a test socket for minimizing interference coil spring using the same}

본 발명은, 코일 스프링의 쐐기 작용에 의하여 틸트 가능한 핀셋 타입 플런저, 그리고 동일한 형상의 양측 핀셋 타입 플런저들이 스프링을 사이에 두고 교차(cross) 체결되는 테스트 소켓의 PION 핀에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 MEMS & Press 공정에 의하여 제작되는 스트립을 핀셋 형태로 성형하여 틸트 가능한 핀셋 타입 플런저를 제공하고, 한 쌍의 플런저는 조립 전 외측 폭이 일정하나 내측 폭은 점차 증가하도록 설계되어 상호 진입이 용이하고, 조립 후에 내측 폭이 일정하나 외측 폭은 점차 감소되도록 설계하여 그 둘레에 위치하는 스프링에 의한 간섭을 최소화 하는 플런저와 이를 이용하여 조립되는 PION 핀에 관한 것이다.The present invention relates to a PION pin of a test socket in which a tiltable tweezers-type plunger by a wedge action of a coil spring, and both side tweeze type plungers of the same shape are cross-clamped with a spring interposed therebetween. More specifically, A twisted tweezers type plunger is formed by forming a strip formed by & Press process into a tweezers. The pair of plungers are designed to have a constant outer width before assembly but gradually increase the inner width, And the outer width is gradually reduced so as to minimize the interference due to the spring disposed around the plunger, and a PION pin assembled using the plunger.

일반적으로 BGA(ball grid array) 타입의 반도체 기기는 최종적으로 검사 장치에 의해 각종 전기 시험을 통한 특성 측정 또는 불량 검사를 받게 된다. 이때, 검사 장치에 설치된 검사용 인쇄회로기판의 회로 패턴과 BGA 타입 반도체 기기의 contact 볼을 전기적으로 연결하기 위해 테스트 소켓이 사용된다.In general, a ball grid array (BGA) type semiconductor device is finally subjected to characteristic measurement or defect inspection through various electrical tests by an inspection apparatus. At this time, a test socket is used to electrically connect the circuit pattern of the inspection printed circuit board provided in the inspection apparatus with the contact ball of the BGA type semiconductor apparatus.

이러한 테스트 소켓에는 다수의 프로브 핀이 하우징에 소정 규칙으로 설치되고 있다. 최근 부품 수가 많아지고 데이터의 빠른 처리와 저소비 전력을 위하여 프로브 핀이 점차 미세화 되어 가는데, 포고(Pogo) 핀을 포함하여 종래의 프로브 핀은 미세 패턴에 적극적으로 대응하지 못하여 프로브 핀의 contact 특성이 악화되는 문제점이 있다.In this test socket, a plurality of probe pins are installed in a predetermined rule in the housing. In recent years, as the number of parts increases and the number of probe pins gradually becomes finer for fast data processing and low power consumption, a conventional probe pin including a pogo pin can not positively correspond to a fine pattern, .

이러한 구조적 문제를 개선하기 위하여 다음과 같이 MEMS & Press 공정을 이용하여 조립되는 전자 장치용 contact가 제안되고 있다.In order to solve such a structural problem, a contact for an electronic device assembled using a MEMS & Press process has been proposed as follows.

도 1을 참조하면, 전자 장치용 contact(2)는 동일한 구조로서 상호 직교하도록 결합되는 상부 접촉 핀(10), 하부 접촉 핀(20), 그리고 상/하부 접촉 핀(10, 20) 사이에 삽입되는 스프링(30)을 포함한다.Referring to Fig. 1, the contact 2 for an electronic device has an upper contact pin 10, a lower contact pin 20, and an upper / lower contact pin 10, 20 As shown in FIG.

이와 같은 구성에 의하면, 상/하부 접촉 핀(10, 20)은 상/하부 걸림 턱(12, 22)을 기준으로 위/아래 유동 홈(10a, 20a)과 도피 홈(10b, 20b)을 각각 포함하고, 상부 접촉 핀(10)의 걸림 돌기(14)는 하부 접촉 핀(20)의 걸림 턱(22)에 지지되고, 하부 접촉 핀(20)의 걸림 돌기(24)는 상부 접촉 핀(10)의 걸림 턱(12)에 지지됨으로써, 상호 결합된다. 즉, 일 측 접촉 핀(10)의 걸림 돌기(14)는 타 측 접촉 핀(20)의 걸림 턱(22)에 걸려서 상호 결합 후에는 임의로 이탈되지 않는다. The upper and lower contact pins 10 and 20 are provided with the upper and lower flow grooves 10a and 20a and the escape grooves 10b and 20b with respect to the upper and lower stoppers 12 and 22, respectively And the latching protrusion 14 of the upper contact pin 10 is supported by the latching jaw 22 of the lower contact pin 20 and the latching protrusion 24 of the lower contact pin 20 is engaged with the upper contact pin 10 So that they are coupled to each other. That is, the latching protrusion 14 of the one-side contact pin 10 is caught by the latching jaw 22 of the other-side contact pin 20 and does not arbitrarily separate after mutual coupling.

즉, 탄성 편(16, 26)의 단부에 경사 면(18, 28)을 가지고 있어, 여기를 타고 이동하면 상호 삽입이 용이하지만, 체결 후에는 임의로 이탈되지 않고 체결력을 높이기 위하여 반드시 한 세트의 걸림 돌기(14, 24)와 걸림 턱(12, 22)이 구비되어야 한다. 또한, 상/하부 접촉 핀(10, 20)이 더 이상 결합하여 진행되지 않도록 스토퍼 기능의 걸림 턱(12, 22)이 반드시 필요한 것이다. That is, since the end portions of the elastic pieces 16 and 26 have the inclined surfaces 18 and 28, they can be easily inserted when they move along the excitation. However, in order to increase the fastening force, The projections 14 and 24 and the engagement protrusions 12 and 22 must be provided. In addition, the stoppers 12, 22 of the stopper function are required to prevent the upper and lower contact pins 10, 20 from further advancing.

그러나 이러한 걸림 턱(12, 14)을 더 구비하기 때문에(설사 중간에 걸림 턱이 절단되도록 구성한다고 하더라도), 탄성 편(16, 26)의 탄성력에는 일정한 한계가 있게 마련이다. However, since the engaging jaws 12 and 14 are further provided (even if the engaging jaw is cut in the middle), the elastic force of the elastic pieces 16 and 26 has a certain limit.

또한, 체결 후에도 상/하부 접촉 핀(10, 20)이 직선 형태를 유지하 있기 때문에, 스프링(30)이 간섭을 받기 쉽다. 만일, 두 접촉 핀(10, 20)의 탄성 편(16, 26)을 통하여 전기적 신호가 통하지 못하고, 스프링(30)을 통하여 전기적 신호가 전달될 가능성이 매우 커 결과적으로 전기적 신호 거리가 길어져, 검사 수율이 저하되는 문제점이 있다.Further, since the upper and lower contact pins 10 and 20 maintain a straight line shape after the fastening, the spring 30 is susceptible to interference. If the electric signal is not transmitted through the elastic pieces 16 and 26 of the two contact pins 10 and 20 and the electrical signal is transmitted through the spring 30, The yield is lowered.

KR 10-2006-0030785KR 10-2006-0030785

따라서 본 발명은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 상/하부 플런저에서 한 쌍의 탄성 편 사이의 도피 구간에서 폭이 제한되어 공간적으로 제약을 받지 않는 핀셋 타입 플런저와 이를 포함하는 PION 핀을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the problems of the prior art as described above, and it is an object of the present invention to provide a plunger having an upper and a lower plunger in which a width is limited in an escape interval between a pair of elastic pieces, A tweezers type plunger and a PION pin including the same.

본 발명의 다른 목적은 상/하부 플런저의 단부에 경사면을 구비하지 않더라도 상호 진입이 가능한 핀셋 타입 플런저와 이를 포함하는 PION 핀을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a tweezers-type plunger capable of entering into and out of an end portion of an upper / lower plunger without having an inclined surface, and a PION pin including the same.

본 발명의 또 다른 목적은 동일한 형상의 스트립을 교차 조립함에 있어서, 상호 진입을 용이하게 하고, 진입 후에는 양측 플런저가 임의로 이탈되지 않도록 결속력을 강화하는 핀셋 타입 플런저와 이를 포함하는 PION 핀을 제공하는 것이다.It is still another object of the present invention to provide a tweezer-type plunger for facilitating mutual entry and for strengthening the binding force so that both plungers do not deviate freely after entry, and a PION pin including the same, will be.

본 발명의 또 다른 목적은 상/하부 플런저가 외측의 스프링에 의하여 간섭을 받지 않고 동작되고, 스프링을 통하여 전기적 신호가 전달되지 않으며, 상/하부 플런저를 통해서만 전달되도록 하여 검사 수율이 개선되는 핀셋 타입 플런저와 이를 포함하는 PION 핀을 제공하는 것이다.It is still another object of the present invention to provide a tweezers type in which the upper and lower plungers are operated without interference by the outer springs, the electrical signals are not transmitted through the springs, and are transmitted only through the upper / lower plungers, And a plunger and a PION pin including the plunger.

전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따르면, 본 발명의 PION 핀은, 반도체 기기와 테스트 장치 사이에서 전기적 검사를 수행하기 위하여, 상기 반도체 기기의 도전 볼과 상기 테스트 장치의 contact 패드를 전기적으로 연결하는 테스트 소켓의 PION 핀에 있어서, 상기 contact 패드와 접촉되는 핀셋 형태의 패드 플런저, 상기 도전 볼과 접촉되고, 상기 패드 플런저와 동일한 형상으로 제공되어 상호 교차(cross) 조립되는 볼 플런저, 및 상기 패드 플런저와 상기 볼 플런저 사이에서 설치되고, 상기 패드 플런저와 상기 볼 플런저를 한편에서는 탄성 지지하고, 다른 한편에서는 상기 패드 플런저와 상기 볼 플런저를 가압 체결하는 클램프 스프링을 포함한다.According to an aspect of the present invention, a PION pin of the present invention includes a conductive ball of the semiconductor device and a contact pad of the test apparatus to perform an electrical inspection between the semiconductor device and the test apparatus. A pin plunger in the form of a tweezer contacted with the contact pad; a ball plunger contacted with the conductive ball, provided in the same shape as the pad plunger and cross-assembled with each other, And a clamp spring installed between the pad plunger and the ball plunger and elastically supporting the pad plunger and the ball plunger on the one hand and pressing the pad plunger and the ball plunger on the other hand.

위에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 구성에 의하면 다음과 같은 효과를 기대할 수 있다.As described above, according to the configuration of the present invention, the following effects can be expected.

첫째, 양측 플런저가 압축 코일 스프링에 의하여 틸트 조작되도록 설계되기 때문에, 조립 전에는 충분한 도피 공간을 확보하여 제조 수율이 개선되고, 조립 후에는 압축 코일 스프링과의 간섭을 배제하고 동작성을 증진함으로써 검사 수율이 개선된다.First, since both the plungers are designed to be operated by the tilting operation by the compression coil spring, a sufficient escape space is ensured before assembling to improve the manufacturing yield, eliminate the interference with the compression coil spring after assembly, .

둘째, 각 플런저의 단부에 형성되는 한 쌍의 후크에 별도의 경사면을 두지 않더라도 한 쌍의 후크 사이에 각 플런저의 두께보다 큰 간격이 제공되기 때문에 교차 진입이 수월하고, 교차 진입 후에는 코일 스프링에 의하여 트리거가 가압되기 때문에 코일 스프링을 해제하지 않는 한 양측 플런저가 임의로 분리되지 않기 때문에 조립성과 결속력이 함께 증진된다.Second, since a gap larger than the thickness of each plunger is provided between the pair of hooks without providing a separate inclined surface on the pair of hooks formed at the end of each plunger, crossing entry is easy, Since the trigger is pressurized, the both plungers are not separated arbitrarily unless the coil spring is released.

도 1은 종래 기술에 의한 contact의 조립 전후 구성을 나타내는 사시도.
도 2 내지 도 5는 본 발명에 의한 틸트 가능한 핀셋 타입 플런저와 PION 핀의 구성을 각각 나타내는 분해 사시도, 사시도, 정면도, 및 분해 정면도.
도 6 및 도 7은 본 발명에 의한 틸트 가능한 핀셋 타입 플런저의 작동상태를 각각 나타내는 정면도들.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view showing a configuration before and after assembly of a contact according to the prior art; FIG.
FIGS. 2 to 5 are an exploded perspective view, a perspective view, a front view, and an exploded front view, respectively, showing a configuration of a tiltable tweezers type plunger and a PION pin according to the present invention.
FIGS. 6 and 7 are front views, respectively, showing an operating state of a tiltable tweezers type plunger according to the present invention; FIG.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해 질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려 주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 도면에서 층 및 영역들의 크기 및 상대적인 크기는 설명의 명료성을 위해 과장된 것일 수 있다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Brief Description of the Drawings The advantages and features of the present invention, and how to achieve them, will become apparent with reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as being limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art. Is provided to fully convey the scope of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims. The dimensions and relative sizes of layers and regions in the figures may be exaggerated for clarity of illustration. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

본 명세서에서 기술하는 실시예들은 본 발명의 이상적인 개략도인 평면도 및 단면도를 참고하여 설명될 것이다. 따라서 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서 본 발명의 실시예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함하는 것이다. 따라서 도면에서 예시된 영역들은 개략적인 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 소자의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이고, 발명의 범주를 제한하기 위한 것은 아니다.Embodiments described herein will be described with reference to plan views and cross-sectional views, which are ideal schematics of the present invention. Thus, the shape of the illustrations may be modified by manufacturing techniques and / or tolerances. Accordingly, the embodiments of the present invention are not limited to the specific forms shown, but also include changes in the shapes that are produced according to the manufacturing process. Thus, the regions illustrated in the figures have schematic attributes, and the shapes of the regions illustrated in the figures are intended to illustrate specific types of regions of the elements and are not intended to limit the scope of the invention.

이하, 상기한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 틸트 가능한 핀셋 타입으로 조립 특성이 개선된 플런저, 및 이를 포함하는 테스트 소켓의 PION 핀의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the plunger with improved assembling characteristics and the PION pin of the test socket including the tiltable tweezers according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

PION(Pitch Innovation Pioneer) 핀은 설명의 편의를 위하여 최종(final) 테스트 소켓에 사용되는 것으로 설명하겠지만, 여기에 제한되는 것은 아니고 번인(burn-in) 테스트 소켓에도 사용될 수 있다.Pitch Innovation Pioneer (PION) pins are described for use in final test sockets for convenience of explanation, but are not limited to, and may be used in burn-in test sockets.

테스트 소켓(Test socket)은 패키지 IC, MCM 등의 반도체 집적 회로 장치, 집적 회로가 형성된 웨이퍼 등의 반도체 기기의 전기적 검사에서, 검사 대상인 반도체 기기의 접속 단자(가령, 도전 볼)와, 테스트 장치의 접속 단자(가령, contact 패드)를 서로 전기적으로 접속하기 위하여, 반도체 기기와 테스트 장치 사이에 배치되는 것으로 한다.The test socket is used for electrically testing a semiconductor device such as a semiconductor integrated circuit device such as a package IC or an MCM or a wafer on which an integrated circuit is formed by connecting a connecting terminal (for example, a conductive ball) (For example, a contact pad) between the semiconductor device and the test apparatus so as to be electrically connected to each other.

도 2 내지 도 5를 참조하면, 테스트 소켓의 PION 핀(100)은, 도면에는 도시되어 있지 않지만, 외부 기기 가령, 반도체 기기의 도전 볼과 테스트 장치의 contact 패드를 전기적으로 연결하여, 반도체 기기와 테스트 장치 사이에서 전기적 검사를 수행한다.2 to 5, although the PION pin 100 of the test socket is not shown in the figure, the external device, for example, electrically connecting the conductive ball of the semiconductor device and the contact pad of the test apparatus, Perform electrical inspection between test devices.

PION 핀(100)은, 상기 contact 패드와 접촉되는 패드 플런저(200), 상기 도전 볼과 접촉되고 패드 플런저(200)와 상호 교차(cross) 조립되는 볼 플런저(300), 및 패드 플런저(200)와 볼 플런저(300) 사이에서 설치되는 클램프 스프링(400)을 포함한다.The PION pin 100 includes a pad plunger 200 in contact with the contact pad, a ball plunger 300 in contact with the conductive ball and cross-assembled with the pad plunger 200, And a clamp spring (400) installed between the ball plunger (300).

패드 플런저(200)와 볼 플런저(300)는 동일한 형상의 핀셋(pincers) 형태로 제공될 수 있다. The pad plunger 200 and the ball plunger 300 may be provided in the form of pincers having the same shape.

또한, 클램프 스프링(400)은, 패드 플런저(200)와 볼 플런저(300)를 한편에서는 탄성 지지하고, 다른 한편에서는 가압 체결한다.The clamp spring 400 elastically supports the pad plunger 200 and the ball plunger 300 on the one hand and press-clamps the other on the other hand.

패드 플런저(200)는, contact 패드와 접촉하는 패드 접속 팁(210), 패드 스페이스(212)를 중심으로 패드 접속 팁(210)의 양측으로 연장되고, 내측 폭(t1)은 일정하나 외측 폭(t2)은 점차 감소하는 한 쌍의 패드 레그(220), 한 쌍의 패드 레그(220)의 단부에서 각각 내측으로 확장되어 홀더(holder)를 형성하는 한 쌍의 패드 후크(230), 패드 레그(220) 외측으로 돌출되고, 돌출된 만큼 클램프 스프링(400)의 일방 단부에 의하여 가압 체결되는 한 쌍의 패드 트리거(240), 및 패드 레그(220) 외측으로 연장되고, 클램프 스프링(400)의 일방 단부에 의하여 탄성 지지되는 한 쌍의 패드 스토퍼(250)를 포함한다.The pad plunger 200 extends to both sides of the pad connection tip 210 about the pad space 212 and the pad connection tip 210 in contact with the contact pad while the inner width t1 is constant, t2 are a pair of pad legs 220 that gradually decrease in width and a pair of pad hooks 230 that extend inward at ends of the pair of pad legs 220 to form a holder, A pair of pad triggers 240 protruding outward from the pad leg 220 and press-coupled by the one end of the clamp spring 400 as the protruded portion and a pair of pad triggers 240 extending outwardly of the pad leg 220, And a pair of pad stoppers 250 elastically supported by the end portions.

볼 플런저(300)는, 도전 볼과 접촉하는 볼 접속 팁(310), 볼 스페이스(312)를 중심으로 볼 접속 팁(310)의 양측으로 연장되고, 내측 폭(t1)은 일정하나 외측 폭(t2)은 점차 작아지는 한 쌍의 볼 레그(320), 한 쌍의 볼 레그(320)의 단부에서 각각 내측으로 확장되어 홀더(holder)를 형성함으로써, 한 쌍의 패드 후크(230)가 걸리는 한 쌍의 볼 후크(330), 볼 레그(320) 외측으로 돌출되고, 돌출된 만큼 클램프 스프링(400)의 타방 단부에 의하여 가압 지지되는 한 쌍의 볼 트리거(340), 및 볼 레그(320) 외측으로 연장되고, 클램프 스프링(400)의 타방 단부에 의하여 탄성 지지되는 한 쌍의 볼 스토퍼(350)를 포함한다.The ball plunger 300 includes a ball connection tip 310 that contacts the conductive ball and extends to both sides of the ball connection tip 310 about the ball space 312 and has an inner width t1 of constant but outer width t2 are expanded inward at the ends of the pair of the bolt legs 320 and the pair of the bolt legs 320 which gradually become smaller to form a holder so that a pair of pad hooks 230 are caught A pair of ball hooks 330 and a pair of ball triggers 340 protruding outside the ball leg 320 and supported by the other end of the clamp spring 400 as it is protruded, And a pair of ball stoppers 350 elastically supported by the other end of the clamp spring 400. [

한 쌍의 패드 플런저(200)와 볼 플런저(300)는, 패드/볼 접속 팁(210, 310)을 중심으로 한 쌍의 패드/볼 레그(220, 320)가 좌우로 틸트(tilt) 가능하게 설계되는 핀셋(pincers) 형태로서, MEMS & Press 공정에 의하여 소정 두께의 판상 스트립 형태로 제작될 수 있다.The pair of pad plungers 200 and the ball plunger 300 are configured such that a pair of pads / ball legs 220 and 320 around the pad / ball connection tips 210 and 310 are tiltable right and left Designed as pincers, they can be made in the form of plate strips of a predetermined thickness by the MEMS & Press process.

가령, 폭이 좁고 길이가 긴 소정 두께의 판상 스트립(strip) 형태이다. 스트립의 폭은 두께보다 적어도 2배 이상이며, 스트립의 길이는 폭보다 3배 이상이다.For example, it is in the form of a strip of plate having a predetermined thickness and a narrow width and a long length. The width of the strip is at least two times greater than the thickness, and the length of the strip is at least three times the width.

특히, 볼 후크(330)의 두께가 한 쌍의 패드 후크(230) 사이의 간격보다 작아, 볼 후크(330)가 한 쌍의 패드 후크(230) 사이로 용이하게 교차 진입하거나, 반대로 패드 후크(230)의 두께가 한 쌍의 볼 후크(330) 사이의 간격보다 크지 않아, 패드 후크(230)가 한 쌍의 볼 후크(330) 사이로 용이하게 교차 진입할 수 있다.Particularly, since the thickness of the ball hook 330 is smaller than the distance between the pair of pad hooks 230, the ball hook 330 easily crosses between the pair of pad hooks 230, Is not greater than the gap between the pair of ball hooks 330, the pad hook 230 can easily cross the space between the pair of ball hooks 330. [

본 발명은 이와 같이 핀셋 형태의 스트립을 소정 넓이와 소정 두께를 가지는 판재 형태로 성형하기 때문에, MEMS & Press 공정을 이용하여 제작 가능하고, 한 쌍의 스트립을 교차(cross) 하여 결합하기 때문에 내구성이 증진된다.Since the tweezers are formed in the shape of a plate having a predetermined width and a predetermined thickness, the present invention can be fabricated using a MEMS & Press process, and a pair of strips are cross- .

패드/볼 트리거(240, 340)는 패드/볼 레그(220, 320) 외측으로 돌출되는데, 경사진 테이퍼 면과 평면인 클램프 면으로 구성됨으로써 클램프 스프링(400)이 테이퍼 면을 타고 이동하다가 클램프 면에 이르면 패드/볼 레그(220, 320)를 내측으로 가압하게 된다. 가령, 쐐기 작용에 의하여 한 쌍의 패드/볼 후크(230, 330)가 접촉하여 홀더(holder)를 제공할 때까지 가압될 수 있다.The pad / ball triggers 240 and 340 protrude outward from the pad / ball legs 220 and 320. The pad / ball triggers 240 and 340 are composed of a tapered tapered surface and a flat clamped surface so that the clamp spring 400 moves along the tapered surface, The pad / ball legs 220 and 320 are pressed inward. For example, a wedge action may be applied until a pair of pad / ball hooks 230, 330 contact and provide a holder.

패드/볼 스토퍼(250, 350)는 패드/볼 레그(220, 320) 외측으로 연장되는데, 이는 패드/볼 접촉 핀(200, 300)이 조립될 때 양쪽 패드/볼 후크(230, 330)가 상호 당겨지도록 지지하며, contact 패드 혹은 도전 볼에 의하여 가압될 때 그 충격을 클램프 스프링(400)에 전달하여 충격을 완충하는 기능을 수행한다.The pad / ball stoppers 250 and 350 extend outwardly of the pad / ball legs 220 and 320 when the pad / ball hooks 230 and 330 are in contact with each other when the pad / ball contact pins 200 and 300 are assembled And when it is pressed by the contact pad or the conductive ball, transmits the shock to the clamp spring 400 to buffer the impact.

한편, 패드/볼 플런저(200, 300)가 조립 후 검사 공정 시 도전 볼 혹은 contact 패드에 의하여 최대로 가압될 때, 클램프 스프링(400)이 더 이상 압축되지 않는 시점에서 패드/볼 스토퍼(250, 350)는 패드/볼 플런저(200, 300)가 더 이상 수축 이동되지 않도록 하는 스토퍼 기능을 수행하기도 한다. When the pad / ball plungers 200 and 300 are pressed to the maximum by the conductive balls or the contact pads in the inspection process after assembly, the pad / ball stoppers 250 and 300, 350 may also function as a stopper to prevent the pad / ball plungers 200, 300 from further contracting.

한 쌍의 패드/볼 레그(220, 320) 사이에는 전술한 패드/볼 스페이스(212, 312)가 형성되는데, 이러한 패드/볼 스페이스(212, 312)는 조립 전에 개방(open)되어 있다가 조립 후에는 폐쇄(close)된다. Between the pair of pads / ball legs 220 and 320, the aforementioned pad / ball spaces 212 and 312 are formed, which are opened before assembling, It is then closed.

가령, 패드/볼 스페이스(212, 312)는 조립 전에는 이등변 삼각형 형태를 하다가 조립 후에는 직사각형 형태를 하게 된다. For example, the pad / ball spaces 212 and 312 are in the form of an isosceles triangle before assembly and then a rectangular shape after assembly.

패드/볼 스페이스(212, 312)는 패드/볼 후크(230, 330)로 갈수록 그 간격이 점차 넓어지고, 밑변이 개방되는 이등변 삼각형이나, 클램프 스프링(400)의 쐐기 작용에 의하여 패드/볼 트리거(240, 340)가 가압되면 밑변이 폐쇄되고, 직사각형으로 변경된다.The pads / ball spaces 212 and 312 are formed by an isosceles triangle having a wider opening toward the pad / ball hooks 230 and 330 and an open bottom, and a wedge action of the clamp spring 400, (240, 340) is pressed, the base is closed and changed to a rectangle.

이때, 패드/볼 플런저(200, 300)는 스트립 일부가 제거되는 패드/볼 틸트 홈(260, 360)을 더 포함하고 있기 때문에, 틸트가 더 용이하다.At this time, since the pad / ball plungers 200 and 300 further include the pad / ball tilt grooves 260 and 360 where part of the strip is removed, tilting is easier.

도 6 및 도 7을 참조하면, 한 쌍의 패드/볼 레그(220, 320)는, 클램프 스프링(400)과 체결되기 전에는 패드/볼 후크(230, 330)가 패드/볼 스페이스(212, 312)로 수월하게 진입할 수 있도록 내측 폭(t1)은 점차 증가하나 외측 폭(t2)은 일정하게 유지되다가(도 6의 (a) 참조), 클램프 스프링(400)과 체결된 후에 패드/볼 후크(230, 330)가 상호 홀더로 기능할 수 있도록, 내측 폭(t1)은 일정하나 외측 폭(t2)은 점차 감소하게 된다(도 6의 (b) 참조).6 and 7, a pair of pad / ball legs 220 and 320 are formed in the pad / ball spaces 212 and 312, respectively, before the pad / ball hooks 230 and 330 are fastened to the clamp spring 400. [ The inner width t1 is gradually increased so that the inner width t2 can be easily entered by the clamp spring 400. However, the outer width t2 is kept constant (refer to Fig. 6 (a) The inner width t1 is constant but the outer width t2 gradually decreases so that the first and second protrusions 230 and 330 function as mutual holders (see FIG. 6 (b)).

이와 같이, 클램프 스프링(400)과 체결된 후에 외측 폭(t2)이 점차 작아짐으로써, 클램프 스프링(400)과 상호 간섭이 최소화되고, 동작성이 개선된다. 예컨대, 틸트 전에는 내측 폭(t1)에서 각도가 2°내지 3°바람직하게는 2.6°를 유지할 수 있으나, 틸트 후에는 외측 폭(t2)에서 각도가 2.6°를 유지할 수 있다.As described above, since the outside width t2 gradually becomes smaller after the clamping spring 400 is fastened, the mutual interference with the clamp spring 400 is minimized and the operation is improved. For example, before the tilting, the angle can be maintained at 2 to 3 degrees, preferably 2.6 degrees at the inside width t1, but after the tilting, the angle can be maintained at 2.6 degrees at the outside width t2.

이로써, 클램프 스프링(400)을 통하여 전기적 신호가 전달될 가능성이 사실상 제거됨으로서, 오직 패드/볼 플런저(200, 300)를 통해서만 전기적 신호가 전달됨으로써, 검사 수율이 증가한다.This substantially eliminates the possibility of an electrical signal being transmitted through the clamp spring 400, so that the electrical signal is transmitted only through the pad / ball plunger 200, 300, thereby increasing the inspection yield.

또한, 조립 전에 패드/볼 후크(230, 230)로 갈수록 내측 폭(t1)이 점차 넓어지도록 설계되면, 조립 시 삽입이 용이하다. 특히 이와 같은 장점은 파인 피치(fine pitch)에 의하여 프로브 핀의 피치가 작아질수록 레그 사이의 간격 또한 좁아지게 마련인데, 조립 전과 조립 후에 그 간격이 달라지게 설계함으로써 파인 피치에 능동적으로 대응할 수 있게 된다.Also, if the inner width t1 is gradually widened toward the pads / ball hooks 230 and 230 before assembly, it is easy to insert during assembly. Particularly, such an advantage is that as the pitch of the probe pins becomes smaller due to the fine pitch, the spacing between the legs becomes narrower. By designing the gap between the legs before assembling and after assembling, it is possible to actively cope with the fine pitch do.

본 발명은 패드/볼 접속 팁(210, 310)에 홈을 더 제공하고, 여기에 보조 핀이 교차(cross) 결합하여 전기적 검사를 수행하게 되면, 프로브 핀과 같이 입체적 접촉할 수 있어 수율이 더 개선될 수 있다. When the grooves are further provided in the pad / ball connection tips 210 and 310 and the auxiliary pins are cross-coupled to perform electrical inspection, the probe pins can be stericly contacted with the probe pins, Can be improved.

덧붙여, 패드/볼 접속 팁(210, 310)에 1개 이상의 접점을 제공하게 되면, 도전 볼 혹은 contact 패드와 접촉 시 발생하는 수직 편차에 따른 정렬 공차를 최소화하여 안정적인 contact 특성을 강화할 수 있다.In addition, providing one or more contacts to the pad / ball connection tips 210 and 310 may minimize the alignment tolerance due to vertical deviations occurring upon contact with the conductive balls or contact pads, thereby enhancing stable contact characteristics.

클램프 스프링(400)은, 코일 스프링이 사용되는데 반복적인 테스트에 의하여 발생되는 충격을 흡수하여 테스트 소켓의 제품 수명을 연장하는 기능을 수행한다. 클램프 스프링(400)의 단부는 패드/볼 트리거(240, 340)에 각각 지지된다.The clamp spring 400 functions to absorb the shock generated by the repetitive test in which a coil spring is used to prolong the product life of the test socket. The ends of the clamp springs 400 are respectively supported by the pad / ball triggers 240 and 340.

클램프 스프링(400)은 압축 코일 스프링의 구조를 가지는데, 강선이 탄성을 가지도록 일정한 피치 간격으로 감겨지는 나선 형태로 제공되고, 피치 간격이 큰 바디(400a)와 피치 간격이 작은 터미널(400b)로 구성된다. 터미널(400b)은 강선을 마무리하는 영역으로 바디(400a) 보다 피치 간격을 크게 줄여 사실상 압축되지 않는 영역이다. 본 발명은 이러한 터미널(400b)을 통하여 패드/볼 트리거(240, 340)가 동작되도록 핑거 기능을 수행한다. The clamp spring 400 has a structure of a compression coil spring. The clamp spring 400 is provided in the form of a spiral wound with a predetermined pitch interval so that the steel wire has elasticity. The clamp spring 400 has a body 400a having a large pitch interval and a terminal 400b having a small pitch interval. . The terminal 400b is an area for finishing the steel wire, which is substantially uncompressed by greatly reducing the pitch interval from the body 400a. The present invention performs a finger function to operate the pad / ball triggers 240 and 340 through the terminal 400b.

상/하부 플런저(200, 300)는 전기 전도성이 우수한 금(Au), 은(Ag), 구리(Cu), 텅스텐(W), 티타늄(Ti), 몰리브덴(Mo), 니켈(Ni), 베릴륨(Be), 알루미늄(Al) 혹은 그 합금을 이용하여 성형될 수 있다. 전술한 바와 같이 전기 전도성이 우수한 상/하부 플런저(200, 300)를 통해서 전기적 신호가 전달되는 것이 바람직하며, 클램프 스프링(400)을 통해서 전기적 신호가 전달되지 않도록 한다.The upper and lower plungers 200 and 300 may be formed of at least one material selected from the group consisting of gold (Au), silver (Ag), copper (Cu), tungsten (W), titanium (Ti), molybdenum (Mo), nickel (Ni) (Be), aluminum (Al), or an alloy thereof. As described above, it is preferable that the electric signal is transmitted through the upper and lower plungers 200 and 300 having excellent electrical conductivity, and the electric signal is not transmitted through the clamp spring 400.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 교차 조립되는 양측 플런저를 틸트 가능한 핀셋 타입 스트립으로 제공하고, 플런저의 레그 사이의 스페이서를 조립 전에는 밑변이 개방된 이등변 삼각형으로 설계하고, 조립 후에는 밑변이 폐쇄된 직사각형으로 설계하여, 조립 전에는 이등변 삼각형의 도피 공간을 통하여 제작 성능을 높이고, 조립 후에는 직사각형의 접촉 공간을 통하여 전기적 접촉 확률을 증진하고 검사 수율을 개선하는 구성을 기술적 사상으로 하고 있음을 알 수 있다. 이와 같은 본 발명의 기본적인 기술적 사상의 범주 내에서, 당업계의 통상의 지식을 가진 자에게 있어서는 다른 많은 변형이 가능할 것이다.As described above, according to the present invention, both side plungers cross-assembled are provided as tiltable tweezers type strips, and the spacer between the legs of the plunger is designed as an isosceles triangle having a base open before assembling, It can be seen that the technical idea is to increase the production performance through the isosceles triangular escape space before assembling and improve the electrical contact probability through the contact space of the rectangle after assembly and to improve the inspection yield . Many other modifications will be possible to those skilled in the art, within the scope of the basic technical idea of the present invention.

200, 300: 패드/볼 플런저 210, 310: 패드/볼 팁
220, 320: 패드/볼 레그 230, 330: 패드/볼 후크
240, 340: 패드/볼 트리거 250, 350: 패드/볼 스토퍼
200, 300: pad / ball plunger 210, 310: pad / ball tip
220, 320: pad / ball leg 230, 330: pad / ball hook
240, 340: pad / ball trigger 250, 350: pad / ball stopper

Claims (10)

반도체 기기와 테스트 장치 사이에서 전기적 검사를 수행하기 위하여, 상기 반도체 기기의 도전 볼과 상기 테스트 장치의 contact 패드를 전기적으로 연결하는 테스트 소켓의 PION 핀에 있어서,
상기 contact 패드와 접촉되는 핀셋 형태의 패드 플런저;
상기 도전 볼과 접촉되고, 상기 패드 플런저와 동일한 형상으로 제공되어 상호 교차(cross) 조립되는 볼 플런저; 및
상기 패드 플런저와 상기 볼 플런저 사이에서 설치되고, 상기 패드 플런저와 상기 볼 플런저를 한편에서는 탄성 지지하고, 다른 한편에서는 상기 패드 플런저와 상기 볼 플런저를 가압 체결하는 클램프 스프링을 포함하고,
상기 패드 플런저는,
상기 contact 패드와 접촉하는 패드 접속 팁;
패드 스페이스를 중심으로 상기 패드 접속 팁의 양측으로 연장되고, 상기 클램프 스프링에 의하여 내측 폭은 일정하나 외측 폭은 점차 감소하는 한 쌍의 패드 레그;
상기 한 쌍의 패드 레그의 단부에서 각각 내측으로 확장되어 홀더를 형성하는 한 쌍의 패드 후크;
상기 한 쌍의 패드 레그 외측으로 돌출되고, 돌출된 만큼 상기 클램프 스프링의 일방 단부에 의하여 상기 가압 체결되는 한 쌍의 패드 트리거; 및
상기 한 쌍의 패드 레그 외측으로 연장되고, 상기 클램프 스프링의 일방 단부에 의하여 상기 탄성 지지되는 한 쌍의 패드 스토퍼를 포함하고,
상기 볼 플런저는,
상기 도전 볼과 접촉하는 볼 접속 팁;
볼 스페이스를 중심으로 상기 볼 접속 팁의 양측으로 연장되고, 상기 클램프 스프링에 의하여 내측 폭은 일정하나 외측 폭은 점차 감소하는 한 쌍의 볼 레그;
상기 한 쌍의 볼 레그의 단부에서 각각 내측으로 확장되어 홀더를 형성함으로써, 상기 한 쌍의 패드 후크가 걸리는 한 쌍의 볼 후크;
상기 한 쌍의 볼 레그 외측으로 돌출되고, 돌출된 만큼 상기 클램프 스프링의 타방 단부에 의하여 상기 가압 체결되는 한 쌍의 볼 트리거; 및
상기 한 쌍의 패드 레그 외측으로 연장되고, 상기 클램프 스프링의 타방 단부에 의하여 상기 탄성 지지되는 한 쌍의 볼 스토퍼를 포함하며,
상기 한 쌍의 볼 레그, 및 상기 한 쌍의 패드 레그는,
상기 클램프 스프링과 체결되기 전에 상기 볼 후크가 상기 패드 스페이스로 혹은 상기 패드 후크가 상기 볼 스페이스로 수월하게 진입할 수 있도록 상기 내측 폭은 점차 커지나 상기 외측 폭은 일정하게 유지됨으로써, MEMS & Press 공정에 의하여 미세 패턴으로 제공되는 상기 PION 핀의 조립이 가능하고,
상기 클램프 스프링과 체결된 후에 상기 볼 후크는 상기 패드 후크에 대하여 혹은 상기 패드 후크는 상기 볼 후크에 대하여 상호 홀더로 기능할 수 있도록, 상기 내측 폭은 일정하며 이로써 상기 한 쌍의 볼 레그와 상기 한 쌍의 패드 레그 사이의 안정적인 접속을 통하여 전기 저항이 낮아지며,
상기 외측 폭은 점차 감소하며 이로써 그 둘레에 위치하는 상기 클램프 스프링에 의한 간섭이 최소화되고 상기 클램프 스프링에 의하여 전기적 신호가 왜곡되지 않고 오직 상기 한 쌍의 볼 레그와 상기 한 쌍의 패드 레그를 통해서만 전기적 신호가 전달되도록 하여 전기적 신호 경로가 최적화되는 구성을 특징으로 하는 테스트 소켓의 PION 핀.
A PION pin of a test socket for electrically connecting a conductive ball of the semiconductor device and a contact pad of the test apparatus to perform an electrical test between the semiconductor device and the test apparatus,
A pad plunger in the form of a tweezer contacting the contact pad;
A ball plunger in contact with the conductive ball, provided in the same shape as the pad plunger and cross-assembled to each other; And
And a clamp spring installed between the pad plunger and the ball plunger and elastically supporting the pad plunger and the ball plunger on one hand and pressing the pad plunger and the ball plunger on the other hand,
The pad plunger includes:
A pad connection tip in contact with the contact pad;
A pair of pad legs extending on both sides of the pad connecting tip around the pad space, the pad width being gradually reduced by the clamp spring while the outer width gradually decreasing;
A pair of pad hooks extending inwardly from ends of the pair of pad legs to form a holder;
A pair of pad triggers protruding outward from the pair of pad legs and press-coupled by the one end of the clamp spring as the protruded pad triggers; And
And a pair of pad stoppers extending outwardly of the pair of pad legs and elastically supported by one ends of the clamp springs,
Wherein the ball plunger includes:
A ball connection tip in contact with the conductive ball;
A pair of ball legs extending to both sides of the ball connection tip around a ball space, the inside width being constant by the clamp spring, and the outside width gradually decreasing;
A pair of ball hooks which are extended inwardly at the ends of the pair of ball legs to form a holder, thereby engaging the pair of pad hooks;
A pair of ball triggers protruding outward from the pair of the bolts and press-coupled by the other end of the clamp spring as the protruded bulge; And
And a pair of ball stoppers extending outwardly of the pair of pad legs and elastically supported by the other end of the clamp spring,
The pair of ball legs, and the pair of pad legs,
The inner width gradually increases so that the ball hook can easily enter into the pad space or the ball space before being fastened to the clamp spring, but the outer width is kept constant, so that the MEMS & It is possible to assemble the PION pin provided in a fine pattern,
The inner width of the ball hook is fixed so that the ball hook can function as a holder with respect to the pad hook or with respect to the ball hook after the clamp spring is engaged with the clamp spring, The electrical resistance is lowered through the stable connection between the pair of pad legs,
The outer width gradually decreases so that the interference by the clamp spring located on the periphery thereof is minimized so that the electric signal is not distorted by the clamp spring and the electrical signal is only electrically transmitted through the pair of ball legs and the pair of pad legs The PION pin of the test socket is characterized in that the electrical signal path is optimized so that the signal is transmitted.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 클램프 스프링과 체결된 후에 상기 외측 폭이 2.6°로 점차 감소함으로써, 상기 클램프 스프링과 상호 간섭을 최소화하여 동작성을 개선하는 것을 특징으로 하는 테스트 소켓의 PION 핀.
The method according to claim 1,
Wherein the outer width gradually decreases to 2.6 after clamping with the clamp spring, thereby minimizing mutual interference with the clamp spring, thereby improving operability.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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