KR101919123B1

KR101919123B1 - Two-fluid slit nozzle

Info

Publication number: KR101919123B1
Application number: KR1020170028191A
Authority: KR
Inventors: 이광재; 이지민; 유재환
Original assignee: 스프레이시스템코리아 유한회사
Priority date: 2017-03-06
Filing date: 2017-03-06
Publication date: 2019-02-08
Also published as: KR20180101799A

Abstract

본 발명은 기체와 액체가 혼합되어 길이 방향으로 분사되는 2유체 슬릿 노즐에 관한 것이다. 본 발명은 기체와 액체 유입구가 형성된 한 쌍의 제1, 제2플레이트 사이에 충돌바가 형성된 내부플레이트가 결합되고, 내부플레이트 양측에 기체와 액체 공급 유로가 형성되어 혼합유체가 분사 슬릿을 통해 분사된다. 분사 슬릿의 간격을 조절하기 위해 제1, 제2플레이트 사이에 가스켓이 결합되고, 분사 슬릿 간격의 미세 조절을 위하여 제2플레이트와 내부 플레이트 사이의 간격을 조절하는 간격 조절나사를 구비하고, 이 간격 조절나사에 의해 간섭된 액체 유동을 균일화하기 위한 충돌바를 내부플레이트에 구비한다. 이로부터 고온 환경에서도 분사 슬릿을 간격을 일정하게 유지하면서도, 혼합유체를 균일하게 분사할 수 있는 효과가 있다.The present invention relates to a two-fluid slit nozzle in which a gas and a liquid are mixed and injected in a longitudinal direction. The present invention is characterized in that an inner plate formed with a collision bar is coupled between a pair of first and second plates having a gas and a liquid inlet formed therein and a gas and a liquid supply passage are formed on both sides of the inner plate so that the mixed fluid is injected through the injection slit . And a gap adjusting screw for adjusting the gap between the second plate and the inner plate for fine adjustment of the jetting slit gap, wherein the gasket is provided between the first and second plates to adjust the gap of the jetting slit, An impingement bar is provided in the inner plate for homogenizing the liquid flow interfered by the adjustment screw. This has the effect of uniformly spraying the mixed fluid while keeping the spray slit constant in the high temperature environment.

Description

Two fluid slit nozzles {TWO-FLUID SLIT NOZZLE}

본 발명은 기체와 액체를 혼합하여 길이 방향으로 분사하는 2유체 슬릿 노즐에 관한 것으로, 보다 상세하게는 외부에서 공급된 기체와 액체를 노즐 내부에서 혼합한 후 슬릿을 통해 길이 방향으로 분사하는 노즐에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a two-fluid slit nozzle for mixing a gas and a liquid in a longitudinal direction and more particularly to a nozzle for mixing a gas and a liquid supplied from the outside in a nozzle, .

통상적으로 2류체 슬릿 노즐은 기체와 액체의 혼합유체를 막형상으로 분사함으로써 대상물 표면을 혼합유체로 처리하는데 이용되는데, 특히 대상물 표면을 세정하는 노즐로 많이 이용된다.Usually, a two-fluid slit nozzle is used to treat a surface of an object with a mixed fluid by spraying a gas-liquid mixed fluid into a film form, and is particularly used as a nozzle for cleaning an object surface.

막형상 분사 미스트를 형성하기 위해서는 복수의 2유체 노즐을 일렬로 나란히 설치하여 사용하고 있었는데, 인접하는 각 노즐로부터 분사되는 스프레이간의 중첩 부분에서의 미립 분무의 분포가 균일해지지 않아, 세정 효과에 얼룩이 발생한다는 문제점이 있었다.In order to form the film-form spray mist, a plurality of two-fluid nozzles are arranged in a row and used. However, the distribution of the fine mist in the overlapping portion between the sprayed nozzles is not uniform, .

종래의 2유체 슬릿 노즐(일본 공개특허 2006-192360)은 적합한 막형상 분사 미스트의 형성을 위해서, 복수의 긴 플레이트를 중첩시켜 슬릿 형상의 노즐을 구성한다. 구체적으로 기체 공급측의 제1플레이트와 액체 공급측의 제2플레이트 사이에 중간 스페이서를 끼우고, 양 플레이트의 길이 방향의 일단면을 따라 슬릿형상 분사 구멍을 설치하고, 중간 스페이서의 일면에 설치한 기체유로와 타면에 설치한 액체유로를, 슬릿형상 분사 구멍으로 통하는 기액 충돌 혼합부에서 45°내지 90°의 각도로 합류시킨다. 그러나 이 노즐은 제1, 제2플레이트와 중간 스페이서를 결합하는 나사가 액체 유로 상에 형성되어 슬릿을 통해 분사되는 혼합유체의 유량이나 압력이 불균일하다는 문제점이 있었다.A conventional two-fluid slit nozzle (Japanese Patent Laid-Open No. 2006-192360) forms a slit-like nozzle by superimposing a plurality of long plates in order to form a suitable film spray mist. Specifically, a middle spacer is sandwiched between a first plate on the gas supply side and a second plate on the liquid supply side, a slit-shaped injection hole is provided along one longitudinal end face of both plates, and a gas- And the liquid flow paths provided on the other surface are joined at an angle of 45 ° to 90 ° in a gas-liquid impingement mixing portion communicating with the slit-shaped injection holes. However, this nozzle has a problem in that the flow amount or pressure of the mixed fluid formed by the screw coupling the first and second plates and the intermediate spacer on the liquid flow path and being injected through the slit is uneven.

한편, 다른 종래의 2유체 슬릿 노즐(일본 공개특허 2007-098310)은, 중첩시킨 한 쌍의 긴 판 형상체의 대향면 사이에, 판형상으로 펼쳐지는 혼합 공간을 설치하고, 판형상체를 통과하여 공급되는 기체와 액체는 각각 챔버와, 공급 플레이트의 다수의 분사 구멍을 통하여 서로 90°의 관계로 합류하여 혼합 공간으로 보내져서 혼합된 후, 혼합 공간에 연통하여 양 판형상체의 길이 방향 일단면에 설치한 슬릿형상 토출구로부터 토출된다. 그러나 이 노즐의 경우 2유체는 혼합 공간에서 액적 중 일부가 합쳐지게 되어 액적의 크기가 뷸균일한 상태로 분사된다는 문제점이 있었다.On the other hand, another conventional two-fluid slit nozzle (Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2007-098310) has a configuration in which a mixing space spreading in a plate shape is provided between opposing surfaces of a pair of long plate- The supplied gas and liquid are mixed with each other through the chamber and a plurality of injection holes of the supply plate at an angle of 90 ° to each other and sent to and mixed with the mixing space and then connected to the longitudinally opposite end faces of the both plate- And is discharged from the slit-shaped discharge port provided. However, in the case of this nozzle, some of the droplets are combined in the mixed space of the two fluid, and the droplet size is sprayed in a uniform state.

또 다른 종래의 2유체 슬릿 노즐(한국 등록특허 10-1010032)은, 긴 판형상의 액체 공급 플레이트와 기체 공급 플레이트 사이에 믹싱 플레이트를 협지하고, 공기 공급 플레이트로부터 공기 오리피스를 통하여 믹싱 플레이트의 타면으로 보내지는 공기와, 믹싱 플레이트를 직각으로 관통하는 액체 오리피스를 통하여 액체 공급 플레이트로부터 보내지는 액체를, 혼합 공간에서 충돌 혼합시킨다. 기액 혼합체는 혼합 공간의 하류단에서 믹싱 플레이트를 관통하는 1차 오리피스, 액체 공급 플레이트측의 충돌 챔버, 분사 슬릿의 상류단에서 믹싱 플레이트를 관통하는 2차 오리피스 및 분사 슬릿을 통과하는 사이에, 충돌, 확장 및 압축에 의해 균질화 및 미립화되고, 가속되어 분사 슬릿으로부터 분사된다. 그러나 이 노즐의 경우 'U'자 형상의 혼합챔버가 복수개 형성되어 각 플레이트를 체결하는 나사를 우회함으로써 액적의 균질화는 향상되지만, 복수개의 혼합챔버 각각에 연결되는 1차 오리피스, 2차 오리피스, 최종 챔버 등으로 이루어진 복잡한 유로를 통과함으로써 혼합유체의 분사압력을 높이는데 있어 제한이 따른다는 문제점이 있었다.Another conventional two-fluid slit nozzle (Korean Patent No. 10-1010032) sandwiches a mixing plate between a long plate-shaped liquid supply plate and a gas supply plate, and sends it from the air supply plate to the other side of the mixing plate through an air orifice Mixes the air and the liquid sent from the liquid supply plate through the liquid orifices passing through the mixing plate at right angles in a mixing space. The gas-liquid mixture is introduced into the mixing chamber through a first orifice passing through the mixing plate at the downstream end of the mixing space, a collision chamber at the liquid supply plate side, a second orifice passing through the mixing plate at the upstream end of the injection slit, , Homogenized and atomized by expansion and compression, accelerated and injected from the injection slit. However, in the case of this nozzle, a plurality of U-shaped mixing chambers are formed to bypass the screws for fastening the plates, thereby improving the homogeneity of the droplets. However, since the primary orifice, the secondary orifice, A chamber, and the like, thereby increasing the injection pressure of the mixed fluid.

또 다른 종래의 2유체 슬릿 노즐(한국 등록특허 10-1363186)은, 한 쌍의 긴 블록 사이의 수용 공간 내에 수용된 혼합 블록과, 혼합 블록의 혼합 공간을 향하는 기체 분사구 및 액체 분사구와, 한 쌍의 블록 사이에 형성되고, 또한 혼합 미스트를 토출하기 위한 슬릿형 토출구와, 분사구에 인접하는 상류측에 형성된 챔버와, 각 챔버에 연속되어 있는 기체 공급로 및 액체 공급로와, 블록 사이를 밀봉하기 위한 밀봉 수단과, 블록을 고정하기 위한 고정 수단을 구비한다. 그라나 이 노즐은 고온의 환경에서 사용하거나, 고압의 유체를 장시간 분사하는 경우 블록의 형상 변형으로 인하여 슬릿 간격이 불균일해진다는 문제점이 있어, 슬릿 간격을 유지하기 위한 별도의 기구적 수단이 요구된다.Another conventional two-fluid slit nozzle (Korean Patent No. 10-1363186) includes a mixing block accommodated in a space between a pair of long blocks, a gas ejection port and a liquid ejection port toward the mixing space of the mixing block, A slit-shaped discharge port formed between the blocks for discharging the mixed mist, a chamber formed on the upstream side adjacent to the injection port, a gas supply path and a liquid supply path continuous to the respective chambers, Sealing means, and fixing means for fixing the block. The granular nozzle has a problem that when the nozzle is used in a high temperature environment or when a high-pressure fluid is injected for a long time, the slit interval becomes uneven due to the shape deformation of the block, a separate mechanical means for maintaining the slit interval is required.

한편, 상술한 2유체 슬릿 노즐들은 설정된 분사 압력, 분사 유량, 액적의 크기 등에 맞도록 블록, 플레이트 등을 개별적으로 설계, 가공하여야 하는데, 이는 원가 상승의 큰 요인이 되어 왔다.On the other hand, the above-mentioned two fluid slit nozzles are required to individually design and process blocks, plates, and the like so as to meet the set injection pressure, injection flow rate, droplet size, and the like.

상술한 종래 기술의 문제를 해결하기 위한 본 발명은, 혼합유체가 분사되는 길이 방향의 분사 슬릿 간격을 균일하게 유지하는 기구적 구성을 포함하면서, 이러한 기구적 구성으로 인해 분사 슬릿으로 공급되는 유체의 불균일성을 해소할 수 있는 2유체 슬릿 노즐을 제공함에 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention for solving the above-mentioned problems of the prior art is to provide a spraying apparatus for spraying mixed fluid, which comprises a mechanical structure for uniformly maintaining a longitudinal spraying slit interval in which a mixed fluid is sprayed, And it is an object of the present invention to provide a two-fluid slit nozzle capable of eliminating nonuniformity.

또한 본 발명은 한 쌍의 플레이트를 공용으로 하면서, 나머지 부품의 치수를 조절함으로써 수요자가 원하는 분사 압력, 분사 유량, 액적의 크기 등을 조절할 수 있는 2유체 슬릿 노즐을 제공함에 그 목적이 있다.Another object of the present invention is to provide a two-fluid slit nozzle capable of adjusting a spray pressure, a spray flow rate, and a size of a droplet desired by a user by adjusting the dimensions of the remaining parts while sharing a pair of plates.

상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 2유체 슬릿 노즐은, 기체 유입구(11)를 구비하며 길이 방향으로 형성되는 제1플레이트(10); 액체 유입구(21)를 구비하며 상기 제1플레이트(10)와 대향하여 결합되는 제2플레이트(20); 상기 제1, 제2플레이트(10, 20) 중 어느 하나의 내측에 결합되어, 상기 제1플레이트(10) 측에는 상기 기체 유입구(11)와 연통되는 제1챔버(12)와 이와 연통되는 기체 공급 유로(13)를 형성함과 동시에 상기 제2플레이트(20) 측에는 상기 액체 유입구(21)와 연통되는 제2챔버(22)와 이에 연통되는 액체 공급 유로(23)를 형성하는 내부플레이트(30); 및 상기 제1, 제2플레이트(10, 20)의 결합면 사이에 삽입되어 상기 제1, 제2플레이트(10, 20)가 결합된 하단 사이에 상기 기체 공급 유로(13)와 상기 액체 공급 유로(23)가 합류되어 혼합유체를 하방으로 분사하는 길이 방향의 분사 슬릿(S)을 형성하는 가스켓(40); 상기 분사 슬릿(S)의 간격을 일정하게 유지하도록 상기 제1, 제2플레이트(10, 20)의 길이 방향으로 따라 결합되는 복수개의 간격 조절나사(61);를 포함하고, 상기 간격 조절나사(61)가 결합되는 위치 하부에 해당하는 상기 제2플레이트(20) 내측에 길이 방향의 충돌바 삽입홈(24)이 형성되고, 상기 내부플레이트(30) 하부에 상기 충돌바 삽입홈(24)에 삽입되는 충돌바(50)가 결합되어, 상기 액체 공급 유로(23)가 상기 충돌바(50)와 상기 충돌바 삽입홈(24) 사이의 공간을 따라 형성된다.The two-fluid slit nozzle of the present invention for solving the above-mentioned problems comprises a first plate (10) having a gas inlet (11) and formed in the longitudinal direction; A second plate (20) having a liquid inlet (21) and facing the first plate (10); A first chamber 12 communicating with the gas inlet 11 and a second chamber 12 communicating with the gas inlet 11 are provided on the first plate 10 side in an inside of any one of the first and second plates 10 and 20, An inner plate 30 forming a channel 13 and forming a second chamber 22 communicating with the liquid inlet 21 and a liquid supply channel 23 communicating with the liquid inlet 21 is formed on the second plate 20, ; And between the lower ends of the first and second plates (10, 20), which are inserted between the engaging surfaces of the first and second plates (10, 20) A gasket (40) for forming a longitudinal jetting slit (S) in which the jetting nozzles (23) are joined and jetting the mixed fluid downward; And a plurality of spacing adjusting screws (61) coupled along the longitudinal direction of the first and second plates (10, 20) so as to keep the spacing of the spraying slits (S) constant, A longitudinal impact bar insertion groove 24 is formed inside the second plate 20 corresponding to a lower portion of the inner plate 30 and the impact plate insertion groove 24 is formed below the inner plate 30, The inserted impingement bar 50 is engaged and the liquid supply passage 23 is formed along the space between the impingement bar 50 and the impingement bar insertion groove 24. [

바람직하게, 상기 제1, 제2플레이트(10, 20) 중 어느 하나에 상기 내부플레이트(30)를 체결하는 내부 체결나사(62, 63); 상기 내부 체결나사(62, 63)가 체결된 상태에서, 상기 제1, 제2플레이트(10, 20)의 결합면 사이에 가스켓(40)을 삽입한 후 상기 제1, 제2플레이트(10, 20)를 체결하는 외부 체결나사(60);를 포함한다.Internal fastening screws (62, 63) for fastening the inner plate (30) to any one of the first and second plates (10, 20); The gasket 40 is inserted between the engaging surfaces of the first and second plates 10 and 20 in a state where the internal fastening screws 62 and 63 are engaged and then the first and second plates 10 and 20, 20 which are fastened together with a fastening screw.

바람직하게, 상기 기체 공급 유로(13)는, 상기 제1챔버(12)와 수직 하방으로 연결되는 수직 유로(13a); 상기 수직 유로(13a)와 수평 방향으로 연결되는 수평 유로(13b); 및 상기 수평 유로(13b)와 연결되며, 상기 충돌바(50) 하부의 액체 공급 유로(23)와 경사지게 합류되는 경사 유로(13c);로 이루어진다.Preferably, the gas supply passage 13 includes a vertical flow passage 13a vertically downwardly connected to the first chamber 12; A horizontal flow path 13b connected to the vertical flow path 13a in a horizontal direction; And an inclined flow path 13c connected to the horizontal flow path 13b and inclinedly joined to the liquid supply flow path 23 below the collision bar 50. [

본 발명의 2유체 슬릿 노즐에 의하면, 분사 슬릿의 간격을 일정하게 유지하는 간격 조절나사의 간섭에 의하여 불균일해진 유체가 간격 조절나사 하부의 충돌바와 충돌 및 회류하면서 균일한 상태를 유지함으로써 최종 분사되는 혼합유체의 압력과 유량을 일정하게 유지할 수 있다.According to the two-fluid slit nozzle of the present invention, the fluid which is uneven due to the interference of the gap adjusting screw that keeps the gap of the spray slit constant is collided with the crash bar under the gap adjusting screw and maintained in a uniform state, The pressure and the flow rate of the mixed fluid can be kept constant.

또한 본 발명에 의하면, 동일한 제1, 제2플레이트를 사용하면서 가스켓의 두께와 내부 플레이트의 치수를 조정함으로써 수요자가 원하는 분사 압력과 분사 유량의 조정이 가능하므로 생산 원가를 크게 절감할 수 있다.Further, according to the present invention, since the thickness of the gasket and the dimension of the inner plate are adjusted while using the same first and second plates, it is possible to adjust the injection pressure and the injection flow rate desired by the customer, thereby greatly reducing the production cost.

또한 본 발명에 의하면, 고압 또는 고온의 환경에서 압력변형이나 열변형에 의한 분사 슬릿 간격의 변형에 대응할 수 있도록 간격 조절나사를 사용 환경에 따라 조절하여 사용할 수 있다.Further, according to the present invention, the gap adjusting screw can be adjusted according to the use environment so as to cope with deformation of the spray slit interval due to pressure deformation or thermal deformation in an environment of high pressure or high temperature.

도 1은 본 발명에 따른 2유체 슬릿 노즐의 사시도.
도 2는 도 1에서 제2플레이트를 나타내는 정면도.
도 3은 도 1의 분해 상태를 나타내는 분해도.
도 4는 도 2의 A-A 단면도.
도 5는 도2의 B-B 단면도..1 is a perspective view of a two-fluid slit nozzle according to the present invention.
Fig. 2 is a front view showing the second plate in Fig. 1; Fig.
3 is an exploded view showing an exploded state of Fig.
4 is a sectional view taken along the line AA of Fig.
5 is a sectional view taken along the line BB of Fig.

이하에서는 첨부된 도 1 내지 5을 참고하여 본 발명의 실시예에 대하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 5 attached hereto.

본 발명의 구성은 기본적으로, 도 3과 같이, 한 쌍으로 결합되어 하단에 분사 슬릿(S)이 형성되는 제1, 제2플레이트(10, 20)와, 이들의 내부에 결합되어 기체와 액체의 유로를 형성하는 내부플레이트(30)와, 이들의 결합면에 결합되어 분사 슬릿(S)의 간격을 형성하는 가스켓(40)으로 이루어진다.As shown in FIG. 3, the present invention basically comprises first and second plates 10 and 20, which are coupled to each other in a pair to form a spray slit S at a lower end thereof, And a gasket 40 coupled to the mating surfaces of the inner plate 30 and the spray slit S to form a gap between the spray slits S. As shown in Fig.

제1플레이트(10)는 길이 방향으로 형성되며 복수개의 기체 유입구(11)를 구비한다. 기체 유입구(10)는 도 1과 같이 제1플레이트(10)의 상단에 등간격으로 설치되는데, 필요에 따라 제1플레이트(10)의 외측면에 형성할 수도 있다.The first plate 10 is formed in the longitudinal direction and has a plurality of gas inlets 11. As shown in FIG. 1, the gas inlet 10 is provided at equal intervals on the upper end of the first plate 10, and may be formed on the outer surface of the first plate 10, if necessary.

제2플레이트(20)는 제1플레이트(10)와 대향하여 결합되며, 복수개의 액체 유입구(21)를 구비한다. 액체 유입구는 도 1과 같이 제2플레이트(20)의 외측면에 등간격으로 설치되는데, 필요에 따라 제2플레이트(20)의 상단에 형성할 수도 있다.The second plate 20 is coupled opposite the first plate 10 and has a plurality of liquid inlets 21. As shown in FIG. 1, the liquid inlet is provided at equal intervals on the outer surface of the second plate 20, and may be formed at the upper end of the second plate 20, if necessary.

본 발명의 노즐이 반도체 또는 디스플레이 기판의 세정에 사용되는 경우, 기체 유입구(11)를 통해 공기를 공급하고, 액체 유입구(21)를 통해 초순수(DI WATER)를 공급할 수 있는데, 필요에 따라 기체 또는 액체의 종류는 변경이 가능하다.When the nozzle of the present invention is used for cleaning a semiconductor or a display substrate, air can be supplied through the gas inlet 11 and DI water can be supplied through the liquid inlet 21, The kind of liquid can be changed.

내부플레이트(30)는 제1, 제2플레이트(10, 20) 중 어느 하나의 내측에 결합될 수 있다. 도 4는 제1플레이트(10)의 내측에 결합된 실시예를 나타낸다. 내부플레이트(30)를 기준으로 제1제1플레이트(10) 측에는 기체 유입구(11)와 연통되는 제1챔버(12)와, 이와 연통되는 기체 공급 유로(13)가 형성된다. 그리고 제2플레이트(20) 측에는 액체 유입구(21)와 연통되는 제2챔버(22)와, 이에 연통되는 액체 공급 유로(23)를 형성된다.The inner plate 30 may be coupled to the inner side of any one of the first and second plates 10 and 20. Fig. 4 shows an embodiment coupled to the inside of the first plate 10. Fig. A first chamber 12 communicating with the gas inlet 11 and a gas supply passage 13 communicating with the first chamber 12 are formed on the side of the first first plate 10 with respect to the inner plate 30. A second chamber 22 communicating with the liquid inlet 21 and a liquid supply passage 23 communicating with the second chamber 22 are formed on the second plate 20 side.

제1챔버(12)는, 도 5와 같이, 제1플레이트(10)의 내측면에 형성된 홈과, 내부플레이트(30)의 일측면에 형성된 홈의 개구부가 맞대어져 내부공간이 형성되며, 기체 유입구(11)과 연결하는 연결 유로를 구비할 수 있다.5, the first chamber 12 has an inner space defined by the grooves formed on the inner surface of the first plate 10 and the grooves formed on one side surface of the inner plate 30, And a connection channel for connecting the inlet 11 to the inlet 11.

제2챔버(22)는, 도 5와 같이, 제2플레이트(20)의 내측면에 홈으로 형성된 공간이며, 액체 유입구(21)와 직접 연결할 수 있다.5, the second chamber 22 is formed as a groove on the inner surface of the second plate 20 and can be directly connected to the liquid inlet 21.

가스켓(40)은, 도 3에 도시된 바와 같이, 제1, 제2플레이트(10, 20)의 결합면에 해당하는 하부를 제외한 테두리부에 삽입된다. 이 가스켓(40)은 제1, 제2플레이트(10, 20)가 결합된 하단 사이에 기체 공급 유로(13)와 액체 공급 유로(23)가 합류되어 혼합유체를 하방으로 분사하는 길이 방향의 분사 슬릿(S)을 형성하게 된다. 이러한 구성상 특징으로 인하여 가스켓(40)의 두께에 따라 분사 슬릿(S)의 간격 조절이 가능함에 따라, 동일한 제1, 제2플레이트 및 내부플레이트(30)를 이용하여 분사 압력, 분사 유량 등의 조절이 가능하다.As shown in Fig. 3, the gasket 40 is inserted into the rim except for the lower portion corresponding to the mating surfaces of the first and second plates 10, 20. The gasket 40 is formed by joining the gas supply passage 13 and the liquid supply passage 23 between the lower ends of the first and second plates 10 and 20, Thereby forming a slit S. Since the spacing of the spray slits S can be adjusted according to the thickness of the gasket 40, the same first and second plates and the inner plate 30 can be used to adjust the spray pressure, Adjustable.

그리고 고압 유체 공급시에도 분사 슬릿(S)의 간격이 일정하게 유지되도록, 제1, 제2플레이트(10, 20)의 길이 방향으로 따라 복수개의 간격 조절나사(61)가 설치된다. 이 간격 조절나사(61)는 제1, 제2플레이트(10, 20) 중 어느 하나의 외측으로부터 다른 하나의 내측을 관통하여 체결되는데, 본 발명의 실시예는 도 4와 같이 제2플레이트(20)의 외측을 관통하여 제1플레이트(10)의 내측에 체결되며, 그 반대로 체결하는 것도 가능하다.A plurality of spacing adjusting screws 61 are provided along the longitudinal direction of the first and second plates 10 and 20 so that the intervals of the spray slits S are kept constant even when high-pressure fluid is supplied. The gap adjusting screw 61 is fastened through the other of the first and second plates 10 and 20 from the outside to the inside of the other plate. , And is fastened to the inside of the first plate 10 and fastened in the opposite direction.

따라서 노즐 제작시 분사 슬릿(S)의 간격에 부합하는 두께의 가스켓(40)을 선택하고, 간격 조절나사(61)를 이용하여 분사 슬릿(S) 간격을 정밀하게 조절할 수 있다. 이러한 기술적인 특징은, 열팽창으로 인하여 분사 슬릿(S)의 간격 변동이 발생하는 고온 환경에서 열팽창율에 대응하여 간격 조절나사(61)의 미세 조절이 가능하여 매우 유용하다.Therefore, it is possible to precisely control the gap of the spray slit S by selecting the gasket 40 having a thickness corresponding to the gap of the spray slits S during the manufacture of the nozzle, and by using the gap adjusting screw 61. This technical feature is very useful because fine adjustment of the gap adjusting screw 61 is possible in response to the thermal expansion rate in a high-temperature environment in which the spacing of the spray slits S occurs due to thermal expansion.

그런데 상술한 간격 조절나사(61)는 유로를 측방에서 관통함에 따라 해당 부분에서 유체 유동을 간섭하게 되므로, 분사되는 혼합유체가 분사되는 길이 방향을 따라 불균일해진다는 단점을 갖는다. 이러한 단점을 해소하기 위한 구성으로서 본 발명은 충돌바(31)를 구비한다.However, since the above-described gap adjusting screw 61 interferes with the fluid flow at the corresponding portion as it passes through the flow path laterally, it has a disadvantage that it becomes non-uniform along the longitudinal direction in which the mixed fluid to be injected is injected. In order to overcome such disadvantages, the present invention has a collision bar (31).

구체적으로, 간격 조절나사(61)가 결합되는 위치 하부에 해당하는 상기 제2플레이트(20) 내측에 길이 방향의 충돌바 삽입홈(24)이 형성하고, 내부플레이트(30) 하부에 상기 충돌바 삽입홈(24)에 삽입되는 충돌바(50)를 결합한다. 이에 의해 액체 공급 유로(23)는 충돌바(50)와 충돌바 삽입홈(24) 사이의 공간을 따라 형성된다.Specifically, a lengthwise impingement bar insertion groove 24 is formed inside the second plate 20 corresponding to the lower part of the position where the interval adjusting screw 61 is engaged, Engage the impact bar (50) inserted into the insertion groove (24). Whereby the liquid supply passage 23 is formed along the space between the impingement bar 50 and the impingement bar insertion groove 24.

충돌바(50)의 두께는 노즐의 분사 특성에 따라 결정되며, 내부플레이트(30) 내측 하부에 길이 방향으로 형성된 충돌바 결합홈(31)에 결합된다. 노즐 제작시에는 내부플레이트(30)의 표면을 연마한 후 충돌바(50)를 충돌바 결합홈(31)에 용접하여 결합한다.The thickness of the collision bar 50 is determined according to the jetting characteristics of the nozzle and is coupled to the collision bar engaging groove 31 formed in the longitudinal direction at the lower inner side of the inner plate 30. In manufacturing the nozzle, the surface of the inner plate (30) is polished and the impact bar (50) is welded to the impingement bar coupling groove (31).

따라서 제2챔버(20)를 통해 수직 하방으로 공급되는 액체는 도 5와 같이, 충돌바(50)의 상부면에 1차 충돌한 후, 측면과 하부면을 따라 이동하면서 액체의 압력과 유량이 균일해진 후 수직 하방으로 공급되어, 기체 공급 유로(13)를 통해 이동하는 기체와 합류하게 된다.Accordingly, the liquid supplied vertically downward through the second chamber 20 first collides with the upper surface of the collision bar 50 as shown in FIG. 5, and then moves along the side surface and the lower surface, And is then supplied vertically downward to join with the gas moving through the gas supply passage 13.

기체 공급 유로(13)는 제1챔버(12) 수직 하방으로 연결된 수직 유로(13a)와, 내측으로 절곡된 수평 유로(13b) 및 내측 하방으로 경사진 경사 유로(13c)로 이루어진다. 따라서 제1챔버(12)를 통해 공급된 기체는 수직 유로(13a)에서 1차 충돌한 후, 수평 유로(13b)를 거쳐 유로의 폭이 좁은 경사 유로(13c)를 통해 유속이 증가한 상태에서 상술한 충돌바(50) 둘레 공간을 따라 이동한 액체와 충돌하면서 균일한 크기를 갖는 액적의 혼합유체를 생성하고, 생성된 혼합유체는 분사 슬릿(S)을 통해 분사된다.The gas supply passage 13 is composed of a vertical passage 13a connected vertically downward of the first chamber 12, a horizontal passage 13b bent inward and a tilted passage 13c inclined downward inward. Therefore, the gas supplied through the first chamber 12 is subjected to the first collision with the vertical flow path 13a, and then, through the horizontal flow path 13b, the flow rate of the gas is increased through the inclined flow path 13c, And collides with the liquid moved along the perimeter space of one collision bar 50 to generate a mixed fluid of droplets having a uniform size, and the resulting mixed fluid is injected through the injection slit S.

이때 경사 유로(13c)는 공급된 기체가 액체 공급 유로(23)로 역류하는 것을 방지하는 역할을 한다.At this time, the inclined passage 13c serves to prevent the supplied gas from flowing back to the liquid supply passage 23.

상술한 본 발명의 2유체 슬릿 노즐의 조립 과정을 도 3을 참조하여 설명하면, 먼저 제1플레이트(10)와 충돌바(50)가 결합된 내부플레이트(30)의 상, 하부를 복수의 내부 체결나사(62, 63)를 이용하여 체결한다. 그 후 제1, 제2플레이트(10, 20)의 결합면 사이에 가스켓(40)을 삽입한 상태에서 복수개의 외부 체결나사(60)를 이용하여 제1, 제2플레이트(10, 20)를 체결한다. 마지막으로, 제2플레이트(20)와 내부플레이트(30)에 복수개의 간격 조절나사(61)를 결합하면서 분사 슬릿(S)의 간격을 미세 조절한다.3, the upper and lower portions of the inner plate 30, to which the first plate 10 and the impingement bar 50 are coupled, Tighten using fastening screws (62, 63). The first and second plates 10 and 20 are then attached to the first and second plates 10 and 20 by a plurality of external fastening screws 60 in a state where the gasket 40 is inserted between the engaging surfaces of the first and second plates 10 and 20, Conclude. Finally, the spacing of the spray slits S is finely adjusted while a plurality of spacing adjusting screws 61 are engaged with the second plate 20 and the inner plate 30.

이상에서는 본 발명의 구체적인 실시예를 중심으로 설명하였으나, 본 발명의 권리범위는 그 실시예에 기재된 개개의 구성에 의하여 한정되는 것은 아니며 본 발명의 기술적 사상을 중심으로 그 변형 내지 균등의 구성에 미칠 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the scope of the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but on the contrary, will be.

10 : 제1플레이트 11 : 기체 유입구
12 : 제1챔버 13 : 기체 공급 유로
20 : 제2플레이트 21 : 액체 유입구
22 : 제2챔버 23 : 액체 공급 유로
24 : 충돌바 삽입홈 30 : 내부 플레이트
31 : 충돌바 결합홈 40 : 가스켓
50 : 충돌바 S : 분사 슬릿
60 : 외부 체결나사 61 : 간격 조절나사
62, 63 : 내부 체결나사10: first plate 11: gas inlet
12: first chamber 13: gas supply passage
20: second plate 21: liquid inlet
22: second chamber 23: liquid supply channel
24: impingement bar insertion groove 30: inner plate
31: collision bar coupling groove 40: gasket
50: collision bar S: injection slit
60: External fastening screw 61: Spacing screw
62, 63: Internal fastening screw

Claims

A first plate (10) having a gas inlet (11) and formed in a longitudinal direction;
A second plate (20) having a liquid inlet (21) and facing the first plate (10);
A first chamber 12 communicating with the gas inlet 11 and a second chamber 12 communicating with the gas inlet 11 are provided on the first plate 10 side in the inside of any one of the first and second plates 10 and 20, An inner plate 30 forming a channel 13 and forming a second chamber 22 communicating with the liquid inlet 21 and a liquid supply channel 23 communicating with the liquid inlet 21 is formed on the second plate 20, ; And
The first and second plates 10 and 20 are inserted between the engaging surfaces of the first and second plates 10 and 20 so that the gas supply passage 13 and the liquid supply passage 23) are joined to form a longitudinal jetting slit (S) for spraying the mixed fluid downward;
And a plurality of spacing adjusting screws (61) coupled along the longitudinal direction of the first and second plates (10, 20) to keep the spacing of the spray slits (S) constant,
The gap of the injection slit S is formed by the thickness of the gasket 40,
An impact bar insertion groove 24 in the longitudinal direction is formed inside the second plate 20 corresponding to the lower portion of the position where the interval adjusting screw 61 is engaged,
A collision bar 50 inserted into the collision bar insertion groove 24 is coupled to the lower portion of the inner plate 30 so that the liquid supply passage 23 is positioned between the collision bar 50 and the collision bar insertion groove 24 And a flow path formed along the space between the first and second flow paths,
The liquid moving through the liquid supply passage 23 collides with the impingement bar 50 and the impingement bar insertion groove 24 and flows through the gas supply passage 13 after the pressure and the flow rate become uniform. And then,
The gas supply passage (13)
A vertical channel 13a vertically downwardly connected to the first chamber 12;
A horizontal flow path 13b connected to the vertical flow path 13a in a horizontal direction; And
The inclined flow path 13c which is connected to the horizontal flow path 13b and obliquely merges with the liquid supply flow path 23 below the collision bar 50 to prevent the gas supplied to the liquid supply flow path 23 from flowing backward ). &Lt; / RTI >

The method according to claim 1,
Internal fastening screws (62, 63) for fastening the inner plate (30) to any one of the first and second plates (10, 20);
The gasket 40 is inserted between the engaging surfaces of the first and second plates 10 and 20 in a state where the internal fastening screws 62 and 63 are engaged and then the first and second plates 10 and 20, 20. The two-fluid slit nozzle according to claim 1,

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