KR101731259B1

KR101731259B1 - 디스플레이 패널 제조용 분리장치

Info

Publication number: KR101731259B1
Application number: KR1020150173490A
Authority: KR
Inventors: 채희병; 오창익; 정창용
Original assignee: 주식회사 에스에프에이
Priority date: 2015-12-07
Filing date: 2015-12-07
Publication date: 2017-04-28

Abstract

디스플레이 패널 제조용 분리장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널 제조용 분리장치는, 디스플레이 패널의 적어도 일면에 캐리어가 합착된 대상물이 흡착되어 안착되되, 캐리어의 일면이 외부로 노출되는 스테이지유닛; 및 스테이지유닛에 이격되게 배치되며, 캐리어의 일면을 흡착한 상태에서 캐리어를 높이방향으로 상승시켜 캐리어와 디스플레이 패널을 상호 분리하는 분리유닛을 포함한다.

Description

디스플레이 패널 제조용 분리장치{SEPARATING APPARATUS FOR MANUFACTURING DISPLAY PANEL}

본 발명은, 디스플레이 패널 제조용 분리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 디스플레이 패널과 캐리어가 합착된 대상물을 디스플레이 패널과 캐리어로 효율적으로 분리할 수 있는 디스플레이 패널 제조용 분리장치에 관한 것이다.

최근 들어 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 디스플레이 패널이 등장하기 시작하였다.

디스플레이 패널은 TV나 컴퓨터 모니터 등의 디스플레이(Display)로 종래 주로 사용된 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치이며, LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diodes), AMOLED(Active Matrix Organic Light Emitting Diodes), FED(Field Emission Display) 등 그 종류가 다양하다.

도 1은 일반적인 LCD의 구성을 개략적으로 나타내는 구조도이고, 도 2는 일반적인 디스플레이 패널의 제조공정을 나타내는 도면이다.

예를들어, 도 1에서 도시한 바와 같이, 디스플레이 패널이 LCD인 경우에 LCD(10)는 백라이트 유닛(11)의 상부에 바텀 편광판(bottom polarizer,12), 박막 트랜지스터(TFT,14)가 증착된 TFT 글라스 기판(13), 리퀴드 크리스탈 층(liquid crystal layer,15), 칼라 필터(16)가 배면에 증착된 필터 글라스 기판(17), 탑 편광판(top polarizer,18) 및 커버 글라스(19) 등의 각각의 구성요소가 적층되어 형성된다.

전술한 LCD(10)는 백라이트 유닛(11)으로부터 커버 글라스(19)에 이르기까지 각각의 구성요소를 순차로 하나씩 적층하여 형성할 수 있으나, 작업공정 효율을 향상시키기 위해 예를들어 도 2(a)와 같이 별개로 제1 캐리어(carrier,20)에 순차로 백라이트 유닛(11)과 바텀 편광판(12)과 박막 트랜지스터(14)가 증착되는 TFT 글라스 기판(13)과 리퀴드 크리스탈 층(15)을 형성하고, 또한 제2 캐리어(carrier,30)에 순차로 커버 글라스(19)와 탑 편광판(18)과 칼라 필터(16)가 증착된 필터 글라스 기판(17)을 형성한다.

그리고, 도 2(b)와 같이 제1 캐리어(20)에 형성된 LCD(10)의 일부 구성요소와 제2 캐리어(30)에 형성된 LCD(10)의 나머지 구성요소를 상호 합착하여 디스플레이 패널인 LCD(10)을 형성한다.

그리고, 도 2(c)와 같이 제2 캐리어(30)를 LCD(10)로부터 분리하고 이어서 도 2(d)와 같이 제1 캐리어(20)를 LCD(10)로부터 분리한다.

한편, 도 2(c) 및 도 2(d)에서 도시한 바와 같이 LCD(10)에 합착된 제1 캐리어(20)와 제2 캐리어(30)를 분리함에 있어서, 제1 캐리어(20) 및 제2 캐리어(30) 전체를 각각 LCD(10)로부터 한번에 분리하는 것이 용이하지 않으므로 먼저 제2 캐리어(30)을 LCD(10)로부터 1차 분리하고 이후 2차로 나머지 제1 캐리어(20)를 분리한다. 반대로 제1 캐리어(20)를 LCD(10)로부터 1차 분리하고 이후 2차로 나머지 제2 캐리어(30)를 분리할 수도 있다.

그러나, 종래에는 제1 캐리어(20) 및 제2 캐리어(30)를 분리함에 있어서, 제1 캐리어(20) 및 제2 캐리어(30)를 테이프로 접착하여 분리하거나 회전 진공롤 또는 나이프(knife) 등의 기계적 접촉으로 분리하였으나, 분리공정 중에 LCD(10)가 손상되어 수율이 저하되는 문제점이 있다.

따라서, 디스플레이 패널인 LCD(10) 등을 제조함에 있어서, 제1 캐리어(20) 및 제2 캐리어를 LCD(10)로부터 분리공정 중 LCD(10)가 손상되는 것을 방지할 수 있으며 또한 작업효율을 향상시킬 수 있는 새로운 대안이 요구된다.

대한민국 공개특허 10-2006-0033887 (2006.04.20. 공개)

따라서 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 디스플레이 패널과 캐리어가 합착된 대상물을 디스플레이 패널과 캐리어로 분리함에 있어서, 디스플레이 패널이 손상되는 것을 방지하며 작업공정의 효율성을 향상시킬 수 있는 디스플레이 패널 제조용 분리장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 디스플레이 패널의 적어도 일면에 캐리어가 합착된 대상물이 흡착되어 안착되되, 상기 캐리어의 일면이 외부로 노출되는 스테이지유닛; 및 상기 스테이지유닛에 이격되게 배치되며, 상기 캐리어의 일면을 흡착한 상태에서 상기 캐리어를 높이방향으로 상승시켜 상기 캐리어와 상기 디스플레이 패널을 상호 분리하는 분리유닛을 포함하는 디스플레이 패널 제조용 분리장치가 제공될 수 있다.

상기 분리유닛은, 본체부; 및 상기 본체부에 마련되며 상기 캐리어의 일면을 흡착하는 캐리어 흡착부를 포함하며, 상기 분리유닛은, 상기 캐리어의 일측 에지영역을 상기 디스플레이 패널로부터 분리한 후 상기 캐리어 흡착부를 상기 캐리어의 일측 에지영역에서 일측 에지영역에 대향되는 타측 에지영역으로 순차로 상승시켜 상기 캐리어와 상기 디스플레이 패널로을 분리하거나, 상기 캐리어의 양측 에지영역을 상기 디스플레이 패널로부터 분리한 후 상기 캐리어 흡착부를 상기 스테이지유닛에 나란한 상태에서 높이방향으로 상승시켜 상기 캐리어와 상기 디스플레이 패널을 분리할 수 있다.

상기 캐리어 흡착부는, 상기 캐리어의 길이방향 및 폭방향을 따라 배치된 복수의 흡착부재; 및 상기 본체부에 연결되며 상기 복수의 흡착부재를 지지하는 지지프레임을 포함할 수 있다.

상기 캐리어의 폭방향을 따라 배치된 상기 복수의 흡착부재는 단위 흡착부재를 구성하며, 상기 단위 흡착부재는 상기 캐리어의 길이방향을 따라 복수 개 배치될 수 있다.

상기 분리유닛은, 상기 지지프레임에 설치되되, 상기 캐리어를 상기 디스플레이 패널로부터 분리하도록 상기 단위 흡착부재를 이루는 복수의 상기 흡착부재를 개별 또는 동시에 높이방향으로 승강시키는 흡착부재 승강부를 더 포함할 수 있다.

상기 흡착부재 승강부는, 상기 캐리어의 에지영역을 흡착하는 상기 단위 흡착부재를 이루는 복수의 상기 흡착부재에 각각 연결되어 복수의 상기 흡착부재를 개별 또는 동시에 높이방향으로 승강시키는 복수의 실린더부재; 및 상기 지지프레임에 회전가능하게 결합되되, 복수의 상기 실린더부재를 지지하는 지지브라켓을 포함할 수 있다.

상기 지지브라켓은, 상기 지지프레임에 회전가능하게 힌지결합될 수 있다.

상기 분리유닛은, 상기 본체부와 상기 캐리어 흡착부 사이에 마련되되, 상기 본체부와 상기 캐리어 흡착부에 각각 연결되어 상기 캐리어 흡착부를 상기 본체부에 대해 상대 회전가능하게 하는 회전부를 더 포함하며, 상기 분리유닛은, 상기 캐리어 흡착부를 상기 본체부에 대해 소정각도 회전시키고 상기 캐리어 흡착부를 상기 캐리어의 일측 코너영역에서 일측 코너영역에 대향되는 타측 코너영역으로 순차로 상승시켜 상기 캐리어를 상기 디스플레이 패널로부터 순차로 분리할 수 있다.

상기 분리유닛은, 상기 본체부에 마련되되, 상기 지지프레임에 연결되며, 상기 흡착부재 승강부에 의해 상기 캐리어의 에지영역 또는 코너영역이 상기 디스플레이 패널로부터 분리된 경우에 상기 지지프레임을 상기 스테이지유닛에 대해 높이방향으로 상승시키는 지지프레임 승강모듈을 더 포함할 수 있다.

상기 지지프레임 승강모듈은, 상기 지지프레임을 상기 스테이지유닛에 대해 소정각도 경사지게 상승시키거나 상기 지지프레임을 상기 스테이지유닛에 대해 나란한 상태로 상승시켜 상기 캐리어를 상기 디스플레이 패널로부터 분리할 수 있다.

상기 지지프레임 승강모듈은, 일측이 상기 본체부의 상부에 높이방향으로 설치된 한 쌍의 수직프레임에 각각 연결되고 타측이 상기 지지프레임에 각각 연결되어 상기 지지프레임을 승강시키는 한 쌍의 지지프레임 승강부; 및 상기 지지프레임의 양단부와 상기 한 쌍의 지지프레임 승강부 사이에 각각 연결되어 상기 지지프레임이 상기 한 쌍의 지지프레임 승강부에 대해 상대 회동가능하게 하는 한 쌍의 지지프레임 회동부를 포함할 수 있다.

상기 한 쌍의 지지프레임 승강부 각각은, 상기 수직프레임의 높이방향을 따라 길게 배치된 LM 가이드레일; 및 일측이 상기 LM 가이드레일에 연결되고 타측이 상기 지지프레임에 연결되어 상기 LM 가이드레일을 따라 이동되는 LM 블록; 및 상기 LM 블록에 연결되며 상기 LM 블록을 상기 LM 가이드레일을 따라 이동시키는 블록 이동부를 포함할 수 있다.

상기 한 쌍의 지지프레임 회동부 각각은, 상기 LM 블록에 연결된 제1 블록; 상기 본체부에 연결된 제2 블록; 및 상기 지지프레임이 상기 LM 블록에 대해 상대 회동가능하도록 상기 제1 블록과 상기 제2 블록에 관통 결합되는 회전축을 포함할 수 있다.

상기 흡착부재 승강부에 인접하게 마련되되, 상기 흡착부재 승강부에 의해 상기 캐리어의 에지영역 또는 코너영역이 상기 디스플레이 패널로부터 분리되는 경우에 상기 디스플레이 패널과 상기 캐리어 사이에 퍼지가스를 분사하는 가스 분사유닛을 더 포함할 수 있다.

상기 흡착부재 승강부에 인접하게 마련되되, 상기 캐리어의 에지영역 또는 코너영역을 접촉 냉각하는 냉각유닛을 더 포함할 수 있다.

상기 냉각유닛은, 상기 캐리어의 에지영역 또는 코너영역에 접촉되어 상기 캐리어의 에지영역 또는 코너영역을 냉각하는 냉각블록; 일단부가 상기 냉각블록에 결합되어 상기 냉각블록을 냉각하는 열전소자; 및 상기 열전소자의 타단부에 결합되어 상기 냉각블록에서 전달된 열을 냉각하는 냉각부를 포함할 수 있다.

상기 스테이지유닛에 인접하게 마련되되, 반송로봇에 의해 전달된 상기 대상물을 임시보관하는 버퍼 스테이션유닛을 더 포함하며, 상기 분리유닛은, 상기 버퍼 스테이션유닛과 상기 스테이지유닛 사이에서 왕복운동하며, 상기 버퍼 스테이션유닛에 안착된 상기 대상물을 흡착한 후 상기 스테이지유닛에 안착시킬 수 있다.

상기 스테이지유닛은, 상기 대상물이 흡착되어 안착되며, 상기 분리유닛에 대한 얼라인을 수행하는 얼라인 테이블; 및 상기 얼라인 테이블에 인접하게 배치되어, 상기 분리유닛과 상기 얼라인 테이블의 얼라인 상태를 획득하는 비젼부를 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예는, 캐리어의 일면을 흡착한 상태에서 캐리어를 높이방향으로 상승시켜 디스플레이 패널과 캐리어를 한번에 상호 분리할 수 있어 디스플레이 패널이 손상되는 것을 방지할 수 있으며 아울러 작업공정의 효율성을 향상시킬 수 있다.

도 1은 일반적인 LCD의 구성을 개략적으로 나타내는 구조도이다.
도 2는 일반적인 디스플레이 패널의 제조공정을 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널 제조용 분리장치를 나타내는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널 제조용 분리장치를 나타내는 평면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널 제조용 분리장치를 나타내는 측면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 분리유닛을 나타내는 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 분리유닛을 나타내는 측면도이다.
도 8은 도 7의 A부분 확대도로써 본 발명의 일 실시예에 따른 흡착부재 승강부의 동작을 나타내는 동작상태도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각유닛을 나타내는 도면이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 분리동작을 나타내는 동작상태도이다.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.

본 실시예에서 디스플레이 패널(P)은 LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diodes), AMOLED(Active Matrix Organic Light Emitting Diodes), FED(Field Emission Display) 등을 포함하며, 캐리어(C)는 디스플레이 패널(P)을 제조함에 있어 디스플레이 패널(P)에 합착된 상태에서 디스플레이 패널(P)을 지지하는 지지체를 포함한다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널 제조용 분리장치를 나타내는 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널 제조용 분리장치를 나타내는 평면도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널 제조용 분리장치를 나타내는 측면도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 분리유닛을 나타내는 사시도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 분리유닛을 나타내는 측면도이고, 도 8은 도 7의 A부분 확대도로써 본 발명의 일 실시예에 따른 흡착부재 승강부의 동작을 나타내는 동작상태도이고, 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각유닛을 나타내는 도면이고, 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 분리동작을 나타내는 동작상태도이다.

도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널 제조용 분리장치는, 디스플레이 패널(P)의 제조 공정에서 사용되는 디스플레이 패널(P)의 적어도 일면에 캐리어(C)가 합착된 대상물(100)로부터 디스플레이 패널(P)과 캐리어(C)를 분리하는 분리 작업라인을 형성한다.

그리고, 본 실시예에 따른 디스플레이 패널 제조용 분리장치는, 도시되지는 않았으나, 분리 작업라인에 인접하게 배치되어 분리 작업라인과 인라인(IN-Line)되며 대상물(100)을 분리 작업라인으로 로딩하거나 분리된 캐리어(C)를 후공정으로 언로딩하는 로딩 및 언로딩(loading and unloading) 작업라인을 더 포함할 수 있다.

본 실시예에 따른 디스플레이 패널 제조용 분리장치는 디스플레이 패널(P)과 캐리어(C)가 합착된 대상물(100)이 로딩 및 언로딩 작업라인에 로딩되고, 분리 작업라인에서 대상물(100)이 디스플레이 패널(P)과 캐리어(C)로 상호 분리된 후, 분리된 디스플레이 패널(P)과 캐리어(C)는 로딩 및 언로딩 작업라인에 언로딩된 후 후공정으로 이송된다.

이하에서는, 디스플레이 패널(P)과 캐리어(C)가 합착된 대상물(100)로부터 디스플레이 패널(P)과 캐리어(C)를 상호 분리하는 분리 작업라인에 대하여 설명하기로 한다.

로딩 및 언로딩 작업라인에서 공급되는 대상물(100)은 반송로봇(미도시)에 의해 후술할 스테이지유닛(200)에 안착되기 전에 버퍼 스테이션유닛(buffer station unit,300)으로 전달되어 임시보관된다.

반송로봇에 의해 전달되는 대상물(100)은 버퍼 스테이션유닛(300)에 안착되며, 후술할 분리유닛(500)이 버퍼 스테이션유닛(300)과 스테이지유닛(200) 사이에서 왕복운동하며 버퍼 스테이션유닛(300)에 안착된 대상물(100)을 흡착한 후 스테이지유닛(200)에 안착한다.

한편, 대상물(100)이 버퍼 스테이션유닛(300)에 안착되는 경우에, 분리유닛(500)에 의해 대상물(100)이 스테이지유닛(200)으로 이송되기 전에 버퍼 스테이션유닛(300)은 대상물(100)과 분리유닛(500)에 대한 얼라인작업을 수행한다.

그리고, 대상물(100)과 분리유닛(500)에 대한 얼라인작업이 수행된 후, 분리유닛(500)은 버퍼 스테이션유닛(300) 방향으로 이동되고 버퍼 스테이션유닛(300)에 안착된 대상물(100)을 흡착한 후 다시 스테이지유닛(200)으로 이동되어 대상물(100)을 스테이지유닛(200)에 안착시킨다.

한편, 분리유닛(500)이 버퍼 스테이션유닛(300)과 스테이지유닛(200) 사이에서 왕복운동가능하도록 버퍼 스테이션유닛(300)과 스테이지유닛(200)의 상부에 분리유닛(500)이 이동되는 경로를 제공하는 이송프레임(150)이 마련된다.

한편, 스테이지유닛(200)은 버퍼 스테이션유닛(300)에 인접하게 마련되며 대상물(100)을 디스플레이 패널(P)과 캐리어(C)로 상호 분리하는 작업공간을 제공하는 역할을 한다.

스테이지유닛(200)은 대상물(100)이 흡착되어 안착되며 분리유닛(500)에 대한 얼라인을 수행하는 얼라인 테이블(210)과, 얼라인 테이블(210)에 인접하게 배치되어 분리유닛(500)과 얼라인 테이블(210)의 얼라인 상태를 획득하는 비젼부(미도시)를 포함한다.

분리유닛(500)에 의해 흡착된 대상물(100)은 얼라인 테이블(210)에 안착되는데 얼라인 테이블(210)은 분리유닛(500)에 흡착된 대상물(100)과 얼라인 테이블(210) 간의 얼라인 작업을 수행한다.

얼라인 테이블(210)은 대상물(100)의 길이방향(Y방향) 및 폭방향(X방향)으로 이동되고 또한 회전되어 얼라인 테이블(210)에 안착될 대상물(100)과 얼라인 작업을 수행한다.

이때, 대상물(100)과 얼라인 테이블(210) 간의 얼라인 상태는 얼라인 테이블(210)의 전방에 인접하게 배치된 비젼부(미도시)를 통해 확인가능하다.

그리고, 분리유닛(500)에 흡착된 대상물(100)과 얼라인 테이블(210) 간의 얼라인 작업이 수행된 후, 대상물(100)은 얼라인 테이블(210)에 진공 흡착되어 안착된다. 이때, 대상물(100)의 캐리어(C) 일면이 외부로 노출된 상태로 얼라인 테이블(210)에 안착된다. 즉, 외부로 노출된 캐리어(C)가 분리되는 것이다.

도 6 및 도 7을 참조하면, 분리유닛(500)은 디스플레이 패널(P)과 캐리어(C)가 합착된 대상물(100)을 디스플레이 패널(P)과 캐리어(C)로 상호 분리하는 역할을 한다.

구체적으로, 분리유닛(500)은 버퍼 스테이션유닛(300)에 안착된 대상물(100)을 흡착한 상태에서 스테이지유닛(200)의 얼라인 테이블(210)로 이송한 후 얼라인 테이블(210)에 대상물(100)을 흡착하여 안착시킨다. 그리고, 분리유닛(500)은 캐리어(C)의 일면을 흡착한 상태에서 먼저 캐리어(C)의 일측 에지영역(edge portion)을 디스플레이 패널(P)로부터 분리한 후 캐리어(C)를 일측 에지영역에서 대향되는 타측 에지영역으로 순차로 상승시켜 캐리어(C)와 디스플레이 패널(P)을 완전히 상호 분리하거나, 먼저 캐리어(C)의 양측 에지영역(edge portion)을 디스플레이 패널(P)로부터 분리한 후 캐리어(C)를 스테이지유닛(200)에 나란한 상태에서 높이방향으로 상승시켜 캐리어(C)와 디스플레이 패널(P)을 완전히 상호 분리한다.

또한, 분리유닛(500)은 먼저 캐리어(C)의 일측 코너영역(corner portion)을 디스플레이 패널(P)로부터 분리하고 캐리어(C)를 높이방향으로 상승시켜 캐리어(C)와 디스플레이 패널(P)을 완전히 상호 분리할 수도 있다.

이러한 일련의 동작을 수행하기 위해 분리유닛(500)은, 본체부(510)와, 본체부(510)에 마련되며 캐리어(C)의 일면을 흡착하는 복수의 흡착부재(533)을 구비한 캐리어 흡착부(530)와, 캐리어(C)의 일측 또는 타측 에지영역에 흡착된 흡착부재(533)들을 높이방향으로 승강시키는 흡착부재 승강부(550)를 포함한다.

도 3에서 도시한 바와 같이, 본체부(510)는 이송프레임(150)을 따라 버퍼 스테이션유닛(300)과 스테이지유닛(200) 사이에서 왕복운동 가능하게 마련된다.

그리고, 캐리어 흡착부(530)는 버퍼 스테이션유닛(300)에 안착된 대상물(100)을 흡착하고 또한 얼라인 테이블(210)에 흡착되어 안착된 대상물(100)의 캐리어(C)를 흡착하는 역할을 한다.

도 6 및 도 7에서 도시한 바와 같이, 캐리어 흡착부(530)는 캐리어(C)를 흡착하도록 캐리어(C)의 길이방향(Y방향) 및 폭방향(X방향)을 따라 배치된 복수의 흡착부재(533)와, 본체부(510)에 연결되며 복수의 흡착부재(533)를 지지하는 지지프레임(531)을 포함한다.

또한, 캐리어(C)의 폭방향(X방향)을 따라 배치된 복수의 흡착부재(533)는 단위 흡착부재를 구성하며, 단위 흡착부재는 캐리어(C)의 에지영역과 중심영역을 흡착하도록 캐리어(C)의 길이방향(Y방향)을 따라 이격되게 복수 개 배치된다.

한편, 본 실시예에 따른 분리유닛(500)은 캐리어(C)의 일측 에지영역을 디스플레이 패널(P)로부터 분리한 후 캐리어(C)의 일측 에지영역에서 타측 에지영역으로 순차로 캐리어(C)를 디스플레이 패널(P)로부터 분리하거나, 캐리어(C)의 양측 에지영역을 디스플레이 패널(P)로부터 분리한 후 캐리어(C)를 양측 에지영역에서 중심영역으로 순차로 캐리어(C)를 디스플레이 패널(P)로부터 분리한다.

이를 위해 본 실시예에 따른 분리유닛(500)은 지지프레임(531)에 설치되어 캐리어(C)의 일측 에지영역 또는 양측 에지영역을 디스플레이 패널(P)로부터 분리하도록 캐리어(C)의 일측 에지영역 또는 양측 에지영역을 흡착하는 단위 흡착부재를 이루는 복수의 흡착부재(533)를 개별 또는 동시에 높이방향으로 승강시키는 흡착부재 승강부(550)를 더 포함한다.

도 6 및 도 7에서 흡착부재 승강부(550)는 캐리어(C)의 일측 에지영역을 흡착하는 복수의 흡착부재(533)를 승강시킬 수 있도록 캐리어(C)의 폭방향(X방향)을 따라 복수 개 마련되도록 도시되었으나, 이에 한정되지 않고 단일의 흡착부재 승강부(550)로 캐리어(C)의 에지영역을 흡착하는 복수의 흡착부재(533)를 동시에 승강시킬 수도 있다.

그리고, 도 6 및 도 7에서 도시되지는 않았으나 흡착부재 승강부(550)는 캐리어(C)의 양측 에지영역에 각각 마련되어 캐리어(C)의 에지영역을 흡착하는 복수의 흡착부재(533)를 승강시킬 수 있다.

본 실시예에 따른 흡착부재 승강부(550)는 캐리어(C)의 에지영역을 흡착하는 단위 흡착부재를 이루는 복수의 흡착부재(533)에 각각 연결되어 복수의 흡착부재(533)를 개별 또는 동시에 높이방향으로 승강시키는 실린더부재(551)와, 지지프레임(531)에 회전가능하게 결합되며 복수의 실린더부재(551)를 지지하는 지지브라켓(553)을 포함한다.

도 8을 참조하면, 지지브라켓(553)은 지지프레임(531)에 회전가능하게 힌지결합되며 캐리어(C)의 에지영역이 높이방향으로 상승됨에 따라 실린더부재(551)가 소정각도(θ) 회전된다.

이는 캐리어(C)의 에지영역이 디스플레이 패널(P)로부터 소정높이 분리되고 캐리어(C)의 나머지영역이 디스플레이 패널(P)에 합착된 경우에 캐리어(C)는 소정곡률을 가지며 원호모양으로 휘어지게 되므로, 캐리어(C)의 에지영역을 흡착한 단위 흡착부재가 디스플레이 패널(P)로부터 분리된 캐리어(C)의 에지영역에서 흡착해제되는 것을 방지하고자 캐리어(C)의 에지영역이 형성하는 원호에 수직되게 실린더부재(551)를 유지하기 위함이다.

상기와 같은 지지브라켓(553)의 지지프레임(531)에 대해 상대 회전은 작업자에 의해 또는 캐리어(C)의 에지영역의 상승 높이에 따라 자동으로 이뤄질 수 있으며, 지지브라켓(553)은 회전된 후 스토퍼(555)에 의해 고정된다.

한편, 본 실시예에 따른 분리유닛(500)은 본체부(510)와 캐리어 흡착부(530) 사이에 마련되며 본체부(510)와 캐리어 흡착부(530)에 각각 연결되어 캐리어 흡착부(530)를 본체부(510)에 대해 상대 회전가능하게 하는 회전부(미도시)를 더 포함할 수 있다.

분리유닛(500)을 이용하여 캐리어(C)의 일측 코너영역(corner portion)을 디스플레이 패널(P)로부터 분리하고 캐리어(C)를 높이방향으로 상승시켜 캐리어(C)와 디스플레이 패널(P)을 완전히 상호 분리하고자 하는 경우에 있어서, 캐리어 흡착부를 본체부(510)에 대해 소정각도 상대 회전시켜 캐리어(C)의 일측 코너영역 및 일측 코너영역에 대향되는 타측 코너영역이 도 6의 Y축 방향의 전방 및 후방에 위치되게 한다.

그리고, 먼저 캐리어(C)의 일측 코너영역에 대응되는 위치에 있는 실린더부재(551)들을 상승시켜 캐리어(C)의 일측 코너영역을 디스플레이 패널(P)로부터 분리한 후 캐리어 흡착부(530)를 캐리어(C)의 일측 코너영역에서 타측 코너영역으로 순차로 상승시켜 캐리어(C)를 디스플레이 패널(P)로부터 순차로 분리한다.

한편, 흡착부재 승강부(550)를 이용하여 캐리어(C)의 에지영역 또는 코너영역을 디스플레이 패널(P)로부터 분리함에 있어서, 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널 제조용 분리장치는 디스플레이 패널(P)로부터 분리될 캐리어(C)의 에지영역 또는 코너영역을 접촉 냉각하는 냉각유닛(400)을 더 포함할 수 있다.

본 실시예에 따른 냉각유닛(400)은 흡착부재 승강부(550)에 인접하게 마련되며 흡착부재 승강부(550)로 캐리어(C)의 에지영역 또는 코너영역을 상승시켜 캐리어(C)의 에지영역 또는 코너영역을 디스플레이 패널(P)로부터 분리하기에 앞서 캐리어(C)의 에지영역 또는 코너영역에 접촉되어 캐리어(C)의 에지영역 또는 코너영역과 디스플레이 패널(P) 사이의 본딩력을 약화시켜 캐리어(C)의 에지영역 또는 코너영역과 디스플레이 패널(P) 간의 분리를 용이하게 하는 역할을 한다.

도 9를 참조하면, 냉각유닛(400)은, 흡착부재 승강부(550)가 흡착하는 캐리어(C)의 에지영역 또는 코너영역에 접촉되어 캐리어(C)의 에지영역 또는 코너영역을 냉각하는 냉각블록(430)과, 일단부가 냉각블록(430)에 결합되어 냉각블록(430)을 냉각하는 열전소자(450)와, 열전소자(450)의 타단부에 결합되어 냉각블록(430)에서 전달된 열을 냉각하는 냉각부(470)와, 열전소자(450)와 냉각블록(430)을 감싸며 열의 출입을 차단하는 하우징(410)을 포함한다.

도 9(b)에서 도시한 바와 같이 냉각블록(430)은 캐리어(C)의 폭방향 길이에 대응되는 길이를 가지며 캐리어(C)의 에지영역에 접촉되어 캐리어(C)의 에지영역 표면온도를 저하시킴으로써 캐리어(C)의 에지영역과 디스플레이 패널(P) 간의 본딩력을 약화시킨다. 또한 도시되지는 않았으나 냉각블록(430)은 캐리어(C)의 코너영역에 접촉되어 캐리어(C)의 코너영역 표면온도를 저하시켜 캐리어(C)의 코너영역과 디스플레이 패널(P) 간의 본딩력을 약화시킨다.

그리고, 도 9(a)에서 도시한 바와 같이 냉각블록(430)의 일면은 캐리어(C)의 에지영역에 접촉되고 타면은 열전소자(450)에 결합된다. 또한 도시되지는 않았으나 냉각블록(430)의 일면은 캐리어(C)의 코너영역에 접촉되고 타면은 열전소자(450)에 결합된다.

그리고, 열전소자(450)는 일단부가 냉각블록(430)에 결합되고 타단부가 냉각부(470)에 결합되는데, 열전소자(450)는 펠티에 효과를 이용하여 냉각블록(430)을 냉각함과 동시에 냉각블록(430)에서 전달된 열을 냉각부(470)로 전달한다.

여기서, 냉각부(470)는 열전소자(450)의 타단부에 결합되며 내부에 냉각수가 채워진 워터재킷으로 구성될 수 있다.

또한, 흡착부재 승강부(550)를 이용하여 캐리어(C)의 에지영역을 디스플레이 패널(P)로부터 분리함에 있어서, 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널 제조용 분리장치는 캐리어(C)의 에지영역 또는 코너영역이 디스플레이 패널(P)로부터 분리되는 경우에 디스플레이 패널(P)과 캐리어(C) 사이에 퍼지가스를 분사하는 가스 분사유닛(600)을 더 포함할 수 있다.

도 8에서 도시한 바와 같이, 본 실시예에 따른 가스 분사유닛(600)은 흡착부재 승강부(550)에 인접하게 마련된다. 가스 분사유닛(600)은 캐리어(C)의 에지영역 또는 코너영역과 디스플레이 패널(P)이 분리되는 경우에 캐리어(C)의 에지영역 또는 코너영역과 디스플레이 패널(P) 간의 분리를 용이하게 하고 캐리어(C)와 디스플레이 패널(P)이 분리되는 동안 캐리어(C)와 디스플레이 패널(P) 간의 정전기 발생을 방지하는 역할을 한다.

한편, 도 6, 도 7 및 도 10를 참조하면, 캐리어(C)의 에지영역 또는 코너영역이 디스플레이 패널(P)로부터 분리된 경우 캐리어(C)의 전영역을 디스플레이 패널(P)로부터 분리하기 위해 캐리어(C)를 높이방향으로 상승시켜야 한다.

이를 위해, 본 실시예에 따른 분리유닛(500)은 본체부(510)에 마련되며 지지프레임(531)에 연결되어 지지프레임(531)을 승강시키는 지지프레임 승강모듈(570)을 더 포함한다.

지지프레임 승강모듈(570)은 흡착부재 승강부(550)에 의해 캐리어(C)의 에지영역 또는 코너영역이 디스플레이 패널(P)로부터 분리된 경우에 지지프레임(531)을 스테이지유닛(200)에 대해 높이방향으로 상승시켜 캐리어(C)의 전영역을 디스플레이 패널(P)로부터 분리하는 역할을 한다.

예를들어, 캐리어(C)의 일측 에지영역(edge portion)을 디스플레이 패널(P)로부터 분리한 후 캐리어(C)의 일측 에지영역에서 대향되는 타측 에지영역으로 순차로 캐리어(C)의 전영역을 디스플레이 패널(P)로부터 분리하고자 하는 경우 또는 캐리어(C)의 일측 코너영역(corner portion)을 디스플레이 패널(P)로부터 분리한 후 캐리어(C)를 일측 코너영역에서 대향되는 타측 코너영역으로 순차로 캐리어(C)의 전영역을 디스플레이 패널(P)로부터 분리하고자 하는 경우에, 지지프레임 승강모듈(570)은 지지프레임(531)을 스테이지유닛에 대해 소정각도 경사지게 상승시킨다. 즉, 지지프레임 승강모듈(570)은 흡착부재 승강부(550)의 위치에 대응되는 지지프레임(531)의 일 영역과 스테이지유닛(200)의 얼라인 테이블(210) 사이의 간격이 지지프레임(531)의 나머지 영역과 스테이지유닛(200)의 얼라인 테이블(210) 사이의 간격보다 크도록 지지프레임(531)을 스테이지유닛(200)의 얼라인 테이블(210)에 대해 소정각도 경사지게 상승시킨다.

또한, 캐리어(C)의 양측 에지영역(edge portion)을 디스플레이 패널(P)로부터 분리한 후 캐리어(C)의 전영역을 디스플레이 패널(P)로부터 분리하고자 하는 경우에, 지지프레임 승강모듈(570)은 지지프레임(531)을 스테이지유닛(200)에 나란한 상태에서 높이방향으로 상승시킨다.

본 실시예에 따른 지지프레임 승강모듈(570)은 지지프레임(531)의 양단부에 각각 연결되어 지지프레임(531)을 승강시키는 한 쌍의 지지프레임 승강부(571)와, 지지프레임(531)의 양단부와 한 쌍의 지지프레임 승강부(571) 사이에 각각 연결되어 지지프레임(531)이 한 쌍의 지지프레임 승강부(571)에 대해 상대 회동가능하게 하는 한 쌍의 지지프레임 회동부(575)를 포함한다.

도 3, 도 6, 도 7 및 도 10에서 도시한 바와 같이, 본체부(510)의 상부에는 지지프레임(531)의 길이방향(Y방향) 양단부에 대응되는 위치에 높이방향으로 한 쌍의 수직프레임(511)이 설치된다. 그리고 본체부(510)는 지지프레임 승강모듈(570)을 매개로 수직프레임(511)에 연결되고, 수직프레임(511)은 교차되게 배치된 수평프레임(170)을 매개로 이송프레임(150)에 연결되어 지지된다.

한편, 수평프레임(170)이 이송프레임(150)을 따라 스테이지유닛(200)과 버퍼 스테이션유닛(300) 사이에서 왕복운동함에 따라 본체부(510)가 스테이지유닛(200)과 버퍼 스테이션유닛(300) 사이에서 왕복운동한다.

그리고, 지지프레임 승강부(571)는 일측이 수직프레임(511) 각각에 연결되고 타측이 지지프레임(531)의 길이방향(Y방향) 일단부에 연결된다. 그리고, 지지프레임 승강부(571)는 한 쌍으로 마련된다.

상기한 한 쌍의 지지프레임 승강부(571) 각각은, 수직프레임(511)의 높이방향을 따라 길게 배치된 LM 가이드레일(572)과, 일측이 LM 가이드레일(572)에 연결되고 타측이 지지프레임(531)에 연결되어 LM 가이드레일(572)을 따라 이동되는 LM 블록(573)과, LM 블록(573)에 연결되며 LM 블록(573)을 LM 가이드레일(572)을 따라 이동시키는 블록 이동부(574)를 포함한다.

여기서, 블록 이동부(574)는 LM 블록(573)에 볼스크류(미도시)가 결합되고 볼스크류가 구동모터(574a)의 정방향 및 역방향 회전에 의해 LM 블록(573)을 LM 가이드레일(572)을 따라 왕복운동시킨다.

즉, 블록 이동부(574)에 의해 LM 블록(573)이 수직프레임(511)의 높이방향으로 배치된 LM 가이드레일(572)을 따라 이동되면, LM 블록(573)과 함께 지지프레임(531)이 높이방향으로 이동된다.

그리고, 본 실시예에서는 지지프레임(531)이 스테이지유닛(200)의 얼라인 테이블(210)에 대해 경사지게 상승되도록 지지프레임(531)의 양단부와 한 쌍의 지지프레임 승강부(571) 사이에 지지프레임 회동부(575)가 각각 연결된다.

상기한 한 쌍의 지지프레임 회동부(575) 각각은, LM 블록(573)에 연결된 제1 블록(576)과, 본체부(510)에 연결된 제2 블록(577)과, 지지프레임(531)이 LM 블록(573)에 대해 상대 회동가능하도록 제1 블록(576)과 제2 블록(577)에 관통 결합되는 회전축(578)을 포함한다.

예를들어, 도 10에서 도시한 바와 같이, 지지프레임(531)이 스테이지유닛(200)의 얼라인 테이블(210)에 대해 경사지게 상승되는 동작을 설명하면, 디스플레이 패널(P)로부터 분리되는 캐리어(C)의 일측 에지영역에 대응되는 위치에 있는 LM 블록(573)과 본체부(510) 및 지지프레임(531)의 길이방향 일단부가 먼저 상승되고, 일정시간 간격을 디스플레이 패널(P)로부터 분리되는 캐리어(C)의 타측 에지영역에 위치한 LM 블록(573)과 본체부(510) 및 지지프레임(531)의 길이방향 타단부가 상승된다.

이때, LM 블록(573)과 본체부(510)에 각각 연결된 제1 블록(576)과 제2 블록(577)에 관통결합된 회전축(578)에 의해 지지프레임(531)이 LM 블록(573)에 대해 상대 회동된다.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널 제조용 분리장치의 동작을 설명하면 다음과 같다.

예를들어, 디스플레이 패널(P)의 양면에 캐리어(C)가 합착된 대상물(100)에 대해 디스플레이 패널(P)과 캐리어(C)를 분리하는 동작을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 반송로봇에 의해 디스플레이 패널(P)에 캐리어(C)가 합착된 대상물(100)이 버퍼 스테이션유닛(300)에 이송되어 안착되며, 버퍼 스테이션유닛(300) 상에서 대상물(100)과 분리유닛(500)에 대한 얼라인작업을 수행한다.

그리고, 버퍼 스테이션유닛(300)에 안착된 대상물(100)은 분리유닛(500)의 캐리어 흡착부(530)에 흡착된 후 이송프레임(150)을 따라 이송되어 스테이지유닛(200)의 얼라인 테이블(210)에 흡착되어 안착된다.

그리고, 얼라인 테이블(210)에 안착된 대상물(100) 중 먼저 디스플레이 패널(P)의 일면으로부터 분리될 캐리어(C)의 일측 에지영역 또는 양측 에지영역 또는 일측 코너영역에 냉각블록(430)을 접촉하여 캐리어(C)와 디스플레이 패널(P) 간의 본딩력을 약화시킨다.

그리고, 흡착부재 승강부(550)를 이용하여 캐리어(C)의 일측 에지영역 또는 양측 에지영역 또는 일측 코너영역을 디스플레이 패널(P)로부터 상승시켜 캐리어(C)와 디스플레이 패널(P)을 상호 분리한다.

이때, 캐리어(C)의 일측 에지영역 또는 양측 에지영역 또는 일측 코너영역이 상호 분리되면 분리된 캐리어(C)의 일측 에지영역 또는 양측 에지영역 또는 일측 코너영역과 디스플레이 패널(P) 사이에 퍼지가스를 분사하여 분리과정에서 발생될 수 있는 정전기를 방지하고 분리를 용이하게 한다.

그리고, 캐리어(C)의 일측 에지영역 또는 일측 코너영역을 먼저 분리한 후 지지프레임 승강모듈(570)로 지지프레임(531)을 얼라인 테이블(210)에 대해 경사지게 상승시켜 캐리어(C)의 전영역을 디스플레이 패널(P)로부터 완전히 분리한다. 또는 캐리어(C)의 양측 에지영역을 먼저 분리한 후 지지프레임 승강모듈(570)로 지지프레임(531)을 얼라인 테이블(210)에 대해 나란하게 상승시켜 캐리어(C)의 전영역을 디스플레이 패널(P)로부터 완전히 분리한다.

상기와 같은 동작을 반복하여 디스플레이 패널(P)의 타면에 합착된 다른 캐리어(C)를 분리할 수 있다.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정 예 또는 변형 예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.

100: 대상물 150: 이송프레임
200: 스테이지유닛 210: 얼라인 테이블
300: 버퍼 스테이션유닛 400: 냉각유닛
410: 하우징 430: 냉각블록
450: 열전소자 470: 냉각부
500: 분리유닛 510: 본체부
511: 수직프레임 530: 캐리어 흡착부
531: 지지프레임 533: 복수의 흡착부재
550: 흡착부재 승강부 551: 실린더부재
553: 지지브라켓 570: 지지프레임 승강모듈
571: 지지프레임 승강부 575: 지지프레임 회동부
600: 가스 분사유닛

Claims

디스플레이 패널의 적어도 일면에 캐리어가 합착된 대상물이 흡착되어 안착되되, 상기 캐리어의 일면이 외부로 노출되는 스테이지유닛; 및
상기 스테이지유닛에 이격되게 배치되며, 상기 캐리어의 일면을 흡착한 상태에서 상기 캐리어를 높이방향으로 상승시켜 상기 캐리어와 상기 디스플레이 패널을 상호 분리하는 분리유닛을 포함하고,
상기 분리유닛은,
본체부; 및
상기 본체부에 마련되며 상기 캐리어의 일면을 흡착하는 캐리어 흡착부를 포함하며,
상기 캐리어 흡착부는,
상기 캐리어의 길이방향 및 폭방향을 따라 배치된 복수의 흡착부재;
상기 본체부에 연결되며 상기 복수의 흡착부재를 지지하는 지지프레임; 및
상기 지지프레임에 설치되되, 상기 캐리어를 상기 디스플레이 패널로부터 분리하도록 상기 복수의 흡착부재를 개별 또는 동시에 높이방향으로 승강시키는 흡착부재 승강부를 포함하고,
상기 흡착부재 승강부는,
상기 캐리어의 에지영역을 흡착하는 복수의 상기 흡착부재에 각각 연결되며, 복수의 상기 흡착부재가 상기 디스플레이 패널에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 이동되도록 복수의 상기 흡착부재를 개별 또는 동시에 높이방향으로 승강시키는 복수의 실린더부재; 및
복수의 상기 실린더부재를 지지하며, 상기 지지프레임에 회전가능하게 힌지결합되는 지지브라켓을 포함하는 디스플레이 패널 제조용 분리장치.
제1항에 있어서,
상기 분리유닛은,
상기 캐리어의 일측 에지영역을 상기 디스플레이 패널로부터 분리한 후 상기 캐리어 흡착부를 상기 캐리어의 일측 에지영역에서 일측 에지영역에 대향되는 타측 에지영역으로 순차로 상승시켜 상기 캐리어와 상기 디스플레이 패널로을 분리하거나, 상기 캐리어의 양측 에지영역을 상기 디스플레이 패널로부터 분리한 후 상기 캐리어 흡착부를 상기 스테이지유닛에 나란한 상태에서 높이방향으로 상승시켜 상기 캐리어와 상기 디스플레이 패널을 분리하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 제조용 분리장치.
삭제
제1항에 있어서,
상기 캐리어의 폭방향을 따라 배치된 상기 복수의 흡착부재는 단위 흡착부재를 구성하며,
상기 단위 흡착부재는 상기 캐리어의 길이방향을 따라 복수 개 배치되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 제조용 분리장치.
삭제
삭제
삭제
제1항에 있어서,
상기 분리유닛은,
상기 본체부와 상기 캐리어 흡착부 사이에 마련되되, 상기 본체부와 상기 캐리어 흡착부에 각각 연결되어 상기 캐리어 흡착부를 상기 본체부에 대해 상대 회전가능하게 하는 회전부를 더 포함하며,
상기 분리유닛은,
상기 캐리어 흡착부를 상기 본체부에 대해 소정각도 회전시키고 상기 캐리어 흡착부를 상기 캐리어의 일측 코너영역에서 일측 코너영역에 대향되는 타측 코너영역으로 순차로 상승시켜 상기 캐리어를 상기 디스플레이 패널로부터 순차로 분리하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 제조용 분리장치.
제8항에 있어서,
상기 분리유닛은,
상기 본체부에 마련되되, 상기 지지프레임에 연결되며, 상기 흡착부재 승강부에 의해 상기 캐리어의 에지영역 또는 코너영역이 상기 디스플레이 패널로부터 분리된 경우에 상기 지지프레임을 상기 스테이지유닛에 대해 높이방향으로 상승시키는 지지프레임 승강모듈을 더 포함하는 디스플레이 패널 제조용 분리장치.
제9항에 있어서,
상기 지지프레임 승강모듈은,
상기 지지프레임을 상기 스테이지유닛에 대해 소정각도 경사지게 상승시키거나 상기 지지프레임을 상기 스테이지유닛에 대해 나란한 상태로 상승시켜 상기 캐리어를 상기 디스플레이 패널로부터 분리하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 제조용 분리장치.
제9항에 있어서,
상기 지지프레임 승강모듈은,
일측이 상기 본체부의 상부에 높이방향으로 설치된 한 쌍의 수직프레임에 각각 연결되고 타측이 상기 지지프레임에 각각 연결되어 상기 지지프레임을 승강시키는 한 쌍의 지지프레임 승강부; 및
상기 지지프레임의 양단부와 상기 한 쌍의 지지프레임 승강부 사이에 각각 연결되어 상기 지지프레임이 상기 한 쌍의 지지프레임 승강부에 대해 상대 회동가능하게 하는 한 쌍의 지지프레임 회동부를 포함하는 디스플레이 패널 제조용 분리장치.
제11항에 있어서,
상기 한 쌍의 지지프레임 승강부 각각은,
상기 수직프레임의 높이방향을 따라 길게 배치된 LM 가이드레일; 및
일측이 상기 LM 가이드레일에 연결되고 타측이 상기 지지프레임에 연결되어 상기 LM 가이드레일을 따라 이동되는 LM 블록; 및
상기 LM 블록에 연결되며 상기 LM 블록을 상기 LM 가이드레일을 따라 이동시키는 블록 이동부를 포함하는 디스플레이 패널 제조용 분리장치.
제12항에 있어서,
상기 한 쌍의 지지프레임 회동부 각각은,
상기 LM 블록에 연결된 제1 블록;
상기 본체부에 연결된 제2 블록; 및
상기 지지프레임이 상기 LM 블록에 대해 상대 회동가능하도록 상기 제1 블록과 상기 제2 블록에 관통 결합되는 회전축을 포함하는 디스플레이 패널 제조용 분리장치.
제8항에 있어서,
상기 흡착부재 승강부에 인접하게 마련되되, 상기 흡착부재 승강부에 의해 상기 캐리어의 에지영역 또는 코너영역이 상기 디스플레이 패널로부터 분리되는 경우에 상기 디스플레이 패널과 상기 캐리어 사이에 퍼지가스를 분사하는 가스 분사유닛을 더 포함하는 디스플레이 패널 제조용 분리장치.
제8항에 있어서,
상기 흡착부재 승강부에 인접하게 마련되되, 상기 캐리어의 에지영역 또는 코너영역을 접촉 냉각하는 냉각유닛을 더 포함하는 디스플레이 패널 제조용 분리장치.
제15항에 있어서,
상기 냉각유닛은,
상기 캐리어의 에지영역 또는 코너영역에 접촉되어 상기 캐리어의 에지영역 또는 코너영역을 냉각하는 냉각블록;
일단부가 상기 냉각블록에 결합되어 상기 냉각블록을 냉각하는 열전소자; 및
상기 열전소자의 타단부에 결합되어 상기 냉각블록에서 전달된 열을 냉각하는 냉각부를 포함하는 디스플레이 패널 제조용 분리장치.
제1항에 있어서,
상기 스테이지유닛에 인접하게 마련되되, 반송로봇에 의해 전달된 상기 대상물을 임시보관하는 버퍼 스테이션유닛을 더 포함하며,
상기 분리유닛은,
상기 버퍼 스테이션유닛과 상기 스테이지유닛 사이에서 왕복운동하며, 상기 버퍼 스테이션유닛에 안착된 상기 대상물을 흡착한 후 상기 스테이지유닛에 안착시키는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 제조용 분리장치.
제1항에 있어서,
상기 스테이지유닛은,
상기 대상물이 흡착되어 안착되며, 상기 분리유닛에 대한 얼라인을 수행하는 얼라인 테이블; 및
상기 얼라인 테이블에 인접하게 배치되어, 상기 분리유닛과 상기 얼라인 테이블의 얼라인 상태를 획득하는 비젼부를 포함하는 디스플레이 패널 제조용 분리장치.