[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

KR101530036B1 - 캐리어글라스 박리장치 - Google Patents

캐리어글라스 박리장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101530036B1
KR101530036B1 KR1020130165273A KR20130165273A KR101530036B1 KR 101530036 B1 KR101530036 B1 KR 101530036B1 KR 1020130165273 A KR1020130165273 A KR 1020130165273A KR 20130165273 A KR20130165273 A KR 20130165273A KR 101530036 B1 KR101530036 B1 KR 101530036B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
unit
adsorption
hinge coupling
coupling part
knife
Prior art date
Application number
KR1020130165273A
Other languages
English (en)
Inventor
금재열
여인택
Original Assignee
주식회사 에스에프에이
삼성디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 에스에프에이, 삼성디스플레이 주식회사 filed Critical 주식회사 에스에프에이
Priority to KR1020130165273A priority Critical patent/KR101530036B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101530036B1 publication Critical patent/KR101530036B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/06—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
    • B25J15/0616—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means with vacuum
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0214—Articles of special size, shape or weigh

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

캐리어글라스 박리장치가 개시된다. 본 발명에 따른 캐리어글라스 박리장치, 플렉서블 기판의 일면에 캐리어글라스가 합착된 글라스합착기판을 진공 흡착하는 흡착모듈을 구비하는 흡착유닛과, 흡착유닛에 이웃하게 배치되며 글라스합착기판의 모서리 영역에서 플렉서블 기판을 캐리어글라스에서 분리하는 모서리 영역 분리유닛과, 흡착모듈에 대향되게 배치되며 글라스합착기판을 진공 흡착하는 흡착 스테이지를 구비하는 스테이지유닛과, 흡착유닛 및 스테이지유닛 중 적어도 어느 하나에 구비되며 흡착모듈 및 흡착 스테이지 중 어느 하나를 다른 하나에 대하여 틸팅시켜 캐리어글라스를 플렉서블 기판에서 박리하는 박리유닛을 포함한다.

Description

캐리어글라스 박리장치{CARRIER GLASS REMOVER}
본 발명은, 캐리어글라스 박리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 플렉서블 기판의 손상 없이 플렉서블 기판으로부터 캐리어글라스를 효율적으로 박리할 수 있는 캐리어글라스 박리장치에 관한 것이다.
최근 들어 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평면디스플레이(Flat Panel Display, FPD)가 등장하기 시작하였다.
평면디스플레이(FPD)는, 종전에 TV나 컴퓨터 모니터 등에 디스플레이(Display)로 주로 사용된 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치로서, 이에는 액정표시장치(LCD, liquid crystal display), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP, Plasma Display Panel), 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.
이러한 평면디스플레이(FPD) 중 OLED는, 유기물의 자체 발광에 의해 컬러 화상을 구현하는 초경박형 표시장치로서, 그 구조가 간단하면서 광효율이 높다는 점에서 차세대의 유망 디스플레이 장치로서 주목받고 있다.
OLED는 구동방식에 따라 수동형인 PMOLED와 능동형인 AMOLED로 나눌 수 있다. 특히, AMOLED는 자발광형 디스플레이로서 기존의 디스플레이보다 응답속도가 빠르며, 색감도 자연스럽고 전력 소모가 적다는 장점이 있다.
이러한 OLED의 제조 공정은, 크게 패턴(Pattern) 형성 공정, 유기박막 증착 공정, 봉지 공정, 그리고 유기박막이 증착된 기판과 봉지 공정을 거친 기판을 붙이는 합착 공정이 있다.
한편 AMOLED는, 유리기판이 아닌 얇고 쉽게 휘어질 수 있는 필름(Film) 또는 윌로우 글라스(휘어질수 있는 유리)등에 적용되면, 플렉서블 디스플레이(Flexible Display) 기술을 구현할 수 있다.
그런데 이러한 필름 또는 윌로우 글라스와 같은 플렉서블 기판은, 두께가 매우 얇기 때문에 처짐이 발생되기 쉽고 충격에 취약하여 평면디스플레이(FPD) 제조과정에서 단독으로 사용되지 않고 캐리어글라스(carrier glass)에 합착된 상태로 사용된다.
따라서 소정의 공정이 완료된 후 플렉서블 기판에 합착된 캐리어글라스를 플렉서블 기판의 손상 없이 빠르고 간편하게 박리할 수 있는 캐리어글라스 박리장치의 개발이 필요한 실정이다.
한국특허공개공보 제10-2013-00003997호 (주식회사 엘지디스플레이), 2013.01.09
따라서 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 플렉서블 기판에 합착된 캐리어글라스를 플렉서블 기판의 손상 없이 빠르고 간편하게 박리할 수 있는 캐리어글라스 박리장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 플렉서블 기판의 일면에 캐리어글라스가 합착된 글라스합착기판을 진공 흡착하는 흡착모듈을 구비하는 흡착유닛; 상기 흡착유닛에 이웃하게 배치되며, 상기 글라스합착기판의 모서리 영역에서 상기 플렉서블 기판을 상기 캐리어글라스에서 분리하는 모서리 영역 분리유닛; 상기 흡착모듈에 대향되게 배치되며 상기 글라스합착기판을 진공 흡착하는 흡착 스테이지를 구비하는 스테이지유닛; 및 상기 흡착유닛 및 상기 스테이지유닛 중 적어도 어느 하나에 구비되며, 상기 흡착모듈 및 상기 흡착 스테이지 중 어느 하나를 다른 하나에 대하여 틸팅시켜 상기 캐리어글라스를 상기 플렉서블 기판에서 박리하는 박리유닛을 포함하는 캐리어글라스 박리장치가 제공될 수 있다.
상기 모서리 영역 분리유닛은, 상기 글라스합착기판의 복수의 모서리 영역에 인접하게 배치되는 복수의 분리모듈을 포함할 수 있다.
상기 분리모듈은, 상기 플렉서블 기판과 상기 캐리어글라스의 사이로 삽입되는 나이프를 구비하는 나이프부; 상기 나이프부에 연결되며, 상기 나이프부를 제1축 방향으로 이동시키는 나이프부용 제1축 이동부; 상기 나이프부용 제1축 이동부에 연결되며, 상기 나이프부를 상기 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향으로 이동시키는 나이프부용 제2축 이동부; 및 상기 나이프부용 제2축 이동부에 연결되고 상기 흡착유닛에 결합되며, 상기 나이프부를 상기 제1축 방향 및 상기 제2축 방향에 교차하는 제3축 방향으로 이동시키는 나이프부용 제3축 이동부를 포함할 수 있다.
상기 나이프부용 제1축 이동부는, 상기 나이프부가 결합되는 나이프부용 제1축 엘엠 블록; 상기 나이프부용 제1축 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 나이프부용 제1축 엘엠 가이드; 및 상기 나이프부용 제1축 엘엠 블록을 이동시키는 나이프부용 제1축 엘엠 블록 구동부를 포함할 수 있다.
상기 나이프부용 제2축 이동부는, 상기 나이프부용 제1축 이동부가 결합되는 나이프부용 제2축 엘엠 블록; 상기 나이프부용 제2축 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 나이프부용 제2축 엘엠 가이드; 및 상기 나이프부용 제2축 엘엠 블록을 이동시키는 나이프부용 제2축 엘엠 블록 구동부를 포함할 수 있다.
상기 나이프부용 제3축 이동부는, 상기 나이프부용 제2축 이동부가 결합되는 나이프부용 제3축 엘엠 블록; 상기 나이프부용 제3축 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 나이프부용 제3축 엘엠 가이드; 및 상기 나이프부용 제3축 엘엠 블록을 이동시키는 나이프부용 제3축 엘엠 블록 구동부를 포함할 수 있다.
상기 나이프부는, 상기 글라스합착기판에 대한 상기 나이프의 자세를 제어하는 나이프 자세제어부를 포함할 수 있다.
상기 박리유닛은, 상기 흡착유닛에 구비되는 흡착유닛용 틸팅모듈; 및 상기 스테이지유닛에 구비되는 스테이지유닛용 틸팅모듈을 포함할 수 있다.
상기 흡착유닛용 틸팅모듈은, 상기 흡착모듈에 힌지 결합되는 제1 힌지결합부; 상기 제1 힌지결합부에 대하여 이격된 위치에 배치되며, 상기 흡착모듈에 힌지 결합되는 제2 힌지결합부; 상기 제1 힌지결합부에 연결되며, 상기 제1 힌지결합부를 업/다운(up/down) 이동시키는 제1 힌지결합부용 업/다운 구동부; 및 상기 제2 힌지결합부에 연결되며, 상기 제2 힌지결합부를 업/다운(up/down) 이동시키는 제2 힌지결합부용 업/다운 구동부를 포함할 수 있다.
상기 제1 힌지결합부용 업/다운 구동부는, 상기 제1 힌지결합부가 결합되는 제1 힌지결합부용 엘엠 블록; 상기 제1 힌지결합부용 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 제1 힌지결합부용 엘엠 가이드; 및 상기 제1 힌지결합부용 엘엠 블록을 이동시키는 제1 힌지결합부용 엘엠 블록 구동부를 포함할 수 있다.
상기 제2 힌지결합부용 업/다운 구동부는, 상기 제2 힌지결합부가 결합되는 제2 힌지결합부용 엘엠 블록; 상기 제2 힌지결합부용 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 제2 힌지결합부용 엘엠 가이드; 및 상기 제2 힌지결합부용 엘엠 블록을 이동시키는 제2 힌지결합부용 엘엠 블록 구동부를 포함할 수 있다.
상기 스테이지유닛 틸팅모듈은, 상기 흡착 스테이지에 힌지 결합되는 제3 힌지결합부; 상기 제3 힌지결합부에 대하여 이격된 위치에 배치되며, 상기 흡착 스테이지에 힌지 결합되는 제4 힌지결합부; 상기 제3 힌지결합부에 연결되며, 상기 제3 힌지결합부를 업/다운(up/down) 이동시키는 제3 힌지결합부용 업/다운 구동부; 및 상기 제4 힌지결합부에 연결되며, 상기 제4 힌지결합부를 업/다운(up/down) 이동시키는 제4 힌지결합부용 업/다운 구동부를 포함할 수 있다.
상기 제3 힌지결합부용 업/다운 구동부는, 상기 제3 힌지결합부가 결합되는 제3 힌지결합부용 엘엠 블록; 상기 제3 힌지결합부용 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 제3 힌지결합부용 엘엠 가이드; 및 상기 제3 힌지결합부용 엘엠 블록을 이동시키는 제3 힌지결합부용 엘엠 블록 구동부를 포함할 수 있다.
상기 제4 힌지결합부용 업/다운 구동부는, 상기 제4 힌지결합부가 결합되는 제4 힌지결합부용 엘엠 블록; 상기 제4 힌지결합부용 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 제4 힌지결합부용 엘엠 가이드; 및 상기 제4 힌지결합부용 엘엠 블록을 이동시키는 제4 힌지결합부용 엘엠 블록 구동부를 포함할 수 있다.
상기 흡착모듈은, 상기 글라스합착기판을 흡착하는 다수개의 흡착 패드가 마련되는 흡착모듈 본체부; 및 상기 흡착모듈 본체부에 업/다운(up/down) 이동 가능하게 결합되며, 상기 글라스합착기판을 흡착하는 복수의 업/다운 흡착부를 포함할 수 있다.
상기 복수의 업/다운 흡착부는, 상기 글라스합착기판의 모서리 영역 중 적어도 일부의 모서리 영역을 흡착할 수 있다.
상기 흡착 스테이지는, 상기 플렉서블 기판이 접촉되며, 모서리 영역 중 적어도 일부의 모서리 영역에는 중앙 영역에서 멀어질수록 높이가 낮아지는 경사부가 마련되는 흡착 플레이트를 포함할 수 있다.
상기 흡착유닛에 연결되며, 상기 흡착유닛을 이송하는 흡착유닛용 이송유닛; 및 상기 스테이지유닛에 연결되며, 상기 스테이지유닛을 이송하는 스테이지유닛용 이송유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 글라스합착기판의 정전기를 제거하는 이오나이저를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들은, 모서리 영역 분리유닛이 글라스합착기판의 모서리 영역에서 상기 플렉서블 기판을 상기 캐리어글라스에서 분리하며, 박리유닛이 상기 흡착모듈 및 상기 흡착 스테이지 중 어느 하나를 다른 하나에 대하여 틸팅시켜 상기 플렉서블 기판을 상기 캐리어글라스에서 박리함으로써, 플렉서블 기판의 손상 없이 플렉서블 기판에서 캐리어글라스를 빠르고 간편하게 박리할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어글라스 박리장치가 도시된 사시도이다.
도 2는 도 1의 흡착유닛이 도시된 도면이다.
도 3은 도 2의 흡착유닛용 틸팅모듈이 도시된 도면이다.
도 4는 도 3의 정면도이다.
도 5는 도 1의 모서리 영역 분리유닛의 배치를 개략적으로 도시된 도면이다.
도 6은 도 5의 분리모듈이 도시된 도면이다.
도 7은 도 6을 다른 방향에서 바라본 도면이다.
도 8의 도 1의 스테이지유닛이 도시된 도면이다.
도 9는 도 8의 정면도이다.
도 10 내지 13은 도 1의 캐리어글라스 박리장치의 동작상태도이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서 이미 공지된 기능 혹은 구성에 대한 설명은, 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.
도면 대비 설명에 앞서, 이하에서 설명될 플렉서블 기판이란, 얇고 유연한 필름 또는 윌로우 글라스(willow glass)를 말한다.
또한 이하의 도면에서 제1축 방향은 X로, 제2축은 Z로, 제3축은 Y로 표시한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어글라스 박리장치가 도시된 사시도이고, 도 2는 도 1의 흡착유닛이 도시된 도면이며, 도 3은 도 2의 흡착유닛용 틸팅모듈이 도시된 도면이고, 도 4는 도 3의 정면도이며, 모서리 영역 분리유닛의 배치를 개략적으로 도시된 도면이고, 도 6은 도 5의 분리모듈이 도시된 도면이며, 도 7은 도 6을 다른 방향에서 바라본 도면이고, 도 8의 도 1의 스테이지유닛이 도시된 도면이며, 도 9는 도 8의 정면도이며, 도 10 내지 13은 도 1의 캐리어글라스 박리장치의 동작상태도이다.
도 1 내지 도 13에 도시된 바와 같이, 플렉서블 기판(S)의 일면에 캐리어글라스(T)가 합착된 글라스합착기판(ST)을 진공 흡착하는 흡착모듈(110)을 구비하는 흡착유닛(100)과, 흡착유닛(100)에 이웃하게 배치되며 글라스합착기판(ST)의 모서리 영역에서 플렉서블 기판(S)을 캐리어글라스(T)에서 분리하는 모서리 영역 분리유닛(300)과, 흡착모듈(110)에 대향되게 배치되며 글라스합착기판(ST)을 진공 흡착하는 흡착 스테이지(410)를 구비하는 스테이지유닛(400)과, 흡착유닛(100) 및 스테이지유닛(400) 중 적어도 어느 하나에 구비되며 흡착모듈(110) 및 흡착 스테이지(410) 중 어느 하나를 다른 하나에 대하여 틸팅시켜 캐리어글라스(T)를 플렉서블 기판(S)에서 박리하는 박리유닛(500)을 포함한다.
이러한 본 실예에 따른 캐리어글라스 박리장치는, 모서리 영역 분리유닛(300)이 글라스합착기판(ST)의 모서리 영역에서 플렉서블 기판(S)을 캐리어글라스(T)에서 분리한 후 박리유닛(500)이 흡착모듈(110) 및 흡착 스테이지(410) 중 어느 하나를 다른 하나에 대하여 틸팅시켜 캐리어글라스(T)를 플렉서블 기판(S)에서 박리함으로써, 플렉서블 기판(S)의 손상 없이 플렉서블 기판(S)에서 캐리어글라스(T)를 빠르고 간편하게 박리할 수 있다.
글라스합착기판(ST)은 플렉서블 기판(S)의 상면 또는 하면에 캐리어글라스(T)가 합착된 것을 말한다. 본 실시예에서 글라스합착기판(ST)은 사각 형상으로 마련되며, 그에 따라 글라스합착기판(ST)은 4개의 모서리를 갖는다.
흡착유닛(100)은, 글라스합착기판(ST)을 진공 흡착하는 흡착모듈(110)을 구비한다. 본 실시예에서 흡착모듈(110)은 캐리어글라스(T)에 직접 접촉되어 글라스합착기판(ST)을 진공 흡착한다.
흡착모듈(110)은, 글라스합착기판(ST)을 흡착하는 다수개의 흡착 패드(112)가 마련되는 흡착모듈 본체부(111)와, 흡착모듈 본체부(111)에 업/다운(up/down) 이동 가능하게 결합되며 글라스합착기판(ST)을 흡착하는 복수의 업/다운 흡착부(113)를 포함한다.
흡착모듈 본체부(111)는, 업/다운 흡착부(113)에 연결되며 업/다운 흡착부(113)를 업/다운(up/down) 구동하는 업/다운(up/down) 구동부(미도시)를 포함한다.
복수의 업/다운 흡착부(113)는, 글라스합착기판(ST)의 모서리 영역 중 적어도 일부의 모서리 영역을 흡착한다.
이러한 복수의 업/다운 흡착부(113)는, 글라스합착기판(ST)의 모서리 영역을 업/다운(up/down) 이동시킴으로써, 글라스합착기판(ST)의 모서리 영역에서 모서리 영역 분리유닛(300)에 의한 플렉서블 기판(S)의 분리를 용이하게 한다.
또한 흡착유닛(100)에는, 후술할 흡착유닛용 틸팅모듈(510)과 후술할 흡착유닛용 이송유닛(200)이 연결되는 흡착유닛 프레임(120)이 마련된다.
한편, 모서리 영역 분리유닛(300)은, 흡착유닛(100)에 이웃하게 배치되며, 글라스합착기판(ST)의 모서리 영역에서 플렉서블 기판(S)을 캐리어글라스(T)에서 분리한다.
모서리 영역 분리유닛(300)은, 글라스합착기판(ST)의 복수의 모서리 영역에 인접하게 배치되는 복수의 분리모듈(300a)을 포함한다. 본 실시예에서 모서리 영역 분리유닛(300)은, 글라스합착기판(ST)의 4개의 모서리 영역을 분리하는 4개의 분리모듈(300a)을 구비한다.
이하에서는 4개의 분리모듈(300a) 중 하나의 분리모듈(300a)에 대해서 도 6 및 도 7에 따라 설명하며, 나머지 3개의 분리모듈(300a)에 대해서는 설명의 중복을 피하기 위하여 설명을 생략한다.
이러한 분리모듈(300a)은, 플렉서블 기판(S)과 캐리어글라스(T)의 사이로 삽입되는 나이프(311)를 구비하는 나이프부(310)와, 나이프부(310)에 연결되며 나이프부(310)를 제1축 방향으로 이동시키는 나이프부용 제1축 이동부(320)와, 나이프부용 제1축 이동부(320)에 연결되며 나이프부(310)를 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향으로 이동시키는 나이프부용 제2축 이동부(330)와, 나이프부용 제2축 이동부(330)에 연결되고 흡착유닛(100)에 결합되며 나이프부(310)를 제1축 방향 및 제2축 방향에 교차하는 제3축 방향으로 이동시키는 나이프부용 제3축 이동부(340)를 포함한다.
나이프부(310)는 플렉서블 기판(S)과 캐리어글라스(T)의 사이로 삽입되는 나이프(311)를 구비한다. 또한 나이프부(310)는, 나이프부용 제1축 이동부(320)에 연결되며, 글라스합착기판(ST)에 대한 나이프(311)의 자세를 제어하는 나이프 자세제어부(350)를 포함한다.
이러한 나이프 자세제어부(350)는, 나이프부용 제1축 이동부(320)에 결합되는 고정블록(351)과, 고정블록(351)에 대하여 제1축 방향 및 제3축 방향으로 미세 이동 가능하게 결합되는 이동블록(352)과, 이동블록(352)에 결합되는 회전 가이드 블록(353)과, 회전 가이드 블록(353)에 제2축 방향을 회전 중심으로 하여 회전 가능하게 연결되며 회전 가이드 블록(353)에 제2축 방향으로 미소 이동가능하게 결합되는 회전블록(354)을 포함한다.
또한 나이프 자세제어부(350)는, 이동블록(352)에 연결되어 이동블록(352)을 제1축 방향 및 제3축 방향으로 미세 이동시키는 제1축 미소이동용 조절나사(355) 및 제3축 미소이동용 조절나사(356)와, 회전블록(354)의 제2축 방향 미세이동을 조절하는 제2축 미소이동용 조절나사(357)와, 회전블록(354)의 회전 각도를 조절하는 회전용 조절핸들(358)을 더 포함한다.
나이프부용 제1축 이동부(320)는, 나이프부(310)에 연결되며, 나이프부(310)를 제1축 방향으로 이동시킨다.
이러한 나이프부용 제1축 이동부(320)는, 나이프부(310)가 결합되는 나이프부용 제1축 엘엠 블록(321)과, 나이프부용 제1축 엘엠 블록(321)의 이동을 가이드하는 나이프부용 제1축 엘엠 가이드(미도시)와, 나이프부용 제1축 엘엠 블록(321)을 이동시키는 나이프부용 제1축 엘엠 블록 구동부(323)를 포함한다.
나이프부용 제1축 엘엠 블록 구동부(323)는, 나이프부용 제1축 엘엠 블록(321)에 결합되는 이동 너트(미도시)와, 이동 너트(미도시)에 치합되는 볼 스크류(미도시)와, 볼 스크류(미도시)를 회전시키는 서보모터(미도시)를 포함한다.
나이프부용 제2축 이동부(330)는, 나이프부용 제1축 이동부(320)에 연결되며, 나이프부(310)를 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향으로 이동시킨다.
이러한 나이프부용 제2축 이동부(330)는, 나이프부용 제1축 이동부(320)가 결합되는 나이프부용 제2축 엘엠 블록(331)과, 나이프부용 제2축 엘엠 블록(331)의 이동을 가이드하는 나이프부용 제2축 엘엠 가이드(332)와, 나이프부용 제2축 엘엠 블록(331)을 이동시키는 나이프부용 제2축 엘엠 블록 구동부(333)를 포함한다.
나이프부용 제3축 이동부(340)는, 나이프부용 제2축 이동부(330)에 연결되고, 흡착유닛(100)에 결합되며, 나이프부(310)를 제1축 방향 및 제2축 방향에 교차하는 제3축 방향으로 이동시킨다.
이러한 나이프부용 제3축 이동부(340)는, 나이프부용 제2축 이동부(330)가 결합되는 나이프부용 제3축 엘엠 블록(341)과, 나이프부용 제3축 엘엠 블록(341)의 이동을 가이드하는 나이프부용 제3축 엘엠 가이드(342)와, 나이프부용 제3축 엘엠 블록(341)을 이동시키는 나이프부용 제3축 엘엠 블록 구동부(미도시)를 포함한다.
나이프부용 제3축 엘엠 블록 구동부(미도시)는, 나이프부용 제3축 엘엠 블록(341)에 결합되는 이동 너트(미도시)와, 이동 너트(미도시)에 치합되는 볼 스크류(미도시)와, 볼 스크류(미도시)를 회전시키는 서보모터(미도시)를 포함한다.
한편 스테이지유닛(400)은, 흡착모듈(110)에 대향되게 배치되며 글라스합착기판(ST)을 진공 흡착하는 흡착 스테이지(410)를 구비한다.
흡착 스테이지(410)는, 플렉서블 기판(S)이 접촉되며, 4개의 모서리 영역 중 적어도 일부의 모서리 영역에는 중앙 영역에서 멀어질수록 높이가 낮아지는 경사부(412)가 마련되는 흡착 플레이트(411)를 포함한다.
이러한 흡착 플레이트(411)에는, 플렉서블 기판(S)의 진공 흡착을 위해 다수개의 진공홀이 마련된다.
흡착 플레이트(411)의 경사부(412)에는 플렉서블 기판(S)의 모서리 영역이 흡착된다. 이러한 경사부(412)는 가장자리로 갈수록 높이가 낮아지게 형성됨으로써, 경사부(412)에 흡착된 플렉서블 기판(S)의 모서리 영역은 흡착모듈(110)에 흡착된 캐리어글라스(T)에서 소정의 거리만큼 이격된다. 이렇게 캐리어글라스(T)에서 이격된 플렉서블 기판(S)의 모서리 영역은 박리유닛(500)에 의한 캐리어글라스(T)의 박리를 더욱 용이하게 한다.
또한 스테이지유닛(400)에는, 후술할 스테이지유닛용 틸팅모듈(520)과 후술할 스테이지유닛용 이송유닛(600)이 연결되는 스테이지유닛 프레임(420)이 마련된다.
한편 박리유닛(500)은, 흡착유닛(100) 및 스테이지유닛(400) 중 적어도 어느 하나에 구비되며, 흡착모듈(110) 및 흡착 스테이지(410) 중 어느 하나를 다른 하나에 대하여 틸팅시켜 캐리어글라스(T)를 플렉서블 기판(S)에서 박리한다.
본 실시예에서 박리유닛(500)은, 흡착유닛(100)에 구비되는 흡착유닛용 틸팅모듈(510)과, 스테이지유닛(400)에 구비되는 스테이지유닛용 틸팅모듈(520)을 포함한다.
흡착유닛용 틸팅모듈(510)은, 흡착유닛 프레임(120)에 연결되어 지지된다. 이러한 흡착유닛용 틸팅모듈(510)은, 흡착모듈(110)에 힌지 결합되는 제1 힌지결합부(511)와, 제1 힌지결합부(511)에 대하여 이격된 위치에 배치되며 흡착모듈(110)에 힌지 결합되는 제2 힌지결합부(512)와, 제1 힌지결합부(511)에 연결되며 제1 힌지결합부(511)를 업/다운(up/down) 이동시키는 제1 힌지결합부용 업/다운 구동부(513)와, 제2 힌지결합부(512)에 연결되며 제2 힌지결합부(512)를 업/다운(up/down) 이동시키는 제2 힌지결합부용 업/다운 구동부(514)를 포함한다.
제1 힌지결합부(511)는 제1 힌지축(511a)을 통해 흡착모듈(110)에 힌지결합된다.
제1 힌지결합부용 업/다운 구동부(513)는, 제1 힌지결합부(511)에 연결되며, 제1 힌지결합부(511)를 업/다운(up/down) 이동시킨다. 이러한 제1 힌지결합부용 업/다운 구동부(513)는, 제1 힌지결합부(511)가 결합되는 제1 힌지결합부용 엘엠 블록(513a)과, 제1 힌지결합부용 엘엠 블록(513a)의 이동을 가이드하는 제1 힌지결합부용 엘엠 가이드(513b)와, 제1 힌지결합부용 엘엠 블록(513a)을 이동시키는 제1 힌지결합부용 엘엠 블록 구동부(미도시)를 포함한다.
제1 힌지결합부용 엘엠 블록 구동부(미도시)는, 제1 힌지결합부용 엘엠 블록(513a)에 결합되는 이동 너트(미도시)와, 이동 너트(미도시)에 치합되는 볼 스크류(미도시)와, 볼 스크류(미도시)를 회전시키는 서보모터(미도시)를 포함한다.
제2 힌지결합부(512)는, 흡착모듈용 제1 힌지결합부(511)에 대하여 이격된 위치에 배치되며, 제2 힌지축(512a)을 통해 흡착모듈(110)에 힌지결합된다.
제2 힌지결합부용 업/다운 구동부(514)는, 제2 힌지결합부(512)에 연결되며, 제2 힌지결합부(512)를 업/다운(up/down) 이동시킨다. 이러한 제2 힌지결합부용 업/다운 구동부(514)는, 제2 힌지결합부(512)가 결합되는 제2 힌지결합부용 엘엠 블록(514a)과, 제2 힌지결합부용 엘엠 블록(514a)의 이동을 가이드하는 제2 힌지결합부용 엘엠 가이드(514b)와, 제2 힌지결합부용 엘엠 블록(514a)을 이동시키는 제2 힌지결합부용 엘엠 블록 구동부(미도시)를 포함한다.
제2 힌지결합부용 엘엠 블록 구동부(미도시)는, 제2 힌지결합부용 엘엠 블록(514a)에 결합되는 이동 너트(미도시)와, 이동 너트(미도시)에 치합되는 볼 스크류(미도시)와, 볼 스크류(미도시)를 회전시키는 서보모터(미도시)를 포함한다.
이러한 흡착유닛용 틸팅모듈(510)은, 각각 독립적으로 이동하는 제1 힌지결합부용 엘엠 블록(513a)과 제2 힌지결합부용 엘엠 블록(514a)의 이동량의 차이를 통해 흡착모듈(110)을 흡착 스테이지(410)에 대하여 틸팅시킨다.
한편 스테이지유닛용 틸팅모듈(520)은, 스테이지유닛 프레임(420)에 연결되어 지지된다. 이러한 스테이지유닛용 틸팅모듈(520)은, 흡착 스테이지(410)에 힌지 결합되는 제3 힌지결합부(521)와, 제3 힌지결합부(521)에 대하여 이격된 위치에 배치되며 흡착 스테이지(410)에 힌지 결합되는 제4 힌지결합부(522)와, 제3 힌지결합부(521)에 연결되며 제3 힌지결합부(521)를 업/다운(up/down) 이동시키는 제3 힌지결합부용 업/다운 구동부(523)와, 제4 힌지결합부(522)에 연결되며 제4 힌지결합부(522)를 업/다운(up/down) 이동시키는 제4 힌지결합부용 업/다운 구동부(524)를 포함한다.
제3 힌지결합부(521)는 제3 힌지축(521a)을 통해 흡착 스테이지(410)에 힌지결합된다.
제3 힌지결합부용 업/다운 구동부(523)는, 제3 힌지결합부(521)에 연결되며 제3 힌지결합부(521)를 업/다운(up/down) 이동시킨다. 이러한 제3 힌지결합부용 업/다운 구동부(523)는, 제3 힌지결합부(521)가 결합되는 제3 힌지결합부용 엘엠 블록(523a)과, 제3 힌지결합부용 엘엠 블록(523a)의 이동을 가이드하는 제3 힌지결합부용 엘엠 가이드(523b)와, 제3 힌지결합부용 엘엠 블록(523a)을 이동시키는 제3 힌지결합부용 엘엠 블록 구동부(미도시)를 포함한다.
제3 힌지결합부용 엘엠 블록 구동부(미도시)는, 제3 힌지결합부용 엘엠 블록(523a)에 결합되는 이동 너트(미도시)와, 이동 너트(미도시)에 치합되는 볼 스크류(미도시)와, 볼 스크류(미도시)를 회전시키는 서보모터(미도시)를 포함한다.
제4 힌지결합부(522)는 제4 힌지축(522a)을 통해 흡착 스테이지(410)에 힌지결합된다.
제4 힌지결합부용 업/다운 구동부(524)는, 제4 힌지결합부(522)에 연결되며, 제4 힌지결합부(522)를 업/다운(up/down) 이동시킨다. 이러한 제4 힌지결합부용 업/다운 구동부(524)는, 제4 힌지결합부(522)가 결합되는 제4 힌지결합부용 엘엠 블록(524a)과, 제4 힌지결합부용 엘엠 블록(524a)의 이동을 가이드하는 제4 힌지결합부용 엘엠 가이드(524b)와, 제4 힌지결합부용 엘엠 블록(524a)을 이동시키는 제4 힌지결합부용 엘엠 블록 구동부(미도시)를 포함한다.
제4 힌지결합부용 엘엠 블록 구동부(미도시)는, 제4 힌지결합부용 엘엠 블록(524a)에 결합되는 이동 너트(미도시)와, 이동 너트(미도시)에 치합되는 볼 스크류(미도시)와, 볼 스크류(미도시)를 회전시키는 서보모터(미도시)를 포함한다.
이러한 스테이지유닛용 틸팅모듈(520)은, 각각 독립적으로 이동하는 제3 힌지결합부용 엘엠 블록(523a)과 제4 힌지결합부용 엘엠 블록(524a)의 이동량의 차이를 통해 흡착 스테이지(410)를 흡착모듈(110)에 대하여 틸팅시킨다.
한편 본 실시예에 따른 캐리어글라스 박리장치는, 흡착유닛(100)에 연결되며 흡착유닛(100)을 이송하는 흡착유닛용 이송유닛(200)과, 스테이지유닛(400)에 연결되며 스테이지유닛(400)을 이송하는 스테이지유닛용 이송유닛(600)을 더 포함한다.
흡착유닛용 이송유닛(200)은, 흡착유닛(100)이 결합되는 흡착유닛용 엘엠 블록(210)과, 흡착유닛용 엘엠 블록(210)의 이동을 가이드하는 흡착유닛용 엘엠 가이드(220)와, 흡착유닛용 엘엠 블록(210)을 이동시키는 흡착유닛용 엘엠 블록 구동부(미도시)를 포함한다.
스테이지유닛용 이송유닛(600)은, 스테이지유닛(400)이 결합되는 스테이지유닛용 엘엠 블록(610)과, 스테이지유닛용 엘엠 블록(610)의 이동을 가이드하는 스테이지유닛용 엘엠 가이드(620)와, 스테이지유닛용 엘엠 블록(610)을 이동시키는 스테이지유닛용 엘엠 블록 구동부(미도시)를 포함한다.
한편 본 실시예에 따른 캐리어글라스 박리장치는, 글라스합착기판(ST)의 정전기를 제거하는 이오나이저(미도시)를 더 포함한다.
이하에서 본 실시예에 따른 캐리어글라스 박리장치의 동작을 설명한다.
먼저 흡착유닛용 이송유닛(200)이 글라스합착기판(ST)을 흡착한 흡착유닛(100)을 모서리 영역 분리유닛(300)에 인접하게 이송하여 글라스합착기판(ST)을 분리모듈(300a)에 대하여 정위치시킨다.
다음, 도 10에 도시된 바와 같이, 업/다운 흡착부(113)가 상승하여 글라스합착기판(ST)의 모서리 영역을 상승시킨다.
이후 글라스합착기판(ST)의 코너 영역에서 나이프가 캐리어글라스(T)와 플렉서블 기판(S) 사이로 삽입된 후 하강하여 글라스합착기판(ST)의 코너 영역에서 플렉서블 기판(S)을 캐리어글라스(T)에서 분리한다.
다음, 도 11에 도시된 바와 같이, 업/다운 흡착부(113)가 원위치로 하강한 이후 나이프가 글라스합착기판(ST)의 모서리 영역을 따라 이동되어 글라스합착기판(ST)의 모서리 영역에서 플렉서블 기판(S)을 캐리어글라스(T)에서 분리한다. 이때 분리된 플렉서블 기판(S)의 모서리 영역은 흡착 플레이트(411)의 경사부(412)에 흡착된다.
상술한 글라스합착기판(ST)의 모서리 영역에서 플렉서블 기판(S)의 분리는, 4개의 분리모듈(300a)에 의해 동시에 또는 순차적으로 이루어질 수 있으며, 서로 마주보는 두 쌍의 분리모듈(300a) 중 어느 한 쌍의 분리모듈(300a)이 먼저 동작한 후 다른 한 쌍의 분리모듈(300a)이 동작하는 방식으로 이루어질 수도 있다.
이렇게 글라스합착기판(ST)의 4개의 모서리 영역 모두에서 플렉서블 기판(S)과 캐리어글라스(T)가 분리된 다음, 도 12에 도시된 바와 같이, 흡착모듈(110)이 흡착유닛용 틸팅모듈(510)에 의해 틸팅된다. 이러한 흡착모듈(110)의 틸팅은, 제1 힌지결합부용 엘엠 블록(513a)과 제2 힌지결합부용 엘엠 블록(514a)의 이동량의 차이에 의해서 이루어진다. 이때 흡착모듈(110)은 캐리어글라스(T)를 진공흡착하고 있는 상태이며, 흡착 스테이지(410)는 플렉서블 기판(S)을 진공흡착하고 있는 상태이다.
또한 도 12과 달리 스테이지유닛용 틸팅모듈(520)이 흡착 스테이지(410)를 틸팅시키는 방법 및 흡착모듈(110) 및 흡착 스테이지(410)가 동시에 틸팅되는 방법도 가능하다.
한편 도 12과 같이 흡착모듈(110)이 틸팅된 후 도 13에 도시된 바와 같이 흡착모듈(110) 및 흡착 스테이지(410)가 서로 반대방향으로 이동됨으로써, 플렉서블 기판(S)에서 캐리어글라스(T)가 최종적으로 박리된다.
이와 같이 본 실시예에 따른 캐리어글라스 박리장치는, 모서리 영역 분리유닛(300)이 글라스합착기판(ST)의 모서리 영역에서 플렉서블 기판(S)을 캐리어글라스(T)에서 분리하며, 박리유닛(500)이 흡착모듈(110) 및 흡착 스테이지(410) 중 어느 하나를 다른 하나에 대하여 틸팅시켜 캐리어글라스(T)를 플렉서블 기판(S)에서 박리함으로써, 플렉서블 기판(S)의 손상 없이 플렉서블 기판(S)에서 캐리어글라스(T)를 빠르고 간편하게 박리할 수 있다.
이상 도면을 참조하여 본 실시예에 대해 상세히 설명하였지만 본 실시예의 권리범위가 전술한 도면 및 설명에 국한되지는 않는다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100: 흡착유닛 110: 흡착모듈
111: 흡착모듈 본체부 112: 흡착 패드
113: 업/다운 흡착부 120: 흡착유닛 프레임
200: 흡착유닛용 이송유닛 210: 흡착유닛용 엘엠 블록
220: 흡착유닛용 엘엠 가이드 300: 모서리 영역 분리유닛
300a: 분리모듈 310: 나이프부
311: 나이프 320: 나이프부용 제1축 이동부
321: 나이프부용 제1축 엘엠 블록
323: 나이프부용 제1축 엘엠 블록 구동부
330: 나이프부용 제2축 이동부
331: 나이프부용 제2축 엘엠 블록
332: 나이프부용 제2축 엘엠 가이드
333: 나이프부용 제2축 엘엠 블록 구동부
340: 나이프부용 제3축 이동부
341: 나이프부용 제3축 엘엠 블록
342: 나이프부용 제3축 엘엠 가이드 350: 나이프 자세제어부
351: 고정블록 352: 이동블록
353: 회전 가이드 블록 354: 회전블록
355: 제1축 미소이동용 조절나사
356: 제3축 미소이동용 조절나사
357: 제2축 미소이동용 조절나사 358: 회전용 조절핸들
400: 스테이지유닛 410: 흡착 스테이지
411: 흡착 플레이트 412: 경사부
420: 스테이지유닛 프레임 500: 박리유닛
510: 흡착유닛용 틸팅모듈 511: 제1 힌지결합부
511a: 제1 힌지축 512: 제2 힌지결합부
512a: 제2 힌지축
513: 제1 힌지결합부용 업/다운 구동부
513a: 제1 힌지결합부용 엘엠 블록
513b: 제1 힌지결합부용 엘엠 가이드
514: 제2 힌지결합부용 업/다운 구동부
514a: 제2 힌지결합부용 엘엠 블록
514b: 제2 힌지결합부용 엘엠 가이드 520: 스테이지유닛용 틸팅모듈
521: 제3 힌지결합부 521a: 제3 힌지축
522: 제4 힌지결합부 522a: 제4 힌지축
523: 제3 힌지결합부용 업/다운 구동부
523a: 제3 힌지결합부용 엘엠 블록
523b: 제3 힌지결합부용 엘엠 가이드
524: 제4 힌지결합부용 업/다운 구동부
524a: 제4 힌지결합부용 엘엠 블록
524b: 제4 힌지결합부용 엘엠 가이드
600: 스테이지유닛용 이송유닛 610: 스테이지유닛용 엘엠 블록
620: 스테이지유닛용 엘엠 가이드 S: 플렉서블 기판
T: 캐리어글라스 ST: 글라스합착기판

Claims (19)

  1. 플렉서블 기판의 일면에 캐리어글라스가 합착된 글라스합착기판을 진공 흡착하는 흡착모듈을 구비하는 흡착유닛;
    상기 흡착유닛에 이웃하게 배치되며, 상기 글라스합착기판의 모서리 영역에서 상기 플렉서블 기판을 상기 캐리어글라스에서 분리하는 모서리 영역 분리유닛;
    상기 흡착모듈에 대향되게 배치되며 상기 글라스합착기판을 진공 흡착하는 흡착 스테이지를 구비하는 스테이지유닛; 및
    상기 흡착유닛 및 상기 스테이지유닛 중 적어도 어느 하나에 구비되며, 상기 흡착모듈 및 상기 흡착 스테이지 중 어느 하나를 다른 하나에 대하여 틸팅시켜 상기 플렉서블 기판을 상기 캐리어글라스에서 박리하는 박리유닛을 포함하며,
    상기 흡착모듈은,
    상기 글라스합착기판을 흡착하는 다수개의 흡착 패드가 마련되는 흡착모듈 본체부; 및
    상기 흡착모듈 본체부에 업/다운(up/down) 이동 가능하게 결합되며, 상기 글라스합착기판을 흡착하는 복수의 업/다운 흡착부를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 모서리 영역 분리유닛은, 상기 글라스합착기판의 복수의 모서리 영역에 인접하게 배치되는 복수의 분리모듈을 포함하는 캐리어글라스 박리장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 분리모듈은,
    상기 플렉서블 기판과 상기 캐리어글라스의 사이로 삽입되는 나이프를 구비하는 나이프부;
    상기 나이프부에 연결되며, 상기 나이프부를 제1축 방향으로 이동시키는 나이프부용 제1축 이동부;
    상기 나이프부용 제1축 이동부에 연결되며, 상기 나이프부를 상기 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향으로 이동시키는 나이프부용 제2축 이동부; 및
    상기 나이프부용 제2축 이동부에 연결되고 상기 흡착유닛에 결합되며, 상기 나이프부를 상기 제1축 방향 및 상기 제2축 방향에 교차하는 제3축 방향으로 이동시키는 나이프부용 제3축 이동부를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 나이프부용 제1축 이동부는,
    상기 나이프부가 결합되는 나이프부용 제1축 엘엠 블록;
    상기 나이프부용 제1축 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 나이프부용 제1축 엘엠 가이드; 및
    상기 나이프부용 제1축 엘엠 블록을 이동시키는 나이프부용 제1축 엘엠 블록 구동부를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제3항에 있어서,
    상기 나이프부는, 상기 글라스합착기판에 대한 상기 나이프의 자세를 제어하는 나이프 자세제어부를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 박리유닛은,
    상기 흡착유닛에 구비되는 흡착유닛용 틸팅모듈; 및
    상기 스테이지유닛에 구비되는 스테이지유닛용 틸팅모듈을 포함하는 캐리어글라스 박리장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 흡착유닛용 틸팅모듈은,
    상기 흡착모듈에 힌지 결합되는 제1 힌지결합부;
    상기 제1 힌지결합부에 대하여 이격된 위치에 배치되며, 상기 흡착모듈에 힌지 결합되는 제2 힌지결합부;
    상기 제1 힌지결합부에 연결되며, 상기 제1 힌지결합부를 업/다운(up/down) 이동시키는 제1 힌지결합부용 업/다운 구동부; 및
    상기 제2 힌지결합부에 연결되며, 상기 제2 힌지결합부를 업/다운(up/down) 이동시키는 제2 힌지결합부용 업/다운 구동부를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제1 힌지결합부용 업/다운 구동부는,
    상기 제1 힌지결합부가 결합되는 제1 힌지결합부용 엘엠 블록;
    상기 제1 힌지결합부용 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 제1 힌지결합부용 엘엠 가이드; 및
    상기 제1 힌지결합부용 엘엠 블록을 이동시키는 제1 힌지결합부용 엘엠 블록 구동부를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.
  11. 삭제
  12. 제8항에 있어서,
    상기 스테이지유닛 틸팅모듈은,
    상기 흡착 스테이지에 힌지 결합되는 제3 힌지결합부;
    상기 제3 힌지결합부에 대하여 이격된 위치에 배치되며, 상기 흡착 스테이지에 힌지 결합되는 제4 힌지결합부;
    상기 제3 힌지결합부에 연결되며, 상기 제3 힌지결합부를 업/다운(up/down) 이동시키는 제3 힌지결합부용 업/다운 구동부; 및
    상기 제4 힌지결합부에 연결되며, 상기 제4 힌지결합부를 업/다운(up/down) 이동시키는 제4 힌지결합부용 업/다운 구동부를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 제3 힌지결합부용 업/다운 구동부는,
    상기 제3 힌지결합부가 결합되는 제3 힌지결합부용 엘엠 블록;
    상기 제3 힌지결합부용 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 제3 힌지결합부용 엘엠 가이드; 및
    상기 제3 힌지결합부용 엘엠 블록을 이동시키는 제3 힌지결합부용 엘엠 블록 구동부를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.
  14. 삭제
  15. 삭제
  16. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 업/다운 흡착부는, 상기 글라스합착기판의 모서리 영역 중 적어도 일부의 모서리 영역을 흡착하는 캐리어글라스 박리장치.
  17. 플렉서블 기판의 일면에 캐리어글라스가 합착된 글라스합착기판을 진공 흡착하는 흡착모듈을 구비하는 흡착유닛;
    상기 흡착유닛에 이웃하게 배치되며, 상기 글라스합착기판의 모서리 영역에서 상기 플렉서블 기판을 상기 캐리어글라스에서 분리하는 모서리 영역 분리유닛;
    상기 흡착모듈에 대향되게 배치되며 상기 글라스합착기판을 진공 흡착하는 흡착 스테이지를 구비하는 스테이지유닛; 및
    상기 흡착유닛 및 상기 스테이지유닛 중 적어도 어느 하나에 구비되며, 상기 흡착모듈 및 상기 흡착 스테이지 중 어느 하나를 다른 하나에 대하여 틸팅시켜 상기 플렉서블 기판을 상기 캐리어글라스에서 박리하는 박리유닛을 포함하며,
    상기 흡착 스테이지는,
    상기 플렉서블 기판이 접촉되며, 모서리 영역 중 적어도 일부의 모서리 영역에는 중앙 영역에서 멀어질수록 높이가 낮아지는 경사부가 마련되는 흡착 플레이트를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.
  18. 플렉서블 기판의 일면에 캐리어글라스가 합착된 글라스합착기판을 진공 흡착하는 흡착모듈을 구비하는 흡착유닛;
    상기 흡착유닛에 이웃하게 배치되며, 상기 글라스합착기판의 모서리 영역에서 상기 플렉서블 기판을 상기 캐리어글라스에서 분리하는 모서리 영역 분리유닛;
    상기 흡착모듈에 대향되게 배치되며 상기 글라스합착기판을 진공 흡착하는 흡착 스테이지를 구비하는 스테이지유닛; 및
    상기 흡착유닛 및 상기 스테이지유닛 중 적어도 어느 하나에 구비되며, 상기 흡착모듈 및 상기 흡착 스테이지 중 어느 하나를 다른 하나에 대하여 틸팅시켜 상기 플렉서블 기판을 상기 캐리어글라스에서 박리하는 박리유닛을 포함하며,
    상기 흡착유닛에 연결되며, 상기 흡착유닛을 이송하는 흡착유닛용 이송유닛; 및
    상기 스테이지유닛에 연결되며, 상기 스테이지유닛을 이송하는 스테이지유닛용 이송유닛을 더 포함하는 캐리어글라스 박리장치.
  19. 삭제
KR1020130165273A 2013-12-27 2013-12-27 캐리어글라스 박리장치 KR101530036B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130165273A KR101530036B1 (ko) 2013-12-27 2013-12-27 캐리어글라스 박리장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130165273A KR101530036B1 (ko) 2013-12-27 2013-12-27 캐리어글라스 박리장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101530036B1 true KR101530036B1 (ko) 2015-06-18

Family

ID=53519366

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020130165273A KR101530036B1 (ko) 2013-12-27 2013-12-27 캐리어글라스 박리장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101530036B1 (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101731259B1 (ko) 2015-12-07 2017-04-28 주식회사 에스에프에이 디스플레이 패널 제조용 분리장치
KR101923601B1 (ko) 2018-09-05 2018-11-29 ㈜ 엘에이티 디스플레이용 리워크 장치
CN117246621A (zh) * 2023-11-10 2023-12-19 四川英创力电子科技股份有限公司 一种高效剥离电路板镀金层表面保护胶带的装置及方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3199964B2 (ja) * 1994-10-07 2001-08-20 シャープ株式会社 基板剥離装置
KR101119571B1 (ko) * 2011-09-19 2012-03-06 주식회사 코엠에스 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기 및 필름 박리방법
KR20130010846A (ko) * 2011-07-19 2013-01-29 닛토덴코 가부시키가이샤 접합된 판의 박리 방법 및 박리 장치

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3199964B2 (ja) * 1994-10-07 2001-08-20 シャープ株式会社 基板剥離装置
KR20130010846A (ko) * 2011-07-19 2013-01-29 닛토덴코 가부시키가이샤 접합된 판의 박리 방법 및 박리 장치
KR101119571B1 (ko) * 2011-09-19 2012-03-06 주식회사 코엠에스 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기 및 필름 박리방법

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101731259B1 (ko) 2015-12-07 2017-04-28 주식회사 에스에프에이 디스플레이 패널 제조용 분리장치
KR101923601B1 (ko) 2018-09-05 2018-11-29 ㈜ 엘에이티 디스플레이용 리워크 장치
CN117246621A (zh) * 2023-11-10 2023-12-19 四川英创力电子科技股份有限公司 一种高效剥离电路板镀金层表面保护胶带的装置及方法
CN117246621B (zh) * 2023-11-10 2024-01-23 四川英创力电子科技股份有限公司 一种高效剥离电路板镀金层表面保护胶带的装置及方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI602703B (zh) Substrate stripping apparatus and stripping method, and electronic device manufacturing method
CN102830524A (zh) 一种模组组装设备
CN105084000A (zh) 一种玻璃放置和取出方法
KR101800169B1 (ko) 패널 상하 반전 장치 및 그 방법
JP2003279921A (ja) 液晶表示パネルの切断装置及びその方法
KR20140036594A (ko) 필름 박리 장치
KR101530036B1 (ko) 캐리어글라스 박리장치
KR20170103056A (ko) 필름 박리장치
KR101576546B1 (ko) 캐리어글라스 박리장치
KR101826592B1 (ko) 수직형 기판 이송장치
KR101731262B1 (ko) 평면 디스플레이용 필름 부착장치
US20240292725A1 (en) Manufacturing apparatus and method of manufacturing display apparatus using the same
KR101666801B1 (ko) 플렉시블 디스플레이용 필름 부착장치
KR101514213B1 (ko) 더미 글라스 제거장치
KR100797572B1 (ko) 수직형 기판 이송장치
KR101404057B1 (ko) 기판 합착 장치용 라미네이팅 장치 및 방법, 및 이를 구비한 기판 합착 장치 및 방법
CN100529873C (zh) 用于除去面板边缘的空白玻璃的装置及其方法
JP4217370B2 (ja) 基板搬送装置
KR101787977B1 (ko) 릴리스 장치
KR20200142622A (ko) 기판 이송 장치 및 이를 이용한 기판 이송 방법
KR101430670B1 (ko) 기능성 필름 부착 시스템
KR20130041580A (ko) 판넬 박리 장치
KR20120079982A (ko) 기판 수직 이송장치
CN100431807C (zh) 机械手臂及应用此机械手臂的搬运板材的方法
KR102121236B1 (ko) 로딩 장치, 이를 포함하는 기판 처리 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
N231 Notification of change of applicant
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180515

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190401

Year of fee payment: 5